JP7083448B2 - 被覆切削工具 - Google Patents

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Description

本発明は、被覆切削工具に関する。
近年、切削加工の高能率化に伴い、従来よりも工具寿命の長い切削工具が求められている。このため、工具材料の要求性能として、工具寿命に直結する耐摩耗性及び耐欠損性の向上が一層重要になっている。これらの特性を向上させるため、基材の表面に被膜を交互に積層した被覆切削工具が用いられている。
このような交互積層被膜の特性を改善するための様々な技術が提案されている。例えば、特許文献1には、各層の平均層厚を60nm以上500nm以下の厚さとして周期的に積層した第1積層構造と、各層の平均層厚を2nm以上60nm未満の厚さとして周期的に積層した第2積層構造とを有する被覆工具が提案されている。
特許5817932号公報
加工能率を高めるため、従来よりも切削条件が厳しくなる傾向がある。このため、従来よりも工具寿命を延長することが求められている。特に、高速で加工する切削条件においては、切削加工時の発熱に起因して、切れ刃における被膜が分解したり、酸化したりすることがある。この際、被膜の硬度が低下し、かつ脆化することに起因して、工具の欠損が生じる傾向にある。さらに、被削材が切れ刃に溶着することに起因して、圧着分離損傷を起点とした工具の欠損が生じる傾向にある。
以上の背景により、特許文献1の発明では、切削工具の耐酸化性を十分に確保できない場合がある。特に、高速で加工する条件において、耐酸化性は、耐欠損性に大きな影響を及ぼす。そこで、耐酸化性を向上させるため、Alの割合が高い層を形成することが考えられるが、この場合、六方晶の存在比率が高くなることに起因して、耐摩耗性が低下するという問題が生じることがある。
本発明は、これらの問題を解決するためになされたものであり、高速で加工する切削条件であっても、耐摩耗性及び耐欠損性に優れ、その結果、長期間にわたり加工できる被覆切削工具を提供することである。
本発明者は被覆切削工具の工具寿命の延長について研究を重ねたところ、以下の構成にすると、耐摩耗性及び耐欠損性を向上させることが可能となり、その結果、被覆切削工具の工具寿命を延長することができることを見出した。
すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1]
基材と、前記基材の表面に形成された被覆層とを含む被覆切削工具であって、
前記被覆層が、第1積層構造と第2積層構造とを含み、
前記第1積層構造が、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である積層構造であり、
前記第1積層構造における前記2種の化合物層のうち一方の化合物層が、下記式(1):
(Ala1-a)N…(1)
(式中、Mは、Ti、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、aは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.58≦a≦0.80を満足する。)
で表される組成からなり、 前記第1積層構造における前記2種の化合物層のうち他方の化合物層が、下記式(2):
(Alb1-b)N…(2)
(式中、Mは、Ti、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、bは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.57≦b≦0.79を満足する。)
で表される組成からなり、
前記第1積層構造が、下記式(A)で表される条件を満足し、
0<|Rx-Ry|<5…(A)
(式中、Rxは、前記一方の化合物層における、金属元素全体に対する、1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、Ryは、前記一方の化合物層に隣接する前記他方の化合物層における、金属元素全体に対する、前記1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、前記1種の金属元素は、前記一方の化合物層における金属元素全体に対する割合と、前記他方の化合物層における金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。)
前記第2積層構造が、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である積層構造であり、
前記第2積層構造における前記2種の化合物層のうち一方の化合物層が、下記式(3):
(Al1-c-dTicd)…(3)
(式中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、cは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、dは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦c≦1.00,0≦d≦0.50を満足する。)
で表される組成を有する元素の窒化物であり、
前記第2積層構造における前記2種の化合物層のうち他方の化合物層が、下記式(4):
(Al1-e-fTief)…(4)
(式中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、eは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、fは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦e≦1.00、かつ0≦f≦0.50を満足する。)
で表される組成を有する元素の窒化物であり、
前記第2積層構造が、下記式(B)で表される条件を満足し、
5≦|Rz-Rw|…(B)
(式中、Rzは、前記一方の化合物層における、金属元素全体に対する、1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、Rwは、前記一方の化合物層に隣接する前記他方の化合物層における、金属元素全体に対する、前記1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、前記1種の金属元素は、前記一方の化合物層における金属元素全体に対する割合と、前記他方の化合物層における金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。)
前記第1積層構造を構成する前記一方の化合物層及び前記他方の化合物層、並びに前記第2積層構造を構成する前記一方の化合物層及び前記他方の化合物層の各層の平均厚さが、1nm以上300nm以下であり、
前記第1積層構造の平均厚さが、0.1μm以上10.0μm以下であり、
前記第2積層構造の平均厚さが、0.1μm以上10.0μm以下であり、
前記被覆層の平均厚さが、1.5μm以上15.0μm以下である、被覆切削工具。
[2]
前記|Rx-Ry|が、1原子%以上4原子%以下である、[1]の被覆切削工具。
[3]
前記|Rz-Rw|が、6原子%以上70原子%以下である、[1]又は[2]の被覆切削工具。
[4
記第1積層構造の平均結晶粒径が、10nm以上450nm以下である、[1]~[]のいずれかの被覆切削工具。

前記第2積層構造の平均結晶粒径が20nm以上500nm以下である、[1]~[]のいずれかの被覆切削工具。

前記被覆層は、前記第1積層構造及び前記第2積層構造よりも基材側に下部層を有し、
前記下部層が、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、及びYからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とからなる化合物の層であり、
前記下部層の平均厚さが、0.1μm以上3.5μm以下である、[1]~[]のいずれかの被覆切削工具。

前記被覆層が、前記第1積層構造及び前記第2積層構造よりも表面側に上部層を有し、
前記上部層が、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、及びYからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O、及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とからなる化合物の層であり、
前記上部層の平均厚さが、0.1μm以上3.5μm以下である、[1]~[]のいずれかの被覆切削工具。

前記基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス、又は立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、[1]~[]のいずれかの被覆切削工具。
本発明の被覆切削工具は、高速で加工する切削条件であっても、耐摩耗性及び耐欠損性に優れ、その結果、長期間にわたり加工できる被覆切削工具を提供可能である。
