KR20100094802A - 증착 장치용 마스크 밀착 수단 및 이를 이용한 증착 장치 - Google Patents
증착 장치용 마스크 밀착 수단 및 이를 이용한 증착 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (16)
- 마그네틱 조립체;상기 마그네틱 조립체의 일측에 위치하는 캡 플레이트; 및상기 마그네틱 조립체의 가장 자리와 상기 캡 플레이트 사이에 위치하는 자력 제어 수단을 포함하는 증착 장치용 마스크 밀착 수단.
- 제 1 항에 있어서,상기 자력 제어 수단은 자력 차폐제 또는 페라이트(ferrite) 자성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치용 마스크 밀착 수단.
- 제 2 항에 있어서,상기 자력 제어 수단은 강철로 이루어진 박막 시트인 것을 특징으로 하는 증착 장치용 마스크 밀착 수단.
- 제 1 항에 있어서,상기 캡 플레이트는 내부에 냉각 통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치용 마스크 밀착 수단.
- 제 1 항에 있어서,상기 마그네틱 조립체는 마그네틱 플레이트 및 상기 마그네틱 플레이트의 캡 플레이트 측에 위치하는 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치용 마스크 밀착 수단.
- 제 5 항에 있어서,상기 자성체는 금속 계열인 것을 특징으로 하는 증착 장치용 마스크 밀착 수단.
- 챔버;상기 챔버 내부에 위치하는 증착원;상기 증착원 상에 위치하는 마스크 조립체;상기 마스크 조립체 상에 위치하는 마스크 밀착 수단을 포함하며,상기 마스크 밀착 수단은 캡 플레이트, 상기 캡 플레이트 상에 위치하는 마그네틱 조립체 및 상기 마그네틱 조립체의 가장 자리와 상기 캡 플레이트 사이에 위치하는 자력 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 자력 제어 수단은 자력 차폐제 또는 페라이트 자성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 자력 제어 수단은 강철로 이루어진 박막 시트인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 캡 플레이트는 내부에 냉각 통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 마그네틱 조립체는 마그네틱 플레이트 및 상기 마그네틱 플레이트의 캡 플레이트 측에 위치하는 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 자성체는 금속 계열인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 마스크 조립체는 개구부를 포함하는 마스크 프레임 및 인장되어 상기 마스크 프레임에 고정되는 하나 또는 다수의 패턴 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 패턴 마스크는 미세 금속 마스크인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 마스크 조립체를 상기 챔버에 결합시키기 위한 마스크 홀더를 더 포함하는 증착 장치.
- 제 15 항에 있어서,상기 마스크 홀더는 내부에 냉각 통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
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