KR20120075981A - Chucking apparatus and chucking method using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A chucking device and a chucking method using the same are provided to prevent the generation of stains in the organic compound evaporating process by separating a glass substrate from a chucking unit by using a separation jig. CONSTITUTION: A chucking unit(200) comprises a chuck holder(220) and a cylinder(210) formed into a flat board type. The cylinder rotates the chuck holder in various directions and angles. A separation jig(300) separates a glass substrate adhered to an adhesive face of the chuck holder from the chuck holder. The separation jig comprises a frame(310) and a separator(320). The separation jig is formed between two support bars(311, 312). A controller for controlling tensile force of a wire is formed at one of the two support bars.

Description

척킹 장치 및 그를 이용한 척킹 방법{CHUCKING APPARATUS AND CHUCKING METHOD USING THE SAME}CHUCKING APPARATUS AND CHUCKING METHOD USING THE SAME}

본 발명은 기판을 척킹하는 장치에 관한 것으로서, 특히, 기판을 수평방향으로 홀딩하고 있는 척킹 장치 및 그를 이용한 척킹 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for chucking a substrate, and more particularly, to a chucking apparatus holding a substrate in a horizontal direction and a chucking method using the same.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판표시장치들(Flat Panel Display, FPD)이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 전계발광소자(Electroluminescence Device) 등이 있다.Recently, various flat panel displays (FPDs) that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have been developed. Such flat panel displays include a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), and an electroluminescence device.

이 중, 전계발광소자는 발광층의 재료에 따라 무기발광다이오드 표시장치와 유기발광다이오드 표시장치로 대별되며 특히, 유기발광다이오드 표시장치는 스스로 발광하는 자발광소자를 이용함으로써 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다.
Among them, electroluminescent devices are classified into inorganic light emitting diode display devices and organic light emitting diode display devices according to the material of the light emitting layer. In particular, the organic light emitting diode display device uses self-light emitting devices that emit light, and thus the response speed is high and the light emitting efficiency, There is a great advantage in brightness and viewing angle.

도 1은 종래의 척킹 장치의 사용 상태를 나타낸 예시도이다. 또한, 도 2는 도 1에 도시된 척킹 장치의 단면을 대략적으로 나타낸 예시도로서, 특히, 유리기판을 척킹하고 있는 상태의 척킹 장치를 도 1에 도시된 A-A'방향으로 절단시킨 단면을 나타낸 것이다.1 is an exemplary view showing a state of use of a conventional chucking device. FIG. 2 is an exemplary view schematically showing a cross section of the chucking device shown in FIG. 1. In particular, FIG. 2 is a cross-sectional view of the chucking device in a state where the glass substrate is chucked in the A-A 'direction shown in FIG. 1. It is shown.

상기한 바와 같은 유기발광다이오드 표시장치는, 유리기판 상에, 버퍼층, 언도프드 반도체층, N형 질화물 반도체층, 활성층, P형 질화물 반도체층, 투명전극층, P형 전극 및 N형 전극 등이 적층된 복수의 화소들로 구성되어 있다.In the organic light emitting diode display device as described above, a buffer layer, an undoped semiconductor layer, an N-type nitride semiconductor layer, an active layer, a P-type nitride semiconductor layer, a transparent electrode layer, a P-type electrode, and an N-type electrode are stacked on a glass substrate. It consists of a plurality of pixels.

한편, 유기발광다이오드 표시장치의 유리기판 상에 상기한 바와 같은 다양한 종류의 층을 형성하기 위한 공정들 중에는 유기물을 증착하는 공정도 포함되어 있으며, 이러한 유기물을 증착시키는 공정에서는, 일반적으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 척킹 장치를 이용하여 유리기판의 저면(도면상에서는 유리기판의 상부면)을 들어올린 상태에서 유리기판의 평면(도면상에서는 유리기판의 하부면) 상에 유기물을 증착시키는 방법이 이용되고 있다. 여기서, 유리기판의 평면이라 함은 유기발광다이오드 표시장치의 화소들이 형성되는 패턴면을 말한다.Meanwhile, among the processes for forming various kinds of layers as described above on the glass substrate of the organic light emitting diode display device, a process of depositing an organic material is included. In the process of depositing such an organic material, generally, FIGS. As shown in FIG. 2, the organic material is deposited on the plane of the glass substrate (the lower surface of the glass substrate in the drawing) while the bottom surface of the glass substrate (the upper surface of the glass substrate is lifted) using the chucking device. The method is used. Here, the plane of the glass substrate refers to a pattern surface on which pixels of the organic light emitting diode display are formed.

따라서, 유리기판을 수평방향으로 홀딩하기 위한 종래의 척킹 장치(50)는, 복수의 척킹홀(21)이 형성되어 있는 평판형상의 척홀더(20) 및 척킹홀에 삽입된 상태로 유리기판을 홀딩할 수 있는 복수의 척(31)이 지지대(32)에 의해 지지되어 있는 척지지대(30)를 포함하여 구성되어 있다.Therefore, the conventional chucking device 50 for holding the glass substrate in the horizontal direction is a glass substrate in the state of being inserted into the flat chuck holder 20 and the chucking hole in which a plurality of chucking holes 21 are formed. A plurality of chucks 31 which can be held are configured to include a chuck support 30 supported by a support 32.

이와 같이 구성되어 있는 종래의 척킹 장치(50)는, 유리기판(Glass)(10)을 수평으로 홀딩하기 위해 척홀더(Chuck holder)(20)에 조립되어 있는 척(Chuck)(31)이 스프링(40)을 압축하면서 유리기판(10)에 접촉하며, 척의 끝단면에 점착되어 있는 점착제(60)에 의해 유리기판이 척에 점착된다.In the conventional chucking device 50 configured as described above, the chuck 31, which is assembled to the chuck holder 20 to hold the glass 10 horizontally, is spring-loaded. The glass substrate is adhered to the chuck by the pressure-sensitive adhesive 60 which is in contact with the glass substrate 10 while compressing the 40 and adheres to the end surface of the chuck.

척에 점착된 유리기판(10)은 척(21)을 밀어주는 스프링(40)의 힘에 척홀더(20) 방향으로 당겨져서 척홀더에 밀착되어 척홀더에 매달려 있게 되며, 이로인해 유리기판은 휨없이 수평상태를 유지하게 된다.The glass substrate 10 adhered to the chuck is pulled in the direction of the chuck holder 20 by the force of the spring 40 that pushes the chuck 21 to be in close contact with the chuck holder to be suspended from the chuck holder. It keeps level without bending.

상기 과정에 따라 유리기판이 척킹 장치에 수평방향으로 매달려 있는 상태에서, 유리기판의 하단에 배치된 소스(미도시)로부터, 증착물인 유기물이 다양한 방법을 통해 유리기판에 분사됨에 따라, 유리기판의 평면(도면상에서는 유리기판의 하부면)에는 유기물이 증착될 수 있다. In accordance with the above process, the glass substrate is suspended from the chucking device in a horizontal direction, and as the organic material, which is a deposit, is sprayed onto the glass substrate through various methods, a source (not shown) disposed at the bottom of the glass substrate, Organic materials may be deposited on the plane (lower surface of the glass substrate in the drawing).

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(미도시) 내부에서 척킹장치에 의해 유리기판(10)의 패턴면이 소스가 있는 하단부 방향을 향하고 있는 상태에서, 소스에 담겨져 있던 유기물은 히터에 의한 가열되어 증발 또는 승화된 상태에서 유리기판에 증착되며, 유리기판에 증착된 유기물은 급격히 열을 빼앗기면서 유리기판에 붙게 된다. On the other hand, as shown in Figure 2, in the state in which the pattern surface of the glass substrate 10 in the chamber (not shown) toward the lower end of the pattern surface of the glass substrate 10 by the chucking device, the organic material contained in the source by the heater The substrate is deposited on a glass substrate in a heated, evaporated or sublimed state, and the organic material deposited on the glass substrate rapidly adheres to the glass substrate while losing heat.

이때, 척(31)과 유리기판(10)은 점착재에 의해 밀착되어 있지만, 척홀더(20)와 유리기판 사이에는 어느 정도의 간격(B)이 형성되며, 따라서, 유리기판 중 척(31)이 붙어 있는 자리에서 무라 불량이 발생된다. At this time, although the chuck 31 and the glass substrate 10 are in close contact with each other by an adhesive material, a certain gap B is formed between the chuck holder 20 and the glass substrate, and thus, the chuck 31 of the glass substrates is formed. Mura defect occurs at the place where).

이와 같은 무라 불량은, 점착제를 통해 유리기판이 점착되어 있는 척(31)의 열전달율과, 어느 정도의 간격(B)을 갖고 유리기판과 접하게 되는 척홀더(20)의 열전달율에 차이가 있기 때문이다.This failure is because the heat transfer rate of the chuck 31 to which the glass substrate is adhered through the adhesive is different from the heat transfer rate of the chuck holder 20 which is in contact with the glass substrate at a certain interval B. .

즉 상기와 같은 열전달율차에 의해 유기물이 유리기판의 패턴면에 붙으면서 냉각되는 속도의 차이가 나타나고, 이러한 냉각속도의 차이가 유기물 특성에 영향을 미치게 되어, 결국 무라의 형태로 유리기판에 표현되며, 이로 인해 유기발광다이오드 표시장치 자체의 불량이 발생될 수도 있다. In other words, due to the heat transfer rate difference, the difference in the rate at which the organic material is cooled while adhering to the pattern surface of the glass substrate appears, and the difference in the cooling rate affects the characteristics of the organic material, which is eventually expressed on the glass substrate in the form of Mura. As a result, a defect of the organic light emitting diode display itself may occur.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 척킹부의 점착면에 점착된 점착제를 이용하여 유리기판을 홀딩하며, 분리기로 형성된 분리지그를 이용하여 척킹부로부터 유리기판을 분리시킬 수 있는, 척킹 장치 및 그를 이용한 척킹 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, holding the glass substrate by using an adhesive adhered to the adhesive surface of the chucking portion, the chucking device capable of separating the glass substrate from the chucking portion using a separating jig formed with a separator. And it is a technical problem to provide a chucking method using the same.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 척킹 장치는, 평면 형상의 점착면이 구비되어 있는 척킹부; 및 상기 점착면에 점착되어 있는 점착제에 점착된 유리기판과 상기 점착제 사이에 삽입되어 상기 점착제로부터 상기 유리기판을 분리하기 위한 분리지그를 포함한다.The chucking device according to the present invention for achieving the above-described technical problem, the chucking unit is provided with a planar adhesive surface; And a separating jig inserted between the glass substrate adhered to the adhesive adhered to the adhesive face and the adhesive to separate the glass substrate from the adhesive.

또한, 상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 척킹 장치를 이용한 척킹 방법은, 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 상기 척킹 장치의 상기 점착면에 점착제를 도포하는 단계; 상기 점착제를 상기 유리기판 중 패턴이 형성되어 있지 않은 저면에 부착시켜 상기 저면이 상기 점착제에 점착되도록 하는 단계; 상기 유리기판 중 상기 패턴이 형성되어 있는 패턴면에 유기물이 증착될 수 있는 위치로 상기 유리기판이 배치되도록, 상기 척킹부를 상하좌우로 이송시키거나 또는 회전시키는 단계; 상기 유리기판에 대한 증착과정이 수행된 후, 상기 척킹부가 상기 유리기판의 하부에서 상기 유리기판을 지지하는 위치가 되도록 상기 척킹부를 이송 또는 회전시키는 단계; 상기 첨착제와 상기 유리기판 사이로 상기 분리지그를 삽입하여, 상기 유리기판이 상기 점착제로부터 분리되도록 하는 단계를 포함한다.In addition, the chucking method using the chucking device according to the present invention for achieving the above technical problem, the step of applying an adhesive to the adhesive surface of the chucking device described in any one of claims 1 to 8. ; Attaching the adhesive to a bottom of the glass substrate on which a pattern is not formed such that the bottom adheres to the adhesive; Transferring or rotating the chucking part up, down, left, or right so that the glass substrate is disposed at a position where organic material may be deposited on a pattern surface on which the pattern is formed among the glass substrates; Transferring or rotating the chucking part so that the chucking part becomes a position supporting the glass substrate below the glass substrate after the deposition process on the glass substrate is performed; And inserting the separation jig between the adhesive and the glass substrate to separate the glass substrate from the adhesive.

