KR101189524B1 - 기판 적재용 카세트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 적재용 카세트에 관한 것으로, 특히 복수개의 기판을 소정 간격 이격된 상태로 수직으로 적재하고, 기판을 수직한 상태로 유지하고 지지하기 위한 접촉 부위를 최소화하며 기판 사이즈가 대형화되더라도 손쉽게 수직 하향 방식의 적재가 가능하고 다양한 기판 사이즈에 대응할 수 있는 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 적재용 카세트를 이루는 구성수단은, 기판 적재용 카세트에 있어서, 사각틀 형상의 프레임, 상기 프레임의 상단 양 측면에 대향하여 배치되어, 수직으로 적재되는 기판의 쓰러짐을 방지하는 사이드 지지수단, 상기 프레임의 내부 하측에 배치되어 상기 수직으로 적재되는 기판의 하단을 지지하는 하단 지지수단을 포함하여 구성되되, 상기 사이드 지지수단은 상기 수직으로 적재되는 기판의 측단 양면으로 돌출 형성된 두개의 지지핀을 구비하여 상기 수직으로 적재된 기판의 쓰러짐을 방지하고, 상기 두개의 지지핀 사이의 이격거리가 조절되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 적재용 카세트{CASSETTE FOR SUBSTRATE LOADING}
본 발명은 기판 적재용 카세트에 관한 것으로, 특히 복수개의 기판을 소정 간격 이격된 상태로 수직으로 적재하고, 기판을 수직한 상태로 유지하고 지지하기 위한 접촉 부위를 최소화하며 기판 사이즈가 대형화되더라도 손쉽게 수직 하향 방식의 적재가 가능하고 다양한 기판 사이즈에 대응할 수 있는 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.
기판에 대하여 다양한 공정을 수행하기 위해서는 기판을 고정 또는 적재할 수 있는 장치가 필요하다. 이와 같이 고정 또는 적재된 기판은 챔버 내에서 수세 공정, 에칭 공정 등 다양한 표면 처리 공정을 수행받게 된다.
상기 수세 공정 또는 에칭 공정에 관련된 공정 효율은 일정 시간 내에 처리되는 기판의 개수와 밀접한 관련성을 가지고 있다. 즉 일정 시간 내에 수세 공정 또는 에칭 공정을 수행받는 기판의 개수를 증가시키는 것이 공정 효율을 증가시키는 중요한 방법이다.
따라서, 한번의 공정을 수행하는 과정에서 복수개의 기판을 동시에 공정 처리할 필요성이 있고, 이를 위하여 복수개의 기판을 적재할 수 있는 카세트가 필요하게 된다.
이와 같은 기판 적재용 카세트는 복수개의 기판을 적재할 수 있는 구조이어야 하고, 기판을 지지 또는 고정하기 위한 접촉 부위가 최소가 되어야 하며, 다양한 기판 사이즈에 대응할 수 있는 구조를 가져야 할 필요성이 있다.
이와 관련된 기판 적재용 카세트는 본 출원인에 의하여 2010년 8월 17일에 "유리기판 식각용 카세트"(출원번호 10-2010-0079158)라는 발명의 명칭으로 기출원되었다. 상기 기출원된 유리기판 식각용 카세트는 자체적으로 큰 효과를 가지는 것이 사실이지만, 기판의 단부를 지지하는 단부 지지부가 다소 복잡한 구조를 가지고, 기판의 단부를 지지하고 접촉하는 부분의 간격이 고정되기 때문에, 대형 기판에 대응하기 어려운 문제점을 안고 있다.
즉, 기판을 카세트 상부에서 수직 하향 방향으로 적재하는 경우, 상기 기판의 단부를 지지하고 접촉하는 부분의 간격이 좁게 고정되는 경우에는 수직 하 방향으로 기판을 적재하기 위하여 고도의 정밀도가 필요하고 상당한 신중성을 기할 필요성이 있다.
또한, 로봇 등을 이용하여 수직 하방향으로 기판을 자동 적재하는 경우, 기판이 대형인 경우에는 수평 방향으로 기판의 출렁거림이 발생하고, 이로 인하여 기판의 양 단부를 정확하게 단부 지지부에 삽입하기 어려운 문제점을 가지고 있다.
또한, 상기 기출원된 유리기판 식각용 카세트는 카세트에 복수개의 기판을 적재한 후, 상부에서 에칭액을 분사하여 기판 처리를 수행하면, 상기 단부 지지부에 에칭액이 다양한 형태로 잔류하게 되고, 기판 에칭에 따른 부산물(슬러지 등)들이 상기 단부 지지부에 쌓이게 되는 문제점을 가지고 있다.
따라서, 상기 본 출원인이 출원한 기 출원된 "유리기판 식각용 카세트"의 구조는 다소 수정될 필요성이 있고, 이를 위하여 새로운 기판 지지 구조를 제안하고자 한다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 복수개의 기판을 소정 간격 이격된 상태로 수직으로 적재하고, 기판을 수직한 상태로 유지하고 지지하기 위한 접촉 부위를 최소화하며 기판 사이즈가 대형화되더라도 손쉽게 수직 하향 방식의 적재가 가능하고 다양한 기판 사이즈에 대응할 수 있는 기판 적재용 카세트를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 적재용 카세트를 이루는 구성수단은, 기판 적재용 카세트에 있어서, 사각틀 형상의 프레임, 상기 프레임의 상단 양 측면에 대향하여 배치되어, 수직으로 적재되는 기판의 쓰러짐을 방지하는 사이드 지지수단, 상기 프레임의 내부 하측에 배치되어 상기 수직으로 적재되는 기판의 하단을 지지하는 하단 지지수단을 포함하여 구성되되, 상기 사이드 지지수단은 상기 수직으로 적재되는 기판의 측단 양면으로 돌출 형성된 두개의 지지핀을 구비하여 상기 수직으로 적재된 기판의 쓰러짐을 방지하고, 상기 두개의 지지핀 사이의 이격거리가 조절되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 사이드 지지수단 하부에 부착형성되어 상기 수직으로 적재되는 기판의 측단을 가이드하는 가이드 수단을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임의 내부 바닥면에 부착 형성되어 상기 하단 지지수단의 높이를 조절하는 높이 조절수단을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 사이드 지지수단은 상기 프레임의 상단에 길게 배치되도록 긴 판 형상을 가지고, 그 상부면에 서로 이격되어 고정 장착되는 적어도 두개 이상의 고정봉을 구비하는 베이스판, 상기 베이스판 상부에 접촉 배치되도록 긴 판 형상을 가지되, 상기 고정봉이 삽입될 수 있는 적어도 두개 이상의 하부 유동홀이 형성되고, 일 측면에 복수개의 하부 지지핀이 서로 이격되어 배치되는 하부 이동판, 상기 하부 이동판 상부에 접촉 배치되도록 긴 판 형상을 가지되, 상기 고정봉이 삽입될 수 있는 적어도 두개 이상의 상부 유동홀이 형성되고, 일 측면에 복수개의 상부 지지핀이 서로 이격되어 배치되는 상부 이동판 및 상기 고정봉에 결합되어 상기 하부 이동판과 상부 이동판의 상하 이동과 이탈을 방지하는 이탈 방지부 포함하여 구성되되, 상기 하부 유동홀은 상기 고정봉에 끼워진 상태로 상기 하부 이동판이 상기 베이스판 상에서 길이 