KR20110038156A - 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템 - Google Patents

고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20110038156A
KR20110038156A KR1020117004743A KR20117004743A KR20110038156A KR 20110038156 A KR20110038156 A KR 20110038156A KR 1020117004743 A KR1020117004743 A KR 1020117004743A KR 20117004743 A KR20117004743 A KR 20117004743A KR 20110038156 A KR20110038156 A KR 20110038156A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fluid
container
purification
manifold
valve
Prior art date
Application number
KR1020117004743A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101130006B1 (ko
Inventor
타다하루 와타나베
로버트 쥬니어 토레스
조셉 브이. 비닌스키
Original Assignee
매티슨 트라이-개스, 인크.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 매티슨 트라이-개스, 인크. filed Critical 매티슨 트라이-개스, 인크.
Publication of KR20110038156A publication Critical patent/KR20110038156A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101130006B1 publication Critical patent/KR101130006B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C9/00—Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
    • B01J4/04—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices using osmotic pressure using membranes, porous plates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • C23C16/4402—Reduction of impurities in the source gas
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
    • F17C13/026—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment having the temperature as the parameter
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C5/00—Methods or apparatus for filling containers with liquefied, solidified, or compressed gases under pressures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C6/00—Methods and apparatus for filling vessels not under pressure with liquefied or solidified gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01—Shape
    • F17C2201/0104—Shape cylindrical
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/03—Orientation
    • F17C2201/032—Orientation with substantially vertical main axis
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2203/00—Vessel construction, in particular walls or details thereof
    • F17C2203/06—Materials for walls or layers thereof; Properties or structures of walls or their materials
    • F17C2203/0602—Wall structures; Special features thereof
    • F17C2203/0612—Wall structures
    • F17C2203/0614—Single wall
    • F17C2203/0617—Single wall with one layer
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/01—Mounting arrangements
    • F17C2205/0123—Mounting arrangements characterised by number of vessels
    • F17C2205/013—Two or more vessels
    • F17C2205/0149—Vessel mounted inside another one
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0311—Closure means
    • F17C2205/0314—Closure means breakable, e.g. with burst discs
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0311—Closure means
    • F17C2205/0317—Closure means fusing or melting
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F17C2205/0332—Safety valves or pressure relief valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F17C2205/0335—Check-valves or non-return valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0341—Filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0388—Arrangement of valves, regulators, filters
    • F17C2205/0391—Arrangement of valves, regulators, filters inside the pressure vessel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
    • F17C2221/05—Ultrapure fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
    • F17C2250/0605—Parameters
    • F17C2250/0631—Temperature
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2265/00—Effects achieved by gas storage or gas handling
    • F17C2265/01—Purifying the fluid
    • F17C2265/012—Purifying the fluid by filtering
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30—Hydrogen technology
    • Y02E60/32—Hydrogen storage

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Water Treatment By Sorption (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

본 발명의 유체 정제 장치는 제 1 브랜치 및 제 2 브랜치를 포함하는 다기관, 다기관의 제 1 브랜치에 연결된 제 1 체크 밸브, 및 제 1 말단부 및 제 2 말단부를 포함하는 정제 유닛을 포함하며, 제 1 말단부가 다기관의 제 2 브랜치에 연결되어 있다. 또한 유체 정제 장치는 정제 물질을 함유하는 제 1 내부 격실 및 불순물 함유 유체를 함유하는 제 2 내부 격실을 포함하며, 제 1 내부 격실이 유체 투과성 지지체, 및 파열성 시일에 의해 제 2 내부 격실로부터 분리되어 있는 용기를 포함한다.

