KR20040059478A - 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드에 관한 것이다.

본 발명의 핸들러 블레이드는 상기 웨이퍼가 탑재되는 고정부와 웨이퍼를 고정하기 위한 복수개의 핸들러 패드로 형성되어 있으며, 상기 고정부는 일측이 소정폭으로 개방된 링형으로 형성하는 것을 특징으로 한다. 따라서 핸들러 블레이드의 재질을 세라믹으로 제작하고 형상을 링형으로 변경함으로써, 이송되는 웨이퍼의 파손을 방지하여 수율 향상 및 생산성 향상의 효과가 있다.

Description

웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드{WAFER TRANSPORTATION HANDLER BLADE}

본 발명은 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드에 관한 것으로써, 기판 처리 시스템에서 챔버 사이에 또는 챔버를 통해 웨이퍼를 이송하는데 사용되는 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼 핸들러는 이송 로봇 전체의 어셈블리의 업/다운을 시켜주는 리드(lead)부위 및 웨이퍼를 들고 언로딩을 하는 브레이드와 이를 동작하게 구성하는 로테이션, 리트랙트(retract)/업, 다운의 동작을 위한 기어 및 각 모터로 구성되어 있으며, 또한 이를 각 스텝 움직임에 맞게 동작시키는 모터 구동부를 구비하고 있다. 이러한 핸들러의 브레이드에 의한 로딩 동작은 브레이드를 카세트로 삽입하여 웨이퍼를 슬롯에 끼우고 하강하므로서 웨이퍼가 슬롯에 놓여져 탑재하는 것이고, 언로딩 동작은 브레이드를 카세트로 삽입하여 슬롯에 탑재된 웨이퍼를 약간 들어올려 브레이드에 웨이퍼가 탑재되도록 하는 것이다.

다축의 로봇암과 진공흡착을 위한 블레이드가 구동하여 웨이퍼를 흡착하도록 되는데, 도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드의 개략적인 평면도이다.

종래의 금속재의 핸들러 블레이드(1)는 내측으로 원호 형상보다는 끝단부가 벌어진 패드 타입의 판체로 구현된 고정부(2)와, 웨이퍼(W)를 고정하기 위한 핸들러 패드(3)가 적어도 3점에 형성된다.

이러한 종래의 핸들러 블레이드(1)는 공정 적용상 카세트로부터 웨이퍼(W)를 수납하는 경우에는 핸들러 패드(3)의 위치에 웨이퍼(W)를 올려놓은 자세를 취하고, 스토리지 엘리베이터로부터 웨이퍼(W)를 수납하거나 공정 챔버로부터 웨이퍼(W)를 수납하는 경우에는 고정부(2)에 웨이퍼(W)를 올려놓은 자세를 취하게 된다.

그러나 금속재의 핸들러 블레이드는 그 끝단부 형상에 의하여 핸들러의 이동시 속도에 의해 핸들러 블레이드가 상, 하로 반동이 되어 끝부분이 아래로 휘어지는 일이 발생한다. 이는 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 핸들링시 카세트내의 다른 웨이퍼 표면에 스크래치(SCRATCH)를 발생시키거나 다른 웨이퍼와 충돌하여 웨이퍼가 파손되는 일이 발생한다. 또한, 카세트 내에 놓여진 웨이퍼가 휘어진 핸들러 블레이드의 끝부분에 의해 카세트 밖으로 슬라이딩되는 현상이 발생하는 문제점이있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 핸들러 블레이드의 형상 변형이 발생하지 않도록 재질과 핸들러 블레이드의 형상을 링형으로 변경한 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드에 있어서; 상기 핸들러 블레이드는 상기 웨이퍼가 탑재되는 고정부와 웨이퍼를 고정하기 위한 복수개의 핸들러 패드로 형성되어 있으며, 상기 고정부는 일측이 소정폭으로 개방된 링형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드를 제공한다.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드의 개략적인 평면도이고,

도 2는 종래의 웨이퍼의 이송시 비정상적으로 웨이퍼가 탑재된 핸들러 브레이드의 측면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드의 평면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 핸들러 블레이드 20 : 고정부

30 : 핸들러 패드

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드의 평면도이다.

도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드는, 웨이퍼(W)가 탑재되는 고정부(20)와 웨이퍼를 고정하기 위한 복수개의 핸들러 패드(30)로 구성된다.

그리고 본 발명의 특징에 따라 핸들러 블레이드(10)의 재질은 세라믹(CERAMIC)으로 제작된다.

고정부(20)는 중심으로부터 일정한 곡률을 가지며, 일측의 소정폭이 개방된 링형으로 형성된다.

핸들러 패드(30)는 웨이퍼(W)를 안정적으로 탑재시키기 위하여 적어도 3점에 형성되는 것이 바람직하다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드의 작용을 설명하면 다음과 같다.

다시 도 3을 참조하면, 공정 적용상 카세트로부터 웨이퍼(W)를 수납할 때 고정부(20)의 핸들러 패드(30) 위치에 웨이퍼(W)를 올려놓아 이송하게 된다.

이 때, 핸들러 블레이드(10)는 잦은 이송 작동에도 재질이 세락믹으로 제작되어 이송시 상, 하 진동에 의하여 끝단이 휘거나 하는 변형이 발생하지 않는다.

그리고 고정부(20)의 링형 형상 변경은 웨이퍼(W)와의 접촉 면적을 넓혀서 핸들러 블레이드(10)에서의 웨이퍼(W)가 슬라이딩되는 현상이 방지된다.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드는, 핸들러 블레이드의 재질을 세라믹으로 제작하고 형상을 링형으로 변경함으로써, 이송되는 웨이퍼의 파손을 방지하여 수율 향상 및 생산성 향상의 효과가 있다.

Claims (2)

1. 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드에 있어서;

   상기 핸들러 블레이드는 상기 웨이퍼가 탑재되는 고정부와 웨이퍼를 고정하기 위한 복수개의 핸들러 패드로 형성되어 있으며, 상기 고정부는 일측이 소정폭으로 개방된 링형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 블레이드의 재질이 세라믹(ceramic)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핸들러 블레이드.