KR20100105785A - 기판 반송용의 로봇 핸드 - Google Patents

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요시노리 후지이
신야 나카무라
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가부시키가이샤 알박
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Abstract

기판(S)에 휘어짐이 발생해도, 기판(S)을 안정하기 지지할 수 있도록 한 기판 반송용의 로봇 핸드(3)를 제공한다. 로봇 핸드(3)의 상면에 기판(S)의 하면 외주부가 안착하는 제1의 좌면(6)이 설치되고, 그 외주에 위쪽으로의 단차(8)가 형성된다. 단차(8)에는, 계단 모양의 복수의 단(8a, 8b, 8c)이 마련된다. 또한, 제1의 좌면(6)으로부터 안쪽으로 떨어진 로봇 핸드(3)의 상면 부분에, 기판(S)이 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘어졌을 때 기판(S)의 하면이 안착하는, 기판(S)의 중심으로 향하여 아래쪽으로 경사진 제2의 좌면(9)이 설치되어 있다.

Description

기판 반송용의 로봇 핸드{ROBOT HAND FOR SUBSTRATE TRANSPORTATION}
본 발명은, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판을 반송하는 반송 로봇에 설치되어 기판을 배치한 상태로 지지하는 기판 반송용 로봇 핸드에 관한 것이다.
종래, 기판에 성막 처리나 에칭 처리 등의 각종 처리를 하는 장치로서, 도 1에 나타내듯이, 반송 로봇(1)을 배치한 중앙의 반송실(A)을 둘러싸도록 하여, 기판의 로드락실(B)과 복수의 처리실(C)을 배치하고, 로드락실(B)에 투입한 기판(S)을 반송 로봇(1)에 의해 각 처리실(C)에 반송하도록 구성한 처리 장치(소위, 클러스터 툴 장치)가 알려져 있다. 반송 로봇(1)은, 선회 및 신축이 자유로운 로봇 암(2)을 갖추고, 로봇 암(2)의 선단에는 기판(S)을 배치한 상태로 지지하는 로봇 핸드(3)가 장착되어 있다.
여기서, 상기 처리 장치에 의해 기판(S)에 각종 처리를 해 가면, 성막한 막 종류나 막 두께에 의해 스트레스 방향이나 스트레스의 강도가 다르기 때문에, 기판(S)이 위쪽으로 볼록한 모양으로 휘거나 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘는 경우가 있다. 휘어진 기판(S)은 로봇 핸드에 면 접촉을 하지 않기 때문에 미끄러지기 쉬워진다. 그리고 처리량의 향상을 위해서 로봇 동작 속도를 빠르게 하면, 로봇 핸드(3) 상에서 기판(S)의 위치가 어긋나 버린다.
종래, 이러한 불편을 해소한 로봇 핸드로서 특허 문헌 1에 의해, 상면에 복수의 패드를 각각 용수철 부재를 개입시켜 단 것이 알려져 있다. 이것에 의하면, 기판에 볼록한 모양이나 오목한 모양으로 휘어짐이 발생해도, 그 휘어짐에 따라서 각 패드가 변위하여 기판에 면접촉 한다. 그 때문에, 패드와 기판의 마찰 저항은 기판이 평평한 경우와 동등하게 되어, 기판의 위치가 어긋나는 것이 억제된다.
하지만, 상기 특허 문헌 1 기재된 것으로는, 로봇 핸드에 다수의 용수철 부재를 달 필요가 있어 비용이 비싸진다. 또, 로봇 핸드의 이동 정지시에 용수철 부재가 진동하고, 진동 중에 기판을 주고 받으면, 기판의 위치가 어긋나 버린다. 그 때문에, 진동이 줄어드는 것을 기다려 기판의 주고 받음을 실시할 필요가 있게 되어 처리량 향상을 꾀하는데 있어서 장해가 된다. 또, 주고 받을 때에 로봇 핸드의 수평도가 유지되지 않으면 복수인 용수철 부재에 불균일하게 하중이 걸려, 일정 방향으로 기판이 어긋나는 불편도 있다.
