KR20140101201A

KR20140101201A - 반도체 공정 파이프관리 시스템과 파이프 관리방법

Info

Publication number: KR20140101201A
Application number: KR1020130014592A
Authority: KR
Inventors: 구승엽
Original assignee: 주식회사 차후
Priority date: 2013-02-08
Filing date: 2013-02-08
Publication date: 2014-08-19
Also published as: KR101446324B1

Abstract

본 발명은 반도체 공정에 영향을 미치지 않으면서 간단하게 반도체 공정에 설치된 파이프의 유지보수공사 및 그 이력관리가 스마트 단말수단을 통해 이루어질 수 있도록 하는 반도체 공정 파이프 관리시스템과 파이프 관리방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정라인이 설비된 공장의 공정라인 설계 시의 도면을 이용하여 담당자에 의해 반도체 공정의 파이프관리가 이루어지고 있다. 그러나 공장 착공 시 시설물들이 설계도와 정확하게 설비가 되었는 지 확인하기 어렵고 노후화된 설비 교체 시 변경 이력들이 관리가 되지 않으므로 인해 실제 보유한 설계 도면과 일치 하지 않는 경우 다수 발생하여 사고발생위험이 매우 높다.
본 발명은 반도체 공정 라인의 파이프에 대하여 VR영상 및 파이프 설비정보를 데이터베이스화하여 등록하고, 이의 정보를 기반으로 하여 반도체 공정 관리자의 스마트단말수단을 통하여 VR영상확인 및 각 파이프의 설비정보를 확인할 수 있음은 물론, 관리자의 스마트단말수단을 통해 반도체공정 라인의 유지보수 시 발생된 정보를 설비이력정보로 등록 관리할 수 있도록 함으로써, 긴급한 상황에서도 반도체 공정에 영향을 주지 않고 신속하게 대처할 수 있도록 한 반도체 공정 파이프관리 시스템을 제공하고자 한다.

Description

반도체 공정 파이프관리 시스템과 파이프 관리방법{MANAGEMENT SYSTEM FOR PIPE OF THE PROCESS OF SEMICONDUCTOR AND METHOD THEREOF}

본 발명은 반도체 공정에 영향을 미치지 않으면서 간단하게 반도체 공정에 설치된 파이프의 유지보수공사 및 그 이력관리가 스마트 단말수단을 통해 이루어질 수 있도록 하는 반도체 공정 파이프 관리시스템과 파이프 관리방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정은 크게 웨이퍼 상에 패턴(Pattern)을 형성시키는 FAB(Fabrication)공정과 상기 웨이퍼를 반도체 칩(Chip)으로 절단하여 조립하는어셈블리(Assembly)공정으로 이루어지진다.

이와 같은 반도체 제조 전 공정에서 다양한 종류의 처리 공정을 위하여 다양한 형태의 파이프가 설치된다. 특히 상기 FAB공정에서는 화학처리 공정을 위해 복잡하고 다양한 형태로 이루어진 많은 수의 파이프들이 공장 내부에 설비되어 있다.

상기 FAB공정에서는 웨이퍼의 세척 및 에칭, 건조, 다양한 수지의 용제로 이용될 많은 종류의 가스를 동시에 사용하게 된다.

이와 같은 공정에서 사용되는 가스들은 반도체 공정에 있어서 동시에 각각 분리되어 사용되는데, 이러한 가스들은 무색, 무취의 특성을 갖으며, 인체에 노출될 경우 치명적인 손상을 입히는 가스가 다수 포함되어 이와 같은 가스가 공기 중에 노출될 경우 작업자는 인체에 치명적인 손상을 입게 됨은 물론 가스가 누설되면 전체 반도체 공정이 정지됨으로써, 많은 경제적인 손실을 입게 된다.

따라서 반도체 제조공정에서 상기의 가스를 취급하는 파이프들의 관리는 매우 중요하다할 수 있다.

반도체 공정 라인은 많은 각 독립된 각각의 장치들이 생산 라인 상에서 소정의 거리로 이격 설치되고, 그리고 건물의 층과 층을 사이에 두고 각 층 단위에서도 룸과 룸을 사이에 두고 상호 연결되어 있으며, 상기와 같은 많은 장치들은 파이프에 의해 공급 가능하도록 상호 연결되어 있어서, 가스 누출 및 유지보수가 필요한 경우 파이프의 위치를 신속하게 찾아 조치를 취하기 어려울뿐더러 정기적으로도 파이프의 유지보수 및 유지관리가 어렵다.

일반적으로 반도체 공정라인이 설비된 공장의 공정라인 설계 시의 도면을 이용하여 담당자에 의해 반도체 공정의 파이프관리가 이루어지고 있다.

그러나 공장 착공 시 시설물들이 설계도와 정확하게 설비가 되었는 지 확인하기 어렵고 노후화된 설비 교체 시 변경 이력들이 관리가 되지 않으므로 인해 실제 보유한 설계 도면과 일치 하지 않는 경우 다수 발생하여 사고발생위험이 매우 높다.

또한 유지보수 업체 변경 시 중간에 진행되었던 이력들이 유실될 가능성이 높으며 사고 발생 시 문제 지점을 찾는 데 어려움이 많아서 유지보수 및 사고 발생 시 대응이 어려우며, 시설 데이터 들이 체계적으로 관리가 되어 있지 않을 경우 유실, 보안 문제들이 발생할 수 있다. 즉 시설 변경 및 현장에서 직접 관리할 수 있는 방안이 없다.

이와 같이 도면의 정확도가 떨어져 실용성이 떨어지고, 또한 그 신뢰성이 담당자의 경험에 의해 좌우되는 등 문제점이 많으며, 파이프의 이력관리가 이루어지지 않기 때문에 보수 공사가 이루어질 때마다 사용되는(납품되는) 자재 및 그 자재의 길이에 대한 오차가 심하게 발생하여 불필요한 비용의 소비는 물론 보수시간이 많이 소모됨은 물론 무엇보다 안전을 담보할 수 없다.

