KR20130056872A - 기판 표면 근방의 유체 혼합을 제어하는 마이크로전자 기판의 습식 처리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스프레이 공정장치를 이용하여 마이크로전자소자의 처리 중 제1 및 제2 처리유체 사이의 이행을 제어하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

Description

기판 표면 근방의 유체 혼합을 제어하는 마이크로전자 기판의 습식 처리{WET PROCESSING OF MICROELECTRONIC SUBSTRATES WITH CONTROLLED MIXING OF FLUIDS PROXIMAL TO SUBSTRATE SURFACES}
본 출원은 기판 표면 근방의 유체 혼합을 제어하는 마이크로전자 기판의 습식 처리라는 명칭으로 Wagener 등에 의해 2010. 4. 27 자로 출원된 미국 가출원 제61/328,274호를 기초로 하는 우선권을 주장하며, 상기 가출원의 전 내용이 참조로 여기에 포함되어 진다.
본 발명은 스프레이 공정장치를 사용하는 마이크로전자장치를 처리하는 것에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 비제어 혼합으로 발생할 수 있는 구성부 손상을 최소화하기 위해 스프레이 공정장치를 사용한 처리 중 기판 표면 근방에서 발생할 수 있는 처리 유체의 혼합을 제어하는 것에 관한 것이다.
마이크로전자산업은 수많은 마이크로전자소자의 제조에 있어 수많은 처리방법을 사용한다. 흔히 처리방법은 습식 및 건식 처리의 하나 또는 양자를 포함한다.마이크로전자산업은 이러한 처리를 수행하기 위한 다양한 구성 시스템을 이용할 수 있다. 일반적으로 스프레이 공정장치는 화학물질, 세척액, 가스 및 이들의 조합과 같은 처리 유체들이 일련의 하나 이상의 단계에서 혼자 또는 조합으로 마이크로전자 제품(workpiece) 상에 분사, 투입, 또는 분배되는 장치를 말한다. 이것은 마이크로전자 제품이 처리 과정 중 유체 욕(bath) 내에 침잠되는 습식 장치와 대비된다.
통상적인 스프레이 공정장치에서, 처리 유체는 마이크로전자 제품(들)이 스프레이 공정장치의 공정 챔버 내에 지지되는 동안 마이크로전자 제품(들) 상으로 분배 또는 분사된다. 흔히, 마이크로전자 제품(들)은 이러한 처리의 일부동안 축을 중심으로 회전한다. 단일 마이크로전자 제품 시스템들에 있어서, 흔히 마이크로전자 제품은 그 자신의 중앙축에 대해 회전한다. 이러한 타입의 예시적인 장치는 미네소타주, 차스카에 소재하는 FSI International, Inc.로부터 상표명 ORION®로 판매되고 있다. 복수의 마이크로전자 제품들을 동시에 처리하는 장치에 있어서, 흔히 마이크로전자 제품들은 회전 턴테이블(또한 플래튼으로 불림) 상에 지지되는 홀더(또한 카세트라고 불림)에 저장된다. 턴테이블은 그 자신의 중앙축에 대해 회전하며, 개략적으로 홀더는 턴테이블의 축 둘레의 궤도에서 행성처럼 회전한다. 이러한 타입의 예시적인 장치는 미네소타주, 차스카에 소재하는 FSI International, Inc.로부터 상표명 MERCURY® 및 ZETA® 로 판매되고 있다.
스프레이 공정장치를 위한 전형적인 처리방법은 마이크로전자 제품이 하나 이상의 습식처리를 받도록 하는 것을 포함하는 처리단계들을 가지며, 이들 습식처리는 하나 이상의 화학물질, 세척액, 가스 및 이들의 조합을 포함한다. 통상적으로, 원하는 습식처리가 완료된 후, 마이크로전자 제품은 건조된다. 예를 들면, 종래의 세척 및 건조단계는 첫째로 공정 챔버 내의 회전하는 턴테이블 상에 지지된 마이크로전자 제품으로 세척액을 분배 또는 분사하는 것을 포함한다. 세척이 멈춰지며 뒤이어 세척액을 공급하는데 사용된 도관(plumbing)이 처리 챔버 쪽으로 퍼징된다(purged). 뒤이어 건조가스가 동일하거나 다른 도관을 통해 챔버 내로 도입되어 마이크로전자 제품을 건조시킨다.
예시적인 제조법에 따르면, 마이크로전자 기판상에 소자 구성부들(features)을 형성하는데 도움을 주기 위해 포토레지스트 마스크들이 사용된다. 이들 구성부들은 마이크로전자 기술이 진보함에 따라 보다 소형화되어 왔다. 예를 들면, 현재 일부 소자들은 나노미터-스케일 차원을 갖는 게이트 구조와 같은 구성부들을 포함한다. 불행하게도, 소자 구성부들이 작아질수록 보다 크고 보다 튼튼한 구성부에 비해 제조 과정 중에 손상 받기 쉬워진다. 제조 과정 중에 작은 소자 구성부들을 보호하는데 도움이 되는 처리법을 개발하는 것이 바람직하다.
구성부들을 만드는데 도움을 주기 위해 포토레지스트 마스크가 사용된 후, 통상적으로 이 마스크는 제거된다. 포토레지스트 마스크의 제거는 구성부 손상이 문제로 되는 하나의 상황이 된다. 잘 알려진 피라나(piranha) 처리는 기판 표면으로부터 포토레지스트 잔여물(residue)을 제거하기 위해 사용되는 하나의 방법이다. 전형적인 피라나 조성은 적어도 황산과 과산화수소를 포함하는 원료들을 조합하여 얻어지는 수용액이다. 흔히, 이들 원료는 농축 액상 황산 및 30 wt% 액상 과산화 수소로서 공급된다. 전형적인 피라나 용액은 과산화수소 용액의 부피당 황산 용액의 부피로 약 2 내지 10부를 조합하여 얻어진다. 상기 용액들은 또한 보다 희석된 형태로 사용될 수 있다. 흔히 피라나 용액은 예를 들면 약 60℃ 이상, 심지어 약 80℃ 이상, 심지어 180℃ 이상의 온도로 뜨겁다. 피라나 용액은 표면으로부터 포토레지스트 잔류물과 같은 유기 화합물들을 세정한다. 또한 이 용액은 금속들을 산화시키며 수산화시키는 경향이 있어서 이들을 친수화시킨다. 이 용액으로 세정(cleaning) 후에, 기판은 물로 세척된다(rinsed). 다음에 기판은 원하는 다른 처리를 받게 된다.
실제의 다른 예시적인 모드에서, 세정 조성물은 인산과 같은 하나 이상의 다른 산을 포함할 수 있다. 또한, 일부 세정 화학물질은 산을 사용하나 과산화물을 사용하지 않는다. 일부 세정 화학물질은 과산화수소를 다른 산화제(들)로 대체할 수 있다.
