KR20110070867A - 웨이퍼들을 웨이퍼 지지부로부터 분리하는 방법 및 그를 위한 장치 - Google Patents

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미하엘 볼버
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게부르. 쉬미트 게엠베하 운트 코.
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Abstract

웨이퍼를 지지 장치(17)로부터 분리하기 위한 방법에서, 웨이퍼들은 접착제로써 지지 장치(17)에 고정된 웨이퍼 블록(40)을 절단함으로써 형성되고, 웨이퍼들 자체는 일 측면에서 여전히 부착되어 있으며, 웨이퍼들을 가진 지지 장치(17)는 일정한 운동 평면을 따라서 접착제 제거 장치(47) 안으로 구동된다. 지지 장치는 그 안에 유지되고, 움직일 수 있는 벽 부분(52a, 52b)들에 의해 접착제 제거 용기(55, 55a, 55b) 안에 감싸인다. 접착제 제거 용기를 형성하고 폐쇄시킨 이후에, 접착제를 제거하기 위한 용매가 접착제 제거 용기 안에 배치되어 웨이퍼상으로 배치됨으로써 접착제를 용해시키고 웨이퍼를 지지 장치(17)로부터 제거한다.

Description

웨이퍼들을 웨이퍼 지지부로부터 분리하는 방법 및 그를 위한 장치{Method for separating wafers from a wafer support and device therefor}
본 발명은 운반 유닛 및/또는 운반 유닛에 고정된 소위 비임(beam)으로부터 웨이퍼들을 분리하기 위한 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼들은 운반 유닛 및/또는 비임에 접착된 웨이퍼 블록을 절단하고 여전히 운반 유닛의 일 측에 접착되어 있음으로써 형성된다. 본 발명은 또한 그 방법을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다.
웨이퍼 블록을 비임에 접합하고 다음에 그 비임을 운반 유닛에 고정시키는 것은 독일 출원 DE 10 2008 028 213 A 에 개시되어 있다. 웨이퍼 블록은 다음에 운반 유닛을 이용하여 추가적인 처리를 위해 이송될 수 있다. 특히, 웨이퍼 블록은 개별적인 얇은 웨이퍼들로 절단되는데, 웨이퍼들의 상부 가장자리는 여전히 비임에 접착되어 있다. 웨이퍼들의 세정 이후에, 웨이퍼들은 싱귤레이션(singulation) 및추가의 처리를 위해서 비임으로부터 분리되고, 접착제는 다음에 용매(solvent)에 의해서 용해될 수 있다.
그러한 접착제 분리 과정을 위하여, 웨이퍼들은 통상적으로 운반 유닛(carrier unit)으로써 접착제 분해 용기(ungluing basin)로 이송되고, 다음에 그곳에서 아래로 하강한다. 따라서 웨이퍼들의 수직 운동이 이용되고, 즉, 하강에 의해 접착제 분해 용기 안으로 내려가는 과정이 이용된다. 운반 유닛에서의 웨이퍼들의 수직 운동은 유익하지 않은 것으로 보이며, 왜냐하면 기계적인 변형(mechanical strain)을 나타내기 때문이다.
본 발명의 목적은 서두에서 언급된 방법을 제공하는 것이며, 그 방법을 수행하기 위한 장치를 제공하는 것으로서, 이를 이용하여 종래 기술의 단점들이 개선될 수 있고 특히 웨이퍼들 하부의 기계적 변형이 개선될 수 있다
이러한 목적은 청구항 제 1 항의 특징을 가진 방법 및 청구항 제 12 항의 특징을 가진 장치에 의해 달성된다. 본 발명의 유리하고 바람직한 구현예들은 다른 청구항들의 주제이며, 이후에 보다 상세하게 설명된다. 이후에 기재된 특징들중 일부는 방법 또는 장치에 대해서만 설명되지만, 이들은 방법 및 장치 모두에 대해서 독립적으로 적용될 수 있다. 청구항들의 기재 내용은 상세한 설명에 참조되게 포함되어 있다. 또한, 2008. 10. 15. 자의 독일 우선권 출원 DE 102008053598.2 의 기재 내용은 발명의 상세한 설명에 참조되게 포함되어 있다.