특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2002-353291호 공보
본 발명은, 이상의 점에 비추어, 기판에 휘어짐을 일으켜도, 용수철 부재 등을 이용하지 않고 기판을 안정적으로 지지할 수 있도록 한 기판 반송용의 로봇 핸드를 제공하는 것을 그 과제로 하고 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1의 태양은, 기판을 반송하기 위한 반송 로봇에 설치되어 기판을 배치한 상태로 지지하는 로봇 핸드에 있어서, 로봇 핸드의 상면에, 기판의 하면 외주부가 안착하는 제1의 좌면이 설치되고, 이 제1의 좌면의 외주에 위쪽으로의 단차가 형성됨과 아울러, 제1의 좌면으로부터 안쪽으로 떨어진 로봇 핸드의 상면 부분에, 기판이 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘어졌을 때의 기판의 하면이 안착하는, 기판의 중심을 향하여 아래쪽으로 경사진 제2의 좌면이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
제1의 태양에 의하면, 기판이 평평하거나 위쪽으로 볼록한 모양으로 휘어져 있는 경우는, 기판의 하면 외주부가 제1의 좌면에 안착하고, 기판의 외주 가장자리가 제1의 좌면의 외주의 단차에 맞닿아 기판의 위치가 어긋나는 것이 방지된다. 한편, 기판이 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘어져 있는 경우는, 기판의 외주 가장자리가 제1의 좌면의 외주의 단차에 위를 향하여 경사진 상태로 맞닿기 때문에, 로봇 핸드의 이동 정지시에 관성력으로 기판의 외주 가장자리가 단차를 넘어 버릴 가능성이 있다. 하지만, 제1의 태양에서는, 기판이 아래쪽으로 오목하게 휘어져 있는 경우, 기판의 하면이 제2의 좌면에 안착하기 때문에 제2의 좌면에 의한 마찰 저항으로 기판의 위치 어긋남이 억제된다.
이와 같이 본 발명의 제1의 태양에 의하면, 기판이 볼록한 모양, 오목한 모양의 어느 쪽으로 휘어져도, 기판의 위치가 어긋나지 않도록 안정적으로 지지할 수 있다. 또, 상기 종래 기술과 같이, 로봇 핸드에 용수철 부재 등을 마련할 필요가 없기 때문에, 저비용화를 꾀할 수 있음과 동시에, 로봇 핸드의 이동 정지 후에 즉시 기판의 주고 받음을 실시할 수 있어 처리량의 향상에도 기여할 수 있다.
그런데 제1의 좌면의 외주의 단차가 수직으로 형성되어 있으면, 로봇 핸드로 기판을 받을 때 기판이 조금이라도 어긋나 있는 경우에는, 기판의 하면 외주부가 단차 위에 실려 제1의 좌면에 안착하지 않게 된다. 이에 대해, 정렬작용을 얻을 수 있도록 단차에 경사를 두면, 기판이 다소 어긋나 있어도, 어긋남을 교정하여 제1의 좌면에 기판의 하면 외주부를 안착시킬 수 있다. 이 경우, 단차에 경사를 단순하게 둔 것은, 로봇 핸드의 이동 정지시에 관성력으로 기판의 외주 가장자리가 단차를 단번에 넘어 버릴 가능성이 있다.
그 때문에, 본 발명의 제1의 태양에 있어서는, 제1의 좌면의 외주의 단차에 계단모양으로 복수의 단을 붙이는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 기판의 외주 가장자리가 아래의 단을 넘어도, 그 윗단에 맞닿아 힘을 줄일 수 있어 관성력으로 기판의 외주 가장자리가 단차를 넘는 것을 유효하게 방지할 수 있다.
