KR20130071155A - 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈 - Google Patents

하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명은 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 관한 것으로, 특히 기판의 상부에서 수직으로 기판의 면을 따라 에칭액을 자유낙하 하여 기판을 박형화함으로써, 에칭액 분사식이나 침적 및 기포(버블)에 의한 에칭시 발생하는 기판의 파티클 발생 및 스크래치 발생을 제거할 수 있고, 상기 에칭액을 수용하여 상기 기판으로 하향 유출시키는 수용부의 너비를 작게함으로써, 에칭 챔버 내부에서 더 많은 기판 박형화 공정을 수행할 수 있으며, 상기 에칭액의 유량 및 유속이 조절되어 상기 기판으로 유출함으로써, 균일한 기판 박형화를 수행할 수 있는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 관한 것이다.
본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 이루는 구성수단은, 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 있어서, 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부를 통하여 외부에서 유입되는 에칭액을 수용하는 하측 수용부, 상기 하측 수용부의 상단과 협로를 통하여 연통되고, 상기 하측 수용부로부터 차오르는 에칭액을 수용하는 적어도 하나의 상측 수용부로 구성되는 수용부, 상기 수용부의 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 부착되되, 상기 에칭액 유입부와 연통되도록 결합되는 고정판, 상기 상측 수용부의 최상단 상부면에 에칭액이 넘쳐 흐를 수 있도록 형성되는 에칭액 투과슬릿, 상기 수용부의 겉면을 따라 넘쳐흐르는 에칭액을 상기 기판의 수직 상부 방향으로 가이드하기 위하여 상기 하측 수용부와 연결되는 가이드부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈{a peanut type etchant spill module used in the apparatus for slimming glass}
본 발명은 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 관한 것으로, 특히 기판의 상부에서 수직으로 기판의 면을 따라 에칭액을 자유낙하 하여 기판을 박형화함으로써, 에칭액 분사식이나 침적 및 기포(버블)에 의한 에칭시 발생하는 기판의 파티클 발생 및 스크래치 발생을 제거할 수 있고, 상기 에칭액을 수용하여 상기 기판으로 하향 유출시키는 수용부의 너비를 작게함으로써, 에칭 챔버 내부에서 더 많은 기판 박형화 공정을 수행할 수 있으며, 상기 에칭액의 유량 및 유속이 조절되어 상기 기판으로 유출함으로써, 균일한 기판 박형화를 수행할 수 있는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 관한 것이다.
최근 반도체, 디스플레이장비 산업의 발전과 경박단소한 제품을 원하는 소비자들의 요구에 발맞추어 글라스가 합착된 형태로 제조되는 디스플레이 패널(Panel)을 박형화하는 기술의 발전이 절실하게 요구되고 있다.
즉, LCD 의 기판 등에 사용되는 글라스의 두께는 장비의 박형화의 흐름에 맞추어 초박형화가 요구되고 있으며, 이러한 박형화의 기술은 디스플레이 패널(Panel)의 에칭을 통하여 이루어지고 있다.
종래 화학적 에칭방법을 이용하여 패널을 박형화하는 종래의 기술로 널리 알려진 것이, 침적법(Dip), 분사법(Spray)등 이 있다. 그러나 이러한 구조의 에칭방법은 외부에서 필연적으로 에칭액을 분사하거나 침적을 하되 에칭을 위한 버블을 제공하여야 하는바, 에칭면에 미세한 파티클이나 스크레치가 발생하여 정밀한 글라스 에칭 및 이를 통한 박형화 공정의 구현이 어려운 단점이 있었다.
아울러 에칭공정에 따른 에칭액의 수세와 정밀 에칭이 이루어지지 않은 경우에 다시 에칭공정을 수행하는 작업 공정상의 불편함으로 인해 대량 작업이 어려워 생산성이 낮아지는 단점도 존재하였다.
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 출원인은 "하향식 기판 박형화 장치 및 이를 이용한 박형화 시스템"(등록번호 10-0889949)을 출원하여 특허등록을 받은 상태이다.
그런데, 상기 "하향식 기판 박형화 장치 및 이를 이용한 박형화 시스템"(등록번호 10-0889949)에서 사용하는 하향식 기판 박형화 장치용 에칭액 유출 모듈(등록번호 10-0889949에서는 "노즐부"라 표현함)은 가로 방향으로 크기가 크기 때문에, 에칭 챔버에서 많은 기판에 대하여 박형화 공정을 수행할 수 없는 문제점이 있다.
즉, 상기 기판과 수직 방향으로 일대일로 배치되는 상기 하향식 기판 박형화 장치용 에칭액 유출 모듈의 크기가 크면, 결과적으로 에칭 챔버 내에 수용할 수 있는 하향식 기판 박형화 장치용 에칭액 유출 모듈의 개수는 적어지기 때문에 상기 기판의 개수도 적어진다.