상술한 해결 수단에 따라 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다.According to the above solution, the present invention provides the following effects.

즉, 본 발명은 척킹부의 점착면에 점착된 점착제를 이용하여 유리기판을 홀딩하며, 분리기로 형성된 분리지그를 이용하여 척킹부로부터 유리기판을 분리시킴으로써, 유리기판의 전면이 점착제를 매개체로 하여 척킹부의 점착면에 균일하게 점착될 수 있으며, 이로 인해, 유기물이 유리기판에 증착되는 과정에서 발생되는 무라를 차단시킬 수 있다는 효과를 제공한다.That is, according to the present invention, the glass substrate is held by using an adhesive adhered to the adhesive surface of the chucking portion, and the glass substrate is separated from the chucking portion using a separating jig formed by a separator, so that the entire surface of the glass substrate is chucked using the adhesive as a medium. It can be uniformly adhered to the negative adhesive surface, thereby providing an effect that can block the mura generated in the process of the organic material is deposited on the glass substrate.

도 1은 종래의 척킹 장치의 사용 상태를 나타낸 예시도.
도 2는 도 1에 도시된 척킹 장치의 단면을 대략적으로 나타낸 예시도.
도 3은 본 발명에 따른 척킹 장치를 나타낸 예시도.
도 4는 본 발명에 따른 척킹 장치에 유리기판이 홀딩되어 있는 상태를 나타낸 제1예시도.
도 5는 본 발명에 따른 척킹 장치에 유리기판이 홀딩되어 있는 상태를 나타낸 제2예시도.
도 6은 본 발명에 따른 척킹 장치에 유리기판이 홀딩되어 있는 상태를 나타낸 제3예시도.
도 7은 본 발명에 따른 척킹 장치를 이용하여 유리기판을 점착제로부터 분리시키는 상태를 나타낸 예시도. 1 is an exemplary view showing a state of use of a conventional chucking device.
FIG. 2 is an exemplary view schematically showing a cross section of the chucking device shown in FIG. 1. FIG.
3 is an exemplary view showing a chucking device according to the present invention.
Figure 4 is a first exemplary view showing a state in which a glass substrate is held in the chucking device according to the present invention.
5 is a second exemplary view showing a state in which a glass substrate is held in the chucking device according to the present invention;
6 is a third exemplary view showing a state in which a glass substrate is held in the chucking device according to the present invention.
7 is an exemplary view showing a state in which the glass substrate is separated from the adhesive using the chucking device according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 척킹 장치를 나타낸 예시도이다.3 is an exemplary view showing a chucking device according to the present invention.

본 발명에 따른 척킹 장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 점착제에 의해 유리기판을 홀딩할 수 있는 척킹부(200) 및 척킹부에 점착된 점착제에 의해 유리기판이 척킹부에 점착되어 있는 경우 유리기판과 점착제 사이로 삽입될 수 있는 분리기가 형성되어 있는 분리지그(300)를 포함하여 구성된다.In the chucking device according to the present invention, as shown in FIG. 3, when the glass substrate is adhered to the chucking part by the chucking part 200 capable of holding the glass substrate by the adhesive and the adhesive adhered to the chucking part, the glass It comprises a separation jig 300 is formed with a separator that can be inserted between the substrate and the adhesive.

척킹부(200)는 유리기판을 홀딩하는 한편, 유리기판을 상하좌우로 이송하거나 또는 다양한 방향과 각도로 회전시키기 위한 것으로서, 전면에 점착제가 점착될 수 있도록 평판형태로 형성된 척홀더(220) 및 척홀더를 지지하면서 척홀더를 다양한 방향과 각도로 회전시킬 수 있는 실린더(210)를 포함하여 구성된다. The chucking unit 200 is for holding a glass substrate and transferring the glass substrate up, down, left, or right, or rotating the glass substrate in various directions and angles. It is configured to include a cylinder 210 that can rotate the chuck holder in various directions and angles while supporting the chuck holder.

척홀더(220)는 도 3에 도시된 바와 같이 전면이 평탄하게 형성되어 있는 사각형의 평판으로서, 실린더(210)가 장착되어 있는 반대면(이하, 간단히 '점착면'이라 함)으로 유리기판이 점착된다.The chuck holder 220 is a flat plate having a flat front surface as shown in FIG. 3, and the glass substrate is formed on the opposite side (hereinafter, simply referred to as “adhesive surface”) on which the cylinder 210 is mounted. Sticks.

실린더(210)는 척홀더를 지지하는 한편, 척홀더를 상하좌우로 이송하거나 또는 다양한 방향과 각도로 회전시키는 기능을 수행한다. 이를 위해 실린더는 다양한 형태로 구성될 수 있다.The cylinder 210 supports the chuck holder and transfers the chuck holder up, down, left and right, or rotates in various directions and angles. To this end, the cylinder may be configured in various forms.

분리지그(300)는 척홀더의 점착면에 점착되어 있는 유리기판을 척홀더로부터 분리시키기 위한 것으로서, 보다 구체적으로는, 척홀더의 점착면에 점착되어 있는 점착제와 유리기판을 분리시키는 기능을 수행한다.Separation jig 300 is to separate the glass substrate adhered to the adhesive surface of the chuck holder from the chuck holder, more specifically, to perform the function of separating the adhesive and the glass substrate adhered to the adhesive surface of the chuck holder. do.

이를 위해 분리지그(300)는, 유리기판의 폭보다 큰 폭을 갖도록 이격되어져 있는 두 개의 지지바(311, 312)가 하나의 연결바(313)에 의해 연결되어져 전체적으로 'ㄷ'자 형상으로 형성되어 있는 프레임(310) 및 두 개의 지지바 사이에 형성되어 유리기판과 점착제를 분리시키는 기능을 수행하는 분리기(320)를 포함하여 구성될 수 있다. To this end, the separating jig 300 has two support bars 311 and 312 spaced apart from each other so as to have a width greater than that of the glass substrate, and are connected by one connection bar 313 to form a 'c' shape as a whole. It is formed between the frame 310 and the two support bars may be configured to include a separator 320 for performing a function of separating the glass substrate and the adhesive.

분리기(320)는 와이어(wire) 또는 쉬트(sheet)로 형성될 수 있다.Separator 320 may be formed of a wire (wire) or sheet (sheet).

분리기(320)가 적어도 두 개 이상의 와이어로 형성된 경우, 와이어는 금속 또는 비금속 재질로 형성될 수 있으며, 유리기판을 첨착제로부터 분리시키는 경우, 유리기판 면에 스크래치가 발생되지 않도록 도금처리 또는 비금속으로 코팅처리되는 것이 바람직하다. When the separator 320 is formed of at least two wires, the wires may be formed of a metal or a non-metallic material. When the glass substrate is separated from the adhesive, the wires may be plated or non-metallic to prevent scratches on the surface of the glass substrate. It is preferred to be coated.

즉, 와이어가 금속 와이어일 경우, 유리기판 면에 스크래치가 발생하지 않도록 도금처리 또는 이종재료로 코팅처리되는 것이 바람직하다. That is, when the wire is a metal wire, it is preferable to be coated with a plating treatment or a dissimilar material so as not to scratch the glass substrate surface.

또한, 와이어는 적어도 하나 이상의 와이어가 개별적으로 두 개의 지지바에 연결된 상태에서, 개별적으로 잡아당겨져 지지바에 고정된 것일 수도 있으며, 하나의 와이어를 두 개의 지지바 사이에서 왕복하여 잡아당겨 지지바에 고정된 것일 수도 있다. In addition, the wire may be fixed to the support bar, while at least one or more wires are individually connected to the two support bars, the one wire is fixed to the support bar by pulling back and forth between the two support bars It may be.

또한, 와이어의 단면은 원형 또는 다각형이 될 수 있다. 와이어의 단면이 원형일 경우 지름은 0.0001mm 이상이 바람직하며, 인접된 와이어와의 간격은 0.01mm~1000mm인 것이 바람직하다.In addition, the cross section of the wire may be circular or polygonal. When the cross section of the wire is circular, the diameter is preferably 0.0001 mm or more, and the distance between adjacent wires is preferably 0.01 mm to 1000 mm.

또한, 와이어가 고정되어 있는 지지바(311, 312)에는 와이어의 인장력을 조정하기 위한 조절기(미도시)가 형성되어 있을 수도 있다.In addition, an adjuster (not shown) for adjusting the tensile force of the wire may be formed in the support bars 311 and 312 on which the wire is fixed.

한편, 분리기(320)가 쉬트로 형성된 경우, 쉬트(Sheet)의 두께는 0.0001mm 내지 100mm인 것이 바람직하며, 쉬트의 폭은 0.0001mm 내지1000mm인 것이 바람직하다.
On the other hand, when the separator 320 is formed of a sheet, the thickness of the sheet (Sheet) is preferably 0.0001mm to 100mm, the width of the sheet is preferably 0.0001mm to 1000mm.

도 4는 본 발명에 따른 척킹 장치에 유리기판이 홀딩되어 있는 상태를 나타낸 제1예시도로서, 특히, 척킹부(200)의 점착면에 유리기판(100)이 부착되어 있는 정면도(a)와, 점착면 아래 방향에서 유리기판을 바라본 상태를 나타낸 저면도(b)가 도시되어 있다. 여기서, 저면도는 유리기판(100)에 패턴이 형성되어 있지 않은 상태를 가정하여, 점착제(600)가 유리기판에 투영된 상태를 나타낸 것이다. 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 척킹 장치가 유리기판을 홀딩하는 방법을 설명하면 다음과 같다.4 is a first exemplary view showing a state in which a glass substrate is held in the chucking device according to the present invention. In particular, a front view (a) in which the glass substrate 100 is attached to the adhesive surface of the chucking unit 200 is shown. And a bottom view (b) showing a state in which the glass substrate is viewed from the adhesive surface downward direction. Here, the bottom view shows a state in which the adhesive 600 is projected onto the glass substrate on the assumption that the pattern is not formed on the glass substrate 100. Referring to Figure 4 describes the method for holding the glass substrate in the chucking device according to the present invention.

우선, 유리기판을 홀딩하기에 앞서, 척홀더의 점착면에는 점착제(600)가 도포된다. 점착제는 작업자에 의해 점착면에 점착될 수도 있으며, 척홀더의 점착면을 점착제가 담겨져 있는 용기에 담가 점착제가 점착면에 도포되도록 할 수도 있다. First, prior to holding the glass substrate, an adhesive 600 is applied to the adhesive surface of the chuck holder. The pressure-sensitive adhesive may be adhered to the pressure-sensitive adhesive surface by an operator, and the pressure-sensitive adhesive surface of the chuck holder may be immersed in a container containing the pressure-sensitive adhesive so that the pressure-sensitive adhesive may be applied to the pressure-sensitive adhesive surface.

다음으로, 유리기판이 스테이지에 놓여있는 상태에서, 작업자는 실린더를 조작하여, 점착제가 점착되어 있는 척홀더(220)의 점착면이 유리기판의 상단면에 위치되도록 한다. 이때, 도 4에서는 점착면의 면적이 유리기판의 면적보다 다소 작은 것으로 도시되어 있으나, 척홀더의 점착면의 면적은 유리기판의 면적과 동일하게 형성될 수도 있고, 더 크게 형성될 수도 있다. Next, in a state where the glass substrate is placed on the stage, the operator operates the cylinder so that the adhesive surface of the chuck holder 220 to which the adhesive is attached is located on the upper surface of the glass substrate. In this case, although the area of the adhesive face is shown to be somewhat smaller than the area of the glass substrate in FIG. 4, the area of the adhesive face of the chuck holder may be the same as that of the glass substrate, or may be larger.

또한, 실린더(210)는 상기한 바와 같이 척홀더를 다양한 방향 및 각도로 회전시키기 위해, 복수의 마디로 형성될 수 있고, 유압실린더와 같이 길이가 조절될 수도 있으며, 다양한 각도 및 방향으로 회전될 수 있도록 회전수단이 구비될 수 있다.In addition, the cylinder 210 may be formed of a plurality of nodes in order to rotate the chuck holder in various directions and angles as described above, the length may be adjusted like a hydraulic cylinder, and may be rotated in various angles and directions. Rotating means may be provided to allow.

다음으로, 실린더를 유리기판 방향으로 연장 또는 이동시킴으로써, 척홀더의 점착면을 유리기판에 밀착시킨다. 이때, 점착면에 점착되어 있는 점착제에 의해 유리기판이 점착면에 점착된다.Next, the adhesive surface of the chuck holder is brought into close contact with the glass substrate by extending or moving the cylinder in the glass substrate direction. At this time, the glass substrate is adhered to the adhesive surface by the adhesive adhered to the adhesive surface.

한편, 상기에서는 유기발광다이오드 표시장치에 적용되는 유리기판의 패턴면이 도면상에서 하단방향을 향하도록 스테이지에 배치된 경우를 예로 하여 척킹장치가 유리기판을 홀딩하는 방법이 설명되어 있으나, 유리기판의 패턴면이 도면상에서 상단방향을 향하도록 배치되어 있는 경우에도 동일한 방법을 통해 척킹 장치가 유리기판을 홀딩할 수 있다. On the other hand, in the above description, a method in which the chucking device holds the glass substrate is described as an example in which the pattern surface of the glass substrate applied to the organic light emitting diode display device is disposed on the stage so as to face the lower direction in the drawing. Even when the pattern surface is disposed to face upward in the drawing, the chucking device may hold the glass substrate through the same method.

즉, 점착면이 상단방향을 향하도록 배치된 상태에서, 실린더가 척홀더를 유리기판의 하단부에서 상단방향으로 척홀더를 이동시키는 동작에 의해 척홀더의 점착면에 유리기판이 점착될 수 있다. 그러나, 이 경우에는 유리기판의 상단에서, 유리기판을 스테이지 방향으로 눌러주거나 또는 유리기판이 스테이지로부터 들뜨지 않도록 하는 지지부(미도시)가 추가되어야 한다.That is, the glass substrate may be adhered to the adhesive surface of the chuck holder by an operation in which the cylinder moves the chuck holder in the upper direction from the lower end of the glass substrate while the adhesive surface is disposed to face the upper direction. In this case, however, at the top of the glass substrate, a support (not shown) must be added to press the glass substrate in the stage direction or to prevent the glass substrate from being lifted off the stage.

한편, 상기와 같은 방법을 통해 유리기판이 척홀더의 점착면에 점착된 상태에서, 작업자는 실린더를 원하는 방향으로 이송하거나 회전시킴으로써, 유리기판을 원하는 위치로 배치시킬 수 있다.On the other hand, in the state in which the glass substrate is adhered to the adhesive surface of the chuck holder through the above method, the operator can arrange the glass substrate to a desired position by transferring or rotating the cylinder in the desired direction.

그러나, 본 발명은 유기발광다이오드 표시장치에 적용되는 유리기판에 유기물을 증착시키기 위한 경우에 사용되는 것으로서, 도 4에 도시된 바와 같은 상태로 이용되는 것이 바람직하다. However, the present invention is used to deposit an organic material on a glass substrate applied to an organic light emitting diode display, and is preferably used in a state as shown in FIG. 4.

한편, 도 4에 도시되어 있는 점착제에는 어떠한 홈도 형성되어 있지 않으나, 점착제에는 이하에서 설명될 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 다양한 점착홈이 형성되어 있을 수도 있다.
Meanwhile, although no groove is formed in the pressure-sensitive adhesive illustrated in FIG. 4, various pressure-sensitive adhesive grooves may be formed in the pressure-sensitive adhesive as illustrated in FIGS. 5 and 6 to be described below.

도 5는 본 발명에 따른 척킹 장치에 유리기판이 홀딩되어 있는 상태를 나타낸 제2예시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 척킹 장치에 유리기판이 홀딩되어 있는 상태를 나타낸 제3예시도이다. 이하의 설명 중, 도 4에 대한 설명과 중복되는 내용은 간단히 설명되거나 생략된다.5 is a second exemplary view illustrating a state in which a glass substrate is held in a chucking device according to the present invention, and FIG. 6 is a third exemplary view illustrating a state in which a glass substrate is held in a chucking device according to the present invention. In the following description, content that overlaps with the description of FIG. 4 is simply described or omitted.

우선, 도 5에 도시된 제2실시예가, 도 4에 도시된 제1실시예와 다른 점은, 척홀더의 점착면에 점착되어 있는 점착제(600)에 복수의 점착홈(610)이 평행하게 형성되어 있다는 것이다.First, the second embodiment shown in FIG. 5 differs from the first embodiment shown in FIG. 4 in that a plurality of adhesive grooves 610 are parallel to the adhesive 600 adhered to the adhesive surface of the chuck holder. It is formed.

이러한 점착홈(610)은 점착제를 점착면에 점착시킨 후, 별도의 점착홈 프레임(미도시)을 이용하여 형성될 수 있다. 즉, 점착홈(610)과 같은 형상으로 형성되어 있는 점착홈 프레임을 점착제에 눌러 줌으로써, 도 5에 도시된 바와 같은 점착홈이 형성될 수도 있다. 이 경우, 점착홈은 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 점착면과 맞닿지 않도록 형성될 수도 있으나, 맞닿게 형성될 수도 있다.The adhesive groove 610 may be formed using a separate adhesive groove frame (not shown) after the adhesive to the adhesive surface. That is, by pressing the adhesive groove frame formed in the same shape as the adhesive groove 610 to the pressure-sensitive adhesive, the adhesive groove as shown in Figure 5 may be formed. In this case, the adhesive groove may be formed so as not to contact the adhesive surface, as shown in (a) of FIG.

점착홈이 점착면과 맞닿게 형성되는 경우는, 점착홈을 경계로 형성되는 복수의 점착제 조각(620)이 점착면에 개별적으로 점착되어 형성되는 것으로 볼 수도 있다.When the adhesive groove is formed to be in contact with the adhesive surface, it may be seen that a plurality of adhesive pieces 620 formed at the boundary of the adhesive groove are individually adhered to the adhesive surface.

한편, 본 발명이 상기한 바와 같이 점착제의 표면에 점착홈을 형성하는 이유는 유리기판이 점착제에 점착될 때, 유리기판과 점착제 사이의 공기가 빠져나갈 수 있는 통로를 형성해 주기 위함이다. 점착홈(610)의 폭은 0.0001mm 이상, 1000mm 미만으로 형성되는 것이 바람직하다. On the other hand, the reason for the present invention to form an adhesive groove on the surface of the pressure-sensitive adhesive as described above is to form a passage through which the air between the glass substrate and the pressure-sensitive adhesive when the glass substrate is adhered to the pressure-sensitive adhesive. The width of the adhesive groove 610 is preferably formed in less than 0.0001mm, less than 1000mm.

따라서, 상기한 바와 같은 점착홈은, 점착제가 점착면에 점착된 후, 유리기판이 점착제에 점착되기 전에 형성된다.Therefore, the adhesive groove as described above is formed after the adhesive is adhered to the adhesive face, and before the glass substrate is adhered to the adhesive.

다음으로, 도 6에는, 상기한 바와 같은 점착홈(610)이 타일 형태로 형성되어 있는 점착제가 도시되어 있다.Next, FIG. 6 illustrates an adhesive in which the adhesive groove 610 as described above is formed in a tile form.

이때, 점착홈의 간격은 무라가 발생되지 않는 정도의 거리를 유지하는 것이 바람직하다. 즉, 점착홈의 간격이 넓어지면, 점착홈을 통해 점착면과 일정간격을 두고 접하는 유리기판의 제1지점과, 점착홈을 통해 점착면에 접하게 되는 유리기판의 제2지점의 열전단율이 다르게 되어 종래 기술에서 언급된 바와 같은 무라가 발생될 수 있으므로, 점착홈의 간격은 최소화시키는 것이 바람직하다.At this time, the interval between the adhesive grooves is preferably maintained to a distance that does not occur mura. That is, when the space between the adhesive grooves becomes wider, the thermal conductivity of the first point of the glass substrate that is in contact with the adhesive surface through the adhesive groove at a predetermined interval and the second point of the glass substrate that is in contact with the adhesive surface through the adhesive groove are different. Since the mura as mentioned in the prior art can be generated, it is desirable to minimize the interval of the adhesive groove.

한편, 점착홈의 형태는 도 5 및 도 6에 도시된 타일 형태 외에도 다각형 또는 부정형 형태로 다양하게 형성될 수 있으며, 이러한 점착홈의 목적은 상기한 바와 같이 유리기판과 점착제 사이의 공기를 외부로 배출시키기 위함이다. On the other hand, the shape of the adhesive groove may be variously formed in a polygonal or irregular shape in addition to the tile shape shown in Figures 5 and 6, the purpose of the adhesive groove as described above to the air between the glass substrate and the adhesive To discharge.

여기서, 상기 점착홈의 간격(폭)은 도 5에 형성되어 있는 점착홈과 마찬가지로, 0.0001mm 이상, 1000mm 미만으로 형성되는 것이 바람직하다. Here, the interval (width) of the adhesive groove is preferably formed in 0.0001mm or more, less than 1000mm, like the adhesive groove formed in FIG.

또한, 상기한 바와 같이 점착홈은 다양한 형태의 점착제 조각(620)에 의해 형성될 수도 있다.
In addition, as described above, the adhesive groove may be formed by various types of adhesive pieces 620.

도 7은 본 발명에 따른 척킹 장치를 이용하여 유리기판을 점착제로부터 분리시키는 상태를 나타낸 예시도이다. 7 is an exemplary view showing a state in which the glass substrate is separated from the adhesive using the chucking device according to the present invention.

즉, 도 4 내지 도 6에서 설명된 다양한 방법들을 통해 유리기판은 척홀더의 점착면에 점착될 수 있으며, 이 상태에서 유리기판의 패터면에는 다양한 종류의 유기물이 증착될 수 있다.That is, the glass substrate may be adhered to the adhesive surface of the chuck holder through various methods described with reference to FIGS. 4 to 6, and in this state, various kinds of organic materials may be deposited on the pattern surface of the glass substrate.

한편, 유기물 증착과정이 수행된 유리기판은 다시 척킹부의 점착면으로부터 분리시켜야 하며, 이때, 분리지그(300)가 이용된다.Meanwhile, the glass substrate on which the organic material deposition process is performed should be separated from the adhesive surface of the chucking part again, and the separation jig 300 is used.

예를 들어, 유기물 증착과정을 거친 척홀더(220)의 점착면이 도 7의 (a)의 우측에 도시된 바와 같이, 상단을 향하고 있다면, 유리기판은 점착제를 사이에 두고 점착면의 상단에 놓여지게 된다.For example, if the adhesive surface of the chuck holder 220 subjected to the organic deposition process is directed to the upper side, as shown on the right side of FIG. 7 (a), the glass substrate is placed on the upper side of the adhesive surface with the adhesive therebetween. To be placed.

이때, 작업자 또는 자동화 장치(미도시)는 두 개의 지지바(311, 312)에 의해 개방되어 있는 일측면, 즉, 연결바(313)의 반대측면을 유리기판과 점착제 사이로 이동시키면서 두 개의 지지바 사이에 형성되어 있는 분리기(도 7에서는 복수의 와이어들)가 차례로 유리기판(100)과 점착제(600) 사이로 삽입되도록 한다. At this time, the operator or the automation device (not shown) has two support bars while moving one side that is opened by two support bars 311 and 312, that is, the opposite side of the connection bar 313 between the glass substrate and the adhesive. Separator (a plurality of wires in Figure 7) formed between the in order to be inserted between the glass substrate 100 and the adhesive 600.

상기와 같은 상태로 분리지그를 지속적으로 이동시키면, 결국, 첫 번째로 삽입된 와이어가 유리기판과 점착제 사이를 뚫고 지나가 다시 외부로 노출된다.When the separation jig is continuously moved in the above state, the wire inserted first passes through the glass substrate and the adhesive and is exposed to the outside again.

다음으로, 작업자가 분리지그를 유리기판의 상단으로 들어올리면, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 유리기판이 점착제로부터 분리되어 분리지그의 분리기 (와이어) 상단에 놓여진 상태로 들어올려진다. Next, when the worker lifts the separating jig to the upper end of the glass substrate, as shown in FIG. 7B, the glass substrate is separated from the adhesive and lifted up in the state of being placed on the separator (wire) top of the separating jig. .

이 후, 사용자는 유리기판을 또 다른 공정을 위한 스테이지에 올려놓음으로써, 척킹 장치의 이용이 종료된다.Thereafter, the user ends the use of the chucking device by placing the glass substrate on a stage for another process.

한편, 상기와 같은 과정을 통해 유기물이 증착된 유리기판의 저면, 즉, 점착면에 의해 점착되었던 면에는 점착제가 남아있을 수도 있다. 따라서, 작업자는 유리기판의 저면을 세척하는 라인으로 유리기판을 이송할 수 있다.
On the other hand, the pressure-sensitive adhesive may remain on the bottom surface of the glass substrate on which the organic material is deposited through the above process, that is, the surface that was adhered by the adhesive surface. Therefore, the worker can transfer the glass substrate to the line for washing the bottom surface of the glass substrate.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 척킹 장치는, 유기발광다이오드 표시장치에 적용되는 유리기판을, 유기물 증착공정 등에서 수평으로 유지하기 위한 것으로서, 일단 척킹 장치의 척킹부에 점착된 유리기판은 분리지그에 의해 다시 척킹부로부터 분리될 수 있다. The chucking device according to the present invention as described above is for keeping the glass substrate applied to the organic light emitting diode display device horizontally in an organic material deposition process or the like, and once the glass substrate adhered to the chucking part of the chucking device is attached to the separating jig. By the chucking portion again.

즉, 수평방식의 유기물 증착기에 사용되는 종래의 척킹 장치를 사용하면, 열전도율의 불균일에 의해 완성된 유리기판에 무라(Mura : 얼룩)가 발생하여 품질 불량이 다량으로 발생하나, 본 발명에 따른 척킹 장치는, 척킹부가 유리기판을 홀딩하고 있을 때, 유리기판이 점착되어 있는 점착면의 열전도율이 유리기판 전면에 걸쳐 고르게 형성되기 때문에 종래에서와 같은 무라가 발생하지 않게 된다. That is, when using a conventional chucking device used in a horizontal organic material deposition machine, Mura (Mura: smear) occurs on the glass substrate completed by the non-uniformity of thermal conductivity, but a large amount of poor quality occurs, but chucking according to the present invention In the apparatus, when the chucking part is holding the glass substrate, the heat conductivity of the adhesive surface to which the glass substrate is adhered is formed evenly over the entire glass substrate, so that mura does not occur as in the prior art.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.　 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Therefore, it is to be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100 : 유리기판 200 : 척킹부
210 : 실린더 220 : 척홀더
300 : 분리지그 310 : 프레임
320 : 분리기100: glass substrate 200: chucking part
210: cylinder 220: chuck holder
300: separation jig 310: frame
320: separator

Claims (14)

평면 형상의 점착면이 구비되어 있는 척킹부; 및
상기 점착면에 점착되어 있는 점착제에 점착된 유리기판과 상기 점착제 사이에 삽입되어 상기 점착제로부터 상기 유리기판을 분리하기 위한 분리지그를 포함하는 척킹 장치.A chucking unit having a planar adhesive surface; And
And a separating jig inserted between the glass substrate adhered to the adhesive adhered to the adhesive face and the adhesive to separate the glass substrate from the adhesive. 제 1 항에 있어서,
상기 척킹부는,
상기 점착면이 형성되어 있는 평판형태의 척홀더; 및
상기 척홀더를 지지하며, 상기 척홀더를 회전 또는 이송시키기 위한 실린더를 포함하는 척킹 장치.The method of claim 1,
The chucking unit,
A flat chuck holder having the adhesive surface formed thereon; And
And a cylinder for supporting the chuck holder and rotating or transferring the chuck holder. 제 1 항에 있어서,
상기 분리지그는,
상기 점착면보다 큰 폭을 갖도록 이격되어져 있는 두 개의 지지바가 연결바에 의해 연결되어져 있는 형태로 구성되는 프레임; 및
상기 두 개의 지지바 사이에 형성되어 상기 유리기판과 상기 점착제를 분리시키기 위한 분리기를 포함하는 척킹 장치.The method of claim 1,
The separation jig,
A frame configured to have two support bars spaced apart from each other so as to have a larger width than the adhesive surface, by a connecting bar; And
And a separator formed between the two support bars to separate the glass substrate and the pressure-sensitive adhesive. 제 3 항에 있어서,
상기 두 개의 지지바와 상기 연결바는 'ㄷ'자 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 척킹 장치.The method of claim 3, wherein
The two support bars and the connecting bar is a chucking device, characterized in that forming a '''shape. 제 3 항에 있어서,
상기 분리기는 적어도 두 개 이상의 와이어로 형성되는 것을 특징으로 하는 척킹 장치.The method of claim 3, wherein
And said separator is formed of at least two wires. 제 5 항에 있어서,
상기 와이어는 도금처리되어 있거나, 또는 비금속으로 코팅처리되어 있는 것을 특징으로 하는 척킹 장치. The method of claim 5, wherein
The wire is a chucking device, characterized in that the plated or coated with a non-metal. 제 5 항에 있어서,
상기 두 개의 지지바 중 적어도 어느 하나에는, 상기 와이어의 인장력을 조정하기 위한 조절기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 척킹 장치.The method of claim 5, wherein
At least one of the two support bar, the chucking device, characterized in that a regulator for adjusting the tension of the wire is formed. 제 3 항에 있어서,
상기 분리기는 쉬트로 형성되는 것을 특징으로 하는 척킹 장치.The method of claim 3, wherein
The separator is characterized in that the separator is formed of a sheet. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 상기 척킹 장치의 상기 점착면에 점착제를 도포하는 단계;
상기 점착제를 상기 유리기판 중 패턴이 형성되어 있지 않은 저면에 부착시켜 상기 저면이 상기 점착제에 점착되도록 하는 단계;
상기 유리기판 중 상기 패턴이 형성되어 있는 패턴면에 유기물이 증착될 수 있는 위치로 상기 유리기판이 배치되도록, 상기 척킹부를 상하좌우로 이송시키거나 또는 회전시키는 단계;
상기 유리기판에 대한 증착과정이 수행된 후, 상기 척킹부가 상기 유리기판의 하부에서 상기 유리기판을 지지하는 위치가 되도록 상기 척킹부를 이송 또는 회전시키는 단계;
상기 첨착제와 상기 유리기판 사이로 상기 분리지그를 삽입하여, 상기 유리기판이 상기 점착제로부터 분리되도록 하는 단계를 포함하는 척킹 장치를 이용한 척킹 방법.Applying an adhesive to the adhesive face of the chucking device according to any one of claims 1 to 8;
Attaching the adhesive to a bottom of the glass substrate on which a pattern is not formed such that the bottom adheres to the adhesive;
Transferring or rotating the chucking part up, down, left, or right so that the glass substrate is disposed at a position where organic material may be deposited on a pattern surface on which the pattern is formed among the glass substrates;
Transferring or rotating the chucking part so that the chucking part becomes a position supporting the glass substrate below the glass substrate after the deposition process on the glass substrate is performed;
And inserting the separation jig between the additive and the glass substrate to separate the glass substrate from the pressure-sensitive adhesive. 제 9 항에 있어서,
상기 점착제를 도포하는 단계는,
상기 점착면에 상기 점착제를 도포한 후, 상기 점착제의 표면에 점착홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 척킹 장치를 이용한 척킹 방법.The method of claim 9,
The step of applying the pressure-sensitive adhesive,
After applying the pressure-sensitive adhesive on the adhesive surface, the chucking method using a chucking device, characterized in that to form an adhesive groove on the surface of the pressure-sensitive adhesive. 제 10 항에 있어서,
상기 점착홈은 줄무늬 형태로 형성되거나 타일 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 척킹 장치를 이용한 척킹 방법.11. The method of claim 10,
The adhesive groove is a chucking method using a chucking device, characterized in that formed in the form of stripes or tiles. 제 9 항에 있어서,
상기 점착제를 도포하는 단계는,
상기 점착면의 폭보다는 작은 폭을 갖고 상기 점착면의 길이와 동일한 크기의 복수의 직사각형 또는 상기 점착면보다 작은 크기를 갖는 다각형으로 형성된 복수의 점착제 조각을 상기 점착면에 점착시키는 것을 특징으로 하는 척킹 장치를 이용한 척킹 방법.The method of claim 9,
The step of applying the pressure-sensitive adhesive,
A chucking device, characterized in that a plurality of adhesive pieces formed of a plurality of rectangles having a width smaller than that of the adhesive face and the same size as the length of the adhesive face or polygons having a size smaller than the adhesive face are adhered to the adhesive face. Chucking method using. 제 12 항에 있어서,
상기 점착제 조각들은 점착홈을 사이에 두고 일정 간격 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 척킹 장치를 이용한 척킹 방법.The method of claim 12,
The adhesive pieces are chucking method using a chucking device, characterized in that spaced apart a predetermined interval between the adhesive grooves. 제 9 항에 있어서,
상기 유리기판이 상기 점착제로부터 분리되도록 하는 단계는,
상기 분리지그에 와이어 또는 쉬트로 형성되어 있는 분리기를 상기 점착제와 상기 유리기판 사이로 삽입시키는 단계; 및
상기 분리기 상단에 상기 유리기판이 놓여진 상태에서 상기 유리기판을 상기 척킹부로부터 분리시키는 단계를 포함하는 척킹 장치를 이용한 척킹 방법.The method of claim 9,
Separating the glass substrate from the pressure-sensitive adhesive,
Inserting a separator formed in the separating jig into a wire or a sheet between the adhesive and the glass substrate; And
Chucking method using a chucking device comprising the step of separating the glass substrate from the chucking unit with the glass substrate placed on the separator.
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