KR20120109547A - 외관 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표면에 농색의 모양을 갖는 것이라 하더라도 그 형상을 정확하게 검사할 수 있는 외관 검사 장치에 관한 것이다. 이 외관 검사 장치는 피검사물을 반송하는 반송로 부근에 배치되는 표면모양 검사수단과 표면형상 검사수단을 구비한다. 표면모양 검사수단은 피검사물에 확산광을 조사하여 농담영상을 촬영하는 농담영상 촬영부들 및 촬영된 농담영상에 근거하여 표면모양에 관한 적부를 판정하는 모양판정부를 구비한다. 표면형상 검사수단은 띠형상의 슬릿광을 피검사물에 조사한 영상을 촬영하는 슬릿광 영상촬영부들 및 촬영된 영상에 근거하여 표면형상에 관한 적부를 판정하는 형상판정부를 구비한다. 형상판정부는 모양판정부에서 적어도 피검사물 표면의 농색부가 존재하는 영역에 관한 정보를 수신하고, 수신한 영역을 비검사 영역으로 설정하여 형상에 관한 적부를 판정한다.

Description

외관 검사 장치{APPEARANCE INSPECTION DEVICE}
본 발명은 의약품(정제, 캡슐 등), 식품, 기계 부품이나 전자 부품 등(이하, '피검사물'이라 한다)의 외관을 검사하는 장치에 관한 것이다.
종래에는, 상기 피검사물 표면의 외관을 검사하는 장치로서, 예를 들면, 일본국 공개 특허 공보 제1988－53452호나 일본국 공개 특허 공보 제2004－317126호에 개시된 외관 검사 장치가 알려져 있었다.
이 일본국 공개 특허 공보 제1988－53452호에 따른 검사장치는, 피검사물의 표면에 확산광을 조사하여 표면을 적절한 촬영 장치로 촬영하고, 촬영하여 얻은 농담(濃淡)영상을 해석함으로써, 피검사물 표면에 존재하는 더러움이나 인쇄부를 검출하여 그 적부를 판별하는 것이다.
이 검사 장치로는, 피검사물 표면에 확산광을 조사하는 것으로 표면이 모든 방향에서 균일하게 조명되어, 이에 의해, 표면에 존재하는 요철이 사상(捨象)되어, 다시 말해, 요철에 기인한 그림자의 발생이 억제되어, 표면의 모양(더러움이나 인쇄부)이 강조된 농담영상이 얻어진다.
한편, 상기 일본국 공개 특허 공보 제2004－317126호에 따른 검사 장치는 피검사물 표면에 레이저 슬릿광을 조사하고, 조사된 레이저 슬릿광의 영상을 적절한 촬영 장치로 촬영하고, 촬영하여 얻은 영상을 광 절단법에 따라 해석하여 피검사물 표면의 높이에 관한 정보를 취득하고, 얻어진 높이 정보에 근거하여 피검사물의 표면에 존재하는 상처나 결함 등을 검출하고, 또한, 피검사물의 부피를 산출하는 것이다.
일본국 특허 공개 공보 제1988－53452호 공보 일본국 특허 공개 공보 제2004－317126호 공보
그러나 상술한 특허문헌들에 따른 검사장치 중, 일본국 공개 특허 공보 제2004－317126호에 따른 검사 장치에는 아래에 설명되는 것과 같은 문제가 있었다.
즉, 상기 피검사물의 표면에 농색부(濃色部)가 존재할 경우, 이 농색부에 상기 레이저 슬릿광이 조사되면, 농색부에서 레이저광이 흡수되어 그 반사광이 생기지 않기 때문에, 해당 농색부에 있어서의 반사광이 결함된 영상이 상기 촬영 장치에 의해 촬영되는 것이다.
그리고 이러한 일부가 결함된 영상을 이용하여 상기 광 절단법에 따라 피검사물 표면의 높이 정보를 산출할 경우, 영상의 결함에 의해 높이의 이상으로 판정되어 피검사물 표면의 정확한 형상을 판정할 수 없다.
특히, 상기 의약품일 경우 그 표면에 문자 등의 인쇄가 항상 실시되고 있기 때문에, 상기 광 절단법을 채용한 형상검사에서는 그 정확한 검사를 실시할 수 없었다.
한편으로는, 의약품은 약효에 있어서 고도의 보증이 요구되기 때문에, 그 표면의 상처나 결함을 정확하게 검출할 수 있다면 매우 유익하다.
본 발명은, 상술한 실정을 감안하여 실시된 것으로, 표면에 짙은 색의 모양을 갖는 것이라도 그 표면형상을 정확하게 검사할 수 있는 외관 검사 장치의 제공을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
소정의 반송로를 따라 피검사물을 반송하는 반송 수단과,
상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 피검사물의 표면모양을 검사하는 표면모양 검사수단과,
동일하게 상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 피검사물의 표면형상을 검사하는 표면형상 검사수단을 구비한 외관 검사 장치로,
상기 표면모양 검사수단은, 상기 반송로 부근에 배치되며, 상기 피검사물의 표면에 확산광을 조사하여, 해당 확산광에 의해 조명된 피검사물 표면의 농담영상을 촬영하는 농담영상 촬영부와, 해당 농담영상 촬영부에 의해 촬영된 농담영상에 근거하여, 상기 피검사물 표면 모양의 특징을 인식하여 해당 모양에 관한 적부를 판정하는 모양판정부를 구비하고,
상기 표면형상 검사수단은, 상기 농담영상 촬영부보다 상류 측 또는 하류 측의 상기 반송로 부근에 배치되며, 띠형상의 슬릿광을, 그 조사 라인이 상기 피검사물의 반송 방향과 직교하도록, 상기 피검사물 표면에 조사하면서 동시에, 촬영 광축이 상기 피검사물의 반송 방향을 따르면서, 또한 상기 피검사물에 조사되는 슬릿광의 광축과 교차하는 방향에서, 상기 피검사물에 상기 슬릿광이 조사되었을 때의 영상을 촬영하는 슬릿광 영상촬영부와, 해당 슬릿광 영상촬영부에 의해 촬영된 영상에 근거하여, 상기 피검사물 표면의 형상특징을 인식해서 해당 형상에 관한 적부를 판정하는 형상판정부를 구비하고,
게다가, 상기 형상판정부는, 상기 모양판정부에서 적어도 상기 피검사물 표면의 농색부가 존재하는 영역에 관한 정보를 수신하고, 수신한 영역을 비검사 영역으로 설정하여, 상기 형상에 관한 적부를 판정하도록 구성된 외관 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 외관 검사 장치에 의하면, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 피검사물은, 상기 표면모양 검사수단에 의해 그 표면이 검사되고, 상기 농담영상 촬영부에 의해 촬영된 농담영상에 근거하여, 그 표면의 모양에 관한 적부가 판정된다. 예를 들면, 표면에 더러움이 존재할 경우에는, 더러움이 모양특징으로서 검출되어, 그 결과, 불량으로 판정되며, 표면에 문자 등이 인쇄되어 있을 경우에는, 이 인쇄부가 모양특징으로서 검출되어, 인쇄 상태의 적부가 판정된다.
