KR20120123074A - 도포방법과 장치 - Google Patents

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KR20120123074A
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마사후미 마츠나가
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엠테크스마트 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 꼭대기판, 밑판과 측판을 구비한 도포실 내에서, 피도물에 도포제를 도포기에 의해 도포하는 방법과 장치이고, 도포실 상부와 하부에 각각 공기흡입구와 배출구를 형성하고, 도포실의 상부 내측에 도포기에 적어도 토출공을 노출시켜, 밑판측에서 도포실 내로 노출된 피도물 적치유닛을 설치하고, 도포기와 피도물 적치유닛의 적어도 한쪽 방향을 직선이동이 가능하게 설치하고, 도포기와 피도물 적치유닛의 적어도 한쪽 방향을 도포실 외에 설치된 구동기구에 의해 이동시켜 도포기를 피도물에 대하여 위치를 정하고, 도포기에 의해 도포제를 도포하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

Description

도포방법과 장치{COATING METHOD AND DEVICE}
본 발명은 도포재료를 피도물에 도포하는 방법과 장치의 관계, 특히 인화성이 있는 도포재료의 자동도포방법과 장치에 관한 것이다.
종래, 인화성이 있는 유기용제를 포함한 재료를 피도물에 토출했을때 선과 점의 패턴 또는 그 집합체에 도포하거나, 면 도포를 하는 방법으로서, 2축 또는 3축의 직교로봇에 도포도구를 세팅한 자동도포장치가 다수 제조되어 업계에서 사용되고 있다
또한, 간이형으로서 디스펜서와 스프레이 노즐 또는 초음파무화 장치, 잉크젯토출기 등을 셋팅한 탁상형 로봇도 많이 제조되어 일렉트로닉스 업계를 중심으로 많은 업계에서 채용되고 있다.
특허문헌
특허문헌1: 특개2000-277129
특허문헌2 : 특개평6-143063
비특허문헌1 : 헤이신소우비 (주) 홈페이지
비특허문헌2 : 무사시엔지니어링 (주) 홈페이지
예를 들면, 피도물에 폴리머 등의 도막을 얻고 싶은 경우에는 폴리머 등을 인화성이 있는 방향족계 유기용제와 탄화수소계 유기용제 등으로 용해시킨 용액 등을 작성하여 스프레이노즐 등으로 피도물에 도포한다. 수작업으로도 가능하지만 통상 재현성이 필요하므로 소형의 2축 또는 3축 구동축의 탁상로봇의 테이블에 피도물을 탑재하여, 스프레이 도포를 행한다. 그 후, 피도물에 잔류 되어있는 유기용제를 자연건조 또는 건조기 등으로 강제 증발시켜 피도물에 도막을 형성시킨다. 도막물질이 열경화수지와 UV경화수지 등의 단량체들인 경우는, 유기용제를 휘발시킨 뒤, 열과 자외선 등으로 경화시킬 필요가 있다. 또한, 유기용제가 포함된 접착제의 경우에도 같은 처리가 필요하다. 그럼에도 불구하고, 예를 들면, 대학의 연구실 등에서는 용액 등의 사용양이 적어, 소형장치를 흡배기설비가 완비된 드래프트챔버 안에서 작업을 행하기 때문에, 휘발하는 유기용제가 작업자에 끼치는 영향은 무시할 수 있다.
하지만, 공장 등에서 빈번하게 도포작업을 행하는 경우와 대량으로 용액 등을 도포하는 경우는 비교적 대형의 급배기장치가 설치된 상자로 둘러싸인 부스 안에서 도포도구, 또한 도포도구 이동장치 그리고/또는 테이블 이동장치로 이루어진 도포장치를 설치하여 도포작업이 행해지고 있다. 이 경우의 동력인 구동원으로써 사용되는 동력모터, 예를 들면, 서보모터와 스텝핑모터 등은 유기용매 또는 그 증기에 폭팔할 수 있기 때문에 내압 방폭으로 할 필요가 있다. 하지만, 일반적인 내압 방폭 모터는 사이즈가 크고 중량도 2배 이상으로 무거워지는 관계로, 설치를 할 경우에는 강도를 높인 대형 프레임이 필요했다. 또한, 직교 2축 로봇으로 하는 경우 한쪽의 구동축이 구동원을 지지하는 축의 운반중량에 제한이 발생했다. 또한, 통상 내압 방폭 모터는 수주생산인 관계로, 납기에 있어서도 4개월에서 6개월 정도 필요로 하는 관계로 산업계에서 요구하는 단기간의 납기 대응이 어려웠다.
이 과제에 대응하기 위해서 모터 등의 동력원을 상자 안에 넣어 가압에어를 주입하여, 상자 안의 기압을 높여, 용매증발의 침입을 막는 방법이 간이적으로 채용되고 있다. 하지만, 이 방법은 일반적으로 공적 기관에서 실증검사를 하여 인가를 받은 것은 아니므로 문제 발생시 자신의 책임으로 리스크가 컸다.
가정하건 데 이 간이 내압식의 장치가 고객의 책임으로 하는 편의적으로 인정을 받았다고 하더라도, 동력원으로의 보내는 배선은 배관에 수납할 필요가 있다. 2축 직교 로봇과 같이 동력원이 서보모터와 스태핑모터를 이동시켜야 할 필요가 생길경우 이것을 적용하는 것은 불가능했다.
방폭 배선 커넥터를 사용하여 배선하는 방법이 인정되는 경우도 있지만, 업계에서 통상 로봇에 사용되는 케이블 랙에 배선을 수납하여도 마찰 등에 의한 배선 피복 열화를 피할 수 없어 스파크의 위험성이 있다.
또한, 배선의 절단에 의한 스파크와 동력원의 과부하에 의한 이상발열에 의한 용매증기의 착화를 피하기 위하여, 부스 내에 용매농도를 폭발 하한계의 2배보다 훨씬 많은 실내에서부터의 흡기와 실외로의 배기를 행하는 방법이 제안되고 있다. 하지만, 풍량이 많을수록 용매증기는 희석되어 전혀 착화되지 않는 레벨을 유지할 수가 있지만, 부스내에서 풍속이 빨라짐으로, 특히 스프레이도포 등을 행하는 경우에는 입자가 바람의 영향으로 이동되어, 도착효율이 극단적으로 떨어지게 된다. 예를 들면, 연료전지전극형성에 사용되는 백금촉매와 청색발광다이오드를 피복하여 백색 발광시키는 LED의 피복에 사용되는 YAG포스퍼(Phosphor) 등은 상당히 고가이므로, 이러한 방법은 이 업계에서는 받아들여지지 않는 것이 현실이다.
이 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 나온 것으로, 이 발명의 목적은 밀폐성이 우수한 액체도포방법과 장비를 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은, 꼭대기판, 밑판과 측판이 준비된 도포실 내에서, 피도물에 도포제를 도포기에 의해 도포하는 방법에 있어서 도포실 상부와 하부에는 각각의 공기흡입구와 배출구를 형성하여, 상기 도포실의 상부 안에 상기 도포기에 적어도 토출공을 노출시키고, 상기 밑판측으로 부터 상기 도포실 내에 노출시켜 피도물 적치유닛을 설치하여 상기 도포기와 상기 피도물 적치유닛과 적어도 한 방향을 직선이동가능하게 구성하여, 상기 도포기와 상기 피도물 적치유닛과 상기 적어도 한 방향을, 상기 도포실 외에 설치한 구동기구에 의해 이동시켜 상기 도포기를 상기 피도물에 대하여 위치를 정하여, 상기 도포기에 의해 피도물에 도포제를 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법을 제공한다.
