JP5310256B2 - 塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクなどの液体を対象物上の所定位置に塗布する液体塗布装置に関するものである。

従来、微細なストライプ状のパターン塗布膜を形成する代表的な方法としてフォトリソグラフィー法がある。この方法は、被塗布材８上に感光性材料をウェット方式（液状の感光剤を塗布して乾燥させる方式）、又は、ドライ方式（膜状の感光性フィルムを貼り付ける方式）により膜形成した後、露光・現像・乾燥工程を経て所望のパターン塗布膜を形成するものである。

また、フォトグラフィー法によらず、直接パターンを形成する方法として、インクジェット法やスクリーン印刷法、ダイからインクを吐出する方法などが挙げられる。

特開２００３−０８０１４７号公報 特開２００３−０５３２３３号公報

従来の技術で述べた方法のうち、フォトグラフィー法では微細なパターンを比較的精度良く形成することが可能であるが、工程数が多く、使用する装置も非常に高価となることや、露光・現像工程により大量の材料を廃棄するため、材料コストが嵩むという問題がある。

また、フォトグラフィー法を用いずに直接形成する方法のうち、インクジェット法では、細管のノズルから塗布液を安定して吐出させるためのピエゾ素子による吐出機構の作りこみが必要となることや、ピエゾ素子を精密に駆動するための複雑な制御系が必要となることなどから、技術的な課題が多くあると共に装置が非常に高価になるという問題がある。

また、スクリーン印刷法では、製造装置が比較的安価で工程数も比較的少ないことから量産に適しているが、スクリーン版の変形や経時変化のため、長期間連続して高精度なパターンを得難いという問題がある。

そこで近年、ダイからインクを吐出する方法に期待が高まってきている。

次に、このダイからインクを吐出する方法による従来法の問題点について、図面を用いて詳述する。

図２３は、ストライプ状の塗布を行う際の従来法のノズル１からの塗布液の吐出状態をノズル側方および吐出口側から見た図である。

なお、図２３では１つの塗布液吐出口３に注目しており、実際にストライプ状塗布を試みる際にはこれを複数並べた配置とする。

まず吐出を開始すると、図２３（１）に示すように塗布液吐出口３から塗布液が吐出され、やがて同図（２）のようにノズル−被塗布材間に液溜り７を形成する。この液溜り７が形成されると、同図（３）に示すように、ノズルに対する被塗布材８の相対的な走行により、液溜り７にせん断力が加わる。

ここで、スリット状の吐出口から吐出させるベタ塗りの場合は、塗布巾方向に液滴が繋がりながらこの液溜り７を形成するため、液溜り７とノズルとの接触面積も大きく、せん断力に対しても比較的液溜り７が壊れ難い。これに対してストライプ状の塗布を行う場合の液溜り７は、幅方向の繋がりが無く、ベタ塗り時に比べて非常に小さな液溜りとなるため、せん断力が加わることに対して非常に壊れやすくなり、同図（４）〜（５）に示すように塗布膜が途切れ易くなる。

特に微細で薄いストライプ状の塗布を行う際には、吐出量を少なくする必要があるため、この傾向が顕著となる。また、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で塗布する際にも同様にこの傾向が顕著となる。

図２４は、図２３に対して途切れを防止して安定した塗布を行うことを狙いとし、図２３の状態から吐出量を増加させた場合の従来法のノズル１からの塗布液の吐出状態をノズル側方および吐出口側から見た図である。なお、図２４でも図２３と同様に１つの塗布液吐出口３に注目しており、実際にストライプ状塗布を試みる際にはこれを複数並べた配置とする。

図２４に示すように、吐出量を増加させると図２３に比べて大きな液溜り７を形成できるため、図２４（２）のようにノズル−被塗布材間に液溜り７を形成した後に、液溜り７にせん断力が加わった場合でも、図２４（３）〜（４）に示すように液溜り７が壊れ難くなり、図２３に比べて塗布膜が途切れ難い安定した塗布が実現できるようになる。

しかしこの方法では、図２５（図２４（４）の状態をノズル上面から見た図）に示すように、液溜り７が大きくなると共に塗布巾方向にも広がり、その結果、太く厚い塗布膜１９となってしまうため、微細で薄いストライプ状塗布膜の形成は困難となる。

そのような中、塗布時に塗布液吐出口３の塗布方向上流側から気体を供給することでストライプ状の塗布面を形成するという方法が、上述の特許文献１に開示されている。

図２６に、塗布液吐出口３に対して塗布方向上流側から気体を供給しながらストライプ状の塗布を行う際のノズル側面図（図２６（１））、及び、ノズル先端部拡大図（図２６（２））を示す。

この方法では、従来法のノズル１の先端にくし型状部を形成し、くし型部分の山部分２２に塗布液の吐出口を設け、塗布時に上流側からくし型状部の谷部分２３に気体２１を供給することで、塗布膜の巾方向の濡れ広がりを規制し、ストライプ状の塗布膜を得る。しかしこの方法では、図２７（１）に示すように、供給された気体２１により、液溜り７を塗布方向（被塗布材走行方向）の下流側へ押し出す力が働き、その結果、図２７（２）に示すように、液溜り７が壊れ易く、塗布膜が途切れ易くなるという問題がある。

また、この方法では、供給する気体２１の圧力によって塗布膜の巾を制御するため、微細なストライプ状塗布膜を得るためには、より高圧で気体を供給する必要があるが、そのような場合、その気体２１の強い流れにより、液溜り７を塗布方向（被塗布材走行方向）の下流側へ押し出す力が更に強く働くため、液溜り７が壊れて塗布膜が途切れ易くなるという傾向が顕著となる。