웨이퍼 블록을 절단함으로써 형성된 개별적인 얇은 웨이퍼들은 여전히 운반 유닛에 고정되고 그리고/또는 비임에 접착되어 있는 것이 제공된다. 무엇보다도, 웨이퍼들은 여전히 일 측에서 그리고/또는 측부 가장자리에서 접착되어 있다. 본 발명에 따라서, 웨이퍼들은 접착제 분해 유닛 안으로 도입되고, 그곳에서 웨이퍼들은 균일한 운동 평면내에 그리고/또는 균일한 운동 평면을 따라서 함께 접합된 운반 유닛에서 접착제 분해를 위하여 유지된다. 웨이퍼들은 접착제 분해 유닛 안에서 가동 벽 부분들을 이용하여 감싸여지는데, 접착 분해 용기는 이들 움직이는 벽 부분들을 이용하여 웨이퍼에 근접하게 그리고/또는 운반 유닛에 근접하게 측방향으로 그리고 아래에 형성되며, 어떤 환경에서는 고정된 벽 부분들을 이용하여 형성된다. 접착제 분해 용기의 형성 및/또는 폐쇄 이후에, 용매가 접착제 분해를 위하여 도입되는데, 유리하게는 접착제 분해 용기 안으로 따르게 되고(decant), 특히 유리하게는 바로 아래의 접착제 분해 용기로 따르게 되며, 따라서 웨이퍼들은 처음에 부드러운 분리를 위하여 액체 안에 담궈지게 된다. 대안으로서, 웨이퍼가 여전이 접착되어 있는 영역으로 용매가 분사될 수 있다. 이러한 용매는 접착제를 용해시킬 목적을 위해서 이용되고 따라서 웨이퍼들의 접착제를 분해하며, 따라서 웨이퍼들은 운반 유닛으로부터 분리 및/또는 제거될 수 있다. 예를 들어, 초산(acetic acid)이 용매로서 이용되거나, 또는 대안으로서 접착제와 맞는 다른 용매들이 이용된다.
따라서, 본 발명의 유리한 구현예에서, 운반 유닛은 균일한 운동 평면에서 웨이퍼들과 함께 움직여서, 수직의 가속력이 작용되지 않는다. 접착제 분해 용기는 웨이퍼들 둘레에 더 많거나 적게 제공되고 그리고/또는 구성되며, 폐쇄된다. 접착제 분해 이후에, 접착제 분해 용기는 다시 개방되거나 분리되고, 웨이퍼들은 균일한 운동 평면에서 더 움직이고 그리고/또는 멀리 움직인다. 더 이상 접착제가 제 위치에 있지 않은 분리된 웨이퍼들을 계속 유지하기 위하여, 그리고/또는 추락하여 손상의 위험성이 있을 수 있는 것을 방지하기 위하여 수단이 유리하게 제공된다. 이것은 이후에 보다 상세하게 설명될 것이다.
본 발명의 유리한 구현예에서, 웨이퍼들은 제 1 이동 방향을 따라서 운반 유닛상에 접착제 분해 유닛으로 움직인다. 접착제 분해 이후에, 웨이퍼들은 그 운반 평면에서 더 움직이고 그리고/또는 더 이송된다. 이전에 설명된 바와 같이, 웨이퍼들은 접착제 분해 동안에 동일한 이동 평면에 유리하게 유지된다. 이러한 이동 평면이 특히 유리하게는 수평이고, 이것은 인-라인(in-line) 세정 장치 및/또는 설비의 단순한 구조를 허용한다. 웨이퍼들을 가장 주의 깊게 취급하기 위하여, 접착제 분해 동안 운반 유닛으로 웨이퍼들을 수직 또는 수평으로 움직일 뿐만 아니라, 전체적으로 가능한 한 움직이지 않게 유지시키는 것이 제공될 수 있다. 따라서 기계적인 변형도 감소되고 그리고/또는 회피될 수도 있다.
웨이퍼들의 접착제 분해가 발생되어야 하는 접착제 분해 용기는 이동 방향에서 운반 유니트로 웨이퍼들이 움직이는 적어도 하나의 위치 또는 일 측에서 움직일 수 있는 측벽 부분들을 가질 수 있다. 접착제 분해 용기를 노출시키기 위하여 그리고/또는 웨이퍼들을 가진 운반 유닛이 접착제 분해를 위한 정확한 위치로 움직일 수 있도록 하기 위하여, 대응하는 측벽 부분이 측부로 또는 상방향으로 움직일 수 있다. 움직일 수 있는 측벽 부분들을 가진 접착제 분해 용기는 다시 폐쇄될 수 있다. 접착제 분해 용기가 유리하게는 예를 들어 유리 덮개에 의해서 상부에서 끝나게 된다. 측벽 부분들, 바람직스럽게는 무엇보다도 움직일 수 있는 측벽 부분들이 밀봉 방식으로 구현되고, 그리고/또는 예를 들어 그 측벽 부분들에 시일이 제공되고 측벽들이 프레임상에 유지된다.
본 발명의 유리한 구현예에서, 웨이퍼들을 가진 운반 유닛은 롤러 콘베이어상에 놓여서 이송되는 것이 제공된다. 운반 유닛은 본 출원인에 의해 동일자로 출원된 내부 파일 번호 P 49113 DE 의 독일 특허 출원에 설명된 바와 같이 특히 유리하게 구성되는데, 상기 문헌의 내용은 이와 관련하여 본원에 참조로서 포함된다. 그러한 운반 유닛은 롤러 콘베이어상에 단순하게 놓여질 수 있고 다음에 롤러들에 의해서 움직여질 수 있는데, 웨이퍼들은 그들의 접착된 측의 가장자리에 의해 고정되어 있는 상태이다.
이동 방향을 지향하는 2 개의 움직일 수 있는 측벽 부분들이 유리하게는 함께 동기화되어 움직일 수 있다. 이러한 목적을 위해서, 예를 들어, 단일의 기계적으로 결합된 구동부가 제공될 수 있다. 본 발명의 다른 구현예에서, 웨이퍼들이 접착제 분해 용기 안으로 움직일 때 및 그들이 밖으로 움직일 때, 움직이는 통로에 각각 서 있는 측벽 부분만이 제거되게 움직이거나, 또는 유리하게는 그 측벽 부분이 다른 측에서의 대응하는 측벽 부분과 함께 움직인다. 따라서 구동 메카니즘은 우수한 기능을 가지면서 비교적 단순하게 유지될 수 있다. 다른 2 개의 측벽 부분들도 유리하게는 움직일 수 있는 것으로 구현되지만, 그것은 매번 들어올려질 필요가 없고 그리고/또는 움직여질 필요가 없으며, 오히려 예를 들어 유지 작업 또는 검사 작업을 위해서만 그럴 필요가 있다. 접착 분해 용기를 폐쇄하도록 측벽 부분들이 밀봉 방식으로 가압되는 접착제 분해 용기의 베이스는 단단하고 그리고/또는 고정된 것일 수 있다. 유리하게는, 개방 가능한 플랩(flap) 또는 배출부(drain)가 그곳에 제공될 수 있어서, 그것을 이용하여 용매가 배출될 수 있고, 따라서 측벽 부분들이 제 위치에서 이탈되게 움직일 때 제어되지 않은 용매의 범람이 발생되지 않는다.
용매를 접착제 분해 용기로 도입하고 그리고/또는 용매를 웨이퍼들로 적용하도록, 한편으로, 용매는 폐쇄된 접착제 분해 용기 안으로 간단하게 도입될 수 있어서 접착제에 도달될 때까지 용기가 채워지고, 유리하게는 아래로부터 접착제에 도달된다. 대안으로서, 용매는 웨이퍼들에 직접적으로 분무될 수 있다. 용매를 가지고 웨이퍼들의 접착된 접합부를 젖게 하는 기간은 용해 효과를 향상시키기 위하여 증가된다. 용매는 접착제 분해 용기를 폐쇄시킴으로써 집적되며 그리고/또는 접착제 접합부가 용매 안에 잠기기 충분한 정도로 상승되는 것이 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 구현예에서, 웨이퍼들이 매달려서 고정되지 않고 그리고/또는 상부측 가장자리에서 운반 유닛에 접착되지 않지만 오히려 하부측 가장자리에서 접착되도록, 웨이퍼를 가진 운반 유닛이 접착제 분해되고 그리고/또는 접착제 분해 용기 및 전체 접착제 분해 유닛으로 움직이는 것이 제공될 수 있다. 다음에 웨이퍼들은 다소 접착된 측부 가장자리상에 서 있게 된다. 이것은 접착제 분해 및/또는 접착제의 용해 이후에, 웨이퍼들의 움직임이나 또는 미끄러짐이 발생하지 않고, 오히려 웨이퍼들이 동일측의 가장자리에서 유지되는 장점을 가진다. 이것은 또한 추가적으로 기계적인 변형 및 손상의 위험성을 감소시킨다.
본 발명의 다른 구현예에서, 용매의 적용 동안에 그리고/또는 접착제 분해 동안에 웨이퍼들을 서로에 대하여 대략 동일한 간격으로 유지할 수 있다. 이러한 목적을 위해서, 웨이퍼들이 유리하게는 운반 유닛상에 유지되고 그리고/또는 운반유닛을 따라서 측방향으로 연장되는 보유 수단(retention means)이 그러한 목적을 위해서 제공될 수 있다. 이러한 보유 수단은 웨이퍼들의 적어도 2 개의 반대 측 가장자리상에서 연장될 수 있고 그곳에서 맞물릴 수 있다. 그러한 보유 수단의 예는 독일 출원 DE 10 2005 028 112 A 에 개시된 바와 같은 로드 부쉬(rod bush)로서, 이와 관련하여 상기 문헌이 참조되며, 상기 문헌은 본원에 참조로서 포함된다.
본 발명의 다른 구현예에서, 2 개의 접착제 분해 유닛들이 장치를 통한 처리량을 향상시키도록 차례로 제공될 수 있다. 접착제 분해 과정은 따라서 대체로 2 개 단계들에서 수행될 수 있다. 제 1 단계 및/또는 제 1 접착제 분해 유닛에서, 실질적으로 오직 용매만이 웨이퍼들에 적용되고, 다음에 웨이퍼들은 다음 단계로 그리고/또는 분리된 접착제 분해 용기를 가진 다음의 접착제 분해 유닛으로 더 이동한다. 제 1 접착제 분해 용기 이후에 용매의 적은 잔류량이 웨이퍼상에 유지될 수 있다. 용매가 상대적으로 많은 양으로 웨이퍼들로부터 떨어져서는 아니되지만, 씻어 내리는 방법(flushing method) 및/또는 세정 방법(cleaning method)이 실질적으로 생략될 수 있다. 제 2 접착제 분해 유닛에서, 용매가 다시 적용되어 웨이퍼들이 완전히 접착제 분해되고 그리고/또는 운반 유닛으로부터 분리될 때까지 작용한다.
본 발명의 다른 구현예에서, 접착제 분해 및/또는 용매의 온도를 통하여 접착제 분해에 영향을 미치는 것이 가능하다. 특히, 실내 온도보다 높은 온도의 방법이 이용될 수 있고, 예를 들어 50℃ 보다 높은 온도가 이용될 수 있다. 임의의 경우에 수행되는 세정을 통하여, 예를 들어 차가운 세정용 액체를 이용하여, 접착제 분해 이후에 웨이퍼들에서 가능한 냉각이 제공될 수 있다. 물이 유리하게 이러한 목적을 위해 제공되며, 물을 이용하여 웨이퍼들이 씻겨질 수 있다.
상기의 특징들 및 다른 특징들이 청구항 및 상세한 설명 및 도면들에 개시되어 있으며, 개별적인 특징들은 본 발명의 구현예들 및 다른 분야에서 하위 조합(subcombination)의 형태인 다수로써 또는 단독으로써 구현될 수 있고, 그 특징들은 본질적으로 보호될 수 있는 것으로서, 그에 대하여 청구항에서 청구된 바와 같은 유리한 구현예들을 나타낸다. 본 출원을 개별적인 문단 및 소제목으로 분할하는 것은 문단 및 소제목하의 진술의 전체적인 타당성을 제한하지 않는다.
본 발명의 예시적인 구현예들이 도면에 개략적으로 도시되어 있으며, 이후에 보다 상세하게 설명된다. 도면에서,
도 1 은 웨이퍼들의 접착제 분해 및 세정으로써 웨이퍼들을 처리하기 위한 전체 장치의 측면도를 도시한다.
도 2 는 개방된 접착제 분해 용기의 측면도를 도시한다.
도 3 은 도 2 의 접착제 분해 용기의 사시도이다.
도 1 은 본 발명에 따른 전체적인 장치(11)의 측면도를 도시하며, 여기에서는 절단된 웨이퍼 블록(40)의 세정이 발생될 뿐만 아니라, 무엇보다도 본 발명에 따른 접착제 분해(ungluing), 즉, 웨이퍼들이 여전히 접합되어 있는 운반 유닛(carrier unit, 17)의 길이 방향 캐리어 및/또는 비임(beam)으로부터 개별적인 절단 웨이퍼들이 떨어지게 된다. 장치(11)가 유리하게는 웨이퍼들을 감싸는 챔버들을 가진다. 멀리 있는 좌측에는 삽입 모듈(43)이 있으며, 그것을 이용하여 내부에 웨이퍼 블록(40)을 가지는 케이지(cage)와 같은 운반 유닛(17)들을 장치(11)로 가져와서 장치로 도입한다. 삽입 모듈(53)은 롤러(15)들을 가지며, 롤러들은 다른 롤러(15)들과 함께 이송 콘베이어(13)의 높이에서 롤러 콘베이어를 형성한다. 롤러들이 유리하게는 개별적으로 또는 전체적으로 구동된다. 이전에 설명된 웨이퍼 블록(40)들의 균일하게 수평의 이송이 여기에서 수행될 수 있다.
인식될 수 있거나 용이하게 생각될 수 있는 바로서, 세정 모듈(45)은 그 안에 노즐 유닛(30)을 가지는 폐쇄되거나 또는 폐쇄 가능한 챔버의 유형으로서 구현될 수 있다. 이러한 세정 모듈(45) 및 운반 유닛은 본 출원인에 의해 동일자로 출원된 독일 특허 출원 P 49113 DE 에 광범위하게 설명되어 있으며, 상기 문헌의 내용은 본원에 참조로서 포함된다.
화살표(T)는 장치(11)를 통한 웨이퍼 블록(40)을 가지는 운반 유닛(17)의 주 운동 방향을 나타낸다. 이것은 웨이퍼들을 내부에 가지는 운반 유닛(17)이 이송 콘테이어(13) 및/또는 롤러(15)상에서 움직이는 것을 의미한다.
접착제 분해 모듈(47)은 이동 방향(T)으로 우측에서 세정 모듈(45)과 접한다. 접착제 분해 모듈(47)은 유사한 챔버와 같은 구조를 가지며, 롤러(15)를 가진 이송 콘베이어(13)를 가진다. 더욱이, 접착제 분해 모듈(47)은 접착제 분해 챔버(51)를 가지며, 접착제 분해 챔버는 2 개의 접착제 분해 용기(ungluing basins, 55a, 55b)들을 가지는데, 이들은 이동 방향(T)에서 하나가 다른 것의 뒤에 위치하고, 절단된 웨이퍼 블록(40)을 가진 운반 유닛(17)에 의해 서로 접근한다. 접착제 분해 용기(55a,55b)들은 실질적으로 동일하게 구현될 수 있고, 이동 방향(T)에 있는 움직일 수 있는 측벽 부분들, 특히 상승 가능한 측벽 부분들을 통해 접근 가능하다.
도 2 및 도 3 에 보다 명확하게 도시된 것은 접착제 분해 용기(55)가 접착제 분해 챔버(51)내에 구성되는 방법이다. 접착제 분해 용기는 실질적으로 직사각형의 형상을 가지며, 이것은 2 개의 짧은 측벽 부분(52a,52b)들을 가지는데, 측벽 부분들은 이송 콘베이어(13)의 위에 위치한다. 긴 측벽 부분(53a,53b)들은 길이가 긴 측부에 제공된다. 접착제 분해 용기(55)는 베이스(54)에 의해서 밀봉 방식으로 저부에서 폐쇄된다. 측벽 부분들은 접착제 분해 용기(55)의 프레임(58)에 고정될 수 있다. 긴 측벽 부분(53a,53b)들은 개구들을 가질 수 있고, 개구를 통해 용매를 위한 노즐 또는 스프레이 유닛이 돌출될 수 있거나 또는 적어도 용매를 분무(spray)할 수 있다.
짧은 측부의 벽 부분(52a,52b)들은 위로 움직여서 접착제 분해 용기(55)를 개방 및 폐쇄시키며, 이들은 밀봉 방식으로 장착된다. 이러한 목적을 위해서 구동부(57)가 제공되는데, 구동부는 다수의 부분들을 포함하고, 2 개의 측벽 부분(52a,52b)들은 동기화되어 움직인다.
긴 측벽 부분(53a,53b)들은 제거될 수도 있다; 그러나, 이러한 목적을 위해서 아무런 운동 유닛이 제공되지 않는다. 그러나, 측벽 부분들은 더 낳은 안정성 및 밀봉 기능을 위해서 용접되는 것이 유리할 수 있다. 배출부(60)는 후방의 긴 측벽 부분(53b) 바로 아래의 저부에서 베이스(54)에 도시되어 있으며, 배출부를 이용하여 용매가 접착제 분해 용기(55)의 밖으로 배출될 수 있다. 이러한 배출부(60)는 대응하는 폐쇄부를 가지는 것이 유리하다. 더욱이, 다수의 배출부들이 제공될 수 있으며, 예를 들어, 적어도 하나의 유입부 및 선택적으로는 범람 배출부(overflow)가 제공될 수 있다.
접착제 분해 용기(55)는 베이스(54)에 의해서 저부상에서 끝난다. 베이스는 명백하게 롤러(55) 아래에서 연장되는 것을 알 수 있다. 이것은 아래로 약간 V 형상으로 구현될 수 있고, 따라서 오염물 및/또는 용매가 전체적으로 접착제 분해 용기(55)로부터 더 잘 제거될 수 있다.
따라서 이전에 설명된 바와 같이, 웨이퍼 블록(40)을 가진 운반 유닛(17)이 접착제 분해 용기(55) 안으로 움직이고, 용기가 폐쇄되고, 접착제 분해 과정이 시작된다. 접착제 분해를 위한 주기 시간(cycle time)은 예를 들어 대략 15 분일 수 있다. 2 개의 접착제 분해 용기(55a, 55b)에도 불구하고 소망되는 처리량이 부적절하다면, 다수의 그러한 접착제 분해 모듈(47)들이 서로에 근접하거나 또는 하나가 다른 것의 뒤에 제공된다. 2 개의 접착제 분해 용기들이 유리하게도 서로 독립적으로 작동된다.
2 개의 접착제 분해 용기(55a,55b)들을 가진 접착제 분해 모듈(47) 및/또는 접착제 분해 이후에, 접착제 분해 웨이퍼들을 가진 운반 유닛(17)은 배출 모듈(49)로 움직인다. 그 모듈도 이송 콘베이어(13)의 롤러(15)들을 가진다. 그곳으로부터, 개별 웨이퍼들을 가지는 운반 유닛(17)이 더 움직일 수 있으며, 예를 들어 자체로 공지된 유닛으로 더 움직일 수 있고, 웨이퍼들은 더 이상의 취급 및 처리를 위하여 웨이퍼의 집적체를 형성한 것으로부터 개별적으로 제거되고, 그리고/또는 싱귤레이션(singulation)된다.
13. 이송 콘베이어 15. 롤러
17. 운반 유닛 51. 접착제 분해 챔버
40. 웨이퍼 블록 43. 삽입 모듈
45. 세정 모듈 53a, 53b. 측벽 부분

Claims (15)

  1. 웨이퍼들을 운반 유닛으로부터 분리시키는 방법으로서, 웨이퍼들은 접착에 의해 운반 유니트에 고정된 웨이퍼 블록을 절단(sawing)함으로써 형성되고, 웨이퍼들 자체는 일 측에서 여전히 접착되어 있고, 웨이퍼들을 가지는 운반 유닛은 균일한 운동 평면에서 접착제 분해 유닛으로 도입되어 내부에 유지되고 접착제 분해 유닛에서 움직일 수 있는 벽 부분들에 의해 감싸이고, 접착제 분해 용기는 운반 유닛 및/또는 웨이퍼들에 측방향으로 근접하고 아래에 있는, 고정 벽 부분들 및 움직일 수 있는 벽 부분들을 이용하여 형성되고, 접착제 분해를 위한 용매는, 접착제 접합을 용해하고 차후에 웨이퍼들을 운반 유닛으로부터 분리하도록, 접착제 분해 용기의 형성 및/또는 폐쇄 이후에 접착제 분해 용기 및/또는 웨이퍼들에 적용되는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    웨이퍼들은 운반 유니트상에서 제 1 이동 방향을 따라 접착제 분해 유닛으로 이동되고 접착제 분해 이후에 제 1 이동 방향에서 다시 밖으로 이동되어 더 이송되며, 웨이퍼들은 특히 접착제 분해 동안에 이동 방향의 이동 평면에 유지되고, 바람직스럽게는 그 이동 평면이 수평인 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    웨이퍼들을 가지는 운반 유닛은 접착제 분해 동안에 수평 방향 및/또는 이동 방향을 따라서 움직이지 않고, 바람직스럽게는 고정되게 유지되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  4. 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서,
    접착제 분해 용기는 이동 방향으로 지향되는 측들에서 움직일 수 있는 측벽 부분들을 가지고, 접근하는 웨이퍼 블록을 향하여 지향되는 적어도 측벽은 웨이퍼들을 가진 운반 유닛의 도입을 위하여 접착제 분해 용기를 노출시키도록 움직이고, 차후에 접착제 분해 용기는 측벽 부분들을 이용하여 폐쇄되고, 바람직스럽게는 접착제 분해 용기가 상부에서 끝나게 되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    이동 방향으로 지향되는 양쪽의 움직일 수 있는 측벽 부분들이 동기화되어 움직이고, 바람직스럽게는 단일의 기계적으로 결합된 구동부에 의해 움직이는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  6. 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서,
    웨이퍼들을 가진 운반 유닛은 이송 콘베이어상에 놓여서 이동되고, 특히 구동되는 롤러들을 가진 롤러 콘베이어상에서 이동되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  7. 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서,
    용매는 웨이퍼들을 가진 운반 유닛이 내부에 위치하고 있는 폐쇄된 접착제 분해 용기 안으로 따르게 되어(decanted) 아래로부터 채워지며, 용매는 특히 폐쇄된 용기 안에 집적되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  8. 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서,
    접착된 측의 가장자리들이 저부에 놓이고 그리고/또는 아래를 향하도록, 웨이퍼들이 접착제 분해를 위하여 접착제 분해 용기로 이동되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  9. 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서,
    웨이퍼들은 용매의 적용 동안에 그리고/또는 접착제 분해 동안에 서로에 대하여 대략 동등한 간격에서 유지되고, 바람직스럽게는 운반 유닛상에 유지되며, 특히 웨이퍼들은 운반 유닛을 따라서 측방향으로 연장되는 보유 수단(retention means)에 의해 유지되고, 보유 수단은 웨이퍼들의 적어도 2 개의 반대편 측부 가장자리들상에 맞물리는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  10. 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서,
    처리량을 증가시키도록 2 개의 접착제 분해 유닛이 차례로 제공되고, 제 1 접착제 분해 유닛에서 실질적으로 용매만이 웨이퍼에 적용되어 웨이퍼상에 잔류량이 유지되고, 다음에 웨이퍼들이 운반부 유닛으로부터 완전히 접착제 분해될 때까지의 용매의 새로운 적용을 위하여 제 2 접착제 분해 유닛으로 이동하는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  11. 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서,
    세정용 액체, 바람직스럽게는 물로 웨이퍼를 씻어내는 것은 제 2 접착제 분해 유닛에서의 접착제 분해 이후에 수행되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼들의 분리 방법.
  12. 전기한 항들중 어느 한 항에 따른 방법을 수행하기 위한 장치로서,
    장치는, 웨이퍼들을 가진 운반 유닛 및 접착제 분해 용기를 가진 적어도 하나의 접착제 분해 유닛을 위한, 이송 콘베이어를 가지고, 특히 롤러 콘베이어를 가지고, 접착제 분해 용기는, 웨이퍼들을 가진 운반 유닛이 이동하는 방향을 향하는 적어도 하나의 측부상에서 웨이퍼들을 가진 운반 유닛의 도입을 위하여, 접착제 분해 용기의 개방을 위한 움직일 수 있는 측벽을 가지는 것을 특징으로 하는, 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    접착제 분해 용기는 웨이퍼들을 가진 운반 유닛의 이동 방향에서 직사각형으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는, 장치.
  14. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,
    물을 측방향으로 웨이퍼상들에 적용하고 그리고/또는 분무하기 위하여 적용 장치들이 측벽 부분들에 제공되는 것을 특징으로 하는, 장치.
  15. 제 12 항 내지 제 14 항의 어느 한 항에 있어서,
    웨이퍼들을 가진 운반 유니트의 이동 방향으로 차례로 2 개의 접착제 분해 용기들이 있고, 바람직스럽게는 접착제 분해 용기들이 실질적으로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는, 장치.
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