또, 기판에 대한 성막 처리에서 기판의 외주 가장자리에도 막이 돌아 들어와 성막 되는 경우가 있다. 이 경우, 상기 계단모양의 단에서 기판의 외주 가장자리의 막이 맞닿아, 먼지의 발생원인이 될 우려가 있다. 그 때문에, 본 발명의 제1의 태양에 있어서는, 상기 단의 기판의 외주 가장자리와 접촉하는 부분을 라운드 면으로 해두는 것이 바람직하다.
또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제2의 태양은, 기판을 반송하기 위한 반송 로봇에 설치되고, 기판을 배치한 상태로 지지하는 기판 반송용의 로봇 핸드에 있어서, 로봇 핸드의 상면에, 기판의 외경보다 작은 소정지름의 동일 원주를 따라 띠 모양으로 뻗은, 위쪽으로 돌출하는 돌출 밴드를 갖추고, 돌출 밴드의 상면이, 지름 방향 바깥쪽 및 지름 방향 안쪽을 향해 내려가는 경사가 있는 곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
제2의 태양에 의하면, 기판이 위쪽으로 볼록한 모양으로 휘어져 있는 경우는, 기판 하면이 돌출 밴드의 상면의 지름 방향 외측의 곡면에 선 접촉하는 한편, 기판이 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘어져 있는 경우는, 기판 하면이 돌출 밴드의 상면의 지름 방향 안쪽의 곡면에 선 접촉한다. 따라서, 기판이 볼록한 모양, 오목한 모양의 어느 쪽으로 휘어져도, 기판을 위치가 어긋나지 않도록 안정적으로 지지할 수 있다.
그런데 기판에 대한 성막 처리에서 기판의 하면 외주부에까지 막이 돌아 들어와 성막되는 일도 있다. 그 때문에, 기판의 하면 외주부가 돌출 밴드에 안착하면, 기판의 하면 외주부의 막이 문질러져서 벗겨 떨어질 가능성이 있다. 그리고 돌출 밴드의 상면과 기판 사이에 벗겨 떨어진 막이 존재하면, 이 막이 굴림대 역할을 하여 마찰력이 극단적으로 낮아져 버려, 기판의 위치가 어긋나기 쉬워진다.
그 때문에, 제2의 태양에 있어서, 상기 소정지름은, 기판에 대한 성막 처리에서 막이 돌아 들어와 성막될 가능성이 있는 기판의 하면 외주부보다 지름 방향 안쪽의 부분이 상기 돌출 밴드에 안착하도록 설정되는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 기판의 하면 외주부의 막이 돌출 밴드에 문질러져서 벗겨 떨어지지 않아, 상기의 불편을 방지할 수 있다.
또, 제2의 태양에 있어서는, 상기 돌출 밴드의 상면의 지름 방향 외측의 곡면과 지름 방향 안쪽의 곡면을 각각 연마 가공하는 것이 필요하게 된다. 그리고 지름 방향 외측의 곡면과 지름 방향 안쪽의 곡면이 돌출 밴드의 상면의 지름 방향 중간에서 교차하여 능선이 형성되어 버리는 일이 있다. 이러한 능선이 형성되면, 기판 하면에 상처가 나기 쉬워진다. 이에 대해, 돌출 밴드의 상면의 지름 방향 중간이 평탄면으로 형성되어 있으면, 능선이 형성되지 않아, 손상을 방지할 수 있다.
또, 제2의 태양에 있어서, 상기 돌출 밴드가 상기 원주상의 복수 부분에 분리하여 형성되는 경우는, 로봇 핸드가 휘어져 있거나 하면, 각 돌출 밴드의 단면과 상면이 이루는 모서리가 기판 하면에 점 접촉하여, 기판 하면에 상처가 난다. 여기서, 각 돌출 밴드의 단면이 경사면으로 형성되어 있으면, 각 돌출 밴드의 단면과 상면이 이루는 모서리의 각도가 둔각이 되어, 기판 하면에 상처 나기 어려워진다.
[도 1] 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치를 나타내는 모식적 평면도.
[도 2] 본 발명의 제1 실시 형태의 로봇 핸드를 나타내는 평면도.
[도 3] 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선으로 절단한 확대 단면도.
[도 4] 제1 실시 형태의 로봇 핸드 변형예의 주요부 확대 단면도.
[도 5] 본 발명의 제2 실시 형태의 로봇 핸드를 나타내는 평면도.
[도 6] 도 5의 VI-VI선으로 절단한 확대 단면도.
[도 7] 도 5의 VII-VII선으로 절단한 확대 단면도.
이하, 도 1에 나타내는 반송 로봇(1)의 로봇 암(2)에 연결되는 로봇 핸드(3)에 본 발명을 적용한 실시의 형태에 대해 설명한다. 즉, 반송 로봇(1)은, 상술한 종래 기술과 같이, 반송실(A)에 설치되어 로봇 암(2)의 선단에, 도 2에 나타나듯이, 기어 박스(2a)를 개입시켜 제1의 실시의 형태의 로봇 핸드(3)가 장착되어 있다.
이 로봇 핸드(3)는, 기판(S)이 처리실(C)에서 고온으로 가열되는 경우가 있으므로, 내열성을 가지며, 거기에 덧붙여, 마찰 계수가 큰 재료, 예를 들면 Al2O3, Si02나 SiC 등의 판재로 형성되어 있다. 또, 로봇 핸드(3)는, 기어 박스(2a)에 연결되는 기단부(4)로부터 두 갈래 모양으로 분기하여 앞쪽으로 늘어나는 한 쌍의 핑거부(5)를 갖추고 있다.
기단부(4)와 양 핑거부(5)의 선단부에는, 기판(S)의 하면 외주부가 그 원주 방향 3개소에서 안착 가능한 제1의 좌면(6)이 마련되어 있다(도 3 참조). 제1의 좌면(6)의 내주에는, 아래쪽으로의 단차(7)가 형성되어 있다. 그리고 통상은 기판(S)의 외주부 이외의 하면이 로봇 핸드(3)로부터 뜨도록 하고 있다.
또, 제1의 좌면(6)의 외주에는, 위쪽으로의 단차(8)가 형성되어 있다. 이에 의해, 로봇 핸드(3)의 이동 정지시에 기판(S)에 관성력이 작용해도, 기판(S)의 외주 가장자리가 단차(8)에 맞닿아, 로봇 핸드(3)에 대한 기판(S)의 위치가 어긋나는 것이 방지된다.
그런데 제1의 좌면(6)의 외주의 단차(8)를 수직으로 형성한 경우에는, 로봇 핸드(3)로 기판(S)을 받을 때, 기판(S)이 조금이라도 어긋나 있으면, 기판(S)의 하면 외주부가 단차(8) 위에 실려 제1의 좌면(6)에 안착하지 않게 된다. 그 때문에, 기판(S)의 어긋남을 교정하는 정렬작용을 얻을 수 있도록, 단차(8)를 경사지도록 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 단차(8)에 경사를 단순하게 만든 것은, 로봇 핸드(3)의 이동 정지시에 관성력으로 기판(S)의 외주 가장자리가 단차(8)를 단번에 넘어 버릴 가능성이 있다. 그 때문에, 단차(8)에 계단모양으로 복수의 단(8a, 8b, 8c)을 마련하고 있다. 이것에 의하면, 기판(S)의 외주 가장자리가 아래의 단(8a)을 넘어도, 그 위의 단(8b)에 맞닿아 힘을 줄일 수 있으며, 관성력으로 기판(S)의 외주 가장자리가 단차(8)를 넘는 것을 유효하게 방지할 수 있다.