방향으로만 수평 이동할 수 있도록 형성되고, 상기 상부 유동홀은 상기 고정봉에 끼워진 상태로 상기 상부 이동판이 상기 하부 이동판 상에서 길이 방향으로만 수평 이동할 수 있도록 형성되며, 상기 하부 이동판과 상부 이동판 중 적어도 하나를 길이방향으로 이동함으로써, 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 이격거리는 조절하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 지지핀은 상기 상부 이동판의 일측면 하단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성되고, 상기 하부 지지핀은 상기 하부 이동판의 일측면 상단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀은 상기 하부 지지핀과 상부 지지핀의 수평선 상의 이격거리가 커지는 방향으로 경사지게 돌출 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 최소 이격 거리의 상태는 상기 고정봉이 상기 하부 유동홀에는 일측에 접촉되고 상기 상부 유동홀에는 타측에 접촉된 상태인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 이격 거리가 최대가 되는 경우는 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 이격 거리가 멀어지도록 상기 상부 이동판과 하부 이동판을 서로 반대 방향으로 슬라이딩한 상태이되, 상기 고정봉이 상기 하부 유동홀에는 타측에 접촉되고 상기 상부 유동홀에는 일측에 접촉된 상태가 되는 경우인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하단 지지수단은 프레임 내부에서 고정되는 고정 지지대와, 상기 고정 지지대에 결합되어 상기 수직으로 적재되는 기판의 하단을 접촉 지지하는 접촉 지지대를 포함하여 구성되되, 상기 접촉 지지대는 상기 기판 하단의 길이 방향으로 길게 배치되고, 상기 기판과 접촉되는 부분에 길게 접촉홈이 형성되며, 상기 접촉홈에는 깊이 방향으로 배수홀이 복수개 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 과제 및 해결수단을 가지는 본 발명인 기판 적재용 카세트에 의하면, 복수개의 기판을 소정 간격 이격된 상태로 수직으로 적재하고, 기판을 수직한 상태로 유지하고 지지하기 위한 접촉 부위를 최소화하며 기판 사이즈가 대형화되더라도 손쉽게 수직 하향 방식의 적재가 가능하고 다양한 기판 사이즈에 대응할 수 있는 장점이 있다.
또한, 수직으로 적재되는 기판의 양측 단부를 지지하는 사이드 지지수단의 구조를 두개의 핀에 의하여 단부의 양측면을 지지함과 아울러 접촉 부분이 최소화되게 함으로써, 양질의 기판 처리가 가능하고, 에칭액의 잔류 및 슬러지 쌓임 현상을 제거할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 두개의 핀 사이의 이격 거리를 조절할 수 있기 때문에, 대형 기판을 수직 하향 방식으로 적재하는 경우에도 손쉽게 적재할 수 있는 장점이 있다.
또한, 수직 방향으로 적재되는 기판의 하단을 지지하는 하단 지지수단은 상기 기판 하단을 모두 접촉 지지함으로써 카세트가 오실레이션되더라도 안정적으로 지지할 수 있고, 상기 접촉 부분에는 복수개의 홀이 형성되어 있어 에칭액이 상기 접촉 부분에 잔존하여 발생하는 단부 과잉 식각을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명인 기판 적재용 카세트의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 적용되는 사이드 지지수단의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 적용되는 사이드 지지수단의 분리 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 적용되는 사이드 지지수단의 슬라이딩 구조를 설명하기 위한 개략도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명에 적용되는 사이드 지지수단의 지지핀 사이의 이격거리 조절을 설명하기 위한 개략도이다.
도 8은 본 발명에 적용되는 하단 지지수단의 사시도이다.
도 9는 본 발명에 적용되는 높이 조절수단의 분리 사시도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 기판 적재용 카세트에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설며한다.
이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트는 사각틀 형상의 프레임(10), 상기 프레임(10)의 상단 양 측면에 대향 배치되는 한 쌍의 사이드 지지수단(20), 상기 프레임의 내부 하측에 배치되는 하단 지지수단(30)을 포함하여 구성된다.
상기 프레임(10)은 도 1에 도시된 바와 같이 사각틀 형상을 가지되, 상부가 개방된 구조를 가진다. 상기 프레임(10)의 상부가 개방된 이유는 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트에 적재되는 기판이 상측에서 수직 하향으로 상기 카세트에 적재되기 때문이다.
상기 프레임은 안정된 구조이면 측면 및 밑면은 다양한 형태로 구성할 수 있다. 또한, 상기 프레임 하부면에는 바퀴가 부착될 수 있다. 즉, 수직으로 복수개의 기판을 적재한 상기 카세트를 레일을 따라 이동시킬 필요성이 있기 때문이다. 이를 통해 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트는 로딩 챔버, 수세 챔버 및 에칭 챔버를 이동하면서 공정을 수행받을 수 있게 된다.
상기 프레임(10)은 기본적으로 서로 마주보는 두개의 세로 프레임(11)과 상기 세로 프레임(11)을 서로 연결하는 두개의 가로 프레임(13) 및 하부 프레임으로 구성될 수 있다.
상기 세로 프레임(11) 또는 가로 프레임(13)의 상단에는 사이드 지지수단(20)이 배치된다. 즉, 상기 사이드 지지수단(20)은 상기 프레임(10)의 상단 양 측면에 대향하여 배치되어 수직으로 적재되는 기판의 쓰러짐을 방지한다.
구체적으로, 상기 프레임(10) 내부로 인입되어 수직 방향으로 적재되는 상기 기판은 상기 사이드 지지수단(20)에 의하여 좌우 방향으로 쓰러지지 않고 수직 상태를 유지할 수 있다. 본 발명에서는 상기 기판의 양측 단부를 지지핀이 지지함으로써 상기 기판의 쓰러짐을 방지한다.
즉, 상기 기판의 양측 단부의 양면에 각각 상기 지지핀을 배치시킴으로써, 상기 기판이 좌우 방향으로 쓰러지는 것을 방지한다. 이에 대해서는 상세하게 후술하겠다.