また、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）になるほど、供給された気体のノズル−被塗布材間への流れ込みが多くなるため、同様に、液溜り７を塗布方向（被塗布材走行方向）の下流側へ押し出す力が強く働くようになり、液溜り７が壊れて塗布膜が途切れ易くなるという傾向が顕著となる。また、微細で薄いストライプ状塗布膜を得るために少ない吐出量で塗布する場合や、生産性を高めるために速い塗布速度で塗布する場合ほど、液溜り７を維持する力が弱くなるため、液溜り７を塗布方向（被塗布材走行方向）の下流側へ押し出す力により、液溜り７が壊れて塗布膜が途切れ易くなるという傾向が顕著となる。

これらのことから、この方法においても、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することは困難となる。また、塗布液吐出口３と同じ巾を塗布液吐出口の上流側から減圧することで、液溜り７を壊れ難くする方法が、上述の特許文献２に開示されている。

図２８に、塗布液吐出口３と同じ巾を塗布液吐出口３の上流側から減圧して塗布する従来のノズルを塗布液吐出口側から見た図を示す。また、図２９には、図２８のノズルにより塗布している状態を図２８の中のＡ側から見た図を示す。

このノズルでは、ノズル先端に単一のスリット状の塗布液吐出口３が設けてあり、また、その塗布液吐出口の上流側の範囲１３に塗布液吐出口３と同じ巾で気体吸引口２が設けてある。更に、塗布液吐出口３および気体吸引口２の両端部には、気体吸引時にノズル側方からエアーが流入することを防止するためにシールが設けてある。

この方法は、塗布時にノズル−被塗布材間に形成される液溜りの巾で液溜りの上流側を減圧することで、液溜りに対して、巾方向に均一に上流側に保持する力を得るという考えに基づいたものである。上記のノズルを用いて、気体吸引口から吸引すると、ノズル−被塗布材間の気体の流れ６が生じ、ノズル先端面と、被塗布材と、液溜りの上流側面と、側方に設けたシール、および気体吸引口に囲まれた領域が減圧されて、液溜りを上流側へ保持する力が得られるというものである。

しかし、このような「塗布液吐出口の上流側の範囲１３に設けた、塗布液吐出口３と同じ巾の気体吸引口２により吸引し、減圧する」という方法で、複数のノズルによるストライプ状塗布を塗布する場合には、以下のような問題点がある。

まず、上記の「塗布液吐出口の上流側の範囲１３に設けた、塗布液吐出口３と同じ巾の気体吸引口２により吸引し、減圧する」という方法により、複数のノズルによるストライプ状塗布を塗布する場合には、図３０に示すようなノズル構成となる。

ここで、図３０では、一例として３本のストライプ状塗布を行う場合のノズル構成を示した。このノズルでは、ノズル先端部に３つの塗布液吐出口３が設けてあり、それぞれの塗布液吐出口３の上流側の範囲には、塗布液吐出口３と同じ巾の気体吸引口２が設けられている（塗布液吐出口数＝気体吸引口数）。

次に、このノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図を図３１に示す（合わせて、図３２に、図３１のノズルに３つ設けてある塗布液吐出口のうちの１つを拡大した図を示した）。

この場合、気体吸引口２から気体を吸引することにより、図３１〜３２に示すようなノズル−被塗布材間の気体の流れ６が生じる。その際、気体吸引口２を中心とした「液溜りの無い（塗布液吐出口への向きを除く）向き」の領域は、流動抵抗が少なく、気体が流入しやすいため減圧され難いが、「液溜りのある向き（塗布液吐出口３と気体吸引口２の間の領域）」の領域では、液溜りの抵抗があるため外部からの気体流入が困難となり、その他の領域に比べて強く減圧される領域９となる。

その結果、液溜りを上流側へ保持する力を得て、ストライプ状塗布膜の途切れ抑制の効果を得ることは可能になる。しかしこの方法では、塗布液吐出口３から吐出された塗布液は、ノズル先端部で塗布巾方向にも濡れ広がりを生じ、その結果、巾方向に太い塗布膜となってしまうという点については、それを抑制する効果が得られず、微細で薄いストライプ状塗布実現できないという問題点があった。

このような、ノズル先端部での濡れ広がりは、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）になるほど、大きくなる傾向がある。これらのことから、この方法においても、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することは困難となる。

近年、例えばフラットパネルの分野などでは、デバイスの薄型化・高精細化の急速な進展により、より大面積に微細で薄いストライプパターンを高い生産性で形成することが望まれてきている。また、有機ＥＬ素子の作成においては、５００ｃｐｓ以下の粘度の低いインクを使用するため、更に液溜りの破壊や巾の広がりに対応できる塗布方法が望まれている。これらをダイからインクを吐出する塗布方法で実現するには、
（１）被塗布材８の大面積化に伴い被塗布材８の扁肉も大きくなるため、ノズルが被塗布材８と接触しないように広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で塗布できること、
（２）薄く高精細パターンとするため少量の吐出量で塗布できること、
（３）生産性を高めるため高速に塗布できること、
などが必要となるが、このような塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が広く少量吐出で且つ高速な塗布において、従来の塗布時に塗布液吐出口３に対して塗布方向上流側から気体を供給する方法、および、塗布液吐出口３と同じ巾で、液溜りを上流側から減圧する方法では、上記のような液溜り７が壊れ易い問題点や、液溜り７が大きくなり、その巾が広くなる問題点がより顕著となるため、その実現は困難であった。

また、複数の吐出口からインクを吐出して微細なストライプパターンを塗布するためには、各吐出口の加工バラツキや乾燥バラツキや温度バラツキを補正する必要があるが、前述の特許文献１及び２の何れにも解決手段は開示されていない。