여기서, 기판(S)이 평평하거나 위쪽으로 볼록한 모양으로 휘어져 있는 경우에는, 상술한 것처럼 단차(8)에 의해 기판(S)의 위치 차이를 방지할 수 있다. 하지만, 기판(S)이 도 3에서 가상선으로 가리키는 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘어져 있는 경우에는, 기판(S)의 외주 가장자리가 제1의 좌면(6)의 외주의 단차(8)에 위쪽으로 비스듬한 상태로 맞닿는다. 그 때문에, 로봇 핸드(3)를 고속으로 동작시켰을 경우, 로봇 핸드(3)의 이동 정지시에 관성력으로 기판(S)의 외주 가장자리가 단차(8)를 넘어 버릴 가능성이 있다.
거기서, 기판(S)의 외주부로부터 떨어진 로봇 핸드(3)의 부분인 핑거부(5, 5)의 분기 개소의 내연부의 상면에, 기판(S)의 중심을 향하여 아래쪽으로 경사진 제2의 좌면(9)을 마련하고 있다. 이것에 의해, 기판(S)에 오목한 모양으로 휘어지도록 한 경우에는, 제2의 좌면(9)에 기판(S)의 하면이 안착한다. 그 때문에, 제2의 좌면(9)에 의한 마찰 저항으로 기판(S)의 위치가 어긋나는 것이 억제된다.
이와 같이 제1의 실시의 형태에 의하면, 기판(S)에 볼록한 모양, 오목한 모양 어느 쪽으로 휘어져도, 로봇 핸드(3)로 기판(S)을 위치가 어긋나지 않도록 안정적으로 지지할 수 있다. 그 때문에, 반송 로봇(1)의 동작 속도를 빠르게 하여 처리량의 향상을 꾀할 수 있다. 또, 상기 종래 기술과 같이 용수철 부재 등을 로봇 핸드에 달 필요가 없기 때문에, 저비용화를 꾀할 수 있다. 게다가, 로봇 핸드(3)의 이동 정지 후에, 상기 종래 예와 같은 용수철 부재의 진동의 감쇠를 기다릴 필요가 없고, 즉시 기판(S)의 주고 받음을 실시할 수 있어 한층 더 처리량의 향상을 꾀할 수 있다.
또한, 제1의 실시의 형태에서는, 제2의 좌면(9)을 로봇 핸드(3)에 일체로 형성하고 있지만, 로봇 핸드(3)에 고무 등의 마찰 계수가 큰 재료를 붙여서 제2의 좌면(9)을 형성하는 것도 가능하다. 또, 도 4에 나타나 있듯이, 계단모양의 각 단(8a, 8b, 8c)의 기판(S)의 외주 가장자리와 접촉하는 부분을 라운드 면(8d)으로 해도 좋다. 이것에 의하면, 기판(S)에 대한 성막 처리에서 기판(S)의 외주 가장자리에까지 막이 돌아 들어와 성막되었을 경우에, 기판(S)의 외주 가장자리의 막이 문질러져서 벗겨 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
다음으로, 도 5 내지 도 7을 참조하여 제2의 실시의 형태의 로봇 핸드(30)에 대해 설명한다. 로봇 암(2)의 선단에 기어 박스(2a)를 개입시켜 장착되는 로봇 핸드(30)는, 상기 제1의 실시의 형태와 마찬가지로, 내열성을 가지는 한편, 마찰 계수가 큰 재료로 형성된다. 그리고 기어 박스(2a)에 연결되는 기단부(31)와 기단부(31)로부터 두 갈래로 분기하여 앞쪽으로 늘어나는 한 쌍의 핑거부(32, 32)를 갖추고 있다.
로봇 핸드(30)의 상면에는, 기판(S)의 외경보다 작은 소정지름의 동일 원주(C)를 따라 띠 모양으로 뻗고, 위쪽으로 돌출하는 돌출 밴드(33)가 설치되어 있다. 그리고 기판(S)을 원주(C)와 동심으로 돌출 밴드(33)에 안착시키도록 하고 있다. 또한, 돌출 밴드(33)는, 원주(C)상의 복수 부분, 즉, 기단부(31)와 한 쌍의 핑거부(32, 32)의 3개의 부분으로 분리해 설치되어 있다. 또, 본 실시의 형태에서는, 돌출 밴드(33)를 로봇 핸드(30)에 일체 성형하고 있지만, 로봇 핸드(30)와는 별개의 고무 등으로 돌출 밴드(33)를 형성하고, 로봇 핸드(30)의 상면에 돌출 밴드(33)를 부착해도 괜찮다. 단, 내열성을 고려하면, 본 실시의 형태와 같이 로봇 핸드(30)에 돌출 밴드(33)를 일체 성형하는 것이 바람직하다.
그런데 기판(S)에 대한 성막 처리로, 도 6에 나타내듯이, 기판(S)의 하면 외주부에까지 막(Sa)이 돌아 들어와 성막되는 일도 있다. 그 때문에, 기판(S)의 하면 외주부가 돌출 밴드(33)에 안착하면, 기판(S)의 하면 외주부의 막(Sa)이 문질러져서 벗겨 떨어질 가능성이 있다. 그리고 돌출 밴드(33)의 상면과 기판(S) 사이에 벗겨 떨어진 막이 존재하면, 이 막이 굴림대 역할을 하여 마찰력이 극단적으로 떨어져 버려, 기판(S)의 위치가 어긋나기 쉬워진다.
거기서, 본 실시의 형태에서는, 상기 원주(C)의 지름을, 기판(S)에 대한 성막 처리에서 막(Sa)이 돌아 들어와 성막될 가능성이 있는 기판(S)의 하면 외주부보다 지름 방향 안쪽의 기판(S)의 하면 부분이 돌출 밴드(33)에 안착하도록 설정되어 있다. 이것에 의하면, 기판(S)의 하면 외주부의 막(Sa)이 돌출 밴드(33)에 문질러져서 벗겨 떨어지지 않아, 상기의 불편을 방지할 수 있다.
또, 본 실시의 형태에서는, 돌출 밴드(33)의 상면이, 도 6에 나타나는 지름 방향 바깥쪽 및 지름 방향 안쪽을 향해 내려가는 경사가 있는 곡면(33a)으로 형성되어 있다. 이것에 의하면, 기판(S)이 도 6에 실선으로 가리키듯이 위쪽으로 볼록한 모양으로 휘어져 있는 경우는, 기판(S)의 하면이 돌출 밴드(33)의 상면의 지름 방향 외측의 곡면(33a)에 선 접촉한다. 한편, 기판(S)이 도 5(b)에 가상선으로 가리키듯이 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘어져 있는 경우는, 기판(S)의 하면이 돌출 밴드(33)의 상면의 지름 방향 안쪽의 곡면(33a)에 선 접촉한다. 따라서, 기판(S)이 볼록한 모양, 오목한 모양 어느 쪽으로 휘어져도, 기판(S)을 위치가 어긋나지 않도록 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 평평한 기판(S)도 자중으로 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘고, 기판(S)의 하면이 돌출 밴드(33)의 상면의 지름 방향 안쪽의 곡면(33a)에 선 접촉하여, 안정적으로 지지된다.
그런데 로봇 핸드(30)에 돌출 밴드(33)를 일체 성형 하는 경우에는, 돌출 밴드(33)의 상면의 지름 방향 외측의 곡면(33a)과 지름 방향 내측의 곡면(33a)을 각각 지름 방향 바깥쪽과 지름 방향 안쪽으로부터 연마 가공하는 것이 필요하게 된다. 이때, 돌출 밴드(33)의 상면의 지름 방향 중간에 평탄면이 남든지, 지름 방향 외측의 곡면(33a)과 지름 방향 안쪽의 곡면(33a)이 돌출 밴드(33)의 상면의 지름 방향 중간에서 교차하여 능선이 형성되어 버리는 일이 있다. 이러한 능선이 형성되면, 기판(S)의 하면에 상처가 나기 쉬워진다. 거기서, 본 실시의 형태에서는, 돌출 밴드(33)의 상면의 지름 방향 중간에 약간의 평탄면(33b)이 남도록, 곡면(33a)의 연마 가공을 하기로 했다. 이것에 의하면, 능선이 형성되지 않아, 손상을 방지할 수 있다.
또, 본 실시의 형태에서는, 기단부(31)와 한 쌍의 핑거부(32, 32)로 분리하여 마련한 각 돌출 밴드(33)의 단면을 도 7에 나타내는 경사면(33c)에 형성하고 있다. 여기서, 로봇 핸드(30)가 도 7에 가상선으로 가리키듯이 휘어 있거나 하면, 각 돌출 밴드(33)의 단면과 상면이 이루는 모서리가 기판(S)의 하면에 점 접촉하여, 기판(S)의 하면에 상처가 날 가능성이 있다. 하지만, 각 돌출 밴드(33)의 단면을 경사면(33c)으로 형성하면, 각 돌출 밴드(33)의 단면과 상면이 이루는 모서리의 각도가 둔각이 되어, 기판(S) 하면에 상처가 나기 어려워진다. 또한, 경사면(33c)은 곡면 모양으로 형성해도 좋다.
또, 제2의 실시의 형태에서는, 로봇 핸드(30)에 제1의 실시의 형태의 단차(8)를 마련하지 않지만, 이러한 단차를 로봇 핸드(30)에 설치해도 좋다.
S…기판, Sa…막, 3, 30…로봇 핸드, 6…제1의 좌면, 8…단차, 8a, 8b, 8c…단, 8d…라운드 면, 9…제2의 좌면, 33…돌출 밴드, 33a…곡면, 33b…평탄면, 33c…경사면

Claims (7)

  1. 기판을 반송하기 위한 반송 로봇에 설치되어 기판을 배치한 상태로 지지하는 기판 반송용의 로봇 핸드에 있어서,
    로봇 핸드의 상면에, 기판의 하면 외주부가 안착하는 제1의 좌면이 설치되고, 이 제1의 좌면의 외주에 위쪽으로의 단차가 형성됨과 아울러,
    기판의 외주부로부터 떨어진 로봇 핸드의 상면 부분에, 기판이 아래쪽으로 오목한 모양으로 휘어졌을 때 기판의 하면이 안착하는, 기판의 중심으로 향하여 아래쪽으로 경사진 제2의 좌면이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용의 로봇 핸드.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 단차에는, 계단모양의 복수의 단을 마련한 것을 특징으로 하는 기판 반송용의 로봇 핸드.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 단의 기판의 외주 가장자리와 접촉하는 부분을 라운드 면으로 한 것을 특징으로 하는 기판 반송용의 로봇 핸드.
  4. 기판을 반송하기 위한 반송 로봇에 설치되어 기판을 배치한 상태로 지지하는 기판 반송용의 로봇 핸드에 있어서,
    로봇 핸드의 상면에, 기판의 외경보다 작은 소정지름의 동일 원주를 따라 띠 모양으로 뻗은, 위쪽으로 돌출하는 돌출 밴드를 갖추고, 돌출 밴드의 상면이 지름 방향 바깥쪽 및 지름 방향 안쪽을 향해 내려가는 경사가 있는 곡면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용의 로봇 핸드.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 소정지름은, 기판에 대한 성막 처리에서 막이 돌아 들어와 성막될 가능성이 있는 기판의 하면 외주부보다 지름 방향 안쪽의 부분이 상기 돌출 밴드에 안착하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 반송용의 로봇 핸드.
  6. 청구항 4에 있어서, 상기 돌출 밴드의 상면의 지름 방향 중간이 평탄면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용의 로봇 핸드.
  7. 청구항 4에 있어서, 상기 돌출 밴드가 상기 원주상의 복수 부분으로 분리하여 형성되고 각 돌출 밴드의 단면이 경사면으로 형성되고 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용의 로봇 핸드.
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