JP5496800B2 - 処理液の吐出ヘッドユニットおよびこれを具備した処理液の吐出装置 - Google Patents
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Description
200 処理液の吐出ヘッドユニット
210 フレーム
220 処理液供給モジュール
230 処理液タンク
240 パーティクル濾過部材
250 気泡除去部材
260a 第1分配部材
260b 第2分配部材
270 処理液吐出ヘッド
280 ヘッド制御部
Claims (20)
- 基板上にインクジェット方式で処理液を吐出する複数の処理液吐出ヘッドと、該複数の処理液吐出ヘッドのそれぞれに前記処理液を供給するように流体連通される処理液タンクを含む1つの処理液供給モジュールと、前記複数の処理液吐出ヘッドおよび前記処理液供給モジュールを設置するフレームとを含む処理液の吐出ヘッドユニットであって、
前記処理液タンクは、該処理液タンク内にある前記処理液の気泡を除去する気泡除去部材を設置するポートを有し、一方の互いに向き合う面が開放された胴体と、
前記処理液の流入ポートおよび第1流出ポートを有し、前記胴体の開放された一方の面に結合された第1側壁と、
前記処理液の第2流出ポートを有し、前記胴体の開放された他方の面に結合された第2側壁と、
前記胴体と前記第1側壁との間に構成され、前記流入ポートを通じて前記胴体の内部へ流入する前記処理液に含まれるパーティクルを濾過するパーティクル濾過部材と、
を含み、
前記第1流出ポートは、前記第1側壁の内部にある前記処理液には接触せず、前記パーティクル濾過部材を介して前記胴体の内部にある前記処理液を流体連通させる形状を有する、
ことを特徴とする処理液の吐出ヘッドユニット。 - 前記処理液タンクは、前記胴体の上部壁に構成され、前記処理液タンク内を陰圧または陽圧に調節する圧力調節部材が連結される圧力調節ポートをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。
- 前記第1側壁は、周縁領域に段が形成されるように内部に中空部が形成され、
前記流入ポートは、前記中空部の上部壁に構成されることを特徴とする請求項1に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。 - 前記気泡除去部材は、一端が詰った中空円筒形状を有し、前記胴体の中に構成され、前記処理液の液体成分を除いた気泡だけを透過させる気泡除去フィルターと、該気泡除去フィルターの開放された他方の端に連結され、前記胴体の側壁に設置され、陰圧に調節するポンプが連結されるアダプターとを含むことを特徴とする請求項1に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。
- 前記気泡除去フィルターの気孔は、前記気泡除去フィルターの半径方向に沿って内側に行くほど小さくなることを特徴とする請求項4に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。
- 前記フレームは、ビーム形状の水平部材からなり、
前記処理液吐出ヘッドは、前記フレームの下段部に長さ方向に沿って互いに向き合うように配置される第1および第2吐出ヘッドを含むことを特徴とする請求項1に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。 - 前記処理液供給モジュールは、前記フレームの上段中心部に設置されることを特徴とする請求項6に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。
- 前記処理液供給モジュールは、前記第1流出ポートに流体連通されるように前記第1側壁に結合され、前記第1吐出ヘッドに前記処理液を分配する第1分配部材と、前記第2流出ポートに流体連通されるように前記第2側壁に結合され、前記第2吐出ヘッドに前記処理液を分配する第2分配部材とを含むことを特徴とする請求項6に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。
- 第1および第2流出ポートは、前記第1および第2側壁の長さ方向に沿って上下離隔された位置に一対をなすよう構成される上部流出ポートと下部流出ポートとを含み、
前記第1および第2分配部材は、中が空筒形状の分配器胴体と、前記上部および下部流出ポートに連通されるように前記分配器胴体の一方の側に構成され、一対をなす上部および下部分配器流入ポートと、該上部および下部分配器流入ポートに向き合うように前記胴体の他方の側に構成され、一対をなす上部および下部分配器流出ポートとを含み、
前記上部および下部分配器流出ポートは、各々の前記処理液吐出ヘッドに流体連通されることを特徴とする請求項8に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。 - 前記上部分配器流入ポートは、前記上部分配器流出ポートより高い位置に構成され、
