KR20140084604A - Substrate-clamping unit and apparatus for depositing organic material using the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a substrate clamping unit and an organic material depositing apparatus including the same. The substrate clamping unit includes: a mask tray where substrate is safely received and includes a square-shaped first frame and at least one of the first sticks which form an opening part by being combined with the inner side of the first frame; and a plate which includes a second frame with the square frame shape and at least one of the second sticks corresponding to the first stick. A first magnet is included in the second stick.

Description

기판 고정 유닛 및 이를 포함하는 유기물 증착 장치 {SUBSTRATE-CLAMPING UNIT AND APPARATUS FOR DEPOSITING ORGANIC MATERIAL USING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate fixing unit and an organic material deposition apparatus including the substrate fixing unit.

본 발명은 기판 고정 유닛 및 이를 포함하는 유기물 증착 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마그넷을 포함하는 플레이트와 마스크 트레이로 구비되어 증착 균일도를 향상시킬 수 있는 기판 고정 유닛 및 이를 포함하는 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate fixing unit and an organic substance deposition apparatus including the same, and more particularly, to a substrate fixing unit provided with a plate including a magnet and a mask tray to improve deposition uniformity, and an organic substance deposition apparatus .

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), OLED(Organic Light Emitting Diode) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다. In recent years, the demand for display devices has been increasing in accordance with the development of the information society. In response to this demand, in recent years, a variety of display devices such as a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), an electro luminescent display (ELD) Emitting Diode) have been studied, and some have already been used as display devices in various devices.

유기발광 다이오드(OLED;Organic Light Emitting Diodes)는 다른 평판 표시 장치에 비해 얇고, 무게가 가벼우며, 구조 및 제조공정이 단순하고 소비전력이 절약되는 장점을 가지고 있다. Organic light emitting diodes (OLEDs) are thinner, lighter in weight than other flat panel displays, have a simple structure and manufacturing process, and save power consumption.

일반적인 유기발광 다이오드는 기판 상에 서로 대향하는 양극과 음극 그리고 이들 사이에 개재된 유기막을 포함한다. 이러한 유기발광 다이오드는 음극과 양극에 소정의 전압이 인가되면 정공과 전자가 유기막으로 주입되고, 유기막에서 정공과 전자가 재결합하여 발광하게 된다. A typical organic light emitting diode includes an anode and a cathode opposite to each other on a substrate and an organic film interposed therebetween. In this organic light emitting diode, when a predetermined voltage is applied to the cathode and the anode, holes and electrons are injected into the organic film, and holes and electrons recombine in the organic film to emit light.

유기발광 다이오드의 유기막과 같은 박막은 일반적으로 열 증착법(Thermal Deposition)을 이용하여 증착하는데, 이러한 열 증착법은 증착 챔버 내에 기판을 위치시키고 증착 소스로부터 유기물질이 방출되어 기판 상에 박막을 증착하는 방식이다. A thin film such as an organic film of an organic light emitting diode is generally deposited using a thermal deposition method in which a substrate is placed in a deposition chamber and an organic material is discharged from the deposition source to deposit a thin film on the substrate Method.

도 1a 및 도 1b는 종래의 유기물 증착장치에 이용되는 마스크 트레이의 사시도 및 단면도이다.1A and 1B are a perspective view and a cross-sectional view of a mask tray used in a conventional organic material deposition apparatus.

도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 마스크 트레이(10)는 사각틀 형상을 가진 프레임(12)과 상기 프레임(12) 내부에 스틱(14)을 포함하여 개구부(16)를 형성하고, 기판(20)은 상기 마스크 트레이(10)의 배면에 안착된다. 이후, 마스크 트레이(10)의 개구부(16)를 통해 기판(20) 위에 유기물이 증착되는 공정이 이루어진다. 1A and 1B, the mask tray 10 includes a frame 12 having a rectangular frame shape and a stick 14 inside the frame 12 to form an opening 16, 20 are seated on the back surface of the mask tray 10. Thereafter, an organic material is deposited on the substrate 20 through the opening 16 of the mask tray 10.

그러나 마스크 트레이(10)의 스틱(14)의 처짐으로 인해 증착 섀도우가 발생하게 되고, 양 측면을 고정시키고 있지만 공정 시 기판(20)과 마스크 트레이(10)의 슬립(Slip)현상으로 인해 증착 위치 오차가 발생할 수 있다. 또한, 중력에 의해 마스크 트레이(10)의 개구부(16)에서 기판(20) 처짐이 발생하며 이와 같은 상태에서 증착 공정이 진행되면 증착 불균일 문제가 발생하게 된다.
However, due to the deflection of the stick 14 of the mask tray 10, deposition shadows are generated and both sides are fixed. However, due to the slip phenomenon of the substrate 20 and the mask tray 10 during the process, An error may occur. In addition, the substrate 20 is deflected in the opening portion 16 of the mask tray 10 by gravity, and deposition unevenness problem arises when the deposition process proceeds in this state.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 증착 섀도우 감소 및 반송 공정 시 슬립(Slip)을 방지하며, 기판 처짐에 의한 증착 불균일 문제를 방지하고자 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to prevent slippage during deposition shadow reduction and transportation process, and to prevent deposition unevenness due to substrate deflection.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 고정 유닛은 기판이 안착되며, 사각틀 형상의 제 1 프레임과, 제 1 프레임 내부에 결합되어 개구부를 형성하는 적어도 하나의 제 1 스틱을 포함하는 마스크 트레이;와 상기 마스크 트레이의 상부에 위치하고, 사각틀 형상의 제 2 프레임과, 상기 제 1 스틱에 대응하여 적어도 하나의 제 2 스틱을 포함하며, 상기 제 2 스틱에 제 1 마그넷이 포함되는 플레이트를 포함한다. In order to achieve the above object, a substrate fixing unit of the present invention includes: a mask tray having a substrate mounted thereon and including a first frame of a rectangular frame shape and at least one first stick formed inside the first frame to form an opening; And a plate disposed above the mask tray and including a second frame of a rectangular frame shape and at least one second stick corresponding to the first stick, the first magnet including a first magnet .

상기 플레이트의 제 2 프레임에 형성되는 제 2 마그넷을 포함한다. And a second magnet formed on a second frame of the plate.

상기 마스크 트레이의 각 모서리에는 제 1 관통홀이 형성되고 제 1 핀이 상기 제 1 관통홀을 관통하여 플레이트와 마스크 트레이를 분리 및 결합시킨다.A first through hole is formed in each corner of the mask tray, and a first fin passes through the first through hole to separate and engage the plate and the mask tray.

상기 마스크 트레이의 제 1 관통홀 사이에 제 2 관통홀이 형성되고 제 2 핀이 상기 제 2 관통홀을 관통하여 상기 마스크 트레이에 상기 기판을 로딩 및 언로딩 시킨다.A second through hole is formed between the first through holes of the mask tray and a second fin passes through the second through hole to load and unload the substrate to the mask tray.

본 발명에 따른 기판 고정 유닛을 포함하는 유기물 증착 장치는 기판이 안착되며, 사각틀 형상의 제 1 프레임과, 제 1 프레임 내부에 결합되어 개구부를 형성하는 적어도 하나의 제 1 스틱을 포함하는 마스크 트레이와, 상기 마스크 트레이의 상부에 위치하고 사각틀 형상의 제 2 프레임과 상기 제 1 스틱에 대응하여 적어도 하나의 제 2 스틱을 포함하며 상기 제 2 스틱에 제 1 마그넷이 포함되는 플레이트를 포함하는 기판 고정 유닛과; 상기 플레이트를 구동하는 제 1 실린더와 기판을 구동하는 제 2 실린더를 포함하고, 상기 기판 고정 유닛에 기판을 로딩하는 로딩부와; 상기 기판이 상기 기판 고정 유닛에 안착된 상태에서 상기 개구부를 통해 증착 공정을 수행하는 증착 챔버와; 상기 플레이트를 구동하는 제 3 실린더와 기판을 구동하는 제 4 실린더를 포함하고, 상기 증착 공정이 끝난 후 상기 기판 고정 유닛에서 상기 기판을 언로딩하는 언로딩부를 포함한다. An organic substance deposition apparatus including a substrate holding unit according to the present invention includes a mask tray on which a substrate is placed and including a first frame of a rectangular frame shape and at least one first stick formed inside the first frame to form an opening, A substrate fixing unit including a plate having a second frame shaped like a rectangular frame and at least one second stick corresponding to the first stick and having a first magnet on the second stick, ; A loading unit including a first cylinder for driving the plate and a second cylinder for driving the substrate, the loading unit loading the substrate into the substrate holding unit; A deposition chamber for performing a deposition process through the opening in a state where the substrate is mounted on the substrate holding unit; A third cylinder for driving the plate and a fourth cylinder for driving the substrate, and an unloading unit for unloading the substrate from the substrate holding unit after the deposition process is completed.

상기 마스크 트레이의 각 모서리에는 제 1 관통홀과 제 2 관통홀이 형성된다.The first through holes and the second through holes are formed at each corner of the mask tray.

상기 로딩부에서 상기 제 1 실린더에 결합된 제 1 핀이 상기 제 1 관통홀을 관통하여 상기 플레이트와 상기 마스크 트레이를 분리 및 결합시키고, 상기 제 2 실린더에 결합된 제 2 핀이 상기 제 2 관통홀을 관통하여 상기 기판을 로딩시킨다.A first pin coupled to the first cylinder in the loading portion passes through the first through hole to separate and couple the plate and the mask tray, and a second pin coupled to the second cylinder passes through the second through- And the substrate is loaded through the holes.

상기 언로딩부에서 상기 제 3 실린더에 결합된 제 3 핀이 상기 제 1 관통홀을 관통하여 상기 플레이트와 상기 마스크 트레이를 분리 및 결합시키고, 상기 제 4 실린더에 결합된 제 4 핀이 상기 제 2 관통홀을 관통하여 기판을 언로딩 시킨다.And a third pin coupled to the third cylinder in the unloading portion passes through the first through hole to separate and engage the plate and the mask tray, and a fourth pin coupled to the fourth cylinder, The substrate is unloaded through the through hole.

상기 플레이트의 제 2 프레임에 형성되는 제 2 마그넷을 포함한다.
And a second magnet formed on a second frame of the plate.

본 발명의 기판 고정 유닛은 마그넷을 포함하는 플레이트와 마스크 트레이로 구성된다. 상기 기판 고정 유닛은 마그넷에 의해 마스크 트레이의 스틱의 처짐을 방지하며, 기판의 처짐을 방지할 수 있다. The substrate holding unit of the present invention comprises a plate including a magnet and a mask tray. The substrate fixing unit prevents the stick of the mask tray from sagging by the magnet, and prevents sagging of the substrate.

또한, 본 발명은 플레이트가 마스크 트레이와 실질적으로 동일한 형상, 즉 개구부를 가져 플레이트에 의한 기판의 열적 변형을 방지할 수 있다. 따라서 상기 기판 고정 유닛을 통하여 증착 품질을 향상시킬 수 있다.
Further, the present invention can prevent the plate from thermal deformation of the substrate by the plate having substantially the same shape as the mask tray, that is, the opening. Therefore, the quality of the deposition can be improved through the substrate fixing unit.

도 1a 및 도1b는 종래의 마스크 트레이를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 기판 고정 유닛의 개략적인 사시도이다.
도 3는 본 발명의 실시예에 따른 기판 고정 유닛의 단면도이다.
도 4a 내지 도4c는 본 발명의 실시예에 따른 유기물 증착 장치를 나타내는 단면도이다. 1A and 1B are cross-sectional views schematically showing a conventional mask tray.
2 is a schematic perspective view of a substrate holding unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a substrate holding unit according to an embodiment of the present invention.
4A to 4C are cross-sectional views illustrating an organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판고정 유닛 및 이를 포함하는 유기물 증착장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of a substrate fixing unit and an organic material deposition apparatus including the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 고정 유닛의 개략적인 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 고정 유닛의 단면도이다.   FIG. 2 is a schematic perspective view of a substrate fixing unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a sectional view of a substrate fixing unit according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 기판 고정 유닛(500)은 마스크 트레이(100)와 플레이트(150)를 포함한다.  Referring to FIGS. 2 and 3, the substrate holding unit 500 includes a mask tray 100 and a plate 150.

상기 마스크 트레이(100)는 사각틀 형상의 제 1 프레임(110)과, 상기 제 1 프레임(110) 내부에 위치하여 유기물이 기판(200)에 증착될 수 있는 제 1 개구부(160)를 형성하는 적어도 하나의 제 1 스틱(120)을 포함한다. The mask tray 100 includes a first frame 110 having a rectangular frame and at least a first frame 110 disposed inside the first frame 110 to form a first opening 160 in which an organic material can be deposited on the substrate 200, And includes a first stick 120.

상기 플레이트(150)는 사각틀 형상의 제 2 프레임(130)과, 상기 제 2 프레임(130)의 내부에 위치하여 제 2 개구부(170)를 형성하는 적어도 하나의 제 2 스틱(140)을 포함한다. 상기 플레이트(150)의 상기 제 2 스틱(140)은 기판(200)과 상기 마스크 트레이(100)의 상기 제 1 스틱(120)의 처짐을 방지할 수 있는 마그넷(400)을 포함한다. 따라서 상기 마그넷(400)이 상기 마스크 트레이(100)의 수직 위치를 고정하여 상기 제 1 스틱(120)의 처짐을 방지하고, 기판(200)의 처짐을 방지한다. 또한, 상기 플레이트의 상기 제 2 프레임(130)에도 상기 마그넷(400)이 위치하여 상기 마스크 트레이(100)의 상기 제 1 프레임(110)이 처지는 것을 방지한다. 따라서, 기판(200)의 처짐을 더욱 방지할 수 있다.The plate 150 includes a second frame 130 having a rectangular frame shape and at least one second stick 140 positioned inside the second frame 130 to form a second opening 170 . The second stick 140 of the plate 150 includes a substrate 400 and a magnet 400 that can prevent sagging of the first stick 120 of the mask tray 100. Therefore, the magnet 400 fixes the vertical position of the mask tray 100 to prevent the first stick 120 from sagging and prevent the substrate 200 from sagging. Also, the magnet 400 is positioned on the second frame 130 of the plate to prevent the first frame 110 of the mask tray 100 from sagging. Therefore, it is possible to further prevent the substrate 200 from sagging.

상기 플레이트가 판 형상일 경우, 고온의 증착 공정이 끝난 후 기판(200) 아래의 상기 마스크 트레이(100)는 상기 개구부(160)를 통해 온도가 빨리 떨어지지만 기판(200) 위의 상기 판 형상의 플레이트의 경우 온도가 느리게 떨어진다. 따라서 상기 마스크 트레이(100)와 상기 플레이트(150)의 온도 차이로 인하여 기판(200)의 열적 변형이 발생할 수 있다. When the plate is in the form of a plate, after the high temperature deposition process is completed, the mask tray 100 under the substrate 200 rapidly drops in temperature through the opening 160, In the case of plates, the temperature drops slowly. Therefore, thermal deformation of the substrate 200 may occur due to a temperature difference between the mask tray 100 and the plate 150.

그러나 본 발명에서는 상기 플레이트(150)에 제 2 개구부(170)를 형성함으로써 상기 마스크 트레이(100)와 상기 플레이트(150)를 실질적으로 동일한 형상을 가지며, 이에 따라 상기 마스크 트레이(100)와 상기 플레이트(150) 사이의 열적 불균형으로 인한 기판(200)의 열적 변형이 방지된다.However, in the present invention, the mask tray 100 and the plate 150 have substantially the same shape by forming the second openings 170 in the plate 150, Thermal deformation of the substrate 200 due to thermal imbalance between the substrate 150 and the substrate 150 is prevented.

이러한 기판 고정 유닛(500)은 기판(200)을 지지하는 상태로 이송되며, 기판(200)을 처리하는 증착 챔버(220)로 반입되어 증착 공정을 수행할 수 있다. (도 5 참조) The substrate fixing unit 500 is transferred in a state of supporting the substrate 200 and may be carried into the deposition chamber 220 for processing the substrate 200 to perform the deposition process. (See Fig. 5)

상기 마스크 트레이(100)의 각 모서리에는 제 1 관통홀(260a, 260b, 260c, 260d)이 형성된다. 상기 제 1 관통홀(260a, 260b, 260c, 260d)을 통하여 후술하는 상기 마스크 트레이(100)와 상기 플레이트(150)를 업, 다운시키는 제 1 핀(250a, 250b, 250c, 250d)이 구동된다. First through holes 260a, 260b, 260c, and 260d are formed at the corners of the mask tray 100, respectively. The first pins 250a, 250b, 250c, and 250d for driving up and down the mask tray 100 and the plate 150 to be described later are driven through the first through holes 260a, 260b, 260c, and 260d .

또한, 상기 마스크 트레이(100)의 각 모서리에 위치하는 상기 제 1 관통홀(260a, 260b, 260c, 260d)의 사이에는 제 2 관통홀(310a, 310b, 310c, 310d)이 형성된다. 상기 제 2 관통홀(310a, 310b, 310c, 310d)을 통하여 상기 기판(200)을 로딩, 언로딩 시키는 제 2 핀(300a, 300b, 300c, 300d)이 구동된다.
In addition, second through holes 310a, 310b, 310c and 310d are formed between the first through holes 260a, 260b, 260c and 260d located at the respective corners of the mask tray 100. The second pins 300a, 300b, 300c and 300d for loading and unloading the substrate 200 are driven through the second through holes 310a, 310b, 310c and 310d.

이에 의해 기판(200)의 로딩 및 언로딩이 가능하며, 이에 대하여 도 4a 내지 도4c를 참조하여 본 실시예에 따른 유기물 증착 장치에 대해 상세히 설명하도록 한다. By this, loading and unloading of the substrate 200 is possible, and the organic substance depositing apparatus according to this embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 4A to 4C.

도 4a내지 도4c는 본 발명의 실시예에 따른 유기물 증착 장치를 나타내는 단면도이다.   4A to 4C are cross-sectional views illustrating an organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4a내지 도4c를 참조하면, 유기물 증착 장치는 기판 고정 유닛(500), 로딩부(210), 증착 챔버(220), 언로딩부(230)를 포함한다.4A to 4C, the organic material deposition apparatus includes a substrate holding unit 500, a loading unit 210, a deposition chamber 220, and an unloading unit 230.

상기 기판 고정 유닛(500)은 사각틀 형상의 제 1 프레임(도 2의 110)과 유기물이 기판(200)에 증착될 수 있는 제 1 개구부(도 2의 160)가 마련되도록 상기 제 1 프레임(110) 내부의 적어도 하나의 제 1 스틱(도 2의 120)을 포함하는 마스크 트레이(도 2의 100)와, 사각틀 형상의 제 2 프레임(도 2의 130)과 제 2 개구부(도 2의 170)가 마련되도록 상기 제 2 프레임(도 2의 130) 내부에 적어도 하나의 제 2 스틱(도 2의 140)을 포함하여 실질적으로 상기 마스크 트레이(도 2의 100)와 동일한 형상을 갖는 플레이트(도 2의 150)를 포함한다. The substrate fixing unit 500 includes a first frame 110 (see FIG. 2) and a first frame 110 (see FIG. 2) in which organic material is deposited on the substrate 200. The first frame 110 2) and a second frame (130 in FIG. 2) and a second opening (170 in FIG. 2), each of which includes at least one first stick (120 in FIG. 2) (FIG. 2), including at least one second stick (140 in FIG. 2) inside the second frame (130 in FIG. 2) Of 150).

상기 로딩부(210)에는 제 1 실린더(미도시)와 제 2 실린더(미도시)가 위치되어 있다. 상기 제 1 실린더(미도시)에 끝에는 제 1 핀(250a, 250b, 250c, 250d)이 연결되어 상기 마스크 트레이(100)의 제 1 관통홀(260a, 260b, 260c, 260d)을 통해 상기 제 1 핀(250a, 250b, 250c, 250d)이 구동되며, 상기 제 2 실린더(미도시)의 끝에는 제 2 핀(300a, 300b, 300c, 300d)이 연결되어 상기 마스크 트레이(100)의 상기 제 2 관통홀(310a, 310b, 310c, 310d)을 통해 상기 제 2 핀(300a, 300b, 300c, 300d)이 구동된다. 상기 로딩부(210)에서 상기 기판 고정 유닛(500)에 기판(200)이 로딩된다. A first cylinder (not shown) and a second cylinder (not shown) are located in the loading part 210. The first pins 250a, 250b, 250c and 250d are connected to the end of the first cylinder (not shown), and the first pins 250a, 250b, 250c and 250d are connected through the first through holes 260a, 260b, 260c and 260d of the mask tray 100, The second pins 300a, 300b, 300c and 300d are connected to the ends of the second cylinder (not shown) to drive the second through-holes (not shown) of the mask tray 100, The second pins 300a, 300b, 300c and 300d are driven through the holes 310a, 310b, 310c and 310d. The substrate 200 is loaded onto the substrate fixing unit 500 at the loading unit 210. [

상기 증착 챔버(220)는 증착원(미도시)과 도가니(180)를 포함한다. 상기 도가니(180)에서 증착원을 분사하여 상기 로딩부(210)에서 상기 기판 고정 유닛(500)에 로딩된 기판(200)에 증착 공정을 수행한다.The deposition chamber 220 includes an evaporation source (not shown) and a crucible 180. The evaporation source is sprayed from the crucible 180 to perform a deposition process on the substrate 200 loaded on the substrate fixing unit 500 in the loading unit 210.

상기 언로딩부(230)에는 제 3 실린더(미도시)와 제 4 실린더(미도시)가 위치되어 있다. 상기 제 3 실린더(미도시)의 끝에는 제 3 핀(255a, 255b, 255c, 255d)이 연결되어 상기 마스크 트레이(100)의 제 1 관통홀(260a, 260b, 260c, 260d)을 통해 상기 제 3 핀(255a, 255b, 255c, 255d)이 구동되며, 상기 제 4 실린더(미도시)의 끝에는 제 4 핀(305a, 305b, 305c, 305d)이 연결되어 상기 마스크 트레이(100)의 상기 제 2 관통홀(310a, 310b, 310c, 310d)을 통해 상기 제 4 핀(305a, 305b, 305c, 305d)이 구동된다. 상기 언로딩부(230)에서 상기 기판 고정 유닛(500)에 로딩된 기판(200)이 언로딩된다. A third cylinder (not shown) and a fourth cylinder (not shown) are located in the unloading portion 230. Third pins (255a, 255b, 255c, 255d) are connected to the ends of the third cylinder (not shown), and the third pins (255a, 255b, 255c, 255d) are connected through the first through holes (260a, 260b, 260c, 260d) And fourth pins 305a, 305b, 305c, and 305d are connected to the ends of the fourth cylinder (not shown) to drive the second through-holes 255a, 255b, 255c, and 255d of the mask tray 100, The fourth pins 305a, 305b, 305c, and 305d are driven through the holes 310a, 310b, 310c, and 310d. The substrate 200 loaded on the substrate holding unit 500 is unloaded from the unloading unit 230.

이하, 본 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 동작에 대해 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, the operation of the organic material deposition apparatus according to the present embodiment will be described in detail.

도 4a를 참조하면, 상기 로딩부(210)에서 상기 마스크 트레이(100)와 상기 플레이트(150)가 정위치에 고정된다. 기판(200)을 상기 마스크 트레이(100)에 적재하기 위하여 상기 제 1 핀(250a, 250b, 250c, 250d)을 통해 상기 플레이트(150)를 위로 이동시켜, 상기 마스크 트레이(100)와 상기 플레이트(150)를 이격시킨다. 그리고 상기 제 2 핀(300a, 300b, 300c, 300d)을 상부로 구동시켜 기판(200)이 안착될 위치를 설정한다. 로봇을 이용하여 상기 제 2 핀(300a, 300b, 300c, 300d))의 위치에 맞게 기판(200)을 안착시킨 후, 상기 제 2 핀(300a, 300b, 300c, 300d)을 하부로 구동시키면 기판(200)이 상기 마스크 트레이(100) 상에 안착된다. 그리고 상기 제 1 핀(250a, 250b, 250c, 250d)을 하부로 구동시켜 상기 플레이트(150)와 기판(200), 상기 마스크 트레이(100)를 결합시킨다. Referring to FIG. 4A, the mask tray 100 and the plate 150 are fixed at a predetermined position in the loading unit 210. The plate 150 is moved upward through the first pins 250a, 250b, 250c and 250d in order to load the substrate 200 on the mask tray 100 so that the mask tray 100 and the plate 150). The second pins 300a, 300b, 300c, and 300d are driven upward to set the position where the substrate 200 is to be placed. When the second pins 300a, 300b, 300c and 300d are driven downward after the substrate 200 is mounted on the substrate 200 in accordance with the positions of the second pins 300a, 300b, 300c and 300d using a robot, (200) is seated on the mask tray (100). The first pins 250a, 250b, 250c and 250d are driven downward to couple the plate 150 and the substrate 200 and the mask tray 100 together.

그리고, 도 4b를 참조하면, 상기 기판(200)이 안착된 상기 기판 고정 유닛(500)은 상기 증착 챔버(220) 내부로 이동한다. 상기 증착 챔버(220)의 내부에서 기판(200)에 유기물이 증착되는 공정이 진행된다. 상기 증착 챔버(220) 내의 도가니(180)가 가열되면 증착원이 분사되어 상기 마스크 트레이(100)에 형성된 제 1 개구부(160)를 통해 기판(200) 위에 유기물이 증착된다. 상기 증착원은 도가니(180)로부터 분사되는 유기물질을 상기 마스크 트레이(100)를 통해 기판(200)에 균일하게 증착될 수 있도록 구성된다. Referring to FIG. 4B, the substrate fixing unit 500 on which the substrate 200 is mounted moves into the deposition chamber 220. A process of depositing an organic material on the substrate 200 in the deposition chamber 220 proceeds. When the crucible 180 in the deposition chamber 220 is heated, an evaporation source is sprayed and an organic material is deposited on the substrate 200 through the first opening 160 formed in the mask tray 100. The deposition source is configured to uniformly deposit the organic material injected from the crucible 180 on the substrate 200 through the mask tray 100.

