KR20130024728A - 스태핑 스크린 인쇄기 및 그에 의한 보호층 프로세싱 방법 - Google Patents

스태핑 스크린 인쇄기 및 그에 의한 보호층 프로세싱 방법 Download PDF

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KR20130024728A
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유 젠 첸
쿤 렁 린
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레이 스타 테크놀로지 (씨아먼) 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 스태핑 스크린 인쇄기 및 스태핑 스크린 인쇄기를 이용하는 보호층 프로세싱 방법에 관한 것이다. 스태핑 스크린 인쇄기는 배치대, 정렬 교정기, 제어 유닛, 및 실행 유닛을 포함한다. 실행 유닛은 제어 유닛으로부터 기계 명령들을 수신하여 스태핑 스크린 인쇄를 수행한다. 본 개시 발명에 의해 제공되는 보호층 프로세싱 방법은 보호층 상에 패턴을 형성하도록 보호층의 표면 상에 에칭 페이스트 또는 필링 접착제를 인쇄하기 위해 스태핑 스크린 인쇄를 이용한다. 본 발명은 에칭 페이스트 도포의 낮은 일관성 등의 결점들을 극복할 수 있다. 본 개시 발명은 대형 제품들의 표면 프로세싱 문제를 해결하도록 에칭 페이스트 또는 필링 접착제를 도포하기 위해 단계적인 스크린 도포 방법을 쓴다.

Description

스태핑 스크린 인쇄기 및 그에 의한 보호층 프로세싱 방법{STEPPING SCREEN PRINTER AND A METHOD OF PROCESSING PROTECTIVE LAYER THEREBY}
본 발명은 제조 및 프로세싱 기술에 관한 것으로, 좀더 상세히 스태핑 스크린 인쇄기(stepping screen printer) 및 스태핑 스크린 인쇄기에 의한 보호층(protective layer) 프로세싱 방법에 관한 것이다.
최근에, 터치 기술의 발달과 함께, 터치 패널들은 휴대 전화들, 휴대 정보 단말기들(personal digital assistants, PDA), 게임 콘솔들 또는 컴퓨터 터치 스크린들에서의 입력 인터페이스들과 같은 다양한 전자 제품들에 널리 사용되어 왔다. 터치 패널들은 디스플레이 패널들과 통합되는데, 보통 투명 기판, 기판 상에 배치되는 도전층(conductive layer), 도전 트레이스들(conductive traces), 및 보호층(protective layer)을 포함한다. 도전 트레이스들은 패널 상에서 도전층 주위에 형성된다. 도전층과 투명 기판 상에 보호층이 도포된다(coat). 터치 패널을 사용할 때, 패널은 도전 트레이스를 통해 외부 회로와 연결되어야 한다. 외부 회로와 도전층 사이의 전기적 접촉을 설정하기 위해 도전 트레이스 상에 도포되는 보호층은 제거되어야 한다.
도전 트레이스들 상의 보호층을 제거하기 위해 사용되는 두 가지의 종래의 방법들은 레이저 포토리소그래피(laser photolithography)와 스크린 인쇄(screen printing)이다. 레이저 포토리소그래피, 즉 포토에칭(photoetching)은, 형상 복사에 화학적 부식을 결합하는 정밀 표면 프로세싱 기술이다. 이는 포토마스크에 완전히 상응하거나 포토마스크를 보완하는 실리카막(silica film) 또는 금속막(metal film) 상의 패턴닝(patterning)을 목표로 한다. 포토리소그래피는 복잡한 기술적 프로세스로, 패턴을 형성하기 위해 일련의 제조 프로세스를 통해 표면막의 일부분을 제거한다. 도 1을 참조하면, 포토리소그래피 기술의 일반적인 제조 프로세스는 린싱(rinsing), 포토레지스트층(photo-resist layer) 도포, 노광(exposure), 현상(developing), 베이킹(baking), 에칭(etching) 및 스트리핑(stripping)을 포함한다. 상기 설비는 높은 유지 비용뿐만 아니라 많은 투자비가 든다. 프로세스 중에, 상기 설비에 많은 화학약품이 요구되는데, 이는 높은 생산 비용 및 긴 생산 시간을 야기한다. 특히 대형 터치 패널들에 있어서, 이러한 문제들은 매우 심각해 보이고 쉽게 생산 수율의 감소를 야기할 수 있다.