前記下部分配器流入ポートは、前記下部分配器流出ポートより高い位置に構成されることを特徴とする請求項9に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。 - 前記フレームの長さ方向に沿う側壁に各々設置され、前記第1および第2吐出ヘッドの吐出動作を制御するヘッド制御部をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の処理液の吐出ヘッドユニット。
- インクジェット方式の処理液の吐出装置であって、
基板が載せられ、第1方向に直線移動する基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットが移動する経路上に構成され、前記基板上に前記処理液を吐出する複数の処理液吐出ヘッドと、該複数の処理液吐出ヘッドのそれぞれに前記処理液を供給するように流体連通される処理液タンクを含む1つの処理液供給モジュールと、前記複数の処理液吐出ヘッドおよび前記処理液供給モジュールを設置するフレームとを含む処理液の吐出ヘッドユニットと、を含み、
前記処理液タンクは、該処理液タンク内にある前記処理液の気泡を除去する気泡除去部材を設置するポートを有し、一方の互いに向き合う面が開放された胴体と、
前記処理液の流入ポートおよび第1流出ポートを有し、前記胴体の開放された一方の面に結合された第1側壁と、
前記処理液の第2流出ポートを有し、前記胴体の開放された他方の面に結合された第2側壁と、
前記胴体と前記第1側壁との間に構成され、前記流入ポートを通じて前記胴体の内部へ流入する前記処理液に含まれるパーティクルを濾過するパーティクル濾過部材と、
を含み、
前記第1流出ポートは、前記第1側壁の内部にある前記処理液には接触せず、前記パーティクル濾過部材を介して前記胴体の内部にある前記処理液を流体連通させる形状を有する、
ことを特徴とする処理液の吐出装置。 - 前記フレームは、長さ方向が前記第1方向に垂直である第2方向に向かう水平部材からなり、
前記処理液吐出ヘッドは、前記フレームの下段部に長さ方向に沿って互いに向き合うように配置される第1および第2吐出ヘッドを含むことを特徴とする請求項12に記載の処理液の吐出装置。 - 前記処理液供給モジュールは、前記フレームの上段中心部に設置されることを特徴とする請求項13に記載の処理液の吐出装置。
- 前記フレームの長さ方向に沿う側壁に各々設置され、前記第1および第2吐出ヘッドの吐出動作を制御するヘッド制御部をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の処理液の吐出装置。
- 前記処理液の吐出ヘッドユニットを前記第1方向に直線移動させる移動ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項12乃至請求項15のいずれか1項に記載の処理液の吐出装置。
- 前記処理液の供給源と前記処理液の回収部材とを連結するメイン供給ラインと、
前記メイン供給ラインから分岐され、前記処理液供給モジュールに連結される分岐ラインと、
前記分岐ラインの分岐位置と前記回収部材との間の前記メイン供給ライン上に配置され、前記メイン供給ラインの中の処理液の有無を検出する感知部材と、
をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載の処理液の吐出装置。 - 前記処理液供給モジュールは、前記第1流出ポートに流体連通されるように前記第1側壁に結合され、前記第1吐出ヘッドに前記処理液を分配する第1分配部材と、前記第2流出ポートに流体連通されるように前記第2側壁に結合され、前記第2吐出ヘッドに前記処理液を分配する第2分配部材とを含むことを特徴とする請求項12乃至請求項17のいずれか1項に記載の処理液の吐出装置。
- 前記第1および第2流出ポートは、前記第1および第2側壁の長さ方向に沿って上下離隔された位置に一対をなすよう構成される上部流出ポートと下部流出ポートを含み、
前記第1および第2分配部材は、中が空筒形状の分配器胴体と、前記上部および下部流出ポートに連通されるように前記分配器胴体の一方の側に構成され、一対をなす上部および下部分配器流入ポートと、該上部および下部分配器流入ポートに向き合うように前記胴体の他方の側に構成され、一対をなす上部および下部分配器流出ポートを含み、
前記上部および下部分配器流出ポートは、各々の前記処理液吐出ヘッドに流体連通されることを特徴とする請求項18に記載の処理液の吐出装置。 - 前記上部分配器流入ポートは、前記上部分配器流出ポートより高い位置に構成され、
前記下部分配器流入ポートは、前記下部分配器流出ポートより高い位置に構成されることを特徴とする請求項19に記載の処理液の吐出装置。
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