KR20140138024A - 평가 기판, 환경 시험 장치, 및 공시체의 평가 방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 본 발명은, 가령 자기 발열을 하는 공시체를 평가하는 경우라도, 시험 온도의 불균일이 발생하기 어려워, 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 있는 평가 기판을 제공한다.
[해결수단] 공시체(10)에 통전하면서 공시체(10)를 원하는 온도에 노출시켜 공시체(10)를 평가하는 것으로서, 면 형상으로 넓은 기판 본체(2)와, 공시체(10)를 장착 가능한 장착부(3)와, 기판 본체(2)를 가열하는 가열 히터(8)를 가지고, 기판 본체(2)의 한쪽 주면측에, 장착부(3)가 위치하고 있고, 기판 본체(2)의 다른쪽 주면측에, 가열 히터(8)가 면 형상으로 분포되어 일체화되어 있는 구성으로 한다.

Description

평가 기판, 환경 시험 장치, 및 공시체의 평가 방법{EVALUATING SUBSTRATE, ENVIRONMENTAL TEST DEVICE, AND EVALUATING METHOD OF TEST SPECIMEN}

본 발명은 공시체의 온도 특성을 평가하는 평가 기판에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 평가 기판을 소정의 환경하에 노출시키는 환경 시험 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 환경 시험 장치를 사용하여 공시체의 온도 특성을 평가하는 평가 방법에 관한 것이다.

제품 등의 성능을 평가하는 방법의 하나로서, 환경 시험이 있다. 환경 시험은 제품 등을 특정한 환경하에 두고, 성능 등의 변화를 관찰하는 것이다.

환경 시험 장치는 환경 시험을 행하기 위한 장치이며, 시험 공간 내를 원하는 온도 등의 환경으로 유지할 수 있는 것이다(예를 들면, 특허문헌 1). 환경 시험 장치는, 예를 들면, 고온 환경이나 저온 환경, 고습도 환경이나 저습도 환경, 진공 환경과 같은 다양한 환경을 형성할 수 있다. 즉, 환경 시험 장치는 시험실 내에 제품을 설치하고, 다양한 환경하에서의 제품의 성능을 평가할 수 있다.

그런데, 종래부터 프린트 기판에 실장하는 소형 디바이스 등에서는, 안전성이나 신뢰성을 확보하기 위해 구성 부재의 특성을 평가한다.

예를 들면, 온도 특성 평가 시험에서는, 평가 대상인 공시체를 납땜하여 실장한 프린트 기판을 준비한다. 그리고, 이 프린트 기판을 공기 순환식의 환경 시험 장치에 설치하고, 소정 온도의 공기에 공시체를 노출시킨 상태에서 통전함으로써, 공시체의 온도 특성을 평가한다.

일본 공개특허공보 제2011-209303호

통상적으로, 공시체의 온도 특성을 평가함에 있어서, 다양한 공시체를 한번에 평가하는 경우가 많다. 즉, 1장의 프린트 기판 위에 복수의 공시체를 실장하고, 그 각각의 공시체를 평가하는 경우가 많다. 이들 공시체를 평가함에 있어서, 신뢰성이 높은 온도 특성의 결과를 얻기 위해서는, 동일 조건·환경에서 평가하는 것이 필요하다.

그러나, 공시체로서, 칩 저항과 같은 통전에 의해 발열을 수반하는 공시체(이하, 발열 공시체라고도 한다)의 경우, 종래의 환경 시험 장치에서는, 시험실 내의 공기(바람)의 접촉 방식에 의해, 공시체가 발열 상태·방열 상태 간에 변화되어 버린다. 이로 인해, 프린트 기판 내에서의 온도 분포가 커져, 공시체의 장착 위치에 따라 시험 온도의 불균일이 발생하는 경우가 있다. 그래서, 종래의 환경 시험 장치를 사용한 평가 방법에서는, 온도 특성을 정확하게 평가할 수 없는 경우가 있다는 문제가 있었다.

그래서, 이러한 문제를 해결하는 방책의 하나로서, 시험실 내를 무풍 공간으로 하여, 바람을 공시체에 접촉시키지 않는 방법을 생각할 수 있다.

예를 들면, 무풍 공간 내에서, 표면에 발열 공시체를 실장한 프린트 기판을 전기 핫플레이트와 같은 가열 기기 위에 올린다. 이와 같이 함으로써, 발열 공시체를 직접적으로 가열하여, 온도 특성을 평가하는 방법을 생각할 수 있다.

그러나, 이 방책에 있어서도, 프린트 기판과 가열 기기의 접촉 상태에 따라, 프린트 기판 내에서의 온도에 불균일이 발생해 버린다. 즉, 프린트 기판의 표면 형상이나 가열 기기의 가열면의 요철에 의해, 프린트 기판과 가열 기기 사이의 전열 면적에 불균일이 발생하고, 프린트 기판에 실장된 발연 공시체로의 전열에 불균일이 발생해 버린다. 이로 인해, 이 방책에서도, 발열 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 없는 경우가 있다는 문제가 있었다.

그래서, 본 발명은, 공시체를 평가할 때에, 시험 온도의 불균일이 발생하기 어려워, 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 있는 평가 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 가령 자기 발열하는 공시체라도 시험 온도의 불균일이 발생하기 어려워, 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 있는 환경 시험 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 있는 평가 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 하나의 양상은, 공시체에 통전하면서 공시체를 원하는 온도에 노출시켜 공시체를 평가하기 위한 평가 기판에 있어서, 면 형상으로 넓은 기판 본체와, 상기 공시체를 장착 가능한 장착부와, 상기 기판 본체를 가열하는 가열 히터를 가지며, 상기 기판 본체의 한쪽 주면(主面)측에, 상기 장착부가 위치하고 있고, 상기 기판 본체의 다른쪽 주면측에, 상기 가열 히터가 면 형상으로 분포되어 일체화되어 있는 것이다.

본 양상에 의하면, 상기 기판 본체의 한쪽 주면측에, 상기 장착부가 위치하고 있고, 상기 기판 본체의 다른쪽 주면측에, 상기 가열 히터가 면 형상으로 분포되어 일체화되어 있다. 즉, 장착부와 가열 히터는 기판 본체를 사이에 개재하여 대향하고 있고, 가열 히터에서 발생한 열은, 기판 본체를 개재하여 장착부에 장착된 공시체로 전달된다.

