CN105513997A - 蚀刻装置及蚀刻方法 - Google Patents

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Abstract

本发明揭示一种蚀刻装置及蚀刻方法。本发明的蚀刻装置包含：堆载部，其在内部形成空间，供显示器基板插入；夹紧部，其夹紧所述显示器基板的上表面；及蚀刻液喷射部，其以远离所述堆载部的方式配置，向所述显示器基板喷射蚀刻液。本发明可在进行蚀刻时防止显示器基板的破损，实现均匀的蚀刻。

Description

蚀刻装置及蚀刻方法
技术领域
本发明涉及一种装置及方法，更详细而言，涉及一种蚀刻装置及蚀刻方法。
背景技术
通常，显示器(display)基板为了实现轻薄(Slim)化，可利用蚀刻液进行蚀刻。此时，为了对显示器基板等进行蚀刻，需固定显示器基板等。特别是，在如上所述的情况下，通常可将显示器基板等插入到匣盒(cassette)等后，喷射蚀刻液而对显示器基板等进行蚀刻。
然而，最近在为了对显示器基板等进行蚀刻而将其插入到匣盒的情况下，由于显示器基板等的尺寸变大，因此会因显示器基板等的负重、外部影响等而产生显示器基板等弯曲的问题。特别是，在显示器基板等弯曲的情况下，无法均匀地执行蚀刻、或在表面产生污痕或擦伤(scratch)等，因此会发生不良。因此，为了解决如上所述的问题，正在开发各种方法及各种结构等。
发明内容
[发明欲解决的课题]
本发明的实施例欲提供一种蚀刻装置及蚀刻方法。
[解决课题的手段]
本发明的一方面可提供一种蚀刻装置，其包含：堆载部，其在内部形成空间，供显示器基板插入；夹紧(clamping)部，其夹紧所述显示器基板的上表面；及蚀刻液喷射部，其以远离所述堆载部的方式配置，向所述显示器基板喷射蚀刻液。
在本实施例中，所述夹紧部可具备：夹具(clamp)，其夹紧堆载在所述堆载部的所述显示器基板的上表面；及升降调节部，其与所述夹具连接而使所述夹具升降。
在本实施例中，所述夹紧部还可具备距离调节部，所述距离调节部使所述夹具动作而夹紧所述显示器基板或松开(Unclamping)所述显示器基板。
在本实施例中，所述夹紧部还可具备缓冲垫(cushion)部，所述缓冲垫部设置到所述夹具，与所述显示器基板接触。
在本实施例中，还可包含基板支撑部，所述基板支撑部设置到所述堆载部的下表面及侧面中的至少一者，支撑所述显示器基板。
在本实施例中，所述基板支撑部可具备基板支撑卡夹(pin)，所述基板支撑卡夹供所述显示器基板的下表面及侧面中的至少一者插入。
在本实施例中，所述基板支撑部可具备基板支撑板(plate)，所述基板支撑板与所述显示器基板的下表面及侧面中的至少一者接触。
在本实施例中，所述蚀刻液喷射部可在通过所述夹紧部而使所述基板远离所述堆载部的状态下喷射蚀刻液。
在本实施例中，所述夹紧部可改变所述显示器基板的高度。
本发明的另一侧面可提供一种蚀刻方法，其包含如下步骤：将显示器基板插入到堆载部的内部的步骤；通过夹紧部固定所述显示器基板的上表面的步骤；向所述显示器基板喷射蚀刻液而对所述显示器基板进行蚀刻的步骤。
在本实施例中，可在所述显示器基板远离所述堆载部的状态下，向所述显示器基板喷射所述蚀刻液。
在本实施例中，还可包含通过所述夹紧部夹紧所述显示器基板而使其远离所述堆载部的步骤。
在本实施例中，还可包含对与所述夹紧部接触的所述显示器基板的上表面部分进行切割(cutting)的步骤。
[发明效果]
本发明的实施例可在进行蚀刻时防止显示器基板的破损，实现均匀的蚀刻。
附图说明
图1是表示本发明的一实施例的蚀刻装置的概念图。
图2是放大表示图1所示的A部分的局部立体图。
图3a及图3b是表示固定图1所示的显示器基板的情况的概念图。
具体实施方式
如果一同参照附图与在以下详细地进行叙述的实施例，则本发明变明确。然而，本发明并不限定于以下所揭示的实施例，由各种不同的形态实现，本实施例仅是为了使本发明的揭示完整且明确地向在本发明所属技术领域内具有常识的技术人员告知发明的范畴而提供的实施例，本发明仅由权利要求书的范畴定义。另一方面，本说明书中所使用的术语是用以说明实施例的术语，并非意欲限制本发明。在本说明书中，如果未在文中特别提及为单数形，则也包含复数形。说明书中所使用的“包含(comprises)”及/或“包含的(comprising)”是指所提及的构成要素、步骤、动作及/或元件不排除存在或追加一个以上的其他构成要素、步骤、动作及/或元件。第一、第二等术语可在说明各种构成要素时使用，但构成要素不应受术语的限定。术语仅以将一个构成要素与其他构成要素区分开来为目的而使用。
