KR20120139996A - 플로트 유리 세정 시스템 - Google Patents

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KR20120139996A
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주식회사 엘지화학
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Abstract

본 발명은 플로트 유리 세정 시스템을 개시한다.
개시된 플로트 유리 세정 시스템은, 주행되는 플로트 유리 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기의 제1 입자를 제거할 수 있는 와싱(washing) 모듈; 플로트 유리 표면에 잔존하는 제1 입자보다 더 작은 제2 입자를 세정제를 이용하여 유,무기 세정할 수 있도록 와싱 모듈에 인접되게 설치된 클리닝(cleaning) 모듈; 플로트 유리 표면에 잔존하는 제2 입자보다 더 작은 제3 입자를 제거할 수 있도록 클리닝 모듈에 인접되게 설치된 린싱(ringing) 모듈; 및 린싱 모듈에 의해 린싱된 플로트 유리 표면에 존재하는 습기를 제거할 수 있는 드라잉(drying) 모듈을 구비한다.

Description

플로트 유리 세정 시스템{Washing apparatus for cleaning system of float glass}
본 발명은 플로트 유리 세정 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플로트 법에 의해 제조되는 플로트 유리를 연마한 후 플로트 유리의 표면에 존재하는 연마액 등의 불순물을 단계적으로 클리닝하기 위한 플로트 유리 세정 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 플로트법에 의해 제조되는 플로트 유리는 LCD, PDP 등의 디스플레이 장치에 주로 사용된다. 이러한 플로트 유리는 리본 형태의 유리 원판을 절단, 면취 및 연마, 세정, 및 건조 공정 등을 거치게 된다.
플로트 유리는 고도의 평면도와 두께의 정밀도가 요구된다. 따라서, 플로트 유리는 면취 및 연마 공정을 통하여 플로트 유리의 표면은 매우 정밀하게 연마되어야 한다. 한편, 위와 같은 연마 공정에서, 플로트 유리의 표면에는 유리 분진, 연마 공구의 분진 및 슬러리 등을 포함하는 입자들이 부착될 가능성이 높다. 따라서, 플로트 유리의 표면에 부착되어 있거나 잔존하는 오염 입자들은 세정 공정을 통해 제거되어야 한다. 특히, 최근에는, 박막 대면적의 유리 기판에 대한 수요가 높기 때문에, 종래보다 상대적으로 사이즈가 큰 대면적 유리 기판의 표면을 손상없이 유리 기판 상에 부착된 오염 입자를 깨끗하게 세정할 수 있는 고정밀, 고효율의 플로트 유리 세정 시스템이 요구된다.
한편, 종래의 퓨전법에 의해 제조되는 유리판은 연마 공정을 거칠 필요가 없기 때문에 플로트법에 의한 플로트 유리의 세정 시스템과 근본적으로 구별된다. 또한, 다른 종래 기술에 따른 플로트 유리의 세정 시스템은 유리 표면에 존재하는 얼룩 등을 1차 세정하고, 검사 공정을 거친 후 2차 세정을 하는 구조이다. 이러한 종래기술에 따른 플로트 유리의 세정 시스템은, 연마 공정에서 사용된 화학 약액을 제거할 필요성이 있고, 이와 별도로 다량의 물이 사용되어야 하기 때문에 과도한 비용이 소요되며, 세정 공정시에 발생하는 폐수의 양도 많기 때문에 폐수 처리도 큰 문제가 된다. 또한, 예를 들어, 7-8세대 디스플레이에 부응할 수 있도록 유리 기판의 사이즈가 점점 대형화됨에 따라 생산되는 디스플레이용 유리 기판의 정밀도와 균일도 조건들을 만족시켜야 하므로, 유리 기판의 단위 면적 당 오염 입자의 양 역시 이러한 요구되는 수준에 맞게 유지할 수 있는 설비를 채택하는 것이 필요하게 되었다. 그리고, 오염 입자를 충분히 제거하기 위하여 세척 강도를 높이게 되면 유리의 파손을 야기하게 되거나, 강한 압력 때문에 플로트 유리를 세정 시스템 내부에서 이송시키는 것이 용이하지 않은 문제가 있다.
유리의 사이즈가 커짐에 따라, 최근의 세정 시스템들은 유리 기판을 소정 기울기로 기울인 상태에서 이송시키는 소위 '틸팅 세정 방식'을 채택하고 있다. 그러나, 종래의 세정 시스템들은 수평으로 공급되는 유리 기판을 경사지게 변환하는 과정 및/또는 경사진 상태에서 세정 작업이 끝단 유리 기판을 다시 수평 상태로 전화하는 과정에서 작업 시간이 과다하게 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 착생된 것으로서, 세정 시스템의 수율을 향상시키고, 유리 기판 상에 잔존하는 오염 입자들을 각각의 모듈에서 순차적으로 제거할 수 있도록 구조가 개선된 플로트 유리 세정 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기와 같은 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템은, 주행되는 플로트 유리 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기의 제1 입자를 제거할 수 있는 와싱(washing) 모듈; 상기 플로트 유리 표면에 잔존하는 상기 제1 입자보다 더 작은 제2 입자를 세정제를 이용하여 유,무기 세정할 수 있도록 상기 와싱 모듈에 인접되게 설치된 클리닝(cleaning) 모듈; 상기 플로트 유리 표면에 잔존하는 상기 제2 입자보다 더 작은 제3 입자를 제거할 수 있도록 상기 클리닝 모듈에 인접되게 설치된 린싱(ringing) 모듈; 및 상기 린싱 모듈에 의해 린싱된 상기 플로트 유리 표면에 존재하는 습기를 제거할 수 있는 드라잉(drying) 모듈을 구비한다.
바람직하게, 워싱 모듈은, 워싱 입구와 워싱 출구가 마련된 워싱 챔버, 및 상기 플로트 유리의 적어도 하나의 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기의 입자를 제거하기 위한 아쿠아 나이프(aqua knife)를 구비한다.
바람직하게, 상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 폭 방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 노즐을 구비한다.
바람직하게, 상기 노즐은 상기 플로트 유리의 진행 방향을 향하여 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치될 수 있다.
바람직하게, 상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 진행 방향의 적어도 일면 이상에 한 쌍으로 배치된다.
바람직하게, 상기 워싱 입구는 지면과 평행하게 마련되고, 상기 워싱 출구는 지면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 형성되며; 상기 워싱 입구를 통해 수평으로 진입하는 상기 플로트 유리를 상기 워싱 챔버 내부에서 상기 워싱 출구의 경사 각도만큼 틸팅시킬 수 있는 틸팅 부재를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 틸팅 부재는: 상기 워싱 챔버 내부에서 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 일단을 지지하는 틸팅 베이스; 및 상기 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 타단을 소정 각도로 회동시킬 수 있는 틸팅 액츄에이터를 구비한다.
바람직하게, 상기 다수의 피딩 롤러들은 서로 분리되어 작동되는 적어도 두 개 이상의 틸팅 영역들에 구획되고; 상기 틸팅 부재는 각각의 틸팅 영역의 피딩 롤러들의 회전축의 양단에 각각 설치되는 적어도 두 개 이상의 틸팅 베이스들 및 틸팅 엑츄에이터들을 구비한다.
바람직하게, 상기 아쿠아 나이프는 상기 워싱 챔버의 입구에 실질적으로 근접되게 배치된다.
바람직하게, 상기 아쿠아 나이프는 상기 틸팅 부재에 의해 틸팅될 수 있다.
바람직하게, 상기 제1 입자의 미리 결정된 크기는 대략 10마이크로미터 이상이다.
바람직하게, 상기 워싱 입구에 설치된 에어 커튼을 더 구비한다.
바람직하게, 상기 아쿠아 나이프에 의해 세정된 상기 플로트 유리의 표면을 추가적으로 워싱하기 위한 분사 부재를 더 구한다.
바람직하게, 상기 분사 부재는 상기 워싱 챔버와 인접되게 배치되며, 제2 입구와 제2 출구를 가진 제2 챔버; 및 상기 제2 챔버 내부에 설치되며, 물과 공기가 혼합된 2류체를 분사할 수 있는 적어도 하나 또는 그 이상의 분사기들을 구비한다.
바람직하게, 상기 분사기는 상기 플로트 유리의 양면들 중 적어도 일면 이상에 배치된다.
바람직하게, 상기 분사기는 상기 플로트 유리의 진행 방향에 대향하여 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치될 수 있다.
바람직하게, 상기 물은 초순수(Ultra Pure Water)이고, 상기 공기는 청정 건조 공기(Clean Dry Air)이다.
바람직하게, 상기 분사기의 공기의 분사 압력은 0~10 kg/cm2이다.
바람직하게, 상기 플로트 유리가 상기 제2 출구를 통해 배출되기 전에 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 면을 씻어내기 위한 린스 부재를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 린스 부재는 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 면에 물을 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 물 분사 노즐들이 마련된 워싱 샤워기를 구비한다.
바람직하게, 상기 린스 부재는 상기 워싱 샤워기를 지지할 수 있는 샤워기 지지체를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 샤워기 지지체는: 상기 플로트 유리의 진행 방향을 따라 상기 린싱 챔버의 사이드에 배치된 한 쌍의 린스 브라켓들; 상기 워싱 샤워기를 고정 지지할 수 있는 지지 프레임; 및 상기 지지 프레임을 상기 린스 브라켓들에 연결하기 위한 프레임 컨넥터들을 구비한다.
바람직하게, 상기 제2 챔버의 상기 제2 입구 부분과 상기 제2 출구 부분 중 적어도 어느 한 부분에 설치된 에어 커튼을 더 구비한다.
바람직하게, 각각의 상기 제2 챔버 내부에서 상기 플로트 유리의 이송을 보강하기 위한 적어도 하나 또는 그 이상의 피딩 보강부재들을 더 구비한다.
바람직하게, 각각의 상기 피딩 보강부재는 상기 플로트 유리의 양측 가장자리의 상면에 각각 접촉되어 회전될 수 있는 한 쌍의 피딩 보강 롤러들을 구비한다.
바람직하게, 상기 클리닝 모듈은, 클리닝 입구와 클리닝 출구가 마련된 클리닝 챔버; 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 표면에 세정제를 공급할 수 있는 세정제 공급부재; 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 표면에 접촉되어 회전할 수 있는 적어도 하나 또는 그 이상의 디스크들을 포함하는 디스크 부재; 및 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 표면에 접촉될 수 있도록 상기 디스크 부재와 이격되게 설치된 적어도 하나 또는 그 이상의 클리닝 롤러들을 포함하는 롤러 부재를 구비한다.
바람직하게, 상기 클리닝 챔버의 상기 클리닝 입구와 상기 클리닝 출구는 수평면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 형성되며; 상기 클리닝 챔버는 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들을 구비한다.
바람직하게, 상기 세정제 공급부재는, 상기 플로트 유리의 상,하면 양측에 세정액을 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 세정액 분사 노즐들이 마련된 적어도 하나 또는 그 이상의 쌍으로 구성된 세정액 샤워기들을 구비한다.
바람직하게, 상기 세정액은 초순수와 적절한 농도로 희석되고 가열된 알칼리계 조성물을 포함한다.
바람직하게, 상기 디스크 부재는: 상기 플로트 유리의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 서로 미리 결정된 간격으로 배치된 다수의 제1 디스크들을 구비하는 한 쌍의 제1 디스크 어레이; 및 상기 플로트 유리의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 서로 미리 결정된 간격으로 배치된 다수의 제2 디스크들을 구비하고, 상기 제1 디스크 어레이와 이격되게 배치된 한 쌍의 제2 디스크 어레이를 구비한다.
바람직하게, 상기 제1 디스크 어레이의 상기 제1 디스크들과 상기 제2 디스크 어레이의 상기 제2 디스크들은 서로 지그 재그로 배치된다.
바람직하게, 상기 플로트 유리에 접촉될 수 있는 상기 디스크 부재의 각각의 디스크는 접촉부를 구비하고; 상기 접촉부는 디스크 패드 또는 디스크 브러쉬 또는 디스크 스펀지 형태로 구성된다.
바람직하게, 상기 롤러 부재의 각각의 클리닝 롤러는 상기 플로트 유리에 접촉될 수 있는 롤러 접촉부를 구비하고; 상기 롤러 접촉부는 브러쉬 또는 스펀지 또는 패드 형태로 구성된다.
바람직하게, 상기 디스크 부재 및/또는 상기 롤러 부재에 의한 상기 플로트 유리의 이송 속도 저하를 보충하기 위해, 상기 플로트 유리의 양면에 접촉되어 회전될 수 있는 이송 보완부재를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 이송 보완부재는, 상기 플로트 유리의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 배치된 하나 또는 그 이상의 쌍으로 배치된 PVA 더블 롤러들을 구비한다.
바람직하게, 상기 제2 입자의 크기는 대략 3마이크로미터 이상이다.
바람직하게, 상기 린싱 모듈은, 린싱 입구와 린싱 출구가 마련된 린싱 챔버; 상기 린싱 입구에 인접되게 배치되고, 상기 플로트 유리의 폭 방향으로 물과 공기가 혼합된 상태의 고압 2류체를 분사할 수 있는 고압 분사부재; 및 상기 플로트 유리의 표면에 초순수를 분사하여 린스할 수 있는 린스 부재를 구비한다.
바람직하게, 상기 고압 분사부재는 서로 나란하게 설치된 제1 분사기 및 제2 분사기를 구비한다.
바람직하게, 상기 제1 분사기 및/또는 상기 제2 분사기는 상기 플로트 유리의 양면에 한 쌍씩 배치된다.
바람직하게, 상기 제1 분사기 및/또는 상기 제2 분사기의 공기의 분사 압력은 대략 10 kg/cm2이다.
바람직하게, 상기 고압 분사부재는 상기 플로트 유리의 표면에 실질적으로 수직되게 상기 고압 2류체를 분사할 수 있도록 배치된다.
바람직하게, 상기 린스 부재는 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 면에 초순수를 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 초순수 분사 노즐들이 마련된 적어도 하나 또는 그 이상의 쌍으로 구성된 초순수 샤워기들을 구비한다.
바람직하게, 상기 린스 부재는 상기 초순수 샤워기들을 지지할 수 있는 샤워기 지지체를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 샤워기 지지체는: 상기 플로트 유리의 진행 방향을 따라 상기 린싱 챔버의 사이드에 배치된 한 쌍의 린스 브라켓들; 상기 초순수 샤워기들을 고정 지지할 수 있는 지지 프레임; 및 상기 지지 프레임을 상기 린스 브라켓들에 연결하기 위한 프레임 컨넥터들을 구비한다.
바람직하게, 상기 지지 프레임과 상기 린싱 챔버의 바닥 사이에 설치된 다수의 보조 브라켓들을 더 구비한다.
바람직하게, 상기 린싱 챔버를 전방 챔버와 후방 챔버로 구획할 수 있도록 상기 린싱 챔버를 가로질러 설치되고, 상기 플로트 유리가 통과할 수 있는 관통 슬릿이 마련된 구획 플레이트를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 구획 플레이트에 설치된 에어 커튼을 더 구비한다.
바람직하게, 상기 린싱 챔버의 상기 린싱 입구에 설치된 에어 커튼을 더 구비한다.
바람직하게, 상기 린싱 챔버의 상기 린싱 출구에 설치된 아쿠아 나이프를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 폭 방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 노즐을 구비한다.
바람직하게, 상기 노즐은 상기 플로트 유리의 진행 방향에 대향하여 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치된다.
바람직하게, 상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 진행 방향의 상,하부에 한 쌍으로 배치된다.
바람직하게, 상기 물은 초순수(Ultra Pure Water)이고, 상기 공기는 청정 건조 공기(Clean Dry Air)이다.
바람직하게, 상기 린싱 챔버의 상기 린싱 입구와 상기 린싱 출구는 수평면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 형성되며; 상기 린싱 챔버는 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들을 구비한다.
바람직하게, 상기 린싱 챔버 내부에서 상기 플로트 유리의 이송을 보강하기 위한 적어도 하나 또는 그 이상의 피딩 보강부재들을 더 구비한다.
바람직하게, 각각의 상기 피딩 보강부재는 상기 플로트 유리의 양측 가장자리의 상,하면에 각각 접촉되어 회전될 수 있는 한 쌍의 피딩 보강 롤러들을 구비한다.
바람직하게, 상기 제3 입자의 크기는 대략 0.2마이크로미터 이상이다.
바람직하게, 상기 초순수는 대략 18 ㏁ 이상의 물을 포함한다.
바람직하게, 상기 드라잉 모듈은, 드라잉 입구와 드라잉 출구를 가지며 다수의 회전 가능한 피딩 롤러들이 구비된 드라잉 챔버; 상기 플로트 유리의 표면에 미리 결정된 압력의 청정 건조 공기를 분사할 수 있는 공기 분사부재를 구비한다.
바람직하게, 상기 공기 분사부재는 0~10 kg/cm2의 청정 건조 공기를 분사할 수 있다.
바람직하게, 상기 공기 분사부재는 상기 플로트 유리의 폭방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 공기 노즐을 구비하는 에어 나이프를 구비한다.
바람직하게, 상기 에어 나이프는 상기 플로트 유리의 상부에 배치 제1 에어 나이프 및 상기 플로트 유리의 하부에 배치된 제2 에어 나이프를 구비한다.
바람직하게, 상기 제1 에어 나이프의 공기 분사 압력은 상기 제2 에어 나이프의 공기 분사 압력과 같거나 공기 분사 압력보다 높다.
바람직하게, 상기 공기 분사부재는 상기 플로트 유리의 진행 방향에 대향하여 미리 결정된 각도로 경사지게 배치될 수 있다.
바람직하게, 상기 공기 분사부재는 상기 플로트 유리의 폭방향을 기준으로 상기 드라잉 입구측으로 대략 20° 내지 대략 45° 각도로 사선으로 배치된다.
바람직하게, 상기 피딩 롤러들은 상기 드라잉 입구 측에 배치된 제1 피딩 그룹과 상기 드라잉 출구 측에 배치된 제2 피딩 그룹을 구비하고; 상기 제1 및 제2 피딩 그룹들은 상기 사선 형태로 구획된 아이들(idle) 구역을 구비한다.
바람직하게, 상기 플로트 유리의 하면에 접촉되어 회전될 수 있도록 상기 아이들 구역에 배치된 다수의 아이들 롤러들을 더 구비한다.
바람직하게, 상기 드라잉 챔버 내부에서 상기 플로트 유리의 이송을 보강하기 위한 적어도 하나 또는 그 이상의 피딩 보강부재들을 더 구비한다.
바람직하게, 각각의 상기 피딩 보강부재는 상기 플로트 유리의 양측 가장자리의 상면에 접촉되어 회전될 수 있는 피딩 보강 롤러를 구비한다.
바람직하게, 상기 공기 분사부재에 의해 공급되어 상기 플로트 유리의 표면을 건조시킨 공기를 상기 드라잉 챔버 외부로 배출시키기 위한 배기부재를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 드라잉 챔버의 상기 드라잉 입구와 상기 드라잉 출구는 수평면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 배치된다.
바람직하게, 상기 드라잉 출구와 연통되는 언틸팅 입구 및 지면에 대해 평행하게 마련된 언틸팅 출구를 가지며, 상기 드라잉 챔버에 인접되게 설치된 언틸팅 챔버; 및 상기 드라잉 출구 및 상기 언틸팅 입구를 통해 경사지게 진입하는 상기 플로트 유리가 상기 언틸팅 출구를 통해 배출될 수 있도록 상기 언틸팅 챔버 내부에서 상기 플로트 유리를 언틸팅시킬 수 있는 언틸팅 부재를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 언틸팅 부재는: 상기 언틸팅 챔버 내부에서 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 일단을 지지하는 언틸팅 베이스; 및 상기 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 타단을 소정 각도로 회동시킬 수 있는 언틸팅 액츄에이터를 구비한다.
바람직하게, 상기 다수의 피딩 롤러들은 서로 분리되어 작동되는 적어도 두 개 또는 이상의 언언틸팅 영역들로 구획되고; 상기 언틸팅 부재는 각각의 언언틸팅 영역의 피딩 롤러들의 회전축의 양단에 각각 설치되는 적어도 두 개 이상의 언틸팅 베이스들 및 언틸팅 엑츄에이터들을 구비한다.
바람직하게, 상기 언틸팅 챔버의 상기 언틸틸 출구로부터 배출되는 건조된 플로트 유리를 임시로 적재할 수 있는 적재 공간이 마련된 버퍼 부재를 더 구비한다.
본 발명에 따른 플로트 유리 세정 시스템은 다음과 같은 효과를 가진다.
첫째, 본 발명에 따른 클리닝 모듈은 플로트 유리의 세정 작업을 위해 각각의 기능을 위해 세정 공정을 각각 '워싱 존', '클리닝 존', '린싱 존' 및 '드라잉 존'으로 구획하고, 그러한 존 및 기능에 적합한 설비들을 분리 배치하고, 플로트 유리에 존재하는 이물질 등의 입자를 크기에 따라 순차적으로 세정함으로써, 세정 공정의 효율성 및 수율을 높일 수 있다.
둘째, 물을 많이 사용하지 않고서도 플로트 유리 표면에 잔존하는 오염 입자를 충분히 제거할 수 있다.
셋째, 유리 기판의 얼라이닝이 용이하면서도 유리 기판 상의 각 부분을 균일한 정도로 세정할 수 있다.
넷째, 오염 입자의 충분한 제거와 유리 기판의 용이한 이송을 모두 만족시킬 수 있다.
다섯째, 개선된 틸팅 및/또는 언틸팅(예, 분할 틸팅 및 분할 언틸팅)을 채택함으로써 수율을 향상시킬 수 있다.
전술한 본 발명의 요약뿐만 아니라 이어지는 본 발명의 바람직한 실시예들의 상세한 설명은 첨부된 도면들과 함께 읽혀질 때 더 잘 이해될 것이다. 본 출원의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템을 설명하기 위한 목적으로, 바람직한 실시예들의 도면들이 도시된다. 그러나, 본 출원은 그러한 도면들에 도시된 정확한 장치 및 수단에 한정되지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 개략적인 구성도로서, 모듈들에 설치된 피딩 롤러들의 배치 상태를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에 워싱 챔버 내부의 피딩 롤러 부위를 발췌 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3의 정면 구성도이다.
도 5는 도 3의 우측면 구성도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 워싱 모듈의 동작을 설명하기 위한 우측면도로서, 샤워기 및 틸팅부재가 작동되고, 피딩 롤러가 경사진 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 틸팅 부재를 발췌 도시한 도면이다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 워싱 모듈의 틸팅 부재의 '분할 틸팅' 동작을 각각 설명하기 위한 도면들이다.
도 11은 도 2에 도시된 아쿠아 나이프 및 에어 커튼 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이다.
도 12는 도 11은 정면 구성도이다.
도 13은 도 11의 우측면 구성도이다.
도 14는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 워싱 모듈의 아쿠아 나이프의 작동을 설명하는 개념도이다.
도 15는 도 2에 도시된 샤워기 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이다.
도 16은 도 15의 정면 구성도이다.
도 17은 도 15의 우측면 구성도이다.
도 18은 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈에 사용되는 제2 챔버를 발췌 도시한 사시도이고, 도 19은 도 18의 우측면도이다.
도 20은 도 18에 도시된 피딩 롤러들을 발췌 도시한 평면 구성도이다.
도 21은 도 20의 우측면 구성도이다.
도 22는 도 18에 도시된 분사부재 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이다.
도 23은 도 22의 일부 발췌 정면도이다.
도 24는 도 22의 측면도이다.
도 25는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 분사부재의 작동을 설명하기 위한 개념도이다.
도 26은 도 18에 도시된 린스 부재 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이다.
도 27은 도 26의 우측면 구성도이다.
도 28은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 29는 도 28에 도시된 클리닝 모듈의 플로트 유리의 이송을 위한 구성요소들을 발췌 도시한 평면도이다.
도 30은 도 29에 대응되는 도 28의 정면 구성도이다.
도 31은 도 29에 대응되는 도 28의 측면 구성도이다.
도 32는 도 29의 "A" 부위를 확대 도시한 도면이다.
도 33은 도 30의 "B" 부위를 확대 도시한 도면이다.
도 34는 도 28의 세정제 공급부재 부위를 발췌 도시한 측면도이다.
도 35는 도 28에 도시된 클리닝 모듈에 설비된 디스크 부재와 롤러 부재, 및 구동 메커니즘을 발췌 도시한 평면도이다.
도 36은 도 35에 대응되는 도 28의 정면 구성도이다.
도 37은 도 35에 대응되는 도 28의 측면 구성도이다.
도 38은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 클리닝 모듈의 디스크 부재의 디스크들의 배치 상태를 개략적으로 도시한 평면 구성도이다.
도 39는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 클리닝 모듈의 디스크 부재의 디스크들의 구동 방식을 설명하기 위한 디스크 부재의 제1 디스크 어레이 부위를 부분 발췌 도시한 측면도이다.
도 40은 도 39의 "C" 부분의 확대도이다.
도 41은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 42는 도 41의 일부 구성요소를 발췌 도시한 평면도이다.
도 43은 15의 정면도이다.
도 44는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 린싱 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 45는 도 44에 도시된 린싱 모듈의 플로트 유리의 이송을 위한 구성요소들을 발췌 도시한 평면도이다.
도 46은 도 45에 대응되는 도 44의 정면 구성도이다.
도 47는 도 45에 대응되는 도 44의 측면 구성도이다.
도 48는 도 45의 "A" 부위를 확대 도시한 도면이다.
도 49은 도 46의 "B" 부위를 확대 도시한 도면이다.
도 50은 도 44에 도시된 린싱 모듈의 고압 분사부재 부위를 발췌 도시한 평면도이다.
도 51은 도 50의 정면도이다.
도 52는 도 50의 측면도이다.
도 53은 도 44에 도시된 린싱 모듈의 린스 부재 부위를 발췌 도시한 평면도이다.
도 54는 도 53의 정면도이다.
도 55는 도 53의 측면도이다.
도 56은 도 44에 도시된 린싱 모듈의 에어 커튼과 아쿠아 나이프 부위를 발췌 도시한 평면도이다.
도 57는 도 56의 정면도이다.
도 58는 도 57의 "D" 부분의 확대도이다.
도 59은 도 57의 "E" 부분의 확대도이다.
도 60은 도 56의 우측면도이다.
도 61은 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 린싱 모듈의 린싱 챔버의 배치 상태를 개략적으로 우측면도이다.
도 62는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 63은 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 우측면도이다.
도 64는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 플로트 유리의 이송을 위한 구성요소들을 발췌 도시한 평면 구성도이다.
도 65는 도 64의 정면 구성도이다.
도 66은 도 64의 측면 구성도이다.
도 67은 도 66의 "A" 부분의 확대도이다.
도 68은 도 62에 도시된 공기 분사부재 및 배기부재 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이다.
도 69은 도 68의 정면 구성도이다.
도 70은 도 68의 우측면 구성도이다.
도 71은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 우측면 구성도이다.
도 72는 도 71에 도시된 언틸팅 챔버를 발췌 도시한 사시도이다.
도 73은 도 71에 도시된 언틸팅 챔버 내부에 설치되는 피딩 롤러들과 언틸팅 부재 부위를 발췌 도시한 평면도이다.
도 74는 도 73의 우측면 구성도이다.
도 75 내지 도 77은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 드라잉 모듈의 언틸팅 부재의 작동을 각각 설명하기 위한 개념도들이다.
이어지는 상세한 설명에서 사용된 특정의 용어는 편의를 위한 것이지 제한적인 것은 아니다. "우", "좌", "상면" 및 "하면"의 단어들은 참조가 이루어진 도면들에서의 방향을 나타낸다. "내측으로" 및 "외측으로"의 단어들은 각각 지정된 장치, 시스템 및 그 부재들의 기하학적 중심을 향하거나 그로부터 멀어지는 방향을 나타낸다. "전방", "후방", "상방", "하방" 및 그 관련 단어들 및 어구들은 참조가 이루어진 도면에서의 위치들 및 방위들을 나타내며 제한적이어서는 아니된다. 이러한 용어들은 위에서 열거된 단어들, 그 파생어 및 유사한 의미의 단어들을 포함한다.
본 발명의 특정의 예시적 실시예들은 도면들을 참조하여 설명될 것이다. 각각의 도면들에서 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 부여하였다.
도 1은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 개략적인 구성도로서, 모듈들에 설치된 피딩 롤러들의 배치 상태를 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템(500)은 예를 들어, LCD용 베어 글라스(bare glass)와 같이, 플로트법에 의해 성형된 플로트 유리가 절단 공정, 연마 공정을 거친 후 예를 들어, 스테인 클리너(미도시) 등에 의해 1차 세정된 후, - 컨베이어(wet conveyer)(미도시)를 통해 반송되는 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 이물질을 단계별로 세정하기 위한 것이다.
본 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템(500)은 공정 순서에 따라 와싱 모듈(100), 클리닝 모듈(200), 린싱 모듈(300) 및 드라잉 모듈(400)을 구비한다. 여기서, 모듈이라 함은 플로트 유리 세정 시스템(500)을 구성하는 각각의 구성요소들의 구획을 정하는 것으로 이해할 수도 있고, 별도의 장치, 장비, 설비, 배치, 구조, 서브 시스템 등의 용어로도 사용될 수 있음을 당업자는 잘 이해할 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 각각의 모듈들(100)(200)(300)(400)은 세정 시스템(500)의 메인 컨트롤러(510)에 의해 제어된다. 메인 컨트롤러(510)는 후술하게 되는 각각의 모듈에서 필요로 하는 구동 모터들, 초순수, 청정 건조 공기의 공급 그와 관련된 적정 공급량의 제어, 센서들의 작동 감지 및 제어, 피딩 롤러들(R)의 구동 및 보정, 워싱 모듈(100)의 내부에서의 피딩 롤러들(R)의 틸팅 및/또는 언틸팅 작업의 제어, 드라잉 모듈(400)의 내부에서의 피딩 롤러들(R)의 언틸팅 작업의 제어, 각종 챔버 내부로부터 발생되는 물의 배출 및/또는 순환 작업의 제어, 각각의 챔버에서 발생되는 공기 등의 배출 작업의 제어, 및 클리닝 모듈에서 필요로 하는 세정액의 공급과 수거와 관련된 제어 동작 등과 같이, - 컨베이어를 통해 워싱 모듈(100)로 반송되는 플로트 유리(G)가 드라잉 모듈(400)의 출구를 통해 배출되기까지 필요한 모든 동작들을 제어한다. 또한, 세정 시스템(500)은 각각의 모듈들의 특이한 조건에 부응하는 작업을 수행하기 위한 서브 컨트롤러들(미도시)을 구비할 수 있음은 당업자에게 자명하다.
와싱 모듈(100)은 - 컨베이어로부터 반송되는 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기의 제1 입자(예, 10마이크로미터 이상)를 제거할 수 있으며, 클리닝 모듈(200)은 와싱 모듈(100)과 인접되게 설치되어 와싱 모듈(100)에 의해 제거되지 않은 그 보다 더 작은 제2 입자(예, 3마이크미터 이상)를 세정제를 이용하여 유,무기 세정할 수 있으며, 린싱 모듈(300)은 클리닝 모듈(200)의 다음에 배치되어 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 가장 작은 제3 입자(0.2 마이크미터 이상)를 제거할 수 있으며, 드라잉 모듈(400)은 린싱 모듈(300)로부터 완벽히 세정된 후 반송되는 플로트 유리(G)의 표면을 청정 건조 공기를 이용하여 건조시킬 수 있다.
이하에서는 각각의 모듈들을 구분하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하면, 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈(100)는, 워싱 입구(12)와 워싱 출구(14)가 마련된 워싱 챔버(10), 워싱 챔버(10) 내부에서 이동되는 플로트 유리(G)의 표면을 세척하기 위한 것으로서, 플로트 유리(G)의 적어도 하나의 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기의 입자(예, 대략 10마이크로미터)를 제거하기 위한 아쿠아 나이프(aqua knife)(20)를 구비한다.
워싱 챔버(10)는 플로트 유리(G)의 폭 방향 중심이 양측 가장자리 보다 더 높게 형성된 지붕(3: 도 6 참조)과 측면 벽들(16)에 의해 실질적으로 밀폐되는 구조를 가진다. 워싱 챔버(10)의 지붕(3)의 구조는 워싱 챔버(10) 내부에서 플로트 유리(G)의 표면을 워싱하기 위해 사용되는 물, 수증기 등이 외부로 방출되는 것을 방지하고 지붕(3)의 천정에 고이는 물이 바닥(7: 도 6 참조)으로 떨어지게 하는 기능을 가진다. 워싱 챔버(10)의 내부에는 플로트 유리(G)가 접촉되어 이동될 수 있는 다수의 피딩 롤러들(R)이 설치된다. 또한, 워싱 챔버(10)의 바닥에는 플로트 유리(G)의 표면을 세정한 물을 배출시킬 수 있는 배수구(미도시)가 마련된다.
워싱 챔버(10)의 워싱 입구(12)는 플로트 유리 제조 설비의 연마 공정에서 연마된 후, 수평으로 배치된 로딩용 - 컨베이어(미도시)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)를 공급받기 위한 것으로서, 워싱 챔버(10)의 워싱 입구측 벽면에 플로트 유리(G)가 진입할 수 있을 만큼의 폭과 높이로 지면과 평행하게 형성된다. 한편, 워싱 챔버(10)의 워싱 출구(14)는 후술하는 틸팅 부재(30)가 형성하는 틸팅 각도만큼 지면에 대해 소정 각도 경사지도록 워싱 챔버(10)의 워싱 출구측 벽면에 마련된다. 워싱 챔버(10)의 워싱 출구(14)의 경사 각도는, 대부분의 플로트 유리 세정 시스템이 플로트 유리(G)의 폭 방향으로 경사지게 이송시키면서 플로트 유리(G)를 세정하기 때문에 그러한 경사도에 부응시키기 위한 것이다. 이러한 방식의 경사진 상태에서의 플로트 유리를 세정하게 되면, 세정에 사용되는 물의 배수 효율이 증대되고, 별도의 물을 위한 탱크가 불필요하거나 탱크의 용량을 줄일 수 있으며, 세정 시스템에서 사용되는 세정제 및/또는 물의 량을 줄일 수 있다. 뿐만 아니라, 이러한 경사 세정 방식은, 세정에 사용된 물등이 유리의 표면 장력에 의해 유리 표면에 붙어 있을 가능성이 상대적으로 높은 '수평 세정 방식'에 비해 유리의 경사도에 의해 물등이 자연스럽게 낙하하기 때문에 공정에 있어서 '액절 성능'을 향상시킬 수 있다.
도 3은 도 2에 워싱 챔버 내부의 피딩 롤러 부위를 발췌 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 정면 구성도이고, 도 5는 도 3의 우측면 구성도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 워싱 모듈(100)에 있어서, 워싱 입구(12)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)는 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 경사지게 설치된 다수의 피딩용 오링들(4)을 포함하는 다수의 피딩 롤러들(R)에 의해 워싱 출구(14) 측으로 이송된다.
각각의 피딩 롤러(R)는 피딩 모터들(9)에 의해 회전될 수 있는 피딩 샤프트(2), 및 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 피딩 샤프트(2)의 길이 방향으로 소정 간격 이격되게 배치되며 다수의 피딩용 오링들(4)을 구비한다. 각각의 피딩 샤프트(2)의 양단은 후술하는 제1 및 제2 피딩 브라켓들(6)(8)에 설치된다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 워싱 모듈의 동작을 설명하기 위한 우측면도로서, 샤워기 및 틸팅부재가 작동되고, 피딩 롤러가 경사진 상태를 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 6에 도시된 틸팅 부재를 발췌 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈(100)는 워싱 챔버(10)의 워싱 입구(12)를 통해 수평으로 진입된 플로트 유리(G)를 워싱 챔버(10)의 워싱 출구(14)의 경사도와 동일한 각도로 틸팅시킬 수 있는 틸팅 부재(30)를 구비한다.
틸팅 부재(30)는 피딩 샤프트(2)의 일단이 설치된 제1 피딩 브라켓(6)을 지지할 수 있는 회동축이 마련된 틸팅 베이스(32), 및 피딩 샤프트(2)의 타단이 설치된 제2 피딩 브라켓(8)을 소정 각도로 상,하 회동시킬 수 있는 틸팅 액츄에이터(34)를 구비한다. 틸팅 액츄에이터(34)는 유압 또는 공압 실린더 등이 채택될 수 있다. 틸팅 부재(30)는 틸팅 액츄에이터(34)의 작동에 의해 틸팅 베이스(32)에 지지된 제1 피딩 브라켓(6)을 기준으로 제2 피딩 브라켓(8)이 상승됨으로써, 피딩 샤프트(2)가 기울어지게 함으로써, 피딩 샤프트(2)의 피딩 오링들(4)에 접촉되어 진행되는 플로트 유리(G)를 경사지게 하기 위한 것이다.
대안적 실시예에 있어서, 틸팅 부재(30)는 진행하는 플로트 유리(G)의 일측면 하방에 설치된 에어 플로터에 의해 플로트 유리(G)의 한 측면을 경사지게 하거나, 플로트 유리를 지지하는 오링들의 크기를 서로 다르게 함으로써 플로트 유리를 경사지게 할 수도 있다.
한편, 틸팅 부재(30)에 의해 플로트 유리(G)가 경사지는 각도 즉, 틸팅 각도(θ)는 5°~8°인 것이 바람직하다. 틸팅 부재(30)의 경사 각도(θ)가 5° 보다 작으면 틸팅의 효율이 반감되고, 8°보다 큰 경우에는 플로트 유리(G)의 낮은 측부분보다 높은 측 부분이 더 빨리 건조될 위험성이 있다.
틸팅 부재(30)는 워싱 챔버(10)에 설치된 모든 피딩 롤러들(R)을 동시에 경사지게 할 수도 있지만, 본 실시예에서는, 다수의 피딩 롤러들(R)을 시간 및 공간적으로 서로 분리시켜 작동시킬 수 있는 소위, '분할 틸팅' 방식을 채용한다. 즉, 분할 틸팅 방식은 수평 상태로 진입된 플로트 유리를 경사 상태로 전환하는 과정에서 발생되는 '택 타임'을 최소화시키기 위한 것이다. 즉, 틸팅 작업을 위해 워싱 모듈(100)에서 플로트 유리(G)의 이송의 중단시킴으로써, 전체 작업 속도가 느려지는 것을 방지하기 위한 것이다.
워싱 챔버(10) 내부의 피딩 롤러들(R)은 서로 분리된 5개의 틸팅 영역들(TA1~TA5)로 구획되어 배치된다. 각각의 틸팅 영역(TA1~TA5)은 서로 소정 간격 이격된 6개의 피딩 롤러들(R)이 양단에 설치된 제1 피딩 브라켓(6)과 제2 피딩 브라켓(8)을 구비한다. 또한, 틸팅 부재(30)는 각각의 틸팅 영역(TA1~TA5)에 존재하는 각각의 틸팅 베이스(32) 및 틸팅 액츄에이터(34)를 구비한다. 또한, 틸팅 부재(30)는 각각의 틸팅 영역(TA1~TA5)에 배치된 틸팅 센서들(35)을 구비한다. 틸팅 센서(35)는 발광부(31)와 수광부(33)를 구비한다. 각각의 틸팅 센서(35)는 틸팅 베이스(32)를 기준으로 틸팅 엑츄에이터(34)가 피딩 롤러(R)를 기울이는 과정에서 피딩 롤러(R)가 미리 결정된 각도에 도달할 경우, 틸팅 액츄에이터(34)의 작동을 멈추게 하기 한 것이다.
통상의 틸팅 방식을 채택하는 세정 시스템의 경우, 틸팅을 위해 플로트 유리의 이송을 멈출 필요가 있는가 하면, 플로트 유리의 이송과정에서 플로트 유리를 가,감속시키는 과정이 필연적으로 수반되므로, 이러한 과정에서 피딩 샤프트(2)에 설치된 피딩용 오링(4)에 의해 플로트 유리(G)의 표면에 스크래치 등이 발생될 가능성이 높았다. 그러나, 본 실시예에 있어서, 틸팅 부재(30)는 '분할 틸팅'방식을 취함으로써, 통상의 틸팅 방식에 비해 연속적으로 공급되는 플로트 유리들(G)의 이송을 멈추거나, 플로트 유리(G)의 속도의 가감속이 불필요해진다.
이하에서는 도 2에 도시된 틸팅 부재의 작동을 각각 설명하기 위한 도면들인 도 8 내지 도 10를 참조하여 '분할 틸팅'의 구체적인 작동을 설명한다.
도 2 및 도 8에 도시된 바와 같이, 워싱 챔버(10)의 워싱 입구(12)를 통해 플로트 유리(G)가 진입하기 전, 모든 틸팅 영역들(TA1~TA5)은 수평 상태로 유지되기 때문에 각각의 틸팅 영역들(TA1~TA5)에 배치된 피딩 롤러들(R) 역시 수평 상태로 유지된다.
이 상태에서, 플로트 유리(G)가 워싱 챔버(10) 내부로 완전히 진입하는 순간 틸팅 부재(30)를 작동시켜, 5개의 틸팅 영역들(TA1~TA5)에 설치된 틸팅 액츄에이터(34)를 동시에 작동시켜 제2 피딩 브라켓(8)을 상승시킨다. 이 과정에서 발광부(31)와 수광부(33)로 구성된 틸팅 센서(35)는 피딩 롤러(R)의 설정 각도에 따라 틸팅 액츄에이터(34)의 동작을 멈추게 할 수 있다. 또한, 틸팅 부재(30)의 작동 과정은 피딩 롤러들(R)을 계속해서 회전시키면서 즉, 플로트 유리(G)가 움직이는 과정에서 시행하는 것이 바람직하고, 작업의 정확성 및 안정성을 위해서 피딩 롤러들(R)의 회전을 일시 정지시켜 플로트 유리(G)의 이송 작업을 멈춘 상태에서 시행하는 것도 가능하다.
그러면, 도 6, 도 7, 및 도 9에 도시된 바와 같이, 모든 틸팅 영역들(TA1~TA5)에 설치된 피딩 롤러들(R)은 틸팅 베이스(32)를 기준으로 틸팅 액츄에이터(34)가 상승되어 제1 피딩 브라켓(6)보다 제2 피딩 브라켓(8)이 상승되면서 피딩 샤프트(2)가 경사지게 되면서, 플로트 유리(G) 역시 경사를 형성한다.
이 상태에서 피딩 롤러들(R)을 구동시키면, 도 10에 도시된 바와 같이, 플로트 유리(G)는 워싱 챔버(10)의 워싱 출구(14)를 통해 빠져나간다. 이 과정에서, 각각의 틸팅 영역(TA)은 플로트 유리(G)의 이송 끝단(Gt)의 접촉이 해제되는 순간 개별적으로 하강하도록 제어된다. 도 10를 참조하면, 예를 들어, 플로트 유리(G)의 이송 끝단(Gt)이 제3 틸팅 영역(TA3)에 걸쳐 있으므로, 제3 내지 제5 틸팅 영역들(TA3~TA5)은 여전히 상승된 상태로 플로트 유리(G)의 이송을 가이드하고 있지만, 제1 틸팅 영역(TA1)과 제2 틸팅 영역(TA2)은 하강되어 수평 상태를 유지하면서 연속해서 공급되는 다음의 플로트 유리(G)를 가이드할 준비를 한다. 또한, 틸팅 액츄에이터(34)가 하강되어 피딩 롤러들(R)이 수평 상태를 유지하고 있는 제1 틸팅 영역(TA1)의 경우 워싱 입구(12)를 통해 새로운 플로트 유리(G)가 진입되고 있음을 알 수 있다. 새로운 플로트 유리(G)가 제5 틸팅 영역(TA5)까지 진입하게 되면 전술한 바와 같이, 플로트 유리(G)의 진행과 동시에 모든 틸팅 영역들(TA1~TA5)이 동시에 상승되어 패스 라인을 통해 클리닝 모듈로 진행하는 과정을 반복한다.
도 2 내지 4를 참조하면, 전술한 바와 같이, 플로트 유리(G)는 워싱 챔버(10) 내부에서 틸팅 부재(30)에 의한 기울어질 뿐만 아니라, 경사진 상태로 이송될 필요성이 있기 때문에, 워싱 챔버(10)는 틸팅 베이스(32) 부근의 플로트 유리(G)의 사이드(GS)의 위치를 확인할 수 있는 다수의 센서들(37), 및 이동되는 플로트 유리(G)의 위치를 보정하기 위해 센서들(37)과 연동하여 작동될 수 있는 다수의 얼라이너들(39)를 구비한다. 여기서, 각각의 틸팅 영역(TA1~TA5)은 하나의 얼라이너(39)를 구비한다. 각각의 센서(37)는 플로트 유리(G)의 일측 사이드(GS)에 접촉되어 회전될 수 있는 센싱 롤러를 포함한다. 얼라이너(104)는 플로트 유리(G)의 하면에 접촉되어 회전되도록 설치되고, 서로 간격 조절이 가능하며 플로트 유리(G)에 접촉되게 설치된다. 또한, 필요에 따라 플로트 유리(G)의 타측을 가이드 할 수 있도록 틸팅 액츄에이터(34) 측에 마련된 제2 센서 롤러들(38)을 구비한다. 제2 센서 롤러들(38)은 전술한 센서들(37)과 피딩 롤러(R)의 길이 방향에 대해 중복되지 않고 지그 재그 형태로 배치된다. 또한, 센서들(37)과 제2 센서 롤러들(38)의 위치는 설치 위치는 이동되는 플로트 유리(G)의 사이즈에 따라 변경될 수 있음은 물론이다.
도 11은 도 2에 도시된 아쿠아 나이프 및 에어 커튼 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이고, 도 12는 도 11은 정면 구성도이고, 도 13은 도 11의 우측면 구성도이고, 도 14는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 아쿠아 나이프의 작동을 설명하는 개념도이다.
도 2, 도 11 내지 도 14를 참조하면, 전술한 바와 같이, 아쿠아 나이프(20)는 플로트 유리(G)가 워싱 챔버(10)의 워싱 입구(12)를 통해 진입하여 워싱 출구(14)를 통해 배출되는 동안 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 대략 10마이크로미터 이상의 입자를 제거하기 위한 것이다.
아쿠아 나이프(20)는 다수의 틸팅 영역들(TA) 중 한 영역(예, 제2 틸팅 영역(TA2))에 배치된다. 이 경우, 아쿠아 나이프(20)는 제2 틸팅 영역(TA2)을 형성하는 제1 틸팅 브라켓(6)과 제2 틸팅 브라켓(8)에 각각 마련된 아쿠아 나이프 서포트들(22) 사이에 설치된다. 따라서, 피딩 롤러(R)의 틸팅 동작을 위해 틸팅 부재(30)가 작동되면, 피딩 롤러(R) 및 후술하게 될 샤워기(50)와 함께 아쿠아 나이프(20)도 동시에 틸팅 및 언틸팅될 수 있다.
아쿠아 나이프(20)는 플로트 유리(G)의 폭 방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 노즐(24)이 형성된 아쿠아 본체(26), 연결관들(28)에 아쿠아 본체(26)에 연결되고 입구 포트(21)가 마련된 공급 파이프(23)를 구비한다. 또한, 아쿠아 나이프(20)는 플로트 유리의 진행 방향의 상,하부 중 적어도 일면 이상에 배치된다. 아쿠아 나이프(20)의 슬릿 타입 노즐(24)은 플로트 유리(G)의 진행 방향을 향하여 0° 내지 90° 각도(α1)로 경사지는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 0° 내지 45°각도로 경사져 있다. 아쿠아 나이프(20)의 슬릿 타입 노즐(24)을 플로트 유리(G)의 진행 방향을 향하여 전술한 각도(α1)만큼 기울어지게 배치하는 것은, 워싱 입구(12) 쪽을 향하여 물이 튀는 현상을 방지하기 위한 목적도 함께 가진다.
아쿠아 나이프(20)의 노즐(24)을 슬릿 타입으로 구성하게 되면, 노즐(24)로부터 분출되는 물줄기의 균일도가 높아지고 물줄기가 갈라지게 될 위험이 더욱 적어지게 된다. 이를 위해, 아쿠아 나이프(20)의 슬릿 타입 노즐(24)은 분사되는 물의 균일도(uniformity)를 대략 90% 이상으로 유지시킬 수 있고, 분사되는 물의 유량이 적은 경우에도 물줄기가 갈라지지 않는 구조를 가진다 슬릿 타입 노즐(24)에 마련된 슬릿의 폭은 대략 0.1mm 내지 대략 0.2mm인 것이 좋고, 더욱 바람직하게는 0.15mm이다.
아쿠아 나이프(20)의 설치에 있어서, 피딩 롤러(R)에 의하여 이송되는 플로트 유리(G)의 상면과 노즐(24) 끝단 사이의 간격(h1)은 대략 15mm 이내인 것이 바람직하다. 만약, 이러한 간격(h1)이 너무 커지게 되면 아쿠아 나이프(20)로부터 분출되는 물의 균일도가 떨어지게 되고, 플로트 유리(G)의 표면에 원하는 균일한 압력을 유지하기 어려워지기 때문이다.
도 2, 도 6, 도 11 내지 도 13를 참조하면, 워싱 모듈(100)은 워싱 챔버(10)의 내부와 외부 사이를 구획하기 위해 워싱 입구(12)를 기준으로 상,하부에 대칭되게 배치되도록 측벽(16)에 설치된 한 쌍의 에어 커튼(40)을 구비한다. 에어 커튼(40)은 각각 워싱 입구(12)의 중심측으로 소정 압력의 공기를 분사하여 공기막을 형성함으로써, 그러한 공기막에 의해 워싱 챔버(10) 내부의 물방울 등이 워싱 입구(12)를 통해 외부로 빠져나가거나 외부의 이물질이 워싱 입구(12)를 통해 워싱 챔버(10) 내부로 유입되는 것을 차단하기 위한 것이다.
에어 커튼(40)은 외부로부터 공기를 공급받을 수 있는 공급 포트(42)가 마련된 공급 파이프(44), 워싱 챔버(10)의 워싱 입구(12) 측 내벽면(16)에 각각 설치되어 공기를 분사할 수 있는 에어 배출부(46), 및 공급 파이프(44)와 에어 배출부(46)를 연결하는 연결 통로(48)를 구비한다.
도 15는 도 2에 도시된 샤워기 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이고, 도 16은 도 15의 정면 구성도이고, 도 17은 도 15의 우측면 구성도이다.
도 2, 도 6, 및 도 15 내지 도 17을 참조하면, 본 실시예에 따른 워싱 모듈(100)은 워싱 챔버(10) 내부의 다수의 틸팅 영역들(TA2~TA5) 중 워싱 입구(12)와 인접한 제1 틸팅 영역(TA1)을 제외한 제2 내지 제5 틸팅 영역(TA2~TA5)의 대략 중앙 지점에는 플로트 유리(G)의 상,하면에 물을 분사할 수 있도록 피딩 롤러들(R)과 실질적으로 평행한 방향으로 설치된 4개의 샤워기들(50)을 구비한다. 각각의 샤워기(50)는 플로트 유리(G)가 아쿠아 나이프(20)에 의해 세정된 후에 플로트 유리(G)에 남아 있는 다른 입자를 추가적으로 제거하고, 플로트 유리(G) 표면에 어느 정도의 수분을 제공하여 건조되는 것을 방지하기 위한 것이다.
각각의 샤워기(50)는 플로트 유리 세정 시스템에서 사용되었던 초순수 상당의 물 또는 공장의 메인 유틸리티(미도시)로부터 공급되는 초순수를 공급 받을 수 있는 입구 포트(52)와 다수의 샤워 노즐들(54)이 마련된 파이프 형태의 샤워기 본체(56), 샤워기 본체(56)의 양단을 지지할 수 있도록 대응되는 제1 및 제2 피딩 브라켓들(6)(8)에 설치된 본체 지지체(58)를 구비한다. 따라서, 틸팅 부재(30)가 작동되면, 피딩 롤러(R)와 함께 샤워기(50)도 동시에 경사지게 된다. 또한, 아쿠아 나이프가 적용된 제2 틸팅 영역(TA2)의 경우, 틸팅 부재(30)가 작동되면, 피딩 롤러(R), 전술한 아쿠아 나이프(20), 및 샤워기(50)가 동시에 경사지게 된다.
도 6을 참조하면, 워싱 모듈(100)의 워싱 챔버(10)는 챔버 서포트(90)에 의해 평행하게 배치된다. 챔버 서포트(90)는 이동 가능한 워싱 챔버(10)의 이동을 위한 다수의 이동 휠들(91), 워싱 챔버(10)의 위치 고정을 위한 다수의 서포트들(92), 유지, 보수를 위해 작업자 등이 통과할 수 있는 측면 통로들(93), 작업자의 안전을 위한 측면 가이드들(94), 및 워싱 챔버(10)의 바닥을 지탱하기 위한 지지 프레임들(95)을 구비한다.
본 발명의 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈의 동작을 설명하면 다음과 같다. 여기서, 플로트 유리의 틸팅 과정은 전술한 바와 같으므로 틸팅 동작은 중복되지 않는 범위내에서 설명하기로 한다.
먼저, 피딩 롤러들(G)이 수평으로 유지되어 회전되는 상태에서 플로트 유리(G)가 워싱 챔버(10)의 워싱 입구(12)를 통해 공급되면, 플로트 유리(G)는 피딩 롤러들(R)의 구동력에 의해 소정 속도로 이송된다. 이러한 이송 과정에서 플로트 유리(G)의 상,하면에 존재하는 대략 10마이크로미터 이상의 불순물은 제2 틸팅 영역(TA2)에 설치된 아쿠아 나이프(20)의 슬릿 타입 노즐(26)로부터 분사되는 소정 압력의 물에 의해 제거된다. 한편, 플로트 유리(G)는 제2 틸팅 영역(TA2) 내지 제5 틸팅 영역(TA5)을 거치는 동안 샤워기(50)의 샤워 노즐(54)로부터 분사되는 물에 의해 다시 세정된다.
플로트 유리(G)가 워싱 챔버(10) 내부로 완전히 진입하게 되는 순간, 틸팅 부재(30)가 동시에 작동되어 모든 틸팅 영역들(TA1~TA5)을 동시에 틸팅시켜, 플로트 유리(G)를 소정의 기울기로 경사지게 한다.
다음, 세정이 완료된 플로트 유리(G)는 워싱 출구(14)를 통해 배출되고, 새로운 플로트 유리(G)가 워싱 입구(12)를 통해 공급된다.
도 18은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈에 사용되는 제2 챔버를 발췌 도시한 사시도이고, 도 19은 도 18의 우측면도이다. 도 2 내지 도 17에서 설명된 참조부호와 동일한 구성요소는 동일한 기능을 가진 동일부재이다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 본 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 워싱 모듈(100')의 제2 챔버(70)는 전술한 실시예의 워싱 챔버(10)에 인접하게 배치된다. 제2 챔버(70)의 내부에는 워싱 챔버(10)의 아쿠아 나이프(20)에 의해 세정된 플로트 유리(G)의 표면을 추가적으로 워싱하기 위해 물과 공기가 혼합된 2류체를 분사할 수 있는 분사부재(60), 제2 출구(74)를 통해 플로트 유리(G)가 배출되기 전에 플로트 유리(G)의 표면을 씻어낼 수 있는 린스 부재(80), 및 제2 입구(72) 부근과 제2 출구(74) 부근에 각각 설치된 에어 커튼(미도시)을 구비한다.
제2 챔버(70)는 워싱 챔버(10)의 워싱 출구(14)와 동일한 사이즈 및 각도로 경사지게 형성된 제2 입구(72) 및 제2 출구(74)를 구비하고, 내부에는 다수의 피딩 롤러들(R)이 배치된다. 제2 챔버(70) 내부에 배치되는 피딩 롤러들(R)은 전술한 각도와 동일한 각도(θ: 예, 5°~8°)로 경사지게 배치된다. 이를 위해, 제2 챔버(70)는 전술한 실시예의 챔버 서포트(90)와 다른 구조의 챔버 서포트(96)를 구비한다.
도 19에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 챔버 서포트(96)는 제2 챔버(70)의 바닥을 지지하기 위한 지지 프레임들(97a, 97b, 97c)의 높이가 서로 다르게 구성된다. 즉, 도 18의 좌측에서 우측으로 갈수록 지지 프레임들(97a, 97b, 97c)의 높이가 높아지도록 구성함으로써, 제2 챔버(70)의 우측이 좌측보다 높게 유지시킨다. 따라서, 제2 챔버(70)의 제2 입구(72)와 제2 출구(74)는 제2 챔버(70)의 바닥면과 평행하게 형성되지만, 제2 챔버(70)의 바닥면이 지지 프레임들(97a, 97b, 97c)에 의해 경사지게 지지됨으로써, 제2 챔버(70) 내부에 구성되는 후술하는 모든 구성요소들이 비록 제2 챔버(70)의 바닥면에 대해 평행하게 배치되어 있지만, 제2 챔버(70) 내부의 플로트 유리(G)는 경사진 상태로 제2 입구(72)를 통해 진입하고, 경사진 상태로 제2 출구(74)를 통해 배출될 수 있다.
도 20은 도 18에 도시된 피딩 롤러들을 발췌 도시한 평면 구성도이고, 도 21은 도 20의 우측면 구성도이다.
도 18, 도 20, 및 도 21을 참조하면, 전술한 실시예와 유사하게, 제2 챔버(70) 내부에는 플로트 유리(G)를 이송시킬 수 있도록 다수의 피딩용 오링들(4)이 마련되고 구동 모터(71)에 의해 회전 가능한 피딩 샤프트(2)를 구비하는 피딩 롤러들(R)이 소정 간격으로 배치된다.
또한, 후술하는 분사부재(60)에 의한 마찰력에 의해 플로트 유리(G)가 감속되는 경우를 대비하여, 제2 챔버(70)는 플로트 유리(G)의 가장자리 상면에 각각 접촉되도록 배치된 2개의 피딩 보강 롤러들(76)을 포함하는 피딩 보강부재(78)를 구비한다.
각각의 피딩 보강 롤러들(76)은, 플로트 유리(G)의 하면에 접촉되어 회전되는 통상의 피딩 롤러(R)와 달리, 플로트 유리(G)의 상면에 피딩 롤러(R)의 피딩용 오링(4)과 동시에 접촉되어 시스템이 요구하는 플로트 유리(G)의 속도 조건을 만족시키고 분사부재(60)의 분사 압력 특히, 배치 방향에 의해 플로트 유리(G)의 슬립 발생 또는 속도 저하 가능성을 차단시키기 위한 것이다.
전술한 바와 같이, 피딩 보강부재(78)는 플로트 유리(G)의 양측 가장자리의 상면에 접촉되어 회전될 수 있으며, 서로 소정 간격(예, 분사부재(60)가 위치될 수 있는 간격) 이격 배치된 2개 피딩 보강 롤러들(76)을 구비한다. 각각의 피딩 보강 롤러(76)는 피딩 샤프트(2)의 양측 끝단들에 설치되고 하측의 피딩용 오링(4)과 대칭되게 설치된 한 쌍의 보강용 오링들(77)을 포함한다. 보강용 오링(77)의 설치 위치는 플로트 유리(G)의 품질에 영향을 미치지 않도록 플로트 유리(G)의 양측 가장자리에 접촉될 수 있도록 설정된다. 즉, 피딩 롤러들(R) 및 피딩 보강부재(78)는 워싱 모듈(100')가 제2 챔버(70) 내부에서 필요한 속도로 플로트 유리(G)를 안정되게 이송시킬 수 있다. 또한, 제2 챔버(70)는 전술한 실시예의 다수의 센서들(37), 하나의 얼라이너(39)를 구비한다.
도 22는 도 18에 도시된 분사부재 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이고, 도 23은 도 22의 일부 발췌 정면도이고, 도 24는 도 22의 측면도이고, 도 25는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 분사부재의 작동을 설명하기 위한 개념도이다.
도 18, 도 22 내지 도 25를 참조하면, 분사부재(60)는 물과 공기가 혼합된 상태의 고압 2류체를 플로트 유리(G)의 표면에 그 폭방향으로 각각 분사할 수 있고, 서로 나란하게 설치된 제1 분사기(62)와 제2 분사기(64)를 구비한다. 제1 분사기(62)와 제2 분사기(64)는 플로트 유리(G)의 상,하부 양측에 한 쌍으로 배치된다. 제1 분사기(62)와 제2 분사기(64)의 공기의 분사 압력은 0~10 kg/cm2이다. 제1 및 제2 분사기(62)(64)의 공기 분사 압력이 10 kg/cm2을 넘게 되면, 플로트 유리(G)의 이송에 문제가 발생할 수도 있고, 2류체의 강한 압력에 플로트 유리(G)가 손상될 염려도 있다.
제1 및 제2 분사기들(62)(64)은 외부로부터 물과 공기를 각각 공급받을 수 있는 물 공급 포트(61a)와 공기 공급 포트(61b)를 구비한다. 도 24에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 분사기들(62)(64)은 내부에 2개의 유로들(63a)(63b)이 마련되고 끝단에 슬릿 타입의 노즐부(63c)를 가진 노즐 본체(65)를 가진다. 제1 및 제2 분사기(62)(64)는 플로트 유리(G)의 진행 방향에 대향되는 방향으로 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치된다. 이와 같이, 제1 및 제2 분사기(62)(64)가 플로트 유리(G)의 진행 방향에 대해 역방향으로 소정 각도 경사지게 배치하게 되면, 플로트 유리(G)가 진행하는 속도에 대한 분사기(62)의 분사 압력의 함수 관계에 의해 플로트 유리(G)의 표면을 보다 정밀하게 세정할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 분사기(62)(64)의 노즐부(63a)를 통해 2류체가 플로트 유리(G)에 분사되면, 2류체에 포함되어 있는 물방울이 터지면서 발생되는 미세한 충격파에 의하여 아쿠아 나이프(20)에 의하여 미처 제거되지 못한 오염 입자가 제거될 수 있다.
도 26은 도 18에 도시된 린스 부재 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이고, 도 27은 도 26의 우측면 구성도이다.
도 18, 도 26 및 도 27을 참조하면, 린스 부재(80)는 플로트 유리(G)의 일면 또는 양면에 초순수를 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 물 분사 노즐들(81)이 마련된 워싱 샤워기(82), 워싱 샤워기(82)을 지지할 수 있는 샤워기 지지체(83)를 구비한다. 린스 부재(80)의 워싱 샤워기(82)는 공장의 메인 유틸리티(미도시)로부터 공급되는 초순수(예, 18 ㏁) 또는 린싱 모듈(300)에서 사용된 물을 공급받기 위한 입구 포트(84)가 마련된다. 샤워기 지지체(83)는 플로트 유리(G)의 진행 방향을 따라 제2 챔버(70)의 양측 사이드들에 배치된 한 쌍의 샤워기 브라켓들(85)과, 워싱 샤워기(82)를 고정 지지할 수 있는 지지 프레임(86), 지지 프레임(86)을 샤워기 브라켓들(85)에 연결하기 위한 프레임 컨넥터들(87)를 구비한다.
한편, 제2 챔버(70)의 제2 입구(72)와 제2 출구(74)에는 전술한 실시예의 에어 커튼(40)과 동일한 구조와 동일한 기능을 가진 에어 커튼들이 마련된다.
도 28은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 28을 참조하면, 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈(200)은, 클리닝 입구(112)와 클리닝 출구(114)가 마련된 클리닝 챔버(110), 클리닝 챔버(110) 내부에서 이동되는 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기(예, 대략 3마이크로미터 이상)의 입자를 화학적으로 클리닝하기 위한 세정제 공급부재(120), 플로트 유리(G)의 표면을 물리적으로 각각 클리닝하기 위해 다수의 디스크들(D1)(D2)을 가진 디스크 부재(130) 및 제1 클리닝 롤러들(142)과 제2 클리닝 롤러들(144)을 가진 롤러 부재(140)를 구비한다.
클리닝 챔버(110)는 플로트 유리(G)의 폭 방향 중심이 양측 가장자리 보다 더 높게 형성된 지붕(111: 도 31 참조)과 측면 벽들(116)에 의해 실질적으로 밀폐되는 구조를 가진다. 클리닝 챔버(110)의 경사진 지붕 구조는 클리닝 챔버(110) 내부에서 플로트 유리(G)의 표면을 클리닝하기 위해 사용되는 물, 세정액 등이 외부로 방출되는 것을 방지하고 지붕에 고이는 물이 바닥으로 떨어지게 하는 기능을 가진다. 클리닝 챔버(110)의 내부에는 플로트 유리(G)가 접촉되어 이동될 수 있는 다수의 피딩 롤러들(R)이 설치된다. 또한, 클리닝 챔버(110)의 바닥에는 플로트 유리(G)의 표면을 클리닝한 물과 세정액을 배출시킬 수 있는 배수구(113:도 31 참조)가 마련된다.
클리닝 챔버(110)의 클리닝 입구(112)는 플로트 유리 제조 설비의 연마 공정에서 연마된 후, 워싱 모듈(미도시)에 의해 플로트 유리 표면의 소정 크기의 입자가 제거된 후 경사진 상태로 공급되는 플로트 유리(G)를 공급받기 위한 것으로서, 클리닝 챔버(110)의 입구측 벽(116)에 플로트 유리(G)가 진입할 수 있을 만큼의 폭과 높이를 가지며 수평면에 대해 소정 각도(θ: 예, 5°~8°)로 경사지게 형성되어 있다. 한편, 클리닝 챔버(110)의 클리닝 출구(114) 역시 클리닝 입구(114)의 경사 각도와 동일하게 경사지도록 출구측 벽(116)에 마련된다. 따라서, 플로트 유리(G)는 클리닝 입구(112) 및 클리닝 출구(114)와 동일한 경사 각도로 클리닝 챔버(110) 내부에서 이송된다. 이러한 방식은 플로트 유리(G)가 대면적화됨에 따른 플로트 유리를 경사지게 이송시킴으로써 세정 공정에서 사용되는 물 및/또는 세정제의 사용량을 줄이고자 하는 '액절 성능'을 향상시키기 위한 것이다.
도 29는 도 28에 도시된 클리닝 모듈의 플로트 유리의 이송을 위한 구성요소들을 발췌 도시한 평면도이고, 도 30은 도 29에 대응되는 도 28의 정면 구성도이고, 도 31은 도 29에 대응되는 도 28의 측면 구성도이다. 도 28에서 설명된 참조부호와 동일한 구성요소는 동일한 기능을 가진 동일부재이다.
도 28 내지 도 31을 참조하면, 본 실시예에 따른 클리닝 모듈(200)에 있어서, 클리닝 입구(112)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)는 전술한 바와 같이, 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 경사지게 설치된 다수의 피딩용 오링들(4)을 포함하는 다수의 피딩 롤러들(R)에 의해 클리닝 출구(114) 측으로 이송된다.
각각의 피딩 롤러(R)는 피딩 모터들(106)(108)에 의해 플로트 유리(G)의 하부에서 회전될 수 있는 피딩 샤프트(2), 및 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 피딩 샤프트(2)의 길이 방향으로 소정 간격 이격되게 배치된 다수의 피딩용 오링들(4)을 구비한다.
또한, 후술하는 디스크 부재(130) 및 롤러 부재(140)에 의한 마찰력에 의해 플로트 유리(G)가 감속되는 경우를 대비하여, 클리닝 챔버(110)는 이송 보완부재(150)를 구비한다. 이송 보완부재(150)는 플로트 유리(G)의 상,하면에 각각 접촉되도록 배치된 5쌍의 PVA 더블 롤러들(151~155)을 포함한다. 클리닝 챔버(110) 내부에 각각 설치된 피딩 롤러들(R) 및 이송 보완부재(150)는 클리닝 모듈(200)가 필요한 속도로 플로트 유리(G)를 안정되게 이송시키는 기능을 가진다. 이송 보완부재(150)의 설치 장소는 후술하는 디스크 부재(130) 및/또는 롤러 부재(140)의 설치 장소 및 디스크 접촉부 또는 롤러 접촉부의 재질에 따라 다양하게 변형될 수 있다. 이송 보완부재(150)의 구동 속도 역시 이러한 조건들에 따라 변경될 수 있음을 당업자는 잘 이해할 것이다. 도 29 및 도 30의 참조부호 106 및 108은 피딩 롤러(R)를 구동하기 위한 피딩 롤러 구동 모터들을 나타낸다.
도 32는 도 29의 "A" 부위를 확대 도시한 도면이고, 도 33은 도 30의 "B" 부위를 확대 도시한 도면이다.
도 29, 도 32, 및 도 33에 도시된 바와 같이, 플로트 유리(G)는 이송 방향의 양 측면 중 어느 한 측면이 다른 측면보다 낮게 유지된 '사행' 상태로 이송되기 때문에, 클리닝 챔버(110)는 낮은 측의 플로트 유리(G)의 사이드(GS)의 위치를 확인할 수 있는 다수의 센서들(102), 및 센서들(102)과 연동하여 이동되는 플로트 유리(G)의 위치를 보정하기 위해 클리닝 입구(112)와 클리닝 출구(114)에 각각 인접된 설치된 두 개의 얼라이너들(104)를 구비한다. 각각의 센서(102)는 플로트 유리(G)의 일측 사이드(GS)에 접촉되어 회전될 수 있는 센싱 롤러를 포함한다. 얼라이너(104)는 플로트 유리(G)의 하면에 접촉되어 회전되도록 설치되고, 서로 간격 조절이 가능하며 플로트 유리(G)에 접촉되게 설치된다.
도 34는 도 28의 세정제 공급부재 부위를 발췌 도시한 측면도이다.
도 28 및 도 34를 참조하면, 본 실시예에 따른 클리닝 모듈(200)에 있어서, 세정제 공급부재(120)는 플로트 유리(G)가 이송되는 상태에서 플로트 유리(G)의 상,하면 양측에서 각각 세정액을 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 세정액 분사 노즐들(122)이 마련된 6쌍의 세정액 샤워기들(124)을 구비한다.
각각의 세정액 샤워기(124)는 디스크 부재들(130)의 전,후 및 그 사이, 롤러 부재(140)의 사이 및 후방에서 플로트 유리(G)의 폭방향으로 길게 배치된 한 쌍의 대응되는 제1 및 제2 파이프들(126)(128)을 구비한다. 제1 파이프(126)의 상면과 제2 파이프(128)의 하면에는 미도시된 세정액 저장 탱크로부터 각각 세정액을 공급받기 위한 세정액 입구 포트들(121)이 마련되고, 제1 파이프(126)의 하면과 제2 파이프의 상면에는 각각 세정액을 분사하기 위한 세정액 분사 노즐들(122)이 마련된다. 세정액은 초순수에 의해 희석된 알칼리계 조성물을 포함하고, 알칼리 조성물은 예를 들어, 폴리포타슘 포스페이트 25-30%중량, MGDA 메틸 글리시네디아세테이트(gycinediacetate) 10-25%중량, 포타슘 하이드록사이드 0.5-3%중량, 하이드록시폴리 3-5%중량으로 혼합된 액제를 포함한다.
세정제 공급부재(120)의 세정액 샤워기들(124)은 플로트 유리(G)의 진행 방향에 있어서 디스크 부재(130) 및/또는 롤러 부재(140)보다 앞쪽에 설치된다. 따라서, 클리닝 챔버(110) 내부에서 플로트 유리(G)가 진행하게 되면, 플로트 유리(G)의 표면은 세정액 샤워기(124)에 의해 세정액이 먼저 분사되고, 그 상태에서 디스크 부재(130) 및/또는 롤러 부재(140)는 마찰력에 의해 플로트 유리(G)의 표면을 클리닝하게 된다.
도 35는 도 28에 도시된 클리닝 모듈에 설비된 디스크 부재와 롤러 부재, 및 구동 메커니즘을 발췌 도시한 평면도이고, 도 36은 도 35에 대응되는 도 28의 정면 구성도이고, 도 37은 도 35에 대응되는 도 28의 측면 구성도이고, 도 38은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 클리닝 모듈의 디스크 부재의 디스크들의 배치 상태를 개략적으로 도시한 평면 구성도이다.
도 28 및 도 35 내지 도 38을 참조하면, 전술한 바와 같이, 디스크 부재(130)는 플로트 유리(G)의 상,하면 모두에 동시에 접촉되어 회전할 수 있는 다수의 디스크들(D1)(D2)을 포함한다. 즉, 디스크 부재(130)는 플로트 유리(G)의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 서로 미리 결정된 간격으로 플로트 유리(G)의 폭방향으로 나란하게 배치된 다수의 제1 디스크들(D1)을 포함하는 한 쌍의 제1 디스크 어레이(132), 및 플로트 유리(G)의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 서로 미리 결정된 간격으로 플로트 유리(G)의 폭방향으로 나란하게 배치된 다수의 제2 디스크들(D2)을 포함하는 제2 디스크 어레이(134)를 구비한다. 여기서, 제2 디스크 어레이(134)와 제2 디스크 어레이(134)는 플로트 유리(G)의 이송 방향으로 소정 간격 이격되게 배치되고, 제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1)과 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2)은 서로 지그 재그로 배치된다. '지그 재그' 배치에 대해서는 단락을 달리하여 설명한다.
제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1)과 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2)의 '지그 재그' 배치는 다음과 같이 정의 된다. 즉, '지그 재그' 배치는 제1 디스크 어레이(132)의 서로 인접하는 제1 디스크들(D1)의 사이의 빈 공간에 대응되는 위치에 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2)이 배치되는 것을 의미한다. 이러한 '지그 재그' 배치는 플로트 유리(G)가 클리닝 챔버(110) 내부에서 진행할 때, 플로트 유리(G)의 상,하면의 일부 영역은 제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1)에 의해 1차적으로 클리닝되고, 제1 디스크들(D1) 사이의 빈 공간에서 클리닝되지 않은 플로트 유리(G)의 상,하면의 나머지 영역은 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2)에 의해 2차적으로 클리닝되게 함으로써, 플로트 유리(G)의 폭 방향 전체 면을 빠짐없이 클리닝하기 위함이다. 따라서, 제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1) 사이의 간격은 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2) 각각의 사이즈보다 작게 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 있어서, 제1 및 제2 디스크 어레이들(132)(134)의 제1 및 제2 디스크들(D1)(D2)은 각각 동일한 사이즈(지름)를 가지고, 제1 디스크들(D1) 사이의 간격은 제2 디스크(D2)의 지름보다 작게 마련되어 있으므로, 플로트 유리(G)가 디스크 부재(130)에 의해 클리닝될 때 제1 디스크(D1)의 가장자리 부분과 제2 디스크의 가장자리 부분에서 일부 중첩되어 클리닝될 수도 있다. 또한, 중첩되는 부분을 최소화할 수 있도록 디스크들(D1)(D2)의 사이즈를 설계할 필요가 있다.
디스크 부재(130)의 제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1)은 제1 디스크 구동 모터들(136)에 의해 구동되며, 디스크 부재(130)의 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2)은 제2 디스크 구동 모터들(138)에 의해 구동된다. 제1 및 제2 디스크 구동 모터들(136)(138)에 의한 제1 및 제2 디스크들(D2)의 구체적인 구동 방식은 후술한다.
롤러 부재(140)는 플로트 유리(G)의 진행 방향에 있어서 디스크 부재(130)에 의해 클리닝된 후의 플로트 유리(G)의 표면을 클리닝하기 위해 디스크 부재(130)와 소정 간격 이격되게 배치된다. 롤러 부재(140)는 한 쌍의 제1 클리닝 롤러들(142) 및 한 쌍의 제2 클리닝 롤러들(144)을 구비한다. 제1 클리닝 롤러들(142)은 제1 클리닝 구동 모터들(146)에 의해 구동되고, 제2 클리닝 롤러들(144)은 제2 클리닝 구동 모터들(148)에 의해 구동된다. 롤러 부재(140)의 제1 및 제2 클리닝 롤러들(142)(144)의 표면은 브러쉬 및/또는 스폰지 타입의 롤러 접촉부를 가지는 것이 바람직하다.
한편, 대안적 실시예에 있어서, 제1 클리닝 롤러들(142)은 브러쉬 구조를 가지고, 제2 클리닝 롤러들(144)은 스폰지 구조를 가지도록 구성될 수도 있으며, 그 반대의 구성도 가능하다.
롤러 부재(140)의 제1 및 제2 클리닝 롤러들(144)의 회전 방향은 서로 동일할 수도 있고 서로 반대 방향일 수도 있다. 또한, 롤러 부재(140)의 제1 및 제2 클리닝 롤러들(142)(144)의 회전은 플로트 유리(G)의 진행 방향에 대해 순방향 또는 역방향일 수도 있다.
전술한 바와 같이, 디스크 부재(130)는 플로트 유리(G)의 진행 방향에 있어서 롤러 부재(140)보다 앞쪽에 배치되는데, 이것은 디스크 부재(130)가 상대적으로 큰 입자들을 클리닝하는 반면 롤러 부재(140)는 상대적으로 작은 입자들을 클리닝하기 때문이다.
도 39는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 클리닝 모듈의 디스크 부재의 디스크들의 구동 방식을 설명하기 위한 디스크 부재의 제1 디스크 어레이 부위를 부분 발췌도시한 측면도이고, 도 40은 도 39의 "C" 부분의 확대도이다.
도 39 및 도 40을 참조하면, 제1 디스크 어레이(132)는 플로트 유리(G)의 상,하면에 각각 배치된 디스크 구동 샤프트(131), 디스크 구동 샤프트(131)와 실질적으로 수직되도록 서로 소정 간격 이격되게 배치되고 각각 디스크 본체(133)가 설치된 다수의 디스크 종동 샤프트들(135), 디스크 구동 샤프트(131)와 디스크 종동 샤프트들(135) 사이의 동력 전달을 위해 서로 맞물리게 설치된 예를 들어, 웜휠과 웜 기어를 포함하는 동력 전달계(137)를 구비한다. 제1 디스크 어레이(132)의 디스크 구동 샤프트(131), 동력 전달계(137)는 실질적으로 직육면체 형상의 디스크 하우징(139)의 내부에 수납되고, 디스크 종동 샤프트들(135)은 디스크 하우징(139)을 관통하여 돌출된다.
한편, 각각의 디스크 본체(133)는 플로트 유리(G)에 접촉될 수 있는 디스크 접촉부(133a)를 구비한다. 이러한 디스크 접촉부(133a)는 플로트 유리(G)의 표면을 실제적으로 클리닝하기 위한 것이다. 전술한 바와 같이, 디스크 접촉부(133a)는 패드 타입, 브러쉬 타입, 스펀지 타입, 및 이들의 조합 형태로 구성될 수 있다. 본 실시예에 따른 디스크 본체(133)의 접촉부(133a)는 브러쉬 타입이 이용된다. 디스크 본체(133)의 디스크 접촉부(133a)를 스폰지 타입으로 구현하는 경우, 스폰지의 빈 공간 속으로 이물질이 개재될 가능성이 크지만, 디스크 본체(133)의 디스크 접촉부(133a)를 브러쉬 타입으로 구현하는 경우 그러한 가능성이 상대적으로 작아진다.
제1 디스크 어레이(132)의 상,하부 제1 디스크들(D1)은 서로 회전 방향이 동일할 수도 있지만 서로 반대로 구동될 수도 있다. 한편, 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2)의 회전 방향은 제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1)의 회전 방향과 동일할 수도 있고 그 반대일 수도 있다. 만약, 디스크 부재(130)의 제1 및 제2 디스크들(D1)(D2)에 있어서, 플로트 유리(G)의 상,하면에 위치된 디스크들(D1)(D2)이 서로 다른 방향으로 회전하는 경우는, 플로트 유리(G)의 상면에 작용하는 모멘트와, 플로트 유리(G)의 하면에 작용하는 모멘트가 서로 상쇄되어, 디스크 부재(130)에 의해 플로트 유리(G)의 위치가 변형되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1)의 회전 방향과 제2 디스크 어레이(134)의 제2 디스크들(D2)의 회전 방향을 반대로 구성하는 경우에도 전술한 회전 모멘트들의 상쇄에 의한 플로트 유리(G)의 얼라이닝 작업이 용이해 질 수 있다.
이와 관련하여, 전술한 바와 같이, 이송 보완부재(150)의 PVA 더블 롤러들(151~155)의 배치 유무 및/또는 설치 개수는 디스크 부재(130)의 디스크들(D1)(D2)의 디스크 접촉부(133a)의 형태 및 롤러 부재(140)의 클리닝 롤러들(142)(144)의 클리닝 접촉부의 형태에 의해 적절하게 선택되는 것이 바람직하다.
클리닝 장치(200)의 린싱 챔버(110)는 챔버 서포트(290)에 경사지게 배치된다. 챔버 서포트(290)는 이동 가능한 다수의 이동 휠들(291), 다수의 서포트들(292), 측면 통로들(293), 측면 가이드들(294), 및 지지 프레임들(295)을 구비한다. 여기서, 지지 프레임(295)은, 도 34에 도시된 바와 같이, 좌측보다 우측이 높게 소정 각도(θ: 예, 5°~8°)로 경사지게 배치된다. 따라서, 클리닝 챔버(110) 내부에 구성되는 피딩 롤러들(R), 세정제 공급부재(120), 디스크 부재(130), 롤러 부재(140), 이송 보완부재(150), 중립 챔버(160), 아쿠아 나이프(170), 에어 커튼(180), 클리닝 입구(112), 및 클리닝 출구(114)는 클리닝 챔버(110)의 바닥과 평행하게 배치되어 있지만, 클리닝 챔버(110)가 지지 프레임(295)에 대해 경사지게 배치되어 있으므로, 클리닝 입구(112)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)는 클리닝 챔버(110) 내부에서 경사진 상태로 이동할 수 있다. 클리닝 챔버(110)를 경사지게 구성하는 이유에 대해서는 전술한 바와 같다.
이하, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 클리닝 챔버(110) 내부의 피딩 롤러들(R)과 이송 보완부재(150)의 PVA 더블 롤러들(151)이 소정의 속도로 회전되도록 설정하고, 세정제 공급부재(120)의 세정액 샤워기들(124)로부터 세정액이 분사시키는 등 클리닝 모듈(200)를 정상적으로 작동시킨다.
이 상태에서, 플로트 유리(G)가 클리닝 챔버(110)의 클리닝 입구(112)를 통해 진입하게 되면, 플로트 유리(G)의 선단은 클리닝 입구(112)에 밀착 배치된 한 쌍의 제1 PVA 더블 롤러들(151) 사이로 진입하게 된다. 그리고, 플로트 유리(G)는 제1 PVA 더블 롤러들(151)의 구동력과 연속 배치된 피딩 롤러들(R)의 회전에 의해 클리닝 출구(114) 측을 향해 이동할 수 있다. 이 과정에서, 세정제 공급부재(120)의 제1 세정액 샤워기(124)는 플로트 유리(G)의 양면(상,하면)에 세정액을 분사한다. 이와 동시에, 디스크 부재(130)의 제1 디스크 어레이(132)의 제1 디스크들(D1)의 회전 동작은 세정액의 세정 작용과 복합되어 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 부유물, 불순물 등의 이물질을 제거할 수 있다. 한편, 제1 디스크 어레이(132)를 통과하기 전 그리고 제2 디스크 어레이(134)를 통과한 후 플로트 유리(G)는 제2 PVA 더블 롤러들(152) 및 제3 PVA 더블 롤러들(153)을 통과하면서 디스크들(D1)(D2)에 의한 속도 저하가 방지될 수 있다.
제2 디스크 어레이(134)를 통과한 플로트 유리(G)는 제3 및 제4 PVA 더블 롤러들(153)(154)에 의해 이송이 촉진되고, 그들 사이에 배치된 제3 세정액 샤워기(124)에 의해 세정액을 공급받은 후 롤러 부재(140)의 제1 클리링 롤러들(142) 사이를 통과하면서 클리닝된다. 제1 클리닝 롤러들(142)을 통과한 플로트 유리(G)는 제4 및 제5 세정액 샤워기들(124)에 의해 세정액을 공급받은 후 제2 클리닝 롤러들(144) 사이를 통과하면서 클리닝된다.
제2 클리닝 롤러들(144)을 통과한 플로트 유리(G)는 제6 세정액 샤워기(124)에 의해 세정액을 공급받은 후 클리닝 챔버(110)의 클리닝 출구(114)를 통해 배출된다.
도 41은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 42는 도 41의 일부 구성요소를 발췌 도시한 평면도이고, 도 43은 32의 정면도이다. 도 28 내지 도 40에서 설명된 참조부호와 동일한 구성요소는 동일한 기능을 가진 동일부재이다.
도 41 내지 도 43을 참조하면, 본 실시예에 따른 클리닝 모듈(200')는, 전술한 실시예의 구성요소들 외에, 플로트 유리(G)의 진행 방향에 있어서 클리닝 챔버(110)의 앞쪽에 설치된 중립 챔버(160), 클리닝 챔버(110)의 클리닝 입구(112) 측의 제1 PVA 더블 롤러(151)와 제1 세정액 샤워기(124) 사이에 설치된 아쿠아 나이프(170), 중립 챔버(160)의 입구(162) 측에 설치된 에어 커튼(180)을 더 구비한다.
중립 챔버(160)의 내부에는 플로트 유리(G)를 이송시킬 수 있는 다수의 피딩 롤러들(R)이 설치된다. 중립 챔버(160)는 플로트 유리(G)가 클리닝 챔버(110) 내부로 진입되기 전에 클리닝 공정과 그 이전의 워싱 공정을 완벽하게 분리하기 위한 완충 지대로서 작용하며, 플로트 유리(G)를 단지 진행시키기 위한 설비만 구비된다. 또한, 중립 챔버(160) 내부에는 진행하는 플로트 유리(G) 표면에 물을 분사하기 위한 샤워기(미도시)가 설치될 수도 있다.
아쿠아 나이프(170)는 플로트 유리(G)의 폭 방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 노즐(174)을 구비한다. 아쿠아 나이프(170)는 플로트 유리(G)의 진행 방향의 상,하부의 적어도 일면 이상에 배치된다. 아쿠아 나이프(170)의 노즐(174)을 슬릿 타입으로 구성하게 되면, 노즐(174)로부터 분출되는 물줄기의 균일도가 높아지고 물줄기가 갈라지게 될 위험이 더욱 적어지게 된다. 이를 위해, 아쿠아 나이프(170)의 슬릿 타입 노즐(174)은 분사되는 물의 균일도(uniformity)를 대략 90% 이상으로 유지시킬 수 있고, 분사되는 물의 유량이 적은 경우에도 물줄기가 갈라지지 않는 구조를 가진다 슬릿 타입 노즐(174)에 마련된 슬릿의 폭은 대략 0.1mm 내지 대략 0.2mm인 것이 좋고, 더욱 바람직하게는 0.15mm이다.
또한, 아쿠아 나이프(170)는, 플로트 유리(G)가 클리닝 챔버(110)의 클리닝 입구(112)를 통해 진입하여 출구(114)를 통해 배출되는 동안, 제1 세정액 샤워기(126)에 의해 세정액이 분사되기 전에 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기의 입자를 제거하기 위한 것이다.
아쿠아 나이프(170)의 슬릿 타입 노즐(174)은 플로트 유리(G)의 진행 방향을 향하여 0° 내지 90° 각도로 경사지는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 0° 내지 45°각도로 경사져 있다. 아쿠아 나이프(170)의 슬릿 타입 노즐(174)을 플로트 유리(G)의 진행 방향을 향하여 전술한 각도만큼 경사지게 배치하는 이유는, 클리닝 입구(112) 쪽을 향하여 물이 튀는 현상을 방지하기 위함이다.
본 실시예에 따른 클리닝 모듈(200)은 아쿠아 나이프(170)의 경사를 조절하기 위해 아쿠아 나이프(170)의 양측에 설치된 나이프 서포트들(172)을 구비한다. 나이프 서포트(172)의 일측에는 원호 형상의 슬롯(176)이 마련되고, 이러한 슬롯(176)에는 노즐(174)의 측면에 설치된 회동 돌기(178)가 삽입된다. 나이프 서포트(172)의 슬롯(176)에 대해 소정 각도로 아쿠아 나이프(170)의 각도가 설정된 후 회동 돌기(178)를 슬롯(176)에 대해 조임으로써 아쿠아 나이프(170)의 위치를 고정할 수 있는 위치 고정 나사(171)가 돌기(178)의 끝단에 체결된다.
에어 커튼(180)은 중립 챔버(160)의 입구(162) 측에 접근되도록 설치되며, 중립 챔버(180)의 내부와 외부 사이를 구획하기 위한 것으로서, 에어 커튼(180)은 중립 챔버(160)의 입구(162) 측을 중심으로 상,하부에서 각각 소정 압력의 공기를 분사하여 공기막을 형성함으로써, 그러한 공기막에 의해 중립 챔버(160) 내부의 물방울 등이 입구(162)를 통해 외부로 빠져나가거나 외부의 이물질이 입구(162)를 통해 중립 챔버(160) 내부로 유입되는 것을 차단하기 위한 것이다.
에어 커튼(180)은 외부로부터 공기를 공급받을 수 있는 공급 포트(182)가 마련된 공급 파이프(182), 중립 챔버(160)의 입구(162) 측 벽면에 설치되어 공기를 분사할 수 있는 에어 배출부(186), 및 공급 파이프(184)와 에어 배출부(186)를 연결하는 연결 통로(188)를 구비한다.
본 발명의 다른 바람직한 예시적 변형된 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈은, 전술한 디스크 부재(130)와 롤러 부재(140)를 별도의 챔버에 구현하고, 이를 클리닝 챔버(110)의 클리닝 출구(114)에 인접되게 설비할 수도 있다. 이렇게 구현함으로써 상대적으로 완벽한 클리닝 효율을 구현할 수 있다.
본 발명의 또 다른 바람직한 예시적 변형된 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 클리닝 모듈은, 디스크 부재(130)의 다수의 디스크 어레이들(132)(134)이 설비된 별도의 챔버 또는 롤러 부재(140)의 클리닝 롤러들(142)(144)이 설비된 별보의 챔버를 클리닝 챔버(110)의 클리닝 출구(114)에 인접되게 설치하거나 이들의 별도 챔버들을 조합하여 연속해서 배치할 수도 있다.
도 44는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 린싱 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 44를 참조하면, 플로트 유리 세정 시스템의 린싱 모듈(300)은, 린싱 입구(212)와 린싱 출구(214)가 마련된 린싱 챔버(210), 린싱 챔버(210) 내부에서 이동되는 플로트 유리(G)의 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기(예, 대략 0.2마이크로미터 이상)의 입자를 제거하기 위한 고압 분사부재(220), 및 플로트 유리(G)의 표면에 초순수를 분사하여 린스할 수 있는 린스 부재(230)를 구비한다.
린싱 챔버(210)는 플로트 유리(G)의 폭 방향 중심이 양측 가장자리 보다 더 높게 형성된 지붕(211)과 측면 벽들(116)에 의해 실질적으로 밀폐되는 구조를 가진다. 린싱 챔버(210)의 경사진 지붕 구조는 린싱 챔버(210) 내부에서 플로트 유리(G)의 표면을 클리닝하기 위해 사용되는 물, 세정액 등이 외부로 방출되는 것을 방지하고 지붕에 고이는 물이 바닥으로 떨어지게 하는 기능을 가진다. 린싱 챔버(210)의 내부에는 플로트 유리(G)가 접촉되어 이동될 수 있는 다수의 피딩 롤러들(R)이 설치된다. 또한, 린싱 챔버(210)의 바닥(209)에는 플로트 유리(G)의 표면을 린싱한 물을 배출시킬 수 있는 배수구(미도시)가 마련된다.
린싱 챔버(210)의 린싱 입구(212)는 플로트 유리 세정 시스템(500)의 워싱 모듈(100) 및/또는 린싱 모듈(300)에 의해 플로트 유리 표면의 소정 크기의 입자가 제거된 후 경사진 상태로 공급되는 플로트 유리(G)를 공급받기 위한 것으로서, 린싱 챔버(210)의 입구측 벽(216)에 플로트 유리(G)가 진입할 수 있을 만큼의 폭과 높이로 형성된다. 한편, 린싱 챔버(210)의 린싱 출구(214) 역시 린싱 입구(212)의 경사 각도(θ: 예, 5°~8°)와 동일하게 경사지도록 출구측 벽(216)에 마련된다. 따라서, 린싱 챔버(210) 내부에서 플로트 유리(G)는 린싱 입구(212) 및 린싱 출구(214)와 동일한 경사 각도로 이송된다. 이러한 방식은 플로트 유리가 대면적화됨에 따른 플로트 유리의 세정 공정에서의 '액절 성능'을 향상시키기 위한 것이다.
린싱 챔버(210)는 린싱 입구(212) 측의 전방 챔버와 린싱 출구(214) 측의 후방 챔버로 구획할 수 있도록 린싱 챔버(210)를 가로질러 설치되고, 플로트 유리(G)가 통과할 수 있는 관통 슬릿(218a)이 마련된 구획 플레이트(218)를 구비한다.
각각의 피딩 롤러(R)는 도 45 및 도 46의 구동 모터들(286)에 의해 회전될 수 있는 피딩 샤프트(2), 및 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 피딩 샤프트(2)의 길이 방향으로 소정 간격 이격되게 배치되며 다수의 피딩용 오링들(4)을 구비한다.
도 45는 도 44에 도시된 린싱 모듈의 플로트 유리의 이송을 위한 구성요소들을 발췌 도시한 평면도이고, 도 46은 도 45에 대응되는 도 44의 정면 구성도이고, 도 47는 도 45에 대응되는 도 44의 측면 구성도이다. 도 44에서 설명된 참조부호와 동일한 구성요소는 동일한 기능을 가진 동일부재이다.
도 44 내지 도 47를 참조하면, 본 실시예에 따른 린싱 모듈(300)에 있어서, 린싱 입구(212)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)는 전술한 바와 같이, 경사지게 설치되어 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있는 다수의 피딩용 오링들(4)이 마련되어 회전되는 다수의 피딩 롤러들(R)에 의해 기본적으로 린싱 출구(214) 측으로 이송된다. 또한, 후술하는 고압 분사부재(220), 린스 부재(230), 및 아쿠아 나이프(250)에 의한 마찰력에 의해 플로트 유리(G)가 감속되는 경우를 대비하여, 린싱 챔버(210)는 플로트 유리(G)의 상면에 각각 접촉되도록 배치된 2개의 피딩 보강 롤러들(282)을 포함하는 피딩 보강부재(280)를 구비한다.
피딩 보강부재들(280)은, 플로트 유리(G)의 하면에 접촉되어 회전되는 통상의 피딩 롤러(R)와 달리 플로트 유리(G)의 상,하면에 동시에 접촉되어 시스템이 요구하는 속도 조건을 만족시키고 고압 분사부재(220), 린스 부재(230) 및 아쿠아 나이프(250)의 분사 압력 및 배치 방향에 의해 플로트 유리(G)의 슬립 발생 또는 속도 저하 가능성을 차단시키기 위한 것이다.
피딩 보강부재(280)는 플로트 유리(G)의 양측 가장자리의 상면에 접촉되어 회전될 수 있는 2개 피딩 보강 롤러들(282)을 구비한다. 각각의 피딩 보강 롤러(282)의 하측 부분은 전술한 바와 같은 통상의 피딩 롤러(R)와 동일한 구조 즉, 피딩 샤프트(2)에 다수의 피딩용 오링(4)이 설치된 구조 동일하며, 상측 부분은 피딩 샤프트(2)의 양측 끝단들에 설치되고 하측의 피딩용 오링(4)과 대칭되게 설치된 보강용 오링들(284)을 포함한다. 보강용 오링(284)의 설치 위치는 플로트 유리(G)의 품질에 영향을 미치지 않도록 플로트 유리(G)의 가장자리에 접촉될 수 있도록 설정된다. 즉, 린싱 챔버(210) 내부에서 피딩 롤러들(R) 및 피딩 보강부재(280)는 린싱 모듈(300)가 필요한 속도로 플로트 유리(G)를 안정되게 이송시킬 수 있다. 따라서, 피딩 보강부재(280)의 피딩 보강 롤러들(282)은 플로트 유리(G)의 이송 방향에 대해 적절한 장소에 각각 배치된다. 도 45 및 도 46의 참조부호 286은 피딩 롤러들(R)을 회전시키기 위한 구동 모터들을 나타낸다.
도 48는 도 45의 "A" 부위를 확대 도시한 도면이고, 도 49은 도 46의 "B" 부위를 확대 도시한 도면이다.
도 45, 도 48, 및 도 49에 도시된 바와 같이, 플로트 유리(G)는 이송 방향의 양 측면 중 어느 한 측면이 다른 측면보다 낮게 유지된 상태('사행 상태')로 이송되기 때문에, 린싱 챔버(210)는 낮은 측의 플로트 유리(G)의 사이드(GS)의 위치를 확인할 수 있는 다수의 센서들(202), 및 센서들(202)과 연동하여 이동되는 플로트 유리(G)의 위치를 보정하기 위해 린싱 출구(214)에 인접되게 설치된 얼라이너(204)를 구비한다. 각각의 센서(202)는 플로트 유리(G)의 일측 사이드(GS)에 접촉되어 회전될 수 있는 롤러 구조로 구성된다. 얼라이너(204)는 플로트 유리(G)의 하면에 접촉되어 회전되도록 설치되고, 서로 간격 조절이 가능하며 플로트 유리(G)에 접촉되게 설치된다.
도 50은 도 44에 도시된 린싱 모듈의 고압 분사부재 부위를 발췌 도시한 평면도이고, 도 51은 도 50의 정면도이고, 도 52는 도 50의 측면도이다.
도 44, 도 50 내지 도 52를 참조하면, 고압 분사부재(220)는 린싱 입구(212)에 인접되게 배치되고, 플로트 유리(G)의 폭 방향으로 물과 공기가 혼합된 상태의 고압 2류체를 플로트 유리(G)의 표면에 실질적으로 수직되게 각각 분사할 수 있고, 서로 나란하게 설치된 제1 분사기(222)와 제2 분사기(224)를 구비한다. 제1 분사기(222)와 제2 분사기(224)는 플로트 유리(G)의 양면에 한 쌍으로 배치된다. 제1 분사기(222)와 제2 분사기(224)의 공기의 분사 압력은 0~10 kg/cm2이다.
제1 및 제2 분사기들(222)(224)은 외부로부터 물과 공기를 각각공급받을 수 있는 물 공급 포트(226)와 공기 공급 포트(228)를 구비한다. 한편, 제1 및 제2 분사기들(222)(224)의 내부에는 2개의 유로들이 마련되고, 끝단의 노즐부(221)는 슬릿 타입으로 형성된다. 제1 분사기(222)와 제2 분사기(224)의 공기 분사 압력이 10 kg/cm2을 넘게 되면, 플로트 유리(G)의 이송에 문제가 발생할 수도 있고, 강한 압력에 플로트 유리(G)가 손상될 염려도 있다.
한편, 고압 분사부재(220)의 제1 및 제2 분사기들(222)(224)는 린싱 챔버(210)의 전방 챔버에 배치되는 것이 바람직하고, 후술하는 린스 부재(230)는 후방 챔버에 배치되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 고압 분사부재(220)의 분사 작업과 린스 부재(230)의 린싱 작업이 서로 구획된 영역에서 시행되면, 린싱 챔버(210) 내부에서의 작업의 효율이 높아지기 때문이다.
도 53은 도 44에 도시된 린싱 모듈의 린스 부재 부위를 발췌 도시한 평면도이고, 도 54는 도 53의 정면도이고, 도 55는 도 53의 측면도이다.
도 44, 도 53 내지 도 55를 참조하면, 린스 부재(230)는 플로트 유리(G)의 일면 또는 양면에 초순수를 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 초순수 분사 노즐들(230b)이 마련된 5개의 초순수 샤워기들(233)(235), 초순수 샤워기들(233)(235)을 지지할 수 있는 샤워기 지지체(237)를 구비한다.
린스 부재(230)의 초순수 샤워기들(233)(235)은 린싱 챔버(210)의 전방 챔버의 플로트 유리(G)의 상부에만 설치된 전방 초순수 샤워기(233)와 린싱 챔버(210)의 후방 챔버에서 플로트 유리(G)의 상,하부에 각각 배치된 4쌍의 후방 초순수 샤워기들(235)을 구비한다.
각각의 초순수 샤워기들(233)(235)은 공장의 메인 유틸리티(미도시)로부터 공급되는 초순수(예, 18 ㏁)를 공급관(231)을 통해 공급받기 위한 초순수 입구 포트(230a)와 다수의 분사 노즐들(230b)이 마련된다.
샤워기 지지체(237)는 플로트 유리(G)의 진행 방향을 따라 린싱 챔버(210)의 사이드에 배치된 한 쌍의 린스 브라켓들(232)과, 초순수 샤워기들(233)(235)을 고정 지지할 수 있는 지지 프레임(234), 지지 프레임(234)을 린스 브라켓들(232)에 연결하기 위한 프레임 컨넥터들(238), 및 지지 프레임(234)과 린싱 챔버(210)의 바닥(209) 사이에 설치된 다수의 보조 브라켓들(239)을 구비한다.
도 56은 도 44에 도시된 린싱 모듈의 에어 커튼과 아쿠아 나이프 부위를 발췌 도시한 평면도이고, 도 57는 도 56의 정면도이고, 도 58는 도 57의 "D" 부분의 확대도이고, 도 59은 도 57의 "E" 부분의 확대도이고, 도 60은 도 56의 우측면도이다.
도 56 내지 도 58을 참조하면, 에어 커튼들(240)은 린싱 챔버(210)의 전방 챔버에 설치된다. 즉, 에어 커튼들(240)은 린싱 챔버(210)의 린싱 입구(212)와 구획 플레이트(218)의 관통 슬릿(218a) 부근에 각각 설치된다. 에어 커튼들(240)은 각각 린싱 챔버(210)의 내부와 외부를 구획하고, 전방 챔버와 후방 챔버 사이를 구획하기 위한 것이다.
에어 커튼들(240)은 해당되는 린싱 입구(212) 또는 관통 슬릿(218a)의 중심부를 향해 상,하부에서 각각 소정 압력의 공기를 분사하여 공기막을 형성함으로써, 그러한 공기막에 의해 린싱 챔버(210)의 전방 챔버에 설치된 고압 분사부재(220)에 의해 분출되는 물방울 등이 린싱 입구(212)를 통해 외부로 빠져나가거나 관통 슬릿(218a)을 통해 후방 챔버로 유출되는 것을 차단하기 위한 것이다.
도 58에 도시된 바와 같이, 각각의 에어 커튼(240)은 외부로부터 공기를 공급받을 수 있는 공급 포트(242)가 마련된 공급 파이프(244), 구획 플레이트(218) 및 린싱 챔버(210)의 입구(212) 측 내벽(216)에 설치되어 공기를 분사할 수 있는 에어 배출부가 마련된 한 쌍의 몸체(246), 및 공급 파이프(244)와 에어 배출부(246)를 연결하는 연결 통로(248)를 구비한다.
도 56, 도 57, 도 59 및 도 60을 참조하면, 본 실시예에 따른 린싱 모듈(300)은 린싱 챔버(210)의 린싱 출구(214) 부근에 설치된 아쿠아 나이프(250)를 구비한다. 아쿠아 나이프(250)는 플로트 유리(G)의 진행 방향에 대향하여 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치된다. 또한, 아쿠아 나이프(250)는 플로트 유리(G)의 상,하면에 한 쌍으로 배치된다.
아쿠아 나이프(250)는 공장의 메인 유틸리티(미도시)로부터 공급되는 초순수 초순수가 유입되는 입구 포트(252)가 마련된 공급 파이프(254), 플로트 유리(G)의 폭 방향으로 길게 형성되고 나이프 서포트들(256)에 양단이 지지되고, 슬릿 타입의 아쿠아 노즐(258)이 마련된 나이프 본체(251), 및 공급 파이프(254)와 나이프 본체(251)를 연결하는 연결 통로(253)를 구비한다.
아쿠아 나이프(250)의 아쿠아 노즐(258)은 분사되는 물의 균일도(uniformity)를 대략 90% 이상으로 유지시킬 수 있는 구조를 가지는 것이 바람직하다. 또한, 아쿠아 노즐(258)은 분사되는 물의 유량이 적은 경우에도 물줄기가 갈라지지 않는 것이 바람직하다. 아쿠아 나이프(250)의 아쿠아 노즐(258)을 슬릿 타입으로 구성하게 되면, 노즐(258)로부터 분출되는 물줄기의 균일도가 높아지고 물줄기가 갈라지게 될 위험이 더욱 적어지게 된다. 아쿠아 노즐(258)에 마련된 슬릿의 폭은 대략 0.1mm 내지 대략 0.2mm인 것이 좋고, 더욱 바람직하게는 0.15mm이다. 또한, 아쿠아 나이프(250)는 플로트 유리(G)가 린싱 챔버(210)의 린싱 입구(212)를 통해 진입하여 린싱 출구(214)를 통해 배출되는 동안 린스 부재(230)에 의해 린스된 플로트 유리(G)의 표면을 최종적으로 세척하기 위한 것이다.
도 61은 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 린싱 모듈의 린싱 챔버의 배치 상태를 개략적으로 우측면도이다.
도 61을 참조하면, 린싱 모듈(300)의 린싱 챔버(210)는 챔버 서포트(290)에 경사지게 배치된다. 챔버 서포트(290)는 이동 가능한 다수의 이동 휠들(291), 다수의 서포트들(292), 측면 통로들(293), 측면 가이드들(294), 및 지지 프레임들(295)을 구비한다. 여기서, 지지 프레임(295)은, 도 61에 도시된 바와 같이, 좌측보다 우측이 높게 소정 각도(θ: 예, 5°~8°)로 경사지게 배치된다. 따라서, 린싱 챔버(210) 내부에 구성되는 피딩 롤러들(R), 고압 분사부재(210), 린스 부재(230), 린싱 입구(212), 린싱 출구(214), 에어 커튼들(240), 및 아쿠아 나이프(250)는 린싱 챔버(210)의 바닥(209)과 평행하게 배치되어 있지만, 린싱 챔버(210)가 지지 프레임(295)에 대해 경사지게 배치되어 있으므로, 린싱 입구(212)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)는 린싱 챔버(210) 내부에서 경사진 상태로 이동할 수 있다. 린싱 챔버(210)를 경사지게 구성하는 이유에 대해서는 전술한 바와 같다.
이하, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템 의 린싱 모듈의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 린싱 챔버(210) 내부의 피딩 롤러들(R)과 피딩 보강부재(280)의 피딩 보강 롤러들(282)을 소정의 속도로 회전되도록 미리 설정하고, 고압 분사부재(220), 린스 부재(230), 에어 커튼(240), 및 아쿠아 나이프(250)가 작동하도록 설정한다.
이 상태에서, 플로트 유리(G)가 린싱 챔버(210)의 린싱 입구(212)를 통해 진입하게 되면, 플로트 유리(G)는 린싱 입구(212)에 근접 배치된 피딩 롤러들(R)에 의해 이송되고, 피딩 보강 롤러들(282)의 구동에 의해 그 속도가 보다 안정적으로 유지된 채 고압 분사부재(220)의 제1 분사기(222)와 제2 분사기(224)를 통과하게 된다. 이 과정에서, 플로트 유리(G)의 표면에 존재하는 소정 크기의 입자들이 제거된다.
플로트 유리(G)가 제2 분사기(242)를 통과하게 되면, 피딩 보강 롤러들(282)에 의해 다시 힘을 얻게 되고 초순수 샤워기(233)에 의해 린스된 후 관통 슬릿(218a)을 통과하여 후방 챔버로 진입한다. 이 과정에서 린싱 챔버(210)의 전방 챔버와 후방 챔버는 에어 커튼(240)에 의해 그 영역이 분리되어 있으므로, 플로트 유리(G)의 표면에 존재하는 물 방울, 불순물 등이 전방 챔버와 후방 챔버 사이에서 이동되는 것이 방지될 수 있다.
후방 챔버로 진입한 플로트 유리(G)의 상,하면은 초순수 샤워기들(235)에 의해 공급되는 초순수에 의해 린싱되고, 린싱 출구(214) 측에서 플로트 유리(G)의 진행 방향에 대향하도록 설치된 아쿠아 나이프(250)로부터 분사되는 소정 압력의 초순수에 의해 최종적으로 샤워된 후 린싱 출구(214)를 통해 배출된다.
도 62는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 63은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 우측면도이다.
도 62 및 도 63를 참조하면, 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈(400)은, 드라잉 입구(312)와 드라잉 출구(314)가 마련된 드라잉 챔버(310), 드라잉 챔버(310) 내부에서 이동되는 플로트 유리(G)의 표면에 존재하는 물방울 등의 습기를 제거하기 위해 플로트 유리(G)의 표면에 미리 결정된 압력(예, 0~10 kg/cm2)의 청정 건조 공기를 분사할 수 있는 공기 분사부재(320)를 구비한다.
드라잉 챔버(310)는 플로트 유리(G)의 폭 방향 중심이 양측 가장자리 보다 더 높게 형성된 지붕(311)과 측면 벽들(316)에 의해 실질적으로 밀폐되는 구조를 가진다. 드라잉 챔버(310)의 내부에는 플로트 유리(G)가 접촉되어 이동될 수 있는 다수의 피딩 롤러들(R)이 설치된다.
드라잉 챔버(310)의 드라잉 입구(312)는 플로트 유리 제조 설비의 연마 공정에서 연마된 후, 워싱 모듈, 클리닝 모듈(200) 및/또는 린싱 모듈(300)에 의해 플로트 유리 표면의 소정 크기의 입자가 제거된 후 경사진 상태로 공급되는 플로트 유리(G)를 공급받기 위한 것으로서, 드라잉 챔버(310)의 입구측 벽(316)에 플로트 유리(G)가 진입할 수 있을 만큼의 폭과 높이를 가지며, 지면에 대해 소정 각도(θ: 예, 5°~8°)로 경사지게 형성되어 있다. 한편, 드라잉 챔버(310)의 드라잉 출구(314) 역시 드라잉 입구(312)의 경사 각도와 동일하게 경사지도록 출구측 벽(316)에 마련된다. 따라서, 플로트 유리(G)는 드라잉 입구(312) 및 드라잉 출구(314)와 동일한 각도로 경사진 상태로 드라잉 챔버(310) 내부에서 이송된다. 이러한 방식은 플로트 유리(G)가 대면적화됨에 따른 플로트 유리를 경사지게 이송시킴으로써 세정 공정에서 사용되는 물 및/또는 세정제의 사용량을 줄이고자 하는 '액절 성능'을 향상시키기 위한 것이다.
이를 위해, 드라잉 챔버(310)의 바닥(309)은 챔버 서포트(390)에 의해 지지된다. 챔버 서포트(390)는 드라잉 챔버(310)의 바닥(309)을 지지하는 것으로서, 서로 높이가 다른 다수의 지지 프레임들(397a, 397b, 397c)을 구비한다. 즉, 플로트 유리(G)의 이송 방향을 기준으로 우측(도 62의 하단 및 도 63의 좌측)에서 좌측(도 62의 상단 및 도 63의 우측)으로 갈수록 지지 프레임들(397a, 397b, 397c)의 높이가 높아지도록 구성함으로써, 드라잉 챔버(310)의 양면들 중 어느 한 쪽이 높게 유지된다. 따라서, 드라잉 챔버(310)의 드라잉 입구(312)와 드라잉 출구(314)는 드라잉 챔버(310)의 바닥(309)과 평행하게 형성되지만, 드라잉 챔버(310)의 바닥이 지지 프레임들(397a, 397b, 397c)에 의해 경사지게 지지됨으로써, 드라잉 챔버(310) 내부에 구성되는 후술하는 모든 구성요소들이 비록 드라잉 챔버(310)의 바닥(309)에 대해 평행하게 배치되어 있지만, 드라잉 챔버(310) 내부의 플로트 유리(G)는 경사진 상태로 드라잉 입구(312)를 통해 진입하고, 경사진 상태로 드라잉 출구(314)를 통해 배출될 수 있다.
또한, 챔버 서포트(390)는 드라잉 챔버(310)의 이동을 위한 다수의 이동 휠들(391), 드라잉 챔버(310)의 위치 고정을 위한 다수의 서포트들(392), 유지, 보수를 위해 작업자 등이 통과할 수 있는 측면 통로들(393), 작업자의 안전을 위한 측면 가이드들(394)을 구비한다.
도 64는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 플로트 유리의 이송을 위한 구성요소들을 발췌 도시한 평면 구성도이고, 도 65는 도 64의 정면 구성도이고, 도 66은 도 64의 측면 구성도이고, 도 67은 도 66의 "A" 부분의 확대도이다. 도 62에서 설명된 참조부호와 동일한 구성요소는 동일한 기능을 가진 동일부재이다.
도 62 내지 도 67을 참조하면, 본 실시예에 따른 드라잉 모듈(400)에 있어서, 드라잉 입구(312)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)는 전술한 바와 같이, 경사지게 설치되어 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있는 다수의 피딩용 오링들(4)이 마련되어 회전되는 다수의 피딩 롤러들(R)에 의해 기본적으로 드라잉 출구(314) 측으로 이송된다.
각각의 피딩 롤러(R)는 구동 모터들(305)에 의해 회전될 수 있는 피딩 샤프트(2), 및 플로트 유리(G)의 하부에서 회전될 수 있는 피딩 샤프트(2), 및 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 피딩 샤프트(2)의 길이 방향으로 소정 간격 이격되게 배치된 다수의 피딩용 오링들(4)을 구비한다. 피딩 롤러(R)의 보다 더 상세한 구조에 대해서는 후술한다.
도 64에 도시된 바와 같이, 피딩 롤러들(R)은 드라잉 입구(312) 측으로 치우쳐 배치된 제1 피딩 그룹(GR1)과 드라잉 출구(314) 측으로 치우쳐 배치된 제2 피딩 그룹(GR2)을 구비한다. 제1 피딩 그룹(GR1)과 제2 피딩 그룹(GR2)은 플로트 유리(G)의 진행 방향에 대해 드라잉 입구(312) 방향으로 소정 각도(β)(예, 대략 20° 내지 대략 45°)의 사선 형태로 구획되고, 이러한 사선 구획에 대해서는 공기 분사부재(320)의 에어 나이프(322)의 사선 배치와 함께 후술하기로 한다. 제1 피딩 그룹(GR1)은 - 존(wet zone)이고, 제2 피딩 그룹(GR2)은 드라잉 존이다.
제1 피딩 그룹(GR1)에 있어서, 드라잉 입구(312)에 가깝게 연속적으로 배치된 3개의 피딩 롤러들(R)은 드라잉 챔버(310)의 양측 가장자리를 걸치도록 완전한 형태로 설치된 피딩 샤프트들(2)에 각각 다수의 피딩용 오링들(4)이 마련된 구조이지만, 제1 피딩 그룹(GR1)의 나머지를 구성하는 제1 피딩 롤러들(R1)은 플로트 유리(G)의 진행 방향의 좌측면에서 우측면으로 갈수록 샤프트의 길이가 점차적으로 짧아지도록 구성된 불완전한 형태의 제1 피딩 샤프트들(302)을 구비한다. 제1 피딩 롤러들(R1)의 제1 피딩 샤프트들(302)의 각각의 일단은 드라잉 챔버(310)의 어느 하나의 측벽(316)에 근접되게 설치되지만, 제1 피딩 샤프트들(302)의 각각의 타단은 드라잉 챔버(310)의 바닥의 소정 위치에 각각 설치된 제1 샤프트 서포트들(304)에 지지된다.
제2 피딩 그룹(GR2)에 있어서, 드라잉 출구(314)에 근접되게 연속적으로 배친된 2개의 피딩 롤러들(R)는 드라잉 챔버(310)의 양측 가장자리를 걸치도록 완전한 형태로 설치된 피딩 샤프트(2)에 다수의 피딩용 오링들(4)이 설치된 구조이지만, 제2 피딩 그룹(GR2)의 나머지를 구성하는 제2 피딩 롤러들(R2)은 플로트 유리(G)의 진행 방향의 좌측면에서 우측면으로 갈수록 샤프트의 길이가 점차적으로 길어지도록 구성된 불완전한 형태의 제2 피딩 샤프트들(306)을 구비한다. 제2 피딩 롤러들(R2)의 제2 피딩 샤프트들(306)의 각각의 일단은 드라잉 챔버(310)의 어느 하나의 측벽에 근접되게 설치되지만, 제2 피딩 샤프트들(306)의 각각의 타단은 드라잉 챔버(310)의 바닥(309)의 소정 위치에 설치된 제2 샤프트 서포트들(308)에 지지된다.
한편, 피딩용 오링들(4)은 제1 및 제2 피딩 샤프트들(302)(306)의 소정 위치에 일정한 간격으로 일정한 패턴으로 배치될 필요성이 있기 때문에, 제1 피딩 샤프트(302) 및 제2 피딩 샤프트(306)에 각각 설치되는 피딩용 오링들(4)의 개수는 서로 다르게 구성된다.
제1 피딩 그룹(GR1)과 제2 피딩 그룹(GR2)은 후술하게 될 공기 분사부재(320)의 사선 형태의 배치에 의해 서로 대칭되는 구조를 가진다. 또한, 제1 피딩 그룹(GR1)과 제2 피딩 그룹(GR2) 사이 즉, 제1 피딩 롤러(R1)의 끝단과 제2 피딩 롤러(R2)의 시작단 사이에는 일정한 간격 즉, 아이들 영역(IZ)이 마련된다. 이러한 아이들 영역(IZ)은 피딩 롤러들(R)과 같은 다른 구성요소들의 간섭을 피하고 공기 분사부재(320)로부터 분사되는 공기에 대한 플로트 유리(G)의 접촉 면적을 최대화시킴으로써, 완벽한 건조 작업을 수행하기 위한 것이다.
제1 피딩 그룹(GR1)과 제2 피딩 그룹(GR2) 사이의 아이들 영역(IZ)에는 플로트 유리(G)의 안정적인 이송을 위해 플로트 유리(G)의 하면에 접촉되어 회전될 수 있는 다수의 아이들 롤러들(IR)을 구비한다. 각각의 아이들 롤러(IR)는 드라잉 챔버(310)의 바닥에 설치될 아이들 롤러 브라켓(307)에 회전 가능하게 설치된다.
본 실시예에 따른 드라잉 모듈(400)는 드라잉 챔버(310) 내부에서 플로트 유리(G)의 이송력을 보강하기 위한 피딩 보강부재(330)를 구비한다. 피딩 보강부재(330)은 후술하는 공기 분사부재(320)에 의해 분출되는 압력 등에 의한 마찰력 때문에 플로트 유리(G)의 속도가 감속되는 경우를 대비하기 위한 것으로서, 플로트 유리(G)의 상면에 각각 접촉되어 회전되도록 배치된 4개의 피딩 보강 롤러들(332)을 구비한다. 바람직하게, 각각의 피딩 보강 롤러(332)는 길이가 짧은 보강 샤프트(334)와, 플로트 유리(G)의 일 가장자리의 상면에 접촉되어 회전될 수 있도록 보강 샤프트(334)에 설치된 피딩용 오링(4)을 구비한다. 여기서, 보강 샤프트(334)의 일단은 드라잉 챔버(310)의 바닥에 지지되지만, 보강 샤프트(334)의 타단은 자유단을 가진다.
한편, 플로트 유리(G)는 이송 방향의 양 측면 중 어느 한 측면이 다른 측면보다 낮게 유지된 '사행' 상태로 이송되기 때문에, 드라잉 챔버(310)는 낮은 측의 플로트 유리(G)의 사이드(GS) 및/또는 높은 측의 플로트 유리(G)의 측면에 접촉되어 회전하면서 플로트 유리(G)의 이송을 가이드할 수 있는 다수의 가이드 롤러(336)(338)을 구비한다.
도 68은 도 62에 도시된 공기 분사부재 및 배기부재 부위를 발췌 도시한 평면 구성도이고, 도 69은 도 68의 정면 구성도이고, 도 70은 도 68의 우측면 구성도이다.
도 62, 도 68 내지 도 70를 참조하면, 공기 분사부재(320)는 플로트 유리(G)의 폭방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 공기 노즐(321)을 각각 구비하고, 플로트 유리(G)의 상부에 배치 제1 에어 나이프(322)와 플로트 유리(G)의 하부에 배치된 제2 에어 나이프(324)를 구비한다. 전술한 바와 같이, 공기 분사부재(320)의 제1 에어 나이프(322)와 제2 에어 나이프(324)는 플로트 유리(G)의 폭방향을 기준으로 드라잉 입구(312)측으로 소정 각도(예, 대략 20° 내지 대략 45°)로 사선 형태로 배치된다. 이러한 사선의 각도는 플로트 유리(G)의 진행 방향에서의 사행 각도, 플로트 유리(G)의 사이즈 등에 따라 다양하게 조절될 수 있음을 당업자는 이해할 것이다. 또한, 공기 분사부재(320)의 제1 에어 나이프(322)와 제2 에어 나이프(324)는 제1 피딩 그룹(GR1)과 제2 피딩 그룹(GR2) 사이의 아이들 영역(IZ)에 배치된다. 아이들 영역(IZ)은 피딩 롤러(R)의 피딩 샤프트(2) 및 오링들(4)이 설치되어 있지 않기 때문에, 플로트 유리(G)가 주행하는 상태에서 제1 및 제2 에어 나이프(322)(324)에 의해 공기가 분사될 때 건조 작업을 위한 간섭을 없앨 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 에어 나이프들(332)(334)을 상대적으로 간섭이 작고 사선 형태로 형성된 아이들 영역(IZ)에 배치시킴으로써, 청정 건조 공기에 의한 플로트 유리(G)의 표면의 드라잉 공정을 완벽하게 수행할 수 있다.
한편, 공기 분사부재(320)의 제1 에어 나이프(322)와 제2 에어 나이프(324)는 각각 플로트 유리(G)의 진행 방향에 대향하여 미리 결정된 각도로 경사지게 배치되어 있다. 따라서, 공기 분사부재(320)로부터 나오는 고압의 공기는 제1 피딩 그룹(GR1)을 향하게 되고, 공기 분사부재(320)의 제1 및 제2 에어 나이프들(322)(324)로부터 분사되는 공기에 의해 제1 피딩 그룹(GR1)은 - 존으로 유지되고, 제2 피딩 그룹(GR2)은 드라잉 존으로 유지시킬 수 있다.
또한, 제1 에어 나이프(322)의 공기 분사 압력은 제2 에어 나이프(324)의 공기 분사 압력과 같거나 공기 분사 압력보다 상대적으로 높게 형성되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 플로트 유리(G)는 피딩 롤러들(R)에 의해 그 하면이 접촉된 상태로 이송되기 때문에, 제1 에어 나이프(322)의 공기 분사 압력보다 제2 에어 나이프(324)의 공기 분사 압력이 더 크게 되면 피딩 롤러들(R)로부터 플로트 유리(G)가 들뜨게 될 수 있기 때문이다.
전술한 바와 같이, 에어 나이프들(322)(324)의 분사 각도는 좌,우 0° 내지 대략 90°, 상,하 0° 내지 대략 90°로 조절될 수 있다. 그러므로, 공기 분사부재(320)의 에어 나이프들(322)(324)는 좌,우 경사 각도를 조절하기 위한 경사 조절부재(326)와 플로트 유리(G)와 에어 노즐(321) 사이의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절부재(328)를 구비한다.
본 실시예에 따르면, 공기 분사부재(320)에 의해 공급되어 플로트 유리(G)의 표면을 건조시킨 공기를 드라잉 챔버(310)의 외부로 배출시키기 위한 배기부재(340)를 구비한다. 배기부재(340)는 공기 분사부재(320)와 나란하게 설치된 제1 배기 파이프(342)와 제2 배기 파이프(344)를 구비한다. 제1 및 제2 배기 파이프들(342)(344)에는 일정한 간격으로 배치된 다수의 흡기 구멍들(346)이 마련된다. 또한, 드라잉 챔버(310)의 양 측벽들(316)에는 제1 및 제2 배기 파이프들(342)(344)과 연통될 수 있는 배기부(미도시)가 마련된다.
이하, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 드라잉 챔버(310) 내부의 피딩 롤러들(R)과 피딩 보강부재(330)의 피딩 보강 롤러들(332)을 소정의 속도로 회전되도록 미리 설정하고, 공기 분사부재(320)의 제1 에어 나이프(332)와 제2 에어 나이프(324)를 작동시킨다.
이 상태에서, 플로트 유리(G)가 드라잉 챔버(310)의 드라잉 입구(312)를 통해 진입하게 되면, 플로트 유리(G)는 드라잉 입구(312)에 근접 배치된 제1 및 제2 피딩 그룹(GR1)(GR2)의 피딩 롤러들(R), 제1 피딩 롤러들(R1) 및 제2 피딩 롤러들(R2)에 의해 이송되고, 피딩 보강 롤러들(332)의 구동에 의해 그 속도가 보다 안정적으로 유지된 채 공기 분사부재(320)의 제1 에어 나이프(322)와 제2 에어 나이프(324)를 통과하게 된다. 이 과정에서, 플로트 유리(G)는 그 진행 방향에 있어서 경사가 높은 쪽(도 62의 상부)의 플로트 유리(G)의 표면이 낮은 쪽의 표면보다 먼저 에어 나이프들(322)(324)에 의해 분사되는 공기에 의해 건조된다. 또한, 에어 나이프들(322)(324)의 에어 노즐(321)이 제2 피딩 그룹(GR2)으로부터 제1 피딩 그룹(GR1) 방향으로 경사져 있기 때문에 플로트 유리(G)를 건조시킨 공기 및 플로트 유리(G)로부터 제거된 수분은 제1 피딩 그룹(GR1)의 영역에만 머무르게 됨으로써 제1 피딩 그룹(GR1)의 영역은 제2 피딩 그룹(GR2)의 영역에 비해 상대적으로 습한 상태가 된다. 그러나, 제2 피딩 그룹(GR2)의 영역은 상대적으로 건조한 존으로 유지될 수 있다. 한편, 배기부재(340)는 주위에 존재하는 습기 또는 습한 상태의 공기를 흡입하여 드라잉 챔버(310) 외부로 배출시킨다.
도 71은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 플로트 유리 세정 시스템의 드라잉 모듈의 구성을 개략적으로 도시한 우측면 구성도이고, 도 72는 도 71에 도시된 언틸팅 챔버를 발췌 도시한 사시도이다.
도 71 및 도 72을 참조하면, 본 실시예에 따른 드라잉 모듈(400')은 전술한 실시예의 드라잉 챔버(310)에 인접하게 설치되고, 드라잉 출구(312)의 경사 각도와 동일하게 경사진 언틸팅 입구(362), 지면에 대해 평행하게 배치된 바닥(368)과, 바닥(368)과 평행하도록 측벽(366)에 마련된 언틸팅 출구(364), 바닥(368)에 평행하게 배치된 다수의 피딩 롤러들(R), 및 피딩 롤러들(R)을 지면과 평행하게 또는 경사지게 언틸팅시킬 수 있는 언틸팅 부재(370)를 구비한다.
언틸팅 챔버(360)는 플로트 유리(G)의 폭 방향 중심이 양측 가장자리 보다 더 높게 형성된 지붕(361)과 측벽들(366)에 의해 실질적으로 밀폐된 구조이며, 지면과 평행하게 배치된 바닥(368)을 가진다. 언틸팅 챔버(360)의 내부에는 플로트 유리(G)가 접촉되어 이동될 수 있는 다수의 피딩 롤러들(R)이 설치된다.
언틸팅 챔버(360)의 언틸팅 입구(362)는 드라잉 챔버(310) 내부에서 건조되어 드라잉 출구(314)를 통해 배출되는 건조된 플로트 유리(G)를 공급받기 위한 것으로서, 언틸팅 챔버(360)의 측벽(366)에 플로트 유리(G)가 진입할 수 있을 만큼의 폭과 높이로 지면과 소정 각도 경사지게 즉, 드라잉 출구(314)의 지면에 대한 각도와 동일한 경사 각도를 가진다. 한편, 언틸팅 챔버(360)의 언틸팅 출구(364)는 지면과 평행하도록 출구의 벽면(366)에 마련된다.
언틸팅 챔버(360)의 언틸팅 출구(364)의 각도를 지면에 대해 평행하게 유지시키는 이유는 더 이상의 클리닝 작업이 불필요하기 때문에 건조 작업이 완료된 플로트 유리(G)를 다음 공정(예, 포장)에서 작업을 원할히 하기 위한 것이다. 즉, 드라잉 챔버(310) 내부에서 '액절 성능'을 향상을 위해 경사진 상태로 이동 및 작업이 이루어졌던 플로트 유리(G)를 지면과 평행하게 원상 복귀시키기 위한 것이다.
이를 위해, 언틸팅 챔버(360)의 바닥(368)은 드라잉 챔버(310)의 챔버 서포트(390)와 다른 챔버 서포트(380)에 의해 지지된다. 챔버 서포트(380)는 언틸팅 챔버(360)의 바닥(368)을 지면에 대해 평행하게 지지하는 것으로서, 서로 높이가 동일한 지지 프레임들(382)을 구비한다. 챔버 서포트(380)의 나머지 구성요소들은 전술한 실시예의 챔버 서포트(390)와 동일하다.
도 73은 도 71에 도시된 언틸팅 챔버 내부에 설치되는 피딩 롤러들과 언틸팅 부재 부위를 발췌 도시한 평면도이고, 도 74는 도 73의 우측면 구성도이다.
도 71 내지 도 74를 참조하면, 본 실시예에 따른 드라잉 모듈(400')에 있어서, 언틸팅 입구(362)를 통해 공급되는 플로트 유리(G)는 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 경사지게 설치된 다수의 피딩용 오링들(4)을 포함하는 다수의 피딩 롤러들(R)에 의해 언틸팅 출구(364) 측으로 이송된다. 각각의 피딩 롤러(R)는 피딩 모터들(367)에 의해 회전될 수 있는 피딩 샤프트(2), 및 플로트 유리(G)의 하면에 접촉될 수 있도록 피딩 샤프트(2)의 길이 방향으로 소정 간격 이격되게 배치된 다수의 피딩용 오링들(4)을 구비한다. 각각의 피딩 샤프트(2)의 양단은 후술하는 제1 및 제2 피딩 브라켓들(6)(8)에 설치된다.
언틸팅 부재(370)는 언틸팅 챔버(360)의 언틸팅 입구(362)를 통해 경사진 상태로 진입되는 플로트 유리(G)가 수평 상태로 유지되는 언틸팅 출구(364)를 통해 배출될 수 있도록 플로트 유리(G)를 지면과 평행한 상태로 언틸팅시키기 위한 것이다.
언틸팅 부재(370)는 피딩 샤프트(2)의 일단이 설치된 제1 피딩 브라켓(6)을 지지할 수 있는 회동축이 마련된 언틸팅 베이스들(32), 및 피딩 샤프트(2)의 타단이 설치된 제2 피딩 브라켓(8)을 소정 각도로 상,하 회동시킬 수 있는 언틸팅 액츄에이터들(34)를 구비한다. 각각의 언틸팅 액츄에이터들(34)은 유압 또는 공압 실린더 등이 채택될 수 있다. 따라서, 언틸팅 부재(370)는 언틸팅 액츄에이터(34)의 작동에 의해 언틸팅 베이스(32)에 지지된 제1 피딩 브라켓(6)을 기준으로 제2 피딩 브라켓(8)을 상승시키거나 하강시킴으로써, 피딩 샤프트(2)가 소정 각도 기울어지게 하거나 원상태로 복귀시킴으로써, 피딩 샤프트(2)의 피딩 오링들(4)에 접촉되어 진행되는 플로트 유리(G)를 경사지게 하거나 지면에 대해 평행한 상태를 유지시킬 수 있다.
대안적 실시예에 있어서, 언틸팅 부재(370)는 진행하는 플로트 유리(G)의 일측면 하방에 설치된 에어 플로터에 의해 플로트 유리(G)의 한 측면을 경사지게 하거나, 플로트 유리를 지지하는 오링들의 크기를 서로 다르게 함으로써 플로트 유리를 경사지게 할 수도 있다. 한편, 언틸팅 부재(370)에 의해 플로트 유리(G)가 경사지는 각도(θ)는 언틸팅 입구(362)의 경사 각도와 동일(5°~8°)하다.
언틸팅 부재(370)는 언틸팅 챔버(360)에 설치된 모든 피딩 롤러들(R)을 동시에 경사지게 하거나 수평 상태를 유지하게 할 수도 있지만, 본 실시예에서는, 다수의 피딩 롤러들(R)을 시간 및 공간적으로 서로 분리시켜 작동시킬 수 있는 소위, '분할 언틸팅' 방식을 채용한다. 즉, 분할 언틸팅 방식은 경사진 상태로 언틸팅 챔버(360) 내부로 진입된 플로트 유리(G)를 수평 상태로 전환하는 과정에서 발생되는 '택 타임'을 최소화시키기 위한 것이다. 즉, 언틸팅 작업을 위해, 언틸팅 챔버(360) 내부에서 플로트 유리(G)의 이송을 중단시키는 시간 간격이 늘어남에 따른 전체 작업 속도가 느려지는 것을 방지하기 위한 것이다.
언틸팅 챔버(360) 내부의 피딩 롤러들(R)은 서로 분리된 5개의 언틸팅 영역들(UTA1~UTA5)로 구획되어 배치된다. 각각의 언틸팅 영역(UTA1~UTA5)은 서로 소정 간격 이격된 6개의 피딩 롤러들(R)이 양단에 설치된 제1 피딩 브라켓(6)과 제2 피딩 브라켓(8)을 구비한다. 또한, 언틸팅 부재(370)는 각각의 언틸팅 영역(UTA1~UTA5)에 존재하는 각각의 언틸팅 베이스(32) 및 언틸팅 액츄에이터(34)를 구비한다. 또한, 언틸팅 부재(370)는 각각의 언틸팅 영역(UTA1~UTA5)에 배치된 언틸팅 센서들(35)을 구비한다. 언틸팅 센서(35)는 발광부(31)와 수광부(33)를 구비한다. 각각의 언틸팅 센서(35)는 언틸팅 베이스(32)를 기준으로 언틸팅 액츄에이터(34)가 피딩 롤러(R)를 기울이거나 복귀하는 과정에서 피딩 롤러(R)가 미리 결정된 각도 또는 수평 상태에 도달할 경우, 언틸팅 액츄에이터(34)의 작동을 멈추게 하기 한 것이다.
통상의 언틸팅 방식을 채택하는 세정 시스템의 경우, 언틸팅 작업을 위해 플로트 유리의 이송을 정지해야 할 뿐만 아니라, 플로트 유리의 사이즈가 커짐에 따라 그러한 정지 시간이 더욱더 장기화되기 때문에, 이러한 시간 손실을 만회하기 위해 플로트 유리의 가,감속 공정이 늘어나게 되는 악순환의 결과를 초래하고, 이러한 과정에서 피딩 샤프트(2)에 설치된 피딩용 오링(4)에 의해 플로트 유리(G)의 표면에 스크래치 등이 발생될 가능성이 높았다. 그러나, 본 실시예에 있어서, 언틸팅 부재(370)는 '분할 언틸팅'방식을 취함으로써, 통상의 언틸팅 방식에 비해 언틸팅 챔버(360) 내부로 연속적으로 공급되는 플로트 유리들(G)의 이송을 멈추는 시간을 줄일 수 있고, 따라서, 플로트 유리(G)의 이송 속도의 가감속 작업이 줄어든다.
한편, 언틸팅 챔버(360) 역시 플로트 유리(G)의 양측 사이드(GS)에 접촉되어회전될 수 있는 다수의 센서들(37), 및 이동되는 플로트 유리(G)의 위치를 보정하기 위해 센서들(37)(38)과 연동하여 작동될 수 있는 다수의 얼라이너들(39)를 구비한다.
이하, 도 75 내지 도 77을 참조하여 '분할 언틸팅'의 구체적인 작동을 설명한다.
도 75에 도시된 바와 같이, 언틸팅 챔버(360)의 언틸팅 입구(362)를 통해 플로트 유리(G)가 진입하기 전, 모든 언틸팅 영역들(UTA1~UTA5)은 경사진 상태로 유지되기 때문에 각각의 언틸팅 영역들(UTA1~UTA5)에 배치된 피딩 롤러들(R) 역시 경사진 상태로 유지된다.
이 상태에서, 플로트 유리(G)가 언틸팅 챔버(360) 내부로 완전히 진입하는 순간 언틸팅 부재(370)가 작동된다. 그러면, 5개의 언틸팅 영역들(UTA1~UTA5)에 설치된 언틸팅 액츄에이터들(34)는 제2 피딩 브라켓들(8)을 도시에 하강시킨다. 이 과정에서 발광부(31)와 수광부(33)로 구성된 언틸팅 센서(35)는 피딩 롤러(R)가 수평에 도달하는 순간 언틸팅 액츄에이터들(34)의 동작을 멈추게 된다. 또한, 언틸팅 부재(370)의 작동 과정은 피딩 롤러들(R)을 계속해서 회전시키면서 즉, 플로트 유리(G)가 움직이는 과정에서 시행하는 것이 바람직하고, 작업의 정확성 및 안정성을 위해서 피딩 롤러들(R)의 회전을 일시 정지시켜 플로트 유리(G)의 이송 작업을 멈춘 상태에서 시행하는 것도 가능하다.
그러면, 도 76에 도시된 바와 같이, 모든 언틸팅 영역들(UTA1~UTA5)에 설치된 피딩 롤러들(R)은 언틸팅 베이스들(32)를 기준으로 언틸팅 액츄에이터들(34)이 하강되어 제1 피딩 브라켓들(6)과 제2 피딩 브라켓들(8)이 수평 상태를 유지하게 되어 피딩 샤프트들(2)을 수평 상태로 유지시키며, 동시에 플로트 유리(G)가 언틸팅 출구(364)를 통해 배출될 수 있는 준비가 완료된다.
이 상태에서 피딩 롤러들(R)가 다시 구동되면, 도 77에 도시된 바와 같이, 플로트 유리(G)는 언틸팅 챔버(360)의 언틸팅 출구(364)를 통해 배출되어 이송 컨베이어 또는 버퍼 부재(370) 측으로 이동될 수 있다. 이 과정에서, 각각의 언틸팅 영역(UTA1~ UTA5)은 플로트 유리(G)의 이송 끝단(Gt)의 접촉이 해제되는 순간 개별적으로 상강되도록 제어된다. 도 77을 참조하면, 예를 들어, 플로트 유리(G)의 이송 끝단(Gt)이 제3 언틸팅 영역(UTA3)에 걸쳐 있으므로, 제3 내지 제5 언틸팅 영역들(UTA3~UTA5)은 여전히 하강된 상태로 플로트 유리(G)의 배출을 가이드하고 있지만, 제1 언틸팅 영역(UTA1)과 제2 언틸팅 영역(UTA2)은 상승되어 경사진 상태를 유지하면서 연속해서 공급되는 다음의 플로트 유리(G)를 가이드할 준비를 한다. 또한, 언틸팅 액츄에이터(34)가 상승되어 피딩 롤러들(R)이 경사진 상태를 유지하고 있는 제1 언틸팅 영역(UTA1)의 경우, 언틸팅 입구(362)를 통해 새로운 플로트 유리(G)가 진입되고 있음을 알 수 있다. 이러한 새로운 플로트 유리(G)가 제5 언틸팅 영역(UTA5)까지 진입하게 되면 전술한 바와 같이, 플로트 유리(G)의 진행과 동시에 모든 언틸팅 영역들(UTA1~UTA5)의 언틸팅 액츄에이터들(34)이 동시에 하강하는 과정을 반복한다.