즉, 본 양상의 평가 기판은, 자기의 가열 히터에 의해, 기판 본체를 면 형상으로 가열하는 것이며, 가열 기기 등의 다른 가열 수단을 사용하지 않고도, 공시체를 소정의 온도에 노출시킬 수 있다. 이로 인해, 기판 본체의 반대측에 장착된 공시체로의 전열 불균일이 발생하기 어려워 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 있다.

바람직한 양상은, 상기 가열 히터는, 도전층에 의해 구성된 전장에 비해 폭이 좁은 통전로이며, 상기 통전로에 통전됨으로써 상기 통전로가 발열하는 것이다.

본 양상에 의하면, 도전층에 의해 구성된 전장에 비해 폭이 좁은 통전로에 통전됨으로써 상기 통전로가 발열한다. 즉, 본 양상에 의하면, 도전층의 내부 저항 등에 의해 발열하기 때문에, 용이하게 기판 본체를 가열할 수 있다.

바람직한 양상은, 상기 가열 히터는, 전장에 비해 폭이 좁은 1 계통 또는 복수 계통의 통전로이며, 상기 통전로는 복수의 곡로(曲路)를 가지며, 상기 통전로에 통전됨으로써 상기 통전로가 발열하는 것이다.

본 양상에 의하면, 상기 통전로는 복수의 곡로를 가지며, 상기 통전로에 통전됨으로써 상기 통전로가 발열한다. 이로 인해, 기판 본체의 주면 위에 통전로를 구석 구석까지 빈틈없이 깔 수 있어 기판 본체의 면내 온도 분포를 보다 균등하게 할 수 있다.

바람직한 양상은, 상기 가열 히터는 상기 기판 본체에 넓게 설치된 도전층을 에칭하여 형성된 전장에 비해 폭이 좁은 도전로인 것이다.

본 양상에 의하면, 가열 히터는 기판 본체에 넓게 설치된 도전층을 에칭하여 형성되어 있다. 이로 인해, 도전로를 용이하게 원하는 형상으로 패터닝하는 것이 가능하다. 그래서, 상기 패터닝에 의해, 전장에 비해 폭이 좁은 도전로를 용이하게 형성할 수 있다.

바람직한 양상은, 평가 기판은 프린트 기판이며, 상기 가열 히터는 프린트 배선으로 형성된 전장에 비해 폭이 좁은 통전 라인인 것이다.

본 양상에 의하면, 평가 기판은 프린트 기판이며, 가열 히터는 프린트 배선으로 형성된 전장에 비해 폭이 좁은 통전 라인이다. 이로 인해, 원하는 형상으로 가열 히터를 용이하게 형성할 수 있는 동시에 대량 생산도 하기 쉽다.

바람직한 양상은, 상기 기판 본체의 단부에 히터용 급전부가 설치되어 있고, 상기 히터용 급전부는 상기 가열 히터에 접속되어 있고, 상기 히터용 급전부는 다른 부재에 걸어 맞추기 가능하며, 다른 부재와 걸어 맞춰짐으로써 상기 히터용 급전부에 통전되는 것이다.

본 양상에 의하면, 가열 히터에 접속된 히터용 급전부를 다른 부재와 걸어 맞춤으로써, 히터용 급전부를 경유하여 가열 히터에 통전된다. 이로 인해, 기판 본체를 다른 부재로 지지하면서, 용이하게 다른 부재로부터 가열 히터에 통전할 수 있다.

또한, 공시체에 통전하는 공시체 통전로가 상기 기판 본체에 일체화되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 안정적으로 공시체에 통전할 수 있다.

또한, 상기 기판 본체의 단부에 공시체용 급전부가 설치되어 있고, 상기 공시체용 급전부는 공시체 통전로에 접속되어 있고, 상기 공시체용 급전부는 다른 부재에 걸어 맞추기 가능하며, 다른 부재와 걸어 맞춰짐으로써 상기 공시체용 급전부에 통전되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 공시체 통전로에 접속된 공시체용 급전부를 다른 부재와 걸어 맞춤으로써, 공시체용 급전부에 통전된다. 이로 인해, 기판 본체를 다른 부재로 지지하면서, 용이하게 다른 부재로부터 공시체에 통전할 수 있다.

또한, 복수의 공시체를 평가하기 위한 평가 기판으로서, 복수의 장착부를 가지고, 상기 장착부는 상기 기판 본체의 한쪽 주면측에 균등하게 분포하고 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 장착부가 기판 본체의 한쪽 주면 위에 균등하게 분포하여 배치되어 있기 때문에, 장착부에 장착된 공시체간에 의한 영향을 억제할 수 있다.

예를 들면, 통전시 등에 자기 발열하는 공시체를 실장한 경우라도, 상기 발열에 의한 인접하는 공시체로의 영향을 억제할 수 있다.

그런데, 실장한 다수의 공시체의 온도 특성을 평가하는 경우, 가능한 한 측정 조건을 맞추는 관점에서, 동일한 시험실 내에 복수의 공시체를 실장한 평가 기판을 병렬시켜 평가를 행하는 것을 생각할 수 있다.

그러나, 평가 기판에 자기 발열을 하는 공시체를 실장한 경우, 상기 공시체의 발열에 의해 대류가 발생하고, 다른 공시체의 온도 조건이나 다른 평가 기판의 면내의 온도 분포에 영향을 주는 경우가 있다.

이 점에 관해서 구체적으로 설명한다.

도 15의 평가 기판(1A)과 평가 기판(1C)의 관계와 같이, 평가 기판의 주면이 상하 방향으로 평행해지도록 2장 나란히 놓은 경우(평가 기판의 주면이 상하 방향을 향한 자세가 되는 경우)에 관해서 설명한다.

상하 방향 하측에 위치하는 하측 평가 기판에 발열 공시체가 실장되어 있으면, 상기 발열 공시체의 발열에 의한 대류가 그 상방에 위치하는 상측 평가 기판의 온도 분포에 영향을 줄 가능성이 있다. 이로 인해, 공시체를 정확하게 평가할 수 없게 될 우려가 발생한다.

