KR20110008834A - 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치 - Google Patents

처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치를 개시한 것으로서, 복수 개의 처리액 토출 헤드들이 하나의 처리액 공급 모듈에 중앙 집중 방식으로 유체 연통(Fluid Communication)되도록 제공되는 것을 특징으로 가진다.
이러한 특징에 의하면, 헤드 수의 증가에 따른 설치 비용을 감소시킬 수 있고, 유지 보수(Maintenance)가 용이한 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치를 제공할 수 있다.
잉크젯, 헤드, 처리액 공급 모듈

Description

처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치{TREATING FLUID DISCHARGING HEAD UNIT AND TREATING FLUID DISCHARGING APPARATUS WITH THE SAME}
본 발명은 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 처리액을 토출하는 헤드 유닛과 이를 구비한 처리액 토출 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치는 액정 층에 의해서 변조되는 광을 컬러 필터에 통과시킴으로써 풀 컬러를 표시한다. 그리고 컬러 필터는 글래스 기판의 표면에 R(적색), G(녹색), B(청색)의 도트상의 각 색상의 필터 요소를 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등으로 배열함에 의해서 형성된다.
액정 표시 장치의 제조 공정에서는, 컬러 필터, 배향막 등을 제조하기 위하여, 글래스 기판의 표면에 처리액을 공급, 도포한다. 이러한 처리액을 도포하는 처리액 도포 장치로는 처리액을 기판의 표면에 토출하여 도포하는 잉크젯 방식의 도포 장치가 있다.
처리액 도포 장치는 복수 개의 처리액 공급 장치들을 이용하여 잉크젯 인쇄 방식으로 처리액을 도포한다. 처리액 공급 장치는 기판에 처리액을 공급하는 복수 개의 노즐들이 구비된 헤드들을 포함하며, 헤드들은 상부에 위치한 레저버(Reservoir)로부터 처리액을 공급받고 노즐들을 통해 기판의 표면으로 처리액을 토출한다.
그런데, 종래의 처리액 도포 장치의 경우, 헤드들마다 개별적으로 레저버 및 이와 관련된 처리액 배관 계통을 가지기 때문에, 헤드 수의 증가에 따라 설치 비용이 증가할 뿐만 아니라, 유지 보수(Maintenance)가 용이하지 못한 문제점이 있었다.
그리고, 종래의 처리액 도포 장치는, 헤드들을 제어하는 헤드 제어부가 헤드들과는 별도로 제공되므로, 제어 신호의 전달에 노이즈(Noise)가 발생하는 문제점을 가지고 있었다.
또한, 종래의 처리액 도포 장치는, 헤드들이 갠트리에 가하는 편심 하중에 의해 갠트리에 모멘트 힘이 작용하여, 헤드들과 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 헤드 수의 증가에 따른 설치 비용을 감소시킬 수 있고, 유지 보수(Maintenance)가 용이한 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치를 제공하기 위한 것이다.
그리고, 본 발명은 헤드 제어부와 헤드들 사이의 제어 신호 전달에 있어서 노이즈 발생을 최소화할 수 있는 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토 출 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 헤드들과 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있는 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 처리액 토출 헤드 유닛은 프레임; 상기 프레임에 설치되는 하나의 처리액 공급 모듈; 및 상기 하나의 처리액 공급 모듈에 중앙 집중 방식으로 유체 연통(Fluid Communication)되도록 상기 프레임에 제공되며, 기판상에 잉크젯 방식으로 처리액을 토출하는 복수 개의 처리액 토출 헤드들을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 처리액 토출 헤드 유닛에 있어서, 상기 처리액 공급 모듈은 상기 프레임에 설치되며, 상기 복수 개의 처리액 토출 헤드들에 상기 처리액을 공급하는 처리액 탱크; 및 상기 처리액 탱크 내에 설치되며, 상기 처리액 탱크 내의 상기 처리액의 기포를 제거하는 기포 제거 부재를 포함할 수 있다.
상기 처리액 탱크는 일 방향의 서로 마주보는 면이 개방된 몸체; 상기 몸체의 개방된 일면에 결합되며, 상기 처리액의 유입 포트 및 제 1 유출 포트가 제공된 제 1 측벽; 및 상기 몸체의 개방된 타면에 결합되며, 상기 처리액의 제 2 유출 포트가 제공된 제 2 측벽을 포함할 수 있다.
상기 처리액 탱크는 상기 몸체의 상부 벽에 제공되며, 상기 처리액 탱크에 음압 또는 양압을 제공하는 압력 조절 부재가 연결되는 압력 조절 포트를 더 포함할 수 있다.
상기 제 1 측벽은 둘레의 가장자리 영역에 단이 형성되도록 내부에 중공부가 형성되며, 상기 유입 포트는 상기 중공부의 상부 벽에 제공될 수 있다.
상기 처리액 공급 모듈은 상기 몸체와 상기 제 1 측벽의 사이에 제공되며, 상기 유입 포트를 통해 상기 몸체로 유입되는 상기 처리액의 파티클을 여과하는 파티클 여과 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 기포 제거 부재는 일단이 막힌 중공 원통 형상을 가지고 상기 몸체 내에 제공되며, 상기 처리액의 액체 성분을 제외한 기포만을 투과시키는 기포 제거 필터; 및 상기 기포 제거 필터의 개방된 타단에 연결되고 상기 몸체의 측벽에 설치되며, 음압을 제공하는 펌프가 연결되는 어댑터를 포함할 수 있다.
상기 기포 제거 필터의 기공들은 상기 기포 제거 필터의 반경 방향을 따라 내측으로 갈수록 작아질 수 있다.
상기 프레임은 보(Beam) 형상의 수평 부재로 구비되고, 상기 처리액 토출 헤드들은 상기 프레임의 하단부에 길이 방향을 따라 서로 마주보도록 배치되는 제 1 및 제 2 토출 헤드들을 포함할 수 있다.
상기 처리액 공급 모듈은 상기 프레임의 상단 중심부에 설치될 수 있다.
상기 처리액 공급 모듈은 상기 제 1 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 1 측벽에 결합되며, 상기 제 1 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 1 분배 부 재; 및 상기 제 2 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 2 측벽에 결합되며, 상기 제 2 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 2 분배 부재를 포함할 수 있다.