Description

고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템 {METHOD AND SYSTEM FOR SUPPLYING HIGH PURITY FLUID}
본 발명은 유체 정제 분야, 및 불활성, 비-반응성 및 반응성 유체의 정제에 관한 것이다. 더욱이, 본 발명은 불활성, 비-반응성 및 반응성 유체로부터 잔류량의 불순물을 선택적으로 제거하기 위한 방법 및 물질에 관한 것이다.
고순도 유체 스트림의 공급은 광범위하게 다양한 산업 및 연구 분야에서 매우 중요하다. 반도체 산업에서 증기-상 처리 기술 예를 들어, 화학증착의 빠른 확장은 반도체 제조 시설에서 사용 지점으로 고순도 처리 유체를 전달하는 것에 전적으로 의존하는 제조 장비의 개발 및 사용과 관련있다.
반도체 제조와 관련된 유체 스트림 중에 존재하는 불순물을 고려하는 경우, 화학증착 또는 다른 증기-기초 기술에 의한 고 품질의 박막 전자 및 광전자 전지의 성장이 다양한 저-수준의 처리 불순물에 의해 저해된다는 것을 주목해야 한다. 상기 불순물은 매우 고가일 수 있는 불량품의 수를 증가시킴으로써 수율을 감소시키는 단점을 유발할 수 있다. 상기 불순물은 미립자 또는 화학적 오염물질일 수 있다.
화학적 불순물은 소스 유체 자체의 제조에서 뿐만 아니라 후속 포장, 선적, 저장, 및 취급에서 유래될 수 있다. 소스 유체 제조업자가 전형적으로 반도체 제조 시설에 전달되는 소스 기체 물질을 분석할지라도, 기체를 포장하는 컨테이너, 예를 들어, 기체 실린더로의 누출 또는 탈기 때문에 유체의 순도가 변할 수 있다. 불순물 오염은 또한 부적당한 유체 컨테이너 변화, 하류 처리 설비로의 누출, 또는 이러한 하류 설비의 탈기로부터 유발될 수 있다.
반도체 제조 공정에서, 예를 들어, 불순물의 제거는 고-품질, 고-성능 반도체 칩의 제조를 보장하도록 돕는다. 제조 동안에 반도체 칩에 도입되는 경우, 이러한 불순물은 칩에 결함을 부여하거나 심지어 의도하는 목적으로 쓸모없게 만드는 경향이 있다. 따라서, 현재 다수의 성장 산업은 약 10 부/10억 (ppb) 수준을 초과하지 않는 불순물 농도를 갖는 유체를 요구한다.
예를 들어, 금속-유기 화학증착 (MOCVD)을 사용한 Ⅲ-Ⅴ 반도체 디바이스 제조에 있어서, ⅢA 족 유기금속 소스 기체, 예컨대 트리-메틸 알루미늄, 트리-메틸 인듐 및 트리-메틸 갈륨은 분별 증류 및(또는) 승화에 의해 정제되어 불순물이 제거될 것이다. 상기 유기금속 화합물은 산소와 매우 반응성이고 Ⅲ-Ⅴ 반도체 디바이스의 성능을 상당히 저하시킬 수 있는 산화된 불순물을 형성한다.
당업계에서 불활성, 비-반응성 및 반응성 유체로부터 산소 및 물과 같은 오염물질을 제거하는 시약이 필요하다. 또한, 유체와 정제 물질 간에 비교적 빠른 평형을 제공하여 사용 지점에서 적절한 농도의 정제된 유체가 제공됨을 보장하는 정제 방법 및 장치가 필요하다. 또한, 수분과 같은 오염물질을 정제된 유체 스트림으로 동시에 방출하지 않으면서 불활성, 비-반응성 및 반응성 유체로부터 산소 및 산화된 종 (species) 및 다른 불순물을 제거하는 정제 물질이 필요하다.
<발명의 요약>
본 발명의 한 실시양태는 정제 물질을 수용하는 제 1 내부 격실 및 불순물을 함유한 유체를 수용하는 제 2 내부 격실을 포함하며, 제 1 내부 격실이 유체 투과성 지지체에 의해 제 2 내부 격실로부터 분리되어 있는 용기를 포함하는 유체 정제 장치를 포함한다. 다른 실시양태에서, 막이 파괴될 때까지 유체가 정제 물질과 접촉하는 것을 방지하는 막이 유체와 유체 투과성 지지체 사이에 제공된다.
본 발명의 다른 실시양태는 제 1 피팅 (fitting) 및 정제 물질을 포함하는 제 1 컨테이너, 제 2 피팅 및 정제될 유체를 포함하는 제 2 컨테이너, 및 제 1 컨테이너가 제 2 컨테이너에 연결되는 경우에, 제 1 피팅과 제 2 피팅 사이에 개재되는 시일 (seal) 부재를 포함하며, 시일 부재가 내부 막이 파괴될 때까지 정제 물질로부터 정제될 유체를 분리하는 내부 막을 포함하는 유체 정제 장치를 포함한다.
본 발명의 다른 실시양태는 제 1 브랜치 및 제 2 브랜치를 포함하는 다기관, 다기관의 제 1 브랜치에 연결된 제 1 체크 밸브, 및 제 1 말단부 및 제 2 말단부를 포함하는 정제 유닛을 포함하며, 제 1 말단부가 다기관의 제 2 브랜치에 연결되는 유체 정제 장치를 포함한다.
본 발명의 다른 실시양태는 용기 밸브를 포함하는 유체 용기, 용기 밸브에 연결되는 제 1 개구부 및 정제된 유체의 사용 지점에 연결되는 제 2 개구부를 포함하며, 상기 유체 용기의 외부에 위치하는 정제 유닛, 및 유체 용기 및 정제 유닛에 열적으로 연결된 온도 조절 장치를 포함하는 유체 정제 장치를 포함한다.
본 발명의 다른 실시양태는 제 1 내부 격실 및 제 2 내부 격실을 포함하며, 제 1 내부 격실이 유체 투과성 지지체에 의해 제 2 내부 격실과 분리되어 있는 용기를 제공하고; 제 1 내부 격실에 정제 물질 및 제 2 내부 격실에 유체를 제공하고; 유체가 정제 물질과 접촉하는 것을 방지하는 막을 파괴하고; 유체를 유체 투과성 지지체 및 정제 물질에 통과시켜 유체로부터 불순물을 제거하는 단계를 포함하는 유체 정제 방법을 포함한다.
추가 신규한 특징은 하기의 설명에서 일부가 기술될 것이고 일부는 하기 명세서의 검토를 통해서 당업계의 숙련자들에게 명백해지거나 본 발명의 실시에 의해서 습득될 것이다. 본 발명의 특징 및 장점은 첨부된 청구항에서 특히 강조된 수단, 조합, 및 방법에 의해 실현되고 성취될 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시양태에 따른 유체 저장 및 정제 장치 (100)를 나타내고;
도 2는 본 발명의 다른 실시양태에 따른 유체 저장 및 정제 장치 (200)를 나타내고;
도 3은 본 발명의 다른 실시양태에 따른 유체 정제 장치 (300)를 나타내고;
도 4는 본 발명의 다른 실시양태에 따른 유체 정제 장치 (400)를 나타내고;
도 5는 본 발명의 다른 실시양태에 따른 유체 정제 장치 (500)를 나타내고;
도 6은 본 발명의 다른 실시양태에 따른 유체 정제 장치 (600)를 나타내고;
도 7은 본 발명의 다른 실시양태에 따른 유체 저장 및 정제 장치 (700)를 나타내고;
도 8은 본 발명의 다른 실시양태에 따른 정제 유닛 (800)을 나타낸다.
도 1에 나타낸 본 발명의 유체 정제 장치 (100)는 유체 저장 용기 (101) 내부에 위치하며, 유체 (F)를 받아들이고 용기 (101)로부터 정제된 유체 (F')를 분배하는 용기 밸브 (102)와 효과적으로 맞물리는 분지형 다기관 (104)을 포함한다. 장치 (100)의 각 성분, 예컨대 용기 (101), 용기 밸브 (102), 다기관 (104), 정제 유닛 (110), 필터 개스킷 (108) 및 (112), 및 체크 밸브 (106), (114) 및 (116)가 하기에 더욱 상세히 논의될 것이다. 상기 분지형 다기관 정제 장치 (100)는 사용자가 유체 (F)를 체크 밸브 (116)로 종결되는 다기관 (104)의 브랜치를 통해 저장 용기 (101) 내로 도입할 수 있게 한다. 이어서 저장 용기 (101) 내로 도입된 유체 (F)는 체크 밸브 (114)를 통해 저장 용기 (101)로부터, 정제 유닛 (110) 내에 위치하는 정제 물질 (P)에 의해 불순물을 제거하는 정제 유닛 (110)으로 흐를 때 정제된다. 정제된 유체 (F')는 다기관 (104)의 다른 브랜치에 연결되는 체크 밸브 (106)를 통해 정제 유닛 (110)으로부터 나온 후에 용기 밸브 (102)로부터 분배된다.
도 1에 나타낸 장치 (100)의 세부 사항을 언급하면, 장치 (100)는 유체 용기 (101) 내부에 위치하며, 용기 (101)에 연결된 밸브 (102)와 효과적으로 맞물리는 다기관 (104)을 포함한다. 밸브 (102)는 출구 (118) 및 안전 장치 (103)를 갖는 통상적인 기체 실린더 밸브이다. 안전 장치 (103)에는 유체 용기의 압력이 안전 수준을 초과하는 경우 파열되는 금속 파열 디스크 (나타내지 않음)가 장착된다. 금속 파열 디스크는 가용성 및(또는) 용융성 금속을 포함한다.
다기관 (104)은 두 개의 브랜치를 갖는다: 하나의 브랜치는 편향되어 유체 (F)가 다기관 (104)으로부터 용기 (101) 내로 흐르도록 하지만, 반대 방향 (즉, 용기 (101)로부터 다기관 (104))으로 흐르는 것을 억제하는 제 1 체크 밸브 (116)로 종결된다. 다기관 (104)의 다른 브랜치는 제 2 체크 밸브 (106)에 연결되고, 이는 정제 유닛 (110)에 연결된다. 체크 밸브 (106)는 편향되어 유체 (F')가 정제 유닛 (110)으로부터 다기관 (104)으로 흐르도록 하지만, 반대 방향 (즉, 다기관 (104)으로부터 정제 유닛 (110))으로 흐르는 것을 억제한다.
필터 개스킷 (108)이 체크 밸브 (106)와 정제 유닛 (110) 사이에 위치하여서 미립자 물질이 다기관 (104) 및 밸브 (102)를 막는 것을 방지한다. 필터 개스킷 (108)은 외부 부분 및 내부 망 (mesh)을 갖는다: 외부 부분은 체크 밸브 (106) 및 정제 유닛 (110) 둘 다와 맞물려서 이들 두 성분을 함께 누출되지 않게 연결하고 내부 망은 유체 (F')의 체크 밸브 (106) 통과를 허용하면서 정제 유닛 (110) 내의 정제 물질 (P) 및 다른 미립자를 차단 (trap)한다.
제 3 체크 밸브 (114)는 체크 밸브 (106)가 정제 유닛 (110)에 연결되는 말단부의 반대편에서 정제 유닛 (110)에 연결된다. 체크 밸브 (114)는 체크 밸브 (106)와 동일한 흐름 편향 방향을 가져서 유체 (F)가 저장 용기 (101)로부터 정제 유닛 (110)으로 흐르도록 하지만, 반대 방향으로 흐르는 것을 억제한다. 체크 밸브 (114)는 또한 밸브 (102)가 개방될 때까지 유체 (F)가 정제 유닛 (110)으로 흐르는 것을 방지한다.