本発明は、前述の従来技術の問題点を鑑みてなされたものであり、塗布液を高精度に且つ安定して、ストライプ状に塗布することを可能にした液体塗布装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本願の請求項１に記載の発明は、塗布液の吐出口を複数設けたノズルを有する塗布装置において、前記ノズルは前記吐出口のそれぞれに応じた気体の吸引口を備え、前記吸引口は前記吐出口の上流側領域に配置され、かつ、前記吸引口の巾は、前記吐出口の巾よりも１０μｍ以上長く、前記吐出口と前記吸引口との間の領域に凹み部が設けられることを特徴とする塗布装置である。

本構成によると、吐出口の上流側の範囲に設けた吸引口が液溜りを引きつける事で、液溜りの破壊を防止する。このとき、前記吐出口と前記吸引口との間の領域に凹み部の作用により、液溜りが吸引口に吸い込まれるのを防止できる。そのため、吸引力を大きくすることができるので、安定して、塗布液をストライプ状に塗布することができる。

また、吐出口間の上流側の範囲に設けた吸引口が、液溜りの下流側からの気体の流れを作り、液溜りを上流へ押し込むことで液溜りの破壊を防止する。

また、吐出口間の上流側の範囲に設けた吸引口は、液溜りの両側を通過してくる気体の流れを作り、塗布液の巾が広がることを抑制する。

さらに、複数の塗布液の吐出口のそれぞれに独立して吸引口を設けているので、吐出口の加工バラツキや乾燥バラツキや温度バラツキにあわせた調整が可能である。

以上により、塗布液を高精度に且つ安定して、ストライプ状に塗布することができる。

また、本願の請求項２に記載の発明は、上記請求項１記載の塗布装置において、前記吸引口の数は、前記吐出口の数と異なることを特徴とする塗布装置である。

本構成によると、吐出口間上流に設けた吸引口により、液溜りの両側を通過してくる気体の流れを作り、塗布液の巾が広がることを抑制することがでる。また、吐出口上流の吸引口と吐出口間上流の吸引口の吸引力を調整できるので、更に高精度に且つ安定して、塗布液をストライプ状に塗布することができる。

以上のように、本発明によれば、塗布液を高精度に且つ安定して、ストライプ状に塗布することを可能にした液体塗布装置を提供することができる。

本発明の塗布装置を塗布液吐出口側から斜視した図 気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図 図２のノズルに３つ設けてある塗布液吐出口のうちの１つを拡大した図 図２のノズルにより塗布している状態を図２におけるＡ側から見た図 ストライプ状の塗布を行う際の、本液体塗布装置のノズルからの塗布液の吐出状態をノズル側方および吐出口側から見た図 本発明の塗布装置のノズルのノズル上面図（図５（４）の状態をノズル上面から見た図） 塗布液吐出口を設けた面の塗布巾方向端部に凸部を設けたノズルを塗布液吐出口から見た図 図７におけるＢ側から見たノズル断面図 塗布液吐出口間の流動抵抗が高い場合の、ノズル−被塗布材間の気体の流れを示す図 （１）塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の巾（Ｘ１とＸ６）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の巾（Ｘ２〜Ｘ５）よりも大きくした場合のノズル−被塗布材間の気体の流れを示す図、（２）塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の断面積（Ｘ１とＸ６の範囲の断面積）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の断面積（Ｘ２〜Ｘ５の範囲の断面積）よりも広くした場合のノズル−被塗布材間の気体の流れを示す図 塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも広い巾の気体吸引口２を設けると共に、複数の塗布液吐出口３に対応する気体吸引口２を共通にした、塗布液吐出口数＞気体吸引口数という構成としたノズルの図 図１１のノズルでストライプ状塗布を実施している場合の塗布液吐出口側からノズルを見た図 塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも広い巾の気体吸引口２を設けると共に、別途、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口を設けて、塗布液吐出口数＜気体吸引口数という構成としたノズルの図 図１３のノズルでストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図 塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３と同じ巾の気体吸引口２を設けると共に、別途、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口を設けて、塗布液吐出口数＜気体吸引口数という構成としたノズルの図 図１５のノズルでストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図 塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも狭い巾の気体吸引口２を設けると共に、別途、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口を設けて、塗布液吐出口数＜気体吸引口数という構成としたノズルの図 図１７のノズルでストライプ状塗布を実施している場合の塗布液吐出口側からノズルを見た図 それぞれの塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも狭い巾の気体吸引口２を設けて、塗布液吐出口数＝気体吸引口数という構成とした比較例２のノズルを示す図 図１９のノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の塗布液吐出口側からノズルを見た図 塗布液吐出口３と気体吸引口２の間の範囲に凹部を設けてあるノズルの図 図２１におけるＣ側から見たノズルの側方断面図 ストライプ状の塗布を行う際の従来のノズルからの塗布液の吐出状態を塗布方向（被塗布材の相対的走行方向）に対するノズル側方および吐出口側から見た図 吐出量を増加させた場合の従来のノズルからの塗布液の吐出状態をノズル側方および吐出口側から見た図 従来のノズルのノズル上面図（図２４（４）の状態をノズル上面から見た図） 従来のノズルにより、塗布液吐出口に対して塗布方向上流側から気体を供給しながらストライプ状の塗布を行う際のノズル側面図（図２６（１））、及び、ノズル先端部拡大図（図２６（２）） 従来のノズル（図２７（１），（２））により、塗布液吐出口に対して塗布方向上流側から気体を供給しながらストライプ状の塗布を行う際の状態を示す図 塗布液吐出口３と同じ巾を塗布液吐出口３の上流側から減圧して塗布する従来のノズルを塗布液吐出口側から見た図 図２８のノズルにより塗布している状態を図２８におけるＡ側から見た図 「塗布液吐出口の上流側の範囲１３に設けた塗布液吐出口３と同じ巾の気体吸引口２により吸引し、減圧する」という方法により、複数のノズルによるストライプ状塗布を塗布する場合のノズル構成を示す図 図３０のノズルにより、気体吸引口２から吸引しながら塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、ノズルを塗布液吐出口側から見た図 図３１のノズルに３つ設けてある塗布液吐出口のうちの１つを拡大した図

