KR20150107845A - 열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판(1) 및 기판(1)의 표면 중 적어도 하나 상의 적어도 하나의 열 복사선 반사 코팅(2)을 포함하고, 여기서 코팅(2)은, 기판(1)에서부터 시작하여, 적어도 하부 유전 층(3), 적어도 하나의 투명 전기 전도성 산화물을 함유하는 기능성 층(4), 및 상부 유전 층(5)을 포함하고, 여기서, 하부 유전 층(3) 아래에, 하부 유전 층(3)과 기능성 층(4) 사이에, 기능성 층(4)과 상부 유전 층(5) 사이에, 및/또는 상부 유전 층(5) 위에 적어도 하나의 암화 층(10)이 배열되고, 여기서 암화 층(10)이 1900℃ 초과의 융점 및 500 μohm*㎝ 미만의 전기 비저항을 갖는 적어도 하나의 금속, 적어도 하나의 금속 질화물 및/또는 적어도 하나의 금속 탄화물을 함유하는 것인, 열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리에 관한 것이다.

Description

열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리 {PANE HAVING A COATING THAT REFLECTS THERMAL RADIATION}
본 발명은 열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리, 그의 제조 방법, 및 이러한 코팅을 갖는 판유리에서의 암화 층(darkening layer)의 용도에 관한 것이다.
높은 주위 온도 및 강렬한 직사일광을 갖는 여름철에는 자동차의 내부가 크게 가열될 수 있다. 특히 겨울철에 발생하는, 외부 온도가 차량 내부의 온도보다 낮을 때는, 차가운 판유리가 방열판(heat sink)으로서 작용하고, 승객은 이것을 불쾌하다고 인지한다. 또한, 자동차 창문을 통한 내부의 지나친 냉각을 방지하기 위해 기후 조절 시스템의 높은 가열 성능이 제공되어야 한다.
열 복사선 반사 코팅 (이른바, "저-E 코팅")이 알려져 있다. 이러한 코팅은 특히 적외 범위에서 일광의 상당한 부분을 반사하고, 이 결과로 여름철에 차량 내부가 더워지는 것이 감소된다. 게다가, 차량 내부에 향하는 판유리의 표면 상에 코팅을 형성할 때는, 코팅이 가열된 판유리의 장파 열 복사선의 차량 내부로의 방출을 감소시킨다. 게다가, 겨울철의 낮은 외부 온도의 경우, 이러한 코팅은 내부로부터 외부 주위로 열이 바깥쪽으로 방출되는 것을 감소시킨다.
미적 또는 열적 이유에서, 자동차 창문 판유리가 감소된 빛 투과율을 갖는 것이 바람직할 수 있다. 이것은 예를 들어 뒷좌석 옆 창문, 뒷 창문 또는 지붕 패널의 경우에 빈번하다. 이러한 판유리는 투과율을 감소시키는 열 복사선 반사 코팅의 이용을 통해 제조될 수 있다. 니오븀, 탄탈럼, 니켈, 크로뮴, 지르코늄 또는 그의 합금으로 제조된 기능성 층을 함유하는 투과율을 감소시키는 열 복사선 반사 코팅이 예를 들어 US7592068B2, US7923131B2 및 WO2004076174A1로부터 관련 분야의 기술자에게 알려져 있다. 코팅의 낮은 빛 투과율 때문에, 존재할 수 있는 층 결함, 특히 제조 관련 결함이 바람직하지 않게 높은 대비를 갖는다. 특히, 판유리를 통해 볼 때, 예를 들어 약 100 ㎛의 크기를 갖는 매우 작은 결함조차도 관찰자에게 심란하게 눈에 띌 수 있다. 이러한 층 결함은 예를 들어 코팅 공정 전 및/또는 코팅 공정 동안에 입자가 코팅될 판유리의 표면을 오염시키고 코팅 후에 표면으로부터 탈리되므로 발생할 수 있다. 또한, 입자는 판유리의 표면의 후속 열처리 동안에 표면으로부터 탈리될 수 있다.
투과율 감소 코팅의 불리한 점을 피하기 위해, 틴팅된 판유리 상에 투명한 열 복사선 반사 코팅을 형성하는 것이 가능하다. 이러한 코팅은 투명 전도성 산화물, 예컨대 인듐 주석 산화물을 기재로 하는 기능성 층을 함유할 수 있고, 예를 들어 EP 2 141 135 A1, WO 2010115558 A1 및 WO 2011105991 A1로부터 알려져 있다. 그러나, 관례적으로 10% 미만의 빛 투과율을 갖는 유리가 상업적으로 입수가능하지 않기 때문에, 이 방식으로는 예를 들어 8% 미만의 매우 낮은 빛 투과율을 갖는 판유리가 쉽게 실현될 수 없다.
빈번하게, 코팅 형성 후, 판유리는 열처리 및 기계적 변형을 거쳐야 한다. 자동차 부문의 판유리, 예를 들어 단일 판유리 안전 유리 형태의 옆 창문 및 뒷 창문 및 복합 안전 유리 형태의 지붕 패널, 옆 창문 및 뒷 창문은 전형적으로 굽혀지고, 빈번하게 이 공정에서 예비응력 부여 또는 부분 예비응력 부여가 제공된다. 또한, 판유리의 굽힘 및 예비응력 부여는 코팅에 특별한 요구를 한다.
US 2008/0070045 A1로부터, 기능성 층이 투명 전도성 산화물인 저-E 코팅을 갖는 또 다른 판유리가 알려져 있다. 이 코팅은 예를 들어 티타늄 질화물로 제조된 열 복사선 흡수를 위한 층을 함유한다. 흡수 층의 두께는 명시되어 있지 않다.
US 2005/0123772 A1로부터, 은으로 제조된 기능성 층을 갖는 저-E 코팅이 알려져 있다. 이 코팅은 티타늄 질화물로 제조된 빛 흡수 층을 함유한다. 은을 기재로 하는 저-E 코팅은 부식에 매우 민감하고, 따라서, 환경과 접촉하는 판유리 표면 상에 이용될 수 없다. 그의 용도는 전형적으로 중간 층 쪽으로 향하는 복합 판유리 표면에 제한된다. 따라서, 판유리의 내부측 표면 상에서의 용도가 가능하지 않다.
본 발명의 목적은 가시 스펙트럼 범위에서 판유리의 투과율을 감소시키는 열 복사선 반사 코팅을 갖는 개선된 판유리를 제공하는 데 있다. 또한, 코팅은 내부식성이어야 하고, 판유리의 굽힘 및 예비응력 부여 동안에 손상되지 않아야 한다. 게다가, 판유리의 제조 방법도 제공되어야 한다.
본 발명의 목적은 청구항 1에 따른 열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리에 의해 본 발명에 따라서 달성된다. 바람직한 실시양태는 종속항으로부터 드러난다.
열 복사선 반사 코팅을 갖는 본 발명에 따른 판유리는 기판 및 기판의 표면 중 적어도 하나 상의 적어도 하나의 열 복사선 반사 코팅을 포함하고, 여기서 코팅은, 기판에서부터 시작하여, 적어도
- 하나의 하부 유전 층,
- 적어도 하나의 투명 전기 전도성 산화물을 함유하는 하나의 기능성 층, 및
- 하나의 상부 유전 층
을 포함하고,
여기서, 하부 유전 층 아래에, 하부 유전 층과 기능성 층 사이에, 기능성 층과 상부 유전 층 사이에, 및/또는 상부 유전 층 위에 적어도 하나의 암화 층이 배열되고,
여기서, 암화 층은 1900℃ 초과의 융점 및 500 μohm*㎝ 미만의 전기 비저항을 갖는 적어도 하나의 금속, 적어도 하나의 금속 질화물 및/또는 적어도 하나의 금속 탄화물을 함유한다.
본 발명에 따른 열 복사선 반사 코팅은, 기판에서부터 시작하여 지시된 순서로, 적어도 다음 개개의 층을 포함하는 층 스택이다:
- 하나의 하부 유전 층,
- 하부 유전 층 위에, 적어도 하나의 투명 전기 전도성 산화물 (TCO)을 함유하는 하나의 기능성 층, 및
- 기능성 층 위에, 하나의 상부 유전 층.
게다가, 코팅은 본 발명에 따른 적어도 하나의 암화 층을 포함한다.
제1 층이 제2 층 위에 배열될 때, 본 발명의 맥락에서 이것은 제1 층이 제2 층보다 기판으로부터 더 멀리에 배열된다는 것을 의미한다. 제1 층이 제2 층 아래에 배열될 때, 본 발명의 맥락에서 이것은 제2 층이 제1 층보다 기판으로부터 더 멀리에 배열된다는 것을 의미한다.
제1 층이 제2 층 위에 또는 아래에 배열될 때, 본 발명의 맥락에서 이것은 제1 층 및 제2 층이 서로 직접 접촉해서 위치한다는 것을 반드시 의미하지는 않는다. 명백히 제외되지 않는다면, 하나의 또는 다수의 추가의 층이 제1 층과 제2 층 사이에 배열될 수 있다.
본 발명의 맥락에서 코팅의 최상부 층은 기판으로부터 최대 거리에 있는 층이다. 본 발명의 맥락에서 코팅의 최하부 층은 기판으로부터 최소 거리에 있는 층이다.
나타낸 전기 비저항 값은 20℃의 온도에서 측정된다. 나타낸 굴절률 값은 550 ㎚의 파장에서 측정된다.
