KR20100016026A - 구동 안내 장치 - Google Patents

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KR20100016026A
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티에치케이 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 가동자에서 발생한 열을 효과적으로 방열하는 것이 가능한 구동 안내 장치를 제공하는 것이다. 리니어 모터에 의해, 레일(230)로 안내되어 이동하는 이동 유닛(100)을 구비하는 구동 안내 장치이며, 이동 유닛(100)은, 통전에 의해 자계를 발생하는 가동자(140)와, 가동자(140)에 대해 레일(230)이 고정되는 베이스(210)와는 반대측에 설치되는 테이블(110)을 갖고, 가동자(140)와 테이블(110) 사이에, 가동자(140)에서 발생한 열을 방열하는 방열 핀이 부착된 히트싱크(130)를 구비하는 구동 안내 장치에 있어서, 방열 핀이 부착된 히트싱크(130)에 있어서 완전히 방열되지 않은 열을 테이블(110)로 전하는 전열 경로가 설치되는 동시에, 테이블(110)은 열팽창 계수가 낮은 재료로 구성된다.
구동 안내 장치, 리니어 모터, 레일, 이동 유닛, 테이블

Description

구동 안내 장치 {DRIVE GUIDE DEVICE}
본 발명은 리니어 모터에 의해 구동하는 구동 안내 장치에 관한 것이다.
종래, 안내 가이드가 설치되는 베이스에 대해 이동하는 이동 유닛을 구비하는 구동 안내 장치가 알려져 있다. 또한, 이동 유닛의 구동원으로서 리니어 모터가 사용되는 것이 알려져 있다. 특허 문헌 1은 리니어 모터를 구동원으로 하는 구동 안내 장치의 구성을 개시하는 것이다.
리니어 모터를 구동원으로 하는 구동 안내 장치는, 통전됨으로써 자계를 발생하는 가동자를 이동 유닛에 구비한다. 또한, 베이스에 있어서의, 가동자와 대향하는 부분에 자석을 갖는 고정자를 구비한다.
이 구성에 의해, 가동자가 통전되어 가동자와 고정자 사이에 자기 상호력이 발생함으로써, 이동 유닛이 베이스에 대해 이동할 수 있다.
이 구성에 따르면, 가동자와 고정자가 비접촉의 상태로 이동 유닛이 이동하므로, 소음, 진동 등을 저감시킬 수 있다. 또한, 가동자와 고정자 사이에서 마찰이 발생하지 않으므로, 이동 유닛의 가속 성능을 향상시키는 것이 가능해진다.
도 10은 종래의 구동 안내 장치의 개략 구성을 도시하는 것이다. 도 10에 도시한 바와 같이, 구동 안내 장치에는 테이블(110), 이동 블록(120), 가동자(140) 로 구성되는 이동 유닛(100)을 구비한다. 또한, 베이스(210)에는 고정자(220)가 설치된다.
또한, 베이스(210)에는 이동 유닛(100)의 이동을 안내하기 위한 레일(230)(안내 가이드)이 고정되고, 이동 유닛(100)에 구비되는 이동 블록(120)이 레일(230)에 설치된다.
이동 블록(120)은 일반적으로 볼이나 롤러 등의 전동체를 통해, 어느 정도의 예압이 걸린 상태로 레일(230)에 대해 설치된다.
또한, 전동체를 통해 이동 블록(120)으로 예압을 거는 행위는, 이동 블록(120)과 레일(230) 사이에서 덜걱거림을 발생시키지 않기 위해 행해지는 것이다.
또한 이동 유닛(100)에는, 도 10에 도시한 바와 같이 가동자(140)와 테이블(110) 사이에 히트싱크(130)가 설치되고, 히트싱크(130) 상에는 복수의 방열 핀(150)이 형성된다.
이 방열 핀(150)은 가동자(140)에 통전하여 이동 유닛(100)을 이동시킬 때에, 가동자(140)로부터 발생하는 열을 테이블(110)로 전달시키지 않기 위해 설치되는 것이다.
즉, 가동자(140)를 통전했을 때에 가동자(140)에서 발생한 열이 테이블(110)로 전달되면, 테이블(110)이 열팽창을 일으켜 변형되어 버린다. 그리고, 테이블(110)이 변형되면, 테이블(110)이 만곡되어 이동 블록(120)과 레일(230)의 설치 상태가 불안정해져 버린다.
그 결과, 이동 블록(120)과 레일(230) 사이에서 덜걱거림이 발생하여 진동, 소음이 발생하거나, 또한 구동 안내 장치의 수명이 짧아지는 등의 문제가 발생한다.
이에 대해, 종래예에 관한 구동 안내 장치에 있어서는, 가동자(140)에서 발생하는 열을 테이블(110)로 전달시키지 않기 위해, 테이블(110)과 가동자(140) 사이에 단열재(400)를 설치하고 있다.
또한, 가동자(140)와 테이블(110) 사이에 방열 핀(150)을 설치하고, 방열 핀(150)에 의해, 가동자(140)에 있어서 발생한 열을 방열하고 있다.
특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 제2004-88981호 공보
그러나, 예를 들어 이동 유닛(100)의 추력을 올리기 위해, 보다 큰 자계를 발생시키는 가동자(140)를 사용하면, 가동자(140)에서 발생하는 열량이 증가해 버려, 종래의 구성에서는 그들의 열을 충분히 단열 또는 완전히 방열시킬 수 없다.
상기에서 설명한 바와 같이, 테이블(110)로 열이 전달되어 열팽창하면, 이동 블록(120)과 레일(230)의 설치 상태가 불안정해져, 이동 블록(120)과 레일(230) 사이에서 덜걱거림이 발생하여 진동, 소음이 발생하거나, 구동 안내 장치의 수명이 짧아진다.
본 발명은 이와 같은 실상을 감안하여 이루어진 것으로, 리니어 모터를 구동원으로서 사용하는 구동 안내 장치에 있어서, 가동자에서 발생한 열을 효과적으로 방열하는 것이 가능한 구동 안내 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 콤팩트한 구성으로 하면서도 추력이 큰 구동 안내 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 있어서는, 리니어 모터에 의해, 안내 가이드로 안내되어 이동하는 이동 유닛을 구비하는 구동 안내 장치이며, 상기 이동 유닛은, 통전에 의해 자계를 발생하는 가동자와, 상기 가동자에 대해 상기 안내 가이드가 고정되는 베이스와는 반대측에 설치되는 테이블을 갖고, 상기 가동자와 상기 테이블 사이에, 상기 가동자에서 발생한 열을 방열하는 방열 구조를 구비하는 구동 안내 장치에 있어서, 상기 방열 구조에 있어서 완전히 방열할 수 없는 열을 상기 테이블로 전달하는 전열 경로가 설치되는 동시에, 상기 테이블은 열팽창 계수가 낮은 재료로 구성되는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 따르면, 가동자와 테이블 사이에 설치된 방열 구조에 있어서 완전히 방열할 수 없는 열은 전열 경로를 통해 테이블로 전달된다. 그리고, 테이블로 전달된 열이 테이블에 있어서 방열되므로, 방열량을 증대시킬 수 있다.
또한, 테이블로 열이 전달되기는 하나, 테이블에는 열팽창 계수가 낮은 재료가 사용되므로, 테이블로 열이 전달됨으로써 발생하는 테이블의 열팽창을 저감시키는 것이 가능해진다.
또한, 상기 방열 구조는 상기 테이블과 상기 가동자 사이에 설치되는 복수의 핀을 갖는 히트싱크에 의해 구성되면 좋다.
이 구성에 따르면, 히트싱크에 설치된 복수의 핀에 의해, 가동자에서 발생한 열을 방열하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 히트싱크는 상기 테이블의 하면에 고정되어 있고, 이것이 고정되어 있는 부분을 통과하도록 상기 전열 경로가 형성되어 있는 구성이면 좋다.
또한, 상기 테이블은 열팽창 계수가 10.0 × (10-6/K) 이하의 재료이면 적합하다.
이 구성에 따르면, 가동자에서 발생한 열을 테이블로 전달한 것에 의해 발생하는 테이블의 열팽창을 저감시키는 것이 가능해진다.
또한, 상기 테이블에는 흑색 표면 처리가 실시되어 있는 것도 적합하다.
이 구성에 따르면, 테이블의 표면으로부터의 열방사에 의해, 효과적으로 방열을 하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 히트싱크에는 폭 방향의 양단부와 중앙부의 3개소에 벽부가 각각 형성되어, 각 벽부의 상면이 상기 테이블의 하면에 고정되는 동시에, 각 벽부 사이에, 상기 벽부보다도 높이가 낮은 핀이, 상기 벽부와 평행하게 복수 설치되도록 구성되는 것도 적합하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 가동자와 테이블 사이에 설치된 방열 구조에 있어서 완전히 방열할 수 없는 열을, 전열 경로를 통해 테이블로 전달시킴으로써, 테이블로부터 효율적으로 방열을 행하는 것이 가능하다. 따라서, 가동자에서 발생한 열을 효과적으로 방열하는 것이 가능한 구동 안내 장치를 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 실시 형태에 관한 구동 안내 장치의 사시도.
도 2는 본 실시 형태에 관한 구동 안내 장치의 정면도.
도 3은 본 실시 형태에 있어서의 안내 가이드와 이동 블록의 설치 구성도.
도 4는 본 실시 형태에 있어서의 안내 가이드와 이동 블록의 설치 구성도.
도 5는 본 실시 형태에 있어서의 이동 블록의 개략 구성도.
도 6은 본 실시 형태에 있어서의 방열 핀의 정면도.
도 7은 본 실시 형태에 있어서의 방열 핀의 사시도.
도 8은 미끄럼 안내의 안내 기구를 구비하는 구동 안내 장치의 개략 구성도.
도 9는 본 실시 형태에 있어서의 테이블의 사시도.
도 10은 종래예에 관한 구동 안내 장치의 개략 구성도.
[부호의 설명]
100 : 이동 유닛
110 : 테이블
111 : 구멍부
120 : 이동 블록
121 : 부하 구름 홈
122 : 리테이너
125 : 시일 부재
126 : 시일 부재
130 : 히트싱크
140 : 가동자
150 : 방열 핀
151 : 제1 방열 핀
152 : 제2 방열 핀
210 : 베이스
220 : 고정자
400 : 단열재
이하에 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를, 실시 형태에 기초하여 예시적으로 상세하게 설명한다. 단, 본 실시 형태에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그 상대 배치 등은, 특별히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 그들만으로 한정하는 취지의 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 관한 구동 안내 장치에 대해 설명한다.
[이동 유닛과 베이스의 구성]
도 1, 도 2에 본 실시 형태에 관한 구동 안내 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 1은 본 실시 형태에 관한 구동 안내 장치의 개략 구성의 사시도이다. 또한, 도 2는 본 실시 형태에 관한 구동 안내 장치의 단면에 있어서의 개략 구성도이다.
도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 구동 안내 장치는, 이동 유닛(100)과, 이동 유닛(100)의 이동 방향을 안내하는 안내 가이드로서의 레일(230)이 고정되는 베이스(210)를 구비한다.
그리고, 이동 유닛(100)에는, 통전됨으로써 자계를 발생하는 가동자(140)와, 테이블(110)과, 이동 블록(120)이 구비된다.
가동자(140)는 도시하지 않은 전자기자 코어(electromagnetic element core)와 전자기자 코일을 갖는다. 또한, 가동자(140)와 테이블(110) 사이에는 복수의 방열 핀(150)이 설치된 히트싱크(130)가 구비된다. 또한, 방열 핀이 부착된 히트싱크(130)의 구성에 대해서는 이후에 설명한다.
또한, 가동자(140)는 히트싱크(130)의 하면에 설치되고, 히트싱크(130)의 상면에는 복수의 방열 핀(150)이 설치된다. 또한, 히트싱크(130)에는 그 양단부와 중앙부의 3개소에 벽부(170)(전열 경로)가 설치되고, 각각의 벽부(170)의 상면이 테이블(110)의 하면에 볼트 등에 의해 고정된다.
그리고, 이 고정부가 테이블(110)과 히트싱크(130)의 전열 경로를 형성한다. 또한, 테이블(110)의 폭 방향의 양단부에는 각각 이동 블록(120)이 설치된다.
한편, 베이스(210)에는 이동 블록(120)의 이동을 안내하는 안내 가이드로서, 한 쌍의 레일(230)이 서로 평행하게 고정된다. 또한, 베이스(210)에는 가동자(140)와 대향하는 부분에 자석 등을 갖는 고정자(220)가 설치된다. 또한, 고정자(220)와 가동자(140) 사이에는 간극이 형성된다.
그리고, 이동 블록(120)이 레일(230)에 설치됨으로써, 이동 유닛(100)은 레일(230)을 따라서 이동 가능하게 구성된다. 또한, 이동 블록(120)과 레일(230)의 설치 부분의 구성 등에 관해서는, 이후에 설명한다.
이와 같이 구성되는 구동 안내 장치에 있어서, 도시하지 않은 전원으로부터 가동자(140)가 통전되면, 가동자(140)가 자계를 발생한다. 그리고, 고정자(220)가 형성하는 자계와의 자기 상호 작용에 의해, 가동자(140)가 설치되는 이동 유닛(100)이 레일(230)을 따라서 이동한다.
즉, 본 실시 형태에 있어서의 구동 안내 장치에 있어서는, 가동자(140)와 고정자(220)에 의해 구성되는 리니어 모터에 의해, 이동 유닛(100)이 베이스(210)에 대해 이동하는 구성이다.
[이동 블록과 레일의 설치 부분의 구성]
본 실시 형태에 있어서는, 이동 블록(120)과 레일(230) 사이에, 전동체(볼, 롤러 등)를 개재시킴으로써, 이동 블록(120)이 레일(230)로 안내되어 이동하는 것이 가능하다. 이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 이동 블록(120)과, 레일(230)의 설치 부분에 대해 설명한다. 여기서는, 전동체의 일례로서 볼을 사용한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 레일(230)에는 그 길이 방향을 따라서 전동체 구름면으로서의 볼 구름 홈(231)이 좌우 측면에 2조씩 형성된다. 한편, 이동 블록(120)에는 볼 구름 홈(231)에 대향하는 부하 전동체 구름로를 이루는 부하 구름 홈(121)을 포함하는, 무한 순환로가 형성된다.
그리고 무한 순환로에는 레일(230)에 대한 이동 블록(120)의 상대 이동에 수반하여, 볼 구름 홈(231)과 부하 구름 홈(121) 사이에서 구름 이동하여 순환하는 복수의 볼(232)이 배열, 수용되어 있다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 이동 블록(120)은 부하 구름 홈(121) 및 이것에 평행한 볼 복귀로를 구비하는 이동 블록 본체(120a)와, 이 이동 블록 본 체(120a)의 양단부에 각각 결합되는 한 쌍의 엔드 캡(120b)을 구비한다. 또한, 엔드 캡(120b)은 부하 구름 홈(121)과 볼 복귀로를 연결하는 것이다.
상기 이동 블록(120)에 형성된 부하 구름 홈(121)은 레일(230)에 형성된 각 볼 구름 홈(231)에 대향하여 형성되어 있고, 이들 부하 구름 홈(121)과 볼 구름 홈(231) 사이에는 복수의 볼(232)이 끼워 넣어져 있다.
그리고, 이들 복수의 볼(232)은 이동 블록(120)의 이동에 수반하여, 엔드 캡(120b)에 형성된 방향 전환로를 통해 볼 복귀로로 보내지고, 다시 부하 구름 홈(121)으로 유도되어, 무한 순환로를 순환한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 복수의 볼(232)은 유지 부재(235)에 의해 회전 가능하게 유지된다. 이 유지 부재(235)는 볼(232)과 교대로 배치된 리테이너(122)와, 리테이너(122)를 접속하는 박판 형상의 가요성을 갖는 벨트(234)로 구성된다.
또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 레일(230)의 상면과 이동 블록(120) 사이 및 레일(230)의 측면과 이동 블록(120) 사이에는 시일 부재(125, 126)가 배치된다. 시일 부재(125, 126)는 볼 구름 홈(231)과 부하 구름 홈(121) 사이에 충전되는 윤활제의 외부로의 누설 또는 외부로부터의 진애의 침입을 방지하기 위해 설치된다.
그런데 상기에서는, 레일(230)과 이동 블록(120)이 볼 등의 전동체(볼 또는 롤러)를 통해 이동하는 구성에 대해 설명하였지만, 본 실시 형태에 있어서의 구동 안내 장치의 구성은 이것으로 한정되지 않고, 양자가 서로 미끄러지는 구성을 채용해도 좋다.
도 8에 미끄럼 방식의 구동 안내 장치를 도시한다.
도 8에 도시한 바와 같이, 미끄럼 방식의 구동 안내 장치는 단면 직사각 형상의 레일(230)과, 레일(230)에 걸쳐진 상태로 하여 상대 운동 가능하게 조립 부착되어, 상면에 테이블(110)이 장착되는 이동 블록(120)을 갖는다.
레일(230)과 이동 블록(120) 사이에는 전동체는 설치되지 않고, 양자가 직접 접촉하여 이동한다.
[방열 핀의 구성]
도 1, 도 2에 도시하는 본 실시 형태에 관한 구동 안내 장치에 있어서의 방열 핀(150)의 설치 부분을 확대하여, 도 6, 도 7에 도시한다.
도 6, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기와 같이 구성되는 구동 안내 장치에 있어서는, 가동자(140)가 통전되어 발열한 경우에, 발생한 열을 방열하기 위한 방열 핀(150)을 설치하였다.
구체적으로는, 히트싱크(130)의 상면에 방열 핀(150)을 복수 설치하였다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 방열 핀(150)이 높이가 다른 제1 방열 핀(151)과 제2 방열 핀(152)을 포함하는 것으로 하였다.
또한, 제1 방열 핀(높은 쪽의 핀)(151)과 제2 방열 핀(낮은 쪽의 핀)(152)을 교대로 설치하였다. 또한, 방열 핀(150)은 이동 유닛(100)의 이동 방향과 평행이 되도록 배열하였다.
또한, 제1 방열 핀(151)은 그 표면적이 커지도록 높이를 가능한 한 크게 하였다. 한편, 치수 공차 등을 고려하여, 그 상면이 테이블(110)의 하면에 접촉하지 않는 높이로 설정하였다.
다음에, 방열의 메커니즘에 대해 설명한다. 우선, 리니어 모터의 구동과 함께 가동자(140)에서 발생한 열은, 상기에서 설명한 방열 핀이 부착된 히트싱크(130)로 전해진다. 또한, 방열 핀이 부착된 히트싱크(130)에는, 예를 들어 내부에 히트 파이프가 배치된 기지의 구성의 것을 사용하였다.
그리고, 히트싱크(130)로 전해진 열은, 히트싱크(130) 상에 구비되는 방열 핀(150)으로부터 방열된다. 도 6, 도 7에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 핀(높은 쪽의 핀) 사이에 제2 핀(낮은 쪽의 핀)을 설치하였다.
일반적으로 방열 핀의 방열 효율을 올리기 위한 방법으로서는, 방열 핀의 표면적을 늘리는 것이 고려된다. 특히, 복수의 방열 핀이 각각 평행하게 배열되는 경우에는, 방열 핀 전체의 총 표면적을 늘림으로써, 방열 효율을 올리는 것이 가능해진다.
구체적으로는, 1매 1매의 방열 핀을 크게 하여 표면적을 늘리거나, 또는 배열되는 방열 핀의 간격을 좁혀서, 단위 길이당의 방열 핀의 수를 늘리는 것 등이 고려된다. 그러나 그와 같이 하면, 방열 핀 사이의 스페이스에서 공기가 대류하기 어려워져 버린다.
따라서 본 실시 형태에 있어서는, 제1 방열 핀(151)과 제1 방열 핀(151) 사이에, 이들보다도 높이가 낮은 제2 방열 핀(152)을 설치하였다.
이 구성에 따르면, 우선, 높이가 높은 제1 방열 핀(151)에 의해 방열면의 면적을 확보할 수 있다. 또한, 제1 방열 핀(151)과 제1 방열 핀(151) 사이에 제2 방열 핀(152)을 설치함으로써, 제1 방열 핀(151)과 제1 방열 핀(151) 사이에서 공기 가 대류하는 공간을 확보할 수 있다.
그 결과, 방열 핀끼리의 간격을 좁혀서 단위 길이당의 방열 핀의 수를 늘리면서, 방열 핀 사이에서 공기가 대류할 수 있는 스페이스를 확보할 수 있어, 방열 효율을 올리는 것이 가능해진다.
또한, 방열 핀이 부착된 히트싱크(130)는 테이블(110)의 하면에 대해 히트싱크(130)에 설치되는 벽부(170)(전열 경로)의 상면이 고정된다. 도 6에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 벽부(170)를 테이블(110)의 양단부와 중앙부의 3개소 설치하는 구성이다.
이 구성에 따르면, 각각의 벽부(170)를 전열 경로로 하여, 히트싱크(130)로부터 테이블(110)로 열이 전달되는 것이 가능하다.
또한, 제1 방열 핀(151) 및 제2 방열 핀(152) 모두, 그 높이를 벽부(170)의 상면보다도 낮게 함으로써, 제1 방열 핀(151) 및 제2 방열 핀(152) 모두, 상면이 테이블(110)의 하면에 접촉하지 않는 구성으로 하였다.
[테이블의 구성]
또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 방열 핀(150)의 방열 효율을 더욱 향상시키기 위해, 테이블(110)의 방열 핀(150)과 대향하는 부분에 구멍부(111)를 형성하였다.
이 구성에 따르면, 테이블(110)의 방열 핀(150)과 대향하는 부분에 구멍부(111)를 형성함으로써, 방열 핀(150)으로부터 방열되는 열이, 구멍부(111)를 통해 테이블(110)의 외측으로 방출되기 쉬워진다.
그 결과, 방열 핀(150)으로부터의 방열량이 증가한다. 또한, 테이블(110)에 구멍부(111)를 형성하므로 테이블(110)을 경량화하는 것도 가능해진다.
또한, 구멍부(111)의 형상을 긴 구멍으로 함으로써, 테이블(110)의 폭 방향의 열 분포의 치우침을 억제할 수 있다.
여기서, 구동 안내 장치에 있어서 이동 유닛의 추력을 높이기 위해서는, 자계를 크게 해야만 해, 그것을 위해서는 코일의 수를 늘리거나, 코일을 크게 할 필요가 있다.
그로 인해, 높이 치수, 길이 치수, 폭 치수 중 적어도 어느 한쪽을 크게 해야만 한다. 그러나, 높이 치수를 높게 하면, 이동 유닛(100)의 높이가 높아져 버린다.
또한, 길이 치수를 길게 하면, 이동 유닛(100)의 이동 방향의 길이가 증가하므로, 그만큼 이동 유닛(100)의 이동 범위가 좁아져 버린다.
이와 같이, 높이 치수와 길이 치수에 제한이 있는 경우에는, 이동 유닛(100)의 추력을 높이기 위해서는, 테이블(110)의 폭 치수를 크게 할 수밖에 없다.
그 결과, 가동자(140) 및 테이블(110)의 폭 방향의 치수가 커진다. 그리고, 가동자(140) 및 테이블(110)의 폭 방향의 치수가 커지면, 가동자(140) 및 고정자(220)의 자기 흡인력 등에 의해, 테이블(110)의 이동 블록(120)을 지지점으로 하는 하방으로의 휨량이 증대된다.
특히, 테이블(110)에 긴 구멍(111)을 형성하는 경우, 긴 구멍의 형상을 테이블(110)의 이동 방향으로 긴 형상으로 하는 경우에는, 테이블(110)의 휨량은 커져 버린다.
그러나, 본 실시 형태와 같이 긴 구멍의 형상을 테이블(110)의 이동 방향에 직교하는 방향으로 긴 형상으로 함으로써, 긴 구멍의 형상을 테이블(110)의 이동 방향으로 긴 형상으로 하는 경우보다도, 테이블(110)의 휨량을 저감시키는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 테이블(110)로 전달된 열을 보다 효과적으로 방열하기 위해, 테이블(110)의 표면에 흑색 표면 처리를 실시하는 구성으로 하였다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 테이블(110)로 열이 전달된 경우에도 테이블(110)의 열팽창량을 억제하기 위해, 테이블(110)에는 종래의 알루미늄 합금(열팽창 계수 1.9 × 10-5/K 내지 2.3 × 10-5/K)이나 철(열팽창 계수 1.1 × 10-5/K 내지 1.2 × 10-5/K)에 대해, 주식회사 에노모토 주공소제 노비나이트(등록 상표) CD-5(열팽창 계수 2.5 × 10-6/K 내지 3.5 × 10-6/K)를 사용하였다.
이 구성에 따르면, 방열 핀(150)으로 완전히 방열할 수 없었던 열이 테이블(110)로 전달되는 경우에, 테이블(110)의 열팽창량을 저감시킬수 있다. 즉, 방열 핀(150)으로 완전히 방열할 수 없는 열을 테이블(110)에서 방열하면서, 테이블(110)의 열팽창을 억제할 수 있다.
또한, 종래와 같이 가동자(140)와 테이블(110) 사이에 단열재를 끼우면, 일반적으로 단열재의 강성은 낮기 때문에, 장치 본체의 강도가 부족해져 버린다. 그 러나, 본 실시 형태에 있어서는, 가동자(140)와 테이블(110) 사이에 단열재를 설치하는 구성이 아니므로, 장치 본체의 강도를 향상시키는 것이 가능해진다.
(그 밖의 실시 형태)
상기에서는 제1 방열 핀(151)과 제2 방열 핀(152)을 교대로 배열하였지만, 제1 방열 핀(151)과 제1 방열 핀(151) 사이에 제2 방열 핀(152)을 복수 설치하는 구성이라도 좋다. 구체적으로는, 제1 방열 핀(151)과 제1 방열 핀(151) 사이에 제2 방열 핀(152)을 2매 설치하는 구성 등을 들 수 있다.
또한, 상기에서는 방열 핀(150)은 높이가 다른 2종류의 방열 핀[제1 방열 핀(151)과 제2 방열 핀(152)]을 포함하는 구성으로 하였다. 그러나, 제1 방열 핀(151), 제2 방열 핀(152) 외에, 제1, 제2 방열 핀과 높이가 다른 방열 핀을 갖는 구성이라도 좋다. 또한, 히트싱크(130)의 열을 보다 효과적으로 방열하기 위해, 히트싱크(130)의 표면에 흑색 표면 처리를 실시하는 구성으로 해도 좋다.

Claims (6)

  1. 리니어 모터에 의해, 안내 가이드로 안내되어 이동하는 이동 유닛을 구비하는 구동 안내 장치이며,
    상기 이동 유닛은,
    통전에 의해 자계를 발생하는 가동자와,
    상기 가동자에 대해 상기 안내 가이드가 고정되는 베이스와는 반대측에 설치되는 테이블을 갖고,
    상기 가동자와 상기 테이블 사이에, 상기 가동자에서 발생한 열을 방열하는 방열 구조를 구비하는 구동 안내 장치에 있어서,
    상기 방열 구조에 있어서 완전히 방열할 수 없는 열을 상기 테이블로 전달하는 전열 경로가 설치되는 동시에,
    상기 테이블은,
    열팽창 계수가 낮은 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는, 구동 안내 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 방열 구조는,
    상기 테이블과 상기 가동자 사이에 설치되는 복수의 핀을 갖는 히트싱크에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는, 구동 안내 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 히트싱크는,
    상기 테이블의 하면에 고정되어 있고,
    이것이 고정되어 있는 부분을 통과하도록 상기 전열 경로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 구동 안내 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 테이블의 열팽창 계수는,
    10.0 × (10-6/K) 이하인 것을 특징으로 하는, 구동 안내 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 테이블에는,
    흑색 표면 처리가 실시되어 있는 것을 특징으로 하는, 구동 안내 장치.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 히트싱크에는,
    폭 방향의 양단부와 중앙부의 3개소에 각각 벽부가 형성되고,
    각 벽부의 상면이 상기 테이블의 하면에 고정되는 동시에,
    각 벽부 사이에,
    상기 벽부보다도 높이가 낮은 핀이, 상기 벽부와 평행하게 복수 설치되는 것을 특징으로 하는, 구동 안내 장치.
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