WO2015121906A1

WO2015121906A1 - 有機ｅｌ素子、照明装置及び有機ｅｌ素子の製造方法

Info

Publication number: WO2015121906A1
Application number: PCT/JP2014/005898
Authority: WO
Inventors: 成正岩本; 知典山田; 勉櫟原; 哲夫石田
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2014-02-12
Filing date: 2014-11-26
Publication date: 2015-08-20
Also published as: JPWO2015121906A1

Abstract

　有機ＥＬパネル（１）は、第一基板（１１）と、第一基板（１１）上に配置された第一電極（１２）と、発光層を有し、かつ第一電極（１２）上に配置された有機層（１４）と、有機層（１４）上に配置された第二電極（１５）と、液状の導電性材料を用いて形成されており、第一電極（１２）に積層された線状の第一補助電極（１３ａ）と、液状の導電性材料を用いて形成されており、第一電極（１２）に積層された第二補助電極（１３ｂ）と、を備え、第二補助電極（１３ｂ）は、平面視において有機層（１４）の外周部に対応する位置に配置され、かつ、第一補助電極（１３ａ）と一体形成されている。

Description

有機ＥＬ素子、照明装置及び有機ＥＬ素子の製造方法

　本発明は、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子、有機ＥＬ素子を用いた照明装置及び有機ＥＬ素子の製造方法に関する。

　有機ＥＬパネル等の有機ＥＬ素子は、面発光デバイスとして各種装置への適用が検討されている。有機ＥＬ素子は、例えば、ガラス基板と、ガラス基板上に形成されたＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）等からなる透明電極と、透明電極上に形成された有機発光層と、有機発光層上に形成された金属電極とを備えている。

　ＩＴＯ等の透明導電性材料は一般的に抵抗率が高いので、上記有機ＥＬ素子において、ＩＴＯ膜である透明電極の外周部から当該透明電極に給電を行うと、ＩＴＯ膜の電圧降下によって発光面の中央領域の輝度が低下する。このため、有機ＥＬ素子では、発光面の輝度均一性を高めるために、透明電極に高導電率の金属材料からなる補助電極を積層する技術が提案されている。

　補助電極に用いられる金属材料は遮光性を有する場合が多いので、補助電極の存在によって発光量が大きく低下しないように、補助電極は線状に形成される。例えば、補助電極は、発光量を阻害することなくかつ輝度均一性を高めるためにグリッド状（格子状）に形成される。

　グリッド状の補助電極は、一般的には、スパッタ等のドライ工法を用いて透明電極上に形成される。例えば、マスクを通して金属材料を透明電極上にスパッタ成膜することによって所定形状の補助電極を形成することができる。あるいは、透明電極上の全面に金属材料をスパッタ成膜した後にウェットエッチングによってパターニングすることで所定形状の補助電極を形成することもできる。

　近年、このようなドライ工法よりも、製造装置コストや材料コストがはるかに少なく、また、簡便に補助電極を形成する手法として、液体吐出法が検討されている（例えば、特許文献１参照）。液体吐出法は、ディスペンサーノズル等を用いて液状の導電性材料を描画する工法である。液体吐出法によって補助電極を形成する場合、液状の導電性材料を線状に塗布して固化することで所定形状の補助電極を形成することができる。

　なお、同じ液体吐出法でもインクジェット法は装置コストが高くなる。また、スクリーン印刷やグラビア印刷等の版を用いた転写法は、装置コストは低いが、基板への異物付着等の課題があり、現実的ではない。

特開２００９－２３１２６４号公報

　補助電極による輝度均一性効果を高めるために、グリッド状の第一補助電極を透明電極の内部領域に形成するとともに、透明電極上の外周領域に第二補助電極を形成することが考えられている。

　しかしながら、第一補助電極及び第二補助電極を液体吐出法によって形成すると、ドライ工法によって形成する場合と比べて製造タクトが低下してしまう。特に、第一補助電極のグリッドパターンの本数が増えたり第二補助電極の本数が増えたりすると、液体吐出法では液状の導電性材料の描画に時間がかかることから製造タクトが大きく低下してしまう。

　そこで、ディスペンサーノズルのノズル数を増やすことも考えられる。しかしながら、内部領域に形成される第一補助電極と外周領域に形成される第二補助電極とでは線幅（太さ）や本数が異なる場合もあるため、ノズル数を増やすと煩雑なノズル交換が必要になってしまう。また、第一補助電極と第二補助電極とを異なるディスペンサーノズルによって形成すると、第一補助電極と第二補助電極との接合部分における接触抵抗が大きくなり、補助電極による輝度均一性効果が低下する場合がある。

　本発明は、液体吐出によって第一補助電極及び第二補助電極を形成する場合であっても製造タクトの低下を抑えることができる、有機ＥＬ素子、照明装置及び有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを目的とする。

　上記目的を達成するために、本発明に係る有機ＥＬ素子の一態様は、基板と、前記基板上に配置された第一電極と、発光層を有し、かつ前記第一電極上に配置された有機層と、前記有機層上に配置された第二電極と、液状の導電性材料を用いて形成されており、前記第一電極に積層された線状の第一補助電極と、液状の導電性材料を用いて形成されており、前記第一電極に積層された第二補助電極と、を備え、前記第二補助電極は、平面視において前記有機層の外周部に対応する位置に配置され、かつ、前記第一補助電極と一体形成されていることを特徴とする。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の一態様において、前記第二補助電極は線状であり、前記第一補助電極の長手方向の端部と前記第二補助電極の長手方向の端部とが一体形成されていてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の一態様において、前記第一補助電極及び前記第二補助電極の各々は、所定の間隔で複数本ずつ配置されており、隣り合う２つの前記第二補助電極の間隔は、隣り合う２つの前記第一補助電極の間隔よりも狭くてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の一態様において、前記第二補助電極の線幅は、前記第一補助電極の線幅よりも広くてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の一態様において、前記第一補助電極と前記第二補助電極との成す角は略直角であってもよい。

　また、本発明に係る照明装置の一態様は、上記いずれかに記載の有機ＥＬ素子を有することを特徴とする。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様は、基板上に第一電極と発光層を有する有機層と第二電極とが配置された有機ＥＬ素子の製造方法であって、ノズルからの液体吐出によって、線状の第一導電性材料と、平面視において前記有機層の外周部に位置する第二導電性材料とを、前記第一電極上に塗布する導電性材料塗布工程と、前記第一導電性材料及び前記第二導電性材料を加熱することによって第一補助電極及び第二補助電極を形成する加熱工程と、を含み、前記導電性材料塗布工程では、前記第一導電性材料と前記第二導電性材料とを一体形成させて配置していることを特徴とする。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様において、前記有機ＥＬ素子は、矩形の発光面を有し、前記ノズルは、前記液体吐出を行うための吐出口を複数有し、複数の前記吐出口は、前記発光面の一辺に対して４５度未満の傾斜となるように配列されており、前記導電性材料塗布工程では、前記ノズルを前記発光面の一辺に対して略水平及び略垂直に移動させることで、前記第一導電性材料及び前記第二導電性材料の液体吐出を行ってもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様において、前記導電性材料塗布工程では、前記ノズル又は前記基板を、前記発光面の一辺に対して略水平に移動させた後、略垂直に移動させ、その後、略水平に移動させてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様において、前記導電性材料塗布工程は、前記ノズルと前記基板との相対的な角度関係が略９０度変更するように、前記ノズル及び前記基板の少なくとも一方を回転させる角度関係変更工程を含んでいてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様において、前記ノズルは、前記液体吐出を行うための吐出口を複数有し、複数の前記吐出口は、列状に配列された複数の第一吐出口と、前記第一吐出口の列の略垂直線上に列状に配列された複数の第二吐出口とからなり、前記導電性材料塗布工程は、前記第一吐出口から前記第一導電性材料の液体吐出を行う第一吐出工程と、前記第二吐出口から前記第二導電性材料の液体吐出を行う第二吐出工程と、を含んでいてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様において、前記導電性材料塗布工程では、さらに、前記加熱工程の前に、電極パッドを形成するために、前記第一導電性材料及び前記第二導電性材料の少なくとも一方と同じ材料を、前記ノズルを用いて所定の位置に塗布する工程を含んでいてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様において、前記液体吐出は、静電吐出によって行われていてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一態様において、前記第二導電性材料の液体吐出を行うときの前記ノズルの移動速度は、前記第一導電性材料の液体吐出を行うときの前記ノズルの移動速度よりも遅くてもよい。

