KR20150025775A - 멀티플 암을 구비한 반송 로봇 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 멀티플 암을 구비한 반송 로봇에 관한 것으로, 특히 멀티플 암의 개별 구동이 가능하며, 일정한 피치 단위로 상하 적재되는 반송물(기판 또는 웨이퍼 등)의 동시 적재 및 취출이 가능한 멀티플 암을 구비한 반송 로봇에 관한 것이다.
본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇은, 반송물들 각각을 반송하는 제1 내지 제4 핸드를 구비하며, 동일한 운동 경로를 갖고 'ㅁ' 문자 형태로 배열되는 제1 내지 제4 로봇암을 포함하고, 상기 제1 내지 제4 로봇암에 의해 상기 반송물들이 동시 또는 개별적으로 하나의 동일 위치에서 다른 하나의 동일 위치로 취출, 반송 또는 적재되도록 구현되어 동시에 다수개의 반송물을 반송할 수 있어 TACT TIME(택트 타임)을 줄일 수 있게 된다.

Description

멀티플 암을 구비한 반송 로봇{TRANSFER ROBOT HAVING MULTIPLE ARM}
본 발명은 멀티플 암을 구비한 반송 로봇에 관한 것으로, 특히 멀티플 암의 개별 구동이 가능하며, 일정한 피치 단위로 상하 적재되는 반송물(기판 또는 웨이퍼 등)의 동시 적재 및 취출이 가능한 멀티플 암을 구비한 반송 로봇에 관한 것이다.
반도체 장치나 액정표시장치 등의 제조공정에서는, 반도체 웨이퍼나 액정표시장치용 유리 기판 등의 기판에 대하여 인입 및 취출과정이 행하여진다.
기판처리장치(반송 로봇)는 더블 암 로봇, 다수개의 암으로 구성된 반송 로봇 등이 개발되고 사용되고 있으며, 복수의 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판을 처리하는 기판처리부와, 캐리어 유지부와 기판처리부 사이에서 상하에 적층된 반전유닛과, 각 반전유닛과 캐리어 유지부 사이에서 기판을 반송하는 인덱서 로봇과, 각 반전유닛과 기판처리부 사이에서 기판을 반송하는 메인반송로봇을 구비하는 것이 일반적이다.
이러한 반송 로봇은 근본적으로 웨이퍼, 기판 또는 반송물의 이송을 더욱 효율적으로 수행하기 위한 것이며, 이로서 공정 택 타임(Tack Time)을 줄여 공정 효율을 높일 수 있는 데 방향으로 개발이 이루어지게 된다.
하나의 기판을 반송하기 위한 하나의 암을 갖는 반송 로봇에서 더블 암을 구비한 반송 로봇이 개발되었고, 더블 암의 구조를 개선하여 더욱 효율적인 공정을 목적으로 대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호(기판 이재 로봇) 및 대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호(기판처리장치 및 기판반송방법)가 개시되어 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 독립적 회전 이동 및 동시적 상하이동이 가능한 다수의 암을 구비하여 효율적인 기판 이재를 달성할 수 있는 기판 이재 로봇이 개시되어 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 동서남북의 4방향으로 설치되어 위치된 반송물을 각각의 방향에서 반송 가능한 구조라는 점에서 이득이 있으나, 동서남북 4방향으로 독립적으로 동작되므로 인라인 공정이나 한 방향으로 진행되는 공정에서는 사용하기에 부적합한 단점을 갖는다.
대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 기판처리장치의 스루풋(throughput, 단위시간 당의 기판의 처리 매수)을 증가시켜 인덱서 로봇 및 메인반송로봇의 대기시간을 단축하기 위한 반송로봇을 제공한다.
대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 공정 시간을 단축하는 잇점을 가지나, 하나의 암에 다수의 핸드가 부착된 구조이므로 동시 구동을 해야 하는 단점을 가지며 다수의 핸드 구조에 의해 일정 간격으로 위치된 경우에만 다수 반송물의 반송이 가능 하다는 단점을 갖는다.
대한민국 공개특허공보 제10-2008-0047205호 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0007449호
본 발명이 해결하려는 과제는, 동일한 수평방향의 직선운동으로 반송물의 동시 또는 개별적 반송이 가능한 멀티플 암을 구비한 반송 로봇을 제공하고자 한다.
또한, 인라인(In-Line) 공정 및 일방향으로 연속되는 공정에서 반송물을 1장 내지 4장 동시 이송으로 빠른 공정 흐름을 유도하여 공정시간을 단축하고 공정 효율을 높일 수 있는 멀티플 암을 구비한 반송 로봇을 제공하고자 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇은, 반송물들 각각을 반송하는 제1 내지 제4 핸드를 구비하며, 동일한 운동 경로를 갖고 'ㅁ' 문자 형태로 배열되는 제1 내지 제4 로봇암을 포함하고, 상기 제1 내지 제4 로봇암에 의해 상기 반송물들이 동시 또는 개별적으로 하나의 동일 위치에서 다른 하나의 동일 위치로 취출, 반송 또는 적재되도록 구현되어 동시에 다수개의 반송물을 반송할 수 있어 TACT TIME(택트 타임)을 줄일 수 있게 된다.
여기서, 상기 제1 내지 제4 로봇암 각각의 외측면에는 'ㄱ'문자 또는 'ㄴ'문자 형태의 핸드 베이스가 레일 결합되도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 제1 내지 제4 로봇암 각각의 내측면은 수평 가이드와 레일 결합되어 수평 직선 운동을 하도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 수평 가이드는 상단 수평 가이드와 하단 수평 가이드가 상하로 배열되고, 상기 상단 수평 가이드의 양측면으로 상측에 위치한 제1 및 제2 로봇암 각각이 레일 결합되며, 상기 하단 수평 가이드의 양측면으로 하측에 위치한 제3 및 제4 로봇암 각각이 레일 결합되도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 상단 수평 가이드의 상측면 및 상기 하단 수평 가이드의 하측면으로는 각각 연결부재를 매개로 상단 수직 슬라이드 및 하단 수직 슬라이드와 연결되도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 상단 수직 슬라이드 및 하단 수직 슬라이드는 수직부재에 연결되어 상하 수직 방향으로 왕복운동을 하도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 수직부재는 하단부에서 회전부재와 연결되고, 상기 회전부재에 의해 상기 로봇암이 회전되도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 회전부재는 하단부에서 슬라이드 베이스와 연결되고, 상기 슬라이드 베이스는 양단에 레일에 결합되어 좌우 수평 직선운동을 하도록 구현될 수 있다.
여기서, 상기 제1 내지 제4 로봇암은 회전부재를 통해 회전이 가능하도록 구현되며, 상기 제1 내지 제4 로봇암 및 상기 제1 내지 제4 핸드가 수평 직선 이동이 없는 위치에서 상기 반송물들을 적재한 상태일 때, 상기 반송물들의 중심점과 상기 회전부재의 회전중심축은 동일 선상에 위치되는 것이 반송 로봇의 회전 반경을 줄여 작업 공간의 효율성을 높일 수 있다.
여기서, 상기 제1 내지 제4 로봇암에 의해 상기 반송물들이 동시에 취출, 반송 또는 적재될 때, 상기 반송물들의 중심점이 동일선상에서 상하 수직으로 배열된 상태에 놓이는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇은, 반송물들 각각을 반송하는 제1 내지 제3 핸드를 구비하며, 동일한 운동 경로를 갖고 'ㄴ' 문자 또는 'ㄱ' 문자 형태로 배열되는 제1 내지 제3 로봇암을 포함하고, 상기 제1 내지 제3 로봇암에 의해 상기 반송물이 동시 또는 개별적으로 하나의 동일 위치에서 다른 하나의 동일 위치로 취출, 반송 또는 적재될 수 있다.
상술한 본 발명의 구성에 따르면, 동일한 수평방향의 직선운동으로 반송물의 동시 또는 개별적 반송이 가능하고, 인라인(In-Line) 공정 및 일방향으로 연속되는 공정에서 반송물을 3장 또는 4장의 동시 이송으로 빠른 공정 흐름을 유도하고, 공정시간을 단축하여 공정 효율을 높일 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제1 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 4는 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제2 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 5는 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제3 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제4 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 7은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 멀티플 암 전체가 수평 전진된 상태도이다.
도 8은 본 발명의 다른 예에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 멀티플 암(Multiple Arm)을 구비한 반송 로봇의 구조 및 작용효과를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 정면도이고, 도 1의 (A)와 (B)는 각각 다른 각도에서 본 사시도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇(10)은 베이스 프레임(11), 슬라이드 베이스(12), 레일 박스(13), 레일(14), 회전부재(15a), 수직부재(15b), 상하단 수직 슬라이드(17a, 17b), 상하단 연결부재(18a, 18b), 상하단 수평 가이드(19a, 19b), 제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d), 상하단 핸드 베이스(21a, 21b) 및 제1 내지 제4 핸드(22a 내지 22d)를 포함하여 이루어진다.
베이스 프레임(11)은 멀티플 암 로봇(10)을 지지하며 4각 프레임 형태로 이루어질 수 있고, 필요에 따라 이동이 용이하도록 캐스터가 장착될 수 있으며, 로봇의 작동시 유동성을 방지하도록 다수개의 고정장치(24)가 부착될 수 있다. 또한, 멀티플 암 로봇(10)의 좌우 이동 거리를 확인하기 위해 베이스 프레임(11)에는 스톱퍼(25)가 장착될 수 있다.
베이스 프레임(11)의 내측으로는 슬라이드 베이스(12)가 위치되며, 베이스 프레임(11)의 양측 위에는 슬라이드 베이스(12)의 수평 이동을 위한 레일(14)이 형성된다.
레일(14)은 레일 박스(13)에 의해 커버될 수 있고, 레일 박스(13) 내로는 전원 및 제어신호를 보내는 케이블(미도시)이 안착될 수 있다.
슬라이드 베이스(12)는 양측의 레일(14)과 연결되어 좌우 수평이동이 가능하도록 구성되며, 중심 상단으로는 회전부재(15a)가 형성되며, 회전부재(15a)의 선단에는 수직부재(15b)가 형성될 수 있다. 회전부재(15a)의 중심에는 회전중심축(16)이 마련될 수 있다.
회전부재(15a)는 회전중심축(16)을 기준으로 제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)을 360도 회전시키며, 수직부재(15b)는 제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)을 상하 왕복 직선운동을 가능케 한다.
수직부재(15b)의 일측면으로는 레일이 형성되며, 이 레일에는 상단 수직 슬라이드(17a)와 하단 수직 슬라이드(17b)가 결합되어 상하단 수직 슬라이드(17a, 17b)가 동시에 상하 왕복 직선운동을 한다.
상하단 수직 슬라이드(17a, 17b)의 선단에는 상단 연결부재(18a)와 하단 연결부재(18b) 각각의 서로 마주보는 방향으로 형성되고, 상단 연결부재(18a)의 하측으로는 상단 수평 가이드(18a)가 연결되고 하단 연결부재(18b)의 상측으로는 하단 수평 가이드(18b)가 연결된다.
상단 수평 가이드(18a)의 양측면에는 레일이 형성되며 이 레일에 제1 및 제2 로봇암(20a, 20b)이 결합되고, 하단 수평 가이드(18b)의 양측면에는 레일이 형성되며 이 레일에 제3 및 제4 로봇암(20c, 20d)이 결합된다.
제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)은 격자 배열 즉, 제1 및 제4 로봇암(20a, 20d)과 제2 및 제3 로봇암(20b, 20c)이 각각 서로 대각방향으로 배치되고 제1 및 제2 로봇암(20a, 20b)이 상단 수평배열, 제3 및 제4 로봇암(20c, 20d)이 하단 수평배열되며, 그 중심에는 제1 내지 제4 핸드(22a 내지 22d)와 반송물(23)이 위치된다.
제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)의 외측면으로는 제1 내지 제4 핸드 베이스(21a 내지 21d)가 수평 이동되도록 결합되고, 제1 및 제2 핸드 베이스(21a, 21b)는 'ㄱ'자 형상으로 제3 및 제4 핸드 베이스(21c, 21d)는 'ㄴ'자 형상으로 배치된다.
제1 내지 제4 핸드 베이스(21a 내지 21d)의 선단부 각각에는 제1 내지 제4 핸드(22a 내지 22d)가 장착되고, 제1 내지 제4 핸드(22a 내지 22d) 위로는 반송물(23)이 위치된다.
제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)은 각각 독립적으로 구동될 수 있고, 또한 동시 구동이 가능하다.
제1 내지 제4 핸드(22a 내지 22d)에 놓여지는 반송물(23)의 중심점은 동일선상에 놓이며, 또한 회전부재(15a)의 회전중심축(16)과 동일선상에 놓이게 된다.
여기서, 반송물(23) 즉 4개의 반송물이 동일 위치에 배치되는 것은 4장의 반송물을 동일 위치로 동시에 적재 및 반송이 가능하도록 하며, 반송물(23)의 중심점과 회전중심축(16)이 동일선상에 위치되도록 형성하는 것은 반송 로봇의 작업공간 즉 회전반경을 최소화하여 작업 공간의 효율성을 높이기 위함이다.
제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)은 x축 방향의 수평 직선운동(x), y축 방향의 수직 직선운동(y), z축 방향의 2단 수평 직선운동(z1, z2) 및 회전운동(θ)을 동시 또는 개별적으로 구현하게 된다.
x축 방향의 수평 직선운동(x)은 슬라이드 베이스(12)와 레일(14)의 결합에 의해 슬라이드 베이스(12)의 x축 방향으로 왕복운동을 함으로써 구현이 가능하고, y축 방향의 수직 직선운동(y)은 수직부재(15b)를 기준으로 상하단 수직 슬라이드(17a, 17b)가 y축 방향으로 상하 수직운동을 가능하게 하며, z축 방향의 2단 수평 직선운동(z1, z2)은 상하단 수평 가이드(19a, 19b)를 기준으로 제1 내지 제2 로봇암(20a 내지 20d)이 z축 방향으로 1단 수평 직선운동(z1)을 하고 제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)을 기준으로 제1 내지 제4 핸드 베이스(21a 내지 21d)가 z축 방향으로 2단 수평 직선운동(z2)을 하며, 회전운동(θ)은 회전부재(15a)의 회전중심축(16)을 기준으로 360도 회전운동에 의한다.
제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)의 배열은 격자 배열, 즉 'ㅁ'문자 배열되어 반송물(23)의 동시 반송 및 적재가 가능하도록 구성된다.
제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)의 배열에 따라 4장의 반송물(23)을 동시 또는 개별 반송 및 적재가 가능하지만, 공정에 따라 어느 하나 또는 두 개의 로봇암의 구동없이 3개의 로봇암 또는 2개의 로봇암의 구동에 의해 3개의 반송물 또는 2개의 반송물의 동시 반송 및 개별 적재가 가능하다.
또한, 제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d) 중 어느 하나의 로봇암을 구성시키지 않고 3개의 로봇암을 구성시킬 수도 있을 것이고, 이때의 로봇암 배열은 'ㄴ' 문자 또는 'ㄱ'문자 형태의 배열이 가능할 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제1 로봇암의 수평 전진된 상태도이며, 도 4는 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제2 로봇암의 수평 전진된 상태도이고, 도 5는 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제3 로봇암의 수평 전진된 상태도이며, 도 6은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 제4 로봇암의 수평 전진된 상태도이다.
도 3을 참조하면, 제1 로봇암(20a)은 상단 수평가이드(19a)를 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있고(1단 z축방향 이동), 제1 핸드(22a)는 제1 로봇암(20a)을 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있다(2단 z축 방향 이동).
도 4를 참조하면, 제2 로봇암(20b)은 상단 수평가이드(19a)를 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있고(1단 z축방향 이동), 제2 핸드(22b)는 제2 로봇암(20b)을 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있다(2단 z축 방향 이동).
도 5를 참조하면, 제3 로봇암(20c)은 하단 수평가이드(19b)를 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있고(1단 z축방향 이동), 제3 핸드(22c)는 제3 로봇암(20c)을 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있다(2단 z축 방향 이동).
도 6을 참조하면, 제4 로봇암(20d)은 하단 수평가이드(19b)를 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있고(1단 z축방향 이동), 제4 핸드(22d)는 제4 로봇암(20d)을 기준으로 전진 방향으로 수평 이동될 수 있다(2단 z축 방향 이동).
도 7은 본 발명에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 멀티플 암 전체가 수평 전진된 상태도이고, (A)와 (B)는 각각 다른 각도에서 본 사시도이다.
도 3 내지 도 6의 경우는 멀티플 암이 개별적으로 구동하는 경우를 보인 예시라면, 도 7은 멀티플 암(제1 내지 제4 로봇암)이 동시에 동일방향으로 구동하는 경우를 보인 예이다.
제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)은 슬라이드 베이스(12)와 레일(14)에 의해 수평 직선 왕복운동(ⓐ)을 할 수 있고, 회전부재(15a)에 의해 회전운동(ⓑ)이 가능하며, 수직부재(15b)와 상하단 수직 슬라이드(17a, 17b)에 의해 수직 직선 왕복운동(ⓒ)이 가능하고, 상하단 수평 가이드(19a, 19b)와의 레일 결합에 의해 1차 수평 전후진 왕복운동(ⓓ)이 가능하며, 제1 내지 제4 핸드(22a 내지 22d)는 제1 내지 제4 로봇암(20a 내지 20d)의 측면 레일 결합에 따라 2차 수평 전후진 왕복운동(ⓔ)이 가능하다.
이러한 ⓐ 내지 ⓔ까지의 운동은 4개의 로봇암이 동시에 동작될 수 있으며 필요에 따라서는 개별 동작될 수 있고, 그 운동방향의 순서는 현장 공정에 따라 변경될 수 있을 것이다.
종래의 경우 더블암 반송 로봇이 사용되었지만, 3개 또는 4개의 반송물을 장비단에서 동시 취출후 카세트에 개별 수납하거나 카세트에서 개별 취출후 장비단에 동시 수납이 가능하여 TACT TIME(작업 공정 시간)을 현격하게 줄일 수가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 멀티플 암을 구비한 반송 로봇은 4개의 로봇암을 정방 격자 배열시켜 구현도 가능하지만, 필요에 따라 2개 또는 3개의 로봇암의 동시 작동을 구현할 수 있고, 또한 3개의 로봇암만을 장착한 반송 로봇의 구현도 가능함은 위에서 설명한 바와 같다. 또한, 4개의 로봇암은 상하단 수평 가이드(19a, 19b)에 탈부착이 가능한 구조로 구현할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 예에 따른 멀티플 암을 구비한 반송 로봇의 구성도이다.
도 8은 도 1 내지 도 7의 실시예의 4개 로봇암(20a 내지 20d) 중에서 어느 하나의 로봇암을 제거시키고 3개의 로봇암으로 구성시킨 예이다.
하나의 로봇암을 구성하지 않고 3개의 로봇암으로 반송 로봇을 구현하면, 그 배열은 'ㄴ' 문자 형태나 'ㄱ' 문자 형태의 배열로 구현되며, 3개의 로봇암의 중심부에 핸드와 반송물이 배치된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 멀티플 암 로봇 11 : 베이스 프레임
12 : 슬라이드 베이스 13 : 레일박스
14 : 레일 15a : 회전부재
15b : 수직부재 16 : 회전 중심축
17a, 17b : 수직 슬라이드 18a, 18b : 연결부재
19a, 19b : 수평 가이드 20a, 20b, 20c, 20d : 로봇암
21a, 21b, 21c, 21d : 핸드 베이스 22a, 22b, 22c, 22d : 핸드
23 : 반송물 24 : 고정장치
25 : 스톱퍼

Claims (11)

  1. 반송물들 각각을 반송하는 제1 내지 제4 핸드를 구비하며, 동일한 운동 경로를 갖고 'ㅁ' 문자 형태로 배열되는 제1 내지 제4 로봇암을 포함하고,
    상기 제1 내지 제4 로봇암에 의해 상기 반송물들이 동시 또는 개별적으로 하나의 동일 위치에서 다른 하나의 동일 위치로 취출, 반송 또는 적재되는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 로봇암 각각의 외측면에는 'ㄱ'문자 또는 'ㄴ'문자 형태의 핸드 베이스가 레일 결합되는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 로봇암 각각의 내측면은 수평 가이드와 레일 결합되어 수평 직선 운동을 하는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 수평 가이드는 상단 수평 가이드와 하단 수평 가이드가 상하로 배열되고,
    상기 상단 수평 가이드의 양측면으로 상측에 위치한 제1 및 제2 로봇암 각각이 레일 결합되며,
    상기 하단 수평 가이드의 양측면으로 하측에 위치한 제3 및 제4 로봇암 각각이 레일 결합되는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상단 수평 가이드의 상측면 및 상기 하단 수평 가이드의 하측면으로는 각각 연결부재를 매개로 상단 수직 슬라이드 및 하단 수직 슬라이드와 연결되는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 상단 수직 슬라이드 및 하단 수직 슬라이드는 수직부재에 연결되어 상하 수직 방향으로 왕복운동을 하는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 수직부재는 하단부에서 회전부재와 연결되고, 상기 회전부재에 의해 상기 로봇암이 회전되는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 회전부재는 하단부에서 슬라이드 베이스와 연결되고, 상기 슬라이드 베이스는 양단에 레일에 결합되어 좌우 수평 직선운동을 하는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 로봇암은 회전부재를 통해 회전이 가능하도록 구현되며,
    상기 제1 내지 제4 로봇암 및 상기 제1 내지 제4 핸드가 수평 직선 이동이 없는 위치에서 상기 반송물들을 적재한 상태일 때, 상기 반송물들의 중심점과 상기 회전부재의 회전중심축은 동일 선상에 위치되는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 로봇암에 의해 상기 반송물들이 동시에 취출, 반송 또는 적재될 때, 상기 반송물들의 중심점이 동일선상에서 상하 수직으로 배열된 상태에 놓이는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
  11. 반송물들 각각을 반송하는 제1 내지 제3 핸드를 구비하며, 동일한 운동 경로를 갖고 'ㄴ' 문자 또는 'ㄱ' 문자 형태로 배열되는 제1 내지 제3 로봇암을 포함하고,
    상기 제1 내지 제3 로봇암에 의해 상기 반송물이 동시 또는 개별적으로 하나의 동일 위치에서 다른 하나의 동일 위치로 취출, 반송 또는 적재되는, 멀티플 암을 구비한 반송 로봇.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160119917A (ko) * 2015-04-06 2016-10-17 현대중공업 주식회사 멀티 암 반송 로봇
KR20160125550A (ko) * 2015-04-21 2016-11-01 현대중공업 주식회사 멀티 암 반송 로봇
KR20160126151A (ko) * 2015-04-22 2016-11-02 현대중공업 주식회사 멀티 암 반송 로봇

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104985592A (zh) * 2015-07-17 2015-10-21 付建生 一种五轴联动机器人
KR102314364B1 (ko) * 2016-01-11 2021-10-19 현대중공업지주 주식회사 기판 반송용 로봇
KR102314362B1 (ko) * 2016-01-11 2021-10-19 현대중공업지주 주식회사 기판 반송용 로봇
KR102312697B1 (ko) * 2016-01-11 2021-10-14 현대중공업지주 주식회사 기판 반송용 로봇
CN108463420B (zh) * 2016-01-11 2021-05-04 现代重工集团股份有限公司 基板搬运用机器人
CN106409740B (zh) * 2016-10-21 2019-08-20 山东大学 一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法
CN107150117B (zh) 2017-07-19 2018-06-19 安徽理工大学 多臂型悬挂轨道式铸件清理机器人
JP6873881B2 (ja) * 2017-10-13 2021-05-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
US11472023B2 (en) 2017-11-09 2022-10-18 Omron Corporation Robotic apparatus

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005144605A (ja) * 2003-11-17 2005-06-09 Shinko Electric Co Ltd ワーク搬送ロボット
KR100914387B1 (ko) * 2006-07-11 2009-08-28 가부시키가이샤 야스카와덴키 다관절 로봇
KR101312621B1 (ko) * 2006-11-29 2013-10-07 삼성전자주식회사 웨이퍼이송장치
KR101368898B1 (ko) * 2007-01-10 2014-03-03 주식회사 원익아이피에스 웨이퍼이송로봇, 이를 이용하는 웨이퍼처리시스템 및웨이퍼이송방법
KR20100052525A (ko) * 2007-09-10 2010-05-19 가부시키가이샤 알박 기판 반송 로봇, 진공 처리 장치
JP4816662B2 (ja) * 2008-03-06 2011-11-16 株式会社安川電機 リニア軸のケーブル処理機構およびそれを用いた基板搬送装置
KR20090116431A (ko) * 2008-05-07 2009-11-11 에이피시스템 주식회사 다중 클러스터 모듈의 이송챔버 내에 설치되는 웨이퍼이송수단
KR101211911B1 (ko) * 2010-11-02 2012-12-13 주식회사 로보스타 표시장치용 패널의 반전로봇

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160119917A (ko) * 2015-04-06 2016-10-17 현대중공업 주식회사 멀티 암 반송 로봇
KR20160125550A (ko) * 2015-04-21 2016-11-01 현대중공업 주식회사 멀티 암 반송 로봇
KR20160126151A (ko) * 2015-04-22 2016-11-02 현대중공업 주식회사 멀티 암 반송 로봇

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