상기 사이드 지지수단(20)에 의하여 상기 기판의 쓰러짐을 방지함과 아울러, 기판의 하단을 지지함으로써, 상기 기판은 수직한 상태로 상기 카세트에 적재될 수 있다. 따라서, 상기 하단 지지수단(30)은 상기 프레임(10)의 내부 하측에 배치되어 상기 수직으로 적재되는 기판의 하단을 지지한다.
이와 같은 구성에 의하여, 기본적으로 상기 수직 방향으로 적재되는 기판을 지지 고정하여, 상기 카세트 내에 적재할 수 있다. 여기에, 상기 수직 방향으로 적재되는 기판의 적재 과정을 용이하게 하고, 적재된 상태에서 접촉 부위를 최소화하며 적재된 상태에서 에칭액에 의하여 공정을 받음에 따라 에칭액 또는 슬러지 잔류를 방지할 수 있는 구조가 채택될 필요성이 있다.
따라서, 본 발명에서는 상기 사이드 지지수단(20)의 구조를 제안하고, 제안된 구조를 통하여 다양한 사이즈의 기판을 적재할 수 있고, 적재 과정을 용이하게 하며 에칭 공정 등에 의하여 에칭액 또는 슬러지 잔류를 방지할 수 있다.
상기 본 발명에 따른 사이드 지지수단(20)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 수직으로 적재되는 기판의 측단 양면으로 돌출 형성된 두개의 지지핀을 구비하여 상기 수직으로 적재된 기판의 쓰러짐을 방지한다. 즉, 상기 두개의 지지핀이 상기 기판의 측단 양면 쪽으로 돌출 형성되어 있기 때문에, 상기 기판은 상기 좌우 방향에 형성된 지지핀에 의하여 좌우 방향으로 쓰러지지 않고 지지될 수 있다.
그리고, 상기 두개의 지지핀 사이의 이격거리는 다양한 간격으로 조절될 수 있도록 구성된다. 즉, 상기 두개의 지지핀 사이의 거리를 좁힐 수도 있고, 넓힐 수도 있다. 따라서, 대형 기판을 수직 방향으로 적재하는 과정에서, 상기 대형 기판이 좌우 방향으로 출렁거림이 존재할지라도 상기 두개의 지지핀 사이의 거리를 충분하게 이격시킨다면 상기 기판의 양측단을 상기 두개의 지지판 사이로 통과시킴으로써 정확한 위치에 적재할 수 있다. 이와 같은 두개의 지지핀 사이의 이격거리 조절 구조 및 방법에 대해서는 상세하게 후술하겠다.
한편, 상기 수직 방향으로 적재되는 상기 기판의 양측 단부가 상기 두개의 지지핀 사이로 통과한 후, 기판의 하단이 상기 하단 지지수단에 정확하게 안착될 수 있도록 상기 두개의 지지핀 사이를 통과한 상기 기판의 양측 단부가 가이드될 필요성이 있다. 이를 위하여 본 발명에서는 가이드 수단을 더 구비할 수 있다.
상기 가이드 수단(40)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 사이드 지지수단(20) 하부에 부착형성되어 상기 수직으로 적재되는 기판의 양 측단을 가이드한다. 상기 기판의 양 측단의 가이드 효과를 높이기 위하여 상기 가이드 수단(40)에는 가이드 홈(41)이 형성되어 있다.
이와 같이, 상기 가이드 수단(40)이 채택된 경우에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 가이드 수단(40) 상부에 상기 사이드 지지수단(20)을 부착형성한 후, 상기 가이드 수단(40)을 상기 프레임(10)의 상단 양 측면에 마주보도록 배치할 수 있다.
한편, 상기 기판의 하단을 지지하는 하단 지지수단(30)은 높이가 조절될 수 있도록 구성할 수 있다. 따라서 본 발명은 상기 프레임의 내부 바닥면에 부착 형성되어 상기 하단 지지수단(30)의 높이를 조절하는 높이 조절수단(50)을 더 구비할 수 있다. 이에 대해서는 상세하게 후술하겠다.
이상에서 설명한 구성요소들로 이루어진 기판 적재용 카세트에 대한 세부적인 구조 및 동작에 대하여 설명한다.
첨부된 도 2는 본 발명에 적용되는 사이드 지지수단(20)의 사시도이고, 도 3은 분리 사시도이다.
상기 사이드 지지수단(20)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 3단의 판으로 이루어져 있다. 구체적으로, 상기 사이드 지지수단(20)은 최하단의 베이스판(21), 베이스판(21) 상부에 하부 이동판(23), 상기 하부 이동판(23) 상부에 상부 이동판(25) 및 상기 하부 이동판(23) 및 상부 이동판(25)의 분리 및 이탈을 방지하는 이탈 방지부(27)을 포함하여 구성되어 있다. 상기 베이스판(21)은 상기 프레임(10) 또는 가이드 수단(40) 상부에 고정 부착되고, 상기 하부 이동판(23)은 상기 베이스판(21) 상에서 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 상부 이동판(25)은 상기 하부 이동판(23) 상에서 이동될 수 있는 구조로 이루어져 있다.
구체적으로, 상기 베이스판(21)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(10)의 상단에 길게 배치되도록 긴 판 형상을 가지고, 그 상부면에 서로 이격되어 고정 장착되는 적어도 두개 이상의 고정봉(21a)을 구비하고 있다.
상기 베이스판(21)이 고정 설치되고, 상기 고정봉(21a)은 상기 고정 설치되는 베이스판(21)에 고정되어 구비되기 때문에, 상기 베이스판(21) 상에서 상기 하부 이동판(23) 및(또는) 상부 이동판(25)이 수평 이동하더라도 상기 고정봉(21a)의 위치는 항상 고정되어 있다.
상기 고정봉(21a)은 적어도 두개 이상일 필요성이 있다. 후술하겠지만, 상기 하부 이동판(23) 및 상부 이동판(25)은 도 2에 도시된 바와 같이, 길이 방향(베이스판의 장변 길이 방향)으로만 수평 이동할 수 있고, 길이 방향 이외의 방향으로는 이동해서는 안되기 때문에, 상기 고정봉(21a)은 두개 이상이 구비되어야 한다.
상기 베이스판(21)의 상부에는 상기 하부 이동판(23)이 위치한다. 구체적으로, 상기 하부 이동판(23)은 상기 베이스판(21) 상부에 접촉 배치되도록 긴 판 형상을 가지되, 상기 고정봉(21a)이 삽입될 수 있는 적어도 두개 이상의 하부 유동홀(23b)이 형성되고, 일 측면에 복수개의 하부 지지핀(23a)이 서로 이격되어 배치되는 구조를 가진다.
상기 하부 이동판(23)은 상기 베이스판(21) 상에서 길이 방향으로 일정 거리만큼 이동할 수 있어야 하기 때문에, 상기 베이스판(21)에 고정 부착되는 것이 아니라, 단지 접촉된 상태로 위치한다. 따라서, 상기 하부 이동판(23)과 상기 베이스판(21)은 서로 미세한 유격이 존재할 수밖에 없다.
상기 하부 이동판(23)에 형성되는 상기 하부 유동홀(23b)은 상기 고정봉(21a)과 같이 적어도 두개 이상으로 형성된다. 그리고, 상기 고정봉(21a)에 끼워진 상태로 배치된다. 상기 고정봉(21a)에 상기 하부 유동홀(23b)가 끼워진 상태에서 상기 하부 이동판(23)이 상기 베이스판(21) 상에서 길이 방향으로 수평 이동할수 있어야 하기 때문에, 상기 하부 유동홀(23b)의 형상은 상기 고정봉(21a)의 단면과 동일한 형상이면 안된다.
구체적으로, 상기 하부 유동홀(23b)의 형상은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 고정봉(21a)의 단면 형상(원형이라고 가정)이 하부 이동판(23)의 길이 방향으로 연장되어 형성된 형상이다.
즉, 상기 고정봉(21a)의 단면이 정사각형이고 가정할 때, 상기 하부 유동홀(23b)의 형상은 직사각형 형상을 가지고, 이 직사각형의 단변은 상기 고정봉의 형상인 정사각형의 변의 길이와 동일하거나 미세하게 더 크고(길이 방향 이동을 가능하게 하기 위하여 실제 미세하게 더 크다고 볼 수 있음), 장변은 상기 길이 방향과 수평하면서 상기 단변보다 더 길게 형성된다.
이와 같이, 상기 하부 유동홀(23b)의 형상은 상기 고정봉(21a)의 단면보다 길이 방향으로 더 연장된 형상을 가지고, 상기 적어도 두개 이상의 하부 유동홀(23b)에 각각 상기 고정봉(21a)이 삽입되는 구조를 가지기 때문에, 상기 하부 이동판(23)은 상기 베이스판(21) 상에서 길이 방향으로만 일정한 거리를 수평이동할 수 있다.
구체적으로, 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 하부 유동홀(23b)의 형상은 상기 고정봉(21a)의 단면보다 길이 방향으로 더 연장된 형상을 가지고, 상기 적어도 두개 이상의 하부 유동홀(23b)에 각각 상기 고정봉(21a)이 삽입되는 구조를 가진다. 따라서, 상기 하부 이동판(23)은 길이 방향으로만 이동될 수 있고, 도 4a에 예시된 바와 같이, 상기 고정봉(21a)이 상기 하부 유동홀(23b)의 일측(오른쪽)에 접촉된 상태라면, 도 4b에 도시된 바와 같이 상기 하부 이동판(23)을 오른쪽으로 이동시킬 수 있고, 결과적으로 하부 지지핀(23a)의 상대적 위치를 변경시킬 수 있다.
상기 하부 이동판(23)의 일측면에는 복수개의 하부 지지핀(23a)이 서로 이격되어 고정 배치되는데, 하부 지지핀(23a)들 사이의 간격은 일정한 것이 바람직하다. 그리고, 상기 하부 지지핀(23a)들 사이의 간격은 후술할 상부 지지핀(25a)들 사이의 간격과 동일하다.
상기 하부 지지핀(23a)은 상기 카세트에 적재되는 기판 측단의 양 측면 중, 일 측면 쪽으로 돌출되어 형성된다. 타 측면 쪽으로 돌출되는 지지핀은 후술할 상부 지지핀(25a)이다. 후술하겠지만, 상기 기판 측단의 양 측면 중, 일 측면 쪽으로 돌출되어 형성되는 상기 하부 지지핀(23a)은 상기 기판의 면과 평행하게 돌출되는 것이 아니라, 기판의 측단에서 멀어질수록(기판의 가운데 방향으로 갈수록) 상기 기판의 면과 거리가 커지도록 돌출된다.
상기 하부 이동판(23)의 상부에는 상기 상부 이동판(25)이 위치한다. 구체적으로, 상기 상부 이동판(25)은 상기 하부 이동판(23) 상부에 접촉 배치되도록 긴 판 형상을 가지되, 상기 고정봉(21a)이 삽입될 수 있는 적어도 두개 이상의 상부 유동홀(25b)이 형성되고, 일 측면에 복수개의 상부 지지핀(25a)이 서로 이격되어 배치되는 구조를 가진다.
상기 상부 이동판(25)은 상기 하부 이동판(23) 상에서 길이 방향으로 일정 거리만큼 이동할 수 있어야 하기 때문에, 상기 하부 이동판(23)에 고정 부착되는 것이 아니라, 단지 접촉된 상태로 위치한다. 따라서, 상기 상부 이동판(25)과 상기 하부 이동판(23)은 서로 미세한 유격이 존재할 수밖에 없다.
상기 상부 이동판(25)에 형성되는 상기 상부 유동홀(25b)은 상기 고정봉(21a) 및 하부 유동홀(23b)과 같이 적어도 두개 이상으로 형성된다. 그리고, 상기 고정봉(21a)에 끼워진 상태로 배치된다. 상기 고정봉(21a)에 상기 상부 유동홀(25b)가 끼워진 상태에서 상기 상부 이동판(25)이 상기 하부 이동판(23) 상에서 길이 방향으로 수평 이동할수 있어야 하기 때문에, 상기 상부 유동홀(25b)의 형상은 상기 고정봉(21a)의 단면과 동일한 형상이면 안되고, 상기 하부 유동홀(23b)과 동일한 형상이어야 한다.
구체적으로, 상기 상부 유동홀(25b)의 형상은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 고정봉(21a)의 단면 형상(원형이라고 가정)이 상부 이동판(25)의 길이 방향으로 연장되어 형성된 형상이다.
즉, 상기 고정봉(21a)의 단면이 정사각형이고 가정할 때, 상기 상부 유동홀(25b)의 형상은 직사각형 형상을 가지고, 이 직사각형의 단변은 상기 고정봉의 형상인 정사각형의 변의 길이와 동일하거나 미세하게 더 크고(길이 방향 이동을 가능하게 하기 위하여 실제 미세하게 더 크다고 볼 수 있음), 장변은 상기 길이 방향과 수평하면서 상기 단변보다 더 길게 형성된다.
이와 같이, 상기 상부 유동홀(25b)의 형상은 상기 고정봉(21a)의 단면보다 길이 방향으로 더 연장된 형상을 가지고, 상기 적어도 두개 이상의 상부 유동홀(25b)에 각각 상기 고정봉(21a)이 삽입되는 구조를 가지기 때문에, 상기 상부 이동판(25)은 상기 하부 이동판(23) 상에서 길이 방향으로만 일정한 거리를 수평이동할 수 있다.
상기 상부 이동판(25)의 일측면에는 복수개의 상부 지지핀(25a)이 서로 이격되어 고정 배치되는데, 상부 지지핀(25a)들 사이의 간격은 일정한 것이 바람직하다. 그리고, 상기 상부 지지핀(25a)들 사이의 간격은 상술할 하부 지지핀(23a)들 사이의 간격과 동일하다.
상기 상부 지지핀(25a)은 상술한 바와 같이, 상기 카세트에 적재되는 기판 측단의 양 측면 중, 타 측면 쪽으로 돌출되어 형성된다. 일 측면 쪽으로 돌출되는 지지핀은 상술할 하부 지지핀(23a)이다. 상기 기판 측단의 양 측면 중, 타 측면 쪽으로 돌출되어 형성되는 상기 상부 지지핀(25a)은 상술한 하부 지지핀(23a)과 동일하게 상기 기판의 면과 평행하게 돌출되는 것이 아니라, 기판의 측단에서 멀어질수록(기판의 가운데 방향으로 갈수록) 상기 기판의 면과 거리가 커지도록 돌출된다.
상술한 바와 같이, 상기 베이스판(21) 상에 순서대로 형성되는 상기 하부 이동판(23) 및 상부 이동판(25)은 길이 방향으로만 일정 거리만큼 이동될 수 있도록 형성되기 때문에, 상기 상부 이동판(25)을 너무 강하게 가압해서는 안된다. 즉, 상기 하부 이동판(23) 및 상부 이동판(25)이 분리 또는 이탈되지 않을 정도로만 가압하면 된다. 따라서 본 발명에서는 상기 고정봉(21a)에 결합되어 상기 하부 이동판(23)과 상부 이동판(25)의 상하 이동과 이탈을 방지하는 이탈 방지부(27)를 구비한다.
상기 이탈 방지부(27)는 상기 고정봉(21a)에 나사 결합 등의 다양한 방법으로 결합되어, 상기 상부 이동판(25)에 접촉된 상태로 유지하되, 상기 상부 이동판이 상기 하부 이동판 상에서 길이 방향으로 이동될 수 없을 정도로 가압해서는 안된다.
정리하면, 상기 하부 유동홀(23b)은 상기 고정봉(21a)에 끼워진 상태로 상기 하부 이동판(23)이 상기 베이스판(21) 상에서 길이 방향으로만 수평 이동할 수 있도록 형성되고, 상기 상부 유동홀(25b)은 상기 고정봉(21a)에 끼워진 상태로 상기 상부 이동판(25)이 상기 하부 이동판(23) 상에서 길이 방향으로만 수평 이동할 수 있도록 형성된다.
이와 같이, 상기 하부 지지핀(23a)을 일측면에 고정 구비하는 상기 하부 이동판(23)과 상기 상부 지지핀(25a)을 일측면에 고정 구비하는 상기 상부 이동판(25)이 길이 방향으로 소정 거리만큼 수평 이동할 수 있기 때문에, 상기 하부 이동판(23)과 상부 이동판(25) 중 적어도 하나를 길이방향으로 이동함으로써, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격거리는 조절할 수 있다.
상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격거리는 서로 다른 이동판(하부 이동판 또는 상부 이동판)에 고정되어 수직 방향으로 이격 거리가 있도록 배치되는 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)을 동일한 수평면에 위치시킬 때 발생하는 이격 거리를 의미한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 지지핀(25a)은 상기 상부 이동판(25)의 일측면 하단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성되고, 상기 하부 지지핀(23a)은 상기 하부 이동판(23)의 일측면 상단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성된다.
따라서, 상기 상부 지지핀(25a)과 상기 하부 지지핀(23a)의 수직선 상의 이격 거리는 존재할 수밖에 없다. 그러나 상기 상부 지지핀은 상부 이동판의 하단에 고정 배치하고 상기 하부 지지핀은 하부 이동판의 상단에 고정 배치하기 때문에, 수직선 상의 이격거리는 최소화시킬 수 있다.
이와 같은, 상기 상부 지지핀(25a)과 상기 하부 지지핀(23a)의 수직선 상의 이격 거리는 상부 이동판과 하부 이동판을 이동시킴으로써 상기 상부 지지핀(25a)과 상기 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격거리를 변경 조절해야 하기 때문에 필연적으로 발생한다.
한편, 상기 상부 지지핀(25a)은 상기 상부 이동판(25)의 일측면 하단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성되고, 상기 하부 지지핀(23a)은 상기 하부 이동판(23)의 일측면 상단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성되지만, 상술한 바와 같이, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a) 사이에 높여지는 기판의 면과 평행하게 돌출되지 않고 경사지게 돌출 형성된다.
즉, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)은 상기 하부 지지핀(23a)과 상부 지지핀(25a)의 수평선 상의 이격거리가 커지는 방향으로 경사지게 돌출 형성된다. 구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)은 상기 기판의 면과 평행하게 돌출되지 않고, 기판의 측단(에지)에서 기판의 중심으로 갈수록, 기판으로부터 멀어질 수 있도록 돌출형성된다.
이하에서는 상기 사이드 지지수단(20)의 동작에 따라 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a) 사이의 이격 거리를 조절하는 과정에 대하여 상세하게 설명한다.
도 5는 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a) 사이의 이격 거리(d)가 최소 상태인 상태를 보여주는 평면도이다.
도 5에서 보여준 바와 같이, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 최소 이격 거리의 상태는 상기 고정봉(21a)이 상기 하부 유동홀(23b)에는 일측에 접촉되고 상기 상부 유동홀(25b)에는 타측에 접촉된 상태이다.
물론, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 고정봉(21a)이 상기 하부 유동홀(23b)에는 일측에 접촉되고 상기 상부 유동홀(25b)에는 타측에 접촉된 상태는 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리가 최대인 경우이기도 한다.
그러나, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)가 최소인 상태로 상기 상부 이동판(25)과 하부 이동판(23)을 위치시킨 경우에는 반드시 상기 고정봉(21a)이 상기 하부 유동홀(23b)에는 일측에 접촉되고 상기 상부 유동홀(25b)에는 타측에 접촉된 상태가 된다.
이 상태를 보면, 상부 이동판(25)의 상부 유동홀(25b)을 통하여 하부 이동판(23)("+"로 채워진 부분)이 보이게 되고, 하부 이동판과 상부 이동판의 길이가 동일하고, 베이스판이 더 길다고 가정할 때, 평면도 상으로 보면 양측에 베이스판(21)("-"로 채워진 부분)이 보이게 된다.
도 5를 기준(이격 거리 d가 최소인 상태) 상태라고 가정할 때, 즉 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)가 최소인 상태라고 가정할 때, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)를 더 크게 하기 위해서는 도 5에 도시된 바와 같이 상부 이동판(25)을 오른쪽 방향으로 이동시켜야 하고, 그 결과의 상태는 도 6에 도시된 상태가 된다.
도 6에 도시된 상태는 상기 고정봉(21a)이 하부 유동홀(23b)의 일측 및 상부 유동홀(25b)의 일측에 접촉된 상태이다. 여기서 하부 유동홀(23b)의 일측 및 상부 유동홀(25b)의 일측은 각 유동홀의 왼쪽 내측으로 가정하고, 타측은 오른쪽 내측으로 가정한다.
도 6에 의하면, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)가 최소 이격 거리 상태(도 5에 도시된 상태)보다 더 커진 것을 알 수 있다. 이 상태에서 상기 상부 유동홀 및 하부 유동홀을 통하여 베이스판(21)이 보이게 된다. 즉, 상부 유동홀과 하부 유동홀은 일치하게 된다.
도 6의 상태는 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)가 최소인 경우와 최대인 경우의 중간에 해당된다. 즉 최소 이격거리와 최대 이격거리의 평균 거리에 해당된다.
도 7은 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)가 최대거리인 상태를 보여준다. 도 5의 상태를 기준으로 할 때, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리가 최대가 되는 경우는(도 7의 상태인 경우) 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리가 멀어지도록 상기 상부 이동판(25)과 하부 이동판(23)을 서로 반대 방향으로 슬라이딩한 상태이되, 상기 고정봉(21a)이 상기 하부 유동홀(23b)에는 타측에 접촉되고 상기 상부 유동(25b)홀에는 일측에 접촉된 상태가 되는 경우이다.
도 7에 도시된 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)가 최대거리인 경우에는 최소 이격 거리 상태에 해당하는 도 5와 비교할 때, 상부 이동판과 하부 이동판이 서로 반대 방향으로 이동하되, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)의 수평선 상의 이격 거리(d)가 멀어지는 방향으로 이동된다는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 베이스판(21) 상에 접촉 배치되는 하부 이동판(23) 및 상부 이동판(25)을 길이방향으로만 좌우 이동시켜서 상기 상부 지지핀(25a)와 하부 지지핀(23a) 사이의 이격거리를 조절할 수 있다.
구체적으로 상기 상부 지지핀(25a)와 하부 지지핀(23a) 사이의 이격거리가 최소인 경우에, 상기 고정봉(21a)이 하부 유동홀(23b)에는 일측에 접촉되고, 상부 유동홀(25b)에는 타측에 접촉된 상태가 된다. 여기서 일측이란 하부 유동홀(23b)과 상부 유동홀(25b)의 위치 중, 상기 고정봉(21a)이 각 유동홀 내부에서 한쪽으로 밀착된 상태에서의 상기 유동홀의 위치를 의미한다. 도 5에서는 각 유동홀의 왼쪽 부분을 일측이라 가정된 것이고, 오른쪽 부분이 타측이라 가정된 경우이다.
이와 같은 상태에서(도 5의 상태), 하부 이동판(23)과 상부 이동판 중, 적어도 하나를 이동시킴으로써 상기 상부 지지핀(25a)와 하부 지지핀(23a) 사이의 이격거리를 조절할 수 있는데, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a)을 모두 이동가능한 상태까지 반대 방향으로 이동하게 되면, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a) 사이의 이격거리는 최대인 상태가 된다(도 7의 상태).
이 경우, 상기 고정봉이 상기 하부 유동홀(23b)에서는 타측에 접촉된 상태가 되고, 상기 상부 유동홀(25b)에서는 일측에 접촉된 상태가 된다. 즉, 상기 상부 지지핀(25a)과 하부 지지핀(23a) 사이의 이격거리가 최소인 상태(도 5의 상태)와 반대의 위치 상태가 된다.
또한, 도 5의 상태에서 상부 이동판(25)만 이동 가능한 거리까지 이동시키거나(도 6의 상태), 상부 이동판(25)은 이동시키지 않고 하부 이동판(23)만 이동 가능한 거리까지 이동시키면, 최소 이격거리와 최대 이격거리의 중간 값이 평균 이격거리의 상태가 된다.
이상에서 설명한 사이드 지지수단(20)에 의하여 상기 수직 방향으로 적재되는 기판을 용이하게 상기 카세트에 적재할 수 있고, 적재된 기판을 용이하게 고정 또는 유지시킬 수 있다.
예를 들어, 상기 카세트에 기판을 수직한 방향으로 적재하고자 하는 경우, 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀 사이의 이격거리는 최대로 만든 다음, 로봇 또는 작업자에 의하여 기판을 상부에서 수직 하향으로 카세트에 적재하게 되면, 상기 기판의 측단부가 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀 사이로 정확하게 위치된 상태로 적재할 수 있다. 그런 다음, 기판의 기울기를 줄이기 위하여 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀 사이의 이격거리를 최소인 상태로 변경함으로써, 상기 기판이 더 수직하게 위치될 수 있도록 한다.
이와 같이 상기 사이드 지지수단(20)에 의하여 수직한 방향으로 적재되는 기판의 양 측단이 고정 유지될 수 있는 것은 상기 기판의 하단을 상기 하단 지지수단(30)이 지지하기 때문이다.
상기 하단 지지수단(30)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(10)의 내부 하측에 배치되어, 상부에서 수직한 방향으로 하측으로 적재되는 상기 기판의 하단을 지지한다.
상기 하단 지지수단(30)은 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(10) 내부에서 고정되는 고정 지지대(31)와, 상기 고정 지지대(31)에 결합되어 상기 수직으로 적재되는 기판(1)의 하단을 접촉 지지하는 접촉 지지대(33)를 포함하여 구성되되, 상기 접촉 지지대(33)는 상기 기판(1) 하단의 길이 방향으로 길게 배치되고, 상기 기판과 접촉되는 부분에 길게 접촉홈(33a)이 형성되며, 상기 접촉홈(33a)에는 깊이 방향으로 배수홀(33b)이 복수개 형성되어 구성된다.
상기 고정 지지대(31)는 상기 프레임(10) 내부에서 고정되어 배치되되, 상하 이동이 가능하게 배치될 수도 있다. 즉, 후술할 높이 조절수단(50)에 의하여 높이가 변경되도록 배치될 수 있다. 따라서, 상기 고정 지지대(31)는 상기 프레임 내부에서 움직이지 않게 완전 고정되도록 배치될 수도 있고, 상기 높이 조절수단(50)에 고정되되, 상기 높이 조절수단(50)에 의하여 높이가 조절되도록 배치될 수 있다.
상기 접촉 지지대(33)는 상기 고정 지지대(31)에 결합되되, 상기 수직 방향으로 적재되는 기판의 하단을 안착 지지할 수 있는 구조로 이루어진다. 따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 기판(1)의 하단과 접촉 지지할 수 있도록, 기판의 길이 방향으로 길게 배치된다.
상기 접촉 지지대(33)는 상기 기판(1)의 하단을 안정되고, 견고하게 접촉 지지할 수 있도록, 상기 기판의 하단과 접촉되는 부분에 길게 접촉홈(33a)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 접촉홈에 상기 기판의 하단이 접촉 위치함으로써, 상기 기판은 견고하고 안정되게 지지될 수 있다.
한편, 상기 카세트에 적재된 기판에 대하여 에칭액을 분사하여 특정 공정을 수행하는 경우, 상기 에칭액은 상기 접촉홈(33a)에 잔류할 수 있고, 결과적으로 기판의 하단이 과도 에칭되고, 에칭에 따른 부산물이 상ㄱ이 접촉홈에 잔류하게 될 수도 있다.
따라서, 상기 접촉홈(33a)에는 도 8에 도시된 바와 같이, 깊이 방향으로 복수개의 배수홀(33b)이 소정 간격 이격되어 형성된다. 상기 배수홀을 통하여 상기 에칭액 또는 부산물들이 하방향으로 모두 빠져나가기 때문에, 상기 접촉홈(33a)에 원하지 않은 에칭액 또는 부산물이 잔류하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 하단 지지수단(30)은 상기 프레임(10) 내부에서 완전 고정배치될 수도 있지만, 상술한 바와 같이, 높이 조절수단(50)에 고정되어 상하 방향으로 높이가 조절될 수 있도록 배치될 수도 있다. 상기 높이 조절수단(50)은 상기 하단 지지수단(30)의 하측에 배치되어 상기 하단 지지수단(30)의 높이를 조절할 수 있다.
도 9는 상기 높이 조절수단(50)의 분리 사시도이다. 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 높이 조절수단(50)은 수직 베이스(51)와 상기 수직 베이스(51)에 일단이 슬라이딩 가능하게 결합되고, 타단은 상기 하단 지지수단(30)에 결합되는 높이 조절대를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 수직 베이스(51)는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 프레임 내측 하부 바닥면에 복수개 형성되되, 상기 프레임의 가로 또는 세로 방향으로 복수개 배치되고, 수직한 방향으로 돌출 형성된 수직판 형상을 가진다. 상기 수직판 형상의 수직 베이스(51)의 측면에는 복수개의 제1 높이 조절홀(51a)이 수직한 방향으로 형성되어 있다.
상기 높이 조절대의 일단은 상기 수직 베이스(51)에 슬라이딩 될 수 있는 구조로 이루어져 있다. 즉, 상기 높이 조절대의 하단은 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 수직 베이스에 삽입되어 상하로 이동될 수 있는 구조를 가진다. 그리고, 상기 제1 높이 조절홀(51a)과 유사한 형상을 가지는 관통홀(53b)이 하나 형성되어 있다.
따라서, 상기 높이 조절대의 하단은 제1 조임구(51b)가 상기 관통홀(53b) 및 상기 제1 높이 조절홀(51a)에 결합됨으로써, 상기 수직 베이스(51)에 견고하게 결합될 수 있다. 그리고, 상기 제1 조임구(51b)에 의하여 상기 관통홀(53b)과 결합되는 상기 복수개의 제1 높이 조절홀(51a)을 달리 선택함으로써, 상기 높이 조절대의 위치를 조절할 수 있다. 결과적으로, 상기 높이 조절대의 상단(타측)과 결합되는 상기 하단 지지수단(30)의 높이는 조절될 수 있다.
상기 높이 조절대의 구체적인 구조는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 수직 베이스(51)에 상하 슬라이딩되고, 제1 조임구(51b)에 의하여 상하 높이가 조절되는 제1 높이 조절대(53), 상기 제1 높이 조절대(53)의 상단에 일단이 결합되고, 타단은 상기 하단 지지수단(30)에 결합되는 제2 높이 조절대(55)를 포함하여 구성된다.
상기 제1 높이 조절대(53)는 하단이 상기 베이스판에 수직 방향으로 삽입 슬라이딩될 수 있는 구조를 가짐으로써, 상하 높이가 조절될 수 있다. 이를 위하여 상술한 바와 같이, 상기 제1 높이 조절대(53)에는 관통홀(53b)이 형성되고, 상기 제1 조임구(51b)가 상기 관통홀과 상기 복수개의 제1 높이 조절홀(51a) 중 어느 하나를 나사 결합시킨다.
상기 제1 높이 조절대(53)의 상단에는 복수개의 제2 높이 조절홈(53a)이 수직 방향으로 형성되어 있다. 상기 제2 높이 조절대(55)의 하단은 제2 조임구(55a)에 의하여 상기 제2 높이 조절홈(53a)에 결합된다. 따라서, 상기 제2 높이 조절대(55)의 하단에는 결합홀(55b)이 하나 형성되어 있다. 결과적으로, 상기 제2 조임구(55a)가 상기 결합홀(55b)과 상기 복수개의 제2 높이 조절홈(53a) 중 어느 하나를 결합함으로써, 상기 제2 높이 조절대(55)의 높이가 조절되어 상기 제1 높이 조절대(53)의 상단과 결합할 수 있다.
상기 제2 높이 조절대(55)의 상단은 각종 체결 방법에 의하여 상기 하단 지지수단(30)에 결합되고, 상기 제2 높이 조절대(55)에 의하여 상기 제1 높이 조절대(53)와 상기 하단 지지수단이 소정 높이로 결합되면, 상기 하단 지지수단의 하방향 처짐을 방지하기 위하여 상기 제1 높이조절대 상단과 상기 하단 지지수단의 하부 사이를 연결하는 거치대(57)의 높이를 조절하여 상기 하단 지지수단의 처짐을 방지한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 상기 하단 지지수단(30)은 상기 높이 조절수단(50)에 의하여 높이가 조절되기 때문에, 상기 카세트에 적재되는 기판의 사이즈가 변경되더라도 손쉽게 대응할 수 있다.
한편, 상기 사이드 지지수단(20) 역시 상기 프레임에 거치된 상태로 수평 방향으로 위치가 변경될 수 있도록 구성된다. 구체적으로, 상기 사이드 지지수단(20) 또는 상기 사이드 지지수단(20)이 상부에 결합된 가이드 수단(40)은 상기 세로 프레임(11) 방향으로 서로 마주보도록 배치되되, 양단이 상기 가로 프레임(13)에 각각 거치되어 배치된다.
상기 가로 프레임(13)에 양단이 거치되어 배치되는 한 쌍의 상기 사이드 지지수단(20) 또는 상기 사이드 지지수단(20)이 상부에 결합된 한 쌍의 가이드 수단(40)은 가로 프레임 방향으로 슬라이딩 될 수 있도록 배치된다. 결과적으로 상기 서로 마주보고 배치되는 한 쌍의 사이드 지지수단(20) 또는 상기 사이드 지지수단(20)이 상부에 결합된 가이드 수단(40)은 상호 마주보는 이격거리를 다양하게 변경될 수 있다. 결과적으로 기판의 다양한 사이즈에 효과적으로 대응할 수 있다.
이와 같이, 상기 한 쌍의 사이드 지지수단은 수평 방향으로 이격 거리를 변경할 수 있고 상기 하단 지지수단은 높이가 조절될 수 있기 때문에, 상기 카세트에 적재되는 기판의 사이즈가 변경되더라도, 효과적으로 다양한 사이즈의 기판을 적재할 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 도 1의 기판 적재용 카세트는 단일의 구조로서 카세트 기능을 수행할 수도 있고, 복수개가 서로 연결되어 대형의 기판 적재용 카세트로도 기능을 수행할 수도 있다. 즉, 도 1에 도시된 기판 적재용 카세트는 직렬 또는 병렬로 연결되어 대형의 카세트로도 재구성될 수 있다. 이 경우, 매우 많은 기판을 카세트에 적재할 수 있음과 아울러, 다양한 사이즈의 기판을 함께 적재할 수 있는 장점이 발생한다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
1 : 기판 10 : 프레임
11 : 세로 프레임 13 : 가로 프레임
20 : 사이드 지지수단 21 : 베이스판
21a : 고정봉 23 : 하부 이동판
23a : 하부 지지핀 23b : 하부 유동홀
25 : 상부 이동판 25a : 상부 지지핀
25b : 상부 유동홀 27 : 이탈 방지부
30 : 하단 지지수단 31 : 고정 지지대
33 : 접촉 지지대 33a : 접촉홈
33b : 배수홀 40 : 가이드 수단
41 : 가이드 홈 50 : 높이 조절수단
51 : 수직 베이스 51a : 제1 높이 조절홀
51b : 제1 조임구 53 : 제1 높이 조절대
53a : 제2 높이 조절홀 55 : 제2 높이 조절대
55a : 제2 조임구 57 : 거치대

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 기판 적재용 카세트에 있어서,
    사각틀 형상의 프레임;
    상기 프레임의 상단 양 측면에 대향하여 배치되어, 상측에서 수직하향으로 적재되는 기판의 쓰러짐을 방지하는 사이드 지지수단;
    상기 프레임의 내부 하측에 배치되어 상기 수직하향으로 적재되는 기판의 하단을 지지하는 하단 지지수단을 포함하여 구성되되,
    상기 사이드 지지수단은 상기 수직으로 적재되는 기판의 측단 양면으로 돌출 형성된 두개의 지지핀을 구비하여 상기 수직으로 적재된 기판의 쓰러짐을 방지하고, 상기 두개의 지지핀 사이의 이격거리가 조절되도록 구성되고,
    상기 사이드 지지수단은 상기 프레임의 상단에 길게 배치되도록 긴 판 형상을 가지고, 그 상부면에 서로 이격되어 고정 장착되는 적어도 두개 이상의 고정봉을 구비하는 베이스판, 상기 베이스판 상부에 접촉 배치되도록 긴 판 형상을 가지되, 상기 고정봉이 삽입될 수 있는 적어도 두개 이상의 하부 유동홀이 형성되고, 일 측면에 복수개의 하부 지지핀이 서로 이격되어 배치되는 하부 이동판, 상기 하부 이동판 상부에 접촉 배치되도록 긴 판 형상을 가지되, 상기 고정봉이 삽입될 수 있는 적어도 두개 이상의 상부 유동홀이 형성되고, 일 측면에 복수개의 상부 지지핀이 서로 이격되어 배치되는 상부 이동판 및 상기 고정봉에 결합되어 상기 하부 이동판과 상부 이동판의 상하 이동과 이탈을 방지하는 이탈 방지부 포함하여 구성되되,
    상기 하부 유동홀은 상기 고정봉에 끼워진 상태로 상기 하부 이동판이 상기 베이스판 상에서 길이 방향으로만 수평 이동할 수 있도록 형성되고, 상기 상부 유동홀은 상기 고정봉에 끼워진 상태로 상기 상부 이동판이 상기 하부 이동판 상에서 길이 방향으로만 수평 이동할 수 있도록 형성되며, 상기 하부 이동판과 상부 이동판 중 적어도 하나를 길이방향으로 이동함으로써, 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 이격거리는 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 상부 지지핀은 상기 상부 이동판의 일측면 하단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성되고, 상기 하부 지지핀은 상기 하부 이동판의 일측면 상단에 고정되어 수평 방향으로 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 상부 지지핀과 하부 지지핀은 상기 하부 지지핀과 상부 지지핀의 수평선 상의 이격거리가 커지는 방향으로 경사지게 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 최소 이격 거리의 상태는 상기 고정봉이 상기 하부 유동홀에는 일측에 접촉되고 상기 상부 유동홀에는 타측에 접촉된 상태인 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 이격 거리가 최대가 되는 경우는 상기 상부 지지핀과 하부 지지핀의 수평선 상의 이격 거리가 멀어지도록 상기 상부 이동판과 하부 이동판을 서로 반대 방향으로 슬라이딩한 상태이되, 상기 고정봉이 상기 하부 유동홀에는 타측에 접촉되고 상기 상부 유동홀에는 일측에 접촉된 상태가 되는 경우인 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  9. 청구항 4에 있어서,
    상기 하단 지지수단은 프레임 내부에서 고정되는 고정 지지대와, 상기 고정 지지대에 결합되어 상기 수직으로 적재되는 기판의 하단을 접촉 지지하는 접촉 지지대를 포함하여 구성되되, 상기 접촉 지지대는 상기 기판 하단의 길이 방향으로 길게 배치되고, 상기 기판과 접촉되는 부분에 길게 접촉홈이 형성되며, 상기 접촉홈에는 깊이 방향으로 배수홀이 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
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