불행하게도, 이러한 세정 화학물질을 사용하는 종래의 방법들은 소자 구성부들을 손상시키는 경향이 있을 수 있다. 구성부가 작아질수록 위험은 더 커진다. 다른 처리들도 또한 소자 구성부를 손상시키는 유사한 위험을 갖는다. 다른 처리의 예는 금속을 제거하기 위한 왕수 처리(aqua regia treament)(질산과 염산의 혼합물)를 포함한다. 따라서, 처리 중에 소자 구성부를 손상으로부터 보호하는 개선된 방법이 강하게 요망된다.
본 발명은 제조 과정의 마이크로전자 제품 표면에서의 상이한 화학물질들의 혼합을 제어 및/또는 방지함으로써 구성부 손상을 극적으로 감소시킨다. 본 발명은 상이한 화학물질들이 발열적으로 혼합될 수 있다는 인식에 적어도 부분적으로 기초하고 있다. 이것은, 혼합이 제품 표면 근방에서 일어나면, 제조 과정의 마이크로전자 제품상의 미세한 구성부를 손상시킬 수 있는 에너지를 방출한다. 적어도 두 개의 독립된(구별되는) 노즐(이후에는 다중-노즐 장치라 함)을 포함하는 처리장치는 복수 단계의 처리 중에 하나 이상의 마이크로전자 제품상으로 적어도 두 개의 상이한 처리 유체를 독립적으로 분배할 수 있다. 이러한 장치는 화학물질이 다른 노즐로부터 분배되는 동안 화학물질이 하나의 노즐로부터 똑똑 떨어질 때(drip)와 같이 제품 표면상에서 화학물질이 발열적으로 혼합될 위험에 특히 민감하다. 따라서, 본 발명의 원리는 이러한 다중-노즐 장치에 대해 바람직하고 유리하게 실행된다.
본 발명은 제품 표면 근방에서의 화학물질 혼합을 제어 및/또는 방지하는 여러 방법을 제공한다. 하나의 방법으로, 본 발명은 제1 노즐로부터의 제1 유체의 방울들이 제2 노즐로부터 분배되는 제2 유체의 표면 막으로 떨어지는 것을 피하도록 제1 화학물질 분배와 제2 화학물질 분배 사이의 이행(trasition)을 제어한다. 예를 들면, 화학물질 분배로부터 남은 산의 방울들이 후속 처리 단계에서 세척수(rinsing water)가 제2 노즐을 통해 분배되는 동안 제1 노즐로부터 제품 표면상으로 낙하하는 것이 방지된다. 하나의 방법으로 이것은 세척수가 제2 노즐을 통해 분배되기 전에 제1 노즐에 대한 흡입(suction)을 통해 실행될 수 있다. 부가적인 면으로, 제1 노즐에 대한 흡입이 수행되는 동안 제2 유체가 제2 노즐을 통해 제품상으로 도입된다. 또 다른 방법에 따르면, 제품이 손상위험을 피하는데 더욱 도움이 되도록 그 중심축에 대해 회전하는 동안 제2 화학물질이 일반적으로 제품의 중앙으로 도입된다.
일면에서, 본 발명은 마이크로전자 제품을 처리하는 방법에 관한 것으로, 이 방법은 마이크로전자 제품으로 하나 이상의 처리유체를 독립적으로 분배하도록 구성된 제1 및 제2 분배노즐을 포함하는 처리 챔버 내로 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계, 제1 분배노즐로 처리 챔버 내로 제1 처리유체를 분배하는 단계, 제1 노즐로 처리 챔버 내로 제1 처리유체 분배를 종료하는 단계, 제1 분배 노즐에 대한 흡입을 실행하는 단계, 및 제1 노즐에 대한 흡입 후에 제2 분배 노즐로 처리 챔버 내로 제2 처리유체를 분배하는 단계로 구성된다.
다른 면에서, 본 발명은 마이크로전제 제품을 처리하는 방법에 관한 것으로, 이 방법은 마이크로전자 제품으로 하나 이상의 처리유체를 독립적으로 분배하도록 구성된 제1 및 제2 분배 오리피스를 포함하는 처리 챔버 내로 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계, 제1 분배 오리피스로 처리 챔버 내로 제1 처리유체를 분배하는 단계, 제1 분배 오리피스에 대한 흡입을 실행하는 단계, 및 제1 오리피스에 대한 흡입 후에 제2 분배 오리피스로 처리 챔버 내로 제2 처리유체를 분배하는 단계로 구성된다.
또 다른 면에서, 본 발명은 마이크로전자 제품을 처리하는 방법에 관한 것으로, 이 방법은 제1 처리유체가 처리 챔버 내로 분배될 수 있는 적어도 하나의 오리피스를 갖는 제1 노즐과 제2 처리유체가 처리 챔버 내로 분배될 수 있는 적어도 한의 오리피스를 갖는, 제1 노즐과 구별되는 제2 노즐을 포함하는 처리 챔버 내로 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계, 및 제1 및 제2 노즐의 하나 또는 양자에 대한 흡입을 실행함으로써 제1 및 제2 노즐의 하나 또는 양자로부터 각 처리유체의 업스트림(upstream)을 흡인(drawing)하는 단계로 구성된다.
또 다른 면에서, 본 발명은 마이크로전자 소자를 처리하는 방법에 관한 것으로, 이 방법은 마이크로전자 제품으로 하나 이상의 처리유체를 독립적으로 분배하도록 구성된 제1 및 제2 분배노즐을 포함하는 처리 챔버 내로 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계, 제1 분배노즐로 처리 챔버 내로 제1 처리유체를 분배하는 단계, 제2 분배 노즐로 처리 챔버 내로 제2 처리유체를 분배하는 단계, 제1 노즐로부터의 제1 유체의 방울들이 제2 노즐로부터 분배되는 제2 유체의 표면 막으로 떨어지는 것을 피하도록 제1 화학물질 분배와 제2 화학물질 분배 사이의 이행을 제어하는 단계, 및 제1 노즐로부터의 제1 처리유체의 방울들이 마이크로전자 제품상의 제2 처리유체의 표면 막으로 떨어지는 것을 피하도록 제1 처리유체 분배와 제2 처리유체 분배 사이의 이행을 제어하는 단계로 구성된다.
본 명세서의 일부를 구성하는 첨부도면은 본 발명의 여러 면들을 예시하며, 예시적인 실시예의 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리를 설명하는 역할을 한다. 이하에 도면에 대해 간단히 설명한다.
도 1-3은 본 발명에 따라 고려되는 마이크로버스트 개념을 개략적으로 예시하는 도면들이다.
도 4는 본 발명에 따라 사용될 수 있는 예시적인 장치의 개략도이다.
도 5-12는 도 4에 도시된 장치에 의해 수행될 수 있는 공지 공정의 일련의 단계를 개략적으로 보여주는 도면들이다.
도 13-21은 도 4의 장치가 본 발명에 따른 제어된 혼합을 포함하는 일련의 단계를 실행하기 위해 어떻게 사용될 수 있는가를 보여주는 도면들이다.
여기에 기술된 본 발명의 예시적인 실시예들은 총 망라적이거나 본 발명을 후술하는 상세한 설명에 개시된 엄밀한 형태로 한정하기 위한 것은 아니다. 오히려 여기에 기술된 예시적인 실시예들은 당업자가 본 발명의 원리와 실행을 이해하도록 선택되고 기술되어 있다.
대표적인 실시예들에서, 본 발명은 다중-노즐 타입 장치와 관련하여 실행되는 것이 바람직하며, 여기서 처리되는 마이크로전자 제품은 그 중심 축에 대하여 회전한다. 바람직한 다중-노즐 장치는 제1 처리유체(들)을 하부의 회전하는 마이크로전자 제품의 한 코드(chord)(弦)를 가로질러 분배하는 복수의 오리피스를 포함하는 스프레이 바(spray bar) 형태의 제1 노즐을 포함한다. 흔히 이 코드는 마이크로전자 제품의 직경 또는 직경의 일부에 해당한다. 또한 다중-노즐 장치는 일반적으로 제2 처리유체(들)을 하부의 회전하는 마이크로전자 제품의 중앙으로 분배할 수 있는 제2 노즐을 포함한다. 제1 및/또는 제2 처리유체들의 각각은 연속의, 펄스 식의, 또는 이들이 조합된 스트림으로 독립적으로 분배될 수 있다. 또한 각 유체는 엷은 안개(mist) 또는 스프레이처럼 분배되도록 독립적으로 분무화될 수 있다. 분무화는 노즐 디자인, 둘 이상의 스트림 간의 충돌 등에 의해 발생할 수 있다.
흔히, 마이크로전자 제품(들)은 이러한 처리의 하나 이상의 부분 중에 축에 대해 회전한다. 하나의 마이크로전자 제품 시스템들에서, 마이크로전자 제품은 흔히 자신의 중심축에 대해 회전한다. 이러한 타입의 예시적인 장치는 미네소타주 차스카에 소재하는 FSI International, Inc.로부터 상표명 ORION® 으로 구매할 수 있다. 복수의 마이크로전자 제품들을 동시에 처리하는 장치에서, 마이크로전자 제품은 흔히 회전하는 턴테이블(또한 플래튼이라 불림) 상에 지지되는 홀더(또한 카세트라 불림)에 저장될 수 있다. 턴테이블은 자신의 축에 대해 회전하며, 개략적으로 홀더는 턴테이블의 축에 대해 궤도 상으로(행성 방식으로) 회전한다. 이러한 타입의 예시적인 장치는 미네소타주 차스카에 소재하는 FSI International, Inc.로부터 각각 상표명 MERCURY® , ZETA® 로 구매할 수 있다.
이론에 속박되고 싶지 않으나, 본 발명에 의해 제공되는 극적인 손상감소의 개선을 설명하는 근거가 제시될 수 있다. 처리유체의 일부 조합들은 함께 혼합될 때 발열적으로 그리고 활발하게 반응한다는 것이 알려져 있다. 마이크로전자소자의 제조에서, 산 조성물과 세척수는 이러한 조합의 일 예이다. 특정한 예로, 과산화수소, 오존 등과 같은 산화제를 선택에 따라 포함하는 황산 수용액은 물과 매우 활발하게 혼합된다. 마이크로전자 제품 표면상의 구성부 크기에 비추어 볼 때, 에너지는 여기서 "마이크로버스트(microburst)"라 불리는 바와 같이 폭발적으로 분출된다. 마이크로버스트가 소자 구성부 근방에서 발생하는 경우, 폭발은 구성부를 손상시킬 수 있다.
마이크로버스트의 위험은 산 조성물과 같은 제1 화학물질로부터 물 등과 같은 제2 화학물질로 이행할 때 제1 화학물질의 방울들이 다른 화학물질의 막으로 떨어지는 경우 상대적으로 매우 높다. 다중-노즐 장치의 경우, 뜨거운 피라나 용액(황산과 과산화수소의 혼합용액)에서 물로 이행하는 특정 케이스에서, 하나의 노즐로부터 분배된 뜨거운 잔류 산이 다른 노즐을 통해 물이 도입되는 동안 회전하는 마이크로전자 제품 표면의 판상 수막으로 떨어질 수 있다. 마이크로전제 제품 표면상으로 떨어지는 뜨거운 산의 방울은 국부적인, 대단히 활성적인 반응을 초래할 수 있어서 혼합 영역 근방의 소자 구성부를 손상시킬 수 있다. 잔류 산이 젖은 마이크로전자 제품 표면으로 계속 떨어진다면, 세척으로의 이행에서뿐만 아니라 세척 중에도 위험이 계속될 수 있다. 마이크로버스트 손상은 물방울이 제품 표면에서 산이 풍부한 상과 혼합될 때도 역시 발생할 수 있다.
도 1 내지 3은 마이크로버스트가 어떻게 소자 구성부를 손상시킬 수 있는 가의 개념을 개략적으로 예시한다. 우선 도 1을 참조하면, 마이크로전제 제품은 통상 반도체 웨이퍼를 포함하는 지지부(104)를 일반적으로 포함한다. 또한 공지 방식의 경우 산화물층과 같은 다른 층(미도시)이 선택에 따라 포함될 수 있다. 다결정 실리콘 게이트(polysilicon gate)의 예시적인 형태를 갖는 선형 구성부(106)가 지지부(104)의 표면에 형성된다. 선형 구성부(106)의 예시적인 실시예는 일반적으로 세이트 산화물(108), 다결정 실리콘 전극(110) 및 절연막(dielectric layer)(112)을 포함한다. 물의 막(114)이, 예시된 바와 같이, 마이크로전자 제품 표면에 중첩한다. 뜨거운 산의 방울(116)이 마이크로전자 제품(102)을 향해 낙하하는 것을 개략적으로 보여준다.
도 2는 고온의 산의 방울(116)이 물의 막(114)과 충돌할 때 마이크로버스트(115)가 발생하는 것을 개략적으로 예시한다. 마이크로버스트(115)로 인한 폭발 영역(115)이 선형 구성부(106)를 충격하는 것을 보여준다.
도 3은 마이크로버스트가 가라 않은 후의 폭발 영역(115)을 보여준다. 손상된 선형 구성부(119)가 폭발 영역(115)에 보인다.
도 1에 따른 마이크로전자 제품으로부터 얻어진 데이터는 마이크로버스트 이론을 지지한다. 하나의 실험으로, 다결정 실리콘 게이트 형태의 선형 구성부를 포함하는 마이크로전자 제품이 연구되었다. 제품은 도 5-12에 따라 후술되는 공지의 처리를 받았다. 또한, 도 5-12에 도시된 공정 후에 제품은 세척 및 스핀-건조가 뒤따르는 SC1 처리를 받았다. SC1 처리는 과산화 암모늄, 과산화 수소 및 수용액으로의 처리를 포함하였다. 본 발명에 따른 제어된 이행이 없는 공지의 처리를 수행한 후에, 제품의 표면에서의 다결정 실리콘 게이트의 손상을 검사하였다. 약 10 내지 20 개 영역의 손상이 제품에서 검출되었다. 손상의 대부분은 다수의 선형 구성부에 걸쳐 있었다. 이 연구에서의 선형 구성부는 5:1의 종횡비(aspect ratio)를 가졌으며 약 30nm 폭과 약 150nm 높이였다.
대비하여, 도 13-20에 도시된 바와 같이 동일한 마이크로전자 제품에 대해 제어된 이행에 의한 개선된 처리를 수행할 때, 손상 영역이 검출되지 않았다.
제1 처리 유체 또는 제2 처리 유체로서 폭 넓은 처리유체가 본 발명에 사용될 수 있다. 이들은 산화 유체, 에칭 유체, 세척 유체, 연마 유체(polishing fluid), 이들의 조합을 포함한다. 예시적인 유체는 물; 이소프로필 알코올과 같은 알코올 액; 오존, 과산화물, 이들이 조합을 포함하는 물과 같은 하나 이상의 산화제를 함유하는 액; HF, 인산, 황산, 질산, HCl, 글리콜산, 젖산, 아세트산, 이들의 조합을 포함하는 산 용액; 용해된 과산화 암모늄, 암모니아, 테트라메틸 암모늄 하이드록시드(tetramethyl ammonium hydoxide), 콜린(choline), 이들의 조합을 포함하는 물과 같은 알카리 용액; 불화 암모니아와 같은 버퍼 용액을 포함한다. 이들 조성물은 농축되거나 희석될 수 있다. 이들 조성물은 냉각, 상온 또는 가열된 온도를 포함하는 넓은 범위의 온도에서 제공될 수 있다.
전술한 바와 같은 마이크로버스트 이론의 관점에서는, 마이크로전자 제품 표면 근방의 상이한 화학물질의 발열 혼합은 구성부 손상의 원인의 적어도 일부일 수 있으며, 본 발명은 제1 및 제2 유체가 발열 혼합되는 이러한 환경에서 유리하게 실행될 수 있다. 예를 들면, 산 조성물이 상이한 종류의 산을 포함하는 산성 조성물 또는 상대적으로 산성이 약한 조성물을 포함하는 다른 수용액과 혼합될 때, 일반적으로 발열 혼합이 발생한다. 따라서, 예를 들면, 공지의 피라나 용액은 일반적으로 물에 용해된 과산화수소와 황산을 포함한다. 피라나 용액은 하나의 용례로 마이크로전자 제품 표면으로부터 포토레지스트 잔류물과 같은 유기 잔류물을 세정하는 데 사용된다. 이 혼합물은 강산화제이므로, 혼합물은 대개의 유기물질을 제거할 것이다. 피라나 용액은 또한 수많은 표면을 수산화시키는 경향(예를 들면, OH 그룹을 부가)이 있어서 표면을 친수화(물과 양립할 수 있는) 시킨다. 또한 피라나 조성물은 코발트, 니켈, 티타늄, 텅스텐, 탄탈 및 백금과 같은 물질을 식각하는데 사용될 수 있다.
피라나 용액 내 황산 및/또는 과산화수소의 농도는, 예를 들어 30wt% 이상의 상대적으로 농축된 농도로부터 넓은 범위에 걸쳐 독립적으로 변화할 수 있다. 또한 특정 성분이 0.1 내지 30 wt%를 함유하는 적당히 희석된 용액이 사용될 수도 있다. 특정 성분이 0.001 내지 0.1 wt%를 함유하는 매우 희석된 용액이 사용될 수도 있다. 특정 성분이 1 ppb(part per billion) 내지 0.001wt%를 함유하는 극도의 희석 용액이 사용될 수도 있다. 여기서 사용된, 조성물 내 어떤 물질의 wt%는 용액의 총 무게에 기초한다.
(과산화수소가 없는) 황산 조성물과 (황산과 과산화수소를 포함하는) 피라나 조성물은 물과 매우 활발하게 발열로 혼합되는 경향이 있다. 혼합 시에 방출된 에너지는 황산의 상대적인 농도가 증가할수록 커지는 경향이 있다. 따라서, 본 발명은 황산/피라나 처리 및 세척 처리 사이의 이행을 포함하는 다중 노즐장치에서 매우 유리하게 사용될 수 있다. 흔히 세척은 산처리 전 및/또는 후에 발생할 수 있다.
본 발명을 실행하기에 특히 적당한 예시적인 장치(10)가 도 4에 도시되어 있다. 예시를 위해, 도 4는 개략적으로 ORION® (미네소타주 차스카 소재의 FSI International, Inc.) 단일 마이크로전자 제품 처리장치에 해당한다. 일반적으로 장치(10)는 처리 챔버(14)를 형성하는 하우징을 포함한다. 마이크로전자 제품(16)은 회전하는 척(18) 상에 지지된다. 적어도 복수 단계 처리의 일부 중에 제품은 축(17)에 대해 회전한다.
장치(10)는 제품(16)으로 유체들을 분배하기 위해 독립적으로 사용될 수 있는 다중의, 구별되는 분배 노즐(22,24,26)을 포함한다. 예시된 바와 같이, 노즐(22)은 스프레이 바를 포함하며 일반적으로 하부 제품(16) 코드의 적어도 일부를 가로질러 연장된다. 장치(10)는 이 코드가 제품(16) 반경의 상당부분을 차지하도록 구성된다. 스프레이 바(22)는 일반적으로 제품(16)을 향해 유체(들)을 분배할 수 있는 복수의 오리피스(28)를 포함한다. 노즐(24,26)은 일반적으로 제품(16)의 중앙영역으로 유체(들)을 분배하기 위해 독립적으로 사용된다. 제품(16)이 유체 분배 중에 회전하는 한, 일반적으로 유체들은 폐기, 재순환 또는 다른 사용을 위해 회수되도록 주연부 밖으로 밀려나기 전에 제품 표면 위로 방사상 외측으로 판과 같이 펼쳐진다.
예시적인 유체 소스(31 내지 39)가 라인(41 내지 53)을 배관함으로써 노즐(22,24 및/또는 26)에 연결된다. 노즐(22,24,26)로의 유체들의 유동을 제어하기 위해 밸브(61 내지 73)가 사용된다. 예시를 위해, 유체 소스(31 내지 39)는 저온(또는 상온의) 수, 고온 수, 암모니아 용액, 과산화수소, 저온 황산, 및 고온 황산을 포함한다. 저온(또는 상온의) 수, 고온 수, 암모니아 용액, 과산화수소, 저온 황산, 및 고온 황산의 여러 소스들은 동일하거나 다를 수 있다. 명료하게 하기 위해 이들이 개별적인 소스들로 도시되어 있다. 질량 유량계(91-96)가 소스(31 내지 35 및 39)로부터의 유체 유동을 제어하기 위해 사용된다. 오리피스(75)는 소스(38)로부터 고온의 농축된(예를 들면, 96wt%) 황산의 유동을 제어하는데 사용된다. 본 발명의 실시예들을 실행하기 위해 변형될 때, 또한 장치는 노즐(22 및/또는 24)로부터 화학물질을 흡인하기 위해 사용되는 흡입 라인(74)을 포함한다. 흡인은 다양한 방법(미도시)으로 실행될 수 있으나, 애스피레이션(aspiration)에 의해 간편하고 신뢰성 있게 제공된다. 흡인을 제공하는 다른 수단은 진공 펌프 등을 사용하는 것을 포함한다.
다른 흡입 라인(27) 역시 장치(10)의 전체 또는 일부로부터 화학물질들을 흡입하기 위해 효과적인 위치에 제공될 수 있다. 바람직하게, 흡인은 화학물질이 여전히 노즐(24,26)을 통해 분배될 수 있는 동안에도 라인(74)을 통해 노즐(24)에 가해질 수 있다. 밸브(29,69)가 라인(27,74)을 통한 유체유동을 제어하는데 도움을 준다.
도 5 내지 12는 도 4의 장치(10)가 공지의 처리방법을 실행하는데 사용되는 단계의 순서들을 도시한다. 전체적으로 보면, 먼저 마이크로전자 제품(16)으로부터 포토레지스트 잔류물을 제거하기 위해 황산 및 과산화수소 조성물을 사용한다. 세척단계가 산 처리에 후속한다. 바람직하게, 처리는 마이크로전자 제품(16)의 열쇼크를 최소화하도록 설계된다. 그러나, 순서는 본 발명에 따른 마이크로전자 제품 표면에서의 제어된 혼합이 없이 진행한다. 제어된 혼합이 없으면, 처리는 마이크로전자 제품 표면상의 보다 미세한 구성부의 손상으로 이어질 수 있다. 도 13 내지 20은 도 4 장치(10)가 어떻게 여러 유리한 원리들을 포함하는 본 발명의 예시적인 실행 모드를 수행하도록 사용될 수 있는가를 도시한다. 미세한 구성부의 손상은 극적으로 감소한다. 두 개의 상이한 순서들과 연관된 이들 도면 모두에서, 특정 단계에서 사용되는 배관 선(들) 및 유체(들)이 도시되며 명료화를 위해 사용되지 않는 다른 배관 선 및 소스들은 생략된다.
도 5 내지 12에 도시된 공지 방법이 설명된다. 사용된 황산은 농축되어 있으며 약 96wt%(나머지는 물)이다. 과산화수소는 30wt% 수용액이다. 도 5에서, 마이크로전자 제품(16)은 회전 척(18) 상에 제공된다. 상온의(예를 들면, 약 20℃) 농축 황산이 중앙 분배 노즐(24)을 통해 마이크로전자 제품(16) 상에 도입된다. 이 단계는 약 10초와 같은 적당한 시간 동안에 진행한다.
도 6에서, 저온 황산의 분배가 종료한다. 이제 고온의 농축된 황산이 노즐(22)을 통해 회전하는 마이크로전자 제품(16) 상으로 분배된다. 저온 황산은 노즐(24)로부터 마이크로전자 제품 표면상으로 방울져 떨어지는 경향이 있다. 이러한 적하 가능성을 개략적으로 나타내기 위해 노즐(24)은 점선 및 해치선으로 도시되어 있다. 이러한 적하는 저온 산이 단지 고온 산과 혼합되는 한은 마이크로버스트 문제를 초래하지 않는 경향이 있다. 고온의 산은 150 ℃와 같이 적당한 온도로 가열된다. 오리피스(75)로부터 제품(16)으로 유동하는 동안, 고온 산이 어느 정도 냉각하여 제품 표면에서의 온도가 약 130℃로 된다. 이 단계는 약 5초와 같은 적당한 시간동안 진행한다.
도 7에서, 고온 황산의 분배는 노즐(22)을 통해 계속되나 이제 과산화수소와 조합되어 분배된다. 고온 황산 및 과산화수소는 활발하게 혼합될 수 있다. 그러나, 혼합이 노즐(22)로부터의 상류측 배관 내에서 일어나는 한 이 혼합이 마이크로버스트 이론에 따른 소자 손상과 관련하여 문제로 되지 않는다. 이것은 혼합물이 분배되어 마이크로전자 제품(16)에 도달하기 훨씬 전이다. 혼합열로 인해 이 단계 중에 온도는 200℃까지 상승한다. 통상적인 처리에서, 농축 황산과 과산화수소 액의 부피 비는 4:1이다. 이 단계는 약 80초와 같이 적당한 시간 동안 진행한다. 노즐(24)로부터의 잔류 저온 산의 적하는 이 단계의 적어도 일부 동안 여전히 일어나거나 아닐 수 있으나 도 7에는 도시되어 있지 않다.
도 8에서, 고온 황산의 분배는 노즐(22)을 통해 계속되나 과산화수소는 더 이상 산과 혼합되지 않는다. 이 분배 온도는 약 130℃까지 강하한다. 이 단계는 약 5초와 같은 적당한 시간 동안 일어날 수 있다.
도 9에서, 고온 황산용액으로부터 다시 상온 황산용액으로 이행된다. 노즐(22)을 통한 고온 황산의 유동은 정지하며 상온 황산이 중앙 노즐(24)을 통해 분배된다. 노즐(22)은 파선 및 해치선으로 도시된 바와 같이 어느 정도의 잔류 고온 황산을 포함하나, 이 고온 황산용액의 전부가 노즐(22)로부터 적하하는 것은 아니다. 잔류 고온 황산용액의 일부는 제품 표면으로 적하할 수 있다. 이것은 고온 황산이 제품 표면 근방에서 유사하나 상온인 황산과 단순히 혼합되는 것이기 때문에 마이크로버스트 이론에 따른 문제는 아니다. 상온 황산으로의 이행은 제품 표면에서의 온도를 약 20℃까지 감소시킨다. 이 단계는 약 15초와 같이 적당한 시간 동안 일어날 수 있다.
도 10에서, 처리는 산 분배로부터 세척수 분배로 이행한다. 이것은 마이크로버스트 손상의 위험이 증가하는 상황이다. 물(바람직하게는 약 20℃에서)은 중앙 분배 노즐(24)을 통해 마이크로전자 제품(16)의 중앙으로 분배된다. 마이크로전자 제품 표면상의 상기 산 용액은 세정되며 이 세척단계가 약 7초와 같은 적당한 시간 동안 계속될 때 물의 방사상의 판과 같은 막으로 대체된다. 물은 약 20℃와 같은 적당한 온도이다. 한편, 잔류의 고온 황산 용액은 여전히 노즐(22)에 잔류할 수 있다. 이 잔류 황산 용액은 마이크로전자 제품 표면의 상기 막으로 적하할 수 있다. 이러한 적하가 일어나는 지역에서 마이크로버스트 및 그에 따른 구성부 손상이 일어날 수 있다.
마이크로버스트 손상의 위험은 도 11에서 계속된다. 노즐(24)을 통한 물의 분배는 종료된다. 대신에, 물은 노즐(22)을 씻어 내리기 위해 사용된다. 이것은 적어도 두 가지 방법으로 마이크로버스트 위험을 초래한다. 첫째로, 노즐(22)의 씻어내림(flushing)은 초기에 노즐(22)의 산이 많은 용액을 물이 많은 제품(16)의 표면으로 밀어낸다. 이것은 씻겨 내린 산과 물의 혼합이 마이크로전자 제품 표면에서 발생하도록 한다. 둘째로, 제품 표면이 노즐(22) 씻어 내림의 초기 단계 중에 잠정적으로 산이 많기 때문에, 노즐(24)의 잔류하는 물이 산이 많은 표면으로 적하할 수 있으며, 이곳에서 산과 물의 혼합이 마이크로버스트와 그에 따른 손상으로 이어질 수 있다. 간단히 말해, 노즐(22)의 잔류하는 산은 마이크로전자 제품 표면에서의 마이크로버스트 손상에 기여하는 잠재적인 요소이다. 이 단계의 물 분배는 약 21초와 같은 적당한 시간 동안 진행한다. 이 단계의 말기에 마이크로전자 제품의 표면은 일반적으로 물이 판상으로 피복되며 산은 잔류하지 않는다.
단계(12)에서, 물은 양 노즐(22,24)을 통해 씻겨진다. 마이크로전자 제품 표면은 이제 전체적으로 물로 피복되어 있기 때문에, 분배된 물은 표면에서 물과만 혼합된다. 마이크로버스트 손상의 위험은 이 단계에서 실질적으로 존재하지 않는다.
전술한 단계들의 순서가 진행된 후에, 마이크로전자 제품(16)은 더욱 처리 되거나 원하는 바대로 취급된다. 예를 들면, 하나의 선택으로, 마이크로전자 제품은 소위 세척과 건조가 후속되는 SC1 처리(과산화 암모늄 용액, 과산화수소 용액 및 물의 혼합물)를 포함하는 처리를 받을 수 있다.
도 13 내지 20은 도 5 내지 12의 처리와 장치(10)가 어떻게 변형되어 본 발명의 원리를 이용한 극적인 마이크로버스트 손상 감소를 초래하는지를 보여준다. 장치 변형으로, 장치(10)는 흡입 라인(74)이 구비되어서 이 라인(74)에 유체가 통하도록 연결된 배관 선과 노즐(22,24)에 흡인이 적용될 수 있다.
도 13 내지 16은 각각 도 5 내지 8에 도시된 단계와 동일한 방식으로 진행되는 처리단계를 보여준다.
도 17에 보여준 처리단계는 노즐(22)에 남아 있는 잔류 고온 황산이 마이크로전자 제품(16)상으로 적하하여 마이크로버스트 손상을 초래할 가능성을 갖는다는 것을 인식시켜준다. 따라서, 이 단계에서, 노즐(22)을 통한 고온 황산 용액의 분배가 종료되며 라인(74)을 통해 잔류 황산 용액을 제거하기 위해 흡인이 노즐(22)에 적용된다. 이것은 노즐(22)이 실질적으로 완전히 건조되게 하여 산 적하의 위험성을 최소화시킨다. 이 단계 중에, 물은 아직 어떠한 노즐을 통해서 마이크로전자 제품 상으로 분배되지 않아서 산의 방울이 떨어져서 마이크로전자 제품 표면 근방에서 물과 혼합될 위험을 최소화시킨다. 이 단계의 초기에 이전 단계(들)로부터 분배된 산 용액의 막은 마이크로전자 제품 표면에 남아 있을 수 있다. 따라서, 마이크로전자 제품은 계속 회전되어 이 잔류 막을 점점 얇게 하거나 원하는 바대로 산이 없는 표면이 되도록 하는 것이 바람직하다. 이 단계는 약 5초와 같이 적당한 시간 동안 진행한다. 마이크로전자 제품 표면의 온도는 이 단계 동안 약 130℃를 유지하거나 마이크로전자 제품의 회전으로 인해 표면이 다소 냉각될 수 있다.
도 18에서, 선택적인 처리단계가 도시되어 있으며 원한다면 도 17에서 도시된 처리단계 후에 이용될 수 있다. 이 선택적인 단계는 저온 황산 및/또는 과산화수소 액과 같은 상대적으로 저온인 화학물질을 분해하는 것을 포함한다. 분배되는 물질의 온도는 약 60℃이하, 바람직하게는 약 50℃이하, 보다 바람직하게는 약 30℃ 이하이다. 도시된 바와 같이, 중앙 노즐(24)을 통한 상온 황산의 분배가 시작되며 노즐(22)에 가해지는 흡인이 유지되어 라인(74) 내 어떠한 잔류 산 용액도 제거한다. 노즐(22)은 점선 및 해치선으로 도시된 바와 같이 일부 잔류 고온 황산을 포함할 수 있다. 상온 황산으로의 이행은 제품 표면 온도를 약 20℃까지로 낮춘다. 디 단계는 약 15초와 같이 적당한 시간 동안 진행된다.
도 19의 다음 단계에서, 노즐(22)에 대한 흡인이 계속되어 산의 적하 위험을 최소화하는 것이 바람직하다. 사실상, 일반적으로 흡인은 다른 주의할 사항이 없다면 도 19에 도시된 단계 중에 또는 말기에 종료될 때까지 계속 유지될 수 있다. 이제 물은 노즐(24)을 통해 마이크로전자 제품(16)의 중앙 영역으로 안전하게 분배된다. 중앙에 분배된 물은 마이크로전자 제품 표면을 넘어 방사상 외측으로 씻어내는 유체 파동을 만드는 것처럼 보일 수 있다. 산과 물의 혼합열이 있다면, 혼합열은 상대적으로 큰 부피에 걸쳐 퍼지게 된다. 설혹 잔류 산이 마이크로전자 제품(16)의 표면에 남아 있다 하더라도, 이러한 물의 중앙 분배는 마이크로버스트 손상의 위함을 최소화하는데 도움을 준다고 믿어진다. 이 단계는 약 20초와 같은 적당한 시간 동안 진행된다. 물 분배는 제품(16)을 약 20℃까지 냉각시킨다.
도 20에 도시된 선택적인 단계는 노즐(26)을 통한 저온 또는 고온 수를 분배하는 또 다른 단계에 대해 도 19의 단계에서 진행되는 애스피레이션 및 분배를 계속하는 것을 포함한다. 이것은 필수적인 것은 아니나 여기서 기술하지 않은 이전의 단계로부터 노즐(26)에 있을 수 있는 화학물질을 세척하길 원한다면 실행될 수 있다. 애스페레이션은 이 단계 중에 또는 말기에 종료될 수 있다. 이 단계는 약 3초와 같은 적당한 시간 동안 진행된다. 마이크로전자 제품은 분배된 물의 온도에 해당하는 온도, 약 20℃와 같은 온도에 있게 된다.
도 21은 마이크로전자 제품(16) 및/또는 다른 마이크로전자 제품의 계속적인 처리의 준비로서 노즐(22)을 세척하기 위해 물이 사용되는 단계를 보인다. 선택에 따라, 노즐(24 또는 26) 역시 원한다면 계속 세척될 수 있다. 도시된 바와 같이, 노즐(26)은 물로 계속 세척된다. 노즐(22) 또는 상류측 배관에는 매우 소량의 산이 잔류할 수 있으나, 마이크로버스트 손상의 위험은 극히 낮다. 설사 있다 하더라도 일반적으로 산은 극히 적기 때문에, 물은 마이크로전자 제품 표면에 도달하기 전에 이러한 산과 쉽게 혼합된다.
도 13 내지 21에 도시된 단계들의 순서를 진행한 후에, 마이크로전제 제품(16)은 더욱 처리되거나 원하는 바대로 취급될 수 있다. 예를 들면, 선택사항으로, 마이크로전자 제품은 세척 및 건조가 뒤따르는 소위 SC1 처리를 포함하는 처리를 받을 수 있다.
또한, 도 13 내지 21에 도시된 단계들의 순서는 Christenson 등에 의한 출원번호 11/603,634이며 특허 7,592,264호, 및 DeKraker 등에 의해 2008. 5. 15 출원된 12/152,641호에 기술된 바와 같은 황산 및 과산화수소의 혼합물 분배 중에 처리 챔버 내로 수증기 또는 스팀의 부가적인 분배의 경우와 관련하여 실행될 수 있다. 또한, 도 7에 도시된 단계 중 분배된 과산화수소 액에 대한 농축 황산의 부피 비는 처리의 원하는 결과에 따라 2:1 내지 10:1로 조절될 수 있으며, 10:1이 수증기 또는 스팀의 분배를 포함하는 처리에 대해 가장 바람직하고 4:1이 수증기 또는 스트림의 분배를 포함하지 않는 처리에 대해 가장 바람직하다. 또한, 2:1 또는 4:3의 과산화수소 액에 대한 농축 황산의 부피 비는 백금과 같은 금속을 식각하는 것이 목적인 처리에 대해서 가장 바람직하다.
아래의 특허문헌들은 그 목적에 맞게 전 내용이 참조에 의해 여기에 포함되어 진다.
"SYSTEM AND METHOD FOR CARRYING OUT LIQUID AND SUBSEQUENT DRYING TREATMENT ON ONE OR MORE WAFERS" 라는 발명의 명칭으로 07/07/09 등록된 Arne C. Benson 등에 의한 미국특허 제 7,556,697호.
"COMPACT DUCT SYSTEM INCORPORATING MOVEMENT AND NESTABLE BAFFLES FOR USE IN TOOLS USED TO PROCESS MICROELECTRONIC WORKPIECES WITH ONE OR MORE TREATMENT FLUIDS" 라는 발명의 명칭으로 02/01/07 공개된 Arne C. Benson 등에 의한 미국특허공개 제 2007/0022948호.
"BARRIER STRUCTURE AND NOZZLE DEVICE FOR USE IN TOOS USED TO PROCESS MICROELECTRONIC WORKPIECES WITH ONE OR MORE TREATMENT FLUIDS" 라는 발명의 명칭으로 10/25/07 공개된 Jimmy D. Collins 등에 의한 미국특허공개 제 2007/0245954호.
"BARRIER STRUCTURE AND NOZZLE DEVICE FOR USE IN TOOLS USE TO PROCESS MICROELEVTRONIC WORKPIECES 재소 ONE OR MORE TREATMENT" 라는 발명의 명칭으로 01/10/08 공개된 Jimmy D. Collins 등에 의한 미국특허공개 제 2008/0008834호.
"PROCESS FOR TREATMENT OF SUBSTRATES WITH WATER VAPOR OR STEAM" 라는 발명의 명칭으로 11/20/08 공개된 David DeKraker 등에 의한 미국특허공개 제 2008/0283090호.
"RINSING METHODOLOGIES FOR BARRIER PLATE AND VENTURI CONTAINMENT SYSTEMS IN TOOLS USED TO PROCESS MICROELECTRONIC WORKPIECES WITH ONE OR MORE TREATMENT FLUIDS" 라는 발명의 명칭으로 02/12/09 공개된 David DeKraker 등에 의한 미국특허공개 제 2009/0038647호.
"TOOLS AND METHODS FOR PROCESSING MICROELECTRONIC WORKPIECES USING PROCESS CHAMBER DESIGNS THAT EASILY TRANSITION BETWEEN OPEN AND CLOSED MODED OF OPERATION" 라는 발명의 명칭으로 11/12/09 공개된 Jeffrey M. Lauerhaas 등에 의한 미국특허공개 제 2009/0280235호.
"PROCESS FOR REMOVING MATERIAL FROM SUBSTRATES" 라는 발명의 명칭으로 09/22/09 등록된 Kurt Karl Christenson에 의한 미국특허 제 7,592,264호.
본 발명이 몇몇 예시적인 실시예을 참조하여 기술되었다. 여기에 명시된 특허나 특허출원의 전 개시내용은 그 목적에 맞게 참조에 의해 여기에 포함되어 진다. 전술한 개시내용은 진공증착 분야 당업자에 의한 명료한 이해를 위해 제공되었다. 전술한 개시내용으로부터 불필요하게 제한되어서는 안 될 것이다. 당업자라면 본 발명의 범위로부터 일탈함이 없이 기술된 예시적인 실시예들을 변경할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 여기에 기술된 예시적인 구조나 방법으로 한정되는 것이 아니라 청구범위의 문헌적 기재에 의한 구조와 방법 및 청구된 구조와 방법의 등가물에 의해 한정되어야 할 것이다.

Claims (27)

  1. 마이크로전자 제품으로 하나 이상의 처리유체를 독립적으로 분배하는 제1 및 제2 분배노즐을 포함하는 처리 챔버 내에 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계,
    제1 분배노즐로 처리 챔버 내로 제1 처리유체를 분배하는 단계,
    제1 분배노즐로 처리 챔버 내로 제1 처리유체 분배를 종료하는 단계,
    제1 분배 노즐에 대한 흡입을 실행하는 단계, 및
    제1 노즐에 대한 흡입 후에 제2 분배 노즐로 처리 챔버 내로 제2 처리유체를 분배하는 단계로 구성되는 마이크로전자 제품의 처리방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 마이크로전자 제품이 약 5:1의 종횡비를 갖는 구성부를 포함하는 처리방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 분배 노즐이 복수의 오리피스를 포함하는 처리방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    마이크로전자 제품의 중앙 영역으로 제1 처리유체를 분배하는 것을 포함하는 처리방법.
  5. 제 3항에 있어서,
    제1 분배 노즐이 마이크로전자 제품 위에 위치되며 마이크로전자 제품의 코드(弦)의 적어도 일부를 가로질러 연장되는 처리방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    제2 분배노즐로부터의 제2 처리유체의 분배의 적어도 일부 동안 제1 분배 노즐에 대해 가해지는 흡인을 유지하는 처리방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    제2 분배노즐로부터의 제2 처리유체의 분배가 종료될 때까지 제1 분배 노즐에 대한 흡인을 유지하는 처리방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    제1 분배 노즐에 대한 흡입 후에, 제3 분배 노즐로 제3 처리 유체를 분배하는 처리방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    제3 처리유체가 물을 포함하는 처리방법.
  10. 제 1항에 있어서,
    제1 및 제2 처리 유체가 발열혼합되는 처리방법.
  11. 제 1항에 있어서,
    제1 처리유체가 산을 포함하며 제2 처리유체가 산과 발열혼합되는 유체를 포함하는 처리방법.
  12. 제 1항에 있어서,
    제2 처리유체가 물을 포함하며 제1 처리유체가 물과 발열혼합되는 유첼ㄹ 포함하는 처리방법.
  13. 제 1항에 있어서,
    제1 처리유체가 산을 포함하며 제2 처리유체가 물을 포함하는 처리방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 산은 액상의 산을 포함하는 처리방법.
  15. 제 1항에 있어서,
    제1 및 제2 처리유체 양자가 하나 이상의 농축 또는 묽은 산을 포함하는 처리방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 산이 황산, 인산, 염산, 및 이들의 조합을 포함하는 처리방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    산기 산이 황산을 포함하는 처리방법.
  18. 제 1항에 있어서,
    제1 및 제2 처리유체 양자가 하나 이상의 농축 또는 묽은 산화제를 포함하는 처리방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 산화제가 과산화물, 오존 및 이들의 조합을 포함하는 처리방법.
  20. 제 1항에 있어서,
    제1 ac 제 처리유체 양자가 하나 이상의 농축 또는 묽은 알칼리 첨가제(alkaline agent)를 포함하는 처리방법.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 알칼리 첨가제가 과산화물, 암모니아, 아민 및 이들의 조합을 포함하는 원료로부터 유도된 첨가제를 포함하는 처리방법
  22. 제 1항에 있어서,
    제1 및 제2 처리유체가 암모늄과 할로겐화물(halide)을 포함하는 원료로부터 유도된 하나 이상의 농축 또는 묽은 첨가제를 포함하는 처리방법.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 할로겐화물이 불화물(fluoride)을 포함하는 처리방법.
  24. 제 1항에 있어서,
    제1 분배노즐로 황산 및 선택에 따라서는 과산화수소를 포함하는 유체를 약 30℃ 이상의 온도로 분배하고, 제1 분배노즐로 황산을 약 30℃ 이상의 온도로 분배하고, 제1 분배노즐에서의 약 30℃ 이상 온도로의 황산의 분배를 종료하고, 다음에는 제1 분배노즐에 대해 흡입을 적용하고, 다음에 제2 분배노즐로 물을 약 30℃ 이하의 온도로 분배하는 것을 포함하는 처리방법.
  25. 마이크로전자 제품으로 하나 이상의 처리유체를 독립적으로 분배하는 제1 및 제2 분배 오리피스 포함하는 처리 챔버 내에 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계,
    제1 분배 오리피스로 처리 챔버 내로 제1 처리유체를 분배하는 단계,
    제1 분배 오리피스에 대한 흡입을 실행하는 단계, 및
    제1 분배 오리피스에 대한 흡입 후에 제2 분배 오리피스로 처리 챔버 내로 제2 처리유체를 분배하는 단계로 구성되는 마이크로전자 제품의 처리방법.
  26. 제1 처리유체가 처리 챔버 내로 분배될 수 있는 적어도 하나의 오리피스를 갖는 제1 노즐과, 제2 처리유체가 처리 챔버 내로 분배될 수 있는 적어도 하나의 오리피스를 가지며 제1 노즐과 구별되는 제2 노즐을 포함하는 처리 챔버 내로 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계, 및
    제1 및 제2 노즐의 하나 또는 양자에 대한 흡입을 실행함으로써 제1 및 제2 노즐의 하나 또는 양자로부터 각 처리유체의 업스트림(upstream)을 흡인(drawing)하는 단계로 구성되는 마이크로전자 제품의 처리방법.
  27. 마이크로전자 제품으로 하나 이상의 처리유체를 독립적으로 분배하는 제1 및 제2 분배노즐을 포함하는 처리 챔버 내로 마이크로전자 제품을 위치시키는 단계,
    제1 분배노즐로 처리 챔버 내로 제1 처리유체를 분배하는 단계,
    제2 분배 노즐로 처리 챔버 내로 제2 처리유체를 분배하는 단계,
    제1 노즐로부터의 제1 유체의 방울들이 제2 노즐로부터 분배되는 제2 유체의 표면 막으로 떨어지는 것을 피하도록 제1 화학물질 분배와 제2 화학물질 분배 사이의 이행을 제어하는 단계, 및
    제1 노즐로부터의 제1 처리유체의 방울들이 마이크로전자 제품상의 제2 처리유체의 표면 막으로 떨어지는 것을 피하도록 제1 처리유체 분배와 제2 처리유체 분배 사이의 이행을 제어하는 단계로 구성되는 마이크로전자제품의 처리방법.
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