本発明の被覆切削工具の一例を示す模式図である。
以下、本発明を実施するための形態(以下、単に「本実施形態」という。)について詳細に説明するが、本発明は下記本実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
本実施形態の被覆切削工具は、基材と、基材の表面に形成された被覆層とを含む被覆切削工具であって、被覆層は、第1積層構造と第2積層構造とを含み、第1積層構造は、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である積層構造であり、第1積層構造における前記2種の化合物層のうち一方の化合物層は、下記式(1):
(Ala1-a)N…(1)
(式中、Mは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、aは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.58≦a≦0.80を満足する。)
で表される組成からなり、
第1積層構造における2種の化合物層のうち他方の化合物層は、下記式(2):
(Alb1-b)N…(2)
(式中、Mは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、bは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.57≦b≦0.79を満足する。)
で表される組成からなり、
第1積層構造は、下記式(A)で表される条件を満足し、
0<|Rx-Ry|<5…(A)
(式中、Rxは、一方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、Ryは、一方の化合物層に隣接する他方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、1種の金属元素は、一方の化合物層における金属元素全体に対する割合と、他方の化合物層における金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。)
第2積層構造が、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である積層構造であり、第2積層構造における2種の化合物層のうち一方の化合物層は、下記式(3):
(Al1-c-dTicd)…(3)
(式中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、cは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、dは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦c≦1.00,0≦d≦0.50を満足する。)
で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物、及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなり、第2積層構造における2種の化合物層のうち他方の化合物層は、下記式(4):
(Al1-e-fTief)…(4)
(式中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、eは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、fは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦e≦1.00、かつ0≦f≦0.50を満足する。)
で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物、及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなり、
第2積層構造は、下記式(B)で表される条件を満足し、
5≦|Rz-Rw|…(B)
(式中、Rzは、一方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、Rwは、一方の化合物層に隣接する他方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、前記1種の金属元素は、前記一方の化合物層における金属元素全体に対する割合と、前記他方の化合物層における金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。)
第1積層構造を構成する一方の化合物層及び他方の化合物層、並びに第2積層構造を構成する一方の化合物層及び他方の化合物層の各層の平均厚さは、1nm以上300nm以下であり、
前記被覆層の平均厚さは、1.5μm以上15.0μm以下である。
本実施形態の被覆切削工具は、上記の構成を備えることにより、耐摩耗性及び耐欠損性を向上させることが可能となり、その結果、被覆切削工具の工具寿命を延長することができる。本実施形態の被覆切削工具の耐摩耗性及び耐欠損性が向上する主な要因は、以下のように考えられる。ただし、要因は、これに限定されない。
(1)被覆層全体の平均厚さが1.5μm以上であることにより、耐摩耗性が向上し、被覆層全体の平均厚さが15.0μm以下であることにより、被覆層の基材との密着性に優れ、その結果、耐欠損性が向上する。
(2)第1積層構造を構成する2種の化合物層が、特定の種類の元素から組み合わされることにより、耐摩耗性が向上する。
(3)第1積層構造を構成する2種の化合物層のAlの含有量がそれぞれ特定値以上であることにより、耐酸化性の低下が抑制されることに起因して、耐欠損性が向上する。また、第1積層構造を構成する2種の化合物層のAlの含有量がそれぞれ特定値以下であることにより、六方晶の存在比率が低減されることに起因して、耐摩耗性が向上する。
(4)式(A)中の|Rx-Ry|が特定範囲内である特定の金属元素が存在することにより、一方の化合物層と他方の化合物層との密着性を高く維持し、2種の化合物層の界面における結晶格子の不整合が小さくなる。これに起因して、第1積層構造の残留圧縮応力が高くなることが抑制され、その結果、耐欠損性が向上する。
(5)第2積層構造を構成する2種の化合物層が、特定の種類の元素から組み合わされることにより、耐摩耗性が向上する。
(6)第2積層構造を構成する2種の化合物層の特定の金属元素(Lで表される金属元素)の含有量が特定値以下であることにより、第2積層構造の平均結晶粒径を500nm以下に制御しやすくなり、被覆層の硬度を維持できることに起因して、耐摩耗性を向上できる。
(7)式(B)中の|Rz-Rw|が特定範囲内である特定の金属元素が存在することにより、一方の化合物層と他方の化合物層との被膜組織及び残留応力の相違により、第2積層構造の硬度を高く維持した状態で残留圧縮応力を低く制御できることに起因して、特に穴あけ加工及びフライス加工において、耐欠損性が向上する。
(8)第1積層構造を構成する一方の化合物層及び他方の化合物層並びに第2積層構造を構成する一方の化合物層及び他方の化合物層の各層の平均厚さが特定値以下であることにより、第1積層構造及び第2積層構造の硬度が向上することに起因して、耐欠損性が向上する。
本実施形態の被覆切削工具は、基材とその基材上に設けられた被覆層とを有する。被覆切削工具の種類として、具体的には、フライス加工用又は旋削加工用刃先交換型切削インサート、ドリル及びエンドミルを挙げることができる。
本実施形態における基材は、被覆切削工具の基材として用いられ得るものであれば、特に限定されない。基材としては、例えば、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体、及び高速度鋼を挙げることができる。それらの中でも、基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス及び立方晶窒化硼素焼結体のいずれかであると、耐摩耗性及び耐欠損性に更に優れるので好ましく、同様の観点から、基材が超硬合金であるとより好ましい。
なお、基材は、その表面が改質されたものであってもよい。例えば、基材が超硬合金からなるものである場合、その表面に脱β層が形成されてもよい。また、基材がサーメットからなるものである場合、その表面に硬化層が形成されてもよい。これらのように基材の表面が改質されていても、本発明の作用効果は奏される。
本実施形態における被覆層全体の平均厚さは、1.5μm以上15.0μm以下である。平均厚さが1.5μm以上であると、耐摩耗性が向上し、平均厚さが15.0μm以下であると、被覆層の基材との密着性に優れ、その結果、耐欠損性が向上する。同様の観点から、被覆層全体の平均厚さは、1.5μm以上6.5μm以下であることが好ましく、1.5μm以上6.0μm以下であることがさらに好ましい。なお、本実施形態の被覆切削工具における各層及び被覆層全体の平均厚さは、各層又は被覆層全体における3箇所以上の断面から、各層の厚さ又は被覆層全体の厚さを測定して、その相加平均値を計算することで求めることができる。
