KR20150101388A - 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어 및 제조 방법 - Google Patents

파동 기어 장치의 가요성 외치 기어 및 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표면 경도(硬度)가 소정 범위로 유지되며, 피로(疲勞) 강도, 내마모성이 높은 가요성 외치 기어의 제조 방법을 제안하는 것이다.
가요성 외치 기어의 제조 방법은, 니켈을 포함하지 않고, 규소의 함유율이 1.45~1.5wt%인 저합금강으로 이루어지는 소재에, 니어 넷 셰이프(near net shape) 소성 가공을 실시하여 1차 성형품을 제작하는 제 1 단계(ST1)와, 1차 성형품에 마템퍼(martempering) 처리를 실시하는 제 2 단계(ST2)와, 1차 성형품으로부터 2차 성형품을 제작하는 제 3 단계(ST3)와, 2차 성형품에 쇼트 피닝을 실시하여 톱니부(齒部) 등의 표층 부분을 마르텐사이트(martensite)화하는 제 4 단계(ST4)를 포함한다.

Description

파동 기어 장치의 가요성 외치 기어 및 제조 방법{FLEXIBLE EXTERNALLY TOOTHED GEAR FOR STRAIN WAVE GEARING AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME}
본 발명은 파동 기어 장치의 가요성 외치(外齒) 기어 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 피로(疲勞) 강도 및 내마모성을 높인 가요성 외치 기어 및 해당 가요성 외치 기어의 제조 방법에 관한 것이다.
감속기로서 일반적으로 사용되는 파동 기어 장치의 구성부품인 가요성 외치 기어는, 원통 형상의 플랫(flat)형으로 불리는 것, 컵 형상인 것, 및 실크 햇(silk hat) 형상인 것이 알려져 있다. 특허 문헌 1에는 플랫형의 파동 기어 장치가 기재되어 있고, 특허 문헌 2에는 컵형의 파동 기어 장치가 기재되어 있으며, 특허 문헌 3에는 실크 햇형의 파동 기어 장치가 기재되어 있다.
이러한 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어는, 기계적 강도가 뛰어난 특수강(鋼)의 조질재(調質材)를 이용하여 제조된다. 얇은 두께로, 고정밀도의 가공을 필요로 하는 가요성 외치 기어에서는, 그 표면 경도(硬度)가 HRC30~HRC50이 된다.
특허 문헌 4에는, 가요성 외치 기어의 제조에 이용하는 파동 기어용 기재(基材)의 제조 방법이 제안되어 있다. 해당 문헌에 기재된 제조 방법에서는, 가요성 외치 기어가, 열간(熱間) 단조, 전(全) 선삭(旋削, turning), 기어 커팅(齒切, gear cutting), 쇼트 피닝(shot peening)의 공정을 거쳐 제조되는 것이 기재되어 있다. 또, 그 금속 소재로서 탄소 함유량이 0.5% 이하인 강(鋼)을 사용하는 것이 기재되어 있다. 또한, 해당 강으로 형성한 1차 성형품을 가열 후에 마르텐사이트 변태(martensitic transformation) 개시 온도(Ms 온도)보다 높은 온도까지 급랭(急冷)하여 금속 조직의 주상(主相)을 벤토나이트(bentonite)로 하거나, 혹은, 1차 성형품을 가열 후에 마르텐사이트 영역까지 급랭한 후에 템퍼링(tempering)함으로써 금속 조직의 주상을 소르바이트(sorbite)로 하는 것이 기재되어 있다. 또, 파동 기어용 기재로서 필요한 스프링 특성 및 인성(靭性)과, 기어 커팅 가공을 위해 바람직한 절삭 가공성이 양립한 양호한 1차 성형품을 안정적으로 얻을 수 있다고 기재되어 있다.
일본 특허 공개 공보 제2006－57684호 일본 특허 공개 공보 제2005－69402호 일본 특허 공개 공보 제2009－156462호 국제 공개 제2011/122315호
여기서, 파동 기어 장치의 사용 토크의 증가, 내구성의 향상은 항상 요망되고 있다. 기존의 파동 기어 장치 대신에 이용하는 경우 등에 있어서는, 치수의 증가, 형상 변경을 수반하는 일 없이, 새로운 파동 기어 장치의 사용 토크의 증가 및 내구성의 향상을 도모하는 것이 바람직하다. 이를 위해서는, 파동 기어 장치의 구성부품인 얇은 두께의 가요성 외치 기어의 피로 강도 및 내마모성을, 치수의 증가, 형상 변경을 수반하지 않으면서, 높이는 것이 불가결하다. 또, 가요성 외치 기어의 가공성을 유지하기 위해, 표면 경도를 기존 제품과 마찬가지로 HRC30~HRC50의 범위로 유지하여, 피로 강도 및 내마모성을 개선하는 것이 바람직하다.
