KR20130078669A

KR20130078669A - 기판의 기포 제거장치 및 제거방법

Info

Publication number: KR20130078669A
Application number: KR1020110147736A
Authority: KR
Inventors: 김남성
Original assignee: (주)포인텍
Priority date: 2011-12-30
Filing date: 2011-12-30
Publication date: 2013-07-10
Also published as: KR101346837B1

Abstract

본 발명은 기판의 기포 제거장치 및 제거방법에 관한 것으로서, 특히 전기동금을 수행하기 이전에 기판에 존재하는 기포를 제거하여 도금효율을 증대시킬 수 있는 기판의 기포 제거장치 및 제거방법에 관한 것이다.
본 발명의 기판의 기포 제거장치는, 도금액이 수용되어 있고, 전극판이 내부에 장착되어 있는 도금조와; 상기 도금조의 상부에 배치되어 상기 도금조에 배치된 평판형상의 기판을 이송시키는 이송부와; 이송되는 상기 기판에 충격을 가하는 충격부재로 이루어지되, 상기 충격부재는 상기 기판이 이송되는 방향을 기준으로 상기 전극판이 배치된 위치의 전방에서 상기 도금조의 내부에 장착되고, 상기 기판에 형성된 미세홀에 존재하는 기포는 상기 충격부재가 상기 기판에 충격을 가하여 외부로 유출되어 제거되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판의 기포 제거장치 및 제거방법 { Apparatus and Method for Removal of Bubbles on the Substrate }

본 발명은 기판의 기포 제거장치 및 제거방법에 관한 것으로서, 특히 전기동금을 수행하기 이전에 기판에 존재하는 기포를 제거하여 도금효율을 증대시킬 수 있는 기판의 기포 제거장치 및 제거방법에 관한 것이다.

각종 인쇄회로기판은 그 기판에 각종 소자를 조립하기 위하여 다양한 크기의 구멍이 천공된다.

이러한 기판은 일반적으로 약 1∼9 ㎜의 두께를 갖고, 그 크기는 용도에 따라 매우 다양하며, 기판에 천공되는 구멍의 크기도 매우 다양하여 그 직경이 수 ㎜ 부터 0.2 ㎜ 이하의 미세구멍까지 다양하다.

기판은 천공 후에 구리도금을 행하여 전도성을 부여하게 되는데, 기판에 천공된 구멍이 미세공이거나 기판의 두께가 두꺼워서 구멍의 길이가 길어지는 경우에는, 상기 구멍에 존재하는 기포가 용이하게 제거되지 않아 구리도금이 균일하게 잘 이루어지지 않게 됨으로써 불량 기판이 제작된다.

이를 해결하기 위한 방법이 여러 가지 시도되어 왔다.

시도된 방법 중의 하나가 작업자가 직접 기판에 수동으로 충격을 주거나 진동시키는 방법이었다.

그러나 이러한 방법은 불규칙적이고 또한 작업자가 이 작업을 행하지 않는 경우도 발생하여 양질의 도금 특성을 갖는 기판을 제작하기 어려웠다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 도 1에 도시된 바와 같은 전기구리도금장치가 개발되었다(공개특허 제10-2010-0026789호).

도 1에 도시된 종래의 전기구리도금장치는, 도금조(1) 내에 전해액을 충진시키고, 그 내부에는 복수개의 기판이 조립된 기판랙(3)을 침지시킨다.

기판랙(3)은 그 상부에서 부스 바(booth bar)(2)에 고정되어 일정한 속도로 좌우로 이동한다.

그리고, 상기 기판랙(3)에 충격을 가할 수 있도록 피스톤(101)을 갖는 에어실린더장치(10)는 전기구리도금 도금조(1)의 측부벽 상부에 설치된다.

기판이 장착된 기판랙(3)이 도금조(1) 내에서 이송될 때, 상기 에어실린더장치(10)에 의해 상기 피스톤(101)은 왕복운동을 하면서 기판랙(3)을 강타하여, 기판의 미세홀에 존재하는 기포를 제거하게 된다.

그러나, 이러한 종래의 전기도금장치는 전기도금이 이루어지는 과정에서 기판에 충격을 가하기 때문에, 상기 기판에서 기포를 제거할 수는 있지만 평판형상으로 이루어진 기판의 양면에 균일한 두께의 도금이 이루어지지 않게 된다.

즉, 전기도금 과정에서는 도금조(1)의 내부에 배치된 전극판과 기판이 일정한 간격을 유지하면서 일정한 속도로 이동하게 되는데, 전기도금 과정중에 상기 에어실린더장치(10)에 의해 기판에 충격이 가해지면 기판이 흔들리면서 기판과 전극판 사이의 간격이 변경되어 균일한 두께의 도금이 이루어지지 않게 된다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 도금조 내부에서 기판이 전극판과 대면하여 전기도금이 이루어지기 이전에 기판에 존재하는 기포를 제거하고, 실질적인 도금과정시에는 전극판과 기판 사이의 간격이 일정하게 유지되도록 하여 균일한 두께의 도금이 이루어지도록 할 수 있는 기판의 기포 제거장치 및 제거방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판의 기포 제거장치는, 도금액이 수용되어 있고, 전극판이 내부에 장착되어 있는 도금조와; 상기 도금조의 상부에 배치되어 상기 도금조에 배치된 평판형상의 기판을 이송시키는 이송부와; 이송되는 상기 기판에 충격을 가하는 충격부재로 이루어지되, 상기 충격부재는 상기 기판이 이송되는 방향을 기준으로 상기 전극판이 배치된 위치의 전방에서 상기 도금조의 내부에 장착되고, 상기 기판에 형성된 미세홀에 존재하는 기포는 상기 충격부재가 상기 기판에 충격을 가하여 외부로 유출되어 제거되는 것을 특징으로 한다.

상기 충격부재는 상기 기판과 대면하고 있는 상기 도금조의 측면에 장착되는 초음파발생기로 이루어지되, 상기 초음파발생기에서 발생된 초음파는 상기 도금액을 매개체로 하여 상기 기판에 충격을 가한다.

또는, 상기 이송부는 상기 기판을 파지하여 이송되는 지그를 포함하여 이루어지고, 상기 충격부재는 상기 도금조의 내측 하부에 장착된 진동발생기로 이루어지되, 상기 기판의 이동시 상기 지그의 하부는 상기 진동발생기와 접하고, 상기 진동발생기에서 발생된 진동에 의해 상기 지그는 진동되어 상기 기판으로부터 기포가 제거된다.

또는, 상기 이송부는 상기 기판을 파지하여 이송되는 지그를 포함하여 이루어지고, 상기 충격부재는 측면에 다수의 요철돌기가 형성되어 상기 도금조의 내측 하부에 장착된 요철블럭으로 이루어지되, 상기 기판의 이동시 상기 지그의 하부 측면은 상기 요철돌기와 접하고, 이동하는 상기 지그는 상기 요철돌기에 간헐적으로 부딪히면서 진동되어 상기 기판으로부터 기포가 제거된다.

이때, 상기 요철돌기는 다수개로 이루어지되, 이동하는 상기 지그는 상기 요철돌기의 최대돌출부까지 접하면서 이동방향의 수직방향으로 밀려 이동하고, 상기 최대돌출부를 지나면 원위치로 이동하면서 이웃한 상기 요철돌기에 충돌하여 상기 지그에 진동을 발생시킨다.

또한, 상기 도금조의 내측 하부에는 상기 기판의 이동방향을 따라 가이드홈이 길게 형성되어 있고, 상기 지그의 하부는 상기 가이드홈에 삽입배치되어 상기 가이드홈을 따라 이동하며, 상기 충격부재는 상기 가이드홈에 장착된다.

그리고, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판의 기포 제거방법은, 전처리되어 이송된 평판형상의 기판에 충격을 가하여 상기 기판에 형성된 미세홀에 존재하는 기포를 제거하는 기포제거단계와; 도금액이 수용되어 있고 전극판이 내부에 장착되어 있는 도금조에서 상기 기판의 표면을 전기도금하는 도금단계로 이루어지되, 상기 기포제거단계는 상기 도금단계 이전에 상기 도금액이 수용되어 있는 상기 도금조 내부에서 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 기포제거단계에서 상기 기판에 가해지는 충격은, 상기 도금액을 매개체로 하는 초음파에 의해 이루어지고, 상기 초음파에 의해 상기 기포가 상기 기판으로부터 제거된다.

또는, 상기 기판은 지그에 의해 파지되어 이송되되, 상기 기포제거단계에서 상기 기판에 가해지는 충격은, 이동하는 상기 지그의 하부와 접하는 진동발생기에서 발생된 진동에 의해 이루어지고, 상기 지그에 가해지는 진동에 의해 상기 기포가 상기 기판으로부터 제거된다.

또는, 상기 기판은 지그에 의해 파지되어 이송되되, 상기 기포제거단계에서 상기 기판에 가해지는 충격은, 이동하는 상기 지그의 하부가 요철돌기와 부딪히면서 발생된 진동에 의해 이루어지고, 상기 지그에 가해지는 진동에 의해 상기 기포가 상기 기판으로부터 제거된다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판의 기포 제거장치 및 제거방법에 따르면, 도금조 내부에서 기판이 전극판과 대면하여 전기도금이 이루어지기 이전에 기판에 존재하는 기포를 제거하고, 실질적인 도금과정시에는 전극판과 기판 사이의 간격이 일정하게 유지되기 때문에, 기판에 존재하는 기포를 제거하여 도금효율을 증대시키면서 동시에 기판에 균일한 두께의 도금이 이루어지도록 할 수 있다.

도 1은 종래의 전기구리도금장치를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전기도금라인의 구성도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판의 기포 제거장치의 단면구조도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 기포 제거장치의 단면구조도,
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판의 기포 제거장치의 단면구조도,
도 6은 도 5에 도시된 기판의 기포 제거장치에서 충격부재와 지그의 작동과정도,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전기도금라인의 구성도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판의 기포 제거장치의 단면구조도이며, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 기포 제거장치의 단면구조도이고, 도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판의 기포 제거장치의 단면구조도이며, 도 6은 도 5에 도시된 기판의 기포 제거장치에서 충격부재와 지그의 작동과정도이다.

도 2는 본 발명인 기판(160)의 기포 제거장치가 장착되는 전기도금라인을 개략적으로 도시한 것으로써, 전처리부(110), 도금조(120), 이송부, 충격부재(140)가 나타나 있다.

상기 전처리부(110)는 전기동도금을 하기 이전에 기판(160)에 도금이 잘 이루어지도록 탈수, 탈지, 화학적침지처리 등의 전처리과정을 수행하는 곳이다.

상기 도금조(120)에는 도금액이 수용되어 있고, 전극판(121)이 내부에 장착되어 있어 상기 기판(160)의 표면에 도금층이 형성되도록 하는 곳이다.

이러한 상기 도금조(120)는 상기 전처리부(110) 다음에 배치되어 있는데, 일직선으로 배치되지 않고 시작부가 원호형상으로 휘어져 있어, 배치공간을 효율적으로 활용하도록 한다.

즉, 상기 도금조(120)가 일직선으로 이루어져 있다면 도금라인의 전체적인 길이가 길어지게 되는데 반해, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 도금조(120)의 시작부가 원호형상으로 휘어져 상기 도금조(120)의 중간부분이 상기 전처리부(110)에 평행하게 배치됨으로써, 도금라인의 길이를 줄일 수 있다.

상기 이송부는 도면상에 도시되지 않았지만, 상기 전처리부(110) 및 도금조(120)를 포함하는 도금라인의 상부에 배치되어 평판형상의 상기 기판(160)을 이송하는 역할을 한다.

이러한 상기 이송부는, 레일(미도시)과, 상기 기판(160)을 지지하면서 상기 레일을 따라 이동하는 행거(130) 등으로 이루어지며, 이러한 상기 이송부의 구체적인 구성은 종래의 도금장치에 공지된 구성을 이용하면 충분하다.

상기 충격부재(140)는 이송되는 상기 기판(160)에 충격을 가하여 상기 기판(160)에 형성된 미세홀에 존재하는 기포를 외부로 유출시켜 제거하는 역할을 한다.

이러한 상기 충격부재(140)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 기판(160)이 이송되는 방향을 기준으로 상기 전극판(121)이 배치된 위치의 전방에서 상기 도금조(120)의 내부에 장착된다.

즉, 상기 충격부재(140)는 상기 도금조(120)의 내부 중 상기 기판(160)이 전극판(121)과 대면하여 도금되기 이전의 위치에서 상기 도금조(120)의 내부에 장착된다.

상기 충격부재(140)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 기판(160)과 대면하고 있는 상기 도금조(120)의 측면에 장착되는 초음파발생기(141)로 이루어질 수 있다.

상기 초음파발생기(141)에서 발생된 초음파는 상기 도금조(120)에 수용되어 있는 상기 도금액을 매개체로 하여 상기 기판(160)에 충격을 가하고, 이로 인해 상기 기판(160)이 상기 초음파에 의한 충격에 의해 진동됨으로써 상기 기판(160)의 미세홀에 존재하던 기포는 외부로 유출되어 제거된다.

또한, 상기 충격부재(140)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 도금조(120)의 내측 하부에 장착된 진동발생기(142)로 이루어질 수도 있다.

이때, 상기 이송부는 상기 기판(160)을 파지하여 이송되는 지그(150)를 포함하여 이루어진다.

즉, 상기 지그(150)는 상기 이송부를 구성하는 상기 행거(130)에 결합되어 상기 행거(130)와 함께 이동하게 되고, 상기 기판(160)은 상기 지그(150)에 결합된다.

상기 기판(160)의 이동시 상기 지그(150)의 하부는 상기 진동발생기(142)와 접하고, 상기 진동발생기(142) 자체에서 발생된 진동에 의해 상기 지그(150)는 진동되어 상기 기판(160)으로부터 기포가 제거된다.

즉, 상기 진동발생기(142)가 전기 등에 의해 자체적으로 진동을 발생시키면, 상기 진동발생기(142)와 하부가 접하고 있는 상기 지그(150)도 진동하게 되고, 이로 인해 상기 기판(160)에도 진동이 전달되어 상기 기판(160)의 미세홀에 존재하는 기포가 외부로 유출되어 제거된다.

이때, 상기 도금조(120)의 내측 하면은 평평하게 형성되어 여기에 상기 진동발생기(142)가 장착될 수도 있으나, 바람직하게는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 도금조(120)의 내측 하부에 상기 기판(160)의 이동방향을 따라 가이드홈(125)이 길게 형성되어 있도록 한다.

그리고, 상기 지그(150)의 하부는 상기 가이드홈(125)을 따라 이동하며, 상기 진동발생기(142)는 상기 가이드홈(125)의 측면에 장착되도록 한다.

또한, 상기 충격부재(140)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 도금조(120)의 내측 하면에 장착되고, 측면에 요철돌기(144)가 형성된 요철블럭(143)로 이루어질 수도 있다.

이때, 상기 이송부는 상기 기판(160)을 파지하여 이송되는 지그(150)를 포함하여 이루어지고, 상기 지그(150)의 하부에는 이동시 마찰을 줄이기 위한 롤러(151)가 장착되어 있다.

상기 기판(160)의 이동시 상기 지그(150)의 하부 측면은 상기 요철블럭(143)의 측면에 형성된 요철돌기(144)와 접하면서 이동하고, 이동하는 상기 지그(150)는 상기 요철돌기(144)에 간헐적으로 부딪히면서 진동되어 상기 기판(160)으로부터 기포가 제거된다.

이때, 상기 요철돌기(144)는 다수개로 이루어지고, 이동하는 상기 지그(150)는 상기 요철돌기(144)의 최대돌출부까지 접하여 이동방향의 수직방향으로 밀려 이동하다가 상기 최대돌출부를 지나면 원위치로 이동하면서 이웃한 상기 요철돌기(144)에 충돌하여 상기 지그(150)에 진동을 발생시킨다.

도 6은 이러한 상기 요철블럭(143)과 지그(150)의 충돌과정을 도금조(120)의 위에서 보아 구체적으로 도시하였다.

도 6에서 상기 요철돌기(144)는 삼각톱니처럼 형성되어 연속적으로 배치되어 있고, 상기 지그(150)의 하부에 장착되는 롤러(151)를 도시하였다.

도 6(a)에 도시된 바와 같이 상기 지그(150)의 하부 측면 즉 상기 롤러(151)가 상기 요철돌기(144)와 접한 상태에서, 상기 지그(150)가 화살표 방향으로 이동하게 되면 도 6(b)에 도시된 바와 같이 상기 지그(150)의 하부에 장착된 롤러(151)는 상기 요철돌기(144)의 돌출방향인 상기 기판(160)의 이동방향의 수직방향으로 밀려 상기 요철돌기(144)의 최대돌출부까지 이동하게 된다.

이때, 상기 롤러(151)가 장착된 상기 지그(150)의 하부가 상기 요철돌기(144)의 돌출방향으로 밀려 이동할 뿐이고, 상기 지그(150)의 상부는 이동하지 않는다.

그러다가, 상기 롤러(151)가 상기 요철돌기(144)의 최대돌출부를 지나게 되면, 상기 지그(150)의 하부는 순간적으로 상기 요철블럭(143)과 닿지 않은 상태에 상기 요철돌기(144)에 의해 밀려난 방향의 반대방향인 원위치로 이동하게 된다.

이때, 상기 롤러(151)가 장착된 상기 지그(150)의 하부가 원위치로 이동하면서 도 6(c)에 도시된 바와 같이 이웃한 다른 요철돌기(144)에 충돌하게 되고, 이로 인해 상기 지그(150)에 장착된 기판(160)에 진동이 가해져, 상기 기판(160)으로부터 기포가 제거된다.

그리고, 상기 도금조(120)의 내측 하면에는 가이드홈(125)에 형성되어 있고, 상기 요철블럭(143)은 상기 가이드홈(125)의 측면에 장착되어 있도록 한다.

위와 같은 구조로 이루어진 기판(160)의 기포 제거장치는 다음과 같은 방법에 의해 기판(160)으로부터 기판(160)을 제거하게 된다.

본 발명인 기판(160)의 기포 제거방법은, 기포제거단계와, 도금단계를 포함하여 이루어진다.

상기 기포제거단계는 전처리되어 이송된 평판형상의 기판(160)에 충격을 가하여 상기 기판(160)에 형성된 미세홀에 존재하는 기포를 제거하는 단계로써, 상기 충격부재(140)에 의해 이루어진다.

상기 도금단계는 도금액이 수용되어 있고 전극판(121)이 내부에 장착되어 있는 상기 도금조(120)에서 상기 기판(160)의 표면을 전기도금하여 도금층을 형성하는 단계이다.

상기 기포제거단계는 상기 도금단계 이전에 상기 도금액이 수용되어 있는 상기 도금조(120) 내부에서 상기 충격부재(140)에 의해 이루어진다.

이로 인해, 상기 기판(160)의 표면에 도금층을 형성하는 상기 도금단계에서는, 상기 기판(160)이 흔들리지 않아 상기 전극판(121)과 기판(160) 사이의 간격이 일정하게 유지되어 균일한 두께의 도금층을 형성할 수 있다.

이러한 상기 기포제거단계는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 초음파발생기(141)를 이용하여 이루어진다.

상기 초음파발생기(141)는 상기 도금액을 매개체로 하여 초음파에 의한 충격을 상기 기판(160)에 가함으로써, 상기 기포가 상기 기판(160)으로부터 제거한다.

또한, 상기 기포제거단계는 도 4에 도시된 바와 같이, 이동하는 상기 지그(150)의 하부와 접하는 상기 진동발생기(142)에서 발생된 진동에 의해 이루어지고, 상기 지그(150)에 가해지는 진동에 의해 상기 기포가 상기 기판(160)으로부터 제거된다.

또한, 상기 기포제거단계는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 이동하는 상기 지그(150)의 하부가 상기 요철블럭(143)의 측면에 형성된 요철돌기(144)와 간헐적으로 부딪히면서 발생된 진동에 의해 이루어지고, 상기 지그(150)에 가해지는 진동에 의해 상기 기포가 상기 기판(160)으로부터 제거된다.

본 발명인 기판의 기포 제거장치 및 제거방법은 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.

110 : 전처리부, 120 : 도금조, 121 : 전극판, 125 : 가이드홈, 130 : 행거, 140 : 충격부재, 141 : 초음파발생기, 142 : 진동발생기, 143 : 요철블럭, 144 : 요철돌기, 150 : 지그, 151 : 롤러, 160 : 기판,

Claims

도금액이 수용되어 있고, 전극판이 내부에 장착되어 있는 도금조와;
상기 도금조의 상부에 배치되어 상기 도금조에 배치된 평판형상의 기판을 이송시키는 이송부와;
이송되는 상기 기판에 충격을 가하는 충격부재로 이루어지되,
상기 충격부재는 상기 기판이 이송되는 방향을 기준으로 상기 전극판이 배치된 위치의 전방에서 상기 도금조의 내부에 장착되고,
상기 기판에 형성된 미세홀에 존재하는 기포는 상기 충격부재가 상기 기판에 충격을 가하여 외부로 유출되어 제거되는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거장치.
청구항1에 있어서,
상기 충격부재는 상기 기판과 대면하고 있는 상기 도금조의 측면에 장착되는 초음파발생기로 이루어지되,
상기 초음파발생기에서 발생된 초음파는 상기 도금액을 매개체로 하여 상기 기판에 충격을 가하는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거장치.
청구항1에 있어서,
상기 이송부는 상기 기판을 파지하여 이송되는 지그를 포함하여 이루어지고,
상기 충격부재는 상기 도금조의 내측 하부에 장착된 진동발생기로 이루어지되,
상기 기판의 이동시 상기 지그의 하부는 상기 진동발생기와 접하고,
상기 진동발생기에서 발생된 진동에 의해 상기 지그는 진동되어 상기 기판으로부터 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거장치.
청구항1에 있어서,
상기 이송부는 상기 기판을 파지하여 이송되는 지그를 포함하여 이루어지고,
상기 충격부재는 측면에 다수의 요철돌기가 형성되어 상기 도금조의 내측 하부에 장착된 요철블럭으로 이루어지되,
상기 기판의 이동시 상기 지그의 하부 측면은 상기 요철돌기와 접하고,
이동하는 상기 지그는 상기 요철돌기에 간헐적으로 부딪히면서 진동되어 상기 기판으로부터 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거장치.
청구항4에 있어서,
상기 요철돌기는 다수개로 이루어지되,
이동하는 상기 지그는 상기 요철돌기의 최대돌출부까지 접하면서 이동방향의 수직방향으로 밀려 이동하고, 상기 최대돌출부를 지나면 원위치로 이동하면서 이웃한 상기 요철돌기에 충돌하여 상기 지그에 진동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거장치.
청구항3 내지 청구항5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 도금조의 내측 하부에는 상기 기판의 이동방향을 따라 가이드홈이 길게 형성되어 있고,
상기 지그의 하부는 상기 가이드홈에 삽입배치되어 상기 가이드홈을 따라 이동하며,
상기 충격부재는 상기 가이드홈에 장착된 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거장치.
전처리되어 이송된 평판형상의 기판에 충격을 가하여 상기 기판에 형성된 미세홀에 존재하는 기포를 제거하는 기포제거단계와;
도금액이 수용되어 있고 전극판이 내부에 장착되어 있는 도금조에서 상기 기판의 표면을 전기도금하는 도금단계를 포함하여 이루어지되,
상기 기포제거단계는 상기 도금단계 이전에 상기 도금액이 수용되어 있는 상기 도금조 내부에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거방법.
청구항7에 있어서,
상기 기포제거단계에서 상기 기판에 가해지는 충격은, 상기 도금액을 매개체로 하는 초음파에 의해 이루어지고, 상기 초음파에 의해 상기 기포가 상기 기판으로부터 제거되는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거방법.
청구항7에 있어서,
상기 기판은 지그에 의해 파지되어 이송되되,
상기 기포제거단계에서 상기 기판에 가해지는 충격은, 이동하는 상기 지그의 하부와 접하는 진동발생기에서 발생된 진동에 의해 이루어지고, 상기 지그에 가해지는 진동에 의해 상기 기포가 상기 기판으로부터 제거되는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거방법.
청구항7에 있어서,
상기 기판은 지그에 의해 파지되어 이송되되,
상기 기포제거단계에서 상기 기판에 가해지는 충격은, 이동하는 상기 지그의 하부가 요철돌기와 부딪히면서 발생된 진동에 의해 이루어지고, 상기 지그에 가해지는 진동에 의해 상기 기포가 상기 기판으로부터 제거되는 것을 특징으로 하는 기판의 기포 제거방법.