本実施形態の被覆層は、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である第1積層構造を有する。但し、本実施形態の第1積層構造は、本発明の作用効果を阻害しない範囲において、上記の2種の化合物層の各層とは組成の異なる層(以下、単に「その他の層」という。)を有していてもよい。第1積層構造がその他の層を含む場合、例えば、その他の層は、2種の化合物層からなる二層に隣接するように積層されていればよい。このような第1積層構造を有すると、被覆層の硬度(以下、「硬さ」ともいう。)が高くなることに起因して、耐摩耗性が向上する。ここでいう「組成の異なる」とは、2種の化合物層の間で、一方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する金属元素(以下、「特定の金属元素」ともいう。)の割合(原子%)と、他方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する金属元素の割合(原子%)との差の絶対値(以下、「差の絶対値」ともいう。)が、0原子%を超えることをいう。なお、本明細書において、Si元素は金属元素に包含される。
本実施形態の第1積層構造において、2種の化合物層のうち一方の化合物層は、上記式(1)表される組成からなる化合物層である。ただし、一方の化合物層は、本発明の作用効果を阻害しない範囲内で、他の成分(元素)を含有してもよい。上記式(1)中、Mは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、aは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.58≦a≦0.80を満足する。原子比aが、0.58以上であると、Alの含有量が多くなることにより、耐酸化性の低下が抑制されることに起因して、耐欠損性が向上する。一方、Al元素の原子比aが0.80以下であると、六方晶の存在比率が低減されることに起因して、耐摩耗性が向上する。このため、Al元素の原子比aが、0.58≦a≦0.80を満足することにより、耐摩耗性及び耐欠損性をバランスよく向上できる。同様の観点から、Al元素の原子比aは、0.60≦a≦0.80を満足することが好ましく、0.65≦a≦0.75を満足することがより好ましい。
また、上記の2種の化合物層の他の1種は、上記式(2)で表される組成からなる化合物層(他方の化合物層)である。ただし、他方の化合物層は、本発明の作用効果を阻害しない範囲内で、他の成分(元素)を含有してもよい。上記式(2)中、Mは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、bは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.57≦b≦0.79を満足する。原子比bが、0.57以上であると、Alの含有量が多くなることにより、耐酸化性の低下が抑制されることに起因して、耐欠損性が向上する。一方、原子比bが、0.79以下であると、六方晶の存在比率が低減されることに起因して、耐摩耗性が向上する。このため、Al元素の原子比bが0.57≦b≦0.79を満足することにより、耐摩耗性及び耐欠損性をバランスよく向上できる。同様の観点から、Al元素の原子比bは、0.58≦b≦0.77を満足することが好ましく、0.63≦b≦0.71を満足することがより好ましい。また、一方の化合物層において、原子比aが上記範囲内であることと、他方の化合物層において、原子比bが上記範囲内であることを同時に満たすことにより、相乗的に耐摩耗性及び耐欠損性をバランスよく向上できる。
また、Mで表される金属元素は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種であることにより、耐摩耗性が向上する。同様の観点から、Mで表される金属元素は、Ti、Zr、Hf、V、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。
本実施形態の第1積層構造を構成する一方の化合物層に含まれる金属元素の種類は、第1積層構造を構成する他方の化合物層に含まれる金属元素の種類と少なくとも一部が同一であると好ましく、全て同一であることがより好ましい。つまり、第1積層構造を構成する2種の化合物層は、互いに同一の種類の金属元素で構成されることがより好ましい。
さらに、第1積層構造は、下記式(A)で表される条件を満足する。
0<|Rx-Ry|<5…(A)
式中、Rxは、前記一方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素(「特定の金属元素γ」ともいう。)の割合(単位:原子%)を表し、Ryは、前記一方の化合物層に隣接する前記他方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素(特定の金属元素γ)の割合(単位:原子%)を表す。特定の金属元素γは、一方の化合物層における、金属元素全体に対する割合と、他方の化合物層における、金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。
すなわち、一方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する特定の金属元素γの割合(原子%)と、一方の化合物層に隣接する他方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する特定の金属元素γの割合(原子%)との差の絶対値が、0原子%を超え、5原子%未満である。ここでいう「特定の金属元素γの割合」とは、各化合物層に含まれる金属元素全体の原子数に対し、各化合物層に含まれる特定の金属元素γの原子数の割合(原子%)を意味する。
第1積層構造が上記式(A)で表される条件を満足すると、一方の化合物層と、一方の化合物層に隣接する他方の化合物層との密着性が低下せず、2種の化合物層の界面における結晶格子の不整合が小さくなる。これに起因して、第1積層構造の残留圧縮応力が高くなることが抑制され、その結果、耐欠損性が向上する。同様の観点から、|Rx-Ry|は、1原子%以上4原子%以下であることが好ましい。なお、第1積層構造を構成する一方の化合物層に含まれる各金属元素の金属元素全体に対する割合(原子%)と、一方の化合物層に隣接し、第1積層構造を構成する他の化合物層に含まれる各金属元素の金属元素全体に対する割合(原子%)との差の絶対値が、0原子%であることは、単層構造であることを意味する。この場合、単層構造は、第1積層構造よりも硬度が低いことに起因して、耐摩耗性に劣る。
本実施形態の被覆層は、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である第2積層構造を有する。但し、本実施形態の第2積層構造は、本発明の作用効果を阻害しない範囲において、上記の2種の化合物層の各層とは組成の異なる層(以下、単に「その他の層」という。)を有していてもよい。第2積層構造がその他の層を含む場合、例えば、その他の層は、2種の化合物層からなる2層に隣接するように積層されていればよい。このような第2積層構造を有すると、被覆層の硬度が高くなることに起因して、耐摩耗性が向上する。ここで、「組成の異なる」とは、2種の化合物層の間で、一方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する1種の金属元素の割合(原子%)と、他方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する上記1種の金属元素の割合(原子%)との差の絶対値(以下、「差の絶対値」ともいう。)が、0原子%を超えることをいう。
本実施形態の第2積層構造において、2種の化合物層のうち一方の化合物層は、上記式(3)で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなる化合物層である。上記式(3)中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を表す。cは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、0≦c≦1.00を満足し、原子比cは、0を超え、0.50以下であることが好ましい。一方の化合物層における、Ti元素の原子比cが、0を超えると、耐欠損性を向上できる。一方、Ti元素の原子比cが0.50以下であると、被膜の酸化開始温度を高くすることができる。そのため、切削工程において温度条件を一層高くしても耐摩耗性の低下が抑制される。同様の観点から、原子比cは、0.10≦c≦0.50を満足することがより好ましく、0.20≦c≦0.50を満足することが更に好ましい。dは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦d≦0.50を満足する。この一方の化合物層における、Lで表される金属元素の原子比dが、0を超えると、被覆層の硬度の低下を抑制できる。一方、Lで表される金属元素の原子比dが0.50以下であると、第2積層構造の平均結晶粒径を500nm以下に制御し易くなり、被覆層の硬度を維持できることに起因して、耐摩耗性を向上できる。同様の観点から、原子比dは、0.10≦d≦0.50を満足することが好ましく、0.20≦d≦0.50を満足することがより好ましい。
