CN217881451U - 基板载具 - Google Patents
基板载具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217881451U CN217881451U CN202222082087.4U CN202222082087U CN217881451U CN 217881451 U CN217881451 U CN 217881451U CN 202222082087 U CN202222082087 U CN 202222082087U CN 217881451 U CN217881451 U CN 217881451U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- bearing
- main body
- arms
- vacuum chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种基板载具，包含主体及定位单元。该主体具有本体部、自该本体部延伸的连接部，及彼此相间隔地自该本体部延伸的两个承载臂。该定位单元包括两个第一承靠面、两个第二承靠面及真空吸盘。所述第一承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供圆形基板的边缘抵靠。所述第二承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供方形基板的一侧边抵靠。该真空吸盘设于该本体部，用以吸附该圆形基板或该方形基板。通过所述第一承靠面及所述第二承靠面与该真空吸盘相配合，能够在需要承载该圆形基板或需要承载该方形基板时皆可使用，以使该基板载具能满足在有圆形基板及方形基板共用的制程中的使用需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种基板载具，特别是涉及一种适用于圆形基板及方形基板的基板载具。
背景技术
在半导体制程中需要将基板在不同工作站之间转移，而且通常在转移单片基板时使用机械手来承载移动基板。
有些基板经过一些处理后会产生翘曲，为使基板在移动过程中能够与基板载具相对定位地保持在基板载具上，目前已有专用于承载翘曲的圆形基板的基板载具。然而，现有用于承载圆形基板的基板载具无法承载方形基板，因为方形基板不能被定位而在移动过程中容易相对基板载具滑动。在有圆形基板及方形基板共用的制程中，仅能承载圆形基板的基板载具无法满足使用需求。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种适用于转移圆形基板及方形基板的基板载具。
本实用新型所述的基板载具，适用于连接驱动装置以移动圆形基板或方形基板，该基板载具包含：主体及定位单元。该主体具有本体部、自该本体部延伸的连接部，及彼此相间隔地自该本体部延伸的两个承载臂。所述承载臂与该连接部分别位于该本体部的相反两侧，且所述承载臂与该本体部共同界定避让空间并共同形成基板放置区。该定位单元包括两个第一承靠面、两个第二承靠面及真空吸盘。所述第一承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供该圆形基板的边缘抵靠。所述第二承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供该方形基板的一侧边抵靠。该真空吸盘设于该本体部且位于该基板放置区，用以吸附位于该基板放置区的该圆形基板或该方形基板。
在一些实施态样中，该真空吸盘位于靠近该避让空间处。
在一些实施态样中，该定位单元还包括多个止滑垫，所述止滑垫设于该主体且分布于该基板放置区。
在一些实施态样中，该定位单元还包括分别设于所述承载臂的两个挡止件，每一个挡止件形成有该第一承靠面及该第二承靠面。
在一些实施态样中，该定位单元还包括两个辅助定位件，所述辅助定位件设于该主体且介于该真空吸盘与该连接部之间，每一个辅助定位件形成有辅助承靠面，所述辅助承靠面用以与所述第一承靠面共同供该圆形基板的边缘抵靠。
在一些实施态样中，每一个承载臂具有面向另一个承载臂的相对内侧，该本体部具有连接所述承载臂的相对内侧的弧形内缘，该弧形内缘与所述承载臂的相对内侧共同界定该避让空间，该真空吸盘靠近该弧形内缘的中间处。
在一些实施态样中，每一个承载臂具有面向另一个承载臂的相对内侧，及相反于所述相对内侧的相对外侧，所述第一承靠面分别靠近所述承载臂的相对内侧，所述第二承靠面分别靠近所述承载臂的相对外侧。
本实用新型具有以下功效：通过所述第一承靠面及所述第二承靠面与该真空吸盘相配合，能够在需要承载该圆形基板或需要承载该方形基板时皆可使用，以使该基板载具能满足在有圆形基板及方形基板共用的制程中的使用需求。
附图说明
本实用新型的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
图1是本实用新型基板载具的实施例的立体图；