다른 필터 개스킷 (112)은 체크 밸브 (114)와 정제 유닛 (110) 사이에 위치하여서 미립자 물질이 정제 유닛 (110)으로 유입되는 것을 방지하고 또한 정제 유닛 (110) 내부에 정제 물질 (P)을 유지시킨다. 필터 개스킷 (108)과 유사하게, 필터 개스킷 (112)은 외부 부분 및 내부 망을 갖는다: 외부 부분은 정제 유닛 (110) 및 체크 밸브 (114) 둘 다와 맞물려서 이들 두 성분을 함께 누출되지 않게 연결한다. 내부 망은 유체 중 미립자 물질이 정제 유닛 (110)으로 유입되는 것을 방지하고 유체 (F)의 유닛 (110) 통과를 허용하면서 유닛 (110) 내의 정제 물질 (P)을 유지시킨다.
임의로, 사용자가 정제된 유체 (F')를 사용 지점으로 분배할 때까지 파열성 디스크 (나타내지 않음)는 정제 유닛 (110)을 누출되지 않게 밀봉한다. 파열 디스크는 정제 유닛 (110)의 말단부에 누출되지 않게 연결된 외부 링 부분, 및 막이 파열될 때까지 정제 유닛 (110)의 말단부를 누출되지 않도록 밀봉하는 파열성 내부 막을 가진다.
상기에 기재된 유체 정제 장치 (100)는 사용자가 불순물을 함유하는 유체 (F)를 다기관 (104) 및 체크 밸브 (116)를 통해, 필요할 때까지 유체 (F)를 저장하는 용기 (101)에 도입하도록 한다. 정제된 유체 (F')가 필요한 경우, 사용자가 밸브 (102)를 개방하면 저장된 유체 (F)는 체크 밸브 (114) 및 정제 유닛 (110)을 통해 흐르고 불순물이 정제 유닛 (110)의 정제 물질 (P)에 의해 제거된다.
유체 (F)의 단독 압력이 정제 유닛 (110)을 통해 유체 (F)를 밀어내기에 부적절한 경우에, 사용자는 캐리어 기체를 첨가할 수 있다. 유체 (F) (또는 유체 (F) 및 캐리어 기체)의 유속은 약 0.001 표준 리터/분 ("splm") 내지 약 1,000 splm일 수 있고 또한 약 1 splm 내지 약 200 splm일 수 있다. 파열 디스크가 정제 유닛 (110)을 밀봉하면, 유체 (F) (또는 유체 (F)와 캐리어 기체의 조합)의 압력은 디스크의 내부 막을 파열시켜 유체 (F)가 정제 유닛 (110) 내로 유입되게 한다. 이어서 정제된 유체 (F')는 정제 유닛 (110)으로부터 나와 체크 밸브 (106) 및 다기관 (104)을 통해 이동하고 이후 밸브 (102)의 개구부 (118)를 통해 사용 지점으로 분배된다.
유체 (F)는 액체, 기체, 증기, 및 다중-상 유체 (예를 들어, 단일 성분 유체 및 혼합물)를 포함한다. 유체 (F)의 예는 제한되는 것은 아니지만 할로겐 함유 화합물 예컨대 불소 (F2); 염소 (Cl2); 브롬 (Br2); 요오드 (I2); 불화수소 (HF); 염화수소 (HCl); 브롬화수소 (HBr); 요오드화수소 (HI); 삼불화질소 (NF3); 육불화텅스텐 (WF6); 규소 할라이드 화합물 예컨대 디클로로실란 (SiH2Cl2), 트리클로로실란 (SiHCl3), 사불화규소 (SiF4), 사염화규소 (SiCl4); 육불화황 (SF6); 삼불화염소 (ClF3); 삼염화붕소 (BCl3); 삼불화붕소 (BF3); 오불화비소 (AsF5); 사불화게르마늄 (GeF4); 삼불화인 (PF3); 및 다른 할로겐 함유 화합물 중에서 할로카본 예컨대 CF4, NF3, CHClF2, CClF2CF3, CClF3, CHCl2F, CH2F2, 및 CH3F를 포함한다.
유체 (F)의 예는 또한 유기 화합물 예컨대 알칸, 알켄 및 알킨을 비롯한 포화 및 불포화 탄화수소; 비시클릭 및 폴리시클릭 고리 화합물을 비롯한 시클릭 탄화수소; 아렌 및 헤테로아렌을 비롯한 방향족 탄화수소; 다른 산화된 유기 화합물 중에서 알콜, 에테르, 케톤, 에스테르, 및 유기산을 비롯한 산화된 유기 화합물; 및 다른 유기 화합물 중에 아민을 비롯한 질소 함유 유기 화합물을 포함한다.
유체 (F)의 예는 또한 수소 함유 화합물, 예컨대 다른 수소 함유 화합물 중 에서 수소 (H2); 암모니아 (NH3); 실란 (SiH4); 디실란 (Si2H6); 아르신 (AsH3); 포스핀 (PH3); 게르만 (GeH4); 디보란 (B2H6); 및 SeH2를 포함한다. 유체 (F)는 또한 예를 들어, 산소 함유 화합물 예컨대 다른 산소 함유 화합물 중에서 산소 (02); 일산화탄소 (CO); 이산화탄소 (C02); 산화질소 (NO); 아산화질소 (N20); 이산화질소 (N02); 및 카르보닐 술파이드 (COS)를 포함한다. 유체 (F) 또한 예를 들어 불활성 화합물 예컨대 다른 불활성 화합물 중에서 질소 (N2); 헬륨 (He); 아르곤 (Ar); 네온 (Ne); 크립톤 (Kr); 크세논 (Xe); 및 라돈 (Rn)을 포함한다.
유체 (F)의 예는 또한 금속 및 하나 이상의 유기 기를 포함하는 유기금속 화합물을 포함한다. 금속의 예는 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 전이 금속 예컨대 ⅢA, ⅣA, VA, ⅥA, ⅦA, Ⅷ, Ⅰb 및 Ⅱb 족, 및 Ⅲb, Ⅳb, Vb, Ⅵb 족 금속 (족 명칭은 문헌 [Chemical Abstracts Service] 주기율표 족 표시법에 의해 정의됨)을 포함한다. 금속은 또한 유기금속 화합물 중에 둘 이상의 금속의 폴리금속 기를 포함할 수 있다. 유기 기의 예는 비치환된 선형, 시클릭 및 방향족 탄화수소, 및 치환된 구성 기를 갖는 것, 예컨대 알킬 히드라진, 아렌, 헤테로아렌, 티올, 아민, 알콜, 에테르, 케톤, 및 카르복실산을 포함한다. 본 발명에서 사용된 유기금속 화합물의 구체적 예는 알킬 아민-알란, 트리-알킬 알루미늄 화합물, 트리-알킬 갈륨 화합물, 및 트리-알킬 인듐 화합물 (알킬기는 메틸기, 에틸기, 프로필기 등을 포함함)을 포함한다.
때때로 유체 (F) 이외에 캐리어 기체가 사용되어 유체 (F)의 농도를 희석시키고(시키거나) 유체 (F)가 정제 장치를 통해 흐르고 사용 지점에 도달하도록 돕는다. 캐리어 기체의 예는 제한되는 것은 아니지만 다른 캐리어 기체 중에서 수소 (H2) 및 불활성 기체 예컨대 질소 (N2); 헬륨 (He); 아르곤 (Ar); 네온 (Ne); 크립톤 (Kr); 및 크세논 (Xe)을 포함한다.
유체 (F)를 정제하는 정제 물질 (P)은 기재 및 금속 화합물과 결합된 기재를 포함한다. 기재는 예컨대 다른 형태 중에서 비드, 시트, 압출물, 분말 및 정제와 같은 다양한 형태를 가질 수 있다. 기재의 표면적은 약 0.1 m2/g 내지 약 1,000 m2/g의 범위를 가질 수 있다. 별법으로, 표면적은 약 1 m2/g 내지 약 300 m2/g의 범위, 또는 약 10 m2/g 내지 약 100 m2/g의 범위를 가질 수 있다. 기재의 기공 크기는 측정시 약 0.1 nm 이상일 수 있다. 별법으로, 기공 크기는 2 nm 이상, 또는 약 0.1 nm 내지 약 10 nm일 수 있다.
정제 물질 (P)로서 사용된 기재의 예는 제한되는 것은 아니지만 금속 산화물 예컨대 다른 금속 산화물 중에서 알루미나 (Al203); 실리카-알루미나; 실리카 (SiO2); 티타니아 (Ti02); 지르코니아 (Zr02); 및 제올라이트를 포함한다. 예는 또한 카본, 흑연, 및 유기 중합체를 포함한다.
정제 물질 (P)에서 사용되는 금속 화합물은 실질적으로 기재의 표면 전부를 피복할 수 있다. 별법으로, 금속 화합물은 기재 표면의 약 5% 내지 약 100%, 또는 약 90%를 피복할 수 있다. 금속 화합물이 정제 물질 (P)의 표면적의 100%를 구성하는 경우에, 금속 화합물은 자체가 기재로서 작용할 수 있다. 정제 물질 (P)에서 사용된 금속 화합물의 예는 제한되는 것은 아니지만 금속 예컨대 알루미늄, 마그네슘, 티타늄, 아연, 리튬, 나트륨, 바나듐, 크롬, 몰리브덴, 텅스텐, 망간, 납, 비스무트, 코발트, 텅스텐, 세륨, 니켈, 구리 및 철, 및 금속의 합금을 포함한다. 금속 화합물의 예는 또한 상기 금속의 산화물, 질산염, 탄산염, 옥살산염, 및 수소화물을 포함한다.
상기에 지적한 바와 같이, 불순물은 본 발명의 유체 정제 장치에 의해 유체 (F)로부터 제거된다. 불순물의 예는 제한되는 것은 아니지만 산소 함유 화합물 예컨대 다른 것 중에서 산소 함유 유기 및 무기 화합물, 산소, 물, 수산화물, 과산화물, 탄산염, 일산화탄소, 이산화탄소, 에테르, 알콜, 알콕사이드, 및 알킬에테레이트 부가물을 포함한다. 불순물의 예는 또한 다른 것 중에서 술페이트, 술파이트, 티오술페이트, 포스페이트, 니트레이트, 니트라이트, 할라이드, 찰사이드 (chalcide), 및 옥시-할라이드를 포함한다.
불순물이 유체 (F)로부터 제거되는 경우에, 유체 (F)는 "정제된" 유체 (F')인 것으로 간주된다. 용어 "정제된," "순수한" 및 "불순한"은 상대적인 용어이며 절대적인 용어가 아님을 이해해야 한다. 예를 들어, 불순물 500 ppb를 갖는 시판 아르곤은 결코 심하게 오염되었다고 간주될 수 없다. 따라서, 본원에 기재된 "정제된" 유체는 주어진 공정에 대한 순도 기준을 충족하는 유체이고 "불순한" 유체는 상기 순도 기준을 충족시키지 않는 유체이다.
정제된 유체 (F') 중 불순물의 농도는 약 100 부/10억 ("ppb") 내지 약 0.01 ppb의 범위를 포함할 수 있다. 별법으로, 농도는 약 10 ppb 이하, 1 ppb 이하, 또는 0.1 ppb 이하일 수 있다.
도 2에 나타낸 본 발명의 유체 정제 장치 (200)의 다른 실시양태는 유체 저장 용기 (201) 내부에 위치하며, 유체 (F)를 받아들이고 용기 (201)로부터 정제된 유체 (F')를 분배하는 용기 밸브 (202)와 효과적으로 맞물리는 분지형 다기관 (204)을 포함한다. 이 실시양태에서, 유니온 (208) 및 (212)은 체크 밸브 (206) 및 (214)를 정제 유닛 (210)에 연결하는데 사용된다.
세부 사항에 대해 언급하면, 장치 (200)는 유체 저장 용기 (201) 내부에 위치하며, 저장 용기 (201)에 연결된 밸브 (202)와 효과적으로 맞물리는 다기관 (204)를 포함한다. 다기관 (204)는 두 개의 브랜치를 갖는다: 한 브랜치는 편향되어 유체 (F)가 다기관 (204)으로부터 저장 용기 (201)로 흐르도록 하지만, 반대 방향 (즉, 용기 (201)로부터 다기관 (204))으로 흐르는 것을 억제하는 제 1 체크 밸브 (216)로 종결된다. 다기관 (204)의 다른 브랜치는 편향되어 유체 (F)가 정제 유닛 (210)으로부터 다기관 (204)으로 흐르도록 하지만, 유체 (F)가 반대 방향 (즉, 다기관 (204)에서 정제 유닛 (210))으로 흐르는 것을 억제하는 제 2 체크 밸브 (206)에 연결된다.