이 발명의 상기 도포방법에 있어서, 상기 도포실은 상자형태이며, 상기 도포실 상부에 상기 공기흡입구를 형성하고, 상기 도포실 하부에 상기 배출구를 형성하고, 상기 꼭대기판에는 제1직선방향으로 연장되어 늘어나는 제1의 개구가 형성되고, 그리고 상기 밑판에는 제1직선방향에 직교하는 제2의 직선방향으로 연장되어 늘어나는 제2의 개구가 형성되어 있고, 상기 구동기구는 상기 도포실 외에 상기 꼭대기판 상방향으로 설치되어, 상기 도포기를 상기 제1직선방향에 이동시키기 위한 제1구동장치와, 상기 도포실 외에 상기 밑판의 하측에 설치되고, 상기 피도물 적치유닛을 상기 제2의 직선방향으로 이동시키기 위한 제2구동장치로 구성되어있고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 밑판의 상기 제2의 개구를 통하여 상기 도포실 내로 노출되어 있고, 상기 제1구동장치에 의해 상기 제1의 직선방향으로 이동하는 제1이동체와, 상기 제1이동체에 설치된 상기 꼭대기판의 상기 제1의 개구를 관통하여 상기 도포실 내로 연장된 제1브라켓과, 상기 꼭대기판과 상기 제1브라켓과의 사이에 설치되어 상기 제1의 개구를 밀폐하는 제1밀폐수단과, 상기 도포실 내에서 상기 제1브라켓에 설치된 상기 도포기를 포함하는 도포기 조립체와, 상기 밑판과 상기 피도물 적치유닛과의 사이에 설치된 상기 제2의 개구를 밀폐하는 제2밀폐수단과, 상기 도포실 외에 설치되고, 상기 제1, 제2의 구동장치를 제어하기 위한 제어장치로 구성되고, 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛의 위에 피도물을 배치하고 또한 상기 도포실을 상기 공기흡입구와 상기 배출구를 제외하고는 밀폐하여, 상기 제어장치에 의해 상기 제1과 제2의 구동장치를 제어하고, 또는 프로그램된 동작을 가지고 상기 도포기를 상기 피도물에 위치를 정하여, 상기 도포기에 의해 도포물에 도포하는 것이 바람직하다.
이 발명의 방법에 있어서, 상기 측판의 적어도 1곳에는 도포실 내부로 액서스 할 수 있는 개폐용 도어가 설치되고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향으로 이동하는 제2의 이동체와, 이 이동체에 설치된 상기 밑판의 상기 제2의 개구를 관통하여 상기 도포실 내로 연장된 제2브라켓과, 이 제2의 브라켓에 붙어있는 피도물 적치테이블을 구비하고, 상기 개폐용 도어를 통해서 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛 위에 피도물을 배치하는 것이 바람직하다.
본 발명의 상기 도포방법 있어서, 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향으로 이동되는 벨트컨베어를 포함하고, 이 벨트컨베어 위에 피도물을 배치하여 상기 도포실 내에 피도물을 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 도포방법에 있어서, 상기 도포실은, 상기 꼭대기판과 측판으로 구성되고 하측방향으로 열려 고정 배치된 원통형 또는 다각형의 상자체를 형성하고, 상기 밑판은 상기 상자체의 하측에 배치되어 상기 측판과 접촉 또는 비접촉상태로, 상기 상자체에 대하여 제1의 방향과 이 제1의 방향에 직교관계로 있는 제2의 방향에 같은 높이로 직선운동이 가능하고, 상기 꼭대기판의 상방에 배치된 상기 도포실 내에 적어도 토출공을 노출시킨 도포기를 포함하고, 상기 피도물 적치유닛은 테이블로 형성되고, 이 테이블은 상기 밑판의 중심개구 전역을 덮고 또한 상기 도포실 내에 노출시켜 이 밑판에 고정 배치된 상기 밑판과 함께 이동하고, 상기 도포실 외에 설치된 제1구동장치와 제2구동장치에 의해 각각 상기 제1의 직선방향과 제2의 직선방향으로 이동되고, 상기 도포기를 상기 피도물에 대하여 위치를 정하고, 상기 도포기에 의해 피도물에 도포하는 것이 바람직하다.
본 발명의 상기 도포방법에 있어서, 상기 도포실 외에 배치된 제2의 구동기구에 의해 상기 도포기를 상하방향으로 이동시키는 것이 바람직하다.
본 발명의 상기 도포방법에 있어서, 상기 도포제는 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 이루어진 슬러리이고, 이 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차이에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용하여 순환시켜 상기 도포기로 이 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어가 된 피도물 탑재 유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것이 바람직하다.
이 발명의 상기 도포방법에 있어서, 1개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연통시켜 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시켜, 상기 도포기로 이 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위하여 이 발명은, 꼭대기판, 밑판과 측판을 구비한 도포실 내에서 피도물에 도포제를 도포기로 도포하는 도포장치로, 도포실 상부 및 하부에 각각 설치된 공기흡입구와 배출구와 도포실 내에 적어도 토출공을 노출시킨 상기 도포기와, 상기 밑면에서 상기 도포실 내에 노출하여 배치한 피도물 적치유닛과, 상기 도포실 외에 설치된 상기 도포기와 상기 피도물 적치유닛과의 적어도 한 방향을 이동시키기 위한 구동기구로 이루어진 상기 도포기를 상기 피도물에 대하여 위치를 정하고, 상기 도포기로 피도물에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포장치를 제공한다.
본 발명의 상기 도포장치에 있어서, 상기 도포실은 상자형태로 상기 꼭대기판과 해당 꼭대기판 근방 중 어느 한곳에 상기 공기흡입구를 형성하고, 상기 밑판과 이 밑판 근방중 어느 한곳에 상기 배출구를 형성하고, 상기 꼭대기판에는 제1직선방향으로 연장된 제1의 개구가 형성되고, 그리고 상기 밑면에는 제1직선방향에 직교관계에 있는 방향이 되는 제2의 직선방향으로 연장된 제2의 개구가 형성되어 있고, 상기 구동기구는 상기 도포실 외에 상기 꼭대기판 상방에 설치되고, 상기 도포기를 상기 제1직선방향으로 이동시키기 위한 제1구동장치와, 상기 도포실 외에 상기 밑판 하방에 설치되어 상기 피도물 적치유닛을 상기 제2의 직선방향으로 이동시키기 위한 제2구동장치로 구성되고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 밑판의 상기 제2개구를 통하여 상기 도포실 내에 노출되어있고, 상기 제1구동장치에 의해 상기 제1직선방향으로 이동하는 제1이동체와, 상기 제1이동체에 설치된 상기 꼭대기판의 상기 제1의 개구를 관통하여 상기 도포실 내로 연장된 제1브라켓과, 상기 꼭대기판과 상기 제1브라켓과의 사이에 설치된 상기 제1의 개구를 밀폐하는 제1밀폐수단과, 상기 도포실 내에 상기 제1브라켓에 설치된, 상기 도포기를 포함한 도포기 조립체와, 상기 밑판과 상기 피도물 적치유닛과의 사이에 설치된 상기 제2의 개구를 밀폐하는 제2밀폐수단과, 상기 도포실 외에 설치된, 상기 제1과 제2구동장치를 제어하기 위한 제어장치로 구성되고, 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛 위에 피도물을 배치하고 또한 밀폐시켜, 상기 도포실을 상기 공기흡입구와 상기 배출구를 제외하고 밀폐하고, 상기 제어장치에 의해 상기 제1과 제2의 구동장치를 제어하고 또는 프로그램동작을 시켜 상기 도포기를 상기 피도물에 위치를 정하여 상기 도포기로 피도물에 도포하는 것이 바람직하다.
본 발명의 상기 도포장치에 있어서, 상기 측판의 적어도 한곳에는 도포실 내부에 액서스하기 위한 개폐도어가 설치되고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향으로 이동되는 제2의 이동체와, 이 제2이동체에 설치된 상기 밑면의 상기 제2의 개구를 관통하여 상기 도포실 내에 연장된 제2브라켓과, 이 제2브라켓에 부착된 피도물 적치테이블을 구비하고, 상기 개폐용 도어를 통하여 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛 위에 피도물을 배치하는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 상기 도포장치에 있어서 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향에 이동되는 벨트컨베어를 포함하고, 이 벨트컨베어 위에 피도물을 배치하여 상기 도포실 내에 피도물을 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 상기 도포장치에 있어서, 상기 도포실은 상기 꼭대기판과 상기 측판으로 구성되고 하방으로 열려 고정 배치된 상자체를 형성하고, 상기 밑판은 상기 상자체의 하측에 배치된 상기 측판과 접촉 또는 비접촉상태로, 상기 상자체에 대하여 제1의 수평방향과 제2의 수평방향으로 직선운동이 가능하고, 상기 도포기는 상기 꼭대기판 상방에 배치되어 상기 도포실 내에 토출공 부분만을 노출시켜 있고, 상기 피도물 적치유닛은 테이블을 포함고, 이 테이블은 상기 밑판에 형성된 개구전역을 덮고 또한 상기 도포실 내에 노출시켜 상기 밑판에 고정 설치된 상기 밑판과 함께 이동하고, 상기 도포실 외에 설치된 제1구동장치와 제2구동장치에 의해 각각 상기 제1의 직선방향과 제2의 직선방향으로 이동가능한 것이 바람직하다.
본 발명의 상기 도포장치에 있어서, 상기 도포실 외에 배치되고, 상기 도포기를 상하방향으로 이동시키는 제2의 구동기구를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명의 상기 도포장치에 있어서, 상기 도포제가 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 이루어진 슬러리이고, 이 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차이에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용하여 순환시켜 상기 도포기로 이 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것이 바람직하다.
본 발명의 상기 도포장치에 있어서, 1개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연동시켜 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시켜, 상기 도포기로 이 슬러리를 연속적 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것이 바람직하다.
본 발명의 방법 또는 장치에 의하면, X축방향과 Y축방향의 구동용 모터뿐만 아니라 X방향과 Y방향의 동력전달기구도 도포실 외측에 설치하고, 도포실 내에는 피구동의 도포기 조립체와 피도물 적치용 유닛만을 설치하면 되기 때문에, 도포실 내에 전기배선 및 전기기기를 설치할 필요가 없는 뛰어난 밀폐구조를 얻을 수 있다.
본 발명의 바람직한 형태로는, X방향과 Y방향의 구동용 모터와 X방향과 Y방향의 동력전달기구뿐만 아니라, 도포기 조립체를 도포실의 외측에 설치하고, 도포기 조립체에 설치된 토출노즐의 개구부만을 도포실 내에 노출하도록 구성하는 경우, 도포기 조립체의 구성요소의 밸브로 통상 부스 내에서는 비방폭이므로 사용 불가능한 잉크젯이나 전자밸브직접구동의 도포건을 채용하는 것이 가능하고, 예를 들면, 고속의 전자밸브와 특수 컨트롤러를 겸용하여, 50~100Hz라는 고속 펄스도포를 행하는 것이 가능하다.
도 1은, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치의 개략적 정면도이다.
도 2는, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치의 개략적 배면도이다.
도 3은, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치를 정면으로부터 본 개략적 단면도이다.
도 4는, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치를 좌측에서 본 개략적 단면도이다.
도 5는, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치를 우측에서 본 개략적 단면도이다.
도 6a는, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치의 X방향이동장치와 Y방향이동장치를 나타내는 개략적 부분단면도이다
도 6b는, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치에 사용된 도포기 조립체의 별도의 예를 나타내는 개략적 설명도이다.
도 7은, 도1의 vii-vii선을 따라 절단한 도포장치의 개략적 단면도 이다.
도 8은, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치의, 특히, Y방향이동기구를 설명하기 위한 도포부스부분의 개략적 단면도 이다.
도 9는, 도1의 ix-ix선에 따라 절단한 장치본체의 개략도이다.
도 10은, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치의 전방으로 부터 본 X방향이동체의 구성을 나타내는 개략적 부분정면도이다.
도 11은, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치에 관한 X방향이동체의 구성을 나타내는 개략적 부분평면도이다.
도 12는, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치에 해당되는 X방향이동체의 롤러와 레일의 설명도 이다.
도 13은, 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치의 피도포물 적치용테이블과 Y방향이동체의 구성을 나타내는 개략적 부분측면도이다.
도 14는, 본 발명의 제2실시형태에 해당되는 도포장치의 도포장치내부를 전방에서 본 단면개략도이다.
도 15는, 본 발명의 제2실시형태에 해당되는 도포장치의 도포장치내부를 측방에서 본 단면개략도이다.
도 16은, 본 발명의 제3실시형태에 해당되는 도포장치의 도포장치내부를 전방에서 본 단면개략도이다.
도 17은, 본 발명의 제3실시형태에 해당되는 도포장치의 도포장치내부를 측방에서 본 단면개략도 이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 적절한 실시형태에 관해서 설명한다. 또한, 이하의 실시형태는 발명의 이해를 편하게 하기 위한 일예일 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 당업자에 의해 실시가능한 부가, 치환, 변형 등을 시행하는 것을 배제하는 내용이 아니다.
도면은 본 발명의 적절한 실시의 형태을 개략적으로 나타내고 있다.
(제1실시의 형태)
1로 내지 도5는 본 발명의 제1실시의 형태에 해당되는 도포장치를 나타내고 있고, 도 1은 이 도포장치의 정면도, 도 2는 이 도포장치의 배면도, 도 3은 이 도포장치를 정면에서 본 단면도, 도 4는 이 도포장치를 좌측에서 본 단면도, 도 5는 이 도포장치를 우측에서 본 단면도이다. 본 실시형태의 설명 중, 도 1에 있어서 도면에 대해 전후방향을 Y방향, 그리고 좌우방향을 X방향으로 한다.
본 실시형태의 도포장치는, 전체로는 상하로 긴 입방체형상의 장치 본체(1)로 이루어지고, 이 장치 본체는 전면부(3), 배판(5), 좌측판(7), 우측판(9), 저부(11)와 정상부로 구성된다.
장치 본체(1)는 상하방향으로 크게 3개로 구획되어, 상하방향 중앙에 도포부스 설치실(13), 도포부스 설치실(13)의 상측에 상부실(15), 도포부스 설치실 하측에 하부실(17)을 형성하고, 도포부스 설치실(13) 내의 도포부스(19)는 상부실(15), 하부실(17)과 주위로부터 밀폐구조에 의해 분리되어있다. (본 명세서에서 밀폐구조란, 도포부스(19) 또는 후술하는 도포실(23) 내의 인화성이 있는 가스가 도포부스(19) 또는 도포실(23) 밖에서 폭팔을 일으킬 정도로 누설하지 않을 정도의 기밀성을 유지하는 것을 말하는 것임)
도포부스(19)에는 전후 좌우 상하의 6면체로 구성되는 상자형태로, 도포부스(19)는 하부에 형성된 배기실(21)과, 그 위에 형성된 밀폐성의 도포실(23)로 구획되어 있다. 밀폐성 도포실(23)의 전측은 양측으로 열리는 2개의 도어(25, 26)가 설치되어있고, 외부에서 액서스 가능하다. 도포부스(19)의 후측의 배판부재(27)에는 투명한 유리창(27a)이 형성되어 있다.
도 7에 점선으로 나타낸바와 같이, 도포부스(19)의 상부, 즉, 도포실(23)의 정상부를 형성하는 꼭대기판부재(29)는 전후방향(Y방향) 중앙부분에 있어서 X방향으로 소정의 길이로 연장된 전체길이 걸쳐서 동일 폭의 개구(31)가 형성되어 있다.
꼭대기판부재(29)는 중앙개구(31)의 양측에 펀칭플레이트 등의 다공판(33)이고, 그 실내측에 필터(35)가 탈착가능하게 설치되어 있다(도4 참조). 필터(35)로는, 외기에 포함된 이물, 먼지 등을 제거하기 위하여 크린룸 등에서 사용하는 에어필터 예를 들면, HEPA필터가 적합하다. 이렇게 하여 꼭대기판부재(29)는 중앙개구(31)의 양측에 흡기부를 형성하고 있다.
도포부스(19)에 있어서, 도 4에 나타낸바와 같이, 도포실(23)과 배기실(21)과의 사이에는, 금속다공판(37)이 장설(張設)되어있고, 그 하측에는 필터(39)가 탈착가능하게 장설되어있다. 금속다공판(37)으로는 펀칭플레이트가 바람직하여, 필터(39)로는 사용되는 인화성용제를 고려하여 유리섬유 등의 불연필터나 난연아라미드제의 내화 팰트웨이브 등이 바람직하다. 도포실(23) 하부의 금속다공판(37)의 X방향 중앙에는 Y방향으로 연장되어 소정 폭의 개구(41, 도 6a, 도 9참조)가 형성되어있다. 이 Y방향개구(41)에 대해서는 후술한다.
배기실(21)의 후부에 있어서 배판부재(27)에는 좌우 2개의 배기구(43a, 43b, 도 2참조)가 형성되어 배기장치(도시 없음)가 접속된다.
<상부 X방향이동체구조>
장치 본체(1)의 상부실(15) 내에는, 도 7에 나타낸바와 같이, 꼭대기판부재(29)의 개구(31)에 거의 마주보는 상방 위치에서 빗나간 위치에 좌우측판(7, 9) 사이에 걸쳐서 X방향으로 연장된 X방향구동장치(45)가 설치되어있다. X방향구동장치(45)는 구동모터(47)와, 구동모터(47)의 회전을 X방향의 왕복직선운동으로 바꾸는 변환기구로 이루어진다. 이 변환기구는 구동모터(47)에 회전구동되고, 좌우방향으로 연장된 볼나사축(49)과, 이 볼나사축(49)에 부합한 X방향으로 이동하는 너트를 장착한 이동체(51)로 이루어진다.
도 3에 나타낸바와 같이 이동체(51)는 도포실 꼭대기판부재(29)의 X방향개구(31)의 정상위치에 마주보고 연장된 부분을 가지고, 이 부분에 있어서 상부실(15)에서 도포실(23) 내의 상하방향으로 연장된 상방브라켓(53)이 고정 설치되어있다. 상방브라켓(53)은 도포실(23) 내의 상하방향 거의 중앙부분에 연장되고 그 하단부분에 도포기 조립체(55)를 장착하고있다. 이와 같은 구조로 되어있으므로, X방향구동장치(45)의 작용에 의해 도포기 조립체(55)와 토출노즐(57) 등의 도포기는 도포실(23) 내를 X방향으로 이동하는 것이 가능하다.
도포기 조립체(55)의 상세한 설명에 관해서는 후술한다. 또한, 도포실(23) 내와 상부실(15)과는 서로 밀폐구조에 의해 격리되어있고, 그래서 상방브라켓(53)은 꼭대기판부재(29)에 대하여 X방향으로는 가동하고, 또한 기밀하게 접촉하고 있는 구조로 되어있지만, 이 구조의 상세한 설명에 관해서는 후술한다.
<하부 Y방향이동체 구조>
장치 본체(1)의 하부실(17) 내에는, 도포실(23)과 배기실(21)을 구분하는 금속다공판부재(37)의 Y방향개구(41)에 대향하는 위치에 소정의 길이에 걸쳐서 Y방향으로 연장되어 Y방향구동장치(58)가 설치되어있다(도 8 참조). Y방향구동장치(58)에는 구동모터(59)와, 각 구동모터(59)의 회전을 Y방향의 왕복직선운동으로 바꾸는 변환기구로 이루어진다. 이 변환기구는 이 구동모터(59)에 회전 동되어 Y방향으로 연장된 볼나사축(61)과, 이 볼나사축(61)에 부합한 Y방향으로 이동하는 너트를 부착한 이동체(63)로 이루어진다. Y방향이동체(63)에는 도포실(23)의 밑판부재인 금속다공판(37)의 Y방향개구(41)를 통하여 상방으로 연장된 도포실(23) 내 하부에 상단을 갖는 하방브라켓(65)이 고정되어있다(도 6a 참조). 하방브라켓(65)의 상단에는 Y방향개구(41) 보다 폭이 넓은 테이블지지용 상자체(67)가 고정되어있고, 상자체(67) 위에 피도포물 적치유닛을 구성하는 피도포물 적치용테이블(69)이 설치되어있다. 이와 같은 구조로 되어있기 때문에 Y방향구동장치(58)의 작용에 의해 피도포물 적치용테이블(69)은 도포실(23) 내를 Y방향으로 이동하는 것이 가능하다. 피도포물 적치용테이블(69)은 열매체 순환용 코드(71)를 통해서 온도 조절이 가능한 것이다. 코드(71)는 하부실(17)에 열원으로 안내되어있다. 또한, 피도포물 적치용유닛으로 부스 외에 구동원을 설치한 벨트컨베어를 사용하여도 좋다. 컨베어는 상기 부스 내 하부를 작은 틈의 출입구를 통해 Y방향으로 통과하고, 장치의 저부를 경유하여 순환시키는 것이 가능하다. 예를 들면, 필름 등의 연속해서 이동하는 웨이브에 코팅을 행하는 경우, 컨베어와 필름을 거의 같은 속도로 충분히 접촉시키면 도제가 필름의 속에 부착되는 일이 없다.
도포실(23) 내와 배기실(21)과는 서로 밀폐구조로 격리되어있고, 그렇기 때문에 Y방향브라켓(65)은 도포실(23)의 밑판부재인 금속다공판(37)에 대하여 Y방향으로는 이동가능하게, 또한 기밀하게 접촉되어 있으나, 이 구조의 상세한 설명에 관해서는 후술한다.
도 1에 나타낸바와 같이 ,본 실시형태에 있어서, 장치 본체(1)의 좌측판(7)에는 콘트롤박스(73)가 부착되어 있고, 그 전면에는 표시부와 전원스위치 등이 설치됨과 동시에 내부에 CPU 등을 포함한 제어회로가 설치되어있고, X방향과 Y방향의 2개의 구동장치(45, 58)에 대하여 미리 프로그램 된 제어를 행하게 되어있다. 그렇기 때문에, X방향구동모터(47)와 Y방향구동모터(59)는 각각 케이블을 통해서 컨트롤박스의 제어회로에 접촉되어있지만, 번잡해지는 관계로 도시는 생략한다.
본 실시형태와 후술하는 제2와 제3의 실시형태에 있어서, 도포장치는 피도물에는 폴리머 등을 도포하기에 적절하고, 폴리머 등을 인화성이 있는 방향족계 유기용제와 탄화수소계 유기용제 등으로 용해시킨 용액 등을 도포하기에 적절하고, 도포기 조립체(55)는, 예를 들면, 특개2003-300000공고에 게시된 것과 같이, 2개의 시린더형 용기(75a, 75b, 도 6a 참고)와, 이들 용기를 연통시키는 유통로(75c, 75d)와 이 유통로를 흐르는 액체의 유량을 조절하는 유량조정수단(75e, 75f)과, 이 유통로에서 슬러리를 펄스적 또는 연속적으로 토출하는 토출노즐(57)을 구비하고 있다. 슬러리는 예를 들면, 청색발광다이오드 등을 백색발광시키기 위하여 피복하는 인광체입자와 폴리머 혹은 단량체와 용매로 이루어진 바인더용액과의 혼합체이고, 2개의 실린더형 용기(75a, 75b)에 충전된다. 이들 2가지의 실린더형 용기(75a, 75b)에 압력차를 가하여 유통로에 슬러리의 흐름을 만들어 토출노즐(57)에서 펄스적 또는 연속적으로 토출된다. 이때 LED 등의 피도물은 피도물 적치용 테이블(69, 도 6a)에 의해 적절히 가온 되어있다.
본 실시형태에 있어서, 도포장치의 제어와 구동은 모두 압축공기에 의해 행하여지고, 그렇기 때문에 실린더형 용기, 토출개폐수단과 토출노즐 등은 각각 공기원에 배관(도시 없음)을 통하여 접속되어 있다. 배관은, 바람직하게는 상방브라켓(53)과 함께 도포실 외로 인도되어 있다. 또한, 2개의 실린더에 의한 순환뿐만 아니라, 1개의 실린더 등의 소형용기와 소형펌프를 이용해 도포기 조립체까지 튜브 등으로 배관하고, 순환시키는 구성으로 해도 좋다. 예를 들면, 도포기 조립체(55)를 대신하여, 도 6b에 나타낸바와 같이 도포기 조립체(155)를 사용한다. 도포기 조립체(155)는, 슬러리를 충전하기위한 소형용기(157)와, 토출노즐(159)과, 펌프(161)를 튜브로 접속하여 슬러리의 순환회로를 형성하고, 에어원(163)에 의해 가압된 소형용기(157) 내의 슬러리를 펌프(161)에 의해 순환회로 내로 보내어 토출노즐(159)에서 펄스적 또는 연속적으로 토출한다. 이 때에 LED 등의 피도물은, 피도물 적치용테이블(69, 도 6a)에 의해 적절히 가온되어 있다.
이하에, 특히 도 6a 내지 도 13을 참조하여, 제1실시형태에 있어서 도포실(23)과 가동부인 X방향이동을 위한 상방브라켓(53) 사이의 밀폐구조에 관해서 상세히 설명한다.
<상부 X방향이동체 밀폐구조>
도 6a를 참조하여, 도포실 꼭대기판부재(29)의 X방향개구31에 있어서, 상술한 X방향이동체를 위한 상방브라켓(53)에는 도포실(23)의 꼭대기판부재(29)에 형성된 X방향 개구(31)를 따라 X방향(좌우로)으로 이동하는 이동체유닛(75)이 설치되어 있다. 본 제1실시형태에 있어서는, 상방브라켓(53)의 상하운동은 없기 때문에 이동체유닛(75)은 상방브라켓(53)에 기밀하게 고정되어 밀폐구조로 되어있다.
도포실(23) 내에 꼭대기판부재(29)의 내측에는 X방향개구(31)의 가장자리 부근을 따라, 도 12에 확대해 나타낸바와 같이 단면형상의 X방향으로 연장된 레일부재(77)가 좌우양측판(7, 9) 사이에 걸쳐져 가교되어 있다. 도 12에는 개구(31)의 우측의 일부가 표시되어있다. 각 레일부재(77)는, 2개의 X자를 병렬로 한 단면형상을 갖고, X방향으로 좌우양측판(7, 9)에 걸쳐져 연장된 도포실(23)에 고정되어 있다. 각 레일부재(77)는 X방향개구(31)와 떨어진 측이 되는 한 측의 단면 X자형태 부분의 상측에서 꼭대기판부재(29) 내면에 접촉되어있고, 다른 방향의 단면 X자형태 부분은 X방향개구(31)에 노출되어 상하면에 각각 X방향으로 개구 전체 길이에 걸쳐서 연장된 궤도홈(77a, 77b)을 형성하고 있다.
한편, 도 6a에 나타낸바와 같이, 도포실 꼭대기판부재(29)의 X방향개구(31)의 좌우양단부에는, 해당 개구(31)의 폭방향으로 연장된 가이드롤러(79a, 79b)가 각각 배치되어있고, 이들 가이드롤러(79a, 79b)에 걸쳐 X방향으로 연장된 X방향으로 이동 가능하게 좌우의 벨트(81a, 81b)가 각각 설치되어 있다. 도 7에 나타낸바와 같이 각 벨트(81a, 81b)는 X방향 구(31)의 폭(Y방향사이즈) 보다도 폭(Y방향사이즈)이 크고, 폭방향 양측에 있어서 꼭대기판부재(29)의 양개구 부근에 각각 접촉하고 있어 X방향개구(31)의 상부를 덮고 있다. 벨트는 스틸벨트나 수지벨트 등이 적합하고, 재질의 종류를 특별히 한정하는 것은 아니지만, 발진하기 어려운 정전기 대책상 도전성 재질이 바람직하다.
도 6a를 참조하여, 상부실(15)에서 도포실(23) 내로 연장된 X방향으로 이동하기 위한 상방브라켓(53)은 양벨트(81a, 81b)의 상단부와 각각 고정용부재(83)를 통해 고정되어있다. 따라서, 고정용부재(83)는 4모퉁이에서 벨트 상단부에 나사로 고정된 4각형상으로 중앙에 상방브라켓(53)을 상하로 관통시키는 개구(84)를 갖고(도 11 참조), 이 개구(84)의 양측부에서 상방브라켓(53)을 따라 위방향으로 연결된 부분을 갖고, 이 부분에서 상방브라켓(53)에 고정되어있다. 고정용부재(83)와 상방브라켓(53)과의 사이에는 밀폐수단으로 밀봉되어있다.
도 10에 나타낸바와 같이, 고정용부재(83)의 상부에는 벨트폭방향 양측에 각각 X방향으로 이간된 2개의 롤러(85a, 85b)가 회전가능하게 지지되어있고, 도 11에 나타낸 바와 같이 이들 롤러(85a, 85b)는 좌우로 대응하는 상측 궤도홈(77a)에 계합되어있다. 고정용부재(83)의 하부에 있어서 벨트폭방향 양측에서 X방향 중앙부에는 각각 1개의 롤러(85c, 도 10 참조)가 회전가능하게 지지되어있고, 좌우로 대응하는 궤도홈(77b, 도 12 참조)에 계합한다.
도3, 도 6a에 나타낸바와 같이 좌우의 벨트(81a, 81b)의 각각 좌단과 우단은 도포부스(19)의 좌우측판을 따라 하방으로 연장되고, 각각 단부에서 잡아당기는 용수철 또는 적당한 추(87a, 87b)에 의해로 이동체유닛(75)의 X방향의 왕복이동에 구애받지 않고 벨트가 늘어나지 않도록 당겨져 있다. 이와 같이 하여 도포실(23)은 상부실(15)로부터 밀봉되어있다.
이와 같은 구조로 되어있기 때문에, X방향개구(31)는 이동체유닛(75)의 이동에 구애받지 않고 벨트(81a, 81b)에 의해 막아져 밀폐구조로 되고, 또한 이동체유닛(75)의 X방향의 이동은 레일부재(77)에 의해 안정한 것이 된다.
종래의 도포장치에서는, 강제 배기에 의해 개구부로부터 자연 흡기되기 때문에, 도포장치가 크린룸이 아닌 환경에 설치되면, 이물질이 흡입되어 피도물에 부착될 가능성이 상당히 높아지고, 그 결과 도포물의 품질저하를 일으키는 가능성이 높아졌다. 또한, 개구부로부터 흡기의 흐름은 피도물 부근에서 난류를 일으켜, 도포기가 스프레이인 경우는 치명적 결점이 되었다. 이 점에서 본 실시형태에 의한 도포장치는 벨트(81a, 81b)에 의해 개구부를 밀폐하는 것이 가능하기 때문에, 이런 문제를 해결하는 것이 가능하다.
<하부 Y방향이동체 밀폐구조>
도면 8에 구체적으로 나타낸바와 같이, 장치 본체(1)의 하부실(17) 내에 Y방향이동체(63)에 고정되어 도포실(23) 내에서 상방으로 연장된 하방브라켓(65)에는, 도포실(23)과 배기실(21)을 격리하는 금속다공판(37)으로 형성된 Y방향 개구부분(41)의 상측에 있어서 Y방향으로 긴 상자체(67)의 저부가 고정 설치되어있다(도 13). 상자체(67)의 저부는 격리판인 금속다공판(37)에 대하여 작은 틈을 갖고 있다. 상자체(67)의 위에는 피도물 적치용테이블(69)이 고정되어 있다.
이 상자체(67) 내에는, 도 13에 나타낸바와 같이 Y방향으로 거의 등간격인 3개의 롤러(93a, 93b, 93c)가 축선을 X방향으로 해서 회전가능하게 늘어서서 배치되어 있다. 중앙의 롤러(93b)는 양측의 롤러(93a, 93c) 보다 약간 위에 있고, 양측 롤러(93a, 93c)의 가장자리면 하단은 상자체 저부의 하면과 거의 동일 평면에 있다.
한편, 도포실(23)과 배기실(21)을 격리하는 금속다공판(37)의 상측에는 Y방향개구를 충분히 덮는 큰 유연한 벨트(95)가 장설되고, Y방향 양단부에 금속다공판(37)으로 고정되어있다. 이 벨트(95)는 상자체(67)의 저부에 있어서, 양측 롤러(93a, 93c)의 하방에 형성되어 있는 2개의 개구를 지나 상자체(67) 내로 들어가는 중앙롤러(93b) 위에 걸쳐져 있다. 상자체(67)는 Y방향개구(41) 내를 Y방향으로 이동가능하고, 이때 Y방향개구(41)는 벨트(95)에 의해 패쇄되어 밀폐구조로 되어있다. 이 밀폐구조를 보다 완전한 것으로 하기 위해서는, 상자체(67) 양측면 또는 피도물 적치용테이블(69)의 하측에 커버(도시 없음)를 부착하고, 이 커버의 하부를 금속다공판(37) 또는 벨트(95)에 접촉시켜 상자체(67)를 밀봉하도록 하는 것이 좋다.
본 실시의 형태에 의하면, 상기 구조에 의해, X방향과 Y방향의 구동용 모터(47, 59)뿐만 아니라, X방향과 Y방향의 동력전달기구(49, 51, 61, 63)도 도포실(23)의 외측에 설치하고, 도포실(23) 내에는 피구동의 도포기 조립체(55)와 피도물 적치용테이블(69)만을 포함한 피도물 적치유닛을 설치하면 되므로, 도포실(23) 내에 전기배선과 전기 기기를 설치할 필요가 없는 우수한 밀폐구조를 얻을 수 있다.
(제2실시의 형태)
다음은 도 14와 도 15를 참조하여, 본 발명의 제2실시의 형태에 대하여 설명한다.
제2실시의 형태에 있어서, 도 14는 전방에서 본 도포장치 내부의 모식적 단면도, 도 15는 측방에서 본 도포장치 내부의 모식적 단면도이다.
제2실시의 형태에 있어서, 도포장치는, 전체가 상하로 긴 입방체형상의 장치 본체(101)로 구성되고, 이 장치 본체(101)는 전면부, 배판, 좌측판, 우측판, 저부 및 꼭대기부로 이루어진다. 장치 본체는 상하방향으로 크게 4개로 구획되어, 위로부터 상부실(103), 도포실 설치실(105), 그 하측의 XY구동부 설치실(107)과 하부실(109)로 이루어진다. 또한, XY구동부 설치실과 하부실을 1개의 방으로 구성해도 좋고 개방공간으로 하여도 좋다.
본 제2실시의 형태에 있어서, 도포실 설치실(105) 내에는 이 설치실(105) 보다도 가로세로 높이전체가 작은 상자인 도포실(111)이, 도포실 설치실(105)과 XY구동부설치실(107)의 격리부재(119) 위에 고정적으로 배치되어있다.
