KR20120125947A

KR20120125947A - 스크라이브 장치

Info

Publication number: KR20120125947A
Application number: KR1020120023224A
Authority: KR
Inventors: 토루 나루오
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-05-09
Filing date: 2012-03-07
Publication date: 2012-11-19
Also published as: TW201246345A; CN102775054B; TWI456647B; KR101345614B1; CN102775054A

Abstract

(과제) 스크라이브 홈을 형성할 때에, 절삭분이나 단재의 비산에 의해 발생기는 폐해를 없앤 스크라이브 장치를 제공한다.
(해결 수단) 커터 휠(11)을 지지(holding)하는 커터 부착 부재(10)와, 커터 부착 부재(10)의 지지축(12)을, 베어링(13)을 통하여 회동 가능하게 지지하는 홀더(9)를 구비한 스크라이브 헤드(7)가, 스크라이브 장치의 가이드 바(3)에 설치한 가이드(6)를 따라서 이동할 수 있도록 부착되어 있는 스크라이브 장치에 있어서, 스크라이브 헤드(7)에 공기 취출구(16)가 형성되고, 이 공기 취출구(16)가, 가이드 바(3)측이 상류가 되도록 하여 커터 휠(11)의 날끝 부분을 향하여 취출되도록 형성되는 구성으로 했다.

Description

스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS}

본 발명은, 유리 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)에 스크라이브 홈(절삭홈)을 형성하기 위한 스크라이브 장치에 관한 것이다.

취성 재료 기판인 유리 기판을 분단(dividing)하는 과정에 있어서, 기판 표면에 커터 휠(스크라이빙 휠이라고도 함)을 밀어붙이면서 이동시킴으로써 스크라이브 홈을 형성하는 방법은 일반적으로 알려져 있으며, 예를 들면, 특허문헌 1, 특허문헌 2에서도 개시되어 있다.

도 8을 참조하여, 특허문헌 1의 스크라이브 장치의 개요를 설명한다.

하단에 커터 휠(21)을 구비한 스크라이브 헤드(22)는 X방향으로 연장되는 가이드 바(23)의 가이드(24)를 따라서 X방향으로 이동할 수 있도록 설치되어 있다. 가이드 바(23)는 좌우의 지지 기둥(25, 25)에 의해 지지되고, 가이드 레일(26)을 따라서 Y방향으로 이동할 수 있도록 형성되어 있다. 스크라이브 헤드(22)의 하방에는 수평면 내에서 회동 가능한 테이블(27)이 배치되고, 이 테이블(27) 상에 기판(W)이 올려놓여진다.

상기 커터 휠(21)은, 도 9에 나타내는 바와 같이 커터 부착 부재(홀더 조인트)(29)를 통하여 홀더(28)에 부착되어 있다. 스크라이브 헤드(22)는, 홀더(28)가 상하 승강 가능하게 지지(holding)되어 있고, 커터 부착 부재(29)는 수직인 지지축(30)을 갖고, 이 지지축(30)이 베어링(31)을 통하여 홀더(28)에 회동(回動) 가능하게 지지되어 있다. 커터 휠(21)의 회전축의 위치는, 지지축(30)을 수직으로 하방으로 연장한 선상으로부터 벗어나도록 하여 캐스터와 동일한 움직임을 하도록 되어 있고, 스크라이브 헤드(22)를 직선적으로 이동시켰을 때에 커터 휠(21)의 전동(rolling) 방향의 직진성이 유지되도록 하고 있다(소위 캐스터 효과에 의함). 이 커터 휠(21)을 하강시켜 날끝을 테이블(27) 상의 기판(W)에 밀어붙인 상태로 하고, 스크라이브 헤드(22)를 가이드(24)를 따라서 X방향으로 이동시킴으로써, 기판(W)에 스크라이브 홈의 가공이 행해진다.　

