KR20150038031A

KR20150038031A - 피복 공구

Info

Publication number: KR20150038031A
Application number: KR1020157003449A
Authority: KR
Inventors: 쇼타 아사리; 마사카즈 키쿠치
Original assignee: 가부시키가이샤 탕가로이
Priority date: 2012-08-10
Filing date: 2013-08-12
Publication date: 2015-04-08
Also published as: KR101684412B1; EP2883637B1; CN104540624B; JPWO2014025057A1; RU2588946C1; BR112015002527B1; CN104540624A; ES2666599T3; CA2880949C; US20180010233A1; EP2883637A4; US10501842B2; BR112015002527A2; JP5817932B2; US20150203956A1; IN2015DN01818A; WO2014025057A1; CA2880949A1; EP2883637A1

Abstract

본 발명은 기재와 상기 기재의 표면에 형성된 피복층을 포함하고, 상기 피복층은 제 1 적층 구조(3)와 제 2 적층 구조(4)를 포함하고, 상기 제 1 적층 구조는 조성이 다른 2층 이상의 층을 각 층의 평균 층두께를 60nm 이상 500nm 이하의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조이고, 상기 제 2 적층 구조는 조성이 다른 2층 이상의 층을 각 층의 평균 층두께를 2nm 이상 60nm 미만의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조이고, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층 및 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 층은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si, Sr, Y, Sn 및 Bi에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 금속; 및 이들 금속 원소 중 적어도 1종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하는 피복 공구이다.

Description

피복 공구{COATED TOOL}

본 발명은 피복 공구에 관한 것이다.

최근, 절삭 가공의 고능률화의 수요가 높아짐에 따라, 종래보다 공구 수명이 긴 절삭 공구가 요구되고 있다. 이 때문에, 공구 재료의 요구 특성으로서 절삭 공구의 수명에 관계되는 내마모성의 향상 및 내결손성의 향상이 더욱 중요해지고 있다. 그래서, 이들 특성을 향상시키기 위해서, 피막을 교대로 적층한 교대 적층막을 기재 상에 형성한 피복 공구가 사용되고 있다.

그래서, 이러한 교대 적층막의 특성을 개선하기 위한 여러가지 기술이 제안되어 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는 특정 금속 원소 또는 그 화합물과 특정 합금 화합물을 적층 주기 0.4nm∼50nm로 모재 표면에 적층한 내마모성이 우수한 절삭 공구가 제안되어 있다.

또한, 특허문헌 2에는 (Ti₁ _- _XAl_X)N(원자비로 X: 0.30∼0.70)의 조성식으로 표시되는 복합 질화물의 제 1 박층과 산화 알루미늄상의 비율이 질화 티타늄상과의 합량에 차지하는 비율로 35∼65질량%인 제 2 박층을 각각의 평균 층두께 0.2∼1㎛으로 기체의 표면에 4층 이상 교대로 적층해서 전체 평균 층두께 2∼10㎛로 한, 중절삭 조건에서도 우수한 내마모성을 나타내는 절삭 공구가 제안되어 있다.

또한, 특허문헌 3에는 1∼50nm의 두께를 갖는 층이 순차 주기적으로 반복해서 적층되어 이루어지는 부분층을 포함하고, 100∼5000nm의 두께를 갖는 층과 100∼5000nm의 두께를 갖는 단일층이 경질 모재 상에 교대로 10층 이상 적층되어서 이루어지는 내마모성 및 내용착성이 우수한 절삭 공구가 제안되어 있다.

일본 특허공개 평 7-205361호 공보 일본 특허공개 2003-200306호 공보 일본 특허공개 평 11-12718호 공보

최근의 절삭 가공에서는 고속화나 고이송화 및 딥커팅화가 보다 현저해지고, 가공 중에 블레이드 엣지에 가해지는 부하에 의해 공구 표면에서 발생한 크랙이 기재로 진전되거나, 블레이드 엣지 온도의 급격한 증감에 의해 기재로부터 발생한 크랙이 피복층 중으로 진전되거나 하는 것에 기인한 공구의 결손이 많이 보여지게 되어 왔다.

이러한 배경에 의해 상기 특허문헌 1의 발명의 적층 주기가 0.4∼50nm라는 박막의 적층으로 이루어지는 절삭 공구에서는 높은 내마모성은 나타내지만, 공구의 결손이 생기기 쉽다고 하는 문제가 있다. 또한, 특허문헌 2의 발명의 각각의 평균 층두께가 두꺼운 교대 적층으로 이루어지는 절삭 공구에서는 피막의 경도가 불충분하기 때문에 내마모성이 열화된다고 하는 문제가 있다. 또한, 특허문헌 3의 발명의 박막의 적층과 단일층막의 적층 구조를 갖는 절삭 공구에서는 내결손성이 불충분하기 때문에, 상기 요구 성능을 만족시킬 수 없어져 오고 있다.

본 발명은 이들 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것이고, 내마모성을 저하시키지 않고 내결손성을 향상시킨 공구 수명이 긴 피복 공구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명자들은 피복 공구의 공구 수명의 연장에 대해서 연구를 거듭한 바, 피복층의 층구성과 조성을 개량함으로써, 내마모성을 저하시키지 않고 내결손성을 향상시키는 것이 가능해지고, 그 결과 피복 공구의 공구 수명을 연장할 수 있었다.

즉, 본 발명의 요지는 이하와 같다.