본 발명은 반도체 공정 라인의 파이프에 대하여 VR영상 및 파이프 설비정보를 데이터베이스화하여 등록하고, 이의 정보를 기반으로 하여 반도체 공정 관리자의 스마트단말수단을 통하여 VR영상확인 및 각 파이프의 설비정보를 확인할 수 있음은 물론, 관리자의 스마트단말수단을 통해 반도체공정 라인의 유지보수 시 발생된 정보를 설비이력정보로 등록 관리할 수 있도록 함으로써, 긴급한 상황에서도 반도체 공정에 영향을 주지 않고 신속하게 대처할 수 있도록 한 반도체 공정 파이프관리 시스템을 제공하고자 한 것이다.

또한 반도체 공정 라인의 파이프에 대하여 VR영상을 구축함에 있어서, 구역을 설정하고 각 구역별로 3D레이저스캐너를 이용하여 각 파이프라인의 3D스캔데이터를 구하며, 3D스캔데이터를 얻을 수 없는 위치에서는 3D파노라마 카메라를 이용하여 3D영상 데이터를 구하도록 함으로써, VR영상 제작을 위한 데이터를 구축함에 있어서 반도체공정에 영향을 주지 않고 VR영상제작이 용이하게 이루어질 수 있도록 한 반도체 공정 파이프관리 시스템을 제공하고자 한 것이다.

본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템은, 등록되는 파이프 정보를 가공하여 스마트단말수단을 통하여 제공될 VR(Virtual Reality) 영상정보 및 파이프의 설비정보를 제작 관리하는 VR영상제작서버와, 접속된 스마트단말수단의 요청에 따라서 상기 VR영상제작서버로 부터 제작된 파이프의 VR영상정보 및 파이프의 설비정보를 제공 관리하며 스마트단말수단으로 부터 파이프의 유지보수정보를 파이프 정보의 설비이력정보로 등록 및 제공 관리하는 파이프정보서버와, 파이프의 VR영상정보 제작을 위한 파이프 데이터 및 제작된 VR영상정보, 등록된 파이프 설비정보, 설계도면정보를 포함하는 VR제작정보가 저장 관리되는 VR영상관리데이터베이스와, 접속승인정보, 설비이력정보, 조회관리정보를 포함하는 서비스관리정보가 저장 관리되는 VR서비스데이터베이스와, 상기 파이프정보서버에 접속하여 파이프정보서버에서 제공하는 파이프의 정보검색 및 VR영상정보를 확인하기 위한 파이프정보 어플리케이션 프로그램이 설치된 스마트단말수단과, 파이프정보서버의 접속승인에 따라서 VR영상제작서버에서 제공하는 프로세스에 따라서 VR영상 제작 및 파이프 설비정보를 등록하기 위한 VR제작프로그램이 설치된 VR제작자단말수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명 반도체 공정 파이프관리 방법은,

반도체 공정 라인의 VR영상제작 및 파이프 설비정보를 데이터베이스화하는 VR영상제작과정, 접속하여 VR영상 또는 파이프 정보요청에 따라서 등록된 사용자정보의 사용자등급을 확인하여 요청된 VR영상 또는 파이프 정보에 접근 가능한 사용자인지를 확인하고 접속 가능한 사용자인 경우 VR영상 또는 파이프 정보를 제공하는 파이프정보제공과정, 유지보수 요청에 따른 설비내역정보 등록 요청이 있는 경우 사용자정보의 사용자등급을 확인하고 등록 가능한 사용자인 경우 설비내역정보 등록수단을 제공하고 등록된 유지보수정보를 설비내역정보 등록 관리하는 파이프정보관리과정, 상기 파이프정보제공과정, 파이프정보관리과정의 서비스 내역 및 그 이용한 사용자정보를 조회관리정보로 등록 관리하는 조회관리과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명에서는 반도체 제조공정 라인의 파이프에 대하여 3D레이저 스캔 데이터와 3D레이저 스캔이 이루어질 수 없는 구역에서는 3D 영상 촬영 데이터를 수집하여 VR 영상을 제작하도록 함을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따르면, 관리자가 스마트단말수단을 통해 각 공정의 VR영상을 이용하여 파이프의 각 관계를 확인할 수 있고, 또한 각 파이프의 설비정보 및 설비이력정보를 확인할 수 있어서, 손쉽게 각 파이프의 관리가 용이하며, 사고 발생 시 반도체 공정에 전혀 영향을 주지 않으면서 신속하게 대처가 가능하다.

특히 설비이력정보를 지속적으로 관리함으로서, 최초 착공때의 설비정보와 달라지더라도 손쉽게 보수공사가 가능하며, 이와 같이 정확한 설비관리가 가능하다.

도 1은 본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 블록도.
도 2는 본 발명에 있어서, VR영상제작서버와 파이프정보서버의 상세구성을 나타낸 블록도.
도 3은 본 발명에 있어서, VR영상제작과정에 있어서, 반도체공정 라인의 3D데이터를 수집하는 구성을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 있어서, VR영상제작을 위한 데이터의 수집으로 부터 상기 파이프정보서버에서 이루어지는 VR영상제작 및 파이프 설비정보 등록 과정을 나타낸 플로우챠트.
도 5내지 도 7은 본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템에 있어서, 파이프 관리방법을 나타낸 플로우챠트로서, 도 5는 VR제작과정을 나타낸 플로우챠트, 도 6은 파이프 정보를 스마트 단말수단에 제공하는 파이프정보 서비스 과정을 나타낸 플로우챠트, 도 7은 유지보수 시 설비이력정보를 관리하는 과정을 나타낸 플로우챠트.

본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템을 첨부된 도면 도 1 내지 7에 도시된 실시 예를 참조하여 그 구성 및 작용을 설명하면 다음과 같다.

등록되는 파이프 정보를 가공하여 스마트단말수단(500)을 통하여 제공될 VR(Virtual Reality) 영상정보 및 파이프의 설비정보를 제작 관리하는 VR영상제작서버(100)와, 접속된 스마트단말수단(500)의 요청에 따라서 상기 VR영상제작서버(100)로 부터 제작된 파이프의 VR영상정보 및 파이프의 설비정보를 제공 관리하며 스마트단말수단(500)으로 부터 파이프의 유지보수정보를 파이프 정보의 설비이력정보로 등록 및 제공 관리하는 파이프정보서버(200)와, 파이프의 VR영상정보 제작을 위한 파이프 데이터 및 제작된 VR영상정보, 등록된 파이프 설비정보, 설계도면정보를 포함하는 VR제작정보가 저장 관리되는 VR영상관리데이터베이스(300)와, 접속승인정보, 설비이력정보, 조회관리정보를 포함하는 서비스관리정보가 저장 관리되는 VR서비스데이터베이스(400)와, 상기 파이프정보서버(200)에 접속하여 파이프정보서버(200)에서 제공하는 파이프의 정보검색 및 VR영상정보를 확인하기 위한 프로그램이 설치된 스마트단말수단(500)과, 파이프정보서버(200)의 접속승인에 따라서 VR영상제작서버(100)에서 제공하는 프로세스에 따라서 VR영상 제작 및 파이프 설비정보를 등록하기 위한 VR제작프로그램이 설치된 VR제작자단말수단(600)을 포함하여 구성된다.