제 1 및 제 2 유출 포트는 상기 제 1 및 제 2 측벽의 길이 방향을 따라가면서 상하 이격된 위치에 쌍을 이루도록 제공되는 상부 유출 포트들과 하부 유출 포트들을 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 분배 부재는 속이 빈 통 형상의 분배기 몸체; 상기 상부 및 하부 유출 포트들에 연통되도록 상기 분배기 몸체의 일측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유입 포트들; 및 상기 상부 및 하부 분배기 유입 포트들과 마주보도록 상기 몸체의 타측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유출 포트들을 포함하고, 각각의 쌍을 이루는 상기 상부 및 하부 분배기 유출 포트가 각각의 상기 처리액 토출 헤드에 유체 연통될 수 있다.
상기 상부 분배기 유입 포트들은 상기 상부 분배기 유출 포트들보다 높은 위치에 제공되고, 상기 하부 분배기 유입 포트들은 상기 하부 분배기 유출 포트들보다 높은 위치에 제공될 수 있다.
상기 프레임의 길이 방향을 따르는 측벽들에 각각 설치되며, 상기 제 1 및 제 2 토출 헤드들의 토출 동작을 제어하는 헤드 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 처리액 토출 장치는 잉크젯 방식의 처리액 토출 장치에 있어서, 기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛; 및 상기 기판 지지 유닛이 이동되는 경로 상에 제공되며, 그리고 상기 기판상에 처리액을 토출하는 처리액 토출 헤드 유닛을 포함하되, 상기 처리액 토출 헤드 유닛은 프레임; 상기 프레임에 설치되는 하나의 처리액 공급 모듈; 및 상기 하나의 처리액 공급 모듈에 중앙 집중 방식으로 유체 연통(Fluid Communication)되도록 상기 프레임에 제공되며, 기판상에 잉크젯 방식으로 처리액을 토출하는 복수 개의 처리액 토출 헤드들을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 처리액 토출 장치에 있어서, 상기 프레임은 길이 방향이 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향을 향하는 수평 부재로 구비되고, 상기 처리액 토출 헤드들은 상기 프레임의 하단부에 길이 방향을 따라 서로 마주보도록 배치되는 제 1 및 제 2 토출 헤드들을 포함할 수 있다.
상기 처리액 공급 모듈은 상기 프레임의 상단 중심부에 설치될 수 있다.
상기 프레임의 길이 방향을 따르는 측벽들에 각각 설치되며, 상기 제 1 및 제 2 토출 헤드들의 토출 동작을 제어하는 헤드 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 처리액 토출 헤드 유닛을 상기 제 1 방향으로 직선 이동시키는 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
처리액 공급원과 처리액 회수 부재를 연결하는 메인 공급 라인; 상기 메인 공급 라인으로부터 분기되며, 상기 처리액 공급 모듈에 연결되는 분기 라인; 및 상기 분기 라인의 분기 위치와 상기 처리액 회수 부재 사이의 상기 메인 공급 라인상에 배치되며, 상기 메인 처리액 공급 라인 내의 상기 처리액의 유무를 검출하는 감지 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 처리액 공급 모듈은 상기 제 1 및 제 2 토출 헤드들에 상기 처리액을 공급하는 처리액 탱크; 및 상기 처리액 탱크 내에 설치되며, 상기 처리액 탱크 내의 상기 처리액의 기포를 제거하는 기포 제거 부재를 포함할 수 있다.
상기 처리액 탱크는 일 방향의 서로 마주보는 면이 개방된 몸체; 상기 몸체의 개방된 일면에 결합되며, 상기 처리액의 유입 포트 및 제 1 유출 포트가 제공된 제 1 측벽; 및 상기 몸체의 개방된 타면에 결합되며, 상기 처리액의 제 2 유출 포트가 제공된 제 2 측벽을 포함할 수 있다.
상기 처리액 공급 모듈은 상기 몸체와 상기 제 1 측벽의 사이에 제공되며, 상기 유입 포트를 통해 상기 몸체로 유입되는 상기 처리액의 파티클을 여과하는 파티클 여과 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 처리액 공급 모듈은 상기 제 1 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 1 측벽에 결합되며, 상기 제 1 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 1 분배 부재; 및 상기 제 2 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 2 측벽에 결합되며, 상기 제 2 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 2 분배 부재를 포함할 수 있다.
제 1 및 제 2 유출 포트는 상기 제 1 및 제 2 측벽의 길이 방향을 따라가면서 상하 이격된 위치에 쌍을 이루도록 제공되는 상부 유출 포트들과 하부 유출 포트들을 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 분배 부재는 속이 빈 통 형상의 분배기 몸체; 상기 상부 및 하부 유출 포트들에 연통되도록 상기 분배기 몸체의 일측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유입 포트들; 및 상기 상부 및 하부 분배기 유입 포트들과 마주보도록 상기 몸체의 타측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유출 포트들을 포함하고, 각각의 쌍을 이루는 상기 상부 및 하부 분배기 유출 포트가 각각의 상기 처리액 토출 헤드에 유체 연통될 수 있다.
상기 상부 분배기 유입 포트들은 상기 상부 분배기 유출 포트들보다 높은 위 치에 제공되고, 상기 하부 분배기 유입 포트들은 상기 하부 분배기 유출 포트들보다 높은 위치에 제공될 수 있다.
본 발명에 의하면, 헤드 수의 증가에 따른 설치 비용을 감소시킬 수 있다.
그리고 본 발명에 의하면, 처리액 토출 헤드 유닛을 용이하게 유지 보수할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 헤드 제어부와 헤드들 사이의 제어 신호 전달에 있어서 노이즈 발생을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 헤드들과 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 처리액 토출 헤드 유닛 및 이를 구비한 처리액 토출 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
( 실시 예 )
도 1은 잉크젯 방식 처리액 도포 설비(1)의 평면도이다. 도 1의 처리액 도포 설비(1)는 대상물에 잉크젯 방식으로 처리액을 도포하는 설비이다. 예를 들어, 대상물은 액정 디스플레이 패널의 컬러 필터 기판일 수 있으며, 처리액은 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 등의 잉크일 수 있다.
이하에서는 컬러 필터 기판에 잉크를 도포하는 설비를 예로 들어 설명하지만, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되는 것으로 해석되어서는 않된다.
도 1을 참조하면, 처리액 도포 설비(1)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 처리액 공급부(60), 그리고 메인 제어부(70)를 포함한다. 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치한다. 처리액 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에 처리액 공급부(60)와 메인 제어부(70)가 배치되며, 처리액 공급부(60)와 메인 제어부(70)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치된다. 기판 이송부(20)를 중심으로 처리액 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(40)와 언로딩부(50)가 배치되며, 로딩부(40)와 언로딩부(50)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치된다. 그리고 베이크부(30)는 기판 이송부(20)의 일측에 인접하게 배치된다.