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における液体塗布装置の構成図であって、以下の実施の形態の説明では、有機ＥＬの発光層塗布工程を例にして説明する。

図１は本液体塗布装置を塗布液吐出口側から見た図である。

ここで、図１では、一例として３本のストライプ状塗布を行う場合のノズル構成を示した。このノズルでは、ノズル先端部に３つの塗布液吐出口３が設けてあり、それぞれの塗布液吐出口３の上流側には、塗布液吐出口３よりも広い巾の気体吸引口２が設けられている（塗布液吐出口数＝気体吸引口数）。

その結果、塗布液吐出口の上流側の範囲１３に気体吸引口２が設けられると共に、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口が設けられていることになる。本実施の形態において、図２３〜３２に示す従来法のノズルの構成と異なるのは、気体吸引口２が、塗布液吐出口の上流側の範囲１３に加えて、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口が設けられている点である。

次に、このノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図を図２に示す。合わせて、図２のノズルに３つ設けてある塗布液吐出口のうちの１つを拡大した図を図３に示す。また、図４には、図２のノズルにより塗布している状態を図２におけるＡ側から見た図を示す。

このように、本発明のノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出して塗布する場合、気体吸引口２から気体を吸引することにより、図２〜４に示すようなノズル−被塗布材間の気体の流れ６が生じる。その際、気体吸引口２を中心とした「液溜りの無い（塗布液吐出口への向きを除く）向き」の領域は、流動抵抗が少なく、外部から気体が流入しやすいため減圧され難いが、「液溜りのある向き（塗布液吐出口３と気体吸引口２の間の領域）」では、液溜りの抵抗があるため外部からの気体流入が困難となり、その他の領域に比べて強く減圧される領域９となる。その結果、液溜りを上流側へ保持する力を得て、ストライプ状塗布膜の途切れ抑制の効果を得ることが可能になる。

更に、本発明のノズルでは、塗布液吐出口３よりも広い巾の気体吸引口２が設けられているため、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口２から気体を吸引することにより、塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けて、液溜りの両側を通過する気体の流れを積極的に生じさせることが可能になる。この塗布液吐出口３の下流側から液溜りの両側を通過してくる気体の流れは、図３に示すように、下流側から液溜りに衝突した後、液溜りの側面に沿って液溜りを通過し、液溜り通過後は、特に塗布液吐出口３と気体吸引口２の間の領域が強く減圧される領域９となっていることもあり、液溜りの中心方向に巻き込まれるような流れになる。その結果、液溜りの下流側では、液溜りを上流側へ押し込む力１１が働き、途切れ抑制効果が得られる。

また、液溜りの上流側では、気体の流れが液溜りをその中心方向に巻き込むことで、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０が働き、塗布膜が巾方向に太くなることを抑制する効果が得られる。これらのことから、本発明のノズルでは、液溜りを上流側へ保持する途切れ抑制効果と、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する効果が両立できるようになるため、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが可能になる。

本発明の塗布装置における塗布方法について説明する。

液体であるインクをポンプ（図示せず）等によって塗布液供給口（図示せず）からノズル１に供給し、ノズル１内の塗布液用マニホールド（図示せず）により塗布巾方向に分配した後、塗布液吐出口３から吐出させる。同時に、真空ポンプ（図示せず）等によって気体吸引口２から気体を吸引する。

吐出されたインクはノズル−被塗布材間で液溜り７を形成する（図５（１），（２））。そして、駆動機構（図示せず）によるノズル１に対する被塗布材８の相対的な走行により液溜り７はせん断力を加えられ（図５（３））、被塗布材８の相対的な走行方向に伸びるが、気体吸引口２から吸引することにより生じる気体の流れ６により、液溜りの下流側では、液溜りを上流側へ押す力１１が働き、途切れ抑制効果が得られる（図５（４））。

また、液溜りの上流側では、気体の流れが液溜りをその中心方向に巻き込むことで、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０が働き、塗布膜が巾方向に太くなることを抑制する効果が得られる（図５（４））。その結果、従来は液溜り４を維持する力が弱く、せん断力により液溜り７が壊れ易かった少量吐出や塗工速度が速い塗布においても液溜り７を維持できるようになり、図６（図５（４）の状態をノズル上面から見た図）に示すように、微細で薄いストライプ状塗布を安定して実現できるようになる。

特に、有機ＥＬ素子の作成においては、５００ｃｐｓ以下の粘度の低いインクを使用され、液溜り４を維持する力が弱いため、本発明の大きな効果を得ることができる。

また、前記のように、気体吸引口２から吸引することにより生じる気体の流れ６により、液溜り７を被塗布材８の相対的な走行方向の上流側に押す力１１と液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０が加えられることで、吐出された塗布液がノズル１表面に濡れ広がることを抑制しつつ被塗布材方向に液溜り４を成長させる効果が得られる。その結果、少ない吐出量においても、従来に比べ広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）での液溜り形成が可能となるため、従来よりも広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）での微細で薄いストライプ状塗布が実現できるようになる。

更に、本発明の構成によれば、複数の塗布液の吐出口のそれぞれに独立して吸引口を設けているので、吐出口の加工バラツキや乾燥バラツキや温度バラツキにあわせた調整が可能である。調整方法としては、各吸引口ごとに真空ポンプの排気量を調整する方法、各吸引口ごとに真空ポンプから吸引口までのコンダクタンスを調整する方法を使用できる。

各吸引口ごとに真空ポンプから吸引口までのコンダクタンスを調整する方法として、各吸引口の大きさを変える方法や、真空ポンプのまでの経路の配置を調整する方法が使用できる。