이를 해결하기 위해서, 상기 하향식 기판 박형화 장치용 에칭액 유출 모듈의 너비를 작게 형성할 수도 있지만, 너비를 작게 하는 경우, 에칭액의 유출 속도가 빨라져서 박형화가 품질 좋게 이루어지지 않는다. 즉, 하향식 기판 박형화 장치용 에칭액 유출 모듈의 너비를 작게 하면, 유출되는 에칭액의 유속이 빨라지고, 유출되는 에칭액의 유량이 많아져서 균일한 에칭을 달성할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 기판의 상부에서 수직으로 기판의 면을 따라 에칭액을 자유낙하 하여 기판을 박형화함으로써, 에칭액 분사식이나 침적 및 기포(버블)에 의한 에칭시 발생하는 기판의 파티클 발생 및 스크래치 발생을 제거할 수 있고, 상기 에칭액을 수용하여 상기 기판으로 하향 유출시키는 수용부의 너비를 작게함으로써, 에칭 챔버 내부에서 더 많은 기판 박형화 공정을 수행할 수 있으며, 상기 에칭액의 유량 및 유속이 조절되어 상기 기판으로 유출함으로써, 균일한 기판 박형화를 수행할 수 있는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 수용부의 양측 끝단에 장탈착할 수 있는 고정판을 부착함으로써, 수용부 내부의 청소를 용이하게 하고, 수용부 내부에 형성되는 완충 격벽의 양끝단을 상기 고정판에 의하여 고정함으로써, 상기 완충 격벽의 배치 안정성을 향상시키고, 상기 완충 격벽의 외부 이탈을 용이하게 함으로써, 완충 격벽에 대한 청소를 용이하게 진행할 수 있는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 이루는 구성수단은, 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 있어서, 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부를 통하여 외부에서 유입되는 에칭액을 수용하는 하측 수용부, 상기 하측 수용부의 상단과 협로를 통하여 연통되고, 상기 하측 수용부로부터 차오르는 에칭액을 수용하는 적어도 하나의 상측 수용부로 구성되는 수용부, 상기 수용부의 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 부착되되, 상기 에칭액 유입부와 연통되도록 결합되는 고정판, 상기 상측 수용부의 최상단 상부면에 에칭액이 넘쳐 흐를 수 있도록 형성되는 에칭액 투과슬릿, 상기 수용부의 겉면을 따라 넘쳐흐르는 에칭액을 상기 기판의 수직 상부 방향으로 가이드하기 위하여 상기 하측 수용부와 연결되는 가이드부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상측 수용부가 두개 이상으로 구성되는 경우, 상기 상측 수용부들은 서로 수직 방향으로 연결되고, 서로 협로를 통하여 연통되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 수용부 내부에는 상기 에칭액 유입부를 통하여 외부에서 주입되는 에칭액의 급격한 유량 증가를 방지하기 위하여 수평 방향으로 배치되는 완충격벽이 구비되는 것을 특징으로 하는 한다.
여기서, 상기 완충 격벽은 상기 하측 수용부의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부보다 더 상측에 배치되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 완충 격벽은 박판의 부재에 다수의 에칭액 완충 투과공이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 완충 격벽은 상기 하측 수용부 내부 또는 상측 수용부 내부에 형성되거나, 상기 하측 수용부 내부 및 상측 수용부 내부에 모두 형성될 수 있고, 상기 상측 수용부가 두개 이상으로 구성되면서 상기 상측 수용부에 상기 완충 격벽이 형성되는 경우, 적어도 하나의 상측 수용부에 상기 완충 격벽이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 완충 격벽은 상기 협로에 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수용부는 땅콩 형상인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수용부의 끝단면에 부착되는 상기 고정판은 상기 완충 격벽의 끝단이 삽입 고정되는 수평 삽입홈과 상기 에칭액 유입부가 삽입 고정되는 원형 삽입홈과 상기 에칭액 유입부와 연통되도록 상기 원형 삽입홈 내측에 형성되는 에칭액 유입홀을 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에칭액 투과 슬릿의 양 바깥족 방향으로는 에칭액을 상기 가이드부로 고르게 유도하기 위한 다수의 가이드 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드부는 수직 하부로 갈수록 점차 경사를 이루는 구조로, 그 말단은 상기 기판의 상부면의 수직 상부방향과 대응되도록 정렬되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 과제 및 해결수단을 가지는 본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 의하면, 기판의 상부에서 수직으로 기판의 면을 따라 에칭액을 자유낙하 하여 기판을 박형화함으로써, 에칭액 분사식이나 침적 및 기포(버블)에 의한 에칭시 발생하는 기판의 파티클 발생 및 스크래치 발생을 제거할 수 있고, 상기 에칭액을 수용하여 상기 기판으로 하향 유출시키는 수용부의 너비를 작게함으로써, 에칭 챔버 내부에서 더 많은 기판 박형화 공정을 수행할 수 있으며, 상기 에칭액의 유량 및 유속이 조절되어 상기 기판으로 유출함으로써, 균일한 기판 박형화를 수행할 수 있는 장점이 있다.
또한, 수용부의 양측 끝단에 장탈착할 수 있는 고정판을 부착함으로써, 수용부 내부의 청소를 용이하게 하고, 수용부 내부에 형성되는 완충 격벽의 양끝단을 상기 고정판에 의하여 고정함으로써, 상기 완충 격벽의 배치 안정성을 향상시키고, 상기 완충 격벽의 외부 이탈을 용이하게 함으로써, 완충 격벽에 대한 청소를 용이하게 진행할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈이 적용된 하향식 기판 박형화 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 투명 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리사시도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리사시도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리사시도이다.
도 7은 본 발명에 적용되는 에칭액 투과 슬릿의 다른 형상을 보여주는 평면도이다.
도 8은 본 발명에 적용되는 완충격벽의 상세도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
이하에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야할 것이다.
도 1은 본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈(100)이 적용된 하향식 기판 박형화 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명이 적용되는 하향식 기판 박형화 장치는 글라스 또는 액정패널(이하, '기판'이라 한다.)(20)을 수직으로 세운 상태에서 기판의 상부에서 기판의 표면을 따라 에칭액을 자유낙하시키며 식각하여 박형화하는 장치이다.
