KR20130040024A - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 상기 기판으로 제1처리액을 토출하는 잉크젯 노즐을 가지는 제1갠트리 유닛; 상기 기판으로 상기 제1처리액과 상이한 제2처리액을 토출하는 코팅 노즐을 가지는 제2갠트리 유닛; 및 상기 기판 지지 유닛에 대해 상기 잉크젯 노즐과 상기 코팅 노즐의 상대 위치가 변경되도록 상기 제1갠트리 유닛과 상기 제2갠트리 유닛을 제1방향으로 이동시키는 갠트리 이동 유닛를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정 표시 패널의 공정 처리를 수행하는 장치에 관한 것이다.
액정 표시 패널의 제조 공정은 글래스 기판 표면에 처리액을 공급 및 도포하는 도포 공정과, 처리액이 도포된 기판에 코팅층을 형성하는 코팅 공정을 포함한다. 도포 공정을 수행하는 장치로써, 잉크젯 인쇄 방식으로 기판 표면에 직접 처리액을 인쇄하는 장치가 사용된다.
도포 공정과 코팅 공정은 공정에 사용되는 장치는 서로 상이하여 독립된 별개의 장치에서 공정이 수행되었다. 때문에, 도포 장치와 코팅 장치간에 기판을 이송하기 위한 이송 장치가 요구되었다. 이러한 장치는 전체 설비 면적을 증가시킬 뿐만 아니라, 기판 이송으로 인한 전체 공정 시간을 증가시키는 문제가 있다.
본 발명의 실시예들은 전체 공정 시간을 단축시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 실시예들은 설비 전체 면적이 감소될 수 있는 장치를 제공한다.
또한, 본 발명의 실시예들은 하나의 장치에서 복수개의 처리액들을 도포할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 상기 기판으로 제1처리액을 토출하는 잉크젯 노즐을 가지는 제1갠트리 유닛; 상기 기판으로 상기 제1처리액과 상이한 제2처리액을 토출하는 코팅 노즐을 가지는 제2갠트리 유닛; 및 상기 기판 지지 유닛에 대해 상기 잉크젯 노즐과 상기 코팅 노즐의 상대 위치가 변경되도록 상기 제1갠트리 유닛과 상기 제2갠트리 유닛을 제1방향으로 이동시키는 갠트리 이동 유닛를 포함한다.
또한, 상기 코팅 노즐은 그 길이가 상부에서 바라볼 때, 상기 제1방향에 수직한 제2방향으로 배치되고, 저면에는 상기 제2처리홀을 토출하는 슬릿 홀이 상기 제2방향으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1갠트리 유닛과 상기 제2갠트리 유닛의 이동 경로상에 설치되며, 상기 잉크젯 노즐과 상기 코팅 노즐을 검사하는 비전 검사부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 지지 유닛은 상기 제1방향으로 직선 이동가능하며, 상기 제1갠트리 유닛은 상기 기판 지지 유닛의 이동 경로 상부에 제공되며, 상기 잉크젯 노즐이 복수개 결합된 제1갠트리; 및 상기 제1갠트리를 회전시키는 구동 유닛을 포함할 수 있다.
또한, 상기 회전 유닛은 상기 제1갠트리의 일단을 회전 중심으로 상기 제1갠트리의 타단을 회전시킬 수 있다.
또한, 상기 제1갠트리에 설치되며, 상기 잉크젯 노즐들로 상기 제1처리액을 공급하는 제1처리액 공급부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법은 제1갠트리가 제1방향으로 이동하고, 상기 제1갠트리에 장착된 잉크젯 노즐들이 제1처리액을 기판에 토출하는 제1처리액 토출 단계; 및 제2갠트리가 상기 제1방향으로 이동하고, 상기 제2갠트리에 장착된 코팅 노즐이 상기 제1처리액이 토출된 기판에 상기 제1처리액과 상이한 제2처리액을 토출하는 제2처리액 토출 단계를 포함하되, 상기 제1처리액 토출 단계와 상기 제2처리액 토출 단계는 순차적이고 연속적으로 진행될 수 있다.