(1) 기재와 기재의 표면에 형성된 피복층을 포함하고, 상기 피복층은 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조를 포함하고, 상기 제 1 적층 구조는 조성이 다른 2층 이상의 층을 각 층의 평균 층두께를 60nm 이상 500nm 이하의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조이고, 상기 제 2 적층 구조는 조성이 다른 2층 이상의 층을 각 층의 평균 층두께를 2nm 이상 60nm 미만의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조이고, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층 및 제 2 적층 구조를 구성하는 층은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si, Sr, Y, Sn 및 Bi에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 금속; 및 이들 금속 원소 중 적어도 1종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(2) (1)에 있어서, 상기 제 1 적층 구조는 조성이 다른 2층을 교대로 각 2층 이상 적층한 교대 적층 구조인 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(3) (1) 또는 (2)에 있어서, 상기 제 2 적층 구조는 조성이 다른 2층을 교대로 각 2층 이상 적층한 교대 적층 구조인 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(4) (1)∼(3) 중 어느 하나에 있어서, 상기 피복층은 상기 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조를 교대로 2개이상 연속해서 적층한 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(5) (1)∼(4) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 1 적층 구조의 적층 주기의 평균치(T₁)와 상기 제 2 적층 구조의 적층 주기의 평균치(T₂)의 차(T₁-T₂)가 20nm∼996nm인 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(6) (1)∼(5) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층 및 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층은 Ti, Nb, Ta, Cr, W, Al, Si, Sr 및 Y에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 2종으로 이루어지는 금속; 및 이들 금속 원소 중 적어도 2종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(7) (1)∼(6) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소는 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층 간에서 동일하고, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량과 상기 층에 인접한 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량의 차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(8) (1)∼(7) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소는 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층 간에서 동일하고, 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량과 상기 층에 인접한 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량의 차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(9) (1)∼(6) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소와 상기 층에 인접하는 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소가 1종 이상 다른 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(10) (1)∼(6) 및 (9) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소와 상기 층에 인접하는 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소가 1종 이상 다른 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(11) (1)∼(10) 중 어느 하나에 있어서, 상기 피복층 전체의 총 층두께는 평균 층두께로 0.22∼12㎛인 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(12) (1)∼(11) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 1 적층 구조의 평균 두께는 0.2∼6㎛인 것을 특징으로 하는 피복 공구.

(13) (1)∼(12) 중 어느 하나에 있어서, 상기 제 2 적층 구조의 평균 두께는 0.02∼6㎛인 것을 특징으로 하는 피복 공구.

본 발명의 피복 공구는 내마모성 및 내결손성이 우수하므로, 종래보다 공구 수명이 길다고 하는 효과를 발휘한다.

도 1은 본 발명의 피복 공구의 단면 조직의 모식도의 일례이다.

본 발명의 피복 공구는 기재와 기재의 표면에 형성된 피복층을 포함한다. 본 발명에 있어서의 기재는 피복 공구의 기재로서 사용되는 것이면 특별히 한정하지 않지만, 그 예로서, 초경합금, 시멘트, 세라믹스, 입방정 질화 붕소 소결체, 다이아몬드 소결체, 고속도강 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 기재가 초경합금이면 내마모성 및 내결손성이 우수하므로 더욱 바람직하다.

본 발명의 피복 공구에 있어서의 피복층 전체의 총 층두께는 평균 층두께로 0.22㎛ 미만이면 내마모성이 저하하는 경향이 보여지고, 피복층 전체의 총 층두께가 평균 층두께로 12㎛를 초과해서 두꺼워지면 내결손성이 저하하는 경향이 보여지므로, 피복층 전체의 총 층두께는 평균 층두께로 0.22∼12㎛인 것이 바람직하다. 그 중에서도, 피복층 전체의 총 층두께는 평균 층두께로 1.0∼8.0㎛이면 더욱 바람직하다.

다음에, 상술한 바와 같이 본 발명의 피복 공구에 있어서의 피복층은 특정 제 1 적층 구조 및 제 2 적층 구조를 포함한다. 그 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층은,

Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si, Sr, Y, Sn 및 Bi에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 금속; 및

이들 금속 원소 중 적어도 1종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물

로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하고, 내마모성이 우수하다.

그 중에서도, 제 1 적층 구조를 구성하는 층은,

Ti, Nb, Ta, Cr, W, Al, Si, Sr 및 Y에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 2종으로 이루어지는 금속; 및

이들 금속 원소 중 적어도 2종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물

로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하면 경질이므로, 더욱 바람직하다. 이러한 제 1 적층 구조의 구성층을 구성하는 금속 또는 화합물로서 구체적으로는 (Al₀ _.50Ti₀ _.50)N, (Al₀ _.60Ti₀ _.40)N, (Al₀ _.67Ti₀ _.33)N, (Al₀ _.67Ti₀ _.33)CN, (Al_0.45Ti_0.45Si_0.10)N, (Al₀ _.45Ti₀ _.45Y₀ _.10)N, (Al₀ _.50Ti₀ _.30Cr₀ _.20)N, (Al₀ _.50Ti₀ _.45Nb₀ _.05)N, (Al_0.50Ti_0.45Ta_0.05)N, (Al₀ _.50Ti₀ _.45W₀ _.05)N, (Ti₀ _.90Si₀ _.10)N, (Al₀ _.50Cr₀ _.50)N 등을 들 수 있다.

본 발명의 피복 공구의 피복층에 있어서의 제 1 적층 구조는 이들 금속 또는 화합물로 이루어지는 2층 이상을 각 층의 평균 층두께를 60nm 이상 500nm 이하의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조를 가진다. 이 일정한 주기성을 가지고 적층되는 구조에는 조성이 다른 2층 이상의 층이 포함되어 있다. 이들 조성이 다른 층은 교대로 각 2층 이상 적층하는 것이 크랙이 진전하는 것을 억제하여 내결손성이 향상되는 관점에서 바람직하다.

본 발명에 있어서 층의 적층이 반복되는 최소 단위의 두께를 「적층 주기」라고 한다. 도 1은 본 발명의 피복 공구의 단면 조직의 모식도의 일례이지만, 이하 이것을 이용해서 적층 주기에 대해서 설명한다. 예를 들면, 조성이 다른 A1층(5), B1층(6), C1층, D1층을 기재(1)로부터 피복층(2)의 표면을 향하여 A1층→B1층→C1층→D1층→A1층→B1층→C1층→D1층→…으로 반복해서 적층했을 경우, A1층으로부터 D1층까지의 층두께의 합계를 「적층 주기」라고 한다. 또한, 조성이 다른 A1층(5)과 B1층(6)을 기재(1)로부터 피복층(2)의 표면을 향하여 A1층→B1층→A1층→B1층→A1층→B1층→…으로 반복해서 적층했을 경우, A1층의 층두께와 B1층의 층두께의 합계를 「적층 주기」라고 한다.

조성이 다른 평균 층두께 60nm 이상 500nm 이하의 각 층을 이러한 주기성을 갖게 해서 적층함으로써, 피복 공구의 사용에 의해 피복층의 표면으로부터 진전된 크랙이 제 1 적층 구조에 도달하면, 거기에서 조성이 다른 층과 층의 계면에 평행한 방향으로 크랙이 진전하게 되어 크랙이 기재까지 진전되는 것을 방지하는 작용이 얻어진다. 이러한 효과는 조성이 다른 2층이 교대로 각 2층 이상 적층한 교대 적층 구조이면 더욱 높아지므로, 바람직하다. 구체적으로는, 조성이 다른 A1층과 B1층을 기재로부터 피복층의 표면을 향하여 A1층→B1층→A1층→B1층→…으로 교대로 2층 이상 적층을 반복하는 교대 적층 구조가 제 1 적층 구조로서 바람직하다.

본 발명의 피복 공구의 피복층에 있어서의 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층에 대해서, 그 평균 층두께가 60nm 미만이면 크랙이 기재까지 진전되는 것을 방지하는 작용이 저하하고, 한편 500nm를 초과해서 두꺼워지면 내결손성이 저하되므로, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층의 평균 층두께를 60nm 이상 500nm 이하로 했다. 그 중에서도, 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층의 평균 층두께가 60nm 이상 250nm 이하이면 더욱 바람직하다.

또한, 상기 제 1 적층 구조의 평균 두께는 0.2㎛ 미만이면 조성이 다른 층의 주기적인 적층의 반복수가 적어져서 기재까지 크랙이 진전하는 것을 억제하는 작용이 저하되는 경향을 나타내고, 반대로 6㎛를 초과해서 두꺼워지면 피복층 전체의 잔류 압축 응력이 높아지고, 피복층의 박리나 결손이 발생하기 쉬워서 내결손성이 저하하는 경향을 나타내므로, 본 발명에 있어서 제 1 적층 구조의 평균 두께는 0.2∼6㎛이면 더욱 바람직하다.

다음에, 본 발명의 피복 공구에 있어서의 피복층은 상술한 바와 같이 제 2 적층 구조를 포함한다. 이 제 2 적층 구조를 구성하는 층은,

그 중에서도, 제 2 적층 구조를 구성하는 층은,

로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하면 경질이므로, 더욱 바람직하다. 그러한 제 2 적층 구조의 구성층을 구성하는 금속 또는 화합물로서 구체적으로는 (Al₀ _.50Ti₀ _.50)N, (Al₀ _.60Ti₀ _.40)N, (Al₀ _.67Ti₀ _.33)N, (Al₀ _.67Ti₀ _.33)CN, (Al_0.45Ti_0.45Si_0.10)N, (Al₀ _.45Ti₀ _.45Y₀ _.10)N, (Al₀ _.50Ti₀ _.30Cr₀ _.20)N, (Al₀ _.50Ti₀ _.45Nb₀ _.05)N, (Al_0.50Ti_0.45Ta_0.05)N, (Al₀ _.50Ti₀ _.45W₀ _.05)N, (Ti₀ _.90Si₀ _.10)N, (Al₀ _.50Cr₀ _.50)N 등을 들 수 있다.

본 발명에 있어서의 제 2 적층 구조는 이들 금속 또는 화합물로 이루어지는 2층 이상을 각 층의 평균 층두께를 2nm 이상 60nm 미만의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조를 가진다. 이 일정한 주기성을 가지고 적층된 구조에는 조성이 다른 2층 이상의 층이 포함되어 있다. 상기 제 2 적층 구조는 이 조성이 다른 층을 교대로 각 2층 이상 적층시킨 교대 적층 구조인 것이 경도가 높아지고 내마모성이 향상되는 관점에서 바람직하다.