상기 VR영상제작서버(100)는 VR영상변환을 위하여 요구되는 공장 내 파이프 데이터 항목을 VR제작자단말수단(60)에 제공하고 각 항목에 따라 등록되는 파이프 데이터를 등록 관리하기 위한 데이터관리수단(110), 데이터관리수단(110)을 통해 등록된 데이터를 기반으로 QR코드에 담길 정보를 생성하고 QR코드 인쇄출력정보를 출력하는 QR코드 생성수단(120), 상기 데이터관리수단(110)을 통해 등록된 파이프의 등록 데이터에서 VR데이터로 변환하여 VR영상관리데이터베이스(300)에 등록하는 데이터변환수단(130)과, VR제작자단말수단(600)을 통하여 VR영상제작 및 파이프 설비정보 등록 요청에 대하여 상기 수단들을 제어하여 VR영상제작을 위한 데이터 등록 및 파이프설비 정보 등록과정 및 등록된 데이터를 변환하여 VR영상을 제작하는 과정을 제어하는 VR제작제어수단(140)을 포함하여 구성된다.

상기 파이프정보서버(200)는 접속승인정보에 따라서 접속된 스마트단말수단(500) 및 VR제작자단말수단(600)의 접속 승인 및 파이프 정보의 접근을 제어 관리하는 접속승인수단(210)과, 상기 스마트단말수단(500)의 요청에 따라서 등록된 VR영상을 스마트 단말수단(500)을 통해 제공하는 VR영상서비스수단(220)과, 상기 스마트단말수단(500)의 요청에 따라 파이프 설비정보 및 설비이력정보를 제공하는 파이프정보제공수단(230)과, 접근 승인된 사용자의 요청에 따라서 유지보수정보를 등록할 수 있도록 수단을 제공하고 등록되는 유지보수정보를 파이프의 설비이력정보로 등록 관리하는 파이프관리수단(240)과, 접속되어 서비스를 제공받은 사용자정보와 서비스 내역정보를 등록 관리하는 서비스내역관리수단(250)과, 접속 승인을 위한 관리자 및 직원의 사용자 승인정보 등록 관리 및 등록된 각 파이프 정보의 접근 승인정보를 관리자가 설정 등록 관리하기 위한 수단을 제공하는 보안관리수단(260)과, 접속 요청된 사용자에 대하여 접속승인하고 접속 승인된 사용자의 요청에 따라서 파이프정보제공 및 VR영상서비스를 제공하기 위한 상기 수단들을 제어 관리하는 서비스제어수단(270)을 포함하여 구성된다.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템은 반도체 공정 내의 파이프에 대하여 VR서비스 제공을 위한 데이터를 수집하여 파이프 정보 및 VR영상정보를 구축하고, 사용자(직원)의 스마트단말수단을 통하여 파이프 정보 및 VR영상정보를 제공할 수 있도록 함에 그 기술적 특징으로 한다.

파이프 설비정보 및 VR영상정보를 구축하기 위한 VR영상제작서버(100), 상기 VR영상제작서버(100)를 통해 구축된 파이프 설비정보, VR영상정보를 서비스하며 또한 유지보수에 의해 발생되는 데이터를 설비이력정보로 관리하는 파이프정보서버(200)를 포함하여 구성되며, 상기 VR영상제작서버(100), 파이프정보서버(200)에 의해 발생된 데이터를 등록 관리하는 VR영상관리 데이터베이스(300), VR서비스 데이터베이스(400)를 포함한다.

상기 사용자의 단말수단은 설명의 이해를 돕기 위하여 테블릿피씨, 스마트폰과 같은 스마트 단말수단(500)과, 노트북과 같은 휴대용 또는 개인용 컴퓨터의 VR제작단말수단(600)으로 구분하여 설명하기로 한다.

상기 스마트단말수단(500)은 파이프정보의 설비정보의 조회 및 VR영상을 확인(view)하기 위한 프로세스수단을 제공하는 파이프정보 어플리케이션 프로그램(app)이 설치된다. 또한 상기 파이프정보 어플리케이션 프로그램은 파이프의 유지보수 시의 정보를 등록하기 위한 설비이력관리 프로세스수단을 더 포함한다.

그리고 상기 파이프정보 어플리케이션 프로그램에서는 QR코드를 스캔하여 QR코드를 확인하게 되면, QR코드에 담긴 정보를 표시하여 제공함은 물론, 해당하는 파이프에 대하여 VR영상 및 파이프정보를 파이프정보서버(200)로 요청하도록 하는 자동 파이프정보 제공 모드를 옵션으로 제공하고, 이를 사용자가 설정할 수 있도록 하는 프로세스 수단을 더 포함할 수 있다.

상기 VR제작단말수단(600)은 상기 스마트단말수단(500)으로 제공될 VR영상을 제작하기 위하여 상기 VR영상제작서버(100)로 부터 제공되는 프로세스수단을 제공하여 사용자가 필요한 데이터를 등록하여 VR영상을 제작할 수 있도록 하는 VR제작프로그램이 설치될 수 있다.

상기 VR제작프로그램은 상기 VR영상제작서버(100)로 부터 제공되는 프로세스수단을 제공하여 사용자가 파이프 설비정보를 등록할 수 있도록 하는 파이프설비정보등록프로세스를 더 포함할 수 있다.

상기 VR영상제작서버(100)는 스마트단말수단(500)을 통하여 반도체 공정라인의 파이프정보를 VR영상으로 제공하기 위한 VR영상을 제작하기 위한 수단을 포함한. 또한 VR영상제작서버(100)는 반도체 공정라인에 설치된 파이프의 설비정보를 등록하기 위한 수단을 포함한다.

상기 데이터관리수단(110)은 VR영상 제작 및 파이프 설비정보를 구축하기 위한 프로세스를 제공하는 수단으로, 사용자의 VR영상제작 또는 파이프 설비정보 등록 요청에 따라서 VR영상제작 및 파이프 설비정보 등록을 위한 데이터 입력에 필요한 항목제공 및 등록수단을 제공 한다.

VR영상제작을 위해 필요한 3D데이터를 얻기 위하여 공지된 (a). 레이저를 이용하는 방법, (b). 레이더를 이용하는 방법, (c). RF 신호를 이용하는 방법, (d). 사진 데이터를 이용하는 방법 등이 적용될 수 있다. 본 발명에서는 상기의 3D레이저를 이용하는 방법을 기반으로 하는 방법을 실시 예로 하고자 한다.

상기 데이터관리수단(110)은 반도체 공장 내 라인을 데이터관리에 필요한 구역으로 구분하여 설정하기 위한 구역관리부(111)와, 각 구역별로 3D레이저 스캐너로 스캔된 데이터를 등록 관리하는 3D스캔데이터관리부(112)와, 각 구역별 설정된 파이프에 대한 설비정보를 등록 관리하는 파이프설비정보관리부(113)를 포함한다.

상기 구역관리부(111)는 사용자가 반도체 공정 전체에 대하여 각 구역을 ??정할 수 있도록 수단을 제공한다. 상기 구역관리부(111)는 전체 반도체공정 라인 도면정보를 제공하고, 사용자가 VR영상제작단위 및 파이프 설비정보 등록 단위를 고려하여 각 구역을 구분할 수 있도록 한다.

상기 3D스캔데이터관리부(112)는 각 구역별로 3D레이저 스캐너로 스캔된 데이터를 등록하기 위한 수단을 제공하고, VR제작자단말수단(600)을 통해 등록되는 3D스캔데이터를 관리한다.

상기 파이프설비정보관리부(113)는 각 구역별 파이프에 대한 설비정보를 사용자가 등록할 수 있도록 입력정보항목 및 등록수단을 제공하고, VR제작자단말수단(600)을 통해 등록된 파이프 설비정보를 관리한다.

상기 VR영상제작서버(100)의 QR코드생성수단(120)은 상기 파이프설비정보관리부(113)에서 등록된 파이프 설비정보를 기반으로 하여 파이프에 부착될 코드정보를 생성하기 위한 수단으로, QR코드작성프로세스와, 작성된 QR코드를 인쇄하기 위한 QR코드인쇄출력정보생성수단을 포함한다.

상기 QR코드는 파이프의 일련번호와 파이프 설비정보를 포함한다.

상기 데이터변환수단(130)은 상기 3D스캔데이터관리부(112)로 부터 등록된 3D스캔데이터를 VR데이터로 변환하는 프로세스를 제공하는 수단이다.

상기 데이터 변환수단(130)은 VR영상의 각 파이프 개체정보로 파이프 일련번호정보와 링크정보를 포함하도록 프로세스를 제공한다. 이는 파이프정보어플리케이션 프로그램에서 VR영상 내의 파이프 개체를 선택할 경우 파이프의 선택정보로 파이프정보서버(200)로 제공하여 파이프정보를 요청하도록 하기 위한 것이다.

여기서 상기 데이터관리수단(110)은 사진촬영데이터관리부(114)를 더 포함할 수 있다. 상기 사진촬영데이터관리부(114)는 3D레이저스캔이 불가능한 공간에 대하여 3D파노라마카메라를 통해 촬영된 영상데이터를 등록하기 위한 수단을 제공하고 VR제작자단말수단(600)을 통해 등록되는 3D 촬영영상 데이터를 관리한다.

이와 같은 구성에 대하여 상기 데이터변환수단(130)은 3D 촬영영상 데이터를 VR데이터로 변환하는 프로세스를 더 포함한다.

상기 VR제작제어수단(140)은 VR영상제작 및 파이프설비 정보를 등록관리하기 위하여 상기 수단들을 제어하는 프로세스를 제공한다.

상기 파이프정보서버(200)는 VR영상제작서버(100)를 통해 등록된 반도체 공정 라인의 파이프 VR영상 및 파이프의 설비정보를 제공하며, 또한 스마트단말수단(500)을 통해 설비이력정보를 등록 및 제공관리 하는 서버 수단이다.

상기 접속승인수단(210)은 접속되는 VR영상제작서버(100) 및 파이프정보서버(200)의 접속 승인 및 파이프 정보의 접근을 제어 관리하는 수단으로, 접속승인정보에 따라서 접속된 스마트단말수단(500) 및 VR제작자단말수단(600)의 접속 승인 및 설정된 사용자 등급정보에 따라서 파이프 정보의 접근을 제어 관리한다.

상기 VR영상서비스수단(220)은 접속 승인된 스마트단말수단(500)의 요청에 따라서 등록된 VR영상을 스마트 단말수단(500)에 설치된 파이프정보 어플리케이션 프로그램을 통해 제공하기 위한 수단이다.

상기 파이프정보제공수단(230)은 접속 승인된 스마트단말수단(500)의 요청에 따라 파이프 설비정보 및 설비이력정보를 제공하는 수단이다.

상기 파이프관리수단(240)은 접근 승인된 사용자의 요청에 따라서 유지보수정보를 등록할 수 있도록 항목을 제공하고 그 항목에 따라서 등록된 유지보수정보를 파이프의 설비이력정보로 등록 관리하는 수단이다.

서비스내역관리수단(250)은 서비스를 제공받은 사용자정보와 서비스 제공받은 내역인 서비스 내역정보를 등록 관리하는 수단으로, 사용자정보와 서비스 내역정보는 향후 반도체 공정라인에 대한 보안정보로 이용하기 위한 것이다.

상기 보안관리수단(260)은 접속 승인 및 정보에 대한 접근 승인정보를 등록관리하기 위한 수단으로, 정해진 보안관리자에 의해 관리될 수 있도록 설정되며, 접속 승인을 위한 관리자 및 직원의 사용자 승인정보 등록 관리 및 등록된 각 파이프 정보의 접근 승인정보를 등록 관리할 수 있도록 관리수단을 제공한다.

상기 서비스제어수단(270)은 파이프의 파이프정보제공 및 VR영상서비스를 제공하기 위하여, 상기 수단들을 제어 관리하는 프로세스를 제공한다.