스크린 인쇄는 공판 인쇄(porous printing)의 주요 방법들 중 하나이다. 일반적으로, 스크린 인쇄는 스크린 인쇄판 및 스크래핑 블레이드(scraping blade)에 의해 수행된다. 스크린 인쇄판은 관통홀들(through-holes)을 갖는 개체(entity)를 포함한다. 인쇄할 때, 에칭 페이스트(etching paste)가 미리 설정된 패턴으로 스크린 인쇄판 위에 놓여지고 그 다음에 스크래핑 블레이드에 의해 압착된다. 그 결과, 도2에 도시된 바와 같이, 에칭 페이스트는 보호층의 미리 설정된 패턴을 형성하며 보호층으로 스크린 인쇄판의 관통홀들을 통해 나아간다. 스크린 인쇄는 간단한 기술로, 저비용의 설비를 필요로 하고, 제조 비용도 저렴하다. 그러나, 작은 형상들(선폭 ＜ 200㎛)이 요구될 때, 상기 기술은 편리하지 않다. 게다가, 하나의 단일 스크린 인쇄판은 서로 다른 패턴들에 대해 공통으로 사용될 수 없다. 서로 다른 제품들의 서로 다른 패턴들에 따라, 스크린 인쇄판은 별도로 설계되어야 한다. 미리 설정된 패턴이 변경될 때, 상응하는 패턴에 대한 스크린 인쇄판도 변경되어야 한다. 또한, 중형 또는 대형 터치 패널들에 있어서, 인쇄하는 보호층의 크기가 확대될 때, 사용하는 스크린 인쇄판의 크기도 확대되어야 한다. 게다가, 인쇄할 때, 대형 스크린 인쇄판의 전체 장력의 일관성을 제어하는 것이 쉽지 않고; 따라서 물질들 상에 인쇄되는 에칭 페이스트의 일관성을 보장하는 것도 어렵다. 또한, 스크린 인쇄판의 크기가 클수록, 스크린 인쇄판의 마모 또는 변형이 일어나기 더 쉽다. 이는 스크래핑 블레이드에 의한 장시간의 마찰 때문에 스크린 인쇄판의 짧아진 수명과 생산 시 더 높은 소모 비용을 야기할 수 있다.
그러므로, 상기 종래의 에칭 방법들의 단점들을 극복하는 스태핑 스크린 인쇄기 및 상기 스태핑 스크린 인쇄기에 의한 보호층 프로세싱 방법을 제공할 것이 요구된다.
대형 터치 패널 제조 프로세스에 적합한 스태핑 인쇄 도포를 이용하는 스태핑 스크린 인쇄기를 제공하는 것이 본 발명의 목적이다.
스태핑 스크린 인쇄기는 배치대(locating stage), 정렬 교정기(alignment corrector), 제어 유닛, 및 실행 유닛을 포함한다. 배치대는 프로세싱되어야 하는 공작물을 적재하고 고정하는데 사용된다. 정렬 교정기는 공작물의 위치 정보를 센싱하여 검출하고 프로세싱을 위해 제어 유닛으로 상기 정보를 전송하는데 사용된다. 제어 유닛은 정렬 교정기의 위치 정보를 수신하여 기계 명령들을 발생시키고, 실행 유닛으로 기계 명령들을 전송하며, 그 다음에 실행 유닛의 이동 방향 및 속도를 제어하고 조절하는데 사용된다. 실행 유닛은 스크린 인쇄판 및 스크래퍼(scraper)를 적재하여 운반하고, 스태핑 스크린 인쇄를 수행하기 위해 제어 유닛의 기계 명령들을 수신하는데 사용된다.