また、上記の2種の化合物層のうち他方の化合物層は、上記式(4)で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなる化合物層である。上記式(4)中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を表し、eは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、0≦e≦1.00を満足し、原子比eは、0を超え、0.50以下であることが好ましい。この化合物層における、Ti元素の原子比eが、0を超えると、耐欠損性が向上する。一方、Ti元素の原子比eが0.50以下であると、六方晶の存在比率が低く抑えられることに起因して、耐摩耗性が向上する。同様の観点から、原子比eは、0.10≦e≦0.50を満足することが好ましく、0.20≦e≦0.50を満足することが好ましい。fは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦f≦0.50を満足し、原子比fは、0を超え、0.50以下であることが好ましい。Lで表される金属元素の原子比fは、0を超えると、Lで表される金属元素を含む場合、被覆層の硬度の低下を抑制できる。一方、Lで表される金属元素の原子比fが0.50以下であることにより、第2積層構造の平均結晶粒径を500nm以下に制御し易くなり、被覆層の硬度を維持できることに起因して、耐摩耗性を向上できる。同様の観点から、原子比fは、0.10≦f≦0.50を満足するとより好ましく、0.20≦f≦0.50を満足すると更に好ましい。
また、化合物層を構成するLで表される元素は、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種であることに起因して、耐摩耗性が向上する。同様の観点から、化合物層を構成するLで表される元素は、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種であると好ましく、Zr、Hf、V、Ta、Cr、W及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種であることがさらに好ましい。また、化合物層を構成する組成は、耐摩耗性が一層向上する観点から、上記式(3)で表される組成を有する元素の窒化物及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、上記式(3)で表される組成を有する元素の窒化物であることがより好ましい。
本実施形態の第2積層構造を構成する一方の化合物層に含まれる金属元素の種類は、第2積層構造を構成する他方の化合物層に含まれる金属元素の種類と少なくとも一部が同一であることが好ましく、全て同一であることがより好ましい。つまり、第2積層構造を構成する2種の化合物層は、互いに同一の種類の金属元素で構成されることがより好ましい。
さらに、第2積層構造は、下記式(B)で表される条件を満足する。
5≦|Rz-Rw|…(B)
式中、Rzは、前記一方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素(「特定の金属元素δ」ともいう。)の割合(単位:原子%)を表し、Rwは、前記一方の化合物層に隣接する前記他方の化合物層における、金属元素全体に対する1種の金属元素(特定の金属元素δ)の割合(単位:原子%)を表し、特定の金属元素δは、一方の化合物層における金属元素全体に対する割合と、他方の化合物層における金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。
すなわち、一方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する特定の金属元素δの割合(原子%)と、一方の化合物層に隣接する他方の化合物層に含まれる金属元素全体(100原子%)に対する特定の金属元素δの割合(原子%)との差の絶対値が、5原子%以上である。ここでいう「特定の金属元素δの割合」とは、各化合物層に含まれる金属元素全体の原子数に対し、各化合物層に含まれる特定の金属元素δの原子数の割合(単位:原子%)を意味する。また、「特定の金属元素δ」は、各化合物層に含まれる金属元素のうち少なくとも1種であればよいが、各化合物層に含まれる金属元素の各々について、差の絶対値が上記の数値範囲内にあることが好ましい。
第2積層構造が上記式(B)で表される条件を満足すると、一方の化合物層と、一方の化合物層に隣接する他方の化合物層との被膜組織及び残留応力の相違により、第2積層構造の硬度を高く維持した状態で残留圧縮応力を低く制御することが可能になるため、特に穴あけ加工及びフライス加工において、耐欠損性が向上する。同様の観点から、|Rz-Rw|は、6原子%以上70原子%以下であることが好ましい。
なお、本実施形態において、例えば、化合物層の組成を(Al0.60Ti0.40)Nと表記する場合は、Al元素及びTi元素の合計に対するAl元素及びTi元素の原子比が、それぞれ0.60、0.40であることを表す。すなわち、Al元素及びTi元素の合計に対するAl元素量及びTi元素量が、それぞれ、60原子%、40原子%であることを意味する。
上記の式(A)「0<|Rx-Ry|<5」について、さらに詳しく説明する。例えば、第1積層構造が、(Al0.67Ti0.33)N層(一方の化合物層)と、(Al0.70Ti0.30)N層(他方の化合物層)によって構成される場合、2つの化合物層に含まれる金属元素の種類は全て同一である。なぜなら、2つの化合物層は、ともに金属元素としてAl元素とTi元素とを含むからである。この場合、(Al0.67Ti0.33)N層(一方の化合物層)に含まれるAl元素の原子数は、金属元素全体の原子数(100原子%)に対して、67原子%である。(Al0.70Ti0.30)N(他方の化合物層)層に含まれるAl元素の原子数は、金属元素全体の原子数(100原子%)に対して、70原子%である。これら2つの化合物層におけるAl元素の原子数の差(差の絶対値)は、3原子%である。よって、これらの中でも最も原子数の差が大きいものはAl元素(又はTi元素)であるから、Al元素(又はTi元素)が特定の金属元素γに該当する。そして、Al(又はTi)の原子数の差が3原子%であるから、「差の絶対値が0原子%を超え、5原子%未満」という上記の条件が満たされている。
また、例えば、第1積層構造が、(Al0.65Ti0.30Cr0.05)N層(一方の化合物層)と、(Al0.68Ti0.29Cr0.03)N層(他方の化合物層)によって構成される場合、2つの化合物層に含まれる金属元素の種類は全て同一である。なぜなら、2つの化合物層は、ともに金属元素としてAl元素とTi元素とCr元素とを含むからである。この場合、2つの化合物層に含まれるTi元素の原子数の差(差の絶対値)は、1原子%である。2つの化合物層に含まれるCr元素の原子数の差(差の絶対値)は、2原子%である。さらに、2つの化合物層に含まれるAlの原子数の差は、3原子%である。よって、これらの中でも最も原子数の差が大きいものはAl元素であるから、Al元素が特定の金属元素γに該当する。そして、Alの原子数の差が3原子%であるから、「差の絶対値が0原子%を超えて大きく、かつ、5原子%未満」という上記の条件が満たされている。
本実施形態において、組成の異なる2種の化合物層を1層ずつ形成した場合、「繰り返し数」は1回である。図1は、本実施形態の被覆切削工具の断面組織の一例を示す模式図であるが、以下、これを利用して繰り返し数について説明する。この被覆切削工具11は、基材1と、基材1の表面に形成された被覆層10とを備える。被覆層10は、下部層2と、第1積層構造8と、第2積層構造9と、上部層7とを備え、この順序で積層されている。第1積層構造8は、下部層2側から上部層7側に向かって順に、それぞれ化合物層であるA1層3と、A1層3とは組成の異なるB1層4とが交互に積層された積層構造であり、A1層3及びB1層4をそれぞれ2層ずつ有する。第2積層構造9は、下部層2側から上部層7側に向かって順に、それぞれ化合物層であるA2層5と、A2層5とは組成の異なるB2層6とが交互に積層された積層構造であり、A2層5及びB2層6をそれぞれ2層ずつ有する。これらの場合、繰り返し数は、それぞれ2回となる。また、例えば、A1層3及びB1層4を、下部層2側から上部層7側に向かって順に、A1層3、B1層4、A1層3、B1層4、A1層3、B1層4、A1層3、B1層4、A1層3、B1層4と、A1層3を5層、B1層4を5層それぞれ形成した場合、繰り返し数は、5回となる。ここで、A1層3が、上記式(1)で表される組成からなる化合物層であって、B1層4が、上記式(2)で表される組成からなる化合物層であってもよい。又は、A1層3が、上記式(2)で表される組成からなる化合物層であって、B1層4が、上記式(1)で表される組成からなる一方の化合物層であってもよい。同様に、A2層5が、上記式(3)で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなる化合物層であって、B2層6が、上記式(4)で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなる化合物層であってもよい。あるいは、A2層5が、上記式(4)で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなる化合物層であって、B2層6が上記式(3)で表される組成を有する元素の炭化物、窒化物及び炭窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1種の組成からなる化合物層であってもよい。また、図1において、被覆層10は、下部層2及び上部層7の両方を備えるが、被覆層が下部層2及び上部層7のいずれかのみを備えてもよく、両方備えていなくてもよい。