여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방 향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.
처리액(잉크)이 도포될 기판은 로딩부(40)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(40)에 반입된 기판을 처리액 토출부(10)로 이송한다. 처리액 토출부(10)는 처리액 공급부(60)로부터 처리액을 공급받고, 잉크젯 방식으로 기판상에 처리액을 토출한다. 기판 이송부(20)는 처리액 토출부(10)로부터 베이크부(30)로 기판을 이송한다. 베이크부(30)는 기판을 가열하여 기판에 토출된 처리액(잉크)의 고형 성분을 제외한 나머지 액상 물질(용매)을 증발시킨다. 기판 이송부(20)는 베이크부(30)로부터 언로딩부(50)로 기판을 이송한다. 처리액이 도포된 기판은 언로딩부(50)로부터 반출된다. 그리고, 메인 제어부(70)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 그리고 처리액 공급부(60)의 전반적인 동작을 제어한다.
도 2는 도 1의 처리액 토출부(10)의 사시도이다. 도 2를 참조하면, 처리액 토출부(10)는 기판 지지 유닛(100), 처리액 토출 헤드 유닛(200), 그리고 이동 유닛(300)을 포함한다.
기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판이다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 모터(120)의 회전 축이 연결된다. 회전 구동 모터(120)는 지지판(110)에 놓인 기판이 기설정된 위치에 정렬되도록 지지판(110)을 회전시킨다. 회전 구동 모터(120)는 슬라이 더(130)의 상면에 제공된다. 가이드 부재(140)는 베이스(B)의 상면 중앙부에 제 1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(130)에는 리니어 모터(미도시)가 내장되고, 슬라이더(130)는 가이드 부재(140)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다.
처리액 토출 헤드 유닛(200)은 기판 지지 유닛(100)이 이동되는 경로 상에 제공되며, 기판에 처리액(잉크)을 토출한다. 처리액 토출 헤드 유닛(200)은 프레임(210)을 가진다. 프레임(210)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 제공된다. 프레임(210)에는 처리액 공급 모듈(220), 처리액 토출 헤드들(270) 및 헤드 제어부(280)가 설치된다. 처리액 토출 헤드들(270)은 프레임(210)의 하단부에 제공될 수 있으며, 기판상으로 처리액을 토출한다. 처리액 공급 모듈(220)은 프레임(210)의 상단부에 제공될 수 있으며, 처리액 토출 헤드들(270)로 처리액을 공급한다. 헤드 제어부(280)는 처리액 토출 헤드들(270)의 토출 동작을 제어한다.
처리액 토출 헤드 유닛(200)은 베이스(B)상에 움직이지 않도록 고정될 수 있으며, 또한 처리액 토출 헤드 유닛(200)은 이동 유닛(300)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다.
이동 유닛(300)은 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에서 처리액 토출 헤드 유닛(200)을 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다. 제 1 이동 유닛(300)은 가이드 레일(310)과 슬라이더(320)를 포함한다. 가이드 레일(310)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하고, 기판 지지 유닛(100)의 가이드 부재(140)를 중심으로 서로 마주보도록 베이스(B) 상면의 양측에 각각 설치될 수 있다. 슬라이더(320)는 가이드 레일(310)상에 설치되며, 리니어 모터(미도시)를 내장할 수 있다. 슬라이더(320)는 리니어 모터(미도시)의 구동에 의해 가이드 레일(310)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동할 수 있다.
처리액 토출 헤드 유닛(200)은 제 1 이동 유닛(300)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동할 수 있고, 기판이 놓이는 지지판(110)은 슬라이더(130) 및 가이드 부재(140)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동할 수 있다. 기판상에 처리액의 토출 시, 지지판(110)과 처리액 토출 헤드 유닛(200) 중 어느 하나를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시키면서 처리액 토출 공정을 진행할 수 있다. 예를 들어, 처리액 토출 헤드 유닛(200)은 기설정된 위치에 고정되고, 기판이 놓이는 지지판(110)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동할 수 있으며, 지지판(110)은 기판에 대한 처리액 토출 공정이 반복적으로 진행될 수 있도록 적어도 2회 이상 직선 왕복 이동할 수 있다. 이와 달리, 기판이 놓이는 지지판(110)이 기설정된 위치에 고정되고, 처리액 토출 헤드 유닛(200)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있으며, 처리액 토출 헤드 유닛(200)은 기판에 대한 처리액 토출 공정이 반복적으로 진행될 수 있도록 적어도 2회 이상 직선 왕복 이동할 수 있다. 처리액 토출 공정을 2회 이상 반복적으로 진행하는 이유는 기판에 도포되는 처리액의 도포 두께를 균일하게 하기 위함이다.
도 3은 도 2의 처리액 토출 헤드 유닛의 사시도이고, 도 4는 도 2의 처리액 토출 헤드 유닛의 측면도이며, 도 5는 도 2의 처리액 토출 헤드 유닛의 평면도이 다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 처리액 토출 헤드 유닛(200)은 프레임(210), 처리액 공급 모듈(220), 처리액 토출 헤드들(270), 그리고 헤드 제어부(280)를 포함한다.
프레임(210)은 메인 프레임(212)과 헤드 지지대(214)를 포함한다. 메인 프레임(212)은 보(Beam) 형상의 수평 부재로 구비될 수 있으며, 메인 프레임(212)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 제공된다.
메인 프레임(212)의 하부에는 처리액 토출 헤드들(270)을 지지하는 헤드 지지대(214)가 제공된다. 헤드 지지대(214)는 메인 프레임(212)의 하부에 제공되는 헤드 지지판들(215a,215b)을 가진다. 헤드 지지판들(215a,215b)은 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하는 플레이트일 수 있으며, 헤드 지지판들(215a,215b)은 메인 프레임(212)의 아래에 수평하게 서로 이격 배치될 수 있다. 헤드 지지판들(215a,215b)은 연결 로드들(217)에 의해 메인 프레임(212)에 결합될 수 있다. 연결 로드들(217)은 제 3 방향(Ⅲ)을 향하도록 수직하게 제공될 수 있고, 연결 로드들(217)의 일단은 헤드 지지판들(215a,215b)의 모서리 부분에 결합되고, 연결 로드들(217)의 타단은 메인 프레임(212)의 하면에 결합될 수 있다.