제 2 적층 구조에 대해서도 층의 적층이 반복되는 최소 단위의 두께를 「적층 주기」라고 한다. 예를 들면, 도 1에 있어서, 조성이 다른 A2층(7), B2층(8), C2층, D2층을 기재(1)로부터 피복층(2)의 표면을 향하여 A2층→B2층→C2층→D2층→A2층→B2층→C2층→D2층→…으로 반복해서 적층했을 경우, A2층으로부터 D2층까지의 층두께의 합계를 「적층 주기」라고 한다. 또한, 조성이 다른 A2층(7)과 B2층(8)을 기재(1)로부터 피복층(2)의 표면을 향하여 A2층→B2층→A2층→B2층→A2층→B2층→…으로 반복해서 적층했을 경우, A2층의 층두께와 B2층의 층두께의 합계를 「적층 주기」라고 한다.

조성이 다른 평균 층두께 2nm 이상 60nm 미만의 각 층을 이러한 주기성을 갖게 해서 적층함으로써, 본 발명의 피복 공구에 있어서의 제 2 적층 구조의 경도가 높아져서 내마모성을 향상시키는 효과가 얻어진다. 이러한 효과는 조성이 다른 2층이 교대로 각 2층 이상 적층한 교대 적층 구조이면 더욱 높아지므로, 바람직하다. 구체적으로는, 조성이 다른 A2층과 B2층을 기재로부터 피복층의 표면을 향하여 A2층→B2층→A2층→B2층→…으로 교대로 2층 이상 적층을 반복하는 교대 적층 구조가 제 2 적층 구조로서 더욱 바람직하다.

상기 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층에 대해서, 그 평균 층두께가 2nm 미만이면 균일한 두께의 층을 형성하는 것이 곤란하고, 제 2 적층 구조를 구성하는 층의 평균 층두께가 60nm 이상이 되면 경도가 저하해서 내마모성이 저하한다. 또한, 제 2 적층 구조와 제 1 적층 구조의 층두께 차가 적어지고, 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조의 계면에 평행한 방향으로 크랙이 진전됨으로써 기재까지 크랙이 진전하는 것을 억제하는 효과가 충분히 얻어지지 않는다. 그 때문에, 본 발명에 있어서 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층의 평균 층두께를 2nm 이상 60nm 미만으로 했다. 이러한 관점에서, 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층의 평균 층두께가 5nm 이상 30nm 이하이면 더욱 바람직하다.

또한, 상기 제 2 적층 구조의 평균 두께가 0.02㎛ 미만이면, 주기적인 층의 반복수가 적어져서 경도가 향상되는 작용이 얻어지지 않고, 한편 제 2 적층 구조의 평균 두께가 6㎛를 초과해서 두꺼워지면 제 2 적층 구조의 잔류 압축 응력이 높아져서 피복층의 박리나 결손이 생기기 쉬워지고 내결손성이 저하하는 경향을 나타내기 때문에, 제 2 적층 구조의 평균 두께는 0.02∼6㎛인 것이 바람직하다.

다음에, 본 발명의 피복 공구에 있어서의 제 1 적층 구조의 적층 주기의 평균치(T₁)와 제 2 적층 구조의 적층 주기의 평균치(T₂)의 차(T₁-T₂)가 20nm 미만이면, 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조의 계면에 평행한 방향으로 크랙이 진전하어서 크랙이 기재까지 진전하는 것을 억제하는 작용이 저하되는 경향이 보여지고, 한편 T₁과 T₂의 차(T₁-T₂)가 996nm를 초과해서 커지면 제 1 적층 구조의 평균 두께가 두꺼워져서 내결손성이 저하하는 경향이 보여지므로, T₁과 T₂의 차(T₁-T₂)는 20∼996nm인 것이 바람직하다. 그 중에서도 T₁과 T₂의 차(T₁-T₂)가 20∼500nm이면 보다 바람직하고, 20∼250nm이면 더욱 바람직하다.

또한, 적층 주기의 평균치란, 예를 들면 A2층→B2층→A2층→B2층→A2층→B2층→…으로 A2층→B2층을 100회 반복해서 적층했을 경우, 100개의 반복단위의 각 적층 주기의 합계를 구하고, 그 적층 주기의 합계를 반복한 횟수인 100으로 나눈 값을 말한다.

본 발명의 피복 공구에 있어서의 제 1 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소는 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층 간에서 동일하고, 또한 제 1 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량과 그 층에 인접한 제 1 적층 구조를 구성하는 다른 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량의 차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 존재하는 것이 바람직하다.

이러한 구성이면, 제 1 적층 구조를 구성하는 어떤 층과 그 인접층의 밀착성을 저하시키지 않고, 층과 층의 계면에 있어서 결정 격자의 부정합성이 얻어진다. 그 때문에, 제 1 적층 구조를 구성하는 층과 층의 계면과 평행한 방향으로 크랙이 진전하기 쉬워져서 크랙이 기재까지 진전되는 것을 억제하는 효과가 높아지므로, 더욱 바람직하다.

상기 「차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 존재한다」라고 하는 것에 대해서, 예를 들면 제 1 적층 구조가 (Al₀ _.55Ti₀ _.45)N층과 (Al₀ _.67Ti₀ _.33)N층으로 이루어질 경우, 2개의 층의 금속 원소는 Al 원소와 Ti 원소로 동일하지만, (Al_0.55Ti_0.45)N층에 포함되는 Al 원소량은 금속 원소 전체에 대하여 55원자%이고, (Al_0.67Ti_0.33)N층에 포함되는 Al 원소량은 금속 원소 전체에 대하여 67원자%이고, 이들 2개의 층에 있어서의 Al 원소량의 차는 12원자%이므로, 이 요건을 충족시킨다. 또한, (Al₀ _.49Ti₀ _.39Cr₀ _.12)N층과 (Al₀ _.56Ti₀ _.36Cr₀ _.08)N층과 같이, 2개의 층의 금속 원소는 Al 원소와 Ti 원소와 Cr 원소로 동일하고, 2개의 층의 Ti 원소량의 차는 3원자%, 2개의 층의 Cr 원소량의 차는 4원자%로 각각 5원자% 미만이어도, 2개의 층의 Al 원소량의 차가 7원자%이므로, 이 요건을 충족시킨다.

또한, 본 발명에 있어서 질화물을(M_aL_b)N으로 표기할 경우에는 금속 원소 전체에 대한 M 원소의 원자비가 a, L 원소의 원자비가 b인 것을 의미한다. 예를 들면, (Al₀ _.55Ti₀ _.45)N은 금속 원소 전체에 대한 Al 원소의 원자비가 0.55, 금속 원소 전체에 대한 Ti 원소의 원자비가 0.45, 즉 금속 원소 전체에 대한 Al 원소량이 55원자%, 금속 원소 전체에 대한 Ti 원소량이 45원자%인 것을 의미한다.

또한, 본 발명의 피복 공구에 있어서의 제 2 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소는 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층 간에서 동일하고, 또한 제 2 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량과 그 층에 인접한 제 2 적층 구조를 구성하는 다른 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량의 차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 존재하는 것이 바람직하다.

이러한 구성이면, 제 2 적층 구조를 구성하는 층과 그 인접층의 밀착성을 저하시키지 않고, 층과 층의 계면에 있어서 결정 격자의 부정합성이 얻어진다. 그 때문에, 제 2 적층 구조를 구성하는 층과 층의 계면과 평행한 방향으로 크랙이 진전하기 쉬워져서 크랙이 기재까지 진전하는 것을 억제하는 효과가 높아지므로, 더욱 바람직하다. 상기 「차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 존재한다」의 의미는 상기 제 1 적층 구조에 대해서 설명한 것과 같다.

또한, 다른 형태로서 본 발명의 피복 공구에 있어서의 제 1 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소와 그 층에 인접한 제 1 적층 구조를 구성하는 다른 층에 포함되는 금속 원소가 1종 이상 다르면, 층과 층의 계면에서 결정 격자가 부정합이 되고, 층과 층의 계면에 평행한 방향으로 크랙이 진전하기 쉬워져서 크랙이 기재까지 진전되는 것을 억제하는 효과가 높아지므로, 더욱 바람직하다. 예를 들면, 제 1 적층 구조가 (Al₀ _.50Ti₀ _.50)N층과 (Al₀ _.50Ti₀ _.30Cr₀ _.20)N층으로 이루어질 경우, 2개의 층에 포함되는 금속 원소를 비교하면 2개의 층은 Al 원소와 Ti 원소를 포함하지만, Cr 원소에 대해서는 한쪽의 층에만 포함되므로, 이 요건을 충족시킨다. 또한, 제 1 적층 구조가 (Al₀ _.50Cr₀ _.50)N층과 (Al₀ _.67Ti₀ _.33)N층으로 이루어질 경우에도 2개의 층에 포함되는 금속 원소를 비교하면, 2개의 층은 Al 원소를 포함하지만, Cr 원소에 대해서는 한쪽의 층에만 포함되고, Ti 원소에 대해서는 한쪽의 층에만 포함되므로, 이 요건을 충족시킨다.

마찬가지로, 본 발명의 피복 공구에 있어서, 제 2 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소와 그 층에 인접한 제 2 적층 구조를 구성하는 다른 층에 포함되는 금속 원소가 1종 이상 다르면, 층과 층의 계면에서 결정 격자가 부정합이 되고, 층과 층의 계면에 평행한 방향으로 크랙이 진전하기 쉬워져서 크랙이 기재까지 진전하는 것을 억제하는 효과가 높아지므로, 더욱 바람직하다.

본 발명의 피복 공구에 있어서의 피복층은 내결손성이 우수한 제 1 적층 구조와 내마모성이 우수한 제 2 적층 구조를 포함함으로써, 내결손성 및 내마모성이 우수하다. 상기 피복층은 제 1 적층 구조 및 제 2 적층 구조보다 피복층의 기재와 반대측의 표면측에 상부층을 포함해도 좋다. 또한, 상기 피복층은 제 1 적층 구조 및 제 2 적층 구조보다 기재측에 하부층을 포함해도 좋다. 또한, 상기 피복층은 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조 사이에 중간층을 포함해도 좋다.

이들 상부층, 중간층 및 하부층의 구성은 피복 공구의 피복층으로서 사용되는 것이면 특별히 한정은 하지 않지만, 그 중에서도, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si, Sr, Y, Sn 및 Bi에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 금속; 및 이들 금속 원소 중 적어도 1종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종으로 이루어지는 층의 단층 또는 주기를 갖지 않는 다층 구성이면 내마모성이 향상되므로, 바람직하다.

또한, 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조를 교대로 2개 이상 연속해서 적층 하면 크랙이 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조의 계면과 평행한 방향으로 진전되기 쉬워져서 크랙이 기재까지 진전하는 것을 억제하는 효과가 얻어지고 내결손성이 향상되기 때문에, 더욱 바람직하다. 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조의 위치 관계에 대해서는 기재에 가장 가까운 것이 제 1 적층 구조, 피복층의 기재와 반대측의 표면에 가장 가까운 것이 제 2 적층 구조이어도, 기재에 가장 가까운 것이 제 2 적층 구조, 피복층의 기재와 반대측의 표면에 가장 가까운 것이 제 1 적층 구조이어도, 어느 것이라도 좋다. 또한, 기재에 가장 가까운 것 및 피복층의 기재와 반대측의 표면에 가장 가까운 것의 쌍방을 제 1 적층 구조 또는 제 2 적층 구조로 해도 좋다. 그 중에서도, 제 2 적층 구조의 잔류 압축 응력보다 제 1 적층 구조의 잔류 압축 응력의 쪽이 낮고, 제 1 적층 구조를 기재에 가장 가깝게 하고 제 2 적층 구조를 상기 표면에 가장 가깝게 하면, 피복층의 내박리성이 향상되는 경향이 보여지므로, 더욱 바람직하다.

본 발명의 피복 공구에 있어서의 피복층의 제조방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 이온 플레이팅법, 아크 이온 플레이팅법, 스퍼터링법, 이온 믹싱법 등의 물리 증착법을 사용하여, 기재 상에 상기에서 설명한 제 1 적층 구조나 제 2 적층 구조 등의 각 층을 형성해 가는 방법을 들 수 있다. 그 중에서도, 아크 이온 플레이팅법은 피복층과 기재의 밀착성이 우수하므로, 더욱 바람직하다.

본 발명의 피복 공구는 기재의 표면에 종래의 피복 방법에 의해 각 층을 형성함으로써 얻어지지만, 예를 들면 이하의 제조방법을 들 수 있다.

공구 형상으로 가공한 기재를 물리 증착 장치의 반응 용기 내에 넣고, 반응 용기 내를 압력 1×10^-2Pa 이하의 진공이 될 때까지 진공시킨다. 진공시킨 후, 반응 용기 내의 히터로 기재의 온도가 200∼800℃가 될 때까지 가열한다. 가열 후, 반응 용기 내에 Ar 가스를 도입해서 압력을 0.5∼5.0Pa로 한다. 압력 0.5∼5.0Pa의 Ar 가스 분위기에서 기재에 -200∼-1000V의 바이어스 전압을 인가하고, 반응 용기 내의 텅스텐 필라멘트에 5∼20A의 전류를 흘려서 기재의 표면을 Ar 가스에 의한 이온 충격 처리를 한다. 기재의 표면을 이온 충격 처리한 후, 압력 1×10^-2Pa 이하의 진공이 될 때까지 진공시킨다.

이어서, 질소 가스 등의 반응 가스를 반응 용기 내에 도입하고, 반응 용기 내의 압력을 0.5∼5.0Pa로 하고, 기재에 -10∼-150V의 바이어스 전압을 인가하고, 각 층의 금속 성분에 따른 금속 증발원을 아크 방전에 의해 증발시켜서 기재의 표면에 각 층을 형성할 수 있다. 또한, 이간된 위치에 위치한 2종류 이상의 금속 증발원을 동시에 아크 방전에 의해 증발시키고, 기재를 고정한 회전 테이블을 회전시켜서 제 1 적층 구조 또는 제 2 적층 구조를 구성하는 층을 형성할 경우에는 반응 용기 내의 기재를 고정한 회전 테이블의 회전수를 조정함으로써, 제 1 적층 구조 또는 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층의 층두께를 제어할 수 있고, 2종류 이상의 금속 증발원을 교대로 아크 방전에 의해 증발시켜서 제 1 적층 구조 또는 제 2 적층 구조를 구성하는 층을 형성할 경우에는 각각의 금속 증발원의 아크 방전 시간을 조정함으로써 제 1 적층 구조 또는 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층의 층두께를 제어할 수 있다.

본 발명의 피복 공구에 있어서의 피복층을 구성하는 각 층의 층두께는 피복 공구의 단면 조직으로부터 광학현미경, 주사형 전자현미경(SEM), 투과형 전자현미경(TEM) 등을 사용해서 측정할 수 있다. 또한, 본 발명의 피복 공구에 있어서의 각 층의 평균 층두께는 금속 증발원에 대향하는 면의 블레이드 엣지로부터 상기 면의 중심부를 향해서 50㎛의 위치의 근방에 있어서, 3개소 이상의 단면으로부터 각 층의 층두께를 측정하고, 그 평균치를 계산함으로써 구할 수 있다.

또한, 본 발명의 피복 공구의 각 층의 조성은 본 발명의 피복 공구의 단면 조직으로부터 에너지 분산형 X선 분석장치(EDS)나 파장 분산형 X선 분석장치(WDS) 등을 사용해서 측정할 수 있다.

본 발명의 피복 공구의 종류로서 구체적으로는 절삭 인서트, 드릴, 엔드 밀 등을 들 수 있다.

실시예

[실시예 1]

기재로서 ISO 규격 SEEN 1203 인서트 형상의 P10 상당의 초경합금을 준비했다. 아크 이온 플레이팅 장치의 반응 용기 내에 표 1∼3에 나타내는 각 층의 조성으로 이루어지는 금속 증발원을 배치했다. 준비한 기재를 반응 용기 내의 회전 테이블의 고정 금구에 고정했다.

그 후, 반응 용기 내의 압력이 5.0×10^-3Pa 이하의 진공이 될 때까지 진공 시켰다. 진공시킨 후, 반응 용기 내의 히터로 기재의 온도가 500℃가 될 때까지 가열했다. 가열 후, 반응 용기 내의 압력이 5.0Pa가 되도록 Ar 가스를 도입했다.

압력 5.0Pa의 Ar 가스 분위기에서 기재에 -1000V의 바이어스 전압을 인가하고, 반응 용기 내의 텅스텐 필라멘트에 10A의 전류를 흘려서 기재의 표면에 Ar 가스에 의한 이온 충격 처리를 30분간 행했다. 이온 충격 처리 종료 후, 반응 용기 내의 압력이 5.0×10^-3Pa 이하의 진공이 될 때까지 진공시켰다.

진공시킨 후, 질소 가스를 반응 용기 내에 도입하여 압력 2.7Pa의 질소 가스 분위기로 했다. 기재에는 -50V의 바이어스 전압을 인가해서 아크 전류 200A의 아크 방전에 의해 금속 증발원을 증발시켜서 각 층을 형성했다.

또한, 발명품 1∼11의 A1층과 B1층을 형성할 때에는 A1층의 금속 증발원과 B1층의 금속 증발원을 교대로 아크 방전에 의해 증발시켜서 A1층과 B1층을 형성했다. 이때 A1층의 층두께와 B1층의 층두께는 각각의 아크 방전 시간을 조정해서 제어했다. 층두께가 두꺼운 비교품 1도 마찬가지로 X층의 금속 증발원과 Y층의 금속 증발원을 교대로 아크 방전에 의해 증발시켜서 X층과 Y층을 형성했다. 이때 X층의 층두께와 Y층의 층두께는 각각의 아크 방전 시간을 조정해서 제어했다.

또한, 발명품 1∼11의 A2층과 B2층을 형성할 때에는 A2층의 금속 증발원과 B2층의 금속 증발원을 동시에 아크 방전에 의해 증발시켜서 A2층과 B2층을 형성했다. 이때 A2층의 층두께와 B2층의 층두께는 회전 테이블의 회전수를 0.2∼10min^-1의 범위에서 조정함으로써 제어했다. 층두께가 얇은 비교품 2의 층두께도 마찬가지로 X층의 금속 증발원과 Y층의 금속 증발원을 동시에 아크 방전에 의해 증발시켜서 X층과 Y층을 형성했다. 이때 X층의 층두께와 Y층의 층두께는 회전 테이블의 회전수를 0.2∼10min^-1의 범위에서 조정함으로써 제어했다.

기재의 표면에 소정의 층두께까지 각 층을 형성한 후에, 히터의 전원을 끄고, 시료 온도가 100℃ 이하가 된 후에 반응 용기 내에서 시료를 꺼냈다.

얻어진 시료의 각 층의 평균 층두께는 피복 공구의 금속 증발원에 대향하는 면의 블레이드 엣지로부터 상기 면의 중심부를 향해서 50㎛의 위치의 근방에 있어서 3개소의 단면을 TEM 관찰하고, 각 층의 층두께를 측정하고, 그 평균치를 계산함으로써 구했다. 얻어진 시료의 각 층의 조성은 피복 공구의 금속 증발원에 대향하는 면의 블레이드 엣지로부터 중심부를 향해서 50㎛까지의 위치의 단면에서 EDS를 사용해서 측정했다. 그들의 결과도 표 1∼3에 함께 나타낸다. 한편, 표 1∼3의 각 층의 금속 원소의 조성비는 각 층을 구성하는 금속 화합물에 있어서의 금속 원소 전체에 대한 각 금속 원소의 원자비를 나타낸다.

얻어진 시료를 사용하여 이하의 시험 조건에서 정면 프레이즈 가공을 행해서 내결손성을 평가했다. 그 평가 결과를 표 4에 나타낸다.

[시험 조건]

피삭재: SCM440,

피삭재 형상: 105mm×200mm×60mm의 직육면체(단, 정면 프레이즈 가공을 행하는 직육면체의 105mm×200mm의 면에 직경 φ30mm의 구멍이 6개소 형성되어 있다.)

절삭 속도: 250m/min,

이송: 0.4mm/tooth,

커팅: 2.0mm,

절삭폭: 105mm,

쿨런트: 없음,

커터 유효지름: φ125mm,

평가 항목: 시료가 결손될(시료의 커팅 엣지부에 결손이 생김)까지의 가공 길이를 측정한다.

표 4의 결과로부터, 발명품은 균일한 각종 층두께의 층을 교대로 적층시킨 교대 적층 구조를 구비하는 비교품보다 가공 길이가 길어서 공구 수명이 긴 것을 알 수 있다.

[실시예 2]

기재로서 ISO 규격 SEEN 1203 인서트 형상의 P10 상당의 초경합금을 준비했다. 아크 이온 플레이팅 장치의 반응 용기 내에 표 5에 나타내는 각 층의 조성으로 이루어지는 금속 증발원을 배치하고, 실시예 1과 동일한 제조방법으로 표 5 및 표 6에 나타내는 층 구성의 시료를 제작했다.