또한, 도 5의 평가 기판(1A)과 평가 기판(1B)의 관계와 같이, 평가 기판의 주면이 수평 방향으로 평행해지도록 2장 나란히 놓은 경우(평가 기판의 주면이 수평 방향을 향한 자세가 되는 경우)에 관해서 설명한다. 이 경우, 상기한 평가 기판간의 대류에 의한 영향은 억제할 수 있다. 그러나, 평가 기판 위에 있어서, 상하 방향 하측에 위치하는 하측 발열 공시체의 발열에 의한 대류가, 동일한 평가 기판 위에 실장되고, 또한 상하 방향 상방에 위치하는 상측 발열 공시체에 영향을 줄 가능성이 있다.

이와 같이, 하나의 시험실 내에 평가 기판을 나란히 설치한 경우에, 본 발명의 평가 기판의 특징을 충분히 살릴 수 없을 가능성이 있다.

그래서, 본 발명의 하나의 양상은, 상기한 평가 기판을 설치하는 설치 공간과, 상기 설치 공간을 감압하는 감압 수단과, 상기 가열 히터에 급전하는 가열 히터 급전 수단을 가지며, 감압하에서 공시체에 통전하면서 공시체를 원하는 온도에 노출시키는 것이 가능한 환경 시험 장치이다.

본 양상에 의하면, 감압하에서 공시체에 통전하면서 공시체를 원하는 온도에 노출시키는 것이 가능하다. 즉, 각 공시체는 대기압에 비해 감압하에서 통전되기 때문에, 열 매체인 공기의 양이 적은 상태하에서 평가되게 되어 다른 공시체에 열이 전열되기 어렵다. 이로 인해, 공시체의 발열에 의한 공시체간의 온도의 영향을 배제할 수 있다. 그래서, 공시체의 특성을 정확하게 평가할 수 있다.

감압 수단은 설치 공간을 0kPa 이상 50kPa 이하로 감압 가능하게 하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 감압 수단은 설치 공간을 0kPa 이상 50kPa 이하로 감압 가능하기 때문에, 설치 공간 내를 대기압보다도 낮은 진공 상태로 할 수 있어 공시체를 진공 단열할 수 있다. 이로 인해, 대류 등의 영향을 받기 어려워 정확하게 평가할 수 있다.

감압 수단은 설치 공간을 10kPa 이하로 감압 가능하게 하는 것이 더욱 바람직하다.

이 구성에 의하면, 감압 수단은 설치 공간의 압력을 10kPa 이하로 감압 가능하다. 이 범위는 방전이 일어나지 않을 정도의 진공도로서, 경제적인 진공도이며 진공에 도달하는 시간이 짧은 진공도가 된다.

설치 공간을 1.3kPa 이상 10kPa 이하의 일정한 범위의 압력으로 조정 가능하게 하는 것이 특히 바람직하다.

이 구성에 의하면, 설치 공간을 1.3kPa 이상 10kPa 이하의 일정한 범위의 압력으로 조정 가능하다. 즉, 항상 저진공 상태로 유지하고 있다.

이 범위에 있으면, 약간 시험실 내에 기체(예를 들면, 공기)가 존재하게 되기 때문에, 평가 기판으로부터의 적합한 방산열을 발생시켜 평가 기판의 가열 히터의 온도 제어성을 향상시킬 수 있다. 또한, 이것보다도 진공도가 높아지면, 공시체로부터 방전 현상이 일어날 우려가 있지만, 이 범위에 있으면, 방전이 일어나기 어렵다.

본 발명의 하나의 양상은, 상기한 평가 기판을 사용한 공시체의 평가 방법으로서, 감압하에서 공시체에 통전하면서, 복수의 공시체를 원하는 온도에 노출시켜 복수의 공시체의 온도를 평가하는 공시체의 평가 방법이다.

본 양상에 의하면, 공시체 간에 온도 불균일이 발생하기 어려워 정확하게 평가할 수 있다.

또한, 상기 가열 히터에 의해 가열하여, 공시체를 원하는 온도에 노출시키는 것이 바람직하다.

이 방법에 의하면, 기판 본체 위에서의 공시체의 설치 위치를 불문하고, 온도 불균일없이 평가할 수 있다.

또한, 상기 원하는 온도는, 섭씨 50도 이상 섭씨 200도 이하의 범위로 하는 것이 바람직하다.

상기의 범위로 하면, 다른 공시체로의 복사열의 영향이 적다.

본 발명의 평가 기판에 의하면, 시험 온도의 불균일이 발생하기 어려워 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 있다.

본 발명의 환경 시험 장치에 의하면, 가령 자기 발열을 하는 공시체를 평가하는 경우라도, 시험 온도의 불균일이 발생하기 어려워 공시체의 온도 특성을 정확하게 평가할 수 있다.

본 발명의 공시체의 평가 방법에 의하면, 정확하게 평가할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따르는 평가 기판을 모식적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 평가 기판의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 평가 기판의 평면도이다.
도 4는 도 3의 평가 기판을 이면에서 본 평면도이다.
도 5는 평가 기판을 평가하는 환경 시험 장치를 개념적으로 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5의 환경 시험 장치에 장착되는 마더 기판의 사시도이다.
도 7은 도 1의 평가 기판의 측정 상황을 도시하는 설명도이다.
도 8은 제 2 실시형태의 평가 기판의 사시도이다.
도 9는 제 3 실시형태의 평가 기판의 분해 사시도이다.
도 10은 제 4 실시형태의 평가 기판의 단면도이다.
도 11은 제 5 실시형태의 평가 기판의 분해 사시도이다.
도 12는 제 6 실시형태의 평가 기판의 분해 사시도이다.
도 13은 제 7 실시형태의 평가 기판의 평면도이다.
도 14는 제 8 실시형태의 평가 기판의 평면도이다.
도 15는 제 9 실시형태의 환경 시험 장치의 사시도이다.
도 16은 제 10 실시형태의 환경 시험 장치의 사시도이다.

이하에, 본 발명의 제 1 실시형태에 관해서 상세하게 설명한다.

또한, 이하의 설명에 있어서, 특별히 언급하지 않는 한, 상하의 위치 관계는 통상의 설치 위치(도 1)를 기준으로 설명한다.

제 1 실시형태의 평가 기판(1)은, 평가 대상인 공시체(10)에 통전하면서, 공시체(10)를 소정의 온도에 노출시킴으로써, 공시체(10)의 온도 특성을 평가하기 위한 기판이다.

평가 기판(1)은, 도 1과 같이 면 형상으로 넓은 기판 본체(2)에 공시체(10)를 실장한 프린트 기판이다. 평가 기판(1)은, 도 3과 같이 평면에서 보면, 실장 영역(11)과 커넥터 영역(12)으로 형성되어 있다.

실장 영역(11)은, 도 3과 같이 공시체(10) 등을 실장하는 영역이며, 공시체(10)의 평가 환경을 형성하는 부위이다.

커넥터 영역(12)은 다른 부재와 접속 가능한 영역이며, 소위 엣지 커넥터라고 불리는 부위이다. 커넥터 영역(12)은 실장 영역(11)에 실장된 공시체(10) 등에 급전하기 위한 급전부로서 기능하는 부위이다. 커넥터 영역(12)은 다른 부재와 걸어 맞추기 가능하게 되어 있다.

그리고, 제 1 실시형태의 평가 기판(1)은 기판 본체(2)를 가열하여 공시체(10)를 원하는 온도에 노출시킬 수 있는 가열 히터(8)를 실장하고 있는 것을 특징의 하나로 하고 있다.

이러한 것을 감안하여, 이하, 평가 기판(1)의 구성에 관해서 설명한다.

평가 기판(1)은, 도 1, 도 2와 같이, 기판 본체(2)의 한쪽 주면측(상면측)에, 복수의 장착부(3)와, 각 장착부(3)를 통과하는 공시체용 통전로(5)(공시체 통전로)와, 온도 측정 수단(4)이 설치되어 있고, 또한 그 위로부터 절연층(6)이 피복되어 있다.

또한 평가 기판(1)은, 도 1, 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 기판 본체(2)의 다른쪽 주면측(하면측)에, 본 발명의 특징인 가열 히터(8)가 설치되어 있고, 또한 그 하측으로부터 절연층(9)이 피복되어 있다.

기판 본체(2)는 면 형상으로 넓은 판상의 기판이며, 캔틸레버(cantilever)상으로 지지했을 때에 만곡되지 않는 강성을 가지고 있다.

기판 본체(2)의 재질은, 상기한 강성 및 내열성을 가지고 있으면 특별히 한정되지 않지만, 에칭 처리를 행하기 쉬운 관점에서, 유리·에폭시제(FR4제)인 것이 바람직하다.

기판 본체(2)의 두께는 가열 히터(8)에 의한 평가 기판(1)으로의 열 전도를 효율적으로 행할 수 있는 범위로 하는 것이 바람직하다.

장착부(3)는, 도 1, 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 공시체용 통전로(5)와 연속하는 부위로서, 땜납 등의 도전성 접착제(13)를 개재하여 공시체(10)를 장착하는 부위이다. 장착부(3)는 장착된 공시체(10)에 대해 급전 가능하게 되어 있다.

공시체용 통전로(5)는 기판 본체(2)에 적층된 도전층(7)에 의해 형성되어 있다.

구체적으로는, 공시체용 통전로(5)는 기판 본체(2) 위에 넓게 설치된 도전층(7)을, 에칭함으로써 원하는 형상으로 패터닝되어 형성되어 있다.

예를 들면, 공시체용 통전로(5)는 기판 본체(2) 위의 도전층(7)에 원하는 레지스트 패턴을 형성한다. 그리고, 공시체용 통전로(5)는 도전층(7)의 상기 레지스트 패턴 이외의 부위를 제거한 후, 레지스트 패턴을 제거하여 형성되어 있다.

공시체용 통전로(5)는 실장 영역(11)과 커넥터 영역(12)에 걸쳐 형성되어 있고, 커넥터 영역(12)으로부터 다른 부재와 접속함으로써 통전 가능하게 되어 있다.

도전층(7)으로서는, 도전성을 가진 것이면 특별히 한정되지 않지만, 저렴하고 용이하게 에칭할 수 있는 관점에서, 구리박인 것이 바람직하다.

온도 측정 수단(4)은 공지의 온도 센서이며, 평가 기판(1)의 온도를 측정하여, 측정 온도를 외부의 마이콘 등으로 송신 가능하게 되어 있다.

절연층(6)은 절연성을 가진 수지층이며, 공지의 솔더 레지스트이다.

가열 히터(8)는 실장 영역(11)의 기판 본체(2)의 면내 온도 분포가 균등해지도록 분포된 가열용 통전로(15)에 의해 형성되어 있다.

가열 히터(8)는 통전시의 실장 영역(11)의 기판 본체(2)의 면내 온도 분포가 섭씨 -1도 이상 섭씨 1도 이하에 들어가도록 가열용 통전로(15)가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 보다 온도 분포를 작게 하는 관점에서, 섭씨 -0.5도 이상 섭씨 0.5도 이하가 되도록 가열용 통전로(15)가 형성되어 있는 것이 보다 바람직하다.

가열용 통전로(15)는 가늘고 길게 연신된 통전 라인으로서, 전장에 비해 폭이 좁은 도전로이다. 가열용 통전로(15)는, 실장 영역(11)에 있어서, 기판 본체(2) 위를 구석 구석까지 뻗어가도록 형성되어 있다.

구체적으로는, 가열용 통전로(15)는, 도 4와 같이, 실장 영역(11)에 있어서 파도상으로 구불 구불하며, 그 단부가 커넥터 영역(12)으로 연신되어 있다. 가열용 통전로(15)는, 직선상으로 연신된 복수의 직선로(17)와, 원호상으로 꺽인 복수의 곡로(18)로 형성되어 있다.

직선로(17)는 기판 본체(2)의 하면 위를 각각 폭 방향으로 평행하게 늘어서 있고, 곡로(18)는 인접하는 직선로(17, 17)의 단부 사이를 연결하듯이 접속되어 있다. 즉, 곡로(18)는 가열용 통전로(15)의 연신 방향을 변경하는 방향 전환 수단이라고도 할 수 있다.

가열용 통전로(15)는 프린트 배선에 의해 형성된 것이며, 기판 본체(2)에 적층된 박상(箔狀)의 도전층(16)에 의해 형성되어 있다. 구체적으로는, 기판 본체(2) 위에 넓게 형성된 도전층(16)을, 에칭에 의해 상기한 형상으로 패터닝하여 형성되어 있다.

에칭하는 방법은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 주로 웨트 에칭이 사용된다.

도전층(16)으로서는, 도전성을 갖는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 저렴하고 용이하게 에칭할 수 있는 관점에서, 구리박인 것이 바람직하다. 또한, 전기 저항이 비교적 높고 발열 효율이 높은 관점에서는, 철박인 것이 바람직하다.

가열용 통전로(15)는 실장 영역(11)과 커넥터 영역(12)에 걸쳐 형성되어 있으며, 커넥터 영역(12)으로부터 다른 부재와 통전 가능하게 되어 있다.

그리고, 가열용 통전로(15)는 다른 부재로부터 급전됨으로써, 도전층(16)의 내부 저항에 의해 발열하고, 기판 본체(2)를 원하는 온도가 되도록 가열하는 것이 가능하게 되어 있다.

가열용 통전로(15)의 단면적은, 공시체(10)의 측정 온도 등에 의해 적절히 설계된다. 내부 저항에 의한 발열에 의해, 가열할 수 있으면 좋다. 기판 본체(2)를 가열함에 있어서, 적당한 속도로 온도가 상승하는 범위인 것이 바람직하다.

본 실시형태의 가열용 통전로(15)의 폭은, 실장 영역(11)에 있어서, 거의 동일하게 되어 있고, 가열용 통전로(15)의 두께도, 실장 영역(11)에 있어서, 거의 동일하게 되어 있다. 즉, 가열용 통전로(15)는 전장에 걸쳐 거의 동일한 저항값을 구비하고 있다.

절연층(9)은 절연성을 가진 수지층이며, 공지의 솔더 레지스트이다.

공시체(10)는, 예를 들면, 소자나 저항 등의 공지의 공시체이다. 본 실시형태에서는, 공시체(10)는 저항이며, 통전에 의해 자기 발열하는 발열체이다.

계속해서, 공시체(10)를 실장한 평가 기판(1)의 각 부위의 위치 관계에 관해서 설명한다.

기판 본체(2)의 편측 주면(상면) 위에는, 도 3과 같이, 실장 영역(11)에 있어서 복수의 장착부(3)가 배치되어 있다. 각 장착부(3)는 폭 방향(x)(두께 방향에 대해 직교하는 1개의 방향) 및 길이 방향(y)(두께 방향에 대해 직교하고 폭 방향에 대해 직교하는 방향)에 소정의 간격을 두고 늘어서 있다.

각 장착부(3)는, 실장 영역(11)에 있어서, 기판 본체(2) 위를 인접하는 장착부(3) 간의 거리가 등간격이 되도록 균등하게 분포되어 있는 것이 바람직하다.

공시체용 통전로(5)는, 도 3과 같이 실장 영역(11)에 있어서 각 장착부(3)와 접속되어 있고, 커넥터 영역(12)에 있어서 절연층(6)으로부터 노출된 공시체용 노출부(20)(공시체용 급전부)를 가지고 있다. 즉, 이 공시체용 노출부(20)에 다른 부재를 접속함으로써, 공시체용 통전로(5)를 개재하여 각 장착부(3)에 통전하는 것이 가능하게 되어 있다.

가열용 통전로(15)는, 도 4와 같이 커넥터 영역(12)에 있어서 절연층(9)으로부터 노출된 가열용 노출부(21)(히터용 급전부)를 가지고 있다. 가열용 노출부(21)에 다른 부재를 접속함으로써, 가열용 통전로(15)에 통전하는 것이 가능하게 되어 있다. 즉, 가열용 통전로(15)는 한쪽의 가열용 노출부(21A)(21)로부터 실장 영역(11)의 직선로(17) 및 곡로(18)를 경유하여 다른쪽의 가열용 노출부(21B)(21)에 연결되는 1 계통의 도전 경로를 형성하고 있다.

온도 측정 수단(4)은, 도 2와 같이, 절연층(6)의 상측에 있고, 가열용 통전로(15)의 부재 두께 방향의 투영면 위를 피하도록 배치되어 있다.

공시체(10)는 각 장착부(3)에 땜납 등의 도전성 접착제(13)에 의해 접착되어 있고, 평가 기판(1)과 일체화되어 있다. 즉, 공시체(10)는 장착부(3)를 경유하여 공시체용 통전로(5)와 전기적으로 접속되어 있다.

절연층(6)은 기판 본체(2)를 기준으로 하여, 상하 방향(주면에 대해 수직 방향)에 있어서, 공시체용 통전로(5)의 외측을 피복하고 있다. 또한, 절연층(9)은 기판 본체(2)를 기준으로 하여, 가열용 통전로(15)의 외측을 피복하고 있다.

계속해서, 상기한 공시체(10)를 실장한 평가 기판(1)을 사용할 때에 적합한 환경 시험 장치(100)에 관해서 설명한다.

환경 시험 장치(100)는, 도 5, 도 7로부터 알 수 있는 바와 같이, 시험실(101)과, 스테이지(102)와, 진공 펌프(103)(감압 수단)와, 특성 평가 장치(104)와, 도시하지 않는 마이콘을 가지고 있다.

시험실(101)은 복수의 평가 기판(1)이 접속된 마더 기판(105)을 설치하는 설치 공간(110)을 가진 하우징이다.

스테이지(102)는, 도 6과 같이 평가 기판(1)을 접속 가능한 마더 기판(105)과, 외부 전원에 접속된 마더용 급전 슬롯(106)으로 형성되어 있다.

마더 기판(105)은 공지의 마더 보드이며, 도 6과 같이, 평가 기판(1)을 접속하는 1 또는 복수의 평가 기판용 슬롯(107)과, 각 평가 기판용 슬롯(107)에 급전하는 엣지 커넥터(108)를 가지고 있다.

마더 기판(105)은 도시하지 않는 공지의 정류 회로를 실장하고 있다. 마더 기판(105)은 적어도 2 계통의 회로를 가지고 있으며, 평가 기판용 슬롯(107)으로부터 평가 기판(1)으로 직류 전력 및 교류 전력(예를 들면, 상용 전력)을 독립적으로 공급할 수 있다.

평가 기판용 슬롯(107)은 평가 기판(1)을 고정시키는 부위이며, 평가 기판(1)의 커넥터 영역(12)과 걸어 맞추기 가능하게 되어 있다.

또한, 평가 기판용 슬롯(107)은 평가 기판(1)과 걸어 맞춤으로써, 공시체용 노출부(20)에 직류 전력을 공급 가능하게 되어 있고, 가열용 노출부(21)에 교류 전력을 공급 가능하게 되어 있다. 즉, 평가 기판용 슬롯(107)은 공시체 급전 수단인 동시에, 가열 히터 급전 수단이기도 하다.

엣지 커넥터(108)는 마더용 급전 슬롯(106)과 걸어 맞추기 가능하고, 걸어 맞춤으로써, 마더용 급전 슬롯(106)과 전기적으로 접속 가능하게 되어 있다.

진공 펌프(103)는 공지의 진공 펌프이다. 진공 펌프(103)는 시험실(101) 내의 설치 공간(110)을 감압 가능하고, 마이콘 제어에 의해, 소정의 범위의 압력으로 조정 가능하게 되어 있다.

특성 평가 장치(104)는 공시체(10)의 온도 특성을 측정·평가하는 장치이다. 구체적으로는, 도 7에 도시되는 장착부(3)와 공시체(10)의 접속 부위, 즉, 도전성 접착제(13)를 측정점(111)으로 하여 측정·평가하는 것이다.

계속해서, 환경 시험 장치(100)의 각 부재의 위치 관계에 관해서 설명한다.

마더용 급전 슬롯(106)은, 도 5와 같이 시험실(101)의 내부 측면에 복수 설치되어 있다. 마더 기판(105)의 엣지 커넥터(108)는, 마더용 급전 슬롯(106)에 장착되어 있고, 마더 기판(105)은 시험실(101)의 내부 측면에 대해 교차하는 방향을 향하고 있다. 본 실시형태에서는, 마더 기판(105)은 시험실(101)의 내부 측면에 대해 수직 방향을 향하고 있고, 세로 자세(상하로 연신된 자세)로 되어 있다.

평가 기판(1)의 커넥터 영역(12)은 평가 기판용 슬롯(107)에 장착되어 있고, 평가 기판(1)은 마더 기판(105)의 주면에 대해 교차하는 방향을 향하고 있다. 본 실시형태에서는, 평가 기판(1)은 마더 기판(105)의 주면에 대해 수직 방향을 향하고 있고, 세로 자세(수직으로 연신된 자세)로 되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 평가 기판(1)은 시험실(101)의 내부 측면에 대해 대면하도록 장착되어 있다.

예를 들면, 도 5에 도시되는 평가 기판(1A)(1)은, 1장의 마더 기판(105) 위에서 수평 방향으로 인접하는 평가 기판(1B)(1)과 평행하게 되어 있다. 또한, 평가 기판(1A)(1)은 상하 방향으로 인접하는 평가 기판(1D)(1)과 동일 직선 위에 늘어서 있다.

또한, 하나의 평가 기판(1)과, 상기 하나의 평가 기판(1)과 상하 방향으로 인접하는 다른 평가 기판(1)의 관계는, 반드시 동일 직선 위에 늘어서는 관계가 아니어도 좋다.

계속해서, 환경 시험 장치(100)를 사용한 공시체(10)의 평가 방법에 관해서 설명한다.

우선, 복수의 공시체(10)를, 도전성 접착제(13)를 사용하여 각 장착부(3)에 접착하고, 공시체(10)를 평가 기판(1)에 실장한다. 본 실시형태에서는, 복수의 공시체(10)를 각 장착부(3)에 납땜하여 접착하고 있다.

이 때, 1장의 평가 기판(1) 위에 복수의 공시체(10)가 실장된다. 본 실시형태에서는, 도 1에 도시되는 바와 같이, 1장의 평가 기판(1) 위에 4개의 공시체(10)가 실장되어 있다.

그 후, 도 6과 같이 공시체(10)가 실장된 평가 기판(1)의 커넥터 영역(12)을 마더 기판(105)의 평가 기판용 슬롯(107)에 끼워 넣는다.

이 때, 평가 기판(1)은 마더 기판(105)의 주면에 대해 교차한 자세로 되어 있다. 즉, 평가 기판(1)은 평가 기판용 슬롯(107)에 커넥터 영역(12)을 걸어 맞춤으로써, 마더 기판(105)에 대해 캔틸레버상으로 지지되어 있다.

그리고, 시험실(101) 내의 마더용 급전 슬롯(106)에 마더 기판(105)의 엣지 커넥터(108)를 끼워 넣고, 도 7과 같이, 각 장착부(3)와 공시체(10)의 접속 부위에 특성 평가 장치(104)를 접속한다.

그 후, 도 5에 도시되는 시험실(101)을 밀폐 공간으로 하고, 진공 펌프(103)에 의해 시험실(101) 내를 진공 배기하여, 설치 공간(110)이 소정의 압력 이하가 될 때까지 감압한다.

이 때, 설치 공간(110)은 0kPa 이상 50kPa 이하로 감압되어 있다. 경제적이고 또한 진공에 도달하는 시간이 짧은 진공도가 되는 관점에서, 설치 공간(110)은 10kPa 이하로 감압되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는, 방전이 일어나지 않을 정도의 압력이 되는 관점에서, 1.3kPa 이상 10kPa 이하의 범위가 되도록 감압 제어되어 있다.

즉, 설치 공간(110)은 저진공 상태로 되어 있다.

그리고, 설치 공간(110)이 소정의 진공도 이하가 될 때까지 감압되어, 진공도가 안정되면, 가열 히터(8)에 통전하여 기판 본체(2)를 가열한다.

이 때, 절연층(6) 위에 설치된 온도 측정 수단(4)의 측정 온도를 마이콘에 수신하고, 마이콘으로부터 가열 히터(8)로의 전력 출력을 온오프 제어함으로써, 원하는 온도가 되도록 제어하고 있다.

기판 본체(2)의 온도가, 섭씨 50도 이상 섭씨 200도 이하의 범위의 임의의 값이 되도록 제어 가능하고, 본 실시형태에서는, 섭씨 100도 정도가 되도록 제어하고 있다.

또한, 가열 히터(8)로의 전력 출력 제어는 비례 제어라도 좋고, PID 제어라도 좋다.

기판 본체(2)가 가열되어 공시체(10)의 온도가 소정의 온도에 노출된 상태가 되면, 공시체(10)에 통전하고, 특성 평가 장치(104)에 의해, 장착부(3)와 공시체(10)의 접속 부위의 온도를 측정하여, 공시체(10)의 온도 특성을 평가한다.

본 실시형태의 환경 시험 장치(100)에 의하면, 평가시에 있어서, 설치 공간(110) 내를 저진공으로 유지하고 있고, 각 공시체(10)가 진공 단열되어 있다. 즉, 대기압보다도 감압하에서 측정하기 때문에, 공시체(10) 자신의 발열에 의해, 다른 공시체(10)에 온도 영향을 주는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 공시체(10)의 시험 온도가 섭씨 100도 정도로 낮기 때문에, 공시체(10)의 복사열이 다른 공시체(10)에 주는 온도의 영향이 적다.

상기한 실시형태에서는, 공시체(10)를 종횡 바둑판상으로 배열했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니며, 공시체(10)의 배열은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 8과 같이 기판 본체(2) 위에 공시체(10)를 지그재그상으로 배열해도 좋다(제 2 실시형태).

상기한 실시형태에서는, 기판 본체(2)에 일체화된 도전층(16)을 에칭함으로써 가열용 통전로(15)가 형성되어 있었는데, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 별체의 가열 히터를 기판 본체(2)에 장착해도 좋다.

또한, 가열 히터의 장착 방법 및 종류는, 특별히 한정되지 않는다.

예를 들면, 도 9와 같이 접착제 등에 의해 기판 본체(2)에 면 형상의 가열부를 가진 가열 히터(30)나 선상 또는 박상의 가열 히터를 장착해도 좋다(제 3 실시형태). 또한, 도 10과 같이 선상, 판상 또는 박상의 가열 히터(31)를 기판 본체(2)와 판상 부재(32) 사이에 개재함으로써 가열 히터(31)와 기판 본체(2)를 접촉시켜 장착해도 좋다(제 4 실시형태).

또한, 도 11과 같이 2장의 기판 본체(2)에 의해, 선상, 판상 또는 박상의 가열 히터(33)를 사이에 개재한 적층 구조로 해도 좋다(제 5 실시형태). 이 경우, 공시체(10)는 상기 적층 구조의 양면에 장착할 수 있기 때문에, 평가 기판을 설치하는 공간을 작게 할 수 있다.

예를 들면, 선상의 가열 히터의 경우에는, 니크롬선을 사용할 수 있고, 박상 또는 판상의 가열 히터의 경우에는, 철박 또는 철판의 주형을 사용할 수 있다.

또한, 기판 본체(2)에 가열 히터를 장착함에 있어서, 기판 본체(2) 또는 가열 히터의 적어도 한쪽이 융착되어 일체화되어도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 1 계통의 가열용 통전로(15)를 사용하여 기판 본체(2)를 가열했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니며, 복수 계통의 가열용 통전로(15)를 사용하여 기판 본체(2)를 가열해도 좋다. 이 경우, 도 12와 같이 기판 본체(2)의 하면에 복수 계통(도면에서는 2 계통)의 가열용 통전로(15)가 복수열 평행하게 늘어서는 것이 바람직하다(제 6 실시형태).

상기한 실시형태에서는, 실장 영역(11)에 있어서의 기판 본체(2) 위에서의 가열용 통전로(15)의 분포는 일정했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 가열용 통전로(15)의 분포는 일정하지 않아도 좋다.

예를 들면, 공기 중에서 평가 기판(1)을 평가하는 경우, 가열용 통전로(15)는, 존재하는 공기에 의해, 기판 본체(2)의 면 방향의 외측(기판 본체(2)의 둘레측)으로부터 냉각되어 온도가 저하된다. 이러한 경우에 사용할 때에는, 도 13과 같이 가열용 통전로(15)의 외측 부위의 단면적을 작게 하여 발열량을 증가시켜도 좋다(제 7 실시형태).

상기한 실시형태에서는, 가열용 통전로(15)를 기판 본체(2)의 이면을 파선상으로 뻗어가도록 형성했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 기판 본체(2) 전체가 가열되는 형상이면 좋다. 예를 들면, 도 14와 같이 가열용 통전로(15)를 소용돌이상으로 형성해도 좋다(제 8 실시형태).

상기한 실시형태에서는, 시험실(101) 내에 각 평가 기판(1)이 각각 수평 방향으로 평행해지도록 고정시켰지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 시험실(101) 내의 각 평가 기판(1)의 설치 위치 및 자세는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 15에 도시되는 바와 같이 평가 기판(1)을 가로 자세로 고정시켜도 좋다(제 9 실시형태). 이 때, 평가 기판(1A)(1)은 1장의 마더 기판(105) 위에서 수평 방향으로 인접하는 평가 기판(1B)(1)과 동일 직선 위에 늘어서 있다. 또한, 평가 기판(1A)(1)은 상하 방향으로 인접하는 평가 기판(1C)(1)과 평행하게 되어 있다. 또한, 하나의 평가 기판(1)과, 마더 기판(105) 위에서 하나의 평가 기판(1)과 수평 방향으로 인접하는 다른 평가 기판(1)의 관계는, 반드시 동일 직선 위에 늘어서는 관계가 아니어도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 시험실(101) 내에 각 마더 기판(105)이 각각 수평 방향으로 평행해지도록 고정시켰지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 시험실(101) 내의 각 마더 기판(105)의 설치 위치 및 자세는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 16에 도시되는 바와 같이 마더 기판(105)을 가로 자세로 고정시켜도 좋다(제 9 실시형태). 이 때, 마더 기판(105A)(105)은 상하 방향으로 인접하는 마더 기판(105B)(105)과 평행하게 되어 있다.