상기 VR영상관리데이터베이스(300)는 상기 VR영상제작서버(100)를 통해 등록된 데이터 및 제작된 정보가 등록 관리되는 수단으로, 구역정보, 3D스캔데이터, 3D영상정보, 파이프설비정보, 설계도면정보를 포함한다.

상기 구역정보는 상기 구역관리부(111)를 통하여 사용자가 구분한 구역정보이다.

상기 3D스캔데이터는 3D스캔데이터관리부(112)를 통해 등록된 3D레이저에 의해 스캔된 데이터이다.

상기 3D영상정보는 사진촬영데이터관리부(114)를 통해 등록된 3D파노라마 카메라로 부터 찰영된 데이터이다.

상기 파이프 설비정보는 사용자가 등록한 정보로서 파이프의 일련번호, 파이프의 종류, 사용용도, 파이프방향 정보를 포함한다.

상기 파이프의 일련번호는 파이프를 식별하기 위한 정보로서, 구역별 또는 위치별로 사용자가 지정하는 정보이다.

상기 설계도면정보는 반도체 공정 라인의 설계도면을 스캔한 설계도면 스캔정보이다.

상기 VR서비스데이터베이스(400)는 파이프정보서버(200)에 의해 등록 관리되는 정보가 저장 관리되는 수단으로, 접속승인정보, 설비이력정보, 조회관리정보가 저장 관리 된다.

상기 접속승인정보는 접속 가능한 사용자정보이며, 또한 각 구역별 파이프에 대하여 사용자 등급에 따라서 접근 가능함을 설정한 정보접근등급정보를 포함한다.

상기 조회관리정보는 상기 서비스내역관리수단(250)에 의해 생성된 정보로서, 서비스를 이용한 사용자정보와 서비스 내역정보(service history)를 포함한다.

상기 설비이력정보는 유지보수 시에 발생된 파이프에 대한 정보로, 유지보수내역정보를 포함한다.

이와 같은 구성을 특징으로 하는 본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템의 동작과정을 설명하면 다음과 같다.

본 발명 시스템은 반도체 공정 라인에 대하여 관리자의 스마트단말수단(500)을 통하여 VR영상으로 제공하여 관리자가 스마트단말수단(300)을 통해 3D VR영상으로 파이프를 확인할 수 있음은 물론 각 VR영상 내의 파이프 정보를 확인하거나, 파이프를 검색하여 VR영상을 확인할 수 있도록 한다.

이와 같이 VR영상 서비스 및 파이프 정보의 확인을 위해서는 반도체 공정라인에 대한 VR영상 및 파이프정보를 데이터베이스화 하여야 한다.

먼저, 반도체 공정 라인의 VR영상 및 파이프정보를 VR영상관리데이터베이스(300)에 구축하게 되는 데, 이의 과정을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.

현장 실사를 통해 반도체 공정라인을 확인한 후, 3D레이저스캐너를 설치하고 반도체 공정라인을 레이저 스캔하여 스캔데이터를 구한다.

이때 3D레이저스캐너에 의해 스캔데이터를 구할 수 없는 구역에서는 3D파노라마카메라를 이용하여 3D영상을 촬영한다.

도 3은 반도체 공정 라인의 3D데이터를 수집하기 위한 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.

모든 구역 내의 3D레이저 스캔데이터 및 3D촬영영상을 얻은 후에 VR제작자단말수단(600)을 통하여 VR영상제작서버(100)에 접속하여 상기 작업하여 얻은 데이터를 등록하는 바, VR제작자단말수단(600)을 통하여 VR영상제작서버(100)에 접속하여 VR영상제작을 요청하면, VR영상제작서버(100)의 데이터관리수단(110)에서는 VR영상제작에 필요한 데이터등록 프로세스를 수행하여 사용자가 3D스캔데이터 및 3D촬영영상을 등록하도록 한다.

먼저 구역관리부(111)에서는 반도체 공정라인을 각 구분하여 VR영상을 제작을 할 수 있도록 구역을 나눌 수 있도록 구역설정수단을 제공하는 데, VR영상제작서버(100)에 등록된 반도체 공정라인의 설계도면을 제공하고 이의 설계도면으로 부터 사용자가 구역을 구분하여 설정할 수 있도록 한다.

이후 각 구역별로 3D스캔데이터 및 3D촬영영상을 등록하도록 요청하고 사용자가 등록한 데이터를 VR영상관리데이터베이스(300)에 등록한다.

이와 같이 데이터를 모두 등록하고, VR제작자단말수단(600)으로 부터 데이터등록완료이 확인되면, VR제작제어수단(140)에서는 데이터변환수단(130)을 통해 VR영상관리데이터베이스(300)에 등록된 3D스캔데이터, 3D영상데이터를 VR영상으로 서비스가능한 VR데이터로 변환하여 VR영상관리데이터베이스(300)에 등록한다.

또한 VR제작제어수단(140)에서는 데이터관리수단(110)의 파이프설비정보관리부(113)를 통해 사용자에게 파이프 설비정보를 등록하도록 프로세스를 제공한다. 사용자는 파이프설비정보관리부(113)에서 제공하는 프로세스에 따라서 파이프의 설비정보를 등록한다.

상기 파이프의 설비정보는 파이프의 일련번호 및 파이프의 종류, 사용용도, 파이프의 방향정보를 포함한다.

파이프설비정보관리부(113)에서는 VR영상관리데이터베이스(300)에 등록된 설계도면과, 각 구역별 VR영상정보를 제공하여 사용자가 파이프를 선택하여 파이프의 정보를 등록할 수 있도록 한다.

한편 VR제작제어수단(140)에서는 사용자로 부터 파이프정보의 등록이 완료되면 QR코드생성수단(120)을 통하여 각 파이프에 시공될 QR코드를 생성하기 프로세스를 제공한다.

상기 QR보드생성수단(120)에서는 등록된 각 파이프의 일련번호 순서대로 QR코드를 생성하고 인쇄 출력할 프린팅데이터를 생성한다.

상기 QR정보에는 파이프의 일련번호와 설비정보가 포함된다.

VR제작제어수단(140)에서는 상기와 같이 QR보드생성수단(120)에서 생성된 QR프린팅데이터에 따라서 연결된 프린터를 통하여 QR코드를 인쇄 출력한다.