本実施形態の被覆層は、1つ以上の第1積層構造と1つ以上の第2積層構造を含み、第1積層構造及び第2積層構造が積層されている。第1積層構造及び第2積層構造の積層順序は、特に限定されず、基材から上方向に向かって、第1積層構造及び第2積層構造がこの順序で積層されていてもよく、第2積層構造及び第1積層構造がこの順序で積層されていてもよいが、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、前者であることが好ましい。また、積層構造(第1積層構造及び第2積層構造の合計数)の数は、2以上であれば特に限定されず、例えば、2~6であり、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、2~4であることが好ましく、2又は3であることがより好ましい。積層構造の数が3である場合には、例えば、第1積層構造、第2積層構造、及び第1積層構造がこの順序で積層されている。
本実施形態の第1積層構造を構成する一方の化合物層及び他方の化合物層並びに第2積層構造を構成する一方の化合物層及び他方の化合物層の各層の平均厚さは、1nm以上300nm以下である。各層の平均厚さが1nm以上であると、均一な厚さの化合物層を形成することが容易となる。各層の平均厚さが300nm以下であると、第1積層構造及び第2積層構造の硬度が向上することに起因して、耐欠損性が向上する。同様の観点から、各層の平均厚さは、2nm以上250nm以下であることが好ましく、4nm以上200nm以下であることがより好ましい。
本実施形態において、第1積層構造の平均厚さは、0.1μm以上10.0μm以下であることが好ましい。第1積層構造の平均厚さが0.1μm以上であると耐摩耗性が一層向上し、第1積層構造の平均厚さが10.0μm以下であると耐欠損性が一層向上する。同様の観点から、第1積層構造の平均厚さは、1.5μm以上6.0μm以下であると好ましい。
本実施形態において、第2積層構造の平均厚さは、0.1μm以上10.0μm以下であることが好ましい。第2積層構造の平均厚さが0.1μm以上であると耐摩耗性が一層向上し、第2積層構造の平均厚さが10.0μm以下であると耐欠損性が一層向上する。同様の観点から、第2積層構造の平均厚さは、1.5μm以上6.0μm以下であると好ましい。
本実施形態において、第1積層構造の平均結晶粒径は、10nm以上450nm以下であることが好ましい。第1積層構造の平均結晶粒径が10nm以上であると耐摩耗性の低下が一層抑制される傾向にあり、第1積層構造の平均結晶粒径が450nm以下であると耐欠損性の低下が一層抑制される傾向にある。同様の観点から、第1積層構造の平均結晶粒径は、10nm以上430nm以下であることがより好ましい。
本実施形態において、第2積層構造の平均結晶粒径は、20nm以上500nm以下であることが好ましい。第2積層構造の平均結晶粒径が20nm以上であると耐摩耗性の低下が一層抑制される傾向にあり、第2積層構造の平均結晶粒径が500nm以下であると耐欠損性の低下が一層抑制される傾向にある。同様の観点から、第2積層構造の平均結晶粒径は、20nm以上450nm以下であることがより好ましい。
本実施形態における第1積層構造の平均結晶粒径は、被覆切削工具における基材の表面に対して、直交する方向の断面組織(すなわち、図1に示すような方向から見た断面組織)から透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて測定することができる。より具体的には、被覆切削工具の断面組織をTEMで観察し、10000倍~80000倍に拡大した画像を撮影する。撮影した画像において、基材の表面に対して平行な直線(幅は200nm相当)を引く。このとき、第1積層構造の組織を横切るように直線を引く。この直線に含まれる粒子の長さ(径)を、この直線が通った粒子の数で割った値を、第1積層構造の結晶粒径とする。5箇所以上で引いた直線から第1積層構造の結晶粒径をそれぞれ測定し、得られた値の相加平均値を第1積層構造の平均結晶粒径と定義する。同様の方法により、第2積層構造の平均結晶粒径を求めることができる。
本実施形態の被覆層は、第1積層構造及び第2積層構造のみで構成されてもよいが、基材と第1積層構造及び第2積層構造との間(すなわち、第1積層構造及び第2積層構造の下層)に下部層を有すると、基材と第1積層構造又は第2積層構造との密着性が一層向上するため、好ましい。その中でも、下部層は、上記と同様の観点から、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si及びYからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O、及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素(好ましくはN元素)とからなる化合物の層であることが好ましく、Ti、Cr、Al及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C,N、O、及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素(好ましくはN元素)とからなる化合物の層であることがより好ましく、Ti及びAlからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素(好ましくはN元素)とからなる化合物の層であることがさらに好ましく、Ti及びAlからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、N元素とからなる化合物の層であることが特に好ましい。但し、下部層は、第1積層構造及び第2積層構造における化合物層と組成が異なる。また、下部層は単層であってもよく、2層以上の多層であってもよい。
本実施形態において、下部層の平均厚さは、0.1μm以上3.5μm以下であることが好ましい。下部層の平均厚さが上記範囲内であることにより、基材と被覆層との密着性が一層向上する傾向にある。同様の観点から、下部層の平均厚さは、0.1μm以上3.0μm以下であるとより好ましく、0.1μm以上2.5μm以下であると更に好ましい。
本実施形態の被覆層は、第1積層構造及び第2積層構造の基材とは反対側(すなわち、第1積層構造又は第2積層構造の表面)に上部層を有してもよい。上部層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si及びYからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素(好ましくはN元素)とからなる化合物の層であると、耐摩耗性に一層優れるため好ましい。同様の観点から、上部層は、Ti、Nb、Cr、Al、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素(好ましくはN元素)とからなる化合物の層であることがより好ましく、Ti、Cr、Al、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、Nとからなる化合物の層であることがさらに好ましい。但し、上部層は、第1積層構造及び第2積層構造における化合物層と組成が異なる。また、上部層は単層であってもよく2層以上の多層であってもよい。
本実施形態において、上部層の平均厚さは、0.1μm以上3.5μm以下であることが好ましい。上部層の平均厚さが上記範囲内であることにより、耐摩耗性に一層優れる傾向にある。同様の観点から、上部層の平均厚さは、0.2μm以上3.0μm以下であることがより好ましい。