프레임(210)에는 하나의 처리액 공급 모듈(220)이 설치되며, 예를 들어 처리액 공급 모듈(220)은 메인 프레임(212)의 상면 중심부에 설치될 수 있다. 처리액 토출 헤드들(270)은 하나의 처리액 공급 모듈(220)에 중앙 집중 방식으로 유체 연 통(Fluid Communication)되도록 제공될 수 있다. 즉, 처리액 토출 헤드들(270)은 하나의 처리액 공급 모듈(200)로부터 처리액을 공급받고, 하나의 처리액 공급 모듈(200)을 통해 압력 조절이 가능하도록 제공될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
처리액 토출 헤드들(270)은 기판상에 잉크젯 방식으로 처리액을 토출한다. 처리액 토출 헤드들(270)은 제 1 헤드 지지판(215a)에 그 길이 방향을 따라 배치되는 제 1 토출 헤드들(272)과, 제 2 헤드 지지판(215b)에 그 길이 방향을 따라 배치되는 제 2 토출 헤드들(274)을 가지며, 제 1 및 제 2 토출 헤드들(272,274)은 서로 마주보도록 배치될 수 있다.
제 1 토출 헤드들(272)은 제 1 헤드 지지판(215a)상에 지그재그 형상을 이루도록 2렬로 배치될 수 있으며, 서로 간에 끝단이 중첩되도록 배치될 수 있다. 제 1 토출 헤드들(272)의 하면에는 처리액을 토출하는 복수 개의 노즐들(미도시)이 형성되며, 제 1 토출 헤드들(272)의 상면에는 처리액 유입구들(272-2)과 처리액 유출구들(272-1)이 형성된다. 처리액 유입구들(272-2)은 후술할 제 1 분배 부재(260a)의 하부 분배기 유출 포트(266a-2)에 연결될 수 있고, 처리액 유출구들(272-1)은 후술할 제 1 분배 부재(260a)의 상부 분배기 유출 포트(266a-1)에 연결될 수 있다. 그리고 제 1 토출 헤드들(272)의 일측에는 제 1 헤드 제어부(280a)와 전기적으로 연결되는 연성 회로 기판(273)이 제공될 수 있다.
제 2 토출 헤드들(274)은 제 2 헤드 지지판(215b)상에 지그재그 형상을 이루 도록 2렬로 배치될 수 있으며, 서로 간에 끝단이 중첩되도록 배치될 수 있다. 제 2 토출 헤드들(274)의 하면에는 처리액을 토출하는 복수 개의 노즐들(미도시)이 형성되며, 제 2 토출 헤드들(274)의 상면에는 처리액 유입구들(274-2)과 처리액 유출구들(274-1)이 형성된다. 처리액 유입구들(274-2)은 후술할 제 2 분배 부재(260b)의 하부 분배기 유출 포트(266b-2)에 연결될 수 있고, 처리액 유출구들(274-1)은 후술할 제 2 분배 부재(260b)의 상부 분배기 유출 포트(266b-1)에 연결될 수 있다. 그리고 제 2 토출 헤드들(274)의 일측에는 제 2 헤드 제어부(280b)와 전기적으로 연결되는 연성 회로 기판(미도시)이 제공될 수 있다.
이와 같이 토출 헤드들(272,274)이 프레임(210)의 하단부에 프레임(210)을 중심으로 대칭을 이루도록 배치되면, 토출 헤드들(272,274)의 자중에 의해 프레임(210)에 가해지는 모멘트 힘들이 서로 상쇄되기 때문에, 토출 헤드들(272,274)과 기판 사이의 간격 조절을 용이하게 할 수 있다.
헤드 제어부(280)는 제 1 헤드 제어부(280a)와 제 2 헤드 제어부(280b)를 포함한다. 제 1 헤드 제어부(280a)는 메인 프레임(212)의 길이 방향을 따르는 일 측벽, 즉 제 1 헤드 지지판(215a) 측의 측벽에 설치될 수 있다. 제 1 헤드 제어부(280a)에는 제 1 헤드 지지판(215a)상에 설치된 제 1 토출 헤드들(272)이 연성 회로 기판(273)을 통해 전기적으로 연결되며, 제 1 헤드 제어부(280a)는 제 1 토출 헤드들(272)의 동작을 제어한다.
제 2 헤드 제어부(280b)는 메인 프레임(212)의 길이 방향을 따르는 타 측벽, 즉 제 2 헤드 지지판(215b) 측의 측벽에 설치될 수 있다. 제 2 헤드 제어부(280b)에는 제 2 헤드 지지판(215b)상에 설치된 제 2 토출 헤드들(274)이 연성 회로 기판(미도시)을 통해 전기적으로 연결되며, 제 2 헤드 제어부(280b)는 제 2 토출 헤드들(274)의 동작을 제어한다.
이와 같이 제 1 및 제 2 헤드 제어부들(280a,280b)이 제어 대상이되는 제 1 및 제 2 토출 헤드들(272,274)과 근접한 위치에 배치되고, 이들 간의 전기적 연결 부분의 길이가 짧아지면, 헤드 제어부들(280a,280b)과 토출 헤드들(272,274) 사이의 제어 신호 전달에 있어서 노이즈 발생을 최소화할 수 있다.
도 6은 도 3의 처리액 공급 모듈의 사시도이고, 도 7은 도 6의 처리액 공급 모듈의 분해 사시도이다. 그리고 도 8은 도 7의 몸체의 확대도이며, 도 9는 도 7의 기포 제거 필터의 단면도이다.
도 6 내지 도 9를 참조하면, 처리액 공급 모듈(220)은 처리액 탱크(230), 파티클 여과 부재(240), 기포 제거 부재(250), 그리고 제 1 및 제 2 분배 부재(260a,260b)를 포함한다.
처리액 탱크(230)는 기판으로 토출될 처리액을 공급받는다. 파티클 여과 부재(240)는 처리액 탱크(230)로 공급된 처리액 내의 파티클을 여과한다. 기포 제거 부재(250)는 처리액 탱크(230)로 공급된 처리액 내의 기포(Bubble)을 제거한다. 제 1 및 제 2 분배 부재(260a,260b)는 처리액 탱크(230)로 공급된 처리액을 제 1 및 제 2 토출 헤드들(도 5의 도면 참조 번호 273,274)로 분배한다.
처리액 탱크(230)는 일 방향의 서로 마주보는 면이 개방된 형상, 즉 'ㅁ'자 형상의 몸체(232)를 가진다. 구체적으로, 몸체(232)는 상부 벽(232a), 하부 벽(232b), 그리고 상부 벽(232a)과 하부 벽(232b)을 연결하는 측벽들(232c,232d)을 가진다. 상부 벽(232a)에는 압력 조절 포트(233-1)와, 레벨 센싱 포트(233-2)가 제공된다. 압력 조절 포트(233-1)에는 처리액 탱크(230)에 음압 또는 양압을 제공하는 압력 조절 부재(미도시)가 연결될 수 있다. 레벨 센싱 포트(233-2)에는 처리액 탱크(230) 내의 처리액의 수위를 감지하는 레벨 센서(미도시)가 설치될 수 있다.
처리액 탱크(230)의 측벽들(232c,232d) 중 어느 하나의 측벽(232d)에는 홀(232d-1)이 형성되며, 홀(232d-1)에는 기포 제거 부재(250)가 설치될 수 있다. 기포 제거 부재(250)는 처리액 탱크(230) 내의 처리액의 기포를 제거한다.
기포 제거 부재(250)는 기포 제거 필터(252)와 어댑터(254)를 포함한다. 기포 제거 필터(252)는 일단이 막힌 중공 원통 형상을 가질 수 있으며, 처리액 탱크(230)의 몸체(232) 내에 제공될 수 있다. 기포 제거 필터(252)의 단면 내부에는, 도 9에 도시된 바와 같이, 다수의 기공들(253)이 형성될 수 있다. 기공들(253)은 기포 제거 필터(252)의 반경 방향을 따라 내측으로 갈수록 작아지도록 형성될 수 있다. 기공들(253)을 통해서는 처리액의 액체 성분을 제외한 기포 성분만 투과될 수 있다. 기포 제거 필터(252)의 개방된 타단에는 어댑터(254)가 연결된다. 어댑터(254)는 처리액 탱크(230) 몸체(232)의 측벽(232d)에 형성된 홀(232d-1)에 삽입 설치되며, 어댑터(254)에는 음압을 제공하는 펌프(미도시)가 연결될 수 있다. 펌프(미도시)가 기포 제거 필터(252) 내측의 중공부에 음압을 작용시키면, 처리액 내의 기포가 기포 제거 필터(252)의 기공들(253)을 통해 투과되어 배출된다.
처리액 탱크(230)의 몸체(232)의 개방된 일면에는 제 1 측벽(234)이 결합되고, 몸체(232)의 개방된 다른 일면에는 제 2 측벽(238)이 결합된다. 제 1 측벽(234)의 내면에는 둘레의 가장자리 영역에 단이 형성되도록 내부에 중공부(234-1)가 형성될 수 있다. 중공부(234-1)의 상부 벽에는 유입 포트(235)가 제공되며, 유입 포트(235)를 통해 처리액 탱크(230)로 처리액이 공급된다. 그리고 제 1 측벽(234)과 몸체(232)의 사이에는 파티클 여과 부재(240)가 제공될 수 있으며, 파티클 여과 부재(240)는 유입 포트(235)를 통해 처리액 탱크(230)로 유입되는 처리액의 파티클을 여과한다.
제 1 측벽(234)에는 처리액을 유출하는 제 1 유출 포트(236)가 형성될 수 있다. 제 1 유출 포트(236)는 상부 유출 포트들(236a)과 하부 유출 포트들(236b)을 포함한다. 하부 유출 포트들(236b)은 제 1 측벽(234)의 길이 방향을 따라 제 1 측벽(234)의 하단부에 일렬로 형성될 수 있다. 상부 유출 포트들(236a)은 하부 유출 포트들(236b) 상부의 이격된 위치에 일렬로 형성될 수 있다. 상하 이격된 위치에 제공되는 상부 유출 포트들(236a)과 하부 유출 포트들(236b)은 각기 하나 씩 쌍을 이루도록 제공될 수 있다. 제 1 측벽(234)에는 제 1 유출 포트(236)에 유체 연통되 도록 제 1 분배 부재(260a)가 결합되며, 제 1 분배 부재(260a)는 제 1 토출 헤드들(도 5의 도면 참조 번호 272)에 처리액을 분배한다.
제 2 측벽(238)에는 처리액을 유출하는 제 2 유출 포트(239)가 형성될 수 있다. 제 2 유출 포트(239)는 상부 유출 포트들(239a)과 하부 유출 포트들(239b)을 포함한다. 하부 유출 포트들(239b)은 제 2 측벽(238)의 길이 방향을 따라 제 2 측벽(238)의 하단부에 일렬로 형성될 수 있다. 상부 유출 포트들(239a)은 하부 유출 포트들(239b) 상부의 이격된 위치에 일렬로 형성될 수 있다. 상하 이격된 위치에 제공되는 상부 유출 포트들(239a)과 하부 유출 포트들(239b)은 각기 하나 씩 쌍을 이루도록 제공될 수 있다. 제 2 측벽(238)에는 제 2 유출 포트(239)에 유체 연통되도록 제 2 분배 부재(260b)가 결합되며, 제 2 분배 부재(260b)는 제 2 토출 헤드들(도 5의 도면 참조 번호 274)에 처리액을 분배한다.
도 10a 및 도 10b는 도 6의 분배 부재의 사시도들이고, 도 11은 도 10a와 도 10b의 분배 부재의 단면도이다. 제 1 및 제 2 분배 부재(260a,260b)는 동일한 구조를 가지므로, 이하에서는 제 1 분배 부재(260a)를 예로 들어 설명하다.
도 7, 그리고 도 10a 내지 도 11을 참조하면, 제 1 분배 부재(260a)는 분배기 몸체(262a), 상부 및 하부 분배기 유입 포트들(264a-1, 264a-2), 그리고 상부 및 하부 분배기 유출 포트들(266a-1, 266a-2)을 포함한다. 분배기 몸체(262a)는 내부에 중공부(263)가 형성된 속이 빈 통 형상으로 제공될 수 있으며, 제 1 측 벽(234)의 길이에 대응하는 길이를 가질 수 있다.
