KR20100104068A - Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery - Google Patents

Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery Download PDF

Info

Publication number
KR20100104068A
KR20100104068A KR1020090022217A KR20090022217A KR20100104068A KR 20100104068 A KR20100104068 A KR 20100104068A KR 1020090022217 A KR1020090022217 A KR 1020090022217A KR 20090022217 A KR20090022217 A KR 20090022217A KR 20100104068 A KR20100104068 A KR 20100104068A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
solar cell
loader
wafer
wafers
unit
Prior art date
Application number
KR1020090022217A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101066978B1 (en
Inventor
윤무열
정성화
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020090022217A priority Critical patent/KR101066978B1/en
Publication of KR20100104068A publication Critical patent/KR20100104068A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101066978B1 publication Critical patent/KR101066978B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: An apparatus for separating and transferring a wafer for a solar cell is provided to directly transfer wafers by using a general conveyor and remove a complex transfer structure. CONSTITUTION: A plurality of sliced wafers for a solar cell are loaded on a loader(110). A conveyor(130) is formed around the loader to transfer the wafers for the solar cell. An absorbing unit(150) separates wafers for the solar cell one by one and transfers the separated wafer.

Description

태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치{Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery}Separation and transfer device for solar cell wafers {Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery}

본 발명은, 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 건식 물류 이송 방식인 통상의 컨베이어로 태양전지용 웨이퍼를 직접 이송시킬 수 있을 뿐만 아니라 태양전지용 웨이퍼의 원거리 이송 구현이 가능하며, 특히 종래와 같은 복잡한 이송 구조를 갖추지 않아도 되기 때문에 복잡한 이송 단계에 따른 태양전지용 웨이퍼의 파손 가능성을 감소시킬 수 있는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for separating and transferring a wafer for a solar cell, and more particularly, not only can directly transfer a wafer for a solar cell with a common conveyor, which is a dry logistics transfer method, but also enables a long distance transfer of a wafer for a solar cell. In particular, the present invention relates to a solar cell wafer separation and transfer apparatus capable of reducing the possibility of breakage of a solar cell wafer due to a complicated transfer step since it does not have to have a complicated transfer structure as in the prior art.

태양전지(Solar Battery)는 태양빛의 에너지를 전기에너지로 바꾸는 것으로서, 지금까지 사용되고 있는 통상의 화학전지와는 다른 구조를 가지며, 소위, 물리전지라고도 불린다. 이러한 태양전지는 P형 반도체와 N형 반도체라고 하는 2종류의 반도체를 사용해 전기를 일으키는 구조를 갖는다.Solar batteries convert solar energy into electrical energy and have a structure different from that of conventional chemical cells, and is also called a physical battery. Such a solar cell has a structure in which electricity is generated using two kinds of semiconductors called a P-type semiconductor and an N-type semiconductor.

태양전지의 종류에는 실리콘 반도체를 재료로 사용하는 것과 화합물 반도체를 재료로 하는 것으로 크게 대별되며, 실리콘 반도체에 의한 것은 결정계와 비결정계로 분류된다.Types of solar cells are roughly divided into those using a silicon semiconductor as a material and a compound semiconductor as a material, and those based on a silicon semiconductor are classified into crystalline and amorphous systems.

현재, 태양광 발전 시스템으로 일반적으로 사용되고 있는 태양전지는 실리콘 반도체의 웨이퍼(wafer)에 의한 것이 대부분이다. 특히, 실리콘 반도체 결정계의 단결정 및 다결정 태양전지는 변환 효율의 좋음, 신뢰성 등으로 인해 널리 사용되고 있다.Currently, solar cells generally used as photovoltaic power generation systems are mostly made of wafers of silicon semiconductors. In particular, single crystal and polycrystalline solar cells of a silicon semiconductor crystal system are widely used due to good conversion efficiency, reliability, and the like.

이러한 태양전지용 웨이퍼는, 규소 원재료를 원기둥 타입으로 성장(growing)시킨 후에, 탑(top)과 테일(tail)을 절단하고(cropping), 이어 사각 블록화(squaring)시켜 잉곳(ingot)으로 제조한 다음, 잉곳의 모서리 및 표면을 연마하고 적당한 길이로 잉곳을 자른 후에, 와이어 소잉 장비(wire sawing apparatus)를 통해 잉곳을 수 밀리미터(mm)의 두께로 슬라이싱(slicing)함으로써 제조된다. 이후, 태양전지용 웨이퍼는 1차 세정, 박리, 2차 세정, 품질검사 및 분류 등의 다양한 공정을 거쳐 포장된 후 가공 업체로 공급된다.Such a solar cell wafer is made of an ingot by growing a silicon raw material into a cylindrical type, then cutting the top and tail, and then squaring the squares. After grinding the edges and surfaces of the ingot and cutting the ingot to a suitable length, it is manufactured by slicing the ingot to a thickness of several millimeters (mm) through a wire sawing apparatus. Subsequently, the wafer for solar cells is packaged through various processes such as primary cleaning, peeling, secondary cleaning, quality inspection and classification, and then supplied to a processing company.

한편, 잉곳으로부터 슬라이싱된 웨이퍼들을 1차 세정하기 위해서는 상호간 면접촉 형태로 붙어 있는 웨이퍼들을 하나씩 분리하여 컨베이어로 이송시켜야 하는데, 이를 위해 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치가 사용된다.Meanwhile, in order to primaryly clean the wafers sliced from the ingot, the wafers attached to each other in surface contact form must be separated one by one and transferred to the conveyor. For this purpose, a solar cell wafer separation and transfer device is used.

종래의 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치는, 유체막 점착력을 이용하여 웨이퍼들을 하나씩 파지하는 방식으로서 소위 습식 분리 방식을 적용하고 있다.Conventional solar cell wafer separation and transfer devices employ a so-called wet separation method as a method of holding wafers one by one using fluid film adhesion.

즉 전술한 와이어 소잉 장비를 통해 잉곳을 수 밀리미터(mm)의 두께로 슬라이싱할 경우, 원활한 슬라이싱을 도모하면서 슬라이싱 후에 웨이퍼들이 달라붙는 현상을 저지하기 위해 유체가 공급되는데 이러한 유체는 슬라이싱된 웨이퍼들 사이사이에 잔존하게 된다.In other words, when slicing an ingot to a thickness of several millimeters (mm) through the wire sawing equipment described above, fluid is supplied to prevent slicing of wafers after slicing while facilitating slicing. It remains in between.

이처럼 슬라이싱된 웨이퍼들 사이사이에는 유체가 잔존하고 있는 상태이므로, 종래의 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치는, 이러한 유체가 웨이퍼의 표면에 잔존하고 있다는 점을 감안하여 점착력기를 이용하여 슬라이싱된 다수의 웨이퍼들로부터 하나씩의 웨이퍼를 점착에 의해 분리한 후 주변의 컨베이어로 이송하게 된다.Since a fluid remains between the sliced wafers in this way, a conventional solar cell wafer separation and transfer device has a plurality of sliced slices using an adhesive in view of the fact that such a fluid remains on the wafer surface. One wafer is separated from the wafers by adhesion and then transferred to a surrounding conveyor.

