KR20120114150A - Breaking apparatus - Google Patents

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KR20120114150A
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A breaking apparatus is provided to apply transverse force to a brittle material substrate along the scribing line on the brittle material substrate evenly by forming both sides of left and right skirt pieces in longitudinal direction continuously. CONSTITUTION: A break bar(B) of a breaking apparatus comprises a bar body(8) and both sides of skirt pieces(9). The bar body is made of an elongated hard member and a tip contact portion(8a) is formed in the front end of the bar body. The both sides of skirt pieces is attached in the bar body. The tip contact portion is inserted between the skirt pieces and expanded outward. The front end portion of the skirt pieces are projected longer than the tip contact portion in a pressing direction.

Description

브레이크 장치{BREAKING APPARATUS}Brake device {BREAKING APPARATUS}

본 발명은, 유리 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)의 브레이크 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전(前) 공정에서 스크라이브 라인(절홈;scribing line)이 형성된 기판을, 당해 스크라이브 라인을 따라서 분단(dividing)하는 브레이크 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a brake device for a brittle material substrate such as a glass substrate, a semiconductor substrate, and more particularly, to a substrate having a scribing line formed in a previous step. A brake device that divides along a scribe line.

유리 등의 취성 재료 기판을 분단하는 가공에서는, 커터 휠(스크라이빙 휠(scribing wheel)이라고도 함) 등의 홈 가공용 툴을 이용하거나, 레이저 빔을 조사하거나 하여, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후에, 스크라이브 라인을 따라서 외력을 인가하여 기판을 휘게 함으로써 기판을 브레이크(분단)하는 방법이 일반적으로 알려져 있으며, 예를 들면 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 개시되어 있다.In the process of dividing a brittle material substrate such as glass, a grooved tool such as a cutter wheel (also called a scribing wheel) is used or a laser beam is irradiated to form a scribe line on the substrate surface. After that, a method of breaking (dividing) the substrate by applying an external force along the scribe line and bending the substrate is generally known, and is disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, for example.

도 6은, 종래의 취성 재료 기판의 일반적인 브레이크 방법의 순서를 나타내는 도면이다.6 is a diagram showing a procedure of a general braking method for a conventional brittle material substrate.

우선, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 장치의 테이블(20) 상에 취성 재료 기판(W)을 올려놓고, 그 표면에 커터 휠(21)을 이용하여 스크라이브 라인(S)을 형성한다.First, as shown in FIG. 6 (a), the brittle material substrate W is placed on the table 20 of the scribing apparatus, and the scribe line S is formed on the surface thereof using the cutter wheel 21. .

이어서, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 탄성체의 쿠션 시트(23)가 깔린 브레이크 장치의 테이블(22) 상에 취성 재료 기판(W)을 올려놓는다. 이때, 취성 재료 기판(W)의 스크라이브 라인(S)을 형성한 표면(표면측)을 쿠션 시트(23)측을 향하여, 반대측의 표면(이면(裏面)측)이 상면이 되도록 반전시킨다.Next, as shown in FIG.6 (b), the brittle material board | substrate W is mounted on the table 22 of the brake apparatus in which the cushioning sheet 23 of an elastic body was spread | discovered. At this time, the surface (surface side) on which the scribe line S of the brittle material substrate W is formed is inverted toward the cushion sheet 23 side so that the opposite surface (rear surface side) becomes the upper surface.

그리고 하향이 된 스크라이브 라인(S)의 이면 상방으로부터, 스크라이브 라인(S)을 따라서 길게 연장되는 판 형상의 브레이크 바(24)를 하강시켜 취성 재료 기판(W)의 반대면으로부터 압압하여, 취성 재료 기판(W)을 쿠션 시트(23) 상에서 근소하게 V자 형상으로 휘게 함으로써, 스크라이브 라인(S)(크랙)을 깊이 방향으로 침투시킨다. 이에 따라 도 6(c)에 나타내는 바와 같이 취성 재료 기판(W)은 스크라이브 라인(8)을 따라서 브레이크된다.Then, from above the rear surface of the scribe line S which is downward, the plate-shaped brake bar 24 extending along the scribe line S is lowered and pressed from the opposite surface of the brittle material substrate W to form a brittle material. By slightly bending the substrate W on the cushion sheet 23 in a V-shape, the scribe line S (crack) is penetrated in the depth direction. As a result, as shown in FIG. 6C, the brittle material substrate W is braked along the scribe line 8.

(특허문허 1) 일본특허 제3787489호 공보(Patent Document 1) Japanese Patent No. 3787489 일본공개특허공보 평10-330125호Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 10-330125

이 종래 방법에 의하면, 도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 브레이크 바(24)에 의해 취성 재료 기판(W)이 V자 형상으로 휘어 분단될 때에, 좌우의 기판이 인접하는 상단연 부분(25)이 서로 밀도록 간섭하여 작은 이빠짐 등의 흠집이 나는 경우가 있었다. 이러한 이빠짐이 발생하면, 비록 미소한 이빠짐이라도 그로부터 브레이크 후의 기판의 표면에 균열 등을 유인시킴으로써, 불량품 발생의 큰 요인이 된다. 또한, 이빠짐으로 발생한 미소편이 쿠션 시트(23)에 남으면, 다음번의 브레이크시에, 취성 재료 기판(W)을 흠집낼 우려가 발생했다. 특히, 취성 재료 기판(W)의 표면에 미소한 전자 회로 등이 형성되어 있는 경우에는, 전자 회로 절단 등의 중대한 악 영향을 초래할 우려가 있었다.According to this conventional method, as shown in FIG. 6 (c), when the brittle material substrate W is bent and divided by the brake bar 24, the upper and left edge portions 25 adjacent to the left and right substrates are separated. ) May interfere with each other to push each other, resulting in small scratches such as small teeth. If such detachment occurs, even a slight detachment causes a crack or the like to the surface of the substrate after the brake, thereby causing a large factor of defective product generation. Moreover, when the micropiece | piece which generate | occur | produced in the fall | leave remained in the cushion sheet 23, there exists a possibility that the brittle material board | substrate W may be damaged at the next break. In particular, in the case where minute electronic circuits or the like are formed on the surface of the brittle material substrate W, there is a concern that serious adverse effects such as cutting of the electronic circuits are caused.

그래서, 본 발명은, 취성 재료 기판(W)을 V자 형상으로 휘게 하여 분단할 때에, 분단 단면끼리가 서로 간섭하는 것을 방지하고, 이빠짐이 없는 깨끗한 분단 단면을 얻을 수 있는 신규인 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, the present invention provides a novel brake device capable of preventing the divided end faces from interfering with each other when the brittle material substrate W is bent in a V-shape, thereby obtaining a clean divided end face without leaving out. It aims to provide.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 브레이크 장치는, 취성 재료 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성한 표면측과는 반대측의 이면측으로부터 상기 스크라이브 라인을 향하여 브레이크 바를 밀어붙임으로써, 상기 기판을 V자 형상으로 휘게 하여 상기 스크라이브 라인을 따른 분단을 행하도록 한 브레이크 장치로서, 상기 브레이크 바가, 장척(elongated)의 경질 부재로 형성되고, 그리고, 압압(pressing)하는 방향의 선단(先端)에 선단 맞닿음부를 구비한 바 본체와, 상기 바 본체보다도 유연한 탄성 부재로 형성되고, 그리고, 상기 선단 맞닿음부를 사이에 끼워 서로 쌍을 이루도록 바 본체에 부착된 좌우의 스커트편으로 이루어지며, 상기 좌우의 스커트편(skirt piece)은, 선단에 가까워짐에 따라 바 본체로부터 외측으로 확장되도록 경사져 형성되고, 그리고, 그 선단이 상기 선단 맞닿음부보다도 압압 방향측으로 나오도록 형성되어 있는 구성으로 했다.The brake device of the present invention made to solve the above problems is a V-shape for the brittle material substrate by pushing the brake bar toward the scribe line from the back surface side on the side opposite to the surface side on which the scribe line is formed. A brake device configured to bend in a shape to perform division along the scribe line, wherein the brake bar is formed of an elongated hard member, and the tip abuts against the tip of the pressing direction. The bar body provided with a part is formed of an elastic member which is more flexible than the bar body, and consists of the left and right skirt pieces attached to the bar main body so as to be paired with each other by sandwiching the tip contact portion. (skirt piece) is formed to be inclined to extend outward from the bar body as it nears the tip. And it was set as the structure formed so that the front-end | tip might come out to the side of a press direction rather than the said front-end | tip contact part.

본 발명에 의하면, 브레이크 바를 밀어붙여 취성 재료 기판을 V자 형상으로 휘게 하여 분단할 때에, 좌우의 스커트편의 탄성 변형에 의해 취성 재료 기판은 스크라이브 라인으로부터 좌우로 분리되는 방향으로 힘(여압(與壓))을 받고, 이 힘에 의해, 분단과 동시에 취성 재료 기판의 좌우의 분단 단면이 떨어져 분단 단면끼리가 서로 간섭하는 일이 없어져, 이빠짐이 없는 깨끗한 분단면을 얻을 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention, when the break bar is pushed and the brittle material substrate is bent and divided in a V shape, the brittle material substrate is separated from the scribe line by the elastic deformation of the left and right skirt pieces. )) And this force causes the right and left divided cross sections of the brittle material substrate to be separated at the same time, and the divided cross sections do not interfere with each other, thereby providing a clean divided surface without leaving out.

상기 좌우의 스커트편은, 바 본체의 길이 방향을 따라서 간격을 두고 복수로 분할되어 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 스커트편이 변형되기 쉬워져, 맞닿는 부분에 힘을 집중시켜 횡방향의 힘을 부여할 수 있다.It is preferable that the left and right skirt pieces are divided into a plurality of pieces at intervals along the longitudinal direction of the bar body. Thereby, a skirt piece becomes easy to deform | transform, and can concentrate a force in the part which abuts, and can provide a lateral force.

또한, 좌우의 스커트편이, 바 본체의 길이 방향을 따라서 연속하여 길게 형성되도록 해도 좋다. 이에 따라, 스크라이브 라인을 따라서, 균일하게 횡방향의 힘을 부여할 수 있다.In addition, the left and right skirt pieces may be formed continuously long along the longitudinal direction of the bar body. As a result, the lateral force can be uniformly applied along the scribe line.

본 발명에 있어서, 좌우의 스커트편의 외측면에, 바 본체의 길이 방향을 따른 홈이 형성되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.In this invention, it is good to set it as the structure in which the groove | channel along the longitudinal direction of the bar main body is formed in the outer surface of the left and right skirt pieces.

이에 따라, 스커트편이 기판에 맞닿고, 압압되었을 때에 홈 부분에서 굴곡되게 되어, 스커트편의 소재가 경도가 높은, 혹은 상당히 두께가 있는 탄성 수지재라도 용이하게 탄성 변형시킬 수 있다. 또한, 굴곡됨으로써, 기판에 대하여 수평 방향으로 떨어지려고 하는 힘이 유효하게 작용하게 된다.Thereby, when a skirt piece abuts on a board | substrate and is pressed, it bends in a groove part, and even if the raw material of a skirt piece is high in hardness, or has a considerable thickness, it can easily elastically deform. Moreover, by bending, the force which tries to fall in the horizontal direction with respect to a board | substrate becomes effective.

도 1은 본 발명에 따른 브레이크 장치의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 브레이크 장치에 있어서의 브레이크 바의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 3은 브레이크 바의 작동을 설명하는 단면도이다.
도 4는 브레이크 바에 있어서의 스커트편의 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 5는 브레이크 바에 있어서의 스커트편의 또 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 6은 종래의 일반적인 브레이크 방법을 나타내는 도면이다.1 is a perspective view showing an example of a brake device according to the present invention.
2 is a perspective view illustrating an example of a brake bar in the brake device.
3 is a cross-sectional view illustrating the operation of the brake bar.
It is a perspective view which shows another Example of the skirt piece in a brake bar.
It is a perspective view which shows still another Example of the skirt piece in a brake bar.
6 is a view showing a conventional general brake method.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하에 있어서, 본 발명의 브레이크 장치의 상세를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the detail of the brake apparatus of this invention is demonstrated in detail based on drawing.

도 1은 본 발명에 따른 브레이크 장치의 일 예를 나타내는 사시도이고, 도 2는 브레이크 바의 사시도이며, 도 3은 브레이크 바의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a perspective view showing an example of a brake device according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of the brake bar, Figure 3 is a cross-sectional view for explaining the operation of the brake bar.

브레이크 장치(A)는, 분단해야 하는 취성 재료 기판(W)(예를 들면 유리 기판)을 올려놓는 테이블(1)을 구비하고 있다. 이 테이블(1)은, 수평인 레일(2, 2)을 따라서 Y방향으로 이동할 수 있게 되어 있고, 모터(M)에 의해 회전하는 나사축(3)에 의해 구동된다. 또한 테이블(1)은, 모터를 내장하는 구동부(4)에 의해 수평면 내에서 회동할 수 있게 되어 있다.The brake device A is equipped with the table 1 which mounts the brittle material board | substrate W (for example, glass substrate) which should be divided | segmented. The table 1 is movable in the Y direction along the horizontal rails 2 and 2, and is driven by the screw shaft 3 rotating by the motor M. As shown in FIG. Moreover, the table 1 can be rotated in a horizontal plane by the drive part 4 which embeds a motor.

테이블(1)은, 이 위에 올린 취성 재료 기판(W)을 정(定)위치에서 지지(holding)할 수 있도록 지지 수단을 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 이 지지 수단으로서, 테이블(1)에 개구시킨 다수의 작은 에어 흡착구멍(1a)이 형성되어 있고, 이 에어 흡착구멍(1a)으로부터의 에어 흡인에 의해 취성 재료 기판(W)이 흡착 지지되게 되어 있다. 또한, 이 이외에, 취성 재료 기판(W)의 단면을 맞닿게 하여 위치 결정을 행하기 위한 블록이나 핀을 지지 수단으로 해도 좋다.The table 1 is provided with the support means so that the brittle material substrate W put on this may be hold | maintained at a fixed position. In this embodiment, as this support means, many small air adsorption holes 1a opened in the table 1 are formed, and the brittle material substrate W is formed by air suction from the air adsorption holes 1a. This adsorption support is made. In addition to this, a block or a pin for positioning by bringing the end surface of the brittle material substrate W into contact with each other may be used as the support means.

테이블(1)을 사이에 끼워 설치되어 있는 양측의 지지주(5, 5)와 X방향으로 연장되는 가로대(cross beam;6)를 구비한 브리지(7)가, 테이블(1) 상을 걸치도록 하여 설치되어 있다. 이 가로대(6)에 샤프트(10)를 개재하여 브레이크 바(B)가 승강 가능하게 지지되고, 실린더(11)에 의해 승강하도록 설치되어 있다.The bridge 7 having the support pillars 5 and 5 on both sides provided with the table 1 interposed therebetween and a cross beam 6 extending in the X direction so as to span the table 1. It is installed. The brake bar B is supported by the crossbar 6 so that the brake bar B can be lifted and lowered via the shaft 10, and is provided by the cylinder 11.

브레이크 바(B)는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 브레이크 대상의 기판(W)에 형성되는 스크라이브 라인(S)의 길이에 맞춰 수평 방향으로 길게 연장되는 장척의 바 본체(8)를 구비하고 있다. 바 본체(8)는 경질 부재(예를 들면 두께의 경질 고무제)로 형성되고, 샤프트(10)로 지지되어 있으며, 샤프트(10)로 기판(W)을 압압하는 방향으로 승강되도록 되어 있다. 또한, 브레이크 바(B)의 하단측은, 압압 방향(하향 방향)의 선단에, 기판(W)과 맞닿기 위한 선단 맞닿음부(8a)(도 3 참조)가 형성되어 있다. 선단 맞닿음부(8a)는, 스크라이브 라인(S)을 따라서 효율적으로 압압력(pressing force)을 전달할 수 있도록, 선단의 단면을 삼각형으로 하여 날카로운 돌기로 하고, 능선이 형성되도록 되어 있다. 또한, 효율적으로 압압력을 전달할 수 있는 형상이면 선단 맞닿음부(8a)의 형상은 한정되지 않는다. 예를 들면, 선단 맞닿음부(8a)의 단면이 반원 형상이라도 좋다. 나아가서는, 브레이크 대상의 기판이 접합 기판과 같이 표면, 이면도 압압이 행해지는 경우는, 선단 맞닿음부(8a)가 맞닿는 면에도 스크라이브 라인이 형성되어 있기 때문에, 그러한 경우에는, 스크라이브 라인을 피하여 압압할 수 있도록 두 갈래로 나뉘어진 선단 맞닿음부로 해도 좋다.As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the brake bar B has a long bar main body 8 extending in the horizontal direction in accordance with the length of the scribe line S formed on the substrate W to be braked. Equipped. The bar main body 8 is formed of a hard member (for example, made of hard rubber having a thickness), is supported by the shaft 10, and is lifted in the direction in which the substrate W is pressed by the shaft 10. In addition, at the lower end side of the brake bar B, the front end contact part 8a (refer FIG. 3) for abutting with the board | substrate W is formed in the front end of the pressing direction (downward direction). The tip abutting portion 8a has a triangular cross section of the tip as a sharp projection so that the pressing force can be efficiently transmitted along the scribe line S, and a ridgeline is formed. In addition, the shape of the front-facing contact part 8a is not limited, if it is a shape which can transmit pressure pressure efficiently. For example, the cross section of the tip abutting part 8a may be a semicircle shape. Furthermore, when the substrate to be brake is pressed against the front surface and the back surface like the bonded substrate, the scribe line is formed on the surface where the front end contact portion 8a abuts. It may be a two-pronged tip abutment for pressing.

바 본체(8)의 측면에는, 선단 맞닿음부(8a)를 중앙에 끼워 서로 쌍을 이루도록 하여, 바 본체(8)보다도 유연한 탄성 부재로 형성된 좌우 한 쌍의 스커트편(9, 9)을 구비하고 있다. 구체적으로는, 바 본체(8)와 동일한 경질 고무를 이용하지만, 그 두께를 얇게 함으로써 유연성을 늘린 탄성 부재가 되도록 하고 있다. 이와 같이, 동일한 경질 고무를 이용함으로써, 바 본체(8)와 스커트편(9)이 일체 성형할 수도 있다. 또한, 스커트편(9, 9)을, 바 본체(8)와는 상이한 유연한 재료를 이용하여 유연성을 부여하도록 해도 좋다.The side of the bar main body 8 is provided with a pair of left and right skirt pieces 9 and 9 formed of an elastic member more flexible than the bar main body 8 so as to be paired with each other by sandwiching the tip abutting portions 8a at the center. Doing. Specifically, the same hard rubber as that of the bar main body 8 is used, but the thickness is made thin so that the elastic member has increased flexibility. In this manner, the bar main body 8 and the skirt piece 9 may be integrally formed by using the same hard rubber. In addition, you may make the skirt pieces 9 and 9 give flexibility using the flexible material different from the bar main body 8.

이 좌우의 스커트편(9, 9)은, 선단(하단)에 가까워짐에 따라, 바 본체(8)로부터 외측으로 확장되도록 경사져 형성되고, 그리고, 그 선단부(9a)가 바 본체(8)의 선단 맞닿음부(8a)보다도 하방으로 나오도록 형성되어 있다. 또한, 스커트편(9, 9)의 탄성 변형을 용이하게 하기 위해, 스커트편(9, 9)의 외측면에, 바 본체(8)의 길이 방향을 따른 홈(9b)이 형성되어 있다.The skirt pieces 9 and 9 on the left and right sides are formed to be inclined so as to extend outward from the bar main body 8 as they approach the tip end (bottom end), and the tip end portion 9a is formed at the tip end of the bar main body 8. It is formed so that it may come out below the contact part 8a. Moreover, in order to facilitate the elastic deformation of the skirt pieces 9 and 9, the groove 9b along the longitudinal direction of the bar main body 8 is formed in the outer surface of the skirt pieces 9 and 9.

또한 본 실시예에서는, 좌우의 스커트편(9, 9)이, 도 2에 나타내는 바와 같이, 바 본체(8)의 길이 방향을 따라서 간격을 두고 복수, 예를 들면 4개로 분할하여 형성되어 있다. 이들 분할된 4개의 스커트편(9')은, 연결판부(9d)와 일체적으로 연결되어 형성되어 있다.In addition, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the skirt pieces 9 and 9 of right and left are divided | segmented into several, for example, four at intervals along the longitudinal direction of the bar main body 8, and are formed. These divided four skirt pieces 9 'are formed integrally with the connecting plate portion 9d.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 취성 재료 기판(W)의 위치를 검출하기 위한 카메라(12)와, 카메라(12)로 촬영된 화상을 표시하는 모니터(13)가 부착되어 있다. 카메라(12)는, 테이블(1) 상의 취성 재료 기판(W)의 귀퉁이부 표면에 형성된 위치 특정용의 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상함으로써, 취성 재료 기판(W)의 위치를 검출한다. 얼라이먼트 마크가 기준 설정 위치에 있으면 브레이크 작업을 개시한다. 만약 얼라이먼트 마크가 기준 설정 위치에 대하여 어긋남이 있으면, 이 어긋남량을 검출하여, 취성 재료 기판(W)을 모니터의 화상을 보면서 수작업으로, 또는 테이블(1) 상을 이동시킴으로써 어긋남을 수정한다.1, the camera 12 for detecting the position of the brittle material board | substrate W, and the monitor 13 which displays the image imaged with the camera 12 are attached. The camera 12 detects the position of the brittle material substrate W by imaging the alignment mark for position specification formed in the corner surface of the brittle material substrate W on the table 1. When the alignment mark is at the reference setting position, the braking operation is started. If the alignment mark is misaligned with respect to the reference setting position, the misalignment amount is detected and the misalignment is corrected by manually or moving the table 1 on the brittle material substrate W while viewing the image of the monitor.

다음으로, 이 브레이크 장치의 동작에 대해서 설명한다.Next, the operation of this brake device will be described.

취성 재료 기판(W)에는 전단(前段)의 스크라이브 공정에서 스크라이브 라인(절홈)(S)이 형성되어 있으며, 도 1에 나타내는 바와 같이, 이 스크라이브 라인(S)이 브레이크 바(B)의 길이 방향과 일치하도록 테이블(1)에 쿠션 시트(14)를 개재하여 올려놓는다. 이때 취성 재료 기판(W)의 스크라이브 라인(S)을 형성한 면(표면측)을 쿠션 시트(14)측을 향하여, 반대측의 면(이면측)이 상면이 되도록 해둔다.A scribe line (cutting groove) S is formed in the brittle material substrate W in a front scribe process. As shown in FIG. 1, the scribe line S is in the longitudinal direction of the brake bar B. As shown in FIG. The cushion sheet 14 is placed on the table 1 so as to coincide with the above. At this time, the surface (surface side) in which the scribe line S of the brittle material substrate W is formed is made to face the cushion sheet 14 side, so that the opposite surface (rear surface side) becomes an upper surface.

이어서, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 테이블(1)을 이동시켜 취성 재료 기판(W)의 분단해야 하는 스크라이브 라인(S)이 브레이크 바(B)의 선단 맞닿음부(8a)의 바로 아래가 되도록 배치한다.Subsequently, as shown in FIG. 3 (a), the scribe line S, which should move the table 1 and divide the brittle material substrate W, is directly at the tip contact portion 8a of the brake bar B. FIG. Place it down.

이어서 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 브레이크 바(B)를 하강시키면, 최초로 좌우의 스커트편(9, 9)의 선단부(9a, 9a)가 스크라이브 라인(S)의 상방에서 그 좌우 양 옆 부분에 접촉한다. 또한 브레이크 바(B)의 하강이 진행되면, 스커트편(9, 9)은 화살표 방향으로 탄성 변형하고, 이 탄성 변형에 의한 힘이, 취성 재료 기판(W)을 스크라이브 라인(S)으로부터 분리하는 방향으로 작용한다.Subsequently, when the brake bar B is lowered as shown in FIG. 3 (b), the front end portions 9a and 9a of the left and right skirt pieces 9 and 9 are firstly lateral to the left and right sides of the scribe line S. FIG. To contact. In addition, when the lowering of the brake bar B proceeds, the skirt pieces 9 and 9 elastically deform in the direction of the arrow, and the force by this elastic deformation separates the brittle material substrate W from the scribe line S. Act in the direction.

이 상태에서 브레이크 바(B)가 더욱 하강하면, 바 본체(8)의 선단 맞닿음부(8a)가 취성 재료 기판(W)을 압압하여, 취성 재료 기판(W)을 쿠션 시트(14) 상에서 V자 형상으로 휘게 한다. 이에 따라, 스크라이브 라인(S)(크랙)이 깊이 방향으로 침투하여, 도 3(c)에 나타내는 바와 같이 스크라이브 라인(S)으로부터 취성 재료 기판(W)이 브레이크된다.When the brake bar B further lowers in this state, the front abutting portion 8a of the bar main body 8 presses the brittle material substrate W so that the brittle material substrate W is placed on the cushion sheet 14. Bend into a V shape. As a result, the scribe line S (crack) penetrates in the depth direction, and the brittle material substrate W is braked from the scribe line S as shown in Fig. 3C.

이 분단시, 취성 재료 기판(W)은 스커트편(9, 9)의 탄성 변형에 의해 스크라이브 라인(S)으로부터 떨어지는 방향으로 힘(여압)을 받고 있기 때문에, 분단과 동시에 취성 재료 기판(W)의 인접하는 좌우의 분단 단면이 떨어져, 단면끼리가 서로 접촉하는 등의 간섭이 발생하는 경우가 없다. 이에 따라, 이빠짐 등의 흠집의 발생이 없어져, 단면 강도가 우수한 분단면을 얻을 수 있다.At this time, the brittle material substrate W is subjected to a force (pressing pressure) in a direction falling from the scribe line S due to the elastic deformation of the skirt pieces 9 and 9, so that the brittle material substrate W is simultaneously cut off. The divided left and right divided cross sections adjacent to each other are not separated, and interference such as the cross sections are in contact with each other does not occur. Thereby, the generation | occurrence | production of the flaw, such as peeling off, disappears, and the divided surface excellent in cross-sectional strength can be obtained.

또한, 바 본체(8)의 취성 재료 기판(W)에 대한 압압력을 종래의 브레이크 바에서의 압압력과 같은 정도로 설정해 둠으로써, 지금까지와 동일한 브레이크 처리를 실현할 수 있다.Further, by setting the pressing force of the bar main body 8 to the brittle material substrate W to the same degree as that of the conventional brake bar, the same brake processing as before can be realized.

스커트편(9, 9)의 탄성 변형에 의해 발생하는 좌우로의 떨어지는 힘은, 스커트편(9, 9)의 소재나 두께, 형상에 의해 정해진다. 따라서, 경도가 높은 경질 고무 등의 경우는, 상기 실시예로 나타낸 바와 같이, 스커트편(9, 9)의 외측면에 바 본체(8)의 길이 방향을 따른 홈(9b)을 형성하거나, 혹은, 또는 이에 더하여, 스커트편(9, 9)을, 바 본체(8)의 길이 방향을 따라서 간격을 두고 복수로 분할하여 형성하거나 함으로써 탄성 변형하기 쉽도록 하는 것이 바람직하다.The force falling to the left and right generated by the elastic deformation of the skirt pieces 9 and 9 is determined by the material, the thickness, and the shape of the skirt pieces 9 and 9. Therefore, in the case of hard rubber etc. with high hardness, as shown in the said Example, the groove 9b along the longitudinal direction of the bar main body 8 is formed in the outer surface of the skirt piece 9, 9, or Alternatively, or in addition, the skirt pieces 9 and 9 are preferably divided into a plurality of pieces at intervals along the longitudinal direction of the bar main body 8 so as to be easily elastically deformed.

또한, 스커트편(9)의 바 본체(8)로의 부착법도, 좌우로 떨어지는 방향으로 힘이 작용하도록 배치하면 좋기 때문에, 분할된 복수의 스커트편이, 길이 방향을 따라서 좌우도 병행하여 부착될 뿐만 아니라, 길이 방향을 따라서 좌우 교대로 부착되도록 해도 좋다.In addition, the method of attaching the skirt piece 9 to the bar main body 8 may also be arranged so that a force acts in the direction falling from side to side, so that not only the plurality of divided skirt pieces are attached to the left and right sides along the longitudinal direction. May be alternately attached to each other along the longitudinal direction.

또한, 스커트편(9, 9)의 재료에 따라서는 도 4에 나타내는 바와 같이, 스커트편(9, 9)을 바 본체(8)의 길이 방향을 따라서 연속하여 길게 형성하는 것도 가능하고, 혹은 상기한 홈(9b)도 생략할 수 있다.In addition, depending on the material of the skirt pieces 9 and 9, as shown in FIG. 4, the skirt pieces 9 and 9 can also be formed continuously long along the longitudinal direction of the bar main body 8, or the said One groove 9b can also be omitted.

상기 실시예에서는, 전술한 좌우의 스커트편(9, 9)을 개별로 작성하여 바 본체(8)에 부착한 예를 나타냈지만, 도 5에 나타내는 바와 같이, 좌우의 스커트편(9, 9)을, 연결부(9c)를 개재하여 연결하여 일체적으로 형성하도록 해도 좋다.In the said Example, the example which created the above-mentioned left and right skirt pieces 9 and 9 separately and attached to the bar main body 8 was shown, As shown in FIG. 5, the left and right skirt pieces 9 and 9 were shown. May be integrally formed via the connecting portion 9c.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시예 구조에만 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 브레이크 바(B)의 바 본체(8)에 스커트편(9, 9)을 착탈할 수 있도록 하여, 취성 재료 기판(W)의 종류에 따라 탄성력이 상이한 스커트편을 교환하거나, 혹은 스커트편을 필요로 하지 않을 때는 바 본체(8)로부터 떼어낼 수 있도록 하거나 해도 좋다. 그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily specific only to the said Example structure. For example, the skirt pieces 9 and 9 can be attached and detached to the bar main body 8 of the brake bar B, and the skirt piece from which elasticity differs according to the kind of brittle material substrate W is replaced, or When the skirt piece is not needed, it may be detached from the bar main body 8. In addition, in the present invention, the object can be achieved and modified and changed as appropriate without departing from the scope of the claims.

본 발명은, 유리 기판, 반도체 기판, 박막 태양 전지의 기판 등의 취성 재료 기판을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크하는 브레이크 장치에 적용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a brake device that brakes a brittle material substrate such as a glass substrate, a semiconductor substrate, or a substrate of a thin film solar cell along a scribe line.

W : 취성 재료 기판
S : 스크라이브 라인
A : 브레이크 장치
B : 브레이크 바
1 : 테이블
8 : 바 본체
8a : 바 본체의 선단 맞닿음부
9 : 스커트편
9a : 스커트편의 선단부
9b : 스커트편의 홈W: brittle material substrate
S: scribe line
A: brake device
B: brake bar
1: Table
8: bar body
8a: tip contact portion of bar body
9: skirt
9a: tip of skirt
9b: Home of the skirt side

Claims (4)

취성 재료 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성한 표면측과는 반대측의 이면(裏面)측으로부터 상기 스크라이브 라인을 향하여 브레이크 바를 밀어붙임으로써, 상기 기판을 V자 형상으로 휘게 하여 상기 스크라이브 라인을 따른 분단을 행하도록 한 브레이크 장치로서,
상기 브레이크 바가, 장척의 경질 부재로 형성되고, 그리고, 압압하는 방향의 선단(先端)에 선단 맞닿음부를 구비한 바 본체와,
상기 바 본체보다도 유연한 탄성 부재로 형성되고, 그리고, 상기 선단 맞닿음부를 사이에 끼워 서로 쌍을 이루도록 상기 바 본체에 부착된 좌우의 스커트편으로 이루어지며,
상기 좌우의 스커트편은, 선단에 가까워짐에 따라 상기 바 본체로부터 외측으로 확장되도록 경사져 형성되고, 그리고, 그의 선단이 상기 선단 맞닿음부보다도 압압 방향측으로 나오도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.With respect to the brittle material substrate, the break bar is bent in a V shape by pushing the brake bar toward the scribe line from the back surface side opposite to the surface side on which the scribe line is formed, thereby dividing the segment along the scribe line. As a brake device to perform,
The bar body is formed of a long hard member, and the bar bar is provided with a tip contact portion at the tip of the pressing direction,
It is formed of an elastic member that is more flexible than the bar body, and is composed of left and right skirt pieces attached to the bar body so as to be paired with each other by sandwiching the tip contact portion therebetween.
The said right and left skirt pieces are formed inclined so that they may extend outward from the said bar main body as they approach a front end, and the front end is formed so that the front end may come out to the side of a press direction rather than the said front end contact part. 제1항에 있어서,
좌우의 스커트편이, 바 본체의 길이 방향을 따라서 간격을 두고 복수로 분할되어 형성되어 있는 브레이크 장치.The method of claim 1,
The left and right skirt pieces are divided | segmented and formed in multiple numbers at intervals along the longitudinal direction of the bar main body. 제1항에 있어서,
좌우의 스커트편이, 바 본체의 길이 방향을 따라서 연속하여 길게 형성되어 있는 브레이크 장치.The method of claim 1,
The left and right skirt pieces are formed continuously long along the longitudinal direction of the bar main body. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
좌우의 스커트편의 외측면에, 바 본체의 길이 방향을 따른 홈이 형성되어 있는 브레이크 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The brake device in which the groove | channel along the longitudinal direction of the bar main body is formed in the outer side surface of the left and right skirt pieces.
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