また、図７〜８に示すように、ノズル１の塗布液吐出口３を設けた面の塗布巾方向端部に凸部２６を設けることで、気体吸引口２からの吸引によりノズル側方から気体が流入し、塗布巾方向両端部の液溜りが、塗布幅方向内側に流されることを防止できる。その結果、塗布巾方向両端部の塗布においても、その他の塗布巾方向内側の部分の液溜りと同様の被塗布材８の相対的な走行方向の上流側に押す力１１と液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０を得ることができるようになり、塗布巾方向中央部から両端部まで均一な塗布を実現できる。

また、図９に示すように、特に塗布液吐出口の間隔が狭く、その間を流れるノズル−被塗布材間の気体の流れ６の流動抵抗が高い場合などは、塗布液吐出口間に比べて流動抵抗の小さい塗布巾方向両端部のノズル−被塗布材間の気体の流れ６が増加し、その流れは、塗布巾方向外側から塗布巾方向中心部へ巻き込むような流れとなる。その結果、塗布巾方向両端部の液溜りが、塗布巾方向内側に流されてしまい、その塗布膜の巾や隣接する塗布膜とのピッチが変化してしまう。

そこで、図１０（１）に示すように、気体吸引口の巾について、塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の巾（図１０（１）におけるＸ１とＸ６）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の巾（図１０（１）におけるＸ２〜Ｘ５）よりも大きくすると良い。これにより、塗布巾方向両端部では、塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての直線的な流れを積極的に生じさせることが可能になる。

その結果、流動抵抗が小さいことで増加する塗布巾方向両端部のノズル−被塗布材間の気体の流れ６を塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての直線的な流れとすることができ、上記のような塗布巾方向両端部の液溜りが塗布巾方向内側に流され、その塗布膜の巾や隣接する塗布膜とのピッチが変化するということを防止できることで、塗布巾方向中央部から両端部まで均一な塗布を実現できる。

また、塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の巾（図１０（２）におけるＸ１とＸ６）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の巾（図１０（２）におけるＸ２〜Ｘ５）と同じにする。それと共に、塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の断面積（図１０（２）におけるＸ１とＸ６の範囲の断面積）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の断面積（図１０（２）におけるＸ２〜Ｘ５の範囲の断面積）よりも広くすることでも、流動抵抗が小さいことで増加する塗布巾方向両端部のノズル−被塗布材間の気体の流れ６を塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての直線的な流れとすることができる。

上記のような塗布巾方向両端部の液溜りが塗布巾方向内側に流され、その塗布膜の巾や隣接する塗布膜とのピッチが変化するということを防止できることで、塗布巾方向中央部から両端部まで均一な塗布を実現できる。

有機ＥＬの発光層の塗布工程において、被塗布材８はガラス基板に駆動用のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などを形成したものであって、その設定条件例としては、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍであり、塗布液吐出口３の直径は２０μｍから１５０μｍである。また、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍから５０００μｍであり、気体吸引口の巾４は「塗布液吐出口の巾に１０μｍ以上加算した寸法」である。また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍから５０００μｍである。

塗布終端部付近での塗布動作については、ノズルが塗布終端位置に到達する前にポンプ（図示せず）等による塗布液供給を停止させると良い。これにより、ノズル内部の塗布液に加わる残圧の影響により余分に塗布液が吐出されることで、塗布終端部で塗布ムラ（例えば、膜厚増加、塗布巾増加など）が発生するということを防止できる。また、ノズルが塗布終端位置に到達する前に塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を大きくすることで、上記ノズル内部の塗布液に加わる残圧や、塗布終端部でノズル先端部分と被塗布材間での液溜りが不必要に濡れ広がることによって発生する塗布ムラ（例えば膜厚増加、塗布巾増加など）を防止することができる。また、ポンプ（図示せず）等により塗布液供給を停止させると同時に気体吸引口からの気体の吸引を停止させても良いが、塗布液供給が停止した一定時間後に気体吸引を停止させても良い。

このように気体の吸引停止を遅らせることで、ノズルと被塗布材に存在する液溜りを速やかに切り離す効果が得られ、塗布終端位置の高精度な制御が可能となり、塗布巾方向での塗布終端位置バラツキを小さくできる効果が得られる。また、特に広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で塗布する場合など、気体の吸引による「途切れ抑制効果」および「ノズル表面への濡れ広がり抑制効果」を十分に得ながら塗布している場合には、塗布液供給が停止する前に気体吸引を停止させても良い。

この場合には、気体吸引を停止した時点で、上記の吸引による効果が失われることで、ノズル−被塗布材間の液溜りが保持できなくなり、膜が途切れてしまう。この現象を利用することでも、塗布終端位置の高精度な制御が可能となり、塗布巾方向での塗布終端位置バラツキを小さくできる効果が得られる。

有機ＥＬの発光層の塗布工程で使用されるインクにおいて、溶質としては、ポリフルオレン系、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系、アルコキシベンゼン、アルキルベンゼンなどの高分子材料が挙げられ、溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキシルベンゼン等の単独または混合溶媒が挙げられる。ノズル１と被塗布材８の相対的な走行速度は５０〜５００ｍｍ／ｓである。

（実施の形態２）
また、図１１に示すように、それぞれの塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも広い巾の気体吸引口２を設けると共に、複数の塗布液吐出口３に対応する気体吸引口２を共通にした、塗布液吐出口数＞気体吸引口数という構成としても良い。その結果、塗布液吐出口の上流側の範囲１３に気体吸引口２が設けられると共に、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口が設けられていることになる。

ここで、本実施の形態では、一例として、６つの塗布液吐出口３に対して、２つの気体吸引口２を設ける場合を示した。次に、このノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図を図１２に示す。