본 발명의 과제는, 이러한 점을 감안하여, 표면 경도를 소정 범위로 유지할 수 있고, 또한, 동일 형상, 동일 치수의 기존품에 비해 피로 강도 및 내마모성을 높일 수 있는 가요성 외치 기어의 제조 방법을 제안하는 데에 있다.
또, 본 발명의 과제는, 동일 치수, 동일 형상의 기존품에 비해, 표면 경도는 동일한 범위로 유지되고, 또한, 피로 강도 및 내마모성이 뛰어난 가요성 외치 기어를 제공하는 데에 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 컵형 혹은 실크 햇형의 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법은,
합금 원소로서 니켈을 포함하지 않는 저합금강으로 이루어지는 소재에, 니어 넷 셰이프(near net shape) 소성(塑性) 가공을 실시하여, 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 형상에 가까운 컵 형상 혹은 실크 햇 형상의 1차 성형품을 제작하는 제 1 단계와,
상기 1차 성형품에 마템퍼(martempering) 처리를 실시하는 제 2 단계와,
상기 마템퍼 처리가 실시된 후의 상기 1차 성형품에 선삭(旋削) 가공 및 기어 커팅(齒切, gear cutting) 가공을 실시하여, 다이어프램부 및 톱니부(齒部)가 형성된 2차 성형품을 제작하는 제 3 단계와,
상기 2차 성형품에 쇼트 피닝(shot peening)을 실시하여, 상기 톱니부 및 상기 다이어프램부의 표층 부분의 금속 조직을 마르텐사이트(martensite)화하는 제 4 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
또, 본 발명의 플랫형의 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법은,
합금 원소로서 니켈을 포함하지 않는 저합금강으로 이루어지는 소재에, 니어 넷 셰이프 소성 가공을 실시하여, 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 형상에 가까운 원통 형상의 1차 성형품을 제작하는 제 1 단계와,
상기 1차 성형품에 마템퍼 처리를 실시하는 제 2 단계와,
상기 마템퍼 처리가 실시된 후의 상기 1차 성형품에 선삭 가공 및 기어 커팅 가공을 실시하여, 톱니부가 형성된 2차 성형품을 제작하는 제 3 단계와,
상기 2차 성형품에 쇼트 피닝을 실시하여, 상기 톱니부의 표면 부분의 금속 조직을 마르텐사이트화하는 제 4 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제조 방법에서는, 니켈을 포함하지 않는 저합금강을 이용하여 제작한 1차 성형품의 열처리로서, 마템퍼 처리를 채용하고 있다. 이로써, 열처리 후의 1차 성형품의 금속 조직에, 의도적으로, 오스테나이트(Austenite) 조직을 잔류시킬 수가 있다. 또, 톱니부 등의 표면 부분에 쇼트 피닝을 실시함으로써, 그 표층 부분의 금속 조직의 주상을 마르텐사이트 조직으로 바꾸고(소성유기변태(塑性誘起變態)), 해당 표층 부분의 경도를 높이며, 압축 잔류 응력을 증가시킬 수가 있다. 또한, 얇은 두께의 가요성 외치 기어의 내부까지 큰 응력이 인가되는 경우에는, 내부에 잔류하는 오스테나이트 조직이 마르텐사이트 조직으로 변태하여 강화되어, 가요성 외치 기어의 피로 강도를 향상시킬 수가 있다.
본 발명자들의 실험에 의하면, 본 발명에 의해 제조된 가요성 외치 기어는, 특수강의 조질재로 이루어지는 동일 치수, 동일 형상이며 마찬가지의 표면 경도를 구비한 기존품(旣存品)에 비해, 치저(齒底) 피로 강도가 대폭 향상되고, 치면(齒面, tooth surface) 마모 상황도 대폭 개선되는 것이 확인되었다. 따라서, 본 발명의 제조 방법에 의하면, 가공성을 양호하게 유지하면서, 피로 강도 및 내마모성이 높아진 가요성 외치 기어를 제조할 수가 있다. 해당 가요성 외치 기어를 이용하면, 기존품과 동일한 치수, 동일한 형상의 파동 기어 장치의 사용 토크의 증대, 내구성의 향상을 도모할 수가 있다.
도 1은 본 발명을 적용할 수 있는 컵 형상의 가요성 외치 기어의 종(縱)단면도, 실크 햇 형상의 가요성 외치 기어의 종단면도 및 원통 형상의 가요성 외치 기어의 종단면도이다.
도 2는 컵 형상 혹은 실크 햇 형상의 가요성 외치 기어의 제조 공정의 주요 부분을 나타내는 개략 공정도이다.
도 3은 마템퍼 처리를 나타내는 설명도이다.
이하에, 도면을 참조하여, 본 발명을 적용한 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법을 설명한다.
(가요성 외치 기어)
우선, 도 1을 참조하여 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어를 설명한다. 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 컵 형상의 가요성 외치 기어(1)는, 반경 방향으로 휠 수 있는 얇은 두께의 원통 형상 몸체부(2)와, 상기 원통 형상 몸체부(2)의 일방(一方)의 단부로부터 반경(半徑) 방향 내측으로 연장되는 휠 수 있는 얇은 두께의 다이어프램부(diaphragm part; 3)와, 다이어프램부(3)의 중심 부분에 일체 형성된 두꺼운 두께의 원반 형상의 보스부(boss part; 4)와, 원통 형상 몸체부(2)의 타방(他方)의 단부 측의 톱니부(齒部, tooth part; 5)를 구비하며, 톱니부(5)에는 외치(外齒, external tooth; 6)가 형성되어 있다.
도 1(b)에 나타내는 실크 햇 형상의 가요성 외치 기어(10)는, 휠 수 있는 얇은 두께의 원통 형상 몸체부(12)와, 상기 원통 형상 몸체부(12)의 일방의 단부로부터 반경 방향의 외측으로 확대되는 휠 수 있는 얇은 두께의 다이어프램부(13)와, 다이어프램부(13)의 외주 가장자리에 일체로 형성된 두꺼운 두께의 원형 링형상의 보스부(14)와, 원통 형상 몸체부(12)의 타방의 단부 측의 톱니부(15)를 구비하며, 톱니부(15)에는 외치(16)가 형성되어 있다.
이에 대하여, 도 1(c)에 나타내는 플랫형의 파동 기어 장치에 이용되는 원통 형상의 가요성 외치 기어(20)는, 휠 수 있는 얇은 두께의 원통 형상 몸체부(22)와, 상기 원통 형상 몸체부(22)에 형성된 톱니부(25)를 구비하며, 톱니부(25)에는 외치(26)가 형성되어 있다.
(가요성 외치 기어의 제조 방법)
도 2는 컵 형상의 가요성 외치 기어(1)(실크 햇 형상의 가요성 외치 기어(10))의 제조 공정의 주요부를 나타내는 개략 공정도이다. 상기 도면에 따라 설명하면, 우선, 준비 단계(ST0)에 있어서 저합금강으로 이루어지는 소재를 준비한다. 본 발명에서 사용하는 저합금강은, 니켈을 포함하지 않으며, 또한, Si의 함유 비율이 1.45~1.5wt%인 저합금강이다. 본 발명에 있어서 사용하기에 적합한 저합금강의 합금 원소 성분 및 배합 비율(중량%)을 이하에 나타낸다.
Figure pat00001
주) P : 0.05w% 이하, S : 0.03w% 이하,
Mo 성분량은 니어 넷 셰이프(near net shape) 소성 가공품의 두께에 의존한다.
Si는, 후술(제 2 단계)의 마템퍼 처리에 의해, 안정적인 잔류 오스테나이트를 발생시키기 위해, 미(未)변태 오스테나이트 입계(粒界) 상의 탄화물(시멘타이트(cementite))의 석출을 억제하는 기능이 있다. 또, Mo는, 담금질성(hardenability)의 향상, 템퍼링 취성(脆性)의 억제, 고온 강도의 향상 등의 효과가 있다.
다음으로, 제 1 단계(ST1)에 있어서, 준비한 니켈을 포함하지 않는 저합금강 소재에, 니어 넷 셰이프 소성 가공을 실시하여, 가요성 외치 기어(1)(10)의 형상에 가까운 컵 형상(실크 햇 형상)의 1차 성형품을 제작한다. 니어 넷 셰이프 소성가공의 가공법으로서, 단조(鍛造), 드로잉(drawing) 가공을 채용할 수 있다. 또한, 변형 저항이 큰 냉간(冷間) 단조를 이용한 경우에 있어서도, 특수강을 이용한 기존품의 니어 넷 셰이프 소성 가공시에 필요하게 되는 성형 하중을, 최대 15~20% 정도 높게 하면 된다.
다음으로, 제 2 단계(ST2)에 있어서, 제작된 1차 성형품에 마템퍼 처리를 실시한다. 도 3에 모식적으로 나타내는 연속 냉각 변태 곡선(CCT 곡선)을 참조하여 설명하면, 마템퍼 처리에서는, 1차 성형품을, 그 금속 조직의 주상이 오스테나이트화하는 담금질 온도(T1; A1 변태 온도 이상의 온도)까지 가열한다. 그 후는, 가열한 1차 성형품을, 담금질 온도(T1)로부터 마르텐사이트 변태 개시 온도(Ms) 바로 아래의 온도(T2; 마르텐사이트 변태 개시 온도(Ms)와 마르텐사이트 변태 종료 온도(Mf) 사이의 온도역(溫度域))까지 냉각하고, 이 온도로 등온(等溫) 변태 처리를 한다(염욕(鹽浴) 중 등). 다음으로, 1차 성형품을 Mf보다 낮은 온도까지 냉각한다.
마템퍼 처리에 의해, 1차 성형품의 금속 조직에, 의도적으로 준안정(準安定) 오스테나이트를 8~15vol% 잔류시킬 수가 있다. 마템퍼 처리 온도로서는, 290℃에서 400℃까지의 범위 내의 온도(Ms점－117℃로부터 Ms점까지 사이의 온도)로 하는 것이 바람직하다.
다음으로, 도 2의 제 3 단계(ST3)에 있어서, 상기와 같이 열처리된 후의 1차 성형품에 선삭 가공 및 기어 커팅 가공을 실시하여, 다이어프램부(3)(13) 및 톱니부(5)(15)가 형성된 2차 성형품을 제작한다. 그 후에는, 제 4 단계(ST4)에 있어서, 2차 성형품에 쇼트 피닝을 실시하여, 다이어프램부(3)(13) 및 톱니부(5)(15)의 표층 부분의 금속 조직을 마르텐사이트화한다. 다이어프램부(3)(13), 톱니부(5)(15)의 표층 부분을 마르텐사이트로 바꾸는 소성 유기 변태를 행함으로써, 다이어프램부(3)(13), 톱니부(5)(15)의 표층 부분의 경도 및 압축 잔류 응력을 증가시킨다.
제 4 단계(ST4)에 있어서의 쇼트 피닝 처리로서는, 적어도 2단(段)의 쇼트 피닝을 행하는 다단(多段) 쇼트 피닝 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 이로써, 다이어프램부(3)(13), 톱니부(5)(15)의 표층 부분에 있어서, 표면으로부터 결정 입경(粒徑) 2~3개 분(分)의 얕은 깊이의 부분을 강화할 수가 있다. 즉, 외부 응력(應力)에 의해, 금속 조직의 내부에 소정 이상의 응력이 작용하면, 내부에 잔류하는 오스테나이트가 마르텐사이트로 변태하여 강화된다. 이로써, 가요성 외치 기어의 피로 강도가 향상된다.
이러한 공정을 거쳐 제조된 컵 형상의 가요성 외치 기어(1)(10)는, 합금 원소로서, 니켈을 포함하지 않고, Si 함유량이 1.45~1.5wt%인 저합금강으로 형성된다. 가요성 외치 기어 내층 부분의 금속 조직의 주상(主相)은, 마템퍼 처리에 의해 형성된 베이니틱 페라이트(Bainitic-Ferrite) 모상(母相)에 연질 마르텐사이트가 혼재(混在)된 조직이며, 또한, 이 금속 조직에는 준안정 잔류 오스테나이트가 8~15vol% 남아 있다. 가요성 외치 기어 표층 부분 중, 적어도 다이어프램부(3)(13) 및 톱니부(5)(15)의 표층 부분의 금속 조직의 주상은, 쇼트 피닝 처리에 의해 형성된 유기 변태 마르텐사이트 조직이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에서는, 소재로서, Ni을 포함하지 않는 저렴한 강(鋼) 종류를 사용하며, 가요성 외치 기어의 제작 공정에 있어서, 해당 가요성 외치 기어의 피로 강도를 높이는 열처리 조건과 제조 공정 순서(工順)를 채용하고 있다.
즉, 제 1 단계에 있어서, 1차 성형의 열간, 냉간 단조 등을 행함으로써, 1차 성형품의 금속 조직의 결정 입경(粒徑)이 약 20㎛ 이하가 된다. 환언(換言)하면, 제 1 단계는, 다음의 제 2 단계에 있어서의 마템퍼 처리에 의해 생성되는 잔류 오스테나이트의 안정화에 기여하는 1차 성형 가공법으로 되어 있다.
다음의 제 2 단계에 있어서의 열처리는, A1 변태 온도 이상의 온도에서의 γ역(域) 어닐링(annealing, 燒鈍) 후에, Ms점으로부터 Mf점까지의 사이의 온도에서, 등온(等溫) 변태 처리(염욕 중 등)를 행하고, 그 후에 냉각(유냉(油冷) 등)을 행하는 마템퍼 처리를 채용하고 있다. 이 처리에 의해, 베이니틱 페라이트 모상에 연질 마르텐사이트가 혼재하는 금속 조직이 얻어진다. 상기 금속 조직에는, 실온에서도 준안정의 잔류 오스테나이트가 8~15vol% 남기 때문에, 경도를 HRC30~50 내로 할 수가 있다. 이로써, 다음의 제 3 단계에 있어서의 선삭, 기어 커팅 가공이 용이해진다.
제 4 단계에서는, 기어 커팅 후의 거의 최종 형상품의 필요 개소(箇所)에, 쇼트 피닝을 실시하고 있다. 이로써, 8~15vol%의 잔류 오스테나이트의 변태 유기 소성을 이용하여, 제품 표면 부근의 경도 및 압축 잔류 응력을 증가시킬 수가 있다. 그 결과, 큰 피로 강도를 갖는 가요성 외치 기어가 얻어진다.
더욱 설명하면, 종래에 있어서의 구조용 강의 경화(硬化)는, 변형 경화(strain hardening; 주로 전위(轉位) 경화)이다. 이에 대하여, 본 발명에 있어서의 마템퍼 처리한 강에는, 변형 경화에 추가하여, 잔류 오스테나이트의 가공 유기 변태(strain induced transformation) 경화와, (경질 상(相)과 연질 상의 변형 강도 차로부터 발생하는) 상응력(相應力) 경화가 발생한다. 따라서, 본 발명의 방법은, 종래에 비해, 경화 증가 폭이 크다는 이점이 있다.
또, 종래에 있어서의 구조용 강의 잔류 응력은 소성 변형(plastic strain)에 기인하여 발생한다. 이에 대하여, 본 발명에 있어서는, 소성 변형에 기인하여 발생하는 잔류 응력에, 소성 변형에 기인한 모상과 잔류 오스테나이트 상(相)의 변형 응력 차에 의해 발생하는 응력, 변태 변형(transformation strain)에 의해 발생하는 응력, 및 변형 변태 마르텐사이트 주변의 내부 응력에 의해 발생하는 응력이 더해져, 보다 큰 압축 잔류 응력이 발생한다는 이점이 있다.
(그 밖의 실시형태)
상기의 제조 방법은, 도 1(c)에 나타내는 원통 형상의 가요성 외치 기어(20)의 제조 방법으로서 이용할 수도 있다.
1, 10, 20; 가요성 외치 기어
2, 12, 22; 원통 형상 몸체부
3, 13; 다이어프램부
4, 14; 보스부
5, 15, 25; 톱니부(齒部, tooth part)
6, 16, 26; 외치(外齒, external tooth)

Claims (8)

  1. 니켈을 포함하지 않고, 규소의 함유율이 1.45~1.5wt%인 저합금강으로 이루어지는 소재에, 니어 넷 셰이프(near net shape) 소성(塑性) 가공을 실시하여, 파동 기어 장치의 가요성 외치(外齒, external tooth) 기어의 형상에 가까운 컵 형상 혹은 실크 햇(silk hat) 형상의 1차 성형품을 제작하는 제 1 단계와,
    상기 1차 성형품에 마템퍼(martempering) 처리를 실시하는 제 2 단계와,
    상기 마템퍼 처리가 실시된 후의 상기 1차 성형품에 선삭(旋削) 가공 및 기어 커팅(齒切, gear cutting) 가공을 실시하여, 다이어프램부(diaphragm part) 및 톱니부(齒部, tooth part)가 형성된 2차 성형품을 제작하는 제 3 단계와,
    상기 2차 성형품에 쇼트 피닝(shot peening)을 실시하여, 상기 톱니부 및 상기 다이어프램부의 표층 부분의 금속 조직을 마르텐사이트(martensite)화하는 제 4 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법.
  2. 니켈을 포함하지 않고, 규소의 함유율이 1.45~1.5wt%인 저합금강으로 이루어지는 소재에, 니어 넷 셰이프 소성 가공을 실시하여, 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 형상에 가까운 원통 형상의 1차 성형품을 제작하는 제 1 단계와,
    상기 1차 성형품에 마템퍼 처리를 실시하는 제 2 단계와,
    상기 마템퍼 처리가 실시된 후의 상기 1차 성형품에 선삭 가공 및 기어 커팅 가공을 실시하여, 톱니부가 형성된 2차 성형품을 제작하는 제 3 단계와,
    상기 2차 성형품에 쇼트 피닝을 실시하여, 상기 톱니부의 표층 부분의 금속 조직을 마르텐사이트화하는 제 4 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 2 단계에 있어서의 마템퍼 처리 온도를,
    290℃에서 400℃까지의 범위 내의 값, 또는
    마르텐사이트 변태 개시 온도(Ms)로부터 해당 온도(Ms)보다 117℃ 낮은 온도까지의 범위 내의 값으로 하는 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 4 단계에 있어서의 상기 쇼트 피닝은, 적어도 2단(段)의 쇼트 피닝을 행하는 다단(多段) 쇼트 피닝인 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 단계에 있어서의 상기 니어 넷 셰이프 소성 가공은, 단조(鍛造) 또는 드로잉(drawing) 가공인 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 단계에 있어서의 상기 니어 넷 셰이프 소성 가공은, 단조 또는 드로잉 가공이고,
    상기 제 2 단계에 있어서의 마템퍼 처리 온도는, 290℃에서 400℃까지의 범위 내의 값, 또는, 마르텐사이트 변태 개시 온도(Ms)로부터 해당 온도(Ms)보다 117℃ 낮은 온도까지의 범위 내의 값이며,
    상기 제 4 단계에 있어서의 상기 쇼트 피닝은, 적어도 2단의 쇼트 피닝을 행하는 다단 쇼트 피닝인 파동 기어 장치의 가요성 외치 기어의 제조 방법.
  7. 파동 기어 장치의 컵 형상 혹은 실크 햇 형상의 가요성 외치 기어로서,
    니켈을 포함하지 않고, 규소의 함유율이 1.45~1.5wt%인 저합금강으로 형성되며,
    가요성 외치 기어 내층 부분의 금속 조직의 주상(主相)은, 마템퍼 처리에 의해 형성된 베이니틱 페라이트(Bainitic-Ferrite) 모상(母相)에 연질 마르텐사이트가 혼재(混在)된 조직이고, 또한, 상기 금속 조직에는 준안정(準安定)의 잔류 오스테나이트가 8~15vol% 남아 있으며,
    가요성 외치 기어 표층 부분 중, 적어도 톱니부(齒部) 및 다이어프램부의 표층 부분의 금속 조직의 주상은, 쇼트 피닝 처리에 의해 형성된 유기 변태 마르텐사이트 조직인,
    파동 기어 장치의 가요성 외치 기어.
  8. 파동 기어 장치의 원통 형상의 가요성 외치 기어로서,
    니켈을 포함하지 않고, 규소의 함유율이 1.45~1.5wt%인 저합금강으로 형성되며,
    가요성 외치 기어 내층 부분의 금속 조직의 주상은, 마템퍼 처리에 의해 형성된 베이니틱 페라이트 모상에 연질 마르텐사이트가 혼재된 조직이고, 또한, 상기 금속 조직에는 준안정의 잔류 오스테나이트가 8~15vol% 남아 있으며,
    가요성 외치 기어 표층 부분 중, 적어도 톱니부의 표층 부분의 금속 조직의 주상은, 쇼트 피닝 처리에 의해 형성된 유기 변태 마르텐사이트 조직인,
    파동 기어 장치의 가요성 외치 기어.
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