한편, 피검사물은, 상기 표면형상 검사수단에 의해 그 표면형상이 검사된다. 다시 말해, 상기 슬릿광 영상촬영부에 있어서, 띠형상의 슬릿광을 피검사물의 표면에 조사하여, 그 반사광을 촬영하고, 형상판정부에서, 상기 촬영 영상에 근거하여, 예를 들면, 광 절단법에 의해 피검사물 표면의 삼차원형상에 따른 데이터를 산출하여, 산출한 데이터로 표면형상의 특징을 인식하여, 그 적부를 판정한다.
이 때, 형상판정부는, 상기 모양판정부에서 적어도 피검사물 표면의 농색부가 존재하는 영역에 관한 정보를 수신하고, 수신한 영역을 비검사 영역으로 설정하여, 피검사물 표면의 형상에 관한 적부를 판정한다.
피검사물 표면에 농색부가 존재할 경우, 이 농색부에 슬릿광이 조사되면, 해당 농색부에서 슬릿광이 흡수되어 반사되지 않기 때문에, 해당 농색부에 있어서의 반사광이 결핍된 영상이 슬릿광 영상촬영부에 의해 촬영된다.
그리고 이러한 일부가 결핍한 영상을 이용하여, 광 절단법에 의해, 피검사물 표면의 삼차원형상에 따른 특징데이터를 산출할 경우, 해당 농색부의 데이터가 결핍된 것이 되기 때문에, 통상적으로, 해당 농색부의 삼차원형상이 이상하다고 판정 하지 않을 수 없다.
여기서, 본 발명에서는, 상기 형상판정부가, 농색부를 정확하게 판별할 수 있는 상기 표면모양 검사수단의 모양판정부에서, 적어도 이 농색부가 존재하는 영역에 관한 정보를 수신하고, 수신한 영역을 비검사 영역으로 설정하여, 피검사물 표면의 삼차원형상에 따른 적부를 판정하는 구성으로 하였다.
농색부가 존재하는 영역을 비검사 영역으로 설정하는 것으로, 삼차원형상에 따른 상기와 같은 오판정을 방지할 수 있고, 피검사물 표면의 형상을 정확하게 검사할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 농담영상 촬영부와 슬릿광 영상촬영부는, 모두 상류 측에 마련되어 있어도 좋지만, 형상판정부에서의 처리의 신속성을 고려하면, 농담영상 촬영부를 상류 측에 마련하고, 모양판정부의 처리를 형상판정부의 처리보다도 먼저 실시하는 편이, 형상판정부에 있어서의 처리에 대기 시간이 발생하지 않기 때문에, 바람직하다.
또한, 본 발명에서는, 상기 슬릿광 영상촬영부는, 상기 슬릿광을 수직방향으로 조사하면서 동시에, 상기 피검사물의 반송방향의 상류 측 및 하류 측의 두 방향에서 각각 영상을 촬영하고, 상기 형상판정부는, 상기 슬릿광 영상촬영부에 의해 촬영된 두 개의 영상을 합성하고, 합성한 영상에 근거하여, 상기 피검사물 표면의 형상에 관한 적부를 판정하도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 슬릿광 영상촬영부에 있어서의 촬영 방향이 한 방향일 경우에는, 이 촬영 방향에 대하여 사각(死角)이 되는 위치에 존재하는 표면에 대해서는, 그 영상을 얻을 수 없어서, 해당 표면에 대한 삼차원형상의 적부를 판정할 수 없지만, 마주보는 두 방향에서 촬영하면, 이러한 사각을 가능한 한 적게 할 수 있고, 표면의 거의 전체에 대해서, 그 삼차원형상의 적부를 판정할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 피검사물이 표면에 짙은 색의 모양을 갖는 것이라도 그 표면의 삼차원형상을 정확하게 검사할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 외관 검사 장치의 전체를 나타낸 정면도이다.
도 2는 도 1에 있어서의 화살표 A-A 방향의 일부 단면도이다.
도 3은 A면 농담영상 촬영부 및 B면 농담영상 촬영부의 개략적인 구성을 설명하기 위한 설명도이다.
도 4는 A면 슬릿광 영상촬영부 및 B면 슬릿광 영상촬영부의 개략적인 구성을 설명하기 위한 설명도이다.
도 5는 검사 선별 처리부의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 6은 A면 슬릿광 영상촬영부 및 B면 슬릿광 영상촬영부에 있어서의 슬릿광의 조사 상태를 설명하기 위한 설명도이다.
도 7은 A면 슬릿광 영상촬영부 및 B면 슬릿광 영상촬영부에 있어서의 영상촬영의 형태를 설명하기 위한 설명도이다.
도 8은 A면 슬릿광 영상촬영부 및 B면 슬릿광 영상촬영부에 있어서의 영상촬영의 형태를 설명하기 위한 설명도이다.
도 9는 A면 슬릿광 영상촬영부 및 B면 슬릿광 영상촬영부에 의해 촬영되는 영상을 설명하기 위한 설명도이다.
도 10은 A면 휘도데이터 변환처리부 및 B면 휘도데이터 변환처리부에 있어서의 처리를 설명하기 위한 설명도이다.
도 11은 A면의 2영상 합성처리부 및 B면 2영상 합성처리부에 있어서의 처리를 설명하기 위한 설명도이다.
도 12는 A면 형상특징 추출 처리부 및 A면 형상판정 처리부, 및, B면 형상특징 추출 처리부 및 B면 형상판정 처리부에 있어서의 처리를 설명하기 위한 설명도이다.
도 13은 촬영면에 짙은 색의 인쇄가 있을 경우에, A면 슬릿광 영상촬영부 및 B면 슬릿광 영상촬영부에 의해 촬영되는 영상을 예시한 설명도이다.
도 14는 A면 슬릿광 영상촬영부 및 B면 슬릿광 영상촬영부에 있어서의 사각이 생기는 문제를 설명하기 위한 설명도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서, 도면에 근거하여 설명하고자 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 외관 검사장치(1)는, 피검사물(K)을 정렬해서 공급하는 공급부(3), 공급된 피검사물(K)을 직선으로 반송하는 제1 직선반송부(10) 및 제2 직선반송부(15), 제1 직선반송부(10)의 반송로 부근에 배치된 A면 농담영상 촬영부(21) 및 A면 슬릿광 영상촬영부(31), 제2 직선반송부(15)의 반송로 부근에 배치된 B면 농담영상 촬영부(51) 및 B면 슬릿광 영상촬영부(61), 검사 선별 처리부(20), 선별부(80)를 구비한다.
또한, 본 실시예에 있어서의 피검사물(K)로서는 의약품(정제, 캡슐 등), 식품, 기계부품이나 전자 부품 등을 예시할 수 있지만, 이들에 한정되는 것이 아니다.
이하, 상기 각 부에 대한 상세한 설명을 한다.
상기 공급부(3)는, 복수의 피검사물(K)이 투입되는 호퍼(4), 호퍼(4)의 하단부에서 배출되는 피검사물(K)에 진동을 부여해서 전진시키는 진동 피더(5), 진동 피더(5)의 반송종단에서 배출되는 피검사물(K)을 미끄러지게 하여 떨어뜨리는 슈트(6), 수평회전하며 슈트(6)로부터 공급된 피검사물(K)을 일렬로 정렬해서 배출하는 정렬 테이블(7), 수직면 내에서 회전하는 원반형상의 부재를 가지며 상기 정렬 테이블(7)에서 배출된 피검사물(K)을 이 원반형상의 부재의 외주면에 흡착해서 반송하는 회전 반송부(8)로 형성되며, 복수의 피검사물(K)을 일렬로 정렬시켜서 순차적으로 상기 제1 직선반송부(10)로 받아 넘긴다.
상기 제1 직선반송부(10) 및 제2 직선반송부(15)는 동일한 구조를 갖는 것으로, 제2 직선반송부(15)는 제1 직선반송부(10)에 대하여 상하가 반전된 상태로 배치되며, 제1 직선반송부(10)는 그 상부에 반송로를 가지며, 제2 직선반송부(15)는 그 하부에 반송로를 갖는다.
도 2는 도 1에 있어서의 화살표 A-A방향의 일부 단면도이며, 제1 직선반송부(10)의 구조를 나타내는 것이지만, 괄호 안의 부호는 제2 직선반송부(15)가 대응하는 부재를 나타낸다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 직선반송부(10)는 소정의 간격으로 대향하도록 배치된 측판들(11, 12)과 이 측판들(11, 12)의 상면에 형성된 가이드 홈으로 안내되어 해당 가이드 홈을 따라 주행하는 엔드리스의 환형 벨트들(13, 14)을 구비한다. 측판들(11, 12)에 의한 사이의 공간은 그 상부가 개방되도록 측판들(11, 12) 및 다른 부재(미도시)에 따라서 폐쇄되며, 도시하지 않은 진공 펌프에 의해 부압으로 유지된다.
이렇게 하여, 상기 공간 내부가 부압으로 유지되는 것으로 가이드 홈을 따라 주행하는 환형 벨트들(13, 14) 사이에 부압에 의한 흡인력이 생기고, 피검사물(K)이 환형 벨트들(13, 14) 위에 재치(載置)되면, 상기 흡인력에 의해 환형 벨트들(13, 14) 위에 흡인, 흡착되며, 환형 벨트들(13, 14)의 주행에 따라 동일한 주행 방향으로 반송된다.
상기 제2 직선반송부(15)도 동일하며, 측판들(16, 17)과 엔드리스의 환형 벨트들(18, 19)을 구비하고, 측판들(16, 17)에 의한 사이의 공간 내부가 부압으로 유지되는 것으로, 환형 벨트들(18, 19) 사이에 부압에 의한 흡인력이 생기고, 피검사물(K)이 환형 벨트들(18, 19)에 흡인, 흡착되어, 그 주행에 따라 동일한 주행 방향으로 반송된다.
제1 직선반송부(10)의 반송개시단은 상기 회전 반송부(8)의 반송종단에 접속되며, 제1 직선반송부(10)의 반송종단은 제2 직선반송부(15)의 반송개시단에 접속되어 있으며, 제1 직선반송부(10)는 회전 반송부(8)로부터 순차적으로 피검사물(K)을 받아, 그 하면(B면)을 흡착해서 반송종단으로 반송하고, 제2 직선반송부(15)로 넘겨준다. 동일하게, 제2 직선반송부(15)는 제1 직선반송부(10)로부터 순차적으로 피검사물(K)을 받아, 그 상면(A면)을 흡착해서 반송종단으로 반송한다.
상기 선별부(80)는 제2 직선반송부(15)의 반송종단에 마련되는 것으로, 도시하지 않은 선별 회수 기구와 정상품 회수실 및 불량품 회수실을 구비하고, 상기 검사 선별 처리부(20)로부터의 지시에 따라 상기 선별 회수 기구를 구동하여, 제2 직선반송부(15)의 반송종단으로 반송된 피검사물(K) 중에서 정상품을 정상품 회수실로 회수하고, 불량품을 불량품 회수실로 회수한다.
상기 A면 농담영상 촬영부(21)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 직선반송부(10)의 반송로 상방에 이 반송로를 덮으면서 동시에 상기 피검사물(K)이 통과가 가능하도록 배치된 반구각형상의 확산부재(24)와, 확산부재(24)의 바깥 쪽에 배치되며 확산부재(24)의 내부를 향하여 광을 조사하는 복수의 램프들(23)과, 확산부재(24)의 상방에 마련되며 확산부재(24)의 천정부에 마련된 개구부(24a)를 통하여 해당 확산부재(24) 내를 촬영하는 카메라(22)로 형성된다.
램프들(23)로부터 조사된 광은 확산부재(24)를 투과할 때에 확산되며, 지향성이 없는 산란광(확산광)이 되어 확산부재(24)로 덮인 공간 내를 조명한다. 제1 직선반송부(10)에 의해 확산부재(24) 안으로 반입된 피검사물(K)은 이 확산광에 의해 그 상면(A면)이 균일하게 조명된다. 그리고 이렇게 상면(A면)을 균일하게 조명하는 것으로 상면(A면)에 요철이 있어도 그 전면이 똑같이 조명되어, 해당 상면은 그 농담이 강조된 상태가 된다.
상기 카메라(22)는 라인 센서 또는 에어리어 센서로부터 형성되며, 제1 직선반송부(10)에 의해 확산부재(24) 내로 반입된 피검사물(K)의 상면(A면)의 농담영상을 소정의 셔터 속도로 촬영하고, 촬영으로 얻어진 적어도 상면(A면)의 전역의 영상을 셔터마다 촬영된 프레임 영상으로 상기 검사 선별 처리부(20)에 송신한다.
이렇게 하여, 이 A면 농담영상 촬영부(21)에서는, 확산광에 의해 균일하게 조명되며, 농담이 더 강조된 상태의 피검사물(K)의 상면(A면)이 상기 카메라(22)에 의해 촬영되며, 촬영된 농담영상이 상기 검사 선별 처리부(20)로 송신된다.
상기 B면 농담영상 촬영부(51)는 상기 A면 농담영상 촬영부(21)와 같은 구성의 확산부재(54), 복수의 램프들(53) 및 카메라(52)를 구비하고, A면 농담영상 촬영부(21)와는 그 상하가 반전된 상태로 상기 제2 직선반송부(15)의 부근에 배치된다. 한편, 도 3에서는 괄호 안의 부호가 B면 농담영상 촬영부(51)가 대응하는 부재를 나타내고 있다.
이렇게 하여, 이 B면 농담영상 촬영부(51)에 있어서도 동일하게, 제2 직선반송부(15)에 의해 반송된 피검사물(K)의 하면(B면)이 램프(53) 및 확산부재(54)의 작용에 의해 발생하는 확산광에 의해 균일하게 조명되며, 이 균일한 조명에 의해 농담이 더 강조된 상태의 상기 하면(B면)이 확산부재(54)의 개구부(54a)를 통해 카메라(52)에 의해 촬영되며, 촬영된 적어도 하면(B면) 전역의 영상이 셔터마다 촬영된 프레임 영상으로서 상기 검사 선별 처리부(20)로 송신된다.
상기 A면 슬릿광 영상촬영부(31)는 상기 A면 농담영상 촬영부(21)보다 반송 방향의 하류 측에 배치되며, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 직선반송부(10)의 반송로 상방에 배치된 카메라(32)와, 띠형상의 슬릿광(L1)을 조사하는 슬릿광조사기(33)와, 이 슬릿광조사기(33)로부터 조사된 슬릿광(L1)을 상기 카메라(32)의 직하 방향으로 인도하여 제1 직선반송부(10)의 반송로 위에 조사시키는 미러들(34, 35)과, 반송로 위에 조사된 슬릿광(L1)의 반사광(L2)을 제1 직선반송부(10)의 반송 방향(화살표 방향)의 상류 측으로부터 수광하고 카메라(32)로 인도하는 미러들(36, 37)과, 동일한 반사광(L3)을 반송 방향의 하류 측으로부터 수광하여 카메라(32)로 인도하는 미러들(38, 39)을 구비한다.
슬릿광조사기(33) 및 미러들(34, 35)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 슬릿광(L1)을 그 조사 라인이 제1 직선반송부(10)에 의해 반송되는 피검사물(K)의 반송 방향(화살표 방향)에 대하여 직교하도록 수직으로 하방에 조사한다.
그리고 카메라(32)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 직선반송부(10)에 의해 반송되는 피검사물(K)에 슬릿광(L1)이 조사되었을 때의 해당 슬릿광(L1)의 반사광(L2)을 피검사물(K)의 반송 방향(화살표 방향)의 상류 측으로부터 수광하고, 반사광(L3)을 하류 측으로부터 수광하여 각각의 영상을 받아들인다. 상기 두 방향에서 육안으로 보면 도 8(a) 및 도 8(b)에 도시된 것과 같지만, 카메라(32)는 이 두 방향에서 본 슬릿광(L1)의 조사 라인의 영상을 받아들인다. 한편, 도 7은 도 4에 있어서의 카메라(32)의 촬영 형태를 알기 쉽게 간략한 등가의 형태로서 나타내는 것이다.
카메라(32)는 복수의 행과 복수의 열로 배치된 소자로 구성되는 에어리어 센서로 상기 반사광(L2) 및 반사광(L3)을 수광하여, 각각 휘도데이터를 갖는 복수의 행과 복수의 열의 화소로 이루어지는 영상 데이터를 생성한다.
한쪽 반사광(예를 들면, 반사광(L2))을 촬영한 영상 중 일례를 도 9에 나타낸다. 도면에 도시된 바와 같이, 촬영된 영상은, 상기 반송 방향과 직교하는 방향을 X, 반송 방향을 Y로 하면, 피검사물(K)의 표면에 대응하는 부분(LS)이 베이스면에 대응하는 부분(Lb)으로부터 Y방향으로 시프트된 상태로 되어 있다(도 8도 참조).
이는, 도 7에 도시된 바와 같이, 촬영 방향이 슬릿광의 조사 방향과 교차하는 것에 기인하는 것으로, 소위 광 절단법이라고 불리며, 예를 들면, 피검사물(K) 표면에 대응하는 영상(LS)의 화소(Xi, Yi)에 대해서 보면, 해당 화소(Xi)에 대응하는 피검사물(K) 표면의 상기 베이스면에서의 높이는 베이스면에 대응한 영상(Lb)의 화소(Yj)과 영상(LS)의 화소(Yi)와의 차분(差分)에 근거하여 기하학적인 산출 수법으로 산출할 수 있다. 본 실시예에서는, 피검사물(K) 표면의 높이를 직접적으로는 산출하지 않지만, 카메라(32)에 의해 촬영되는 영상에는 이러한 광 절단법에 근거하는 높이 정보가 포함되어 있다.
그리고 이렇게 해서 촬영된 영상 데이터가 카메라(32)로부터 검사 선별 처리부(20)로 송신된다. 그 때, 카메라(32)는 모든 화소위치(Xi, Yi)(i=0 내지 n)와 그 휘도데이터가 관련된 모든 영상 데이터를 송신하는 것이 아니라, 도 9에 도시된 바와 같이, X방향의 화소위치(Xi)와 그 열 내에서 최대휘도를 갖는 화소위치(Yi)로 이루어지는 위치 데이터(Xi, Yi)를 영상 데이터로서 검사 선별 처리부(20)로 송신한다. 이렇게 하는 것으로, 송신하는 데이터량이 적어져, 그 송신 속도나 검사 선별 처리부(20)에 있어서의 처리 속도를 향상시킬 수 있고, 신속하게 처리할 수 있다.
또한, 카메라(32)는 소정의 셔터속도로 상기 두 방향의 영상을 받아들이고, 적어도, 피검사물(K)의 상면에 레이저광이 조사되고 있는 동안의 상기 영상 데이터를 셔터마다 얻어진 프레임 영상으로서 상기 검사 선별 처리부(20)로 송신한다.
이렇게 하여, 이 A면 슬릿광 영상촬영부(31)에서는 피검사물(K)의 상면(A면)의 높이 정보를 포함한 영상이 촬영되며, 이것이 상기 검사 선별 처리부(20)로 송신된다.
상기 B면 슬릿광 영상촬영부(61)는 상기 B면 농담영상 촬영부(51)보다 반송 방향의 하류 측에 배치되며, 상기 A면 슬릿광 영상촬영부(31)와 같은 구성의 카메라(62), 슬릿광조사기(63), 미러들(64, 65, 66, 67, 68, 69)을 구비하고, 상기 A면 슬릿광 영상촬영부(31)와는 그 상하가 반전된 상태로 상기 제2 직선반송부(15) 부근에 배치된다. 한편, 도 4에서는 괄호 안의 부호가 B면 슬릿광 영상촬영부에 대응하는 부재를 나타내고 있다.
이렇게 하여, 이 B면 슬릿광 영상촬영부(61)에서는, 동일하게, 카메라(62)가 제2 직선반송부(15)에 의해 반송되는 피검사물(K)의 하면(B면)에 조사되는 슬릿광의 반사광을 피검사물(K)의 반송 방향의 상류 측 및 하류 측의 두 방향으로부터 수광하고, 그 상기 영상 데이터(X방향의 화소위치(Xi)와 그 열 내에서 최대휘도를 갖는 화소위치(Yi)로 이루어지는 위치 데이터(Xi, Yi))를 생성하여, 적어도, 피검사물(K)의 하면에 레이저광이 조사되고 있는 동안의 상기 영상 데이터를 프레임 영상으로서 상기 검사 선별 처리부(20)로 송신한다.
상기 검사 선별 처리부(20)는, 도 5에 도시된 바와 같이, A면 모양판정부(25), A면 형상판정부(40), B면 모양판정부(55), B면 형상판정부(70) 및 선별제어부(81)로부터 이루어진다.
상기 A면 모양판정부(25)는, 상기 A면 농담영상 촬영부(21)로부터 수신한 상기 A면의 농담영상을 기억하는 A면 농담영상 기억부(26)와, 이 A면 농담영상 기억부(26)에 기억된 A면 농담영상을 소정의 기준값으로 2치화(二値化) 처리하는 A면 농담영상 2치화 처리부(27)와, 2치화된 영상으로부터 피검사물(K)의 상면(A면)에 상당하는 영상부분을 추출하는 A면 대상부 추출 처리부(28)와, 추출된 영상 중 흑색부분(모양부분)을 추출하는 A면 모양특징추출 처리부(29)와, 추출된 흑색부분(모양부분)을 소정의 기준모양과 비교하여 그 좋고 나쁨을 판정하는 A면 모양판정 처리부(30)로 이루어진다.
상기 A면 농담영상 촬영부(21)에 의해 촬영되어 상기 A면 농담영상 촬영부(21)에 기억되는 농담영상은 다치(多値) 영상으로, 이러한 다치 영상이 소정의 기준값으로 2치화되고, 이어서, 이 2치화된 영상에서 피검사물(K)의 상면(A면)에 상당하는 영상부분이 추출되고, 게다가, 추출된 영상 중 흑색부분(모양부분)이 추출되어 흑색부분(모양부분)이 소정의 기준모양과 비교되어서 그 좋고 나쁨이 판별된다.
예를 들면, 적정한 피검사물(K)의 상면(A면)에 어떠한 인쇄 문자 등의 모양이 인쇄되어 있지 않을 경우에, 추출된 흑색부분이 있으면 이를 오점불량이라고 판별하고, 표면에 인쇄 문자 등의 모양이 인쇄되어 있을 경우에는, 추출된 흑색부분(모양부분)과 적정한 모양을 비교하여 그 적합도로 좋고 나쁨이 판별된다.
A면 형상판정부(40)는, 도 5에 도시된 바와 같이, A면 슬릿광 영상 기억부(41), A면 휘도데이터 변환처리부(42), A면 2영상 합성처리부(43), A면 형상특징추출 처리부(44) 및 A면 형상판정 처리부(45)로 이루어진다.
A면 슬릿광 영상기억부(41)는 상기 A면 슬릿광 영상촬영부(31)로부터 수신한 두 방향의 영상 데이터(프레임 영상)를 각각 기억한다.
A면 휘도데이터 변환처리부(42)는 A면 슬릿광 영상기억부(41)에 저장된 두 방향의 프레임 영상을 각각 읽어내어 후술할 처리를 실시하고, 높이 성분에 유래하는 위치 데이터를 그 높이 성분에 따라 설정한 휘도데이터로 변환하여 높이 성분이 휘도데이터로 표현된 새로운 영상 데이터를 생성한다.
구체적으로는, A면 휘도데이터 변환처리부(42)는, 우선, 한쪽 측의 프레임 영상 데이터를 순차적으로 읽어내고, 그 화소위치(Xi, Yi)에 근거하여, 도 10에 도시된 바와 같이, 높이 성분에 상당하는 화소위치(Yi)를 256계조의 휘도데이터로 변환하여 화소위치(Xi)와 휘도데이터로 형성되는 영상 데이터를 생성하고, 순차적으로 모든 프레임 영상에 대해서 변환하여 새로운 영상 데이터(2차원 평면의 위치 데이터와 각 위치에 있어서의 높이 정보를 나타내는 휘도데이터로 이루어지는 영상 데이터(이하, '휘도영상 데이터'라고 한다)를 생성한다. 그리고 다른 한쪽 측의 영상 데이터에 대해서도 동일하게 실시하여 휘도영상 데이터를 생성한다.
상기 A면 2영상 합성처리부(43)는 상기 A면 휘도데이터 변환처리부(42)에 의해 데이터 변환되어 새롭게 생성된 두 방향의 휘도영상 데이터를 합성하여 하나의 휘도영상 데이터로 한다. 도 7에서 알 수 있듯이, 피검사물(K)을 반송방향 상류 측의 비스듬한 상방에서 촬영할 경우, 피검사물(K)의 앞부분의 반사광이 약하고, 반송방향 하류 측의 비스듬한 하방에서 촬영할 경우에는, 피검사물(K)의 후부의 반사광이 약해지기 때문에, 이 부분들에 관한 영상 데이터가 부정확한 것이 된다.
도 7의 피검사물(K)을 그 반송방향 상류 측에서 촬영하여 얻어진 영상을 상기 A면 휘도데이터 변환처리부(42)에 의해 변환한 영상을 도 11(a)에 나타내고, 동일하게, 반송방향 하류 측에서 촬영한 영상의 변환 영상을 도 11(b)에 나타낸다. 도 11(a)에서는 영상의 상부(하얀 선으로 둘러싼 부분)가 부정확하게 되어 있고, 도 11(b)에서는 영상의 하부(하얀 선으로 둘러싼 부분)가 부정확하게 되어 있다. 여기서, 이들 두 개의 영상을 합성, 예를 들면, 상호간에서 데이터가 결함되어 있을 경우는 존재하는 쪽의 데이터를 사용하고, 서로 데이터가 존재할 경우에는 그 평균치를 사용하는 것으로, 도 11(c)에 나타내는 바와 같은 피검사물(K)의 상면(A면)의 전면이 정확하게 나타난 영상을 얻을 수 있다.
또한, 피검사물(K) 표면의 형상에 따라서는, 한 방향에서만 촬영해서는 촬영 방향의 사각이 되는 장소에 대해서 상기 레이저광(L1)의 반사광을 완전히 수광할 수 없지만, 두 방향에서 촬영하는 것으로 이러한 사각부분을 다른 방향에서 촬영할 수 있고, 이러한 의미에 있어서도 두 방향에서 촬영하는 것에 의의가 있다.
예를 들면, 도 14에 도시된 바와 같이, 피검사물(K)의 표면에 결함부(100)가 있을 경우, 카메라(32)가 실선으로 나타내는 방향에서 촬영하면 사각부(100a)가 생기게 되지만, 그 반대 방향(2점 쇄선으로 나타내는 방향)에서 촬영하면 이 사각부(100a)를 촬영할 수 있다.
상기 A면 형상특징추출 처리부(44)는 상기 A면 2영상 합성처리부(43)에 의해 생성된 합성 영상에 근거하여 형상특징을 추출하는 처리를 한다. 구체적으로는, 합성 영상을 소위 평활화 필터로 평활화 처리하여 얻어진 평활화 영상 데이터와 상기 합성 영상 데이터의 차분(差分)을 차지한 특징영상 데이터를 생성한다.
합성 영상은 높이 성분을 휘도데이터로 변환한 것으로, 휘도는 피검사물(K)의 상면(A면)의 높이를 나타내는 것이지만, 합성 영상에서 평균화영상을 빼는 것으로 상면(A면)의 높이 방향의 변화량이 큰 곳이 강조된 영상을 얻을 수 있다. 예를 들면, 도 12에 도시된 바와 같이, 합성 영상(도 12(a))에서 평활화 영상(도 12(b))을 빼는 것으로, 도 12(c)에 도시된 바와 같이, 피검사물(K)의 외주의 윤곽과 상면(A면)에 각인된 숫자 '678'이 농색부로서 강조된다. 한편, 숫자 '7' 아래의 반점은 오점이며, 이에 대해서는 후술한다.
상기 A면 형상판정 처리부(45)는 상기 A면 형상특징추출 처리부(44)에 의해 생성된 표면형상에 관한 특징영상에 근거하여 이와 적정한 표면형상에 관한 데이터를 비교하여 각인의 적부나 결함의 유무 등, 그 좋고 나쁨을 판별한다.
이 때, A면 형상판정 처리부(45)는 상기 A면 모양특징추출 처리부(29)로부터 해당 A면 모양특징추출 처리부(29)에 의해 생성된 표면모양에 관한 특징영상을 수신하고, 그 영상 중 흑색부가 존재하는 영역을 인식하여 상기 A면 형상특징추출 처리부(44)에 의해 생성된 특징영상 중에서 해당 흑색부가 존재하는 영역에 상당하는 영역을 비검사 영역으로 설정하여 상기 좋고 나쁨 판정을 한다.
도 13(a)에 도시된 바와 같이, 피검사물(K)의 표면에 요철이 없는 농색의 인쇄가 존재할 경우, 해당 피검사물(K) 표면의 농색부에 슬릿광이 조사되면, 해당 농색부에서 슬릿광이 흡수되어 그 반사광이 대부분 없기 때문에, 카메라(32)에 의해 촬영되는 영상에 데이터가 빠지는 일이 생기게 되고, 이렇게 하여 얻을 수 얻어지는 영상은 도 13(b)에 나타내는 것과 같은 영상이 된다.
이는 피검사물(K)의 표면에 농색의 오점이 있을 경우도 같으며, 이러한 오점이 있을 경우, A면 슬릿광 영상촬영부(31)에 의해 촬영되어, A면 휘도데이터 변환처리부(42), A면 2영상 합성처리부(43), A면 형상특징추출 처리부(44)에 의해 순차적으로 처리되며, 최종적으로 생성된 영상 데이터는, 도 12(a)에 도시된 바와 같이, 오점부의 데이터가 결핍된 영상 데이터가 된다. 도면에서, 검은 점 부분이 오점부로 데이터 결핍부이다.
따라서 피검사물(K)의 표면에 이러한 농색의 인쇄나 오점이 존재할 경우, A면 형상특징추출 처리부(44)에 의해 생성된 영상 데이터를 그대로 사용하여 그 표면형상의 좋고 나쁨을 판정하는 것은, 원래 형상적으로 적정한 것까지 불량품이라고 판별하게 된다.
여기서, 본 실시예에서는, 상기한 바와 같이, A면 모양특징추출 처리부(29)에서, 해당 A면 모양특징추출 처리부(29)에 의해 생성된 표면모양에 관한 특징영상을 수신하여 그 영상 중 흑색부가 존재하는 영역을 인식하고, 상기 A면 형상특징추출 처리부(44)에 의해 생성된 표면형상에 관한 특징영상 중에서 해당 흑색부가 존재하는 영역에 상당하는 영역을 비검사 영역으로 설정하여 그 형상의 좋고 나쁨을 판정하는 것으로 하였다.
예를 들면, 피검사물(K) 표면에 농색의 오점이 존재할 경우, A면 형상특징추출 처리부(44)에 의해 생성되는 특징영상은 도 12(c)에 나타내는 바와 같이 되고, A면 모양특징추출 처리부(29)에 의해 생성되는 특징영상은 도 12(d)에 나타내는 바와 같이 되지만, A면 형상판정 처리부(45)는, 도 12(d)의 오점이 존재하는 영역(2점 쇄선으로 나타내는 영역)을 인식하고, 도 12(c) 있어서의 해당 영역(2점 쇄선으로 나타내는 영역)을 비검사 영역이라 하여 도 12(e)에 도시된 바와 같이, 이 영역 이외의 특징부를 인식하여 그 좋고 나쁨(도 12(e)에서는 각인 형상의 좋고 나쁨)을 판별한다.
이렇게 하여, 상기한 바와 같이, 피검사물(K)의 표면에 존재하는 농색의 인쇄나 오점을 비검사 영역으로 설정하는 것으로, 피검사물(K) 표면의 형상을 정확하게 검사할 수 있다.
상기 B면 모양판정부(55)는, 도 5에 도시된 바와 같이, B면 농담영상 기억부(56), B면 농담영상 2치화 처리부(57), B면 대상부 추출 처리부(58), B면 모양특징추출 처리부(59) 및 B면 모양판정 처리부(60)로 이루어진다. B면 농담영상 기억부(56)는 상기 A면 농담영상 기억부(26)와, B면 농담영상 2치화 처리부(57)는 상기 A면 농담영상 2치화 처리부(27)와, B면 대상부 추출 처리부(58)는 상기 A면 대상부 추출 처리부(28)와, B면 모양특징추출 처리부(59)는 상기 A면 모양특징추출 처리부(29)와, B면 모양판정 처리부(60)는 상기 A면 모양판정 처리부(30)와 각각 같은 구성을 가지며, 같은 처리를 한다. 이렇게 하여, 이 B면 모양판정부(55)에서는, 피검사물(K)의 하면(B면)의 모양에 관련되는 특징이 검출되어 그 좋고 나쁨이 판별된다.
또한, 상기 B면 형상판정부(70)는, 도 5에 도시된 바와 같이, B면 슬릿광 영상기억부(71), B면 휘도데이터 변환처리부(72), B면 2영상 합성처리부(73), B면 형상특징추출 처리부(74) 및 B면 형상판정 처리부(75)로 이루어진다. 그리고 B면 슬릿광 영상기억부(71)는 상기 A면 슬릿광 영상기억부(41)와, B면 휘도데이터 변환처리부(72)는 상기 A면 휘도데이터 변환처리부(42)와, B면 2영상 합성처리부(73)는 상기 A면 2영상 합성처리부(43)와, B면 형상특징추출 처리부(74)는 상기 A면 형상특징추출 처리부(44)와, B면 형상판정 처리부(75)는 상기 A면 형상판정 처리부(45)와 각각 같은 구성을 가지며, 같은 처리를 한다. 이렇게 하여, B면 형상판정부(70)에서는, 피검사물(K)의 하면(B면)의 형상에 관련되는 특징이 검출되어 그 좋고 나쁨이 판별된다.
상기 선별제어부(81)는 상기 A면 모양판정 처리부(30), A면 형상판정 처리부(45), B면 모양판정 처리부(60) 및 B면 형상판정 처리부(75)로부터 각각 판정 결과를 수신하고, 이 처리부 중 적어도 어느 하나의 처리부에서 불량의 판정 결과를 수신하면, 해당 불량이라고 판정된 피검사물(K)이 상기 선별부(80)에 도달하는 타이밍으로 해당 선별부(80)에 선별 신호를 송신한다. 상기 선별부(80)는 이 선별 신호를 수신했을 때 해당의 피검사물(K)을 불량품 회수실로 회수하고, 선별 신호를 수신하지 않을 때에는 반송된 피검사물(K)을 정상품 회수실로 회수한다.
이상, 상술한 바와 같이, 본 실시예의 외관 검사 장치(1)에 의하면, 제1 직선반송부(10)에 의해 반송되는 사이에, A면 농담영상 촬영부(21)에 의해 촬영된 영상에 근거하여 A면 모양판정부(25)에 있어서 피검사물(K)의 상면(A면)의 모양에 관한 적부가 검사되면서 동시에, A면 슬릿광 영상촬영부(31)에 의해 촬영된 영상에 근거하여 A면 형상판정부(40)에 있어서 해당 상면(A면)의 형상에 관한 적부가 검사되며, 이어서, 제2 직선반송부(15)에 의해 반송되는 사이에, B면 농담영상 촬영부(51)에 의해 촬영된 영상에 근거하여 B면 모양판정부(55)에 있어서 피검사물(K)의 하면(B면)의 모양에 관한 적부가 검사되면서 동시에, B면 슬릿광 영상촬영부(61)에 의해 촬영된 영상에 근거하여 B면 형상판정부(70)에 있어서 해당 하면(B면)의 형상에 관한 적부가 검사되어, 피검사물(K)의 상하 양면의 모양과 형상이 자동적으로 검사된다.
그리고 A면 형상판정부(40) 및 B면 형상판정부(70)에서는, 상기 형상에 관한 특징을 추출하고, 형상의 적부를 판정할 때에, A면 모양판정부(25) 및 B면 모양판정부(55)에서, 각각 추출된 모양에 관한 특징영상을 수신해서 흑색부가 존재하는 영역을 인식하고, 형상에 관한 특징영상 중, 해당 흑색부가 존재하는 영역에 상당하는 영역을 비검사 영역으로 설정하여 그 형상의 좋고 나쁨을 판정하도록 하고 있으므로, 피검사물(K)의 상하면(上下面)에 농색의 인쇄부나 오점이 존재할 경우라도 정확하게 해당 상하면(上下面)의 형상을 검사할 수 있다.
또한, A면 슬릿광 영상촬영부(31) 및 B면 슬릿광 영상촬영부(61)에서는, 피검사물(K)의 반송방향 상류 측과 하류 측의 두 방향에서 영상을 촬영하고, A면 형상판정부(40) 및 B면 형상판정부(70)에서는 얻어진 두 개의 영상을 합성해서 하나의 영상을 생성하고, 생성한 합성 영상에 근거하여 피검사물(K)의 상하면(上下面) 형상의 적부를 판별하도록 하고 있으므로, 가능한 한 사각이 없는 영상을 얻을 수 있고, 상기 상하면(上下面) 전체의 형상을 정확하게 검사할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, A면 농담영상 촬영부(21)를 A면 슬릿광 영상촬영부(31)보다 상류 측에 마련하고 있으므로, A면 농담영상 기억부(26)에는 A면 슬릿광 영상기억부(41)보다 앞서서 같은 피검사물(K) 하나 분의 데이터가 저장된다. 따라서 A면 농담영상 2치화 처리부(27) 내지 A면 모양판정 처리부(30)의 처리가 A면 휘도데이터 변환처리부(42) 내지 A면 형상판정 처리부(45)의 처리에 앞서서 실행되며, A면 형상판정 처리부(45)에서는 대기 시간을 생기게 하는 일 없이 A면 모양특징추출 처리부(29)로부터의 데이터를 참조해서 처리를 할 수 있어 신속한 처리를 할 수 있다.
동일하게, B면 농담영상 기억부(56)에서는 B면 슬릿광 영상기억부(71)보다 앞서서 같은 피검사물(K) 하나 분의 데이터가 저장되며, B면 형상판정 처리부(75)에서는 대기 시간을 생기게 할 일 없이 B면 모양특징추출 처리부(59)로부터의 데이터를 참조해서 처리를 할 수 있어 신속한 처리를 할 수 있다.
그러나 이러한 신속한 처리가 필요 없을 경우에는, A면 농담영상 기억부(26) 및 A면 슬릿광 영상기억부(41)에 각각 같은 피검사물(K) 하나 분의 데이터가 저장하고 나서, A면 농담영상 2치화 처리부(27) 내지 A면 모양판정 처리부(30)의 처리와 A면 휘도데이터 변환처리부(42) 내지 A면 형상판정 처리부(45)의 처리를 동시에 병행하여 실행해도 좋고, 또한, B면 농담영상 기억부(56) 및 B면 슬릿광 영상기억부(71)에 각각 같은 피검사물(K) 하나 분의 데이터가 저장되고 나고, B면 농담영상 2치화 처리부(57) 내지 B면 모양판정 처리부(60)의 처리와 B면 휘도데이터 변환처리부(72) 내지 B면 형상판정 처리부(75)의 처리를 동시에 병행하여 실행해도 좋다.
이 경우, A면 슬릿광 영상촬영부(31)를 A면 농담영상 촬영부(21)보다도 상류 측에 배치하고, B면 슬릿광 영상촬영부(61)를 B면 농담영상 촬영부(51)보다도 상류 측에 배치해도 좋다.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대해서 설명하였으나, 본 발명이 취할 수 구체적인 형태는, 조금도 이에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다른 형태를 취할 수 있다.
1:외관 검사 장치 10:제1 직선반송부
15:제2 직선반송부 21:A면 농담영상 촬영부
25:A면 모양판정부 31:A면 슬릿광 영상촬영부
40:A면 형상판정부 51:B면 농담영상 촬영부
55:B면 모양판정부 61:B면 슬릿광 영상촬영부
70:B면 형상판정부

Claims (2)

  1. 소정의 반송로를 따라 피검사물을 반송하는 반송 수단;
    상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 피검사물의 표면모양을 검사하는 표면모양 검사수단; 및
    상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 피검사물의 표면형상을 검사하는 표면형상 검사수단을 포함하고,
    상기 표면모양 검사수단은, 상기 반송로 부근에 배치되며, 상기 피검사물의 표면에 확산광을 조사하고, 상기 확산광에 의해 조명된 피검사물 표면의 농담영상을 촬영하는 농담영상 촬영부; 및 상기 농담영상 촬영부에 의해 촬영된 농담영상에 근거하여 상기 피검사물 표면의 모양특징을 인식해서 해당 모양에 관한 적부를 판정하는 모양판정부를 구비하며,
    상기 표면형상 검사수단은, 상기 농담영상 촬영부에서 상류 측 또는 하류 측의 상기 반송로 부근에 배치되며, 띠형상의 슬릿광을 그 조사 라인이 상기 피검사물의 반송 방향과 직교하도록 상기 피검사물 표면에 조사하고, 촬영 광축이 상기 피검사물의 반송 방향을 따르면서 상기 피검사물에 조사되는 슬릿광의 광축과 교차하는 방향에서 상기 피검사물에 상기 슬릿광이 조사되었을 때의 영상을 촬영하는 슬릿광 영상촬영부; 및 해당 슬릿광 영상촬영부에 의해 촬영된 영상에 근거하여 상기 피검사물 표면의 형상특징을 인식하여 해당 형상에 관한 적부를 판정하는 형상판정부를 구비하고,
    상기 형상판정부는, 상기 모양판정부에서 적어도 상기 피검사물 표면의 농색부가 존재하는 영역에 관한 정보를 수신하고, 수신한 영역을 비검사 영역으로 설정하여 상기 형상에 관한 적부를 판정하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 슬릿광 영상촬영부는, 상기 슬릿광을 수직방향으로 조사함과 동시에, 상기 피검사물의 반송방향 상류 측 및 하류 측의 두 방향에서 각각 영상을 촬영하고,
    상기 형상판정부는, 상기 슬릿광 영상촬영부에 의해 촬영된 두 개의 영상을 합성하고, 합성한 영상에 근거하여 상기 피검사물 표면의 형상특징을 인식해서 해당 형상에 관한 적부를 판정하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
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