KR20110009915U - 세정 장치 - Google Patents

Abstract

세정조 내의 액체에 피세정물을 침지해서 세정이나 헹굼을 도모하는 세정 장치에 있어서 피세정물이 액면으로부터 노출되는 것을 방지하고, 피세정물의 세정이나 헹굼을 확실히 도모한다.
세정조(3)는 상부 개구가 문(9)으로 개폐 가능하게 되고, 피세정물(2)이 수용됨과 아울러 액체가 저류된다. 세정조(3) 내에 있어서 피세정물(2)은 액체에 침지된다. 시트재(20)는 세정조(3) 내에 배치되는 망상 또는 다공상의 하방 규제판(22)을 갖고, 이 하방 규제판(22)에 피세정물(2)이 놓여진다. 덮개재(21)는 세정조(3) 내에 배치되는 망상 또는 다공판상의 상방 규제판(27)을 갖고, 이 상방 규제판(27)보다 상방으로의 피세정물(2)의 이동을 규제한다. 덮개재(21)의 상방 규제판(27)보다 상방까지 세정조(3) 내에 액체가 저류된다.

Description

세정 장치{CLEANING APPARATUS}

본 고안은 세정조 내에 저류한 액체에 피세정물을 침지해서 세정이나 헹굼을 도모하는 세정 장치에 관한 것이다.

종래, 하기 각 특허문헌에 개시되는 바와 같이, 세정조 내에 저류한 액체에 피세정물을 침지해서 세정조 내를 감압하거나 초음파를 부여하거나 해서 피세정물을 세정하는 것이 알려져 있다. 이때, 피세정물은 적당히 바스켓 등에 넣어져서 세정조로 출입된다.

일본 특허 공개 평 7-136604호 공보 일본 특허 공개 소 60-225565호 공보

그러나, 피세정물을 바스켓 등에 넣어서 세정조 내에 수용하는 것은 세정조의 내벽과 바스켓의 측면 사이에 데드 스페이스가 생기므로 세정조 내의 스페이스를 유효 활용할 수 없다. 또한, 큰 바스켓을 사용하는 것은 세정조로 출입되기 어렵고, 반대로 작은 바스켓을 사용하는 것은 수용할 수 있는 피세정물의 크기에 한계가 있다.

또한, 피세정물을 바스켓에 넣고 있어도 세정조 내의 저류액에 피세정물이 바스켓과 함께 떠버려 피세정물이 액면으로부터 노출되어 버릴 우려가 있다. 특히, 세정조 내를 감압했을 때 피세정물 내에 잔류하는 공기가 팽창하거나 피세정물 내에 증기가 고이거나 세정조 내의 저류액이 비등하거나 함으로써 피세정물이 뜰 우려가 있었다. 그 경우에는 소기의 세정 효과를 얻을 수 없는 우려가 있었다.

본 고안이 해결하려고 하는 과제는 세정조 내의 스페이스를 유효 활용해서 피세정물을 수용할 수 있는 세정 장치를 제공하는 것에 있다. 또한, 피세정물이 액면으로부터 노출되는 것을 방지해서 피세정물의 세정이나 헹굼을 확실히 도모할 수 있는 세정 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 고안은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로 제 1 항에 기재된 고안은 상부 개구가 문으로 개폐 가능하게 되어 피세정물이 수용됨과 아울러 액체가 저류되어 피세정물이 액체에 침지되는 세정조와, 상기 세정조 내에 배치되는 망상 또는 다공판상의 하방 규제판을 갖고, 이 하방 규제판에 상기 피세정물이 놓여지는 시트재(sheet material)와, 상기 세정조 내에 배치되는 망상 또는 다공판상의 상방 규제판을 갖고, 이 상방 규제판보다 상방으로의 상기 피세정물의 이동을 규제하는 덮개재와, 상기 세정조 내의 기체를 외부로 흡인 배출해서 상기 세정조 내를 감압하는 감압 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 세정 장치이다.

제 1 항에 기재된 고안에 의하면 세정조 내에 시트재를 설치하고, 그 시트재에 피세정물을 놓음으로써 세정조 내의 스페이스를 유효 활용할 수 있다. 또한, 덮개재에 의해 피세정물의 상방으로의 이동을 규제할 수 있으므로 피세정물을 항상 액 중에 침지시키는 것이 가능해지고, 피세정물의 세정이나 헹굼을 확실히 도모할 수 있다.