このように、図１１に示すノズルでは、全ての塗布液吐出口間の上流側の領域に気体吸引口２が設けられているため、塗布液の吐出口間における、塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての直線的な流れを積極的に生じさせることが可能になり、液溜りの下流側における液溜りを上流側へ押し込む力１１と、液溜りの上流側における、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０を安定して得られるようになる。その結果、本実施の形態３のノズルでは、液溜りを上流側へ保持する途切れ抑制効果と、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する効果の両立を実現でき、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが可能になる。

また、複数の気体吸引口２のそれぞれの吸引力を調整することで、さらに高精度に且つ安定して、塗布液をストライプ状に塗布することができる。すなわち、例えば、被塗布材８の偏肉、塗布装置の動作バラツキ、ノズルの加工バラツキなどにより、部分的に塗工ギャップが広くなった場合などは、塗工ギャップの広い部分に対応する気体吸引口２の吸引力が強くなるよう調整すれば、さらに高精度に且つ安定して、塗布液をストライプ状に塗布することができる。

（実施の形態３）
また、図１３に示すように、それぞれの塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも広い巾の気体吸引口２を設けると共に、別途、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口を設けて、塗布液吐出口数＜気体吸引口数という構成としても良い。その結果、塗布液吐出口の上流側の範囲１３に気体吸引口２が設けられると共に、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口が設けられていることになる。ここで、本実施の形態では、一例として、３つの塗布液吐出口３に対して、５つの気体吸引口２を設ける場合を示した。

次に、このノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図を図１４に示す。

このように、図１３に示すノズルでは、別途設けた、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２の気体吸引口２により、塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての直線的な流れを積極的に生じさせることが可能になり、液溜りの下流側における液溜りを上流側へ押し込む力１１と、液溜りの上流側における、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０を安定して得られるようになる。その結果、本実施の形態２のノズルでは、液溜りを上流側へ保持する途切れ抑制効果と、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する効果の両立を実現でき、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが可能になる。

吐出口上流の吸引口と吐出口間上流の吸引口の吸引力を調整することで、さらに高精度に且つ安定して、塗布液をストライプ状に塗布することができる。すなわち、吐出口上流の吸引口への流れを乱さない範囲で、液溜りの両側を通過してくる気体の流れを速くするように吐出口間上流の吸引口の吸引力を調整すれば、更に高精度に且つ安定して、塗布液をストライプ状に塗布することができる。

（実施の形態４）
また、図１５に示すように、それぞれの塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３と同じ巾の気体吸引口２を設けると共に、別途、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口を設けて、塗布液吐出口数＜気体吸引口数という構成としても良い。その結果、塗布液吐出口の上流側の範囲１３に気体吸引口２が設けられると共に、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口が設けられていることになる。ここで、本実施の形態では、一例として、３つの塗布液吐出口３に対して、５つの気体吸引口２を設ける場合を示した。

次に、このノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図を図１６に示す。

このように、図１５に示すノズルでは、別途設けた、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２の気体吸引口２により、塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての直線的な流れを積極的に生じさせることが可能になり、液溜りの下流側における液溜りを上流側へ押し込む力１１と、液溜りの上流側における、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０を安定して得られるようになる。

その結果、本実施の形態４のノズルでは、液溜りを上流側へ保持する途切れ抑制効果と、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する効果の両立を実現でき、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが可能になる。

（実施の形態５）
また、図１７に示すように、それぞれの塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも狭い巾の気体吸引口２を設けると共に、別途、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口を設けて、塗布液吐出口数＜気体吸引口数という構成としても良い。その結果、塗布液吐出口の上流側の範囲１３に気体吸引口２が設けられると共に、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２にも気体吸引口が設けられていることになる。

ここで、本実施の形態では、一例として、３つの塗布液吐出口３に対して、１１個の気体吸引口２を設ける場合を示した。次に、このノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図を図１８に示す。

このように、図１７に示すノズルでは、別途設けた、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２の気体吸引口２により、塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての直線的な流れを積極的に生じさせることが可能になり、液溜りの下流側における液溜りを上流側へ押し込む力１１と、液溜りの上流側における、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０を安定して得られるようになる。

その結果、本実施の形態５のノズルでは、液溜りを上流側へ保持する途切れ抑制効果と、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する効果の両立を実現でき、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが可能になる。

（実施の形態６）
また、図２１に示すように、ノズルの塗布液吐出口３と気体吸引口２の間の範囲に凹部２７を設けた構成としても良い。

ここで、その一例として、実施の形態１のノズルの塗布液吐出口３と気体吸引口２の間の範囲に凹部２７を設けた場合を示した。また、図２２には、図２１におけるＣ側から見たノズルの側方断面図を示す。このような構成とすることで、気体の吸引によって液溜り７に気体吸引口方向への引っ張り力が働く際に、凹部２７によって液溜りを留める効果が得られ、液溜りが気体吸引口２に吸込まれて塗布できなくなるということを防止できる。

その結果、より高い吸引圧力で気体を吸引しても、液溜りを保持できるようになるため、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが可能になる。

なお、本実施の形態１〜６では、塗布液吐出口３を円形として述べたが、塗布液を安定して吐出できる形状であれば良く、これに限らない。また、気体吸引口２を長方形として述べたが、安定して気体を吸引できる形状であれば良く、これに限らない。また、本実施の形態１〜６では、塗布液の吐出と気体の吸引を同時に開始するとして述べたが、両者の開始のタイミングに差をつけても良い。

例えば、塗布始端部において液溜りを形成してからノズルと被塗布材８の相対的な走行を開始させて塗布する際に、低粘度液体の塗布においてノズル先端での濡れ広がりが速い場合、先に気体吸引を開始してから塗布液を吐出させることで、始端部の塗布巾が不必要に広くなることを防止できる。また、膜厚を薄く塗布する場合には、吐出量が少なくなるため、まだ液溜りが形成されていない状態（図５（１）の状態）で、吐出された塗布液が気体の吸引により不必要に塗布方向における上流側へ押し流されてしまい、所定の位置に塗布始端部を形成できなくなることがある。そこで、このような場合には、先に塗布液を吐出させて液溜りを形成してから気体吸引することで、塗布始端部の未塗布部発生などを防止できる。

また、液体の吐出と気体の吸引を同時に開始しつつ、気体吸引圧力を変動させながら塗布する（例えば、塗布始端部では定常塗布時よりも高い圧力で気体を吸引し、ノズルと被塗布材８の相対的な走行が始まると定常塗布時の所定の圧力に変化させる。若しくは、塗布始端部で液体の吐出開始から液溜りが形成されるまでは、定常塗布時よりも低い圧力で気体を吸引し、ノズルと被塗布材８の相対的な走行が始まると定常塗布時の所定の圧力に変化させる。）ことで、上記のような両者の開始タイミングに差をつける効果と同様の効果を得ることも可能である。

（実施例１）
実施の形態１を使用した実施例により、更に詳細に説明する。

図１に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は、塗布液吐出口の巾＋１０μｍ〜５０００μｍ、塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の巾（図１０（１）におけるＸ１とＸ６）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の巾（図１０（１）におけるＸ２〜Ｘ５）よりも、１０μｍ〜４５００μｍ大きくする。

また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口３が１０００個、気体吸引口２が１０００個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａとした。ノズル１の吐出口を設けた面の塗布巾方向端部の凸部２６の長さ（図８におけるＺ）は２０〜１９０μｍ、巾は２ｍｍ〜１５ｍｍとし、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させた。

そして、塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施した。

いずれの条件においても表１と同様の、途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、１４０μｍという結果が得られた。

（実施例２）
実施の形態２を使用した実施例により、更に詳細に説明する。

図１１に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は８０μｍ〜２０４９５０μｍ、塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の巾（図１０（１）におけるＸ１とＸ６）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の巾（図１０（１）におけるＸ２〜Ｘ５。但し、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２で気体吸引口が繋がっている場合は、その半分の長さを考える）よりも、１０μｍ〜４５００μｍ大きくした。

また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口３が１０００個、気体吸引口２が２〜９９９個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａとした。ノズル１の吐出口を設けた面の塗布巾方向端部の凸部２６の長さ（図８におけるＺ）は２０〜１９０μｍ、巾は２ｍｍ〜１５ｍｍとし、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させた。

そして、塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施した。

いずれの条件においても表２と同様の、途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、１４０μｍという結果が得られた。

（実施例３）
実施の形態３を使用した実施例により、更に詳細に説明する。

図１３に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は、塗布液吐出口の巾＋１０μｍ〜５０００μｍ、塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の巾（図１０（１）におけるＸ１とＸ６）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の巾（図１０（１）におけるＸ２〜Ｘ５）よりも、１０μｍ〜４５００μｍ大きくする。

また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口３が１０００個、気体吸引口２が１９９９個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａとする。ノズル１の吐出口を設けた面の塗布巾方向端部の凸部２６の長さ（図８におけるＺ）は２０〜１９０μｍ、巾は２ｍｍ〜１５ｍｍとし、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させる。

そして、塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施したところ、何れの条件においても、表３と同様の途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、１４０μｍという結果が得られた。

（実施例４）
実施の形態４を使用した実施例により、更に詳細に説明する。

図１５に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は、塗布液吐出口の巾５と同じである。また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口３が１０００個、気体吸引口２が１９９９個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａである。

ノズル１の吐出口を設けた面の塗布巾方向端部の凸部２６の長さ（図８におけるＺ）は２０〜１９０μｍ、巾は２ｍｍ〜１５ｍｍとし、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させる。

塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施したところ、何れの条件においても表４と同様の、途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、１２０μｍという結果が得られた。

（実施例５）
実施の形態５を使用した実施例により、更に詳細に説明する。

図１７に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は、塗布液吐出口の巾は−１０μｍ〜−１３０μｍである。また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口３が１０００個、気体吸引口２が２００１〜３９９９個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａである。

ノズル１の吐出口を設けた面の塗布巾方向端部の凸部２６の長さ（図８におけるＺ）は２０〜１９０μｍ、巾は２ｍｍ〜１５ｍｍとし、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させる。

塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施したところ、何れの条件においても表５と同様の、途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、１００μｍという結果が得られた。

（実施例６）
実施の形態６を使用した実施例により、更に詳細に説明する。

図２５に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は、塗布液吐出口の巾＋１０μｍ〜５０００μｍ、塗布巾方向両端部の塗布液吐出口３の外側の気体吸引口２の巾（図１０（１）におけるＸ１とＸ６）をその他の塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に設けられた気体吸引口の巾（図１０（１）におけるＸ２〜Ｘ５）よりも、１０μｍ〜４５００μｍ大きくした。

また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、凹部２７の隙間（図２２におけるＡ）は１０μｍ〜５００μｍ、凹部２７の深さ（図２２におけるＢ）は１０μｍ〜５００μｍ、凹部２７と塗布液吐出口３との距離（図２２におけるＣ）は２０μｍ〜２０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口が１０００個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａである。

ノズル１の吐出口を設けた面の塗布巾方向端部の凸部２６の長さ（図８におけるＺ）は２０〜１９０μｍ、巾は２ｍｍ〜１５ｍｍとし、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させる。そして、塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施したところ、何れの条件においても表６と同様の、途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、１６０μｍという結果が得られた。

（比較例１）
比較例１として、従来法の１つである図３０に示したノズルを使用して同様の塗布を行った。

図３０に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は、塗布液吐出口の巾５と同じである。また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口３が１０００個、気体吸引口２が１０００個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａである。

ノズル１の吐出口を設けた面に塗布巾方向端部の凸部２６は設けない、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させた。

塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施したところ、何れの条件においても表７と同様の、途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、６０μｍという結果が得られた。

（比較例２）
比較例２として、図１９に示したノズルを使用して同様の塗布を行った。

また、図１９に示すように、それぞれの塗布液吐出口３の上流側に、塗布液吐出口３よりも狭い巾の気体吸引口２を設けて、塗布液吐出口数＝気体吸引口数という構成とした。ここで、図１９では、一例として３本のストライプ状塗布を行う場合のノズル構成を示した。

その結果、塗布液吐出口の上流側の範囲１３のみに気体吸引口２が設けられ、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２には気体吸引口が設けられないことになる。次に、このノズルにより、気体吸引口２から気体を吸引しながら塗布液吐出口３から塗布液を吐出し、ストライプ状塗布を実施している場合の、塗布液吐出口側からノズルを見た図を図２０に示す。

このように、図１９に示すノズルでは、気体吸引口２から気体を吸引することにより、図２０に示すようなノズル−被塗布材間の気体の流れ６が生じる。その際、気体吸引口２を中心とした「液溜りの無い（塗布液吐出口への向きを除く）向き」の領域は、流動抵抗が少なく、気体が流入しやすいため減圧され難いが、「液溜りのある向き（塗布液吐出口３と気体吸引口２の間の領域）」では、液溜りの抵抗があるため外部からの気体流入が困難となり、その他の領域に比べて強く減圧される領域９となる。

その結果、液溜りを上流側へ保持する力を得て、ストライプ状塗布膜の途切れ抑制の効果を得ることが可能になる。しかし、このノズルでは、気体吸引口の巾４が小さいため、強く減圧される領域９も非常に小さい領域となり、液溜りを上流側へ保持する力も非常に小さなものとなる。更に、このノズルでは、塗布液の吐出口間の上流側の範囲１２に気体吸引口２が設けられていないため、塗布液吐出口３の下流側から気体吸引口２に向けての流れを積極的に生じさせることができないため、液溜りの下流側における液溜りを上流側へ押し込む力１１と、液溜りの上流側における、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する力１０を得ることができない。

その結果、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが困難になる。

比較例２について、更に詳細に述べる。

図１９に示したノズル１において、塗布液吐出口３は円形で、塗布液吐出口の巾５は２０〜１５０μｍ、気体吸引口２の隙間（図１におけるＷ）は１０μｍ〜５０００μｍ、気体吸引口の巾４は、塗布液吐出口の巾−１０μｍ〜−１３０μｍである。また、塗布液吐出口３と気体吸引口２との距離（図１におけるＹ）は５０μｍ〜５０００μｍ、塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）が３０〜２００μｍ、塗布液吐出口が１０００個、気体吸引口２付近での気体吸引圧力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａである。

ノズル１の吐出口を設けた面の塗布巾方向端部の凸部２６の長さ（図８におけるＺ）は２０〜１９０μｍ、巾は２ｍｍ〜１５ｍｍとし、インクの溶質にポリフルオレン系、溶媒にシクロヘキシルベンゼンを使用し、インクの粘度は５ｃｐｓ〜５００ｃｐｓ、温度２０℃、吐出量０．２〜１００ｎＬ／ｓ、ノズルと被塗布材８の相対的走行速度５０〜５００ｍｍ／ｓ、塗布始端部で塗布液の吐出を開始してから２０ｍｓｅｃ後に気体の吸引を開始させる。

そして、塗布終端位置から１３ｍｍ手前の位置でポンプによる塗布液供給を停止し、塗布終端位置から１０ｍｍ手前の位置から塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）を２００μｍ増加させるという条件で、高さ１〜１００μｍ、巾１０〜８０μｍのバンクを５０〜２００μｍピッチで設けた被塗布材８上のバンク間に塗布するテストを実施したところ、いずれの条件においても表８と同様の、途切れやはみ出しが発生することなく安定的にインクを塗布することができる最大の塗工ギャップ１５が、６０μｍという結果が得られた。

以上のように、本発明の塗布装置によれば、液溜りを上流側へ保持する途切れ抑制効果と、液溜りの塗布巾方向への濡れ広がりを抑制する効果が両立できるようになるため、広い塗工ギャップ１５（ノズル−被塗布材間の距離）で微細なストライプ状塗布膜を高速に安定して形成することが可能になった。

また、本実施の形態および実施例は、有機ＥＬの発光層塗布工程を例にして説明したが、その他、例えば、色変換層、カラーフィルター等の塗布工程などにも適用可能であり、これに限らない。また、同様に、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイなど、他のデバイスにおける、塗布液をストライプ状に塗布する工程にも適用可能であり、これに限らない。

本発明は、製造コストが低い方式で高精度な塗布を可能とするため、有機ＥＬやプラズマディスプレイ、液晶ディスプレイなどのラインデバイス構造を持つ高精細表示装置などの印刷製造工程に適用できる。

１ ノズル
２ 気体吸引口
３ 塗布液吐出口
４ 気体吸引口の巾
５ 塗布液吐出口の巾
１２ （ノズル先端部における、）塗布液の吐出口間の上流側の範囲
１３ （ノズル先端部における、）塗布液の吐出口の上流側の範囲

Claims (2)

1. 塗布液の吐出口を複数設けたノズルを有する塗布装置において、
   前記ノズルは前記吐出口のそれぞれに応じた気体の吸引口を備え、前記吸引口は前記吐出口の上流側領域に配置され、かつ、
   前記吸引口の巾は、前記吐出口の巾よりも１０μｍ以上長く、前記吐出口と前記吸引口との間の領域に凹み部が設けられること
   を特徴とする塗布装置。
2. 前記吸引口の数は、前記吐出口の数と異なる請求項１記載の塗布装置。

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