그런데, 스크라이브 홈의 가공시에 발생하는 유리 부스러기 등의 절삭분이나 작은 단재(端材)를 날려 보내기 위해, 커터 휠(21)의 비스듬한 상방에서, 커터 부착 부재(29)의 내부(커터 휠(21)을 회전 가능하게 축지지하기 위한 내부 공간)에 있어서, 하방을 향하여 압축 공기를 취출하는 공기 취출구(32)가 개구되어 있다. 이 공기 취출구(32)는 커터 부착 부재(29) 그리고 지지축(30)을 관통하는 유로(33)를 통하여 도시 외의 압축 공기의 공급원에 연통(communication)되어 있어, 스크라이브 홈을 가공할 때에, 공기 취출구(32)로부터 커터 휠(21)을 향하여 압축 공기를 분사하여 절삭분이나 단재를 날려 보낼 수 있도록 되어 있다.

일본공개특허공보 2000-247667호 일본공개특허공보 2004-189556호

그런데, 도 9에 나타나 있는 바와 같이, 커터 휠(21)의 비스듬한 상방에서, 커터 부착 부재(29)의 내부에 형성한 공기 취출구(32)로부터 압축 공기를 취출하면, 압축 공기는 하방을 향하여, 대향하는 기판(W)의 표면으로 분사되지만, 그 후, 압축 공기는 절삭분과 함께 바깥쪽을 향하여 방사상으로 분산되어 날려 보내지거나 재차 상방으로 날아 올라가거나 하게 되어, 그 비산 방향을 제어할 수 없게 된다. 그 결과, 절삭분이나 단재가 베어링(31)이나 그 외의 운동 기구로 침입하여, 동작 불량의 원인이 되는 경우가 있었다. 특히, 비산된 절삭분이, 스크라이브 헤드(22)(커터 휠(21))의 주행 방향과 평행하게 가이드 바(23)의 하부에 설치되어 있는 스크라이브 헤드 위치 검출용의 리니어 스케일(S)에 부착되면, 리니어 스케일(S)의 계측 오차나 판독 에러가 발생하는 등의 문제가 있었다.

또한, 최근의 기판 분단 가공에서는, 제품이 복수 패터닝되어 있는 대면적의 마더 기판(mother substrate)으로부터 개개의 제품을 잘라낼 때에, 가능한 한 단재의 발생을 억제하도록 하여, 기판의 거의 전체면을 유효하게 이용하는 것이 요구되기 때문에, 발생하는 단재의 크기가 이전에 비하여 가늘어지고 있다. 이러한 가는 단재가 비산된 경우에, 스크라이브 헤드(22)(커터 휠(21))의 기계적인 기구의 작은 틈사이 부분에 파고들기 쉽게 되어 있고, 이것이 원인이 되어 종래는 문제가 되지 않았던 개소에도 단재가 파고들어, 트러블이 발생하기 쉽게 되어 있다.

예를 들면, 최근의 스크라이브 장치에서는, 기판 표면의 요철의 영향을 저감하여 안정된 스크라이브를 행할 목적이나 커터 휠의 기판으로의 과도한 압압(pushing) 방지 등의 목적에서, 커터 부착 부재 근방의 위치에, 가이드 롤러를 배치하도록 한 홀더를 사용하고 있는 경우가 있지만(예를 들면 특허문헌 2 참조), 이러한 경우에, 커터 부착 부재와 가이드 롤러의 부착 부재와의 간극(gap)에 가는 단재가 파고들어, 커터 부착 부재의 회전 동작에 지장을 초래하는 트러블이 발생하기 쉽게 되어 있다.

그래서 본 발명은, 스크라이브 홈의 형성시에, 절삭분이나 단재의 비산에 의해 발생하는 트러블을 없앨 수 있는 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 스크라이브 장치는, 커터 휠을 전동 가능하게 지지하는 커터 부착 부재와, 커터 부착 부재에 형성된 지지축을, 베어링을 통하여 회동 가능하게 지지하는 홀더를 구비한 스크라이브 헤드를 갖는다. 이 스크라이브 헤드는, 당해 스크라이브 헤드를 이동시키기 위한 가이드 및 당해 스크라이브 헤드의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 기구가 설치된 가이드 바에 지지되고, 커터 휠을 가공 대상의 기판 상에서 전동시킴으로써 스크라이브 홈을 형성한다.

그리고, 스크라이브 헤드에는, 커터 휠의 측방으로부터 퍼지 가스를 취출하는 가스 취출구가 형성되고, 가이드 바가 가스 취출구로부터의 퍼지 가스의 흐름보다 상류가 되도록 하여 날끝 부분을 향하여 분사하도록 되어 있다.

여기에서, 위치 검출 기구는, 스크라이브 헤드의 가이드 바 상의 위치를 계측할 수 있는 것으로, 예를 들면 리니어 스케일과 이를 관찰하는 광학 판독 장치에 의해 구성되는 검출 기구를 이용할 수 있다.

퍼지 가스는 압축 공기가 염가로 좋지만, 절삭분을 날려 보낼 수 있으면 되기 때문에, 건조 질소 등이라도 좋다.

본 발명에 의하면, 상기 구성에 의해, 스크라이브 홈을 형성할 때에, 커터 휠의 날끝 부분에 발생하는 절삭분이나 단재는, 커터 휠 측방의 가스 취출구로부터 분출되는 퍼지 가스에 의해 상류측의 가이드 바측으로부터 멀어지도록, 바깥 방향으로 날려 보내지기 때문에, 절삭분 등이 가이드 바에 부착되는 일이 없어져, 위치 검출 기구에 악영향을 주는 일이 없어진다. 또한, 커터 휠의 측방으로부터 날려 보내지기 때문에, 커터 휠의 상방으로 날아 올라가는 것을 억제할 수 있고, 이에 따라 절삭분 등이 스크라이브 헤드 내부의 베어링으로 침입하여 동작 불량을 일으키는 것을 미연에 방지할 수 있다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 다른 스크라이브 장치는, 커터 휠을 전동 가능하게 지지하는 커터 부착 부재와, 커터 부착 부재에 형성된 지지축을, 베어링을 통하여 회동 가능하게 지지하는 홀더를 구비한 스크라이브 헤드를 갖고, 스크라이브 헤드는, 당해 스크라이브 헤드를 기판면을 따라서 이동시키기 위한 가이드 바에 지지되고, 커터 휠을 가공 대상의 기판 상에서 전동시킴으로써 스크라이브 홈을 형성하는 스크라이브 장치에 있어서, 이하의 구성을 구비하고 있다.

즉, 스크라이브 헤드에는, 커터 부착 부재의 측방으로부터 커터 휠을 향하여 퍼지 가스를 분사하는 가스 취출구가 형성되고, 또한 가스 취출구와 커터 부착 부재와의 사이에는, 단재의 침입을 저지하기 위한 칸막이벽을 이루는 것과 함께, 커터 휠을 향하는 퍼지 가스를, 기판면을 따라서 통과시키는 개구를 형성한 커버가 부착되도록 되어 있다.

본 발명에 의하면, 커터 부착 부재의 측방에 있는 가스 취출구로부터 커터 휠을 향하여 퍼지 가스가 분사되면, 커터 부착 부재와 가스 취출구와의 사이에는, 칸막이벽을 이루도록 커버가 설치되어 있기 때문에, 퍼지 가스의 일부는 커버에 충돌하게 되지만, 일부는 커버의 개구를 통과하여 커터 휠로 향하게 된다. 이 개구를 통과한 퍼지 가스에 의해, 커터 휠이 기판 상을 전동할 때에 발생한 절삭분이나 단재가 날려 보내진다. 또한, 커버의 존재에 의해, 발생한 절삭분이나 단재가 날려 보내질 때에 커터 부착 부재에 부딪혀 다시 튀었다고 해도, 커버를 넘어 가스 취출구측에까지 널리 비산하는 일이 없어진다.

또한, 가스 취출구와 커터 부착 부재와의 사이에 커버를 설치함으로써, 커터 부착 부재와 커버와의 간극을 좁은 공간으로 할 수 있기 때문에, 가늘고 긴 단재는, 이 좁은 공간에 파고드는 것이 곤란해진다. 따라서, 단재는 커터 부착 부재의 하류측(커버와는 커터 부착 부재를 사이에 두고 반대측)으로 비산하게 되고, 커터 부착 부재보다도 하류에 비산된 단재는 바깥쪽으로 간단하게 날려 보내진다.

그런 까닭에, 가늘고 긴 단재가 원인이 되어 커터 부착 부재의 동작에 지장을 초래하는 바와 같은 문제를 격감시킬 수 있다.

또한, 상기 발명에 있어서, 가스 취출구 및 커버의 개구가, 가공되는 기판면을 따라서 횡방향으로 가늘고 길게 형성되어도 좋다.

이에 따라, 퍼지 가스는 횡방향의 띠 형상의 흐름이 되어 커터 휠의 날끝 주변에 분사되어 절삭분이나 단재를 효과적으로 일소시킬 수 있다.

또한, 상기 발명에 있어서, 스크라이브 헤드의 홀더에는, 커터 부착 부재를 사이에 끼고 직선 형상으로 늘어놓여지는 한 쌍의 가이드 롤러가 각각 가이드 롤러 부착 부재에 의해 전동 가능하게 지지되어 있고, 커버는, 상기 가이드 롤러 부착 부재의 한쪽 측면에 고정되어 커터 부착 부재의 한쪽 측면을 둘러싸도록 부착되어도 좋다.

이에 따라, 커버에 의해, 가이드 롤러 부착 부재와 커터 부착 부재와의 간극의 공간에 가늘고 긴 단재가 파고드는 것을 곤란하게 할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 스크라이브 헤드의 사시도이다.
도 3은 도 1의 스크라이브 헤드를 하측으로부터 본 확대 사시도이다.
도 4는 도 1의 스크라이브 헤드의 일부 단면도이다.
도 5는 스크라이브 헤드의 다른 일 실시예를 하측으로부터 본 사시도이다.
도 6은 스크라이브 헤드의 또 다른 일 실시예를 하측으로부터 본 사시도이다.
도 7은 커버가 부착되어 있지 않은 경우에 단재가 간극에 파고든 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 종래의 스크라이브 장치의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 9는 종래의 스크라이브 헤드의 요부를 나타내는 단면도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하에 있어서, 본 발명의 스크라이브 장치를 도 1?도 4에 기초하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 사시도이다. 도 2?도 4는 도 1의 스크라이브 장치에 있어서의 스크라이브 헤드의 사시도, 하측으로부터 본 확대 사시도, 일부 단면도이다. 이 스크라이브 장치(A)는, 유리 기판(W)을 상면에 올려놓는 테이블(1)을 구비하고 있다. 테이블(1)은, 회전 구동 기구(도시 외)에 의해 수평면 내에서 좌우로 회전할 수 있도록 되어 있다.

테이블(1)을 사이에 끼고 걸치도록 배치된 양측의 지지 기둥(2, 2)과, X방향으로 연장되는 가이드 바(3)에 의해 브리지(4)가 구성된다. 지지 기둥(2)은, Y축 구동 기구(도시 외)에 의해, Y방향의 가이드가 되는 슬라이드부(5)를 따라서 이동하도록 되어 있다. 브리지(4)에는 스크라이브 헤드(7)가 부착되고, 한쪽의 지지 기둥(2)에 지지된 X축 구동 기구에 의해, 가이드(6)를 따라서 X방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.

또한, 가이드 바(3)의 하부에는 스크라이브 헤드(7)의 X방향의 위치 검출 기구로서 리니어 스케일(S)이 설치되어 있다. 이 리니어 스케일(S)에는 눈금이 표시되어 있고, 이 눈금을 스크라이브 헤드(7)에 장비한 광학 검출부(도시 외)에 의해 판독함으로써 스크라이브 헤드(7)의 X방향의 위치나 이동 거리를 검출할 수 있도록 되어 있다.

스크라이브 헤드(7)에는, 도 2?도 4에 나타내는 바와 같이, 승강 구동부(8)에 의해 상하로 이동하는 홀더(9)가 설치되어 있다. 홀더(9)의 하부에는, 베어링(13)이 부착되어 있고, 이 베어링(13)을 통하여, 커터 부착 부재(10)(홀더 조인트)의 상부에 설치된 수직인 지지축(12)이 축지지됨으로써, 커터 부착 부재(10)가 회동하도록 되어 있다.

커터 부착 부재(10)는 커터 휠(11)을 양측에서 끼우도록 하여 그 회전축을 지지하는 블럭체로 이루어진다. 도 9에서 설명한 커터 부착 부재(29)와는 공기 취출구(32), 유로(33)를 형성하지 않은 점 이외는 동일한 형상이고, 따라서, 커터 휠(11)의 회전축의 위치는, 지지축(12)을 수직으로 하방으로 연장한 선상으로부터 벗어나도록 하여 캐스터와 동일한 움직임을 하도록 되어 있다.

본 실시예에서는, 커터 휠(11)의 전후의 위치에 가이드 롤러(14, 14)가 일직선상으로 배치되어 홀더(9)에 지지되도록 하고 있다. 이 가이드 롤러(14, 14)는, 커터 휠(11)의 날끝보다도 근소하게 상방으로 후퇴한 높이 위치에 롤러면이 오도록 배치되어 있어, 스크라이브 홈을 가공할 때에 커터 휠(11)의 날끝의 기판(W)에 대한 과도한 파고듦이 억제되도록 되어 있다. 또한, 기판(W)의 가장자리 테두리 외부로부터 스크라이브 홈의 가공을 행하기 위해 커터 휠(11)을 하강시켰을 때, 설정 이상의 강하가 있으면 기판(W)측에 있는 가이드 롤러(14)가 기판(W)의 가장자리 테두리 부분의 상면에 접촉하여 그 이상의 강하를 억제한다. 이에 따라, 커터 휠(11)의 날끝이 잘못되어 손상되는 것을 저감하도록 하고 있다.

커터 휠(11)의 전동 방향은 가이드 롤러(14, 14)를 따른 방향, 즉 가이드 바(3)(도 1)의 가이드(6)의 방향(X방향)을 따르도록 되어 있다.

그리고, 스크라이브 헤드(7)에는, 커터 휠(11)(커터 부착 부재(10))의 측방의 위치에 가스 취출구(16)가 형성된 가스 취출 노즐(15)이 부착되어 있다. 가스 취출 노즐(15)은, 튜브(18)를 통하여 압축 공기 공급원(도시 외)에 연결되어, 퍼지 가스가 공급되도록 되어 있다. 또한, 퍼지 가스는 압축 공기에 한정되지 않고, 이 대신에 건조 질소 등을 이용해도 좋다.

가스 취출구(16)는, 커터 휠(11)을 향하여 퍼지 가스가 취출되도록 되어 있다. 본 실시예에서는, 가스 취출구(16)는, 가공되는 기판(W)의 면에 평행하게 횡방향으로 가늘고 길게 형성되어 있다.

또한, 리니어 스케일(S)이 설치되어 있는 가이드 바(3)는, 가스 취출구(16)로부터의 퍼지 가스의 흐름보다 상류가 되도록 하고, 가이드 바(3)로는 퍼지 가스가 분사되지 않고, 커터 휠(11)의 날끝 부분을 향하여 퍼지 가스가 취출되도록 형성되어 있다. 이와 같이 함으로써, 리니어 스케일(S)에 절삭분이 부착되어 위치 검출을 할 수 없게 되는 문제를 방지하도록 하고 있다.

또한, 커터 부착 부재(10)의 근방에서, 커터 부착 부재(10)와 가스 취출구(16)와의 사이에는, 커버(17)가 설치되어 있다. 이 커버(17)는, 평면에서 보았을 때 대략 ㄷ자 형상의 판재로 이루어지고, 커터 부착 부재(10)의 한쪽 측면을 둘러싸도록 되어 있고, 기판(W) 상에서 가스 취출구(16)측과 커터 부착 부재(10)측을 분리하는 칸막이벽이 되도록 되어 있다.

커버(17)의 양단은, 가이드 롤러 부착 부재(14a, 14a)의 측면(프레임)에 고정되어 있다. 커버(17)의 하단 테두리에는, 공기 취출구(16)로부터 취출되는 공기가 커터 휠(11)의 날끝 부분에 분사되는 것을 저해하지 않도록 절결(cut-away;17a)(개구)이 형성되어 있다. 절결(17a) 대신에, 커버(17)에 구멍을 가공함으로써 개구를 형성해도 좋다.

또한, 도 4에서는 설명의 편의상, 가이드 롤러 부착 부재(14a)를 생략하여 도시하고 있고, 이 가이드 롤러 부착 부재(14a)에 부착되는 커버(17)의 위치가 2점쇄선으로 표시되어 있다.

또한, 도 2에 나타내는 바와 같이 스크라이브 헤드(7)의 중턱 부분의 내부를 숨기는 벽판(19)이 설치되어 있어, 절삭분이 날아올라간 경우라도 스크라이브 헤드(7) 내부의 기계적인 운동 기구로 파고들지 않도록 되어 있다.

스크라이브 장치(A)에서는, 커터 휠(11)을 하강시켜 그 날끝을 테이블(1) 상의 기판(W)으로 밀어붙인 상태로 하여, 스크라이브 헤드(7)를 가이드(6)를 따라서 X방향으로 이동시킴으로써 기판(W)에 스크라이브 홈이 형성된다.

이 스크라이브 홈의 가공 시에, 커터 휠(11)의 전동에 수반하여 날끝 부분에 발생하는 절삭분이나 단재는, 가스 취출구(16)로부터 취출되는 압축 공기의 일부가 절결(17a)을 통과하여 커터 휠(11)로 분사되어, 하류측으로 날려 보내진다. 이때 절삭분이 커터 부착 부재(10)나 가이드 롤러 부착 부재(14a)에 부딪혀 다시 튀었다고 해도, 커버(17)의 존재에 의해 절삭분이 커버(17)를 넘어 가스 취출구(16)측(가이드 바(3)측)으로 비산하는 것은 완전하게 저지할 수 있다.

또한, 스크라이브에 의해 가늘고 긴 단재(예를 들면 폭 2mm×길이 50mm의 단재)가 발생한 경우에, 커터 부착 부재(10)와 커버(17)와의 간극(예를 들면 가장 넓은 간극을 10mm 이하로 하고 있음)에, 그 길이의 단재가 들어갈 수 없기 때문에, 단재는 커버(17)가 부착된 측과는 반대측으로 이동하여, 또한 퍼지 가스로 하류측으로 날려 보내지기 때문에, 커터 부착 부재(10)의 근방으로 파고들어 그 자리에 머무는 일이 없어진다.

이에 따라 단재가 스크라이브 헤드(7) 내부의 베어링이나 운동 기구 부분으로 침입하여 동작 불량을 일으키는 것을 방지할 수 있다.

도 7은, 비교예로서 커버(17)를 설치하지 않았을 때에 단재가 가이드 롤러 부착 부재(14a)와 커터 부착 부재(10)와의 간극으로 파고든 상태를 나타내는 도면(아래로부터 본 도면)이다. 커버(17)가 존재하지 않기 때문에, 가늘고 긴 단재(H)가 커터 부착 부재(10)와 가이드 롤러 부착 부재(14a)와의 사이의 간극으로 파고들어, 예를 들면 베어링(13)의 회전 동작을 방해하게 된다. 이러한 상태가 됨으로써 베어링의 회전이 곤란해져, 스크라이브에 지장을 초래한다. 이에 따라, 커버(17)를 부착함으로써 커터 부착 부재(10)와 가이드 롤러 부착 부재(14a)와의 사이에 단재가 파고드는 트러블은 발생하지 않게 되었다.

또한, 가스 취출구(16)가, 가공되는 기판(W)의 면에 평행하게 횡방향으로 가늘고 길게 형성되어 있기 때문에, 취출되는 압축 공기는 띠 형상의 흐름이 되어 커터 휠(11)의 날끝 주변으로 분사되고, 이에 따라 절삭분 등을 깨끗하게 일소시킬 수 있다.

또한, 가스 취출 노즐(15)은, 도 5에 나타내는 바와 같이 튜브 형상의 형태로 하여 그 취출구(16)를 원형으로 형성하는 것도 가능하다.

또한, 상기 실시예에서는, 스크라이브 헤드(7)의 커터 휠(11)이 가이드 바(3)를 따라서 X방향으로 전동하도록 했지만, 도 6에 나타내는 바와 같이 커터 휠(11)이 가이드 바(3)와 직교하는 Y방향으로 전동하도록 형성할 수도 있다. 이 경우는, 스크라이브 홈을 가공할 때에, 도 1에서 나타낸 브리지(4)를 Y방향으로 이동시키거나, 혹은 테이블(1)을 Y방향으로 이동할 수 있는 구동 기구를 설치하도록 하여 행한다. 그리고, 가이드 바(3)와 커터 휠(11)의 사이에 한쪽의 가이드 롤러(14)가 존재하는 바와 같은 위치 관계가 되기 때문에, 예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 가이드 바(3)와 커터 부착 부재(10)와의 사이의 비스듬한 측방의 위치에 가스 취출구(16)를 배치하고, 가이드 바(3)가 가스 취출구(16)로부터의 퍼지 가스의 흐름보다 상류가 되도록 하여, 절결(17a)을 향하여 취출되도록 한다. 또한 절결(17a)의 위치도 가스 취출구(16)측에 접근시키면 좋다.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시예 구조로만 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 가이드 롤러(14, 14)는 생략하여 형성하는 것도 가능하며, 커버(17)도 생략하여 형성할 수도 있다. 커버(17)의 형상도, 평면에서 보았을 때 ㄷ자 형상으로 하는 것 대신에, 반원 형상으로 할 수도 있다. 그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명은, 유리 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 홈을 형성하기 위한 스크라이브 장치에 적용할 수 있다.

A : 스크라이브 장치
W : 취성 재료 기판(유리 기판)
1 : 테이블　
2 : 테이블
3 : 가이드 바
6 : 가이드
7 : 스크라이브 헤드
9 : 홀더
10　커터 부착 부재
11 : 커터 휠
12 : 지지축
13 : 베어링
15　가스 취출 노즐
16 : 가스 취출구

Claims

커터 휠을 전동(rolling) 가능하게 지지(holding)하는 커터 부착 부재와, 상기 커터 부착 부재에 형성된 지지축을, 베어링을 통하여 회동 가능하게 지지하는 홀더를 구비한 스크라이브 헤드를 갖고,
상기 스크라이브 헤드는, 당해 스크라이브 헤드를 이동시키기 위한 가이드 및 당해 스크라이브 헤드의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 기구가 설치된 가이드 바에 지지되고, 상기 커터 휠을 가공 대상의 기판 상에서 전동시킴으로써 스크라이브 홈을 형성하는 스크라이브 장치에 있어서,
상기 스크라이브 헤드에는 상기 커터 부착 부재의 측방으로부터 퍼지 가스를 취출하는 가스 취출구가 형성되고, 상기 가이드 바가 상기 가스 취출구로부터의 퍼지 가스의 흐름보다 상류가 되도록 하여 날끝 부분을 향하여 분사하도록 하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
제1항에 있어서,
상기 가스 취출구와 상기 커터 부착 부재와의 사이에는, 단재의 침입을 저지하기 위한 칸막이벽을 이룸과 함께, 상기 커터 휠을 향하는 퍼지 가스를, 상기 기판면을 따라서 통과시키는 개구를 형성한 커버가 부착되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
제2항에 있어서,
상기 가스 취출구 및 상기 커버의 개구가, 가공되는 기판면을 따라서 횡방향으로 가늘고 길게 형성되어 있는 스크라이브 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 스크라이브 헤드의 홀더에는, 상기 커터 부착 부재를 사이에 끼고 직선 형상으로 늘어놓여지는 한 쌍의 가이드 롤러가 각각 가이드 롤러 부착 부재에 의해 전동 가능하게 지지되어 있고,
상기 커버는, 상기 가이드 롤러 부착 부재의 한쪽 측면에 고정되어 커터 부착 부재의 한쪽 측면을 둘러싸도록 부착되는 스크라이브 장치.