상기와 같인 프린터를 통하여 간단히 접착가능한 인쇄지 또는 일반 용지에 출력할 수 있으며, 상기와 같은 프린팅데이터를 스틸이나 수지류에 제작업체에 제공하여 QR코드를 별도로 제작할 수 있다.

상기와 같이 제작된 QR코드를 사용자는 해당 파이프에 시공한다.

도 4는 상기에서와 같이, VR영상제작을 위한 데이터의 수집으로 부터 상기 파이프정보서버(200)에서 이루어지는 VR영상제작 및 파이프 설비정보 등록 과정을 나타낸 플로우챠트이다.

한편, 파이프정보서버(200)에서는 상기와 같이 VR영상관리데이터베이스(300)에 구축된 VR영상정보 및 파이프 정보를 기반으로 관리자의 스마트단말수단(500)으로 VR영상서비스 및 파이프정보를 제공한다.

관리자는 스마트단말수단(500)에 설치된 파이프정보어플리케이션 프로그램을 통해 각 구역별 VR영상 및 파이프 정보를 검색하여 확인할 수 있는 바, 파이프정보서버(200)에서는 스마트단말수단(500)의 접속요청이 확인되면, 접속승인수단(210)을 통하여 VR서비스데이터베이스(400)에 등록된 사용자정보로 부터 접속 승인하고, 사용자정보의 사용자등급정보에 따라서 제공 가능한 정보범위를 설정하고, 사용자가 요청정보에 따라서 VR영상 및 파이프 설비정보를 제공한다.

사용자는 스마트단말수단(500)의 파이프정보어플리케이션 프로그램을 통하여 파이프정보서버(200)에 접속하여 각 구역별 선택하여 VR영상을 확인하거나, 파이프설비정보를 검색하여 VR영상 확인 및 파이프정보를 확인할 수 있다.

또한, 상기 VR영상의 각 파이프에는 파이프 일련번호정보와 링크정보를 포함함으로써, 상기 파이를 선택하면 파이프정보어플리케이션 프로그램에서는 파이프의 선택정보로 파이프정보서버(200)로 제공하여 파이프정보를 요청하게 된다.

또한 파이프정보어플리케이션 프로그램에서는 QR코드를 스캔하여 QR코드를 확인하게 되면, QR코드에 담긴 정보를 표시하여 제공함은 물론, 해당하는 파이프에 대하여 VR영상 및 파이프정보를 파이프정보서버(200)로 요청한다.

즉, 파이프정보 어플리케이션 프로그램에 상기와 같은 작용을 하도록 자동 파이프정보 제공 모드를 옵션으로 환경설정해 두고 이를 설정하였을 경우 진행하도록 할 수 있다.

사용자는 파이프에 시공된 QR코드를 스캔하여 파이프정보서버(200)에 접속하지 않고서도 파이프의 설비정보를 확인할 수 있다.

파이프정보서버(200)의 서비스제어수단(270)에서는 상기와 같이, VR영상 요청 및 파이프 정보의 요청이 스마트단말수단(200)으로 입력되면, VR영상서비스수단(220) 및 파이프정보제공수단(230)을 통하여 VR영상 및 파이프정보를 제공한다.

그리고 사용자는 반도체 공정 라인에 파이프 유지보수가 필요한 경우 상기와 같이 파이프 정보를 확인하고, 유지보수를 수행하고 그 내역을 스마트단말수단(500)을 통하여 등록하여 해당 파이프의 설비이력정보로 관리할 수 있다.

상기 스마트단말수단(500)으로 부터 유지보수 정보 등록요청이 있는 경우 서비스제어수단(270)에서는 파이프관리수단(240)을 제어하여 설비이력정보 등록 프로세스를 수행하여 등록에 필요한 항목수단을 스마트단말수단(500)으로 제공하고, 사용자가 등록한 유지보수정보를 설비이력정보로 등록한다.

이와 같이 유지보수가 이루어져 설비이력정보가 등록되면 서비스제어수단(270)에서는 해당 파이프에 대하여 확인요청정보를 설정하여 두고, 설정된 일정한 시간이 경과되면 해당 설비이력정보를 등록한 관리자가 VR영상정보 및 파이프정보 요청 시 알람을 스마트단말수단(500)으로 제공하여 해당 사용자가 유지보수 내용을 한번 더 확인하도록 한다.

한편 서비스제어수단(270)에서는 서비스내역관리부(250)를 제어하여 상기와 같이 사용자가 VR영상 조회 및 파이프의 설비정보의 조회, 파이프의 설비이력정보의 조회 및 등록 과정과 같은 서비스 내역정보 및 서비스를 받은 사용자정보를 조회관리정보로 등록한다.

이와 같이 사용자는 스마트단말수단(500)을 이용하여 VR영상을 확인하여 각 공정의 파이프 관계를 확인함은 물론 손쉽게 파이프의 설비정보 및 설비이력정보를 확인할 수 있다.

한편, 도 5내지 도 7은 본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템에 있어서, 파이프 관리방법을 나타낸 플로우챠트로서, 도 5는 VR제작과정을 나타낸 플로우챠트, 도 6은 파이프 정보를 스마트 단말수단에 제공하는 파이프정보 서비스 과정을 나타낸 플로우챠트이고, 도 7은 유지보수 시 설비이력정보를 관리하는 과정을 나타낸 플로우챠트이다.

본 발명 반도체 공정 파이프관리 시스템에 있어서, 파이프 관리방법은,

반도체 공정 라인의 VR영상제작 및 파이프 설비정보를 데이터베이스화하는 VR영상제작과정, 접속하여 VR영상 또는 파이프 정보요청에 따라서 등록된 사용자정보의 사용자등급을 확인하여 요청된 VR영상 또는 파이프 정보에 접근 가능한 사용자인지를 확인하고 접속 가능한 사용자인 경우 VR영상 또는 파이프 정보를 제공하는 파이프정보제공과정, 유지보수 요청에 따른 설비내역정보 등록 요청이 있는 경우 사용자정보의 사용자등급을 확인하고 등록 가능한 사용자인 경우 설비내역정보 등록수단을 제공하고 등록된 유지보수정보를 설비내역정보 등록 관리하는 파이프정보관리과정, 상기 파이프정보제공과정, 파이프정보관리과정의 서비스 내역 및 그 이용한 사용자정보를 조회관리정보로 등록 관리하는 조회관리과정을 포함하여 이루어진다.

그리고 상기 설비내역정보에 등록된 파이프의 파이프정보에 확인요청정보를 설정하고, 확인요청정보가 등록된 파이프에 대하여 설정된 시간이 경과하면 VR영상정보 및 파이프 정보 요청 시 알람을 스마트단말수단(500)으로 제공하여 유지보수내용을 확인하도록 하는 유지보수확인과정을 더 포함할 수 있다.

그리고 상기 VR영상제작과정은 사용자로 부터 VR제작요청이 있는 경우 VR제작프로세스에 따라서 반도체공정 라인의 구역설정수단을 사용자에게 제공하여 사용자가 반도체 공정라인의 구역을 설정하도록 하는 구역설정과정과, 구역 설정이 완료되면, 각 구역별 3D 데이터를 사용자에게 요청하여 입력되는 3D데이터를 등록하는 3D데이터 등록과정과, 3D데이터 등록과정이 완료되면 등록된 3D데이터를 VR데이터로 변환하여 등록하는 VR데이터변환과정과, 각 구역별 파이프에 대한 파이프 설비정보를 사용자에게 요청하고 사용자가 등록하는 파이프 설비정보를 등록하는 파이프설비정보 등록과정과, 파이프설비정보등록과정을 통해 등록된 각 구역별 파이프에 시공될 2차원코드정보를 생성하고 2차원코드정보의 인쇄출력정보를 생성하고 인쇄요청에 따라서 인쇄출력정보를 출력하는 2차원코드생성과정을 포함하여 이루어진다.

상기 구역설정과정에서 구역설정수단은 등록된 설계도면을 제공하고 설계도면을 이용하여 각 구역을 구분하도록 한다.

상기 3D데이터 등록과정에 있어서, 3D데이터는 3D레이저스캔데이터 또는 3D파노라마 촬영 영상 데이터로 이루어진다.

상기 2차원코드생성과정에 있어서, 상기 2차원코드정보는 QR코드 정보로 구성된다.