도 4c를 참조하면, 증착이 끝난 후, 상기 기판(200)이 안착된 상기 기판 고정 유닛(500)은 상기 언로딩부(230)로 이동한다. 여기서 상기 제 3 핀(255a, 255b, 255c, 255d)을 상부로 구동하여 결합되어 있는 상기 플레이트(150)와 상기 마스크 트레이(100)를 이격시킨다. 그리고 상기 제 4 핀(305a, 305b, 305c, 305d)을 상부로 구동하여 기판을 상기 마스크 트레이(100)와 분리시킨다. 로봇을 이용하여 상기 기판(200)을 취출하여 후속 공정으로 이송시킨 후, 상기 제 4 핀(305a, 305b, 305c, 305d) 및 상기 제 3 핀(255a, 255b, 255c, 255d)을 차례로 하부로 구동하여 상기 플레이트와 상기 마스크 트레이(100)를 재결합시킨다. 상기 기판 고정 유닛(500)은 반송 공정을 통하여 로딩부(210)로 반송된다.
Referring to FIG. 4C, after the deposition, the substrate fixing unit 500 on which the substrate 200 is mounted moves to the unloading unit 230. The third pins 255a, 255b, 255c, and 255d are driven upward to separate the plate 150 and the mask tray 100 from each other. Then, the fourth pins 305a, 305b, 305c, and 305d are driven upward to separate the substrate from the mask tray 100. 305b, 305c, and 305d and the third pins 255a, 255b, 255c, and 255d are sequentially moved downward after the substrate 200 is taken out using the robot and transferred to a subsequent process And the plate and the mask tray 100 are recombined. The substrate fixing unit 500 is transported to the loading unit 210 through a transporting process.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

100 : 마스크 트레이 110 : 제 1 프레임
120 : 제 1 스틱 130 : 제 2 프레임
140 : 제 2 스틱 150 : 플레이트
160 : 제 1 개구부 170 : 제 2 개구부
180 : 도가니 200 : 기판
210 : 로딩부 220 : 증착챔버
230 : 언로딩부 400 : 마그넷
500 : 기판 고정 유닛
250 : 제 1 핀(250a, 250b, 250c, 250d)
255 : 제 3 핀(255a, 255b, 255c, 255d)
260 : 제 1 관통홀(260a, 260b, 260c, 260d)
300 : 제 2 핀(300a, 300b, 300c, 300d)
305 : 제 4 핀(305a, 305b, 305c, 305d)
310 : 제 2 관통홀(310a, 310b, 310c, 310d)100: mask tray 110: first frame
120: first stick 130: second frame
140: second stick 150: plate
160: first opening portion 170: second opening portion
180: crucible 200: substrate
210: loading part 220: deposition chamber
230: unloading part 400: magnet
500: substrate fixing unit
250: first pin (250a, 250b, 250c, 250d)
255: third pin (255a, 255b, 255c, 255d)
260: first through holes 260a, 260b, 260c and 260d,
300: second pin (300a, 300b, 300c, 300d)
305: Fourth pin (305a, 305b, 305c, 305d)
310: second through holes 310a, 310b, 310c, 310d,

Claims (9)

기판이 안착되며, 사각틀 형상의 제 1 프레임과, 제 1 프레임 내부에 결합되어 개구부를 형성하는 적어도 하나의 제 1 스틱을 포함하는 마스크 트레이;
상기 마스크 트레이의 상부에 위치하고, 사각틀 형상의 제 2 프레임과, 상기 제 1 스틱에 대응하여 적어도 하나의 제 2 스틱을 포함하며, 상기 제 2 스틱에 제 1 마그넷이 포함되는 플레이트를 포함하는 기판 고정 유닛.
A mask tray on which a substrate is mounted, the mask tray including a first frame of a rectangular frame shape and at least one first stick coupled to the inside of the first frame to form an opening;
A substrate fixed to the upper surface of the mask tray and including a second frame having a rectangular frame shape and at least one second stick corresponding to the first stick, unit.
제 1 항에 있어서,
상기 플레이트의 제 2 프레임에 제 2 마그넷을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.
The method according to claim 1,
And a second magnet on the second frame of the plate.
제 1 항에 있어서,
상기 마스크 트레이의 각 모서리에는 제 1 관통홀이 형성되고 제 1 핀이 상기 제 1 관통홀을 관통하여 플레이트와 마스크 트레이를 분리 및 결합시키는 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.
The method according to claim 1,
Wherein a first through hole is formed in each corner of the mask tray and a first fin passes through the first through hole to separate and engage the plate and the mask tray.
제 1 항에 있어서,
상기 마스크 트레이의 제 1 관통홀 사이에 제 2 관통홀이 형성되고 제 2 핀이 상기 제 2 관통홀을 관통하여 상기 마스크 트레이에 상기 기판을 로딩 및 언로딩 시키는 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.
The method according to claim 1,
Wherein a second through hole is formed between the first through holes of the mask tray and a second fin passes through the second through hole to load and unload the substrate to the mask tray.
기판이 안착되며, 사각틀 형상의 제 1 프레임과, 제 1 프레임 내부에 결합되어 개구부를 형성하는 적어도 하나의 제 1 스틱을 포함하는 마스크 트레이와, 상기 마스크 트레이의 상부에 위치하고 사각틀 형상의 제 2 프레임과 상기 제 1 스틱에 대응하여 적어도 하나의 제 2 스틱을 포함하며 상기 제 2 스틱에 제 1 마그넷이 포함되는 플레이트를 포함하는 기판 고정 유닛;
상기 플레이트를 구동하는 제 1 실린더와 기판을 구동하는 제 2 실린더를 포함하고, 상기 기판 고정 유닛에 기판을 로딩하는 로딩부;
상기 기판이 상기 기판 고정 유닛에 안착된 상태에서 상기 개구부를 통해 증착 공정을 수행하는 증착 챔버;
상기 플레이트를 구동하는 제 3 실린더와 기판을 구동하는 제 4 실린더를 포함하고, 상기 증착 공정이 끝난 후 상기 기판 고정 유닛에서 상기 기판을 언로딩하는 언로딩부를 포함하는 유기물 증착 장치.
A mask tray on which a substrate is placed and including a first frame of a rectangular frame shape and at least one first stick coupled to the inside of the first frame to form an opening portion; And a plate including at least one second stick corresponding to the first stick and including a first magnet in the second stick;
A loading unit including a first cylinder for driving the plate and a second cylinder for driving the substrate, the loading unit loading the substrate to the substrate holding unit;
A deposition chamber for performing a deposition process through the opening while the substrate is mounted on the substrate holding unit;
And an unloading unit including a third cylinder for driving the plate and a fourth cylinder for driving the substrate, the unloading unit unloading the substrate from the substrate holding unit after the deposition process.
제 5 항에 있어서,
상기 마스크 트레이의 각 모서리에는 제 1 관통홀과 제 2 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the first through hole and the second through hole are formed in each corner of the mask tray.
제 6 항에 있어서,
상기 로딩부에서 상기 제 1 실린더에 결합된 제 1 핀이 상기 제 1 관통홀을 관통하여 상기 플레이트와 상기 마스크 트레이를 분리 및 결합시키고, 상기 제 2 실린더에 결합된 제 2 핀이 상기 제 2 관통홀을 관통하여 상기 기판을 로딩시키는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
The method according to claim 6,
A first pin coupled to the first cylinder in the loading portion passes through the first through hole to separate and couple the plate and the mask tray, and a second pin coupled to the second cylinder passes through the second through- And the substrate is loaded through the hole.
제 5항에 있어서,
상기 언로딩부에서 상기 제 3 실린더에 결합된 제 3 핀이 상기 제 1 관통홀을 관통하여 상기 플레이트와 상기 마스크 트레이를 분리 및 결합시키고, 상기 제 4 실린더에 결합된 제 4 핀이 상기 제 2 관통홀을 관통하여 기판을 언로딩 시키는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
6. The method of claim 5,
And a third pin coupled to the third cylinder in the unloading portion passes through the first through hole to separate and engage the plate and the mask tray, and a fourth pin coupled to the fourth cylinder, And the substrate is unloaded through the through hole.
제 5 항에 있어서,
상기 플레이트의 제 2 프레임에 형성되는 제 2 마그넷을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치. 6. The method of claim 5,
And a second magnet formed on a second frame of the plate.
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