또한, 상기 잉크젯 노즐들은 상기 제1갠트리의 길이방향을 따라 사이 간격이 고정되어 장착되고, 상기 제1갠트리는 회전되어 상기 제1방향에 수직한 상기 제2방향으로 상기 잉크젯 노즐들간의 사이 간격을 변경가능할 수 있다.
또한, 상기 제1갠트리는 일단을 중심으로 타단이 회전될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면, 장치들간에 기판 이송이 요구되지 않으므로, 전체 공정 시간이 단축될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 하나의 장치에서 복수 공정이 수행가능하므로, 설비 면적이 감소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 제1구동유닛을 나타내는 도면이다.
도 4는 제2구동 유닛을 나타내는 도면이다.
도 5는 제1갠트리가 회전 및 직선이동하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 6은 제1갠트리의 회전에 따른 잉크젯 노즐들의 위치를 나타내는 도면이다.
도 7 및 도 8은 제1처리액 토출 단계를 나타내는 도면이다.
도 9는 제2처리액 토출 단계를 나타내는 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 기판 처리 장치 및 방법을 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 장치를 나타내는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 기판(S)에 처리액들을 도포한다. 기판 처리 장치(10)는 기판 지지 유닛(100), 제1갠트리 유닛(200), 제2갠트리 유닛(300), 제1 및 제2 갠트리 이동 유닛(400, 500), 비전 검사부(600), 그리고 노즐 세정부(700)를 포함한다. 제1갠트리 유닛(100)은 기판(S)에 제1처리액을 도포하고, 제2갠트리 유닛(200)은 기판(S)에 제2처리액을 도포한다. 제1 및 제2갠트리 이동 유닛(400, 500)은 각각 제1갠트리 유닛(200)과 제2갠트리 유닛(300)을 이동시킨다. 비전 검사부(600)는 제1갠트리 유닛(200)의 노즐과 제2갠트리 유닛(300)의 노즐의 이상유무를 검사한다. 노즐 세정부(700)는 제1갠트리 유닛(200)의 노즐과 제2갠트리 유닛(300)의 노즐을 세정한다. 이하, 각 구성에 대해 상세하게 설명한다.
기판 지지 유닛(100)은 베이스(B)의 상면에 배치된다. 베이스(B)는 일정 두께를 가지는 직육면체 블럭으로 제공될 수 있다. 기판 지지 유닛(100)은 기판이 놓이는 지지부재(110)를 포함한다. 지지부재(110)는 직사각 형상의 판으로 제공되며, 상면에는 기판(S)이 놓인다. 지지부재(110)는 기판(S)보다 큰 면적을 가진다. 지지부재(110)의 하부에는 회전 구동 부재(미도시)가 위치될 수 있다. 회전 구동 부재는 지지 부재(110)를 회전시킨다. 기판(S)은 지지 부재(110)와 함께 회전될 수 있다. 직선 구동 부재(120)는 지지 부재(110)와 회전 구동 부재를 레일(130)을 따라 직선 이동시킨다. 이하, 지지 부재(110)가 직선이동되는 방향을 제1방향(X)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1방향(X)에 수직한 방향을 제2방향(Y)이라 한다. 그리고, 제1 및 제2방향(X, Y)에 수직한 방향을 제3방향(Z)이라 한다. 레일(130)은 베이스(B)의 중심영역에 제1방향(X)을 따라 배치된다.
제1갠트리 유닛(200)은 기판(S)에 제1처리액을 도포한다. 제1갠트리 유닛은(200) 제1갠트리(210), 잉크젯 노즐(220), 잉크젯 노즐 이동부(230), 제1처리액 공급부(240)를 포함한다.
제1갠트리(210)는 지지 부재(110)의 이동 경로 상부에 배치된다. 제1갠트리(210)는 베이스(B)의 상면으로부터 상부로 이격하여 위치되며, 그 길이방향이 제2방향(Y)과 나란하게 배치된다.