상기한 실시형태에서는, 도전층(16)으로서 구리박을 사용했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 온도 상승에 따라 내부 저항이 커져 전류 밀도가 저하되는 재질의 것을 사용해도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 설치 공간(110) 내가 1.3kPa 이상 10kPa 이하의 범위가 되도록 감압 제어하고 있었지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니며, 50kPa 이하가 되면 좋다. 예를 들면, 진공 펌프(103)에 의해 상시 감합되어 있어도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 온도 측정 수단(4)은 절연층(6)의 상면에 형성되어 있었지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 기판 본체(2)의 온도를 측정할 수 있으면 된다. 즉, 기판 본체(2)의 어느 장소에 있어도 좋으며, 온도 측정 수단(4)은 절연층(9)의 하면에 설치되어 있어도 좋다. 또한, 온도 측정 수단(4)은 기판 본체(2)에 설치되어 있어도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 에칭에 의해 공시체용 통전로(5) 및 가열용 통전로(15)를 형성했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 인쇄법에 의해 도전성 페이스트를 기판 본체(2)에 도포하고, 공시체용 통전로(5) 및/또는 가열용 통전로(15)를 형성해도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 설치 공간(110)이 소정의 진공도 이하로 감압되어 진공도가 안정된 후에, 가열 히터(8)에 통전하여 기판 본체(2)를 가열했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 감압과 동시에 가열 히터(8)에 통전하여 기판 본체(2)를 가열해도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 평가 기판(1)에 실장된 공시체(10)의 평가를 환경 시험 장치(100) 내에서 행했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 감압하지 않고, 대기 중에서 행해도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 환경 시험 장치(100)의 시험실(101) 내에 복수의 평가 기판(1)을 설치하고, 공시체(10)의 평가를 행했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 1장의 평가 기판(1)만으로 평가를 행해도 좋다.

상기한 실시형태에서는, 환경 시험 장치(100)의 시험실(101) 내에 평가 기판(1)을 실장한 마더 기판(105)을 복수 설치하고, 공시체(10)의 평가를 행했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니며, 1장의 마더 기판(105)만으로 평가를 행해도 좋다.

1 평가 기판
2 기판 본체
3 장착부
5 공시체용 통전로(공시체 통전로)
7 도전층
8 가열 히터
10 공시체
15 가열용 통전로(통전로)
16 도전층
18 곡로
20 공시체용 노출부(공시체용 급전부)
21 가열용 노출부(히터용 급전부)
100 환경 시험 장치
103 진공 펌프(감압 수단)
107 평가 기판용 슬롯
110 설치 공간

Claims (10)

1. 공시체에 통전하면서 공시체를 원하는 온도에 노출시켜 공시체를 평가하기 위한 평가 기판에 있어서,
   면 형상으로 넓은 기판 본체와, 상기 공시체를 장착 가능한 장착부와, 상기 기판 본체를 가열하는 가열 히터를 가지고,
   상기 기판 본체의 한쪽 주면측에, 상기 장착부가 위치하고 있고,
   상기 기판 본체의 다른쪽 주면측에, 상기 가열 히터가 면 형상으로 분포되어 일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 평가 기판.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 가열 히터는, 도전층에 의해 구성된 전장에 비해 폭이 좁은 통전로이며,
   상기 통전로에 통전됨으로써 상기 통전로가 발열하는 것을 특징으로 하는 평가 기판.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 가열 히터는, 전장에 비해 폭이 좁은 1 계통 또는 복수 계통의 통전로이며,
   상기 통전로는 복수의 곡로를 가지며,
   상기 통전로에 통전됨으로써 상기 통전로가 발열하는 것을 특징으로 하는 평가 기판.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 가열 히터는, 상기 기판 본체에 넓게 설치된 도전층을 에칭하여 형성된 전장에 비해 폭이 좁은 도전로인 것을 특징으로 하는 평가 기판.
5. 제 1 항에 있어서, 평가 기판은 프린트 기판이며,
   상기 가열 히터는, 프린트 배선으로 형성된 전장에 비해 폭이 좁은 통전 라인인 것을 특징으로 하는 평가 기판.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 본체의 단부에 히터용 급전부가 설치되어 있고,
   상기 히터용 급전부는 상기 가열 히터에 접속되어 있고,
   상기 히터용 급전부는 다른 부재에 걸어 맞추기 가능하고,
   다른 부재와 걸어 맞춰짐으로써 상기 히터용 급전부에 통전되는 것을 특징으로 하는 평가 기판.
7. 제 1 항 내지 제 5 항 중의 어느 한 항에 기재된 평가 기판을 설치하는 설치 공간과, 상기 설치 공간을 감압하는 감압 수단과, 상기 가열 히터에 급전하는 가열 히터 급전 수단을 가지고,
   감압하에서 공시체에 통전하면서 공시체를 원하는 온도에 노출시키는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 환경 시험 장치.
8. 제 6 항에 기재된 평가 기판을 설치하는 설치 공간과, 상기 설치 공간을 감압하는 감압 수단과, 상기 가열 히터에 급전하는 가열 히터 급전 수단을 가지고,
   감압하에서 공시체에 통전하면서 공시체를 원하는 온도에 노출시키는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 환경 시험 장치.
9. 제 1 항 내지 제 5 항 중의 어느 한 항에 기재된 평가 기판을 사용한 공시체의 평가 방법으로서,
   감압하에서 공시체에 통전하면서, 복수의 공시체를 원하는 온도에 노출시키고, 복수의 공시체의 온도를 평가하는 것을 특징으로 하는 공시체의 평가 방법.
10. 제 6 항에 기재된 평가 기판을 사용한 공시체의 평가 방법으로서,
    감압하에서 공시체에 통전하면서, 복수의 공시체를 원하는 온도에 노출시키고, 복수의 공시체의 온도를 평가하는 것을 특징으로 하는 공시체의 평가 방법.
    

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