상기 하향식 기판 박형화 장치는 기판이 에칭되는 에칭 챔버(10)가 구비되며, 그 내부에 기판을 수직으로 세울 수 있는 고정부(30)가 구비된다. 상기 고정부(30)는 기판을 수직으로 세울 수 있는 구조로 형성되며, 기판을 좌우에서 그립하는 구조나 클램프구조 등 기판을 삽입하거나 세워 고정할 수 있는 구조물이면 다양한 구조로 변형될 수 있다.
예를 들어, 상기 고정부(30)는 기판이 상부에서 하부로 삽입하여 고정할 수 있는 지그를 형성한다. 상기 지그는 적어도 1 이상의 기판이 삽입되어 고정될 수 있는 구조로, 그 하부에는 상기 에칭 챔버 내부로 기판이 고정된 상태로 로딩되거나 언로딩 될 수 있도록 이동 유닛(50)과 연결된다.
상기 이동유닛(50)은 에칭 챔버와 에칭 공정 후에 기판 수세를 위한 수세챔
버가 하나 또는 다수 연결되는 경우에 각 챔버 간에 상기 기판을 이송할 수 있도록 이송레일을 구비하고 타이밍 밸트를 통해 이동이 가능할 수 있도록 함이 바람직하나, 개별 이송 롤러, 고무 벨트 등 여러 가지 방법으로 구동을 구현할 수 있다.
물론 에칭액의 공급이나 기판을 이동유닛을 따리 이동, 에칭의 속도의 전반적인 조절이 가능하게 하는 제어부(미도시)가 형성됨이 바람직하다. 또한, 상기 이동 유닛(50)은 마그네틱 기어 등을 이용하여 부상 이동을 통하여 기판을 적재한 가세트 또는 지그를 이동시킬 수도 있다.
이상과 같이 설명한 하향식 기판 박형화 장치는 기판 상부에 배치되어 기판에 에칭액을 수직 하향식으로 흘러준다. 따라서, 상기 하향식 기판 박형화 장치는 본 발명의 실시예에 따라, 상기 에칭 챔버 상부에 배치되어 상기 기판의 수직상부에서 에칭액을 공급할 수 있는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈(100)을 구비한다. 상기 피넛 타입이란 단면이 땅콩 형상인 에칭액 유출 모듈을 의미하고, 볼록한 부분과 오목한 부분이 반복적으로 형성되는 형상이면 모두 피넛 타입에 해당한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈(100)의 투명 사시도이다. 이를 참조하여 본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈(100)에 대하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈(100)은 외부의 에칭액 공급관(P, 도 1 참조)에서 공급되는 에칭액을 수용하는 수용부(110, 120)와, 상기 수용부의 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 부착되는 고정판(170)과, 상기 수용부의 상부면에 에칭액이 넘쳐 흐를 수 있도록 형성되는 에칭액 투과 슬릿(140)과, 상기 수용부에 수용되는 에칭액이 수용부를 빠져나와 넘쳐흘러 상기 기판의 수직상부 방향으로 흐르도록 가이드 하는 가이드부(150)를 포함하여 형성된다.
여기서 중요한 특징은 상기 수용부(110, 120)가 적어도 두개 이상의 수용부로 나뉘어지고, 적어도 두개 이상의 수용부가 연결되는 부분은 좁은 통로인 협로(夾路)(115)로 연결되어 있다는 점이다.
구체적으로, 상기 수용부는 하측 수용부(110)와 적어도 하나 이상의 상측 수용부(120(120a, 120b))로 구성되어 있고, 상기 하측 수용부(110)와 상측 수용부(120)는 연통되도록 연결되되, 상기 상측 수용부(120) 및 하측 수용부(110)의 공간보다 더 작은 좁은 통로인 협로(夾路)(115)에 의하여 연결되고 연통된다.
상기 하측 수용부(110)는 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 한 쪽 측면에 에칭액 공급관(10)으로부터 유입되는 에칭액을 상기 하측 수용부(110) 내부로 안내하는 에칭액 유입부(111)가 형성되어 있다. 상기 에칭액 유입부(111)는 짧은 관 형태를 가지고, 그 직경은 상기 하측 수용부(110)의 내경 이하로 형성된다.
이와 같은 구조로 이루어진 상기 하측 수용부(110)는 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 형성된 상기 에칭액 유입부(111)를 통하여 외부에서 유입되는 에칭액을 수용한다.
상기 에칭액 유입부(111)는 상기 하측 수용부(110)의 한쪽 끝단에만 형성될 수도 있고, 양쪽 끝단 모두에 형성될 수도 있다. 즉, 상기 에칭액은 상기 하측 수용부(110)의 한쪽으로만 공급할 수도 있고, 양쪽 끝단으로도 공급할 수도 있다. 한편, 본 발명에서는 상기 에칭액 유입부(111)가 상기 하측 수용부(110)에 형성되는 것으로 예시하지만, 상기 에칭액 유입부(111)는 경우에 따라서 상기 하측 수용부(110)가 아닌 상기 상측 수용부(120)에 형성될 수도 있다.
상기 하측 수용부(110)는 상기 에칭액 유입부(111)를 통하여 외부에서 주입되는 상기 에칭액을 수용한다. 상기 에칭액을 수용하는 과정에서, 상기 에칭액은 상기 하측 수용부(110) 내부에서 차오르게 된다.
상기 하측 수용부(110)의 상측에는 상기 상측 수용부(120)가 연결되어 있다. 상기 상측 수용부(120)는 상기 하측 수용부(110)의 상단과 협로(夾路)(115)를 통하여 연통되고, 상기 하측 수용부(110)로부터 차오르는 상기 에칭액을 수용한다.
