CN105217963A - 用于在蚀刻处理中装载基板的盒子 - Google Patents

Abstract

公开了一种用于在蚀刻处理中装载基板的盒子。更具体地公开了这样一种用于在蚀刻处理中装载基板的盒子，其中多个基板被竖直地装载成彼此间隔开预定距离，基板被支撑并维持在直立状态，并且即使基板薄且大也能够在使摆动和波动最小的情况下对基板进行处理。用于在蚀刻处理中装载基板的盒子包括：框架，其被构造成形状类似矩形；侧支撑件，其被构造成分别引导从所述框架的顶侧向下竖直装载的基板的相对的横向部分，并且对置地布置在所述框架的横向侧，以便防止所述基板掉落；下端支撑件，其被构造成布置在所述框架的内底部侧，并且支撑竖直装载的基板各自的下端；和上端支撑件，其被构造成布置在所述框架的顶侧并且支撑竖直装载的基板各自的上部。

Description

用于在蚀刻处理中装载基板的盒子

技术领域

本发明涉及一种用于在蚀刻处理中装载基板的盒子，更具体地涉及这样一种用于在蚀刻处理中装载基板的盒子，其中多个基板以彼此间隔开预定距离的方式竖直地装载，所述基板被支撑并维持在直立状态，并且即使所述基板薄且大也能够在最低的摆动和波动的情况下对所述基板进行处理。

背景技术

为了对基板进行各种处理，需要用于保持或装载基板的设备。因而，被保持或装载的基板在腔室中经受清洁处理、蚀刻处理等各种表面处理。

与清洁处理或蚀刻处理有关的处理效率与预定时间内处理的基板的数量紧密相关。也就是说，为了提高处理效率，增加预定时间内经受清洁处理或蚀刻处理的基板的数量十分重要。

因此，需要在执行一次处理时处理多个基板。为此，需要装载多个基板的盒子。

这种用于装载基板的盒子需要具有用于装载多个基板的结构，具有用于支撑或保持基板的最小接触部分，并且具有与基板的尺寸对应的结构。

在这方面，本申请人先前于2010年8月17日提交了名称为“用于玻璃蚀刻的盒子(申请号No.10-2010-0079158)”的用于装载基板的盒子。该用于蚀刻玻璃基板的盒子具有很大作用，但是具有在支撑竖直装载的基板的下端的同时仅夹紧基板的横向边缘的结构。

然而，随着基板变得更薄和更大，竖直地装载在盒子中的基板在盒子为了进行蚀刻处理而移动时发生摆动和波动。因此，在蚀刻处理期间薄且大的基板很可能断裂。

因而，需要一种附加结构，用于在处理薄且大的基板时使基板的摆动和波动最小。此外，这种附加结构需要在将基板装载到盒子和从盒子卸载基板时不与基板发生干涉。

发明内容

因而，构想出本发明来解决上述问题，并且本发明的一方面是提供一种用于在蚀刻处理中装载基板的盒子，其中多个基板被竖直地装载成彼此间隔开预定距离，所述基板被支撑并维持在直立状态，并且即使所述基板薄且大也能够在使摆动和波动最小的情况下对所述基板进行处理。

根据本发明的实施方式，一种用于在蚀刻处理中装载基板的盒子包括：框架，该框架被构造成形状类似矩形；侧支撑件，所述侧支撑件被构造成分别引导从所述框架的顶侧向下竖直装载的所述基板的相对的横向部分，并且对置地布置在所述框架的横向侧，以便防止所述基板掉落；下端支撑件，该下端支撑件被构造成布置在所述框架的内底部侧，并且支撑竖直装载的所述基板各自的下端；以及上端支撑件，该上端支撑件被构造成布置在所述框架的顶侧，并且支撑竖直装载的所述基板各自的上部。

所述上端支撑件可以包括：水平杆，该水平杆与竖直装载的所述基板正交地布置；支撑件，该支撑件连接并附接至所述水平杆的底部并且支撑所述基板的上部；以及相对侧联接杆，该相对侧联接杆包括固定并连接到所述水平杆的相对两端中的各端的第一端和联接至所述框架的第二端。

所述支撑件可以连接至所述水平杆的底部，向下伸出，并且包括彼此间隔开以便一个接一个地放置在所述基板之间中的支撑销。

所述支撑件可以具有竖直地附接至所述水平杆的底部的板状结构，并且所述支撑件包括间隔开地接连形成在下端中的凹槽和形成在所述凹槽之间并布置在所述基板之间中的凸起，并且所述凹槽接触并支撑所述基板的上端。

所述上端支撑件可以以可拆卸的方式联接至所述框架。

所述上端支撑件可以与所述框架联接并沿着所述框架滑动，从而以与装载的所述基板平行的方式水平地移动。

所述下端支撑件可以包括固定支撑件和接触支撑件，所述固定支撑件水平地布置在所述框架的内底部侧，所述接触支撑件联接至所述固定支撑件并且接触并支撑竖直装载的所述基板各自的下端，所述接触支撑件可以纵向地布置在所述基板的下端的纵向方向上并且包括纵向地形成在待与所述基板接触的部分中的接触凹槽，所述接触凹槽可以在深度方向上形成有多个排出孔。

附图说明

从如下结合附图对示例性实施方式的描述中，本发明的上述方面和/或其他方面将变得清楚和更容易理解，其中：

图1是根据本发明的实施方式的用于在蚀刻处理中装载基板的盒子的立体图；

图2是示出了根据本发明的实施方式的上端支撑件的视图；

图3是用于说明可拆卸地联接根据本发明的实施方式的上端支撑件的视图；

图4是用于说明根据本发明的实施方式的上端支撑件的滑动操作的视图；

图5是根据本发明的实施方式的下端支撑件的立体图；和

图6是高度调节器的分解立体图。

具体实施方式

下面，将参照附图描述根据本发明的具有上述问题、解决方案和效果的用于在蚀刻处理中装载基板的盒子的示例性实施方式。

为了清楚和便于描述，图中所示的元件在尺寸、形状等方面可能被夸大。此外，考虑到本发明的构造和操作而特别限定的术语可以根据使用者和操作者的意图或实践而改变。关于这种术语的定义必须基于如下整个描述给出的内容。

图1是根据本发明的实施方式的用于在蚀刻处理中装载基板的盒子的立体图。如图1所示，根据本发明的实施方式的用于在蚀刻处理中装载基板的盒子包括：框架10，该框架10被构造成形状类似矩形；侧支撑件40，该侧支撑件40被构造成对置地布置在框架10的横向两侧；下端支撑件30，该下端支撑件30被构造成布置在框架10的内底部侧；和上端支撑件20，该上端支撑件20被构造成布置在框架10的顶侧。

框架10成形为类似如图1中所示的矩形，并且具有向上敞开的结构。框架10向上敞开的原因是因为基板1被从顶侧竖直向下装载至用于装载基板1的盒子。也就是说，根据本发明的实施方式，基板1并不是从横向侧插入和装载，而是从顶侧向下插入和装载。

框架的横向侧和底侧可以具有各种形状，只要它们的结构稳定就行。此外，可以将轮子附接至框架的底部。也就是说，竖直装载有多个基板的盒子需要沿着轨道移动。因此，根据本发明的实施方式，用于装载基板的盒子在穿过装载腔室、清洁腔室和蚀刻腔室的同时经受处理。

框架10可以包括：形成在彼此相对两侧的纵向框架11；将纵向框架11彼此连接的横向框架13；和底部框架。

侧支撑件40被布置成在框架10的相对两侧彼此对置。也就是说，侧支撑件40对置地布置在框架10的形成纵向框架11或横向框架13的相对两侧。具体地说，侧支撑件40可以水平地形成在横向框架13或纵向框架11中，并且在竖直方向上形成有多个。

侧支撑件40分别引导从框架10的上侧竖直向下装载的基板的相对横向部分，并防止被装载的基板1脱落。也就是说，侧支撑件40引导被装载成在竖直方向上直立的每个基板的横向端，由此防止基板脱落。

侧支撑件40引导如图1所示竖直装载的基板的横向端。为了提高引导基板的两个横向端的作用，侧支撑件40形成有导向凹槽41。

同样，侧支撑件40在引导竖直装载的基板的两个横向部的同时用于防止基板脱落，但是侧支撑件40可以具有用于夹紧竖直装载的基板的两个横向部并因而保持被装载的基板的两个横向部的结构。

通过上述侧支撑件40，被插入框架10中并且被在竖直方向上装载的基板1不会向左或向右脱落，因而通过侧支撑件40保持在直立状态中。在该实施方式中，基板的两个横向端都被放置在引导凹槽41中并由该引导凹槽41支撑，由此防止基板脱落。

在侧支撑件40防止基板脱落的同时，基板1的下端也被支撑为使得该基板1能够被竖直地装载在盒子中。因而，下端支撑件30设置在框架10的内底部侧，并且支撑被竖直地装载的基板的下端。

同时，用于支撑基板的下端的下端支撑件30可以被构造成在高度方面是可调节的。因此，根据本发明的实施方式，还设置了高度调节器(参见图6)，该高度调节器附接至框架的内底部并调节下端支撑件30的高度。这将在稍后进行更详细的描述。

通过该构造，被竖直装载的基板1被支撑并保持成装载在盒子中。

然而，在盒子中被竖直地装载成直立的多个基板1在盒子于腔室中移动的同时经受清洁处理、蚀刻处理等。当盒子移动时，基板可能摆动和波动。

具体地说，当基板1变得更大且更薄时，基板1在盒子移动时更严重地摆动和波动，基板1很可能断裂。

为了防止大且薄的基板1断裂，需要附加结构使基板1的摆动和波动最小。根据本发明的实施方式，设置上端支撑件20来支撑基板1的上部。

上端支撑件20被布置在框架10的顶侧，并支撑被竖直地装载的基板1各自的上部。上端支撑件20被布置成在所有基板1都在盒子中被竖直地装载成直立之后支撑基板1各自的上端。因此，上端支撑件20可以以可拆卸的方式联接至框架10或可以具有能够沿着框架10滑动的结构。

具体地，基板1被从盒子的顶侧向下插入并且被竖直地装载在盒子中，因此，在盒子的顶侧上应该没有任何东西，从而在装载基板1时不会干涉基板1。因此，上端支撑件20可以具有在所有基板都被竖直地装载在盒子中之后与框架联接的结构，或者可以被构造成放置于盒子的在装载基板时不干涉基板的一侧，并且在基板被完全装载好时滑动并支撑基板的上端。这将在稍后进行描述。

上端支撑件20可以以各种方式进行构造，只要其能够支撑在盒子中被完全直立地装载的基板各自的端部即可。具体地说，如图1和2所示，上端支撑件20包括：水平杆21，该水平杆21与竖直装载的基板1正交地布置；支撑件23，该支撑件23连接并附接至水平杆21的底部并支撑基板各自的上部；和相对侧联接杆25，该相对侧联接杆25包括固定并连接到水平杆21的相对两端中的各端的第一端和联接至框架10的第二端。

水平杆21成形为类似细长杆，并且相对于完全装载在盒子中的基板正交地布置。另外，支撑件23被附接至水平杆21的底部并从水平杆21的底部向下伸出，由此支撑基板1各自的上部。

另外，相对侧联接杆25具有联接到水平杆21的端部的第一端和联接到框架10的第二端。相对侧联接杆25的第二端可以联接至框架10的顶部或联接至框架10的外表面的上侧。

上端支撑件20的支撑件23可以具有各种形状，只要其能够支撑在盒子中被完全地装载成竖直直立的基板1各自的上部即可。

具体地说，支撑件23可以包括如图1中所示的突出销，这些突出销联接到水平杆21的底部并向下伸出。也就是说，支撑件23可以通过连接到水平杆21的底部、向下伸出并彼此间隔开以便一个接一个地放置在基板1之间中的支撑销实现。

当支撑销1被放置在相邻的基板1之间时，基板1的两侧在上端处由支撑销支撑。因此，防止了竖直装载的基板1脱落，同时使其向左和向右运动最小。结果，使得基板1的摆动和波动最小。

图2是示出了在根据本发明的实施方式的上端支撑件20中的支撑件23的另一种构造的视图。如图2所示，支撑件23被完全连接至水平杆21的底部并向下伸出，由此具有板状结构，以竖直地附接至水平杆21的底部。

然而，支撑件23没有形成完整的板，而是具有变换结构。具体地说，支撑件23的下端被处理成使得能够在该下端中以规则间隔接连地形成凹槽23b。因而，在凹槽23b之间形成与未处理部分对应的凸起23a。

通过该结构，如果具有支撑件23的上端支撑件20被布置成支撑装载在盒子中的基板1的上部，则凹槽23b之间的凸起23a被布置在基板1之间中，并且凹槽23b从顶侧接触并支撑基板1的上端。

在如图2所示的凹槽23b中，其下侧不具有与上侧相同的宽度，而是比上侧宽。换言之，凹槽23b的上侧相对较窄。具体地说，凹槽23b从下侧向上侧渐缩。

在使用上端支撑件20来支撑基板1的上端时这种形状的凹槽23b使得容易朝向凹槽23引导每个基板1的上端，并使得基板1的顶部与凹槽23b的顶侧接触并由该顶侧支撑，从而能够将基板1的上端牢固地保持在凹槽23b内。

通过该结构，上端支撑件20被布置成在基板1全部被竖直地装载于盒子中之后支撑或保持基板1的上部。如上所述，这不会在从盒子的顶侧向下装载基板时造成干涉。

为此，上端支撑件20以可拆卸的方式联接至框架10，如图3所示。也就是说，上端支撑件20在基板1被装载在盒子中时与框架10分离开，并且在基板全部被装载在盒子中之后联接至框架10。

为了将上端支撑件20与框架10以可拆卸的方式联接，而在框架10的相对的顶部或相对的横向上侧处形成联接杆安装件61，从而使得上端支撑件20的相对侧联接杆25的第二端能够被插入并安装至联接杆安装件61。具体地说，联接杆安装件61在纵向框架11或横向框架13的相对的顶部或相对的横向上侧形成为彼此面对。

为了使用上端支撑件20来支撑竖直地装载在盒子中的基板1各自的上部，而将上端支撑件20的相对侧联接杆25的第二端插入并安装至联接杆安装件61。于是，上端支撑件20的支撑件23支撑基板1各自的上部。

插入并联接至联接杆安装件61的相对侧联接杆25鉴于稳定性而具有不可变的长度，但是不限于此。另选地，相对侧联接杆25的长度可以为可变的。

前述上端支撑件20被设置成附接到框架10和从框架10拆下，但不限于此。另选地，上端支撑件20可以具有可动结构以沿着框架10滑动，如图4所示，由此与框架10联接。

也就是说，上端支撑件20联接到框架10，从而其能够平行于被装载的基板1水平地移动。因此，上端支撑件20被联接到框架10并且沿着框架10滑动。

为此，在框架10的顶端或横向上侧处水平和纵向地形成联接杆滑动轨道63。具体地，联接杆滑动轨道63在框架10的纵向框架11或横向框架13的相对的顶端或相对的横向上侧处水平地形成为彼此面对。

接杆滑动轨道63与上端支撑件20的相对侧联接杆25的第二端联接，从而使得上端支撑件20能够在其上滑动。因此，相对侧联接杆25的每个第二端都形成有滑动件，以与接杆滑动轨道63接合并在该接杆滑动轨道63上滑动。

通过前述构造，联接到框架10的上端支撑件20能够沿着框架10滑动。此时，上端支撑件20的滑动方向与竖直装载的基板平行。

此外，联接至框架10的上端支撑件20在基板1正被竖直地装载在盒子中时必定不会干涉基板1。因此，在基板1正被装载在盒子中时，上端支撑件20被保持成被置于框架10的一侧(参见图4中的虚线)。

在基板1全部被装载在盒子中之后，上端支撑件20沿着图4的箭头方向滑动。因而上端支撑件20能够在合适位置支撑基板1各自的上部。

此时，可以改变上端支撑件20的数量。也就是说，如图4所示，上端支撑件20一个接一个地布置在框架10的相对两侧，并滑动移动到一定位置，由此在一定位置处支撑基板的上部。

必要时，可以向框架10的相对两侧增加两个上端支撑件20，从而可以使用总共四个上端支撑件20来支撑基板1的上部。

同时，联接至框架10的上端支撑件20可由工人手动地滑动，但不限于此。在必要时，上端支撑件20可以由马达自动地滑动。

通过上端支撑件20的上述结构和操作，装载在盒子中的基板1的上部可以被维持和支撑在合适位置。因此，使得装载在盒子中的基板1的摆动和波动在传送基板时最小，由此降低基板发生损坏的可能性。

尽管上端支撑件20支撑基板1的上部，侧支撑件40支撑基板1的横向部，但仍需要支撑基板1的下端，以将基板1装载成竖直直立。

竖直装载的基板的相对横向端能够被侧支撑件40保持和维持的原因是因为基板的下端被下端支撑件30支撑。

下端支撑件30布置在框架10的内底部侧，如图1所示，并支撑从顶侧向下竖直地装载的基板的下端。

如图5所示，下端支撑件30包括水平地布置在内底部侧的固定支撑件31以及联接至固定支撑件31并接触和支撑竖直装载的基板1的下端的接触支撑件33。接触支撑件33纵向地布置在基板1的下端的纵向方向上，并且包括纵向形成在待与基板接触的部分中的接触凹槽33a。另外，接触凹槽33a在深度方向上形成有多个排出孔33b。

固定支撑件31被固定在框架10内，并以可上下移动的方式布置。也就是说，固定支撑件31的高度可以通过高度调节器50(稍后将描述)调节。因此，固定支撑件31可以被完全固定成不能在框架内移动，或者可以被固定至高度调节器50，但是可通过高度调节器50调节高度。

接触支撑件33具有用于与固定支撑件31联接并稳定地支撑被竖直装载的基板的下端的结构。因此，如图5所示，接触支撑件33纵向地布置在基板的纵向方向上，从而接触并支撑基板1的下端。

接触支撑件33在待与基板的下端接触的部分中纵向地形成有接触凹槽33a，从而稳定并牢固地接触和支撑基板1的下端。因此，基板的下端与接触凹槽接触并定位在接触凹槽中，由此牢固并稳定地支撑基板。

同时，如果通过向装载在盒子中的基板喷射蚀刻液体而进行一定处理，则蚀刻液体会留在接触凹槽33a中，由此导致对基板的下端过度蚀刻，因而在接触凹槽中留下了蚀刻的副产品。

因此，如图5所示，接触凹槽33a在深度方向上形成有多个排出孔33b。由于蚀刻液体或副产品通过排出孔完全排出，因此可以防止不期望的蚀刻液体或副产品留在接触凹槽23a中。

同时，下端支撑件30可以被完全固定在框架10内部，但是可以由于被固定至高度调节器50而可上下移动。高度调节器50可以放置在下端支撑件30的下方并调节下端支撑件30的高度。

图6是高度调节器50的分解立体图。如图6所示，高度调节器50包括竖直基部51和高度调节单元，该高度调节单元具有联接至竖直基部51并在该竖直基部51上滑动的第一端和联接至下端支撑件30的第二端。

如图6所示，所述多个竖直基部51在框架的横向或纵向方向上形成在框架的内底部上，并且形状类似于在竖直方向上伸出的竖直板。在形状类似于竖直板的竖直基部51的横向侧，竖直地形成有多个第一高度调节孔51a。

高度调节单元的第一端具有用来在竖直基部51上滑动的结构。也就是说，高度调节单元的下端具有被插入在竖直基部中并可上下移动的结构，如图6所示。另外，高度调节单元设置有一个形状类似于第一高度调节孔51a的通孔53b。

因此，高度调节单元的下端能够在第一紧固件51b联接通孔53b和第一高度调节孔51a时牢固地联接至竖直基部51。另外，不同地选择多个第一高度调节孔51a中的一个以借助第一紧固件51b将其与通孔53b联接，以由此调节高度调节单元的位置。结果，可以调节待联接至高度调节单元的上端(即第二端)的下端支撑件的高度。

高度调节单元的详细结构如下。如图6所示，高度调节单元包括：第一高度调节单元53，该第一高度调节单元53在竖直基部51上上下地滑动并借助第一紧固件51b来调节高度；和第二高度调节单元55，该第二高度调节单元55具有联接至第一高度调节单元53的上端的第一端和联接至下端支撑件30的第二端。

第一高度调节单元53具有其下端能够竖直地插入基板中并在基板中滑动的结构，因而是高度可调的。为此，第一高度调节单元53形成有如上所述的通孔53b，第一紧固件51b将通孔与多个第一高度调节孔51a中的一个第一高度调节孔螺纹联接。

第一高度调节单元53的上端沿着竖直方向形成有多个第二高度调节凹槽53a。第二高度调节单元55的下端借助第二紧固件55a与第二高度调节凹槽53a联接。因而，第二高度调节单元55的下端形成有一个联接孔55b。结果，第二紧固件55a将联接孔55b与多个第二高度调节凹槽53a中的一个第二高度调节凹槽联接，从而第二高度调节单元55能够在被调节高度时联接至第一高度调节单元53的上端。

第二高度调节单元55的上端可以通过各种紧固方法联接至下端支撑件30。如果第一高度调节单元53和下端支撑件通过第二高度调节单元55在预定高度相联接，则用于连接在第一高度调节单元的上端和下端支撑件的下部之间的支架57的高度得以调节，以由此防止下端支撑件下垂。

如上所述，下端支撑件30的高度能够通过高度调节器50来调节，由此即使待装载在盒子中的基板的尺寸发生变化，也能够由此处理该基板。

同时，如以上参照图1描述的用于装载基板的上述盒子可以单独地用来用作盒子，或者多个盒子可以彼此连接以用作甚至更大尺寸的用于装载基板的盒子。例如，将如图1所示的用于装载基板的盒子串联或并联连接而构成大尺寸的盒子。在这种情况下，不仅可以将许多基板而且可以将各种尺寸的基板有利地装载在盒子中。

对于上述问题和解决方案，根据本发明的实施方式的用于在蚀刻处理中装载基板的盒子具有的优点在于，多个基板被竖直地装载成彼此间隔开预定距离，基板被支撑和维持在直立状态，并且即使基板薄且大，也可以在使得摆动和波动最小的情况下对基板进行处理，由此使得基板的损坏最小。

另外，用于支撑竖直地装载的基板的下端的下端支撑件完全接触并支撑基板的下端，从而即使盒子振动，也可以稳定地支撑基板，并且在接触部中形成多个孔，从而可以有利地防止下端由于留在接触部分中的蚀刻液体而被过度蚀刻。

尽管已经示出并描述了本发明的几个示例性实施方式，但本领域技术人员应认识到，在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施方式进行修改，本发明的范围在所附权利要求及其等同物中限定。

Claims (7)

1.一种用于在蚀刻处理中装载基板的盒子，该盒子包括：

框架，该框架被构造成形状类似矩形；

侧支撑件，所述侧支撑件被构造成分别引导从所述框架的顶侧向下竖直装载的所述基板的相对的横向部分，并且对置地布置在所述框架的横向侧，以便防止所述基板掉落；

下端支撑件，该下端支撑件被构造成布置在所述框架的内底部侧，并且支撑竖直装载的所述基板各自的下端；以及

上端支撑件，该上端支撑件被构造成布置在所述框架的顶侧，并且支撑竖直装载的所述基板各自的上部。

2.根据权利要求1所述的盒子，其中，所述上端支撑件包括：水平杆，该水平杆与竖直装载的所述基板正交地布置；支撑件，该支撑件连接并附接至所述水平杆的底部并且支撑所述基板的上部；以及相对侧联接杆，该相对侧联接杆包括固定并连接到所述水平杆的相对两端中的各端的第一端和联接至所述框架的第二端。

3.根据权利要求2所述的盒子，其中，所述支撑件连接至所述水平杆的底部，向下伸出，并且包括彼此间隔开以便一个接一个地放置在所述基板之间中的支撑销。

4.根据权利要求2所述的盒子，其中，所述支撑件具有竖直地附接至所述水平杆的底部的板状结构，并且所述支撑件包括间隔开地接连形成在下端中的凹槽和形成在所述凹槽之间并布置在所述基板之间中的凸起，并且所述凹槽接触并支撑所述基板的上端。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的盒子，其中，所述上端支撑件以可拆卸的方式联接至所述框架。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的盒子，其中，所述上端支撑件与所述框架联接并沿着所述框架滑动，从而以与装载的所述基板平行的方式水平地移动。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的盒子，其中，所述下端支撑件包括固定支撑件和接触支撑件，所述固定支撑件水平地布置在所述框架的内底部侧，所述接触支撑件联接至所述固定支撑件并且接触并支撑竖直装载的所述基板各自的下端，所述接触支撑件纵向地布置在所述基板的下端的纵向方向上并且包括纵向地形成在待与所述基板接触的部分中的接触凹槽，所述接触凹槽在深度方向上形成有多个排出孔。