图1是表示本发明的一实施例的蚀刻装置的立体图。图2是放大表示图1所示的A部分的局部立体图。图3a及图3b是表示固定图1所示的显示器基板的情况的概念图。
参考图1及图2，蚀刻装置100可包含堆载部110、夹紧部120、蚀刻液喷射部140及基板支撑部150。
堆载部110可保管显示器基板M。此时，堆载部110可配置在额外的处理室(未图示)内部，能够以可移动的方式形成。
堆载部110可具备形成外观的主框架111及设置到主框架111之间的支撑框架112。此时，主框架111可由多个框架形成，所述多个框架形成为六面体，由此可在内部形成空间。支撑框架112配置到如上所述的框架之间，可防止各框架弯曲。此时，支撑框架112可提高主框架111的强度。
另外，堆载部110可具备形成堆载部110的底面的下部框架113。另外，堆载部110可设置到下部框架113且具备轮114。
另一方面，夹紧部120可夹紧显示器基板M或松开显示器基板M。此时，夹紧部120可从上部夹紧显示器基板M。特别是，夹紧部120可使显示器基板M在显示器基板M的高度方向(Z方向)上保持张力(tension)。
夹紧部120可设置到连接框架130，所述连接框架130设置到堆载部110的外部。此时，连接框架130可固定在外部，沿各种方向配置。例如，连接框架130能够以固定到形成供堆载部110插入的空间的所述处理室的方式设置。另外，连接框架130可沿显示器基板M的长度方向(X方向)配置。另外，连接框架130可沿配置有多个显示器基板M的方向(Y方向)设置。然而，以下为了便于说明，以沿配置有显示器基板M的方向(Y方向)设置连接框架130的情况为中心而详细地进行说明。
如上所述的夹紧部120可包含设置到连接框架130的升降调节部121及与升降调节部121连接而进行升降运动的夹具122。此时，升降调节部121可形成为各种形态。例如，升降调节部121可具备与夹具122连接的汽缸(cylinder)。另外，作为另一实施例，升降调节部121可具备：马达(motor)；及齿条传动装置(rackgear)，其与马达及夹具连接，随着马达的旋转而升降。作为又一实施例，升降调节部121可具备与夹具122连接的滚珠螺杆(ballscrew)及与滚珠螺杆连接的马达。作为又一实施例，升降调节部121可具备：连接杆(bar)(未图示)，其与夹具122连接，以可进行线性运动的方式设置到连接框架130；及如螺钉(bolt)等的位置固定部(未图示)，其固定所述连接杆的位置。此时，升降调节部121并不限定于上述内容而可包含使夹具122升降的所有结构及装置。然而，以下为了便于说明，以升降调节部121具备汽缸的情况为中心而详细地进行说明。
夹具122可夹紧显示器基板M的上表面。具体而言，夹具122可具备：固定部122a；及移动部122b，其设置到固定部122a，与固定部122a的距离可变。此时，移动部122b能够以可进行线性运动的方式设置到固定部122a。
夹紧部120可具备距离调节部123，所述距离调节部123使夹具122动作而使其夹紧显示器基板M或松开显示器基板M。此时，距离调节部123可调节移动部122b与固定部122a之间的距离。
距离调节部123可形成为各种形态。例如，距离调节部123可具备与移动部122b连接的汽缸。另外，作为另一实施例，距离调节部123可具备螺钉，所述螺钉以贯通到固定部122a及移动部122b的方式设置，调节固定部122a与移动部122b的距离。作为又一实施例，距离调节部123可具备马达、与连接到马达及移动部122b的滚珠螺杆。此时，距离调节部123并不限定于上述内容，可包含可调节固定部122a与移动部122b之间的距离的所有装置及结构。然而，以下为了便于说明，以距离调节部123具备汽缸的情况为中心而详细地进行说明。
夹紧部120可具备设置到夹具122的缓冲垫部124。此时，缓冲垫部124可由如橡胶、硅(silicon)、塑料(plastic)等的弹性材质形成。此时，缓冲垫部124可设置到固定部122a及移动部122b中的至少一者。特别是，缓冲垫部124可通过与显示器基板M接触而防止过度的力施加到显示器基板M或显示器基板M破损。