제 1 유니온 (208)은 체크 밸브 (206)를 정제 유닛 (210)에 연결하는데 사용된다. 유니온 (208)은 제 1 말단부 및 제 1 말단부의 반대편의 제 2 말단부를 포함하며, 제 1 말단부는 체크 밸브 (206)에 밀폐식으로 맞물리고 제 2 말단부는 정제 유닛 (210)에 밀폐식으로 맞물린다. 필터 개스킷 (209)은 유니온 (208)과 동축으로 정렬되고 유니온 (208)의 중앙부 근처에 위치하여 미립자 물질이 다기관 (204) 및 밸브 (202)를 막는 것을 방지한다. 별법으로, 필터 개스킷은 유니온 (208)의 제 1 말단부 또는 제 2 말단부 근처에 위치할 수 있다. 필터 개스킷 (209)은 유체 (F)의 체크 밸브 (206) 통과를 허용하면서 정제 유닛 (210)의 정제 물질 (P) 및 다른 미립자를 유지시킨다.
제 3 체크 밸브 (214)는 체크 밸브 (206)가 연결되는 정제 유닛 (210)의 말단부 반대편에서 정제 유닛 (210)에 연결된다. 체크 밸브 (214)는 체크 밸브 (206)와 동일한 흐름 편향 방향을 갖고 유체 (F)가 용기 (201)로부터 정제 유닛 (210)으로 흐르도록 하지만, 반대 방향으로 흐르는 것을 억제한다. 체크 밸브 (214)는 또한 밸브 (202)가 개방될 때까지 유체 (F)가 정제 유닛 (210) 내로 흐르는 것을 방지한다.
제 2 유니온 (212)은 체크 밸브 (214)를 정제 유닛 (210)에 연결시키는데 사용된다. 유니온 (212)은 제 1 말단부 및 제 1 말단부의 반대편의 제 2 말단부를 포함하며, 제 1 말단부는 정제 유닛 (210)에 밀폐식으로 맞물리고 제 2 말단부는 체크 밸브 (214)에 밀폐식으로 맞물린다. 필터 개스킷 (213)은 유니온 (212)과 동축으로 정렬되고 유니온 (212)의 중앙부 근처에 위치한다. 별법으로, 필터 개스킷은 유니온 (212)의 제 1 또는 제 2 말단부 근처에 위치할 수 있다. 필터 개스킷 (213)은 유체 (F)의 정제 유닛 (210) 통과를 허용하면서 유체 (F) 중 미립자 물질이 정제 유닛 (210) 내로 유입되는 것을 방지하고 유닛 (210) 내부에 정제 물질 (P)을 유지시킨다.
임의로, 유니온 (208) 및 (212)은 유니온 (208) 및 (212)과 동축으로 정렬되어 유니온 (208) 및 (212)에 연결된 파열성 디스크 (나타내지 않음)를 포함한다. 파열 디스크는 사용자가 정제된 유체 (F')를 사용 지점으로 분배할 준비가 될 때까지 누출되지 않도록 정제 유닛 (210)을 밀봉한다. 파열 디스크는 막이 파열될 때까지 정제 유닛 (210)의 말단부를 누출되지 않도록 밀봉하는 파열성 막을 포함한다.
도 3에 나타낸 본 발명의 유체 정제 장치 (300)의 다른 실시양태는 유체 저장 용기 (301) 내부에 위치하며, 유체 (F)를 받아들이고 정제된 유체 (F')를 용기 (301)로부터 분배하는 용기 밸브 (302)와 효과적으로 맞물리는 챔버 (304)를 포함한다. 상기 실시양태에서, 체크 밸브 (306) 및 정제 유닛 (310)의 일부는 챔버 (304) 내부에 위치하고, 또한 다른 체크 밸브 (316)에 연결된 포트 (318)를 포함한다. 사용자는 유체 (F)의 소스를 밸브 (302)에 연결함으로써 유체 (F)를 저장 용기 (301)에 도입한다. 사용자가 밸브 (302)를 개방하는 경우, 유체 (F)는 챔버 (304)를 범람하여 포트 (318) 및 체크 밸브 (316)를 통해 저장 용기 (301)로 통과할 것이다. 사용자가 정제된 유체 (F')를 용기 (301)로부터 분배할 준비가 된 경우에, 저장 용기 (301)에 저장된 유체 (F)는 체크 밸브 (314)를 통해 정제 유닛 (310)을 통과하고, 정제 물질 (P)은 유체 (F)로부터 불순물을 제거한다. 이어서, 정제된 유체 (F')는 체크 밸브 (306)를 통해 챔버 (304)를 통과하고 개구 밸브 (302)를 통해 사용 지점에 분배된다.
필터 개스킷 (308) 및 (312)은 정제 유닛 (310)과 동축으로 정렬되어 정제 유닛 (310)의 반대편 말단부에 위치한다. 본 발명의 다른 실시양태에서의 필터 개스킷과 유사하게, 상기 필터 개스킷 (308) 및 (312)은 또한 정제 유닛 (310) 내부에 정제 물질 (P)을 유지하면서 미립자 물질이 정제 유닛 (310) 및 챔버 (304)로 유입되는 것을 방지한다. 정제 장치 (300)는 또한 임의로 사용자가 정제된 유체 (F')를 사용 지점으로 분배할 준비가 될 때까지 정제 유닛 (310)을 누출되지 않게 밀봉하는 파열 디스크 (나타내지 않음)를 포함한다.
도 4에 나타낸 본 발명의 유체 정제 장치 (400)의 다른 실시양태는 유체 저장 용기 (401) 내부에 위치하며, 유체 (F)를 받아들이고 유체 (F')를 저장 용기 (401)로부터 분배하는 용기 밸브 (402)와 효과적으로 맞물리는 분지형 다기관 (404)을 포함한다. 이 실시양태에서, 용기 (401)에 도입된 유체 (F)는 정제 유닛 (410)과 동축으로 정렬된 포트 (418)를 통해 이동하고 정제 유닛 (410) 내부에 위치한 체크 밸브 (416)를 통과하고 이후 저장 용기 (401)에 유입된다. 포트 (418) 및 체크 밸브 (416)의 벽은 누출되지 않도록 밀봉되어 유체 (F)가 정제 유닛 (410)의 정제 물질 (P)과 접촉하는 것을 방지한다. 사용자가 정제된 유체 (F')를 용기 (401)로부터 분배할 준비가 된 경우에, 용기 (401)에 저장된 유체 (F)는 체크 밸브 (414)를 통해 정제 물질 (P)이 유체 (F)로부터 불순물을 제거하는 정제 유닛 (410)을 통과한다. 불순물이 제거된 후에, 정제된 유체 (F')는 체크 밸브 (406)를 통해 다기관 (404)을 통과하고 개방 밸브 (402)를 통해 사용 지점에 분배될 수 있다.
본 발명의 다른 실시양태와 유사하게, 정제 장치 (400)는 또한 정제 유닛 (410) 내부에 정제 물질 (P)을 유지하면서 미립자 물질이 정제 유닛 (410) 및 챔버 (404)로 유입되는 것을 방지하는 필터 개스킷 (나타내지 않음)을 포함할 수 있다. 마찬가지로, 정제 장치 (400)는 또한 임의로 사용자가 정제된 유체 (F')를 사용 지점으로 분배할 준비가 될 때까지 정제 유닛 (410)을 누출되지 않도록 밀봉하는 파열 디스크 (나타내지 않음)를 포함한다.
도 5에 나타낸 본 발명의 유체 정제 장치 (500)의 다른 실시양태는 제 2 컨테이너 (504)와 효과적으로 맞물리는 제 1 컨테이너 (502)를 포함하며, 컨테이너 (502) 및 (504) 둘 다가 저장 용기 (501) 내부에 위치한다. 상기 실시양태에서, 사용자가 정제된 유체 (F')를 사용 지점으로 전달할 준비가 될 때까지 유체 (F) 및 정제 물질 (P)은 저장 용기 (501)에서 각각 분리되어 저장된다.
제 1 컨테이너 (502)는 정제 물질 (P)을 함유하고 제 2 컨테이너 (504)는 유체 (F)를 함유한다. 제 1 컨테이너 (502)는 또한 제 2 컨테이너 (504) 상의 제 2 피팅 (519)에 연결된 제 1 피팅 (518)을 갖는다. 피팅 (518) 및 (519)은 예를 들어 누출되지 않는 연결로 컨테이너 (502) 및 (504)를 나사 방식으로 맞물리는 VCR 유형 피팅 또는 나사산을 갖는 (threaded) 피팅일 수 있다.
시일 부재 (520)는 피팅 (518)과 (519)과 동축으로 정렬되고 피팅 (518)과 (519) 사이에 위치한다. 시일 부재 (520)는 제 1 및 제 2 피팅 (518) 및 (519)의 밀봉 면에 맞물려서 누출되지 않는 시일을 형성하는 외부 링 부분 (521)을 포함한다. 외부 링 부분 (521)은 전성 (malleable) 금속 또는 금속 합금으로 제조될 수 있다. 별법으로, 외부 링 부분 (521)은 플라스틱 또는 고무와 같은 유기 중합체를 포함한다.
시일 부재 (520)는 또한 내부 막 (522)이 파열될 때까지 유체 (F)가 정제 물질 (P)과 접촉하는 것을 방지하는 파열성 내부 막 (522)을 포함한다. 시일 부재 (520)는 제 1 및 제 2 피팅 (518) 및 (519) 사이에 밀폐식으로 맞물리며 유체 (F)는 비파열된 내부 막 (522)에 의해 정제 물질 (P)과 분리되어 유지된다. 사용자가 유체 (F)를 정제 물질 (P)과 접촉시킬 준비가 된 경우에, 내부 막 (522)이 파열될 때까지 제 1 컨테이너 (502)는 압력을 받을 수 있다. 별법으로, 용기 밸브 (507)가 개방된 후에 유체 (F)가 내부 막 (522)을 파열시키거나 포트 (514)를 통해 제 2 컨테이너 (504)가 압력을 받아서 내부 막 (522)의 파열을 유발한다. 내부 막 (522)이 파열되면, 제 2 컨테이너 (504)의 유체 (F)는 정제 물질 (P)에 의해 유체 (F)로부터 불순물이 제거되는 제 1 컨테이너 (502)를 통과하고 정제된 유체 (F')는 개방 밸브 (507)를 통해서 분배된다.
제 1 컨테이너 (502)는 저장 용기 (501)의 포트 (506)에 연결된 포트 (505)를 갖는다. 포트 (505) 및 포트 (506)는 가역적이고 누출되지 않도록 연결된다. 별법으로, 포트 (505) 및 포트 (506)는 서로 용접되거나 포트 (505)는 포트 (506)에 누출되지 않게 연결된 컨테이너 (502)에서 개구부로 대체된다. 필터 개스킷 (나타내지 않음)은 포트 (505)의 말단부를 피복하여 정제 물질 (P) 및 다른 미립자가 밸브 (507) 및 정제 장치 (500)의 다른 하류 성분을 막는 것을 방지한다.
밸브 (507)와 효과적으로 맞물리는 하류 성분은 유체 조정기 (510)와 밸브 (507)를 누출되지 않도록 연결하는 피팅 (508)을 포함한다. 임의로, 밸브 (507)는 또한 밸브 (507)로부터 하류의 셧오프 밸브 (나타내지 않음), 흐름 조절 장치 (나타내지 않음), 및 필터 및(또는) 정제 유닛 (나타내지 않음)과 효과적으로 맞물린다.