얻어진 시료의 각 층의 평균 층두께 및 각 층의 조성을 실시예 1과 동일하게 해서 측정했다. 그들의 결과를 표 5 및 표 6에 나타낸다. 또한, 얻어진 시료를 사용하여, 실시예 1과 동일한 시험 조건에서 정면 프레이즈 가공을 행해서 내결손성을 평가했다. 그 평가 결과를 표 7에 나타낸다.

표 7로부터, 발명품은 균일한 각종 층두께의 층을 교대로 적층한 교대 적층 구조를 가지는 비교품보다 가공 길이가 길어서 공구 수명이 긴 것을 알 수 있다.

[실시예 3]

기재로서 ISO 규격 SEEN 1203 인서트 형상의 P10 상당의 초경합금을 준비했다. 발명품 23, 25∼35 및 비교품 3, 5∼15는 아크 이온 플레이팅 장치의 반응 용기 내에 표 8 및 표 10에 나타내는 각 층의 조성으로 이루어지는 금속 증발원을 배치하고, 실시예 1과 동일한 제조방법으로 표 9 및 표 10에 나타내는 층 구성의 시료를 형성했다.

또한, 발명품 24와 비교품 4는 아크 이온 플레이팅 장치의 반응 용기 내에 표 8 및 표 10에 나타내는 각 층의 조성으로 이루어지는 금속 증발원을 배치하고, 각 층을 형성할 때의 반응 용기 내의 분위기를 N₂ 가스와 CH₄ 가스의 분압비가 N₂:CH₄=1:1이 되도록 혼합한 혼합 가스로 하고, 반응 용기 내의 압력 2.7Pa로 하는 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 해서 표 9 및 표 10에 나타내는 층 구성의 시료를 제작했다.

얻어진 시료의 각 층의 층두께 및 각 층의 조성을 실시예 1과 동일하게 해서 측정했다. 그들의 결과를 표 8∼표 10에 함께 나타낸다. 또한, 표 8 및 표 10의 각 층의 금속 원소의 조성비는 각 층을 구성하는 금속 화합물에 있어서의 금속 원소 전체에 대한 각 금속 원소의 원자비를 나타낸다. 얻어진 시료를 사용하여 실시예 1과 동일한 시험 조건에서 정면 프레이즈 가공을 행해서 내결손성을 평가했다. 그 평가 결과를 표 11 및 표 12에 나타낸다.

표 11 및 표 12로부터, 발명품은 균일한 각종 층두께의 층을 교대로 적층시킨 교대 적층 구조를 구비하는 비교품보다 가공 길이가 길어서 공구 수명이 긴 것을 알 수 있다.

1: 기재 2: 피복층
3: 제 1 적층 구조 4: 제 2 적층 구조
5: A1층 6: B1층
7: A2층 8: B2층

Claims

기재와 기재의 표면에 형성된 피복층을 포함하고, 상기 피복층은 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조를 포함하고,
상기 제 1 적층 구조는 조성이 다른 2층 이상의 층을 각 층의 평균 층두께를 60nm 이상 500nm 이하의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조이고,
상기 제 2 적층 구조는 조성이 다른 2층 이상의 층을 각 층의 평균 층두께를 2nm 이상 60nm 미만의 두께로 해서 주기적으로 적층한 구조이고,
상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층 및 제 2 적층 구조를 구성하는 층은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si, Sr, Y, Sn 및 Bi에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 금속; 및 이들 금속 원소 중 적어도 1종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 적층 구조는 조성이 다른 2층을 교대로 각 2층 이상 적층한 교대 적층 구조인 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 적층 구조는 조성이 다른 2층을 교대로 각 2층 이상 적층한 교대 적층 구조인 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 피복층은 상기 제 1 적층 구조와 제 2 적층 구조를 교대로 2개 이상 연속해서 적층한 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 적층 구조의 적층 주기의 평균치(T₁)와 상기 제 2 적층 구조의 적층 주기의 평균치(T₂)의 차(T₁-T₂)가 20nm∼996nm인 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층 및 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층은 Ti, Nb, Ta, Cr, W, Al, Si, Sr 및 Y에서 선택되는 금속 원소 중 적어도 2종으로 이루어지는 금속; 및 이들 금속 원소 중 적어도 2종과 탄소, 질소, 산소 및 붕소에서 선택되는 비금속 원소 중 적어도 1종으로 이루어지는 화합물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소는 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 각 층 간에서 동일하고,
상기 제 1 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량과 상기 층에 인접한 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량의 차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소는 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 각 층 간에서 동일하고,
상기 제 2 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량과 상기 층에 인접한 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소 전체에 대한 원소량의 차의 절대치가 5원자% 이상인 금속 원소가 1종 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소와 상기 층에 인접하는 상기 제 1 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소가 1종 이상 다른 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 6 항 및 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 적층 구조를 구성하는 하나의 층에 포함되는 금속 원소와 상기 층에 인접하는 상기 제 2 적층 구조를 구성하는 층에 포함되는 금속 원소가 1종 이상 다른 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 피복층 전체의 총 층두께는 평균 층두께로 0.22∼12㎛인 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 적층 구조의 평균 두께는 0.2∼6㎛인 것을 특징으로 하는 피복 공구.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 적층 구조의 평균 두께는 0.02∼6㎛인 것을 특징으로 하는 피복 공구.