如上所述的夹紧部120可具备多个。此时，多个夹紧部120可具备夹紧显示器基板M的上表面的第一夹紧部120a。另外，夹紧部120可具备第二夹紧部120b，所述第二夹紧部120b以远离第一夹紧部120a的方式配置，夹紧显示器基板M的上表面。
第一夹紧部120a与第二夹紧部120b能够以从显示器基板M的中心对称的方式配置。此时，第一夹紧部120a与第二夹紧部120b以均匀的力夹紧显示器基板M，由此可固定基板M。
可调节第一夹紧部120a与第二夹紧部120b之间的距离。此时，使设置有第一夹紧部120a的连接框架130及设置有第二夹紧部120b的连接框架130中的至少一者沿X方向移动，由此可改变第一夹紧部120a与第二夹紧部120b之间的距离。作为另一实施例，在连接框架130沿显示器基板的长度方向(X方向)配置的情况下，使第一夹紧部120a与第二夹紧部120b的位置在连接框架130上可变，由此可改变第一夹紧部120a与第二夹紧部120b之间的距离。
可分别具备多个如上所述的第一夹紧部120a及第二夹紧部120b，多个第一夹紧部120a及多个第二夹紧部120b可分别以相隔的方式配置到连接框架130。因此，第一夹紧部120a与第二夹紧部120b形成为一对而可夹紧一个显示器基板M。
如上所述的多个第一夹紧部120a以能够调节邻接的第一夹紧部120a之间的距离的方式设置到连接框架130。另外，多个第二夹紧部120b以能够调节第二夹紧部120b之间的距离的方式设置到连接框架130。
可通过与连接框架130或第一夹紧部120a、第二夹紧部120b连接的如马达、汽缸等结构物自动地调节如上所述的第一夹紧部120a与第二夹紧部120b之间的距离。另外，作为另一实施例，还可通过与连接框架130或第一夹紧部120a、第二夹紧部120b连接的轨道(rail)、直线滑动导轨(linearmotionguide)等手动地调节第一夹紧部120a与第二夹紧部120b之间的距离。
蚀刻液喷射部140可设置到所述处理室而向显示器基板M喷射蚀刻液。此时，蚀刻液喷射部140能够以远离堆载部110的方式配置。特别是，蚀刻液喷射部140可配置到堆载部110的侧面、上表面及下表面中的至少一者。然而，以下为了便于说明，以蚀刻液喷射部140配置到堆载部110的上表面的情况为中心而详细地进行说明。
可具备多个如上所述的蚀刻液喷射部140。此时，多个蚀刻液喷射部140可仅设置到堆载部110的侧面、上表面或下表面中的一者，也可均设置到堆载部110的侧面、上表面及下表面。
蚀刻液喷射部140可包含：蚀刻液供给部141，其供给蚀刻液；及移动配管142，其供从蚀刻液供给部141供给的蚀刻液移动。此时，蚀刻液供给部141可配置到所述处理室的外部或配置到所述处理室的内部。另外，蚀刻液供给部141可形成为泵(pump)形态或箱(tank)形态等。
蚀刻液喷射部140可具备喷嘴(nozzle)143，以便喷射从移动配管142供给的蚀刻液。喷嘴143能够使蚀刻液以离子形态喷射向显示器基板M的表面。此时，如上所述的喷嘴143能够在移动配管142上以彼此相隔的方式具备多个。
基板支撑部150可支撑显示器基板M的侧面及下表面中的至少一者。此时，基板支撑部150可具备支撑显示器基板M的侧面及下表面中的至少一者的基板支撑卡夹151。
具体而言，基板支撑卡夹151可设置到堆载部110的侧面及下表面中的至少一者。此时，如图3a所示，基板支撑卡夹151形成为“V”字形态，通过将显示器基板M插入到槽而可支撑显示器基板M的侧面。然而，以下为了便于说明，以基板支撑卡夹151设置到堆载部110的侧面而支撑显示器基板M的侧面的情况为中心详细地进行说明。
基板支撑卡夹151可设置到堆载部110的侧面。此时，显示器基板M的侧面可插入到基板支撑卡夹151而固定。特别是，基板支撑卡夹151可设置到显示器基板M的长度方向的末端部分的堆载部110而固定显示器基板M。
可具备多个基板支撑卡夹151，多个基板支撑卡夹151能够以沿显示器基板M的高度方向彼此相隔的方式配置。多个基板支撑卡夹151通过在显示器基板M的高度方向上支撑显示器基板M而可防止显示器基板M在高度方向上弯曲。