즉, 상기 하측 수용부(110)로 계속해서 유입되는 에칭액은 그 양이 많아져서, 상기 협로(夾路)(115)를 거쳐 상기 상측 수용부(120)까지 차오르게 된다. 상기 상측 수용부(120)로 차오르게 되는 상기 에칭액은 상기 상측 수용부(120)의 상부를 통해 넘쳐 흐르게 되고, 이 넘쳐 흐르는 에칭액은 상기 상측 수용부(120)의 겉면과 하측 수용부(110)의 겉면을 타고 하방향으로 흘러 내려간다. 이 흘러 내려오는 에칭액은 후술할 가이드부(150)를 따라 상기 기판 상부로 전달된다.
상기 상측 수용부(120)는 적어도 하나 이상으로 구성되어, 상기 하측 수용부(110)의 상단과 협로(115)를 통하여 연통되고, 상기 하측 수용부(110)로부터 차오르는 에칭액을 수용한다. 즉, 상기 상측 수용부(120)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 하측 수용부(110)와 연결되는 상측 수용부(120a)와 상기 상측 수용부(120a)와 연결되는 또 다른 상측 수용부(120b)로 구성될 수도 있고, 더 많은 상측 수용부가 더 연결되어 구성될 수도 있다.
상기 하부 수용부(110)와 상기 적어도 하나 이상인 상부 수용부(120)를 서로 연통되도록 하는 상기 협로(夾路)(115)는 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 말 그대로 좁은 통로를 형성한다. 이러한 상기 협로(夾路)(115)는 상기 하측 수용부(110)로부터 차오르는 에칭액이 급속하게 상기 상측 수용부(120)로 차오르는 것을 방지한다. 결국, 상기 상측 수용부(120)로 유입되는 에칭액은 상기 상측 수용부(120) 내부에서 천천히 차오르게 되고, 상기 상측 수용부(120)의 상부를 통해 일정하게 흘러 나간다.
도 2 내지 도 6에 도시된 상기 협로(夾路)(115)는 완전히 뚫려 있는 좁은 통로의 형태인데, 경우에 따라서 통공이 다수개 형성된 플레이트(미도시)가 상기 협로(夾路)(115)를 가로 막게 설치될 수도 있다. 이 경우, 상기 하측 수용부(110)에서 상기 상측 수용부(120)로 유입되는 에칭액은 더 완만하게 유입될 수 있고, 결과적으로, 일정한 양으로 상기 에칭액이 상기 상부 수용부(120)의 상부면을 통해 흘러 나갈 수 있다.
상기 상측 수용부(120)의 최상단 상부면에는 상기 에칭액이 넘쳐 흐를 수 있도록 에칭액 투과 슬릿(130)이 형성된다. 즉, 상기 상측 수용부(120)의 최상단 상부면에는 일정부분이 개구된 형태의 에칭액 투과 슬릿(130)이 형성되어 상부 수용부(120)에서 넘쳐흐르는 에칭액이 외부로 흐를 수 있도록 함이 바람직하다.
상기 상측 수용부(120)가 하나로 구성되는 경우에는 이 상측 수용부(120)의 상부면에 상기 에칭액 투과 슬릿(130)이 형성되고, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상측 수용부(120)가 두개의 상측 수용부(120a, 120b)로 구성되는 경우에는 두개의 상측 수용부 중, 최상단에 위치하는 상측 수용부(120b)의 상부면에 상기 에칭액 투과 슬릿(130)이 형성된다.
또한 상기 에칭액 투과 슬릿(130)은 상기 최상단 상부 수용부(120)의 길이방향으로 형성됨이 바람직다. 상기 에칭액 투과 슬릿(130)의 양 바깥쪽 방향으로는 에칭액을 상기 가이드부(150)로 고르게 유도할 수 있도록 다수의 가이드 홈(140)이 구비됨이 바람직하다.
상기 가이드 홈(140)은 상기 에칭액 투과 슬릿(130)과는 직교하는 방향으로 에칭액이 흐를 수 있도록 유도 홈을 음각으로 형성할 수 있다. 이를 통해 자연스럽게 에칭액이 상기 수용부(110, 120)의 몸통부의 굴곡을 타고 상기 가이드 부(150)로 유도될 수 있도록 한다.
한편, 도 7에 도시된 것처럼, 상기 에칭액 투과 슬릿(130)과 에칭액 가이드 홈(140)을 일체로 형성하여, 상기 에칭액 투과 슬릿(130)을 상기 상부 수용부(120)의 길이방향과 수직하는 방향으로 형성한 후, 에칭액 투과 슬릿(130)의 양끝부분에 가이드 홈(140)을 형성하는 것도 가능하다.
상기 상측 수용부(120)의 최상단 상부면에 형성된 상기 에칭액 투과 슬릿(130) 및 가이드 홈(140)을 통해 넘쳐 흐르는 에칭액은 상기 상측 수용부(120)와 하측 수용부(110)로 구성되는 상기 수용부의 겉면을 타고 흘러서 상기 가이드부(150)로 유도된다.
상기 가이드부(150)는 상기 상측 수용부(120)와 하측 수용부(110)로 구성되는 상기 수용부의 겉면을 따라 넘쳐 흐르는 에칭액을 상기 기판의 수직 상부 방향으로 가이드하기 위하여 상기 하측 수용부(110)와 연결되어 있다.
상기 가이드부(150)는 에칭액이 상기 수용부(110, 120)의 외주면을 따라 이동하여 자연스럽게 기판의 상부로 전달될 수 있도록, 상기 하측 수용부(110)와 연결되는 부분에서 기판 방향으로 이어지는 부분이 경사를 이루는 형상으로 이루어짐이 바람직하다(도 2 내지 도 6 참조).
기본적으로 상기 가이드부(150)는, 도 2에 도시된 간격(S)이 없는 구조로 형성하여 기판의 바로 상부에서 에칭액을 흘려주는 것도 가능하다. 또한, 다른 적용례로는 상기 가이드부(150)는 중심부가 간격(S)이 형성되는 구조로 형성하여 상기 간격(S) 사이에 기판의 상부가 일정부분 삽입될 수 있도록 형성할 수 있다. 이렇게 기판이 상기 가이드부(150) 사이 간격(S)에 그 상부가 삽입되면, 기판의 양쪽 표면으로 고르게 에칭액이 공급되어 에칭의 효율성을 증진할 수 있다.
한편, 상기 수용부의 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에는 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 고정판(170)이 부착된다. 상기 고정판(170)은 상기 에칭액 유입부(111)와 연통되도록 결합된다.
상기 고정판(170)은 상기 수용부(110, 120)의 한쪽 끝단 면에만 결합될 수도 있고, 양쪽 끝단 면 보두에 결합될 수도 있다. 후술하겠지만, 상기 고정판(170)은 상기 수용부 내부에 형성되는 완충 격벽(160)의 끝단을 삽입 고정시키는 기능을 수행한다.
따라서, 상기 완충 격벽(160)의 양 끝단이 모두 상기 고정판(170)에 의하여 고정되는 경우에는, 상기 고정판(170)이 상기 수용부의 양쪽 끝단 면에 모두 부착 결합된다. 반면 상기 완충 격벽(160)의 한쪽 끝단만이 상기 고정판(170)에 의하여 고정되는 경우에는, 상기 고정판(170)이 상기 수용부의 한쪽 끝단 면에만 부착된다. 이 경우의 상기 완충 격벽의 다른쪽 끝단은 상기 수용부의 한쪽 끝단 내벽에 고정 지지될 수 있도록 구성할 수 있다.
상기 고정판(170)은 상기 관 형상의 에칭액 유입부(111)와 연통되도록 결합된다. 즉, 상기 에칭액 유입부(111)가 형성되는 상기 하측 수용부(110)의 끝단 면에 상기 고정판(170)이 결합되는 경우에는, 후술하겠지만, 상기 고정판(170)의 에칭액 유입홀(175)과 상기 에칭액 유입부(111)이 연통될 수 있도록, 상기 고정판(170)을 상기 수용부에 결합한다.
한편, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 상측 수용부(120)는 복수개가 다단으로 구성될 수도 있다. 즉 상기 하측 수용부(110) 상에 하나의 상측 수용부(120)만이 결합될 수도 있지만, 두개 이상의 상측 수용부(120)가 상기 하측 수용부(110) 상에 결합될 수도 있다.
이와 같이, 상기 상측 수용부(120)가 두개 이상으로 구성되는 경우에는, 상기 상측 수용부들은 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 수직 방향으로 연결되고, 서로 협로(115)를 통하여 연통되도록 구성된다. 즉, 상기 하측 수용부(110)와, 그 상측에 연결되는 상측 수용부만이 협로를 통해 연통되도록 구성되는 것이 아니라, 복수개의 하측 수용부들 사이들끼리도 협로를 통해 서로 연통되도록 구성된다.
이상에서 설명한 본 발명인 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈(100)에 의하면, 하부 수용부(110)와 적어도 하나 이상의 상부 수용부(120)로 수용부를 구성하고, 하부 수용부(110)와 적어도 하나 이상의 상부 수용부(120) 사이의 연결을 좁은 통로인 협로(夾路)(115)로 연결하기 때문에, 상부 수용부(120)의 상부면을 통해 유출되는 에칭액의 양을 일정하게 유지할 수 있고, 급속한 에칭액의 유출을 방지할 수 있다.
결국, 상기 상부 수용부(120)의 상부면을 통해 유출되는 에칭액의 양을 일정하게 유지할 수 있고, 급속한 에칭액의 유출을 방지할 수 있기 때문에, 상기 하부 수용부(110)와 상부 수용부(120)로 수용부를 구성되는 수용부의 크기 및 너비를 작게 형성할 수도 있다. 따라서, 에칭 챔버 내부에 배치할 수 있는 에칭액 유출 모듈의 개수를 더욱 증가시킬 수 있고, 에칭액 유출 모듈에 대응되어 수직 방향으로 배치되는 기판의 개수도 더욱 증대시킬 수 있어서, 기판 박형화 공정의 효율을 증대시킬 수 있다.
한편, 상기 하부 수용부(110)와 상부 수용부(120)로 수용부를 구성되는 수용부에서의 에칭액 유출 속도, 유출량, 유출 균일도를 더 증대시키기 위하여, 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 완충 격벽(160)을 더 구비시키는 것이 바람직하다.
상기 완충 격벽(160)은 상기 수용부(110, 120) 내부에 배치된다. 그리고, 외부에서 주입되는 에칭액의 급격한 유량 증가를 방지하기 위하여, 상기 수용부(110, 120) 내부에서 수평 방향으로 배치된다.
즉, 상기 수용부(110, 120)의 내부에는 에칭액을 공급하는 관(P)으로부터 유입되는 에칭액의 급격한 유입으로 상기 에칭액 투과 슬릿(130)을 통해 에칭액이 급격히 유출되는 것을 방지하기 위하여, 상기 수용부(110, 120) 내부에 완충격벽(160)을 구비한다.
여기서 중요한 사항은, 상기 완충 격벽(160)의 설치 위치이다. 상기 완충 격벽(160)은 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 수용부(110, 120)의 한 쪽 측면 또는 양쪽 측면에 형성된 상기 에칭액 유입부(111)보다 더 상측에 배치된다. 따라서, 상기 에칭액 유입부(111)를 통해 유입되는 에칭액이 우선적으로, 상기 수용부(110, 120) 내부에 수평하게 배치되는 상기 완충 격벽(160)의 하측으로부터 유입되면서 차오르게 한다.
결과적으로, 상기 완충 격벽(160)의 하측에서 상측으로 차오르는 에칭액은 상기 완충 격벽(160)을 지나서 상기 수용부(110, 120)의 상단까지 차오른다. 이 과정에서, 상기 에칭액은 차오르는 유량 및 속도가 완화된다. 결국, 상기 에칭액은 상기 상측 수용부(120)의 상부면을 통해 천천히 일정하게 유출될 수 있다.
한편, 상기 완충격벽(160)의 기능과 상기 협로(115)의 기능이 합해져서 상기 수용부(110, 120) 내부로 차오르는 에칭액의 유량 및 유속은 더욱 완만하고, 일정하게 차오르게 된다. 결과적으로, 상기 상측 수용부(120)의 상부면을 통해 유출되는 에칭액은 일정한 유량으로 흘러내리고, 일정한 유속으로 흘러내릴 수 있다.
정리하면, 상기 수용부(110, 120) 내부에는 상기 에칭액 유입부(111)를 통하여 외부에서 주입되는 에칭액의 급격한 유량 증가를 방지하기 위하여 수평 방향으로 배치되는 완충 격벽(160)이 구비된다.
이러한 완충 격벽(160)은 상기 하측 수용부(110)의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부(111)보다 더 상측에 배치된다. 물론, 상기 에칭액 유입부(111)가 상기 하측 수용부(110)의 끝단면에 형성되는 것이 아니라, 상기 상측 수용부(120)의 끝단면에 형성될 수도 있고, 이러한 경우에도 상기 완충 격벽은 상기 상측 수용부(120)의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부(111)보다 더 상측에 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 경우에 따라서는 상측 수용부의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부(111)보다 더 하측(하측 수용부 포함)에 상기 완충 격벽이 형성될 수도 있다.
상기와 같은 완충격벽(160)은 상기 수용부(110, 120) 내부의 소정 위치에 배치되며, 첨부된 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 얇은 박판 형상에 에칭액 완충 투과공(161)이 형성됨이 바람직하다. 이를 통해 수용부(110, 120) 상측으로 차오르는 에칭액의 급격한 상승을 막아 에칭액의 공급속도와 유량을 조절할 수 있고, 에칭액의 고른 흐름을 유도할 수 있도록 한다.
특히 상기 에칭액 완충 투과공(161)은 단순히 완충격벽의 두께에 해당하는 관통공을 구비할 수 있으며, 나아가 상기 관통공의 형상을 도 8의 (b)처럼 원통형으로 하거나, 또는 도 8의 (c)처럼 쐐기 형상으로 하여 보다 효율적인 에칭액의 상승속도의 제어를 할 수 있도록 함이 바람직하며, 필요에 따라 상기 관통공의 단면 형상은 사각 모양이나 마름모, 타원 등 여러 형태의 타공 모양을 사용할 수 있다.
상기 완충 격벽(160)은 상술한 바와 같이, 상기 수용부(110, 120)의 소정 위치에 배치된다. 즉, 상기 완충 격벽(160)은 상기 하측 수용부(110) 내부 또는 상측 수용부(120) 내부에 형성될 수 있다. 그리고, 상기 하측 수용부(110) 내부 및 상측 수용부(120) 내부에 모두 형성될 수 있다.
또한, 상기 상측 수용부(120)가 두개 이상으로 구성되면서 상기 상측 수용부(120)에 상기 완충 격벽(160)이 형성되는 경우, 상기 적어도 하나의 상측 수용부(120)에 상기 완충 격벽이 형성될 수 있다. 예를 들어, 상측 수용부(120)가 도 2에 도시된 바와 같이, 두개의 상측 수용부(120a, 120b)로 구성되는 경우, 하단의 상측 수용부(120a)와 상단의 상측 수용부(120b) 중, 적어도 하나의 상측 수용부에 상기 완충 격벽(160)이 형성될 수 있으며, 경우에 따라서는 하단의 상측 수용부(120a)와 상단의 상측 수용부(120b) 사이의 협로(115)에도 상기 완충 격벽(160)이 형성될 수도 있다.
즉, 상기 완충 격벽(160)은 수용부(120)에 형성되어 있는 상기 협로에 형성될 수 있고, 복수개의 협로 중에, 어느 하나의 협로에만 상기 완충 격벽이 형성될 수도 있고, 복수개의 협로에 각각 상기 완충 격벽이 형성될 수도 있다.
이상에서 설명한 본 발명에 의하면, 상기 수용부(110, 120)의 내부, 더 구체적으로 상기 완충 격벽(160)의 하측으로 유입되는 에칭액은 상기 완충 격벽(160)을 거치고, 또 다시 상기 협로(115)를 거쳐서 상기 수용부(110, 120) 상측으로 차오르기 때문에, 상기 수용부(110, 120)의 상측으로 차오르는 에칭액의 유량은 일정하고, 유속도 일정하다. 결과적으로, 상기 상측 수용부(120)의 최상단 상부면에 형성된 에칭액 투과 슬릿(130)을 통해 유출되는 에칭액의 유량 및 유속은 매우 일정할 수밖에 없다.
한편, 상기 상측 수용부(120)의 최상단 상부면에 형성된 에칭액 투과 슬릿(130)을 통해 흘러나가는 에칭액의 유속 및 유량을 더 정밀하게 조절하기 위하여, 상술한 완충 격벽(160)을 상기 수용부(110, 120) 내부에 복수개 설치할 수도 있다.
이상에서 설명한, 상기 하측 수용부(110) 및 상측 수용부(120)로 구성되는 수용부는 그 형상이 땅콩 형상인 것이 가장 바람직하다. 즉, 상기 수용부는 상기 상측 수용부(120)와 하측 수용부(110)가 수직 방향으로 결합되되, 상기 협로(115)에 의하여 연통될 수 있도록 결합되는 땅콩 형상인 것이 가장 바람직하다.
이와 같이, 상기 수용부가 땅콩 형상을 가질 때, 상기 협로(115)가 형성되어 에칭액의 유량 및 유속을 일정하게 조절할 수 있고, 상기 완충 격벽(160)을 용이하게 배치할 수 있다.
또한, 상기 상측 수용부(120)가 도 2에 도시된 바와 같이, 복수개로 구성되는 경우에도, 복수개의 상측 수용부들 사이에도 협로로 연통되도록 구성된다. 즉, 복수개의 상측 수용부들의 연결 형상 역시 땅콩 형상을 가지는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 수용부의 형상은 볼록 형상과 오목 형상(협로 부분)이 반복적으로 형성됨으로써, 하나의 땅콩 형상이 될 수도 있고, 복수개의 땅콩이 수직방향으로 결합된 형상을 가질 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 대한 구체적인 예시적 구조들을 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리 사시도이다. 이는 하측 수용부(110)와 하나의 상측 수용부(120)로 수용부가 구성되고, 하측 수용부(110)에 완충 격벽(160)이 배치되는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 예시한다.
이 때, 상기 완충 격벽(160)은 상기 하측 수용부(110)의 측면에 형성된 에칭액 유입부(111)보다 더 높게 상기 하측 수용부 내부에 배치된다. 따라서, 상기 에칭액 유입부(111)를 통해 인입되는 에칭액은 하측 수용부(110) 내부에서 차오르는 과정에서 상기 완충 격벽(160)을 통과한 후 상측으로 차오르게 된다.
한편, 상기 수용부(110, 120)의 끝단면에 부착되는 상기 고정판(170)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 완충 격벽(160)의 끝단이 삽입 고정되는 수평 삽입홈(171)과 상기 관 형상의 에칭액 유입부(111)가 삽입 고정되는 원형 삽입홈(173)과 상기 에칭액 유입부(111)와 연통되도록 상기 원형 삽입홈(173) 내측에 형성되는 에칭액 유입홀(175)을 구비한다.
상기와 같은 구조로 되어 있는 상기 고정판(170)이 상기 수용부(110, 120)의 끝단면에 결합되면, 상기 수용부 내부의 완충 격벽(160)은 상기 수평 삽입홈(171)에 삽입 고정됨으로써, 상기 수용부 내부에서 견고하게 고정 배치될 수 있고, 상기 고정판(170)의 원형 삽입홈(173)에 상기 관 형상의 에칭액 유입부(111)가 삽입 고정됨으로써, 상기 에칭액 유입부(111)와 상기 고정판(170)에 형성되어 있는 에칭액 유입홀(175)이 연통될 수 있다. 따라서, 상기 원형 삽입홈(173)이 형성되어 있는 상기 고정판(170)의 면과 반대되는 상기 고정판(170)의 면에 형성되어 있는 관 형상의 에칭액 투입부(177)로부터 유입되는 에칭액은 상기 에칭액 유입홀(175)을 지나 상기 에칭액 유입부(111)를 통해 상기 수용부 내부로 인입될 수 있다.
이와 같은 구조로 이루어진 상기 고정판(170)의 구조는 이하에서 설명하는 다른 구조에서도 비슷하게 적용된다. 다만, 제1 실시예에 따른 상기 고정판(170)은 상기 에칭액 유입부(111)가 하측 수용부(110)의 측면에 형성되고, 상기 완충 격벽(160)이 하측 수용부(110) 내부에 배치되기 때문에, 상기 수평 삽입홈(171), 원형 삽입홈(173) 및 에칭액 유입홀(175)을 하측(고정판의 높이 방향에서 중심 하측)에 모두 구비한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리 사시도이다. 이는 도 3을 참조하여 설명한 구조와 대부분 유사하다. 다만 제2 실시예에서는 상기 완충 격벽(160)이 하나의 상측 수용부(120)에 배치된다.
따라서, 상기 고정판(170)의 상측(고정판의 높이 방향에서 중심 상측)에 상기 수평 삽입홈(171)이 형성되어 있고, 하측에 상기 원형 삽입홈(173)과 에칭액 유입홀(175)이 형성되어 있다.
도 3에서는 하측 수용부에 상기 완충 격벽이 형성된 구조이고, 도 4에서는 상측 수용부에 상기 완충 격벽이 형성된 구조이나, 하측 수용부와 상측 수용부에 모두 완충 격벽이 형성된 구조를 가질 수도 있다.
도 5는 본 발명의 제3 실시에에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리 사시도이다. 이는 하측 수용부(110)와 두개의 상측 수용부(120(120a, 120b))로 수용부가 구성되고, 두개의 상측 수용부(120) 중, 아랫 쪽에 있는 상측 수용부(120a)에 완충 격벽(160)이 배치되는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 예시한다.
또한 도 6은 본 발명의 제4 실시에에 따른 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈의 분리 사시도이다. 이는 하측 수용부(110)와 두개의 상측 수용부(120(120a, 120b))로 수용부가 구성되고, 두개의 상측 수용부(120a, 120b) 모두에 완충 격벽(160)이 배치되는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 예시한다.
물론, 도 5 및 도 6의 구조와 달리, 두개의 상측 수용부(120) 중, 윗 쪽에 있는 상측 수용부(120b)에만 완충 격벽(160)이 배치되는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈도 구성할 수 있다. 또한, 상측 수용부에 상기 에칭액 유입부(111)를 형성하고, 상기 수용부의 소정 위치에 상기 완충 격벽을 다양한 개수로 배치할 수도 있다. 또한, 상기 상측 수용부(120)의 개수를 2개로 구성하지 않고, 세개 이상으로 구성할 수도 있다.
이상에서 설명한 다양한 구조를 통하여 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈을 구성할 수 있고, 이를 통하여 상측 수용부(120)의 최상단 상부면을 통해 유출되는 에칭액의 유량 및 속도를 일정하게 유지할 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이, 상기 상측 수용부(120)의 상부면에 형성된 상기 에칭액 투과 슬릿(130)의 양 바깥쪽 방향으로는 에칭액을 상기 가이드부(150)로 고르게 유도하기 위한 다수의 가이드 홈(140)이 형성되는 것이 바람직하고, 상기 가이드부(150)는 수직 하부로 갈수록 점차 경사를 이루는 구조로, 그 말단은 상기 기판의 상부면의 수직 상부 방향과 대응되도록 정렬되는 것이 바람직하다. 이와 같은 구조 및 배치를 통하여 상기 기판의 박형화 품질을 향상시킬 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명은 특정의 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 단순한 설계변경이나 관용수단의 치환 등의 경우에도 본 발명의 보호범위에 속함을 분명히 한다.
10 : 에칭 챔버 20 : 기판
30 : 고정부 50 : 이동 유닛
P : 에칭액 공급관 S : 간격
100 : 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈
110 : 하측 수용부 111 : 에칭액 유입부
120 : 상측 수용부 115 : 협로(夾路)
130 : 에칭액 투과 슬릿 140 : 가이드 홈
150 : 가이드부 160 : 완충 격벽
161 : 에칭액 완충 투과공 170 : 고정판
171: 수평 삽입홈 173 : 원형 삽입홈
175 : 에칭액 유입홀 177 : 에칭액 투입부

Claims (11)

  1. 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈에 있어서,
    양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부를 통하여 외부에서 유입되는 에칭액을 수용하는 하측 수용부, 상기 하측 수용부의 상단과 협로를 통하여 연통되고, 상기 하측 수용부로부터 차오르는 에칭액을 수용하는 적어도 하나의 상측 수용부로 구성되는 수용부;
    상기 수용부의 양끝 단면 중, 적어도 하나의 끝단면에 부착되되, 상기 에칭액 유입부와 연통되도록 결합되는 고정판;
    상기 상측 수용부의 최상단 상부면에 에칭액이 넘쳐 흐를 수 있도록 형성되는 에칭액 투과슬릿;
    상기 수용부의 겉면을 따라 넘쳐흐르는 에칭액을 상기 기판의 수직 상부 방향으로 가이드하기 위하여 상기 하측 수용부와 연결되는 가이드부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 상측 수용부가 두개 이상으로 구성되는 경우, 상기 상측 수용부들은 서로 수직 방향으로 연결되고, 서로 협로를 통하여 연통되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 수용부 내부에는 상기 에칭액 유입부를 통하여 외부에서 주입되는 에칭액의 급격한 유량 증가를 방지하기 위하여 수평 방향으로 배치되는 완충격벽이 구비되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 완충 격벽은 상기 하측 수용부의 끝단면에 형성된 에칭액 유입부보다 더 상측에 배치되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 완충 격벽은 박판의 부재에 다수의 에칭액 완충 투과공이 형성되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 완충 격벽은 상기 하측 수용부 내부 또는 상측 수용부 내부에 형성되거나, 상기 하측 수용부 내부 및 상측 수용부 내부에 모두 형성될 수 있고, 상기 상측 수용부가 두개 이상으로 구성되면서 상기 상측 수용부에 상기 완충 격벽이 형성되는 경우, 적어도 하나의 상측 수용부에 상기 완충 격벽이 형성되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 완충 격벽은 상기 협로에 형성되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 수용부는 땅콩 형상인 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  9. 청구항 3에 있어서,
    상기 수용부의 끝단면에 부착되는 상기 고정판은 상기 완충 격벽의 끝단이 삽입 고정되는 수평 삽입홈과 상기 에칭액 유입부가 삽입 고정되는 원형 삽입홈과 상기 에칭액 유입부와 연통되도록 상기 원형 삽입홈 내측에 형성되는 에칭액 유입홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  10. 청구항 3에 있어서,
    상기 에칭액 투과 슬릿의 양 바깥족 방향으로는 에칭액을 상기 가이드부로 고르게 유도하기 위한 다수의 가이드 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
  11. 청구항 3에 있어서,
    상기 가이드부는 수직 하부로 갈수록 점차 경사를 이루는 구조로, 그 말단은 상기 기판의 상부면의 수직 상부방향과 대응되도록 정렬되는 것을 특징으로 하는 하향식 기판 박형화 장치용 피넛 타입 에칭액 유출 모듈.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105513997A (zh) * 2014-10-10 2016-04-20 株式会社Mm科技 蚀刻装置及蚀刻方法

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