图2是该实施例的俯视图；
图3是该实施例承载圆形基板的俯视图；及
图4是该实施例承载方形基板的俯视图。
具体实施方式
参阅图1与图2，本实用新型基板载具100的实施例，适用于连接一驱动装置(未图标)以移动一圆形基板S1(见图3)或一方形基板S2(见图4)，该基板载具100包含一主体1及一定位单元2。
该主体1具有一本体部11、自该本体部11延伸的一连接部12，及彼此相间隔地自该本体部11延伸的两个承载臂13。所述承载臂13与该连接部12分别位于该本体部11的相反两侧，具体而言，所述承载臂13自该本体部11延伸的延伸方向与该连接部12自该本体部11延伸的延伸方向相反。所述承载臂13与该本体部11共同界定一避让空间14并共同形成一基板放置区15。每一个承载臂13具有面向另一个承载臂13的相对内侧131、相反于相对内侧131的相对外侧132，及远离该本体部11的一自由端133。在本实施例中，该本体部11具有连接所述承载臂13的相对内侧131的一弧形内缘111，该弧形内缘111与所述承载臂13的相对内侧131共同界定该避让空间14。该避让空间14用以供后续承接该圆形基板S1或该方形基板S2的装置通过。该连接部12用以连接该驱动装置。
该定位单元2包括两个挡止件21、一真空吸盘22、两个辅助定位件23及多个止滑垫24。
所述挡止件21分别设于所述承载臂13靠近自由端133处。每一个挡止件21形成有一第一承靠面211及一第二承靠面212。所述挡止件21的第一承靠面211分别靠近所述承载臂13的相对内侧131且彼此相对倾斜，用以供该圆形基板S1的边缘抵靠(见图3)。所述挡止件21的第二承靠面212分别靠近所述承载臂13的相对外侧132且沿一直线设置，用以供该方形基板S2的一侧边抵靠。所述第二承靠面212以共平面较佳，但只要所述第二承靠面212至少一部分能共同供该方形基板S2的一侧边抵靠即可。
该真空吸盘22设于该本体部11且位于该基板放置区15，用以吸附位于该基板放置区15的该圆形基板S1或该方形基板S2。在本实施例中，该主体1设有连接该真空吸盘22的一气体通道16，用以抽真空。该真空吸盘22与所述挡止件21的第一承靠面211或第二承靠面212相配合，使该圆形基板S1或该方形基板S2保持在该主体1上，不会相对该主体1移动，尤其适用于翘曲的基板。所述第一承靠面211能够避免该圆形基板S1旋转偏移而破坏该真空吸盘22的真空吸附力。同样地，所述第二承靠面212能够避免该方形基板S2旋转偏移而破坏该真空吸盘22的真空吸附力。此外，也能使该真空吸盘22具有侦测基板是否放置于正确位置的功能。在本实施例中，该真空吸盘22位于靠近该避让空间14处，具体是靠近该弧形内缘111的中间处，以确保该圆形基板S1及该方形基板S2都能位于该真空吸盘22上。
所述辅助定位件23设于该主体1且介于该真空吸盘22与该连接部12之间。每一个辅助定位件23形成有一辅助承靠面231。所述辅助承靠面231用以与所述第一承靠面211共同供该圆形基板S1的边缘抵靠(见图3)。当承载的该圆形基板S1的面积较大时，可以通过所述辅助承靠面231来加强对该圆形基板S1的定位效果。
所述止滑垫24设于该主体1且分布于该基板放置区15，可以防止基板滑动，以加强对基板的定位效果。
综上所述，通过所述第一承靠面211及所述第二承靠面212与该真空吸盘22相配合，能够在需要承载该圆形基板S1或需要承载该方形基板S2时皆可使用，以使该基板载具100能满足在有圆形基板S1及方形基板S2共用的制程中的使用需求。
以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。
Claims (7)
1.一种基板载具，适用于连接驱动装置以移动圆形基板或方形基板，其特征在于：该基板载具包含：
主体，具有本体部、自该本体部延伸的连接部，及彼此相间隔地自该本体部延伸的两个承载臂，所述承载臂与该连接部分别位于该本体部的相反两侧，且所述承载臂与该本体部共同界定避让空间并共同形成基板放置区；及
定位单元，包括两个第一承靠面、两个第二承靠面及真空吸盘，所述第一承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供该圆形基板的边缘抵靠，所述第二承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供该方形基板的一侧边抵靠，该真空吸盘设于该本体部且位于该基板放置区，用以吸附位于该基板放置区的该圆形基板或该方形基板。
2.根据权利要求1所述基板载具，其特征在于：该真空吸盘位于靠近该避让空间处。
3.根据权利要求1所述基板载具，其特征在于：该定位单元还包括多个止滑垫，所述止滑垫设于该主体且分布于该基板放置区。
4.根据权利要求1所述基板载具，其特征在于：该定位单元还包括分别设于所述承载臂的两个挡止件，每一个挡止件形成有该第一承靠面及该第二承靠面。
5.根据权利要求1所述基板载具，其特征在于：该定位单元还包括两个辅助定位件，所述辅助定位件设于该主体且介于该真空吸盘与该连接部之间，每一个辅助定位件形成有辅助承靠面，所述辅助承靠面用以与所述第一承靠面共同供该圆形基板的边缘抵靠。
6.根据权利要求1所述基板载具，其特征在于：每一个承载臂具有面向另一个承载臂的相对内侧，该本体部具有连接所述承载臂的相对内侧的弧形内缘，该弧形内缘与所述承载臂的相对内侧共同界定该避让空间，该真空吸盘靠近该弧形内缘的中间处。
7.根据权利要求1所述基板载具，其特征在于：每一个承载臂具有面向另一个承载臂的相对内侧，及相反于所述相对内侧的相对外侧，所述第一承靠面分别靠近所述承载臂的相对内侧，所述第二承靠面分别靠近所述承载臂的相对外侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222082087.4U CN217881451U (zh) | 2022-08-09 | 2022-08-09 | 基板载具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222082087.4U CN217881451U (zh) | 2022-08-09 | 2022-08-09 | 基板载具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217881451U true CN217881451U (zh) | 2022-11-22 |
Family
ID=84076364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222082087.4U Active CN217881451U (zh) | 2022-08-09 | 2022-08-09 | 基板载具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217881451U (zh) |
-
2022
- 2022-08-09 CN CN202222082087.4U patent/CN217881451U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103358318B (zh) | 机器人手臂 | |
| JP5144434B2 (ja) | 支持装置 | |
| US9218996B2 (en) | Substrate position aligner | |
| JP2015076570A (ja) | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
| JP2001179672A (ja) | ロボットハンド | |
| EP3605597B1 (en) | Silicon chip holding device, silicon chip conveying device, silicon chip delivery system and conveying method | |
| CN217544570U (zh) | 用于吸附晶圆的机械臂及半导体设备 | |
| CN107527848B (zh) | 一种机械手臂及基板的抓取方法 | |
| CN217881451U (zh) | 基板载具 | |
| JP3138554B2 (ja) | ウエハ支持装置 | |
| JPH0766092A (ja) | 半導体ウエーハの接着方法および接着治具 | |
| CN216389308U (zh) | 一种晶圆吸附机构及称重装置 | |
| JP2003245886A (ja) | 吸着機構 | |
| TWM636785U (zh) | 基板載具 | |
| JP5187231B2 (ja) | プリアライナ装置、ウェハ搬送システム、半導体製造装置、半導体検査装置およびウェハのアライメント方法 | |
| KR20230154651A (ko) | 반송핸드 및 이를 이용한 링 반송장치 | |
| CN112466798B (zh) | 一种半导体机台 | |
| CN220994499U (zh) | 一种基于伯努利效应的半导体晶圆吸盘 | |
| TWI628131B (zh) | Handling device, handling system | |
| CN214643745U (zh) | 真空吸附式环形末端夹持器 | |
| CN214988444U (zh) | 基板制程输送系统 | |
| TW586996B (en) | Wafer transport robot arm | |
| JP5206528B2 (ja) | ワーク搬送用機器およびワーク搬送方法 | |
| JPH0321870Y2 (zh) | ||
| KR101577339B1 (ko) | 웨이퍼 이재장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |