KR101481095B1 - Apparatus for clamping substrate - Google Patents

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    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment

Abstract

본 발명은 기판의 클램핑 장치에 관한 것이다. 본 발명은 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서, 상기 셔틀에 고정되는 몸체; 상기 몸체에 회전가능하게 설치되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 어셈블리; 및 상기 클램핑 어셈블리의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하고, 상기 클램핑 어셈블리가 상기 푸셔에 의해 1차 회전 상태에서 상기 기판이 언로딩되고, 상기 클램핑 어셈블리의 1차 회전 상태보다 더 회전된 2차 회전 상태에서 상기 마스크가 언로딩될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 푸셔의 동작에 연동하여 두 단계에 걸쳐 클램핑 플레이트가 회전됨으로써, 기판 및 마스크를 모두 언로딩할 수 있다.The present invention relates to a clamping device for a substrate. A clamping apparatus for a substrate for clamping a substrate supported on a shuttle and having a mask on one side thereof, the clamping apparatus comprising: a body fixed to the shuttle; A clamping assembly rotatably mounted on the body for clamping the substrate; And a pusher for pressing one side of the clamping assembly to rotate the clamping assembly to unclamp the substrate, wherein the clamping assembly is unloaded from the substrate in the primary rotation state by the pusher, The mask can be unloaded in the secondary rotation state rotated more than the vehicle rotation state. According to the present invention, both the substrate and the mask can be unloaded by rotating the clamping plate in two steps in conjunction with the operation of the pusher.

Description

기판의 클램핑 장치{Apparatus for clamping substrate}[0001] Apparatus for clamping substrate [0002]

본 발명은 기판의 클램핑 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클램핑된 기판과 마스크를 두 단계로 나누어 언로딩할 수 있는 기판의 클램핑 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clamping apparatus for a substrate, and more particularly, to a clamping apparatus for a substrate which can unload a clamped substrate and a mask in two stages.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >

진공열 증착방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material, Evaporation.

이러한 방법으로 유기 전계 발광소자를 제조하는 과정에서 기판을 안정적으로 클램핑하는 작업이 필요하다. 국내 공개특허 제10-2008-0110577호에는 기판을 클램핑하는 클램핑 고정구에 대하여 개시하고 있다.In this way, it is necessary to stably clamp the substrate in the process of manufacturing the organic electroluminescent device. Korean Patent Laid-Open No. 10-2008-0110577 discloses a clamping fixture for clamping a substrate.

하지만, 상기 클램핑 고정구는 작업자가 클램핑 고정구를 일일이 작동시켜야 하는 불편이 있으며, 언클램핑 상태로 회전시킨 상태에서 외력에 의해 기판 쪽으로 회전될 우려도 있다. 따라서, 기판의 클램핑 또는 언클램핑 상태를 안정적으로 유지할 수 있는 기판의 클램핑 장치가 필요하다.However, the clamping fixture is inconvenient for the operator to individually operate the clamping fixture, and may be rotated toward the substrate by the external force in the state of being rotated in the unclamping state. Therefore, there is a need for a clamping device for a substrate that can stably maintain the clamping or unclamping state of the substrate.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 푸셔의 동작에 의하여 기판의 클램핑 또는 언클램핑을 수행하고 기판뿐만 아니라 마스크도 쉽게 언로딩이 이루어질 수 있는 기판의 클램핑 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a method of clamping or unclamping a substrate by operation of a pusher, Device.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 기판 클램핑 장치는 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서, 상기 셔틀에 고정되는 몸체; 상기 몸체에 회전가능하게 설치되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 어셈블리; 및 상기 클램핑 어셈블리의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하고, 상기 클램핑 어셈블리가 상기 푸셔에 의해 1차 회전 상태에서 상기 기판이 언로딩되고, 상기 클램핑 어셈블리의 1차 회전 상태보다 더 회전된 2차 회전 상태에서 상기 마스크가 언로딩될 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate clamping apparatus for clamping a substrate supported on a shuttle and having a mask adhered to a surface thereof, the substrate clamping apparatus comprising: A body fixed to the shuttle; A clamping assembly rotatably mounted on the body for clamping the substrate; And a pusher for pressing one side of the clamping assembly to rotate the clamping assembly to unclamp the substrate, wherein the clamping assembly is unloaded from the substrate in the primary rotation state by the pusher, The mask can be unloaded in the secondary rotation state rotated more than the vehicle rotation state.

상기 클램핑 어셈블리는, 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트; 상기 몸체에 설치되는 회전축; 상기 회전축에 구비되어 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 제공하는 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재; 및 상기 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재에 각각 탄성 지지되는 제1 링크부재 및 제2 링크부재를 포함하고, 상기 제1 링크부재가 1차 회전된 상태에서 상기 제1 링크부재는 상기 제2 링크부재에 형성된 걸림부에 걸릴 수 있다.The clamping assembly comprising: a clamping plate for clamping the substrate; A rotating shaft installed on the body; A first elastic member and a second elastic member provided on the rotating shaft to provide an elastic force in a direction in which the clamping plate clamps the substrate; And a first link member and a second link member rotatably installed on the rotary shaft, the first link member and the second link member elastically supported by the first elastic member and the second elastic member, respectively, The first link member may be hooked to the engagement portion formed on the second link member.

상기 몸체는, 하판; 및 상기 하판의 양측에 직립되게 설치되는 측판을 포함하고, 상기 회전축은 상기 측판에 양단이 지지될 수 있다. The body includes a lower plate; And a side plate installed upright on both sides of the lower plate, wherein the rotation axis can be supported at both ends of the side plate.

상기 제1 링크부재는 상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장될 수 있다. The first link member may be inclined at an angle at an end of the clamping plate.

상기 제2 링크부재는 ??자 형상으로 형성되고, 그 사이에 상기 제1 링크부재가 회전되게 설치될 수 있다. The second link member may be formed in a letter shape, and the first link member may be disposed between the second link member and the first link member.

상기 클램핑 플레이트는 상기 1차 회전 시 40°이상으로 회전되고, 상기 2차 회전 시 35°이상으로 회전될 수 있다. The clamping plate may be rotated by 40 ° or more during the first rotation and may be rotated by 35 ° or more during the second rotation.

상기 2차 링크부재는 상기 회전축에 회전가능하게 설치된 링크부재 블록에 결합될 수 있다. The secondary link member may be coupled to a link member block rotatably installed on the rotation shaft.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 기판 클램핑 장치는 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서, 상기 셔틀에 고정되는 몸체; 상기 몸체에 설치된 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트; 상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장되고, 상기 회전축에 구비된 제1 탄성부재에 탄성 지지되는 제1 링크; 상기 회전축에 구비된 제2 탄성부재에 탄성 지지되고, 상기 제1 링크가 1차 회전된 상태에서 일측에 걸림되는 제2 링크; 및 상기 제1 링크의 일측을 눌러 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a substrate clamping apparatus according to the present invention is a substrate clamping apparatus for clamping a substrate supported on a shuttle and having a mask adhered on one surface thereof, the apparatus comprising: a body fixed to the shuttle; A clamping plate rotatably installed on a rotating shaft provided on the body, for clamping the substrate; A first link which is inclined at an angle at an end of the clamping plate and elastically supported by a first elastic member provided on the rotary shaft; A second link elastically supported by a second elastic member provided on the rotating shaft and hooked to one side in a state where the first link is rotated first; And a pusher for pressing one side of the first link to cause the clamping plate to unclamp the substrate.

본 발명에 의하면, 푸셔의 동작에 연동하여 두 단계에 걸쳐 클램핑 플레이트가 회전됨으로써, 기판 및 마스크를 모두 언로딩할 수 있다.According to the present invention, the clamping plate is rotated in two steps in conjunction with the operation of the pusher, whereby both the substrate and the mask can be unloaded.

또한, 탄성부재의 탄성력의 유무에 따라 클램핑 로드가 작동되기 때문에 보다 안정적인 기판의 클램핑 또는 언클램핑이 가능하다. Further, since the clamping rod is operated depending on the presence or absence of the elastic force of the elastic member, more stable clamping or unclamping of the substrate is possible.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 클램핑 장치를 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 사시도.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판을 클램핑한 상태를 보인 측단면도.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판을 클램핑한 상태를 보인 평면도.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 측단면도.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 평면도.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 측단면도.
도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 평면도.1 is a perspective view showing a clamping device for a substrate according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a perspective view showing a state where the clamping plate is first rotated according to an embodiment of the present invention; FIG.
3 is a perspective view showing a state in which the clamping plate is rotated secondarily according to an embodiment of the present invention;
Figure 4a is a cross-sectional side view of a substrate clamped in accordance with one embodiment of the present invention.
FIG. 4B is a plan view of a substrate clamped according to an embodiment of the present invention; FIG.
5A is a side cross-sectional view showing a state in which the clamping plate is first rotated according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5B is a plan view showing a state in which the clamping plate is first rotated according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 6A is a side sectional view showing a state in which the clamping plate is rotated secondarily according to an embodiment of the present invention; FIG.
6B is a plan view showing a state in which the clamping plate is rotated secondarily according to an embodiment of the present invention;

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하에서는 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a clamping apparatus for a substrate according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 클램핑 장치를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 1차 회전된 상태를 보인 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 클램핑 플레이트가 2차 회전된 상태를 보인 사시도이다. FIG. 1 is a perspective view showing a clamping device of a substrate according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a state where a clamping plate is first rotated according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6 is a perspective view showing a state in which the clamping plate is rotated secondarily according to an embodiment.

이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치는 상기 셔틀(1)에 고정되는 몸체(10); 상기 몸체(10)에 회전가능하게 설치되어 상기 기판(2)을 클램핑하는 클램핑 어셈블리(20); 및 상기 클램핑 어셈블리(20)의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리(20)가 상기 기판(2)을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔(40)를 포함한다. According to the drawings, a clamping device for a substrate according to the present invention includes a body 10 fixed to the shuttle 1; A clamping assembly (20) rotatably mounted on the body (10) and clamping the substrate (2); And a pusher 40 for pressing one side of the clamping assembly 20 to rotate the clamping assembly 20 to unclamp the substrate 2.

유기 전계 발광소자는 진공열 증착방법에 의하여 유기 박막이나 금속 박막을 형성하기 위한 방식으로 클러스터형 증착 시스템이나 인라인 증착 시스템이 적용되고 있는데, 이 중 인라인 증착 시스템은 복수의 공정 챔버를 일렬로 배열한 상태에서 복수의 기판을 셔틀(1)에 각각 장착하여 연속적으로 이송시키면서 공정을 수행하는 방식이다. 상기 셔틀(1)은 인라인 증착 시스템에서 사용되는 이송 수단을 말한다. 참고로, 도면부호 4는 마스크가 지지되는 마스크 프레임이다. A cluster type deposition system or an inline deposition system is applied to form an organic thin film or a metal thin film by a vacuum thermal deposition method. Of these, an inline deposition system includes a plurality of process chambers arranged in a line A plurality of substrates are mounted on the shuttle 1, and the process is performed while continuously transferring the substrates. The shuttle 1 refers to the transport means used in the inline deposition system. Reference numeral 4 denotes a mask frame for supporting a mask.

몸체(10)는 셔틀(1)에 고정되는 부분으로서, 대략 소정의 부피를 가진 블록 형상으로 형성된다. 몸체(10)는 하판(12)과, 하판(12)의 양측에 직립되게 설치되고 회전축(24)이 양단에 지지되는 측판(14)을 포함하여 대략 'ㄷ'자 형상으로 형성되나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이상의 몸체(10)의 측판(14) 사이에 해당되는 공간에는 상기 클램핑 어셈블리(20)가 설치된다. The body 10 is a part fixed to the shuttle 1 and is formed into a block shape having a substantially predetermined volume. The body 10 includes a lower plate 12 and a side plate 14 which is installed upright on both sides of the lower plate 12 and on which the rotation axis 24 is supported at both ends, But is not limited to. The clamping assembly 20 is installed in a space between the side plates 14 of the body 10.

클램핑 어셈블리(20)는 상기 기판(2)을 직접 클램핑하는 클램핑 플레이트(21); 상기 몸체(10)에 설치되는 회전축(24); 상기 회전축(24)에 구비되어 상기 클램핑 플레이트(21)가 상기 기판(2)을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 제공하는 제1 탄성부재(27) 및 제2 탄성부재(34); 및 상기 회전축(24)에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1 탄성부재(27) 및 제2 탄성부재(34)에 각각 탄성 지지되는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)를 포함한다. The clamping assembly (20) comprises a clamping plate (21) for directly clamping the substrate (2); A rotating shaft 24 installed on the body 10; A first elastic member 27 and a second elastic member 34 provided on the rotary shaft 24 to provide an elastic force in a direction in which the clamping plate 21 clamps the substrate 2; And a first link member 26 and a second link member 30 rotatably installed on the rotary shaft 24 and elastically supported by the first and second elastic members 27 and 34, .

클램핑 플레이트(21)는 기판(2)을 안정적으로 클램핑할 수 있도록 소정의 폭을 가진 플레이트 형상을 가진다. 그리고, 클램핑 플레이트(21)의 단부에는 기판(2)과 직접 접촉하는 접촉부(22)가 구비된다. 또한, 회전축(24)은 몸체(10)의 측판(14)을 가로질러 설치된다. The clamping plate 21 has a plate shape having a predetermined width so that the substrate 2 can be stably clamped. At the end of the clamping plate 21, there is provided a contact portion 22 in direct contact with the substrate 2. Further, the rotary shaft 24 is installed across the side plate 14 of the body 10.

제1 링크부재(26)는 클램핑 플레이트(21)와 소정 각도로 경사지게 연장된다. 본 도면에서는 제1 링크부재(26)가 클램핑 플레이트(21)에 별도로 결합되는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니고 클램핑 플레이트(21)와 제1 링크부재(26)가 일체로 형성될 수도 있다. 제1 링크부재(26)는 푸셔(40)가 직접적으로 누르는 부분으로서, 대략 납작한 판상으로 형성된다. 이와 같이 제1 링크부재(26)는 클램핑 플레이트(21)와 일체로 동작되도록 되어 있어 푸셔(40)가 제1 링크부재(26)를 누르게 되면 클램핑 플레이트(21)와 함께 회전될 수 있다. The first link member 26 extends obliquely with the clamping plate 21 at an angle. Although the first link member 26 is illustrated as being separately coupled to the clamping plate 21 in this figure, the clamping plate 21 and the first link member 26 may be integrally formed. The first link member 26 is a portion directly pressed by the pusher 40, and is formed in a substantially flat plate-like shape. The first link member 26 is operated integrally with the clamping plate 21 so that the pusher 40 can be rotated together with the clamping plate 21 when the pusher 40 presses the first link member 26. [

그리고, 제1 링크부재(26)는 회전축(24)에 회전가능하게 설치되고, 제1 탄성부재(27)에 탄성 지지되어 있어 기판(2)을 클램핑하는 방향으로 회전력을 부여받는다. 따라서, 푸셔(40)가 제1 링크부재(26)를 누르게 되면 제1 탄성부재(27)의 탄성력이 작용하면서 제1 링크부재(26)의 회전이 이루어진다. 제1 링크부재(26)는 푸셔(40)의 외력에 의하여 계속하여 회전되는 것은 아니고, 제2 링크부재(30)에 걸리는 시점까지만 1차 회전된다. The first link member 26 is rotatably installed on the rotary shaft 24 and elastically supported by the first elastic member 27 so that the first link member 26 is given a rotational force in the direction of clamping the substrate 2. [ Accordingly, when the pusher 40 presses the first link member 26, the elasticity of the first elastic member 27 acts to rotate the first link member 26. The first link member 26 is not rotated continuously by the external force of the pusher 40 but is first rotated to the point where it is caught by the second link member 30.

여기에서 제1 링크부재(26)의 1차 회전이 이루어지면, 이와 동시에 기판(2)의 언클램핑이 이루어지게 되고, 기판(2)과 클램핑 플레이트(21)가 간섭되지 않기 때문에 도 5a에서와 같이 기판(2)의 상방으로 언로딩될 수 있다. 즉, 제1 링크부재(26)의 1차 회전은 기판(2)의 언로딩을 위한 작동이라고 볼 수 있다. Here, when the first rotation of the first link member 26 is performed, unclamping of the substrate 2 is performed at the same time, and since the substrate 2 and the clamping plate 21 are not interfered with each other, And can be unloaded upwardly of the substrate 2 as well. That is, the primary rotation of the first link member 26 can be regarded as an operation for unloading the substrate 2.