상부 및 하부 분배기 유입 포트들(264a-1, 264a-2)은 중공부(263)에 연통되도록 분배기 몸체(262a)의 일측에 제공될 수 있다. 하부 분배기 유입 포트들(264a-2)은 분배기 몸체(262a)의 길이 방향을 따라 하단부에 일렬로 제공되며, 처리액 탱크(230)의 제 1 측벽(234)에 제공된 하부 유출 포트들(236b)에 대응된다. 상부 분배기 유입 포트들(264a-1)은 하부 분배기 유입 포트들(264a-2) 상부의 이격된 위치에 일렬로 제공되며, 처리액 탱크(230)의 제 1 측벽(234)에 제공된 상부 유출 포트들(236a)에 대응된다.
상부 및 하부 분배기 유출 포트들(266a-1, 266a-2)은 중공부(263)에 연통되고, 상부 및 하부 분배기 유입 포트들(264a-1, 264a-2)과 마주보도록 분배기 몸체(262a)의 타측에 제공될 수 있다. 상부 분배기 유출 포트들(266a-1)은 제 1 토출 헤드들(도 5의 도면 참조 번호 272)의 처리액 유출구들(도 5의 도면 참조 번호 272-1)에 연결되고, 하부 분배기 유출 포트들(266a-2)은 제 1 토출 헤드들(272)의 처리액 유입구들(도 5의 도면 참조 번호 272-2)에 연결된다.
도 11에 도시된 바와 같이, 상부 분배기 유입 포트들(264a-1)은 상부 분배기 유출 포트들(266a-1)보다 연직 방향으로 높은 위치에 제공되고, 하부 분배기 유입 포트들(264a-2)은 하부 분배기 유출 포트들보다 연직 방향으로 높은 위치에 제공될 수 있다.
제 2 분배 부재(260b)의 구성은 제 1 분배 부재(260a)의 구성과 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 다만, 제 2 분배 부재(260b)와 관련하여, 도 4 및 도 5의 설명되지 않은 도면 참조 번호 266b-1은 상부 분배기 유출 포트들이고, 266b-2는 하부 분배기 유출 포트들이다. 상부 분배기 유출 포트들(266b-1)은 제 2 토출 헤드들(도 5의 도면 참조 번호 274)의 처리액 유출구들(도 5의 도면 참조 번호 274-1)에 연결되고, 하부 분배기 유출 포트들(266b-2)은 제 2 토출 헤드들(274)의 처리액 유입구들(도 5의 도면 참조 번호 274-2)에 연결된다.
이하에서는 처리액 공급부(도 1의 도면 참조 번호 60)로부터 최종단인 처리액 토출 헤드들(도 2의 도면 참조 번호 270)에 처리액이 공급되는 과정을 설명한다.
먼저, 처리액 공급부(60)로부터 처리액 공급 모듈(220)로 처리액을 공급하는 과정을 설명하면 다음과 같다. 도 12는 처리액 공급 모듈로 처리액을 공급하는 처리액 배관 계통을 보여주는 도면이다.
도 12를 참조하면, 처리액 공급부(60)는 처리액 공급원(410)과, 처리액 회수 부재(420)를 가지며, 처리액 공급원(410)과 처리액 회수 부재(420)는 메인 공급 라인(430)에 의해 연결된다. 메인 공급 라인(430)으로부터 복수 개의 분기 라인들(440a, 440b,....,440e)이 분기된다. 분기 라인들(440a, 440b,....,440e)에는 처리액 공급 모듈(220)이 연결될 수 있으며, 분기 라인들(440a, 440b,....,440e) 상에는 밸브(442)가 설치된다. 메인 공급 라인(430)의 분기 라인(440e) 후단에는 밸브(432)가 설치되고, 밸브(432)와 처리액 회수 부재(420)의 사이에는 메인 공급 라 인(430) 내의 처리액의 유무를 검출하는 감지 부재(434)가 설치된다.
분기 라인들(440a, 440b,....,440e) 상의 밸브(442)가 닫히고, 메인 공급 라인(430) 상의 밸브(432)가 열린 상태에서, 처리액 공급원(410)으로부터 메인 공급 라인(430)을 통해 처리액 공급이 시작된다. 처리액은 메인 공급 라인(430)을 따라 감지 부재(434)가 위치한 곳까지 흐른다. 감지 부재(434)는 처리액의 흐름을 검출하고, 검출 결과를 제어부(미도시)로 전송한다. 제어부(미도시)는 메인 공급 라인(430) 상의 밸브(432)를 닫고, 처리액을 공급할 분기 라인(440a)상의 밸브를 열어 처리액이 처리액 공급 모듈(220)로 공급되도록 한다. 이때, 감지 부재(434)를 통과한 처리액은 처리액 회수 부재(420)로 회수된다.
이와 같이, 처리액의 초기 공급시 메인 공급 라인(430)을 처리액으로 충전한 후, 분기 라인(440a)을 통해 처리액을 공급하면, 메인 공급 라인(430) 내의 공기로 인하여 처리액 공급 모듈(220)로 공급되는 처리액에 기포가 발생할 가능성을 최소화할 수 있다.
그리고, 처리액 공급 모듈(220)에는 공압 라인(520)이 연결되며, 공압 라인(520)에는 처리액 공급 모듈(220)에 음압 또는 양압의 압력을 제공하는 압력 조절 부재(510)가 연결될 수 있다. 압력 조절 부재(510)는 처리액 공급 모듈(220)의 토출 헤드들로부터 처리액이 흘러 내리는 것을 방지하기 위해 음압을 제공할 수 있으며, 처리액 공급 모듈(220) 내의 처리액을 외부로 배출시키기 위해 양압을 제공할 수 있다.
다음으로, 처리액 공급 모듈(220) 내에서의 처리액의 흐름을 설명하면 다음과 같다. 도 13은 처리액 공급 모듈에 공급된 처리액의 흐름을 보여주는 도면이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 분기 라인(440a)을 통해 공급되는 처리액은 유입 포트(235)를 통해 처리액 탱크(230) 내의 중공부(234-1)로 유입된다. 중공부(234-1)로 유입된 처리액은 파티클 여과 부재(240)를 통과하여 처리액 탱크(230)의 몸체(232)로 유입된다. 이때, 파티클 여과 부재(240)는 처리액 내의 파티클을 여과한다.
다음으로, 처리액 탱크(230)로부터 최종단인 토출 헤드로의 처리액 흐름 과정과, 이 과정에서 처리액 내의 기포를 제거하는 과정을 설명한다. 도 14a 내지 도 14c는 분배 부재를 이용하여 처리액 내의 기포를 제거하는 과정을 보여주는 도면들이다.
도 14a 내지 도 14c를 참조하면, 처리액은 수위가 레벨 1(Level 1)에 이를 때가지 처리액 탱크(230)로 공급된다. 레벨 1의 수위는 처리액 탱크(230)의 하부 유출 포트(236b)를 상회하는 수위이다. 처리액이 레벌 1의 수위에 이르면, 처리액은 하부 유출 포트(236b)와, 이에 연통된 제 1 분배 부재(260a)의 하부 분배기 유입 포트(264a-2)를 통해 제 1 분배 부재(260a)의 중공부(263)로 유입된다. 중공부(263)로 유입된 처리액은 하부 분배기 유출 포트들(266a-2)을 통해 제 1 토출 헤드들(272)의 처리액 유입구(272-2)로 유입된다. 이때, 제 1 토출 헤드들(272) 내의 공기는 처리액에 의해 밀려 처리액 유출구(272-1) 측으로 이동된다.(도 14a)
처리액이 처리액 탱크(230)로 지속적으로 공급되어 처리액의 수위가 레벨 2(Level 2)의 수위에 이르면, 제 1 토출 헤드들(272) 내의 처리액은 수압에 의해 제 1 토출 헤드들(272)의 처리액 유출구(272-1)와 제 1 분배 부재(260a)의 상부 분배기 유출 포트(266a-1)를 경유하여 중공부(263)로 유입된다. 이때, 제 1 토출 헤드들(272) 내부의 공기는 처리액에 의해 밀려 제 1 분배 부재(260a)의 중공부(263)로 이동된다. 한편, 레벨 2의 수위는 처리액 탱크(230)의 상부 유출 포트(236a)의 높이에 이르는 수위이므로, 처리액 탱크(230) 내의 처리액은 상부 유출 포트(236a)와 제 1 분배 부재(260a)의 상부 분배기 유입 포트(264a-1)을 통해 제 1 분배 부재(260a)로 유입될 수 있다.(도 14b)
처리액이 처리액 탱크(230)로 지속적으로 공급되어 처리액의 수위가 상부 유출 포트(236a)를 상회하는 레벨 3(Level 3)의 수위에 이르면, 제 1 분배 부재(260a) 내의 상층 처리액이 수압에 의해 처리액 탱크(230)로 재유입된다. 이때, 기포도 처리액과 함께 처리액 탱크(230)로 유입된다. 이와 같은 과정을 통해, 제 1 분배 부재(260a), 제 1 토출 헤드들(272) 및 이들을 연결하는 관로상의 공기가 처리액 탱크(230)로 유입되면, 기포는 기포 제거 부재(250)에 제공되는 음압에 의해 기포 제거 부재(250)를 통해 외부로 배출된다.(도 14c)
이상에서 설명한 바와 같이, 도 12 내지 도 14c를 참조하여 설명한 과정을 통해 처리액의 기포가 제거될 수 있으며, 이를 통해 토출 헤드들의 노즐이 기포에 의해 막히는 현상을 미연에 방지할 수 있다.
한편, 하나의 처리액 공급 모듈을 이용하여 복수 개의 토출 헤드들에 처리액을 공급하고, 처리액 공급 모듈에 제공되는 압력을 조절함으로써, 헤드 수의 증가에 따른 설치 비용을 감소시킬 수 있고, 유지 보수(Maintenance)의 용이성을 증대시킬 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 잉크젯 방식 처리액 도포 설비의 평면도이다.
도 2는 도 1의 처리액 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 2의 처리액 토출 헤드 유닛의 사시도이다.
도 4는 도 2의 처리액 토출 헤드 유닛의 측면도이다.
도 5는 도 2의 처리액 토출 헤드 유닛의 평면도이다.
도 6은 도 3의 처리액 공급 모듈의 사시도이다.
도 7은 도 6의 처리액 공급 모듈의 분해 사시도이다.
도 8은 도 7의 몸체의 확대도이다.
도 9는 도 7의 기포 제거 필터의 단면도이다.
도 10a 및 도 10b는 도 6의 분배 부재의 사시도들이다.
도 11은 도 10a와 도 10b의 분배 부재의 단면도이다.
도 12는 처리액 공급 모듈로 처리액을 공급하는 처리액 배관 계통을 보여주는 도면이다.
도 13은 처리액 공급 모듈에 공급된 처리액의 흐름을 보여주는 도면이다.
도 14a 내지 도 14c는 분배 부재를 이용하여 처리액 내의 기포를 제거하는 과정을 보여주는 도면들이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 기판 지지 유닛 200: 처리액 토출 헤드 유닛
210: 프레임 220: 처리액 공급 모듈
230: 처리액 탱크 240: 파티클 여과 부재
250: 기포 제거 부재 260a: 제 1 분배 부재
260b: 제 2 분배 부재 270: 처리액 토출 헤드
280: 헤드 제어부

Claims (26)

  1. 프레임;
    상기 프레임에 설치되는 하나의 처리액 공급 모듈; 및
    상기 하나의 처리액 공급 모듈에 중앙 집중 방식으로 유체 연통(Fluid Communication)되도록 상기 프레임에 제공되며, 기판상에 잉크젯 방식으로 처리액을 토출하는 복수 개의 처리액 토출 헤드들
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은,
    상기 프레임에 설치되며, 상기 복수 개의 처리액 토출 헤드들에 상기 처리액을 공급하는 처리액 탱크; 및
    상기 처리액 탱크 내에 설치되며, 상기 처리액 탱크 내의 상기 처리액의 기포를 제거하는 기포 제거 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 처리액 탱크는,
    일 방향의 서로 마주보는 면이 개방된 몸체;
    상기 몸체의 개방된 일면에 결합되며, 상기 처리액의 유입 포트 및 제 1 유출 포트가 제공된 제 1 측벽; 및
    상기 몸체의 개방된 타면에 결합되며, 상기 처리액의 제 2 유출 포트가 제공된 제 2 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 처리액 탱크는,
    상기 몸체의 상부 벽에 제공되며, 상기 처리액 탱크에 음압 또는 양압을 제공하는 압력 조절 부재가 연결되는 압력 조절 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 측벽은 둘레의 가장자리 영역에 단이 형성되도록 내부에 중공부가 형성되며, 상기 유입 포트는 상기 중공부의 상부 벽에 제공되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은,
    상기 몸체와 상기 제 1 측벽의 사이에 제공되며, 상기 유입 포트를 통해 상기 몸체로 유입되는 상기 처리액의 파티클을 여과하는 파티클 여과 부재를 더 포함 하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기포 제거 부재는,
    일단이 막힌 중공 원통 형상을 가지고 상기 몸체 내에 제공되며, 상기 처리액의 액체 성분을 제외한 기포만을 투과시키는 기포 제거 필터; 및
    상기 기포 제거 필터의 개방된 타단에 연결되고 상기 몸체의 측벽에 설치되며, 음압을 제공하는 펌프가 연결되는 어댑터를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기포 제거 필터의 기공들은 상기 기포 제거 필터의 반경 방향을 따라 내측으로 갈수록 작아지는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  9. 제 3 항에 있어서,
    상기 프레임은 보(Beam) 형상의 수평 부재로 구비되고,
    상기 처리액 토출 헤드들은 상기 프레임의 하단부에 길이 방향을 따라 서로 마주보도록 배치되는 제 1 및 제 2 토출 헤드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은 상기 프레임의 상단 중심부에 설치되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은,