제1갠트리(210)에는 잉크넷 노즐(220)들이 설치된다. 잉크젯 노즐(220)들은 제1갠트리(210)의 전방면에 설치될 수 있다. 잉크젯 노즐(220)들은 제1갠트리(210)의 전·후방면에 각각 설치될 수 있다. 잉크젯 노즐(220)들은 제1갠트리(210)의 길이방향을 따라 이격하여 배치되며, 인접한 잉크젯 노즐(210)들의 사이 간격이 고정될 수 있다. 잉크젯 노즐(210)들은 제2방향(Y)을 따라 지그재그로 배치될 수 있다. 잉크젯 노즐(210)의 저면에는 토출구(미도시)가 형성된다. 토출구는 기판(S)으로 제1처리액을 토출한다. 토출구는 기판(S)에 형성된 패턴들 사이 공간으로 제1처리액을 토출한다.
잉크젯 노즐 이동부(230)는 제2방향(Y)을 따라 잉크젯 노즐(220)들을 이동시킨다. 잉크젯 노즐 이동부(230)는 잉크젯 노즐(220)들과 제1캔트리(210)를 연결하는 연결 블럭을 이동시키며, 연결 블럭과 함께 잉크젯 노즐(210)들은 하나의 그룹으로 이동할 수 있다. 잉크젯 노즐 이동부(230)는 잉크젯 노즐(220)들이 제1방향(X)으로 제1처리액을 토출한 후, 잉크젯 노즐(220)들을 제2방향(Y)으로 소정 거리 이동시킨다.
제1처리액 공급부(240)는 잉크젯 노즐(220) 각각에 제1처리액을 공급한다. 제1처리액 공급부(240)는 제1갠트리(210)에 설치될 수 있다. 제1처리액 공급부(240)는 제1갠트리(210)의 상단에 설치될 수 있다. 제1처리액 공급부(240)의 공급 라인(미도시)들은 제1처리액 저장부(미도시)와 잉크젯 노즐(220)들 각각을 연결하며, 제1처리액 저장부에 저장된 제1처리액을 노즐(220)들 각각에 공급한다. 제1처리액은 전기적 특성을 띄는 잉크를 포함한다. 잉크는 인가된 전류의 크기에 따라 그 형상이 변할 수 있다. 잉크는 인가된 전류의 크기에 따라 퍼짐 정도가 달라질 수 있다. 제1처리액은 낮은 친수성을 가질 수 있다.
제1갠트리 이동부(400)는 제1갠트리(210)를 제1방향(X)으로 직선 이동시키거나, 제1갠트리(210)가 제2방향(Y)에 대해 소정 각도 경사지게 배치되도록 제1갠트리(210)를 회전시킨다. 제1갠트리 이동부(400)는 제1갠트리(210)의 일단을 회전 중심으로 제1갠트리(210)를 회전시킬 수 있다. 이와 달리, 제1갠트리 이동부(400)는 제1갠트리(210)의 중심을 축으로 제1갠트리(210)를 회전시킬 수 있다. 제1갠트리 이동부(400)는 제1구동 유닛(410)과 제2구동 유닛(420)을 포함한다. 제1구동 유닛(410)은 제1갠트리(210)의 일단 하부에 제공되고, 제2구동 유닛(420)은 제1갠트리(210)의 타단 하부에 제공된다.
도 3은 도 1의 제1구동유닛을 나타내는 도면이다. 도 3을 참조하면, 제1구동유닛(410)은 제1슬라이더(411), 제1회전 지지 부재(412), 그리고 제1직선 구동 부재(413, 414)를 포함한다.
제1슬라이드(411)는 제1갠트리(210)의 저면에 그 길이방향을 따라 형성된 가이드 홈(214)에 안내되어 직선 이동한다. 제1슬라이더(211)의 하단부에는 제1회전 지지 부재(412)가 결합된다. 제1회전 지지 부재(412)는 제1직선 구동 부재(413)에 대해 제1슬라이더(411)의 상대 회전이 가능하도록 제공된다. 제1회전 지지 부재(412)는 베어링을 포함한다.
제1회전 지지 부재(412)의 하단에는 제1직선 구동 부재(413, 414)가 결합된다. 제1직선 구동 부재(413, 414)는 제1회전 지지 부재(412)를 제1방향(X)으로 직선 이동시킨다. 제1직선 구동 부재(413, 414)는 가이드 레일(414)과 슬라이더(413)를 포함한다. 가이드 레일(414)은 베이스(B)의 일측에 제1방향(X)으로 배치된다. 가이드 레일(414)에는 슬라이더(413)가 이동 가능하게 결합된다. 슬라이더(413)의 상단에는 제1회전 지지 부재(412)가 결합한다. 슬라이더(413)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(413)는 리니어 모터의 구동력에 의해 가이드 레일(414)을 따라 제1방향(X)으로 직선 이동할 수 있다.
도 4는 제2구동 유닛을 나타내는 도면이다. 도 4를 참조하면, 제2구동 유닛(420)은 제1갠트리(210)가 직선 이동하는 경우, 제1갠트리(210)의 타단을 제1방향(X)으로 직선 이동시킨다. 그리고, 제2구동 유닛(420)은 제1갠트리(210)가 회전하는 경우, 제1갠트리(210)의 회전 중심으로 동작한다. 제2구동 유닛(420)은 연결부재(421), 제2회전 지지 부재(422), 그리고 제2직선 구동 부재(423, 424)를 포함한다. 연결부재(421)는 제1갠트리(210)의 타단 저면에 결합된다. 연결부재(421)의 하단에는 제2회전 지지 부재(422)가 결합한다. 제2회전 지지 부재(422)는 제2직선 구동 부재(423, 424)에 대해 연결 부재(421)의 상대 회전이 가능하도록 제공된다. 제2회전 지지 부재(422)는 베어링을 포함한다. 제2회전 지지 부재(422)의 하단에는 제2직선 구동 부재(423, 424)가 결합된다. 제2직선 구동 부재(423, 424)는 제2회전 지지 부재(422)를 제1방향(X)으로 직선 이동시킨다. 제2회전 지지 부재(422)의 직선 이동에 의해, 연결부재(421)와 제1갠트리(210)는 함께 직선 이동된다.
제2직선 구동 부재(423, 424)는 가이드 레일(423)과 슬라이더(424)를 포함한다. 가이드 레일(423)은 베이스(B)의 타측에 제1방향(X)으로 배치된다. 가이드 레일(423)은 제1직선 구동 부재(410)의 가이드 레일(414)과 나란하게 배치된다. 가이드 레일(423)에는 슬라이더(424)가 이동 가능하게 결합된다. 슬라이더(424)의 상단에는 제2회전 지지 부재(422)가 결합한다. 슬라이더(424)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(424)는 리니어 모터의 구동력에 의해 가이드 레일(423)을 따라 제1방향(X)으로 직선 이동할 수 있다.
도 5는 제1갠트리가 회전 및 직선이동하는 모습을 나타내는 도면이다. 도 3내지 도 5를 참조하면, 제1갠트리(210)는 제1구동 유닛(410)과 제2구동 유닛(420)에 의해 제2방향(Y)에 대해 경사지도록 회전되고, 제1방향(X)으로 직선이동될 수 있다.
제1갠트리(210)가 회전되는 과정을 살펴보면, 제2직선 구동 부재(423, 424)가 고정된 상태에서 제1직선 구동 부재(413, 414)가 제1방향(X)으로 직선이동한다. 제1직선 구동 부재(413, 414)의 이동에 따라 제1회전 지지 부재(412)가 제1방향(X)으로 직선 이동하고, 동시에 제1직선 구동 부재(413, 414)와 슬라이더(411)의 상대 이동에 의해 회전된다. 슬라이더(411)는 제1갠트리(210)의 가이드 홈(214)을 따라 제1갠트리(210)의 끝단쪽으로 이동한다. 제2구동 유닛(420)의 제2회전 지지 부재(422)는 고정 위치에서 제1갠트리(210)의 움직임에 따라 회전한다. 이와 같은 움직임에 의해, 제1갠트리(210)는 회전되어 제2방향(X)에 대해 소정 각도(θ) 경사지게 배치될 수 있다. 잉크젯 노즐(220)들은 제1캔트리(210)와 함게 회전되어 제2방향(Y)에 대해 경사지게 배치될 수 있다. 이러한 잉크젯 노즐(220)들의 이동은 잉크젯 노즐(220)들의 제2방향(Y) 간격을 조절할 수 있다. 도 6을 참조하면, 제1갠트리가 회전되기 전, 잉크젯 노즐(220a)들은 제2방향(Y)을 따라 제1간격(D1)으로 이격된다. 제1갠트리(210)가 소정 각도 회전될 경우, 회전되기 전보다 잉크젯 노즐(220b)들의 제2방향 간격(D2)은 감소된다. 예컨대, 제1갠트리(210)가 회전되기 전 잉크젯 노즐(220a)들의 사이 간격을 l이라고 하면, 제1갠트리(210)가 θ각도 회전되었을 때 잉크젯 노즐(220b)들의 제2방향(Y) 사이 간격은 l·cosθ로 나타난다. 이처럼, 제1갠트리(210)의 회전으로 잉크젯 노즐(220)들의 제2방향(Y) 사이 간격이 조절될 수 있다. 제1갠트리(210)는 잉크젯 노즐(220)들의 사이 간격과 각 노즐(220)에서 토출하고자 하는 기판(S)의 패턴 간격을 고려하여 회전될 수 있다. 제1갠트리(210)의 회전은 기판(S)에 형성된 패턴 간격 크기에 따라 잉크젯 노즐(220)들의 간격을 개별적으로 조절해야 하는 불편을 해소할 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 제2갠트리 유닛(300)은 기판(S)으로 제2처리액을 공급한다. 제2갠트리 유닛(300)은 제2갠트리(310), 코팅 노즐(320), 제2처리액 공급부(330), 코팅 노즐 제어부(340)를 포함한다.
제2갠트리(310)는 지지 부재(110)의 이동 경로 상부에 위치한다. 제2갠트리(310)는 베이스(B)의 상면으로부터 상부로 이격되며, 제1갠트리(210)와 나란하게 배치된다.
제2갠트리(310)에는 코팅 노즐(320)이 설치된다. 코팅 노즐(320)은 제2갠트리(310)의 하부에 위치하며, 제2갠트리(310)의 저면에 장착된다. 코팅 노즐(320)은 그 길이가 기판(S)의 제2방향(Y) 폭에 상응하거나, 그보다 크게 제공된다. 코팅 노즐(320)은 그 길이방향이 제2방향(Y)과 나란하게 배치된다. 코팅 노즐(320)의 저면에는 토출구(미도시)가 형성된다. 토출구는 슬릿 홀을 포함하며, 코팅 노즐(320)의 길이방향을 따라 형성된다. 토출구는 기판(S)의 제2방향(Y) 폭에 상응하거나 그보다 큰 길이로 제공될 수 있다. 토출구는 제2처리액을 토출한다.
제2처리액 공급부(330)는 제2갠트리(310)에 설치된다 제2처리액 공급부(330)는 제2갠트리(310)의 상단에 설치될 수 있다. 제2처리액 공급부(330)의 공급 라인(미도시)은 제2처리액 저장부(미도시)에 저장된 제2처리액을 코팅 노즐(320)에 공급한다.
코팅 노즐 제어부(340)는 제2갠트리(310)에 설치된다. 코팅 노즐 제어부(340)는 제2갠트리(320)의 전방면에 설치될 수 있다. 코팅 노즐 제어부(340)는 코팅 노즐(320)의 동작을 제어한다. 코팅 노즐 제어부(340)는 코팅 노즐(320)이 토출하는 제2처리액의 유량 및 토출 주기등을 제어할 수 있다.
제2갠트리 이동부(500)는 제2갠트리(310)를 제1방향(X)으로 이동한다. 제2갠트리 이동부(500)는 제2갠트리(310)의 양단 하부에 각각 제공되며, 가이드 레일(414, 423)을 따라 제1방향(X)으로 직선이동한다.
비전 검사부(600)는 잉크젯 노즐(220)들과 코팅 노즐(320)을 검사한다. 비전 검사부(600)는 베이스(B)의 후방부에 설치될 수 있다. 비전 검사부(600)는 가이드 레일(610)과 카메라(620)를 포함한다. 가이드 레일(610)은 제1방향(X)으로 배치된다. 카메라(620)는 가이드 레일(610)에 설치되며, 가이드 레일(610)을 따라 이동가능하도록 제공되다. 카메라(620)는 제1갠트리(210)가 이동되어 상부에 잉크젯 노즐(220)들이 위치하는 경우, 노즐(220)들의 토출구를 촬영한다. 촬영된 영상으로부터, 노즐(220)들의 토출구 이상 유무를 확인한다. 또한, 카메라(620)는 제2갠트리(310)의 이동으로 상부에 코팅 노즐(320)이 위치하는 경우, 코팅 노즐(320)의 토출구를 촬영한다. 카메라(620)는 가이드 레일(610)을 따라 이동하며 코팅 노즐(320)의 토출구를 연속적으로 촬영할 수 있다. 촬영된 영상으로부터 노즐(320) 토출구의 이상 유무를 확인한다.
제1방향(X)으로 비전 검사부(600)의 후방에는 노즐 세정부(700)가 제공된다. 노즐 세정부(700)는 잉크젯 노즐(220)들의 토출구와 코팅 노즐(320)의 토출구를 세정한다. 노즐 세정부(700)는 하우징(710)과 롤러(720)를 포함한다. 하우징(710)은 상면이 개방된 공간이 내부에 형성되며, 내부에는 세정액이 저장된다. 롤러(720)는 하우징(710)이 내부에 회전가능하도록 장착된다. 롤러(720)의 상단은 하우징(710)의 상단보다 높게 위치한다. 롤러(720)는 그 길이가 코팅 노즐(320)의 제2방향(Y) 폭에 대응하거나, 그보다 크게 제공될 수 있다. 롤러(720)의 상단은 잉크젯 노즐(220)의 토출구와 코팅 노즐(320)의 토출구와 상응하는 높이에 위치될 수 있다. 롤러(720)는 잉크젯 노즐(220)의 토출구 또는 코팅 노즐(320)의 토출구와 접촉된 상태에서 회전되어, 잉크젯 노즐(220)의 토출구와 코팅 노즐(320)의 토출구를 세정한다. 롤러(720)의 표면에 묻은 처리액은 하우징(710) 내의 세정액에 의해 세정된다.
이하, 상술한 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법을 설명한다.
기판 처리 방법은 제1처리액 토출 단계와 제2처리액 토출 단계를 포함한다. 제1처리액 토출 단계는 제1처리액을 기판으로 토출하고, 제2처리액 토출 단계는 제1처리액이 토출된 기판으로 제2처리액을 토출한다. 제1처리액 토출 단계와 제2처리액 토출단계는 순차적이고 연속적으로 수행된다.
도 7 및 도 8은 제1처리액 토출 단계를 나타내는 도면이다.
먼저, 도 7을 참조하면, 잉크젯 노즐(220)들의 사이 간격이 기판(S)에 형성된 패턴들의 사이 간격에 대응하도록 제1갠트리(210)가 회전한다. 제1갠트리(210)는 제1구동 유닛(410)과 연결된 일단이 제1방향(X)으로 직선이동하고, 제2구동 유닛(420)과 연결된 타단이 고정 위치된다. 이에 의해, 제1갠트리(210)는 회전되어 제2방향(Y)에 대해 소정 각도 경사지게 배치된다. 그리고, 제1구동 유닛(410)과 제2구동 유닛(420)의 구동으로 제1갠트리(210)는 제1방향(X)으로 직선이동한다. 잉크젯 노즐(220)들은 제1갠트리(210)가 기판(S) 상부를 통과하는 동안 제1처리액을 기판(S)으로 토출한다. 제1갠트리(210)는 제2갠트리(310)에 인접하도록 이동한다.
베이스(B)의 전방부로 이동한 제1갠트리(210)는 도 8과 같이, 다시 제1방향(X)을 따라 베이스(B)의 후방부로 이동한다. 제1갠트리(210)가 이동하기 전, 잉크젯 노즐(220)들은 제1갠트리(210)의 길이방향을 따라 소정 거리 이동한다. 잉크젯 노(220)즐들은 제1처리액이 공급되지 않은 기판(S) 영역에 대응하는 위치로 직선 이동한다. 제1갠트리(210)는 제1방향(X)으로 이동하며, 제1갠트리(210)가 기판 (S) 상부를 통과하는 동안 잉크젯 노들(220)들은 제1처리액을 기판(S)으로 토출한다.
이와 같이 제1갠트리(210)가 반복 이동하고, 잉크젯 노즐(220)들이 기판(S) 전체 영역에 제1처리액을 도포하게 되면, 제1갠트리(210)는 베이스(B)의 후방부로 이동하여 대기한다.
제1처리액 토출 단계가 완료되면, 제2처리액 토출 단계가 진행된다.
도 9는 제2처리액 토출 단계를 나타내는 도면이다. 도 9를 참조하면, 제2갠트리(310)가 베이스(B)의 전방부에서 후방부로 제1방향(X)을 따라 직선이동한다. 제2갠트리(310)가 기판(S)의 상부를 통과하는 동안 코팅 노즐(320)은 제1처리액이 도포된 기판(S)으로 제2처리액을 토출한다. 코팅 노즐(320)은 기판(S)의 제2방향(Y) 폭에 상응하는 토출구를 가지므로, 1회의 제2처리액 토출로 기판(S) 전체에는 제2처리액이 토출될 수 있다. 제2갠트리(320)는 베이스(B)의 후방부에 다다른 후 다시 전방부로 복귀한다. 코팅 노즐(320)은 제2갠트리(310)가 복귀하는 동안 기판(S)으로 제2처리액을 토출할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 기판 지지 유닛 200: 제1갠트리 유닛
300: 제2갠트리 유닛 400: 제1갠트리 이동 유닛
500: 제2갠트리 이동 유닛 600: 비전 검사부
700: 노즐 세정부

Claims (2)

  1. 기판을 지지하는 기판 지지 유닛;
    상기 기판으로 제1처리액을 토출하는 잉크젯 노즐을 가지는 제1갠트리 유닛;
    상기 기판으로 상기 제1처리액과 상이한 제2처리액을 토출하는 코팅 노즐을 가지는 제2갠트리 유닛; 및
    상기 기판 지지 유닛에 대해 상기 잉크젯 노즐과 상기 코팅 노즐의 상대 위치가 변경되도록 상기 제1갠트리 유닛과 상기 제2갠트리 유닛을 제1방향으로 이동시키는 갠트리 이동 유닛를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 지지 유닛은 상기 제1방향으로 직선 이동가능하며,
    상기 제1갠트리 유닛은
    상기 기판 지지 유닛의 이동 경로 상부에 제공되며, 상기 잉크젯 노즐이 복수개 결합된 제1갠트리; 및
    상기 제1갠트리를 회전시키는 구동 유닛을 포함하는 기판 처리 장치.
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