KR101305768B1 - 정전 분무 인쇄 장치 - Google Patents

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황원태
조민준
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성균관대학교산학협력단
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Abstract

정전 분무 인쇄 장치가 개시된다. 정전 분무 인쇄 장치는 노즐, 제1 전압공급부 및 2개의 가이드 전극을 구비한다. 노즐은 유기물질을 포함하는 용액을 분사한다. 제1 전압공급부는 노즐에 양의 전압을 인가하여 노즐로부터 분사되는 용액을 미세 액적들로 쪼깬다. 가이드 전극들은 노즐의 단부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되고, 제1 방향으로 연장되며, 접지된다. 이러한 정전 분무 인쇄 장치는 균일한 두께의 유기 패턴을 형성할 수 있다.

Description

정전 분무 인쇄 장치{ELECTROSTATIC SPRAY PRINTING APPARATUS}
본 발명은 정전 분무 인쇄 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 유기 패턴을 형성하기 위한 정전 분무 인쇄 장치에 관한 것이다.
대면적 유기발광 패널에 유기 발광층을 형성하는 방법으로서 현재 잉크젯 인쇄 기술, 노즐 인쇄 기술, 정전분무 인쇄 기술 등이 각광을 받고 있다. 잉크젯 인쇄 기술의 경우 노즐의 막힘 등의 문제점이 발생할 가능성이 높고, 노즐 인쇄 기술의 경우 미세 패턴을 형성하기 어려운 문제점이 있어서, 현재 상기 기술들 중 정전분무 인쇄 기술이 특히 각광을 받고 있다.
일반적으로 정전분무 장치는 순수하게 전기력 만에 의하여 액체를 작은 액적으로 분열시키는 분무장치로서, 노즐의 형태와 구조가 단순하기 때문에 제작이 용이하고 수백 나노 크기에서 수십 마이크로 크기의 액적을 생성하기 용이하다. 또한, 단분산 분포를 갖고 하전된 미세 액적을 발생시키는 특징이 있다.
다만, 이와 같은 정전 분무 인쇄 장치를 이용하여 유기 발광층을 형성하는 경우에도, 각 화소에 형성된 유기 발광층의 두께가 불균일하다는 문제점이 있다. 이러한 유기 발광층의 두께 불균일을 해결하기 위한 다양한 연구가 진행되고 있다.
본 발명의 목적은 균일한 두께의 유기 패턴을 형성할 수 있는 정전 분무 인쇄 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 정전 분무 인쇄 장치는 노즐, 제1 전압공급부 및 2개의 가이드 전극을 포함할 수 있다. 상기 노즐은 유기물질을 포함하는 용액을 분사할 수 있다. 상기 제1 전압공급부는 상기 노즐에 양의 전압을 인가하여 상기 노즐로부터 분사되는 상기 용액을 미세 액적들로 쪼갤 수 있다. 상기 2개의 가이드 전극은 상기 노즐의 단부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되고, 제1 방향으로 연장되며, 접지될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 정전 분무 인쇄 장치는 상기 2개의 가이드 전극의 하부에 배치되고, 상기 2개의 가이드 전극과 교차하는 방향으로 연장된 선형 개구부를 구비하며, 양의 전압이 인가된 전도성 마스크를 더 구비할 수 있다. 이 경우, 정전 분무 인쇄 장치는 상기 전도성 마스크에 양의 전압을 인가하는 제2 전압공급부를 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 노즐, 상기 2개의 가이드 전극 및 상기 마스크는 서로 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 2개의 가이드 전극 각각은 단면이 사각형 또는 원형인 막대 형상을 갖거나 상기 노즐을 사이에 두고 서로 마주보는 판 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 정전 분무 인쇄 장치는 노즐, 제1 전압공급부 및 2개의 가이드 전극을 포함할 수 있다. 상기 노즐은 유기물질을 포함하는 용액을 분사할 수 있다. 상기 제1 전압공급부는 상기 노즐에 양의 전압을 인가하여 상기 노즐로부터 분사되는 상기 용액을 미세 액적들로 쪼갤 수 있다. 상기 2개의 가이드 전극은 상기 노즐의 단부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되고, 제1 방향으로 연장되며, 음의 전압이 인가될 수 있다.
이 경우, 정전 분무 인쇄 장치는 상기 가이드 전극들에 상기 음의 전압을 인가하는 제2 전압공급부를 더 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 정전 분무 인쇄 장치는 가이드 전극부를 구비함으로써 원형으로 분무되는 액적들을 일방향으로 연장된 장축을 갖는 타원형 또는 선형으로 분무될 수 있도록 함으로써 균일한 두께의 유기 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 정전 분무 인쇄 장치는 전도성 마스크부를 구비함으로써 마이크로 스케일의 미세 폭을 갖는 유기 패턴을 용이하게 형성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 정전 분무 인쇄 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2a 내지 도 2c는 도 1에 도시된 가이드 전극부의 실시예들을 설명하기 위한 도면들이다.
도 3은 도 1에 도시된 마스크부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 폭이 1mm인 선형 개구부를 갖는 마스크부를 적용하여 형성된 패턴의 사진이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 정전 분무 인쇄 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 시트들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 정전 분무 인쇄 장치를 설명하기 위한 개념도이고, 도 2a 내지 도 2c는 도 1에 도시된 가이드 전극부의 실시예들을 설명하기 위한 사시도들이며, 도 3은 도 1에 도시된 마스크부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 정전 분무 인쇄 장치(100)는 노즐부(110), 제1 전압공급부(120), 가이드 전극부(130), 마스크부(140) 및 제2 전압공급부(150)를 포함할 수 있다.
노즐부(110)는 유기물질을 포함하는 용액을 대상체인 기판에 분사하기 위한 하나 이상의 노즐(110)을 포함할 수 있다. 유기물질은 일례로 유기발광물질을 포함할 수 있다. 노즐(110)은 전도성 물질, 예를 들면 스테인레스 재질로 제조될 수 있고, 일정한 내경 및 외경을 가지는 미세관 형태를 가질 수 있다.
제1 전압공급부(120)는 노즐(110)에 일정한 양의 전압을 인가한다. 노즐(110)에 인가되는 극성 전압에 따라 노즐(110)로부터 배출되는 용액이 해당 극성 이온을 갖는 액적들로 쪼개진 후, 기판(미도시) 상에 분무될 수 있다. 예를 들어, 노즐(110)에 양의 전압을 걸어주면, 노즐(110) 내부로 유입된 용액에 존재하는 음이온들은 노즐(110)의 벽면으로 이동하고, 양이온들은 용액의 곡면(meniscus)으로 밀려날 수 있다. 이때, 노즐(110)에 인가되는 양의 전압이 커짐에 따라, 용액 곡면에 작용하는 전기력과 양이온들 사이의 반발력이 용액의 표면장력 보다 커지게 되어 노즐(110)의 단부에서 용액 곡면이 콘 모양을 형성하게 되는데, 이를 콘젯-모드(cone-jet mode)라 한다. 여기서 용액 곡면이 콘 모양인 것을 액체콘(liquid cone)이라 하고, 액체콘의 단부에서 표면 전단응력(surface tangential stress)을 받아 일자 형태로 형성된 것을 액주(liquid jet)라 한다. 액주의 단부에서는 액주 표면에 작용하는 표면파의 교란에 의해 액주가 소정 크기, 예를 들어, 수십 ㎚ 내지 수십 ㎛의 크기를 갖는 액적으로 깨지게 되고, 깨진 액적들이 기판 상에 분무될 수 있다. 상기와 같이, 제1 전압공급부(120)가 노즐(110)에 일정한 양의 전압을 인가하면, 노즐(110)을 통해 분사되는 용액은 양의 극성으로 대전된 미세 액적들로 쪼개져 기판에 분무될 수 있다.
가이드 전극부(130)는 노즐(110)로부터 분무된 액적들의 분사 영역을 제어할 수 있다. 이를 위하여, 가이드 전극부(130)는 노즐(110)에 인접하게 위치되고, 일 방향(X)으로 연장되어 서로 평행하며, 노즐(110)을 사이에 두고 서로 소정 간격으로 이격된 2개의 가이드 전극(131, 133) 및 2개의 가이드 전극(131, 133)을 전기적으로 연결하는 연결선(135)을 포함할 수 있다. 2개의 가이드 전극(131, 133)은 전기 전도성 물질로 이루어질 수 있고, 연결선(135)에 의해 서로 전기적으로 연결도리 수 있다. 또한, 2개의 가이드 전극들(131, 133)은 서로 동일한 형상을 갖는 것이 바람직하다. 가이드 전극들(131, 133) 각각의 형상은 특별히 제한되지 않는다. 가이드 전극들(131, 133) 각각은 다양한 형태, 예를 들면, 원형, 다각형, 반원, 타원 등의 단면을 갖는 막대 형상을 가질 수도 있고, 판(plate) 형상을 가질 수도 있다. 일례로, 도 2a에 도시된 바와 같이, 가이드 전극들(131, 133) 각각은 기판에 수직한 단면이 사각형이고, 기판에 평행한 방향(Y)으로 연장된 막대 형상을 가질 수 있다. 이와 달리, 도 2b에 도시된 바와 같이, 가이드 전극들(131, 133) 각각은 기판에 수직한 단면이 원형이고, 기판에 평행한 방향(Y)으로 연장된 막대 형상을 가질 수 있다. 이와 또 달리, 도 2c에 도시된 바와 같이, 가이드 전극들(131, 133)은 기판에 수직하고 노즐(110)을 사이에 두고 서로 마주보는 판 형상을 가질 수 있다.
노즐(110)로부터 분사된 액적들은 일반적으로 기판에 평행한 단면이 원형으로 분무된다. 가이드 전극부(130)는 이처럼 원형으로 분무되는 액적들을 일방향(X)으로 연장된 타원형 또는 선형으로 분무될 수 있도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 도 1에 도시된 바와 같이, 액적들을 일방향(X)으로 연장된 타원형 또는 선형으로 분무하기 위하여, 2개의 가이드 전극(131, 133)은 접지될 수 있다. 접지된 가이드 전극들(131, 133)은 양의 전압이 인가된 노즐(110)과의 전위차에 의해 양의 극성으로 대전된 액적들을 가이드 전극들(131, 133) 방향으로 끌어당길 수 있다. 즉, 접지된 가이드 전극들(131, 133)과 액적들 사이에는 인력(引力)이 작용할 수 있다. 따라서 원형으로 분무되는 액적들은 가이드 전극(131, 133)과 교차하는 방향(X), 예를 들면, 가이드 전극들(131, 133)에 수직한 방향(X)으로의 장축을 갖는 타원형 또는 선형으로 분무될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 도 1에 도시된 바와 달리, 액적들을 일방향(X)으로 연장된 타원형 또는 선형으로 분무하기 위하여, 2개의 가이드 전극(131, 133)에는 음의 전압이 인가될 수 있다. 이 경우, 정전 분무 인쇄 장치(100)는 가이드 전극들(131, 133)에 음의 전압을 인가하는 별도의 전압공급부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 음의 전압이 인가된 가이드 전극(131, 133)은 양의 전압이 인가된 노즐(110)과의 전위차에 의해 양의 극성으로 대전된 액적들을 가이드 전극들(131, 133) 방향으로 끌어당길 수 있다. 즉, 음의 전압이 인가된 가이드 전극들(131, 133)과 양의 극성으로 대전된 액적들 사이에는 인력(引力)이 작용할 수 있다. 그 결과, 원형으로 분무되는 액적들은 가이드 전극들(131, 133)과 교차하는 방향(X), 예를 들면, 가이드 전극들(131, 133)과 수직한 방향(X)으로의 장축을 갖는 타원형 또는 선형으로 분무될 수 있다.
마스크부(140)는 기판(미도시)과 가이드 전극부(130) 사이에 위치하고, 전기 전도성 물질로 이루어질 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 마스크부(140)는 가이드 전극들(131, 133)과 교차하는 방향(X)으로 연장된 선형의 개구부(141)를 포함할 수 있다. 마스크부(140)에 형성된 개구부(141)의 폭과 길이는 필요에 따라 적절히 조절될 수 있다.
제2 전압공급부(150)는 마스크부(140)에 양의 전압을 인가할 수 있다. 제2 전압공급부(150)에 의해 마스크부(140)에 양의 전압이 인가되면, 마스크부(140)에는 전기장이 형성되고, 이러한 전기장에 의하여 마스크부(140)와 개구부(141)를 통과하는 액적들 사이에는 척력(斥力)이 작용하게 된다. 그 결과, 마스크부(140)의 개구부(141)를 통과한 액적들은 상기 개구부(141)보다 좁은 영역으로 분무될 수 있다.
도 4은 폭이 1mm인 개구부를 갖는 마스크부를 적용하여 형성된 패턴의 사진이다.
도 4을 참조하면, 마스크부(140)에 형성된 개구부(141)의 폭은 1mm임에도 불구하고, 마스크부(140)를 적용하여 형성된 패턴의 폭은 약 315 ㎛에 불과하였다. 즉, 마스크부(140)를 적용하는 경우, 마이크로 스케일의 미세폭을 갖는 패턴을 용이하게 형성할 수 있게 된다.
노즐부(110), 가이드 전극부(130) 및 마스크부(140)는 서로 결합될 수 있다. 즉, 노즐부(110), 가이드 전극부(130) 및 마스크부(140)는 서로 결합되어 고정된 기판에 대해 서로 동일하게 이동할 수 있다. 이와 달리, 노즐부(110), 가이드 전극부(130) 및 마스크부(140)는 고정된 상태에서 기판이 이동할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 정전 분무 인쇄 장치는 가이드 전극부를 구비함으로써 원형으로 분무되는 액적들을 일방향으로 연장된 장축을 갖는 타원형 또는 선형으로 분무될 수 있도록 함으로써 균일한 두께의 유기 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 정전 분무 인쇄 장치는 전도성 마스크부를 구비함으로써 마이크로 스케일의 미세 폭을 갖는 유기 패턴을 용이하게 형성할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (7)

  1. 유기물질을 포함하는 용액을 분사하는 노즐;
    상기 노즐에 양의 전압을 인가하여 상기 노즐로부터 분사되는 상기 용액을 미세 액적들로 쪼개는 제1 전압공급부; 및
    상기 노즐의 단부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되고, 제1 방향으로 연장되며, 접지된 2개의 가이드 전극을 포함하는 정전 분무 인쇄 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 2개의 가이드 전극의 하부에 배치되고, 상기 2개의 가이드 전극과 교차하는 방향으로 연장된 선형 개구부를 구비하고, 양의 전압이 인가된 전도성 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 분무 인쇄 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전도성 마스크에 양의 전압을 인가하는 제2 전압공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 분무 인쇄 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 노즐, 상기 2개의 가이드 전극 및 상기 마스크는 상기 액적들이 도포되는 기판에 대해 상대적으로 이동하는 것을 특징으로 하는 정전 분무 인쇄 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 2개의 가이드 전극 각각은 단면이 사각형 또는 원형인 막대 형상을 갖거나 상기 노즐을 사이에 두고 서로 마주보는 판 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 정전 분무 인쇄 장치.
  6. 유기물질을 포함하는 용액을 분사하는 노즐;
    상기 노즐에 양의 전압을 인가하여 상기 노즐로부터 분사되는 상기 용액을 미세 액적들로 쪼개는 제1 전압공급부; 및
    상기 노즐의 단부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되고, 제1 방향으로 연장되며, 음의 전압이 인가된 2개의 가이드 전극을 포함하는 정전 분무 인쇄 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 가이드 전극들에 상기 음의 전압을 인가하는 제2 전압공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 분무 인쇄 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017052192A (ja) * 2015-09-10 2017-03-16 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014053159A (ja) * 2012-09-06 2014-03-20 Toray Eng Co Ltd スプレー式塗布装置
KR101692585B1 (ko) * 2013-10-18 2017-01-03 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 정전 도포 방법 및 정전 도포 장치
US10106915B2 (en) * 2013-12-18 2018-10-23 Anf Inc. Electro-spinning type pattern forming apparatus
KR102523973B1 (ko) * 2016-02-18 2023-04-20 삼성전자주식회사 정전분무 방법을 이용한 백색 유기 발광 소자의 제조방법
JP7175488B2 (ja) * 2017-07-18 2022-11-21 有光工業株式会社 静電散布ノズル、静電散布装置及び静電散布装置の散布方法
CN108172505B (zh) * 2018-01-04 2019-09-24 京东方科技集团股份有限公司 掩模板及制备方法、膜层制备方法和封装结构
KR102362170B1 (ko) * 2019-04-08 2022-02-11 주식회사 엘지화학 Maldi 질량분석을 이용한 고분자의 상대적 정량분석방법
KR102271249B1 (ko) * 2021-01-22 2021-06-30 한국교통대학교산학협력단 비축대칭 액적 분무 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050043433A (ko) * 2003-11-06 2005-05-11 한국기계연구원 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치
KR20070013420A (ko) * 2005-07-26 2007-01-31 (주)멕스코리아아이엔씨 잉크 젯 방식의 패터닝 헤드 장치 및 그를 이용한 패터닝방법
KR20100083619A (ko) * 2009-01-14 2010-07-22 성균관대학교산학협력단 잉크젯 프린트 헤드
KR20110096969A (ko) * 2010-02-24 2011-08-31 제주대학교 산학협력단 표면 탄성파 잉크젯 헤드

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3271584A (en) * 1961-06-21 1966-09-06 Energy Conversion Devices Inc Resistance switches and the like
US4748043A (en) * 1986-08-29 1988-05-31 Minnesota Mining And Manufacturing Company Electrospray coating process
US5326598A (en) * 1992-10-02 1994-07-05 Minnesota Mining And Manufacturing Company Electrospray coating apparatus and process utilizing precise control of filament and mist generation
JP4433100B2 (ja) * 1997-06-20 2010-03-17 ニューヨーク ユニヴァーシティ チップ及びライブラリの大量製造における物質溶液の静電噴霧
DE602005023276D1 (de) * 2004-03-12 2010-10-14 Panasonic Corp Heizelement und herstellungsverfahren dafür

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050043433A (ko) * 2003-11-06 2005-05-11 한국기계연구원 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치
KR20070013420A (ko) * 2005-07-26 2007-01-31 (주)멕스코리아아이엔씨 잉크 젯 방식의 패터닝 헤드 장치 및 그를 이용한 패터닝방법
KR20100083619A (ko) * 2009-01-14 2010-07-22 성균관대학교산학협력단 잉크젯 프린트 헤드
KR20110096969A (ko) * 2010-02-24 2011-08-31 제주대학교 산학협력단 표면 탄성파 잉크젯 헤드

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017052192A (ja) * 2015-09-10 2017-03-16 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置

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