도포실(111)의 정상부를 형성하는 꼭대기판부재(113)는 중앙부분에 거의 원형의 개구(114)가 형성되어 있고, 이 개구(114)의 주변으로 부터 중심과 하방을 향하여 수렴하는 원추형태의 주름상자부재(115)가 고정되어 있다. 주름상자부재(115)의 중심부에는 둥근고리(117)가 고정 설치되어있고, 이 둥근고리부재(117)를 상하로 관통하여 도포실 내에서 상방의 상부실(103) 내로 연장된 긴 판자형태의 브라켓(118)이 설치되어있다. 브라켓(118) 상부는 장치 본체의 꼭대기판부재(114)와 상부실(103)과 도포실 설치실(105)과의 격리판(121)에 고정되어있다. 도포실(111) 내에 있어서 브라켓(118) 하단부에는 제1실시의 형태와 같은 도포기 조립체(126)가 장착되어 있다. 상부실(103)에는 상하방향(Z방향) 구동용 모터(131)와 이 모터구동을 상하방향의 왕복운동으로 바꾸는 구동기구(133)가 설치되어 있고, 도포기 조립체(126)는 브라켓(118)을 통해서 상하방향(Z방향)으로 왕복운동이 가능하다. 또한, 주름상자부재(115)는 신축 가능한 엘라스토머적 재료라도 좋다. 또한, 브라켓(118)이 상하 가능하도록, 주름상자부재(115)를 대신하여, 브라켓(118)과의 사이에 아주 작은 틈을 가진 구멍을 꼭대기판부재(113)에 설치해도 좋다. 틈에 씰링하여도 좋다.
도 15에 나타낸바와 같이, 도포실(111)의 꼭대기판부재(113)는, 제1실시의 형태과 같이 다공판의 외측층(113a)과 내측의 필터층(113b)으로 이루어지고, 흡기부를 형성한다. 또한, 흡기는 이 발명이 속하는 기술분야에서 많이 채용되고 있는 풍량조정을 겸용한 수동개폐 댐퍼부착의 덕트를 도포실(111)에 설치해도 좋고, 또한 상류에 흡기팬을 설치하여 푸시풀구성으로 해도 좋다.
본 제2실시의 형태에 있어서, 도포실(111)의 좌우측판의 하방부분에는 각각 필터를 설치한 배기구(125)가 형성되고, 배기구(125)를 통하여 배기장치(128)가 접속되어 있다.
도포실(111)의 저부를 구성하는 받침판부재(127)의 중앙부분에는 피도물 적치유닛을 구성하는 사각형의 피도물 적치용테이블판(129)이 고정되고, 이 테이블판(129)과 받침판부재(127)와의 사이는 밀폐구조로 되어있다. 받침판부재(127)는 도포실(111)의 측판에 대해 전후와 좌우로 이동가능하게 되어 있다. 따라서, 받침판부재(127)는 한쪽 방향으로 이동하여도 다른쪽 방향에 도포실(111)의 저부를 구성 가능하게 충분한 크기이고, 또한 테이블판(129)의 가장자리와 이에 대응하는 측의 도포실 전측부, 배측판과 측판과의 사이에는 받침판부재(127)의 이동이 가능한 충분한 크기로 되어있다.
도포실 설치실(105)과 XY구동부설치실(107)과 받침판부재(119)는 도포실(111) 내의 피도물 적치테이블판(129)을 밑에서 지지하는 XY이동체의 X와 Y방향의 이동을 허가하기에 충분한 크기의 개구(131)가 형성되어있다. 피도물 적치테이블판(129)은 하면이 이 개구를 통하여 XY구동부설치실(107)에 노출되어 있다.
XY구동부설치실(107)의 받침판부재(137) 중앙에는 Y방향구동모터와 이 Y방향구동모터의 회전을 Y방향의 왕복직선운동으로 바꾸는, 예를 들면, 볼나사기구 등의 구동력 변환전달기구(132)가 설치되어 있다. 이 Y방향 구동력 변환전달기구(132)에 의해 Y방향으로 이동되는 이동부재에는, X방향구동모터와 그 회전을 X방향의 왕복직선운동으로 변환하는, 예를 들면, 볼나사기구 등의 구동력 변환전달기구(134)가 설치되어 지지되어있다. 이 X방향구동력 변환전달기구(134)에 의해 X방향으로 이동되는 X방향이동부재(135)의 상단은 XY방향 이동체인 피도물 적치테이블판(129)의 하면을 고정 설치하여 지지하고있다.
이와 같이, 본 제2의 실시의 형태에 있어서도, 도포실(111) 내의 전기배선과 전기기기를 설치할 필요가 없고, X방향, Y방향과 Z방향의 구동용 모터뿐만 아니라 X방향, Y방향, 그리고 Z방향의 동력전달기구도 도포실(111)의 외측에 설치고, 도포실(111) 내에는 피구동의 도포기 조립체와 피도물 적치용테이블만을 설치하면 되기 때문에, 훌륭한 밀폐구조를 얻을 수 있다. 또한, 테이블 하면은 도포실 내에 노출되어 있지 않기 때문에, 제1실시형태와 같이 열매순환에 의해 가열할 필요가 없고, 도시하지 않은 카트릿지 등의 전기히터를 온도센서와 함께 테이블 내에 조합하여 테이블을 임의의 온도로 온도제어하여 가열해도 좋다.
종래의 도포장치에서는, 강제 배기에 의해 개구부로 부터 자연 흡기되기 때문에, 도포장치가 크린룸이 아닌 분위기에 설치되면, 이물 등이 흡입되어 피도물에 부착할 가능성이 상당히 높아지고, 그 결과 도포물의 품질저하를 일으키는 가능성이 높아진다. 또한, 개구부로 부터의 흡기의 흐름은 피도물 부근에서 난류를 일으키고, 도포기가 스프레이인 경우는 치명적 결점이 된다. 이런 점에서 본 실시형태의 도포장치는 우수한 밀폐구조를 얻을 수 있기 때문에, 이러한 문제점을 해결할 수 있다.
제2실시형태에 있어서 도포실(111) 내로 피도물 출입 등의 액서스는 도포실(111)의 전측부에 도어를 설치하여 개폐가능하게 해도 좋지만, 도포실(111)을 형성하는 정상부, 전측부, 배판과 좌우측판으로 구성된 상자체를 받침판부재(127)에 대하여 이탈가능하게 구성하여, 이 상자체를 모터(131) 보다 상방으로 이동시켜도 된다.
(제3실시의 형태)
다음으로 도 16과 도 17을 참고로 해서, 이 발명의 제3실시의 형태에 관하여 설명한다.
제3실시의 형태에 있어서, 도 16은 전방에서 본 도포장치 내부의 모식적 단면도, 도 17은 측방에서 본 도포장치 내부의 모식적 단면도이다.
제3실시의 형태에 있어서, 도포장치는 전체가 상하로 긴 입방체형상의 장치 본체(201)로 이루어지고, 이 장치 본체(201)는 전면부, 배판, 좌측판, 우측판, 저부와 정상부로 구성된다. 장치 본체는 상하방향으로 크게 4개로 구획되고, 위로부터 상부실(203), 도포실 설치실(205), 그 하측의 XY구동부설치실(207)과 하부실(209)로 구성된다. 또한, XY구동부설치실과 하부실을 한 개의 방으로 구성해도 좋고, 개방공간으로 해도 좋다.
본 제3의 실시의 형태에 있어서, 도포실 설치실(205) 내에는 이 설치실(205) 보다도 가로세로 높이전체가 작은 상자의 도포실(211)이 도포실 설치실(205)과 XY구동부설치실(207)을 격리하는 받침판부재(219) 위에 고정적으로 배치되어있다.
도포실(211)의 정상부를 형성하는 꼭대기판부재(213)는 중앙부분에 거의 원형의 개구가 형성되어있고, 그 개구주변으로부터 중심과 하측방향으로 수렴하는 원추형상의 주름상자부재(215)가 고정되어 있다. 주름상자부재(215)의 중심부에는 둥근고리부재(217)가 고정 설치되어있다.
본 제3실시의 형태에 있어서, 그 둥근고리부재(217)를 상하로 관통하여 토출노즐(221a)의 선단부만이 도포실(211) 내부에 노출되도록 구성되어 있다. 토출노즐(221a)의 선단부를 제외한 노즐본체부와 노즐본체부를 지지하는 도포기 조립체(221)가 도포실 외에 있도록 하여 도포실 상방의 상부실(203) 내에 연장된 긴 판자형태의 브라켓(218)에 지지되어있다. 브라켓(218)의 상부는 장치 본체의 꼭대기판부재(214)와 상부실(203)과 도포실 설치실(205)과 받침판부재(219)에 지지부재(230)를 통해서 상하운동이 가능하게 지지되어있다.
상부실(203)에는 상하방향(Z방향) 구동용의 모터(231)와 이 모터구동을 상하방향의 왕복운동으로 바꾸는 구동기구(233)가 설치되고, 브라켓(218)은 구동기구(233)로 구동되어, 도포기 조립체(221)를 상하방향(Z방향)으로 왕복운동이 가능하다.
도포실(211)의 꼭대기판부재(213)는 다공판의 외측층(213a)과 내측의 필터층(213b)으로 구성되고, 흡기부를 형성하고 있다. 또한, 흡기는 본 발명이 속하는 기술분야에서 많이 채용되고 있는 풍량조정을 겸용한 수동개폐 댐퍼부착의 덕트를 도포실(211)에 설치해도 좋고, 또한 상류에 흡기팬을 설치하여 푸시풀구성으로 해도 좋다.
본 제3실시의 형태에 있어서, 도포실(211)의 좌우측판의 하방부분에는 각각 필터를 설치한 배기구(225)가 형성되어있고, 배기구(225)를 통해서 배기장치(228)가 접속되어있다.
도포실(211)의 저면을 구성하는 받침판부재(227)의 중앙부분에는 피도물 적치유닛을 구성하는 사각형의 피도물 적치용테이블판(229)이 고정되고, 이 테이블판(229)과 받침판부재(227)와의 사이는 밀폐구조로 되어있다. 받침판부재(227)는 도포실(211)을 형성하는 전면부, 배판과 측판에 대하여 전후와 좌우로 이동가능하게 되어있다. 따라서, 밑판부재(227)는 한쪽 방향으로 이동하여도 다른쪽 방향에 도포실(211)의 저부를 구성하기에 충분한 크기이고, 또한 테이블판(229)의 가장자리와 대응하는 측의 측판과의 사이에는 밑판부재(227)의 이동을 허가하기에 충분한 크기로 되어있다.
도포실 설치실(205)과 XY구동부설치실(207)을 격리하는 받침판부재(219)에는, 피도물 적치테이블판(229)을 밑에서 지지하는 XY이동체의 X와 Y방향의 이동을 허가하기에 충분한 크기의 개구(2310가 형성되어있다. 피도물 적치테이블판(229)은 하면이 이 개구(231)를 통해서 XY구동부설치실(207)에 노출되어있다.
XY구동부설치실(207)의 받침판부재(237) 중앙에는 Y방향구동모터와 이 Y방향구동모터의 회전을 Y방향의 왕복직선운동으로 바꾸는, 예를 들면, 볼나사기구 등의 구동력변환 전달기구(232)가 설치되어있다. 이 Y방향 구동력변환 전달기구(232)에 의해 Y방향으로 이동되는 이동부재에는, X방향구동모터와 그 회전을 X방향의 왕복직선운동으로 변환하는, 예를 들면, 볼나사기구 등의 구동력변환 전달기구(234)가 장착되어 지지되어있다. 이 X방향구동력변환 전달기구(234)에 의해 X방향으로 이동되는 X방향이동부재의 상단은 XY이동체(235)를 구성하고, 피도물 적치테이블판(229)의 하면을 고정 설치하고 지지하고 있다.
제3실시형태에 있어서, 도포실(211) 내로 피도물 출입 등의 액서스는 도포실(211)의 전측부에 도어를 설치하여 개폐가능하게 해도 좋지만, 도포실(211)을 형성하는 정상부, 전측부, 배판과 좌우측판으로 구성되는 상자체를 받침판부재(227)에 대하여 탈착 가능하게 구성하고, 이 상자체를 모터(231)에 의해 상방으로 이동시켜도 좋다.
이와 같이, 본 제3실시의 형태에 있어서는 도포실(211) 내에 전기배선과 전기기기를 설치할 필요가 없고, X방향, Y방향과 Z방향의 구동용 모터뿐만 아니라 X방향, Y방향과 Z방향의 동력전달기구도 도포실의 외측에 설치하여, 도포실 내에는 피구동의 도포기 조립체와 피도물 적치용테이블만을 설치하면 좋기 때문에 우수한 밀폐구조를 얻을 수 있다. 또한, 테이블 하면은 도포실 내로 노출되지 않기 때문에, 제1실시형태와 같이 열매체순환에 의해 가열할 필요가 없고, 도시는 하지 않지만 카트릿지 등의 전기히터를 온도센서와 함께 테이블 내에 조합하고, 테이블을 임의의 온도로 온도제어하여 가열하면 좋다.
종래의 도포장치에서는, 강제 배기에 의한 개구부로 부터 자연 흡기를 하기 때문에, 도포장치가 크린룸이 아닌 분위기에 설치되면 이물 등이 흡입되어 피도물에 부착할 가능성이 높아지고, 그 결과 도포물의 품질저하를 일으킬 가능성이 높아진다. 또한, 개구부로 부터 흡기의 흐름은 피도물 부근에서 난류를 일으키고, 도포기가 스프레이인 경우는 치명적 결점이 된다. 이 점에서, 본 실시형태의 도포장치는 우수한 밀폐구조를 얻을 수 있기 때문에, 이와 같은 문제를 해결하는 것이 가능하다.
또한, 본 제3실시의 형태에 있어서는, 토출노즐 선단개구부만이 도포실 내로 노출되고, 도포기 조립체는 도포실의 외에 설치되어있기 때문에, 도포기 조립체의 구성요소인 밸브로 전자건을 사용하는 것이 가능하다. 따라서, 본 제3실시형태에 의하면, 고속 전자밸브와 특수 컨트롤러의 겸용으로, 예를 들면, 50~100Hz라는 고속도포를 행하는 것이 가능하다.

Claims (26)

  1. 꼭대기판, 밑판과 측판을 갖춘 도포실 내에서, 피도물에 도포제를 도포기로 도포하는 방법으로, 도포실 상부와 하부에 각각 공기흡입구와 배출구를 형성하고, 상기 도포실의 상부 내에 상기 도포기에 적어도 토출공을 노출시켜, 상기 밑판측에서 상기 도포실 내로 노출하여 피도물 적치유닛을 설치하고, 상기 도포기기와 상기 피도물 적치유닛과의 적어도 한쪽 방향으로 직선이동가능하게 구성하고, 상기 도포기와 상기 피도물 유닛과의 상기 적어도 한쪽 방향을 상기 도포실 외에 설치된 구동기구에 의해 이동시켜 상기 도포기를 상기 피도물에 대하여 위치를 정하고, 상기 도포기에 의해 피도물에 도포제를 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 도포실은 상자형태이고, 상기 도포실 상부에 상기 공기흡입구를 형성하고, 상기 도포실 하부에 상기 배출구를 형성하고, 상기 꼭대기판에는 제1직선방향으로 연장된 제1의 개구가 형성되고, 상기 밑판에는 제1직선방향으로 직교하는 제2의 직선방향으로 연장된 제2의 개구가 형성되어 있고, 상기 구동기구는 상기 도포실 외에 상기 꼭대기판 상방에 설치되고, 상기 도포기를 상기 제1의 직선방향으로 이동시키기 위한 제1구동장치와, 상기 도포실 외에 상기 밑판 하방에 설치되고, 상기 피도물 적치유닛을 상기 제2의 직선 방향으로 이동시키기 위한 제2구동장치로 구성되고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 밑판의 상기 제2의 개구를 통하여 상기 도포실 내로 노출되어 있고, 상기 제1구동장치에 의해 상기 제1의 직선방향으로 이동하는 제1이동체와, 상기 제1이동체에 설치된 상기 꼭대기판의 상기 제1의 개구를 관통하여 상기 도포실 내로 연장된 제1브라켓과, 상기 꼭대기판과 상기 제1브라켓과의 사이에 설치된 상기 제1의 개구를 밀폐하는 제1밀폐수단과, 상기 도포실 내에 상기 제1브라켓에 장착된 상기 도포기를 포함한 도포기 조립체와 상기 밑판과 상기 피도물 적치유닛과의 사이에 설치된 상기 제2의 개구를 밀폐하는 제2밀폐수단과, 상기 도포실 외에 설치되고, 상기 제1, 제2구동장치를 제어하기 위한 제어장치로 구성되고, 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛 위에 피도물을 배치하고 또한 상기 도포실을 상기 공기흡입구와 상기 배출구를 제외하고 밀폐하고, 상기 제어장치에 의해 상기 제1과 제2구동장치를 제어하고 또는 프로그램 된 동작을 가지고 상기 도포기를 상기 피도물에 대하여 위치를 정하여, 상기 도포기에 의해 피도물에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 측판의 적어도 1곳에는 도포실 내부로 액서스하기 위한 개폐용 도어가 설치되고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향으로 이동되는 제2의 이동체와, 그 제2이동체에 설치된 상기 밑판의 상기 제2의 개구를 관통하여 상기 도포실 내에 연장된 제2브라켓과, 제2브라켓에 장착된 피도포물 적치테이블을 구비하고, 상기 개폐용 도어를 통하여 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛 위에 피도물을 배치하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향으로 이동되는 벨트컨베어를 포함하고, 상기 벨트컨베어 위에 피도물을 배치하여 상기 도포실 내에 피도물을 배치하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포실 외에 배치된 제2의 구동기구에 의해 상기 도포기를 상하방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  6. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포실은 상기 꼭대기판과 상기 측판으로 구성되고 하방으로 열려 고정배치된 원통형 또는 다각형의 상자체를 형성하고, 상기 밑판은 상기 상자체의 하측에 배치되어 상기 측판과 접촉 또는 비접촉상태로, 상기 상자체에 대하여 제1의 방향과 그 제1의 방향에 직교관계인 제2의 방향에 같은 높이로 직선운동이 가능하고, 상기 꼭대기판 상방에 배치되어 상기 도포실 내에 적어도 토출공을 노출시킨 도포기를 포함하고, 상기 피도물 적치유닛은 테이블을 포함하고, 상기 테이블은 상기 밑판의 중심개구 전역을 덮고 또한 상기 도포실 내에 노출시켜 그 밑판에 고정 배치된 상기 밑판과 함께 이동하고, 상기 도포실 외에 설치된 제1구동장치와 제2구동장치에 의해 각각 상기 제1의 직선방향과 제2의 직선방향으로 이동되고, 상기 제1과 제2구동장치는 프로그램 된 동작을 가지고 상기 도포기를 상기 피도물에 대하여 위치를 정하고, 상기 도포기에 의해 피도물에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 도포실 외에 배치된 제2의 구동기구에 의해 상기 도포기를 상하방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  8. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포제가 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 형성된 슬러리이고, 상기 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용해 순환시켜 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  9. 제 5항에 있어서, 상기 도포제가 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 형성된 슬러리이고, 상기 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용해 순환시켜 상기 도포기로 그 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  10. 제 6항에 있어서, 상기 도포제가 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 형성된 슬러리이고, 상기 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용해 순환시켜 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 도포제가 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 형성된 슬러리이고, 상기 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용해 순환시켜 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  12. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 한 개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연속 통과시키는 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시키고, 상기 도포기로 그 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  13. 제 5항에 있어서, 한개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연속 통과시키는 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시키고, 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법
  14. 제 6항에 있어서, 한개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연속 통과시키는 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시키고, 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  15. 꼭대기판, 밑판과 측판을 구비한 도포실 내에서 피도물에 도포제를 도포기에 의해 도포하는 도포장치이고, 도포실 상부와 하부에 각각 공기흡입구와 배출구와, 도포실 내에 적어도 토출공을 노출시킨 상기 도포기와, 상기 밑판측에서 상기 도포실 내에 노출시켜 배치된 피도물 적치유닛과, 상기 도포실 외에 설치되고, 상기 도포기와 상기 피도물 적치유닛의 적어도 한쪽 방향을 이동시키기 위한 구동기구로 이루어지고, 상기 도포기를 상기 피도물에 대하여 위치를 정하고, 상기 도포기에 의해 피도물에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 도포실은 상자형태이고, 상기 꼭대기판과 상기 꼭대기판 근방 중 어느 한곳에 상기 공기흡입구를 형성하고, 상기 밑판과 상기 밑판 근방 중 어느 한곳에 상기 배출구를 형성하고, 상기 꼭대기판에는 제1직선방향으로 연장된 제1의 개구가 형성되고, 그리고 상기 밑면에는 제1직선방향과 직교관계에 있는 방향이 되는 제2의 직선방향으로 연장된 제2의 개구가 형성되고, 상기 구동기구는 상기 도포실 외에서 상기 꼭대기판 상방에 설치되고, 상기 도포기를 상기 제1의 직선방향으로 이동시키기 위한 제1구동장치와, 상기 도포실 외에서 상기 밑판 하방에 설치되고, 상기 피도물 적치유닛을 상기 제2의 직선방향으로 이동시키기 위한 제2구동장치로 구성되고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 밑판의 상기 제2의 개구를 관통하여 상기 도포실 내에 노출되고, 상기 제1구동장치에 의해 상기 제1의 직선방향으로 이동하는 제1이동체와, 상기 제1이동체에 설치된 상기 꼭대기판의 상기 제1의 개구를 관통하여 상기 도포실 내에 연장된 제1브라켓과, 상기 꼭대기판과 상기 제1브라켓과의 사이에 설치된 상기 제1의 개구를 밀폐하는 제1밀폐수단과, 상기 도포실 내에 상기 제1브라켓이 부착된 상기 도포기를 포함한 도포기 조립체와, 상기 밑판과 상기 피도물 적치유닛과의 사이에 설치된 상기 제2의 개구를 밀폐하는 제2밀폐수단과, 상기 도포실 외에 설치되고, 상기 제1과 제2구동장치를 제어하기 위한 제어장치로 구성되고, 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛 위에 피도물을 배치하고 또한 밀폐하여, 상기 도포실을 상기 공기흡입구와 상기 배출구를 제외하고 밀폐시키고, 상기 제어장치에 의해 상기 제1과 제2의 구동장치를 제어하고 또는 프그램동작을 시키고, 상기 도포기를 피도물에 위치를 정하여 상기 도포기에 의해 피도물에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 측판의 적어도 한곳에는 도포실 내부로 액서스하기 위한 개폐용 도어가 설치되고, 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향으로 이동되는 제2의 이동체와, 상기 제2이동체에 설치된 상기 밑판의 상기 제2의 개구를 관통시켜 상기 도포실 내에 연장된 제2브라켓과, 상기 제2브라켓에 부착된 피도물 적치테이블을 구비하고, 상기 개폐용 도어를 통하여 상기 도포실 내의 상기 피도물 적치유닛 위에 피도물을 배치하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 피도물 적치유닛은 상기 제2의 구동장치에 의해 상기 제2의 직선방향으로 이동되는 벨트컨베어를 포함하고, 상기 벨트컨베어 위에 피도물을 배치하여 상기 도포실 내에 피도물을 배치하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  19. 제 15항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포실 외에 배치된 제2의 구동기구에 의해 상기 도포기를 상하방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  20. 제 15항에 있어서, 상기 도포실은 상기 꼭대기판과 상기 측판으로 구성되고 하방으로 열려 고정 배치된 상자체를 형성하고, 상기 밑판은 상기 상자체의 하측에 배치된 상기 측판과 접촉 또는 비접촉상태로, 상기 상자체에 대하여 제1의 수평방향과 제2의 수평방향으로 직선운동이 가능하고, 상기 도포기는 상기 꼭대기판 상방에 배치되어 상기 도포실 내에 토출공 부분만을 노출시키고, 상기 피도물 적치유닛은 테이블을 포함하고, 상기 테이블은 상기 밑판에 형성된 개구 전역을 덮고 또한 상기 도포실 내에 노출시켜 상기 밑판에 고정되어 상기 밑판과 함께 이동하고, 상기 도포실 외에 설치된 제1구동장치와 제2구동장치에 의해 각각 상기 제1의 직선방향과 제2의 직선방향으로 이동이 가능한 것을 특징으로 도포장치.
  21. 제 20항에 있어서, 상기 도포실 외에 배치되고, 상기 도포기를 상하방향으로 이동시키는 제2의 구동기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  22. 제 16항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포제가 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 형성된 슬러리이고, 상기 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용하여 순환시켜 상기 도포기에서 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로, 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 도포장치.
  23. 제 19항에 있어서, 상기 도포제가 포스퍼(Phosphor)와 바인더와 용제로 형성된 슬러리이고, 상기 슬러리는 2개 이상의 소형용기 사이의 압력차에 의해 이동시키고, 또는 펌프를 이용하여 순환시켜 상기 도포기에서 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로, 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  24. 제 16항에 있어서, 한개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연속 통과시키는 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시켜, 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  25. 제 19항에 있어서, 한개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연속 통과시키는 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시켜, 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  26. 제 20항에 있어서, 한개의 소형용기와 도포기와 소형펌프를 연속 통과시키는 순환회로를 형성하고, 소형용기에 충전된 압축기체로 가압한 상기 슬러리를 순환시켜, 상기 도포기로 상기 슬러리를 연속적으로 또는 펄스적으로 온도제어된 피도물 탑재유닛에 탑재된 LED에 도포하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
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