　本発明によれば、液状の導電性材料を液体吐出することで第一補助電極及び第二補助電極を形成する場合であっても、製造タクトの低下を抑えることができる。

図１Ａは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの平面図である。図１Ｂは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの断面図である。図２は、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの補助電極のパターンを示す平面図である。図３Ａは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの斜視図である。図３Ｂは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。図４Ａは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法における第一電極形成工程を示す平面図である。図４Ｂは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法における導電性材料塗布工程（縦方向）を示す平面図である。図４Ｃは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法におけるディスペンサーノズルの角度変更工程を示す平面図である。図４Ｄは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法における導電性材料塗布工程（横方向）を示す平面図である。図４Ｅは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法における加熱工程を示す平面図である。図４Ｆは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法における有機層形成工程を示す平面図である。図４Ｇは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法における第二電極形成工程を示す平面図である。図５は、本発明の実施の形態２に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。図６Ａは、本発明の実施の形態２に係る有機ＥＬパネルの製造方法における補助電極形成工程（縦方向）を示す平面図である。図６Ｂは、本発明の実施の形態２に係る有機ＥＬパネルの製造方法におけるディスペンサーノズルの角度変更工程を示す平面図である。図６Ｃは、本発明の実施の形態２に係る有機ＥＬパネルの製造方法における補助電極形成工程（横方向）を示す平面図である。図７は、本発明の実施の形態３に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。図８Ａは、本発明の実施の形態３に係る有機ＥＬパネルの製造方法における補助電極形成工程（縦方向）を示す平面図である。図８Ｂは、本発明の実施の形態３に係る有機ＥＬパネルの製造方法における補助電極形成工程（横方向）を示す平面図である。図９は、本発明の実施の形態４に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。図１０Ａは、本発明の実施の形態４に係る有機ＥＬパネルの製造方法における補助電極形成工程（縦方向）を示す平面図である。図１０Ｂは、本発明の実施の形態４に係る有機ＥＬパネルの製造方法における補助電極形成工程（横方向）を示す平面図である。図１１は、本発明の変形例に係る有機ＥＬパネルの構成を示す図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、工程（ステップ）、工程の順序等は、一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

　なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。

　また、本明細書では、便宜的に各図面の上下方向を縦方向とし、左右方向を横方向として説明している。

　（実施の形態１）
　本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネル１の構成について、図１Ａ及び図１Ｂを用いて説明する。図１Ａは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの平面図であり、図１Ｂは、同有機ＥＬパネルの断面図である。なお、図１Ａでは、第二基板１６及びシール樹脂１７は図示されていない。

　有機ＥＬパネル１は、有機ＥＬ素子の一例であって、所定の色の光を発する面発光型の発光デバイスである。本実施の形態における有機ＥＬパネル１は、照明光として白色光を発する有機ＥＬ照明パネルである。

　図１Ａ及び図１Ｂに示すように、有機ＥＬパネル１は、第一基板１１と、第一電極１２と、補助電極１３（第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂ）と、発光層を含む有機層１４と、第二電極１５と、第二基板１６と、シール樹脂１７とを備える。

　本実施の形態では、第一基板１１及び第一電極１２が透光性を有し、第二電極１５が反射性を有している。つまり、図１Ｂに示すように、本実施の形態における有機ＥＬパネル１は、一方の面（第一基板１１側の面）のみから光を発する片面発光型の有機ＥＬ照明パネルである。なお、第二電極１５及び第二基板１６も透光性を有するように構成することによって両方の面から光を発する両面発光型の有機ＥＬ照明パネルとしてもよい。

　以下、本実施の形態における有機ＥＬパネル１の各構成部材について詳細に説明する。

　第一基板１１は、透光性を有する透光性基板であり、例えば、ガラスからなるガラス基板、又は、ポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂等の透光性樹脂材料からなる樹脂基板等である。

　第一基板１１は、ベース基板であって、光出射側に配置される。このため、第一基板１１としては、ガラスやポリエステル樹脂等の耐透湿性に優れた透明樹脂、又は、ガラスと樹脂との複合材料からなる基板を用いるとよい。本実施の形態において、第一基板１１は、向こう側が透けて見える程度に透過率の高い透明基板であり、例えば、矩形状の透明なガラス基板である。

　なお、第一基板１１は、リジッド基板に限るものではなく、フレキシブル樹脂基板やフレキシブルガラス基板等の可撓性を有するフレキシブル基板であってもよい。また、第一基板１１の形状は、正方形や長方形の矩形状に限るものではなく、円形としてもよいし、四角形以外の多角形としてもよい。

　図１Ｂに示すように、第一電極１２は、第一基板１１上に配置される。例えば、第一電極１２は、第一基板１１の上面に所定形状で形成される。本実施の形態において、第一電極１２は、平面視において有機層１４に対応する主要部分が略矩形状となるように形成されており、さらに、矩形状の第一基板１１における上下の二辺の各々に向かって複数（図１Ａでは３つ）突出するように形成されている。

　この第一電極１２の突出部分は、第一電極１２における第一端子部１２ａである。なお、第一基板１１には、第一電極１２と同じ材料を用いて矩形状の第二端子部１２ｂが形成されている。第一端子部１２ａは、第一電極１２に供給するための所定の電圧が印加される給電部であり、第二端子部１２ｂは、第二電極１５に供給するための所定の電圧が印加される給電部である。なお、第二端子部１２ｂは、第一電極１２と接続されておらず、第一端子部１２ａと分離して形成されている。

　また、第一電極１２は、透光性を有する電極である。第一電極１２は、光出射側に配置されるので、第一電極１２としては、例えばＩＴＯ又はＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｚｉｎｃ　Ｏｘｉｄｅ）等の透明導電性材料によって構成された透明導電膜からなる透明電極を用いるとよい。このように、第一電極１２が透光性を有するので、有機層１４の発光層で発生した光のうち第一基板１１側に向かう光は第一電極１２を透過する。本実施の形態において、第一電極１２は、陽極（アノード）である。なお、第一電極１２の膜厚が厚すぎると光透過率が低下してしまうので、第一電極１２の膜厚は３０～３００ｎｍ程度にするとよい。

　ＩＴＯ等の透明導電性材料は一般的に抵抗率が高いので、第一基板１１の外周部に形成された第一端子部１２ａから第一電極１２に給電を行うと、第一電極１２の電圧降下によって発光面（有機層１４）の中央領域の輝度が低下する。そこで、第一電極１２の導電率を補完し、第一電極１２の面内に均一に電流を分布させて発光面の輝度均一化を図るために、図１Ｂに示すように、第一電極１２には、第一電極１２よりも抵抗率が低い材料によって構成された補助電極１３が積層されている。補助電極１３の詳細な構成については後述する。

　有機層１４は、図１Ｂに示すように、第一電極１２上に配置される。具体的には、有機層１４は、補助電極１３を覆うようにして第一電極１２上に配置される。また、有機層１４は、第一電極１２と第二電極１５との間に位置するように設けられる。

　有機層１４は、少なくとも発光層を有する有機ＥＬ層（有機発光層）であり、主として有機材料によって構成されている。具体的には、有機層１４は、発光層の他に、ホール注入層、ホール輸送層、電子輸送層及び電子注入層等の機能層を含む。但し、有機層１４は、これらの機能層の全てを含む必要はなく、これらの機能層の任意の組み合わせによって構成されていればよい。

　本実施の形態では、第一電極１２が陽極であり、第二電極１５が陰極であるので、有機層１４は、例えば、第一電極１２側から第二電極１５に向かって順に、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入層を積層することで構成される。有機層１４は、例えば、所定の有機材料を用いて、蒸着法又は液状塗布法等によって第一電極１２上に形成される。なお、機能層の一部は無機材料によって構成されていてもよい。

　第二電極１５は、有機層１４上に配置される。例えば、第二電極１５は、有機層１４の表面に所定形状で形成される。本実施の形態において、第二電極１５は、第一基板１１の上下の二辺の各々に向かって複数箇所（図１Ａでは２箇所）突出するように形成されている。この第二電極１５の突出部分は、第一基板１１に形成された第二端子部１２ｂに接続されている。

　また、第二電極１５は、光出射側とは反対側に配置されるので、第二電極１５としては、例えば、銀、銅又はアルミニウム等の金属材料を用いることができる。つまり、本実施の形態において、第二電極１５は、反射性を有する反射電極である。これにより、有機層１４の発光層で発生した光のうち第二基板１６側に向かう光は、第二電極１５で反射して第一基板１１側に進行する。なお、上述のとおり、本実施の形態において、第二電極１５は、陰極（カソード）である。

　第二基板１６は、第一電極１２、有機層１４及び第二電極１５を覆うキャップ基板であり、透光性基板及び非透光性基板のいずれであってもよい。第二基板１６としては、第一基板１１と同じ材料及び同じ形状の基板を用いることができ、例えば、矩形状のガラス基板（キャップガラス）を用いることができる。

　シール樹脂１７は、第一基板１１と第二基板１６とを封止する封止材であり、第一電極１２、有機層１４及び第二電極１５の積層体を囲むように、第一基板１１及び第二基板１６の外周端部に沿って額縁状に形成される。なお、第二電極１５と第二基板１６との間の空隙には固体乾燥剤が配置されていてもよい。

　このように構成される有機ＥＬパネル１は、電源回路（不図示）から電力が供給されて第一電極１２と第二電極１５との間に所定の電圧が印加されると、有機層１４に電流が流れて発光層が発光する。本実施の形態において、有機層１４からは白色光が放出される。

　次に、図２を用いて補助電極１３の詳細な構成について説明する。図２は、本実施の形態に係る有機ＥＬパネル１における補助電極１３のパターンを示す平面図である。

　図２に示すように、補助電極１３は、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとによって構成されている。本実施の形態において、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂは、同じ材料を用いて第一電極１２の上に線状に形成されている。具体的には、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂの各々は直線状に形成されている。

　第一補助電極１３ａは、発光面の内側領域にグリッド状（格子状）に形成されている。つまり、第一補助電極１３ａは、平面視において有機層１４及び第一電極１２の内側領域（内側部）に対応する位置に配置されており、かつ、この内部領域においてグリッド状に形成されている。具体的には、第一補助電極１３ａは、第一基板１１（第一電極１２）の縦方向及び横方向の各々に沿って所定の間隔で複数本形成されている。これにより、第一電極１２の面内全域に均一に電流を分布させることができる。

　また、第一補助電極１３ａの線幅が広くなりすぎると発光を阻害してしまうので、第一補助電極１３ａは、線幅が５～５０μｍ程度の細い線で形成するとよい。なお、第一補助電極１３ａの厚みは特に限定されるものではないが、例えば０．１～５μｍ程度である。

　第二補助電極１３ｂは、平面視において、発光面における内部領域（内側部）の外側の領域である外周領域（外周部）に形成されている。つまり、第二補助電極１３ｂは、平面視において有機層１４及び第一電極１２の外周領域に対応する位置に配置されている。具体的には、第二補助電極１３ｂは、矩形状の発光面の４辺の外周領域の各辺において、発光面の各辺に並行するように所定の間隔で複数本形成されている。第二補助電極１３ｂを第一電極１２の外周部に形成することによって、電流をすばやく第一電極１２の外周部にいきわたらせることができる。

　第二補助電極１３ｂは発光面における外周部に形成されるので、第二補助電極１３ｂによる遮光性の影響は限定的である。したがって、補助電極１３としての導電率をより高めるために、第二補助電極１３ｂは、第一補助電極１３ａよりも太い線で形成するとよい。つまり、第二補助電極１３ｂの線幅を第一補助電極１３ａの線幅よりも広くするとよい。この場合、第二補助電極１３ｂの厚みは、特に限定されるものではないが、例えば５０～５０００μｍ程度である。

　なお、第一補助電極１３ａの線幅と第二補助電極１３ｂの線幅とは略同一であってもよい。この場合、第二補助電極１３ｂの厚みは、特に限定されるものではないが、例えば０．１～５μｍ程度である。

　このように、発光面の内周領域にはグリッド状の第一補助電極１３ａを形成するとともに、発光面の外周領域には第一補助電極１３ａよりも太線の第二補助電極１３ｂを形成することによって、有機ＥＬパネル１の発光量を阻害することなく、発光面における輝度均一性を効果的に高めることができる。

　第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとは一体形成されている。具体的には、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとは、連続的に形成された連続線となっている。つまり、各補助電極１３は、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとが連接された連続線である。本実施の形態において、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとは、同じ材質であり、同一高さ（同一厚み）で連続的に形成された連続線となっている。

　また、第一補助電極１３ａの端部と第二補助電極１３ｂの端部とが接している。本実施の形態では、第一補助電極１３ａの長手方向の端部と第二補助電極１３ｂの長手方向の端部とが一体形成されている。具体的には、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂは、平面視において互いの成す角が略直角（略９０°）となるように一体形成されている。図２に示すように、各補助電極１３は、平面視形状が逆コ字状であり、１本の第一補助電極１３ａの長手方向の両端部の各々に第二補助電極１３ｂの長手方向の端部が接続されることで構成されている。

　また、隣り合う２つの第二補助電極１３ｂの間隔は、隣り合う２つの第一補助電極１３ａの間隔よりも狭くなっている。つまり、並行する複数の第一補助電極１３ａと並行する複数の第二補助電極１３ｂとは粗密差をつけて形成されており、外周領域における第二補助電極１３ｂは、内周領域における第一補助電極１３ａよりも高密度で形成されている。

　第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂは、液状の導電性材料を用いた液体吐出によって形成されている。具体的には、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂの材料には、銀や銅等の金属又はこれらの合金等の導電率が高くて液体吐出が可能な液状の導電性材料（導電性ペースト）が用いられる。例えば、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂの材料には銀の導電性ペーストが用いられ、この導電性ペーストを液体吐出法によって塗布して焼成することで所定形状の第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成することができる。

　液体吐出法によって液状の導電性材料を塗布する場合、図３Ａ及び図３Ｂに示されるディスペンサーノズル１００を用いて行うことができる。図３Ａは、本実施の形態に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの斜視図である。図３Ｂは、図３Ａに示すディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。図３Ａは、ディスペンサーノズル１００を斜め下方から見た図を示している。

　図３Ａ及び図３Ｂに示すように、ディスペンサーノズル１００の底面には、液体吐出を行うための複数の吐出口（吐出孔）１１０が設けられている。複数の吐出口１１０は、直線状に一列で等間隔に設けられている。また、直線状に配列された複数の吐出口１１０は、水平方向（横方向）とのなす角が４５度未満となるように傾斜して配列されている。

　本実施の形態では、ディスペンサーノズル１００の底面には６個の吐出口１１０が所定の傾斜角で直線状に設けられている。一例として、図３Ｂに示すように、水平方向（横方向）に１０ｍｍ、垂直方向（縦方向）に１５０μｍの範囲内に、６個の吐出口１１０が、水平ピッチ２ｍｍ、垂直ピッチ３０μｍで配列されている。

　次に、本実施の形態に係る有機ＥＬパネル１の製造方法について、図４Ａ～図４Ｇを用いて説明する。図４Ａ～図４Ｇは、本発明の実施の形態１に係る有機ＥＬパネルの製造方法における各工程の様子を示す平面図である。

　まず、図４Ａに示すように、第一基板１１上に第一電極１２を形成する（第一電極形成工程）。例えば、第一基板１１としてガラス基板を準備し、ガラス基板の上に第一電極１２として所定形状のＩＴＯ膜を形成する。なお、この工程では、ＩＴＯ膜をパターニング等することによって第一端子部１２ａ及び第二端子部１２ｂも同時に形成する。この場合、第一端子部１２ａは第一電極１２と一体形成され、また、第二端子部１２ｂは第一端子部１２ａ及び第一電極１２と分離形成される。

　次に、図４Ｂ～図４Ｄに示すように、ディスペンサーノズル１００からの液体吐出によって、液状の第一導電性材料１３０ａと液状の第二導電性材料１３０ｂとを第一電極１２上に所定の形状で塗布する（導電性材料塗布工程）。

　液状の第一導電性材料１３０ａ及び液状の第二導電性材料１３０ｂとしては、銀や銅の金属粒子を溶剤及びバインダーに分散させることで作られた金属ペーストが用いられる。特に、ナノ銀ペーストを用いた場合は、比抵抗の小さな極めて導電性能の良好な補助電極を得ることができる。

　また、液状の第一導電性材料１３０ａ及び液状の第二導電性材料１３０ｂの液体吐出としては、静電吐出を用いている。静電吐出は、ディスペンサーノズル１００内の液状材料と基板との間に印加された高圧電圧による電気誘引力によってディスペンサーノズル１００から液状材料を引き出して基板に吐出する工法である。

　そして、この導電性材料塗布工程では、ディスペンサーノズル１００又は第一基板１１を所定の方向に移動させることによって、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを線状に一筆書きで描画している。なお、本実施の形態では、第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとは、同じ導電性材料を用いている。

　また、第一導電性材料１３０ａは、平面視において、発光面（有機層１４）となる領域の内側領域に塗布される。また、第二導電性材料１３０ｂは、平面視において、発光面となる領域の外側領域（外周部）に塗布される。

　本実施の形態では、ディスペンサーノズル１００を矩形状の発光面の一辺に対して略水平及び略垂直に移動させることで、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂの液体吐出を行う。

　以下、導電性材料塗布工程を具体的に説明する。まず、図４Ｂに示すように、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル１００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル１００を略垂直に移動させて第一導電性材料１３０ａを縦方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル１００を略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布する（基板縦方向の導電性材料塗布工程）。つまり、ディスペンサーノズル１００を、水平方向、垂直方向及び水平方向の順に移動させる。

　これにより、第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとは、逆コ字状に一体形成された１本の連続線として塗布される。この場合、ディスペンサーノズル１００には複数の吐出口１１０が設けられているので、上記のディスペンサーノズル１００の水平及び垂直の移動によって、一度に複数本の連続線が第一電極１２上に塗布される。本実施の形態では、６つの吐出口１１０が設けられているので、一度に６本の連続線が塗布される。

　また、上記のディスペンサーノズル１００の水平及び垂直の一連の移動を１回分として、これを複数回繰り返している。例えば、図４Ｂでは、１回分で５本の連続線を描画し、これを４回繰り返している例を示している。

　また、ディスペンサーノズル１００は、複数の吐出口１１０の配列方向が矩形状の発光面となる領域の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して４５度未満の傾斜角を有するように配置されている。これにより、ディスペンサーノズル１００は、水平方向の移動の際には塗布方向に対して４５度未満の傾斜角を有し、垂直方向の移動の際には塗布方向に対して４５度を越える傾斜角を有することになる。

　したがって、上記のディスペンサーノズル１００を水平及び垂直に移動させることによって、第二導電性材料１３０ｂの間隔が第一導電性材料１３０ａの間隔よりも狭くなるように、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂが塗布される。つまり、並行する複数本の第一導電性材料１３０ａが低密度で塗布され、並行する複数本の第二導電性材料１３０ｂが高密度で塗布される。

　なお、本実施の形態では、１本の逆コ字状の連続線を描画する際、２回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向は、１回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向（左方向）と反対側の方向（右方向）としたが、１回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向（左方向）と同じ方向（左方向）としてもよい。

　次に、図４Ｃに示すように、ディスペンサーノズル１００と第一基板１１との相対的な角度関係が略９０度変更するように、ディスペンサーノズル１００を回転させる（角度関係変更工程）。

　この場合、ディスペンサーノズル１００を回転させるのではなく、第一基板１１の方を略９０度回転させてもよい。具体的には、ディスペンサーノズル１００を動かすことなく、第一基板１１が載置されたＸＹステージ（不図示）を略９０度回転させてもよい。また、ディスペンサーノズル１００及び第一基板１１の両方を回転させることで、ディスペンサーノズル１００と第一基板１１との相対的な角度を９０度変更させてもよい。

　なお、ディスペンサーノズル１００及び第一基板１１の相対的な角度が９０度変更したことを確認するために、ディスペンサーノズル１００又は第一基板１１を回転させた後に３つの吐出口１１０のうちの両端の吐出口１１０の位置をカメラ等で確認し、回転ズレが所定の範囲内に収まっていない場合は回転補正を行ってもよい。

　次に、図４Ｄに示すように、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル１００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル１００を略水平に移動させて第一導電性材料１３０ａを横方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル１００を略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布する（基板横方向の導電性材料塗布工程）。つまり、ディスペンサーノズル１００を、垂直方向、水平方向及び垂直方向の順に移動させる。

　これにより、第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとは、逆コ字状に一体形成された１本の連続線として塗布される。この場合も、一度に６本の連続線が第一電極１２上に塗布される。また、図４Ｄでは、上記のディスペンサーノズル１００の垂直及び水平の一連の移動を１回分として、これを４回繰り返している例を示している。

　また、ディスペンサーノズル１００は、複数の吐出口１１０の配列方向が矩形状の発光面となる領域の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の左右の辺）に対して４５度未満の傾斜角を有するように配置されている。これにより、ディスペンサーノズル１００は、垂直方向の移動の際には塗布方向に対して４５度未満の傾斜角を有し、水平方向の移動の際には塗布方向に対して４５度を越える傾斜角を有することになる。

　したがって、この場合も、ディスペンサーノズル１００を垂直及び水平に移動させることによって、第二導電性材料１３０ｂの間隔が第一導電性材料１３０ａの間隔よりも狭くなるように、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂが塗布される。これにより、複数本の第一導電性材料１３０ａが低密度で塗布され、複数本の第二導電性材料１３０ｂが高密度で塗布される。

　なお、本実施の形態において、１本の逆コ字状の連続線を描画する際、２回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向は、１回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向（下方向）と反対側の方向（上方向）としたが、１回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向（下方向）と同じ方向（下方向）としてもよい。

　このように、図４Ｂ～図４Ｄに示すようにして、グリッド状の第一導電性材料１３０ａと、当該第一導電性材料１３０ａの両端部に接続された線状の第二導電性材料１３０ｂとを形成することができる。

　また、第二導電性材料１３０ｂの線幅が第一導電性材料１３０ａの線幅よりも広くなるようにして第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを描画するとよい。一例として、第一導電性材料１３０ａを２０μｍの線幅で描画し、第二導電性材料１３０ｂを１８０μｍの線幅で描画する。

　この場合、同じディスペンサーノズル１００を用いる場合であっても、第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを異なる線幅で塗布することができる。例えば、上記のディスペンサーノズル１００を移動させる際、第二導電性材料１３０ｂの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル１００の移動速度（ノズル速度）を、第一導電性材料１３０ａの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル１００の移動速度よりも遅くすればよい。一例として、第一導電性材料１３０ａを２０μｍの線幅で描画する場合は、ディスペンサーノズル１００の移動速度を１００ｍｍ／ｓとし、第二導電性材料１３０ｂを１８０μｍの線幅で描画する場合は、ディスペンサーノズル１００の移動速度を５ｍｍ／ｓとすればよい。

　このように、導電性材料の吐出量が一定であるディスペンサーノズル１００を用いて一筆書きで第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを塗布する場合であっても、ディスペンサーノズル１００の移動速度を途中で変えることによって、第二導電性材料１３０ｂの線幅を第一導電性材料１３０ａの線幅よりも広くすることができる。

　次に、図４Ｅに示すように、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを加熱する（加熱工程）。これにより、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成することができる。

　例えば、第一電極１２上に塗布した金属ペーストである第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを２００℃の温度で焼成することによって、金属ペーストに含まれる溶媒が揮発する。これにより、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂが固化して、固体の第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成することができる。

　次に、図４Ｆに示すように、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを覆うように、第一電極１２上に矩形状の有機層１４を形成する。具体的には、複数の機能層及び発光層を塗布法又は蒸着法等によって順次形成する。

　次に、図４Ｇに示すように、有機層１４上に第二電極１５を形成する。この場合、第二電極１５の一部が第二端子部１２ｂに接続するように、一部を突出させるようにして第二電極１５を形成する。

　その後、図示しないが、第一電極１２、有機層１４及び第二電極１５の積層体を囲むように第一基板１１の外周端部に沿って額縁状にシール樹脂１７を塗布し、シール樹脂１７を介して第二基板１６を第一基板１１に貼り合わせる。その後、シール樹脂１７を硬化させる。これにより、有機ＥＬパネル１が完成する。

　以上、本実施の形態に係る有機ＥＬパネル１によれば、液状の導電性材料を用いて第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂが一体形成されている。

　これにより、液状の導電性材料の液体吐出によって第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成する場合であっても製造タクトの低下を抑えて有機ＥＬパネル１を製造することができる。

　しかも、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとが一体形成されているので、継ぎ目がなく抵抗の小さな補助電極１３を構成することができる。したがって、発光面の外周部の第二補助電極１３ｂに流れた電流が、発光面の内部の第一補助電極１３ａにスムーズにいきわたるので、発光面における輝度の面内均一性を向上させることができる。

　また、本実施の形態では、線状の第一補助電極１３ａの長手方向の端部と線状の第二補助電極１３ｂの長手方向の端部とが一体形成されている。

　このように、第一補助電極１３ａの端部と第二補助電極１３ｂの端部とが一体形成されることによって、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを容易に１本の連続線で形成することができる。

　また、本実施の形態では、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂの各々は、所定の間隔で複数本ずつ配置されており、隣り合う２つの第二補助電極１３ｂの間隔は、隣り合う２つの第一補助電極１３ａの間隔よりも狭くなっている。

　これにより、発光面の外周部では複数の第二補助電極１３ｂを高密度で形成し、かつ、発光面の内部では複数の第一補助電極１３ａを低密度で形成できるため、発光量の低下を抑制しつつ輝度均一性を向上させることができる。

　また、本実施の形態では、第二補助電極１３ｂの線幅は、第一補助電極１３ａの線幅よりも広くしている。

　これにより、有機ＥＬパネル１の発光量を阻害することなく、発光面における輝度均一性を効果的に高めることができる。

　また、本実施の形態では、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとの成す角が略直角となっている。

　これにより、マザー基板から複数のデバイスを面取りする場合、デッドスペースを少なくすることができる。したがって、基板面積が小さなマザー基板であっても、多数のデバイス（有機ＥＬパネル１）を効率良く得ることが可能となる。

　また、本実施の形態に係る有機ＥＬパネル１の製造方法によれば、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成する際、ディスペンサーノズル１００からの液体吐出によって線状の第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを一体形成させて配置している。

　これにより、線状の第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを連続線として塗布することができるので、液体吐出によって第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成する場合であっても、製造タクトの低下を抑えることができる。

　特に、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂの各々を複数本形成する場合、液体吐出法によって第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを塗布すると、一般的には製造タクトが大きく低下してしまうが、本実施の形態では、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを１本の連続線として塗布しているので、製造タクトの低下を抑えることができる。

　しかも、本実施の形態では、ディスペンサーノズル１００には複数の吐出口１１０が設けられているので、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとからなる連続線を複数本同時に形成することができる。

　これにより、液体吐出によって第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成する場合であっても製造タクトの低下を大幅に抑えることができる。

　さらに、線状の第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを連続線として塗布することによって、第一補助電極１３ａと第二補助電極１３ｂとの接合部分における接触抵抗が大きくなることを回避できる。これにより、第二補助電極１３ｂから第一補助電極１３ａに効果的に電流を伝達することができるので、補助電極１３としての輝度均一性効果を向上させることができる。

　さらに、本実施の形態では、１つの同じディスペンサーノズル１００を用いて第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを塗布している。

　これにより、ディスペンサーノズルを交換することなく、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを塗布することができる。したがって、製造タクトの低下を大幅に抑えることができる。

　また、本実施の形態における製造方法によれば、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂの液体吐出を行う際に、複数の吐出口１１０が発光面の一辺に対して４５度未満の傾斜となるように配列されたディスペンサーノズル１００を用いて、当該ディスペンサーノズル１００を発光面の一辺に対して略水平及び略垂直に移動させている。

　これにより、広い（粗の）描画間隔を有する第一導電性材料１３０ａと狭い（密な）描画間隔を有する第二導電性材料１３０ｂとを連続的に簡単に塗布することができる。つまり、ディスペンサーノズル１００を略水平及び略垂直を移動させるだけで、広い間隔の複数本の第一導電性材料１３０ａと狭い間隔の複数本の第二導電性材料１３０ｂとが連続的に形成されてなる複数の連続線を一筆書きで一度に形成することができる。

　具体的には、本実施の形態における製造方法によれば、ディスペンサーノズル１００を発光面の一辺に対して略水平に移動させた後、略垂直に移動させ、その後、略水平に移動させている。これにより、１本の連続線において、第一補助電極１３ａを広い間隔で形成することができるとともに第二補助電極１３ｂを狭い間隔で形成することができる。

　また、本実施の形態における製造方法によれば、縦方向に導電性材料を塗布する場合（図４Ｂ）と横方向に導電性材料を塗布する場合（図４Ｄ）とにおいて、ディスペンサーノズル１００と第一基板１１との相対的な角度関係が略９０度変更するように第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを塗布している。

　これにより、１つのディスペンサーノズル１００であっても縦方向及び横方向の両方向に導電性材料を塗布することができるので、グリッド状の第一補助電極１３ａと外周部の第二補助電極１３ｂとを簡便に形成することができる。

　また、本実施の形態における製造方法によれば、液状の第一導電性材料１３０ａと液状の第二導電性材料１３０ｂとの液体吐出は、静電吐出によって行われている。例えば、ディスペンサーノズル１００を備える液体吐出装置には、ディスペンサーノズル１００内の液体（液状の導電性材料）に電圧を印加できる電圧印加手段が備えられている。

　これにより、電圧印加のＯＮ／ＯＦＦを切り替えることによって、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂの吐出状態を制御することが可能となる。さらに、静電吐出により導電性材料を容易に細く塗布することができるので、細い補助電極１３を容易に形成することができる。

　また、本実施の形態における製造方法において、第二導電性材料１３０ｂの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル１００の移動速度を、第一導電性材料１３０ａの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル１００の移動速度よりも遅くするとよい。

　これにより、１つのディスペンサーノズル１００を用いて第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを連続的に塗布する場合であっても、線幅の狭い第一導電性材料１３０ａと線幅の広い第二導電性材料１３０ｂとを連続線として塗布することができる。つまり、ディスペンサーノズル１００の移動速度を途中で変更するだけで、線幅の異なる１本の導電性材料を塗布することができる。したがって、第二補助電極１３ｂの線幅が第一補助電極１３ａの線幅よりも広い１本の補助電極１３を容易に形成することができる。また、本実施の形態によれば、線幅の異なる導電性材料を塗布する場合であっても、複数のディスペンサーノズルを交換する必要がないので、製造タクトの低下を抑えることができる。

　（実施の形態２）
　次に、本発明の実施の形態２について説明する。

　本実施の形態では、図５に示すディスペンサーノズル２００を用いて、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成している。図５は、本発明の実施の形態２に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。

　図５に示すように、本実施の形態でも、ディスペンサーノズル２００の底面には複数の吐出口２１０が設けられているが、実施の形態１における吐出口が１列のみの配列であったのに対して、本実施の形態における吐出口２１０は、各々が複数の吐出口からなる複数列（複数段）で配列されている。具体的には、図５に示すように、複数の吐出口２１０は、３つの吐出口２１０ａからなる第一列と３つの吐出口２１０ｂからなる第二列との２列（２段）で構成されている。

　第一列の３つの吐出口２１０ａは、直線状に一列で等間隔に設けられており、水平方向（横方向）とのなす角が４５度未満となるように傾斜して配列されている。同様に、第二列の３つの吐出口２１０ｂは、直線状に一列で等間隔に設けられており、水平方向（横方向）とのなす角が４５度未満となるように傾斜して配列されている。

　本実施の形態では、図５に示すように、３つの吐出口２１０ａと３つの吐出口２１０ｂとが、水平方向（横方向）に１０ｍｍ、垂直方向（縦方向）に１５０μｍの範囲内に２列で設けられている。また、第一列の３つの吐出口２１０ａと第二列の３つの吐出口２１０ｂの各々は、水平ピッチ２ｍｍ、垂直ピッチ３０μｍで配列されている。さらに、第一列における最後尾の吐出口２１０ａと第二列における先頭の吐出口２１０ｂとは、水平方向（横方向）に沿って同一ライン上に位置するように設けられている。

　このように構成されるディスペンサーノズル２００を用いて液状の導電性材料を塗布する場合、液状の導電性材料は、吐出口２１０ａ及び２１０ｂの両方から同時に液体吐出される。

　以下、ディスペンサーノズル２００を用いた本実施の形態に係る有機ＥＬパネルの製造方法について、図４Ａ～図４Ｇを参照しながら、図６Ａ～図６Ｃを用いて具体的に説明する。図６Ａ～図６Ｃは、本発明の実施の形態２に係る有機ＥＬパネルの製造方法における特徴的な工程を示す平面図である。

　まず、実施の形態１と同様、図４Ａに示すように、第一基板１１上に第一電極１２を形成する（第一電極形成工程）。

　次に、ディスペンサーノズル２００からの液体吐出によって、液状の第一導電性材料１３０ａと液状の第二導電性材料１３０ｂとを第一電極１２上に所定の形状で塗布する（導電性材料塗布工程）。なお、ディスペンサーノズル２００の塗布方法や移動方法、導電性材料については、実施の形態１と同様である。

　具体的には、まず、図６Ａに示すように、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル２００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル２００を略垂直に移動させて第一導電性材料１３０ａを縦方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル２００を略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布する（基板縦方向の導電性材料塗布工程）。

　この導電性材料塗布工程では、実施の形態１と同様に、第一導電性材料１３０ａが発光面となる領域の内側領域に塗布され、かつ、第二導電性材料１３０ｂが発光面となる領域の外側領域（外周部）に塗布されるように、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを線状に一筆書きで描画している。これにより、実施の形態１と同様に、第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとは、逆コ字状に一体形成された１本の連続線として塗布される。

　また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、上記のディスペンサーノズル２００の水平及び垂直の一連の移動を１回分として、これを複数回繰り返している。例えば、図６Ａでは、１回分で６本の連続線を描画し、これを３回繰り返している例を示している。

　また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、ディスペンサーノズル２００は、３つの吐出口２１０ａ及び３つの２１０ｂの各々の配列方向が矩形状の発光面となる領域の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して４５度未満の傾斜角を有するように配置されている。これにより、ディスペンサーノズル２００を水平及び垂直に移動させることによって、複数本の第一導電性材料１３０ａが低密度で塗布され、複数本の第二導電性材料１３０ｂが高密度で塗布される。

　なお、本実施の形態では、ディスペンサーノズル２００の移動方向（塗布方向）を水平方向から垂直方向に変更する際、第一列における最後尾の吐出口２１０ａによって塗布された第一導電性材料１３０ａに、第二列における先頭の吐出口２１０ｂによって塗布された第一導電性材料１３０ａが重ならないようにディスペンサーノズル２００の移動方向を変更している。

　また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、１回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向と２回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向とは、同じ方向であってもよいし、反対方向であってもよい。

　次に、図６Ｂに示すように、実施の形態１と同様に、ディスペンサーノズル２００と第一基板１１との相対的な角度関係が略９０度変更するように、ディスペンサーノズル２００を回転させる（角度関係変更工程）。

　次に、図６Ｃに示すように、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル２００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル２００を略水平に移動させて第一導電性材料１３０ａを横方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル２００を略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布する（基板横方向の導電性材料塗布工程）。

　この導電性材料塗布工程でも、第一導電性材料１３０ａが発光面となる領域の内側領域に塗布され、かつ、第二導電性材料１３０ｂが発光面となる領域の外側領域（外周部）に塗布されるように、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを線状に一筆書きで描画している。

　これにより、第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとは、逆コ字状に一体形成された１本の連続線として塗布される。なお、この場合も、一度に６本の連続線が第一電極１２上に塗布される。また、図６Ｃは、上記のディスペンサーノズル２００の垂直及び水平の一連の移動を１回分として、これを３回繰り返している例を示している。

　また、ディスペンサーノズル２００は、３つの吐出口２１０ａ及び３つの２１０ｂの各々の配列方向が矩形状の発光面となる領域の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の左右の辺）に対して４５度未満の傾斜角を有するように配置されているので、ディスペンサーノズル２００を垂直及び水平に移動させることによって、複数本の第一導電性材料１３０ａが低密度で塗布され、複数本の第二導電性材料１３０ｂが高密度で塗布される。

　なお、１回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向と２回目の第二導電性材料１３０ｂの塗布方向とは、同じ方向であってもよいし、反対方向であってもよい。

　このように、図６Ａ～図６Ｃに示されるように、本実施の形態でも、グリッド状の第一導電性材料１３０ａと、当該第一導電性材料１３０ａの両端部に接続された線状の第二導電性材料１３０ｂとを形成することができる。

　また、本実施の形態でも、第二導電性材料１３０ｂの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル２００の移動速度を、第一導電性材料１３０ａの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル２００の移動速度よりも遅くしてもよい。これにより、一筆書きで第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを塗布する場合であっても、第二導電性材料１３０ｂの線幅を第一導電性材料１３０ａの線幅よりも広くすることができる。

　次いで、実施の形態１と同様、図４Ｅに示すように、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを加熱する。これにより、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成することができる。

　次いで、実施の形態１と同様、図４Ｆに示すように、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを覆うように、第一電極１２上に矩形状の有機層１４を形成する。

　次いで、実施の形態１と同様、図４Ｇに示すように、有機層１４上に第二電極１５を形成する。

　その後、図示しないが、実施の形態１と同様に、第一電極１２、有機層１４及び第二電極１５の積層体を囲むように第一基板１１の外周端部に沿って額縁状にシール樹脂１７を塗布し、シール樹脂１７を介して第二基板１６を第一基板１１に貼り合わせ、その後、シール樹脂１７を硬化させる。

　以上、本実施の形態に係る有機ＥＬパネルによれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。

　また、本実施の形態に係る有機ＥＬパネルの製造方法によれば、複数列（複数段）の吐出口２１０が設けられたディスペンサーノズル２００を用いて第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを塗布している。

　これにより、図６Ａの破線で囲まれる領域で示されるように、複数本の第二導電性材料１３０ｂの端部（塗布開始部分）の乱れを、実施の形態１と比べて低減させることができる。

　具体的には、複数の吐出口が傾斜して配列されたディスペンサーノズルを用いて、例えば第二導電性材料１３０ｂを６本塗布する場合、実施の形態１では、６つの吐出口１１０が一列のみで設けられているので、第二導電性材料１３０ｂはそのまま６つの端部が一列で傾斜するように塗布される。これに対して、本実施の形態では、６つの吐出口２１０が２列に分けて設けられているので、第二導電性材料１３０ｂは６つの端部が３つずつ２つに分けられて２列で傾斜するように塗布される。つまり、第二導電性材料１３０ｂの端部の塗布開始位置が２箇所に分散される。したがって、第二導電性材料１３０ｂにおける塗布開始位置の端部数を実質的に軽減させることができるので、第二導電性材料１３０ｂの複数の端部が傾斜して塗布される場合であっても、第二導電性材料１３０ｂの端部の乱れを目立たなくすることができる。

　しかも、このようなディスペンサーノズル２００を用いることによって、第二導電性材料１３０ｂの塗布形状を全体として矩形状に近づけることができる。したがって、第二補助電極１３ｂをより矩形に近い配線にすることができる。

　その他、本実施の形態における製造方法によれば、実施の形態１と同様の効果も得ることができる。

　（実施の形態３）
　次に、本発明の実施の形態３について説明する。

　本実施の形態では、図７に示すディスペンサーノズル３００を用いて、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成している。図７は、本発明の実施の形態３に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。

　図７に示すように、本実施の形態でも、ディスペンサーノズル３００の底面には複数の吐出口３１０が設けられているが、実施の形態１における吐出口が１列のみの配列であったのに対して、本実施の形態における複数の吐出口３１０は、列状に配列された複数の第一吐出口３１１と、列状に配列された複数の第二吐出口３１２とからなる。複数の第一吐出口３１１及び複数の第二吐出口３１２の各々は、直線状に一列で等間隔に設けられている。

　複数の第一吐出口３１１は、水平方向（横方向）とのなす角が４５度未満となるように傾斜して配列されている。また、複数の第二吐出口３１２は、第一吐出口３１１の列の略垂直線上に位置するように配列されている。つまり、第一吐出口３１１の列と第二吐出口３１２の列とは、延長線上において互いに略直交する位置関係となっている。

　一例として、図７に示すように、６個の第一吐出口３１１及び６個の第二吐出口３１２の各々は、水平方向（横方向）に１０ｍｍ、垂直方向（縦方向）に１５０μｍの範囲内に、水平ピッチ２ｍｍ、垂直ピッチ３０μｍで配列されている。

　また、ディスペンサーノズル３００内には絶縁板３２０が設けられており、ディスペンサーノズル３００内の空間領域は絶縁板３２０によって２つに仕切られている。これにより、ディスペンサーノズル３００内の液体（液状の導電性材料）は絶縁板３２０によって２つに仕切られる。

　本実施の形態において、絶縁板３２０は、第一吐出口３１１と第二吐出口３１２とを区分するように設けられている。また、本実施の形態でも静電吐出法が用いられており、第一吐出口３１１に対応するディスペンサーノズル３００内の液体（液状の導電性材料）と第二吐出口３１２に対応するディスペンサーノズル３００内の液体（液状の導電性材料）とに対して、別個独立に電圧を印加できるように構成されている。例えば、電圧印加手段によって、第一吐出口３１１に対応する液体に印加する電圧と第二吐出口３１２に対応する液体に印加する電圧とを切り替え可能となっている。

　これにより、ディスペンサーノズル３００内の液体（液状の導電性材料）を吐出する際、第一吐出口３１１から吐出させる場合と第二吐出口３１２から吐出させる場合とを選択的に切り替えることができる。つまり、第一吐出口３１１からの液体吐出と第二吐出口３１２からの液体吐出とを切り替えることができる。

　このように構成されるディスペンサーノズル３００を用いて液状の導電性材料を塗布する場合、液状の導電性材料は、第一吐出口３１１及び第二吐出口３１２のいずれか一方から液体吐出される。

　以下、ディスペンサーノズル３００を用いた本実施の形態に係る有機ＥＬパネルの製造方法について、図４Ａ～図４Ｇを参照しながら、図８Ａ及び図８Ｂを用いて具体的に説明する。図８Ａ及び図８Ｂは、本発明の実施の形態３に係る有機ＥＬパネルの製造方法における特徴的な工程を示す平面図である。

　次に、ディスペンサーノズル３００からの液体吐出によって、液状の第一導電性材料１３０ａと液状の第二導電性材料１３０ｂとを第一電極１２上に所定の形状で塗布する（導電性材料塗布工程）。本実施の形態において、導電性材料塗布工程は、第一吐出口３１１から液状の導電性材料の液体吐出を行う第一吐出工程と、第二吐出口３１２から液状の導電性材料の液体吐出を行う第二吐出工程とを含む。

　具体的には、まず、図８Ａに示すように、第一吐出工程として、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル３００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル２００を略垂直に移動させて第一導電性材料１３０ａを縦方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル３００を略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布する（基板縦方向の導電性材料塗布工程）。

　この第一吐出工程では、第一吐出口３１１のみに電圧を印加しており、第二吐出口３１２には電圧を印加していない。したがって、第一吐出口３１１のみから液状の導電性材料が液体吐出し、第二吐出口３１２からは液状の導電性材料が液体吐出しない。つまり、第一吐出工程では、第一吐出口３１１から液体吐出する液状の導電性材料を第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂとして第一電極１２上に塗布している。

　次に、ディスペンサーノズル３００を回転させることなく、図８Ｂに示すように、第二吐出工程として、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル３００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル３００を略水平に移動させて第一導電性材料１３０ａを横方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル３００を略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布する（基板横方向の導電性材料塗布工程）。

　この第二吐出工程では、第二吐出口３１２のみに電圧を印加しており、第一吐出口３１１には電圧を印加していない。したがって、第二吐出口３１２からのみ液状の導電性材料が液体吐出し、第一吐出口３１１からは液状の導電性材料が液体吐出しない。つまり、第二吐出工程では、第二吐出口３１２から液体吐出する液状の導電性材料を第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂとして第一電極１２上に塗布している。

　このように、本実施の形態では、実施の形態１、２とは異なり、基板縦方向の導電性材料塗布工程から基板横方向の導電性材料塗布工程の際に、ディスペンサーノズル３００を回転させていない。

　なお、この導電性材料塗布工程（第一吐出工程、第二吐出工程）では、実施の形態１と同様に、第一導電性材料１３０ａが発光面となる領域の内側領域に塗布され、かつ、第二導電性材料１３０ｂが発光面となる領域の外側領域（外周部）に塗布されるように、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを線状に一筆書きで描画している。これにより、実施の形態１と同様に、第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとは、一体形成された１本の連続線として塗布される。

　また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、上記のディスペンサーノズル３００の水平及び垂直の一連の移動を１回分として、これを複数回繰り返している。例えば、図８Ａ及び図８Ｂでは、１回分で６本の連続線を描画し、これを４回繰り返している例を示している。

　また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、ディスペンサーノズル３００は、６個の第一吐出口３１１及び６個の第二吐出口３１２の配列方向が矩形状の発光面となる領域の一辺に対して４５度未満の傾斜角を有するように配置されている。これにより、ディスペンサーノズル３００を水平及び垂直に移動させることによって、複数本の第一導電性材料１３０ａが低密度で塗布され、複数本の第二導電性材料１３０ｂが高密度で塗布される。

　このように、図８Ａ及び図８Ｂに示されるように、本実施の形態でも、グリッド状の第一導電性材料１３０ａと、当該第一導電性材料１３０ａの両端部に接続された線状の第二導電性材料１３０ｂとを形成することができる。

　また、本実施の形態でも、第二導電性材料１３０ｂの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル３００の移動速度を、第一導電性材料１３０ａの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル３００の移動速度よりも遅くしてもよい。これにより、一筆書きで第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを塗布する場合であっても、第二導電性材料１３０ｂの線幅を第一導電性材料１３０ａの線幅よりも広くすることができる。

　また、本実施の形態に係る有機ＥＬパネルの製造方法によれば、列状に配列された複数の第一吐出口３１１と当該第一吐出口３１１の列の略垂直線上に列状に配列された複数の第二吐出口３１２とが設けられたディスペンサーノズル３００を用いて第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを塗布している。

　これにより、同じディスペンサーノズル３００を用いて、かつ、ディスペンサーノズル３００又は第一基板１１を回転させることなく、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂにおける縦方向の塗布と横方向の塗布とを行うことができる。したがって、実施の形態１と比べて、さらに製造タクトの低下を抑えることができる。

　（実施の形態４）
　次に、本発明の実施の形態４について説明する。

　本実施の形態では、図９に示すディスペンサーノズル４００を用いて、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成している。図９は、本発明の実施の形態４に係る有機ＥＬパネルの補助電極を形成する際に用いられるディスペンサーノズルの吐出口のレイアウトを示す図である。

　図９に示すように、本実施の形態でも、ディスペンサーノズル４００の底面には複数の吐出口４１０が設けられている。また、実施の形態３と同様に、複数の吐出口４１０は、列状に配列された複数の第一吐出口４１１と列状に配列された複数の第二吐出口４１２とからなる。

　そして、本実施の形態では、さらに、実施の形態２と同様に、第一吐出口４１１及び第二吐出口４１２の各々が複数の吐出口からなる複数列（複数段）で配列されている。

　具体的には、図９に示すように、複数の第一吐出口４１１は、３つの吐出口４１１ａからなる第一列と３つの吐出口４１１ｂからなる第二列との２列（２段）で構成されている。同様に、複数の第二吐出口４１２は、３つの吐出口４１２ａからなる第一列と３つの吐出口４１２ｂからなる第二列との２列（２段）で構成されている。

　第一吐出口４１１において、３つの吐出口４１１ａ及び４１１ｂの各々は、直線状に一列で等間隔に設けられている。また、３つの吐出口４１１ａ及び４１１ｂの各々は、水平方向（横方向）とのなす角が４５度未満となるように傾斜して配列されている。

　同様に、第二吐出口４１２において、３つの吐出口４１２ａ及び４１２ｂは、直線状に一列で等間隔に設けられている。また、３つの吐出口４１２ａは、第一吐出口４１１における３つの吐出口４１１ａの列の略垂直線上に位置するように配列されている。一方、３つの吐出口４１２ｂは、第一吐出口４１１における３つの吐出口４１１ｂの列の略垂直線上に位置するように配列されている。つまり、第一吐出口４１１における吐出口４１１ａ及び４１１ｂの列と第二吐出口４１２における吐出口４１２ａ及び４１２ｂの列とは、延長線上において略直交する位置関係となっている。

　一例として、図９に示すように、６個の第一吐出口４１１は、水平方向（横方向）に１０ｍｍ、垂直方向（縦方向）に１５０μｍの範囲内において、３つの吐出口４１１ａと３つの吐出口４１１ｂとが２列で設けられている。また、第一列の３つの吐出口４１１ａと第二列の３つの吐出口４１１ｂの各々は、水平ピッチ２ｍｍ、垂直ピッチ３０μｍで配列されている。

　同様に、６個の第二吐出口４１２は、水平方向（横方向）に１０ｍｍ、垂直方向（縦方向）に１５０μｍの範囲内において、３つの吐出口４１２ａと３つの吐出口４１２ｂとが２列で設けられている。また、第一列の３つの吐出口４１２ａと第二列の３つの吐出口４１２ｂの各々は、水平ピッチ２ｍｍ、垂直ピッチ３０μｍで配列されている。

　また、ディスペンサーノズル４００内には、実施の形態３と同様に、絶縁板４２０が設けられている。これにより、ディスペンサーノズル４００内の液体（液状の導電性材料）は絶縁板４２０によって２つに仕切られる。

　本実施の形態でも、絶縁板４２０は、第一吐出口４１１と第二吐出口４１２とを区分するように設けられている。また、本実施の形態でも、静電吐出法が用いられており、第一吐出口４１１に対応するディスペンサーノズル４００内の液体（液状の導電性材料）と第二吐出口４１２に対応するディスペンサーノズル４００内の液体（液状の導電性材料）とに対して、別個独立に電圧を印加できるように構成されている。

　これにより、ディスペンサーノズル４００内の液体（液状の導電性材料）を吐出する際、第一吐出口４１１から吐出させる場合と第二吐出口４１２から吐出させる場合とを選択的に切り替えることができる。つまり、第一吐出口４１１からの液体吐出と第二吐出口４１２からの液体吐出とを切り替えることができる。

　このように構成されるディスペンサーノズル４００を用いて液状の導電性材料を塗布する場合、液状の導電性材料は、第一吐出口４１１及び第二吐出口４１２のいずれか一方から液体吐出される。また、液状の導電性材料は、第一吐出口４１１から液体吐出する場合、吐出口４１１ａ及び４１１ｂの両方から同時に液体吐出され、第二吐出口４１２から液体吐出する場合、吐出口４１２ａ及び４１２ｂの両方から同時に液体吐出される。

　以下、ディスペンサーノズル４００を用いた本実施の形態に係る有機ＥＬパネルの製造方法について、図４Ａ～図４Ｇを参照しながら、図１０Ａ及び図１０Ｂを用いて具体的に説明する。図１０Ａ及び図１０Ｂは、本発明の実施の形態４に係る有機ＥＬパネルの製造方法における特徴的な工程を示す平面図である。

　次に、ディスペンサーノズル４００からの液体吐出によって、液状の第一導電性材料１３０ａと液状の第二導電性材料１３０ｂとを第一電極１２上に所定の形状で塗布する（導電性材料塗布工程）。本実施の形態においても、実施の形態３と同様に、導電性材料塗布工程は、第一吐出口４１１から液状の導電性材料の液体吐出を行う第一吐出工程と、第二吐出口４１２から液状の導電性材料の液体吐出を行う第二吐出工程とを含む。

　具体的には、まず、図１０Ａに示すように、第一吐出工程として、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル４００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル４００を略垂直に移動させて第一導電性材料１３０ａを縦方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル４００を略水平に移動させて第二導電性材料１３０ｂを横方向に線状に塗布する（基板縦方向の導電性材料塗布工程）。

　この第一吐出工程では、実施の形態３と同様に、第一吐出口４１１のみに電圧を印加して、第一吐出口４１１のみから液状の導電性材料を液体吐出させている。つまり、第一吐出工程では、第一吐出口４１１から液体吐出する液状の導電性材料を第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂとして第一電極１２上に塗布している。

　次に、ディスペンサーノズル４００を回転させることなく、図１０Ｂに示すように、第二吐出工程として、同図中の矢印に従って、ディスペンサーノズル４００を発光面の一辺（本実施の形態では図中の第一基板１１の上下の辺）に対して略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布した後、そのまま連続してディスペンサーノズル４００を略水平に移動させて第一導電性材料１３０ａを横方向に線状に塗布し、その後、そのまま連続してディスペンサーノズル４００を略垂直に移動させて第二導電性材料１３０ｂを縦方向に線状に塗布する（基板横方向の導電性材料塗布工程）。

　この第二吐出工程では、実施の形態３と同様に、第二吐出口４１２のみに電圧を印加して、第二吐出口４１２のみから液状の導電性材料を液体吐出させている。つまり、第二吐出工程では、第二吐出口４１２から液体吐出する液状の導電性材料を第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂとして第一電極１２上に塗布している。

　このように、本実施の形態でも、実施の形態３と同様に、基板縦方向の導電性材料塗布工程から基板横方向の導電性材料塗布工程の際に、ディスペンサーノズル４００を回転させていない。

　また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、上記のディスペンサーノズル４００の水平及び垂直の一連の移動を１回分として、これを複数回繰り返している。例えば、図１０Ａ及び図１０Ｂでは、１回分で６本の連続線を描画し、これを３回繰り返している例を示している。

　また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、ディスペンサーノズル４００は、３つの吐出口４１１ａ（又は４１１ｂ）及び３つの吐出口４１２ａ（又は４１２ｂ）の各々の配列方向が矩形状の発光面となる領域の一辺に対して４５度未満の傾斜角を有するように配置されている。これにより、ディスペンサーノズル４００を水平及び垂直に移動させることによって、複数本の第一導電性材料１３０ａが低密度で塗布され、複数本の第二導電性材料１３０ｂが高密度で塗布される。

　なお、本実施の形態では、実施の形態２と同様に、ディスペンサーノズル４００の移動方向（塗布方向）を水平方向から垂直方向に変更する際、第一吐出口４１１（又は第二吐出口４１２）における第一列の最後尾の吐出口４１１ａ（又は４１２ａ）によって塗布された第一導電性材料１３０ａに、第一吐出口４１１（又は第二吐出口４１２）における第二列の先頭の吐出口４１１ｂ（又は４１２ｂ）によって塗布された第一導電性材料１３０ａが重ならないようにディスペンサーノズル４００の移動方向を変更している。

　このように、図１０Ａ及び図１０Ｂに示されるように、本実施の形態でも、グリッド状の第一導電性材料１３０ａと、当該第一導電性材料１３０ａの両端部に接続された線状の第二導電性材料１３０ｂとを形成することができる。

　また、本実施の形態でも、第二導電性材料１３０ｂの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル４００の移動速度を、第一導電性材料１３０ａの液体吐出を行うときのディスペンサーノズル４００の移動速度よりも遅くしてもよい。これにより、一筆書きで第一導電性材料１３０ａと第二導電性材料１３０ｂとを塗布する場合であっても、第二導電性材料１３０ｂの線幅を第一導電性材料１３０ａの線幅よりも広くすることができる。

　また、本実施の形態に係る有機ＥＬパネルの製造方法によれば、列状に配列された複数の第一吐出口４１１と当該第一吐出口４１１の列の略垂直線上に列状に配列された複数の第二吐出口４１２とが設けられたディスペンサーノズル３００を用いて第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを塗布している。

　これにより、同じディスペンサーノズル４００を用いて、かつ、ディスペンサーノズル４００又は第一基板１１を回転させることなく、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂにおける縦方向の塗布と横方向の塗布とを行うことができる。したがって、実施の形態１と比べて、さらに製造タクトの低下を抑えることができる。

　さらに、本実施の形態における製造方法によれば、複数の第一吐出口４１１及び複数の第二吐出口４１２の各々が複数列（複数段）で構成されている。

　これにより、図１０Ａの破線で囲まれる領域で示されるように、実施の形態２と同様、複数本の第二導電性材料１３０ｂの端部（塗布開始部分）の乱れを低減させることができる。しかも、第二導電性材料１３０ｂの塗布形状を全体として矩形状に近づけることができるので、第二補助電極１３ｂをより矩形に近い配線にすることができる。

　（その他変形例等）
　以上、本発明に係る有機ＥＬ素子及びその製造方法について、有機ＥＬパネルを例にとって説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。

　例えば、上記実施の形態１における有機ＥＬパネル１を図１１に示すように構成してもよい。図１１は、本発明の変形例に係る有機ＥＬパネル１Ａの構成を示す図である。

　図１１に示すように、有機ＥＬパネル１Ａは、実施の形態１における有機ＥＬパネル１に、さらに、第一端子部１２ａ及び第二端子部１２ｂの上に形成された電極パッド１３ｃを備えている。電極パッド１３ｃは、第一電極１２又は第二電極１５に電圧印加を行うための接続パッドである。なお、図１１において、有機層１４、第二電極１５、第二基板１６及びシール樹脂１７は図示されていない。

　本変形例における有機ＥＬパネル１Ａは、実施の形態１における製造方法に準じて製造することができる。例えば、実施の形態１における導電性材料塗布工程において、ディスペンサーノズル１００を用いて、第一端子部１２ａ及び第二端子部１２ｂの上に液状の導電性材料を塗布することによって製造することができる。

　具体的には、図４Ｂに示す基板縦方向の導電性材料塗布工程において、逆コ字状の連続線の１回目の第二導電性材料１３０ｂを形成する前と２回目の第二導電性材料１３０ｂを形成した後とにおいて、ディスペンサーノズル１００を用いて第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂの少なくとも一方と同じ材料を第一端子部１２ａ及び第二端子部１２ｂの上に塗布する。この場合、電極パッド１３ｃ用として塗布する複数本の導電性材料の間隔を狭くするために、ディスペンサーノズル１００の回転角度を適宜調整してもよい。

　その後、第一端子部１２ａ及び第二端子部１２ｂの上に塗布した液状の導電性材料は、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを加熱する加熱工程において、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂと同様に加熱される。これにより、液状の導電性材料が固化し、固体の電極パッド１３ｃとなる。

　また、上記実施の形態１～４では、隣り合う２本の第二補助電極１３ｂの間には隙間を設けたが、隣り合う第二補助電極１３ｂを隙間無く接触するように形成してもよい。つまり、隣り合う第二導電性材料１３０ｂを隙間無く接触するように塗布してもよい。この場合、ディスペンサーノズルを回転させて第一基板１１に対する吐出口の並びの傾斜角を適宜調整すればよい。

　また、上記実施の形態１～４では、導電性材料塗布工程において、第一基板１１の縦方向に逆コ字状の導電性材料を塗布する工程（基板縦方向の導電性材料塗布工程）と、第一基板１１の横方向に逆コ字状の導電性材料を塗布する工程（基板横方向の導電性材料塗布工程）との両方の工程を含むとしたが、基板縦方向の導電性材料塗布工程及び基板横方向の導電性材料塗布工程のいずれか一方のみであってよい。つまり、第一補助電極１３ａは、グリッド状ではなく、縦方向又は横方向の平行線のみで構成されていてもよい。例えば、実施の形態１の場合において、図４Ｂ及び図４Ｄのいずれか一方のみの工程を実施することによって有機ＥＬパネルを製造してもよい。

　また、上記実施の形態１～４では、導電性材料塗布工程において、第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂは、コ字状の連続線となるように塗布したが、Ｌ字状の連続線となるように塗布してもよい。つまり、第一導電性材料１３０ａの長手方向の両端に接続される２つの第二導電性材料１３０ｂのうちの一方を塗布しなければよい。

　また、上記実施の形態１～４では、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂは、第一電極１２の上に形成したが、第一電極１２の下に形成してもよい。例えば、第一基板１１の上に第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを形成し、第一補助電極１３ａ及び第二補助電極１３ｂを覆うように第一電極１２を形成することができる。この場合、第一基板１１の上に第一導電性材料１３０ａ及び第二導電性材料１３０ｂを連続線として塗布すればよい。

　また、上記実施の形態３、４では、第一吐出口３１１（又は４１１）による液体吐出と第二吐出口３１２（又は４１２）による液体吐出との切り替えは、静電吐出における電圧印加の切り替えによって行ったが、これに限らない。例えば、吐出エアー圧又は機械的な弁等を用いて、第一吐出口３１１（又は４１１）による液体吐出と第二吐出口３１２（又は４１２）による液体吐出との切り替えを行ってもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子は、照明装置として実現することができる。例えば、照明装置は、上記実施の形態における有機ＥＬパネルと、有機ＥＬパネルに電流を供給する電源回路とを備える。この場合、有機ＥＬパネルは、複数枚並べてもよい。

　また、本発明に係る有機ＥＬ素子は、照明装置以外に、表示装置等の他の装置に用いてもよい。

　その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

　１、１Ａ　有機ＥＬパネル
　１１　第一基板
　１２　第一電極
　１２ａ　第一端子部
　１２ｂ　第二端子部
　１３　補助電極
　１３ａ　第一補助電極
　１３ｂ　第二補助電極
　１３ｃ　電極パッド
　１４　有機層
　１５　第二電極
　１６　第二基板
　１７　シール樹脂
　１００、２００、３００、４００　ディスペンサーノズル
　１１０、２１０、２１０ａ、２１０ｂ、３１０、４１０、４１１ａ、４１１ｂ、４１２ａ、４１２ｂ　吐出口
　１３０ａ　第一導電性材料
　１３０ｂ　第二導電性材料
　３１１、４１１　第一吐出口
　３１２、４１２　第二吐出口
　３２０、４２０　絶縁板

Claims

　基板と、
　前記基板上に配置された第一電極と、
　発光層を有し、かつ前記第一電極上に配置された有機層と、
　前記有機層上に配置された第二電極と、
　液状の導電性材料を用いて形成されており、前記第一電極に積層された線状の第一補助電極と、
　液状の導電性材料を用いて形成されており、前記第一電極に積層された第二補助電極と、を備え、
　前記第二補助電極は、平面視において前記有機層の外周部に対応する位置に配置され、かつ、前記第一補助電極と一体形成されている、
　有機ＥＬ素子。
　前記第二補助電極は線状であり、
　前記第一補助電極の長手方向の端部と前記第二補助電極の長手方向の端部とが一体形成されている、
　請求項１記載の有機ＥＬ素子。
　前記第一補助電極及び前記第二補助電極の各々は、所定の間隔で複数本ずつ配置されており、
　隣り合う２つの前記第二補助電極の間隔は、隣り合う２つの前記第一補助電極の間隔よりも狭い、
　請求項１又は２記載の有機ＥＬ素子。
　前記第二補助電極の線幅は、前記第一補助電極の線幅よりも広い、
　請求項１～３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子。
　前記第一補助電極と前記第二補助電極との成す角は略直角である、
　請求項１～４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子。
　請求項１～５のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子を有する、
　照明装置。
　基板上に第一電極と発光層を有する有機層と第二電極とが配置された有機ＥＬ素子の製造方法であって、
　ノズルからの液体吐出によって、線状の第一導電性材料と、平面視において前記有機層の外周部に位置する第二導電性材料とを、前記第一電極上に塗布する導電性材料塗布工程と、
　前記第一導電性材料及び前記第二導電性材料を加熱することによって第一補助電極及び第二補助電極を形成する加熱工程と、を含み、
　前記導電性材料塗布工程では、前記第一導電性材料と前記第二導電性材料とを一体形成させて配置している、
　有機ＥＬ素子の製造方法。
　前記有機ＥＬ素子は、矩形の発光面を有し、
　前記ノズルは、前記液体吐出を行うための吐出口を複数有し、
　複数の前記吐出口は、前記発光面の一辺に対して４５度未満の傾斜となるように配列されており、
　前記導電性材料塗布工程では、
　前記ノズルを前記発光面の一辺に対して略水平及び略垂直に移動させることで、前記第一導電性材料及び前記第二導電性材料の液体吐出を行う、
　請求項７記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
　前記導電性材料塗布工程では、前記ノズル又は前記基板を、前記発光面の一辺に対して略水平に移動させた後、略垂直に移動させ、その後、略水平に移動させる、
　請求項８記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
　前記導電性材料塗布工程は、
　前記ノズルと前記基板との相対的な角度関係が略９０度変更するように、前記ノズル及び前記基板の少なくとも一方を回転させる角度関係変更工程を含む、
　請求項８又は９記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
　前記ノズルは、前記液体吐出を行うための吐出口を複数有し、
　複数の前記吐出口は、列状に配列された複数の第一吐出口と、前記第一吐出口の列の略垂直線上に列状に配列された複数の第二吐出口とからなり、
　前記導電性材料塗布工程は、
　前記第一吐出口から前記第一導電性材料の液体吐出を行う第一吐出工程と、
　前記第二吐出口から前記第二導電性材料の液体吐出を行う第二吐出工程と、を含む、
　請求項７記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
　前記導電性材料塗布工程では、さらに、前記加熱工程の前に、電極パッドを形成するために、前記第一導電性材料及び前記第二導電性材料の少なくとも一方と同じ材料を、前記ノズルを用いて所定の位置に塗布する工程を含む、
　請求項７～１１のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
　前記液体吐出は、静電吐出によって行われる、
　請求項７～１２のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
　前記第二導電性材料の液体吐出を行うときの前記ノズルの移動速度は、前記第一導電性材料の液体吐出を行うときの前記ノズルの移動速度よりも遅い、
　請求項７～１３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。