本実施形態の被覆切削工具における被覆層の製造方法は、特に限定されるものではない。例えば、被覆層は、イオンプレーティング法、アークイオンプレーティング法、スパッタ法、及びイオンミキシング法などの物理蒸着法によって、上記で説明した第1積層構造及び第2積層構造における各化合物層を順に形成することで得られる。特に、アークイオンプレーティング法によって形成された被覆層は、基材との密着性が高い。したがって、これらの中では、アークイオンプレーティング法が好ましい。
本実施形態の被覆切削工具の製造方法について、具体例を用いて説明する。なお、本実施形態の被覆切削工具の製造方法は、当該被覆切削工具の構成を達成し得る限り、特に制限されるものではない。
まず、工具形状に加工した基材を物理蒸着装置の反応容器内に収容し、金属蒸発源を反応容器内に設置する。その後、反応容器内をその圧力が1.0×10-2Pa以下になるまで真空引きし、反応容器内のヒーターにより基材をその温度が600℃~700℃になるまで加熱する。加熱後、反応容器内にArガスを導入して、反応容器内の圧力を0.5Pa~5.0Paとする。圧力0.5Pa~5.0PaのArガス雰囲気にて、基材に-350V~-500Vのバイアス電圧を印加し、反応容器内のタングステンフィラメントに40A~50Aの電流を流す条件下で、基材の表面にArガスによるイオンボンバードメント処理を施す。基材の表面にイオンボンバードメント処理を施した後、反応容器内をその圧力が1.0×10-2Pa以下になるまで真空引きする。
次いで、基材をその温度が250℃以上500℃以下になるように、ヒーターの温度を調整して加熱した後、窒素ガス等の反応ガスを反応容器内に導入する。その後、反応容器内の圧力を2.0~4.0Paにして、基材に-60~-150Vのバイアス電圧を印加する。そして、各層の金属成分に応じた金属蒸発源をアーク放電により蒸発させることによって、基材の表面に各層を形成することができる。この際、基材を固定したテーブルを回転させながら、離れた位置に置かれた2種類以上の金属蒸発源を同時にアーク放電により蒸発させることにより、第1積層構造を構成する各化合物層を形成することができる。この場合、反応容器内の基材を固定した回転テーブルの回転数を調整することによって、第1積層構造を構成する各化合物層の厚さを制御することができる。あるいは、2種類以上の金属蒸発源を交互にアーク放電により蒸発させることによって、第1積層構造を構成する各化合物層を形成することもできる。この場合、金属蒸発源のアーク放電時間をそれぞれ調整することによって、第1積層構造を構成する各化合物層の厚さを制御することができる。第2積層構造を構成する各化合物層も同様の方法により、形成することができる。ただし、窒化物層と炭窒化物層とを交互に形成する場合には、各層を形成した後に、反応容器内を真空引きし、窒素ガス等の反応ガスを置換する。
本実施形態の第1積層構造及び第2積層構造の平均結晶粒径を上述の所定の大きさにするには、第1積層構造及び第2積層構造を形成する時の基材の温度を低くするとよい。より具体的には、基材の温度を300℃にした場合と500℃にした場合とを比較すると、300℃にした場合の方が基材の温度が低いため、第1積層構造及び第2積層構造の平均結晶粒径は、大きくなる。また、Al元素とMで表される元素との合計に対するAl元素の原子比が小さい金属蒸発源を用いると、第1積層構造及び第2積層構造の平均結晶粒径は大きくなる傾向を示す。したがって、第1積層構造及び第2積層構造を形成する時の基材の温度と、金属蒸発源の組成を調整することにより、第1積層構造及び第2積層構造の平均結晶粒径を制御することができる。
本実施形態の被覆切削工具における被覆層を構成する各層の厚さは、例えば、被覆切削工具の断面組織から、TEMを用いて測定することができる。より具体的には、被覆切削工具において、金属蒸発源に対向する面の刃先稜線部から、当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍における、3箇所以上の断面での各層の厚さを測定する。得られた各層の厚さの相加平均値を、被覆切削工具における各層の平均厚さと定義することができる。
また、本実施形態の被覆切削工具における被覆層を構成する各層の組成は、本実施形態の被覆切削工具の断面組織から、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)や波長分散型X線分析装置(WDS)などを用いた測定により決定することができる。
本実施形態の被覆切削工具は、従来よりも工具寿命を延長できるという効果を奏する。その要因は、これに限定されないが、被覆切削工具が耐酸化性、耐摩耗性及び耐欠損性に優れるためと考えられる。本実施形態の被覆切削工具の種類として、具体的には、フライス加工用又は旋削加工用刃先交換型切削インサート、ドリル、及びエンドミルなどを挙げることができる。
以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
穴あけ加工用の基材として、89.4WC-10.0Co-0.6Cr32(以上、質量%)の組成を有する超硬合金製ドリル(先端角:140°、直径:10mm、直線切れ刃、油孔付き)を用意した。フライス加工用の基材としては、ISO規格SEMT13T3形状のインサートに加工し、89.4WC-10.0Co-0.6Cr32(以上、質量%)の組成を有する超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表1及び表2に示す各層の組成になるよう金属蒸発源を配置した。用意した基材を、反応容器内の回転テーブルの治具に固定した。
その後、反応容器内をその圧力が5.0×10-3Pa以下になるまで真空引きした。真空引きした後、反応容器内のヒーターにより、基材をその温度が600℃になるまで加熱した。加熱後、反応容器内にその圧力が5.0PaになるようにArガスを導入した。
圧力5.0PaのArガス雰囲気にて、基材に-450Vのバイアス電圧を印加して、反応容器内のタングステンフィラメントに45Aの電流を流す条件下で、基材の表面にArガスによるイオンボンバードメント処理を30分間施した。イオンボンバードメント処理終了後、反応容器内をその圧力が5.0×10-3Pa以下になるまで真空引きした。
真空引き後、基材をその温度が表3及び表4に示す温度(工程開始時の温度)になるまで加熱し、窒素(N2)ガスを反応容器内に導入し、反応容器内を4.0Paの圧力に調整し、基材に-60Vのバイアス電圧を印加した。
次いで、発明品1~29においては、表1及び表2に示すA1層及びB1層を交互に形成して第1積層構造を得た。詳細には、A1層の金属蒸発源とB1層の金属蒸発源とを同時にアーク放電により蒸発させて、A1層及びB1層を交互に形成した。このとき、A1層の厚さ及びB1層の厚さは、回転テーブルの回転数を1~5rpmの範囲で調整することで表5及び表6に示す厚さに制御した。その後、発明品1~29においては、表1及び表2に示すA2層及びB2層を交互に形成して第2積層構造を得た。詳細には、A2層の金属蒸発源とB2層の金属蒸発源とを同時にアーク放電により蒸発させて、A2層及びB2層を交互に形成した。このとき、A2層の厚さ及びB2層の厚さは、回転テーブルの回転数を1~5rpmの範囲で表5及び表6に示す厚さに調整することで制御した。なお、表1及び表2における「組成差の絶対値」は、A1層とB1層との間の「組成差の絶対値」、A2層とB2層との間の「組成差の絶対値」を示す。
基材の表面に、表5~表8に示す所定の平均厚さになるよう各層を形成した後に、ヒーターの電源を切り、試料温度が100℃以下になった後で、反応容器内から試料を取り出した。上述の方法により、発明品1~29を作製した。
Figure 0007083448000001
Figure 0007083448000002
Figure 0007083448000003
Figure 0007083448000004
Figure 0007083448000005
Figure 0007083448000006
Figure 0007083448000007
*「第3層」の欄における「-」とは、第3層に第1積層構造又は第2積層構造を有していないを意味する。
Figure 0007083448000008
*「第3層」の欄における「-」とは、第3層に第1積層構造又は第2積層構造を有していないを意味する。
(比較例)
穴あけ加工用の基材として、89.4WC-10.0Co-0.6Cr32(以上、質量%)の組成を有する超硬合金製ドリル(先端角:140°、直径:10mm、直線切れ刃、油孔付き)を用意した。フライス加工用の基材としては、ISO規格SEMT13T3形状のインサートに加工し、89.4WC-10.0Co-0.6Cr32(以上、質量%)の組成を有する超硬合金を用意した。アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表9及び表10に示す各層の組成になるよう金属蒸発源を配置した。用意した基材を、反応容器内の回転テーブルの治具に固定した。
その後、反応容器内をその圧力が5.0×10-3Pa以下になるまで真空引きした。真空引きした後、反応容器内のヒーターにより、基材をその温度が600℃になるまで加熱した。加熱後、反応容器内にその圧力が5.0PaになるようにArガスを導入した。
圧力5.0PaのArガス雰囲気にて、基材に-450Vのバイアス電圧を印加して、反応容器内のタングステンフィラメントに45Aの電流を流す条件下で、基材の表面にArガスによるイオンボンバードメント処理を30分間施した。イオンボンバードメント処理終了後、反応容器内をその圧力が5.0×10-3Pa以下になるまで真空引きした。
真空引き後、基材をその温度が表11及び表12に示す温度(工程開始時の温度)になるまで加熱し、窒素(N2)ガスを反応容器内に導入し、反応容器内を4.0Paの圧力に調整した。
次いで、比較品4~10においては、基材に-60Vのバイアス電圧を印加して、アーク電流150Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて、表10に示すA1層及びB1層を交互に形成して積層構造(1)を得た。詳細には、A1層の金属蒸発源とB1層の金属蒸発源とを同時にアーク放電により蒸発させて、A1層及びB1層を交互に形成した。このとき、A1層の厚さ及びB1層の厚さは、回転テーブルの回転数を1~5rpmの範囲で調整することで表13に示す厚さに制御した。その後、比較品4~10においては、表10に示すA2層及びB2層を交互に形成して積層構造(2)を得た。詳細には、A2層の金属蒸発源とB2層の金属蒸発源とを同時にアーク放電により蒸発させて、A2層及びB2層を交互に形成した。このとき、A2層の厚さ及びB2層の厚さは、回転テーブルの回転数を1~5rpmの範囲で表13に示す厚さに調整することで制御した。なお、表10における「組成差の絶対値」は、A1層とB1層との間の「組成差の絶対値」、A2層とB2層との間の「組成差の絶対値」を示す。
比較品1及び2については、基材に-50Vのバイアス電圧を印加して、アーク電流120Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて、表9に示す単層の化合物層を形成した。
一方、比較品3については、基材に-60Vのバイアス電圧を印加して、アーク電流150Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて、表9に示すX層及びY層を交互に形成して交互積層を得た。詳細には、X層の金属蒸発源とY層の金属蒸発源とを同時にアーク放電により蒸発させて、X層及びY層を交互に形成した。このとき、X層の厚さ及びY層の厚さは、回転テーブルの回転数を1~5rpmの範囲で調整することで表9に示す厚さに制御した。
基材の表面に、表9、表13及び表14に示す所定の平均厚さになるよう各層を形成した後に、ヒーターの電源を切り、試料温度が100℃以下になった後で、反応容器内から試料を取り出した。上述の方法により、比較品1~10を作製した。
Figure 0007083448000009
*「Y層」の欄における「-」とは、Y層を有していないを意味する。

Figure 0007083448000010
Figure 0007083448000011
Figure 0007083448000012
Figure 0007083448000013
Figure 0007083448000014
*「第3層」の欄における「-」とは、第3層に積層構造(1)又は積層構造(2)を有していないを意味する。
得られた試料の各層の平均厚さは、被覆切削工具の金属蒸発源に対向する面の刃先稜線部から当該面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、3箇所の断面をTEM観察し、各層の厚さを測定し、その相加平均値を計算することで求めた。得られた試料の各層の組成は、被覆切削工具の金属蒸発源に対向する面の刃先稜線部から中心部に向かって50μmまでの位置の近傍の断面において、EDSを用いて測定した。それらの結果を、表1、表2、表5~10、表13及び表14に併せて示す。なお、表1、表2、表9及び表10の各層の金属元素の組成比は、各層を構成する化合物における金属元素全体に対する各金属元素の原子比を示す。
得られた試料の第1積層構造の平均結晶粒径は、以下のとおりにして求めた。まず、被覆切削工具の断面組織をTEMで観察し、60000倍に拡大した画像を撮影した。撮影した画像において、第1積層構造の組織を横切るように、基材の表面に対して平行な直線(幅は200nm相当)を引いた。この直線に含まれる粒子の長さ(径)を、この直線が通った粒子の数で割った値を、第1積層構造の結晶粒径とした。5本の直線を引いて、それぞれの直線における第1積層構造の結晶粒径を測定した。得られた第1積層構造の結晶粒径の相加平均値を計算し、その値を第1積層構造の平均結晶粒径とした。同様の方法により、第2積層構造の平均結晶粒径を求めた。その結果を、表15及び表16に示す。また、比較品についても同様の方法により、単層、交互積層、積層構造(1)及び積層構造(2)の平均結晶粒径をそれぞれ求めた。それらの結果を、表17~表18に示す。
Figure 0007083448000015
Figure 0007083448000016
Figure 0007083448000017
Figure 0007083448000018
得られた試料を用いて、以下の切削試験を行い、評価した。
[切削試験(1):穴あけ加工]
被削材:S55C、
被削材形状:150mm×200mm×50mmの直方体ブロック、
加工形態:止まり穴
切削速度:100m/min、
1回転当たりの送り量:0.25mm/rev、
クーラント:水溶性(内部給油方式)、
評価項目:チゼルエッジが欠損(チゼルエッジに欠けが生じる)したとき、マージン部に送りマークが生じたとき、又は逃げ面摩耗が0.3 mmに至ったときを工具寿命とし、工具寿命に至るまでの加工長さを測定した。なお、切削試験の工具寿命に至るまでの加工長さについて、80m以上を「A」、60m以上80m未満を「B」、60m未満を「C」として評価した。この評価では、「A」が最も優れ、その次に「B」が優れ、「C」が最も劣っていることを意味し、「A」又は「B」の評価を多く有するほど切削性能に優れていることを意味する。具体的には、加工長さが長いことは、耐欠損性及び耐摩耗性に優れていることを意味する。
[切削試験(2):フライス加工]
被削材:SCM440、
被削材形状:100mm×200mm×60mmの直方体ブロック、
切削速度:160m/min、
送り:0.40mm/rev、
切り込み:2.0mm、
クーラント:無し、
評価項目:試料が欠損(試料の切れ刃部に欠けが生じる)したとき、又は逃げ面摩耗幅が0.3mmに至ったときを工具寿命とし、工具寿命に至るまでの加工長さを測定した。なお、切削試験の工具寿命に至るまでの加工長さについて、25m以上を「A」、20m以上25m未満を「B」、20m未満を「C」として評価した。この評価では、「A」が最も優れ、その次に「B」が優れ、「C」が最も劣っていることを意味し、「A」又は「B」の評価を多く有するほど切削性能に優れていることを意味する。具体的には、加工長さが長いことは、耐欠損性及び耐摩耗性に優れていることを意味する。
切削試験の結果を表19~表21に示す。
Figure 0007083448000019
Figure 0007083448000020
Figure 0007083448000021
表19~21に示す結果より、発明品の加工長さは全て比較品の加工長さよりも長くなった。したがって、発明品は、工具寿命が長くなっていることが分かる。その要因としては、発明品が耐酸化性、耐摩耗性及び耐欠損性に優れているためと考えられるが、要因はこれに限定されない。
(実施例2)
穴あけ加工用の基材として、89.4WC-10.0Co-0.6Cr32(以上、質量%)の組成を有する超硬合金製ドリル(先端角:140°、直径:10mm、直線切れ刃、油孔付き)を用意した。フライス加工用の基材としては、ISO規格SEMT13T3形状のインサートに加工し、89.4WC-10.0Co-0.6Cr32(以上、質量%)の組成を有する超硬合金を用意した。実施例1の発明品1~10の被覆層に、下部層と上部層とを有する試料を作製した。
まず、アークイオンプレーティング装置の反応容器内に、表1における発明品1~10及び表22に示す各層の組成になるよう金属蒸発源を配置した。用意した基材を、反応容器内の回転テーブルの治具に固定した。
その後、反応容器内をその圧力が5.0×10-3Pa以下になるまで真空引きした。真空引きした後、反応容器内のヒーターにより、基材をその温度が600℃になるまで加熱した。加熱後、反応容器内にその圧力が5.0PaになるようにArガスを導入した。
圧力5.0PaのArガス雰囲気にて、基材に-450Vのバイアス電圧を印加して、反応容器内のタングステンフィラメントに45Aの電流を流す条件下で、基材の表面にArガスによるイオンボンバードメント処理を30分間施した。イオンボンバードメント処理終了後、反応容器内をその圧力が5.0×10-3Pa以下になるまで真空引きした。
真空引き後、反応容器内の温度を500℃になるように制御し、窒素(N2)ガスを反応容器内に導入し、反応容器内の圧力を4.0Paに調整した。
次いで、表22に示す下部層を形成した。詳細には、基材に-50Vのバイアス電圧を印加して、アーク電流120Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて下部層を形成した。
下部層を形成した後、実施例1の発明品1~10と同じ条件で、第1積層構造及び第2積層構造を形成した。
第1積層構造及び第2積層構造を形成した後、基材に-50Vのバイアス電圧を印加して、アーク電流120Aのアーク放電により金属蒸発源を蒸発させて表22に示す上部層を形成した。このとき、反応容器内の温度を500℃になるように制御した。上述の方法により、発明品30~39を作製した。
Figure 0007083448000022
得られた試料の各層の平均厚さ及び各層の組成は、実施例1と同様の方法により求めた。それらの結果は、表1及び表22に示す。
得られた試料の第1積層構造及び第2積層構造の平均結晶粒径は、実施例1と同様の方法により求めた。それらの結果は、表5に示す発明品1~10と同じであった。
発明品30~39を用いて、実施例1と同じ切削試験(1)、(2)を行った。その結果を表23に示す。
Figure 0007083448000023
表23に示す結果より、発明品30~39の加工長さは全て発明品1~10の加工長さよりもわずかに長くなった。したがって、発明品は、下部層及び上部層を有したとしても、発明の効果を奏することが分かる。
本発明の被覆切削工具は、耐酸化性、耐摩耗性及び耐欠損性に優れ、従来よりも工具寿命を延長できるので、産業上の利用可能性が高い。
1 基材
2 下部層
3 A1層
4 B1層
5 A2層
6 B2層
7 上部層
8 第1積層構造
9 第2積層構造
10 被覆層
11 被覆切削工具

Claims (8)

  1. 基材と、前記基材の表面に形成された被覆層とを含む被覆切削工具であって、
    前記被覆層が、第1積層構造と第2積層構造とを含み、
    前記第1積層構造が、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である積層構造であり、
    前記第1積層構造における前記2種の化合物層のうち一方の化合物層が、下記式(1):
    (Ala1-a)N…(1)
    (式中、Mは、Ti、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、aは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.58≦a≦0.80を満足する。)
    で表される組成からなり、
    前記第1積層構造における前記2種の化合物層のうち他方の化合物層が、下記式(2):
    (Alb1-b)N…(2)
    (式中、Mは、Ti、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、bは、Al元素とMで表される金属元素との合計に対するAl元素の原子比を表し、0.57≦b≦0.79を満足する。)
    で表される組成からなり、
    前記第1積層構造が、下記式(A)で表される条件を満足し、
    0<|Rx-Ry|<5…(A)
    (式中、Rxは、前記一方の化合物層における、金属元素全体に対する、1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、Ryは、前記一方の化合物層に隣接する前記他方の化合物層における、金属元素全体に対する、前記1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、前記1種の金属元素は、前記一方の化合物層における金属元素全体に対する割合と、前記他方の化合物層における金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。)
    前記第2積層構造が、組成の異なる2種の化合物層が交互に積層され、積層数が3以上である積層構造であり、
    前記第2積層構造における前記2種の化合物層のうち一方の化合物層が、下記式(3):
    (Al1-c-dTicd)…(3)
    (式中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、cは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、dは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦c≦1.00,0≦d≦0.50を満足する。)
    で表される組成を有する元素の窒化物であり、
    前記第2積層構造における前記2種の化合物層のうち他方の化合物層が、下記式(4):
    (Al1-e-fTief)…(4)
    (式中、Lは、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、及びSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素を表し、eは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するTi元素の原子比を表し、fは、Al元素とTi元素とLで表される金属元素との合計に対するLで表される金属元素の原子比を表し、0≦e≦1.00、かつ0≦f≦0.50を満足する。)
    で表される組成を有する元素の窒化物であり、
    前記第2積層構造が、下記式(B)で表される条件を満足し、
    5≦|Rz-Rw|…(B)
    (式中、Rzは、前記一方の化合物層における、金属元素全体に対する、1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、Rwは、前記一方の化合物層に隣接する前記他方の化合物層における、金属元素全体に対する、前記1種の金属元素の割合(単位:原子%)を表し、前記1種の金属元素は、前記一方の化合物層における金属元素全体に対する割合と、前記他方の化合物層における金属元素全体に対する割合との差の絶対値が最も大きい元素を表す。)
    前記第1積層構造を構成する前記一方の化合物層及び前記他方の化合物層、並びに前記第2積層構造を構成する前記一方の化合物層及び前記他方の化合物層の各層の平均厚さが、1nm以上300nm以下であり、
    前記第1積層構造の平均厚さが、0.1μm以上10.0μm以下であり、
    前記第2積層構造の平均厚さが、0.1μm以上10.0μm以下であり、
    前記被覆層の平均厚さが、1.5μm以上15.0μm以下である、被覆切削工具。
  2. 前記|Rx-Ry|が、1原子%以上4原子%以下である、請求項1に記載の被覆切削工具。
  3. 前記|Rz-Rw|が、6原子%以上70原子%以下である、請求項1又は2に記載の被覆切削工具
  4. 記第1積層構造の平均結晶粒径が、10nm以上450nm以下である、請求項1~のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
  5. 前記第2積層構造の平均結晶粒径が20nm以上500nm以下である、請求項1~のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
  6. 前記被覆層は、前記第1積層構造及び前記第2積層構造よりも基材側に下部層を有し、
    前記下部層が、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、及びYからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とからなる化合物の層であり、
    前記下部層の平均厚さが、0.1μm以上3.5μm以下である、請求項1~のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
  7. 前記被覆層が、前記第1積層構造及び前記第2積層構造よりも表面側に上部層を有し、
    前記上部層が、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、及びYからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、O、及びBからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とからなる化合物の層であり、
    前記上部層の平均厚さが、0.1μm以上3.5μm以下である、請求項1~のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
  8. 前記基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス、又は立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、請求項1~のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
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