전술한 상세한 설명 및 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예들을 나타내는 한편, 첨부된 청구항들에서 정의된 바와 같이 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않는 한 다양한 부가물, 변형물, 조합들 및/또는 대체물들이 만들어 질 수 있음을 이해해야 한다. 특히, 본 발명은 다른 요소들, 물질들, 성분들을 이용하여 본 발명의 정신 필수 특징들로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 다른 특정한 형태, 구조, 배열, 비율들로 구현될 수 있음을 당업자는 이해할 것이다. 본 발명의 원칙을 벗어나지 않는 한 특정의 환경 및 작동 조건들에 특히 적합하도록 된 구조, 배열, 비율, 물질, 성분의 많은 변형과 함께 본 발명이 사용될 수 있음을 당업자는 이해할 것이다. 또한, 본 명세서에서 설명된 특징들은 단독적으로 사용될 수도 있고 다른 특징들과 조합하여 사용될 수도 있다. 예를 들어, 하나의 실시예와 관련하여 설명된 특징들은 다른 실시예에서 설명된 특징들과 함께 및/또는 상호 교체되어 사용될 수 있다. 따라서, 현재 개시된 실시예들은 모든 면에서 제한적이 아닌 설명적인 것으로 간주되어야 하며, 발명의 범위는 첨부된 청구범위에 의해 표시되며, 전술한 상세한 설명에 한정되어서는 아니된다.
첨부된 청구범위의 넓은 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명의 다양한 변형들 및 변경들이 가능함을 당업자는 이해할 것이다. 이러한 것들의 몇몇은 위에서 논의되었으며 다른 것들은 당업자에게 명백할 것이다.
G…플로트 유리 R…피딩 롤러
2…피딩 샤프트 4…피딩용 오링
6,8…피딩 브라켓 10…워싱 챔버
12…워싱 입구 14…워싱 출구
20…아쿠아 나이프 23…공급 파이프
24…노즐 26…아쿠아 본체
30…틸팅 부재 32…틸팅 베이스
34…틸팅 액츄에이터 35…틸팅 센서
37…센서 39…얼라이너
40…에어 커튼 50…샤워기
70…제2 챔버 76…피딩 보강롤러
78,280…피딩 보강부재 80…린스 부재
82…워싱 샤워기 95…지지 프레임
100,100'…워싱 모듈 110…클리닝 챔버
120…세정제 공급부재 121…입구 포트
122…노즐 124…세정액 샤워기
130…디스크 부재 132…제1 디스크 어레이
133…디스크 본체 134…제2 디스크 어레이
139…디스크 하우징 140…롤러 부재
142…제1 클리닝 롤러 144…제2 클리닝 롤러
150…이송 보완부재 151~155…PVA 더블 롤러
160…중립 챔버 170,250…아쿠아 나이프
180,240…에어 커튼 200…클리닝 장치
210…린싱 챔버 218…구획 플레이트
220…고압 분사부재 221…노즐부
222…제1 분사기 224…제2 분사기
230…린스 부재 233,235…초순수 샤워기
GR1…제1 피딩 그룹 GR2…제2 피딩 그룹
R1…제1 피딩 롤러 R2…제2 피딩 롤러
302…제1 피딩 샤프트 304…제1 샤프트 서포트
306…제2 피딩 샤프트 307…아이들 롤러 브라켓
310…드라잉 챔버 320…공기 분사부재
380,390…챔버 서포트 397a…지지 프레임
320…공기 분사부재 322.323…에어 나이프
330…피딩 보강부재 332…피딩 보강 롤러
334…보강 샤프트 340…배기부재
400,400'…건조 장치

Claims (75)

  1. 주행되는 플로트 유리 표면에 잔존하는 연마 슬러리를 포함하는 미리 결정된 크기의 제1 입자를 제거할 수 있는 와싱(washing) 모듈;
    상기 플로트 유리 표면에 잔존하는 상기 제1 입자보다 더 작은 제2 입자를 세정제를 이용하여 유,무기 세정할 수 있도록 상기 와싱 모듈에 인접되게 설치된 클리닝(cleaning) 모듈;
    상기 플로트 유리 표면에 잔존하는 상기 제2 입자보다 더 작은 제3 입자를 제거할 수 있도록 상기 클리닝 모듈에 인접되게 설치된 린싱(ringing) 모듈; 및
    상기 린싱 모듈에 의해 린싱된 상기 플로트 유리 표면에 존재하는 습기를 제거할 수 있는 드라잉(drying) 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 워싱 모듈은:
    상기 플로트 유리가 관통할 수 있는 워싱 입구와 워싱 출구가 마련되며, 상기 플로트 유리를 이송시킬 있는 워싱 챔버; 및
    상기 제1 입자를 제거하기 위해 상기 플로트 유리의 적어도 하나의 표면에 물을 분사할 수 있는 아쿠아 나이프(aqua knife)를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 폭 방향으로 길게 형성된 슬릿 타입의 아쿠아 노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 아쿠아 노즐은 상기 플로트 유리의 진행 방향을 향하여 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치될 수 있는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 진행 방향의 적어도 일면 이상에 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 워싱 입구는 지면과 평행하게 마련되고, 상기 워싱 출구는 지면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 형성되며;
    상기 워싱 입구를 통해 수평으로 진입하는 상기 플로트 유리를 상기 워싱 챔버 내부에서 상기 워싱 출구의 경사 각도만큼 틸팅시킬 수 있는 틸팅 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 틸팅 부재는:
    상기 워싱 챔버 내부에서 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 일단을 지지하는 틸팅 베이스; 및
    상기 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 타단을 소정 각도로 회동시킬 수 있는 틸팅 액츄에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 다수의 피딩 롤러들은 서로 분리되어 작동되는 적어도 두 개 이상의 틸팅 영역들에 구획되고;
    상기 틸팅 부재는 각각의 틸팅 영역의 피딩 롤러들의 회전축의 양단에 각각 설치되는 적어도 두 개 이상의 틸팅 베이스들 및 틸팅 엑츄에이터들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 아쿠아 나이프는 상기 워싱 챔버의 입구에 실질적으로 근접되게 배치되는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 아쿠아 나이프는 상기 틸팅 부재에 의해 틸팅될 수 있는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  11. 제2항에 있어서,
    상기 입자의 미리 결정된 크기는 대략 10마이크로미터 이상인 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  12. 제2항에 있어서,
    상기 워싱 입구에 설치된 에어 커튼을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  13. 제2항에 있어서,
    상기 아쿠아 나이프에 의해 세정된 상기 플로트 유리의 표면을 추가적으로 워싱하기 위한 분사부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 분사 부재는 상기 워싱 챔버와 인접되게 배치되며, 제2 입구와 제2 출구를 가진 제2 챔버; 및
    상기 제2 챔버 내부에 설치되며, 물과 공기가 혼합된 2류체를 분사할 수 있는 적어도 하나 또는 그 이상의 분사기들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 분사기는 상기 플로트 유리의 양면들 중 적어도 일면에 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 분사기는 상기 플로트 유리의 진행 방향에 대향하여 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치될 수 있는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 물은 초순수(Ultra Pure Water)이고, 상기 공기는 청정 건조 공기(Clean Dry Air)인 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 분사기의 공기의 분사 압력은 0~10 kg/cm2인 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  19. 제14항에 있어서,
    상기 플로트 유리가 상기 제2 출구를 통해 배출되기 전에 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 면을 씻어내기 위한 린스 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  20. 제2항에 있어서,
    상기 린스 부재는 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 면에 물을 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 물 분사 노즐들이 마련된 워싱 샤워기를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 린스 부재는 상기 워싱 샤워기를 지지할 수 있는 샤워기 지지체를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 샤워기 지지체는:
    상기 플로트 유리의 진행 방향을 따라 상기 린싱 챔버의 사이드에 배치된 한 쌍의 린스 브라켓들;
    상기 워싱 샤워기를 고정 지지할 수 있는 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임을 상기 린스 브라켓들에 연결하기 위한 프레임 컨넥터들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  23. 제14항에 있어서,
    상기 제2 챔버의 상기 제2 입구 부분과 상기 제2 출구 부분 중 적어도 어느 한 부분에 설치된 에어 커튼을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  24. 제14항에 있어서,
    각각의 상기 제2 챔버 내부에서 상기 플로트 유리의 이송을 보강하기 위한 적어도 하나 또는 그 이상의 피딩 보강부재들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  25. 제24항에 있어서,
    각각의 상기 피딩 보강부재는 상기 플로트 유리의 양측 가장자리의 상면에 각각 접촉되어 회전될 수 있는 한 쌍의 피딩 보강 롤러들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  26. 제1항에 있어서,
    상기 클리닝 모듈은:
    클리닝 입구와 클리닝 출구가 마련된 클리닝 챔버;
    상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 표면에 세정제를 공급할 수 있도록 상기 클리닝 챔버 내부에 설치된 세정제 공급부재;
    상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 표면에 접촉되어 회전할 수 있는 적어도 하나 또는 그 이상의 디스크들을 포함하며 상기 클리닝 챔버 내부에 설치된 디스크 부재; 및
    상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 표면에 접촉될 수 있도록 상기 디스크 부재와 이격되게 상기 클리닝 챔버 내부에 설치된 적어도 하나 또는 그 이상의 클리닝 롤러들을 포함하는 롤러 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 클리닝 챔버의 상기 클리닝 입구와 상기 클리닝 출구는 수평면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 형성되며;
    상기 클리닝 챔버는 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 세정제 공급부재는, 상기 플로트 유리의 상,하면 양측에 세정액을 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 세정액 분사 노즐들이 마련된 적어도 하나 또는 그 이상의 쌍으로 구성된 세정액 샤워기들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 세정액은 초순수에 의해 희석되고 가열된 알칼리계 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  30. 제26항에 있어서,
    상기 디스크 부재는:
    상기 플로트 유리의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 서로 미리 결정된 간격으로 배치된 다수의 제1 디스크들을 구비하는 한 쌍의 제1 디스크 어레이; 및
    상기 플로트 유리의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 서로 미리 결정된 간격으로 배치된 다수의 제2 디스크들을 구비하고, 상기 제1 디스크 어레이와 이격되게 배치된 한 쌍의 제2 디스크 어레이를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 제1 디스크 어레이의 상기 제1 디스크들과 상기 제2 디스크 어레이의 상기 제2 디스크들은 서로 지그 재그로 배치되는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  32. 제26항에 있어서,
    상기 플로트 유리에 접촉될 수 있는 상기 디스크 부재의 각각의 디스크는 접촉부를 구비하고;
    상기 접촉부는 디스크 패드 또는 디스크 브러쉬 또는 디스크 스펀지 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  33. 제26항에 있어서,
    상기 롤러 부재의 각각의 클리닝 롤러는 상기 플로트 유리에 접촉될 수 있는 롤러 접촉부를 구비하고;
    상기 롤러 접촉부는 브러쉬 또는 스펀지 또는 패드 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  34. 제26항에 있어서,
    상기 디스크 부재 및/또는 상기 롤러 부재에 의한 상기 플로트 유리의 이송 속도 저하를 보충하기 위해, 상기 플로트 유리의 양면에 접촉되어 회전될 수 있는 이송 보완부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  35. 제34항에 있어서,
    상기 이송 보완부재는, 상기 플로트 유리의 상,하면에 각각 접촉될 수 있도록 배치된 하나 또는 그 이상의 쌍으로 배치된 PVA 더블 롤러들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  36. 제26항에 있어서,
    상기 제2 입자의 크기는 대략 3마이크로미터 이상인 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  37. 제1항에 있어서,
    상기 린싱 모듈은:
    린싱 입구와 린싱 출구가 마련된 린싱 챔버;
    상기 린싱 입구에 인접되게 배치되고, 상기 플로트 유리의 폭 방향으로 물과 공기가 혼합된 상태의 고압 2류체를 분사할 수 있도록 상기 린싱 챔버 내부에 설치된 고압 분사부재; 및
    상기 플로트 유리의 표면에 초순수를 분사하여 린스할 수 있도록 상기 린싱 챔버 내부에 설치된 린스 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  38. 제37항에 있어서,
    상기 고압 분사부재는 서로 나란하게 설치된 제1 분사기 및 제2 분사기를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  39. 제38항에 있어서,
    상기 제1 분사기 및/또는 상기 제2 분사기는 상기 플로트 유리의 양면에 한 쌍씩 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  40. 제38항에 있어서,
    상기 제1 분사기 및/또는 상기 제2 분사기의 공기의 분사 압력은 대략 10 kg/cm2인 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  41. 제37항에 있어서,
    상기 고압 분사부재는 상기 플로트 유리의 표면에 실질적으로 수직되게 상기 고압 2류체를 분사할 수 있도록 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  42. 제37항에 있어서,
    상기 린스 부재는 상기 플로트 유리의 적어도 어느 하나의 면에 초순수를 분사할 수 있도록 배치되고, 다수의 초순수 분사 노즐들이 마련된 적어도 하나 또는 그 이상의 쌍으로 구성된 초순수 샤워기들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  43. 제42항에 있어서,
    상기 린스 부재는 상기 초순수 샤워기들을 지지할 수 있는 샤워기 지지체를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  44. 제43항에 있어서,
    상기 샤워기 지지체는:
    상기 플로트 유리의 진행 방향을 따라 상기 린싱 챔버의 사이드에 배치된 한 쌍의 린스 브라켓들;
    상기 초순수 샤워기들을 고정 지지할 수 있는 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임을 상기 린스 브라켓들에 연결하기 위한 프레임 컨넥터들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  45. 제44항에 있어서,
    상기 지지 프레임과 상기 린싱 챔버의 바닥 사이에 설치된 다수의 보조 브라켓들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  46. 제37항에 있어서,
    상기 린싱 챔버를 전방 챔버와 후방 챔버로 구획할 수 있도록 상기 린싱 챔버를 가로질러 설치되고, 상기 플로트 유리가 통과할 수 있는 관통 슬릿이 마련된 구획 플레이트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  47. 제37항에 있어서,
    상기 구획 플레이트에 설치된 에어 커튼을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  48. 제37항에 있어서,
    상기 린싱 챔버의 상기 린싱 입구에 설치된 에어 커튼을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  49. 제37항에 있어서,
    상기 린싱 챔버의 상기 린싱 출구에 설치된 아쿠아 나이프를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  50. 제49항에 있어서,
    상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 폭 방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  51. 제50항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 플로트 유리의 진행 방향에 대향하여 0° 내지 90°각도로 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  52. 제50항에 있어서,
    상기 아쿠아 나이프는 상기 플로트 유리의 진행 방향의 상,하부에 한 쌍으로 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  53. 제37항에 있어서,
    상기 물은 초순수(Ultra Pure Water)이고, 상기 공기는 청정 건조 공기(Clean Dry Air)인 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  54. 제37항에 있어서,
    상기 린싱 챔버의 상기 린싱 입구와 상기 린싱 출구는 수평면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 형성되며;
    상기 린싱 챔버는 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  55. 제54항에 있어서,
    상기 린싱 챔버 내부에서 상기 플로트 유리의 이송을 보강하기 위한 적어도 하나 또는 그 이상의 피딩 보강부재들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  56. 제55항에 있어서,
    각각의 상기 피딩 보강부재는 상기 플로트 유리의 양측 가장자리의 상면에 각각 접촉되어 회전될 수 있는 한 쌍의 피딩 보강 롤러들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  57. 제37항에 있어서,
    상기 제3 입자의 크기는 대략 0.2마이크로미터 이상인 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  58. 제37항에 있어서,
    상기 초순수는 대략 18 ㏁ 이상의 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  59. 제1항에 있어서,
    상기 드라잉 모듈은:
    드라잉 입구와 드라잉 출구가 마련되고, 그 내부에 회전 가능하게 배치된 다수의 피딩 롤러들을 구비하는 드라잉 챔버; 및
    상기 플로트 유리의 표면에 미리 결정된 압력의 청정 건조 공기를 분사할 수 있는 공기 분사부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  60. 제59항에 있어서,
    상기 공기 분사부재는 0~10 kg/cm2의 청정 건조 공기를 분사할 수 있는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  61. 제59항에 있어서,
    상기 공기 분사부재는 상기 플로트 유리의 폭방향으로 길게 형성된 슬릿 타입 공기 노즐을 구비하는 에어 나이프를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  62. 제61항에 있어서,
    상기 에어 나이프는 상기 플로트 유리의 상부에 배치 제1 에어 나이프 및 상기 플로트 유리의 하부에 배치된 제2 에어 나이프를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  63. 제61항에 있어서,
    상기 제1 에어 나이프의 공기 분사 압력은 상기 제2 에어 나이프의 공기 분사 압력과 같거나 공기 분사 압력보다 높은 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  64. 제59항에 있어서,
    상기 공기 분사부재는 상기 플로트 유리의 진행 방향에 대향하여 미리 결정된 각도로 경사지게 배치될 수 있는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  65. 제59항에 있어서,
    상기 공기 분사부재는 상기 플로트 유리의 폭방향을 기준으로 상기 드라잉 입구측으로 대략 20° 내지 대략 45° 각도로 사선으로 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  66. 제65항에 있어서,
    상기 피딩 롤러들은 상기 드라잉 입구 측에 배치된 제1 피딩 그룹과 상기 드라잉 출구 측에 배치된 제2 피딩 그룹을 구비하고;
    상기 제1 및 제2 피딩 그룹들은 상기 사선에 의해 구획되는 아이들(idle) 구역을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  67. 제66항에 있어서,
    상기 플로트 유리의 하면에 접촉되어 회전될 수 있도록 상기 아이들 구역에 배치된 다수의 아이들 롤러들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  68. 제59항에 있어서,
    상기 드라잉 챔버 내부에서 상기 플로트 유리의 이송을 보강하기 위한 적어도 하나 또는 그 이상의 피딩 보강부재들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  69. 제68항에 있어서,
    각각의 상기 피딩 보강부재는 상기 플로트 유리의 양측 가장자리의 상면에 접촉되어 회전될 수 있는 피딩 보강 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  70. 제59항에 있어서,
    상기 공기 분사부재에 의해 공급되어 상기 플로트 유리의 표면을 건조시킨 공기를 상기 드라잉 챔버 외부로 배출시키기 위한 배기부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  71. 제59항에 있어서,
    상기 드라잉 챔버의 상기 드라잉 입구와 상기 드라잉 출구는 수평면에 대해 미리 결정된 각도로 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  72. 제59항에 있어서,
    상기 드라잉 출구와 연통되는 언틸팅 입구 및 지면에 대해 평행하게 마련된 언틸팅 출구를 가지며, 상기 드라잉 챔버에 인접되게 설치된 언틸팅 챔버; 및
    상기 드라잉 출구 및 상기 언틸팅 입구를 통해 경사지게 진입하는 상기 플로트 유리가 상기 언틸팅 출구를 통해 배출될 수 있도록 상기 언틸팅 챔버 내부에서 상기 플로트 유리를 언틸팅시킬 수 있는 언틸팅 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  73. 제72항에 있어서,
    상기 언틸팅 부재는:
    상기 언틸팅 챔버 내부에서 상기 플로트 유리를 미리 결정된 속도로 이송시키기 위해 회전 가능한 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 일단을 지지하는 언틸팅 베이스; 및
    상기 다수의 피딩 롤러들의 회전축의 타단을 소정 각도로 회동시킬 수 있는 언틸팅 액츄에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  74. 제73항에 있어서,
    상기 다수의 피딩 롤러들은 서로 분리되어 작동되는 적어도 두 개 또는 이상의 언언틸팅 영역들로 구획되고;
    상기 언틸팅 부재는 각각의 언언틸팅 영역의 피딩 롤러들의 회전축의 양단에 각각 설치되는 적어도 두 개 이상의 언틸팅 베이스들 및 언틸팅 엑츄에이터들을 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
  75. 제74항에 있어서,
    상기 언틸팅 챔버의 상기 언틸틸 출구로부터 배출되는 건조된 플로트 유리를 임시로 적재할 수 있는 적재 공간이 마련된 버퍼 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플로트 유리 세정 시스템.
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