그런데, 이러한 종래의 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치에 있어서는, 사실상 그리 강하지 않은 유체막 점착력인 표면장력을 이용하여 다수의 웨이퍼들로부터 하나씩의 웨이퍼를 분리하여 이송시키고 있기 때문에 원거리 이송에 있어 제약이 따르게 되고, 정전 현상과 같이 외부 요인에 의해 유체가 공급되지 못하는 상황 하에서는 작업이 진행되기 어려운 문제점이 있다.However, in the conventional solar cell wafer separation and transfer device, since one wafer is separated and transferred from multiple wafers by using surface tension, which is a fluid film adhesion that is not very strong, there is a limitation in remote transfer. In addition, there is a problem that the operation is difficult to proceed in the situation that the fluid is not supplied by external factors, such as power outages.

뿐만 아니라 종래의 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치는, 유체의 점착력에 의존하여 웨이퍼를 점착하여 분리 및 이송시키는 방식을 가지기 때문에 통상의 컨베이어와 같은 건식 물류 이송 방식과 함께 구현될 수 없고 반드시 습식 물류 이송 방식에 의존할 수밖에 없으며, 또한 3단 컨베이어나 낙하 커튼 방식이 더 적용되어야 하기 때문에 구조가 복잡해짐은 물론 많은 단계를 거치는데 따른 웨이퍼의 파손 문제를 야기할 수 있다.In addition, the conventional solar cell wafer separation and transfer device has a method of sticking and separating and transferring the wafer depending on the adhesive force of the fluid can not be implemented with a dry logistics transfer method such as a conventional conveyor, but necessarily wet logistics In addition to relying on the conveying method, the three-stage conveyor or drop curtain method must be further applied, which leads to a complicated structure and a problem of wafer breakage due to many steps.

본 발명의 목적은, 건식 물류 이송 방식인 통상의 컨베이어로 태양전지용 웨 이퍼를 직접 이송시킬 수 있을 뿐만 아니라 태양전지용 웨이퍼의 원거리 이송 구현이 가능하며, 특히 종래와 같은 복잡한 이송 구조를 갖추지 않아도 되기 때문에 복잡한 이송 단계에 따른 태양전지용 웨이퍼의 파손 가능성을 감소시킬 수 있는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치를 제공하는 것이다.The object of the present invention is not only to transfer the wafers for solar cells directly to the conventional conveyor of the dry logistics transfer method, but also to implement the long-distance transfer of wafers for solar cells, and in particular, because it does not have to have a complicated transfer structure as in the prior art. It is to provide a solar cell wafer separation and transfer apparatus that can reduce the possibility of breakage of the solar cell wafer in accordance with a complicated transfer step.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 슬라이싱(slicing)된 다수의 태양전지용 웨이퍼가 로딩되는 로더; 상기 로더의 주변에 마련되어 상기 태양전지용 웨이퍼를 이송시키는 컨베이어; 및 상기 로더와 상기 컨베이어 간을 이송 가능하게 마련되어 상기 로더로부터의 상기 태양전지용 웨이퍼를 상기 컨베이어로 이송시키되 공기압의 진공 흡착 방식을 이용하여 다수의 상기 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 분리하여 이송시키는 흡착 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, a loader for loading a plurality of sliced solar cell wafers; A conveyor provided around the loader to transfer the wafer for the solar cell; And transfer the solar cell wafer from the loader to the conveyor while separating the solar cell wafers from the plurality of solar cell wafers by using an air pressure vacuum adsorption method. It is achieved by a solar cell wafer separation and transfer device comprising an adsorption unit for transferring.

여기서, 상기 흡착 유닛은, 상기 태양전지용 웨이퍼의 표면에 접촉되어 슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 흡착하는 다수의 흡착기; 상기 다수의 흡착기가 착탈 가능하게 결합되는 흡착헤드; 및 상기 흡착헤드와 연결되며 상기 흡착헤드를 회전 또는 선형 이동시키면서 상기 로더와 상기 컨베이어 간을 이동시키는 로봇아암을 포함할 수 있다.Here, the adsorption unit may include: a plurality of adsorber for adsorbing one solar cell wafer from the plurality of solar cell wafers that are sliced in contact with the surface of the solar cell wafer; An adsorption head to which the plurality of adsorbers are detachably coupled; And a robot arm connected to the suction head and moving between the loader and the conveyor while rotating or linearly moving the suction head.

상기 흡착 유닛은, 상기 다수의 흡착기로 진공을 제공하는 진공 제공부; 및 상기 진공 제공부의 온/오프(on/off) 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The adsorption unit, the vacuum providing unit for providing a vacuum to the plurality of adsorber; And a controller configured to control an on / off operation of the vacuum providing unit.

상기 다수의 흡착기는 깔때기 형상의 고무 패킹일 수 있다.The plurality of adsorbers may be funnel shaped rubber packing.

슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 상호간 달라붙지 않도록 슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 향해 소정의 유체를 공급하는 유체 공급부; 및 상기 유체 공급부와는 이격된 위치에서 상기 로더의 주변에 마련되어 상기 흡착 유닛에 의해 흡착될 상기 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존하는 유체를 제거하는 유체 제거부를 더 포함할 수 있다.A fluid supply unit supplying a predetermined fluid toward the plurality of sliced solar cell wafers so that the plurality of sliced solar cell wafers do not stick together; And a fluid removal unit disposed around the loader at a position spaced apart from the fluid supply unit to remove the fluid remaining on the surface of the solar cell wafer to be adsorbed by the adsorption unit.

상기 유체 제거부는, 상기 태양전지용 웨이퍼의 표면으로 유체 제거용 에어(air)를 분사하는 적어도 하나의 에어 분사노즐일 수 있다.The fluid removal unit may be at least one air injection nozzle for injecting fluid removal air to a surface of the solar cell wafer.

상기 유체 공급부 측으로부터의 유체가 상기 유체 제거부 측으로 비산되는 것을 저지하는 비산방지부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a shatterproof part for preventing the fluid from the fluid supply part from scattering to the fluid removing part.

상기 비산방지부는 상기 유체 공급부와 상기 유체 제거부 사이에 마련되는 커튼일 수 있다.The scattering prevention part may be a curtain provided between the fluid supply part and the fluid removing part.

상기 로더는, 고정 로더; 및 상기 고정 로더에 대해 접근 및 이격되면서 상기 고정 로더와의 사이에서 슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼를 정렬시키는 가동 로더를 포함할 수 있다.The loader, the fixed loader; And a movable loader for aligning the plurality of solar cell wafers sliced between the fixed loader while being approached and spaced apart from the fixed loader.