제 2 항에 기재된 고안은 제 1 항에 있어서, 상기 시트재는 망상 또는 다공판상의 상기 하방 규제판이 상기 세정조 내의 측벽에 유지되고, 또한 그 하방 규제판으로부터 상방으로 연장되어 암이 형성되어 있고, 상기 덮개재는 망상 또는 다공판상의 상기 상방 규제판이 상기 시트재의 암에 유지되고, 또한 그 상방 규제판으로부터 상방으로 연장되어 암이 형성되어 있고, 상기 세정조의 문에 상기 덮개재의 암이 접촉함으로써 그것보다 상방으로의 상기 덮개재의 이동이 규제된 상태에서 상기 덮개재의 상방 규제판보다 상방까지 상기 세정조 내에 액체가 저류되는 것을 특징으로 하는 세정 장치이다.

제 2 항에 기재된 고안에 의하면 세정조의 측벽에 시트재를 유지하고, 그 시트재의 암에 덮개재가 유지되고, 그 덮개재의 암이 세정조의 문에 접촉함으로써 그것보다 상방으로의 덮개재의 이동이 규제된다. 그리고, 덮개재의 상방 규제판보다 상방까지 세정조 내에 액체가 저류되므로 피세정물은 항상 액 중에 침지되게 되어 피세정물의 세정이나 헹굼을 확실히 도모할 수 있다. 시트재나 덮개재는 암을 가지므로 이 암을 손잡이로서 이용할 수 있고, 취급이 용이하고, 또한 그 암을 사용해서 세정조에 부착할 수 있다.

제 3 항에 기재된 고안은 제 2 항에 있어서, 상기 덮개재는 상기 상방 규제판이 상기 시트재의 암에 유지되는 것에 대신해서 상기 덮개재의 암이 상기 세정조의 문에 부착되는 것을 특징으로 하는 세정 장치이다.

제 3 항에 기재된 고안에 의하면 덮개재는 세정조의 문에 부착되어 있으므로 세정조의 문과 함께 개폐할 수 있다.

또한, 제 4 항에 기재된 고안은 제 2 항 또는 3 항에 있어서, 상기 세정조 내에 저류되는 액체를 가온하는 가온 수단을 더 구비하고, 이 가온 수단은 상기 하방 규제판보다 하방에 배치되는 것을 특징으로 하는 세정 장치이다.

제 4 항에 기재된 고안에 의하면 가온 수단을 하방 규제판보다 하방에 배치함으로써 피세정물이 가온 수단에 직접적으로 접촉하는 것을 방지할 수 있다.

(고안의 효과)

본 고안에 의하면 세정조 내의 스페이스를 유효 활용해서 피세정물을 수용할 수 있다. 또한, 피세정물이 액면으로부터 노출되는 것을 방지해서 피세정물의 세정이나 헹굼을 확실히 도모할 수 있다.

도 1은 본 고안의 세정 장치의 일실시예의 주요부를 나타내는 개략 단면도이다.
도 2는 도 1의 세정 장치의 시트재와 덮개재를 나타내는 개략 사시도이다.

이하, 본 고안의 구체적 실시예를 도면에 의거해서 상세하게 설명한다.

본 고안의 세정 장치는 피세정물을 세정하는 것이지만, 세정에 대신해서 또는 이것에 추가해서 피세정물을 헹구는 것이어도 좋다. 즉, 세정 장치는 피세정물의 세정 및 헹굼 중 적어도 한쪽을 실행할 수 있게 된다. 또한, 세정 및 헹굼은 각각 제염(소독)을 겸하고 있어도 좋다.

도 1은 본 고안의 세정 장치(1)의 일실시예의 주요부를 나타내는 개략단면도이다.

본 실시예의 세정 장치(1)는 액체가 저류되어 피세정물(2)이 침지되는 세정조(3)와, 이 세정조(3) 내의 액체를 가온하는 가온 수단(4)과, 세정조(3) 내의 기체를 외부로 흡인 배출해서 세정조(3) 내를 감압하는 감압 수단(5)과, 감압된 세정조(3) 내의 기상부로 외기를 도입하는 기상 급기 수단(6)과, 감압된 세정조(3) 내의 액상부로 외기를 도입하는 액상 급기 수단(7)을 주요부로서 구비한다.

피세정물(2)은 세정 또는 헹굼을 도모하고 싶은 물품이며, 예를 들면 의료 기구, 전자 부품 또는 기계 부품이다. 피세정물(2)은 튜브와 같은 관상의 물품이나 대혈(袋穴)을 갖는 물품, 또는 유저(有底)의 용기 등이어도 좋다.

세정조(3)는 내부 공간의 감압을 견디는 중공 용기이다. 세정조(3)는 상방으로 개구해서 중공부를 갖는 본체(8)와, 이 본체(8)의 개구부를 개폐하는 문(9)을 구비한다. 문(9)을 닫은 상태에서는 본체(8)와 문(9)의 간극은 패킹(10)으로 밀봉된다.

세정조(3)에는 액체가 공급되어서 저류된다. 이 액체는 그 종류를 특별히 상관하지 않고, 세제를 포함한 물, 세제를 포함하지 않는 물 이외에 연수, 순수, 용제 등이 된다.

가온 수단(4)은 세정조(3) 내에 저류되는 액체를 가온한다. 가온 수단(4)은 그 구성을 특별히 상관하지 않고, 예를 들면 증기 히터이어도 좋지만 본 실시예에서는 전기 히터(11)가 된다. 이 경우 세정조(3) 내에 액체를 저류한 상태에서 전기 히터(11)에 통전함으로써 세정조(3) 내의 액체를 가온할 수 있다.

감압 수단(5)은 세정조(3) 내의 기체를 외부로 흡인 배출해서 세정조(3) 내를 감압한다. 감압 수단(5)은 그 구성을 특별히 상관하지 않지만, 전형적으로는 증기 응축용 열교환기와 수봉식 진공 펌프를 구비해서 구성된다.

기상 급기 수단(6)은 감압된 세정조(3) 내의 기상부로 기상 급기로(12)를 통해 외기를 도입한다. 기상 급기로(12)에는 세정조(3)를 향해서 순서대로 필터(13) 및 기상 급기 밸브(14)가 설치된다. 따라서, 세정조(3) 내가 감압된 상태에서 기상 급기 밸브(14)를 열면 세정조(3)의 내외의 차압에 의해 필터(13)를 통과한 공기를 세정조(3) 내로 도입해서 세정조(3) 내를 복압(復壓)할 수 있다. 또한, 기상 급기 밸브(14)를 전자 밸브로 구성하면 세정조(3) 내를 재빠르게 복압할 수 있다.

액상 급기 수단(7)은 감압된 세정조(3) 내의 액상부로 액상 급기로(15)를 통해 외기를 도입한다. 액상 급기로(15)에는 세정조(3)를 향해서 순서대로 필터(16) 및 액상 급기 밸브(17)가 설치된다. 따라서, 세정조(3) 내가 감압된 상태에서 액상 급기 밸브(17)를 열면 세정조(3)의 내외의 차압에 의해 필터(16)를 통과한 공기를 세정조(3) 내의 저류액 중으로 도입할 수 있다. 단, 액상 급기 수단(7)은 차압에 의해 외기를 자연적으로 도입하는 것 이외에 압축기나 펌프 등으로부터 강제적으로 공기를 보내도 좋다. 또한, 경우에 따라서 공기 이외의 기체를 보내도 좋다.

그런데, 액상 급기로(15)로부터의 공기는 세정조(3) 내의 저부에 설치된 액상 급기 노즐(18)을 통해 세정조(3) 내의 저류액 중으로 도입된다. 액상 급기 노즐(18)은 세정조(3) 내의 저부에 횡방향으로 배치된 파이프이다. 액상 급기 노즐(18)은 세정조(3) 내의 저부이지만 저면으로부터 이격되어 수평으로 유지되어 있다. 그리고, 액상 급기 노즐(18)에는 파이프의 연장 방향을 따라서 설정 간격으로 파이프의 둘레측벽에 노즐 구멍(19)이 하방으로 개구해서 형성되어 있다.

세정조(3) 내의 저류액 중에 피세정물(2)을 확실히 침지시키기 위해서 시트재(20)와 덮개재(21)가 사용된다. 도 2는 본 고안의 세정 장치(1)의 일실시예에 사용되는 시트재(20)와 덮개재(21)의 일례를 나타내는 개략 사시도이다.

시트재(20)는 망상의 하방 규제판(22)과, 이 하방 규제판(22)의 좌우 양단부로부터 상방으로 연장되어 형성되는 좌우 한 쌍의 암(23, 23)을 구비한다. 하방 규제판(22)은 금속제 선재를 대략 직사각형상으로 굴곡 형성해서 이루어지는 프레임재(24)와, 이 프레임재(24)에 부착되는 망재(25)를 구비한다.

프레임재(24)는 세정조(3) 내에 원활하게 끼워넣는 크기로 되어 있다. 프레임재(24)에는 그 대향변끼리를 걸치도록 적당한 개수(도시예에서는 4개)의 보강재(26)가 형성되어 있다. 그리고, 그렇게 해서 적당히 구획된 프레임재(24)의 프레임 내 전역에 망재(25)가 부착된다. 망재(25)는 그 눈의 크기가 적당하게 설정되지만 본 실시예에서 5mm×5mm의 철망(보다 구체적으로는 지름 1mm의 선재를 사용한 4메시의 철망)이 된다. 이것은 피세정물(2)이 될 수 있는 튜브의 외경이 7∼10mm인 경우가 많고, 그 튜브가 하방 규제판(22)을 통과하지 않도록 하기 위해서이다. 또한, 너무 촘촘한 눈의 철망을 사용하면 세정조(3) 내의 액체를 비등시켰을 때의 압력 손실이 커지는 것을 고려한 것이다.

프레임재(24)의 좌우 양단부에는 좌우 대칭 형상으로 암(23, 23)이 형성된다. 각 암(23)은 금속제 선재를 하향의 대략 コ자 형상으로 굴곡 형성해서 이루어지고, 그 하단부가 프레임재(24)의 좌우의 단변에 고정된다. 이것에 의해 프레임재(24)의 좌우 양단변에는 상방으로 연장되어 암(23)이 형성된다. 좌우의 암(23)의 상단부는 좌우 방향 내측을 향해 직각으로 굴곡되어 있다. 이렇게 해서 구성되는 암(23)은 시트재(20)의 손잡이로서 기능함과 아울러, 후술하는 바와 같이, 덮개재(21)의 유지부로서도 기능한다.

덮개재(21)는 망상의 상방 규제판(27)과, 이 상방 규제판(27)의 좌우 방향 중도부로부터 상방으로 연장되어 형성되는 좌우 한 쌍의 암(28, 28)을 구비한다. 상방 규제판(27)은 상술한 하방 규제판(22)과 동일한 구성이며, 금속제 선재를 대략 직사각형상으로 굴곡 형성해서 이루어지는 프레임재(29)와, 이 프레임재(29)에 부착되는 망재(30)를 구비한다.

프레임재(29)는 세정조(3) 내에 원활하게 끼워넣는 크기로 되어 있다. 프레임재(29)에는 그 대향변끼리를 걸치도록 적당한 개수(도시예에서는 4개)의 보강재(31)가 형성되어 있다. 그리고, 그렇게 해서 적당히 구획된 프레임재(29)의 프레임내 전역에 망재(30)가 부착된다. 망재(30)는 그 눈의 크기가 적당히 설정되지만, 상술한 하방 규제판(22)과 마찬가지로 본 실시예에서는 5mm×5mm의 철망이 된다.

프레임재(29)의 좌우 방향 중앙부로부터 좌우 방향 외측으로 등거리만큼 이격된 위치에는 좌우 대칭 형상으로 암(28, 28)이 형성된다. 각 암(28)은 금속제 선재를 하향의 대략 コ자 형상으로 굴곡 형성해서 이루어지고, 그 하단부가 프레임재(29)의 전후의 단변에 고정된다. 이것에 의해 프레임재(29)의 좌우에는 상방으로 연장되어 암(28)이 형성된다. 이렇게 해서 구성되는 암(28)은 덮개재(21)의 손잡이로서 기능함과 아울러, 후술하는 바와 같이, 세정조(3)의 문(9)에 접촉함으로써 그것보다 상방으로의 덮개재(21)의 이동을 규제하는 스토퍼로서도 기능한다.

또한, 본 실시예에서는 시트재(20)의 하방 규제판(22)(프레임재(24), 망재(25), 보강재(26)) 및 암(23)과 덮개재(21)의 상방 규제판(27)(프레임재(29),망재(30), 보강재(31)) 및 암(28)은 각각 스테인리스에 의해 형성되지만 재질은 적당히 변경 가능하다. 또한, 본 실시예에서는 하방 규제판(22) 및 상방 규제판(27)은 각각 프레임재(24, 29)에 망재(25, 30)를 부착해서 구성했지만 소망에 의해 펀칭 메탈 등의 다공판을 사용해도 좋다.

세정조(3) 내에 피세정물(2)을 수용하기 위해서는 우선 시트재(20)를 세정조(3) 내에 유지한다. 구체적으로는 세정조(3)의 측벽에는 세정조(3) 내에 돌출되어 유지부(32)가 형성되어 있고, 이 유지부(32)에 시트재(20)의 하방 규제판(22)을 놓으면 좋다. 이것에 의해 세정조(3) 내의 상하 방향 중도부에 하방 규제판(22)이 수평으로 유지된다. 그리고, 그 하방 규제판(22)의 좌우 양단부에는 수직 상방으로 연장되어, 상술한 바와 같이, 암(23)이 형성되어 있다.

이렇게 해서 세정조(3) 내에 수평으로 유지된 하방 규제판(22)에 피세정물(2)을 놓아서 피세정물(2)이 세정조(3) 내에 수용된다. 이 경우 세정조(3)의 횡단면의 거의 전역에 1개 또는 복수의 피세정물(2)을 놓을 수 있고, 세정조(3) 내의 스페이스를 유효 활용할 수 있다.

그 후, 세정조(3) 내에 중간 덮개를 덮도록 덮개재(21)를 형성하면 좋다. 덮개재(21)는 상방 규제판(27)의 하단부가 시트재(20)의 좌우의 암(23, 23)의 상단부에 유지된다. 이것에 의해 세정조(3) 내의 상하 방향 중도부에 상방 규제판(27)이 수평으로 유지된다. 그리고, 세정조(3)의 문(9)이 닫힌다.

세정조(3)의 문(9)에 덮개재(21)의 암(28)이 접촉함으로써 그것보다 상방으로의 덮개재(21)의 이동이 규제되지만, 그 상태에서도 덮개재(21)의 상방 규제판(27)보다 상방까지 액체가 있도록 세정조(3) 내에 액체가 저류된다. 한편, 전기 히터(11)나 액상 급기 노즐(18)은 하방 규제판(22)보다 하방에 배치된다.

세정 장치(1)의 구체적인 운전 방법은 특별히 상관하지 않지만, 예를 들면 다음과 같이 운전된다. 우선, 운전에 앞서, 상술한 바와 같이, 세정조(3) 내에 배치된 시트재(20)에 피세정물(2)을 놓은 후 덮개재(21)를 덮어 세정조(3)의 문(9)을 기밀하게 닫는다. 또한, 세정조(3) 내에는 상방 규제판(27)이 항상 액면으로부터 노출되지 않을 만큼의 액체가 저류된다. 즉, 만약 덮개재(21)가 다소 상하로 움직일 수 있는 경우에도 덮개재(21)가 최대한으로 상승한 위치(덮개재(21)의 암(28)이 세정조(3)의 문(9)에 접촉하는 위치)에 있어서 상방 규제판(27)이 액면으로부터 노출되지 않을 만큼의 액체가 저류된다.

그리고, 세정조(3) 내의 액체를 설정 온도까지 가온한 후 소정의 종료 조건을 충족시킬 때까지 액체를 계속 비등시키도록 세정조(3) 내의 감압을 계속하고, 이 감압 중 세정조(3) 내의 기상부로 외기를 도입해서 액체의 비등이 멈출 때까지 순시에 일시적으로 복압하는 것을 반복함으로써(기상 급기 펄스 제어), 피세정물(2)의 세정 또는 헹굼을 도모한다(일본 특허 출원 2010-43687). 이 경우 세정조(3) 내의 액체의 비등 중에 세정조(3) 내를 순시에 일시적으로 복압함으로써 액체의 비등을 한번에 멈추는 것이 반복된다. 따라서, 세정조(3) 내가 복압할 때에 거기까지의 비등에 의해 액체 중에 생성된 기포는 순시에 응축된다. 이 응축 시의 압력파나 압력차로 액체가 교반 및 이송되어 피세정물(2)의 세정 또는 헹굼이 도모된다. 또한, 피세정물(2)이 튜브인 경우나 피세정물(2)이 대혈을 갖는 경우에는 비등에 의해 생긴 증기를 튜브 내나 대혈 내에 고이게 해서 복압 시에 그 증기 고임을 한번에 없애서 튜브 내나 대혈 내에 액체를 강하게 넣는 것으로도 피세정물(2)의 세정 또는 헹굼이 도모된다.

또는, 세정조(3) 내의 액체를 설정 온도까지 가온한 후 액체를 비등시키거나 그 직전까지 세정조(3) 내를 감압한 상태에서 세정조(3) 내의 액상부에 외기를 도입해서 액체를 비등시키면서 피세정물(2)의 세정 또는 헹굼을 도모한다(일본 특허 출원 2010-43688). 이 경우 세정조(3) 내의 액체를 비등시키거나 그 직전까지 세정조(3) 내를 감압한 상태에서 피세정물(2)보다 하방으로부터 세정조(3) 내의 액체 중에 외기를 도입함으로써 세정조(3) 내의 액체를 격하게 폭발적으로 비등시킬 수 있다. 이것에 의해 세정조(3) 내의 액체를 크게 요동시켜서 피세정물(2)의 세정 또는 헹굼을 효과적으로 도모할 수 있다. 그 후, 세정조(3) 내의 액체를 다시 설정 온도까지 가온하고, 세정조(3) 내를 감압 후에 세정조(3) 내의 액상부에 외기를 도입하는 것을 반복하는 것이 좋다(액상 급기 펄스 제어).

또는, 세정조(3)의 저부에 초음파 진동자(도시 생략)를 설치해 두고, 이 초음파 진동자를 작동시킴으로써 피세정물(2)을 초음파 세정해도 좋다(초음파 세정 제어). 또한, 초음파 세정 시 또는 그 전후에 있어서 세정조(3) 내를 감압해도 좋다.

또는, 상술한 기상 급기 펄스 제어, 액상 급기 펄스 제어, 초음파 세정 제어 중에서 선택된 제어를 소망의 순서로 실행해도 좋다. 그 외, 세정조(3) 내의 감압이나 복압, 버블링 등을 적당히 조합시켜서 피세정물(2)의 세정이나 헹굼을 도모해도 좋다.

어느 경우나 상방 규제판(27)에 의해 피세정물(2)은 항상 액 중에 침지되어 있으므로 피세정물(2)의 세정이나 헹굼을 확실히 도모할 수 있다. 예를 들면, 세정조(3)를 감압했을 때에는 피세정물(특히, 내부에 공기가 잔류하기 쉬운 수지 튜브)(2) 내의 잔류 공기가 팽창하거나 피세정물(2) 내에 증기가 고이거나 세정조(3) 내의 저류액이 비등(특히, 액상 급기 펄스에 의한 폭발적인 비등)하거나 함으로써 피세정물(2)이 뜰 우려가 있지만 피세정물(2)이 액면으로부터 노출되는 것이 확실히 방지된다. 또한, 가령 튜브의 단부가 액면으로부터 노출되는 등 피세정물(2)이 액면으로부터 나와버리면 감압 후의 복압에 의해서도 피세정물(2) 내에 액체가 도입되지 않고, 세정 효과가 저하되어 버리지만 본 고안에 의하면 피세정물(2)의 전체가 액 중에 침지되므로 그러한 문제가 방지된다.

또한, 액상 급기 펄스 제어를 행할 경우 세정조(3) 내를 감압한 상태에서 액상 급기 밸브(17)를 열게 되지만 세정조(3) 내의 포화 증기 압력(온도)에 의해 대기압과의 차압이 다르므로 액상 급기 밸브(17)를 개방하는 시간이 동일하더라도 세정조(3) 내의 액상부에 실제로 공급되는 공기량이 다르게 된다. 그래서, 세정조(3) 내의 압력 또는 온도에 의거해서 액상 급기 수단(7)에 의한 급기량을 조정하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 필터(16)와 액상 급기 밸브(17) 사이에 전동 밸브(구체적으로는 모터 밸브)를 설치하고, 세정조(3) 내의 압력 또는 온도에 의거해서 상기 전동 밸브의 개도를 변경하면 좋다. 또는 액상 급기로(15)를 병렬로 복수개 형성하고, 각각에 전기 밸브로 구성되는 액상 급기 밸브(17)를 설치하고, 그 복수개의 액상 급기 밸브(17) 내에서 개방하는 수를 바꿈으로써 액상부로의 급기량을 단계적으로 변경해도 좋다.

본 고안의 세정 장치(1)는 상기 실시예의 구성에 한정되지 않고 적당히 변경 가능하다. 특히, 망상 또는 다공판상의 상방 규제판(27)을 갖는 덮개재(21)에 의해 액면으로부터 상방으로의 피세정물(2)의 이동을 규제하는 구성이면 그 밖의 구성 및 운전 방법 등은 적당히 변경 가능하다. 예를 들면, 초음파 세정 장치와 같은 각종 침지식 세정 장치에 상기 실시예의 상방 규제판(27)을 형성한 구성으로 해도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는 세정조(3)의 유지부(32)에 시트재(20)를 유지하고, 그 시트재(20)의 암(23)에 덮개재(21)를 유지하고, 문(9)을 닫은 상태에서 덮개재(21)의 암(28)의 상단부가 문(9)의 하면에 접촉하는 구성으로 했지만, 덮개재(21)의 암(28)의 상단부와 문(9)의 하면 사이에는 간극이 있어도 좋다. 그 경우에서도 피세정물(2)이 뜨려고 해서 덮개재(21)가 소정 이상 상방으로 이동하려고 하면 덮개재(21)의 암(28)의 상단부가 문(9)의 하면과 접촉해서 피세정물(2)이 액면으로부터 나가지 않도록 하면 좋다.

또한, 상기 실시예에서는 덮개재(21)는 세정조(3)에 출입 가능하게 되고, 상방 규제판(27)이 시트재(20)의 암(23)에 유지되었지만, 덮개재(21)의 암(28)이 세정조(3)의 문(9)에 부착되어 있어도 좋다. 또한, 덮개재(21)를 상방 규제판(27)과 암(28)으로 분리해서 구성하고, 암(28)만 세정조(3)의 문(9)에 부착되어 있고, 상방 규제판(27)은 세정조(3)에 출입 가능해서 상방 규제판(27)이 액면으로부터 상방으로 이동하는 것을 문(9)에 부착된 암(28)이 규제하는 구성으로 해도 좋다.

1: 세정 장치 2: 피세정물
3: 세정조 4: 가온 수단
5: 감압 수단 6: 기상 급기 수단
7: 액상 급기 수단 9: 문
20: 시트재 21: 덮개재
22: 하방 규제판 23: (시트재의)암
27: 상방 규제판 28: (덮개재의)암
32: 유지부

Claims (4)

1. 상부 개구가 문으로 개폐 가능하게 되어 피세정물이 수용됨과 아울러 액체가 저류되어 피세정물이 액체에 침지되는 세정조;
   상기 세정조 내에 배치되는 망상 또는 다공판상의 하방 규제판을 갖고, 이 하방 규제판에 상기 피세정물이 놓여지는 시트재;
   상기 세정조 내에 배치되는 망상 또는 다공판상의 상방 규제판을 갖고, 이 상방 규제판보다 상방으로의 상기 피세정물의 이동을 규제하는 덮개재; 및
   상기 세정조 내의 기체를 외부로 흡인 배출해서 상기 세정조 내를 감압하는 감압 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 시트재는 망상 또는 다공판상의 상기 하방 규제판이 상기 세정조 내의 측벽에 유지되고 또한 그 하방 규제판으로부터 상방으로 연장되어 암이 형성되어 있고,
   상기 덮개재는 망상 또는 다공판상의 상기 상방 규제판이 상기 시트재의 암에 유지되고 또한 그 상방 규제판으로부터 상방으로 연장되어 암이 형성되어 있고,
   상기 세정조의 문에 상기 덮개재의 암이 접촉함으로써 그것보다 상방으로의 상기 덮개재의 이동이 규제된 상태에서 상기 덮개재의 상방 규제판보다 상방까지 상기 세정조 내에 액체가 저류되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 덮개재는 상기 상방 규제판이 상기 시트재의 암에 유지되는 것에 대신해서 상기 덮개재의 암이 상기 세정조의 문에 부착된 것을 특징으로 하는 세정 장치.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
   상기 세정조 내에 저류되는 액체를 가온하는 가온 수단을 더 구비하고,
   이 가온 수단은 상기 하방 규제판보다 하방에 배치되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.

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