JP2009277681A - 液体塗布装置および液体塗布方法 - Google Patents

液体塗布装置および液体塗布方法 Download PDF

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Abstract

【課題】製造コストを低減できるダイコートを用いても、有機EL素子等の発光層を形成するインク等の液体材料を高精度にかつ安定に塗布することを可能にする。
【解決手段】インク2を連続的に吐出するノズル1と基板3との間で、インク2の吐出領域の両側に塗布方向Aに沿うように、かつ塗布方向Aとは逆方向に開口5aを設けるように補助電極5−1を設置し、補助電極5−1にノズル1と同じ電位を直流電源4により与えながら、インク2を基板3に塗布する。
【選択図】図1

Description

本発明は、インク等の液体を対象物上の所定位置に塗布する液体塗布装置および液体塗布方法に関するものである。
有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子という)の発光層形成工程のような高精度な塗布が必要とされる高精細表示装置の製造工程において、従来、液体塗布装置としてインクジェット装置が用いられている。インクジェット装置は、ピエゾ素子を精密に制御することによりインク室からインク液滴を吐出する装置であって、高精度な塗布を実現する方法として広く用いられている。
さらに高精度な塗布を目指して、静電吸引を利用したインクジェット装置の技術が特許文献1に開示されている。
図9は特許文献1に記載されている従来の液体塗布装置の概略構成を示す一部断面図である。
図9において、インクジェット装置101は、目標位置に正確に液滴102を着弾させるため、電源E1,E2によりノズル103と下部電極104間に電圧を印加している。さらに電界制御リング105を付加する構成になっている。
ノズル103に電圧を加えることによりインク103は帯電するので、吐出されたインク液滴は、ノズル103とほぼ同電位にされている電界制御リング105から反発力を受け、電界制御リング105の中央付近を正確に通過する。これによってインク103の吐出方向のバラツキを抑え、高精度な塗布を可能にしている。
一方、インクジェット装置は、ピエゾ素子による吐出機構の作り込みと、ピエゾ素子を精密に駆動するための制御系が必要で非常に高価である。そのため有機EL素子の製造コストが高くなるという問題があった。
そのため、特にライン状の塗布が必要とされる場合、ノズルから連続的にインクを吐出するダイコートによる塗布への期待が高まっている。
ダイコートにおいてもノズルと基板間に電界を印加することによってインクを絞り込み(テーラー・コーン現象)、高精度塗布を実現する技術が開示されている(特許文献2参照)。
特開2003−59660号公報(段落0068〜0070,図12) 特開平10−340673号公報
しかしながら、ダイコートにおいてノズルと基板間に電界を印加してインクを絞り込む技術では、テーラー・コーン現象がノズル先端で安定しないという問題があった。これは、ノズル先端から基板に至る途中の電界が、インクや基板の帯電の影響を受けて不安定になるためである。この問題は、特に、今後の高精細塗布において顕著に現れてくると考えられる。なぜなら、複数のノズル吐出部が接近し影響を及ぼしやすくなるからである。
前記問題に対して、特許文献1のごとくリング状の補助電極(電界制御リング)をノズル吐出部先端に設ける方法も考えられるが、ダイコートの場合は液滴の場合と異なり、相対運動しているノズルと基板が繋がっていることにより、ノズルと基板を繋ぐインク部分(以下、インク液柱という)が基板側から力を受けるため、この力とリング状補助電極からの反発力が拮抗し、さらに不安定になる。
本発明は、前記従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、製造コストを低減できるダイコート等を用いても、インクのような液体材料を高精度に、しかも安定して塗布することを可能にした液体塗布装置および液体塗布方法を提供することを目的とする。
前記目的を達成するため、本発明の液体塗布装置は、液体を連続的に吐出するノズルと塗布対象物とを相対的に移動させて、液体を塗布対象物に塗布する液体塗布装置において、前記ノズルと前記塗布対象物の間で、前記ノズルから吐出する液体の両側に塗布方向にほぼ沿うように設置され、少なくとも液体塗布流れ下流方向に開口部を有する補助電極と、前記ノズルと前記塗布対象物と前記補助電極に電圧を印加する直流電源とを備えたことを特徴とする。
本発明の液体塗布方法は、液体を連続的に吐出するノズルと塗布対象物とを相対的に移動させて、液体を塗布対象物に塗布する液体塗布方法において、前記ノズルと前記塗布対象物の間で、前記ノズルから吐出する液体の両側に塗布方向にほぼ沿うように設置され、少なくとも液体塗布流れ下流方向に開口部を有する補助電極を用いて、前記ノズルと前記塗布対象物と前記補助電極に電圧を印加し、生成された電界により前記ノズルから吐出される液体の直径の絞込みを行い、前記塗布対象物に対する液体塗布を行うことを特徴とする。
本発明によれば、液体を連続的に吐出するノズルと塗布対象物の間で、ノズルから吐出する液体の両側に塗布方向にほぼ沿うように設置され、少なくとも塗布方向の下流側に開口部を有する補助電極を用いて液体塗布を行うため、ノズル先端から塗布対象物に至る途中の電界の不安定性が軽減される。
さらに、ノズルと塗布対象物間のインク部分はノズル両側に設けられた補助電極から斥力を受けるので、ノズルと塗布対象物との相対運動の方向に垂直な位置が安定する。
しかも、ノズルと塗布対象物間のインク部分が塗布対象物から受ける力に対して拮抗する部分がないので安定して塗布することができる。
その結果、例えば、製造コストを低減できるダイコートを用いて有機EL素子の発光層を形成するインクのような液体材料を、高精度かつ安定して塗布することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態として、有機EL素子の発光層塗布工程を例にして説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。
図1において、ノズル1は、シリンジ等(図示せず)により発光層の材料を溶媒に溶かした液体(本例ではインク)を定量吐出し、インク2の塗布対象物である基板3のライン状の凹部3aに対して塗布する。凹部3aは有機EL素子の隔壁の間を示している。
本例では、凹部3aの谷の部分の寸法は約30〜100μmであり、ノズル1と基板3間の距離は100〜800μmである。
直流電源4は、導電材料からなるノズル1と基板3間に電圧を印加することにより電界を生成する。図では基板3を直流電源4に直接接続しているが、基板3を導電材料からなる基板載置台に載置し、基板載置台と電源とを電気的に接続するようにしてもよい。印加する電圧は、有機EL発光層の塗布工程で使用するインクの場合、0.5〜8KVである。
また、有機EL素子の発光層の塗布工程で使用されるインクは、溶質としては、ポリフルオレン系,ポリアリーレン系,ポリアリーレンビニレン系,アルコキシベンゼン,アルキルベンゼンなどの高分子材料が挙げられ、溶媒としては、トルエン,キシレン,アセトン,アニソール,メチルエチルケトン,メチルイソブチルケトン,シクロヘキシルベンゼン等の単独または混合溶媒が挙げられる。
ノズル1は、駆動部(図示せず)により塗布方向(図中矢印A方向)に移動する。図1(b)では図面に垂直方向に動くことになる。なお、この移動については、基板3を駆動させても、ノズル1と基板3とを駆動するようにしてもよい。ノズル1と基板3との相対的な移動速度は50〜500mm/sである。
直流電源4には補助電極5−1が電気的に接続され、補助電極5−1はノズル1と同じ電位を与えられている。補助電極5−1は、本実施の形態1では、薄いプレート状のものであり、ノズル1と基板3間で、塗布方向Aに沿ってノズル1の両側に対向して2枚が設置されている。
本実施の形態1の構成によれば、ノズル1を介してプラスに帯電したインク2がマイナスに帯電した真下に配されている基板3に吸引されてテーラーコーン2aが発生し、ノズル1と基板3を繋ぐインク液柱2bの直径を、ノズル1のインク吐出口1aの直径の1/10〜1/2に絞り込むことができる。このため、微細なライン状にインク2を塗布することができ、高精細な有機EL素子を実現できる。
本実施の形態1では直径100μmのノズル1で40μmのラインを塗布することができる。ノズル1の直径が小さい場合は、インク1の乾燥によりノズル1のインク吐出口1aが塞がってしまい、塗布することができなくなるため、テーラーコーン2aを利用して塗布することが、高精度塗布において重要な技術となる。
さらに本実施の形態1においては、ノズル1と基板3間に塗布方向Aにほぼ沿うように、ノズル1の両側にプラスに帯電した補助電極5−1を配置しているので、プラスに帯電したインク液柱2bの位置が、塗布方向Aに対して両側から斥力を受けることにより、安定化される。
しかも、一対の補助電極5−1は、塗布流れ下流方向(塗布方向Aと逆方向)に開口5aが設けられているので、基板3とノズル1とが相対運動することにより、インク液柱2bが受ける力と拮抗する力はなく、安定に塗布することができる。
本実施の形態1では補助電極5−1の電位をノズル1と同じとしたが、基板3の電位とノズル1の電位との中間の電位よりノズル側に近い電位に設定してもよい。ノズル1と補助電極5−1の間の斥力が補助電極5−1の保持を困難とする場合は、このように設定した方が有効である。
また、本実施の形態1ではノズル1の両側に設置した補助電極5−1の電位を同一としたが、それぞれ独立に電位をコントロールしてもよい。補助電極5−1の位置調整を行った後、それぞれの補助電極5−1の電位を調整し、塗布位置を調整することで調整時間を短縮することができる。
(実施の形態2)
図2は本発明の実施の形態2における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。なお、以下の説明において、図1にて説明した部材に対応する部材には、同一符号を付して詳しい説明は省略する。
図2において、補助電極5−2は、ワイヤー状のものであって塗布方向Aに沿ってノズル1の両側に2本設置されている。本実施の形態2の構成はノズル1と基板3間の隙間が小さい場合に有効である。
また、実施の形態1の構成に比べて、補助電極の平面度や補助電極同士の平行度を調整する必要がなく、ノズル周りの製作コストを低減できるという特徴がある。さらに、実施の形態1と比べると補助電極5−2に角部がないので、電界集中が発生せず安定性が高いという特長もある。
なお、実施の形態2において、ワイヤー断面積は円形であるが楕円としてもよい。また、実施の形態2おいては補助電極5−2であるワイヤーは片側1本であるが、ノズル・基板方向に複数本並べて配設するようにしてもよい。
本実施の形態2の構成において、実施の形態1の効果に加えて角部による電界集中がなく、ノズル1,補助電極5−2,基板3間の電界が安定するという効果が得られる。
(実施の形態3)
図3は本発明の実施の形態3における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。
図3において、実施の形態1と同様に補助電極5−3は薄いプレート状であるが、実施の形態1と異なり、基板3方向に狭まるテーパー状になるように配置している。このような配置の構成は調整に時間がかかるが、補助電極同士の距離がノズル側で狭まることで、より塗布精度が向上する。
実施の形態1において補助電極同士の距離を狭くすると、補助電極のノズル側がインクと接触する可能性が高くなるので、本実施の形態2のごとく基板3側に狭まるようなテーパー状に配置することがよい。
(実施の形態4)
図4は本発明の実施の形態4における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。
図4において、実施の形態1と同様に補助電極5−4は薄いプレート状であるが、実施の形態1と異なり、補助電極5−4は塗布流れ下流方向に狭まるテーパー状になるように配置している。このような配置の構成は調整に時間がかかるが、補助電極同士の距離が塗布流れ下流方向に狭まることで、より塗布精度が向上する。
実施の形態1において補助電極同士の距離を狭くすると、ノズルから吐出したばかりのインクは直径が大きいので、補助電極の塗布流れ上流側においてインクが補助電極と接触する可能性が高くなる。よって、本実施の形態4のようなテーパー状に配置することがよい。
(実施の形態5)
図5は本発明の実施の形態5における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。
図5において、補助電極5−5は、塗布流れ下流方向に開口5aを有するリング状である。このような形状にすると、補助電極5−5からインク液柱2bが斥力を受ける方向が増し、より塗布精度が向上する。
本実施の形態5では、図9に示す従来例と異なり、塗布流れ下流方向に開口5aを設けているので、ノズル1の移動時にインク2が基板3から引っ張られる力と補助電極5−5からの斥力との拮抗を回避し、塗布挙動が不安定になることを防ぐことができる。
(実施の形態6)
図6は本発明の実施の形態6における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。
図6において、補助電極5−6は平面視U字形であり、開口5aが塗布流れ下流方向に向けられて配されている。このような構成にすると、ノズル1を組み立てる際、補助電極5−6におけるU字の直線部分を規制部として使用し、組み立てることができるためノズル1の調整時間および製造コストを低減することができる。また、塗布方向前後に対する安定性も向上する。
(実施の形態7)
図7は本発明の実施の形態7における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。
図7において、複数(本例では4個を示している)のノズル1を有し、ノズル1を包囲するように、補助電極5−7が平面視コ字形で共通の部分を有する構成のものである。このような形状にすると、複数ノズル用に補助電極を作成する際、製作コストを低減することができる。また、共通部分によって全ての補助電極の電位を確実に同電位にできるので、隣り合うノズルの補助電極に電位差が生じて塗布が不安定になることを防止できる。
図8は実施の形態7の液体塗布装置における変形例の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図である。
図8において、複数のノズル1を塗布方向Aに対して角度を持たせており、このような設置構成にすると、ノズル1のインク吐出口のピッチよりも高精細に塗布する場合でも、塗布流れ下流方向に開口5aを設けることで、安定した塗布を実現できる。
本発明は、製造コストが低い構成で高精度な塗布が可能となるため、有機EL素子やPDPなどのラインデバイス構造を持つ高精細表示装置等の印刷製造工程に適用できる。
本発明の実施の形態1における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 本発明の実施の形態2における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 本発明の実施の形態3における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 本発明の実施の形態4における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 本発明の実施の形態5における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 本発明の実施の形態6における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 本発明の実施の形態7における液体塗布装置の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 実施の形態7の液体塗布装置における変形例の概略構成図であって、(a)は平面図、(b)は正面断面図、(c)は(b)のX−X断面図 従来の液体塗布装置の概略構成を示す一部断面図
符号の説明
1 ノズル
1a インク吐出口
2 インク
2a テーラーコーン
2b インク液柱
3 基板
3a 基板の凹部
4 直流電源
5−1〜5−7 補助電極
5a 補助電極の開口
A 塗布方向

Claims (8)

  1. 液体を連続的に吐出するノズルと塗布対象物とを相対的に移動させて、前記液体を前記塗布対象物に塗布する液体塗布装置において、
    前記ノズルと前記塗布対象物の間で、前記ノズルから吐出する液体の両側に塗布方向にほぼ沿うように設置され、少なくとも液体塗布流れ下流方向に開口部を有する補助電極と、前記ノズルと前記塗布対象物と前記補助電極に電圧を印加する直流電源とを備えたことを特徴とする液体塗布装置。
  2. 前記補助電極がプレート状あるいはワイヤ状であることを特徴とする請求項1記載の液体塗布装置。
  3. 前記直流電源により前記補助電極と前記ノズルとが同電位になるように電圧を印加することを特徴とする請求項1または2記載の液体塗布装置。
  4. 前記補助電極における対向する部位の電位を独立して調整可能にしたことを特徴とする請求項1,2または3記載の液体塗布装置。
  5. 液体を連続的に吐出するノズルと塗布対象物とを相対的に移動させて、前記液体を前記塗布対象物に塗布する液体塗布方法において、
    前記ノズルと前記塗布対象物の間で、前記ノズルから吐出する液体の両側に塗布方向にほぼ沿うように設置され、少なくとも液体塗布流れ下流方向に開口部を有する補助電極を用いて、前記ノズルと前記塗布対象物と前記補助電極に電圧を印加し、生成された電界により前記ノズルから吐出される液体の直径の絞込みを行い、前記塗布対象物に対する液体塗布を行うことを特徴とする液体塗布方法。
  6. 前記補助電極と前記ノズルとが同電位になるように電圧を印加することを特徴とする請求項5記載の液体塗布方法。
  7. 前記補助電極における対向する部位の電位を独立して調整することを特徴とする請求項5または6記載の液体塗布方法。
  8. 前記補助電極の位置調整を行った後、前記補助電極における電位を調整することを特徴とする請求項7記載の液体塗布方法。
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