사용자는 유체 (F) 및 정제 물질 (P)을 밸브 (507) 및(또는) 포트 (514)를 통해 저장 용기 (501)에 제공할 수 있다. 사용자는 저장 용기 (501)를 비운 이후 유체 (F) 및 정제 물질 (P)을 첨가할 수 있다. 유체 (F) 및 정제 물질 (P)은 용기 (501)로 별도로 충전되거나 혼합물로서 동시에 도입될 수 있다.
도 6에 나타낸 본 발명에 따른 정제 장치 (600)의 다른 실시양태는 유체 투과성 지지체 (605)에 의해 제 1 및 제 2 격실 (602) 및 (603)로 분리된 내부를 갖는 저장 용기 (601)를 포함한다. 용기 (601)는 또한 유체 (F)와 유체 투과성 지지체 (605) 사이에 위치하는 파열성 막 (611)을 갖는다. 파열성 막 (611)이 파열될 때까지 파열성 막 (611)은 유체 (F)가 유체 투과성 지지체 (605)와 접촉하는 것을 방지한다. 파열성 막 (611)은 금속 또는 중합체, 예컨대 폴리테트라플루오로에틸렌 (즉, 테플론)과 같은 할로겐화 중합체로부터 제조된다. 별법으로, 파열성 막 (611)은 금속 호일로 제조되고, 여기서 금속은 제한되는 것은 아니지만 금, 은, 니켈, 알루미늄, 스테인레스강, 및 이들의 합금을 포함한다.
제 1 격실 (602)은 정제 물질 (P)을 유지시킨다. 별법으로, 정제 물질은 격실 (603)에 유지되고 유체 (F)는 격실 (602)에 유지되거나 유체 (F) 및(또는) 정제 물질 (P)이 제 1 및 제 2 격실 (602) 및 (603) 둘 다에 유지될 수 있다. 사용자는 유체 투과성 지지체 (605) 및 막 (611)을 침투하는 도관 (620)에 연결된 셧오프 밸브 (618)를 개방함으로써 유체 (F)를 저장 용기 (601)의 격실 (603)로 도입한다. 별법으로, 사용자는 유체 (F)를 포트 (614)를 통해 격실 (603)로, 또는 밸브 (607)를 통해 격실 (602)로 도입할 수 있다.
사용자가 저장 용기 (601)에 저장된 유체 (F)를 사용 지점으로 공급할 준비가 된 경우에, 밸브 (607)가 개방된다. 유체 (F)가 유체 투과성 지지체 (605)를 통과하고 유체 (F)로부터 불순물을 제거하는 정제 물질 (P)과 접촉한다. 불순물이 제거된 후에, 정제된 유체 (F')는 포트 (606), 밸브 (607) 및 임의의 다른 하류 성분을 통과하고 이후 사용 지점에 도달한다. 임의로, 필터 개스킷 (나타내지 않음)은 포트 (606)의 용기-측 개구부를 피복하여 미립자 및 정제 물질이 밸브 (607) 및 다른 하류 성분을 막는 것을 방지한다.
도 7에 나타낸 본 발명에 따른 정제 장치 (700)의 다른 실시양태는 정제 유닛 (710)과 효과적으로 맞물리는 저장 용기 (701)를 포함한다. 상기 실시양태에서, 정제 유닛 (710)은 저장 용기 (701) 외부에 위치하고 하나 이상의 온도 조절 장치 (703)가 정제 유닛 (710) 및(또는) 용기 (701)에 연결된다.
사용자는 용기 (701)에 연결된 포트 (706)를 통해 유체 (F)를 적재함으로써 유체 (F)를 장치 (700)에 도입한다. 별법으로, 사용자는 밸브 (702)를 통해 저장 용기 (701)에 유체 (F)를 도입할 수 있다. 사용자가 정제된 유체 (F)를 사용 지점으로 분배할 준비가 된 경우에, 밸브 (702)가 개방되고 유체 (F)는 밸브 (702) 및 도관 (704)을 통과하고 이후 정제 물질 (P)이 유체 (F)로부터 불순물을 제거하는 정제 유닛 (710)에 유입된다. 불순물이 제거된 후에, 정제된 유체 (F')는 도관 (711)을 통과하여 사용 지점에 이른다. 조정기 (712)는 도관 (711)에 연결되어 사용 지점에 도달하는 유체 (F)의 압력을 조정한다. 필터 개스킷 (나타내지 않음)은 또한 유닛 (710) 내부에 정제 물질 (P)을 유지시키면서 정제 유닛 (710)의 말단부에 연결되어 미립자 물질이 정제 유닛 (710) 및 도관 (711)으로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
장치 (700)의 운전 동안 저장 용기 (701) 및 정제 유닛 (710)의 온도는 온도 조절 장치 (703)에 의해서 조절된다. 온도 조절 장치 (703)의 예는 제한되는 것은 아니지만 가열 테이프, 가열 플레이트, 가열 코일, 가열 패드, 가열된 또는 냉각된 캐비넷, 및 온도 조절된 유체 조를 포함한다.
2개 이상의, 독립적으로 조절가능한 온도 조절 장치가 장치 (700)의 다른 성분의 온도를 독립적으로 조절하는 장치 (700)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 하나의 온도 조절 장치는 저장 용기 (701)에 연결될 수 있고 반면에 다른 온도 조절 장치는 정제 유닛 (710)에 연결된다. 이 구성에서, 유체 (F')가 사용 지점으로 분배될 때 저장 용기 (701) 및 정제 유닛 (710)은 상이한 온도로 운전될 수 있다.
도 8에 나타낸 본 발명의 다른 실시양태는 정제 유닛 (800)에 초점을 맞춘다. 유체 용기에 외부적으로 연결된 정제 유닛 (800)은 자체가 두 개의 유니온 (806) 및 (814)에 연결된 다기관 (804)에 연결된 컨테이너 (810)를 포함한다. 유니온 (806)에 연결된 소스에서 나온 유체 (F)는 유니온 (806) 및 포트 (816)를 통해 정제 물질 (P)을 보유하는 컨테이너 (810)를 통과한다. 유체 (F) 중 불순물은 정제 물질 (P)에 의해 제거되고 정제된 유체 (F')는 포트 (818) 및 유니온 (814)을 통해 사용 지점으로 흐른다.
파열 디스크 (808) 및 (812)가 제 1 및 제 2 유니온 (806) 및 (814) 및 다기관 (804)의 각 개구부 사이에 위치한다. 파열 디스크 (808) 및 (812)는 컨테이너 (810)를 누출되지 않도록 밀봉하고 파열 디스크 (808)가 파열될 때까지 유체 (F)가 정제 물질 (P)과 접촉하는 것을 방지한다. 파열 디스크 (808) 및 (812)는 외부 링 부분 및 파열성 내부 막을 포함한다: 외부 링 부분은 유니온 (806) 및 (814) 및 다기관 (804)의 밀봉된 면에 맞물린다. 별법으로, 파열 디스크 (808) 및 (812)는 예를 들어, 다른 기술 중에서 접착제, 용접, 전기 도금, 또는 기계적 마찰 피팅에 의해 유니온 (806) 및 (814)에 연결될 수 있다. 파열성 내부 막과 같이 외부 링은 다른 물질 중에서 금속 또는 유기 중합체로 제조될 수 있다.
필터 개스킷은 유니온 (806) 및 (814) 및 다기관 (804) 사이에 위치하여서 컨테이너 (810) 내부에 정제 물질 (P)을 유지하면서 미립자 물질이 컨테이너 (810)에 유입되는 것을 방지할 수 있다.
정제 유닛 (800)의 다른 실시양태는 다기관 (804)이 암 유니온 (나타내지 않음)에 연결될 수 있는 숫 개구부 (나타내지 않음)를 갖는 경우를 고려한다. 다른 실시양태에서, 파열 개스킷이 유니온 내부에 밀폐식으로 삽입될 수 있다.
본 발명은 또한 유체 (F)를 정제하는 방법을 포함한다. 유체 (F)로부터 불순물을 제거하는 한 가지 방법은 용기의 내부 격실에서 유체 (F)를 캐리어 기체와 혼합하고, 유체 (F)와 캐리어 기체의 혼합물을 용기 내부의 정제 유닛으로 통과시켜 혼합물을 정제하고 정제된 혼합물을 사용 지점으로 분배하는 것을 포함한다.
불순물 함유 유체 (F)를 정제하는 다른 방법은 내부 격실 및 그 속에 함유된, 기재 상에 형성된 금속 화합물을 포함하는 정제 물질 (P)을 포함하는 용기에 유체 (F)를 저장하는 것을 포함한다. 본 방법은 또한 캐리어 기체를 용기의 내부 격실로 흐르게 하고 캐리어 기체와 정제된 유체 (F)의 혼합물을 사용 지점으로 분배하는 것을 포함한다. 추가로, 본 방법은 사용 지점 및 용기에 연결된 포트를 비우고 용기로부터 정제된 유체 (F')를 포트에 통과시키는 것을 포함한다.
다른 방법에서, 용기는 용기의 내부 격실로부터 모든 불순물을 실질적으로 제거하고 이어서 용기에 연결된 포트를 통해 용기에 정제 물질 (P)을 공급함으로써 정제 물질 (P)을 수용하도록 제조된다. 포트는 정제된 유체 (F')를 분배하는데 사용된 동일한 포트일 수 있다. 정제 물질 (P)을 포트에 공급한 후에, 유체 (F)가 용기에 첨가된다. 별법으로, 유체 (F) 및 정제 물질 (P)을 혼합물로서 용기에 연속적으로 첨가할 수 있다.
다른 방법은 기재 위에 침착된 금속을 포함하는 정제 물질 (P)을 포함하는 내부 격실을 갖는 용기를 제공하고; 캐리어 기체를 용기를 통해 흐르도록 하여 정제된 유체 (F')를 정제 유닛으로부터 제거하고 용기로부터 정제된 유체 (F') 및 캐리어 기체의 혼합물을 분배하는 것을 포함하며, 용기로부터 분배되는 정제된 유체 (F')의 불순물 농도가 약 100 부/10억 (ppb) 이하인 장치로부터 정제된 유체 (F')를 분배시키는 것을 포함한다.
유체 (F)로부터 불순물을 제거하는 또 다른 방법은 제 1 내부 격실 및 제 2 내부 격실을 포함하며, 제 1 내부 격실이 유체 투과성 지지체에 의해 제 2 내부 격실로부터 분리되어 있는 용기를 제공하고, 제 1 내부 격실에 정제 물질 (P) 및 제 2 내부 격실에 유체 (F)를 제공하고, 유체 (F)를 유체 투과성 지지체 및 정제 물질 (P)에 통과시켜 불순물을 유체 (F)로부터 제거하는 것을 포함한다.
앞선 설명은 본 발명의 원리를 오직 예시한 것으로 고려한다. 본 명세서 및 하기 청구항에서 사용된 단어 "포함하다 (comprise)," "포함하는 (comprising)," "포함하다 (include)," "포함한 (including)," 및 "포함하다 (includes)"는 하나 이상의 지적된 특징, 정수, 성분, 또는 단계의 존재를 구체화하기 위함이지만, 하나 이상의 다른 특징, 정수, 성분, 단계, 또는 이들의 군의 존재 또는 첨가를 배제하지는 않는다. 더욱이, 당업계의 숙련자에게 다수의 변형 및 변화가 쉽게 발생할 수 있기 때문에, 상기에 기재된 정확한 구조 및 방법으로 본 발명이 제한되는 것은 바람직하지 않다. 따라서, 모든 적합한 변형 및 등가물이 하기의 청구항에 의해 정의된 본 발명의 범위 내에서 속한 것으로 분류될 수 있다.

Claims (8)

  1. 제 1 브랜치 (branch) 및 제 2 브랜치를 포함하는 다기관;
    다기관의 제 1 브랜치에 연결된 제 1 체크 밸브; 및
    제 1 말단부 및 제 2 말단부를 포함하는 정제 유닛
    을 포함하며, 제 1 말단부가 다기관의 제 2 브랜치에 연결되는 유체 정제 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 장치가 밸브를 포함하는 유체 용기 내부에 위치하는 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 다기관이 밸브에 연결되는 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 다기관의 제 2 브랜치와 정제 유닛의 제 1 말단부 사이에 연결된 제 2 체크 밸브를 포함하는 장치.
  5. 제 1항에 있어서, 정제 유닛의 제 2 말단부에 연결된 제 3 체크 밸브를 포함하며, 제 2 말단부가 정제 유닛의 제 1 말단부의 반대편에 있는 장치.
  6. 제 1항에 있어서, 제 1 및 제 2 필터 개스킷을 포함하며, 제 1 필터 개스킷이 정제 유닛의 제 1 말단부에 연결되고 제 2 필터 개스킷이 정제 유닛의 제 2 말단부에 연결되는 장치.
  7. 제 1항에 있어서, 제 1 및 제 2 파열 디스크를 포함하며, 제 1 파열 디스크가 정제 유닛의 제 1 말단부에 연결되고 제 2 파열 디스크가 정제 유닛의 제 2 말단부에 연결되는 장치.
  8. 제 2항에 있어서, 상기 밸브가 단일 포트를 갖는 장치.
KR1020117004743A 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템 KR101130006B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/331,123 2002-12-26
US10/331,123 US6911065B2 (en) 2002-12-26 2002-12-26 Method and system for supplying high purity fluid
PCT/US2003/041017 WO2004060810A2 (en) 2002-12-26 2003-12-22 Method and system for supplying high purity fluid

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020057012115A Division KR101164679B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110038156A true KR20110038156A (ko) 2011-04-13
KR101130006B1 KR101130006B1 (ko) 2012-03-28

Family

ID=32654656

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117004744A KR101129801B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템
KR1020057012115A KR101164679B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템
KR1020117004741A KR101136638B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템
KR1020117004743A KR101130006B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템

Family Applications Before (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117004744A KR101129801B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템
KR1020057012115A KR101164679B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템
KR1020117004741A KR101136638B1 (ko) 2002-12-26 2003-12-22 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템

Country Status (7)

Country Link
US (2) US6911065B2 (ko)
JP (1) JP2006512200A (ko)
KR (4) KR101129801B1 (ko)
CN (3) CN100376309C (ko)
AU (1) AU2003300286A1 (ko)
TW (1) TWI320402B (ko)
WO (1) WO2004060810A2 (ko)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6911065B2 (en) * 2002-12-26 2005-06-28 Matheson Tri-Gas, Inc. Method and system for supplying high purity fluid
AU2003210732B2 (en) * 2003-01-28 2007-03-29 Fluor Technologies Corporation Configuration and process for carbonyl removal
US20040206239A1 (en) * 2003-02-20 2004-10-21 Laubacher Daniel B. Method for reducing gaseous contamination in a pressure vessel
US7018448B2 (en) * 2003-10-28 2006-03-28 Advanced Technology Materials, Inc. Gas cabinet including integrated effluent scrubber
US7160359B2 (en) * 2004-07-02 2007-01-09 Air Products And Chemicals, Inc. Built in purifier for reactive gases
TW200632245A (en) * 2005-01-28 2006-09-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd A thermal insulator
US7638058B2 (en) * 2005-04-07 2009-12-29 Matheson Tri-Gas Fluid storage and purification method and system
US7811532B2 (en) * 2005-04-18 2010-10-12 Air Products And Chemicals, Inc. Dual-flow valve and internal processing vessel isolation system
KR20080009739A (ko) * 2005-05-03 2008-01-29 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 유체 저장 및 분배 시스템, 및 이를 포함하는 유체 공급방법
CN101287947A (zh) * 2005-09-15 2008-10-15 曼巴斯阿尔法股份公司 压力控制的气体存贮
CN101506062A (zh) * 2005-11-28 2009-08-12 马西森三气公司 使用化学气相沉积形成的气体储存容器衬里
SG174771A1 (en) * 2006-06-09 2011-10-28 Soitec Silicon On Insulator High volume delivery system for gallium trichloride
US7914746B2 (en) * 2006-08-23 2011-03-29 Lummus Technology Inc. Method and apparatus for protective atmosphere recycling
NL1033130C2 (nl) * 2006-12-22 2008-06-24 Scient Glass Technology Singap Gasfles, een beschermelement voor gebruik op een dergelijke gasfles en filter kennelijk bestemd voor gebruik bij een dergelijke gasfles.
JP4976207B2 (ja) * 2007-06-15 2012-07-18 三井金属鉱業株式会社 ガス中の酸素除去装置及び高純度窒素ガスの製造装置
US8308439B2 (en) * 2007-07-20 2012-11-13 Lummus Technology Inc. Method and apparatus for resisting disabling fouling of compressors in multistage compression systems
US8142549B2 (en) * 2008-03-26 2012-03-27 Matheson Tri-Gas, Inc. Purification of fluorine containing gases and systems and materials thereof
US20090320771A1 (en) * 2008-06-10 2009-12-31 Matheson Tri-Gas Ionic liquid mediums for holding solid phase process gas precursors
US7955416B2 (en) * 2008-12-05 2011-06-07 Matheson Tri-Gas, Inc. Polymerized polymeric fluid storage and purification method and system
US8491720B2 (en) * 2009-04-10 2013-07-23 Applied Materials, Inc. HVPE precursor source hardware
KR101113641B1 (ko) * 2009-05-12 2012-02-14 기아자동차주식회사 고압 수소 충전용 리셉터클 필터
EP2684016B1 (en) 2011-03-11 2017-09-20 Alliance for Sustainable Energy, LLC Calorimeters for testing energy storage systems and power electronics
FR2978536B1 (fr) 2011-07-25 2013-08-23 Valeo Systemes Thermiques Bouteille reservoir de fluide refrigerant et echangeur de chaleur comprenant une telle bouteille
EP2874729B1 (de) * 2012-07-17 2016-11-02 Siemens Aktiengesellschaft Waschlösung zur absorption von kohlendioxid sowie verfahren zur beschleunigung der absorption durch germaniumdioxid
CN102861560A (zh) * 2012-10-22 2013-01-09 黑龙江省对俄工业技术合作中心 一种电子气体吸附剂的改性方法
CN105358895B (zh) * 2013-04-17 2017-07-04 林德股份公司 用于液化可燃气体的储罐
AU2014255682B2 (en) * 2013-04-17 2019-04-04 Linde Aktiengesellschaft Storage tank for liquefied flammable gases
EP3059212A1 (de) * 2015-02-18 2016-08-24 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren und vorrichtung zur herstellung von quarzglas aus einer polymerisierbaren polyalkylsiloxanverbindung mit membranfilter als reinigungsvorrichtung
WO2017004036A1 (en) * 2015-07-02 2017-01-05 Coopersurgical, Inc. Purifying cryogenic fluids
KR101724886B1 (ko) * 2015-08-10 2017-04-07 현대자동차주식회사 가스저장용기의 필터장치 및 이의 설치방법
CA3221975A1 (en) * 2015-08-14 2017-02-23 Basf Corporation Adsorbents and methods of making and using adsorbents
DE102016008107A1 (de) 2016-07-01 2018-01-04 Daimler Ag Tankventil
CN107859865A (zh) * 2017-11-16 2018-03-30 佛山市高明区生产力促进中心 一种便捷移动的储气罐
CN112203778B (zh) * 2018-06-22 2022-08-30 林德有限责任公司 气缸阀以及用于抑制污染物在气缸和气缸阀中形成的方法
TWI706103B (zh) * 2019-08-05 2020-10-01 古豐愿 負壓供氣鋼瓶
KR102292288B1 (ko) * 2020-03-24 2021-08-24 주식회사 케이씨 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치
WO2021262480A1 (en) * 2020-06-22 2021-12-30 Numat Technologies, Inc. An apparatus for dispensing and supplying gas to a storage vessel
TWI774149B (zh) * 2020-12-08 2022-08-11 古豐愿 安全負壓供氣鋼瓶