제어 유닛은 제어기 및 PC(Personal Computer, 개인용 컴퓨터)를 포함하는데, 여기서, 실행 유닛의 이동 방향 및 속도를 조절하고 제어하도록, 상기 PC는 기계 명령들을 발생시키기 위해 정렬 교정기의 위치 정보를 수신하여 프로세싱하고, 상기 제어기는 그것의 명령 신호들을 수신하기 위해 PC와 연결된다.
PC는 인간과 기계의 상호작용에 사용된다. 일 실시예에서, 조작원(operator)이 PC를 통해 프로세싱되어야 하는 패턴 및 문구(formula)를 입력하고 PC는 그것들을 명령 신호들로 변환시키고, 그 다음에 제어기로 명령 신호들을 전송한다.
정렬 교정기는 변위 센서(displacement sensor) 및 카메라를 포함하는데, 여기서 카메라는 공작물의 위치를 검출하여 제어 유닛으로 위치 정보를 전송하기 위해 제어 유닛에 연결된다. 일 실시예에서, 상기 카메라는 공작물의 위치를 결정하기 위해 오프 액시스(off-axis) 정렬 방법을 이용하는 CCD(Charge Coupled Device, 전하 결합 소자) 카메라이다.
일 실시예에서, 실행 유닛은 구동 모터들 및 기계 암들(mechanical arms)을 포함하는데, 여기서 구동 모터들은 제어 유닛과 연결된다. 제어 유닛에 의해 보내진 기계 명령들을 수신한 이후에, 구동 모터들은 기계 암들을 구동하기 위해 토크(torque)를 출력한다. 배치대에서, 기계 암들은 스크린 인쇄판을 적재하여 구동하는데 사용되고 스크래퍼는 구동 모터들의 구동 하에 인쇄 동작들을 수행하는데 사용된다. 구동 모터들은 X-Y-Z 축 구동 모터들을 포함할 수 있다. 기계 암들은 선형 활사면(linear slide-way) 및 볼 베어링 스크류(ball bearing screw)에 의해 형성되고 X-Y-Z 축 구동 모터들에 의해 구동될 수 있다.
일 실시예에서, 기계 암들은 스크린 인쇄 동작을 수행하기 위해 단계적으로 이동하고 기계 명령들에 따라 서로 다른 하위 구역들로 별도로 스크린 인쇄판을 이동시킬 수 있다. 기계 암들이 모든 구역을 커버한(cover) 이후에 공작물의 표면 상에 패턴이 그러면 완전히 인쇄될 수 있다.
보호층을 에칭하기 위해 에칭 페이스트를 이용하여 보호층을 프로세싱하는 방법을 제공하는 것이 본 발명의 또 다른 목적인데, 여기서 상기 방법은 다음의: 기판 상에 보호층을 형성하는 단계 및 그 위에 패턴을 형성하기 위해 보호층의 표면 상에 스태핑 스크린 인쇄기를 이용하여 에칭 페이스트를 인쇄하는 단계를 포함한다.
스태핑 스크린 인쇄는 에칭 페이스트를 인쇄하기 위해 스태핑 스크린 인쇄기를 이용한다. 스태핑 스크린 인쇄의 단계들에는: 카메라를 이용하여 공작물의 시작 위치를 결정하는 단계; 기계 암들에 의해 시작 위치로 스크린 인쇄판을 이동시는 단계; 스크린 인쇄판을 통해 보호층의 표면 상에 에칭 페이스트를 인쇄하는 단계; 기계 암들에 의해 다음 구역으로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계와, 인쇄 단계를 반복하는 단계; 및 인쇄를 종료하는 단계가 있다.
일 실시예에서, 보호층은 이산화규소(silicon oxide) 또는 폴리실록산(polysiloxane) 물질로 만들어진다.
또한, 보호층의 표면 상에 인쇄하는 상기 방법은 보호층의 표면 상에 에칭 페이스트를 인쇄한 이후에 에칭된 구역 내의 에칭 페이스트 및 보호층을 필링하는(peeling off) 세정 단계를 더 포함한다.
일 실시예에서, 터치 패널은 기판 상에 배치되는 도전층, 및 도전층 상에 형성되는 보호층을 포함한다.
본 개시 발명의 또 다른 목적은 보호층 상에 패턴을 형성하기 위해 필링 접착제(peeling glue)를 이용하여 보호층을 프로세싱하는 방법을 또한 제공하는 것인데, 상기 방법은 다음의: 스크린 인쇄판 상의 패턴과 일치하는 패턴을 형성하기 위해 기판의 표면 상에 필링 접착제를 스태핑 스크린 인쇄하는 단계; 기판을 베이킹하는 단계; 기판 상에 보호층을 도포하는 단계; 보호층 상에 패턴을 형성하기 위해 기판으로부터 필링 접착제를 필링하는 단계를 포함한다.
스태핑 스크린 인쇄는 필링 접착제를 인쇄하기 위해 스태핑 스크린 인쇄기를 이용한다. 스태핑 스크린 인쇄를 이용하는 필링 접착제를 인쇄하기 위한 단계들에는: 카메라를 이용하여 공작물의 시작 위치를 결정하는 단계; 기계 암들을 이동시켜 시작 위치로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계; 스크린 인쇄판을 통해 기판 상에 필링 접착제를 인쇄하는 단계; 기계 암들을 이동시켜 다음 구역으로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계와, 인쇄 단계를 반복하는 단계; 및 인쇄를 종료하는 단계가 있다.
일 실시예에서, 필링 접착제는 주로 에틸렌계 수지(ethylene resin) 및 에스테르계 가소제(ester plasticizer(plastifier))이다.
또 다른 실시예에서, 기판으로부터 필링 접착제를 필링한 이후에, 상기 방법은 보호층 상에 남아 있는 필링 접착제 및 잔여 물질들을 필링하는 세정 단계를 더 포함한다.
본 개시 발명에서 제공되는 스태핑 스크린 인쇄기는 상기에서 논의된 다른 결점들 중에서 에칭 페이스트 도포의 급격함(sharpness) 및 낮은 일관성에 대한 결점들을 극복할 수 있다. 상기 개시 발명은 대형 제품들의 표면 프로세싱 문제를 해결하기 위해 에칭 페이스트 도포를 위한 단계적 접근법을 이용하는 스크린 도포 방법을 쓴다. 동시에, 제안된 기술은 또한 생산 비용을 절감하도록 스크린의 유효 수명을 확장할 수 있다.
당업자들은 하기에서 기술된 도면들이 단지 예시용일 뿐이며 어떤 식으로도 본 개시 발명의 범위를 제한하지 않음을 이해할 것이다. 또한 본 발명에 개시된 구성요소들의 수는 달리 명확히 명시되지 않았다면 개시된 것보다 더 많거나 더 적을 수 있음이 이해될 것이다.
도 1은 종래의 포토리소그래피에 대한 플로우차트;
도 2는 종래의 스크린 인쇄 장치에 대한 도식적인 구조도;
도 3은 본 발명에 따른 본 발명의 스태핑 스크린 인쇄기의 원리 플로우차트;
도 4는 본 발명에 따른 터치 패널에 대한 구조의 도식적 도해;
도 5는 보호층 프로세싱 방법에 대한 플로우차트;
도 6은 스태핑 스크린 인쇄기의 하부 구역 작업 프로세스에 대한 도식적 도해;
도 7은 스태핑 스크린 인쇄기의 스태핑 작업 프로세스에 대한 도식적 도해;
도 8은 또 다른 보호층 프로세싱 방법에 대한 플로우차트.
본 발명의 상세한 설명이 다음의 실시예들에서 설명될 것인데, 이는 본 발명의 범위를 제한하려는 것이 아니며, 오히려 다른 응용들에 대해 맞춰질 수 있다. 도면들이 상세히 도시되었지만, 명확히 양을 제한하는 구성요소들을 제외하고, 개시된 구성요소들의 수는 개시된 것보다 더 많거나 더 적을 수 있음이 이해된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 스태핑 스크린 인쇄기는 제어 유닛(10), 정렬 교정기(20), 실행 유닛(30) 및 배치대(40)를 포함한다.
제어 유닛(10)은 제어기(101) 및 PC(102)를 포함하는데, 여기서 PC(102)는 정렬 교정기(20)에 의해 센싱되는 위치 정보를 수신하여 프로세싱하고, 그것들을 기계 명령들로 변환시킨다. 제어기(101)는 실행 유닛(30)의 이동 방향 및 속도를 조절하고 제어하도록 명령 신호들 수신하기 위해 PC(102)와 연결된다. PC(102)는 실행 유닛(30)의 이동 및 제어기(101)에 대한 설정을 모니터링 하기 위해 인간과 기계의 상호작용에 사용된다. 조작원은 패턴 및 문구을 입력하기 위해 PC(102)를 사용할 수 있고, PC(102)는 패턴 및 문구를 명령 신호들로 변환시키고, 그 다음에 그것들을 제어기(101)로 보낸다.
정렬 교정기(20)는 카메라(201) 및 변위 센서(202)를 포함한다. 카메라(201)는 공작물(100)을 센싱하여 공작물(100)의 위치 정보를 찾아내기 위해 제어 유닛(10)의 PC(102)에 연결된다. 카메라(201)는 위치 정보를 수신하여 프로세싱을 위해 제어 유닛(10)의 PC(102)로 상기 정보를 보낸다. 일 실시예에서, 카메라(201)는 CCD(Charge Coupled Device, 전하 결합 소자) 카메라이다. CCD 카메라는 공작물(100)의 위치 정보를 결정하기 위해 오프 액시스 정렬 방법을 쓴다. 변위 센서(202)는 실행 유닛(30)의 기계 암들(302)을 모니터링하고 프로세싱을 위해 제어기(101)로 위치 정보 피드백(feedback)을 주는데 사용된다.
일 실시예에서, 실행 유닛(30)은 구동 모터들(301) 및 기계 암들(302)을 포함한다. 구동 모터들(301)은 스태핑 인쇄 동작들을 수행하기 위해 제어 유닛(10)의 기계 명령들을 수신하도록 제어 유닛(10)에 연결된다. 구동 모터들(301)은 기계 암들(302) 및 배치대(40)를 구동하기 위해 토크를 출력하고, 한편 기계 암들(302)은 구동 모터들(301)의 구동 하에 인쇄 동작들을 수행하기 위해 스크린 인쇄판 및 스크래퍼(도시되지 않음)를 적재하여 구동하는데 사용된다. 기계 암들(302)은 단계적으로 인쇄 실행을 수행한다. 기계 암들(302)은 기계 명령들에 따라 서로 다른 하위 구역들로 스크린 인쇄판을 이동시키고, 모든 구역 위로 공작물(100)의 표면 상에 스크린 패턴을 인쇄하는 것을 돕는다. 구동 모터들(301)은 X-Y-Z 3축 구동 모터들을 포함한다. 기계 암들(302)은 선형성 활사면 및 볼 베어링 스크류를 포함할 수 있고 X-Y-Z 3축 구동 모터들에 의해 구동될 수 있다.
다른 실시예에서, 배치대(40)는 프로세싱되어야 하는 공작물(100)을 적재하여 고정시키는데 사용된다. 배치대(40)는 공작물(100)을 적재하여 이동시키기 위해 구동 모터들(301)과 연결되고 구동 모터들(301)에 의해 구동된다. 하나 이상의 위치 표시들이 CCD 카메라의 검출을 위해 공작물(100) 상에 표시된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 터치 패널은 기판(51), 도전층(52), 및 보호층(53)을 포함한다. 도전층(52)은 인듐 주석 산화물(indium tin oxide, ITO)로 만들어지고 기판(51)의 표면 상에 배치된다. 일 실시예에서, 보호층(53)은 이산화규소로 만들어지고 도전층(52)을 도포한다. 도전층(52)은 도전층의 가장자리에 복수의 전극들 및 금속 트레이스들을 포함할 수 있다. 금속 트레이스들은 전극들을 외부 프로세서와 연결한다. 외부 회로와 전기적으로 연결하고 터치 패널의 도전층(52)을 가능하게 하기 위해 금속 트레이스들을 도포하고 있는 보호층(53)의 특정 구역을 필링할 것이 요구된다. 상기에서 논의되는 스태핑 스크린 인쇄기로, 터치 패널 상의 금속 트레이스 위에 도포되어 있는 보호층 물질이 필링될 수 있고, 그 다음에 보호층(53) 상에 패턴이 형성된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 에칭하기 위해 에칭 페이스트를 이용하여 보호층을 처리하는 방법은 다음의 단계들을 포함한다:
S1: 터치 패널의 기판 상에 보호층을 형성하는 단계로, 여기서 상기 터치 패널은 기판 상에 배치되는 복수의 전극들을 갖는 도전층을 포함한다. 보호층은 도전층 상에 형성된다.
S2: 보호층 상에 패턴을 형성하기 위해 보호층의 표면 상에 에칭 페이스트를 스태핑 스크린 인쇄하는 단계. 스태핑 스크린 인쇄는 스태핑 스크린 인쇄기를 이용하여 에칭 페이스트를 인쇄한다. 스태핑 스크린 인쇄의 단계에는: S201, CCD 카메라를 이용하여 공작물의 시작 위치를 결정하는 단계; S202, 기계 암들에 의해 시작 위치로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계; S203, 스크린 인쇄판을 통해 보호층의 표면 상에 에칭 페이스트를 인쇄하는 단계; S204, 도 6에 도시된 바와 같이, 기계 암들에 의해 다음 구역으로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계, S203 단계를 반복하는 단계; S205, 모든 구역들이 완료된 이후에 인쇄를 종료하는 단계로, 도 7에 도시된 바와 같이, 인쇄를 종료하기 위해 ①-②-③-④-⑤-⑥ 단계에 따라 공작물 전체에 대한 인쇄가 종료되는 단계가 있다.
일 실시예에서, 보호층은 이산화규소로 만들어지고, 에칭 페이스트는 중불화암모늄(ammonium bifluoride)으로 만들어진다. 에칭 페이스트가 스태핑 스크린 인쇄기를 이용하여 보호층 상에 인쇄될 때 화학 반응이 일어나고, 화학 반응식은:
Figure pat00001
이다.
S205 단계 이후에, 보호층을 프로세싱하는 상기 방법은 S3: 보호층의 표면 상에 에칭 페이스트를 인쇄한 이후에 에칭된 구역 내의 에칭 페이스트 및 보호층을 필링하는 세정 단계를 더 포함한다.
도 8은 보호층 상에 패턴을 형성하기 위해 필링 접착제를 이용하여 보호층을 프로세싱하는 방법을 도시한다. 상기 방법은 다음의: T1, 스크린 인쇄판 상의 패턴과 일치하는 패턴을 형성하기 위해 기판의 표면 상에 필링 접착제를 스태핑 스크린 인쇄하는 단계; T2, 기판을 베이킹하는 단계; T3, 기판을 도포하고 있는 보호층을 도포하는 단계; 및 T4, 보호층 상에 패턴을 형성하기 위해 기판으로부터 필링 접착제를 필링하는 단계를 포함한다.
스태핑 스크린 인쇄는 필링 접착제를 인쇄하기 위해 스태핑 스크린 인쇄기를 이용한다. 스태핑 스크린 인쇄기의 단계에는: T101, CCD 카메라를 이용하여 공작물의 시작 위치를 결정하는 단계; T102, 기계 암들을 이동시켜 시작 위치로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계; T103, 스크린 인쇄판을 통해 기판 상에 필링 접착제를 인쇄하는 단계; T104, 기계 암들을 이동시켜 다음 구역으로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계, 및 T103 단계를 반복하는 단계; T105, 인쇄를 종료하는 단계가 있다. 필링 접착제는 주로 에틸렌계 수지 및 에스테르계 가소제(가소제(plasticizer(plastifier))이다.
기판으로부터 필링 접착제를 필링한 이후에, 상기 방법은 T5: 보호층 상에 남아 있는 필링 접착제 및 잔여 물질들을 필링하는 세정 단계를 더 포함한다.
특정 실시예들이 도시되고 설명되었으나, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않으며 그에 대해 다양한 변경 및 대체가 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명은 예시로써 설명된 것이고 제한하려는 것이 아닌 것으로 이해되어야 한다.

Claims (23)

  1. 보호층 상에 패턴을 형성하기 위해 상기 보호층(protective layer)의 표면 상에 에칭 페이스트(etching paste)를 스태핑 스크린 인쇄(stepping screen printing)하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 스태핑 스크린 인쇄는 상기 에칭 페이스트를 인쇄하기 위해 스태핑 스크린 인쇄기를 이용하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 스태핑 스크린 인쇄는 다음의:
    카메라를 이용하여 공작물의 시작 위치를 결정하는 단계;
    기계 암들(mechanical arms)에 의해 상기 시작 위치로 상기 보호층을 갖는 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계;
    상기 스크린 인쇄판을 통해 상기 보호층의 상기 표면 상에 상기 에칭 페이스트를 인쇄하는 단계;
    상기 기계 암들에 의해 다음 구역으로 상기 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계;
    상기 인쇄 단계를 반복하는 단계; 및
    인쇄를 종료하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 보호층의 상기 표면 상에 상기 에칭 페이스트를 인쇄한 이후에 상기 에칭된 구역 내의 상기 에칭 페이스트 및 상기 보호층을 필링(peeling)하는 세정(cleaning) 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 에칭 페이스트는 중불화암모늄(ammonium bifluoride)으로 만들어지는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    기판 상에 도전층을 형성하는 단계; 및
    상기 도전층 상에 상기 보호층을 형성하는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  7. 패턴을 형성하기 위해 기판의 표면 상에 필링 접착제(peeling glue)를 스태핑 스크린 인쇄하는 단계;
    상기 기판을 베이킹하는(baking) 단계;
    상기 기판 상에 보호층을 도포하는(coating) 단계; 및
    상기 기판으로부터 상기 필링 접착제를 필링하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 스태핑 스크린 인쇄는 상기 필링 접착제를 인쇄하기 위해 스태핑 스크린 인쇄기를 이용하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 스태핑 스크린 인쇄는 다음의:
    카메라를 이용하여 공작물의 시작 위치를 결정하는 단계;
    기계 암들(mechanical arms)을 이동시켜 상기 시작 위치로 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계;
    상기 스크린 인쇄판을 통해 상기 보호층의 상기 기판 상에 상기 필링 접착제를 인쇄하는 단계;
    상기 기계 암들을 이동시켜 다음 구역으로 상기 스크린 인쇄판을 이동시키는 단계;
    상기 인쇄 단계를 반복하는 단계; 및
    인쇄를 종료하는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 필링 접착제는 에틸렌계 수지(ethylene resin) 및 에스테르계 가소제(ester plasticizer(plastifier))인 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  11. 청구항 7에 있어서,
    상기 보호층 상에 남아 있는 상기 필링 접착제 및 잔여 물질들을 필링하는 세정 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보호층 프로세싱 방법.
  12. 배치대(locating stage);
    정렬 교정기(alignment corrector);
    제어 유닛; 및
    실행 유닛;
    을 포함하되,
    상기 배치대는 프로세싱되는 공작물을 적재하여 고정하며;
    상기 정렬 교정기는 상기 공작물의 위치 정보를 센싱하여 검출하고, 프로세싱을 위해 상기 제어 유닛으로 상기 정보를 전송하며;
    상기 제어 유닛은 상기 정렬 교정기로부터 상기 위치 정보를 수신하여, 기계 명령들을 발생시키고, 상기 실행 유닛으로 상기 기계 명령들을 전송하며, 상기 실행 유닛의 이동 방향 및 속도를 제어하고 조절하고;
    상기 실행 유닛은 스크린 인쇄판 및 스크래퍼(scraper)를 적재하여 운반하고, 스태핑 스크린 인쇄를 수행하기 위해 상기 제어 유닛으로부터 상기 기계 명령들을 수신하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제어 유닛은 제어기 및 PC를 포함하되,
    상기 PC는 상기 기계 명령들을 발생시키기 위하여 상기 정렬 교정기의 상기 위치 정보를 수신하여 프로세싱하고,
    상기 제어기는 상기 실행 유닛의 이동 방향 및 속도를 조절하고 제어하도록 상기 PC로부터 명령 신호들을 수신하기 위해 상기 PC와 연결되는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 PC는 인간과 기계의 상호작용에 사용되며,
    상기 PC는 조작원에 의해 입력되는 특정 패턴(pattern) 또는 문구(formula)를 수신하여 상기 입력을 상기 명령 신호들로 변환시키고 상기 제어기로 상기 명령 신호들을 전송하는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  15. 청구항 12에 있어서,
    상기 정렬 교정기는 변위 센서 및 카메라를 포함하되,
    상기 카메라는 상기 공작물의 상기 위치 정보를 검출하여 상기 공작물의 위치를 결정하도록 상기 제어 유닛으로 상기 위치 정보를 전송하기 위해 상기 제어 유닛과 연결되는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 카메라는 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 CCD 카메라는 공작물의 상기 위치를 결정하기 위해 오프 액시스(off-axis) 정렬 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  18. 청구항 12에 있어서,
    상기 실행 유닛은 구동 모터들 및 기계 암들을 포함하되,
    상기 구동 모터들은 상기 기계 명령들을 수신하기 위해 상기 제어 유닛과 연결되며,
    상기 구동 모터들은 상기 기계 암들 및 상기 배치대를 구동하기 위해 토크(torque)를 출력하고,
    상기 기계 암들은 상기 구동 모터들의 구동 하에 인쇄 동작들을 수행하기 위해 스크린 인쇄판 및 스크래퍼를 적재하여 구동하는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 구동 모터들은 X-Y-Z 축 구동 모터들을 포함하고,
    상기 기계 암들은 선형 활사면(linear slide-way) 및 볼 베어링 스크류(ball bearing screw)에 의해 형성되고 X-Y-Z 축 구동 모터들에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  20. 청구항 18에 있어서,
    상기 기계 암들은 상기 스태핑 스크린 인쇄를 수행하기 위해 단계적으로 이동하고 상기 기계 명령들에 따라 서로 다른 하위 구역들로 별도로 상기 스크린 인쇄판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  21. 청구항 18에 있어서,
    상기 스크린 인쇄판은 에칭 페이스트 또는 필링 접착제로 채워지며,
    상기 스크래퍼는 상기 기계 암들에 의해 구동되고 상기 공작물 표면 상으로 상기 스크린 인쇄판을 통해 상기 에칭 페이스트 또는 상기 필링 접착제를 밀어내도록 설정되는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  22. 청구항 18에 있어서,
    상기 배치대는 상기 구동 모터들과 연결되고 상기 공작물을 적재하여 이동시키기 위해 상기 구동 모터들에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
  23. 청구항 12에 있어서,
    상기 스크린 인쇄판은 실크(silk) 또는 강철(steel)로 만들어지는 것을 특징으로 하는 스태핑 스크린 인쇄기.
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