상기 고정 로더는, 바디; 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들의 배열 방향을 따라 상기 바디로부터 상호 이격되게 연장되는 한 쌍의 연장 아암; 및 상기 한 쌍의 연장 아암의 단부에서 각각 상기 한 쌍의 연장 아암에 대해 가로로 절곡되어 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 전복되는 것을 저지하는 한 쌍의 전복 저지용 지지 바아를 포함할 수 있으며, 상기 가동 로더는, 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들 과 상기 고정 로더의 일부분을 하부에서 지지하는 레일부; 및 상기 레일부와 연결되며 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들 중에서 제일 안쪽의 태양전지용 웨이퍼에 접촉되어 상기 레일부를 통해 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 상기 고정 로더 측으로 가압하는 가압부를 포함할 수 있다.The fixed loader, the body; A pair of extension arms extending apart from each other along the array direction of the plurality of solar cell wafers; And a pair of roll over-stop support bars that are bent transversely relative to the pair of extension arms at each end of the pair of extension arms to prevent the plurality of solar cell wafers from overturning. The movable loader may include: a rail unit supporting a plurality of solar cell wafers and a portion of the fixed loader from below; And a pressurizing part connected to the rail part and contacting the innermost solar cell wafer among the plurality of solar cell wafers to press the plurality of solar cell wafers toward the fixed loader through the rail part.

상기 컨베이어는 건식 물류 이송 방식의 컨베이어일 수 있다.The conveyor may be a conveyor of a dry logistics transfer method.

본 발명에 따르면, 건식 물류 이송 방식인 통상의 컨베이어로 웨이퍼를 직접 이송시킬 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼의 원거리 이송 구현이 가능하며, 특히 종래와 같은 복잡한 이송 구조를 갖추지 않아도 되기 때문에 복잡한 이송 단계에 따른 웨이퍼의 파손 가능성을 감소시킬 수 있다.According to the present invention, not only the wafer can be directly transferred by a conventional conveyor, which is a dry logistics transfer method, but also the long distance transfer of the wafer can be realized. Can reduce the possibility of breakage.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 부분 확대도이며, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a solar cell wafer separation and transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a partially enlarged view of Figure 1, Figure 3 is a wafer for a solar cell according to another embodiment of the present invention It is a block diagram of a separation and conveying apparatus.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치는, 슬라이싱(slicing)된 다수의 태양전지용 웨이퍼가 로딩되는 로더(110)와, 로더(110)의 주변에 마련되어 태양전지용 웨이퍼를 이송시키는 컨베이어(130)와, 로더(110)와 컨베이어(130) 간을 이송 가능하게 마련되어 로더(110)로부터의 태양전지용 웨이퍼를 컨베이어(130)로 이송시키되 공기압의 진공 흡착 방식을 이용하여 다수의 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 분리하여 이송시키는 흡착 유닛(150)을 구비한다.1 and 2, the solar cell wafer separation and transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, the loader 110 is loaded with a plurality of sliced (slicing) solar cell wafer, and the loader ( Conveyor 130 is provided around the 110 to transfer the wafer for the solar cell, and is provided to be transported between the loader 110 and the conveyor 130 to transfer the wafer for the solar cell from the loader 110 to the conveyor 130, It is provided with an adsorption unit 150 for separating and transferring one solar cell wafer from a plurality of solar cell wafers using an air pressure vacuum adsorption method.

로더(110)는, 전술한 바와 같이 슬라이싱된 다수의 태양전지용 웨이퍼가 로딩되는 장소이다.The loader 110 is a place where a plurality of sliced solar cell wafers are loaded as described above.

앞서도 기술한 바와 같이, 태양전지용 웨이퍼는, 규소 원재료를 원기둥 타입으로 성장(growing)시킨 후에, 탑(top)과 테일(tail)을 절단하고(cropping), 이어 사각 블록화(squaring)시켜 잉곳(ingot)으로 제조한 다음, 잉곳의 모서리 및 표면을 연마하고 적당한 길이로 잉곳을 자른 후에, 와이어 소잉 장비(wire sawing apparatus)를 통해 잉곳을 수 밀리미터(mm)의 두께로 슬라이싱(slicing)함으로써 제조되는데, 슬라이싱된 직후에는 태양전지용 웨이퍼들이 상호간 접면되는 상태, 즉 상호간 달라붙어 있는 상태이므로 태양전지용 웨이퍼들은 하나씩 분리되어 후공정으로 이송된 후에 1차 세정, 박리, 2차 세정, 품질검사 및 분류 등의 다양한 공정을 거쳐 포장된 후 가공 업체로 공급된다.As described above, the solar cell wafer is ingot by growing a silicon raw material into a cylindrical type, then cutting the top and tail, and then squaring the squares. And then slicing the ingot to a thickness of several millimeters (mm) through a wire sawing apparatus, after grinding the ingot's edges and surfaces and cutting the ingot to an appropriate length. Immediately after slicing, the wafers for solar cells are in contact with each other, that is, they are stuck together, so that the wafers for solar cells are separated one by one and transferred to the post-process. It is packaged through a process and supplied to a processing company.

이러한 일련의 공정에서, 슬라이싱된 직후의 다수의 태양전지용 웨이퍼들은 도 1 및 도 2에 도시된 로더(110)에 로딩되며, 로딩된 후에는 흡착 유닛(150)에 의 해 하나씩의 태양전지용 웨이퍼가 흡착되어 분리된 후 컨베이어(130)로 이송된다.In this series of processes, a plurality of solar cell wafers immediately after being sliced are loaded into the loader 110 shown in FIGS. 1 and 2, and after loading, one solar cell wafer is loaded by the adsorption unit 150. The adsorption is separated and then transferred to the conveyor 130.

본 실시예에서 로더(110)는, 고정 로더(111)와, 고정 로더(111)에 대해 접근 및 이격되면서 고정 로더(111)와의 사이에서 슬라이싱된 다수의 태양전지용 웨이퍼를 정렬시키는 가동 로더(112)를 구비한다.In this embodiment, the loader 110, the movable loader 112 for aligning a plurality of solar cell wafers sliced between the fixed loader 111 and the fixed loader 111 while being approached and spaced apart from the fixed loader 111. ).

이러한 로더(110)의 구조에 대해 살펴보면, 우선 고정 로더(111)는, 바디(111a)와, 다수의 태양전지용 웨이퍼들의 배열 방향을 따라 바디(111a)로부터 상호 이격되게 연장되는 한 쌍의 연장 아암(111b)과, 한 쌍의 연장 아암(111b)의 단부에서 각각 한 쌍의 연장 아암(111b)에 대해 가로로 절곡되어 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 전복되는 것을 저지하는 한 쌍의 전복 저지용 지지 바아(111c)를 구비한다.Referring to the structure of the loader 110, first, the fixed loader 111 is a pair of extension arms extending from the body 111a and spaced apart from the body 111a along the arrangement direction of the plurality of solar cell wafers. A pair of roll over-stop support bars that are bent transversely with respect to the pair of extension arms 111b at 111b and the ends of the pair of extension arms 111b, respectively, to prevent the rollover of a plurality of solar cell wafers. 111c is provided.

도면에서 보면 한 쌍의 전복 저지용 지지 바아(111c)가 제일 바깥쪽의 태양전지용 웨이퍼를 마치 밀고 있는 것처럼 보이지만, 실제로 한 쌍의 전복 저지용 지지 바아(111c)와 제일 바깥쪽의 태양전지용 웨이퍼 사이에는 일정한 간격이 존재할 수 있으며, 그래야만 제일 바깥쪽의 태양전지용 웨이퍼를 다른 것들로부터 분리하여 이송시킬 수 있다.In the drawings, it appears that the pair of overturn support bars 111c is pushing the outermost solar cell wafer, but in fact, between the pair of overturn support bars 111c and the outermost solar cell wafer. There may be a certain distance between them so that the outermost solar cell wafer can be transported separately from others.

다음으로 가동 로더(112)는, 다수의 태양전지용 웨이퍼들과 고정 로더(111)의 일부분을 하부에서 지지하는 레일부(112a)와, 레일부(112a)와 연결되며 다수의 태양전지용 웨이퍼들 중에서 제일 안쪽의 태양전지용 웨이퍼에 접촉되어 레일부(112a)를 통해 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 고정 로더(111) 측으로 가압하는 가압부(112b)를 포함한다.Next, the movable loader 112 includes a plurality of solar cell wafers and a rail part 112a for supporting a portion of the fixed loader 111 at a lower portion thereof, and a rail part 112a, and among the plurality of solar cell wafers. And a pressurizing portion 112b which contacts the innermost solar cell wafer and presses the plurality of solar cell wafers toward the fixed loader 111 through the rail portion 112a.

도면에 보면 레일부(112a)의 상면이 밋밋한 형태로 되어 있지만, 그 표면에는 태양전지용 웨이퍼들을 지지하는 슬롯(미도시)이 더 형성될 수도 있다.Although the upper surface of the rail portion 112a is flat in the figure, a slot (not shown) for supporting the wafers for solar cells may be further formed on the surface thereof.

가압부(112b)는 리니어 모터(linear motor)나 실린더(cylinder) 등으로 적용될 수 있으므로 자세한 도면은 생략하기로 한다.Since the pressing unit 112b may be applied as a linear motor or a cylinder, detailed drawings will be omitted.

이러한 구조에 의해, 고정 및 가동 로더(111,112) 사이에서 정렬된 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 흡착 유닛(150)에 의해 하나씩 이송되면, 가동 로더(112)의 가압부(112b)가 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 고정 로더(111) 측으로 가압함에 따라 로더(110)와 컨베이어(130) 간을 이동하는 흡착 유닛(150)의 이동 경로는 늘 일정하게 된다. 따라서 제어가 간단한 이점이 있다.With this structure, when a plurality of solar cell wafers aligned between the fixed and movable loaders 111 and 112 are transferred one by one by the adsorption unit 150, the pressurizing portion 112b of the movable loader 112 moves to the plurality of solar cell wafers. As the pressure is pushed toward the fixed loader 111, the moving path of the adsorption unit 150 moving between the loader 110 and the conveyor 130 is always constant. Therefore, the control is simple.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 흡착 유닛(150)의 이동 경로가 가변될 수 있도록 제어할 경우에는 굳이 본 실시예와 같은 로더(110)가 적용될 필요는 없다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the loader 110 does not necessarily need to be applied when controlling the movement path of the adsorption unit 150 to be variable.

또한 본 실시예의 경우, 로더(110)에 로딩된 태양전지용 웨이퍼들은 수평 방향으로 정렬되고 있으나, 로더(110)의 간단한 구조 변경을 통해 태양전지용 웨이퍼들이 수직 방향으로 정렬되어 로딩되도록 하여도 좋다.In addition, in the present embodiment, the solar cell wafers loaded in the loader 110 are aligned in the horizontal direction, but the solar cell wafers may be aligned and loaded in the vertical direction by a simple structure change of the loader 110.

컨베이어(130)는, 로더(110) 측으로부터 분리된 하나씩의 태양전지용 웨이퍼들을 후공정인 1차 세정 공정으로 이송시키는 부분이다.The conveyor 130 is a portion for transferring the solar cell wafers separated from the loader 110 side to a first cleaning process, which is a post process.

종래기술의 경우에는, 앞서 자세히 설명한 바와 같이, 유체막 점착력인 표면장력을 이용하여 태양전지용 웨이퍼들을 이송시켜 왔기 때문에 반드시 습식 물류 이송 방식에 의존할 수밖에 없었으며, 또한 3단 컨베이어나 낙하 커튼 방식이 더 적용되는 것이 일반적이기 때문에 구조가 복잡해짐은 물론 많은 단계를 거치는데 따른 태양전지용 웨이퍼의 파손 문제를 야기할 수 있었다.In the prior art, as described in detail above, the wafers for solar cells have been transferred using the surface tension, which is the adhesion of the fluid film, and thus, it is necessary to rely on the wet logistic transfer method. The more general application is, the more complicated the structure is, which can lead to the problem of breakage of the wafer for solar cells.

하지만, 본 실시예의 경우에는 도 1에 도시된 통상의 컨베이어(130)인 컨베이어는 건식 물류 이송 방식의 컨베이어(130)가 적용될 수 있기 때문에 종래의 문제점을 해소하기에 충분한 것이다.However, in the present embodiment, the conveyor, which is the conventional conveyor 130 shown in FIG. 1, is sufficient to solve the conventional problems because the conveyor 130 of the dry logistics transfer method may be applied.

건식 물류 이송 방식의 컨베이어(130)로는, 롤러(roller)에 의해 태양전지용 웨이퍼를 이송시키는 롤러 타입(roller type), 벨트에 의해 태양전지용 웨이퍼를 이송시키는 컨베이어 타입(conveyor type), 그리고 공기부상모듈이 적용되어 태양전지용 웨이퍼를 부상시켜 이송시키는 스테이지 타입(stage type) 중에서 어떠한 것이 적용되어도 무방하다.The dry logistics conveying conveyor 130 includes a roller type for transporting a wafer for solar cells by a roller, a conveyor type for transporting a wafer for solar cells by a belt, and an air flotation module. This may be applied to any of the stage types (floor stage) for floating and transporting the wafer for solar cells.

물론, 벨트에 의해 태양전지용 웨이퍼를 이송시키는 컨베이어 타입이 적용되는 것이 비용면에서 저렴할 수 있지만, 만약 롤러(roller)에 의해 태양전지용 웨이퍼를 이송시키는 롤러 타입이 적용되는 경우라면, 모터와 베벨 기어 등의 조합에 의해 롤러가 결합된 회전축을 회전구동시키는 접촉식 방식과, 마그네트(magnet)의 자력에 의한 비접촉식 방식에 의해 롤러가 결합된 회전축을 회전구동시키는 비접촉식 방식 중에서 어떠한 것이 적용되어도 무방하다.Of course, it may be inexpensive to apply a conveyor type for transferring the wafer for solar cells by the belt, but if the roller type for transferring the wafer for solar cells by the roller is applied, the motor and the bevel gear, etc. Any combination of the contact method for rotating the rotating shaft coupled to the roller by the combination of the non-contact method for rotating the rotating shaft coupled to the roller by the non-contact method by the magnetic force of the magnet may be applied.

한편, 흡착 유닛(150)은, 태양전지용 웨이퍼의 표면에 접촉되어 슬라이싱된 다수의 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 흡착하는 다수의 흡착기(151)와, 다수의 흡착기(151)가 착탈 가능하게 결합되는 흡착헤드(152)와, 흡착헤드(152)와 연결되며 흡착헤드(152)를 회전 또는 선형 이동시키면서 로 더(151)와 컨베이어(152) 간을 이동시키는 로봇아암(153)을 구비한다.Meanwhile, the adsorption unit 150 includes a plurality of adsorber 151 and a plurality of adsorber 151 detachable from the plurality of solar cell wafers, which are in contact with the surface of the solar cell wafer, and adsorb one solar cell wafer. And a robot arm 153 which is connected to the adsorption head 152 that is coupled to the suction head 152 and moves between the loader 151 and the conveyor 152 while rotating or linearly moving the adsorption head 152. Equipped.

다수의 흡착기(151)는 실질적으로 제일 바깥쪽의 태양전지용 웨이퍼의 표면에 접촉되어 공기압의 진공 흡착 방식에 의해 다수의 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 분리하는 역할을 한다.The plurality of adsorber 151 is substantially in contact with the surface of the outermost solar cell wafer to serve to separate one solar cell wafer from the plurality of solar cell wafers by air pressure vacuum adsorption method.

본 실시예의 경우, 공기압의 진공 흡착 방식에 의해 다수의 흡착기(151)가 태양전지용 웨이퍼들을 흡착하고 있기 때문에, 다수의 흡착기(151)는 별도로 진공이 제공되지 않는 깔때기 형상의 고무 패킹으로 적용되어도 좋고, 아니면 별도의 진공이 자동으로 제공되는 타입으로 적용되어도 좋다.In the present embodiment, since the plurality of adsorber 151 adsorbs the wafers for solar cells by the vacuum pressure adsorption method of air pressure, the plurality of adsorber 151 may be applied as a funnel-shaped rubber packing which is not provided with a vacuum separately. Alternatively, it may be applied as a type in which a separate vacuum is automatically provided.

만약, 후자의 경우라면, 도시하고 있지는 않지만, 다수의 흡착기(151)로 진공을 제공하는 진공 제공부 및 진공 제공부의 온/오프(on/off) 동작을 제어하는 제어부를 더 마련해야 할 것이며, 이러한 경우, 제어부는 다수의 흡착기(151)가 로더(110) 측에서 태양전지용 웨이퍼를 흡착할 경우에는 진공이 온(on)되도록 하고, 다수의 흡착기(151)가 컨베이어(130)로 태양전지용 웨이퍼를 올려둘 경우에는 진공이 오프(off)되도록 제어하면 된다.In the latter case, although not shown, a vacuum providing unit providing a vacuum to the plurality of adsorbers 151 and a controller for controlling on / off operations of the vacuum providing unit will be further provided. In this case, when the plurality of adsorber 151 adsorbs the wafer for the solar cell on the loader 110 side, the control unit causes the vacuum to be turned on, and the plurality of the adsorber 151 carries the solar cell wafer to the conveyor 130. In the case of lifting, the vacuum may be controlled to be off.

이처럼 다수의 흡착기(151)가, 진공이 제공되는 구조로 적용되든지 아니면 진공이 제공되지 않는 단순한 깔때기 형상의 고무 패킹 구조로 적용되든지 간에 종래보다는 태양전지용 웨이퍼를 흡착하는 흡착력이 상대적으로 더 강하다. 따라서 로더(110)와 컨베이어(130) 간의 거리가 다소 멀게 설계되더라도 로더(110)로부터 컨베이어(130)로 태양전지용 웨이퍼를 이송시키기에는 별다른 어려움이 없다.Thus, the plurality of adsorber 151, whether applied in a vacuum provided structure or a simple funnel-shaped rubber packing structure is not provided with a vacuum is relatively stronger than the conventional adsorption force for adsorbing the wafer for solar cells. Therefore, even if the distance between the loader 110 and the conveyor 130 is designed to be somewhat far, there is no difficulty in transferring the wafer for the solar cell from the loader 110 to the conveyor 130.

흡착헤드(152)는 다수의 흡착기(151)가 결합되는 장소이다. 본 실시예의 경 우 안정적인 흡착을 위해 흡착기(151) 4개가 흡착헤드(152)에 사각구도로 배치되고 있지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없다.The adsorption head 152 is a place where a plurality of adsorber 151 is coupled. In the present embodiment, four adsorbers 151 are arranged in a rectangular sphere in the adsorption head 152 for stable adsorption, but the scope of the present invention does not need to be limited thereto.

로봇아암(153)은 다수의 흡착기(151)가 결합된 흡착헤드(152)를 도 2의 실선에서 점선으로, 또는 점선에서 실선으로 회전 또는 선형 이동시키는 역할을 한다. 이러한 로봇아암(153)은 정해진 경로를 반복적으로 이동하면서도 이송 대상의 태양전지용 웨이퍼의 방향성이 임의대로 바뀌지 않도록 하는 다관절 로봇으로 마련될 수 있다.The robot arm 153 rotates or linearly moves the adsorption head 152 to which the plurality of adsorbers 151 are coupled from a solid line in FIG. 2 to a dotted line, or from a dotted line to a solid line. The robot arm 153 may be provided as a articulated robot that repeatedly moves a predetermined path but does not change the orientation of the solar cell wafer to be transferred.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치는 유체 공급부(160)를 더 구비한다.On the other hand, the solar cell wafer separation and transfer apparatus according to an embodiment of the present invention further includes a fluid supply unit 160.

유체 공급부(160)는, 슬라이싱된 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 상호간 달라붙지 않도록 슬라이싱된 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 향해 소정의 유체를 공급하는 역할을 한다.The fluid supply unit 160 serves to supply a predetermined fluid toward the sliced solar cell wafers so that the sliced solar cell wafers do not stick to each other.

다만, 유체 공급부(160)에 의해 다수의 태양전지용 웨이퍼들 사이로 유체가 공급되면 슬라이싱된 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 상호간 달라붙지 않기 때문에 이들을 하나씩 분리하기에 다소 유리할 수도 있지만, 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존하는 유체로 인해 다수의 흡착기(151)가 공기압의 진공 흡착 방식에 의해 태양전지용 웨이퍼를 흡착하는 과정에서 미끌림이 발생하는 등의 단점이 야기되어 흡착 실패율이 높아질 우려도 상존한다.However, when the fluid is supplied between the plurality of solar cell wafers by the fluid supply unit 160, since the sliced plurality of solar cell wafers do not stick together, it may be somewhat advantageous to separate them one by one, but remains on the surface of the solar cell wafer. Due to the fluid, a plurality of adsorbers 151 may cause drawbacks such as slippage in the process of adsorbing the wafer for solar cells by the vacuum adsorption method of pneumatic pressure, thereby increasing the adsorption failure rate.

따라서 적어도 다수의 흡착기(151)가 공기압의 진공 흡착 방식에 의해 태양전지용 웨이퍼를 흡착하는 경우에 있어서만큼은 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존 하는 유체를 제거해야 할 필요가 있다. 이를 위해, 유체 제거부(171)가 더 마련된다.Therefore, it is necessary to remove the fluid remaining on the surface of the solar cell wafer in the case where at least the plurality of adsorber 151 adsorbs the solar cell wafer by the vacuum pressure adsorption method of air pressure. To this end, the fluid removing unit 171 is further provided.

유체 제거부(171)는 유체 공급부(160)와는 이격된 위치에서 로더(110)의 주변에 마련되어 흡착 유닛(150)의 흡착기(151)들에 의해 흡착될 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존하는 유체를 제거하는 역할을 한다.The fluid removing unit 171 is provided around the loader 110 at a position spaced apart from the fluid supply unit 160 to store the fluid remaining on the surface of the solar cell wafer to be adsorbed by the adsorbers 151 of the adsorption unit 150. It serves to remove.

본 실시예의 경우, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 유체 제거부(171)로서 태양전지용 웨이퍼의 표면으로 유체 제거용 에어(air)를 분사하는 다수의 에어 분사노즐(171)을 선택하고 있지만, 다른 실시예를 도시한 도 3과 같이, 에어 분사노즐(171) 대신에 에어 나이프(172)를 적용하여도 무방하다.1 and 2, as the fluid removing unit 171, a plurality of air injection nozzles 171 for injecting fluid removal air to the surface of the wafer for solar cells are selected. However, as shown in FIG. 3 showing another embodiment, the air knife 172 may be applied instead of the air jet nozzle 171.

뿐만 아니라 에어 분사노즐(171)이나 에어 나이프(172) 대신에 청소기와 같은 원리로서 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존하는 유체를 직접 흡입하는 흡입기(미도시)를 사용하여도 무방하다.In addition, instead of the air jet nozzle 171 or the air knife 172, an inhaler (not shown) that directly sucks the fluid remaining on the surface of the wafer for solar cells may be used as a cleaner.

본 실시예와 같이, 유체 제거부(171)로서 한 쌍의 에어 분사노즐(171)이 적용될 경우 다수의 에어 분사노즐(171)이 제일 바깥쪽의 태양전지용 웨이퍼의 표면으로 에어를 분사하여 그 표면에 잔존하는 유체를 제거한 후에, 즉 분사되는 에어에 의해 유체가 흘러내리도록 한 후에 흡착 유닛(150)의 흡착기(151)들이 해당 태양전지용 웨이퍼를 흡착하기 때문에 흡착력이 더 강해질 수 있다. 만약, 도 3과 같이 에어 나이프(172)가 적용되는 경우에는 태양전지용 웨이퍼의 표면에 대해 경사진 방향으로 에어가 분사되도록 하는 것이 보다 효과적일 수 있다.As in the present embodiment, when a pair of air jetting nozzles 171 are applied as the fluid removing unit 171, a plurality of air jetting nozzles 171 injects air to the outermost surface of the solar cell wafer and the surface thereof. The adsorption force may be stronger because the adsorbers 151 of the adsorption unit 150 adsorb the wafer for the solar cell after removing the fluid remaining in the air, that is, allowing the fluid to flow down by the injected air. If the air knife 172 is applied as shown in FIG. 3, it may be more effective to inject air in an inclined direction with respect to the surface of the solar cell wafer.

이러한 동작이 진행되는 과정에서, 즉 한 쌍의 에어 분사노즐(171)로부터의 에어에 의해 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존하는 유체가 제거되는 과정에서 한 쌍의 에어 분사노즐(171)에 인접된 유체 공급부(160) 측으로부터 유체가 비산되면 그 효율이 반감될 수밖에 없다.The fluid adjacent to the pair of air jet nozzles 171 in the course of this operation, that is, the fluid remaining on the surface of the wafer for solar cells by the air from the pair of air jet nozzles 171 is removed. When the fluid is scattered from the supply unit 160 side, the efficiency is inevitably reduced.

따라서 유체 공급부(160) 측으로부터의 유체가 한 쌍의 에어 분사노즐(171) 측으로 비산되는 것을 저지할 필요가 있는데, 이를 위해 비산방지부(180)가 더 구비된다.Therefore, it is necessary to prevent the fluid from the fluid supply unit 160 side to be scattered to the pair of air injection nozzle 171 side, for this purpose, the scattering prevention unit 180 is further provided.

본 실시예에서 비산방지부(180)로는 유체 공급부(160)와 한 쌍의 에어 분사노즐(171) 사이를 차단하는 커튼(180)이 적용되고 있지만, 본 발명이 이에 제한될 필요는 없다.In the present exemplary embodiment, the curtain 180 that blocks the fluid supply unit 160 and the pair of air injection nozzles 171 is applied as the scattering prevention unit 180, but the present invention is not limited thereto.

이러한 구성을 갖는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치에 대한 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the separation and transfer device for a solar cell wafer having such a configuration as follows.

우선, 고정 로더(111)와 가동 로더(112) 사이에서 슬라이싱된 다수의 태양전지용 웨이퍼가 일렬로 로딩되고 나면, 유체 공급부(160)와는 별개로 유체 제거부(171)로서 한 쌍의 에어 분사노즐(171)이 동작되어 흡착/분리될 제일 바깥쪽의 태양전지용 웨이퍼의 표면을 향해 에어를 분사한다.First, after a plurality of solar cell wafers sliced between the fixed loader 111 and the movable loader 112 are loaded in a row, a pair of air jet nozzles as the fluid removing unit 171 separate from the fluid supply unit 160. 171 is operated to inject air toward the surface of the outermost wafer for solar cells to be adsorbed / separated.

분사되는 에어에 의해 제일 바깥쪽 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존하는 유체가 제거되면, 이 후 로봇아암(153)의 동작에 기인하여 다수의 흡착기(151)가 제일 바깥쪽 태양전지용 웨이퍼의 표면을 공기압으로 흡착한다.When the fluid remaining on the surface of the outermost solar cell wafer is removed by the injected air, a plurality of adsorber 151 causes air pressure to the surface of the outermost solar cell wafer due to the operation of the robot arm 153. Adsorption.

흡착이 완료되면, 다시 로봇아암(153)의 동작, 즉 도 1의 실선에서 점선과 같은 동작에 의해 흡착된 태양전지용 웨이퍼는 다른 태양전지용 웨이퍼들로부터 분 리된 후 컨베이어(130)로 옮겨져 이송된다. 이때, 로봇아암(153)은 로더(110)와 컨베이어(130) 간의 정해진 경로를 이동하기 때문에 태양전지용 웨이퍼의 방향이 틀어지는 것은 저지된다.When the adsorption is completed, the solar cell wafers, which are absorbed by the operation of the robot arm 153 again, that is, a dashed line in the solid line of FIG. 1, are separated from the other solar cell wafers and then transferred to the conveyor 130. At this time, since the robot arm 153 moves a predetermined path between the loader 110 and the conveyor 130, it is prevented that the direction of the solar cell wafer is changed.

다음, 제일 바깥쪽 태양전지용 웨이퍼의 이송이 완료되면, 가동 로더(112)의 가압부(112b)가 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 고정 로더(111) 측으로 가압하게 되고, 이로 인해 두 번째 태양전지용 웨이퍼가 작업 위치에 놓이게 되다. 그러면 두 번째 태양전지용 웨이퍼에 대한 분리 및 이송 과정이 위의 동작과 같은 형태로 진행된다.Next, when the transfer of the outermost solar cell wafer is completed, the pressing unit 112b of the movable loader 112 presses the plurality of solar cell wafers to the fixed loader 111 side, whereby the second solar cell wafer Put into working position Then, the separation and transfer process for the second solar cell wafer proceeds as in the above operation.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 종래의 유체막 점착력 대신에 공기압의 진공 흡착 방식을 이용하여 다수의 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 분리하여 이송시킴으로써 건식 물류 이송 방식인 통상의 컨베이어(130)로 태양전지용 웨이퍼를 직접 이송시킬 수 있을 뿐만 아니라 태양전지용 웨이퍼의 원거리 이송 구현이 가능하며, 특히 종래와 같은 복잡한 이송 구조를 갖추지 않아도 되기 때문에 복잡한 이송 단계에 따른 태양전지용 웨이퍼의 파손 가능성을 감소시킬 수 있게 된다.Thus, according to this embodiment, instead of the conventional fluid film adhesive force by using a vacuum adsorption method of pneumatic pressure by separating a single solar cell wafer from a plurality of solar cell wafers by a conventional conveyor (dry logistics transfer method) 130) can not only transfer the wafer directly for the solar cell, but also enable the long-distance transfer of the wafer for the solar cell, and in particular, it does not have to have a complicated transfer structure as in the prior art, thereby reducing the possibility of damage of the wafer for the solar cell due to the complicated transfer step. You can do it.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a solar cell wafer separation and transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 부분 확대도이다.FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치의 구성도이다.3 is a block diagram of a solar cell wafer separation and transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

110 : 로더 111 : 고정 로더110: loader 111: fixed loader

112 : 가동 로더 130 : 컨베이어112: movable loader 130: conveyor

150 : 흡착 유닛 151 : 흡착기150: adsorption unit 151: adsorber

152 : 흡착헤드 153 : 로봇아암152: suction head 153: robot arm

160 : 유체 공급부 171 : 에어 분사노즐160: fluid supply unit 171: air injection nozzle

172 : 에어 나이프 180 : 비산방지부172: air knife 180: shatterproof portion

Claims (11)

슬라이싱(slicing)된 다수의 태양전지용 웨이퍼가 로딩되는 로더;A loader on which a plurality of sliced solar cell wafers are loaded; 상기 로더의 주변에 마련되어 상기 태양전지용 웨이퍼를 이송시키는 컨베이어; 및A conveyor provided around the loader to transfer the wafer for the solar cell; And 상기 로더와 상기 컨베이어 간을 이송 가능하게 마련되어 상기 로더로부터의 상기 태양전지용 웨이퍼를 상기 컨베이어로 이송시키되 공기압의 진공 흡착 방식을 이용하여 다수의 상기 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 분리하여 이송시키는 흡착 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.The solar cell wafer from the loader is provided to be transported between the loader and the conveyor, and the solar cell wafers are separated from the plurality of solar cell wafers by using an air pressure vacuum adsorption method. Separation and transfer device for a solar cell wafer comprising a suction unit to make. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 흡착 유닛은,The adsorption unit, 상기 태양전지용 웨이퍼의 표면에 접촉되어 슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들로부터 하나씩의 태양전지용 웨이퍼를 흡착하는 다수의 흡착기;A plurality of adsorbers for adsorbing one solar cell wafer from the plurality of solar cell wafers that are sliced in contact with the surface of the solar cell wafer; 상기 다수의 흡착기가 착탈 가능하게 결합되는 흡착헤드; 및An adsorption head to which the plurality of adsorbers are detachably coupled; And 상기 흡착헤드와 연결되며 상기 흡착헤드를 회전 또는 선형 이동시키면서 상기 로더와 상기 컨베이어 간을 이동시키는 로봇아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.And a robot arm connected to the adsorption head and moving between the loader and the conveyor while rotating or linearly moving the adsorption head. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 흡착 유닛은,The adsorption unit, 상기 다수의 흡착기로 진공을 제공하는 진공 제공부; 및A vacuum providing unit providing a vacuum to the plurality of adsorbers; And 상기 진공 제공부의 온/오프(on/off) 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.And a control unit for controlling an on / off operation of the vacuum providing unit. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 다수의 흡착기는 깔때기 형상의 고무 패킹인 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.The plurality of adsorber is a solar cell wafer separation and transfer device, characterized in that the funnel-shaped rubber packing. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 상호간 달라붙지 않도록 슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 향해 소정의 유체를 공급하는 유체 공급부; 및A fluid supply unit supplying a predetermined fluid toward the plurality of sliced solar cell wafers so that the plurality of sliced solar cell wafers do not stick together; And 상기 유체 공급부와는 이격된 위치에서 상기 로더의 주변에 마련되어 상기 흡착 유닛에 의해 흡착될 상기 태양전지용 웨이퍼의 표면에 잔존하는 유체를 제거하는 유체 제거부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.Separating the solar cell wafer further comprises a fluid removal unit provided around the loader at a position spaced apart from the fluid supply unit to remove the fluid remaining on the surface of the solar cell wafer to be adsorbed by the adsorption unit And conveying device. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 유체 제거부는, 상기 태양전지용 웨이퍼의 표면으로 유체 제거용 에어(air)를 분사하는 적어도 하나의 에어 분사노즐인 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.The fluid removing unit is a solar cell wafer separation and transfer device, characterized in that at least one air injection nozzle for injecting a fluid removal air (air) to the surface of the solar cell wafer. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 유체 공급부 측으로부터의 유체가 상기 유체 제거부 측으로 비산되는 것을 저지하는 비산방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.And a scattering prevention unit for preventing the fluid from the fluid supplying part from scattering to the fluid removing part. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 비산방지부는 상기 유체 공급부와 상기 유체 제거부 사이에 마련되는 커튼인 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.The scattering prevention unit is a solar cell wafer separation and transfer device, characterized in that the curtain provided between the fluid supply and the fluid removing unit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 로더는,The loader, 고정 로더; 및Fixed loader; And 상기 고정 로더에 대해 접근 및 이격되면서 상기 고정 로더와의 사이에서 슬라이싱된 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼를 정렬시키는 가동 로더를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.And a movable loader for aligning the plurality of solar cell wafers sliced between the fixed loader while being approached and spaced apart from the fixed loader. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 고정 로더는,The fixed loader, 바디;body; 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들의 배열 방향을 따라 상기 바디로부터 상호 이격되게 연장되는 한 쌍의 연장 아암; 및A pair of extension arms extending apart from each other along the array direction of the plurality of solar cell wafers; And 상기 한 쌍의 연장 아암의 단부에서 각각 상기 한 쌍의 연장 아암에 대해 가로로 절곡되어 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들이 전복되는 것을 저지하는 한 쌍의 전복 저지용 지지 바아를 포함하며,A pair of roll over-stop support bars each bent transversely to said pair of extension arms at the ends of said pair of extension arms to prevent the plurality of solar cell wafers from overturning; 상기 가동 로더는,The movable loader, 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들과 상기 고정 로더의 일부분을 하부에서 지지하는 레일부; 및A rail unit supporting a plurality of solar cell wafers and a portion of the fixed loader from below; And 상기 레일부와 연결되며 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들 중에서 제일 안쪽의 태양전지용 웨이퍼에 접촉되어 상기 레일부를 통해 상기 다수의 태양전지용 웨이퍼들을 상기 고정 로더 측으로 가압하는 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.And a pressurizing part connected to the rail part and contacting the innermost solar cell wafer among the plurality of solar cell wafers to press the plurality of solar cell wafers toward the fixed loader through the rail part. Wafer separation and transfer device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컨베이어는 건식 물류 이송 방식의 컨베이어인 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 분리 및 이송 장치.The conveyor is a solar cell wafer separation and transfer apparatus, characterized in that the conveyor of the dry logistics transfer method.
KR1020090022217A 2009-03-16 2009-03-16 Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery KR101066978B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090022217A KR101066978B1 (en) 2009-03-16 2009-03-16 Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090022217A KR101066978B1 (en) 2009-03-16 2009-03-16 Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100104068A true KR20100104068A (en) 2010-09-29
KR101066978B1 KR101066978B1 (en) 2011-09-23

Family

ID=43008364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090022217A KR101066978B1 (en) 2009-03-16 2009-03-16 Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101066978B1 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101102428B1 (en) * 2011-05-24 2012-01-05 주식회사 에이에스이 Wafer Separator and Transferring device
CN102774647A (en) * 2011-05-12 2012-11-14 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 Conveying device of cells
KR101447940B1 (en) * 2013-05-16 2014-10-14 주식회사 포틱스 The device for separation a sheet to solar cell wafer with a vacuum adsorption and separation function
CN104867855A (en) * 2015-04-24 2015-08-26 浙江长兴汉能光伏有限公司 Solar battery backboard removing and delivering apparatus
CN105247692A (en) * 2013-03-29 2016-01-13 索泰克公司 Multiple transfer assembly process
CN107720274A (en) * 2017-11-06 2018-02-23 苏州展德自动化设备有限公司 The transloading equipment of ceramic substrate
KR101831969B1 (en) * 2017-12-27 2018-04-04 주식회사 우진 Storage device for semiconductor wafer
KR101862025B1 (en) * 2017-12-22 2018-05-29 임창범 Transfer device for semiconductor wafer
WO2023018503A1 (en) * 2021-08-09 2023-02-16 Applied Materials, Inc. Linear sorter using vacuum belt

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103921548B (en) * 2013-01-15 2016-10-26 神讯电脑(昆山)有限公司 Automatically detection biplate device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19950068B4 (en) * 1999-10-16 2006-03-02 Schmid Technology Systems Gmbh Method and device for separating and detaching substrate disks
WO2008003502A1 (en) * 2006-07-06 2008-01-10 Rena Sondermaschinen Gmbh Apparatus and method for separating and transporting substrates
JP4774004B2 (en) 2007-03-30 2011-09-14 富士フイルム株式会社 Cleaning method and apparatus for web-like object to be cleaned

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102774647A (en) * 2011-05-12 2012-11-14 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 Conveying device of cells
CN102774647B (en) * 2011-05-12 2016-06-08 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 Cell piece transmission device
KR101102428B1 (en) * 2011-05-24 2012-01-05 주식회사 에이에스이 Wafer Separator and Transferring device
CN105247692A (en) * 2013-03-29 2016-01-13 索泰克公司 Multiple transfer assembly process
US9954139B2 (en) 2013-03-29 2018-04-24 Soitec Multiple transfer assembly process
KR101447940B1 (en) * 2013-05-16 2014-10-14 주식회사 포틱스 The device for separation a sheet to solar cell wafer with a vacuum adsorption and separation function
CN104867855A (en) * 2015-04-24 2015-08-26 浙江长兴汉能光伏有限公司 Solar battery backboard removing and delivering apparatus
CN107720274A (en) * 2017-11-06 2018-02-23 苏州展德自动化设备有限公司 The transloading equipment of ceramic substrate
KR101862025B1 (en) * 2017-12-22 2018-05-29 임창범 Transfer device for semiconductor wafer
KR101831969B1 (en) * 2017-12-27 2018-04-04 주식회사 우진 Storage device for semiconductor wafer
WO2023018503A1 (en) * 2021-08-09 2023-02-16 Applied Materials, Inc. Linear sorter using vacuum belt
US11945660B2 (en) 2021-08-09 2024-04-02 Applied Materials, Inc. Linear sorter using vacuum belt

Also Published As

Publication number Publication date
KR101066978B1 (en) 2011-09-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101066978B1 (en) Apparatus for transferring and separating wafer of solar battery
CN107093651B (en) Automatic unloading equipment of going up of two unification of solar wafer
TWI512877B (en) Workpiece transport method and workpiece transport device
KR102391432B1 (en) Die transfer module and die bonding apparatus including the same
KR101027050B1 (en) Loading and unloading apparatus for wafer of solar battery
KR20110106814A (en) Adhesive tape joining method and adhesive tape joining apparatus
CN201838565U (en) Automatic wet silicon slice distributing device
KR101624982B1 (en) Substrate Processing System and Substrate Processing method
JP6076063B2 (en) Processing equipment
KR101102428B1 (en) Wafer Separator and Transferring device
CN102623372A (en) Automatic wafer-separating device for wet silicon wafers
KR101435247B1 (en) Die bonding apparatus
KR20170017752A (en) Semiconductor wafer transport method and semiconductor wafer transport apparatus
KR101339169B1 (en) Conveyor loader for the use of the sawing apparatus for semiconductor products
KR20140055376A (en) Apparatus for singulating semiconductor packages
CN112435948B (en) Self-purification silicon wafer conveying device
KR101014746B1 (en) Loading and unloading apparatus for wafer of solar battery
CN109979870B (en) Automatic burst feed mechanism of silicon wafer
JP2011061122A (en) Method of carrying wafer and wafer carrying device
JPH10114426A (en) Wafer take-out device
CN103137524A (en) Wafer debonding and cleaning apparatus and method of use
CN207398079U (en) Automatic circular silicon chip inserting machine
CN213093182U (en) Rotary feeding device and silicon wafer sorting machine
CN109560005A (en) Automatic circular silicon chip inserting machine
KR101447940B1 (en) The device for separation a sheet to solar cell wafer with a vacuum adsorption and separation function

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140821

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150821

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160816

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee