JP6514821B1

JP6514821B1 - ソーワイヤ

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Publication number: JP6514821B1
Application number: JP2018214416A
Authority: JP
Inventors: 伸彦藤原; 政志飛田
Original assignee: TOKUSEN CO.,LTD
Current assignee: TOKUSEN CO.,LTD
Priority date: 2018-11-15
Filing date: 2018-11-15
Publication date: 2019-05-15
Anticipated expiration: 2038-11-15
Also published as: KR20210042397A; WO2020100328A1; JP2020082201A; TWI691378B; CN112839771A; TW202019616A; CN112839771B; KR102531328B1

Abstract

【課題】切削効率に優れ、かつ優れた精度の切削面が得られるソーワイヤを提供する。【解決手段】ソーワイヤ２は、第一くせ付け部４、第二くせ付け部６、第三くせ付け部８及びストレート部１０を有している。第一くせ付け部は、平面において振動する波の形状を有している。第二くせ付け部は、平面において振動する第一波成分と、この第一波成分の平面とは異なる平面で振動する第二波成分とを含むくせを有している。第三くせ付け部は、第一くせ付け部の平面とは異なる平面において振動する波の形状を有する。ストレート部は、波の形状を有さない。第一波成分の振動方向は、第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致している。第二波成分の振動方向は、第三くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致している。【選択図】図１

Description

本発明は、ソーワイヤに関する。詳細には、本発明は、ソーワイヤのくせ付けの改良に関する。

半導体インゴットのスライスに、ソーワイヤが用いられている。スライスにより、ウエハが得られる。固定砥粒式のソーワイヤ及び遊離砥粒式のソーワイヤが、使用されている。固定砥粒式のソーワイヤは、切削効率に優れる。しかし、固定砥粒式のソーワイヤで得られた切削面は、寸法精度に劣る。ウエハの性能の観点から、遊離砥粒式のソーワイヤが有利である。

遊離砥粒式のソーワイヤでは、スライスに先だってこのソーワイヤにスラリーが吹き付けられる。このスラリーは、砥粒を含んでいる。ソーワイヤの走行により、砥粒はインゴットとソーワイヤとの間に引き込まれる。この砥粒の移動によってインゴットが切削され、スライスが達成される。多くの砥粒を引き込みうるソーワイヤは、切削効率に優れる。多くの砥粒を引き込みうるソーワイヤは、切削面の寸法精度にも寄与しうる。

特開２００４−２７６２０７公報には、くせ付けされたソーワイヤが開示されている。このくせは、波形状を有する。波は、山と谷とを有する。砥粒は谷に補足され、インゴットの内部を進行する。このソーワイヤは、多くの砥粒を引き込みうる。

同様のくせ付けがなされたソーワイヤが、特表２００８−５１９６９８公報に開示されている。このソーワイヤは、２の波を有する。一方の波の振動方向は、他方の波の振動方向とは異なる。

特開２００４−２７６２０７公報特表２００８−５１９６９８公報

ソーワイヤの切削効率の向上が、望まれている。切削面の精度のさらなる向上も、望まれている。本発明の目的は、これらの要望に応えうるソーワイヤの提供にある。

本発明に係るソーワイヤは、第一くせ付け部と第二くせ付け部とを有する。第一くせ付け部は、平面において振動する波の形状を有する。第二くせ付け部は、平面において振動する第一波成分と、この第一波成分の平面とは異なる平面で振動する第二波成分とを含むくせを有する。

好ましくは、第二波成分の振動方向は、第一波成分の振動方向と実質的に垂直である。

好ましくは、ソーワイヤは、第三くせ付け部をさらに備える。好ましくは、第三くせ付け部は、第一くせ付け部の平面とは異なる平面において振動する波の形状を有する。

好ましくは、第三くせ付け部における波の振動方向は、第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に垂直である。

好ましくは、第一波成分の振動方向は、第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致する。好ましくは、第二波成分の振動方向は、第三くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致する。

好ましくは、ソーワイヤは、波の形状を有さない中間部をさらに備える。

本発明に係るソーワイヤは２以上のくせ付け部を有するので、砥粒の引き込み性能に優れている。このソーワイヤにより、効率のよい切削がなされうる。このソーワイヤにより、寸法精度のよい切削面が得られる。

図１（ａ）は本発明の一実施形態に係るソーワイヤの一部が示された正面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のソーワイヤが示された平面図である。図２は、図１のソーワイヤの第一くせ付け部が示された拡大右側面図である。図３は、図２の第一くせ付け部の一部が示された拡大正面図である。図４は、図１のソーワイヤの第二くせ付け部の一部が示された拡大右側面図である。図５は、図４の第二くせ付け部の第一波成分が示された模式図である。図６は、図４の第二くせ付け部の第二波成分が示された模式図である。図４は、図１のソーワイヤの第三くせ付け部が示された拡大右側面図である。図８は、図７の第三くせ付け部の一部が示された拡大正面図である。図９は、図１のソーワイヤのためのくせ付け装置の一部が示された模式図である。

以下、適宜図面が参照されつつ、好ましい実施形態に基づいて本発明が詳細に説明される。

図１（ａ）及び（ｂ）並びに図２に、ソーワイヤ２が示されている。図１（ａ）において、上下方向（Ｙ方向）は鉛直方向であり、左右方向（Ｘ方向）は水平方向である。図１（ｂ）において、上下方向（Ｚ方向）は水平方向であり、左右方向（Ｘ方向）も水平方向である。Ｘ方向は、このソーワイヤ２の長さ方向でもある。このソーワイヤ２は、ソーマシンに装着されて、図１（ａ）の左向きに走行する。

このソーワイヤ２は、第一くせ付け部４、第二くせ付け部６、第三くせ付け部８及びストレート部１０を有している。第二くせ付け部６は、第一くせ付け部４よりも下流に位置している。第三くせ付け部８は、第二くせ付け部６よりも下流に位置している。ストレート部１０は、第三くせ付け部８よりも下流に位置している。第一くせ付け部４、第二くせ付け部６、第三くせ付け部８及びストレート部１０が、１つのサイクルを形成している。このソーワイヤ２では、長さ方向に沿って複数のサイクルが規則的に配置されている。複数の第一くせ付け部４、複数の第二くせ付け部６、複数の第三くせ付け部８及び複数のストレート部１０が、不規則に配置されてもよい。

図２には、第一くせ付け部４が示されている。第一くせ付け部４は、波の形状を有する。図１（ａ）及び（ｂ）並びに図２を併せて参照すれば明らかな通り、第一くせ付け部４の波は、Ｘ−Ｙ平面において振動している。この波は、他の平面では振動していない。この波は、二次元の波である。この波は、一定波長で振動している。この波の振動方向は、Ｙ方向である。

図３は、図１（ａ）のソーワイヤ２の第一くせ付け部４の一部が示された拡大正面図である。前述の通り、第一くせ付け部４の形状は、Ｙ方向に振動する波である。第一くせ付け部４は、山１２と谷１４とを有している。多数の山１２と多数の谷１４とが、交互に並んでいる（図１（ａ）も参照）。第一くせ付け部４は、山１２又は谷１４に砥粒を補足し、切削面へと引き込む。１つの第一くせ付け部４における山１２の数は、５以上３００以下が好ましく、１０以上２００以下が好ましい。谷１４の数は、山１２の数とほぼ同じである。

図３において、矢印ＷＬ１で示されているのは波長であり、矢印ＷＨ１で示されているのは波高である。波長ＷＬ１は０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下が好ましく、０．３ｍｍ以上４０ｍｍ以下が特に好ましい。波高ＷＨ１は０．１０ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下が好ましく、０．１１ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下が特に好ましい。

好ましくは、波長ＷＬ１は、下記の数式を満たす。
１．１＊Ｄｉ ≦ ＷＬ１ ≦ ５０＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波長ＷＬ１は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ１は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。

好ましくは、波高ＷＨ１は、下記の数式を満たす。
１．０５＊Ｄｉ ≦ ＷＨ１ ≦ ５＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波高ＷＨ１は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ１は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。

図４は、図１のソーワイヤ２の第二くせ付け部６の一部が示された拡大右側面図である。第二くせ付け部６は、波状のくせを有している。このくせは、図４に模式的に示された、第一波成分１６及び第二波成分１８が複合された形状を有する。くせが、３以上の波成分が複合された形状を有してもよい。

図５には、第一波成分１６が模式的に示されている。図４及び５から明らかな通り、第一波成分１６は、Ｘ−Ｙ平面において、振動している。第一波成分１６は、他の平面では振動していない。第一波成分１６は、二次元の波である。第一波成分１６は、一定波長で振動している。第一波成分１６の波の振動方向は、Ｙ方向である。第一波成分１６の波の振動方向は、第一くせ付け部４の波振動方向と一致している。第一波成分１６の波の振動方向が、第一くせ付け部４の波振動方向と異なってもよい。

図５に示されるように、第一波成分１６は、多数の山２０と多数の谷２２とを有している。これらの山２０及び谷２２は、Ｘ方向に沿って交互に配置されている。ソーワイヤ２は、第一波成分１６の山２０又は谷２２において砥粒を補足し、切削面へと引き込む。図５において、矢印ＷＬ２１は第一波成分１６の波長を表し、矢印ＷＨ２１は第一波成分１６の波高を表す。

好ましくは、第一波成分１６の波長ＷＬ２１は、下記の数式を満たす。
１．１＊Ｄｉ ≦ ＷＬ２１ ≦ ５０＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第一波成分１６の波長ＷＬ２１は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ２１は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。

好ましくは、第一波成分１６の波高ＷＨ２１は、下記の数式を満たす。
１．０５＊Ｄｉ ≦ ＷＨ２１ ≦ ５＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第一波成分１６の波高ＷＨ２１は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ２１は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。

図６には、第二波成分１８が模式的に示されている。図４及び６から明らかな通り、第二波成分１８は、Ｘ−Ｚ平面において、振動している。第二波成分１８は、他の平面では振動していない。第二波成分１８は、二次元の波である。第二波成分１８は、一定波長で振動している。第二波成分１８の波の振動方向は、Ｚ方向である。第二波成分１８の振動方向は、第一波成分１６の振動方向と異なる。本実施形態では、第一波成分１６の振動方向は、第二波成分１８の振動方向と実質的に垂直である。換言すれば、第二波成分１８の振動方向の、第一波成分１６の振動方向に対する角度θ_{２１−２２}は、９０°である（図４参照）。角度θ_{２１−２２}が９０°以外の値であってもよい。角度θ_{２１−２２}は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。

図６に示されるように、第二波成分１８は、多数の山２４と多数の谷２６とを有している。これらの山２４及び谷２６は、Ｘ方向に沿って交互に配置されている。ソーワイヤ２は、第二波成分１８の山２４又は谷２６において砥粒を補足し、切削面へと引き込む。図６において、矢印ＷＬ２２は第二波成分１８の波長を表し、矢印ＷＨ２２は第二波成分１８の波高を表す。

好ましくは、第二波成分１８の波長ＷＬ２２は、下記の数式を満たす。
１．１＊Ｄｉ ≦ ＷＬ２２ ≦ ５０＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第二波成分１８の波長ＷＬ２２は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ２２は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。

好ましくは、第二波成分１８の波高ＷＨ２２は、下記の数式を満たす。
１．０５＊Ｄｉ ≦ ＷＨ２２ ≦ ５＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、第二波成分１８の波高ＷＨ２２は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ２２は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。

第二波成分１８の波長ＷＬ２２が、第一波成分１６の波長ＷＬ２１と同じであってもよい。波長ＷＬ２２が、波長ＷＬ２１と異なってもよい。第二波成分１８の波高ＷＨ２２が、第一波成分１６の波高ＷＨ２１と同じであってもよい。波高ＷＨ２２が、波高ＷＨ２１と異なってもよい。

第一波成分１６及び第二波成分１８は、前述の通り、二次元の波である。第一波成分１６及び第二波成分１８が複合することで、三次元の波が形成される。このソーワイヤ２２の第二くせ付け部６のくせは、三次元形状を有する。

図７には、第三くせ付け部８が示されている。第三くせ付け部８は、波の形状を有する。図１（ａ）及び（ｂ）並びに図７を併せて参照すれば明らかな通り、第三くせ付け部８の波は、Ｘ−Ｚ平面において振動している。この波は、他の平面では振動していない。この波は、二次元の波である。この波は、一定波長で振動している。この波の振動方向は、Ｚ方向である。この振動方向は、第一くせ付け部４の波の振動方向と異なる。この振動方向は、第一くせ付け部４の波の振動方向と実質的に垂直である。換言すれば、第三くせ付け部８の波の振動方向が、第一くせ付け部４の波の振動方向に対してなす角度θ_１−３は、９０°である。角度θ_１−３が９０°以外の値であってもよい。角度θ_１−３は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。

第三くせ付け部８の波の振動方向は、第二波成分の波の振動方向と一致している。第三くせ付け部８の波の振動方向が、第二波成分の波の振動方向と異なってもよい。

図８は、図７の第三くせ付け部８の一部が示された拡大正面図である。前述の通り、第三くせ付け部８の形状は、Ｚ方向に振動する波である。第三くせ付け部８は、山２８と谷３０とを有している。多数の山２８と多数の谷３０とが、交互に並んでいる（図１（ｂ）も参照）。第三くせ付け部８は、山２８又は谷３０に砥粒を補足し、切削面へと引き込む。１つの第三くせ付け部８における山２８の数は、５以上３００以下が好ましく、１０以上２００以下が好ましい。谷３０の数は、山２８の数とほぼ同じである。

図８において、矢印ＷＬ３で示されているのは波長であり、矢印ＷＨ３で示されているのは波高である。波長ＷＬ３は０．２ｍｍ以上５０ｍｍ以下が好ましく、０．３ｍｍ以上４０ｍｍ以下が特に好ましい。波高ＷＨ３は０．１０ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下が好ましく、０．１１ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下が特に好ましい。

好ましくは、波長ＷＬ３は、下記の数式を満たす。
１．１＊Ｄｉ ≦ ＷＬ３ ≦ ５０＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波長ＷＬ３は、線径Ｄｉの１．１倍以上５０倍以下である。好ましくは、波長ＷＬ３は、線径Ｄｉの３倍以上４０倍以下である。

好ましくは、波高ＷＨ３は、下記の数式を満たす。
１．０５＊Ｄｉ ≦ ＷＨ３ ≦ ５＊Ｄｉ
この数式においてＤｉは、線径を表す（図４参照）。換言すれば、波高ＷＨ３は、線径Ｄｉの１．０５倍以上５倍以下である。好ましくは、波高ＷＨ３は、線径Ｄｉの１．１０倍以上３倍以下である。

第三くせ付け部８の波長ＷＬ３が、第一くせ付け部４の波長ＷＬ１と同じであってもよい。波長ＷＬ３が波長ＷＬ１と異なってもよい。第三くせ付け部８の波高ＷＨ３が、第一くせ付け部４の波高ＷＨ１と同じであってもよい。波高ＷＨ３が波高ＷＨ１と異なってもよい。ソーワイヤ２が、第三くせ付け部８を有さなくてもよい。第三くせ付け部８を有さないソーワイヤ２は、第一くせ付け部４及び第二くせ付け部６の、２種のくせ付け部を有する。ソーワイヤ２が、４種以上のくせ付け部を有してもよい。

このソーワイヤ２では、複数種類のくせ付け部が、砥粒を引き込む。これらのくせ付け部が互いに異なるくせを有するので、多くの砥粒が引き込まれる。しかも、これらの砥粒が偏りなく引き込まれうる。このソーワイヤ２により、優れた切削効率が達成されうる。このソーワイヤ２は、切削面の寸法精度にも寄与しうる。

ストレート部１０は、波の形状を有さない。ストレート部１０を有するソーワイヤ２の形態は、全体として変化に富む。このストレート部１０も、砥粒の引き込みに寄与しうる。ソーワイヤ２がストレート部１０を有さなくてもよい。図１（ｂ）において矢印Ｌｍで示されているのは、ストレート部１０の長さである。長さは５ｍｍ以上５０ｍｍ以下が好ましく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下が好ましい。

本実施形態では、ストレート部１０は、第一くせ付け部４と第三くせ付け部８とに挟まれている。ストレート部１０が、第一くせ付け部４と第二くせ付け部６とに挟まれてもよい。ストレート部１０が、第二くせ付け部６と第三くせ付け部８とに挟まれてもよい。ストレート部１０が、２つの第一くせ付け部４に挟まれてもよい。ストレート部１０が、２つの第二くせ付け部６に挟まれてもよい。ストレート部１０が、２つの第三くせ付け部８に挟まれてもよい。ソーワイヤ２が、ストレート部１０を有さなくてもよい。

ソーワイヤ２の線径Ｄｉは、０．０５ｍｍ以上１．００ｍｍ以下が好ましく、０．１０ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下が特に好ましい。このソーワイヤ２の材質は、金属である。典型的な金属は、炭素鋼である。炭素鋼からなる主部の表面に、ブラスメッキが施されたソーワイヤ２が好ましい。

図９は、図１のソーワイヤ２のためのくせ付け装置３２の一部が示された模式図である。図９には、ソーワイヤ２のための母線３４も示されている。母線３４は、図９における矢印Ａの方向に進行する。このくせ付け装置は、第一歯車対３６及び第二歯車対３８を有している。第二歯車対３８は、第一歯車対３６よりも下流に位置している。第二歯車対３８の軸方向は、第一歯車対３６の軸方向とは異なっている。第二歯車対３８の軸方向の、第一歯車対３６の軸方向に対する角度は、２０°以上１６０°以下が好ましく、３０°以上１５０°以下が特に好ましい。本実施形態では、この角度は、９０°である。

第一歯車対３６は、上歯車４０及び下歯車４２からなる。上歯車４０は、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。下歯車４２も、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。下歯車４２の歯部４４は、上歯車４０の歯部４４に対応する位置にある。従って、下歯車４２の歯部４４は、下歯車４２の歯部４４と噛み合う。下歯車４２の空虚部４６は、上歯車４０の空虚部４６に対応する位置にある。第一歯車対３６が回転すると、上歯車４０と下歯車４２とのニップには、歯部４４と空虚部４６とが交互に表れる。

第二歯車対３８は、左歯車５０及び右歯車からなる。図９では、右歯車は示されていない。右歯車は、左歯車５０に隠れている。左歯車５０は、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。図示されていないが、右歯車も、左歯車５０と同様、歯部４４と空虚部４６とからなる。歯部４４には、多数の歯４８が刻まれている。空虚部４６は、歯４８を有していない。右歯車の歯部４４は、左歯車５０の歯部４４に対応する位置にある。従って、右歯車の歯部４４は、左歯車５０の歯部４４と噛み合う。右歯車の空虚部４６は、左歯車５０の空虚部４６に対応する位置にある。第二歯車対３８が回転すると、左歯車５０と右歯車とのニップには、歯部４４と空虚部４６とが交互に表れる。

母線３４は、第一歯車対３６を通過する。母線３４のうち、ニップが歯部４４であるときに第一歯車対３６を通過した部分には、塑性変形が生じる。この塑性変形は、母線３４に、Ｙ方向に振動する波の成分を付与する。母線３４のうち、ニップが空虚部４６であるときに第一歯車対３６を通過した部分には、塑性変形が生じない。

第一歯車対３６に続いて、母線３４は、第二歯車対３８を通過する。母線３４のうち、ニップが歯部４４であるときに第二歯車対３８を通過した部分には、塑性変形が生じる。この塑性変形は、母線３４に、Ｚ方向に振動する波の成分を付与する。母線３４のうち、ニップが空虚部４６であるときに第二歯車対３８を通過した部分には、塑性変形が生じない。

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられ第二歯車対３８にて塑性変形させられない部分は、Ｙ方向に振動する波の形状を有する。この部分は、第一くせ付け部４である。

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられ第二歯車対３８にても塑性変形させられる部分は、Ｙ方向に振動する波成分とＺ方向に振動する波成分とを含むくせを有する。この部分は、第二くせ付け部６である。

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられず第二歯車対３８にて塑性変形させられる部分は、Ｚ方向に振動する波の形状を有する。この部分は、第三くせ付け部８である。

母線３４のうち、第一歯車対３６にて塑性変形させられず第二歯車対３８にても塑性変形させられない部分は、波の形状を有さない。この部分は、ストレート部１０である。

以下、実施例によって本発明の効果が明らかにされるが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるべきではない。

［実施例１］
図１−８に示されたソーワイヤを製作した。このソーワイヤの仕様が、下記の表１に示されている。このソーワイヤは、ブラスメッキが施された炭素鋼からなる。

［実施例２］
ストレート部を設けなかった他は実施例１と同様にして、実施例２のソーワイヤを得た。

［実施例３］
第三くせ付け部を設けなかった他は実施例１と同様にして、実施例３のソーワイヤを得た。

［実施例４］
ストレート部及び第三くせ付け部を設けなかった他は実施例１と同様にして、実施例４のソーワイヤを得た。

［比較例１］
第二くせ付け部のみを設けた他は実施例１と同様にして、比較例１のソーワイヤを得た。

［比較例２］
従来のソーワイヤを準備した。このソーワイヤは、波の形状を有さない。

［試験１］
各ソーワイヤをソーマシンに装着した。このソーワイヤの表面に、砥粒を含むスラリーを塗布した。このソーワイヤを０．６ｍｍ／ｍｉｎの速度で走行させて、ガラス板をスライスした。得られた切削面の粗さとうねりとを観察し、評価した。この結果が、指数として下記の表１及び２に示されている。数値が大きいほど、評価が優れている。

［試験２］
このソーワイヤの走行速度を０．８ｍｍ／ｍｉｎとした他は実験１と同様にして、切削面の粗さとうねりとを評価した。この結果が、指数として下記の表１及び２に示されている。数値が大きいほど、評価が優れている。

表１及び２に示されるように、実施例のソーワイヤは、比較例のソーワイヤに比べて優れた評価が得られている。この評価結果から、本発明の優位性は明らかである。

本発明に係るソーワイヤは、種々の物品の切断に用いられ得る。

２・・・ソーワイヤ
４・・・第一くせ付け部
６・・・第二くせ付け部
８・・・第三くせ付け部
１０・・・ストレート部
１２、２０、２４、２８・・・山
１４、２２、２６、３０・・・谷
１６・・・第一波成分
１８・・・第二波成分
３２・・・くせ付け装置
３４・・・母線
３６・・・第一歯車対
３８・・・第二歯車対
４０・・・上歯車
４２・・・下歯車
４４・・・歯部
４６・・・空虚部
４８・・・歯
５０・・・左歯車

Claims

第一くせ付け部と第二くせ付け部とを備えており、
上記第一くせ付け部が、平面において振動する波の形状を有しており、
上記第二くせ付け部が、平面において振動する第一波成分と、この第一波成分の平面とは異なる平面で振動する第二波成分とを含むくせを有しているソーワイヤ。
上記第二波成分の振動方向が、上記第一波成分の振動方向と実質的に垂直である請求項１に記載のソーワイヤ。
第三くせ付け部をさらに備えており、この第三くせ付け部が、上記第一くせ付け部の平面とは異なる平面において振動する波の形状を有する請求項１に記載のソーワイヤ。
上記第三くせ付け部における波の振動方向が、上記第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に垂直である請求項３に記載のソーワイヤ。
上記第一波成分の振動方向が上記第一くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致しており、上記第二波成分の振動方向が上記第三くせ付け部における波の振動方向と実質的に一致している請求項３又は４に記載のソーワイヤ。
ストレート部をさらに備える請求項１から５のいずれかに記載のソーワイヤ。
上記第一くせ付け部において、山と谷とが交互に並んでおり、１つの第一くせ付け部における山の数が５以上３００以下である請求項１又は２に記載のソーワイヤ。
上記第三くせ付け部において、山と谷とが交互に並んでおり、１つの第三くせ付け部における山の数が５以上３００以下である請求項３から６のいずれかに記載のソーワイヤ。