    상기 제 1 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 1 측벽에 결합되며, 상기 제 1 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 1 분배 부재; 및
    상기 제 2 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 2 측벽에 결합되며, 상기 제 2 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 2 분배 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  12. 제 11 항에 있어서,
    제 1 및 제 2 유출 포트는 상기 제 1 및 제 2 측벽의 길이 방향을 따라가면서 상하 이격된 위치에 쌍을 이루도록 제공되는 상부 유출 포트들과 하부 유출 포트들을 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 분배 부재는,
    속이 빈 통 형상의 분배기 몸체;
    상기 상부 및 하부 유출 포트들에 연통되도록 상기 분배기 몸체의 일측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유입 포트들; 및
    상기 상부 및 하부 분배기 유입 포트들과 마주보도록 상기 몸체의 타측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유출 포트들을 포함하고,
    각각의 쌍을 이루는 상기 상부 및 하부 분배기 유출 포트가 각각의 상기 처리액 토출 헤드에 유체 연통되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 상부 분배기 유입 포트들은 상기 상부 분배기 유출 포트들보다 높은 위치에 제공되고, 상기 하부 분배기 유입 포트들은 상기 하부 분배기 유출 포트들보다 높은 위치에 제공되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 프레임의 길이 방향을 따르는 측벽들에 각각 설치되며, 상기 제 1 및 제 2 토출 헤드들의 토출 동작을 제어하는 헤드 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 헤드 유닛.
  15. 잉크젯 방식의 처리액 토출 장치에 있어서,
    기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛; 및
    상기 기판 지지 유닛이 이동되는 경로 상에 제공되며, 그리고 상기 기판상에 처리액을 토출하는 처리액 토출 헤드 유닛을 포함하되,
    상기 처리액 토출 헤드 유닛은,
    프레임;
    상기 프레임에 설치되는 하나의 처리액 공급 모듈; 및
    상기 하나의 처리액 공급 모듈에 중앙 집중 방식으로 유체 연통(Fluid Communication)되도록 상기 프레임에 제공되며, 기판상에 잉크젯 방식으로 처리액을 토출하는 복수 개의 처리액 토출 헤드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 프레임은 길이 방향이 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향을 향하는 수평 부재로 구비되고,
    상기 처리액 토출 헤드들은 상기 프레임의 하단부에 길이 방향을 따라 서로 마주보도록 배치되는 제 1 및 제 2 토출 헤드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은 상기 프레임의 상단 중심부에 설치되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 프레임의 길이 방향을 따르는 측벽들에 각각 설치되며, 상기 제 1 및 제 2 토출 헤드들의 토출 동작을 제어하는 헤드 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  19. 제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액 토출 헤드 유닛을 상기 제 1 방향으로 직선 이동시키는 이동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    처리액 공급원과 처리액 회수 부재를 연결하는 메인 공급 라인;
    상기 메인 공급 라인으로부터 분기되며, 상기 처리액 공급 모듈에 연결되는 분기 라인; 및
    상기 분기 라인의 분기 위치와 상기 처리액 회수 부재 사이의 상기 메인 공급 라인상에 배치되며, 상기 메인 처리액 공급 라인 내의 상기 처리액의 유무를 검출하는 감지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은,
    상기 제 1 및 제 2 토출 헤드들에 상기 처리액을 공급하는 처리액 탱크; 및
    상기 처리액 탱크 내에 설치되며, 상기 처리액 탱크 내의 상기 처리액의 기포를 제거하는 기포 제거 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 처리액 탱크는,
    일 방향의 서로 마주보는 면이 개방된 몸체;
    상기 몸체의 개방된 일면에 결합되며, 상기 처리액의 유입 포트 및 제 1 유출 포트가 제공된 제 1 측벽; 및
    상기 몸체의 개방된 타면에 결합되며, 상기 처리액의 제 2 유출 포트가 제공된 제 2 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은,
    상기 몸체와 상기 제 1 측벽의 사이에 제공되며, 상기 유입 포트를 통해 상기 몸체로 유입되는 상기 처리액의 파티클을 여과하는 파티클 여과 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  24. 제 22 항에 있어서,
    상기 처리액 공급 모듈은,
    상기 제 1 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 1 측벽에 결합되며, 상기 제 1 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 1 분배 부재; 및
    상기 제 2 유출 포트에 유체 연통되도록 상기 제 2 측벽에 결합되며, 상기 제 2 토출 헤드들에 상기 처리액을 분배하는 제 2 분배 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    제 1 및 제 2 유출 포트는 상기 제 1 및 제 2 측벽의 길이 방향을 따라가면서 상하 이격된 위치에 쌍을 이루도록 제공되는 상부 유출 포트들과 하부 유출 포트들을 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 분배 부재는,
    속이 빈 통 형상의 분배기 몸체;
    상기 상부 및 하부 유출 포트들에 연통되도록 상기 분배기 몸체의 일측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유입 포트들; 및
    상기 상부 및 하부 분배기 유입 포트들과 마주보도록 상기 몸체의 타측에 제공되며, 쌍을 이루는 상부 및 하부 분배기 유출 포트들을 포함하고,
    각각의 쌍을 이루는 상기 상부 및 하부 분배기 유출 포트가 각각의 상기 처리액 토출 헤드에 유체 연통되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 상부 분배기 유입 포트들은 상기 상부 분배기 유출 포트들보다 높은 위치에 제공되고, 상기 하부 분배기 유입 포트들은 상기 하부 분배기 유출 포트들보다 높은 위치에 제공되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.
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