KR20150045360A - 정전 도포 방법 및 정전 도포 장치 - Google Patents

Abstract

정전 도포 방법에서는, 노즐의 선단에 공급된 용액에 전압을 인가하는 것에 의해 대전시킨다. 그리고, 노즐과 피도포체를 상대 이동시키면서, 정전력을 이용하여 노즐로부터 피도포체에 용액을 잡아 늘인다. 그리고, 잡아 늘려진 용액을, 제어 전극에 형성된 개구를 통과시켜 기재에 도포한다. 제어 전극은 노즐과 기재의 사이에 배치되고 전압이 인가되고 있다.

Description

정전 도포 방법 및 정전 도포 장치{ELECTROSTATIC COATING METHOD AND ELECTROSTATIC COATING APPARATUS}

본 발명은, 정전력을 이용하여 여러 가지 용액을 미세한 패턴 형상으로 도포하는 정전 도포 방법과 정전 도포 장치에 관한 것이다.

최근, 일렉트로닉스 분야에서는, 상품의 박형화ㆍ고정밀화가 진행되어, 미세한 패턴을 인쇄 형성하는 기술이 요구되고 있다. 또한, 생산성 향상을 위해, 인쇄 속도의 고속화의 요망이 있다.

이와 같은 요구에 따르는 인쇄 기술로서, 정전력을 이용하여 노즐 선단으로부터 액을 토출하여, 묘화하는 도포 방법이 알려져 있다. 그러나, 정전력을 이용하여 안정적으로 도포하는 것에는 과제가 있고, 안정적인 정전 도포 방법의 개발이 진행되고 있다.

도 12는 종래의 정전 도포 장치의 개략도이다. 이 장치에서는, 기재(25)의 상면에 용액(26)을 도포한다. 그 때문에, 도포 헤드(27)와 배면 전극(28)의 사이에서, 기재(25)가 화살표 방향으로 반송된다. 도포 헤드(27)는, 기재(25)의 상면에 대향하여 배치된 저면을 갖는 용액 탱크(29)와, 용액 탱크(29)에 수용되어 있는 용액(26)으로 구성되어 있다. 용액 탱크(29)의 저면에는 노즐 구멍(30)이 마련되어 있다. 용액 탱크(29)와 배면 전극(28)의 사이에는, 전압 E가 인가되고 있다. 기재(25)의 상면에는, 도포 형상에 따라 대전시킨 정전 잠상(31)이 형성되어 있다.

노즐 구멍(30)으로부터 용액(26)을 소정량 토출시키면, 노즐 구멍(30)의 바깥쪽에, 토출한 용액(26)의 액체 고임(32)이 발생한다. 용액(26)은, 전압 E에 의해 전기적으로 대전된 상태로 되어 있다. 대전한 용액(26) 중, 액체 고임(32)을 형성하는 부분은, 배면 전극(28)을 향해 가늘게 끌려가는 것에 의해, 가는 선 형상으로 잡아 늘려진다. 그 후, 가늘게 잡아 늘려진 용액(26)은 정전 잠상(31)에 끌어당겨져, 액체 고임(32)으로부터 분리된다. 그리고, 정전 잠상(31)이 존재하고 있던 부분에만 용액(26)이 도포된다(예컨대, 일본 특허 공개 평 10-86360호 공보).

도 12에 나타내는 종래의 정전 도포 장치에서는, 정전 잠상(31)을 미리 형성할 필요가 있어, 공정이 복잡하고, 기재(25)의 재질에도 제한이 있다.

본 발명의 정전 도포 방법에서는, 노즐의 선단에 공급된 용액에 전압을 인가하는 것에 의해 대전시킨다. 그리고, 노즐과 피도포체를 상대 이동시키면서, 정전력을 이용하여 노즐로부터 피도포체로 용액을 잡아 늘인다. 그리고, 잡아 늘려진 용액을, 제어 전극에 형성된 개구를 통과시켜 기재에 도포한다. 제어 전극은 노즐과 기재의 사이에 배치되어 소정의 전압이 인가되고 있다.

또한, 본 발명의 정전 도포 장치는, 용액 탱크와, 노즐과, 제 1 제어부와, 반송부와, 배면 전극과, 전원부와, 제어 전극을 갖는다. 용액 탱크는 용액을 저장하고 있다. 노즐은 용액을 토출한다. 제 1 제어부는 노즐의 선단에 용액을 공급한다. 반송부는 노즐에 대향하여 피도포체를 반송한다. 배면 전극은 피도포체에 대하여, 노즐과 반대측에 배치되어 있다. 전원부는 용액 탱크, 노즐의 적어도 한쪽과 배면 전극의 사이에 전압을 인가한다. 제어 전극은, 노즐과 피도포체의 사이에 배치되고, 노즐로부터 잡아 늘려진 용액이 통과하는 개구가 형성되어 있다. 제어 전극에는, 소정의 전압이 인가된다. 이 정전 도포 장치는 이상의 구성에 있어서, 개구를 통과시켜 용액을 피도포체에 도포한다.

본 발명에 의하면, 정전기에 의해 노즐로부터 잡아 늘려진 용액을, 노즐과 피도포체의 사이에 배치된 제어 전극에 형성된 개구를 통과시켜 피도포체에 도포한다. 그 때문에, 노즐의 선단에 발생하는 액체 고임을 안정시켜, 정전력으로 액체 고임 내의 용액을 보다 가늘고 긴 형상으로 잡아 늘일 수 있다. 그 결과, 세선 패턴을 안정적으로 고속으로 도포할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 정전 도포 장치의 구성도이다.
도 2(a)~도 2(c)는 도 1에 나타내는 정전 도포 장치의 노즐 주변의 확대도이다.
도 3(a)~도 3(h)는 도포의 시단(始端)에 있어서의, 도 1에 나타내는 정전 도포 장치의 노즐에 있어서의 액체 고임의 변화를 나타내는 도면이다.
도 4는 도포의 시단에 있어서의, 도 3(a)~도 3(h)에 나타내는 노즐 및 제어 전극의 전압 변화를 나타내는 도면이다.
도 5(a)~도 5(h)는 본 발명의 실시의 형태 2에 의한 제어 전극과 노즐의 거리를 제어하는 경우의 설명도이다.
도 6은 본 발명의 실시의 형태 2에 있어서의 정전 도포 장치의 제어를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시의 형태 3에 있어서의 정전 도포 장치의 노즐과 제어 전극의 위치 관계를 나타내는 사시도이다.
도 8(a1)~도 8(a5)는 도 7에 나타내는 노즐과 제어 전극의 위치 관계를 나타내는 평면도이고, 도 8(b1)~도 8(b5)는 각각, 도 8(a1)~도 8(a5)에 대응하는 단면도이다.
도 9는 도 7에 나타내는 노즐과 제어 전극의 이동 궤도를 나타내는 평면도이다.
도 10(a)~도 10(e)는 본 발명의 실시의 형태 4에 있어서의 정전 도포 장치의 제어 전극의 기울기를 나타내는 도면이다.
도 11(a)~도 11(e)는 본 발명의 실시의 형태 5에 있어서의 정전 도포 장치의 제어 전극(10)의 기울기를 나타내는 도면이다.
도 12는 종래의 정전 도포 장치의 구성도이다.
도 13(a), 도 13(b)는 종래의 정전 도포 장치에 있어서의 제 1 도포 불량을 설명하는 도면이다.
도 14(a)~도 14(d)는 종래의 정전 도포 장치에 있어서의 제 2 도포 불량을 설명하는 도면이다.
도 15(a), 도 15(b)는 종래의 정전 도포 장치에 있어서의 제 3 도포 불량을 설명하는 도면이다.

본 발명의 실시의 형태에 앞서, 종래의 정전 도포 방법에 있어서의 과제를 설명한다. 도 12에 나타내는 정전 도포 장치에서는, 기재(25)의 표면에, 정전 잠상(31)을 미리 형성할 필요가 있다. 다시 말해, 정전 잠상(31)을 미리 형성하는 전공정이 필요하기 때문에, 설비비가 비싸고, 공정이 복잡하다. 또한, 기재(25)는, 정전 잠상(31)을 형성하기 쉬운 재질로 구성할 필요가 있어, 사용할 수 있는 재질에 제한이 있다.

정전 잠상을 이용하지 않고 도포한 경우에는, 세선 패턴의 도포나 고속 도포하는 경우에, 이하에 말하는 제 1~제 3 도포 불량이 발생한다.

우선 도 13(a), 도 13(b)를 참조하면서 제 1 도포 불량에 대하여 설명한다. 도 13(a), 도 13(b)는 도 12에 나타내는 노즐 구멍(30)의 주변의 확대도이다.

도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 노즐 구멍(30)으로부터 토출된 용액(26)은, 정전력으로 기재(25)를 향해 끌어당겨진다. 그때, 액체 고임(32)이 잡아 늘려져, 액체 고임(32)의 선단부에서는, 더 용액(26)이 가늘게 잡아 늘려진 상태가 된다. 이후, 액체 고임(32)의 선단부에 있어서 용액이 가늘게 잡아 늘려진 부분을 테일러 콘(33)이라 칭한다. 종래의 정전 도포 방법에서는, 테일러 콘(33)이 매우 불안정하고, 도 13(b)에 나타내는 바와 같이 도포 중에 테일러 콘(33)이 진동한다. 그 때문에, 직선 형상으로 도포한 경우, 도포 패턴의 직선성 편차나 선폭 편차 등의 도포 불량이 발생한다.

다음으로, 도 14(a)~도 14(d)를 참조하면서 제 2 도포 불량에 대하여 설명한다. 도 14(a)~도 14(d)는 도포의 시단에 있어서의 노즐 구멍(30)의 선단에서의 용액(26)의 거동을 나타낸다.

도포하기 전은, 도 14(a)에 나타내는 바와 같이, 노즐 구멍(30)에 용액(26)이 유지되어 있다. 다음으로, 도 14(b)에 나타내는 바와 같이, 용액(26)을 노즐 구멍(30)으로부터 조금씩 토출하면, 노즐 구멍(30)의 표면에 액체 고임(32)이 형성된다. 그 후, 노즐 구멍(30)을 거쳐서 용액(26)에 전압을 인가하면, 액체 고임(32)이 정전력에 의해 잡아 늘려져, 기재(25)의 방향으로 끌어당겨져, 기재(25)에 도포된다.

그러나, 용액(26)에 전압을 인가하더라도, 전압이 상승하기까지 소정의 시간이 필요하다. 또한 용액(26)에 규정 전압이 인가되더라도 용액(26)이 규정 대전량까지 대전하는데도 일정한 시간을 필요로 한다. 그 때문에, 규정 대전량까지 대전된 안정 상태인 도 14(d)에 나타내는 상태에 도달하기까지, 도 14(c)에 나타내는 바와 같이, 대전량이 변동하고 있는 불안정 상태를 경유한다. 이 불안정 상태에서는, 용액(26)이 액체 방울 상태로 비상하거나, 테일러 콘(33)이 끊기어 떨어져 단속적으로 도포된다. 그 때문에, 일반적으로는 테일러 콘(33)이 안정 상태(도 14(d) 상태)가 되고 나서 기재(25)를 이동시켜 인쇄하고 있다. 다시 말해, 시단에서는, 테일러 콘(33)이 안정 상태가 되기까지 토출된 용액이 기재(25) 위에 인쇄되어, 도포 패턴의 시단부는 굵어진다. 또한 종단에 대해서도, 시단과 반대의 동작을 하기 때문에, 동일한 문제가 발생한다.

마지막으로, 제 3 도포 불량에 대하여, 도 15(a), 도 15(b)를 참조하면서 설명한다. 도 15(a), 도 15(b)는 제 3 도포 불량을 설명하는 사시도이다.

기재(25)에 있어서의 도포 패턴 형상이 직선이 아닌 경우, 예컨대, 도 15(a)에 나타내는 바와 같이 코너부에 도포하는 경우, 도포 패턴의 정밀도가 저하한다. 자세하게 설명하면, 실제로는 노즐 구멍(30)과 기재(25)는, 서로 상대적으로 이동하고 있다. 그 때문에, 노즐 구멍(30)의 선단의 액체 고임(32)으로부터 잡아 늘려진 용액(26)은, 기재(25)에 접촉할 때, 부분(34)과 같이 용액(26)이 인쇄의 진행 방향과는 역방향으로 끌려간다. 이 경우, 도포하고 싶은 도포 패턴(35)에 대하여, 코너부에서는 둥근 부분(36)이 발생한다.

코너부에서 둥근 부분(36)이 발생하는 것을 해소하기 위해, 코너부에서 노즐 구멍(30)과 기재(25)의 상대적인 움직임을 일단 멈추어 도포하는 것을 생각할 수 있다. 그렇지만, 그와 같이 하면 도 15(b)에 나타내는 바와 같이, 코너부에 있어서, 도포 패턴에 굵은 선 부분(37)이 발생한다.

이하, 이상에서 말한 도포량이 안정되지 않는 것에 의한 도포 불량을 해결하고, 안정적이고 정밀한 도포를 실현할 수 있는 본 발명의 정전 도포 방법을, 구체적인 각 실시의 형태에 근거하여 설명한다. 또 각 실시의 형태에 있어서, 선행하는 실시의 형태와 동일한 구성을 이루는 것에는 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명을 생략하는 경우가 있다.

(실시의 형태 1)

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 있어서의 정전 도포 장치의 구성도이다. 도 2(a)~도 2(c)는 도 1에 나타내는 정전 도포 장치의 노즐 주변의 확대도이다. 도 3(a)~도 3(h)는 도포의 시단에 있어서의, 도 1에 나타내는 정전 도포 장치의 노즐에 있어서의 액체 고임의 변화를 나타내는 도면이다. 도 4는 도포의 시단에 있어서의, 도 3(a)~도 3(h)에 나타내는 노즐 및 제어 전극의 전압 변화를 나타내는 도면이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 이 정전 도포 장치는, 용액 탱크(이하, 탱크)(4)와, 노즐(1)과, 제 1 제어부(7)와, 반송부(6)와, 배면 전극(5)과, 전원부(8)와, 제어 전극(10)을 갖는다. 탱크(4)는 용액(2)을 저장하고 있다. 노즐(1)은 용액(2)을 토출한다. 제 1 제어부(7)는 노즐(1)의 선단에 용액(2)을 공급한다. 반송부(6)는 노즐(1)에 대향하여 피도포체로서의 기재(3)를 반송한다. 배면 전극(5)은 기재(3)에 대하여, 노즐(1)과 반대측에 배치되어 있다. 전원부(8)는 탱크(4), 노즐(1)의 적어도 한쪽과 배면 전극(5)의 사이에 전압을 인가한다. 즉, 전원부(8)는 노즐(1)의 선단에 공급된 용액(2)에 전압을 인가하는 것에 의해 대전시킨다. 제어 전극(10)은, 노즐(1)과 기재(3)의 사이에 배치되고, 노즐(1)로부터 잡아 늘려진 용액(2)이 통과하는 개구(9)가 형성되어 있다. 제어 전극(10)에는, 소정의 전압이 인가된다. 이 정전 도포 장치는 이상의 구성에 있어서, 노즐(1)의 용액(2)을 잡아 늘이면서 개구(9)를 통과시켜 용액(2)을 기재(3)에 도포한다.

이하, 정전 도포 장치의 구성을 상세하게 설명한다.

기재(3)를 사이에 두고 기재(3)의 상면측에는, 탱크(4)가 배치되고, 기재(3)의 이면측에는 배면 전극(5)이 배치되어 있다. 기재(3)는, 탱크(4)와 배면 전극(5)의 그룹에 대하여 상대적으로 이동 가능하다. 예컨대, 탱크(4)와 배면 전극(5)이 고정되어 있고, 기재(3)가, 탱크(4)와 배면 전극(5)의 사이를 반송부(6)에 의해 화살표 X 방향과, 화살표 X 방향과는 직교 하는 Y 방향으로 형성되는 평면 내에서 반송된다.

탱크(4)는 기재(3)의 상면에 대향한 저면을 갖고, 이 저면에는 노즐(1)이 형성되어 있다. 탱크(4) 내의 액면은, 용액을 노즐(1)의 선단에 배출하도록 제 1 제어부(7)에 의해 가압되고 있다. 또, 노즐(1)은 탱크(4)와 따로 마련하여, 배관에 의해 접속하더라도 좋다.

노즐(1)과 배면 전극(5)의 사이에는, 전원부(8)에 의해 소정의 전압이 인가되고 있다. 여기서는, 노즐(1)이 탱크(4)와 일체로 형성되어 있으므로, 전원부(8)는 탱크(4)와 배면 전극(5)의 사이에 전압을 인가하고 있다. 노즐(1)과 기재(3)의 사이에는, 개구(9)를 가진 제어 전극(10)이 배치되어 있다.

이와 같이 구성된 정전 도포 장치에서는, 제 1 제어부(7)에 의해 탱크(4) 내의 용액(2)의 액면에 소정의 압력을 가하면, 노즐(1)의 선단에 용액(2)이 공급된다. 그리고, 노즐(1)의 선단에 액체 고임(13)이 발생한다. 액체 고임(13)의 용액(2)은, 전원부(8)로부터 인가된 전위차에 의해 대전한다. 이와 같이 대전한 액체 고임(13)의 용액(2)은, 배면 전극(5)의 방향으로 잡아 늘려진다. 다시 말해, 노즐(1)의 선단으로부터 잡아 늘려진 액체 고임(13)은, 노즐(1)과의 거리가 소정의 위치로 설정되어 있는 제어 전극(10)의 개구(9)를 통과하여 기재(3)에 도포된다. 이때에는, 액체 고임(13)의 용액(2)의 대전한 전하와 반발하도록, 전원부(8)는 제어 전극(10)에 전압을 인가하고 있다.

도포 중의 노즐(1)의 선단과 제어 전극(10) 부근의 모습을, 도 2(a)~도 2(c)를 참조하면서 설명한다. 도 2(a)는 도포하고 있는 정상 상태의 노즐(1)의 주변의 모습을 나타낸다. 노즐(1)의 선단의 액체 고임(13)에 포함되는 용액(2)이 배면 전극(5)에 끌어당겨져 기재(3)에 도포되고 있다. 예컨대, 액체 고임(13)이 마이너스로 대전하고 있는 경우, 전원부(8)는, 제어 전극(10)이 마이너스로 대전하도록 전압을 인가한다. 바꿔 말하면, 액체 고임(13)과 제어 전극(10)이 동일한 극성으로 대전된다. 이와 같이 동일한 극성으로 대전시키면, 제어 전극(10)의 전하가 액체 고임(13)의 전하와 반발하는 작용이 일어나고, 정전력으로 액체 고임(13)을 보다 가늘고 긴 형상으로 잡아 늘일 수 있다. 또한 액체 고임(13)의 형상이 흐트러지지 않도록 유지하는 기능도 있어, 안정적인 도포를 실현할 수 있다.

즉, 이 정전 도포 장치에서는, 노즐(1)의 선단에 공급된 용액에 전압을 인가하는 것에 의해 대전시킨다. 그리고, 노즐(1)과 기재(3)를 상대 이동시키면서, 정전력을 이용하여 노즐(1)로부터 기재(3)에 용액(2)을 잡아 늘인다. 그리고, 잡아 늘려진 용액(2)을, 제어 전극(10)에 형성된 개구(9)를 통과시켜 기재(3)에 도포한다. 제어 전극(10)은 노즐(1)과 기재(3)의 사이에 배치되어 전압이 인가되고 있다.

다음으로, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제어 전극(10)의 전위를 제어하는 제 2 제어부(11)를 마련한 경우의 효과에 대하여 설명한다. 제어 전극(10)에 인가하는 전압이 높은 경우, 다시 말해 제어 전극(10)의 전하가 강한 경우에는, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 액체 고임(13)을 보다 노즐(1) 내로 밀어 넣는 힘이 작용하여, 안정적으로 용액(2)이 토출되기 어려워진다. 또한 반대로, 제어 전극(10)에 인가하는 전압이 낮은 경우, 다시 말해 제어 전극(10)의 전하가 약한 경우에는, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이, 액체 고임(13)의 형상을 유지하는 힘이 충분히 작용하지 않는다. 그 때문에, 직선성의 편차 등에 의해 안정적으로 용액(2)을 도포할 수 없다.

따라서, 제어 전극(10)은 노즐(1)에 인가하는 전압과는 개별적으로 제 2 제어부(11)에 의해 제어되고 있는 것이 바람직하다. 제 2 제어부(11)에 의해 제어 전극(10)의 전압을 제어하는 것에 의해, 노즐(1)의 선단의 액체 고임(13)의 형상을 안정화하여, 용액(2)을 안정적으로 도포할 수 있다.

다음으로, 도포 패턴의 시단, 종단에 있어서의, 제 2 제어부(11)에 의한 제어 전극(10)의 전압 제어를, 도 3(a)~도 3(h)와 도 4를 참조하면서 설명한다. 도 3(a)~도 3(h)는 도포의 시단, 종단에 있어서의 노즐(1)에 있어서의 액체 고임(13)의 변화를 나타내고 있다. 도 4는 도 3(a)~도 3(h)의 각각의 타이밍에 있어서의 노즐(1)의 전위와 제어 전극(10)의 전위를 나타내고 있다. 여기서는 노즐(1)의 중심과 제어 전극(10)의 중심이 모든 타이밍에 있어서 서로 일치하고 있고, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리도 모든 타이밍에 있어서 일정하다.

우선, 도포 개시 전에는 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 용액(2)은 노즐(1) 내에 유지되어 노즐(1)로부터 용액(2)이 낙하하지 않는 상태이고, 이 타이밍에는 도 4의 타이밍 a와 같이 노즐(1) 및 제어 전극(10)에는 전압이 인가되고 있지 않다.

다음으로 도 4의 타이밍 b와 같이, 노즐(1) 및 제어 전극(10)에 동일한 변화의 기울기로 소정치까지 전압을 인가하여 간다. 그때에는, 노즐(1) 내의 용액(2)은 큰 변화는 일어나지 않는다. 이것은, 노즐(1)과 제어 전극(10)이 동일한 전위이면, 어느 일정한 전압까지는 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 노즐(1)로부터 용액(2)이 토출되기 어렵다.

다음으로 도 4의 타이밍 c와 같이, 노즐(1)로의 인가 전압을 더 증가시켜 소정의 전압까지 상승시킨다. 그때 제어 전극(10)으로의 인가 전압은 일정하게 유지되고 있고 증가시키지 않는다. 노즐(1)로의 인가 전압과 제어 전극(10)으로의 인가 전압의 차이가 커짐에 따라, 도 3(c)에 나타내는 바와 같이 노즐(1) 내의 용액(2)이 정전력으로 끌려 나와, 노즐(1)의 선단에 액체 고임(13)이 형성된다.

다음으로 도 4의 타이밍 d와 같이, 노즐(1)의 인가 전압이 소정의 전압까지 상승하면, 그 상태를 유지하고, 제어 전극(10)으로의 인가 전압은 도 4의 타이밍 d에 있어서도 타이밍 c와 동일한 상태로 유지한다. 이것에 의해 도 3(d)에 나타내는 바와 같이, 노즐(1)의 선단에 안정적인 액체 고임(13)이 형성된다.

그리고, 도 4의 타이밍 e와 같이 제어 전극(10)의 전압만을 소정의 값까지 내리고, 또한 타이밍 f와 같이 노즐(1)의 전위와 제어 전극(10)의 전위를 유지시킨다. 이와 같은 전압 제어에 의해, 도 3(e), 도 3(f)에 나타내는 바와 같이, 노즐(1)로부터 제어 전극(10)의 개구(9)를 통과하여 용액(2)이 가늘게 잡아 늘려져 기재(3)에 도포된다. 여기서 반송부(6)를 제어하여 기재(3)와 노즐의 상대 속도를 조정하는 것에 의해, 기재(3)에 용액(2)이 도포될 때는 소정의 상대 속도로 이동하면서 도포할 수 있다. 그 때문에, 용액(2)의 도포를 안정적으로 개시할 수 있다.

전원부(8)와 제 2 제어부(11)를 이와 같이 운전하는 것에 의해, 종래의 방법에서는 노즐(1)의 전압이 소정 전압까지 상승하는 동안(도 4 중의 타이밍 a~c), 노즐(1)로부터 용액(2)이 불안정하게 토출되는 문제를 막을 수 있다. 다시 말해 도 4의 타이밍 e, f와 같이 제어 전극(10)의 전압을 변경하여 도포의 ON/OFF를 제어하는 것에 의해, 좋은 응답성으로 용액(2)을 도포할 수 있다.

구체적으로는 예컨대, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리가 10~300㎛, 노즐(1)과 배면 전극(5)의 거리가 200~500㎛, 기재(3)와 배면 전극(5)의 거리가 0~1㎜, 제어 전극(10)의 개구(9)의 직경이 200~500㎛, 배면 전극(5)에 -0.5㎸~-1㎸를 인가한다. 이 경우에, 제어 전극(10)의 전압을, 제 2 제어부(11)에 의해 각 타이밍 a~f에, 예컨대 다음과 같이 제어한다. 혹은, 제 2 제어부(11)에 의해 전원부(8)를 제어하여, 각 타이밍 a~f에 있어서의 노즐(1)의 전압을, 예컨대 다음과 같이 제어한다.

도 4의 타이밍 a의 개시시에는 노즐(1)을 0V로 한다. 타이밍 c에는 제어 전극(10)에 +1㎸를 인가한다. 타이밍 d에는 노즐(1)에 +2㎸를 인가한다. 타이밍 f에는 제어 전극(10)에 +0.3~+0.5㎸를 인가한다. 또한, 도 4의 노즐(1)에 대한 기재(3)의 상대 속도를 50㎜/sec로 설정한다.

또 도포 패턴의 종단에 있어서는, 도 4에서 말한 타이밍 f~a의 제어를 반대로 실시하면 된다. 즉, 도 4의 타이밍 g와 같이 제어 전극(10)의 전압만을 소정의 값까지 올리고, 또한 타이밍 h와 같이 제어 전극(10)의 전압을 유지하면서, 노즐(1)로의 인가 전압을 소정의 전압까지 저하시킨다. 이와 같은 전압 제어에 의해 용액(2)의 도포를 안정적으로 종료할 수 있다.

이상과 같이, 제 2 제어부(11)를 마련하는 것에 의해, 제어 전극(10)에 인가하는 전압을 변화시켜, 용액(2)의 기재(3)로의 도포의 거동을 제어하는 것이 바람직하다. 그리고, 도포 패턴의 시단, 종단의 적어도 어느 한쪽에 있어서, 노즐(1)과 기재(3)의 사이의 전압을 변경하여 도포 개시, 도포 종료의 적어도 어느 한쪽의 응답성을 제어하는 것이 바람직하다. 또한, 도포 패턴의 시단에서는, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 사이의 전압을, 서서히 크게 하고, 도포 패턴의 종단에서는, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 사이의 전압을, 서서히 작게 하는 것이 바람직하다.

(실시의 형태 2)

다음으로, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제어 전극(10)의 노즐(1)에 대한 상대 위치를 제어하는 제 3 제어부(12)를 마련한 경우에 대하여 설명한다. 구체적으로는, 제 3 제어부(12)는 제어 전극(10)을 노즐(1)에 대한 거리 방향(Z 방향)으로 변경 가능하다. 즉, 제 3 제어부(12)는, 제어 전극(10)을 노즐(1)에 대하여 이동시켜, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리를 변화시킬 수 있다.

도 5(a)~도 5(h)는 도포의 시단과 종단에 있어서의 노즐(1)에 있어서의 액체 고임(13)의 변화를 나타내고 있다. 도 6은 도 5(a)~도 5(h)의 각각의 타이밍에 있어서의 노즐(1)의 전위와 제어 전극(10)의 전위, 및 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리를 나타내고 있다.

도 3(a)~도 3(h)와 도 4를 참조하면서 설명한 실시의 형태 1에서는 모든 타이밍에 있어서, 노즐(1)의 중심과 제어 전극(10)의 중심이 서로 일치하고 있고, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리도 동일하다. 이것에 비하여, 본 실시의 형태에서는 도 5(a)~도 5(h)의 모든 타이밍에 있어서, 노즐(1)의 중심과 제어 전극(10)의 중심이 서로 일치하고 있지만, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리를 일부의 타이밍에 있어서 변경하고 있다. 아울러, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 전위를 제어하고 있다. 이와 같이 하여, 실시의 형태 1보다 응답성을 더욱 개선하고 있다.

도 5(a)에 나타내는 초기 상태에서는, 노즐(1)의 중심과 평판 형상의 제어 전극(10)의 중심이 일치하고 있고, 이 상태에서 제어 전극(10)의 위치는, 노즐(1)로부터 규정 거리만큼 떨어진 위치에 제 3 제어부(12)에 의해 유지되고 있다.

실시의 형태 1에서는, 도 4의 타이밍 e에 있어서 제어 전극(10)의 전압을 내리는 데는 소정의 시간이 필요하다. 다시 말해 그 시간만큼, 시단의 토출 응답성이 낮다. 한편, 본 실시의 형태에서는, 도 3(e)의 타이밍에 대응하는 도 5(e)와 같이, 제 3 제어부(12)에 의해 제어 전극(10)의 노즐(1)과의 상대 위치를 변경하고 있다. 구체적으로는, 제 3 제어부(12)는, 도 6에 있어서의 타이밍 e에, 예컨대 노즐(1)로부터 멀어지도록 제어 전극(10)을 이동시키고, 타이밍 f에는 이 위치에 제어 전극(10)을 유지하고 있다. 그 이외의 타이밍에 있어서의 제어는 실시의 형태 1과 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.

이와 같은 제어에 의해, 시단의 토출 응답성을 더 좋게 하는 것이 가능하다. 또한 토출 개시에 맞추어, 노즐(1)과 기재(3)의 상대 속도를 소정의 속도로 제어하여 두는 것에 의해, 안정적인 도포가 가능하게 된다.

또, 이와 같이 제 2 제어부(11)에 의한 제어와 제 3 제어부(12)에 의한 제어가 연동하는 경우에는, 반송부(6), 제 1 제어부(7), 전원부(8), 제 2 제어부(11), 및 제 3 제어부(12)의 제어나 타이밍을 제어하는 제 4 제어부(50)를 마련하는 것이 바람직하다. 즉, 노즐(1)과 기재(3)의 상대 이동에 맞추어, 제어 전극(10)을 노즐(1)에 대하여 이동시켜, 노즐(1)에 대한 제어 전극(10)의 거리를 제어하는 것이 바람직하다.

또 이상의 설명에서는, 노즐(1)의 중심과 제어 전극(10)의 중심이 도 5(a)~도 5(h)의 모든 타이밍에 있어서 서로 일치하고 있고, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 전위를 제어함과 아울러, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리를 일부의 타이밍에 있어서 변경하고 있다. 그렇지만, 도 5(a)~도 5(h)의 모든 타이밍에 있어서, 노즐(1)의 중심과 제어 전극(10)의 중심이 서로 일치하고 있고, 또한 노즐(1)과 제어 전극(10)의 사이의 전위차가 동일한 경우이더라도 좋다. 즉, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리를 일부의 타이밍에 있어서 도 5(e), 도 5(f)와 같이 변경하는 것만으로도 좋다. 즉, 제 2 제어부(11)를 마련하지 않고 제 3 제어부(12)를 마련하더라도 좋다. 이와 같이 하더라도, 제어 전극(10)을 갖고 있지 않은 장치에 비하여, 도포의 응답성을 개선할 수 있다.

이상과 같이, 제 3 제어부(12)를 마련하여, 노즐(1)과 기재(3)의 거리를 변화시켜, 용액(2)의 기재(3)로의 도포의 거동을 제어하는 것이 바람직하다.

(실시의 형태 3)

다음으로, 도 7에 나타내는 바와 같이 기재(3)를 반송부(6)에 의해 반송하여, 기재(3) 위에 용액(2)을, 파선으로 나타내는 형상으로 도포하는 경우에 적합한 구성을 설명한다. 도 7은 본 실시의 형태에 있어서의 정전 도포 장치의 노즐(1)과 제어 전극(10)의 위치 관계를 나타내는 사시도이다. 또 파선으로 도시한 도포 패턴을, 코너 패턴(14)이라 칭한다.

본 실시의 형태에서는, 도 1의 구성에 있어서, 제어 전극(10)의 노즐(1)에 대한 상대 위치를 제어하는 제 3 제어부(12A)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 제 3 제어부(12)는 제어 전극(10)을, 기재(3)의 수평 방향(X 방향)으로 변경 가능하다. 즉, 제 3 제어부(12A)는, 노즐(1)의 중심에 대한 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심의 위치 관계를 변화시킬 수 있다.

실시의 형태 1, 실시의 형태 2에서는, 노즐(1)의 중심과 제어 전극(10)의 중심이, 모든 타이밍에 있어서 서로 일치하고 있다. 본 실시의 형태에서는, 노즐(1)의 중심 위치와 제어 전극(10)의 중심 위치를 서로 비키어 놓는 것에 의해, 제어 전극(10)을 갖고 있지 않은 종래 장치에 비하여, 도포의 응답성을 개선할 수 있다.

이하, 도 7에 나타내는 바와 같이, 코너 패턴(14)의 일례로서, X 방향의 통과점을 위치 a, b, c로 하고, 위치 c를 코너부로 하고, 또한 Y 방향의 통과점을 위치 d, e로 한 패턴으로 도포하는 경우를 도 8(a1)~도 8(a5), 도 8(b1)~도 8(b5)를 참조하면서 설명한다. 도 8(a1)~도 8(a5)는 각각, 도 7에 있어서의 위치 a~e에 있어서의 노즐(1)과 제어 전극(10)의 위치 관계를 나타내는 평면도이다. 도 8(b1)~도 8(b5)는 각각, 도 8(a1)~도 8(a5)에 대응하는 단면도이다.

직선 형상으로 용액(2)을 도포하고 있는 위치 a에서는, 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심이, 노즐(1)의 중심(15)에 일치하고 있다. 이 상태에서 기재(3)는 반송부(6)에 의해 화살표 X1 방향으로 이동한다. 이 상태에서는, 도 8(a1)에 나타내는 바와 같이 노즐(1)로부터 기재(3)를 향해 곧게 용액(2)이 토출된다.

다음으로, 위치 c의 직전의 위치 b로부터 위치 c에 걸쳐서, 노즐(1)과 제어 전극(10)을 이동시킬 때에는, 제 3 제어부(12A)는, 제어 전극(10)과 노즐(1)의 위치 관계가 도 8(a2)~도 8(a3)과 같이 되도록 제어한다. 다시 말해, 노즐(1)의 중심(15)에 대하여 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심을, X1 방향과는 반대의 방향으로 비키어 놓는다. 이와 같은 위치 관계의 상태에서, 용액(2)이 도포된다.

이것에 의해, 노즐(1)이 코너부의 위치 c에 도달하기 전에, 노즐(1)로부터 토출된 용액(2)은, 도 8(b3)에 나타내는 바와 같이 제어 전극(10)의 정전력에 의해 위치 c 쪽으로 구부러져 토출된다. 이와 같이 하여, 코너 패턴(14)의 위치 b~c의 구간이 용액(2)으로 도포된다.

여기서, 위치 b로부터 위치 c까지, 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심과 노즐(1)의 중심(15)을 서서히 비키어 놓는 것이 중요하다. 바꿔 말하면, 제어 전극(10)의 속도와 노즐(1)의 속도는 코너 패턴(14)의 형상에 맞추어 조정할 필요가 있다. 제어 전극(10)과 노즐(1)의 속도를 갑자기 변경하면, 도포된 용액(2)의 패턴이 끊어지는 일이 있다. 이것은 용액(2)의 물성(점도ㆍ표면장력 등)에 따라서 상이하기 때문에, 적당하게 조정할 필요가 있다.

다음으로, 위치 c를 넘고 나서 기재(3)를 반송부(6)에 의해 화살표 Y1 방향으로 이동시켜 직선부의 위치 d, e의 구간에 도포할 때에는, 제 3 제어부(12A)는, 제어 전극(10)과 노즐(1)의 위치 관계가 도 8(a4), 도 8(a5)와 같이 되도록 제어한다. 다시 말해, 기재(3)의 이동에 따라 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심과 노즐(1)의 중심(15)이 일치한 상태로 서서히 되돌리도록 제어한다.

상기 제어에 있어서의 노즐(1) 및 제어 전극(10)과 도포하는 코너 패턴(14)의 위치 관계를, 도 9를 참조하면서 설명한다. 도 9는 노즐(1) 및 제어 전극(10)이, 도포하는 코너 패턴(14)에 대하여 어떠한 궤도로 이동하는지 설명하는 도면이다. 즉, 도 9는 노즐(1)의 중심의 이송 궤도(이하, 노즐 궤도)(16)와, 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심의 이동 궤도(이하, 제어 전극 궤도)(17)를 나타내고 있다. 여기서 위치 a~e는 도 7의 위치 a~위치 e와 동일하다. 또, 이해하기 쉽도록 코너 패턴(14)과 노즐 궤도(16)와, 제어 전극 궤도(17)는, 위치를 비키어 놓아 나타내고 있다.

위치 a에서는, 노즐 궤도(16)와 제어 전극 궤도(17)는 동일한 궤도이다. 다음으로 코너부인 위치 c의 직전의 위치 b로부터 위치 c 및 위치 c의 직후의 위치 d에 걸쳐서, 노즐 궤도(16)는 제어 전극 궤도(17)보다 큰 곡률이 되어 있다. 그때, 노즐 궤도(16) 및 제어 전극 궤도(17)는 함께, 소정의 곡률을 갖고, 도포하는 코너 패턴(14)보다 안쪽에 위치하고 있다. 그 다음에, 위치 c를 통과한 후의 위치 e에서는, 노즐 궤도(16) 및 제어 전극 궤도(17)는 동일한 궤도이다.

이와 같이 노즐(1)에 대한 제어 전극(10)의 위치를 제 3 제어부(12A)에 의해 제어하는 것에 의해, 기재(3)의 표면에 실제로 형성되는 도포 패턴을, 기재(3)의 표면에 형성하고 싶은 코너 패턴(14)에, 보다 정밀하게 일치시킬 수 있다.

이상과 같이, 제 3 제어부(12A)를 마련하는 것에 의해, 노즐(1)의 중심과 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심의 위치 관계를 변화시켜, 용액(2)의 기재(3)로의 도포의 거동을 제어하는 것이 바람직하다. 그리고, 코너를 가진 도포 패턴을 형성하도록 용액(2)을 기재(3)에 도포할 때에, 제어 전극(10)의 기재(3)와의 상대적인 이동 궤도의 곡률이, 도포 패턴의 곡률보다 크고, 노즐(1)의 기재(3)와의 상대적인 이동 궤도의 곡률보다 작은 것이 바람직하다.

또한, 실시의 형태 2와 마찬가지로, 반송부(6), 제 1 제어부(7), 전원부(8), 제 2 제어부(11), 및 제 3 제어부(12A)의 제어나 타이밍을 제어하는 제 4 제어부(50)를 마련하는 것이 바람직하다. 즉, 노즐(1)과 기재(3)의 상대 이동에 맞추어, 제어 전극(10)을 노즐(1)에 대하여 이동시켜, 노즐(1)의 중심에 대한 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심의 위치를 제어하는 것이 바람직하다.

(실시의 형태 4)

실시의 형태 3에서는 노즐(1)에 대한 제어 전극(10)의 수평 위치를 제어하는 제 3 제어부(12A)를 이용한 경우를 설명했지만, 본 실시의 형태에서는, 도 1의 구성에 있어서, 제어 전극(10)의 노즐(1)에 대한 상대 위치를 제어하는 제 3 제어부(12b)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 제 3 제어부(12b)는 노즐(1)에 대한 제어 전극(10)의 기울기를 변경 가능하다.

도 10(a)~도 10(e)는 도 7의 코너부의 위치 a~e에 상당하는 노즐(1)과 제어 전극(10)의 관계를 나타낸다. 또, 도 10(a)~도 10(e)는 도 7에 있어서의 화살표 Y1 방향으로부터 본 상태를 나타내고 있다.

제 3 제어부(12b)는, 도 7의 위치 a로부터 위치 c에 걸쳐서, 도 10(a)~도 10(c)에 나타내는 바와 같이 제어 전극(10)을 기울이고, 위치 c로부터 위치 e에 걸쳐서 도 10(c)~도 10(e)에 나타내는 바와 같이 제어 전극(10)의 기울기를 되돌리도록 제어한다.

제어 전극(10)을 기울인 경우, 제어 전극(10)의 개구(9)의 한쪽의 단면이 부분적으로 노즐(1)에 가까워지고, 다른 쪽의 단면은 멀어진다. 그러면, 제어 전극(10)의 개구(9)의 노즐(1)에 가까운 쪽의 단면으로부터, 노즐(1)의 선단의 용액(2)을 기재(3)로부터 멀리하는 방향으로 정전력이 작용한다. 이 정전력에 의해, 노즐(1)의 선단의 용액(2)의 궤도를 제어할 수 있다. 구체적으로는, 평판 형상의 기재(3)의 평면과 수직인 축 방향으로부터 보았을 때에, 노즐(1)의 선단과 제어 전극(10)의 개구(9)의 단부가 가까운 부분으로부터, 노즐(1)의 선단과 제어 전극(10)의 개구(9)의 단부가 먼 부분을 향하여 용액을 구부릴 수 있다. 그 때문에, 위치 c를 도포할 때에, 용액(2)을 노즐(1)의 중심으로부터 어느 정도만 이동시켜 도포할 수 있다. 따라서, 코너부의 패턴을 안정적으로 도포할 수 있다.

이상과 같이, 제 3 제어부(12b)를 마련하는 것에 의해, 노즐(1)에 대한 제어 전극(10)의 기울기를 변화시켜, 용액(2)의 기재(3)로의 도포의 거동을 제어하는 것이 바람직하다.

또한, 실시의 형태 2와 마찬가지로, 반송부(6), 제 1 제어부(7), 전원부(8), 제 2 제어부(11), 및 제 3 제어부(12b)의 제어나 타이밍을 제어하는 제 4 제어부(50)를 마련하는 것이 바람직하다. 즉, 노즐(1)과 기재(3)의 상대 이동에 맞추어, 노즐(1)에 대한 제어 전극(10)의 기울기를 제어하는 것이 바람직하다.

(실시의 형태 5)

실시의 형태 4에서는, 제 3 제어부(12b)가 1매의 일체 형상의 제어 전극(10)의 노즐(1)에 대한 기울기를 제어한다. 이것에 비하여, 본 실시의 형태에서는, 제어 전극(10)을 분할하여 이용함과 아울러, 분할한 각 전극의 자세를 제 3 제어부(12c)가 제어한다. 구체적인 동작에 대하여 도 11(a)~도 11(e)를 참조하면서 설명한다. 도 11(a)~도 11(e)는 도 7의 코너 패턴(14)의 위치 a로부터 위치 e에 있어서의 노즐(1)과 제어 전극(10)의 관계를 나타내고, 도 7에 있어서의 화살표 Y1 방향으로부터 본 상태를 나타내고 있다.

본 실시의 형태 5에서는, 제어 전극(10) 대신에 제 1 전극(10a)과 제 2 전극(10b)을 이용하고 있다. 제 1 전극(10a)과 제 2 전극(10b)은 서로 마주 보고 있다. 이 마주 보는 단면에 있어서, 제 1 전극(10a)에는 오목부(9a)가 형성되고, 제 2 전극(10b)에는 오목부(9b)가 형성되어 있다. 오목부(9a)와 오목부(9b)는 그들의 사이에, 제어 전극(10)의 개구(9)에 상당하는 공간을 형성하고 있다.

도 7의 위치 a에 있어서, 제 1 전극(10a)과 제 2 전극(10b)은, 도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 서로 동일한 수평 자세가 되어 있다.

도 7의 위치 a로부터 위치 c에 걸쳐서는, 도 11(a)~도 11(c)에 나타내는 바와 같이, 제 3 제어부(12c)는, 제 1 전극(10a)과 제 2 전극(10b)을 동일한 방향으로 동일한 각도씩 서서히 기울인다.

도 7의 위치 c로부터 위치 e에 걸쳐서는, 도 11(c)~도 11(e)에 나타내는 바와 같이, 제 3 제어부(12c)는, 제 1 전극(10a)과 제 2 전극(10b)의 기울기를 되돌리도록 제어한다.

이상과 같은 제어에 의해, 노즐(1)의 선단의 액체 고임으로부터 잡아 늘려진 용액(2)에, 제어 전극(10)의 개구(9)의 단면이 가까운 부분으로부터 노즐(1) 선단의 용액을 멀리하는 방향으로 정전력이 작용하고, 노즐(1)의 선단의 용액의 궤도를 제어할 수 있다. 구체적으로는, 평판 형상의 기재(3)의 평면과 수직인 축 방향으로부터 보았을 때에 오목부(9a) 또는 오목부(9b) 중 노즐(1)의 선단에 가까운 쪽으로부터, 오목부(9a) 또는 오목부(9b) 중 노즐(1)의 선단에 먼 쪽으로 향하여 용액을 구부릴 수 있다. 다시 말해 코너부의 패턴을 도포할 때에, 어느 정도 용액을 노즐(1)의 중심으로부터 이동시켜 도포할 수 있으므로 코너부의 패턴을 안정적으로 도포할 수 있다.

이상과 같이, 제 3 제어부(12c)를 마련하는 것에 의해, 노즐(1)에 대한 제 1 전극(10a)과 제 2 전극(10b)의 기울기를 변화시켜, 용액(2)의 기재(3)로의 도포의 거동을 제어하는 것이 바람직하다.

또한, 실시의 형태 2와 마찬가지로, 반송부(6), 제 1 제어부(7), 전원부(8), 제 2 제어부(11), 및 제 3 제어부(12c)의 제어나 타이밍을 제어하는 제 4 제어부(50)를 마련하는 것이 바람직하다. 즉, 노즐(1)과 기재(3)의 상대 이동에 맞추어, 노즐(1)에 대한 제 1 전극(10a)과 제 2 전극(10b)의 기울기를 제어하는 것이 바람직하다.

또, 실시의 형태 1~5의 각각에 특유의 구성은 서로 조합할 수도 있다. 그와 같은 구성은 본 발명의 범주에 포함된다. 예컨대, 제 3 제어부(12)는, 제 3 제어부(12A, 12B)의 적어도 어느 한쪽의 기능을 갖고 있더라도 좋다. 즉, 제 3 제어부(12)는 노즐(1)의 중심에 대한 제어 전극(10)의 개구(9)의 중심의 위치 관계를 변화시킬 수 있다. 또한/또는, 제 3 제어부(12)는, 제어 전극(10)을 노즐(1)에 대하여 이동시켜, 노즐(1)과 제어 전극(10)의 거리를 변화시킬 수 있다. 또한/또는, 제 3 제어부(12)는 노즐(1)에 대한 제어 전극(10)의 기울기를 변화시킬 수 있다.

이상과 같이, 본 발명은, 미세한 패턴 형상을 안정적으로 도포할 수 있어, 터치 패널이나 전자파 실드 등의 미세한 전극 형성의 용도에 적용할 수 있다.

Claims (17)

1. 노즐의 선단에 공급된 용액에 전압을 인가하는 것에 의해 대전시키는 단계와,
   상기 노즐과 피도포체를 상대 이동시키면서, 정전력을 이용하여 상기 노즐로부터 상기 피도포체로 상기 용액을 잡아 늘이고, 잡아 늘려진 상기 용액을, 상기 노즐과 상기 피도포체의 사이에 배치되어 전압이 인가된 제어 전극에 형성된 개구를 통과시켜 상기 피도포체에 도포하는 단계
   를 구비한 정전 도포 방법.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 제어 전극에 인가하는 상기 전압을 변화시켜, 상기 용액의 상기 피도포체로의 도포의 거동을 제어하는 정전 도포 방법.
   
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 노즐의 중심과 상기 제어 전극의 상기 개구의 중심의 위치 관계를 변화시켜, 상기 용액의 상기 피도포체로의 도포의 거동을 제어하는 정전 도포 방법.
   
4. 제 3 항에 있어서,
   코너를 가진 도포 패턴을 형성하도록 상기 용액을 상기 피도포체에 도포할 때에, 상기 제어 전극의 상기 피도포체와의 상대적인 이동 궤도의 곡률이, 상기 도포 패턴의 곡률보다 크고, 상기 노즐의 상기 피도포체와의 상대적인 이동 궤도의 곡률보다 작은 정전 도포 방법.
   
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 노즐과 상기 제어 전극의 거리를 변화시켜, 상기 용액의 상기 피도포체로의 도포의 거동을 제어하는 정전 도포 방법.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 노즐에 대한 상기 제어 전극의 기울기를 변화시켜, 상기 용액의 상기 피도포체로의 도포의 거동을 제어하는 정전 도포 방법.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 노즐과 상기 피도포체의 상대 이동에 맞추어, 상기 제어 전극을 상기 노즐에 대하여 이동시켜, 상기 노즐의 중심에 대한 상기 제어 전극의 상기 개구의 중심의 위치를 제어하는 정전 도포 방법.
   
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 노즐과 상기 피도포체의 상대 이동에 맞추어, 상기 제어 전극을 상기 노즐에 대하여 이동시켜, 상기 노즐에 대한 상기 제어 전극의 거리를 제어하는 정전 도포 방법.
   
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 노즐과 상기 피도포체의 상대 이동에 맞추어, 상기 노즐에 대한 상기 제어 전극의 기울기를 제어하는 정전 도포 방법.
   
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 도포 패턴의 시단(始端), 종단(終端)의 적어도 어느 한쪽에 있어서, 상기 노즐과 상기 제어 전극의 사이의 전압을 변경하여 도포 개시, 도포 종료의 적어도 어느 한쪽의 응답성을 제어하는 정전 도포 방법.
    
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 도포 패턴의 시단에서는, 상기 노즐과 상기 제어 전극의 사이의 전압을 서서히 크게 하고,
    상기 도포 패턴의 종단에서는, 상기 노즐과 상기 제어 전극의 사이의 전압을 서서히 작게 하는
    정전 도포 방법.
    
12. 용액을 저장하는 용액 탱크와,
    상기 용액을 토출하는 노즐과,
    상기 노즐의 선단에 상기 용액을 공급하는 제 1 제어부와,
    상기 노즐에 대향하여 피도포체를 반송하는 반송부와,
    상기 피도포체에 대하여, 상기 노즐과 반대측에 배치된 배면 전극과,
    상기 용액 탱크, 상기 노즐의 적어도 한쪽과 상기 배면 전극의 사이에 전압을 인가하는 전원부와,
    상기 노즐과 상기 피도포체의 사이에 배치되고, 상기 노즐로부터 잡아 늘려진 상기 용액이 통과하는 개구가 형성되고, 전압이 인가된 제어 전극
    을 구비하고,
    상기 개구를 통과하여 상기 용액을 상기 피도포체에 도포하는
    정전 도포 장치.
    
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제어 전극에 인가하는 상기 전압을 제어하는 제 2 제어부를 더 구비한 정전 도포 장치.
    
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어 전극을 상기 노즐에 대하여 이동시켜, 상기 노즐의 중심에 대한 상기 제어 전극의 상기 개구의 중심의 위치 관계를 변화시키는 제 3 제어부를 더 구비한 정전 도포 장치.
    
15. 제 13 항에 있어서,
    상기 제어 전극을 상기 노즐에 대하여 이동시켜, 상기 노즐과 상기 제어 전극의 거리를 변화시키는 제 3 제어부를 더 구비한 정전 도포 장치.
    
16. 제 13 항에 있어서,
    상기 노즐에 대한 상기 제어 전극의 기울기를 변화시키는 제 3 제어부를 더 구비한 정전 도포 장치.
    
17. 제 14 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 전극에 인가하는 상기 전압을 제어하는 제 2 제어부와,
    상기 반송부와 상기 제 2 제어부와 상기 3 제어부와 상기 전원부의 구동을 제어하는 제 4 제어부
    를 더 구비한 정전 도포 장치.

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