다음으로, 제2 링크부재(30)는 몸체(10)와 유사한 형상을 가지는데, 대략 'ㄷ'자 형상으로 형성된다. 제2 링크부재(30) 또한 회전축(24)에 회전가능하게 설치되고, 제2 탄성부재(29)에 탄성 지지되어 있어 기판(2)을 클램핑하는 방향으로 회전력을 부여받는다. 그리고, 제2 링크부재(30)에는 걸림부(32)가 좌우 방향으로 가로질러 형성된다. 걸림부(32)는 제1 링크부재(26)가 회전되다가 걸리는 부분으로서, 걸림부(32)에 제1 링크부재(26)가 걸린 이후부터는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 함께 2차 회전을 하게 된다. Next, the second link member 30 has a shape similar to that of the body 10, and is formed in a substantially 'C' shape. The second link member 30 is also rotatably mounted on the rotary shaft 24 and elastically supported by the second elastic member 29 to receive a rotational force in the direction of clamping the substrate 2. The second link member 30 is formed with a latching portion 32 transversely to the left and right direction. After the first link member 26 is engaged with the engaging portion 32, the engaging portion 32 is engaged with the first link member 26 and the second link member 26 30 are rotated together.

본 실시예에서 이와 같이 제2 링크부재(30)가 제1 링크부재(26)와 함께 2차 회전이 이루어지도록 한 것은 도 5a에서와 같이 1차 회전이 이루어진 상태에서는 마스크가 장착된 마스크 프레임(4)과 간섭이 발생하기 때문에 1차 회전보다 더 회전되도록 하여 마스크의 언로딩이 가능하도록 한 것이다. 물론, 한번에 회전이 되도록 하여 기판(2) 및 마스크의 언로딩을 수행할 수도 있지만, 구조물의 형상에서 발생하는 제약 조건을 피하기 위한 이와 같이 설계한 것이다. In this embodiment, the second link member 30 is rotated secondarily with the first link member 26 in the state where the first rotation is performed as shown in FIG. 5A, 4), so that it is rotated more than the first rotation so that unloading of the mask can be performed. Of course, the unloading of the substrate 2 and the mask can be carried out by rotating the substrate 2 at once, but it is designed in such a way as to avoid the constraint that arises in the shape of the structure.

한편, 본 도면에서는 제2 링크부재(30)가 직접적으로 회전축(24)에 설치되는 것은 아니고, 별도의 링크부재 블록(36)을 통해 간접적으로 회전축(24)에 회전가능하게 설치된다. 하지만, 이에 제한되는 것은 아니고 제2 링크부재(30)가 링크부재 블록(36)과 일체로 형성되어 직접 회전축(24)에 설치될 수도 있고, 링크부재 블록(36) 없이 제2 링크부재(30)만 회전축(24)에 설치되는 것도 가능할 것이다. In the figure, the second link member 30 is not directly provided on the rotary shaft 24 but is indirectly rotatably installed on the rotary shaft 24 through a separate link member block 36. [ The second link member 30 may be integrally formed with the link member block 36 so as to be directly attached to the rotary shaft 24 and the second link member 30 May be provided on the rotary shaft 24 only.

또한, 본 실시예에서는 상술한 링크부재 블록(36)을 중심으로 내측에는 제1 탄성부재(26)가 구비되고, 외측에는 제2 탄성부재(30)가 각각 회전축(24)에 구비된다. 물론, 이는 하나의 실시예를 예시한 것에 불과하고, 탄성부재의 설치 위치는 변경될 수도 있다.In the present embodiment, the first elastic member 26 is provided on the inner side of the link member block 36 and the second elastic member 30 is provided on the outer side of the rotary shaft 24, respectively. Of course, this is merely one example, and the installation position of the elastic member may be changed.

한편, 셔틀(1)의 상방에는 푸셔(40)가 상하로 이동가능하게 설치된다. 푸셔(40)는 별도의 구조물에 설치되어 이동될 수도 있고, 셔틀(1)의 일측에 이동가능하게 설치될 수 있다. 푸셔(40)는 최초에는 상방에 위치한 상태에서 기판(2) 및 마스크의 언로딩 시 하방으로 이동되면서 제1 링크부재(26)를 눌러주는 역할을 한다.
On the other hand, a pusher 40 is provided above the shuttle 1 so as to be movable up and down. The pusher 40 may be installed in a separate structure and may be movably installed on one side of the shuttle 1. The pusher 40 is initially moved downward when unloading the substrate 2 and the mask in a state in which the pusher 40 is located at the upper position and presses the first link member 26.

이하에서는 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치의 작동 과정을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the clamping device of the substrate according to the present invention will be described in detail.

도 4 내지 6은 본 발명에 의한 기판의 클램핑 장치의 작동 과정을 차례대로 도시한 것이다.FIGS. 4 to 6 sequentially illustrate the operation of the clamping device of the substrate according to the present invention.

이에 도시된 바에 따르면, 기판(2)이 클램핑된 상태에서 언클램핑 신호가 입력되면(수동으로 조작도 가능), 도 4a에서와 같이 푸셔(40)가 제1 링크부재(26)를 향하여 하강한다. 하강한 푸셔(40)제1 링크부재(26)는 제1 링크부재(26)를 눌러 제1 링크부재(26) 및 클램핑 플레이트(21)를 함께 시계 반대방향으로 회전시킨다. 이때, 제1 링크부재(26)는 푸셔(40)의 하강력에 의해 제1 탄성부재(27)의 탄성력에 반대하여 회전된다. As shown in FIG. 4A, when the unclamping signal is input (manual operation is possible) while the substrate 2 is clamped, the pusher 40 descends toward the first link member 26 as shown in FIG. 4A . The lowered pusher 40 first link member 26 presses the first link member 26 and rotates the first link member 26 and the clamping plate 21 together counterclockwise. At this time, the first link member 26 is rotated against the elastic force of the first elastic member 27 by the downward force of the pusher 40.

제1 링크부재(26) 및 클램핑 플레이트(21)는 푸셔(40)의 동작에 의해 도 5a에서와 같이 1차 회전된다. 본 실시예에서는 제1 링크부재(26) 및 클램핑 플레이트(21)가 1차 회전되었을 때, 40°(θ1)만큼 회전되는 것으로 도시하였으나, 상기 각도범위에 제한되는 것은 아니다. The first link member 26 and the clamping plate 21 are first rotated by the operation of the pusher 40 as in Fig. In the present embodiment, the first link member 26 and the clamping plate 21 are rotated by 40 degrees (? 1) when they are first rotated, but are not limited thereto.

상술한 바와 같이, 제1 링크부재(26)가 1차 회전되면 클램핑 플레이트(21)가 상방으로 들린 상태가 된다. 그리고, 기판(2)의 언클랭핑이 이루어지기 때문에 기판(2)이 상방으로 이동될 수 있는 상태가 된다. 따라서, 제1 링크부재(26)의 1차 회전 상태에서 기판(2)의 언로딩이 이루어진다. As described above, when the first link member 26 is first rotated, the clamping plate 21 is lifted upward. Since the unclipping of the substrate 2 is performed, the substrate 2 can be moved upward. Therefore, unloading of the substrate 2 is performed in the first rotation state of the first link member 26. [

이상에서 설명한 제1 링크부재(26)의 1차 회전 상태에서는 기판(2)의 언로딩은 가능하나, 마스크의 언로딩은 이루어질 수 없다. 즉, 도 5a에서와 같이 마스크가 장착된 마스크 프레임(4)이 클램핑 플레이트(21)와 간섭되기 때문에 상방으로의 이동이 불가한 것이다. In the first rotation state of the first link member 26 described above, unloading of the substrate 2 is possible, but unloading of the mask can not be performed. That is, as shown in FIG. 5A, since the mask frame 4 equipped with the mask interferes with the clamping plate 21, it is impossible to move upward.

따라서, 본 실시예에서는 제1 링크부재(26)가 1차 회전된 상태에서 제2 링크부재(30)의 걸림부(32)에 걸리도록 하고, 이때부터는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 함께 2차 회전되도록 한 것이다. Therefore, in the present embodiment, the first link member 26 is engaged with the engagement portion 32 of the second link member 30 in a state where the first link member 26 is first rotated, And the link member 30 are rotated together.

푸셔(40)가 계속하여 하강하게 되면, 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 도 6a에서와 같이 2차 회전된다. 이때, 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)는 푸셔(40)의 하강력에 의해 제2 탄성부재(34)의 탄성력에 반대하여 회전된다. 본 실시예에서는 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 35°(θ2-θ1)만큼 회전되는 것으로 도시하였으나, 상기 각도범위에 제한되는 것은 아니다. When the pusher 40 is continuously lowered, the first link member 26 and the second link member 30 are secondarily rotated as shown in Fig. 6A. At this time, the first link member 26 and the second link member 30 are rotated against the elastic force of the second elastic member 34 by the lower force of the pusher 40. In the present embodiment, the first link member 26 and the second link member 30 are shown rotated by 35 degrees ([theta] 2 - [theta] 1), but the present invention is not limited thereto.

상술한 바와 같이, 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 2차 회전되면 클램핑 플레이트(21)가 더 상방으로 들린 상태가 된다. 그리고, 클램핑 플레이트(21)가 충분히 상방으로 들린 상태가 되므로, 마스크 프레임(4)이 상방으로 이동할 수 있게 된다. 따라서, 본 상태에서 마스크의 언로딩이 이루어질 수 있다. As described above, when the first link member 26 and the second link member 30 are secondarily rotated, the clamping plate 21 is further lifted upward. Since the clamping plate 21 is fully lifted upward, the mask frame 4 can be moved upward. Therefore, unloading of the mask can be performed in this state.

한편, 기판(2) 및 마스크의 언로딩 상태에서 다시 기판(2) 및 마스크를 로딩시키려면, 기판(2) 및 마스크를 도 4a에서의 로딩 위치로 이동시킨다. 이 상태에서 푸셔(40)가 상방으로 상승하게 되면, 제1 탄성부재(27) 및 제2 탄성부재(34)의 탄성력에 의하여 제1 링크부재(26) 및 제2 링크부재(30)가 회전되고, 도 4a에서의 로딩 위치로 클램핑 플레이트(21)가 회전되어 기판(2)을 클램핑하게 된다. On the other hand, to load the substrate 2 and the mask again in the unloaded state of the substrate 2 and the mask, the substrate 2 and the mask are moved to the loading position in Fig. 4A. The first link member 26 and the second link member 30 are rotated by the elastic force of the first elastic member 27 and the second elastic member 34, , And the clamping plate 21 is rotated to the loading position in Fig. 4A to clamp the substrate 2. Fig.

이상에서 본 발명의 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 다양한 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It belongs to the scope of right.

1 : 셔틀 2 : 기판
4 : 마스크 프레임 10 : 몸체
12 : 하판 14 : 측판
20 : 클램핑 어셈블리 21 : 클램핑 플레이트
22 : 접촉부 24 : 회전축
26 : 제1 링크부재 27 : 제1 탄성부재
30 : 제2 링크부재 32 : 걸림부
34 : 제2 탄성부재 36 : 링크부재 블록
40 : 푸셔1: shuttle 2: substrate
4: mask frame 10: body
12: Lower plate 14: Side plate
20: clamping assembly 21: clamping plate
22: contact portion 24:
26: first link member 27: first elastic member
30: second link member 32:
34: second elastic member 36: link member block
40: pusher

Claims (8)

셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서,
상기 셔틀에 고정되는 몸체;
상기 몸체에 회전가능하게 설치되어 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 어셈블리; 및
상기 클램핑 어셈블리의 일측을 눌러 상기 클램핑 어셈블리가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하고,
상기 클램핑 어셈블리가 상기 푸셔에 의해 1차 회전 상태에서 상기 기판이 언로딩되고, 상기 클램핑 어셈블리의 1차 회전 상태보다 더 회전된 2차 회전 상태에서 상기 마스크가 언로딩되며,
상기 클램핑 어셈블리는,
상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트;
상기 몸체에 설치되는 회전축;
상기 회전축에 구비되어 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 클램핑하는 방향으로 탄성력을 제공하는 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재; 및
상기 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 제1 탄성부재 및 제2 탄성부재에 각각 탄성 지지되는 제1 링크부재 및 제2 링크부재를 포함하고,
상기 제1 링크부재가 1차 회전된 상태에서 상기 제1 링크부재는 상기 제2 링크부재에 형성된 걸림부에 걸리는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.CLAIMS 1. A clamping device for a substrate for clamping a substrate, the clamping device being supported on a shuttle and having a mask on one side thereof,
A body fixed to the shuttle;
A clamping assembly rotatably mounted on the body for clamping the substrate; And
And a pusher for pressing one side of the clamping assembly to rotate the clamping assembly to unclamp the substrate,
The clamping assembly is unloaded from the primary rotation state by the pusher and the mask is unloaded in a secondary rotation state that is more rotated than the primary rotation state of the clamping assembly,
The clamping assembly comprising:
A clamping plate for clamping the substrate;
A rotating shaft installed on the body;
A first elastic member and a second elastic member provided on the rotating shaft to provide an elastic force in a direction in which the clamping plate clamps the substrate; And
And a first link member and a second link member rotatably installed on the rotating shaft and elastically supported by the first and second elastic members,
Wherein the first link member is engaged with the engagement portion formed on the second link member when the first link member is rotated first. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 몸체는,
하판; 및
상기 하판의 양측에 직립되게 설치되는 측판을 포함하고,
상기 회전축은 상기 측판에 양단이 지지되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.[2] The apparatus of claim 1,
Lower plate; And
And side plates erected on both sides of the lower plate,
And the rotary shaft is supported at both ends of the side plate. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 링크부재는 상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first link member extends obliquely at an angle at an end of the clamping plate. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 링크부재는 'ㄷ'자 형상으로 형성되고, 그 사이에 상기 제1 링크부재가 회전되게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.The method according to claim 1,
Wherein the second link member is formed in a 'C' shape, and the first link member is rotatably installed therebetween. 제 1 항에 있어서,
상기 클램핑 플레이트는 상기 1차 회전 시 40°이상으로 회전되고, 상기 2차 회전 시 35°이상으로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.The method according to claim 1,
Wherein the clamping plate is rotated by 40 DEG or more in the first rotation and is rotated by 35 DEG or more in the second rotation. 제 1 항에 있어서,
상기 2차 링크부재는 상기 회전축에 회전가능하게 설치된 링크부재 블록에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.The method according to claim 1,
Wherein the secondary link member is coupled to a link member block rotatably provided on the rotation shaft. 셔틀에 지지되고 일면에 마스크가 밀착된, 기판을 클램핑하기 위한 기판의 클램핑 장치에 있어서,
상기 셔틀에 고정되는 몸체;
상기 몸체에 설치된 회전축에 회전가능하게 설치되고, 상기 기판을 클램핑하는 클램핑 플레이트;
상기 클램핑 플레이트의 단부에서 소정 각도로 경사지게 연장되고, 상기 회전축에 구비된 제1 탄성부재에 탄성 지지되는 제1 링크;
상기 회전축에 구비된 제2 탄성부재에 탄성 지지되고, 상기 제1 링크가 1차 회전된 상태에서 일측에 걸림되는 제2 링크; 및
상기 제1 링크의 일측을 눌러 상기 클램핑 플레이트가 상기 기판을 언클램핑하도록 회전시키는 푸셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 클램핑 장치.
CLAIMS 1. A clamping device for a substrate for clamping a substrate, the clamping device being supported on a shuttle and having a mask on one side thereof,
A body fixed to the shuttle;
A clamping plate rotatably installed on a rotating shaft provided on the body, for clamping the substrate;
A first link which is inclined at an angle at an end of the clamping plate and elastically supported by a first elastic member provided on the rotary shaft;
A second link elastically supported by a second elastic member provided on the rotating shaft and hooked to one side in a state where the first link is rotated first; And
And a pusher for pressing one side of the first link to rotate the clamping plate to unclamp the substrate.
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