KR20100080879A - 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법, 검사 장치, 광학적 정보 기록 매체 및 정보 기록 방법 - Google Patents

광학적 정보 기록 매체의 검사 방법, 검사 장치, 광학적 정보 기록 매체 및 정보 기록 방법 Download PDF

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KR20100080879A
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겐지 후지우네
야스모리 히노
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Abstract

광학적 정보 기록 매체를 검사하는 검사 방법으로서, 상기 광학적 정보 기록 매체에 레이저광을 조사하고, 레이저광이 조사되고 있는 반경 위치에 따라, 선속도 일정 제어로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 적어도 2개의 선속도인 제 1 선속도 Lv1와 상기 제 1 선속도 Lv1보다 큰 제 2 선속도 Lv2로 회전 속도를 전환하고, 상기 광학적 정보 기록 매체로부터의 반사광으로부터 포커스 에러 신호 및/또는 트랙킹 에러 신호를 생성하고, 상기 포커스 에러 신호 및/또는 상기 트랙킹 에러 신호에 근거하여, 상기 광학적 정보 기록 매체를 조사하는 레이저광의 포커스 제어 및/또는 트랙킹 제어를 행하고, 상기 포커스 에러 신호 및/또는 상기 트랙킹 에러 신호의 제어 루프로부터 분기한 출력을, 소정의 포커스 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터 및/또는 트랙킹 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터를 통과시킴으로써 얻어지는 포커스 에러 신호의 잔류 오차 및/또는 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차를, 사전 결정된 소정의 기준값과 비교하는 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.

Description

광학적 정보 기록 매체의 검사 방법, 검사 장치, 광학적 정보 기록 매체 및 정보 기록 방법{OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM EXAMINING METHOD, EXAMINING DEVICE, OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM, AND INFORMATION RECORDING METHOD}
본 발명은 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법, 검사 장치, 광학적 정보 기록 매체 및 정보 기록 방법에 관한 것이다. 특히 고속으로 기록 또는 재생을 행하는 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법 및 검사 장치에 관한 것으로, 그러한 광학적 정보 기록 매체의 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차의 검사 방법에 관한 것이다.
광학적 정보 기록 매체는 기록층을 구비하여, 정보가 피트나 마크로서 기록층에 기록된다. 정보를 재생하는 경우, 피트나 마크에 광을 조사하여, 광의 강도 변화를 검출함으로써 정보를 재생한다. 이러한 광학적 정보 기록 매체는, 일반적으로 디스크 형상을 하고 있어, 광디스크라고 불린다. 이하, 본원 명세서에서도 일반적 관습에 따라서 광학적 정보 기록 매체를 단순히 광디스크라고 부른다.
고밀도ㆍ대용량의 광디스크로서, 블루레이ㆍ디스크(BD)나 디지털ㆍ버스타일ㆍ디스크(DVD) 등이 실용화되고 있고, 컴퓨터용 데이터나 소프트웨어, 오디오 비쥬얼 데이터 등을 기록하기 위해서 사용되고 있다.
이러한 고밀도ㆍ대용량의 광디스크 중에서도, 특히 DVD-R/BD-R 등의 라이트 원스(write-once)라고 불리는 추기형 광디스크의 수요가 높아지고 있다. 추기형 광디스크는, 예컨대, 특허 문헌 1에 개시되는 Te-O-M(단, M은 금속 원소, 반금속 원소 및 반도체 원소로부터 선택되는 적어도 하나의 원소임)계 재료를 포함하는 기록층을 구비한다. Te-O-M계 재료는 Te, O 및 M을 함유하는 복합 재료이며, 막 형성 직후에는, TeO2의 매트릭스 중에 Te, Te-M 및 M의 미립자가 랜덤하게 분산되어 있다. 이 재료에 의해서 형성된 기록층에 소정 강도 이상의 레이저광을 조사하면, 기록층의 레이저광이 조사된 부분이 용융하여 냉각될 때, 입경이 큰 Te 혹은 Te-M의 결정이 석출한다. 이에 의해, 기록층에 기록 마크를 형성한다. 결정이 석출한 부분은 다른 부분과 광학적 성질이 상이하기 때문에, 레이저광을 기록 마크에 조사하면, 반사광의 강도에 차이가 생겨서, 반사광의 강도차를 신호로서 검출할 수 있다. 이렇게 하여, 1번만 기입 가능한, 이른바 추기형의 기록이 가능해진다.
광디스크의 회전 속도의 제어 방법에는 CLV(Constant Linear Velocity) 방식과 CAV(Constant Angular Velocity) 방식이 있다. CLV 방식은 반경 위치에 반비례한 회전 속도로 광디스크를 회전 제어하여, 레이저광의 스폿이 트랙을 주사하는 선속도를 일정하게 하면서, 일정한 기록 채널 클럭으로 정보를 기록한다. CAV 방식 은, 광디스크에 기록할 때의 회전 속도를 일정하게 한 채로, 광디스크의 기록에 있어서의 기준 신호인 채널 클럭을, 트랙을 주사하는 반경 위치에 비례하게 한다. 이 경우, 광디스크의 내주(內周) 측에서 채널 클럭이 낮고, 기록 선속도는 늦어진다. 또한, 광디스크의 외주(外周) 측에서 채널 클럭이 높고, 기록 선속도는 빨라진다. 단, 기록 마크의 기록 선밀도는 일정하다.
광디스크에 정보를 기록하고, 또한, 기록된 정보를 재생하는 경우, 소정의 집광 상태로 집광된 레이저광을 광디스크에 조사할 필요가 있다. 이때, 광디스크 장치에 있어서, 레이저광을 소정의 집광 상태로 유지하는 제어를 포커스 서보 제어라고 하고, 기록층에 형성된 마크의 열인 트랙을 추종하도록, 디스크의 반경 방향에서의 레이저광의 위치를 유지하는 제어를 트랙킹 서보 제어라고 한다. 또한, 포커스 서보 제어에 있어서, 레이저광의 소정의 집광 상태로부터의 어긋남량을 나타내는 신호를 포커스 에러 신호라고 부른다. 마찬가지로, 트랙킹 서보 제어에 있어서, 레이저광의 트랙으로부터의 어긋남량을 나타내는 신호를 트랙킹 에러 신호라고 부른다. 또한, 트랙킹 에러 및 포커스 에러는 반경 방향 트랙킹 에러(radial tracking error) 및 축방향 트랙킹 에러(axial tracking error)라고도 불린다.
예컨대, 특허 문헌 2 및 특허 문헌 3은 추기형 광디스크의 포커스 서보 및 트랙킹 서보에 관한 기술을 개시하고 있다. 이들 문헌에 개시되어 있는 방법에서는, 포커스 에러 신호 등에 근거하여 기록 속도를 제어함으로써 신뢰성이 우수한 기록 처리를 행하는 광디스크 장치 및 그 방법과, 트랙킹 에러 신호에 근거하여 디스크의 편중심에 기인해서 발생하는 진동의 값을 검출하는 방법을 개시하고 있다.
최근, 대용량의 광디스크에 대응한 컴퓨터 주변기기 및 광디스크 녹화기에 있어서, 고속 전송 레이트로의 기록이 강하게 요망되고 있다. 구체적으로는, BD의 6배속(6x)에 상당하는 속도로 정보를 기록 또는 재생하는 기술을 실현하는 것이 요구되고 있다. 이를 위해서는, 광디스크의 회전 속도(또는 선속도)를 올려서, 레이저광을 고속으로 주사시킬 필요가 있다. 여기서, 「~배속」이란, 기록 또는 재생의 표준 속도의 몇 배의 속도인지를 의미한다. 기록 또는 재생의 속도는 구체적으로는 선속도 또는 전송 레이트로 표시된다. 본원 명세서에서는, 주로 선속도를 이용하여 기록 또는 재생의 속도를 설명한다.
또한, 디스크 회전 속도를 올리면, 광디스크의 면진동(out-of-plane vibration), 편심, 디펙트(defects), 두께 분포 격차 등, 광디스크 형상의 불완전성에 의해서, 정보를 기록하는 트랙의 위치나 기록층의 위치(높이)가 고속으로 변위하게 된다. 이 때문에, 보다 고속으로 포커스 서보 제어나 트랙킹 서보 제어를 행할 필요가 있다. 그러나, 서보 제어의 응답에는 일정한 한계가 있어, 서보 제어의 응답 특성을 초과하는 주파수로 트랙의 위치나 기록층의 위치가 변위하면, 광디스크 장치는 포커스 서보 제어나 트랙킹 서보 제어를 완전하게는 실시할 수 없게 된다. 그 결과, 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차(잔류 트랙킹 오차)가 커져서, 트랙킹 서보의 안정성이 악화되거나, 포커스 에러 신호의 잔류 오차(잔류 포커스 오차)가 커져서, 기록 신호의 엔벨로프(envelope)에 잔류 오차에 따른 기록 누락(결락)이 생겨 SER(Symbol Error Rate)을 악화시킨다고 하는 과제가 현저히 생긴다.
여기서, 잔류 트랙킹 오차란, 광디스크 장치가 트랙킹 서보 제어를 적절히 행한 상태에 있어서, 또한, 레이저광이 트랙으로부터 어긋나는 것에 의해서, 트랙킹 에러 신호가 제로로는 되지 않아, 제어할 수 없었던 것에 의해서 생기는 신호 성분을 말한다. 마찬가지로, 잔류 포커스 오차란, 광디스크 장치가 포커스 서보 제어를 적절히 행한 상태에 있어서, 또한, 레이저광이 소정의 집광 상태로부터 어긋나는 것에 의해서, 포커스 에러 신호가 제로로는 되지 않아, 제어할 수 없었던 것에 의해서 생기는 신호 성분을 말한다. 이들 신호의 잔류 오차는 신호의 진폭의 크기에 의해서 평가되고, 그 값은, 광디스크 장치에 있어서의 레이저광의 스폿의 트랙 중심으로부터의 어긋남량 및 기록층으로부터의 어긋남량으로 하여 거리(길이)로 표시된다. 예컨대, 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차가 xxnm이고, 포커스 에러 신호의 잔류 오차가 xxnm이라고 표현된다. 또한, 잔류 오차는 잔차라고도 불린다. 또한, 본원 명세서에 있어서, 단순히, 잔류 오차라고 부를 때는, 잔류 트랙킹 오차 및 잔류 포커스 오차의 양쪽을 의미한다.
그래서, 광디스크의 제작시에 원반으로 되는 스탬퍼(stamper)나, 광디스크의 성형, 커버층을 형성하는 수지의 점도 및 스핀 코팅시의 두께를 보다 한층 높은 정밀도로 제어하는 것이 필요로 되고, 또한, 제작한 광디스크가 소정의 형상 정밀도 또는 기계적 특성을 만족시키는지 여부를 정밀하게 또한 효율적으로 검사하는 검사 방법이나 검사 장치를 개발하는 것이 중요해진다.
특허 문헌 1: 일본 특허 공개 제2004-362748호 공보
특허 문헌 2: 일본 특허 공개 제2004-5817호 공보
특허 문헌 3: 일본 특허 제3819138호 공보
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
그러나 검사 장치의 스핀들 모터가 BD의 6배속으로 고속 회전하면서 검사를 행하는 경우, 진동이나 액츄에이터의 공진 등, 검사 장치 자신이 갖는 기계적인 요소에 의해 잔류 포커스 오차나 잔류 트랙킹 오차가 크게 관측되어 버려서, 원래 계측해야 할 광디스크의 기계 특성에 기인하는 잔류 오차를 정밀하게 측정(또는 검사)할 수 없다고 하는 과제가 있었다. 또한, 진동이나 액츄에이터 공진을 억제한 가격이 비싼 고성능의 검사 장치를 새롭게 도입하는 경우, 새로운 설비 투자가 필요하게 되어, 미디어의 가격 상승으로 이어진다.
또한, 예컨대, BD의 6배속(6x)에 상당하는 선속도로의 기록을 광디스크의 전주(全周)에 걸쳐서 CLV 방식으로 행하는 경우, 스핀들 모터의 회전 속도가 내주에서 10000rpm을 넘는다. 이 회전 속도는, 광디스크의 기판 재료인 플라스틱의 파단 한계를 고려하여 안전성의 관점에서 정해진 실용상의 한계 회전 속도이다. 이 때문에, 10000rpm을 넘는 속도로 광디스크를 검사하는 것은 바람직하지 못하다.
또한, 트랙킹 에러 신호나 포커스 에러 신호의 잔류 오차를 작게 하기 위해서, 검사 장치의 서보 필터 특성을 변경하여, 보다 높은 정밀도로 서보 제어를 행하는 것이 생각된다. 그러나, 4배속(4x)의 선속도로 BD에 기록을 행하는 광디스크 장치에서는, 이미 6KHz~8KHz 정도의 높은 게인 교점을 가지는 서보 필터를 사용하여, 포커스 서보 및 트랙킹 서보 제어를 행하고 있다. 이 때문에, BD의 6배속(6x)의 선속도에 대응하기 위해서, 검사 장치의 서보 특성의 게인 교점을 더 높게 하 면, 액츄에이터의 발진이나 위상 여유의 저하를 일으키게 되어, 서보의 안정성을 확보할 수 없을 가능성이 있다.
본 발명은 이러한 종래 기술의 과제를 해결하여, 높은 선속도로 기록 또는 재생을 행하는 광학적 정보 기록 매체의 기계 특성을 정밀하게 검사하는 검사 방법 및 검사 장치 및 그러한 광학적 정보 기록 매체에 양호한 신호를 기록하기 위한 기록 방법 및 광학적 정보 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명의 광학적 정보 기록 매체를 검사하는 검사 방법은, 상기 광학적 정보 기록 매체에 레이저광을 조사하여, 레이저광이 조사되고 있는 반경 위치에 따라, 선속도 일정 제어로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시키고, 상기 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 적어도 2개의 선속도인 제 1 선속도 Lv1과 상기 제 1 선속도 Lv1보다 큰 제 2 선속도 Lv2로 회전 속도를 전환하여, 상기 광학적 정보 기록 매체로부터의 반사광으로부터 포커스 에러 신호 및/또는 트랙킹 에러 신호를 생성하고, 상기 포커스 에러 신호 및/또는 상기 트랙킹 에러 신호에 근거하여, 상기 광학적 정보 기록 매체를 조사하는 레이저광의 포커스 제어 및/또는 트랙킹 제어를 행하며, 상기 포커스 에러 신호 및/또는 상기 트랙킹 에러 신호의 제어 루프로부터 분기한 출력을, 소정의 포커스 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터 및/또는 트랙킹 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터를 통과시킴으로써 얻어지는 포커스 에러 신호의 잔류 오차 및/또는 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차를, 사전 결정된 소정의 기준값과 비교한다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 반경 위치 R까지의 내주 측의 영역은, 상기 제 1 선속도 Lv1로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시킴으로써 상기 비교를 행하고, 상기 광학적 정보 기록 매체의 상기 소정의 반경 위치 R로부터 외주 측의 영역은, 상기 제 2 선속도 Lv2로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시킴으로써 상기 비교를 행한다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도의 비율 Lv2/Lv1이 1.5 또는 2이다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 1 선속도 Lv1가 9.834m/sec 또는 4.917m/sec의 정의 실수배이고, 및/또는, 상기 제 2 선속도 Lv2가 14.751m/sec 또는 4.917m/sec의 정의 실수배이다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 소정의 반경 위치 R은, Lv2/Lv1=1.5의 경우, 33mm≤R≤36mm의 범위에 있고, Lv2/Lv1=2.0의 경우, 44mm≤R≤48mm의 범위에 있다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도는, 전기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역에 미리 기록되어 있는 판독 및/또는 기입시의 선속도 중, 최대 선속도의 각각 1/2 이하이다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 1 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 포커스 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 행하는 경우의 상기 포커스 제어의 서보 특성의 게인 교점과, 상기 제 2 선속도 로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 포커스 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 행하는 경우의 상기 포커스 제어의 서보 특성의 게인 교점은 같고, 상기 제 1 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 트랙킹 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 행하는 경우의 상기 트랙킹 제어의 서보 특성의 게인 교점과, 상기 제 2 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 트랙킹 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 행하는 경우의 상기 트랙킹 제어의 서보 특성의 게인 교점은 같다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 포커스 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터는, 컷오프 주파수 LPF_FcL의 로우패스 필터 LPF와, 저역측 컷오프 주파수가 BPF_FcL이고 고역측 컷오프 주파수가 BPF_FcH인 밴드패스 필터 BPF를 포함하고, 상기 포커스 에러 신호의 제어 루프로부터 분기한 출력이 상기 로우패스 필터 LPF 및 상기 밴드패스 필터 BPF에 입력되어, 상기 제 1 및 제 2 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시키고, 상기 포커스 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과 비교하는 경우에 있어서, 상기 LPF_FcL, 상기 BPF_FcL 및 상기 BPF_FcH를, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도의 선속도의 비율에 따라 전환한다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 트랙킹 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터는, 컷오프 주파수 LPF_TcL의 로우패스 필터 LPF와, 저역측 컷오프 주파수가 BPF_TcL이고 고역측 컷오프 주파수가 BPF_TcH인 밴드패스 필터 BPF를 포함하고, 상기 트랙킹 에러 신호의 제어 루프로부터 분기한 출력이 상기 로우패스 필터 LPF 및 상기 밴드패스 필터 BPF에 입력되고, 상기 LPF_TcL 및 상기 BPF_TcL은, 상 기 제 1 및 제 2 선속도에 상관없이 일정하며, 상기 BPF_FcH를, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2-선속도의 선속도의 비율에 따라 전환한다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 포커스 에러 신호의 상기 LPF 통과 후의 출력 F_LPF와, 상기 포커스 에러 신호의 상기 BPF 통과 후의 출력 F_BPF와, 상기 트랙킹 에러 신호의 상기 LPF 통과 후의 출력 T_LPF와, 상기 트랙킹 에러 신호의 상기 BPF 통과 후의 출력 T_BPF를, 각각 사전 결정된 소정의 기준값과 비교한다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 반경 위치마다 상기 출력 F_LPF, F_BPF, T_LPF 및 T_BPF를 상기 소정의 기준값과 비교할 때, 상기 4개의 출력을 상기 제 1 선속도 및 상기 제 2 선속도에 각각에 따른 기준값과 비교한다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 2 선속도에 있어서의 상기 F_LPF의 기준값은, 상기 제 1 선속도에 있어서의 상기 F_LPF의 기준값 이상이다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 레이저광의 강도는 상기 선속도에 관계없이 동일하다.
본 발명의 광학적으로 정보가 재생 및/또는 기록되는 광학적 정보 기록 매체는, 상기 광학적 정보 기록 매체에 대한 재생 및/또는 기록의 기준 속도에 대하여, k배(k는 정의 실수)의 속도가 속도 정보로서 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역에 기록되어 있고, 상기 광학적 정보 기록 매체에 대하여 소정의 검사를 행하는 경우에, 상기 광학적 정보 기록 매체의 제 1 반경 위치의 범위에 있어서는, 제 1 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해지고, 상기 제 1 반경 위치의 범위보다 외주 측에 있는 제 2 반경 위치의 범위에 있어서는, 제 2 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해진다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 2 측정 속도는 상기 기준 속도의 k배보다 낮은 속도이고, 상기 제 1 측정 속도는 상기 제 2 측정 속도보다 낮은 속도이다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 k는 6 이상의 정의 실수이다.
본 발명의 광학적으로 정보가 재생 및/또는 기록되는 광학적 정보 기록 매체는, 상기 광학적 정보 기록 매체에 대한 재생 및/또는 기록의 기준 속도에 대하여, m배(m은 정의 실수)의 속도가 속도 정보로서 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역에 기록되어 있는 제 1 광학적 정보 기록 매체인 경우에, 상기 제 1 광학적 정보 기록 매체는 소정의 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해지고, 상기 광학적 정보 기록 매체에 대한 재생 및/또는 기록의 기준 속도에 대하여, n배(n은 m보다 큰 정의 실수)의 속도가 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역에 기록되어 있는 제 2 광학적 정보 기록 매체인 경우에, 상기 제 2 광학적 정보 기록 매체는 상기 제 2 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 상이한 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해진다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 2 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도의 한쪽은, 상기 제 1 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도보다 크고, 상기 제 2 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도의 다른 한쪽은, 상기 제 1 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도 이상이다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, m은 4 이상의 정의 실수이고, 및/또는, n은 6 이상의 정의 실수이다.
본 발명의 재생 방법은, 상기 어느 하나로 규정되는 광학적 정보 기록 매체를 재생하는 방법으로서, 상기 광학적 정보 기록 매체에 광을 조사하는 단계와, 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역으로부터 속도 정보를 재생하는 단계를 갖는다.
발명의 효과
본 발명에 의하면, 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 적어도 2개의 선속도인 제 1 선속도 Lv1와 상기 제 1 선속도 Lv1보다 큰 제 2 선속도 Lv2로 회전 속도를 전환하여, 포커스 에러 신호의 잔류 오차 및/또는 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차를 측정한다. 회전 속도를 전환함으로써, 광학적 정보 기록 매체의 내주 측에서, 선속도를 느리게 하여, 광학적 정보 기록 매체의 회전 속도를 낮게 할 수 있기 때문에, 고배속의 광학적 정보 기록 매체이더라도, 검사 장치의 진동이나 액츄에이터의 공진 등, 검사 장치 자신이 갖는 기계적인 요소에 의해서, 포커스 에러 신호의 잔류 오차 및/또는 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차에 악영향을 주는 것이 억제되어, 계측해야 할 광학적 정보 기록 매체의 기계 특성에 기인하는 잔류 오차를 정밀하게 측정할 수 있다.
따라서, 광학적 정보 기록 매체의 기록이나 재생시, 면진동, 편심, 디펙트, 두께 분포 격차 등의 영향에 의해, 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차 성분이 커져서, 트랙 인입 실패, 액츄에이터의 발진 등의 서보 안정성의 악화를 발생시키거나, 포커스 에러 신호의 잔류 오차 성분이 커지게 되어, 기록 신호의 엔벨로프에 잔류 오차에 따른 결락이 생기고, 재생 신호의 SER을 현저히 악화하는 일 없이, 재생 신호의 품질(SER)과 트랙킹 서보의 안정성이 우수한 고품질의 광학적 정보 기록 매체를 선별할 수 있는 검사 방법이 제공된다. 특히, BD 6배속(채널 클럭 396MHz) 이상의 선속도로 기록 가능한 추기형 또는 리라이팅형 광디스크의 검사 방법에 적합하게 이용된다.
또한, 본 발명에 의하면, 광학적 정보 기록 매체의 소정 영역에 기록 가능 최대 선속도 및 반경 위치 정보 중 적어도 한쪽을 추기함으로써, 광학적 정보 기록 매체의 생산시에 잔류 오차 특성의 검사 장치의 공용화가 도모되어, 설비 투자를 최소한으로 억제하고, 또한 광학적 정보 기록 매체의 생산 수율을 높일 수 있어, 광학적 정보 기록 매체의 생산 비용의 저감을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 광학적 정보 기록 매체의 실시형태의 구성을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명에 따른 실시형태로서, 광학적 정보 기록 매체를 6배속의 CLV에 기록 또는 재생한 경우의 반경 위치와 회전 속도의 관계를 나타내는 도면,
도 3은 본 발명에 따른 실시형태로서, 광학적 정보 기록 매체를 그 반경 위치에 따라서, 4배속 및 6배속의 CLV에 의해서 기록 또는 재생한 경우의 반경 위치 와 회전 속도의 관계를 나타내는 도면,
도 4는 본 발명에 따른 실시형태로서, 광학적 정보 기록 매체를 그 반경 위치에 따라서, 4배속, 6배속 및 8배속의 CLV에 의해서 기록 또는 재생한 경우의 반경 위치와 회전 속도의 관계를 나타내는 도면,
도 5는 본 발명에 따른 실시형태로서, 광학적 정보 기록 매체의 검사 장치의 전체의 구성을 나타내는 블록도,
도 6은 도 5의 검사 장치의 서보 게인 특성을 나타내는 모식도,
도 7은 도 5의 검사 장치의 잔류 트랙킹 오차 측정부의 블록도,
도 8은 도 5의 검사 장치의 잔류 포커스 오차 측정부의 블록도,
도 9는 도 6의 잔류 트랙킹 오차 측정부 및 도 7의 잔류 포커스 오차 측정부에서 이용하는 측정 필터의 특성을 나타내는 도면,
도 10a는 4배속으로 디스크를 회전시켰을 때의 잔류 포커스 오차의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 10b는 2배속으로 디스크를 회전시켰을 때의 잔류 포커스 오차의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 11은 잔류 포커스 오차가 큰 상태에서, 기록한 신호의 RF 신호와 잔류 포커스 오차의 관계를 나타내는 도면,
도 12는 외란 주파수마다의 잔류 트랙킹 오차와 트랙킹 인입 실패율의 관계를 나타내는 도면,
도 13은 잔류 포커스 오차와 디포커스 마진의 관계를 나타내는 도면,
도 14는 본 발명에 따른 실시형태로서, 반경 위치에 따라서 4배속의 CAV 및 6배속의 CLV로 기록 및 재생하는 경우의 반경 위치와 회전 속도의 관계를 나타내는 도면.
부호의 설명
101: 광디스크, 102: 스핀들 모터, 103: 광픽업 108: 트랙킹 서보 증폭기, 109: 포커스 서보 증폭기, 110: 트랙킹 액츄에이터 드라이버, 111: 포커스 액츄에이터 드라이버, 112: 잔류 트랙킹 오차 측정부, 113: 잔류 포커스 오차 측정부, 114: 메모리, 115: 판정부, 116: 레이저 구동부, 117: 회전 속도 설정부
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
이하, 광학적 정보 기록 매체의 일례로서, 광디스크의 1종인 BD-R(추기형 블루레이 디스크)을 들어서 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 광학적 정보 기록 매체는 이것에 한정되지 않고, 복수회 정보의 리라이팅이 가능한 BD-RE(리라이팅형 블루레이 디스크)나 BD-ROM(재생 전용 블루레이 디스크)이어도 좋다. 또한, 다른 규격의 광디스크이어도 좋다.
블루레이 디스크의 메인 광학 정수와 물리 포맷에 대해서는, 「블루레이 디스크 교과서」(옴사 출판)이나 블루레이 어소시에이션의 홈페이지(http://www.blu-raydisc.com/)에 게재되어 있는 백서(white paper)에 개시되어 있다. BD-R에서는, 파장 405nm(오차 범위의 허용값을 ±5nm라고 하면, 400~410nm)의 레이저광 및 NA=0.85(오차 범위의 허용값을 ±0.01이라고 하면, 0.84~0.86)의 대물 렌즈를 이용한다. BD-R의 트랙 피치는 0.32㎛이고, 기록층이 1층 또는 2층 마련되어 있다. 기록층 또는 기록면이 레이저 입사 측으로부터 단면(single-sided) 1층 또는 단면 2층 구성이며, BD-R의 보호층의 표면으로부터 기록면까지 거리는 75㎛ 내지 100㎛이다. 기록면은 추기형이다. 기록 신호의 변조 방식은 17PP 변조를 이용하고, 기록되는 마크의 최단 마크 길이(2T 마크)는 0.149㎛(채널 비트 길이: T가 74.50nm)이다. 기록 용량은 단면 단층 25GB(보다 구체적으로는, 25.025GB), 또는, 단면 2층 50GB(보다 구체적으로는, 50.050GB)이다. 채널 클럭 주파수는 BD 표준 전송 레이트(1X)에 있어서 66MHz(66.000Mbit/s)이고, BD 4x의 전송 레이트에서는 264MHz(264.000Mbit/s), BD 6x의 전송 레이트에서는 396MHz(396.000Mbit/s), BD 8X의 전송 레이트에서는 528MHz(528.000Mbit/s)이다. 표준 선속도(기준 선속도, 1X)는 4.917m/sec이다. 2배(2x), 4배(4x), 6배(6x) 및 8배(8x)의 선속도는, 각각, 9.834m/sec, 19.668m/sec, 29.502m/sec 및 39.336m/sec이다. 표준 선속도보다 높은 선속도는 일반적으로는, 표준 선속도의 정의 정수배이지만, 정수에 한정되지 않고, 정의 실수배이어도 좋다. 또한, 0.5배(0.5x) 등, 표준 선속도보다 느린 선속도도 정의할 수 있다.
도 1은 BD-R의 트랙 레이아웃을 모식적으로 나타내고 있다. 도 1에 나타내고 있는 바와 같이 BD-R의 내주 측으로부터 리드인 존(1004), 데이터 영역(1001), 리드아웃 존(1005)이 이러한 순으로 배치되어 있다. 리드인 존(1004) 내에는, OPC(Optimum Power Control) 영역(1002) 및 PIC(Permanent Information & Control Data) 영역(1003)이 배치되어 있다. OPC 영역(1002)은 데이터 영역(1001)에 데이터를 기록하기 전에, 디스크마다 알맞은 기록 파워나 기록 펄스열의 조건을 시험하여 기록에 의해 최적화하기 위해서 사용된다. 또한, 개개의 광디스크 장치의 성능 격차나, 급격한 온도 변동 등의 환경 변화가 생겼을 때에, 기록 파워나 기록 펄스열의 변동분 등을 조정하기 위해서, 시험하여 기록을 행하는 영역이기도 하다. PIC 영역(1003)에는, 홈을 고속으로 변조함으로써, 디스크 구조나 권장 기록 파워를 구하는 데 필요한 파라미터나 기록 펄스열의 권장값, 기록 선속도, 재생 조건 등이 기록되어 있고, 재생 전용 영역이다. PIC 영역(1003)의 내주 측에는 도시하지 않지만, BCA(Burst Cutting Area)이라고 불리는 바코드 형상의 신호로 미디어 식별용의 고유 번호가 기록되어 있고, 저작권 보호 등의 정보로서 이용된다.
데이터 영역(1001)은 실제로 광디스크에 사용자가 지정하는 데이터를 기록하는 영역이며, 사용자 영역이라고도 불린다.
리드아웃 존(1005)에는, OPC 영역 및 PIC 영역은 마련되어 있지 않고, INFO 영역이라고 불리는 기록 데이터의 관리 정보에 관한 데이터가 기록되어 있는 영역이 마련되어 있다. 도시하지 않지만, INFO 영역은 내주의 리드인 존(1004) 내에도 마련되고, 신뢰성을 높이기 위해서 외주와 공통된 정보가 기록되어 있다. 이들 각 영역의 디스크 중심으로부터의 거리(반경)는, 리드인 존이 22.2mm~24.0mm이고, 데이터 영역이 24.0mm~58.0mm이며, 리드아웃 존은 58.0mm~58.5mm이다.
다음에, BD-R로의 정보 기록 방법에 대해서 설명한다. BD-R에 CLV 방식에 의해서, 4배속(4x)의 선속도로 정보를 기록 또는 재생하는 경우, 4배속의 선속도를 달성하기 위해서는, 최내주의 데이터 영역에서는 디스크의 회전 속도를 약 8000rpm으로 유지할 필요가 있고, 최외주의 데이터 영역에서는 회전 속도를 약 3200rpm으로 유지할 필요가 있다. 또한, 높은 선속도로 기록 또는 재생을 행하는 경우에는, 디스크의 회전 속도도 한층 더 높아진다.
도 2는 6배속(6x)의 선속도로 정보를 BD-R에 기록 또는 재생하는 경우에 있어서의 기록 위치와 회전 속도의 관계를 나타내고 있다. 기록 위치는 반경 r로 나타내고 있다. 데이터 영역(1001)의 최내주부인 r=24mm의 위치에서는 약 12000rpm, 데이터 영역(1001)의 최외주부인 r=58mm의 위치에서는 약 4800rpm의 회전 속도로 BD-R을 회전시킬 필요가 있다. 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 반경 r이 약 28mm보다 내주 측에서 기록 재생을 행하는 경우, 스핀들 모터의 회전 속도가 10000rpm을 초과한다.
상술한 바와 같이 광디스크의 회전 속도가 10000rpm을 초과하는 것은, 플라스틱의 파단 한계의 관점에서 바람직하지 못하고, 이 때문에, 10000rpm을 초과하는 속도로 광디스크를 검사하는 것은 바람직하지 못하다. 또한, 이러한 고속으로는, 검사 장치의 서보 특성이 불안정해질 가능성이 있고, 정확히 광디스크를 검사할 수 없을 가능성이 있다. 그래서, 본 발명에서는, 최대 회전 속도에 제한을 마련하여 광디스크의 검사를 행한다.
구체적으로는, 설정한 최대 회전 속도를 초과하지 않도록, 디스크의 내주 측에서의 선속도를 외주 측에 비해서 느리게 한다. 도 3은 반경 위치 r이 약 36mm보다 내주 측에서는 4배속(4x)의 선속도이고, 그것보다 외주 측에서는 6배속(6x)의 선속도로 CLV에 의해 기록 또는 재생을 행하는 경우에 있어서의 반경 위치와 광디스크의 회전 속도의 관계를 나타내고 있다. 이 경우, 데이터 영역(1001)의 최내주부(r=24mm)에 있어서의 4배속(4x)의 선속도에서의 최대 회전 속도는 약 8000rpm이다. 광디스크의 전체 영역에서의 최대 회전 속도를 상기 값으로 결정한 경우, 6배속(6x)의 선속도에서는, 반경 위치 r이 약 36mm일 때, 회전 속도가 약 8000rpm으로 된다. 따라서, 반경 위치 r이 36mm보다 내주 측에서는 4배속의 선속도로 기록 또는 재생을 행하고, 반경 위치 r이 36mm 또는 이보다 외주 측에서는 6배속의 선속도로 기록 또는 재생을 행함으로써, 광디스크의 회전 속도를 약 8000rpm 이하로 할 수 있다.
이와 같이 4배속(4x)과 6배속(6x)의 선속도율(1.5배)에 따라, 최내주의 반경 위치 24mm의 1.5배로 되는 반경 위치 36mm에 있어서, 2개의 선속도를 전환함으로써, 4배속(4x) 및 6배속(6x) 중 어느 한쪽의 선속도로 회전시키는 경우에도 최대 회전 속도를 동등하게 하는 것이 가능하다. 회전 속도의 상한을 정하고, 반경 위치에 따라 선속도를 변경하여 기록 또는 재생을 행함으로써, 선속도가 상이하더라도, 최대 회전 속도가 동일하면, 광디스크의 편심이나 면진동 성분에 추종하기 위한 트랙킹 제어나 포커스 제어의 서보 특성 중, 후술하는 서보 필터(레퍼런스 서보)의 저주파수 측의 게인 특성을 각각의 선속도의 최대 회전 속도에 따라 변경할 필요가 없어, 광디스크 장치의 서보 필터 특성의 설계를 4배속(4x)과 6배속(6x)으로 공통화할 수 있다.
또한, 후술하는 광디스크의 잔류 오차 검사 장치의 서보 필터 특성을 하나로 공통화하는 것이 가능해지고, 선속도에 따라 서보 필터의 전환 또는 변경을 위해서 트랙킹, 포커스 동작을 일시 정지하여, 서보 필터 특성(레퍼런스 서보)의 설정을 변경하고, 다시 포커스, 트랙킹 동작을 행하여 재생한다고 하는 전환 순서가 없어진다. 이 때문에, 검사 시간을 단축할 수 있다고 하는 효과가 있다.
또한, 상이한 선속도에 있어서의 잔류 오차 측정시에, 측정 회전 속도와 후술하는 잔류 오차를 측정하는 필터의 컷오프 주파수를 단순히 전환하는 것만으로, 내주부터 외주까지 연속적으로 잔류 오차의 검사가 가능해져, 검사 시간을 대폭 단축할 수 있다. 이에 의해서 택트 타임(tact time)을 단축하여, 광디스크의 생산성을 높이는 것이 가능하다. 또한, 4배속(4x)의 BD-R 디스크의 검사 장치와 동일한 레퍼런스 서보 조건으로 잔류 오차 측정 및 검사도 가능하다. 4배속(4x)의 BD-R 디스크의 잔류 오차 검사 장치를 그대로, 6배속(6x)의 BD-R 디스크의 검사 장치로서도 유용하는 것이 가능해지고, 각각의 라인을 공통화함으로써, 새로운 검사 장치의 도입이 불필요하게 되어 설비 투자비를 대폭 삭감할 수 있다. 그 결과 미디어를 양산하는 데에 있어서 대폭적인 비용 절감으로 이어진다고 하는 큰 효과가 있다.
여기서는 전환 반경 위치 r을 36mm로 했지만, 이것은 선속도비가 1.5배일 때의 일례에 불과하다. 리드인 존의 최내주부의 22.2mm를 기준으로 하고, 그 회전 속도의 상한을 최대 회전 속도(약 8000rpm)로 한 경우, 33.3mm를 4배속(4x)과 6배속(6x)의 전환 반경 위치로 해도 좋다. 또한, 2층 디스크의 layer1의 OPC 영역의 최내주부 소정의 22.7mm를 기준으로 해도 좋다. 즉, 전환 반경 위치로서는 약 33mm~36mm의 사이의 반경 위치에 마련하는 것이 적절하다.
또한, 예컨대 4배속(4x) 및 8배속(8x)의 선속도를 이용하는 경우, 선속도비 Lv2/Lv1는 2.0이다. 6배속(6x)의 경우와 마찬가지로 저속도, 즉 4배속의 선속도로 기록 또는 재생을 실시하는 경우의 반경 위치 22.2mm~24mm에서의 회전 속도를 상한 회전 속도라고 하면, 전환 반경 위치는 약 44mm~48mm에 마련하는 것이 적절하다.
또한, 하나의 광디스크에 대하여, 3개 이상의 선속도로 기록 또는 재생을 행해도 좋다. 이 경우, 선속도의 전환 반경 위치의 수는 이용하는 선속도의 수보다 하나 적은 수로 된다. 예컨대, 4배속(4x), 6배속(6x) 및 8배속(8x)의 선속도로 기록 또는 재생을 실시하기 위해서는, 선속도의 전환 반경 위치를 2개소 마련한다. 도 4는, 4배속(4x), 6배속(6x) 및 8배속(8x)으로 CLV에 의해서 기록 또는 재생을 행하는 경우에 있어서의 반경 위치와 회전 속도의 관계를 나타내고 있다. 각 선속도의 상한 회전 속도는, 4배속(4x)의 최내주부의 기준으로 되는 반경 위치에 있어서의 회전 속도에 의해서 결정된다. 4배속(4x)을 기준으로 한 경우의 6배속(6x) 및 8배속(8x)의 선속도비는 1.5 및 2.0으로 된다. 따라서, 4배속(4x)의 최내주부의 기준으로 되는 제 1 반경 위치를 22.2mm~24mm로 설정한 경우, 제 2 및 제 3 전환 반경 위치는, 각각 약 33mm~36mm 및 약 44mm~48mm에 마련할 수 있다. 이 경우, 제 1 반경 위치보다 내주 측에서는, 4배속(4x)의 선속도로 기록 또는 재생을 행하고, 제 1 반경 위치와 제 2 반경 위치 사이는 6배속(6x)의 선속도로 기록 또는 재생을 행하며, 제 2 반경 위치보다 바깥쪽에서는 8배속(8x)의 선속도로 기록 또는 재생을 행한다. 이때 최대 회전 속도는 어느 쪽의 선속도이더라도, 4배속(4x)의 최내주부의 기준으로 되는 제 1 반경 위치에 있어서의 회전 속도인 약 8000rpm으로 된다.
이 경우, 전술한 4배속(4x) 및 8배속(8x)의 선속도를 이용하는 경우와 비교하여, 제 1과 제 2 전환 반경 위치 사이를 4배속(4x)이 아니라 6배속(6x)으로 기록 또는 재생할 수 있다. 이 때문에, 광디스크 전체에서의 기록 또는 재생 속도를 높여서, 기입 시간 또는 판독 시간을 단축하는 것이 가능해진다.
다음에, 본 발명에 따른 광학적 정보 기록 매체의 검사 장치의 실시형태를 설명한다. 본 실시형태의 광학적 정보 기록 매체의 검사 장치는, 검사해야 할 광디스크를 전술한 바와 같은 상이한 선속도로 회전시키고, 기준으로 되는 서보 특성으로, 광픽업으로부터 출사하는 레이저광의 포커스 제어 및 트랙킹 제어를 실시하면서, 얻어지는 트랙킹 에러 신호 및 포커스 에러 신호의 잔류 트랙킹 오차 및 잔류 포커스 오차를 측정한다. 그리고, 얻어진 값을 기준값과 비교함으로써 광디스크의 합격 여부를 판정한다.
도 5는 본 실시형태의 광학적 정보 기록 매체의 검사 장치의 전체 구성을 나타내는 블록도이다. 도 5에 나타내는 검사 장치는, BD-R의 광디스크(101)를 검사한다. 광디스크(101)의 구조는 도 1을 참조하여 설명한 바와 같다.
도 5에 나타내는 검사 장치는 스핀들 모터(102), 광픽업(103), 레이저 구동부(116), 회전 속도 설정부(117) 및 RF 증폭기(104, 105, 106)를 구비한다.
광디스크(101)는 스핀들 모터(102)에 의해 회전 구동된다. 스핀들 모터(102)의 회전 속도 제어는 회전 속도 설정부(117)에 의해 제어된다. 레이저 구 동부(116)는 광픽업(103) 내의 반도체 레이저(103a)를 구동하고, 재생 파워로 레이저광이 광디스크(101)에 조사된다. 광디스크(101)로부터 반사된 반사광은 검출 렌즈(103c)를 투과하고, 광검출기(103c)에서 수광되어, 전기 신호로 변환된다. 전기 신호는 RF 증폭기(104, 105, 106)로 출력된다.
검사 장치는 재생 신호 처리부(107), 트랙킹 서보 증폭기(108) 및 포커스 서보 증폭기(109)를 더 구비한다. RF 증폭기(104)는 광픽업(103)의 출력을 증폭하고, RF 신호를 재생 신호 처리부(107)로 출력한다. RF 증폭기(105)는 광픽업(103)의 출력으로부터 트랙킹 에러 신호(TE)를 생성하여, 트랙킹 서보 증폭기(108)로 출력한다. RF 증폭기(106)는 광픽업(103)의 출력으로부터 포커스 에러 신호(FE)를 생성하여, 포커스 서보 증폭기(109)로 출력한다.
검사 장치는 트랙킹 액츄에이터 드라이버(110) 및 포커스 엑츄에이터 드라이버(111)를 구비한다. 트랙킹 서보 증폭기(108)는 트랙킹 에러 신호로부터 제어 신호를 생성하여, 트랙킹 액츄에이터 드라이버(110)로 출력한다. 마찬가지로, 포커스 서보 증폭기(109)는 포커스 에러 신호로부터 제어 신호를 생성하여, 포커스 액츄에이터 드라이버(111)로 출력한다. 트랙킹 액츄에이터 드라이버(110) 및 포커스 액츄에이터 드라이버(111)는, 각각, 제어 신호에 근거하여 구동 신호를 생성하고, 구동 신호가, 광픽업(103) 내의 트랙킹 및 포커스 방향의 구동 코일을 구동한다. 이에 의해, 광픽업(103), RF 증폭기(105), 트랙킹 서보 증폭기(108), 트랙킹 액츄에이터 드라이버(110)로 이루어지고, 트랙킹 에러 신호를 이용한 트랙킹 서보 제어의 루프가 구성된다. 마찬가지로, 광픽업(103), RF 증폭기(106), 포커스 서보 증 폭기(109), 포커스 액츄에이터 드라이버(111)로 이루어지고, 포커스 에러 신호를 이용한 포커스 서보 제어의 루프가 구성된다.
도 6은 트랙킹 서보 제어 및 포커스 서보 제어에 있어서의 서보 필터의 게인 특성을 나타내는 모식도이다. 서보 필터의 게인 특성은 레퍼런스 서보 특성이라고도 불린다. 트랙킹 서보 제어 및 포커스 서보 제어는 각각 소정의 기준으로 되는 서보 특성을 갖고 있다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 서보 특성은, 저주파 측에서는 소정의 게인 레벨을 갖고, 주파수가 높아짐에 따라서 게인이 작아진다. 게인이 0데시벨로 되는 주파수 f0를 게인 교점(crossover frequency)이라고 부른다. 서보 특성은 주로 이 게인 교점에 의해서 특징지어진다. 트랙킹 서보 제어의 서보 특성 및 포커스 서보 제어의 서보 특성은 서로 상이하지만, 광디스크의 검사중, 전술한 바와 같이 선속도를 변화시키더라도 동일한 서보 특성을 이용하여 트랙킹 서보 제어 및 포커스 서보 제어를 실시한다.
검사 장치는 잔류 트랙킹 오차 측정부(112), 잔류 포커스 오차 측정부(113), 메모리(114) 및 판정부(115)를 더 구비한다. RF 증폭기(105)로부터 출력된 트랙킹 에러 신호의 일부는, 전술한 트랙킹 에러 신호의 제어 루프로부터 분기되어, 잔류 트랙킹 오차 측정부(112)에 입력된다. 잔류 트랙킹 오차 측정부(112)는, 이하에 있어서 상세하게 설명하는 바와 같이, 트랙킹 서보 제어를 실시하면서 얻어지는 트랙킹 신호로부터 잔류 트랙킹 오차를 추출하여, 메모리(114)로 출력한다. 마찬가지로, RF 증폭기(106)로부터 출력된 포커스 에러 신호의 일부는, 전술한 포커스 에러 신호의 제어 루프로부터 분기되어, 잔류 포커스 오차 측정부(113)에 입력된다. 잔류 포커스 오차 측정부(113)는, 포커스 서보 제어를 실시하면서 얻어지는 포커스 에러 신호로부터 잔류 포커스 오차를 추출하여, 메모리(114)로 출력한다. 이들 잔류 트랙킹 오차 및 잔류 포커스 오차의 측정은, 광디스크의 각 반경 위치에서 측정된다.
판정부(115)는, 메모리에 기록된 잔류 트랙킹 오차 및 잔류 포커스 오차와, 미리 설정되어 있는 잔류 트랙킹 오차의 기준값 및 잔류 포커스 오차의 기준값과 각각 비교하여, 합격, 불합격을 판정한다. 예컨대, 각 반경 위치에서의 잔류 트랙킹 오차 및 잔류 포커스 오차가 모두 기준값 이하인 경우에, 검사된 광디스크를 합격이라고 판정한다.
도 7 및 도 8은 각각 잔류 트랙킹 오차 측정부(112) 및 잔류 포커스 오차 측정부(113)의 구성을 나타내고 있다. 잔류 트랙킹 오차 측정부(112)는 버퍼(201), LPF(로우패스 필터)(202), BPF(밴드패스 필터)(203), 잔류 오차 측정부(204) 및 rms 노이즈 측정부(205)를 포함한다. LPF(202) 및 BPF(203)는 잔류 오차를 측정하기 위해서 사용되는 측정 필터이다.
버퍼(201)에 입력된 트랙킹 에러 신호(TE)는 2개로 나누어져, LPF(202) 및 BPF(203)에 각각 입력된다. 잔류 오차 측정부(204)는 LPF(202)를 통과한 트랙킹 에러 신호의 잔류 트랙킹 오차를 측정한다. rms 노이즈 측정부(205)는 BPF(203)를 통과한 트랙킹 에러 신호의 rms 노이즈를 측정한다.
도 9는 LPF(202) 및 BPF(203)의 주파수 특성을 모식적으로 나타내고 있다. 잔류 트랙킹 오차 측정부(112)의 LPF(202)는 컷오프 주파수 LPF_TcL을 갖고 있고, 잔류 트랙킹 오차 측정부(112)의 BPF(203)는 저역 측의 컷오프 주파수 BPF_TcL 및 고역 측의 컷오프 주파수 BPF_TcH를 갖고 있다. LPF(202)의 컷오프 주파수 LPF_TcL은 BPF(203)의 저역 측의 컷오프 주파수 BPF-TcL과 같다. 이들 컷오프 주파수는 잔류 오차의 측정 조건에 따라 변화시킬 수 있다. LPF(202)는 -60dB/dec의 경사를 갖는 버터워스(Butterworth) 필터, BPF(203)도 저역측 +60dB/dec, 고역측 -60dB/dec의 경사를 갖는 버터워스 필터이다.
잔류 오차 측정부(204)는, 광디스크(101)의 검사중, LPF(202)를 통과한 트랙킹 에러 신호에 포함되는 잔류 트랙킹 오차를 실시간으로 검출한다. rms 노이즈 측정부(205)는, BPF(203)를 통과한 트랙킹 에러 신호에 포함되는 rms 노이즈를, 광디스크의 1주분에 상당하는 기간에 얻어진 트랙킹 에러 신호의 실행 노이즈 성분을 검출한다.
잔류 포커스 오차 측정부(113)도 잔류 트랙킹 오차 측정부(112)와 마찬가지로 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 8에 나타내는 바와 같이 잔류 포커스 오차 측정부(113)는 버퍼(301), LPF(302), BPF(303), 잔류 오차 측정부(304) 및 rms 노이즈 측정부(305)를 포함한다. LPF(302) 및 BPF(303)는 잔류 오차를 측정하기 위해서 이용되는 측정 필터이다.
버퍼(301)에 입력된 포커스 에러 신호(FE)는 2개로 나누어져, LPF(302) 및 BPF(303)에 각각 입력된다. 잔류 오차 측정부(304)는 LPF(302)를 통과한 포커스 에러 신호의 잔류 포커스 오차를 측정한다. rms 노이즈 측정부(305)는 BPF(303)를 통과한 포커스 에러 신호의 rms 노이즈를 측정한다.
LPF(302) 및 BPF(303)도 LPF(202) 및 BPF(203)와 마찬가지의 주파수 특성을 구비한다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 잔류 포커스 오차 측정부(113)의 LPF(302)는 컷오프 주파수 LPF_FcL을 갖고 있고, 잔류 포커스 오차 측정부(113)의 BPF(303)는 저역 측의 컷오프 주파수 BPF_FcL 및 고역 측의 컷오프 주파수 BPF_FcH를 갖고 있다. LPF(302)의 컷오프 주파수 LPF_FcL은 BPF(303)의 저역 측의 컷오프 주파수 BPF_FcL과 같다. 이들 컷오프 주파수는 잔류 오차의 측정 조건에 따라 변화시킬 수 있다. LPF(302)는 -60dB/dec의 경사를 갖는 버터워스 필터, BPF(303)도 저역측 +60dB/dec, 고역측 -60db/dec의 경사를 갖는 버터워스 필터이다.
또한, 편의상, 잔류 트랙킹 오차 측정부(112)의 LPF(202) 및 BPF(203)의 주파수 특성과 잔류 포커스 오차 측정부(113)의 LPF(302) 및 BPF(303)의 주파수 특성을 설명하기 위해서, 동일한 도 9를 참조했지만, LPF(202) 및 LPF(302)의 컷오프 주파수 LPF_TcL 및 LPF_FcL은 서로 상이해도 좋다. 마찬가지로, BPF(203) 및 BPF(303)의 저역 측의 컷오프 주파수 BPF_TcL 및 BPF_FcL은 서로 상이해도 좋고, 고역 측의 컷오프 주파수 BPF_TcH 및 BPF_FcH도 서로 상이해도 좋다.
잔류 오차 측정부(304)는, 광디스크(101)의 검사중, LPF(302)를 통과한 포커스 에러 신호에 포함되는 잔류 트랙킹 오차를 실시간으로 검출한다. rms 노이즈 측정부(305)는, BPF(303)를 통과한 트랙킹 에러 신호에 포함되는 rms 노이즈를, 광디스크의 1주분에 상당하는 기간에 얻어진 포커스 에러 신호의 실행 노이즈 성분을 검출한다.
다음에, 측정 필터인 LPF(202), BPF(203), LPF(302) 및 BPF(303)의 컷오프 주파수와 각각의 잔류 오차 측정의 조건 및 순서를 설명한다.
표 1은 4배속(4x)용의 BD-R 디스크와 6배속(6x)용의 BD-R 디스크의 잔류 포커스 오차의 측정 조건과 그 기준값의 일례를 나타내고 있다. 표 2는 4배속(4x)용의 BD-R 디스크와 6배속(6x)용의 BD-R 디스크의 잔류 트랙킹 오차의 측정 조건과 그 기준값의 일례를 나타내고 있다. 이하, 4배속, 6배속 등의 선속도를 단순히 4x, 6x 등으로 부르는 경우가 있다.
또한, 이하에서는, 이해하기 쉽도록, 잔류 포커스 오차의 측정 조건, 기준값 및 잔류 포커스 오차의 검사 방법과, 잔류 트랙킹 오차의 측정 조건, 기준값 및 잔류 트랙킹 오차의 검사 방법을 나누어서 설명한다. 그러나, 이들 2개의 오차 측정은 동시에 행해도 좋고, 어느 한쪽의 측정을 먼저 행하고, 다른쪽의 측정을 뒤에 행해도 좋다. 또한, 본 실시형태의 검사 방법은, 잔류 포커스 오차의 측정 또는 잔류 트랙킹 오차의 측정 중 한쪽을 행해도 좋고, 잔류 포커스 오차의 측정 및 잔류 트랙킹 오차의 측정의 양쪽을 행해도 좋다.
Figure 112009037205976-PCT00001
Figure 112009037205976-PCT00002
먼저, 잔류 포커스 오차의 측정 조건과 기준값 및 잔류 포커스 오차의 검사 방법에 대해서 설명한다.
표 1에 있어서, 기록 가능 최대 속도란, 광디스크에 정보를 기록할 때의 최대 속도를 나타낸다. 4x 디스크는 기준으로 되는 선속도(1x)의 4배(4x)의 선속도로 기록하는 것이 가능하고, 4배(4x)의 선속도가 기록 가능 최대 속도이다. 6x 디스크는, 전술한 바와 같이, 내주 측에서는 기준으로 되는 선속도(1x)의 4배(4x)의 선속도로 기록이 가능하고, 외주 측에서는 6배(6x)의 선속도로 기록이 가능하다. 이 경우, 6배(6x)의 선속도가 기록 가능 최대 속도이다. 이 때문에, 4x 디스크에서는 디스크의 내주로부터 외주에 걸쳐서 전주에서 동일한 측정 조건을 이용하지만, 6x 디스크의 경우, 반경 위치 r=36mm를 경계로 2개의 조건으로 측정하게 된다.
내주 측의 선속도가 제 1 선속도 Lv1이고, 외주 측의 선속도가 제 2 선속도 Lv2이다. 제 1 선속도 Lv1 및 제 2 선속도 Lv2는 모두 기준으로 되는 선속도 4.917m/sec의 정의 실수배이고, 제 2 선속도 Lv2는 제 1 선속도 Lv1보다 크다.
광디스크의 기록 및/또는 재생(판독 및/또는 기입) 가능한 선속도는 광디스크의 소정 영역, 구체적으로, 도 1에 나타내는 PIC 영역(1003) 내의 디스크 관리 영역에 미리 기록되어 있다.
잔류 포커스 오차의 측정은 기록 가능 최대 속도의 1/2의 선속도로 한다. 이때, 실제로 사용자가 BD-R 디스크를 이용하여 정보의 기록 또는 재생을 행한 경우에 생기는 잔류 포커스 오차를 추정하기 위해서, 검사시에 이용하는 서보 필터의 게인 교점이나 측정 필터(LPB, BPF)의 컷오프 주파수는, 선속도에 비례하여 실제의 기록 또는 재생시의 1/2로 설정한다.
도 10a 및 도 10b는 동일한 광디스크의 동일한 트랙을 4배속(4x) 및 2배속(2x)으로 기록 또는 재생시킨 경우에 있어서의 잔류 포커스 오차를 각각 나타내고 있다.
여기서 측정에 이용한 서보 필터의 게인 교점은 각각 6.4kHz와 3.2kHz이다. 또한, 잔류 오차 측정시의 LPF의 컷오프 주파수는 각각 3.2kHz와 1.6kHz이다. 2개의 신호를 비교함으로써 명백해지는 바와 같이, 컷오프 주파수를 선속도의 비에 비례하여 1/2로 함으로써, 동일한 크기의 진폭의 잔류 오차값을 얻을 수 있다.
이상의 것으로부터, 실제로의 기록시의 기록 최대 속도(즉, 사용자 데이터를 기록할 때의 선속도)의 1/2의 선속도로 서보 특성을 측정하는 경우, 서보 필터의 게인 교점과, 측정 필터의 컷오프 주파수를 각각 선속도비에 비례하여 1/2로 함으로써, 상이한 2개의 선속도로 측정하더라도, 동일한 진폭의 잔류 오차값을 얻을 수 있다.
회전 속도가 5000rpm을 초과하는 빠른 회전 속도로 디스크를 회전시키는 경우, 스핀들 모터가 기계적인 진동이나, 픽업 액츄에이터의 공진 등의 영향이 현저한 문제로 된다. 고속 회전시에는, 스핀들 모터나 액츄에이터 등의 검사 장치에 기인하는 기계적인 잔류 오차 성분의 영향을 무시할 수 없게 되어, 광디스크 자체가 가지고 있는 본래 측정하고자 하는 디스크의 잔류 오차 성분을 정확히 측정하는 것이 곤란해진다. 따라서, 실제로의 기록 또는 재생시의 선속도의 1/2로 되도록 회전 속도를 저하시키고, 또한 서보 필터의 게인 교점과 측정 필터의 컷오프 주파수도 각각 선속도의 비에 비례하여 1/2로 저하시킨 상태에서, 잔류 포커스 오차를 측정함으로써, 검자 장치 자체에 기인하는 진동이나 공진 등의 기계적으로 생기는 잔류 오차 성분을 억제할 수 있어, 광디스크 자체가 갖는 잔류 오차 성분을 정밀하게 측정하는 것이 가능해진다.
표 1에 나타내는 바와 같이, 6x 디스크에 있어서, 반경 위치가 36mm 미만인 반경에 있어서는, 기록 가능 최대 속도가 4x이기 때문에, 4x 디스크와 동일한 측정 조건으로 측정한다. 즉, 6x 디스크이더라도 반경 위치 36mm보다 내주 측에서는, 종래의 4x 디스크용의 검사 장치의 측정 조건과 동일한 조건으로 잔류 포커스 오차를 측정한다.
한편, 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서는, 기록 가능한 최대 속도가 6x이다. 또한, 4x와 6x의 선속도의 비율은 1.5배이다. 이 때문에, 서보 필터의 게인 교점과 측정 필터(LPF, BPF)의 컷오프 주파수를 4x 디스크용의 측정에 이용되는 값의 1.5배로 하여, 6x 디스크를 검사하는 것이 생각된다. 그러나, 서보 필터의 게인 교점을 1.5배의 4.8kHz로 한 경우, 이 조건은, 사용자가 실제로 사용하는 광디스크 장치에서는, 9.6kHz의 게인 교점에서 포커스 서보 제어하면서 6x의 선속도로 기록 또는 재생을 실시하는 경우에 상당한다.
일반적인 하프 하이트(half-height) 사이즈의 광디스크 장치와 같이 소형의 광디스크 장치에서는, 액츄에이터의 발진이 일어나지 않고 안정적으로 서보 제어를 행하기 위해서는, 위상 여유를 어느 정도 확보할 수 있도록, 게인 교점을 6~8kHz로 할 필요가 있다. 이것은, 1/2의 회전 속도에 있어서, 3.2kHz의 게인 교점에서 측정하는 것이, 광디스크 장치가 안정적으로 동작하는 게인 교점의 거의 한계라고 말 할 수 있다. 따라서, 본 검사 방법에서는, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서의 잔류 포커스 오차를 측정하는 경우, 서보 필터의 게인 교점은 4x용 디스크의 검사 장치에 있어서의 게인 교점과 동일한 값, 즉, 3.2kHz로 설정한다.
측정 필터의 LPF와 BPF의 컷오프 주파수는, 4x 디스크와 6x 디스크의 최대 속도비 1.5에 비례하여 변경한다. 이 이유를 설명한다. 잔류 포커스 오차에 대해서 고려해야 하는 관점은, RF 신호의 SER(Symbol Error Rate)의 악화이다. 즉, 기록 후의 RF 신호의 엔벨로프의 결락을 방지하기 위해서 잔류 포커스 오차에 기준을 마련한다. 잔류 포커스 오차가 크게 생긴 상태에서, 기입시에 디스크가 허용하고 있는 디포커스 마진을 초과한 경우, 디포커스에 의해서 광디스크의 기록막층 상에서의 레이저광의 스폿의 조임이 느슨해진다. 이 때문에, 집광되는 레이저광의 에너지 밀도가 부족하여, 실질적으로 기록 파워가 부족한 상태에서 마크가 기입되게 된다. 그 결과, 광디스크의 기록층에 형성되는 마크에, 잔류 오차에 따라 반경 방향의 폭에 대소가 생긴다.
도 11에 잔류 포커스 오차가 큰 상태에서 광디스크에 정보의 기록을 행하고, 기록된 정보를 재생한 경우에 있어서의 재생 파형(RF 신호)과 포커스 에러 신호를 나타낸다. 이 포커스 에러 신호는 측정용 필터를 통과시키고 있기 때문에, 진폭의 크기가 잔류 포커스 오차를 나타내고 있다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 잔류 포커스 오차가 큰 부분에서 RF 신호의 마크 측의 엔벨로프(아래쪽의 엔벨로프)의 결락이 생기는 것을 알 수 있다. 이러한 잔류 포커스 오차를 생기게 하는 원인은, 광디스크면 내의 두께 격차이다. 잔류 포커스 오차는 광디스크를 회전시켜서, 반사광으로부터 생성되는 신호에 근거하고 있다. 이 때문에, 기록층을 덮는 커버층의 두께의 공간 분포가, 레이저광이 주사하는 선속도에 따른 시간축 분포로 변환되어 관측되게 된다. 그 결과, 커버층 두께의 불균일성에 기인하는 잔류 포커스 오차의 주파수는, 회전하고 있는 선속도에 비례한다. 예컨대, 레이저광이 주사하는 원주 상에 있어서의 커버층 두께의 격차에 의해서, 2x의 선속도로 관측되는 잔류 포커스 오차의 주파수는, 3x의 선속도에서는, 선속도비 1.5에 비례한 1.5배의 주파수가 된다. 여기서 서보 필터와 측정 필터의 주파수를 선속도비에 비례하여 변화시킨 경우, 도 10a 및 도 10b를 참조하여 설명한 바와 같이, 동일한 진폭의 잔류 포커스 오차가 관측된다. 그러나, 서보 필터의 게인 교점을 3.2kHz 그대로 고정한 상태에서, 회전 속도를 올리고 있기 때문에, 3x의 회전 속도에서는, 게인 교점 근방의 4kHz~5kHz 근처의 잔류 포커스 오차 성분은 게인 교점 밖으로 되기 때문에, 포커스 서보 제어에 의해서 억압할 수 없어, 보다 큰 잔류 오차로서 관측된다. 이것은, 이 대역의 잔류 포커스 오차 성분을 억압할 수 없으면, RF 신호의 엔벨로프 결락이 생겨서, 재생 신호의 SER을 악화시켜 판독 오류를 발생시키는 것을 의미한다.
따라서, 잔류 포커스 오차의 측정 필터의 컷오프 주파수를 회전 속도에 따라 1.5배로 변경한 상태에서 잔류 포커스 오차를 측정하면, 4x용 디스크에서 생기고 있었던 RF 신호의 엔벨로프의 결락에 기여하고 있는 잔류 포커스 오차 성분을 빠짐없이 검출할 수 있다.
BPF의 잔류 포커스 오차 성분은 기록 재생 신호의 품질을 확보하는 목적과는 상이하게, 액츄에이터에 흐르는 낭비 전류를 억제하기 위해 검사하고 있다. 따라서, 이 잔류 포커스 오차 성분은 rms 노이즈 성분이라고 불린다. 이 rms 노이즈를 측정하는 밴드패스 필터의 저역측 및 고역측의 컷오프 주파수도 선속도비에 비례하여 1.5배로 해서 광디스크의 검사를 실시한다. 이에 의해, 4x 디스크에서 문제로 되는 주파수 대역의 rms 노이즈 성분을 빠짐없이 검출할 수 있다.
따라서, 6x 디스크를 검사함에 있어서, 서보 필터의 게인 교점은, 실제 드라이브에 의해 실현되는 게인 교점에 상당하는 3.2kHz의 상태대로, 측정 필터의 컷오프 주파수를 1.5배로 변경한 측정 조건으로 광디스크를 검사함으로써, 잔류 포커스 오차가 큰 디스크를 정확하게 선별할 수 있다.
또한, 4x 디스크와 6x 디스크 또는, 6x 디스크의 전환 반경보다 내주 측과 외주 측에서 서보 필터의 특성, 특히 게인 교점을 바꾸지 않고서 검사할 수 있기 때문에, 검사 장치의 서보 필터를 하나로 공통화하는 것이 가능해지고, 광디스크의 생산성의 관점에서도 유리하다. 즉, 4x 디스크의 검사 장치를 그대로 6x 디스크의 검사 장치로서 유용하는 것이 가능해진다.
또한, 선속도에 따라 서보 필터를 전환하기 위해서 트랙킹, 포커스 동작을 일시 정지하여, 레퍼런스 서보의 설정을 변경하고, 다시 포커스, 트랙킹 동작을 행하여, 광디스크를 검사한다고 하는 전환 순서가 불필요하게 되고, 상이한 선속도 사이의 잔류 오차 측정을, 선속도만을 바꿈으로써, 연속적으로 실시하는 것이 가능해져서, 검사 시간을 단축할 수 있다. 이에 의해서 택트 시간을 단축하여, 광디스크의 생산성을 높이는 것이 가능해진다. 또한, BD-R의 4x 디스크의 검사 장치와 동일한 레퍼런스 서보 조건으로 측정하는 것이 가능하기 때문에, BD-R의 4x 디스크에 이용하고 있었던 검사 장치를 그대로, BD-R 6x의 검사 장치로서 유용하는 것이 가능해진다. 따라서, 이들 2종류의 광디스크의 검사 라인을 공통화할 수 있어, 새로운 검사 장치의 도입이 불필요하게 되고, 설비 투자비를 삭감할 수 있다. 그 결과, 광디스크 생산시의 제조 비용을 내릴 수 있다고 하는 큰 효과가 있다.
전술한 바와 같은 측정 조건이 미리 설정된 검사 장치를 이용함으로써, 광디스크의 내주로부터 외주까지 전주에 걸쳐서 잔류 포커스 오차를 측정하여, LPF와 BPF 각각의 잔류 오차값에 대하여 기준값 이하인 경우, 검사 합격으로 하고, 기준값을 초과하는 경우, 검사 불합격으로 한다.
다음에, 잔류 포커스 오차의 기준값에 대해서 설명한다. 상술한 바와 같이, 선속도가 변화되더라도 선속도비에 비례하여 측정 필터의 컷오프 주파수를 변경하고 있기 때문에, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 미만인 반경 및 36mm 이상인 외주에서의 잔류 포커스 오차값을 허용할 수 있는 진폭은 거의 동등하다. 이 때문에, 잔류 포커스 오차의 기준값(BPF, LPF)은 4x 디스크 검사의 기준값과 동일해도 좋다. 단, 기준값은 광디스크에 기록을 행하는 레이저광의 파워 마진을 고려하는 것이 바람직하다. 도 12는 2종류의 광디스크의 잔류 포커스 오차와 그때의 디포커스 마진의 관계를 표시하고 있다. 디포커스 마진은 SER≤4.2E-3으로 되는 포커스의 범위를 말한다. 여기서는 파워 마진이 상이한 디스크 A 및 디스크 B를 이용하였다. 디스크 A의 파워 마진은 23%이고, 디스크 B의 파워 마진은 18%이다. 디스크 A와 B에서는 5%의 파워 마진의 차가 있다.
여기서 파워 마진이란, 최적 파워에 대하여, 파워 다운 또는 파워 업시켜서 기록했을 때에, 리미트 이퀄라이저 지터(limit equalizer jitter)가 소정의 범위 내로 되는 파워 범위를 말한다. 구체적으로는, 10%의 파워 다운이 있는 경우에, 예컨대, 단층 디스크에서는 지터가 8.5% 이하이고, 2층 디스크에서는, L0층(안쪽의 층/광입사면으로부터 먼 쪽의 층)에서 8.5% 이하이고, L1층(바로 앞의 층/광입사면에 가까운 쪽의 층)에서 10.5% 이하(또는 L1층에서 최단의 마크 또는 스페이스를 제외한 마크(예컨대 1-7 변조 방식에 있어서는 마크 길이가 2T~8T로 제한되기 때문에 최단 마크는 2T)에서의 지터가 8.5% 이하)로 되는 파워 범위를 말한다. 또한, 10%의 파워 업의 경우에, 예컨대, 단층 디스크에서는 지터가 10.5% 이하, 2층 디스크에서는, L0층에서 10.5% 이하, L1층에서 12.5% 이하(또는 L1층에서 최단의 마크 또는 스페이스를 제외한 마크에서의 지터가 10.5% 이하)로 되는 파워 범위를 말한다.
도 12에 나타내는 바와 같이, 동일한 크기의 잔류 포커스 오차가 있는 경우에도, 디스크 A의 디포커스 마진은 어느 쪽의 잔류 포커스 오차에 있어서도 디스크 B보다 30nm~40nm 정도 크다. 즉, 디스크 B와 비교하여, 디스크 A의 파워 마진이 넓다. 이 때문에, 잔류 포커스 오차에 의한 기록 파워의 저하에 대한 영향 정도는 디스크 B보다 디스크 A가 작다. 도 12의 결과로부터, 파워 마진에 5%의 차이가 있는 경우, 적어도 약 30nm~40nm의 디포커스 마진에 대한 허용차가 있다고도 말할 수 있다.
따라서, 파워 마진에 따라 잔류 포커스 오차의 기준값을 예컨대 80nm으로부터 110nm~120nm으로 완화해도, 양자의 디스크에서의 시스템 마진은 동등하게 된다. 예컨대, 잔류 포커스 잔차의 기준값을 80nm로 하고 있고, 예컨대, ±10%의 파워 마진이 있는 경우에는 그 기준값을 110nm으로 하는 등 기준값을 완화하도록 해도 좋다.
즉, 전술한 바와 같이 파워 마진이 비교적 넓은 디스크에 대하여, 잔류 포커스 오차의 허용값을 디포커스 마진만큼 완화했다고 하더라도, 시스템 전체에서 허용되는 마진을 감소시키는 것은 아니다. 따라서, 파워 마진이 우수한 디스크에 있어서는, 잔류 포커스 오차에 대한 허용값을 고려하여 기준값을 완화함으로써, 지나치게 엄격한 잔류 오차 기준값에 의해서 미디어의 생산성을 떨어뜨리지 않고, 미디어의 수율 향상을 실현할 수 있다. 또한, 기록막이나 반사막을 최적화하거나, 기록 기법(write strategy)을 연구하여 파워 마진이 넓은 광디스크를 설계하는 것에 의해서도, 고속화에서 문제로 되는 잔류 오차에 대한 허용도를 완화하게 되어, 광디스크의 생산성을 향상시킬 수 있다고 하는 효과가 있다.
구체적으로는, 소정의 파워 마진이 있는 6x 디스크를 검사하는 경우에는, 3x의 선속도를 이용하는 36mm 이상의 외주에서의 잔류 포커스 오차 검사의 기준값을, 2x의 선속도를 이용하는 36mm 미만의 반경에서의 잔류 포커스 오차 검사의 기준값 이상으로 한다(기준값을 완화함). 이에 의해, 36mm 이상의 외주에서의 잔류 포커스 오차의 검사시, 지나치게 엄격한 잔류 오차 기준값에 의해서, 디스크의 수율이 저하되는 것을 방지하고, 또한, 소정의 신호 기록 품질이 보장된 광디스크를 제조할 수 있다. 보다 구체적으로는, 6x 디스크의 파워 마진이 ±10%인 경우에는, 표 1에 나타내는 바와 같이, 3x의 선속도를 이용하는 36mm 이상의 외주에서의 잔류 포커스 오차 검사의 기준값을 80nm으로 하고, 2x의 선속도를 이용하는 36mm 미만의 반경에서의 잔류 포커스 오차 검사의 기준값을 110nm으로 해도 좋다.
다음에, 잔류 트랙킹 오차의 측정 조건과 기준값 및 잔류 트랙킹 오차의 검사 방법에 대해서 설명한다.
표 1과 마찬가지로, 표 2에 있어서, 기록 가능 최대 속도란, 광디스크에 정보를 기록할 때의 최대 속도를 나타낸다. 4x 디스크는 기준으로 되는 선속도(1x)의 4배(4x)의 선속도로 기록을 행하는 것이 가능하다. 6x 디스크는, 전술한 바와 같이, 내주 측에서는 기준으로 되는 선속도(1x)의 4배(4x)의 선속도로 기록이 가능하고, 외주 측에서는 6배(6x)의 선속도로 기록이 가능하다. 이 때문에, 4x 디스크에서는 디스크의 내주로부터 외주에 걸쳐서 전주에서 동일한 측정 조건을 이용하지만, 6x 디스크의 경우, 반경 위치 r=36mm을 경계로 2개의 조건으로 측정하게 된다. 또한, 내주 측의 선속도가 제 1 선속도 Lv1이고, 외주측의 선속도가 제 2 선속도 Lv2이다. 제 1 선속도 Lv1 및 제 2 선속도 Lv2는 모두 기준으로 되는 선속도 4.917m/sec의 정수배이고, 제 2 선속도 Lv2는 제 1 선속도 Lv1보다 크다.
잔류 트랙킹 오차의 측정은 기록 가능 최대 속도의 1/2의 선속도로 한다. 이때, 실제로 사용자가 BD-R 디스크를 이용하여 정보의 기록 또는 재생을 행한 경우에 생기는 잔류 트랙킹 오차를 추정하기 때문에, 검사시에 이용하는 서보 필터의 게인 교점이나 측정 필터(LPB, BPF)의 컷오프 주파수는, 선속도에 비례하여 실제로의 기록 또는 재생시의 1/2로 설정한다.
이에 대해서는, 이미 설명한 잔류 포커스 오차 측정 방법에 있어서의 서보 필터의 게인 교점이나 측정 필터(LPB, BPF)의 컷오프 주파수가 정하는 방법과 동일한 사고 방식을 적용할 수 있다. 따라서, 실제로의 기록시의 기록 최대 속도(즉, 사용자 데이터를 기록할 때의 선속도)의 1/2의 선속도로 서보 특성을 측정하는 경우, 서보 필터의 게인 교점과, 측정 필터의 컷오프 주파수를 각각 선속도비에 비례하게 하여 1/2로 함으로써, 상이한 2개의 선속도로 측정하더라도, 동일한 진폭의 잔류 오차값을 측정할 수 있다.
회전 속도가 5000rpm을 초과하는 빠른 회전 속도로 디스크를 회전시키는 경우, 스핀들 모터가 기계적인 진동이나, 픽업 액츄에이터의 공진 등의 영향이 현저한 것이 문제로 된다. 고속 회전시에는, 스핀들 모터나 액츄에이터 등의 검사 장치에 기인하는 기계적인 잔류 오차 성분의 영향을 무시할 수 없게 되어, 광디스크 자체가 가지고 있는 본래 측정하고자 하는 디스크의 잔류 오차 성분을 정확히 측정하는 것이 곤란해진다. 따라서, 실제로의 기록 또는 재생시의 선속도의 1/2로 되도록 회전 속도를 저하시키고, 또한 서보 필터의 게인 교점과 측정 필터의 컷오프 주파수도 각각 선속도의 비에 비례하여 1/2로 저하시킨 상태에서, 잔류 포커스 오차를 측정함으로써, 검자 장치 자체에 기인하는 진동이나 공진 등의 기계적으로 생기는 잔류 오차 성분을 억제할 수 있어, 광디스크 자체가 갖는 잔류 오차 성분을 정밀하게 측정하는 것이 가능해진다.
표 2에 나타내는 바와 같이, 6x의 디스크에 있어서, 반경 위치가 36mm 미만의 반경에 있어서는, 기록 가능 최대 속도가 4x이기 때문에, 4x 디스크와 동일한 측정 조건으로 측정한다. 즉, 6x용 디스크의 반경 위치 36mm보다 내주 측에서는, 종래의 4x 디스크용의 검사 장치의 측정 조건과 동일한 조건으로 잔류 트랙킹 오차를 측정한다.
한편, 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서는, 기록 가능한 최대 속도가 6x이다. 또한, 4x와 6x의 선속도의 비율은 1.5배이다. 이 때문에, 서보 필터의 게인 교점과 측정 필터(LPF, BPF)의 컷오프 주파수를 4x 디스크용의 측정에 이용되는 값의 1.5배로 하여, 6x 디스크를 검사하는 것이 생각된다. 그러나, 서보 필터의 게인 교점을 1.5배의 5.4kHz로 한 경우, 이 조건은, 사용자가 실제로 사용하는 광디스크 장치에서는, 10.8kHz의 게인 교점에서 포커스 서보 제어하면서 6x의 선속도로 기록 또는 재생을 실시하는 경우에 상당한다.
일반적인 하프 하이트 사이즈의 광디스크 장치와 같이 소형의 광디스크 장치에서는, 액츄에이터의 발진이 일어나지 않고 안정적으로 서보 제어를 행하기 위해서는, 위상 여유를 어느 정도 확보할 수 있도록, 게인 교점을 6~8kHz로 할 필요가 있다. 이것은, 1/2의 회전 속도에 있어서, 3.6kHz의 게인 교점에서 측정하는 것이, 광디스크 장치가 안정적으로 동작하는 게인 교점의 거의 한계라고 말할 수 있다. 따라서, 본 검사 방법에서는, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서의 잔류 포커스 오차를 측정하는 경우, 서보 필터의 게인 교점은 4x용 디스크의 검사 장치에 있어서의 게인 교점과 동일한 값, 즉 3.6kHz로 설정한다.
잔류 트랙킹 오차를 발생시키고 있는 원인은, 광디스크의 반경 방향의 두께 격차나, 홈의 불균일성, 스탬퍼의 결함이나 성형에서의 스크래치, 커버층을 형성할 때의 스핀 코팅의 불균일 등이며, 잔류 트랙킹 오차는 광디스크를 회전시켜서, 반사광으로부터 생성되는 신호에 근거하고 있다. 이 때문에, 트랙 방향의 불균일한 트랙의 분포(공간 분포)가 회전의 선속도에 따른 시간축 분포로 변환되어 관측되게 된다. 그 결과, 잔류 트랙킹 오차의 주파수는 회전하고 있는 선속도에 비례한다. 예컨대, 직경 방향으로의 트랙의 형상 격차에 의해서 2x의 선속도로 관측되는 잔류 트랙킹 오차의 주파수는, 3x의 선속도에서는, 선속도의 비율 1.5에 비례한, 1.5배의 주파수가 된다. 여기서 서보 필터와 측정 필터의 주파수를 선속도비에 비례하여 변화시킨 경우, 동일한 진폭의 잔류 트랙킹 오차가 관측된다. 그러나, 서보 필터의 게인 교점을 3.6kHz 그대로 고정으로 한 상태에서, 회전 속도를 올리고 있기 때문에, 3x의 선속도로 광디스크를 회전시키면, 게인 교점보다 높은 주파수인 4kHz~5kHz 근처의 잔류 트랙킹 오차 성분은 게인 교점보다 높기 때문에, 트랙킹 서보 제어에 의해서 억압할 수 없어, 보다 큰 잔류 트랙킹 오차로서 관측된다. 즉, 이 대역의 잔류 트랙킹 오차 성분을 억압할 수 없으면, 트랙킹 에러 신호에 큰 스파이크(spike) 상의 산이 나타나서, 트랙킹 제어의 안정성을 저하시킬 가능성이 있다.
전술한 바와 같이, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서의 잔류 포커스 오차를 측정하는 경우, 측정 필터(LPF와 BPF)의 컷오프 주파수는 4x 디스크와 6x 디스크의 최대 속도비 1.5에 비례하여, 4x 디스크의 검사에 있어서의 컷오프 주파수의 1.5배로 변경한다. 이것은 기록시에 잔류 포커스 오차에 의해서 생기는 RF 신호의 엔벨로프 결락에 의한 SER의 악화를 방지하기 위함이었다.
그러나, BD에서는 기록 신호의 오프 트랙(off-track) 마진이 충분히 넓기 때문에, 큰 잔류 트랙킹 오차에 의해서 RF 엔벨로프의 결락이 생겨서, SER이 열화하는 일은 없다. 오히려 잔류 트랙킹 오차의 측정 조건으로 고려해야 할 관점은, 트랙킹 서보의 안정성이다. 이 때문에, 트랙킹 서보의 안정성을 어지럽히는 대역의 잔류 트랙킹 오차 성분을 검사하면, 잔류 트랙킹 오차의 검사는 충분하다.
여기서 서보 필터의 3.6kHz의 게인 교점보다 높은 주파수의 잔류 트랙킹 오차나 외란 성분은 애당초 트랙킹 서보의 제어 대역 밖에 있기 때문에, 안정한 트랙킹 서보 제어를 실현하는 데에 있어서, 문제로 되지 않는다. 따라서, 트랙킹 에러 신호의 LPF의 컷오프 주파수는, 서보 필터의 게인 교점 근방보다 낮은 주파수 대역의 잔류 트랙킹 오차나 외란을 검출할 수 있도록 설정하면 충분하다.
한편, 게인 교점 이하의 주파수 대역에 있어서의 광디스크에 기인하는 잔류 트랙킹 오차 성분을 억압할 수 없으면, 기록 또는 재생중 트랙킹 서보가 갑자기 외란에 의해서 어긋나거나, 기록중 트랙 점프를 일으켜서 이웃하는 트랙으로 잘못 기록되어, 이미 기입되어 있는 데이터를 잘못 소거해 버리게 된다. 또한, 측정 필터의 대역을 높게 함으로써, 불필요한 잔류 트랙킹 오차 성분까지 검출함으로써, 불필요하게 높은 기계 정밀도를 구비한 광디스크를 제작하게 되면, 광디스크의 제조 수율을 극단적으로 저하시키게도 된다. 따라서, 제조 비용의 상승을 방지하기 위해서도, 적절한 LPF의 컷오프 주파수를 정해서 검사하는 것이 중요하게 된다.
이러한 이유 때문에, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서의 잔류 트랙킹 오차를 측정하는 경우, 잔류 트랙킹 오차의 측정 필터 중, LPF의 컷오프 주파수는 게인 교점과 동일한 3.6kH로 설정하는 것, 즉 LPF의 컷오프 주파수에 대해서는, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서의 잔류 트랙킹 오차를 측정하는 경우에도 4x 디스크용의 검사 장치의 측정 조건과 동일한 조건을 이용하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 서보의 안정성을 확보하기 위해서 필요한 잔류 트랙킹 오차 성분을 빠짐없이 검출하고, 또한 서보의 안정성을 떨어뜨리지 않고 미디어의 수율 저하를 방지하는 것이 가능해진다.
BPF의 잔류 트랙킹 오차 성분은 서보의 안정성을 확보하는 목적과는 달리, 액츄에이터에 흐르는 낭비 전류를 억제하기 위해서 기준을 마련하고 있다. 따라서, 이 잔류 포커스 오차 성분은 rms 노이즈라고 불린다. 이 rms 노이즈를 측정하는 BPF의 고역 측의 컷오프 주파수도 선속도비에 비례하여 1.5배로 해서 광디스크를 검사한다. 이에 의해, 4x 디스크에서 문제로 되는 주파수 대역의 rms 노이즈 성분을 빠짐없이 검출할 수 있다.
도 13은 상이한 외란 주파수에 있어서의, 잔류 트랙킹 오차와 트랙킹 인입 실패율의 관계를 나타내고 있다. 도 13에 나타내는 결과는 이하와 같이 해서 얻어졌다.
먼저, 각각의 외란 주파수에 있어서, 인가한 전압을 몇 개 변경하면서, 트랙킹 온 상태에서 관측되는 잔류 트랙킹 오차량을 측정하였다. 다음에, 잔류 트랙킹 오차량을 측정한 외란 주파수 및 인가 전압의 각각에 있어서, 트랙킹 오프 상태로부터 트랙킹 온 상태로 트랙킹 인입 동작을 복수회 행하였다. 인입 동작에 의해, 트랙킹은 어긋남이나 인입 실패가 발생한 횟수와, 트랙킹이 정상적으로 가해져 안정적으로 동작한 횟수를 세었다. 인입 동작 횟수에 대한 인입에 실패한 비율을 구하여 표로 정리하였다. 디스크의 회전 속도는 3X이고, 서보 필터의 게인 교점은 3.6kHz에서 측정하였다.
도 13에서, 꺾인 선 1101, 1102, 1103 및 1104는, 각각, 외란 주파수가 1.2kHz, 1.8kHz, 3.6kHz 및 5.4kHz의 경우의 결과를 나타내고 있다. 인입 실패율은 꺾인 선 1101, 1102로 표시되는 바와 같이, 외란 주파수가 서보 필터의 게인 교점보다 낮고, 잔류 트랙킹 오차가 25nm를 초과하는 경우에 급격히 상승한다. 그러나, 꺾인 선 1103, 1104로 표시되는 바와 같이, 외란 주파수가 서보 필터의 게인 교점 이상인 경우, 잔류 트랙킹 오차가 25nm를 초과하더라도 트랙킹 인입 실패율은 나빠지지 않는다는 결과가 얻어졌다. 이들 결과로부터, 서보 필터의 게인 교점보다 높은 주파수의 잔류 트랙킹 오차 성분은 트랙킹 서보의 안정성에 악영향을 미치지 않는 것을 알 수 있다. 또한, 게인 교점 이하의 주파수의 잔류 트랙킹 오차 성분이더라도, 25nm 이하의 값이면, 서보의 인입시의 안정성을 저해하지 않는 것이 확인되었다.
따라서, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서의 잔류 트랙킹 오차를 측정하는 경우, 잔류 트랙킹 오차의 측정 필터 중, LPF의 컷오프 주파수는 게인 교점과 동일한 3.6kHz 또는 그 이상으로 설정하는 것, 즉 LPF의 컷오프 주파수에 대해서는, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 이상인 외주에 있어서의 잔류 트랙킹 오차를 측정하는 경우에도 4x 디스크용의 검사 장치의 측정 조건과 동일한 조건이거나, 그 이상의 주파수로 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 잔류 트랙킹 오차의 검사에 대해서 설명한 바와 같이, 6x 디스크의 반경 위치가 36mm 미만인 반경 및 36mm 이상인 외주에서의 잔류 트랙킹 오차값을 허용할 수 있는 진폭은 거의 동등하다. 이 때문에, 잔류 트랙킹 오차의 기준값(BPF, LPF)는 4x 디스크의 검사의 기준값과 동일해도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 6x 디스크에 있어서의 잔류 트랙킹 오차를 검사하는 경우에는, 서보 필터의 게인 교점은, 실제 드라이브에서 실현할 수 있는 게인 교점에 상당하는 3.6kHz의 상태대로, 측정 필터의 컷오프 주파수를, 서보의 안정성과 광디스크의 제조 수율을 고려하여, 게인 교점과 동등하게 한다. 그 밖의 측정 조건은, 표 2에 따라서, 잔류 트랙킹 오차가 큰 디스크를 정확하게 선별할 수 있다. 이러한 광디스크를 제외함으로써, 트랙킹 서보가 갑자기 외란에 의해서 어긋나거나, 기록 동작중에 큰 잔류 트랙킹 오차에 의해서 트랙 점프를 일으켜서 이웃하는 트랙으로 잘못 기록하여, 이미 기입되어 있는 데이터를 잘못 소거해 버리는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.
또한, 4x 디스크와 6x 디스크에서, 또는, 6x 디스크의 전환 반경보다 내주 측과 외주 측에서, 서보 필터의 특성, 특히 게인 교점을 바꾸지 않고서 검사할 수 있기 때문에, 검사 장치의 서보 필터를 하나로 공통화하는 것이 가능해져, 광디스크의 생산성의 관점에서도 유리하다. 즉, 4x 디스크의 검사 장치를 그대로 6x 디스크의 검사 장치로서 유용하는 것이 가능해진다. 또한, 각각의 검사 라인을 공통화할 수 있고, 새로운 검사 장치의 도입이 불필요하게 되어, 설비 투자비를 삭감할 수 있다. 그 결과, 광디스크 생산시의 제조 비용을 내릴 수 있다고 하는 큰 효과가 있다.
또한, 선속도에 따라 서보 필터를 전환하기 위해서 트랙킹, 포커스 동작을 일시 정지하여, 레퍼런스 서보의 설정을 변경하고, 다시 포커스, 트랙킹 동작을 행하여, 광디스크를 검사한다고 하는 전환 순서가 불필요하게 되고, 상이한 선속도 사이의 잔류 오차 측정을 선속도만을 바꿈으로써 연속적으로 실시하는 것이 가능해져, 검사 시간을 단축할 수 있다. 이에 의해서 검사 시간을 단축할 수 있고, 생산의 택트 타임을 단축하여, 광디스크의 생산성을 높이고, 비용 절감을 실현하는 것이 가능해진다.
전술한 바와 같은 측정 조건이 미리 설정된 검사 장치를 이용함으로써, 광디스크의 내주로부터 외주까지 전주에 걸쳐서 잔류 트랙킹 오차를 측정하여, LPF와 BPF 각각의 잔류 오차값에 대하여 기준값 이하인 경우, 검사 합격으로 하고, 기준값을 초과하는 경우, 검사 불합격으로 한다.
본 실시형태의 광디스크의 검사 방법은, 전술한 검사의 순서를 검사 장치에 지령하는 프로그램에 의해서 적합하게 실행된다. 이러한 프로그램은 검사 장치에 내장되는 전용 LSI에 의해서 실행되어도 좋고, 외부의 PC에 의해서 실행되어도 좋다. 또한, 전용 하드웨어에 의해서 실행되어도 좋다.
또한, 잔류 오차 측정의 LPF와 BPF의 컷오프 주파수의 전환은, 광디스크의 제어 루프와는 독립적으로 행해지기 때문에, LPF, BPF의 전환을 포커스 제어, 트랙킹 제어를 한창 행하고 있는 중에 전환하더라도, 서보 동작에 영향을 미치지 않는 것은 말할 필요도 없다. 따라서, 필터의 전환 작업에 의해서 검사에 걸리는 시간이 길어지지 않는다.
다음에, 전술한 검사의 결과, 잔류 포커스 오차와 잔류 트랙킹 오차 중 어느 하나가 기준값을 초과하는 광디스크의 취급을 설명한다.
본 실시형태의 광디스크의 검사 방법을 이용하여 6x 디스크를 검사한 결과, 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차 중 적어도 어느 하나가 기준값을 초과하는 잔류 오차가 있었던 경우를 생각한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 메모리(114) 내를 검색하여, 잔류 포커스 오차 또는 잔류 트랙킹 오차가 기준값을 초과하고 있는 하나 또는 복수의 반경 위치 정보 중에서 최내주 측의 반경 위치 정보를 검색한다.
최내주에서 기준값을 초과하고 있는 반경 위치 정보를 Rx로 한다. Rx가 전환 반경 위치의 안쪽에 있는 경우에는, 그 광디스크는 불합격이라고 판정한다.
한편, Rx가 전환 반경 위치의 바깥쪽에 있는 경우, 그 광디스크를 재차 Rx의 위치로부터 외주 측에 있어서, 4x 디스크의 검사 조건을 이용하여 검사를 실시한다. 4x 디스크의 검사 조건으로 합격하는 경우, 이 광디스크는 전체적으로 4x 디스크의 잔류 오차의 조건을 만족하고 있다. 이 때문에, 이 광디스크는 6x 디스크가 아니라 4x 디스크로서 사용할 수 있다. 이하, 이러한 광디스크를 4x 디스크로 하여 사용 방법을 설명한다.
먼저, 첫 번째로, 이 광디스크는 6x 디스크로서 제작되어 있기 때문에, 디스크 관리 영역 내의 PIC 영역에는, 1x, 2x, 4x, 6x로 기록하는 것이 가능한 조건, 구체적으로는, 최대 선속도나 모든 선속도에서의 파워나 기록 기법 정보가 미리 기록되어 있다. 이 경우, 광디스크 장치는, 통상이면 6x 디스크이라고 인식하여, 최대 6x로 기록을 행한다. PIC 영역은 재생 전용 영역이기 때문에, 정보를 추기할 수 없다.
이 때문에, 6x 디스크에, 물리 포맷에 의해서, 검사 후에 최대 선속도의 상한을 규제하거나 또는 지정하는 정보를 기입하기 위한 추기 영역을 마련한다. 이 추기 영역에, 검사의 결과, 기록 가능한 최대 선속도 정보(Sx)를 추기한다. 이 경우, 광디스크 장치는 디스크 관리 영역에 미리 기록되어 있는 최고 선속도 정보보다 추기 영역에 기록된 최대 선속도 정보를 우선적으로 사용하도록 정한다.
광디스크 장치는, 먼저, 추기된 최대 선속도 정보(Sx)의 유무를 확인한다. Sx가 기록되어 있는 경우는, 그 Sx의 값에 따라서, Sx를 최대 선속도로서 광디스크에 기록한다.
Sx는 광디스크 내의 디스크 관리 영역인 BCA나 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 추기 가능한 영역에 추기된다. 예컨대, 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 PAC 또는 DMA, 또는 OPC 테스트존 또는 드라이브 에어리어, DCZ(Drive Calibration Zone) 중 어느 하나 또는 복수에, 최대 선속도 정보(Sx)를 추기한다. 전술한 바와 같이, 최대 선속도 정보를 추기하기 위한 영역은, 물리 포맷 규격에 의해서 확보된 전용 영역인 것이 바람직하다. 이에 의해, 광디스크의 기계 특성의 품질에 따라, 기록 속도의 상한을 검사의 결과 정하는 것이 가능해지고, 광디스크의 생산의 수율이 대폭 개선되어, 생산성 향상과 비용 절감을 도모하는 것이 가능해진다.
다음에, 전술한 방법에 의해, 6x 디스크로서 제작된 디스크를 4x 디스크로서 사용하는 것이 가능한 것을 검사에 의해 알 수 있었던 경우, 전술한 검사에서 얻어진 반경 위치 정보 Rx를 Sx와 마찬가지로, 광디스크의 관리 영역에 추기하는 방법에 대해서 설명한다.
전술한 바와 같이 디스크 관리 영역의 PIC 영역은 재생 전용으로, 추기를 할 수 없다. 이 때문에, 6x 디스크에, 물리 포맷에 의해서, 검사 후에 최대 선속도로 기록할 수 있는 반경 위치의 상한을 규제하는 또는 지정하는 정보를 기입하기 위한 추기 영역을 마련한다. 이 추기 영역에, 검사의 결과, 잔류 포커스 오차 또는 잔류 트랙킹 오차가 기준값을 초과하고 있는 하나 또는 복수의 반경 위치 정보 중에서 최내주 측의 반경 위치 정보(Rx)를 추기한다. 반경 위치 정보 대신에, 또는, 상기 반경 위치 정보에 부가하여, 물리 어드레스 정보(PAA, Physical ADPI Address)를 추기해도 좋다. 이에 의해 전환 반경 위치로부터 Rx까지 사이의 반경 위치에 대해서는 최대 선속도(6x)로 기록하고, 잔류 오차가 커지는 Rx보다 바깥쪽의 반경 위치에 대해서는 최대 선속도를 4x로 저하시킬 수 있으며, 광디스크의 기계 정밀도에 따라 가능한 한 빠르게 기록할 수 있어, 기록 시간을 단축할 수 있다.
광디스크 장치는, 먼저, 추기된 최대 선속도 정보(Sx)의 유무를 확인한다. Sx가 기록되어 있는 경우는, 전환 반경 위치(36mm)로부터 외주 측에 있어서, 그 최대 선속도 정보에 따라서 전술한 최대 선속도 이하로 광디스크에 기록한다. 그러나, Rx가 동시에 기록되어 있는 경우는, 전환 반경 위치(36mm)로부터 Rx의 반경 위치 사이의 영역에서는, 최대 선속도 6x로 기록하고, Rx보다 바깥쪽의 반경 위치에서는 4x로 기록한다.
Rx는 광디스크 내의 디스크 관리 영역인 BCA나 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 추기 가능한 영역에 추기한다. 예컨대, 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 PAC 또는 DMA, 또는, OPC 테스트존 또는 드라이브 에어리어, DCZ(Drive Calibration Zone) 중 어느 하나 또는 복수에, 반경 위치 정보(Rx)를 추기한다. Rx 대신에, 또는, 상기 반경 위치에 부가하여, 물리 어드레스 정보를 추기해도 좋다. 전술한 바와 같이, 직경 위치 정보를 추기하기 위한 영역은, 물리 포맷 규격에 의해서 확보된 전용 영역인 것이 바람직하다. 이에 의해, 광디스크의 기계 특성의 품질에 따라, 반경 위치의 상한을 검사 결과에 의해서 정하는 것이 가능해지고, 디스크의 기계 정밀도에 따라 가능한 한 빠르게 기록할 수 있어, 기록 시간을 단축할 수 있다는 사용자 이점이 생긴다.
광디스크에는 최대 선속도 정보(Sx) 및 반경 위치 정보(Rx)의 양쪽을 추기해도 좋고, 어느 한쪽만을 추기해도 좋다. Sx와 Rx를 조합해서 사용하는 경우, 이하의 표 3에 나타내는 바와 같이 된다.
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표 3에 나타내는 바와 같이, Sx=6x, Rx=57mm이면, 24mm~36mm는 4x 기록, 36mm~57mm는 6x 기록, 57mm~58mm는 4x 기록으로 한다. Sx=6x, Rx 기록 없음이면, 24mm~36mm는 4x 기록, 36mm~58mm는 6x 기록으로 한다. Sx=4x, Rx=57mm이면, 24mm~57mm는 4x 기록, 57mm~58mm는 2x 기록으로 한다. Sx=4x, Rx 기록 없음이면, 24mm~58mm는 4x 기록으로 한다. Sx의 기록 없음, Rx=57mm이면, 24mm~36mm는 4x 기록, 36mm~57mm는 6x 기록, 57mm~58mm는 4x 기록으로 한다. Sx의 기록 없음, Rx의 기록 없음이면, 24mm~36mm는 4x 기록, 36mm~58mm는 6x 기록으로 한다.
이와 같이, Sx의 기록이 없는 경우에는, PIC 정보에 기록되어 있는 최대 기록 속도가 우선된다. 또한, Rx의 기록이 없는 경우에는, 전환 반경 위치보다 바깥쪽에 있어서 6x의 선속도로 기록을 행하거나, 광디스크 전체에 있어서 4x 이하로 기록한다.
Sx 및 Rx를 추기함으로써, 전술한 대로, 광디스크의 제조 수율이 개선되고, 생산성 향상과 비용 절감을 도모하는 것이 가능해진다. 또한, 광디스크의 기계 특성의 품질에 따라, 반경 위치의 상한을 검사의 결과 정하는 것이 가능해지고, 디스크의 기계 정밀도에 따라 가능한 한 빠르게 기록할 수 있어, 기록 시간을 단축할 수 있다.
또한, 상기 형태에서는, 잔류 포커스 오차 또는 잔류 트랙킹 오차가 기준값을 초과하고 있는 하나 또는 복수의 반경 위치 정보 중에서 최내주 측의 반경 위치 정보(Rx)를 추기하고, 그 반경 위치보다 외주 측에서는, 4x 디스크의 검사 조건으로 합격하는 것을 확인함으로써, 그 반경 위치보다 외주 측에서는 4x 디스크로서 사용하고 있었다. 그러나, 잔류 포커스 오차 또는 잔류 트랙킹 오차가 기준값을 초과하고 있는 하나 또는 복수의 반경 위치 정보 중에서 최외주 측의 반경 위치 정보(Ry)로 하고, 그 반경 위치 정보(Ry)의 위치보다 외주 측에서, 6x 디스크의 검사 조건으로 잔차의 검사에 합격하는 영역이 있는 경우에는, 반경 위치 정보(Ry)의 위치보다 외주 측의 영역을 6x 디스크로서 사용할 수 있다.
이 경우, 예컨대, 반경 위치 정보(Ry) 및/또는 반경 위치 정보(Ry)에 대응하는 물리 어드레스를 그 광디스크에 고유의 정보 Ry로 하여, 상술한 디스크 관리 영역인 BCA나 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 기록 가능한 영역에 기록해도 좋다. 이 경우, 광디스크 장치가 이 정보를 참조함으로써, Ry의 위치보다 외주 측의 영역에서는 6x의 선속도로 기록 또는 재생을 행할 수 있다. 즉, 디스크의 최내주 측으로부터 전환 반경 위치(36mm)까지의 영역에서는, 4x의 선속도로 기록 또는 재생을 행하고, 전환 반경 위치(36mm)로부터 Rx의 위치까지의 영역에서는, 6x의 선속도로 기록 또는 재생을 실시한다. 또한, Rx의 위치로부터 Ry의 위치까지의 영역에서는, 4x의 선속도로 기록 또는 재생을 행하고, Ry의 위치보다 외주 측의 영역에서는, 다시 6x의 선속도로 기록 또는 재생을 실시한다. 이에 의해, 6x의 선속도로 기록 또는 재생할 수 있는 영역이 늘어나기 때문에, 기록 또는 재생에 필요한 시간을 단축할 수 있다.
또한, 잔류 포커스 오차 또는 잔류 트랙킹 오차가 기준값을 초과하고 있는 반경 위치가 많지 않은 경우에는, 기준값을 초과하고 있는 반경 위치 정보(Rz) 및/또는 반경 위치 정보(Rz)에 대응하는 물리 어드레스를 전부 그 광디스크에 고유의 정보 Rz로 하여, 상술한 디스크 관리 영역인 BCA나 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 기록 가능한 영역에 기록해도 좋다. 이 경우, 광디스크 장치가 이 정보를 참조함으로써, 전환 반경 위치(36mm)보다 외주 측의 영역에서, Rz의 위치 이외는 6x의 선속도로 기록 또는 재생하고, Rz의 위치에서는 4x의 선속도로 기록 또는 재생을 행할 수 있다. 이에 의해, 6x의 선속도로 기록 또는 재생할 수 있는 영역이 한층 더 늘어나기 때문에, 기록 또는 재생에 필요한 시간을 단축할 수 있다.
또한, 6x 디스크로서 검사에 합격한 경우에도 Rx 및 Sx를 추기해도 좋다. 또는, 6x 디스크로서 검사에 합격한 경우에도, 억지로 Sx=4x로서 추기를 행하여, 4x 디스크로서 생산할 수도 있다. 이 경우, 6x 및 4x의 2개 종류의 광디스크를 전환하여 생산할 필요가 없어진다. 따라서, 6x 디스크 및 4x 디스크를, 수요와 공급의 균형에 따라, 생산 설비를 바꾸어 넣지 않고서 생산할 수 있다. 또한, 4x 디스크와 6x 디스크에서 공통 스탬퍼를 사용할 수 있기 때문에, 복수의 스탬퍼를 작성할 필요가 없어진다. 이상의 것 때문에, 설비비를 대폭 삭감하여, 비용 절감을 실현할 수 있다.
또한, 6x 디스크에 있어서, 전환 반경 위치(36mm)에 관계없이, 6x 디스크가 만족시켜야 되는 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차의 검사 결과에 근거하여, 그 광디스크에 고유의 전환 반경 위치를 결정하고, 그 반경 위치 정보(Rw)를 디스크에 기록해도 좋다. 구체적으로는, 6x 디스크가 만족시켜야 되는 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차의 검사를, 전환 반경 위치에 관계없이 디스크의 전체 영역에 대하여 행하고, 잔류 포커스 오차 또는 잔류 트랙킹 오차가 기준값을 초과하고 있는 하나 또는 복수의 반경 위치 정보 중에서 최외주 측의 반경 위치 정보(Rw)를 결정하여, Rw를 전술한 디스크 관리 영역인 BCA나 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 기록 가능한 영역에 기록한다. 광디스크 장치가 이 정보를 참조함으로써, 전환 반경 위치(36mm)에 관계없이, Rw의 위치 및 이것보다 외주 측에서는 6x의 선속도로 기록 또는 재생을 행하고, Rw의 위치보다 내주 측에서는, 4x의 선속도로 기록 또는 재생을 실시한다. 이에 의해, 디스크의 기계적 특성에 따라 가장 단시간에 기록 또는 재생을 실시할 수 있다. 단, 이 경우, 반경 위치 정보(Rw)의 위치에 있어서의 6x의 선속도를 실현하는 회전 속도가, 예컨대, 10000rpm을 초과하지 않도록 반경 위치 정보(Rw)를 결정하는 것이 바람직하다.
다음에, 4x 디스크이더라도, 6x 디스크의 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차의 검사를 만족하는 디스크의 취급을 설명한다.
4x 디스크에 대하여, 4x 디스크 및 6x 디스크가 만족시켜야 되는 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차의 검사를 행하여, 6x 디스크로서의 기계 정밀도가 있다고 4x 디스크에 있어서 확인된 경우, 4x 디스크를 6x 디스크로서 사용 가능한 기계적 정밀도가 구비되어 있어, 성능상, 6x 디스크로서의 사용이 가능하다. 그러나, 4x 디스크의 디스크 관리 영역 내의 PIC 영역에는, 1x, 2x, 4x로 기록하는 것이 가능한 조건, 구체적으로는, 최대 선속도나 모든 선속도에서의 파워나 기록 기법 정보가 미리 기록되어 있다. 이 경우, 광디스크 장치는 통상이면 4x 디스크라고 인식하여, 최대 4x로 기록을 행한다.
PIC 영역은 재생 전용 영역으로, 정보를 추기할 수 없기 때문에, 전술한 바와 같이, 4x 디스크에, 물리 포맷에 의해서, 검사 후에 최대 선속도 정보(Sx)를 기입하기 위한 추기 영역을 마련한다. 이 추기 영역에, 검사의 결과에 근거하여, 최대 선속도(6x)를 기록한다.
광디스크 장치는 4x 디스크의 추기된 최대 선속도 정보(Sx)의 유무를 확인하여, 혹시 Sx가 기록되어 있는 경우는, 그 최대 선속도 정보, 즉 6x라는 정보에 따라서, 최대 Sx로 광디스크에 기록을 행한다.
Sx는 광디스크 내의 디스크 관리 영역인 BCA나 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 추기 가능한 영역에 추기된다. 예컨대, 리드인 존 또는 리드아웃 존 내의 PAC 또는 DMA, 또는 OPC 테스트존 또는 드라이브 에어리어, DCZ(Drive Calibration Zone) 중 어느 하나 또는 복수에, 최대 선속도 정보(Sx)를 추기한다. 이에 의해, 광디스크의 기계 특성의 품질에 따라, 기록 속도의 상한을 검사의 결과 정하는 것이 가능해지고, 광디스크의 제조 수율이 대폭 개선되어, 생산성 향상과 비용 절감을 도모하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 4x 디스크 중, 잔류 오차의 검사 결과가 양호한 것을 6x 디스크로 하고, 즉 오버드라이브 기록이 가능해진다. 따라서, 통상의 4x 디스크에서 잔류 오차 검사의 결과를 관리 정보에 추기하고 있지 않은 광디스크보다 광디스크 드라이브로 기입할 때, 신뢰성 높고, 고속으로 오버드라이브 기록을 행하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, Rx나 Sx를 추기함으로써, 생산성의 관점에서는, 4x 디스크와 6x 디스크를 하나의 라인으로 검사할 수 있다고 하는 이점이 얻어지고, 특성이 좋은 것을 6x 디스크로서 선별할 수 있다. 또한, 6x 디스크만을 생산하여, 잔류 오차 검사의 결과의 수율이 낮은 경우, 대량의 디스크를 폐기해 버려야 된다는 리스크를 저감할 수 있어, 디스크의 생산성을 향상시키고 비용 절감을 도모하는 것이 가능해진다. 또한, 하나의 스탬퍼에 의해서 성형 가능한 디스크의 매수는, 생산 매수가 늘어남과 동시에 기계 특성이 악화되어, 수율의 저하를 초래하는 경우가 있다. 이러한 경우, 잔류 오차 기준이 비교적 느슨한 4x 디스크로서는 충분히 사용 가능해지기 때문에, 스탬퍼가 새로운 초기의 상태에서는, 6x 디스크를 생산한다. 잔류 오차 기준이 6x 디스크의 기준을 만족시키지 않지만, 4x 디스크의 기준을 만족하는 정도로 스탬퍼가 열화된 경우에도, 4x 디스크를 계속해서 생산한다. 이 때문에, 제조 수율을 저하시키지 않고 1장의 스탬퍼로 생산할 수 있는 매수를 늘릴 수 있어, 스탬퍼 수명을 연장하고, 비용 절감을 실현하는 것이 가능해진다.
또한, 전술한 바와 같이, 잔류 오차 검사의 결과에 따라, Sx, Rx를 추기하고, 기록한 정보에 따라서, 4x 디스크 또는 6x 디스크로서 사용하는 경우, 잔류 오차 이외의 기계 특성 항목이나 기록 재생 특성 등의 필요한 특성을 만족시키고 있는지 여부에 대해서, 각각 정해진 조건으로 별도 검사해 두는 것이 바람직하다.
또한, 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차의 검사를 행할 때, 광디스크에 조사되고 있는 레이저광의 재생 파워는 선속도의 전환 전후에 관계없이 일정한 재생 파워로 검사를 행한다. 그와 같이 선속도의 전환 전후에 동일한 재생 파워로 검사함으로써, 재생 파워가 변화됨으로써 발생하는 검사 장치의 회로 오프셋 조정이 불필요하여, 검사 시간을 단축하는 것이 가능해진다.
또한, 상이한 2개의 선속도로 광디스크를 회전시켜서, 조사하는 레이저광의 재생 파워를 각 선속도로 동일하게 하고 있을 때, 재생광에 의한 광디스크에 대한 손상은 2개의 선속도 중, 느린 선속도로 회전하고 있는 조건이다. 따라서, 느린 선속도로 광디스크를 회전시키고 있는 상태에서, 재생 내구성의 검사를 그대로 행해도 좋다. 동일한 재생 파워로 검사함으로써, 재생 내구성을 복수의 선속도로 실시하지 않는다. 이 때문에, 광디스크의 생산성의 향상을 도모할 수 있다.
본 발명의 검사 방법은, BD-R 중 HTL(High To Low) 및 LTH(Low To High) 중 어느 쪽의 타입에도 가능하다. 또한, 본 발명의 검사 방법은 단층 디스크 및 2층 디스크 중 어느 쪽의 타입의 광디스크에도 적용된다.
또한, 본 발명에 따른 검사 방법은 BD-R를 예로 들어서 설명했지만, 리라이팅형의 BD-RE 및 판독 전용형의 BD-ROM에 적응하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명에 따른 광디스크의 검사 방법은 6x 디스크의 검사를 예로 설명했지만, 8x 디스크 또는 그 이상의 속도로 기입을 행하는 광디스크의 잔류 오차검사에도 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.
8x 디스크의 경우, 도 4에 나타내는 바와 같이, 2개소의 전환 반경 위치를 설정하고, 36mm보다 내주는 4x 기록, 36mm~48mm은 6x 기록, 48mm 이후는 8x 기록과 같이 반경 위치에 따라 4x, 6x, 8x의 선속도로 CLV에 의해서 기록할 수 있다. 도 4는, 8x 디스크에 있어서, 반경 위치에 따라서 4x의 CLV, 6x CLV, 8X CLV로 기록 및 재생하는 경우의 반경 위치와 회전 속도의 관계를 나타내고 있다. 각 선속도의 상한 회전 속도는, 4x의 최내주부의 기준으로 되는 반경 위치에 있어서의 회전 속도에 의해서 결정된다. 제 1 전환 반경 위치는 약 33mm~36mm이고, 제 2 전환 반경 위치는 약 44mm~48mm의 범위 내이다. 제 1 전환 반경 위치보다 안쪽은 4x의 선속도로 기록을 행하고, 제 1과 제 2 전환 반경 위치 사이는 6x의 선속도로 기록을 행하며, 제 2 반경 위치보다 외주 측은 8x의 선속도로 기록을 행한다. 이 경우, 4x와 8x의 하나의 전환 반경 위치를 갖는 경우와 비교하여, 제 1과 제 2 전환 반경 위치 사이를 4x의 선속도가 아니라 6x의 선속도로 기록을 행할 수 있다. 따라서, 전체의 전송 레이트를 높여서, 기입 시간을 단축하는 것이 가능해진다. 8x 디스크에 대해서도 전술과 마찬가지의 방법에 의해서 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차의 검사를 행하는 것이 가능하다.
또한, 6x 디스크의 검사에 있어서, 도 14와 같이 선속도를 4x와 6x로 전환할 때, 제 1 전환 반경 위치보다 내주 측에서는, 최내주부에서 4x에 상당하는 회전 속도(예컨대 r=24mm이면 약 8000rpm)로 회전 속도 일정 제어(CAV) 방식에 의해 기록하고, 전환 반경 위치가 약 33mm~36mm 사이에서 6x의 선속도에 의한 CLV로 전환하는 방법도 생각된다. 이 경우가 가장 기록 레이트가 빠르게 되어 단시간에 1장의 디스크에 정보를 기록할 수 있다고 하는 효과가 있다.
CAV 방식으로 기록하는 부분에서 잔류 오차 검사를 행하는 경우는, CAV의 회전 속도의 1/2의 회전 속도로 잔류 오차 검사를 행하여, 반경 위치와 함께 서서히 선속도가 올라가기 때문에, 전환 반경 위치까지의 사이에 측정 필터(잔류 포커스 오차 검사의 경우는 측정 필터의 LPF 및 BPF이며, 잔류 트랙킹 오차 검사의 경우는 측정 필터의 BPF)의 컷오프 주파수를 반경 위치에 비례해 바꾸면서 잔류 오차 측정을 행하고, 전환 반경 위치 이후는 전술한 검사 방법을 이용하여 검사하는 것도 가능하다.
또한, 상기 실시형태에서는, 전환 반경 위치를 결정하기 위해서, 전환 반경 위치보다 내주 측에서의 기록 또는 재생의 선속도에 있어서의 최대 회전 속도를 인가하는 반경 위치를 특정했지만, 전술한 바와 같이 6x 디스크에 있어서의 전환 반경 위치는 약 33mm~36mm 사이에 있다. 이 때문에, 최대 회전 속도를 인가하는 반경 위치를 특정하지 않고서, 이 범위 내에 있어서 전환 반경 위치를 결정해도 좋다. 또한, 최대 회전 속도를 인가하는 반경 위치를 특정해서 전환 반경 위치를 정했는지 여부에 관계없이, 최대 회전 속도를 인가하는 반경 위치에 있어서 잔류 오차의 측정을 행하지 않아도 좋다. 전환 반경 위치보다 내주 측에서의 기록 또는 재생의 선속도에 있어서의 최대 회전 속도를 인가하는 반경 위치는 사용자 데이터 영역이 아닌 경우도 있기 때문이다. 따라서, 6x 디스크에 있어서, 전환 반경 위치보다 내주 측에서 6x 디스크의 잔류 오차를 4x 디스크와 마찬가지의 조건으로 측정하고, 전환 반경 위치 및 그 외주 측에 있어서 상술한 조건으로 잔류 오차의 측정을 행해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는, 6x 디스크(적어도 디스크 중 어느 하나의 반경 위치에 있어서 6배속의 선속도에 의한 재생 및/또는 기록을 행할 수 있는 디스크)의 측정 속도를 전환하는 기준으로 되는 전환 반경 위치를 36mm로 설정하여, 36mm 미만의 반경 위치(at radii up to 36mm/smaller than 36mm in the radius position)에 있어서는, 4x 디스크와 마찬가지로, 2배속의 선속도로 측정하고, 36mm 이상의 반경 위치(at radii 36mm and higher/greater than or equal to 36mm in the radius position)에 있어서는, 3배속의 선속도로 잔류 오차의 측정을 행하고 있다. 그러나, 전환 반경 위치는 선속도를 전환하는 경계이기 때문에, 2x의 선속도 또는 3x의 선속도 중 어느 하나로 잔류 오차를 측정해도 좋다. 즉, 36mm 이하의 반경 위치(at radii 36mm and lower/smaller than or equal to 36mm in the radius position)에 있어서는, 4배속 대응 디스크와 마찬가지로, 2배속의 선속도로 측정하고, 36mm보다 큰 반경 위치(greater than 36mm in the radius position)에 있어서는, 3배속의 선속도로 측정해도 좋다.
이와 같이, 제 1 선속도 Lv1와 제 2 선속도 Lv2(Lv1<Lv2)의 회전 속도의 전환을, 각각의 회전 속도의 최대 회전 속도가 동일하게 되는 반경 위치에서 행하는 광디스크와, 상기 광디스크의 기록 속도의 1/2의 회전 속도로 잔류 오차를 검사하고, 또한, 2개의 회전 속도의 서보 필터 특성(게인 교점)이 동등한 측정 조건으로 포커스 에러 신호와 상기 트랙킹 에러 신호로부터 잔류 오차(잔류 오차)를 측정하여, 기준값을 만족하고 있는지 여부를 판단하는 광디스크의 잔류 오차 검사 방법에 의해서, 특히 BD 6배속 이상의 고속으로 기록 가능한 추기형(또는 리라이팅형 디스크도 포함함) 광디스크와, 그 광디스크에 신호를 기록할 때에, 양호한 기록 신호 품질 및 서보 안정성이 얻어지도록 상기 광디스크를 정밀하게 검사하는 검사 방법과, 검사 장치 및 그러한 광디스크에 양호한 신호를 기록하기 위한 기록 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 광학적 정보 기록 매체로부터의 재생 신호의 품질을 계측하는 지표의 하나로서는, 피트 또는 기록 마크와 스페이스와의 비(비대칭성)를 검출하는 아심메트리(asymmetry)를 들 수 있다. 상술한 지터에 부가하거나, 또는, 지터로 바꿔서, 상기 아심메트리를 검사해도 좋다. 이 경우, 예컨대, 최단 마크(1-7 변조의 경우는 2T)의 진폭 중심과, 최장 마크(1-7 변조의 경우는 8T)의 진폭 중심을 산출하고, 이것들에 근거하여 아심메트리가 소정의 범위 내에 들어가도록 함으로써 신호 품질을 보증할 수 있다
구체적으로는, 최장 마크의 진폭 중심과 최단 마크의 진폭 중심의 차분과, 최장 마크의 전체 진폭과의 「비율」이 소정의 범위 내에 들어가도록 한다. 보다 구체적으로는, 최장 마크가 8T인 경우에, 최장 마크의 최대 진폭을 I(8H), 최장 마크의 최소 진폭을 I(8L), 최장 마크의 전체 진폭을 I(8pp)로 하고, 최단 마크가 2T인 경우에, 최단 마크의 최대 진폭을 I(2H), 최단 마크의 최소 진폭을 I(2L)라고 하면, 최장 마크의 진폭 중심은 「(I(8H)-I(8L))/2」로 되고, 최단 마크의 진폭 중심은 「(I(2H)-I(2L))/2」로 되고, 최장 마크의 전체 진폭 I(8pp)은 「I(8H)-I(8L)」로 된다. 따라서, 상기 「비율」은 「((I(8H)-I(8L))/2-(I(2H)-I(2L))/2)/I(8pp)」로 된다. 이 값이 소정의 범위 내이면(예컨대, 「-0.10 이상」 및/또는 「+0.15 이하」를 만족하지 않음) 재생 신호의 품질이 적절하다고 판단해도 좋다.
또한, 광학적 정보 기록 매체는 이하 같은 돌기부를 갖는 것이어도 좋다. 예컨대, 블루레이 디스크의 경우, 보호층의 두께는, 단층 디스크에서는 100㎛, 2층 디스크에서는 75㎛이다. 이와 같이 얇은 보호층으로의 손상 방지를 위해서, 유지 영역(Clamp Area)의 바깥쪽 또는 안쪽에 돌기부를 마련해도 좋다. 특히 유지 영역의 안쪽에 마련한 경우, 보호층의 손상 방지에 부가하여, 디스크의 중심 구멍에 가까운 부분에 돌기부가 있기 때문에, 돌기부의 중량 밸런스에 의한 회전 스핀들(모터)로의 부하를 경감하는 것이나, 광헤드와의 충돌을 피하는(광헤드는 유지 영역의 바깥쪽에 있는 정보 기록 영역에 액세스하기 위해 유지 영역의 안쪽에 돌기부를 마련함으로써 돌기부와 광헤드의 충돌을 회피함) 것이 가능하다.
유지 영역을 안쪽에 마련하는 경우, 예컨대 외경 120mm의 디스크에 있어서의 유지 영역의 구체적인 위치는 다음과 같이 해도 좋다. 가령 중심 구멍의 직경이 15mm, 유지 영역이 직경 23mm~33mm의 범위 내로 했을 때, 중심 구멍과 유지 영역 사이, 즉 직경 15mm~23mm의 범위 내에 돌기부를 마련하게 된다. 그때, 중심 구멍으로부터 어느 정도의 거리를 마련해도 좋고(예컨대 중심 구멍의 가장자리 끝으로부터 0.1mm 이상(또는/및 0.125mm 이하) 떼어도 좋음), 또한, 유지 영역으로부터 어느 정도의 거리를 마련해도 좋다(예컨대 유지 영역의 안쪽 끝으로부터 0.1mm 이상(또는/및 0.2mm 이하) 떼어도 좋음). 또한, 중심 구멍의 가장자리 끝과 유지 영역의 안쪽 끝의 양쪽으로부터 어느 정도의 거리를 사이에 두고서 마련해도 좋다(구체적인 위치로서, 예컨대, 직경 17.5mm~21.0mm의 범위 내에 돌기부를 마련해도 좋음). 또한, 돌기부의 높이는 보호층의 손상에 어려움이나 들어올림 용이성의 밸런스를 고려하여 정하면 좋지만, 지나치게 높더라도 다른 문제가 발생할지도 모르기 때문에, 예컨대, 유지 영역으로부터 0.12mm 이하의 높이로 해도 좋다.
또한, 광학적 정보 기록 매체가 다층인 경우의 구성을 간단히 설명한다. 예컨대, 레이저광을 보호층 쪽으로부터 입사하여 정보가 재생 및/또는 기록되는 단면 디스크라고 하면, 기록층을 2층 이상으로 하는 경우, 기판과 보호층 사이에는 복수의 기록층이 마련되게 된다. 이 경우에 있어서의 다층 구조를 다음과 같이 해도 좋다. 즉, 광입사면으로부터 소정의 거리를 사이에 둔 가장 안쪽의 위치에 기준층(L0)을 마련하여, 기준층으로부터 광입사면 측에 층을 늘리도록 적층(L1, L2, …, Ln)하고, 또한 광입사면으로부터 기준층까지의 거리를 단층 디스크에 있어서의 광입사면으로부터 기록층까지의 거리와 동일하게(예컨대 0.1mm 정도) 한다. 이와 같이 층의 수에 관계없이 가장 안쪽 층까지의 거리를 일정하게 함으로써, 기준층으로의 액세스에 관한 호환성을 유지할 수 있고, 또한 층수의 증가에 따른 틸트 영향의 증가를 억제하는(가장 안쪽 층이 가장 틸트의 영향을 받지만 층수의 증가에 따라 가장 안쪽 층까지의 거리가 증가하지 않기 때문에) 것이 가능해진다.
또한, 광학적 정보 기록 매체가 다층인 경우에 있어서의 재생 방향 또는 스폿의 진행 방향에 관해서는, 예컨대, 모든 층에 있어서 동일하고, 즉 전체 층에서 내주 방향으로부터 외주 방향, 또는 전체 층에서 외주 방향으로부터 내주 방향이라는 병렬 경로이더라도, 반대 경로(기준층(L0)을 내주 측으로부터 외주 측의 방향으로 한 경우, L1에서는 외주 측으로부터 내주 측의 방향, L2에서는 내주 측으로부터 외주 측의 방향, … 즉, Lm(m은 0 및 짝수)에서는 내주 측으로부터 외주 측의 방향, Lm+1에서는 외주 측으로부터 내주 측의 방향(또는, Lm(m은 0 및 짝수)에서는 외주 측으로부터 내주 측의 방향, Lm+1에서는 내주 측으로부터 외주 측의 방향)이라고 하는 바와 같이 층이 전활될 때마다 재생 방향이 반대로 됨)이더라도 좋다.
또한, 본 발명에서 지터를 측정할 때에 기록에 이용하는 변조 방식에 대해서 간단히 설명한다. 데이터(본래의 소스 데이터 또는 변조 전의 바이너리 데이터)를 기록 매체에 기록하는 경우, 소정의 크기로 분할되고, 또한 소정의 크기로 분할된 데이터는 소정의 길이의 프레임으로 분할되어, 프레임마다 소정의 싱크 코드(sync code)/동기 부호 계열이 삽입된다(프레임 싱크 영역). 프레임으로 분할된 데이터는, 기록 매체의 기록 재생 신호 특성에 합치한 소정의 변조 규칙에 따라서 변조된 데이터 부호 계열로서 기록된다(프레임 데이터 영역).
여기서 변조 규칙으로서는, 마크 길이가 제한되는 RLL(Run Length Limited) 부호화 방식 등이어도 좋고, RLL(d,k)로 표기한 경우, 1과 1 사이에 출현하는 0이 최소 d개, 최대 k개인 것을 의미한다(d 및 k는 d<k를 만족시키는 자연수임). 예컨대, d=1, k=7의 경우, T를 변조의 기준 주기라고 하면, 최단이 2T, 최장이 8T인 기록 마크 및 스페이스로 된다. 또한, RLL(1,7) 변조에 또한 다음 [1] [2]의 특징을 가미한 1-7 PP 변조로 해도 좋다. 1-7 PP의 "PP"란, Parity preserve/Prohibit Repeated Minimum Transition Length의 약어이며, [1] 최초의 P인 Parity preserve는, 변조 전의 소스 데이터 비트의 "1"의 개수의 기우(奇偶)(즉, Parity)와, 그것에 대응하는 변조 후 비트 패턴의 "1"의 개수의 기우가 일치하고 있는 것을 의미한다. [2] 뒤쪽의 P인 Prohibit Repeated Minimum Transition Length는, 변조 후의 기록 파형 위에서의 최단 마크 및 스페이스의 반복 횟수를 제한(구체적으로는, 2T의 반복 횟수를 최대 6회까지 제한)하는 방식을 의미한다.
또한, 본 발명에서 지터를 측정할 때에 기록에 이용하는 프레임 싱크 패턴에 대해서 설명한다. 프레임 사이에 삽입되는 싱크 코드/동기 부호 계열에는 전술한 소정의 변조 규칙은 적용되지 않기 때문에, 그 변조 규칙에 의해서 구속되는 부호 길이 이외의 패턴을 포함시키는 것이 가능해진다. 이 싱크 코드/동기 부호 계열은, 기록된 데이터를 재생할 때의 재생 처리 타이밍을 결정하는 것이기 때문에, 다음과 같은 패턴이 포함되어도 좋다.
데이터 부호 계열과의 식별을 용이하게 한다고 하는 관점에서는, 데이터 부호 계열에는 출현하지 않는 패턴을 포함시켜도 좋다. 예컨대, 데이터 부호 계열에 포함되는 최장 마크/스페이스보다 긴 마크 또는 스페이스나 그 마크와 스페이스의 반복이다. 변조 방식이 1-7 변조인 경우, 마크나 스페이스의 길이는 2T~8T로 제한되기 때문에, 8T보다 긴 9T 이상의 마크 또는 스페이스(9TM and/or 9TS)나 9T 마크/스페이스의 반복(9T/9T) 등이다.
동기 인입 등의 처리를 용이하게 한다고 하는 관점에서는, 제로크로스점을 많이 발생시키는 패턴을 포함시켜도 좋다. 예컨대, 데이터 부호 계열에 포함되는 마크/스페이스 중, 비교적 짧은 마크 또는 스페이스나 그 마크와 스페이스의 반복이다. 변조 방식이 1-7 변조 방식인 경우, 최단인 2T의 마크 또는 스페이스(2TM and/or 2TS)나 2T 마크/스페이스의 반복(2T/2T)이나, 다음으로 최단인 3T의 마크 또는 스페이스(3TM and/or 3TS)나 3T 마크/스페이스의 반복(3T/3T) 등이다.
전술한 동기 부호 계열과 데이터 부호 계열을 포함하는 영역을 가령 프레임 영역이라고 부르고, 그 프레임 영역을 복수(예컨대 31개) 포함하는 단위를 가령 섹터라고 부르기로 하면, 어떤 섹터에 있어서, 그 섹터의 임의의 프레임 영역에 포함되는 동기 부호 계열과, 그 임의의 프레임 영역 이외의 프레임 영역에 포함되는 동기 부호 계열과의 부호간 거리를 2 이상으로 해도 좋다. 여기서 부호간 거리란, 2개의 부호 계열을 비교한 경우, 부호 계열 중 상이한 비트의 개수를 의미한다. 이렇게 부호간 거리를 2 이상으로 함으로써, 재생시의 노이즈의 영향 등에 의해 한쪽의 판독 계열이 1비트 시프트 오류를 일으키더라도, 다른 한쪽으로 잘못 식별하는 일이 없다. 또한, 특히, 그 섹터의 선두에 위치하는 프레임 영역에 포함되는 동기 부호 계열과, 선두 이외에 위치하는 프레임 영역에 포함되는 동기 부호 계열과의 부호간 거리를 2 이상으로 해도 좋고, 이렇게 함으로써, 선두 개소인지/섹터의 경계 개소인지 여부의 식별을 용이하게 할 수 있다.
또한, 부호간 거리는, NRZ 기록시는 부호 계열을 NRZ 표기한 경우, NRZI 기록시는 부호 계열을 NRZI 표기한 경우에 있어서의 부호간 거리의 의미를 포함하고 있다. 그 때문에, 혹시 RLL 변조를 채용한 기록의 경우, 이 RLL이란 NRZI의 기록 파형 위에서 고레벨 또는 저레벨의 신호가 계속되는 개수를 제한하는 것을 의미하는 것이기 때문에, NRZI 표기에 있어서의 부호간 거리가 2 이상이라는 것을 의미한다.
또한, 광학적 정보 기록 매체에는 홈을 형성함으로써, 홈부, 및, 홈과 홈 사이의 랜드부(land portion)가 형성된다. 이 때문에, 홈 및 랜드부 중 어느 하나에 데이터를 기록할지에 따라서 기록 방식이 상이하다. 구체적으로는, 홈부로의 기록, 랜드부로의 기록, 홈부 및 랜드부의 양쪽으로의 기록 등, 다양한 방식이 있다. 여기서, 홈부 및 랜드부 중, 광입사면으로부터 보아서 볼록부로 되는 쪽에 기록하는 방식을 온 그루브(On-Groove) 방식이라고 하고, 광입사면으로부터 오목부로 되는 쪽에 기록하는 방식을 인 그루브(In-Groove) 방식이라고 한다. 본 발명에 있어서, 기록 방식으로서, 온 그루브 방식으로 할지, 인 그루브 방식으로 할지, 양쪽 식 중 어느 한쪽을 허가하는 방식으로 할지는 특별히 문제되지 않는다.
또한, 양쪽 식 중 어느 한쪽을 허가하는 방식의 경우, 그 매체가, 어느 쪽의 기록 방식인지를 용이하게 식별할 수 있도록, 온 그루브 방식인지 인 그루브 방식인지를 나타낸 기록 방식 식별 정보를 매체에 기록해도 좋다. 다층 매체에 대해서는, 각 층에 대한 기록 방식 식별 정보를 기록해도 좋다. 그 경우, 각 층에 대한 기록 방식 식별 정보를 기준층(광입사면으로부터 보아서 가장 먼 쪽의 층(L0) 또는 가장 가까운 층이나, 기동시에 가장 최초로 액세스되도록 정해져 있는 층 등)에 모아서 기록해도 좋고, 각 층에 그 층에만 관한 기록 방식 식별 정보를 기록해도 좋고, 각 층에 모든 층에 관한 기록 방식 식별 정보를 기록해도 좋다.
또한, 기록 방식 식별 정보를 기록하는 영역으로서는, BCA(Burst Cutting Area)나 디스크 정보 영역(데이터 기록 영역보다 내주측 또는/및 외주측에 있고, 주로 제어 정보를 저장하는 영역, 또한 재생 전용 영역에서 데이터 기록 영역보다 트랙 피치가 넓게 되어 있는 경우가 있음)이나 워블(wobble)(워블에 중첩해서 기록) 등이 있고, 어느 하나의 영역 또는 어느 하나의 복수의 영역 또는 모든 영역에 기록해도 좋다.
또한, 워블의 개시 방향에 관해서, 온 그루브 방식과 인 그루브 방식에서 서로 반대로 되도록 해도 좋다. 즉, 혹시 온 그루브 방식으로 워블의 개시 방향이 디스크의 내주 측으로부터 개시하는 경우에는, 인 그루브 방식에서는 워블의 개시 방향을 디스크의 외주 측으로부터 개시하도록 해도(또는, 혹시 온 그루브 방식으로 워블의 개시 방향이 디스크의 외주 측으로부터 개시하는 경우에는, 인 그루브 방식에서는 워블의 개시 방향을 디스크의 내주 측으로부터 개시하도록 함) 좋다. 이와 같이, 온 그루브 방식과 인 그루브 방식에서 워블의 개시 방향이 서로 반대로 되도록 함으로써, 어떤 방식으로 하더라도 트랙킹의 극성을 동일하게 할 수 있다. 왜냐하면, 온 그루브 방식에서는, 광입사면으로부터 볼록부로 되는 쪽에 기록을 행하는 데 반하여, 인 그루브 방식에서는, 광입사면으로부터 오목부로 되는 쪽에 기록을 행하기 때문에, 가령 양자에서 홈의 깊이가 동일한 경우, 트랙킹 극성은 반대의 관계로 된다. 그래서, 양자에서 워블의 개시 방향도 서로 반대로 함으로써, 트랙킹 극성을 동일하게 할 수 있다.
상기의 In/온 그루브 방식은, 매체에 홈을 형성하는 기록형 매체에 관한 것이지만, 재생 전용형 매체에 관해서도 마찬가지의 사고 방식을 적용할 수 있다. 즉, 재생 전용형 매체의 경우, 정보는 엠보싱/요철 피트라는 형태로 기록되지만, 이 피트의 형성 방식으로 해도, 광입사면으로부터 보아서 볼록부의 피트가 형성되는 것을 On-Pit 방식이라고 하고, 광입사면으로부터 보아서 오목부의 피트가 형성되는 것을 In-Pit 방식이라고 하며, 본 발명에 있어서, 피트의 형성 방식으로서, On-Pit 방식으로 할지, In-Pit 방식으로 할지, 양쪽 식 중 어느 한쪽을 허가하는 방식으로 할지는 특별히 문제되지 않는다.
또한, 양쪽 식 중 어느 한쪽을 허가하는 방식의 경우, 그 매체가, 어떤 방식인지를 용이하게 식별할 수 있도록, On-Pit 방식인지 In-Pit 방식인지를 나타낸 피트 형성 방식 식별 정보를 매체에 기록해도 좋다. 다층 매체에 대해서는, 각 층에 대한 피트 형성 방식 식별 정보를 기록해도 좋다. 그 경우, 각 층에 대한 피트 형성 방식 식별 정보를 기준층(광입사면으로부터 보아서 가장 먼 쪽의 층(L0) 또는 가장 가까운 층이나, 기동시에 가장 최초로 액세스되도록 정해져 있는 층 등)에 모아서 기록해도 좋고, 각 층에 그 층에만 관한 피트 형성 방식 식별 정보를 기록해도 좋고, 각 층에 모든 층에 관한 피트 형성 방식 식별 정보를 기록해도 좋다.
또한, 피트 형성 방식 식별 정보를 기록하는 영역으로서는, BCA(Burst Cutting Area)나 디스크 정보 영역(데이터 기록 영역보다 내주측 또는/및 외주측에 있고, 주로 제어 정보를 저장하는 영역, 또한 데이터 기록 영역보다 트랙 피치가 넓게 되어 있는 경우가 있음) 등이 있고, 어느 하나의 영역 또는 양쪽의 영역에 기록해도 좋다.
또한, 광학적 정보 기록 매체의 기록막의 특성에 관해서, 기록 부분과 미기록 부분의 반사율의 관계에 의해, 이하의 2개의 특성이 있다. 즉, 미기록 부분이 기록 완료된 부분보다 고반사율(High-to-Low)인 HtoL 특성과, 미기록 부분이 기록 완료된 부분보다 저반사율(Low-to-High)인 LtoH 특성이다. 본 발명에 있어서, 매체의 기록막 특성으로서, HtoL인지, LtoH인지, 어느 한쪽을 허가하는 것인지는 특별히 문제되지 않는다.
또한, 어느 한쪽을 허가하는 것의 경우, 어떤 기록막 특성인지를 용이하게 식별할 수 있도록, HtoL인지 LtoH인지를 나타낸 기록막 특성 식별 정보를 매체에 기록해도 좋다. 다층 매체에 대해서는, 각 층에 대한 기록막 특성 식별 정보를 기록해도 좋다. 그 경우, 각 층에 대한 기록막 특성 식별 정보를 기준층(광입사면으로부터 보아서 가장 먼 쪽의 층(LO) 또는 가장 가까운 층이나, 기동시에 가장 최초로 액세스되도록 정해져 있는 층 등)에 모아서 기록해도 좋고, 각 층에 그 층에만 관한 기록막 특성 식별 정보를 기록해도 좋고, 각 층에 모든 층에 관한 기록막 특성 식별 정보를 기록해도 좋다.
또한, 기록막 특성 식별 정보를 기록하는 영역으로서는, BCA(Burst Cutting Area)나 디스크 정보 영역(데이터 기록 영역보다 내주측 또는/및 외주측에 있고, 주로 제어 정보를 저장하는 영역, 또한 재생 전용 영역에서 데이터 기록 영역보다 트랙 피치가 넓게 되어 있는 경우가 있음)이나 워블(워블에 중첩해서 기록) 등이 있고, 어느 하나의 영역 또는 어느 하나의 복수의 영역 또는 모든 영역에 기록해도 좋다.
이상, 실시형태를 구체적으로 참조하면서 본 발명을 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 이하와 같이 규정할 수도 있다. 즉, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법은, 광학적 정보 기록 매체의 포커스 에러 신호와 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차를 검사하는 검사 방법으로서, 상기 광학적 정보 기록 매체에 레이저광을 조사하고, 레이저광의 조사되고 있는 반경 위치에 따라, 선속도 일정 제어(CLV)로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 적어도 2개의 선속도인 제 1 선속도 Lv1와 제 2 선속도 Lv2(Lv1<Lv2)로 회전 속도를 전환하여, 상기 광학적 정보 기록 매체에 포커스 제어와 트랙킹 제어를 행하고, 상기 광학적 정보 기록 매체로부터의 반사광으로부터 포커스 에러 신호와 트랙킹 에러 신호를 생성하여, 상기 포커스 에러 신호와 상기 트랙킹 에러 신호의 출력 각각을, 소정의 포커스 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터와 트랙킹 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터를 통과시켜서 얻어지는 포커스 에러 신호의 잔류 오차(잔류 오차)와 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차(잔류 오차)를, 사전 결정된 소정의 기준값과 비교하여, 기준값을 만족하고 있는지 여부를 판단한다.
일국면에서는, 상기 광학적 정보 기록 매체의 제 1 반경 위치 R1로부터 제 2 반경 위치 R2(R1<R2)까지의 영역은, 상기 제 1 선속도 Lv1로 회전시킴으로써 상기 검사를 행하고, 상기 광학적 정보 기록 매체의 상기 제 2 반경 위치 R2로부터 외주 측의 영역은, 상기 제 2 선속도 Lv2로 회전시킴으로써 상기 검사를 행한다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도의 비율이 Lv2/Lv1=1.5 또는 Lv2/Lv1=2이다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 1 선속도가 Lv1=9.834m/sec이다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 2 반경 위치 R2는, Lv2/Lv1=1.5의 경우 33mm≤R2≤36mm의 범위에 있고, Lv2/Lv1=2.0의 경우, 44mm≤R2≤48mm의 범위에 있다.
또한, 일국면에서는, 상기 2개의 반경 위치 R1 및 R2와, 상기 2개의 선속도 Lv1 및 Lv2는 R2/R1=Lv2/Lv1의 관계를 만족시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 1 선속도로 검사할 때의 최대 회전 속도와, 상기 제 2 선속도로 검사할 때의 최대 회전 속도가 대략 동일한 최대 회전 속도이다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도는, 광학적 정보 기록 매체의 디스크 관리 영역(PIC 영역)에 미리 기록되어 있는 기입시의 선속도의 1/2 이하의 선속도로 검사를 행한다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 1 선속도로 회전시의 상기 포커스 제어의 서보 특성의 게인 교점과, 상기 제 2 선속도로 회전시의 상기 포커스 제어의 서보 특성의 게인 교점을 동일한 게인 교점의 서보 특성으로 검사하고, 상기 제 1 선속도로 회전시의 상기 트랙킹 제어의 서보 특성의 게인 교점과, 상기 제 2 선속도로 회전시의 상기 트랙킹 제어의 서보 특성의 게인 교점을 동일한 게인 교점의 서보 특성으로 검사한다.
또한, 일국면에서는, 상기 포커스 에러 신호용의 주파수 대역 제한 필터 내의, 컷오프 주파수 FcL의 로우패스 필터(LPF)와, 저역측 컷오프 주파수가 FcL과 고역측 컷오프 주파수가 FcH의 밴드패스 필터(BPF)의 2개의 상이한 필터의 각각 포커스 에러 신호가 입력되어, 상기 FcL과 FcH의 주파수를 제 1 선속도와 제 2 선속도의 선속도의 비율에 따라 스케일러블(scalable)하게 전환한다.
또한, 일국면에서는, 상기 트랙킹 에러 신호용의 주파수 대역 제한 필터 내의, 컷오프 주파수 TcL의 로우패스 필터(LPF)와, 저역측 컷오프 주파수가 TcL과 고역측 컷오프 주파수가 TcH의 밴드패스 필터(BPF)의 2개의 상이한 필터의 각각 트랙킹 에러 신호가 입력되어, 상기 TcL이 제 1 선속도와 제 2 선속도의 비율에 의하지 않고 일정하고, 상기 TcH를 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도의 선속도의 비율에 따라 스케일러블하게 전환한다.
또한, 일국면에서는, 상기 포커스 에러 신호의 상기 LPF 통과 후의 출력(F_LPF)과, 상기 포커스 에러 신호의 상기 BPF 통과 후의 출력(F_BPF)의 2개 주파수 대역의 출력과, 상기 트랙킹 에러 신호의 상기 LPF 통과 후의 출력(T_LPF)과, 상기 트랙킹 에러 신호의 상기 BPF 통과 후의 출력(T_BPF)의 2개 주파수 대역의 출력을, 사전 결정된 각각의 소정의 기준값과 비교하여, 기준값을 만족하고 있는지 여부를 판단한다.
또한, 일국면에서는, 반경 위치마다 상기 F_LPF, F_BPF, T_LPF, T_BPF의 4개의 출력을 상기 소정의 기준값과 비교할 때, 상기 4개의 출력을 제 1 선속도와 제 2 선속도 각각에 따른 기준값과 비교한다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 2 선속도에 있어서의 상기 F_LPF의 기준값은, 상기 제 1 선속도에 있어서의 상기 F_LPF의 기준값과 비교하여, 동등하거나 그 이상의 값이다.
또한, 일국면에서는, 상기 잔류 포커스 오차와 상기 잔류 트랙킹 오차를 검사할 때에, 상기 광학적 정보 기록 매체에 조사하는 레이저광의 재생 파워는 선속도에 관계없이 동일한 재생 파워로 검사를 행한다.
또한, 본 발명의 검사 장치는, 광학적 정보 기록 매체의 포커스 에러 신호와 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차를 검사하는 검사 장치로서, 상기 광학적 정보 기록 매체에 레이저광을 조사하는 광픽업과, 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시키는 스핀들 모터와, 상기 광학적 정보 기록 매체에 조사되고 있는 레이저광의 반경 위치에 따라, 선속도 일정 제어(CLV)하여, 상기 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 적어도 2개의 선속도인 제 1 선속도 Lv1와 제 2 선속도 Lv2(Lv1<Lv2)를 설정하는 회전 속도 설정부와, 포커스 제어와 트랙킹 제어를 행하는, 상기 광학적 정보 기록 매체의 반사광으로부터 포커스 에러 신호와 트랙킹 에러 신호를 생성하고, 상기 포커스 에러 신호의 출력으로부터, 포커스 에러 신호의 잔류 오차(잔류 오차)를 측정하는 포커스 신호 잔류 오차 측정부와, 상기 트랙킹 에러 신호의 출력으로부터 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차(잔류 오차)를 측정하는 트랙킹 신호 잔류 오차 측정부와, 상기 포커스 신호 잔류 오차 측정부와 상기 트랙킹 신호 잔류 오차 측정부에 있어서 측정한 각 반경 위치에 따른 잔류 오차 측정 결과를 유지하는 메모리와, 상기 잔류 오차 측정 결과와 사전 결정된 소정의 잔류 포커스 오차의 기준값 및 잔류 트랙킹 오차의 기준값을 비교하여, 상기 각각의 기준값을 만족하고 있는지 여부를 판단하는 판정부를 구비한다.
일국면에서는, 상기 포커스 에러 신호의 잔류 오차(잔류 오차)는, 상기 포커스 에러 신호의 출력을, 상기 포커스 신호 잔류 오차 측정부 내의 소정의 포커스 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터를 통과시킴으로써 생성하고, 상기 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차(잔류 오차)는, 상기 트랙킹 에러 신호의 출력을, 상기 트랙킹 신호 잔류 오차 측정부 내의 소정의 트랙킹 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터를 통과시킴으로써 생성한다.
또한, 일국면에서는, 광학적 정보 기록 매체에 레이저광을 조사하고, 조사되고 있는 반경 위치에 따라, 선속도 일정 제어(CLV)로 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 제 1 반경 위치 R1로부터 제 2 반경 위치 R2(R1<R2)까지의 영역은, 제 3 선속도 Lv3으로 회전시켜서 데이터를 기록하고, 제 2 반경 위치 R2로부터 외주 측의 영역은, 제 4 선속도 Lv4(Lv3<Lv4)로 회전시켜서 데이터를 기록하여, 상기 R1에 있어서의 상기 제 3 선속도의 최대 회전 속도와 상기 R2에 있어서의 상기 제 4 선속도의 최대 회전 속도가 대략 동일하도록 전환 반경 위치 R2가 정해져 있다.
또한, 일국면에서는, 상기 제 3 선속도가 Lv3=19.7m/sec이고, 상기 제 4 선속도가 Lv4=29.5m/sec 또는 39.4m/sec이고, 상기 제 2 반경 위치 R2는 Lv4/Lv3=1.5의 경우, 33mm≤R2≤36mm의 범위에 있고, Lv4/Lv3=2.0의 경우, 44mm≤R2≤48mm의 범위에 있다.
또한, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 정보 기록 방법은, 상기 검사 장치에 의해서 잔류 포커스 오차와 잔류 트랙킹 오차의 검사 결과를, 상기 메모리로부터 검색하여, 잔류 포커스 오차 및 잔류 트랙킹 오차가 사전 결정된 각각의 기준값을 초과하고 있는 경우, 하나 또는 복수의 기준값을 초과하고 있는 반경 위치 정보 중 최내주의 반경 위치 정보(Rx)를 검색하여, 상기 광학적 정보 기록 매체의 BCA 또는/및 추기 가능한 리드인 존 또는/및 리드아웃 존 내의 소정의 에어리어에 상기 반경 위치 정보(Rx)를 추기한다. 상기 반경 위치 정보 대신에, 또는, 상기 반경 위치 정보에 부가하여, 물리 어드레스 정보를 추기해도 좋다.
또한, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 정보 기록 방법은, 상기 검사 장치에 의해서 잔류 포커스 오차와 잔류 트랙킹 오차의 검사 결과를, 상기 메모리로부터 검색하여, 잔류 포커스 오차 또는 잔류 트랙킹 오차가 각 선속도의 기준값을 만족하고 있는지 판정하고, 상기 판정 결과에 따라서, 상기 광학적 정보 기록 매체의 BCA 또는/및 추기 가능한 리드인 존 또는/및 리드아웃 존 내의 소정의 에어리어에 최대 기록 가능 선속도(Sx)를 추기한다.
일국면에서는, 상기 리드인 존 또는/및 리드아웃 존 내의 PAC 또는 DMA 또는 OPC 테스트 존 또는 드라이브 에어리어 또는 DCZ(Drive Calibration Zone) 중 어느 하나 또는 복수에, 상기 최고 기록 선속도(Sx) 또는/및 상기 반경 위치 정보(Rx)를 추기한다. 상기 반경 위치 정보 대신에, 또는, 상기 반경 위치 정보에 부가하여, 물리 어드레스 정보를 추기해도 좋다.
또한, 일국면에서는, 미리 기록되어 있는 재생 전용의 관리 영역(PIC 영역)에 기재되어 있는 최대 선속도 정보가 19.7m/sec 이하이다.
또한, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체는 상기 광학적 정보 기록 매체로의 기록 방법을 이용하여 기록이 행해진다.
일국면에서는, 상기 광학적 정보 기록 매체는 6배속 이상으로 기입 가능한 블루레이 디스크(BD-R 또는 BD-RE)이다.
또한, 일국면에서는, 상기 광학적 정보 기록 매체는, BCA 또는, 리드인 존 또는/및 리드아웃 존 내가 리라이팅 가능한 영역 또는 추기 가능한 영역에 상기 최고 기록 선속도 정보(Sx) 또는/및 상기 반경 위치 정보(Rx)를 추기하는 에어리어가 마련되어 있다. 상기 반경 위치 정보 대신에, 또는, 상기 반경 위치 정보에 부가하여, 물리 어드레스 정보를 추기해도 좋다. 또한, 상기 광학적 정보 기록 매체가, 상기 반경 위치 정보/물리 어드레스 정보와 상이한 위치, 예컨대 상기 반경 위치/물리 어드레스보다 바깥쪽의 위치 또는 영역에서 상기 기준값을 만족시키는 경우, 상기 광학적 정보 기록 매체에 고유한 정보로서, 그 상이한 위치 또는 영역을 기록해도 좋다.
본 발명은 고밀도로 고속 기록 또는 재생이 가능한 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법, 검사 장치, 광학적 정보 기록 매체 및 정보 기록 방법에 바람직하게 이용된다. 이러한 고밀도로 고속 기록 또는 재생이 가능한 광학적 정보 기록 매체 및 이것에 대응한 기록 재생 장치는 디지털 가전 기기, 정보 처리 장치에 바람직하게 이용된다.

Claims (20)

  1. 광학적 정보 기록 매체를 검사하는 검사 방법으로서,
    상기 광학적 정보 기록 매체에 레이저광을 조사하여, 레이저광이 조사되고 있는 반경 위치에 따라, 선속도 일정 제어로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시키고,
    상기 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 적어도 2개의 선속도인 제 1 선속도 Lv1와 상기 제 1 선속도 Lv1보다 큰 제 2 선속도 Lv2로 회전 속도를 전환하고,
    상기 광학적 정보 기록 매체로부터의 반사광으로부터 포커스 에러 신호 및/또는 트랙킹 에러 신호를 생성하고,
    상기 포커스 에러 신호 및/또는 상기 트랙킹 에러 신호에 근거하여, 상기 광학적 정보 기록 매체를 조사하는 레이저광의 포커스 제어 및/또는 트랙킹 제어를 행하고,
    상기 포커스 에러 신호 및/또는 상기 트랙킹 에러 신호의 제어 루프로부터 분기한 출력을, 소정의 포커스 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터 및/또는 트랙킹 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터를 통과시킴으로써 얻어지는 포커스 에러 신호의 잔류 오차 및/또는 트랙킹 에러 신호의 잔류 오차를, 사전 결정된 소정의 기준값과 비교하는
    광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 반경 위치 R까지의 내주 측의 영역은, 상기 제 1 선속도 Lv1로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시킴으로써 상기 비교를 행하고, 상기 광학적 정보 기록 매체의 상기 소정의 반경 위치 R로부터 외주 측의 영역은, 상기 제 2 선속도 Lv2로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시킴으로써 상기 비교를 행하는 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도의 비율 Lv2/Lv1은 1.5 또는 2인 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 선속도 Lv1은 9.834m/sec 또는 4.917m/sec의 정의 실수배이고, 및/또는, 상기 제 2 선속도 Lv2는 14.751m/sec 또는 4.917m/sec의 정의 실수배인 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 소정의 반경 위치 R은, Lv2/Lv1=1.5의 경우, 33mm≤R≤36mm의 범위에 있고, Lv2/Lv1=2.0의 경우, 44mm≤R≤48mm의 범위에 있는 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도는, 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역에 미리 기록되어 있는 판독 및/또는 기입시의 선속도 중, 최대의 선속도의 각각 1/2 이하인 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 포커스 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 실시하는 경우의 상기 포커스 제어의 서보 특성의 게인 교점과, 상기 제 2 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 포커스 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 실시하는 경우의 상기 포커스 제어의 서보 특성의 게인 교점은 같고,
    상기 제 1 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 트랙킹 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 실시하는 경우의 상기 트랙킹 제어의 서보 특성의 게인 교점과, 상기 제 2 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 트랙킹 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과의 비교를 실시하는 경우의 상기 트랙킹 제어의 서보 특성의 게인 교점은 같은
    광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 포커스 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터는, 컷오프 주파수 LPF_FcL의 로우패스 필터 LPF와, 저역측 컷오프 주파수가 BPF_FcL이며, 고역측 컷오프 주파수가 BPF_FcH인 밴드패스 필터 BPF를 포함하고,
    상기 포커스 에러 신호의 제어 루프로부터 분기한 출력이, 상기 로우패스 필터 LPF 및 상기 밴드패스 필터 BPF에 입력되고,
    상기 제 1 및 제 2 선속도로 상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시켜서, 상기 포커스 제어를 행하여 상기 소정의 기준값과 비교하는 경우에 있어서, 상기 LPF_FcL, 상기 BPF_FcL 및 상기 BPF_FcH를, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도의 선속도의 비율에 따라 전환하는
    광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 트랙킹 에러 신호용 주파수 대역 제한 필터는, 컷오프 주파수 LPF_TcL의 로우패스 필터 LPF와, 저역측 컷오프 주파수가 BPF_TcL이며, 고역측 컷오프 주파수가 BPF_TcH인 밴드패스 필터 BPF를 포함하고,
    상기 트랙킹 에러 신호의 제어 루프로부터 분기한 출력이, 상기 로우패스 필터 LPF 및 상기 밴드패스 필터 BPF에 입력되고,
    상기 LPF_TcL 및 상기 BPF_TcL는 상기 제 1 및 제 2 선속도에 관계없이 일정하고,
    상기 BPF_FcH를, 상기 제 1 선속도와 상기 제 2 선속도의 선속도의 비율에 따라 전환하는
    광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 포커스 에러 신호의 상기 LPF 통과 후의 출력 F_LPF와, 상기 포커스 에러 신호의 상기 BPF 통과 후의 출력 F_BPF와, 상기 트랙킹 에러 신호의 상기 LPF 통과 후의 출력 T_LPF와, 상기 트랙킹 에러 신호의 상기 BPF 통과 후의 출력 T_BPF를, 각각 사전 결정된 소정의 기준값과 비교하는 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 반경 위치마다 상기 출력 F_LPF, F_BPF, T_LPF 및 T_BPF를 상기 소정의 기준값과 비교할 때, 상기 4개의 출력을 상기 제 1 선속도 및 상기 제 2 선속도 각각에 따른 기준값과 비교하는 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 선속도에 있어서의 상기 F_LPF의 기준값은, 상기 제 1 선속도에 있어서의 상기 F_LPF의 기준값 이상인 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 레이저광의 강도는 상기 선속도에 관계없이 동일한 광학적 정보 기록 매체의 검사 방법.
  14. 광학적으로 정보가 재생 및/또는 기록되는 광학적 정보 기록 매체로서,
    상기 광학적 정보 기록 매체에 대한 재생 및/또는 기록의 기준 속도에 대하여, k배(k는 정의 실수)의 속도가 속도 정보로서 상기 광학적 정보 기록 매체의 소 정의 영역에 기록되어 있고, 상기 광학적 정보 기록 매체에 대하여 소정의 검사를 행하는 경우에,
    상기 광학적 정보 기록 매체의 제 1 반경 위치의 범위에 있어서는, 제 1 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해지고,
    상기 제 1 반경 위치의 범위보다 외주 측에 있는 제 2 반경 위치의 범위에 있어서는, 제 2 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해지는
    광학적 정보 기록 매체.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 2 측정 속도는 상기 기준 속도의 k배보다 낮은 속도이고,
    상기 제 1 측정 속도는 상기 제 2 측정 속도보다 낮은 속도인
    광학적 정보 기록 매체.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 k는 6 이상의 정의 실수인 광학적 정보 기록 매체.
  17. 광학적으로 정보가 재생 및/또는 기록되는 광학적 정보 기록 매체로서,
    상기 광학적 정보 기록 매체에 대한 재생 및/또는 기록의 기준 속도에 대하여, m배(m은 정의 실수)의 속도가 속도 정보로서 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역에 기록되어 있는 제 1 광학적 정보 기록 매체인 경우에, 상기 제 1 광학적 정보 기록 매체는, 소정의 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해지고,
    상기 광학적 정보 기록 매체에 대한 재생 및/또는 기록의 기준 속도에 대하여, n배(n은 m보다 큰 정의 실수)의 속도가 상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역에 기록되어 있는 제 2 광학적 정보 기록 매체인 경우에, 상기 제 2 광학적 정보 기록 매체는, 상기 제 2 광학적 정보 기록 매체의 반경 위치에 따라 상이한 측정 속도를 이용하여 상기 검사가 행해지는
    광학적 정보 기록 매체.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제 2 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도의 한쪽은, 상기 제 1 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도보다 크고,
    상기 제 2 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도의 다른 한쪽은, 상기 제 1 광학적 정보 기록 매체에 대한 측정 속도 이상인
    광학적 정보 기록 매체.
  19. 제 17 항에 있어서,
    m은 4 이상의 정의 실수이고, 및/또는, n은 6 이상의 정의 실수인 광학적 정보 기록 매체.
  20. 청구항 17 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 규정되는 광학적 정보 기록 매체를 재생하는 방법으로서,
    상기 광학적 정보 기록 매체에 광을 조사하는 단계와,
    상기 광학적 정보 기록 매체의 소정의 영역으로부터 속도 정보를 재생하는 단계
    를 갖는 재생 방법.
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