관련 분야의 기술자는 예를 들어 나타낸 융점 및 전기 비저항 값을 표 또는 데이터 시트에서 발견할 수 있다. 전형적으로, 거기에 나타낸 값은 고체의 경우의 값이다. 얇은 필름의 경우, 융점 및 전기 비저항은 그로부터 벗어날 수 있다. 그럼에도 불구하고, 고체의 경우에 대해 표로 작성한 값은 관련 분야 기술자에게 본 발명에 따른 암화 층을 위한 적합한 물질의 선택을 위한 적당한 척도를 제공한다. 나타낸 융점 및 전기 비저항 값은 이와 관련해서 이해해야 한다.
층 또는 또 다른 요소가 적어도 하나의 물질을 함유할 때, 본 발명의 맥락에서 이것은 층이 그 물질로 제조된 경우를 포함한다.
암화 층의 본 발명에 따른 금속, 금속 질화물, 및/또는 금속 탄화물은 낮은 전기 비저항 및 이렇게 해서, 한정된 전기전도도를 갖는다. 이러한 전도성 암화 층에 의해서, 열 복사선 반사 코팅의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율은 특히 흡수 및/또는 반사에 의해 감소된다. 물론, 암화 층은 또한 다른 스펙트럼 범위, 예를 들어 적외 범위에서 투과율을 감소시킬 수 있다. 투과율 수준은 암화 층의 수 및 두께 뿐만 아니라 물질에 의해 조정될 수 있다. 이렇게 해서, 특히 본 발명에 따른 코팅이 틴팅된 판유리 상에 이용되는 경우, 매우 어두운 판유리도 실현될 수 있다. 이것은 본 발명의 주된 이점이다.
또한, 암화 층의 본 발명에 따른 금속, 금속 질화물 및/또는 금속 탄화물은 높은 융점을 갖는다. 이러한 암화 층은 유리하게 내부식성 및 내산화성이다. 따라서, 코팅된 판유리는 심지어 (예를 들어, 암화 층의 균열에 의한) 코팅의 손상 없이 또는 게다가 암화 층의 산화의 결과로 빛 투과율이 증가하는 일 없이 온도 처리, 굽힘 공정 및/또는 예비응력 부여 공정을 거칠 수 있다. 이것은 본 발명의 또 다른 주된 이점이다.
본 발명에 따른 판유리는 바람직하게는 예를 들어 외부 환경으로부터 내부를 분리하는 자동차 또는 건물의 개구에 제공된다. 본 발명에 따른 코팅은 바람직하게는 판유리의 설치된 위치에서 내부 쪽으로 향하도록 의도된 기판의 표면 상에 배열된다. 이것은 내부에서의 열 쾌적성에 관해서 특히 유리하다. 본 발명의 맥락에서, 판유리의 설치된 위치에서 내부 쪽으로 향하도록 의도된 표면을 내부측 표면이라고 부른다. 높은 외부 온도 및 일광의 경우, 본 발명에 따른 코팅은 내부 방향으로 전체 판유리에 의해 복사되는 열 복사선을 특히 효과적으로 적어도 부분적으로 반사한다. 낮은 외부 온도의 경우, 본 발명에 따른 코팅은 내부로부터 복사되는 열 복사선을 효과적으로 반사할 수 있고, 이렇게 해서 차가운 판유리의 방열판으로서의 작용을 감소시킬 수 있다.
본 발명에 따른 판유리의 내부측 방출률은 바람직하게는 35% 이하, 특히 바람직하게는 25% 이하, 가장 특히 바람직하게는 20% 이하이다. 여기서, "내부측 방출률"이라는 용어는 이상적인 열 방출체 (흑체)에 비해 판유리가 설치된 위치에서 예를 들어 건물 또는 자동차의 내부 공간으로 얼마나 많은 열 복사선을 발산하는지를 나타내는 측정을 의미한다. 본 발명의 맥락에서, "방출률"은 표준 EN 12898에 따라서 283 K에서의 정상 방출 수준을 의미한다.
유리한 실시양태에서, 본 발명에 따른 판유리는 25% 미만, 바람직하게는 15% 미만, 특히 바람직하게는 10% 미만, 가장 특히 바람직하게는 8% 미만, 특히, 6% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 갖는다. 본 발명은 10% 미만의 투과율을 갖는 판유리에 특히 유리하다. 이러한 판유리는 틴팅된 기판 단독에 의해서는 실현하기 어렵고, 그 이유는 전형적으로 이러한 진하게 틴팅된 기판이 상업적으로 입수가능하지 않기 때문이다. 이러한 낮은 투과율을 갖는 판유리는 특히 자동차의 옆 창문, 뒷 창문 또는 지붕 패널로서 또는 또한 건물에서 바람직할 수 있다.
일광으로부터의 총 에너지 입력에 대해 본 발명에 따른 판유리의 값은 바람직하게는 50% 미만, 특히 바람직하게는 40% 미만, 가장 특히 바람직하게는 30% 미만이다. 또한, 이 값은 관련 분야의 기술자에게는 TTS 값("총 투과된 일광")으로 알려져 있다.
본 발명에 따른 코팅의 시트 저항은 바람직하게는 10 ohm/□ 내지 50 ohm/□, 특히 바람직하게는 15 ohm/□ 내지 30 ohm/□이다.
본 발명에 따르면, 열 복사선 반사 코팅은 적어도 하나의 암화 층을 포함한다. 또한, 코팅은 다수의 암화 층, 예를 들어 2개, 3개 또는 4개의 암화 층을 포함할 수 있고, 이는 광학적 또는 기계적 이유에서 바람직할 수 있다.
유리한 실시양태에서, 코팅은 본 발명에 따른 1개 또는 2개의 암화 층을 함유한다. 이것은 코팅의 간단한 제조에 관해서 특히 유리하다.
암화 층 또는 다수의 암화 층들은 예를 들어 하부 유전 층 아래에, 하부 유전 층과 기능성 층 사이에, 기능성 층과 상부 유전 층 사이에, 및/또는 상부 유전 층 위에 배열될 수 있다.
특히 유리한 실시양태에서, 암화 층 또는 암화 층들은 하부 유전 층과 기능성 층 사이에 및/또는 기능성 층과 상부 유전 층 사이에 배열된다. 바람직하게는, 이 경우에, 암화 층은 기능성 층과 직접 접촉한다. 놀랍게도, 이러한 열 복사선 반사 코팅이 손상 없이 온도 처리, 굽힘 공정 및 예비응력 부여 공정을 견디는 데 특히 아주 적합하다는 것이 입증되었다.
암화 층은 바람직하게는 2 ㎚ 내지 50 ㎚, 특히 바람직하게는 5 ㎚ 내지 40 ㎚, 가장 특히 바람직하게는 10 ㎚ 내지 30 ㎚의 두께를 갖는다. 이것은 암화 층의 투과율 감소 작용 뿐만 아니라 내부식성 및 굽힘성에 관해서 특히 유리하다.
본 발명에 따르면, 암화 층은 적어도 하나의 금속, 적어도 하나의 금속 질화물 및/또는 적어도 하나의 금속 탄화물을 함유한다. 여기서, 본 발명의 맥락에서, "금속"이라는 용어는 또한 둘 이상의 금속의 합금을 포함한다. 마찬가지로, 둘 이상의 금속의 혼합 질화물 및 혼합 탄화물, 뿐만 아니라 규소 및/또는 알루미늄과 금속의 합금, 혼합 질화물 또는 혼합 탄화물도 포함된다.
금속 및 금속 탄화물은 제조와 관련된 소량의 산소를 함유할 수 있다. 이 경우, 산소 함량은 바람직하게는 30 중량% 미만, 특히 바람직하게는 20 중량% 미만이다.
암화 층에 함유되는 금속 또는 암화 층에 함유되는 그의 산화물 또는 질화물은 바람직하게는 전이 금속으로부터, 특히 바람직하게는 주기율표의 IV B, V B, 및 VI B족으로부터 선택된다. 암화 층은 바람직하게는 하프늄, 니오븀, 탄탈럼, 몰리브데넘, 텅스텐, 티타늄 질화물, 지르코늄 질화물, 하프늄 질화물, 바나듐 질화물, 니오븀 질화물, 탄탈럼 질화물, 티타늄 탄화물, 지르코늄 탄화물, 하프늄 탄화물, 바나듐 탄화물, 니오븀 탄화물, 탄탈럼 탄화물, 몰리브데넘 탄화물 및 텅스텐 탄화물, 또는 그의 혼합물 또는 합금으로 이루어지는 군으로부터의 적어도 하나의 금속, 금속 질화물 또는 금속 탄화물을 함유한다. 나타낸 물질의 융점 Ts 및 전기 비저항 ρ은 표 1에 요약되어 있다 (또한, H.O. Pierson: Handbook of Refractory Carbides and Nitrides. Westwood: Noyes Publications, 1996 참조).
금속, 금속 질화물 및/또는 금속 탄화물의 융점은 바람직하게는 2200℃ 초과, 특히 바람직하게는 2500℃ 초과이다. 이것은 암화 층의 내부식성 및 내산화성에 관해서 특히 유리하다.
금속, 금속 질화물 및/또는 금속 탄화물의 전기 비저항은 바람직하게는 200 μohm*㎝ 미만이다. 이것은 암화 층의 투과율 감소 작용에 관해서 특히 유리하다.
암화 층은 바람직하게는 하프늄, 니오븀, 탄탈럼, 몰리브데넘, 텅스텐, 티타늄 질화물, 지르코늄 질화물, 하프늄 질화물, 니오븀 질화물, 탄탈럼 질화물, 티타늄 탄화물, 지르코늄 탄화물, 하프늄 탄화물, 바나듐 탄화물, 니오븀 탄화물, 탄탈럼 탄화물, 몰리브데넘 탄화물 및 텅스텐 탄화물, 또는 그의 혼합물 또는 합금, 또는 규소 또는 알루미늄과 그의 합금, 혼합 질화물 또는 혼합 탄화물로 이루어지는 군으로부터의 적어도 하나의 금속, 금속 질화물 또는 금속 탄화물을 함유한다. 이것은 2200℃ 초과의 높은 융점 때문에 암화 층의 내부식성에 특히 유리하다.
암화 층은 가장 특히 바람직하게는 탄탈럼, 몰리브데넘, 텅스텐, 티타늄 질화물, 지르코늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈럼 질화물, 티타늄 탄화물, 지르코늄 탄화물, 하프늄 탄화물, 바나듐 탄화물, 니오븀 탄화물, 탄탈럼 탄화물, 몰리브데넘 탄화물 및 텅스텐 탄화물, 또는 그의 혼합물 또는 합금, 또는 규소 또는 알루미늄과 그의 합금, 혼합 질화물 또는 혼합 탄화물로 이루어지는 군으로부터의 적어도 하나의 금속, 금속 질화물 또는 금속 탄화물을 함유한다. 이것은 2500℃ 초과의 높은 융점 때문에 암화 층의 내부식성에 가장 특히 유리하다.
원리적으로, 암화 층에는 질화물 및 탄화물이 금속 또는 합금보다 바람직하다. 이러한 암화 층은 특히 내부식성 및 내산화성 및 내손상성이 있다고 입증되었다.
금속 질화물 및 금속 탄화물은 질소에 대해 또는 탄소에 대해 화학량론적 양, 화학량론적 양 미만 또는 화학량론적 양 초과일 수 있다.
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기능성 층은 열 복사선, 특히 적외 복사선에 대해 반사 성질을 가지지만, 가시 스펙트럼 범위에서는 대체로 투명하다. 본 발명에 따르면, 기능성 층은 적어도 하나의 투명 전기 전도성 산화물 (TCO)을 함유한다. 기능성 층의 물질의 굴절률은 바람직하게는 1.7 내지 2.3이다. 기능성 층은 바람직하게는 적어도 인듐 주석 산화물 (ITO)을 함유한다. 이렇게 해서, 본 발명에 따른 코팅의 방출률 및 굽힘성에 관해서 특히 좋은 결과가 얻어진다.
TCO, 특히 ITO를 기재로 하는 기능성 층은 부식에 민감하지 않고, 따라서, 판유리의 내부측 표면 상에 이용하기에 특히 적합하다.
인듐 주석 산화물은 바람직하게는 인듐 주석 산화물로 제조된 표적을 이용한 자기 증진 캐소드 스퍼터링을 이용해서 침착된다. 표적은 바람직하게는 75 중량% 내지 95 중량%의 인듐 산화물 및 5 중량% 내지 25 중량%의 주석 산화물 뿐만 아니라 제조 관련 혼합물을 함유한다. 인듐 주석 산화물의 침착은 바람직하게는 보호 기체 분위기, 예를 들어 아르곤 하에서 수행된다. 또한, 예를 들어 기능성 층의 균질성을 개선하기 위해, 소량의 산소가 보호 기체에 첨가될 수 있다.
별법으로, 표적은 바람직하게는 적어도 75 중량% 내지 95 중량%의 인듐 및 5 중량% 내지 25 중량%의 주석을 함유할 수 있다. 그래서, 인듐 주석 산화물의 침착은 바람직하게는 캐소드 스퍼터링 동안에 반응 기체로서 산소 첨가 하에 수행된다.
본 발명에 따른 판유리의 방출률은 기능성 층의 두께에 의해 영향받을 수 있다. 기능성 층의 두께는 바람직하게는 40 ㎚ 내지 200 ㎚, 특히 바람직하게는 90 ㎚ 내지 150 ㎚, 가장 특히 바람직하게는 100 ㎚ 내지 140 ㎚, 예를 들어 약 120 ㎚이다. 기능성 층의 두께의 이 범위에서, 특히 유리한 방출률 값 및 손상 없이 기계적 변형, 예컨대 굽힘 또는 예비응력 부여를 견디는 기능성 층의 특히 유리한 성능이 얻어진다.
그러나, 또한, 기능성 층은 다른 투명 전기 전도성 산화물, 예를 들어 플루오린-도핑된 주석 산화물 (SnO2:F), 안티모니-도핑된 주석 산화물 (SnO2:Sb), 혼합 인듐/아연 산화물 (IZO), 갈륨-도핑된 또는 알루미늄-도핑된 아연 산화물, 니오븀-도핑된 티타늄 산화물, 카드뮴 스타네이트 및/또는 아연 스타네이트를 포함할 수 있다.
열 복사선 반사 코팅은 본 발명에 따르면 적어도 2개의 유전 층, 즉, 하부 유전 층 및 상부 유전 층을 포함하는 층 스택이다. 하부 유전 층은 기능성 층 아래에 배열되고; 상부 유전 층은 기능성 층 위에 배열된다. 그러나, 또한, 본 발명에 따른 코팅은 기능성 층 아래에 및/또는 위에 배열될 수 있는 하나의 또는 다수의 추가의 유전 층을 포함할 수 있다.
유전 층은 예를 들어 규소 산화물 (SiO2), 규소 질화물 (Si3N4), 아연 산화물 (ZnO), 주석 산화물 (SnO2), 혼합 주석 아연 산화물 (SnZnOx), 지르코늄 산화물 (ZrO2), 하프늄 산화물 (HfO2), 탄탈럼 산화물 (Ta2O5), 텅스텐 산화물 (WO3), 니오븀 산화물 (Nb2O5) 또는 티타늄 산화물 (TiO2)을 함유할 수 있고, 예를 들어 5 ㎚ 내지 200 ㎚의 두께를 갖는다.
원리적으로, 암화 층 또는 암화 층들은 층 스택에 어느 위치에도 배열될 수 있다. 암화 층은 예를 들어 기능성 층과 기능성 층 위 및/또는 아래의 인접하는 유전 층 사이에 배열될 수 있다. 암화 층은 예를 들어 최하부 유전 층 아래에 배열될 수 있다. 암화 층은 예를 들어 최상부 유전 층 위에 배열될 수 있다. 또한, 암화 층은 인접하는 두 유전 층 사이에 배열될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시양태에서, 하부 유전 층은 접착 층이다. 접착 층은 기판 상에서 접착 층 위에 침착되는 층들의 내구적으로 안정한 접착을 초래한다. 기판이 유리로 제조되는 경우, 접착 층은 추가로 경계 영역에서 기판으로부터 기능성 층으로 확산하는 이온, 특히 나트륨 이온의 축적을 방지한다. 이러한 이온은 기능성 층의 부식 및 낮은 접착을 초래할 수 있다. 따라서, 접착 층은 기능성 층의 안정성에 관해서 특히 유리하다.
접착 층은 바람직하게는 적어도 하나의 산화물 또는 적어도 하나의 질화물을 함유한다. 접착 층은 특히 바람직하게는 규소 산화물 (SiO2) 또는 규소 질화물 (Si3N4)을 함유한다. 이것은 기판 상에서 접착 층 위에 침착되는 층들의 접착에 관해서 특히 유리하다. 규소 산화물은 도핑제, 예를 들어 플루오린, 탄소, 질소, 붕소, 인 및/또는 알루미늄을 가질 수 있다. 규소 산화물 또는 규소 질화물은 가장 특히 바람직하게는 알루미늄으로 도핑되거나 (SiO2:Al, Si3N4:Al), 붕소로 도핑되거나 (SiO2:B, Si3N4:B), 또는 지르코늄으로 도핑된다 (SiO2:Zr, Si3N4:Zr). 이것은 코팅의 광학적 성질 뿐만 아니라 예를 들어 캐소드 스퍼터링에 의한 접착 층의 형성 속도에 관해서 특히 유리하다.
규소 산화물 또는 규소 질화물은 바람직하게는 적어도 규소를 함유하는 표적을 이용한 자기 증진 캐소드 스퍼터링을 이용해서 침착된다. 알루미늄-도핑된 규소 산화물 또는 규소 질화물을 함유하는 접착 층의 침착을 위한 표적은 바람직하게는 80 중량% 내지 95 중량%의 규소 및 5 중량% 내지 20 중량%의 알루미늄 뿐만 아니라 제조 관련 혼합물을 함유한다. 붕소-도핑된 규소 산화물 또는 규소 질화물을 함유하는 접착 층의 침착을 위한 표적은 바람직하게는 99.9990 중량% 내지 99.9999 중량%의 규소 및 0.0001 중량% 내지 0.001 중량%의 붕소 뿐만 아니라 제조 관련 혼합물을 함유한다. 지르코늄-도핑된 규소 산화물 또는 규소 질화물을 함유하는 접착 층의 침착을 위한 표적은 바람직하게는 60 중량% 내지 90 중량%의 규소 및 10 중량% 내지 40 중량%의 지르코늄 뿐만 아니라 제조 관련 혼합물을 함유한다. 침착은 바람직하게는 캐소드 스퍼터링 동안에 규소 산화물의 경우에는 반응 기체로서 산소 첨가 하에서; 규소 질화물의 경우에는 반응 기체로서 질소 첨가 하에서 수행된다.
또한, 접착 층의 도핑은 접착 층 위에 형성되는 층들의 평활성을 개선할 수 있다. 층의 높은 평활성은 자동차 부문에서 본 발명에 따른 판유리를 이용하는 경우에 특히 유리하고, 그 이유는 이 수단에 의해서 판유리의 불쾌한 거친 표면 감촉이 피해지기 때문이다. 본 발명에 따른 판유리가 옆 창문 판유리일 때, 그것은 밀봉 립(sealing lip)에 대해 낮은 마찰로 움직일 수 있다.
그러나, 또한, 접착 층은 다른 물질, 예를 들어 다른 산화물, 예컨대 TiO2, Al2O3, Ta2O5, Y2O3, ZrO2, HfO2, WO3, Nb2O5, ZnO, SnO2 및/또는 ZnSnOx 또는 질화물, 예컨대 AlN을 함유할 수 있다.
접착 층은 바람직하게는 10 ㎚ 내지 150 ㎚, 특히 바람직하게는 15 ㎚ 내지 50 ㎚, 예를 들어 약 30 ㎚의 두께를 갖는다. 이것은 본 발명에 따른 코팅의 접착 및 기판으로부터 기능성 층으로의 이온 확산의 방지에 관해서 특히 유리하다.
본 발명의 바람직한 실시양태에서, 상부 유전 층은 판유리의 온도 처리 동안에 산소 확산을 통제하는 배리어 층이다. 이렇게 해서, 배리어 층에 의해서, 기능성 층의 산소 함량이 영향받을 수 있고 조정될 수 있으며, 이는 기능성 층의 성질에 한정된 영향을 미친다. 지나치게 낮은 산소 함량 및 지나치게 높은 산소 함량 둘 모두가 지나치게 높은 시트 저항 및 이렇게 해서, 지나치게 높은 방출률을 초래한다. 추가로, 지나치게 낮은 산소 함량은 한정되고 종종 바람직하지 않은 색 인상을 초래한다. 기능성 층의 지나치게 높은 산소 함량은 특히 기능성 층 내의 균열로서 입증되는 굽힘 동안에 기능성 층이 손상된다는 사실을 초래한다.
배리어 층의 두께는 바람직하게는 5 ㎚ 내지 50 ㎚, 특히 바람직하게는 7 ㎚ 내지 40 ㎚, 가장 특히 바람직하게는 10 ㎚ 내지 30 ㎚이다. 이렇게 해서, 시트 저항 및 굽힘성에 관해서 특히 좋은 결과가 얻어진다. 추가로, 이 두께를 갖는 배리어 층은 습한 분위기로부터의 부식으로부터 코팅을 유리하게 보호한다.
배리어 층의 물질의 굴절률은 바람직하게는 기능성 층의 물질의 굴절률 이상이다. 배리어 층의 물질의 굴절률은 특히 바람직하게는 1.7 내지 2.3이다. 이렇게 해서, 코팅의 유리한 광학적 성질, 특히 빛 반사 동안 미적 색 인상이 얻어진다.
배리어 층은 바람직하게는 적어도 하나의 산화물 및/또는 적어도 하나의 질화물을 함유한다. 산화물 및/또는 질화물은 화학양론적 또는 비화학양론적일 수 있다. 배리어 층은 특히 바람직하게는 적어도 규소 질화물 (Si3N4)을 함유한다. 이것은 기능성 층의 산화 및 판유리의 광학적 성질에 미치는 배리어 층의 영향에 관해서 특히 유리하다. 규소 질화물은 도핑제, 예를 들어 티타늄, 지르코늄, 붕소, 하프늄 및/또는 알루미늄을 가질 수 있다. 규소 질화물은 가장 특히 바람직하게는 알루미늄으로 도핑되거나 (Si3N4:Al) 또는 지르코늄으로 도핑되거나 (Si3N4:Zr) 또는 붕소로 도핑된다 (Si3N4:B). 이것은 코팅의 광학적 성질, 굽힘성, 평활성 및 방출률 뿐만 아니라 예를 들어 캐소드 스퍼터링에 의한 배리어 층의 형성 속도에 관해서 특히 유리하다.
규소 질화물은 바람직하게는 적어도 규소를 함유하는 표적을 이용한 자기 증진 캐소드 스퍼터링을 이용해서 침착된다. 알루미늄-도핑된 규소 질화물을 함유하는 배리어 층의 침착을 위한 표적은 바람직하게는 80 중량% 내지 95 중량%의 규소 및 5 중량% 내지 20 중량%의 알루미늄 뿐만 아니라 제조 관련 혼합물을 함유한다. 붕소-도핑된 규소 질화물을 함유하는 배리어 층의 침착을 위한 표적은 바람직하게는 99.9990 중량% 내지 99.9999 중량%의 규소 및 0.0001 중량% 내지 0.001 중량%의 붕소 뿐만 아니라 제조 관련 혼합물을 함유한다. 지르코늄-도핑된 규소 질화물을 함유하는 배리어 층의 침착을 위한 표적은 바람직하게는 60 중량% 내지 90 중량%의 규소 및 10 중량% 내지 40 중량%의 지르코늄 뿐만 아니라 제조 관련 혼합물을 함유한다. 규소 질화물의 침착은 바람직하게는 캐소드 스퍼터링 동안에 반응 기체로서 질소 첨가 하에서 수행된다.
본 발명에 따른 코팅의 형성 후 온도 처리 동안에, 규소 질화물은 부분 산화될 수 있다. 그래서, Si3N4로서 침착되는 배리어 층은 온도 처리 후 전형적으로 0 원자% 내지 35 원자%의 산소 함량을 갖는 SixNyOz를 함유한다.
그러나, 별법으로, 배리어 층은 또한 예를 들어 적어도 WO3, Nb2O5, Bi2O3, TiO2 및/또는 AlN을 함유할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시양태에서는, 유전성 반사방지 층이 상부 유전 층 위에 배열된다. 반사방지 층은 본 발명에 따른 판유리 상에서 가시 스펙트럼 범위에서의 반사를 감소시키고, 반사된 및 투과된 빛의 중성색 인상을 야기한다. 또한, 반사방지 층은 기능성 층의 내부식성을 개선한다. 반사방지 층의 물질은 바람직하게는 기능성 층의 물질의 굴절률보다 작은 굴절률을 갖는다. 반사방지 층의 물질의 굴절률은 바람직하게는 1.8 이하이다.
반사방지 층은 바람직하게는 적어도 하나의 산화물을 함유한다. 반사방지 층은 특히 바람직하게는 이산화규소 (SiO2)를 함유한다. 이것은 판유리의 광학적 성질 및 기능성 층의 내부식성에 관해서 특히 유리하다. 이산화규소는 도핑제, 예를 들어 플루오린, 탄소, 질소, 붕소, 인 및/또는 알루미늄을 가질 수 있다. 규소 산화물은 가장 특히 바람직하게는 알루미늄으로 도핑되거나 (SiO2:Al), 붕소로 도핑되거나 (SiO2:B), 또는 지르코늄으로 도핑된다 (SiO2:Zr).
그러나, 또한, 반사방지 층은 다른 물질, 예를 들어 다른 산화물, 예컨대 Al2O3를 함유할 수 있다.
반사방지 층은 바람직하게는 20 ㎚ 내지 150 ㎚, 특히 바람직하게는 40 ㎚ 내지 100 ㎚의 두께를 갖는다. 이것은 낮은 반사 및 높은 가시광 투과율 뿐만 아니라 판유리의 선택된 색 인상 및 기능성 층의 내부식성에 관해서 특히 유리하다.
특히 유리한 실시양태에서, 기판 상의 열 복사선 반사 코팅은 적어도
- 하부 유전 층으로서 하나의 접착 층,
- 접착 층 위에, 하나의 기능성 층,
- 기능성 층 위에, 상부 유전 층으로서 산소 확산을 통제하기 위한 하나의 배리어 층, 및
- 배리어 층 위에, 하나의 반사방지 층
을 포함한다.
암화 층 또는 다수의 암화 층들은 바람직하게는 접착 층 아래에 (즉, 기판과 접착 층 사이에), 접착 층과 기능성 층 사이에, 기능성 층과 배리어 층 사이에, 및/또는 배리어 층과 반사방지 층 사이에 배열된다.
상부 유전 층 위에 (및 임의로, 반사방지 층 위에), 커버 층이 배열될 수 있다. 커버 층은 바람직하게는 본 발명에 따른 코팅의 최상부 층이다. 커버 층은 본 발명에 따른 코팅을 손상으로부터, 특히 긁힘으로부터 보호한다. 커버 층은 바람직하게는 적어도 하나의 산화물, 특히 바람직하게는 적어도 티타늄 산화물 (TiO2), 지르코늄 산화물 (ZrO2), 하프늄 산화물 (HfO2), 니오븀 산화물 (Nb2O5), 탄탈럼 산화물 (Ta2O5), 크로뮴 산화물 (Cr2O3), 텅스텐 산화물 (WO3), 및/또는 세륨 산화물 (CeO2)을 함유한다. 커버 층의 두께는 바람직하게는 2 ㎚ 내지 50 ㎚, 특히 바람직하게는 5 ㎚ 내지 20 ㎚이다. 이렇게 해서, 내긁힘성에 대해 특히 좋은 결과가 얻어진다. 또한, 암화 층은 상부 유전 층과 커버 층 사이에 또는 반사방지 층과 커버 층 사이에 배열될 수 있다.
하부 유전 층 아래에, 또한, 추가의 유전성 접착촉진층이 바람직하게는 2 ㎚ 내지 15 ㎚의 두께로 배열될 수 있다. 예를 들어, 접착 층은 SiO2를 함유할 수 있고, 추가의 접착촉진층은 적어도 하나의 산화물, 예컨대 TiO2, Al2O3, Ta2O5, Y2O3, ZnO 및/또는 ZnSnOx, 또는 질화물, 예컨대 Si3N4 또는 AlN을 함유할 수 있다. 유리하게는, 본 발명에 따른 코팅의 접착은 접착촉진층에 의해 추가로 개선될 수 있다. 게다가, 접착촉진층은 색값 및 투과율 또는 반사의 개선된 조정을 가능하게 한다.
기판은 바람직하게는 유리, 특히 바람직하게는 편평 유리, 플로트 유리, 석영 유리, 보로실리케이트 유리, 소다석회 유리, 또는 플라스틱, 바람직하게는 강직성 플라스틱, 특히 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카르보네이트, 폴리메틸 메타크릴레이트, 폴리스티렌, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리비닐 클로라이드 및/또는 그의 혼합물을 함유한다.
본 발명의 유리한 실시양태에서, 기판은 틴팅되고/틴팅되거나 착색된다. 틴팅된 또는 착색된 기판과 본 발명에 따른 코팅의 조합을 통해, 특히, 가시 스펙트럼 범위에서 감소된 투과율을 갖는 개선된 열 복사선 반사 판유리가 실현될 수 있다. 이러한 판유리는 예를 들어 자동차 부문에서 옆 창문, 뒷 창문, 또는 지붕 패널로서 이용될 수 있고, 미적 또는 열적 이유에서 바람직할 수 있다. 투과율을 감소시키는 열 복사선 반사 코팅을 갖는 맑은 기판 (예를 들어, 크로뮴을 기재로 함)에 비해, 본 발명의 판유리에서는 존재하는 어떠한 층 결함도 덜 심란하게 눈에 띈다. 추가로, 틴팅된 기판을 통한 투과율이 본 발명에 따른 코팅에 의해 추가로 감소되고, 이렇게 함으로써 매우 낮은 빛 투과율을 갖는 판유리가 실현될 수 있다. 기판은 바람직하게는 40% 미만, 특히 바람직하게는 20% 미만, 가장 특히 바람직하게는 15% 미만, 예를 들어 약 10%의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 갖는다. 그러나, 원리적으로, 기판은 더 높은 투과율, 예를 들어 70% 이상의 투과율을 가질 수 있다. 이렇게 해서, 본 발명에 따른 코팅에 의해서 약간의 틴팅을 얻을 수 있다.
특히 유리한 실시양태에서, 기판은 15% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 가지고, 열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리는 10% 미만의 투과율을 갖는다. 가장 특히 유리한 실시양태에서, 기판은 10% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 가지고, 열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리는 7% 미만, 특히 6% 미만의 투과율을 갖는다. 이렇게 해서, 특히 어두운 판유리가 실현될 수 있다.
기판의 두께는 폭넓게 다양할 수 있고, 이렇게 해서, 개개의 경우의 요건에 이상적으로 맞출 수 있다. 바람직하게는, 1.0 ㎜ 내지 25 ㎜, 보다 바람직하게는 1.4 ㎜ 내지 4.9 ㎜의 표준 두께를 갖는 판유리가 이용된다. 기판의 크기는 폭넓게 다양할 수 있고, 본 발명에 따른 용도에 의해 결정된다. 기판은 예를 들어 자동차 엔지니어링 및 건축 부문에서 200 ㎠ 내지 20 ㎡의 관례적인 면적을 갖는다.
기판은 편평할 수 있거나, 또는 또한, 하나의 또는 다수의 공간 방향에서 약간 또는 크게 굴곡될 수 있다. 편평한 판유리는 예를 들어 건축 부문에서의 글레이징에서 또는 버스, 열차 또는 트랙터의 대면적 글레이징에서 발견된다. 굴곡된 판유리는 예를 들어 자동차 부문의 글레이징에서 발견되고, 전형적인 곡률반경은 약 10 ㎝ 내지 약 40 m의 범위이다. 곡률반경은 전체 판유리에 걸쳐 일정할 필요는 없고; 하나의 판유리에는 크게 굴곡된 영역 및 덜 크게 굴곡된 영역이 존재할 수 있다. 편평한 기판에 본 발명에 따른 코팅이 제공될 수 있다는 것 및 전형적으로 예를 들어 500℃ 내지 700℃의 승온에서 수행되는 하류 굽힘 공정 동안에 코팅이 손상되지 않는다는 것이 본 발명의 특별한 이점이다. 원리적으로, 물론, 코팅은 또한 굴곡된 기판에도 형성될 수 있다. 기판의 3차원 모양은 바람직하게는 음영 대역을 가지지 않고, 이렇게 해서 기판은 예를 들어 캐소드 스퍼터링에 의해 코팅될 수 있다.
본 발명에 따른 코팅은 기판의 표면 상에 그의 전체 면적에 걸쳐서 형성될 수 있다. 그러나, 또한, 기판의 표면은 무코팅 영역을 가질 수 있다. 기판의 표면은 예를 들어 주변을 둘러싸는 무코팅 가장자리 영역 및/또는 데이터 전송창 또는 통신창으로 역할하는 무코팅 영역을 가질 수 있다.
또한, 기판에는 두 표면 모두 상에 각 경우에서 본 발명에 따른 열 복사선 반사 코팅이 제공될 수 있다.
본 발명의 유리한 실시양태에서는, 기판이 적어도 하나의 열가소성 중간 층을 통해 커버 판유리에 결합되어 복합 판유리를 형성한다. 커버 판유리는 바람직하게는 복합 판유리의 설치된 위치에서 외부 환경에 향하도록 의도되고, 반면, 기판은 내부에 향한다. 본 발명에 따른 코팅은 바람직하게는 커버 판유리로부터 먼 쪽을 향하는 기판의 표면 상에 배열된다.
커버 판유리는 바람직하게는 유리, 특히 바람직하게는 편평 유리, 플로트 유리, 석영 유리, 보로실리케이트 유리, 소다석회 유리, 또는 플라스틱, 바람직하게는 강직성 플라스틱, 특히 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카르보네이트, 폴리메틸 메타크릴레이트, 폴리스티렌, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리비닐 클로라이드 및/또는 그의 혼합물을 함유한다. 커버 판유리는 바람직하게는 1.0 ㎜ 내지 25 ㎜, 특히 바람직하게는 1.4 ㎜ 내지 4.9 ㎜의 두께를 갖는다.
열가소성 중간 층은 바람직하게는 열가소성 플라스틱, 예를 들어 폴리비닐 부티랄 (PVB), 에틸렌 비닐 아세테이트 (EVA), 폴리우레탄 (PU), 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (PET) 또는 그의 다수의 층을 함유하고, 바람직하게는 0.3 ㎜ 내지 0.9 ㎜의 두께를 갖는다.
유리한 실시양태에서, 복합 판유리는 25% 미만, 바람직하게는 15% 미만, 특히 바람직하게는 10% 미만, 가장 특히 바람직하게는 8% 미만, 특히, 6% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 갖는다. 기판, 커버 판유리 및/또는 열가소성 중간 층은 바람직하게는 틴팅되고/틴팅되거나 착색된다. 커버 판유리는 바람직하게는 40% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 가지고; 열가소성 중간 층은 바람직하게는 20% 내지 70%의 투과율을 갖는다.
특히 유리한 실시양태에서, 본 발명에 따른 코팅은 내부에 향하는 기판의 표면 상에 형성되고, 기판은 내부에 향하는 복합 판유리의 판유리를 구성한다. 태양 보호 코팅이 커버 판유리에 향하는 기판의 표면 상에, 기판에 향하는 커버 판유리의 표면 상에, 또는 열가소성 중간 층 내의 캐리어 필름 상에 형성된다. 태양 보호 코팅은 거기에서 부식 및 기계적 손상으로부터 유리하게 보호된다. 태양 보호 코팅은 바람직하게는 5 ㎚ 내지 25 ㎚의 두께를 갖는 은 또는 은 함유 합금을 기재로 하는 적어도 하나의 금속성 층을 포함한다. 10 ㎚ 내지 100 ㎚의 두께를 갖는 유전 층에 의해 서로 분리된 2개 또는 3개의 기능성 층을 갖는 경우에 특히 좋은 결과가 얻어진다. 태양 보호 코팅은 가시 스펙트럼 범위 밖의, 특히 적외 스펙트럼 범위의 입사 일광의 분율을 반사한다. 태양 보호 코팅에 의해서, 직사 일광에 의한 내부의 가열이 감소된다. 추가로, 태양 보호 코팅은 태양 보호 코팅 뒤에 배열되는 복합 판유리의 요소의 가열을 감소시키고, 이렇게 해서, 복합 판유리에 의해 방출되는 열 복사선을 감소시킨다. 열 복사선의 반사를 위한 본 발명에 따른 코팅과 태양 보호 코팅의 조합을 통해, 내부에서의 열 쾌적성이 유리하게 추가로 개선된다.
예를 들어, 또한, 기판은 스페이서를 통해 또 다른 판유리에 결합되어 단열 글레이징 유닛을 형성할 수 있다. 또한, 기판은 열가소성 중간 층 및/또는 스페이서를 통해 하나 초과의 다른 판유리에 결합될 수 있다.
추가로, 본 발명은 기판 상에 적어도
(a) 하나의 하부 유전 층,
(b) 적어도 하나의 투명 전기 전도성 산화물 (TCO)을 함유하는 하나의 기능성 층,
(c) 하나의 상부 유전 층
을 연속적으로 형성하고,
여기서, 또한, 방법 단계 (a) 전에, 방법 단계 (a)와 (b) 사이에, 방법 단계 (b)와 (c) 사이에, 및/또는 방법 단계 (c) 후에, 1900℃ 초과의 융점 및 500 μohm*㎝ 미만의 전기 비저항을 갖는 적어도 하나의 금속, 적어도 하나의 금속 질화물 및/또는 적어도 하나의 금속 탄화물을 함유하는 적어도 하나의 암화 층을 형성하는,
열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리의 제조 방법을 포함한다.
바람직하게는, 상부 유전 층 다음에 반사방지 층이 형성된다. 상부 유전 층 및 임의로, 반사방지 층 다음에 커버 층이 형성될 수 있다.
원리적으로, 각 층 형성 전에 및/또는 후에 암화 층이 형성될 수 있다. 하나의 또는 심지어 다수의 암화 층이 형성될 수 있다.
개개의 층은 알려진 그 자체의 방법에 의해, 바람직하게는 자기 증진 캐소드 스퍼터링에 의해 침착된다. 이것은 기판의 간단하고 빠르고 경제적이고 균일한 코팅에 관해서 특히 유리하다. 캐소드 스퍼터링은 예를 들어 아르곤의 보호 기체 분위기에서 또는 예를 들어 산소, 탄소 (예를 들어, 메탄) 또는 질소 첨가에 의한 반응성 기체 분위기에서 수행된다.
그러나, 개개의 층은 또한 관련 분야의 기술자에게 알려진 다른 방법에 의해, 예를 들어 증착 또는 화학 증착 (CVD)에 의해, 원자층 침착 (ALD)에 의해, 플라즈마 증진 화학 증착 (PECVD)에 의해, 또는 습식 화학 방법에 의해 형성될 수 있다.
바람직하게는, 열 복사선 반사 코팅 형성 후, 판유리는 온도 처리를 거친다. 본 발명에 따른 코팅을 갖는 기판은 적어도 200℃, 특히 바람직하게는 적어도 300℃의 온도로 가열된다. 원리적으로, 기능성 층의 결정도는 온도 처리에 의해 개선된다. 이렇게 해서, 특히, 판유리의 열 복사선에 대한 반사 성질 뿐만 아니라 광학적 성질이 상당히 개선된다. 본 발명에 따른 암화 층은 온도 처리 동안에 손상되지 않는다. 특히, 암화 층은 온도 처리 동안에 빛 투과율 증가를 야기하는 정도로 산화되지 않는다.
본 발명에 따른 방법의 유리한 실시양태에서는, 온도 처리가 굽힘 공정 동안에 발생한다. 본 발명에 따른 코팅을 갖는 기판을 가열된 상태에서 하나의 또는 다수의 공간 방향으로 굽힌다. 기판이 가열되는 온도는 바람직하게는 500℃ 내지 700℃이다. 본 발명에 따른 열 복사선 반사를 위한 코팅이 이러한 굽힘 공정을 손상 없이 거칠 수 있다는 것이 본 발명에 따른 열 복사선 반사를 위한 코팅의 특별한 이점이다. 본 발명에 따른 암화 층은 굽힘 공정 동안에 예를 들어 균열에 의해 손상되지 않는다.
물론, 굽힘 공정 전 또는 후에 다른 온도 처리 단계가 발생할 수 있다. 별법으로, 또한, 온도 처리는 레이저 복사선을 이용해서도 수행될 수 있다.
유리한 실시양태에서는, 온도 처리 후 및 임의로, 굽힘 후, 기판에 예비응력 부여 또는 부분 예비응력 부여가 제공될 수 있다. 이를 위해, 기판은 알려진 그 자체 방법으로 적당히 냉각된다. 예비응력이 부여된 기판은 전형적으로 적어도 69 MPa의 표면 압축 응력을 갖는다. 부분 예비응력이 부여된 기판은 전형적으로 24 MPa 내지 52 MPa의 표면 압축 응력을 갖는다. 예비응력이 부여된 기판은 단일 판유리 안전 유리로서, 예를 들어 자동차의 옆 창문 또는 뒷 창문으로서 적당하다.
본 발명의 유리한 실시양태에서, 온도 처리 후 및 임의로, 굽힘 공정 및/또는 예비응력 부여 공정 후, 기판은 적어도 하나의 열가소성 중간 층을 통해 커버 판유리에 결합되어 복합 판유리를 형성한다. 기판은 바람직하게는 복합체에서 본 발명에 따른 코팅이 제공된 표면이 열가소성 중간 층 및 커버 판유리로부터 먼 쪽에 향하도록 배열된다.
추가로, 본 발명은 건물에서, 특히 출입구 또는 창문 영역에서 판유리로서 또는 판유리의 성분으로서, 특히 단열 글레이징 유닛 또는 복합 판유리의 성분으로서, 방화문으로서, 가구 및 장치, 특히 냉각 또는 가열 기능을 갖는 전자 장치에서 빌트인 성분으로서, 예를 들어 오븐 문 또는 냉장고 문으로서, 또는 육상, 공중 또는 수상 이동을 위한 수송 수단에서, 특히, 열차, 선박 및 자동차에서, 예를 들어 뒷 창문, 옆 창문 및/또는 지붕 패널로서 열 복사선 반사 코팅을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 용도를 포함한다.
게다가, 본 발명은 열 복사선 반사 코팅에서 또는 본 발명에 따른 열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리에서 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 감소시키기 위한 본 발명에 따른 암화 층의 용도를 포함한다.
다음에서는 도면 및 예시 실시양태와 관련해서 본 발명을 상세히 설명한다. 도면은 개략적 표현이고, 비율에 충실하지 않는다. 도면은 본 발명을 결코 제한하지 않는다.
도면은 하기와 같다:
도 1은 열 복사선 반사 코팅을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 실시양태의 단면도이다.
도 2는 열 복사선 반사 코팅을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 또 다른 실시양태의 단면도이다.
도 3은 열 복사선 반사 코팅을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 또 다른 실시양태의 단면도이다.
도 4는 열 복사선 반사 코팅을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 또 다른 실시양태의 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 판유리를 포함하는 복합 판유리의 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 방법의 실시양태의 상세한 흐름도이다.
도 1은 기판(1) 및 열 복사선 반사 코팅(2)(또는 저-E 코팅이라고도 부름)을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 실시양태의 단면도를 묘사한다. 기판(1)은 소다석회 유리를 함유하고, 2.9 ㎜의 두께를 갖는다. 코팅(2)은 하부 유전 층(3), 기능성 층(4), 암화 층(10) 및 상부 기능성 층(5)을 포함한다. 층들은 기판(1)으로부터 거리가 증가하는 나타낸 순서로 배열된다.
기능성 층(4)은 인듐 주석 산화물 (ITO)로 제조되고, 약 100 ㎚의 두께를 갖는다. 하부 유전 층(3) 및 상부 유전 층(5)은 관련 분야 기술자에게 알려진 그 자체 방식으로 구성될 수 있고, 예를 들어 규소 산화물 (SiO2) 또는 규소 질화물 (Si3N4)로 제조될 수 있고, 약 100 ㎚의 두께를 갖는다.
암화 층(10)은 티타늄 질화물 (TiNx)로 제조되고, 약 20 ㎚의 두께를 갖는다. 암화 층(10)은 가시 스펙트럼 범위에서의 코팅(2)의 투과율 감소를 달성한다.
별법으로, 또한, 암화 층(10)은 하부 유전 층(3)과 기능성 층(4) 사이에, 또는 기판(1)과 하부 유전 층(3) 사이에 배열될 수 있다. 별법으로, 코팅(2)은 다수의 암화 층(10)을 가질 수 있다.
암화 층(10)에 의해서, 코팅(2)의 빛 투과율이 감소된다. 기판(1)이 틴팅된 경우, 코팅(2)을 통한 빛 투과율이 추가로 감소된다. 따라서, 예를 들어 10% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 갖는 매우 어두운 판유리를 실현하는 것이 가능하다. 이러한 낮은 투과율을 갖는 판유리는 틴팅된 기판 단독에 의해서는 제조하기 어렵고, 그 이유는 전형적으로 이러한 진한 틴팅을 갖는 유리가 상업적으로 입수가능하지 않기 때문이다. 맑은 기판 상의 투과율을 감소시키는 기능성 층 (예를 들어 니켈, 크로뮴, 지르코늄, 탄탈럼 또는 니오븀을 기재로 함)을 갖는 코팅과 대조적으로, 틴팅된 기판(1) 상의 본 발명에 따른 코팅(2)의 제조 관련 층 결함은 더 낮은 대비를 갖는다. 따라서, 층 결함이 관찰자에게 덜 심란하게 눈에 띈다. 이것은 본 발명의 주된 이점이다.
도 2는 기판(1) 및 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 또 다른 실시양태의 단면도를 묘사한다. 기판(1)은 도 1에서처럼 구성된다. 코팅(2)은 하부 유전 층(3), 암화 층(10), 기능성 층(4), 상부 기능성 층(5) 및 반사방지 층(6)을 포함한다. 층들은 기판(1)으로부터 거리가 증가하는 나타낸 순서로 배열된다.
하부 유전 층(3)은 알루미늄-도핑된 이산화규소 (SiO2:Al)로 제조된 접착 층이고, 약 30 ㎚의 두께를 갖는다. 기능성 층(4)은 인듐 주석 산화물 (ITO)로 제조되고, 약 120 ㎚의 두께를 갖는다. 상부 유전 층(5)은 판유리의 온도 처리 동안에 산소 확산을 통제하기 위한 배리어 층이다. 배리어 층(5)은 알루미늄-도핑된 규소 질화물 (Si3N4:Al)로 제조되고, 약 10 ㎚의 두께를 갖는다. 반사방지 층(6)은 알루미늄-도핑된 이산화규소 (SiO2:Al)로 제조되고, 약 40 ㎚의 두께를 갖는다.
하부 유전 층(3)과 기능성 층(4) 사이의 암화 층(10)은 티타늄 질화물 (TiNx)로 제조되고, 약 20 ㎚의 두께를 갖는다. 암화 층(10)은 가시 스펙트럼 범위에서의 코팅(2)의 투과율 감소를 달성한다.
별법으로, 또한, 암화 층(10)은 상이한 위치에, 예를 들어 기능성 층(4)과 상부 유전 층(5) 사이에, 상부 유전 층(5)과 반사방지 층(6) 사이에, 또는 기판(1)과 하부 유전 층(3) 사이에 형성될 수 있다. 별법으로, 또한, 코팅(2)은 다수의 암화 층(10)을 가질 수 있다.
도 3은 기판(1) 및 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 또 다른 실시양태의 단면도를 묘사한다. 코팅(2)은 도 2에서처럼 하부 유전 층(3)(접착 층), 기능성 층(4), 상부 유전 층(5)(배리어 층) 및 반사방지 층(6)을 포함한다. 층(3),(4),(5) 및 (6)은 도 2에서처럼 구성된다. 게다가, 코팅(2)은 반사방지 층(6) 위에 커버 층(7)을 포함한다. 커버 층(7)은 예를 들어 Ta2O5 또는 TiO2를 함유하고, 10 ㎚의 두께를 갖는다. 커버 층은 기계적 손상으로부터, 특히 긁힘으로써 코팅(2)을 유리하게 보호한다.
추가로, 코팅(2)은 3개의 암화 층(10)을 포함한다. 제1 암화 층(10)은 기판(1)과 하부 유전 층(3) 사이에 배열된다. 제2 암화 층(10)은 하부 유전 층(3)과 기능성 층(4) 사이에 배열된다. 제3 암화 층(10)은 기능성 층(4)과 상부 유전 층(5) 사이에 배열된다. 암화 층(10)은 TiNx로 제조되고, 10 ㎚ 내지 15 ㎚의 두께를 갖는다. 본 발명에 따른 3개의 암화 층(10)에 의해서, 빛 투과율이 단일의 암화 층(10)에 의해서보다 더 크게 감소하고, 유리한 광학적 성질이 지나치게 두꺼운 암화 층(10)의 결과로 상실되지 않는다.
도 4는 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 단면도를 묘사한다. 판유리는 자동차의 옆 창문으로서 의도된다. 기판(1)은 3.15 ㎜의 두께를 갖는다. 기판(1)은 틴팅된 소다석회 유리로 제조되고, 가시 스펙트럼 범위에서 약 14%의 투과율을 갖는다. 자동차 부문의 옆 창문에 대해 관례적으로 행하는 바와 같이, 판유리는 열에 의해 예비응력이 부여되고 굽힌다.
코팅(2)은 기판(1)의 내부측 표면 상에 형성된다. 거기에서, 차량 내부에서의 열 쾌적성에 대한 코팅(2)의 유리한 효과가 특히 두드러진다. 코팅(2)은 판유리를 통해 입사하는 일광의 일부를 특히 적외 범위에서 반사한다. 게다가, 더운 판유리로부터 차량 내부 방향으로 방출되는 열 복사선이 코팅(2)의 저방출률의 결과로 적어도 부분적으로 억제된다. 이렇게 해서, 여름철에는 내부가 덜 강하게 가열된다. 겨울철에는, 내부로부터 나오는 열 복사선이 반사된다. 따라서, 차가운 판유리가 불쾌한 방열판으로서 덜 강하게 작용한다. 게다가, 기후 조절 시스템의 필요한 가열 성능이 감소할 수 있고, 이 때문에 상당한 에너지 절약을 하게 된다.
코팅(2)은 바람직하게는 기판(1)의 굽힘 전에 편평한 기판(1) 상에 형성된다. 편평한 기판을 코팅하는 것은 굴곡된 기판을 코팅하는 것보다 기술적으로 상당히 간단하다. 그 다음, 기판(1)은 500℃ 내지 700℃, 예를 들어 640℃의 온도로 가열된다. 한편으로, 온도 처리는 기판(1)을 굽히는 데 필요하다. 다른 한편으로, 온도 처리에 의해서 코팅(2)의 방출률이 적당하게 개선된다. 배리어 층으로서 실시되는 상부 유전 층(5)은 온도 처리 동안 기능성 층(4)의 산화 정도에 영향을 미친다. 온도 처리 후 기능성 층(4)의 산소 함량은 코팅(2)이 굽힘 공정을 거칠 수 있도록 충분히 낮다. 지나치게 높은 산소 함량은 굽힘 동안에 기능성 층(4)에 손상을 초래할 것이다. 다른 한편, 온도 처리 후 기능성 층(4)의 산소 함량은 저방출률 얻기에 충분히 높다.
코팅(2)은 도 2에서처럼 구성된다. 판유리를 통한 빛 투과율이 암화 층(10)에 의해 추가로 감소된다. 이렇게 해서, 코팅(2)을 갖는 판유리는 10% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 갖는다. 열적 및/또는 미적 이유에서 이러한 어두운 (뒷좌석) 옆 창문이 바람직할 수 있다. 본 발명에 따른 암화 층(10)은 그의 내부식성 및 내산화성 때문에 온도 처리 및 굽힘 공정을 손상 없이 견디기에 적합하다.
도 5는 복합 판유리의 일부로서 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 본 발명에 따른 판유리의 단면도를 묘사한다. 기판(1)은 열가소성 중간 층(9)을 통해 커버 판유리(8)에 결합된다. 복합 판유리는 자동차의 지붕 패널로서 의도된다. 복합 판유리는 자동차 부문의 판유리의 관례대로 굴곡된다. 복합 판유리의 설치된 위치에서, 커버 판유리(8)는 외부 환경에 향하고, 기판(1)은 차량 내부에 향한다. 커버 판유리(8) 및 열가소성 중간 층(9)으로부터 먼 쪽을 향하는 기판(1)의 내부측 표면에 본 발명에 따른 코팅(2)이 제공된다. 기판(1) 및 커버 판유리(8)는 소다석회 유리로 제조되고, 각 경우에서 2.1 ㎜의 두께를 갖는다. 열가소성 중간 층(9)은 폴리비닐 부티랄 (PVB)을 함유하고, 0.76 ㎜의 두께를 갖는다.
기판(1), 커버 판유리(8) 및 열가소성 중간 층(9)은 틴팅된다. 코팅(2)에 의해서, 빛 투과율이 추가로 감소된다. 이렇게 해서, 매우 어두운 복합 판유리가 실현될 수 있다.
도 6은 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 판유리를 제조하는 본 발명에 따른 방법의 예시 실시양태의 흐름도를 묘사한다.
실시예
본 발명에 따라서 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 판유리를 제조하였다. 실시예 1 내지 8의 이용되는 물질 및 층 두께와 함께 정확한 층 순서를 표 2 및 표 3에 제시하였다. 기판(1)은 틴팅된 소다석회 유리로 제조되었고, 25%의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 가졌다. 암화 층(10)은 티타늄 질화물을 함유하였다. 티타늄 질화물은 (고체를 기준으로) 2950℃의 융점 및 20 μohm*㎝의 전기 비저항을 가졌다. 실시예들은 암화 층(10)의 수 및 두께 뿐만 아니라 위치 면에서 상이하였다.
모든 실시예에서, 기판(1)은 처음에 편평하였고, 캐소드 스퍼터링에 의해 본 발명에 따른 코팅(2)을 제공하였다. 그 다음, 코팅(2)을 갖는 기판(1)은 10 분 동안 640℃의 온도 처리를 거쳤고, 그 과정에서 굽혀서 약 30 ㎝의 곡률반경을 제공하였다.
Figure pct00002
Figure pct00003
시험 판유리에 대한 관찰을 표 6에 요약하였다. R은 코팅(2)의 시트 저항이다. TL은 판유리의 가시광 투과율을 나타낸다. RL은 판유리의 가시광 반사율을 나타낸다. AL은 판유리의 가시광 흡수를 나타낸다. 코팅의 광학적 상태는 특히 흐림 ("탁도") 뿐만 아니라 균열에 의해 영향받는다.
암화 층(10)을 갖는 본 발명에 따른 코팅(2)에 의해서, 판유리의 투과율이 추가로 감소하였다. 판유리의 굽힘 동안의 온도 처리는 시트 저항 감소를 야기하였고, 이렇게 해서 감소된 방출률을 초래하였다. 암화 층(10)은 산화되지 않았고, 산화가 일어난다면 투과율 TL의 상당한 증가를 야기할 것이다. 또한, 굽힘 공정은 코팅의 손상을 초래하지 않았고, 이렇게 해서, 모든 경우에서 층의 광학적 상태가 좋았다.
비교 실시예
비교 실시예는 열 복사선 반사 코팅(2)이 본 발명에 따른 실시예와 상이하였다. 실시예에서처럼, 코팅은 하부 유전 층(3), 기능성 층(4), 상부 유전 층(5) 및 반사방지 층(6)을 포함하였다. 그러나, 코팅은 본 발명에 따른 암화 층(10)을 포함하지 않았다. 대신, 각 코팅은 암화 층을 위한 본 발명에 따른 요건을 만족시키지 않는 물질로 제조된 2개의 층을 가졌다 (상응하는 융점 TS 및 비전기전도도 ρ를 요약한 표 5 참조).
비교 실시예 1 내지 3의 이용된 물질 및 층 두께와 함께 정확한 층 순서를 표 4에 제시하였다. 시험 판유리에 대한 관찰을 표 6에 요약하였다.
Figure pct00004
Figure pct00005
Figure pct00006
NiCr, Ti 또는 NiCrN으로 제조된 본 발명에 따르지 않는 암화 층은 온도 처리와 굽힘 공정에 의해 손상되었고, 이렇게 해서 모든 경우에서 코팅의 광학적 상태가 자동차 부문의 고객에게 허용되지 않았다. 추가로, 특히, Ti로 제조된 흡수 층은 충분한 내산화성을 가지지 않고, 따라서 그것은 온도 처리 후 상당히 증가된 투과율 TL을 가졌다.
표 6으로부터, 게다가, 특히 투과율이 암화 층(10)의 두께에 의해 영향받을 수 있다는 것을 식별할 수 있다. 이것은 암화 층(10)의 두께의 바람직한 범위를 얻는 결과를 내놓았다.
본 발명에 따른 암화 층(10)에 의해서, 열 복사선 반사 코팅의 투과율 감소가 달성되었다. 암화 층(10)은 손상 없이 온도 처리 및 굽힘 공정을 견디기에 충분히 내부식성 및 내산화성이었다. 이 결과는 예상 밖이었고, 관련 분야 기술자에게 놀라운 것이었다.
1: 기판
2: 열 복사선 반사 코팅
3: 하부 유전 층
4: 기능성 층
5: 상부 유전 층
6: 반사방지 층
7: 커버 층
8: 커버 판유리
9: 열가소성 중간 층
10: 암화 층

Claims (16)

  1. 기판(1) 및 기판(1)의 표면 중 적어도 하나 상의 적어도 하나의 열 복사선 반사 코팅(2)을 포함하고, 여기서 코팅(2)은, 기판(1)에서부터 시작하여, 적어도
    - 하나의 하부 유전 층(3),
    - 적어도 하나의 투명 전기 전도성 산화물을 함유하는 하나의 기능성 층(4), 및
    - 하나의 상부 유전 층(5)
    을 포함하고,
    여기서, 하부 유전 층(3) 아래에, 하부 유전 층(3)과 기능성 층(4) 사이에, 기능성 층(4)과 상부 유전 층(5) 사이에, 및/또는 상부 유전 층(5) 위에 적어도 하나의 암화 층(10)이 배열되고,
    여기서, 암화 층(10)이 1900℃ 초과의 융점 및 500 μohm*㎝ 미만의 전기 비저항을 갖는 적어도 하나의 금속, 적어도 하나의 금속 질화물 및/또는 적어도 하나의 금속 탄화물을 함유하고,
    여기서, 암화 층(10)의 두께가 2 ㎚ 내지 50 ㎚인
    열 복사선 반사 코팅을 갖는 판유리.
  2. 제1항에 있어서, 코팅(2)이 기판(1)의 내부측 표면 상에 배열된 것인, 외부 환경으로부터 내부 공간을 분리하기 위해 제공되는 판유리.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 25% 미만, 바람직하게는 15% 미만, 특히 바람직하게는 10% 미만, 가장 특히 바람직하게는 8% 미만, 특히, 6% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 갖는 판유리.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 기판(1)이 15% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 가지고, 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 판유리가 10% 미만의 투과율을 가지며, 바람직하게는 기판(1)이 10% 미만의 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 가지고, 열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 판유리가 7% 미만, 특히 6% 미만의 투과율을 갖는 것인 판유리.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 암화 층(10)의 두께가 5 ㎚ 내지 40 ㎚인 판유리.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 암화 층(10)의 금속, 금속 질화물 또는 금속 탄화물이 주기율표의 IV B, V B 및 VI B 족으로부터 선택된 것인 판유리.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 금속, 금속 질화물 및/또는 금속 탄화물의 융점이 2200℃ 초과, 바람직하게는 2500℃ 초과이고, 금속, 금속 질화물 및/또는 금속 탄화물의 전기 비저항이 바람직하게는 200 μohm*㎝ 미만인 판유리.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 기능성 층(4)이 적어도 플루오린-도핑된 주석 산화물, 안티모니-도핑된 주석 산화물, 및/또는 인듐 주석 산화물을 함유하고, 바람직하게는 40 ㎚ 내지 200 ㎚, 특히 바람직하게는 90 ㎚ 내지 150 ㎚의 두께를 갖는 것인 판유리.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상부 유전 층(5)이 1.7 내지 2.3의 굴절률을 갖는 물질, 바람직하게는 적어도 하나의 산화물 및/또는 적어도 하나의 질화물, 특히 바람직하게는 규소 질화물, 가장 특히 바람직하게는 알루미늄-도핑된 규소 질화물, 지르코늄-도핑된 규소 질화물 또는 붕소-도핑된 규소 질화물을 함유하고, 바람직하게는 5 ㎚ 내지 50 ㎚의 두께를 갖는 것인 판유리.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 하부 유전 층(3)이 적어도 하나의 산화물 또는 질화물, 바람직하게는 규소 산화물 또는 규소 질화물, 특히 바람직하게는 알루미늄-도핑된 이산화규소, 지르코늄-도핑된 이산화규소 또는 붕소-도핑된 이산화규소를 함유하고, 바람직하게는 10 ㎚ 내지 150 ㎚, 특히 바람직하게는 15 ㎚ 내지 50 ㎚의 두께를 갖는 것인 판유리.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상부 유전 층(5) 위에 반사방지 층(6)이 배열되고, 반사방지 층이 바람직하게는 적어도 하나의 산화물, 특히 바람직하게는 1.8 이하의 굴절률을 갖는 적어도 하나의 산화물, 가장 특히 바람직하게는 이산화규소, 특히 알루미늄-도핑된 이산화규소, 지르코늄-도핑된 이산화규소 또는 붕소-도핑된 이산화규소를 함유하고, 바람직하게는 20 ㎚ 내지 150 ㎚, 특히 바람직하게는 40 ㎚ 내지 100 ㎚의 두께를 갖는 것인 판유리.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 코팅(2)이 그의 최상부 층으로서 커버 층(7)을 포함하고, 커버 층이 적어도 하나의 산화물, 바람직하게는 적어도TiO2, ZrO2, HfO2, Nb2O5, Ta2O5, Cr2O3, WO3 및/또는 CeO2를 함유하고, 바람직하게는 2 ㎚ 내지 50 ㎚의 두께를 갖는 것인 판유리.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 기판(1)이 적어도 하나의 열가소성 중간 층(9)을 통해 커버 판유리(8)에 결합되어 복합 판유리를 형성하고, 코팅(2)이 커버 판유리(8)로부터 먼 쪽을 향하는 기판(1)의 표면 상에 배열된 것인 판유리.
  14. 기판(1) 상에 적어도
    (a) 하나의 하부 유전 층(3),
    (b) 적어도 하나의 투명 전기 전도성 산화물을 함유하는 하나의 기능성 층(4),
    (c) 하나의 상부 유전 층(5)
    을 연속적으로 형성하고,
    여기서, 또한, 방법 단계 (a) 전에, 방법 단계 (a)와 (b) 사이에, 방법 단계 (b)와 (c) 사이에, 및/또는 방법 단계 (c) 후에, 1900℃ 초과의 융점 및 500 μohm*㎝ 미만의 전기 비저항을 갖는 적어도 하나의 금속, 적어도 하나의 금속 질화물 및/또는 적어도 하나의 금속 탄화물을 함유하는 2 ㎚ 내지 50 ㎚의 두께를 갖는 적어도 하나의 암화 층(10)을 형성하는 것인,
    열 복사선 반사 코팅(2)을 갖는 판유리의 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 코팅(2)을 갖는 기판(1)을 적어도 200℃의 온도로 가열하는 것인 방법.
  16. 열 복사선 반사 코팅에서 가시 스펙트럼 범위에서의 투과율을 감소시키기 위한, 1900℃ 초과의 융점 및 500 μohm*㎝의 전기 비저항을 갖는 적어도 하나의 금속, 적어도 하나의 금속 질화물 및/또는 적어도 하나의 금속 탄화물을 함유하는 암화 층의 용도.
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