如上所述的基板支撑卡夹151也可仅设置到显示器基板M的至少一个侧面。例如，基板支撑卡夹151可仅设置到显示器基板M的一个侧面，也可设置到显示器基板M的两个侧面。然而，以下为了便于说明，以基板支撑卡夹151均设置到显示器基板M的两个侧面的情况为中心而详细地进行说明。
设置到显示器基板M的两个侧面的基板支撑卡夹151能够以彼此对向的方式配置。此时，可分别具备多个设置到显示器基板M的两个侧面的基板支撑卡夹151，设置到显示器基板M的两个侧面的各基板支撑卡夹151可配置到彼此相同的高度。
基板支撑部150可具备基板支撑板152，所述基板支撑板152与显示器基板M的侧面及下表面中的至少一者接触而支撑显示器基板M。
基板支撑板152可设置到堆载部110的侧面及下表面中的至少一个。此时，如图3b所示，基板支撑板152形成槽，使显示器基板M的棱角与所述槽接触而可支撑显示器基板M。
例如，基板支撑板152可形成安装槽152a，以便安装显示器基板M。可具备多个如上所述的基板支撑板152，多个基板支撑板152能够以彼此相隔的方式配置到堆载部110的侧面及下表面中的至少一者。另外，基板支撑板152沿显示器基板M的长度方向或宽度方向形成，由此可完全支撑显示器基板M的一个面。作为另一实施例，基板支撑板152也可沿显示器基板M的长度方向或宽度方向形成而仅支撑显示器基板M的一个面中的一部分。
另一方面，观察如上所述的蚀刻装置100的动作，可将显示器基板M配置到堆载部110的内部。此时，显示器基板M配置到堆载部110的内部，并可由基板支撑卡夹151支撑两个侧面，且由基板支撑板152支撑下表面。
如上所述，如果配置显示器基板M，则可在将堆载部110插入到所述处理室的内部后，在所述处理室的内部固定所述显示器基板M。此时，夹紧部120可配置到显示器基板M的上侧面，可操作夹紧部120而固定显示器基板M。
具体而言，可操作升降调节部121而使夹具122从显示器基板M的上表面下降。此后，可通过距离调节部123使远离的固定部122a与移动部122b之间的距离变窄而夹紧显示器基板M。
如果上述过程结束，则可操作升降调节部121而使显示器基板M上升。此时，可由各种方法支撑显示器基板M。例如，显示器基板M可通过第一夹紧部120a与第二夹紧部120b上升，并以沿显示器基板M的长度方向(X方向)完全展开的状态支撑到基板支撑板152。此时，可在基板支撑板152与显示器基板M单纯地接触的状态下，支撑显示器基板M中的一部分。另外，基板支撑卡夹151可通过支撑显示器基板M的侧面的一部分而防止显示器基板M移动。
除所述情况以外，显示器基板M还可通过第一夹紧部120a及第二夹紧部120b上升而远离堆载部110一定间隔。特别是，显示器基板M在上升的状态下，仅可由第一夹紧部120a及第二夹紧部120b支撑。此时，基板支撑卡夹151可支撑显示器基板M的侧面的一部分。
另一方面，如果在进行如上所述的过程的期间不存在夹紧部120，则在由基板支撑卡夹151及基板支撑板152支撑显示器基板M的情况下，显示器基板M会沿显示器基板M的长度方向或宽度方向弯曲。另外，显示器基板M由基板支撑板152支撑，因此可因显示器基板M的负重而在显示器基板M的高度方向上弯曲。如上所述，如果在显示器基板M弯曲的情况下向显示器基板M喷射蚀刻液，则蚀刻液可能无法均匀地涂布到显示器基板M的表面。特别是，蚀刻液的不均匀可能阻碍显示器基板M的蚀刻均匀度。
然而，如上所述，在夹紧部120夹紧显示器基板M的上表面而使所述显示器基板M远离堆载部110一定间隔的情况下，显示器基板M可因显示器基板M的负重而在高度方向上平坦地展开。另外，通过调节第一夹紧部120a与第二夹紧部120b之间的距离，可在长度方向(X方向)上平坦地保持显示器基板M。因此，夹紧部120可防止显示器基板M在显示器基板M的高度方向上弯曲或在显示器基板M的长度方向或宽度方向上弯曲。
如上所述，如果显示器基板M的配置结束，则蚀刻液喷射部140可向显示器基板M供给蚀刻液而对显示器基板M进行蚀刻。此时，蚀刻液可为氢氟酸(HF)。另外，可向显示器基板M的上表面、下表面及侧面中的至少一者喷射蚀刻液。
如上所述，如果显示器基板M的蚀刻结束，则夹紧部120可在执行冲洗(Rinse)制程及干燥(Dry)制程后使显示器基板M下降并堆载到堆载部110。此时，显示器基板M可由基板支撑卡夹151及基板支撑板152支撑。