Family Cites Families (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US411185A (en) * 1889-09-17 Cover for cooking-vessels
US701704A (en) * 1901-10-12 1902-06-03 Rex Acetylene Generator Company Gas-purifier.
US770787A (en) * 1903-11-16 1904-09-27 George Thomson Heat-catcher.
US1056800A (en) * 1912-11-27 1913-03-25 Arthur E Krause Filtering material.
US1897372A (en) * 1930-03-03 1933-02-14 Vortox Mfg Company Air cleaner
US2028318A (en) * 1931-02-03 1936-01-21 Gen Chemical Corp Purification of gases
US2127397A (en) * 1937-03-08 1938-08-16 Dayton Rubber Mfg Co Strainer
US2284147A (en) * 1939-01-28 1942-05-26 Standard Oil Co California Method and apparatus for soil gas analysis
US2695268A (en) * 1945-01-27 1954-11-23 Wright Charles Alfred Holstead Process for the concentration of isotopes
US2524554A (en) * 1947-05-01 1950-10-03 Samuel K White Cover for frying pans
US2504184A (en) * 1947-08-13 1950-04-18 Henry Valve Company Inc Combination drier and accumulator
US2671525A (en) * 1950-08-21 1954-03-09 Gunnar C F Asker Gas drier
US2671526A (en) * 1951-11-20 1954-03-09 Niles Bement Pond Co Dehydrator plug
US3246758A (en) * 1963-01-30 1966-04-19 Watsco Inc Hygrometric indicator for desiccants
US3380810A (en) * 1963-11-26 1968-04-30 Universal Oil Prod Co Catalytic converter-muffler with a protected catalyst retainer means
US3789109A (en) 1971-08-13 1974-01-29 United Mcgill Corp Method for cleaning a gas
US4603148A (en) * 1983-05-12 1986-07-29 Hercules Incorporated Macroreticulate polymer scavengers for the removal of impurities from inert fluids
JPH0346831Y2 (ko) * 1985-12-26 1991-10-03
US4659552A (en) * 1986-07-21 1987-04-21 Hercules Incorporated Scavengers for the removal of impurities from arsine and phosphine
JPH08194B2 (ja) * 1986-11-28 1996-01-10 日本酸素株式会社 ガス純化剤及びそれを用いたガス精製方法
IT1201540B (it) * 1986-12-22 1989-02-02 Getters Spa Dispositivo getter non evaporabile comprendente un supporto ceramico e metodo per la sua fabbricazione
US4761395A (en) * 1987-03-24 1988-08-02 Advanced Technology Materials, Inc. Process and composition for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom
US4983363A (en) * 1987-03-24 1991-01-08 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom
US4738693A (en) * 1987-04-27 1988-04-19 Advanced Technology Materials, Inc. Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification
US4723967A (en) * 1987-04-27 1988-02-09 Advanced Technology Materials, Inc. Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification
US4865815A (en) * 1987-06-01 1989-09-12 La-Man Corporation In-line compressed air carbon monoxide filter
JPH02240918A (ja) * 1989-03-15 1990-09-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 薄膜形成用原料ガスの精製方法
JPH0647543Y2 (ja) * 1989-10-13 1994-12-07 西部瓦斯株式会社 圧力スイング吸着用吸着塔
DE69202014T2 (de) * 1991-07-17 1995-08-31 Japan Pionics Verfahren zur Reinigung von gasförmigen organometallischen Verbindungen.
JP3217854B2 (ja) * 1991-07-17 2001-10-15 日本パイオニクス株式会社 有機金属の精製方法
JP2747753B2 (ja) * 1992-03-10 1998-05-06 大陽東洋酸素株式会社 不活性ガス中の微量不純ガス成分の除去方法および除去装置
JPH05317632A (ja) * 1992-05-21 1993-12-03 Mitsubishi Petrochem Eng Co Ltd ガス吸着分離装置および方法
JPH0623220A (ja) * 1992-06-03 1994-02-01 Ebara Infilco Co Ltd 乾式除害装置
US5340552A (en) * 1992-09-10 1994-08-23 Millipore Corporation Reactive matrix for removing impurities from hydride and inert gases and process
GB9220975D0 (en) * 1992-10-06 1992-11-18 Air Prod & Chem Apparatus for supplying high purity gas
CN2165918Y (zh) * 1993-09-14 1994-05-25 翟本国 Sf6气体回收过滤装置
US5512088A (en) * 1994-06-23 1996-04-30 Interglobe Gas Technology, Inc. Separator
FR2730423B1 (fr) * 1995-02-15 1997-03-21 Air Liquide Agencement d'une grille de retenue d'un materiau actif dans un recipient, et recipient ainsi equipe
US5635394A (en) * 1995-03-31 1997-06-03 Braun Intertec Corporation Arrangement for air purification
US5916245A (en) * 1996-05-20 1999-06-29 Advanced Technology Materials, Inc. High capacity gas storage and dispensing system
US5910165A (en) * 1996-07-31 1999-06-08 Parker-Hannifin Corporation Receiver/dryer and method of assembly
JPH1066864A (ja) * 1996-08-28 1998-03-10 Osaka Gas Co Ltd 錯体吸着化学物質の回収方法
US6309446B1 (en) * 1997-02-17 2001-10-30 Kanebo, Ltd. Activated carbon for adsorptive storage of gaseous compound
US6235192B1 (en) * 1997-03-20 2001-05-22 Parker-Hannifin Corporation Biflow drier with improved filtration
US6019823A (en) * 1997-05-16 2000-02-01 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members
US6027547A (en) * 1997-05-16 2000-02-22 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium
US6110257A (en) * 1997-05-16 2000-08-29 Advanced Technology Materials, Inc. Low concentration gas delivery system utilizing sorbent-based gas storage and delivery system
US5851270A (en) * 1997-05-20 1998-12-22 Advanced Technology Materials, Inc. Low pressure gas source and dispensing apparatus with enhanced diffusive/extractive means
FR2765389B1 (fr) * 1997-06-26 1999-08-06 Gec Alsthom T & D Sa Dispositif d'absorption d'humidite pour appareil electrique a gaz dielectrique
US5911879A (en) * 1997-09-24 1999-06-15 Eaton Corporation Refrigerant filter/drier
US6007609A (en) * 1997-12-18 1999-12-28 Uop Llc Pressurized container with restrictor tube having multiple capillary passages
US5980608A (en) * 1998-01-07 1999-11-09 Advanced Technology Materials, Inc. Throughflow gas storage and dispensing system
US6660063B2 (en) * 1998-03-27 2003-12-09 Advanced Technology Materials, Inc Sorbent-based gas storage and delivery system
US6029843A (en) * 1998-07-10 2000-02-29 Newell Operating Company Cookware lid
US6241955B1 (en) * 1998-10-02 2001-06-05 Aeronex, Inc. Method and apparatus for purification of hydride gas streams
IT1318937B1 (it) * 2000-09-27 2003-09-19 Getters Spa Metodo per la produzione di dispositivi getter porosi con ridottaperdita di particelle e dispositivi cosi' prodotti
GB0103762D0 (en) * 2001-02-15 2001-04-04 Air Prod & Chem A gas purification unit
US6932945B2 (en) 2001-06-19 2005-08-23 Air Products And Chemicals, Inc. Adsorbent based gas delivery system with integrated purifier
US6592653B2 (en) * 2001-11-12 2003-07-15 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and delivery system utilizing low heels carbon sorbent medium
US6620225B2 (en) * 2002-01-10 2003-09-16 Advanced Technology Materials, Inc. Adsorbents for low vapor pressure fluid storage and delivery
US20030192430A1 (en) * 2002-04-11 2003-10-16 Pearlstein Ronald Martin Helical built-in purifier for gas supply cylinders
US6935354B2 (en) 2002-12-09 2005-08-30 Advanced Technology Materials, Inc. Permeable gas assembly for gas delivery
US6911065B2 (en) * 2002-12-26 2005-06-28 Matheson Tri-Gas, Inc. Method and system for supplying high purity fluid
US6758131B1 (en) * 2003-07-09 2004-07-06 Seun Joubert Adjustable cover

Also Published As

Publication number Publication date
AU2003300286A1 (en) 2004-07-29
TWI320402B (en) 2010-02-11
KR101130006B1 (ko) 2012-03-28
WO2004060810A2 (en) 2004-07-22
US20050160910A1 (en) 2005-07-28
CN1753720A (zh) 2006-03-29
CN101306294B (zh) 2012-09-05
CN100376309C (zh) 2008-03-26
US20040123735A1 (en) 2004-07-01
AU2003300286A8 (en) 2004-07-29
KR20110038155A (ko) 2011-04-13
JP2006512200A (ja) 2006-04-13
TW200422265A (en) 2004-11-01
US7387663B2 (en) 2008-06-17
WO2004060810A3 (en) 2004-11-04
KR101129801B1 (ko) 2012-03-23
CN101306294A (zh) 2008-11-19
CN101306295A (zh) 2008-11-19
KR101136638B1 (ko) 2012-04-18
KR20050085913A (ko) 2005-08-29
US6911065B2 (en) 2005-06-28
KR101164679B1 (ko) 2012-07-10
CN101306295B (zh) 2013-01-09
KR20110038157A (ko) 2011-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101130006B1 (ko) 고순도 유체를 공급하기 위한 방법 및 시스템
US4723967A (en) Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification
US4738693A (en) Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification
US5772736A (en) Device for removing dissolved gas from a liquid
US5531971A (en) Process for purifying semiconductor process gases to remove lewis acid and oxidant impurities therefrom
US6620256B1 (en) Non-plasma in-situ cleaning of processing chambers using static flow methods
JP4680822B2 (ja) 複流動弁及び内部処理容器隔離システム
KR101101084B1 (ko) 교차 퍼지 밸브와 컨테이너의 조립체
US7160359B2 (en) Built in purifier for reactive gases
CN101103135A (zh) 戊硼烷（9）的储存和递送
TW202330084A (zh) 儲存及運送容器及相關方法
KR20240068696A (ko) 저장 및 전달 용기 및 관련 방법
KR200258032Y1 (ko) 유기금속화합물 보관용기
JPS637621A (ja) 揮発性物質の気化装置
JPH09139350A (ja) オイルトラップ
FR2702266A1 (fr) Procédé et installation de fourniture de gaz à un poste d&#39;utilisation sur un site utilisateur.
JPS6319812A (ja) 液体の気化装置

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee