KR20150020527A

KR20150020527A - 고정 지립 와이어 톱과 그 제조 방법, 및 그것을 이용한 워크의 절단 방법

Info

Publication number: KR20150020527A
Application number: KR20147029066A
Authority: KR
Inventors: 야스히로 우에다
Original assignee: 리드 가부시키가이샤
Priority date: 2012-05-31
Filing date: 2012-05-31
Publication date: 2015-02-26
Also published as: JPWO2013179434A1; EP2857143A1; HK1200759A1; EP2857143A4; MY185161A; CN104136169A; JP6352176B2; PH12014502652A1; US20150040884A1; WO2013179434A1

Abstract

(과제)
워크의 절단면 정밀도나 연삭 효율을 향상시킬 수 있고, 또한 제품의 장수명화를 도모하는 것이 가능한 고정 지립 와이어 톱과 그 제조 방법, 및 그 고정 지립 와이어 톱을 이용한 워크의 가공 방법을 제공한다.
(해결 수단)
금속 심선(1)의 외주면에 지립(2)을 고정시킴에 있어서, 접착제(3a)를 충전한 미세 구멍(18a)이 다수 형성된 복수의 전사 롤러(18)를 이용하여 접착제를 상기 심선의 외주면에 전사함으로써 그곳에 규칙적인 피치 간격으로 축 방향에 직선상으로 배열된 점 형상의 접착제층(3)의 열(li)을 복수개 형성하고, 그 접착제층에 지립을 가고착시킨 후 전착에 의한 금속 도금층(4)으로 본고착한다.

Description

고정 지립 와이어 톱과 그 제조 방법, 및 그것을 이용한 워크의 절단 방법{FIXED-ABRASIVE-GRAIN WIRE-SAW, METHOD FOR MANUFACTURING SAME, AND METHOD FOR CUTTING WORKPIECE USING SAME}

본 발명은, 예를 들면 대구경의 실리콘, 사파이어, 탄화규소, 세라믹스 재료, 자성 재료 등의 경취 재료로 이루어지는 워크를 슬라이싱 가공하는 것에 적합한 고정 지립 와이어 톱 및 그 제조 방법과, 그 고정 지립 와이어 톱을 이용한 상기 워크의 절단 방법에 관한 것이다.

실리콘, 사파이어, 자성 재료 등의 경취 재료를 슬라이싱 가공하는 것에 이용되는 와이어 톱의 일종으로서, 종래부터 피아노선 등의 도전성을 갖는 금속 와이어의 외주면에 대하여 다이아몬드 등으로 이루어지는 지립을 전착에 의한 금속 도금층에서 고정시킨 고정 지립 와이어 톱이 알려져 있다. 그리고, 그 대표적인 제조 방법으로서 특허문헌 1에는 도금 욕조 내에 침강시킨 지립층 중을 통과하는 금속 와이어에 대하여 통전하는 방법이 개시되어 있다.

이와 같은 전착에 의한 고정 지립 와이어 톱은 지립의 유지력이 커서 탈립하기 어렵다는 이점을 갖지만, 제조시에 지립이 도금조 내에서 와이어의 외주면에 대하여 랜덤으로 고착되기 때문에 국소적으로 다수의 지립이 응집되어 고착된 지립군이 다수 형성되기 쉽고, 또한 제품에 의해 개체차가 발생하기 쉽다. 그리고, 이와 같은 지립군이 형성된 와이어 부분에 있어서는 연삭시에 지립 1립당 작용하는 워크로의 압박력이 저하되기 때문에 워크에 대한 절개부 깊이가 얕아진다. 따라서, 이와 같은 지립군이 와이어 상에 다수 형성되면 연삭 효율이 저하되어 버린다는 문제가 있다.

또한, 와이어 상에 있어서의 지립 배치가 확률에 의존한 랜덤한 배치이고, 또한 상기 지립군이 형성되는 것을 피할 수 없기 때문에 연삭에 의한 각 지립의 마모 속도에 불균일이 발생하고, 그 결과 워크의 절단면 거칠기, 즉 절단면 정밀도가 저하되어 버린다.

또한, 상기 지립군이 형성된 와이어 부분에 있어서는 연삭시에 절삭 가루가 지립 사이에 집적되어 막힘을 일으키기 쉬워진다. 그리고, 막힘을 일으킨 와이어 부분에 있어서는 연삭 저항이 증대해서 큰 집중 응력이 작용하기 때문에 와이어가 단선되기 쉬워져 제품 수명이 저하된다는 문제가 있다. 또한, 이와 같은 막힘은 연삭 효율이나 절단면 정밀도의 저하로도 이어진다. 여기에서, 이와 같은 지립의 마모 속도의 불균일이나 막힘의 주된 요인으로서는 상기 지립군에 있어서의 와이어 방향의 지립끼리의 밀착을 들 수 있다.

그래서, 출원인은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 특허문헌 2에 있어서 와이어의 외주면에 접착제를 스프레이함으로써 점 형상의 접착제층을 형성하고, 그 접착제층에 의해 지립을 가고착함과 아울러 그들 가고착된 지립을 니켈 도금에 의해 본고착함으로써 형성된 고정 지립 와이어 톱을 제안했다.

이 특허문헌 2에 기재된 와이어 톱에 있어서는 지립 배치가 스프레이에 의해 컨트롤되기 때문에 특허문헌 1의 것과 비교해서 다수의 지립이 국소적으로 응집되어 고정되는 것을 어느 정도 억제하는 것은 가능하다. 그러나, 도 14에 나타내는 바와 같이 여전히 확률에 의존한 랜덤한 지립 배치가 되어야 하기 때문에 상기 각 문제점에 대한 염려가 불식되는 것은 아니고, 더 많은 개선의 여지가 남겨져 있다.

일본 특허 공고 소 51-003439호 공보 일본 특허 공개 2004-237376호 공보

따라서, 본 발명의 기술적 과제는 워크의 절단면 정밀도나 연삭 효율을 향상시킬 수 있고, 또한 제품의 장수명화를 도모하는 것이 가능한 고정 지립 와이어 톱과 그 제조 방법, 및 그 고정 지립 와이어 톱을 이용한 워크의 가공 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 배열 제어형 고정 지립 와이어 톱은 고강도인 심선의 외주면 상에 균등한 입도를 갖는 다수의 지립이 그 심선의 외주면을 피복하는 결합재층에 의해 단층으로 고정되어 이루어지는 고정 지립 와이어 톱으로서, 상기 심선의 외주면 상에 다수의 점 형상의 접착제층이 서로 이간되어 도포되어 있음과 아울러 상기 심선의 축을 따라 직선상으로 규칙적인 피치 간격으로 배열되어 적어도 3개의 접착제층열을 형성하고 있고, 상기 지립이 상기 접착제층에 의해 가고착됨과 아울러 상기 결합재층에 의해 본고착되어 있고, 서로 인접하는 접착제층 상에 배치된 지립이 서로 이간된 상태로 고착되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이때, 상기 심선이 금속 선재로 이루어져 있고, 상기 결합재층이 도금 금속으로 이루어져 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성을 구비하는 고정 지립 와이어 톱에 의하면, 심선의 축을 따라 직선상으로 규칙적인 피치 간격으로 배열된 다수의 점 형상의 접착제층 상에 지립이 배치되고, 또한 서로 인접하는 접착제층 상에 배치된 지립이 서로 이간된 상태로 고착되어 있다. 그 때문에, 국소적으로 다수의 지립이 응집되어 고착된 지립군의 형성을 억제할 수 있고, 특히 심선의 축 방향의 지립끼리의 밀착을 억제할 수 있다. 따라서, 워크의 연삭시에 각 지립에 의한 절개부 깊이를 충분히 확보할 수 있어 연삭 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 연삭에 의한 각 지립의 마모 속도에 불균일도 억제하여 워크의 절단면 거칠기, 즉 절단면 정밀도를 개선할 수 있다. 또한, 워크의 절삭 가루의 배출성이 개선되어 지립간에 있어서의 막힘을 억제할 수 있기 때문에 와이어의 단선을 방지하여 제품의 장수명화를 도모할 수 있을 뿐만 아니라, 연삭 효율이나 절단면 정밀도의 저하의 방지로도 이어진다.

본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 일실시형태에 있어서는 상기 접착제층이 고무계 접착제로 이루어져 있어 탄성을 갖고 있고, 워크의 가공시에 워크에 접촉하는 각 지립이 상기 심선의 외주면에 대하여 교차하는 방향으로 움직이는 것을 허용하는 완충층을 이루고 있는 것이 바람직하다. 그와 같이 함으로써, 심선의 외주면으로부터 지립 선단까지의 높이, 즉 지립 높이의 불균일을 완충층에서 흡수할 수 있어 절단면 정밀도를 보다 개선하는 것이 가능해진다.

그리고, 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 일실시형태에 있어서는 상기 접착제층열의 각각에 있어서 상기 접착제층이 균등한 피치 간격으로 배열되어 있어도 좋다. 이때, 또한 상기 접착제층열 서로에 있어서의 지립의 피치 간격도 균등하게 되어 있어도 좋다. 이와 같이, 상기 접착제층열에 있어서 접착제층이 균등한 피치 간격으로 배치되어 있으면 연삭에 의한 각 지립의 마모의 불균일을 보다 억제할 수 있어서 바람직하다. 또한, 상기 각 접착제층열을 형성하는 접착제층이 적어도 1개의 나선 상에 더 배치되어 있어도 좋다. 그와 같이 함으로써, 절삭 가루의 배출성도 보다 개선하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 고정 지립 와이어 톱에 있어서는 상기 심선의 둘레 방향에 있어서의 인접하는 접착제층열의 최대 간격보다 이들 접착제층열에 있어서의 지립의 최소 피치 간격이 길게 되어 있는 것이 연삭 효율이나 절삭 가루의 배출성의 관점으로부터 보면 바람직하다. 또한, 상기 접착제층이 원형상을 이루고 있고, 그 지름이 평균 지립 지름 이하이고 평균 지립 지름의 30% 이상이면, 1개의 접착제층 상에 복수의 지립이 고착되거나, 지립이 고착되지 않는 접착제층이 발생하거나 하는 것을 억제할 수 있어 지립을 낭비 없이 효율적으로 배치하는 것이 가능해진다.

또한, 상술한 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 제조 방법은 외주에 복수개의 미세 구멍이 둘레 방향에 형성되어 이루어지는 롤러를 상기 심선의 주행경로 상에 설치하는 공정과, 상기 롤러의 미세 구멍에 접착제를 충전하는 공정과, 상기 심선을 그 외주면을 상기 롤러의 외주에 접촉시킨 상태에서 주행시키는 공정과, 회전하는 상기 롤러의 미세 구멍과 주행하는 심선의 외주면의 상대 속도가 0이 되도록 조정한 상태에 있어서, 상기 심선의 외주면 상에 상기 미세 구멍으로부터 접착제를 전사함으로써 점 형상의 접착제층을 도포시키는 공정과, 접착제가 전사된 상기 심선의 외주면에 지립을 산포하여 상기 접착제에 의해 가고정하는 공정과, 지립이 가고정된 상기 심선의 외주면을 결합재로 더 피복하여 상기 지립을 상기 결합재층에 의해 본고착하는 공정을 포함하고 있다. 그와 같이 함으로써, 제품에 따른 개체차가 발생하는 것을 억제하여 품질을 안정화시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 고정 지립 와이어 톱을 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.

그리고, 상기 고정 지립 와이어 톱과 워크를 소정의 와이어 장력 하에서 서로 압접시킨 상태에서 그 고정 지립 와이어 톱을 일방향 또는 왕복 방향으로 주행시킴으로써, 상기 워크를 절단하면 그 워크를 효율적이고 또한 정밀도 좋게 절단하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 제 1 실시형태의 일부분을 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 고정 지립 와이어 톱의 개략적인 A-A단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 제 1 실시형태의 일변형예를 나타내는 개략적인 횡단면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 제 2 실시형태의 일부분을 나타내는 개략적인 정면도이다.
도 5는 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 제 3 실시형태의 일부분을 나타내는 개략적인 정면도이다.
도 6은 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 제조 방법의 일실시형태를 나타내는 개념적인 제조 공정도이다.
도 7은 도 6에 나타내는 제조 공정에 있어서의 접착제 도포 공정의 일례를 나타내는 개략도이다.
도 8은 도 7에 나타내는 접착제 도포 공정에 있어서의 심선으로의 접착제 전사 프로세스의 일례를 나타내는 설명도이다.
도 9는 도 8에 나타내는 접착제 전사 프로세스에 의해, 심선에 접착제가 실제로 전사된 상태의 일례를 나타내는 광학 현미경 사진이다.
도 10은 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱의 제조 방법에 의해 제조된 고정 지립 와이어 톱의 일례를 나타내는 광학 현미경 사진이다.
도 11은 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱을 이용한 워크의 가공 방법의 일실시형태를 나타내는 개략도이다.
도 12는 절단 성능 시험의 결과를 나타내는 그래프이다(사파이어의 예).
도 13은 절단 성능 시험의 결과를 나타내는 그래프이다(SiC의 예).
도 14는 종래의 고정 지립 와이어 톱을 나타내는 광학 현미경 사진이다.

이하, 도면에 의거하여 본 발명의 각 실시형태에 대해서 상세하게 설명한다.

도 1∼도 5에 나타내는 바와 같이, 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱은 고강도인 심선(1)의 외주면 상에 균등한 입도를 갖는 다수의 지립(2)을 상기 심선(1)의 외주면 전체를 피복하는 결합재층(4)으로 고착함으로써 형성되어 있다. 이때, 상기 심선(1)의 외주면 상에는 다수의 점 형상의 접착제층(3)이 서로 이간되어 배치되도록 제어해서 도포되어 있다. 그리고, 상기 지립(2)이 그 점 형상의 접착제층(3)에 의해 가고착(접착)됨과 아울러 상기 결합재층(4)에 의해 본고착되어 있다. 그 결과, 상기 지립(2)은 상기 심선(1)의 외주면에 대하여 단층으로 고정되어 있다. 그 결과, 서로 인접하는 각 접착제층(3) 상에 배치된 지립(2)은 서로 이간된 상태로 고착되어 있다.

상기 심선(1)은 길이 방향(즉 축 방향) 전체에 걸쳐 균일한 원형상 횡단면을 갖는 금속 선재로 이루어져 있다. 그 금속 선재로서는 고탄소강이나 중탄소 저합금강 등의 열처리 스프링강에 의한 선재, 경강선이나 피아노선이나 스테인레스선이나 냉간 압연 강선이나 오일 템퍼선 등의 가공 스프링강에 의한 선재, 저합금강이나 중합금강이나 고합금강이나 마르에이징강 등의 초강력강에 의한 선재, 텅스텐이나 몰리브덴이나 베릴륨 등의 금속 섬유에 의한 선재, 또는 Fe-Si-B나 Al-Y-Ni 등의 아모퍼스 금속 섬유에 의한 선재 등이 바람직하게 이용된다. 여기에서, 상기 심선(1)이 피아노선인 경우, 그 지름(D)은 0.08㎜ 이상 0.20㎜ 이하의 범위인 것이 바람직하다. 상기 심선(1)의 지름이 0.08㎜보다 가늘면 와이어 톱(1)의 충분한 강도를 확보할 수 없게 되고, 0.20㎜보다 굵으면 워크의 가공에 있어서 필요로 되는 절단값이 커지게 되어 재료의 낭비가 많아진다.

또한, 상기 지립(2)에는 다이아몬드 지립, CBN 지립, Al2O3 지립, 또는 SiC 지립 중으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상인 것이 바람직하게 사용된다. 사용하는 지립(2)의 평균 지름은 연삭 가공하는 워크의 종류, 심선(1)의 지름, 및 지립(2)의 배치에 따라 적당하게 설정된다.

상기 점 형상의 접착제층(3)은 상기 심선(1)의 축을 따라 직선상으로 규칙적인 피치 간격으로 배열되고, 적어도 3개의 접착제층열(li)(i=1,2,3···)을 형성하고 있다. 그리고, 상기 접착제층(3)에 의해 상기 심선(1)의 외주면 상에 있어서의 상기 지립(2)의 배치가 규정되고, 그 결과 그 지립(2)이 상기 접착제층열(li)을 따라 고착되어 있다. 이때, 심선(1)의 축 방향에 있어서의 접착제층(3)의 피치 간격(m)이나 둘레 방향에 있어서의 접착제층의 개수 및 배치는 서로 인접하는 접착제층(3) 상에 배치된 지립(2)간에 있어서 연삭 가공시에 결합재층(4)이 워크에 접촉하지 않도록, 또한 평균 지립 지름 이상의 간극이 확보되도록 적당하게 설정하는 것이 바람직하다. 또한, 연삭 효율이나 절삭 가루의 배출성을 고려하면 둘레 방향에 인접하는 접착제층열(li)의 간격(n) 중 가장 긴 쪽보다 축 방향에 인접하는 접착제층(3)의 피치 간격(m) 중 가장 짧은 쪽이 긴 것이 바람직하다.

여기에서, 상기 접착제층(3)은 대략 원형상이고, 그 지름(d)이 평균 지립 지름의 30% 이상, 평균 지립 지름 이하인 것이 바람직하다. 본래, 1개의 접착제층(3)에는 1개의 지립(2)을 접착시키는 것이 바람직하고, 접착제층(3)의 지름이 평균 지립 지름의 30%보다 작으면 지립(2)이 접착되지 않는 접착제층(3)이 발생할 확률이 높아지고, 평균 지립 지름보다 크면 1개의 접착제층(3)에 복수의 지립(2)이 접착될 확률이 높아진다. 단, 연삭 속도가 요구되는 경우 등 필요에 따라서 1개의 접착제층(3)에 2, 3개의 지립(2)이 접착되기 쉽도록 상기 접착제층(3)의 지름을 적당하게 설정하는 것도 가능하다.

또한, 상기 접착제층(3)을 형성하는 접착제로서는 지립(2)을 접착하여 가고착할 수 있는 것이면 특별하게 제한되는 것은 아니지만, 아크릴 고무, 스티렌 고무, 부타디엔 고무, 니트릴 고무, 부틸 고무 등의 고무계 접착제가 유동성·접착성 등의 면으로부터 바람직하게 이용된다. 그와 같이 함으로써, 상기 접착제층(3)이 지립(2)의 완충층으로서도 기능하기 때문에 워크의 연삭시에 그 워크에 접촉된 각 지립이 상기 심선(1)의 외주면에 대하여 교차하는 방향으로 탄성적으로 움직이는 것을 허용하고, 그 결과 심선(1)의 외주면으로부터 지립 선단까지의 높이(즉, 지립 높이)의 불균일을 그 접착제층(3)에 흡수시킬 수 있다.

상기 결합재층(4)은 도금 금속으로 이루어져 있고, 그 막 두께(t)는 평균 지립 지름보다 얇게 되어 있다. 그리고, 지립(2)이 그 일부를 결합재층(4)의 표면으로부터 노출시키고 있다. 그 결합재층(4)의 두께는 바람직하게는 지립(2)의 평균 입자 지름의 30% 이상 50% 이하의 범위이고, 보다 바람직하게는 30∼40%이다. 그 결합재층의 두께가 30%보다 얇으면 지립(2)의 유지력을 충분히 확보할 수 없게 될 우려가 있다. 또한, 그 두께가 50%보다 두꺼우면 지립(4)의 결합재층 표면으로부터의 돌출량을 충분히 확보할 수 없게 될 우려가 있다. 여기에서, 상기 결합재로서의 도금 금속으로는 니켈, 구리, 또는 크롬이 바람직하게 이용된다. 또한, 금속 박막으로 피복된 피복 지립을 상기 지립(2)으로서 이용하는 경우 등에는 필요에 따라서 심선(1)의 표면과 함께 지립(2)의 표면 전체가 결합재층(4)으로 피복되도록 해도 좋다.

이와 같은 구성을 구비하는 상기 고정 지립 와이어 톱에 의하면, 지립(2)이 금속 심선(1)을 따라 규칙적인 피치 간격으로 일렬로 배열된 다수의 점 형상의 접착제층(3) 상에 배치되고, 또한 서로 인접하는 접착제층(3) 상에 배치된 지립(2)이 서로 이간된 상태로 고착되어 있다. 그 때문에, 국소적으로 다수의 지립이 응집되어 고착된 지립군의 형성을 억제할 수 있고, 특히 심선(1)의 축 방향에 있어서의 지립(2)끼리의 밀착을 억제할 수 있다.

따라서, 워크의 연삭시에 각 지립(2)에 의한 절개부 깊이를 충분히 확보할 수 있어 연삭 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 연삭에 의한 각 지립(2)의 마모 속도에 불균일도 억제하여 워크의 절단면 거칠기, 즉 절단면 정밀도를 개선할 수 있다. 또한, 워크의 절삭 가루의 배출성이 개선되어 지립(2)간에 있어서의 막힘을 억제할 수 있기 때문에 단선을 방지하여 제품의 장수명화를 도모할 수 있을 뿐만 아니라, 연삭 효율이나 절단면 정밀도의 저하의 방지로도 이어진다. 또한, 접착제층(3)에 고무계 접착제를 채용하여 그 접착제층(3)을 완충층으로서도 기능시킴으로써 고정된 지립간에 있어서 발생하는 지립 높이의 불균일을 흡수할 수 있어 절단면 정밀도를 보다 개선하는 것이 가능해진다.

상기 접착제층(3)의 배치에 대해서 보다 구체적으로 설명하면, 도 1∼도 3에 나타내는 상기 고정 지립 와이어 톱의 제 1 실시형태에 있어서는 심선(1)의 외주면 상에 상기 점 형상의 접착제층(3)이 심선(1)의 축선을 따라 직선상으로 균등한 피치 간격(m)으로 배열되어, 둘레 방향에 6개(도 1 및 도 2) 또는 5개(도 3)의 접착제층열(li)을 형성하고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는 상기 접착제층열(li)의 각각에 있어서 접착제층(3)이 축 방향에 균등한 피치 간격(m)으로 도포되어 있을 뿐만 아니라, 접착제층열(li) 상호간에 있어서도 접착제층(3)의 피치 간격(m)이 균등한 것으로 되어 있다. 또한, 접착제층열(li) 상호간에 있어서 접착제층(3)의 축 방향의 위치(즉, 위상)이 거의 일치하고 있고, 그 때문에 접착제층(3)이 둘레 방향으로 축과 직교하는 환상열(s)이 형성되어 있다. 그리고, 그 환상열(s)은 축 방향에 균등한 간격(m)으로 병설되어 있다. 또한, 이들 접착제층열(li)은 둘레 방향에 있어서도 서로 균등한 간격(n)으로 평행하게 배치되어 있다.

또한, 본 실시형태에 있어서는 반드시 접착제층열(li) 상호간에 있어서 접착제층(3)의 피치 간격(m)이 균등할 필요성은 없고, 예를 들면 피치 간격(m)이 다른 2종류의 접착제층열(li)을 둘레 방향에 교대로 배치해도 좋고, 또는 접착제층열(li) 상호간에 있어서 접착제층(3)의 피치 간격(m)이 모두 달라도 좋다. 단, 어느 피치 간격(m)이나 최소 피치 간격(mmin)의 배수인 것이 바람직하다. 또한, 접착제층열(li) 상호간에 있어서 접착제층(3)의 축 방향의 위치(위상)가 일치하고 있을 필요성은 없고, 예를 들면 도 1에 있어서 이들 접착제층열(li)의 축 방향의 위상을 교대로 180도 어긋나게 해서 배치해도 좋다. 접착제층열(li)의 개수도 도시의 것에 한정되는 것은 아니고, 적어도 3개 이상이면 좋다. 또한, 접착제층열(li)의 둘레 방향의 간격(n)도 반드시 균등할 필요성은 없다.

한편, 도 4에 나타내는 제 2 실시형태에 있어서도 제 1 실시형태와 마찬가지로 접착제층열(li)의 각각에 있어서 접착제층(3)이 축 방향에 균등한 피치 간격(m)으로 도포되어 있음과 동시에, 접착제층열(li) 상호간에 있어서도 접착제층(3)의 피치 간격(m)이 균등한 것으로 되어 있다. 그리고, 상기 접착제층열(li)의 둘레 방향의 간격도 균등하게 되어 있다. 단, 접착제층열(li) 상호간에 있어서 접착제층(3)의 축 방향의 위치(위상)가 순서대로 대략 균등하게 어긋나 있어, 결과적으로 각 접착제층(li)을 형성하는 지립이 1개의 나선 상에 배치되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서 상기 접착제층열(li)의 둘레 방향의 간격(n)은 반드시 균등할 필요성은 없다. 또한, 상기 접착제층(3)이 형성하는 나선을 2개 이상으로 하는 것도 가능하다.

계속해서, 도 5에 나타내는 제 3 실시형태에 있어서는 접착제층(3)을 축 방향에 균등한 피치 간격(m)으로 도포해서 이루어지는 접착제층열(li)과, 접착제층(3)을 피치 간격 m과 2m의 조합으로 반복하여 배치해서 이루어지는 접착제층열(li)이 둘레 방향에 교대로 배치되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는 상기 양쪽 접착제층열(li)을 축 방향의 위상을 180도 어긋나게 해서 배치하고 있지만, 반드시 그것에 한정되는 것은 아니고 양자의 위상을 일치시켜도 좋다. 또한, 모든 접착제층열(li)이 후자의 것과 같이 다른 피치 간격의 조합을 반복함으로써 형성되어 있어도 좋다.

그리고, 이들 제 1, 제 2 및 제 3 실시형태에 의한 고정 지립 와이어 톱에 있어서는 상기 지립(2)이 상술한 바와 같이 배열된 접착제층(3)에 의해 위치 결정된 상태에서 상기 결합재층(도금 금속층)에 의해 고착되어 있다. 그 결과, 상기 각 접착제층열(li)을 대체로 따른 지립열이 형성되어 있다.

이어서, 상기 고정 지립 와이어 톱을 제조하는 방법에 대해서 도 6∼도 9를 이용하여 상세하게 설명한다.

이 제조 방법은 도 6에 나타내는 바와 같이, 개략적으로는 고강도인 심선(1)의 외주면 상에 롤러 외주의 미소 구멍으로부터 접착제를 전사함으로써 상기 심선(1)을 따라 다수의 점 형상의 접착제층(3)을 규칙적인 피치 간격으로 도포시키는 공정과, 그 접착제층(3)에 지립(2)을 가고착시켜서 위치 결정하는 공정과, 심선(1)의 외주면을 도금 금속으로 이루어지는 단층의 결합재층(4)으로 피복함으로써 상기 가고착된 지립(2)을 그 일부를 결합재층(4)의 표면으로부터 노출시킨 상태에서 심선(1)의 외주면에 본고착시키는 공정으로 이루어져 있다.

보다 구체적으로는, 우선 제 1 보빈(5)으로부터 일정한 속도로 수평으로 인출된 심선(1)은 침지 탈지조(6)에서 탈지된 후, 산 침지조(7)를 통과해서 산 세정 되고, 제 1 수세조(8)에서 수세된다.

여기에서, 침지 탈지조(6)에서 이용되는 탈지액은 일반적으로 사용되고 있는 알칼리 탈지액이고, 3인산 소다나 오르토 규산 소다 및 탄산 소다 등에 있어서의 각 수용액을 들 수 있지만, 특별하게 한정되는 것은 아니다. 또한, 산 침지조(7)에서 이용되는 산액은 일반적으로 사용되고 있는 황산, 염산, 질산 등으로 이루어지는 혼합 용액이지만, 심선 소재에 따라 조성을 바꾸어 조제하고, 최적인 산 처리 조건을 선택할 필요가 있다.

이어서, 제 1 수세조(8)에서 수세된 심선(1)을 접착제 도포 장치(10)로 이송하고 그곳에서 접착제(3a)를 심선(1)의 외주면에 전사함으로써, 다수의 점 형상의 접착제층(3)이 상기 심선(1)의 외주면에 대하여 배치가 제어되어 도포된다. 이 접착제 도포 장치(10)는 도 7 및 도 8의 개략도에 나타내는 바와 같이, 이송되어 온 심선(1)을 회전하는 접착제 전사 롤러(18)의 외주에 감아서 가설하여 접촉시키고, 그 롤러(18)의 외주로부터 점 형상으로 토출시킨 접착제(3a)를 상기 심선(1)의 외주면에 대하여 전사하도록 구성되어 있다.

이하에, 이 접착제의 전사 도포 공정에 대해서 보다 상세하게 설명한다.

상기 접착제 전사 롤러(18)의 외주면에는 그 둘레 방향을 따라 미세 구멍(18a)의 열이 형성되어 있고, 이들 미세 구멍(18a)은 접착제(유기용제에 용해시킨 접착제)의 공급원(도시 생략)으로 접속되어 있다. 그리고, 상기 접착제가 그 공급원으로부터 상기 미세 구멍(18a)에 각각 충전되고, 이들 미세 구멍(18a)을 통과해서 상기 롤러(18)의 외주면에 미량의 접착제(3a)가 토출되도록 되어 있다.

또한, 상기 미세 구멍의 사이즈에 대해서는 평균 지립 지름의 30% 이상, 평균 지립 지름 이하 정도의 지름으로 하면 접착제층(3)을 보다 적절한 지름(d)의 범위로 도포시킬 수 있고, 후공정에 있어서 접착제층 1개에 대하여 지립이 1개만 고착될 확률이 높아져서 단입자 배열된 와이어 톱을 제작할 수 있다.

또한, 여기에서 이용하는 접착제에 관해서는 상술한 바와 같이, 후공정에서 지립(2)을 가고착할 수 있는 것이면 특별하게 한정되는 것이 아니지만, 아크릴, 스티렌, 부타디엔, 니트릴, 부틸 고무 등의 고무계 접착제가 유동성·접착성 등의 면으로부터 적합하다. 유기용제에 관해서도 목적의 접착제를 용해할 수 있는 것이면 특별하게 한정되는 것은 아니지만, 크실렌, 톨루엔 등의 방향족 탄화수소 또는 부타디엔, 노르말헥산 등의 지방족 탄화수소가 취급성의 면으로부터 적합하다.

이와 같은 롤러(18)로부터 심선(1)에 대하여 상기 접착제(3a)를 전사함에 있어서는 전공정으로부터 이송되어 온 심선(1)을 상기 롤러(18)의 외주면에 대하여 상기 미세 구멍(18a)을 따르도록 감아서 가설하고, 상기 롤러(18)를 그 주속도가 심선(1)의 이송 속도와 일치하도록 심선(1)의 이송 방향으로 회전시킨다. 그와 같이 함으로써, 롤러(18)의 외주면과 심선(1)을 상대 속도가 0인 상태로 접촉시킬 수 있고, 그 결과 도 9에 예시하는 바와 같이 상기 미세 구멍(18a)의 열로부터 접착제(3a)가 심선(1)의 외주면에 점 형상의 접착제층(3)으로서 정확하게 전사되어 상기 접착제층열(li)이 형성된다. 또한, 이 사진에서는 심선(1)의 지름(D)이 100㎛, 접착제층(3)의 지름(d) 및 피치 간격(m)이 각각 10㎛, 100㎛로 되어 있다.

또한, 여기에서는 상기 미소 구멍(18a)은 도면 상 롤러 외주면의 평탄 부분에 1열만 형성되어 있지만 그것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 만곡된 오목면이나 볼록면에 형성되어 있어도 좋고, 또한 심선(1)에 도착(塗着)시키는 접착제층(3)의 배열에 따라 다양한 형태로 배치하는 것이 가능하다.

따라서, 상기 롤러(18)의 수나 배치, 및 그 롤러(18)의 외주면의 형상, 및 그곳에 형성하는 미세 구멍(18a)의 수나 배치 등을 적당하게 조정함으로써 심선(1)의 외주면에 다양한 형태의 접착제층열(li)을 형성할 수 있다.

그래서, 이하에 있어서는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같은 와이어 톱을 제조하는 경우를 예로 들고, 그 제조 방법을 구체적으로 설명한다.

이 경우, 상기 접착제 도포 장치(10)에 있어서는 심선(1)의 둘레 방향에 6개의 접착제층열(li)을 병설하기 때문에, 도 7에 나타내는 바와 같이 6개의 접착제 전사 롤러(18)가 심선(1)의 주행 경로를 따라 순차적으로 배치되어 있다. 그리고, 그 심선(1)이 이들 롤러(18)에 감겨서 가설되어 있다. 이때, 접착제층(li)을 심선(1)의 둘레 방향에 균등한 간격으로 형성하기 때문에 이들 6개의 롤러(18)는 등각도(즉, 60도)마다 경사시킨 상태로 배치되어 있다. 또한, 상기 접착제층(3)을 심선(1)의 축 방향에 균등한 피치 간격으로 일렬로 배열시키기 때문에, 상기 각 롤러(18)의 외주면에도 마찬가지의 균등한 피치 간격으로 일렬로 상기 미세 구멍(18a)이 형성되어 있다.

그리고, 이들 롤러(18)를 심선(1)의 이송 속도와 같은 주속도로 회전시키고, 이들 롤러 상호간의 회전 위상을 조절한 상태로 상기 미세 구멍(18a)으로부터 토출된 접착제(3a)를 상기 심선(1)의 외주면에 전사한다. 그 결과, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 심선(1)의 외주면에 접착제층(3)이 도착되어서 접착제층열(li)이 형성된다. 또한, 이때 롤러 상호간의 회전 위상은 각 롤러(18)에 의한 심선(1)의 축 방향에 대한 접착제(3a)의 전사 위치가 서로 거의 일치하도록 조정하는 것이 바람직하다.

이상과 같이 해서, 외주면에 접착제층열(li)이 형성된 심선(1)은, 이어서 지립 부착 장치(11)에 이송된다. 이 지립 부착 장치(11)에서는 심선(1)의 주위로부터 그 외주면에 지립(2)이 산포된다. 그 결과, 지립(2)이 상기 접착제층(3)에 의해 심선(1)의 외주면에 대하여 가고착된다.

또한, 지립(2)이 가고착된 심선(1)은 제 2 수세조(12)에서 세정된 후, 양극에 접속된 금속판(14)이 전해 도금액 중에 침수 설치된 전해 도금조(13) 중을 통과하고, 그때 결합재로서의 도금 금속을 음극(9)에 접속된 심선(1)의 외주면에 석출시키도록 되어 있다. 그와 같이 함으로써, 심선(1)의 외주면 전체가 도금 금속으로 이루어지는 결합재층(4)으로 피복되고, 그 결합재층(4)에 의해 상기 지립(2)이 심선(1)의 외주면에 본고착된다.

여기에서, 양극이 되는 금속판(14)은 결합재로서 선택된 도금 금속과 같은 금속으로 이루어져 있고, 전해 도금액도 결합재로서 선택된 도금 금속과 같은 금속을 포함하고 있다. 또한, 결합재층(4)의 막 두께(t)는 지립(2)의 일부가 그 표면으로부터 노출되는 정도, 즉 평균 지립 지름보다 얇게 설정한다.

그리고, 그 후에 외주면에 지립(2)이 본고착된 심선(1)을 제 3 수세조(15)에서 수세하고, 이어서 방청제조(16)에서 방청 처리를 실시한 후 제 2 보빈(17)에서 권취한다. 그 결과, 도 10에 나타내는 바와 같은 고정 지립 와이어 톱을 얻을 수 있다.

이상과 같은 고정 지립 와이어 톱의 제조 방법에 의하면, 지립을 필요한 개소에 확실하게 고착시키기 때문에 품질의 불균일이 없고, 또한 최적인 연삭 효율을 실현하기 위해서 필요한 개소에만 지립을 낭비 없이 배치할 수 있기 때문에 경제적으로 제조할 수 있다. 또한, 랜덤한 지립 고정의 경우와 같이 지립의 응집이나 지립 밀도의 표리차에 기인한 불량품이 나오는 것을 방지할 수 있기 때문에 제조 수율을 개선할 수도 있다. 또한, 워크의 재질이나 사이즈에 따라 적절한 지립 배열 피치를 설정함으로써 원하는 연삭 효율이나 절단면 정밀도를 실현할 수 있는 고정 지립 와이어 톱을 제조할 수 있다.

그리고, 상기 고정 지립 와이어 톱을 이용하여 워크를 절단함에 있어서는, 예를 들면 도 11에 나타내는 바와 같은 가공 장치를 사용한다. 그 가공 장치는 공급측 릴(31)로부터 인출된 와이어 톱(Y)을 외주에 나선상의 가이드홈(32a)이 형성된 2개의 메인 롤러(32, 32)에 그 가이드홈(32a)을 따라 감아서 가설함으로써, 양쪽 메인 롤러(32, 32)의 상부간에 와이어 톱(Y)이 일정 피치로 병행하는 와이어 톱열(YR)을 형성하고, 상기 와이어 톱(Y)의 선단을 회수측 릴(33)에 권취한 것이다.

그리고, 상기 릴(31, 33) 및 메인 롤러(32, 32)를 동기시켜 회전시킴으로써 와이어 톱열(YR) 중의 각 와이어 톱(Y)을 일방향으로 주행 또는 양방향으로 왕복 이동시킨다. 이때, 그 와이어 톱(Y)에 소정의 와이어 장력을 작용시킴과 아울러, 상기 와이어 톱(Y)과 상기 워크로서의 잉곳(30)을 소정의 가공 속도나 가공 하중(F)에 의해 서로 압접시킴으로써 상기 잉곳(30)을 단시간에 가공해서 표면 정밀도가 양호한 웨이퍼를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명에 의한 고정 지립 와이어 톱과 그 제조 방법, 및 그 고정 지립 와이어 톱을 이용한 워크의 절단 방법은 상기 실시형태에 특별하게 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다.

(실시예)

이하에, 본 발명에 의한 실시예를 상세하게 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 여기에서는 본 발명에 의거하여 제조한 고정 지립 와이어 톱과 종래법에 의거하여 제조한 비교예로서의 고정 지립 와이어 톱을 사용하여 잉곳을 각각 연삭 가공하고, 그것들의 절단 성능의 비교 평가를 행했다.

여기에서, 본 발명에 의거하는 고정 지립 와이어 톱은 도 1 및 도 2의 실시형태에 상당하고, 구체적으로는 도 10에 나타낸 것이며 도 6∼8에 나타내는 제조 방법에 의해, 심선의 외주면 상에 다수의 점 형상의 접착제층을 200㎛의 일정 피치 간격으로 직선상으로 배열시켜서 이루어지는 접착제층열을 심선의 둘레 방향에 6개, 등각도 간격으로 병설하고, 상기 접착제층에 다이아몬드 지립을 가고착시킴과 아울러 니켈 전착으로 본고착시킴으로써 작성한 것이다. 또한, 이때 접착제층의 지름은 10㎛로 설정했다.

한편, 비교예로서 사용한 고정 지립 와이어 톱은 와이어 표면에 다이아몬드 지립을 거의 균등하게 분산시켜 니켈 전착시킨 것이고, 도 6에 나타내는 제조 공정의 접착제 도포 공정에 있어서 피아노선을 일정한 속도로 이송하면서, 유기용제에 용해시킨 접착제를 주위로부터 스프레이함으로써 피아노선의 외주면 상에 다수의 점 형상의 접착제층을 형성하고, 그 후의 공정에서 상기 접착부에 지립을 단층에 가고착시키고, 또한 그 후의 공정에서 전해 도금조 중을 통과시키고 니켈 전착시켜서 제작했다. 또한, 니켈 전착에 의한 결합재층의 두께는 상기 실시예와 같게 설정했다.

[실시예]

직경 160㎛의 피아노선으로 이루어지는 심선과 평균 지립 지름 30.4㎛의 지립에 의해 고정 지립 와이어 톱을 제작했다. 여기에서, 상기 접착제 전사 롤러에 충전하는 접착제에는 아크릴 고무 15%와 노르말헥산 85%의 용액을 이용하고, 전해 도금조(11)의 도금액으로는 술파민산 니켈 500g/l, 염화니켈 10g/l, 붕산 20g/l에 의해 pH 4.0으로 조정된 수용액을 이용하고, 액온 50℃, 전류 밀도 15A/dm2로 니켈 도금에 의한 지립의 본고착을 실시했다. 니켈 막 두께는 평균 지립 지름의 약 30%인 10㎛로 설정했다. 그 결과로서 얻어진 고정 지립 와이어 톱은 거의 균등한 지립 높이를 갖고 있고, 그 평균 선 지름은 239㎛였다. 또한, 고정 지립 와이어 톱의 전체 길이는 10km로 했다.

[비교예]

직경 160㎛의 피아노선으로 이루어지는 심선과 평균 지립 지름 30.4㎛의 지립에 의하여 단층 고정 지립 와이어 톱을 제작했다. 여기에서, 스프레이하는 접착제로는 아크릴 고무 15%와 노르말헥산 85%의 용액을 이용하고, 전해 도금조의 도금액으로는 술파민산 니켈 500g/l, 염화니켈 10g/l, 붕산 20g/l에 의해 pH 4.0으로 조정된 수용액을 이용하고, 액온 50℃, 전류 밀도 15A/dm2로 니켈 도금에 의한 지립의 본고착을 실시했다. 니켈 막 두께는 평균 지립 지름의 약 30%인 10㎛로 설정했다. 그 결과로서 얻어진 단층 고정 지립 와이어 톱은 거의 균등한 지립 높이를 갖고 있고, 그 평균 선 지름은 238㎛였다. 또한, 고정 지립 와이어 톱의 전체 길이는 10km로 했다.

그리고, 이들 와이어 톱을 도 11에 나타내는 바와 같이 각각 복수개 평행하게 배치해서 선속 500m/min으로 왕복 운동시키고, 와이어 장력 35N, 와이어 피치 1.1㎜, 워크 이송 속도 18㎜/h, 신선(新線) 공급량 1.0m/min의 조건 하에서 수용성 가공액을 이용하여 사파이어(경도 약 2000Hv)를 절단 가공했다. 그리고, 그 결과 얻어진 절단편(사이즈: φ2인치×길이 30㎜, 절단 매수 27매)의 전체 매수를 이용하여 두께 불균일(TV5)(중심과 그 주위의 90도 간격의 4점으로 이루어지는 면 내 5점에 있어서의 두께의 최대값과 최소값의 차)을 구했다.

이하의 표 1은 상기 본 발명의 실시예에 의한 고정 지립 와이어 톱과, 상기 비교예에 의한 고정 지립 와이어 톱의 성능 비교 결과이다.

표 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 고정 지립 와이어 톱에 의하면, 비교예의 것과 비교해서 웨이퍼의 두께 불균형(TV5)에 대해서 약 1할 정도 개선되어 있고, 따라서 워크의 절단면 거칠기, 즉 절단면 정밀도가 개선되는 것을 확인할 수 있었다.

이어서, 이들 와이어 톱의 각 40m 분량을 와이어선 속도 200m/min으로 각각 왕복 운동시키면서, 와이어 톱의 주행 방향의 폭이 30㎜인 사파이어 워크와 SiC 워크를 각각 가공 하중 8N, 와이어 장력 10N 하에서 가공액에 수돗물을 사용하여 절단 가공하고, 양자의 절단 성능 중 연삭 능력을 평가했다. 워크마다의 비교 평가 결과를 도 12와 도 13에 나타낸다. 이것은 상기 워크를 50매 절단 가공한 결과이고, 도면의 가로축은 절단한 워크의 수, 세로축은 와이어 톱이 1왕복하는 동안에 워크를 절개한 깊이, 즉 연삭성을 나타내고 있다. 사파이어와 SiC 중 어느 경우에나 본 발명에 의거하는 고정 지립 와이어 톱 쪽이 비교예의 것과 비교해서 초기 연삭 능력에 대해서 높은 값을 나타내고 있다. 이들 결과로부터, 본 발명의 실시예에 의한 와이어 톱에 의하면 워크의 연삭 효율이 개선되는 것을 확인할 수 있었다.

이상, 본 발명에 대해서 상세하게 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시형태나 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양한 설계 변경이 가능하다는 것은 말할 것도 없다.

1 : 심선 2 : 지립
3 : 접착제층 3a : 접착제
4 : 결합재층 5 : 제 1 보빈
6 : 침지 탈지조 7 : 산 침지조
8 : 제 1 수세조 9 : 음극
10 : 접착제 도포 장치 11 : 지립 부착 장치
12 : 제 2 수세조 13 : 전해 도금조
14 : 금속판(양극) 15 : 제 3 수세조
16 : 방청제조 17 : 제 2 보빈
18 : 접착제 전사 롤러 18a : 미세 구멍
30 : 워크(잉곳) 31 : 공급측 릴
32 : 메인 롤러

Claims

고강도인 심선의 외주면 상에 균등한 입도를 갖는 다수의 지립이 상기 심선의 외주면을 피복하는 결합재층에 의해 단층으로 고착되어 이루어지는 고정 지립 와이어 톱으로서,
상기 심선의 외주면 상에 다수의 점 형상의 접착제층은 서로 이간되어 도포되어 있음과 아울러 상기 심선의 축을 따라 직선상으로 규칙적인 피치 간격으로 배열되어 적어도 3개의 접착제층열을 형성하고 있고,
상기 지립은 상기 접착제층에 의해 가고착됨과 아울러 상기 결합재층에 의해 본고착되어 있고, 서로 인접하는 접착제층 상에 배치된 지립은 서로 이간된 상태로 고착되어 있는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 1 항에 있어서,
상기 심선은 금속 선재로 이루어져 있고,
상기 결합재층은 도금 금속으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 2 항에 있어서,
상기 접착제층은 고무계 접착제로 이루어져 있어 탄성을 갖고 있고, 워크의 가공시에 워크에 접촉하는 각 지립이 상기 심선의 외주면에 대하여 교차하는 방향으로 움직이는 것을 허용하는 완충층을 이루고 있는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접착제층열의 각각에 있어서 상기 접착제층은 균등한 피치 간격으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 4 항에 있어서,
또한, 상기 접착제층열 서로에 있어서의 지립의 피치 간격도 균등하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 5 항에 있어서,
또한, 상기 각 접착제층열을 형성하는 접착제층은 적어도 1개의 나선 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 심선의 둘레 방향에 있어서의 인접하는 접착제층열의 최대 간격보다 이들 접착제층열에 있어서의 지립의 최소 피치 간격이 길게 되어 있는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접착제층은 원형상을 이루고 있고, 그 지름이 평균 지립 지름 이하이고 평균 지립 지름의 30% 이상인 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 고정 지립 와이어 톱을 제조하는 방법으로서,
외주에 복수개의 미세 구멍이 둘레 방향에 형성되어 이루어지는 롤러를 상기 심선의 주행경로 상에 설치하는 공정과,
상기 롤러의 미세 구멍에 접착제를 충전하는 공정과,
상기 심선을 그 외주면을 상기 롤러의 외주에 접촉시킨 상태에서 주행시키는 공정과,
회전하는 상기 롤러의 미세 구멍과 주행하는 심선의 외주면의 상대 속도가 0이 되도록 조정한 상태에 있어서, 상기 심선의 외주면 상에 상기 미세 구멍으로부터 접착제를 전사함으로써 점 형상의 접착제층을 도포시키는 공정과,
접착제가 전사된 상기 심선의 외주면에 지립을 산포하여 상기 접착제에 의해 가고정하는 공정과,
지립이 가고정된 상기 심선의 외주면을 결합재로 더 피복하여 상기 지립을 상기 결합재층에 의해 본고착하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 고정 지립 와이어 톱의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 고정 지립 와이어 톱, 또는 제 9 항에 기재된 고정 지립 와이어 톱의 제조 방법에 의해 제조된 고정 지립 와이어 톱을 이용한 워크의 절단 방법으로서,
상기 고정 지립 와이어 톱과 워크를 소정의 와이어 장력 하에서 서로 압접시킨 상태에서 상기 고정 지립 와이어 톱을 일방향 또는 왕복 방향으로 주행시킴으로써 상기 워크를 절단하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단 방법.