此后，显示器基板M可移送到格外的空间或外部的腔室(chamber)(未图示)等。此时，可通过机器臂(robotarm)等移送显示器基板M。
如上所述，可通过刻划(scribing)方法、激光(laser)切割方法等切割所移送的显示器基板M中的与基板支撑部150及夹紧部120中的至少一者接触的部分。
具体而言，如上所述，在喷射蚀刻液的情况下，与基板支撑部150及夹紧部120接触的显示器基板M的部分可能会产生污痕、或无法蚀刻与基板支撑部150及夹紧部120中的至少一者接触的部分。此时，可通过去除与基板支撑部150及夹紧部120中的至少一者接触的显示器基板M的部分而制造被均匀地蚀刻的显示器基板M。
因此，蚀刻装置100及蚀刻方法可通过如上所述的作业而制造被均匀地蚀刻的显示器基板M，因此可提高产品的均匀度。另外，蚀刻装置100及蚀刻方法通过夹紧部120支撑显示器基板M的负重，由此可防止显示器基板M弯曲或破损，在进行蚀刻后，可将产品的不良最小化。
蚀刻装置100及蚀刻方法通过简单的结构而防止显示器基板M弯曲，由此可使结构简单且实现精确的作业。
虽根据上述所提及的优选的实施例而对本发明进行了说明，但可不脱离发明的主旨及范围而进行各种修正或变形。因此，只要这些修正或变形属于本发明的主旨，则随附的技术方案包含这些修正或变形。

Claims (13)

1.一种蚀刻装置，其特征在于包含：
堆载部，其在内部形成空间供显示器基板插入；
夹紧部，其夹紧所述显示器基板的上表面；以及
蚀刻液喷射部，其以远离所述堆载部的方式配置，所述蚀刻液喷射部向所述显示器基板喷射蚀刻液。
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于所述夹紧部具备：
夹具，其夹紧堆载在所述堆载部的所述显示器基板的上表面；以及
升降调节部，其与所述夹具连接而使所述夹具升降。
3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于：
所述夹紧部还包含距离调节部，所述距离调节部使所述夹具动作而夹紧所述显示器基板或松开所述显示器基板。
4.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于：
所述夹紧部还包含缓冲垫部，所述缓冲垫部设置到所述夹具而与所述显示器基板接触。
5.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于：
还包含基板支撑部，所述基板支撑部设置到所述堆载部的下表面及侧面中的至少一者，支撑所述显示器基板。
6.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于：
所述基板支撑部具备基板支撑卡夹，所述基板支撑卡夹供所述显示器基板的下表面及侧面中的至少一者插入。
7.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于：
所述基板支撑部具备基板支撑板，所述基板支撑板与所述显示器基板的下表面及侧面中的至少一者接触。
8.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于：
所述蚀刻液喷射部在通过所述夹紧部而使所述显示器基板远离所述堆载部的状态下喷射蚀刻液。
9.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于：
所述夹紧部使所述显示器基板的高度可变。
10.一种蚀刻方法，其特征在于包含如下步骤：
向堆载部的内部插入显示器基板的步骤；
利用夹紧部固定所述显示器基板的上表面的步骤；以及
向所述显示器基板喷射蚀刻液而对所述显示器基板进行蚀刻的步骤。
11.根据权利要求10所述的蚀刻方法，其特征在于：
在所述显示器基板远离所述堆载部的状态下，向所述显示器基板喷射所述蚀刻液。
12.根据权利要求10所述的蚀刻方法，其特征在于：
还包含通过所述夹紧部夹紧所述显示器基板而使所述显示器基板远离所述堆载部的步骤。
13.根据权利要求10所述的蚀刻方法，其特征在于：
还包含对与所述夹紧部接触的所述显示器基板的上表面部分进行切割的步骤。
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