Claims

등록되는 파이프 정보를 가공하여 스마트단말수단(500)을 통하여 제공될 VR(Virtual Reality) 영상정보 및 파이프의 설비정보를 제작 관리하는 VR영상제작서버(100)와, 접속된 스마트단말수단(500)의 요청에 따라서 상기 VR영상제작서버(100)로 부터 제작된 파이프의 VR영상정보 및 파이프의 설비정보를 제공 관리하며 스마트단말수단(500)으로 부터 파이프의 유지보수정보를 파이프 정보의 설비이력정보로 등록 및 제공 관리하는 파이프정보서버(200)와, 파이프의 VR영상정보 제작을 위한 파이프 데이터 및 제작된 VR영상정보, 등록된 파이프 설비정보, 설계도면정보를 포함하는 VR제작정보가 저장 관리되는 VR영상관리데이터베이스(300)와, 접속승인정보, 설비이력정보, 조회관리정보를 포함하는 서비스관리정보가 저장 관리되는 VR서비스데이터베이스(400)와, 상기 파이프정보서버(200)에 접속하여 파이프정보서버(200)에서 제공하는 파이프의 정보검색 및 VR영상정보를 확인하기 위한 파이프정보 어플리케이션 프로그램이 설치된 스마트단말수단(500)과, 파이프정보서버(200)의 접속승인에 따라서 VR영상제작서버(100)에서 제공하는 프로세스에 따라서 VR영상 제작 및 파이프 설비정보를 등록하기 위한 VR제작프로그램이 설치된 VR제작자단말수단(600)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 1항에 있어서, 상기 VR영상제작서버(100)는 VR영상변환을 위하여 요구되는 공장 내 파이프 데이터 항목을 VR제작자단말수단(60)에 제공하고 각 항목에 따라 등록되는 파이프 데이터를 등록 관리하기 위한 데이터관리수단(110), 데이터관리수단(110)을 통해 등록된 데이터를 기반으로 코드에 담길 정보를 생성하고 코드 인쇄출력정보를 출력하는 코드 생성수단과, 상기 데이터관리수단(110)을 통해 등록된 파이프의 등록 데이터에서 VR데이터로 변환하여 VR영상관리데이터베이스(300)에 등록하는 데이터변환수단(130)과, VR제작자단말수단(600)을 통하여 VR영상제작 및 파이프 설비정보 등록 요청에 대하여 상기 수단들을 제어하여 VR영상제작을 위한 데이터 등록 및 파이프설비 정보 등록과정 및 등록된 데이터를 변환하여 VR영상을 제작하는 과정을 제어하는 VR제작제어수단(140)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 1항에 있어서, 상기 파이프정보서버(200)는 접속승인정보에 따라서 접속된 스마트단말수단(500) 및 VR제작자단말수단(600)의 접속 승인 및 파이프 정보의 접근을 제어 관리하는 접속승인수단(210)과, 상기 스마트단말수단(500)의 요청에 따라서 등록된 VR영상을 스마트 단말수단(500)을 통해 제공하는 VR영상서비스수단(220)과, 상기 스마트단말수단(500)의 요청에 따라 파이프 설비정보 및 설비이력정보를 제공하는 파이프정보제공수단(230)과, 접근 승인된 사용자의 요청에 따라서 유지보수정보를 등록할 수 있도록 수단을 제공하고 등록되는 유지보수정보를 파이프의 설비이력정보로 등록 관리하는 파이프관리수단(240)과, 접속 승인을 위한 관리자 및 직원의 사용자 승인정보 등록 관리 및 등록된 각 파이프 정보의 접근 승인정보를 관리자가 설정 등록 관리하기 위한 수단을 제공하는 보안관리수단(260)과, 접속 요청된 사용자에 대하여 접속승인하고 접속 승인된 사용자의 요청에 따라서 파이프정보제공 및 VR영상서비스를 제공하기 위한 상기 수단들을 제어 관리하는 서비스제어수단(270)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 3항에 있어서, 상기 파이프정보서버(200)는 서비스를 제공받은 사용자정보와 서비스 내역정보를 등록 관리하는 서비스내역관리수단(250)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 1항에 있어서, 상기 코드생성수단에서 생성되는 2차원코드정보인 QR코드정보이며, 상기 QR코드는 파이프의 일련번호와 파이프 설비정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, VR영상제작을 위해 필요한 3D데이터는 3D레이저스캔 데이터 또는 3D파노라마카메라에 의해 촬영된 3D영상 데이터 인 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 2항에 있어서, 상기 데이터관리수단(110)은 반도체 공장 내 라인을 데이터관리에 필요한 구역으로 구분하여 설정하기 위한 구역관리부(111)와, 각 구역별로 3D레이저 스캐너로 스캔된 데이터를 등록 관리하는 3D스캔데이터관리부(112)와, 각 구역별 설정된 파이프에 대한 설비정보를 등록 관리하는 파이프설비정보관리부(113)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 7항에 있어서, 상기 데이터관리수단(110)은 상기 사진촬영데이터관리부(114)는 3D레이저스캔이 불가능한 공간에 대하여 3D파노라마카메라를 통해 촬영된 영상데이터를 등록하기 위한 수단을 제공하고 VR제작자단말수단(600)을 통해 등록되는 3D 촬영영상 데이터를 관리하는 사진촬영데이터관리부(114)를 더 포함하여 구성되며, 데이터변환수단(130)은 3D 촬영영상 데이터를 VR데이터로 변환하는 프로세스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 2항에 있어서, 상기 데이터 변환수단(130)은 VR영상의 각 파이프 개체정보로 파이프 일련번호정보와 링크정보를 포함하도록 프로세스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 1항에 있어서, 상기 VR영상관리데이터베이스(300)의 상기 구역정보는 상기 구역관리부(111)를 통하여 사용자가 설정한 구역정보이고, 상기 3D스캔데이터는 3D스캔데이터관리부(112)를 통해 등록된 3D레이저에 의해 스캔된 데이터이고, 상기 3D영상정보는 사진촬영데이터관리부(114)를 통해 등록된 3D파노라마 카메라로 부터 찰영된 데이터이며, 상기 파이프 설비정보는 사용자가 등록한 파이프의 설계시의 시공정보를 포함하며, 일련번호, 파이프의 종류, 사용용도, 파이프방향 정보를 포함하며, 상기 파이프의 일련번호는 파이프를 식별하기 위한 정보로서, 구역별 또는 위치별로 사용자가 지정하는 정보이며, 상기 설계도면정보는 반도체 공정 라인의 설계도면을 스캔한 설계도면 스캔정보인 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 1항에 있어서, 상기 VR서비스데이터베이스(400)의 상기 접속승인정보는 접속 가능한 사용자정보이며, 또한 각 구역별 파이프에 대하여 사용자 등급에 따라서 접근 가능함을 설정한 정보접근등급정보를 포함하고,
상기 조회관리정보는 상기 서비스내역관리수단(250)에 의해 생성된 정보로서, 서비스를 이용한 사용자정보와 서비스 내역정보(service history)를 포함하고, 상기 설비이력정보는 유지보수 시에 발생된 파이프에 대한 정보로, 유지보수내역정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
제 2항 또는 제 5항에 있어서, 상기 파이프정보 어플리케이션 프로그램에서는 코드정보인 QR코드를 스캔하여 QR코드를 확인하게 되면, QR코드에 담긴 정보를 표시하여 제공함은 물론, 해당하는 파이프에 대하여 VR영상 및 파이프정보를 파이프정보서버(200)로 요청하도록 하는 자동 파이프정보 제공 모드를 옵션으로 제공하고, 이를 사용자가 설정할 수 있도록 하는 프로세스 수단을 더 하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 시스템.
반도체 공정 라인의 VR영상제작 및 파이프 설비정보를 데이터베이스화하는 VR영상제작과정, 접속하여 VR영상 또는 파이프 정보요청에 따라서 등록된 사용자정보의 사용자등급을 확인하여 요청된 VR영상 또는 파이프 정보에 접근 가능한 사용자인지를 확인하고 접속 가능한 사용자인 경우 VR영상 또는 파이프 정보를 제공하는 파이프정보제공과정, 유지보수 요청에 따른 설비내역정보 등록 요청이 있는 경우 사용자정보의 사용자등급을 확인하고 등록 가능한 사용자인 경우 설비내역정보 등록수단을 제공하고 등록된 유지보수정보를 설비내역정보 등록 관리하는 파이프정보관리과정, 상기 파이프정보제공과정, 파이프정보관리과정의 서비스 내역 및 그 이용한 사용자정보를 조회관리정보로 등록 관리하는 조회관리과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 방법.
제 13항에 있어서, 상기 설비내역정보에 등록된 파이프의 파이프정보에 확인요청정보를 설정하고, 확인요청정보가 등록된 파이프에 대하여 설정된 시간이 경과하면 VR영상정보 및 파이프 정보 요청 시 알람을 스마트단말수단으로 제공하여 유지보수내용을 확인하도록 하는 유지보수확인과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 방법.
제 13항에 있어서, 상기 VR영상제작과정은 사용자로 부터 VR제작요청이 있는 경우 VR제작프로세스에 따라서 반도체공정 라인의 구역설정수단을 사용자에게 제공하여 사용자가 반도체 공정라인의 구역을 구분하도록 하는 구역설정과정과, 구역 설정이 완료되면, 각 구역별 3D 데이터를 사용자에게 요청하여 입력되는 3D데이터를 등록하는 3D데이터 등록과정과, 3D데이터 등록과정이 완료되면 등록된 3D데이터를 VR데이터로 변환하여 등록하는 VR데이터변환과정과, 각 구역별 파이프에 대한 파이프 설비정보를 사용자에게 요청하고 사용자가 등록하는 파이프 설비정보를 등록하는 파이프설비정보 등록과정과, 파이프설비정보등록과정을 통해 등록된 각 구역별 파이프에 시공될 2차원코드정보를 생성하고 2차원코드정보의 인쇄출력정보를 생성하고 인쇄요청에 따라서 인쇄출력정보를 출력하는 2차원코드생성과정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 방법.
제 15항에 있어서, 상기 구역설정과정에서 구역설정수단은 등록된 설계도면을 제공하고 설계도면을 이용하여 각 구역을 구분하도록 하는 수단을 제공하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 방법.
제 15항에 있어서, 상기 3D데이터 등록과정에 있어서, 3D데이터는 3D레이저스캔데이터 또는 3D파노라마 촬영 영상 데이터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 파이프관리 방법.