JPWO2008123287A1 - 駆動案内装置 - Google Patents

駆動案内装置 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2008123287A1
JPWO2008123287A1 JP2009509134A JP2009509134A JPWO2008123287A1 JP WO2008123287 A1 JPWO2008123287 A1 JP WO2008123287A1 JP 2009509134 A JP2009509134 A JP 2009509134A JP 2009509134 A JP2009509134 A JP 2009509134A JP WO2008123287 A1 JPWO2008123287 A1 JP WO2008123287A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
mover
drive guide
fins
rail
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009509134A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5468897B2 (ja
Inventor
浅生 利之
利之 浅生
旭弘 海野
旭弘 海野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THK Co Ltd
Original Assignee
THK Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THK Co Ltd filed Critical THK Co Ltd
Priority to JP2009509134A priority Critical patent/JP5468897B2/ja
Publication of JPWO2008123287A1 publication Critical patent/JPWO2008123287A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5468897B2 publication Critical patent/JP5468897B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K9/00Arrangements for cooling or ventilating
    • H02K9/22Arrangements for cooling or ventilating by solid heat conducting material embedded in, or arranged in contact with, the stator or rotor, e.g. heat bridges
    • H02K9/227Heat sinks

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
  • Motor Or Generator Cooling System (AREA)

Abstract

可動子で生じた熱を効果的に放熱することが可能な駆動案内装置を提供する。リニアモータによって、レール230に案内されて移動する移動ユニット100を備える駆動案内装置であって、移動ユニット100は、通電によって磁界を発生する可動子140と、可動子140に対してレール230が固定される基台210とは反対側に設けられるテーブル110と、を有し、可動子140とテーブル110との間に、可動子140で生じた熱を放熱する放熱フィン付きヒートシンク130を備える駆動案内装置において、放熱フィン付きヒートシンク130において放熱しきれない熱をテーブル110へ伝える伝熱経路が設けられるとともに、テーブル110は、熱膨張係数の低い材料から構成される。

Description

本発明は、リニアモータによって駆動する駆動案内装置に関する。
従来、案内ガイドが設けられる基台に対して移動する移動ユニットを備える駆動案内装置が知られている。また、移動ユニットの駆動源としてリニアモータが用いられるものが知られている。特許文献1は、リニアモータを駆動源とする駆動案内装置の構成を開示するものである。
リニアモータを駆動源とする駆動案内装置は、通電されることで磁界を生じる可動子を移動ユニットに備える。また、基台における、可動子と対向する部分に磁石を有する固定子を備える。
この構成により、可動子が通電されて可動子と固定子の間に磁気相互力が生じることで、移動ユニットが基台に対して移動することが出来る。
この構成によれば、可動子と固定子が非接触の状態で移動ユニットが移動するので、騒音、振動等を低減させることができる。さらに、可動子と固定子との間で摩擦が生じないので、移動ユニットの加速性能を向上させることが可能になる。
図10は、従来の駆動案内装置の概略構成を示すものである。図10に示すように、駆動案内装置には、テーブル110、移動ブロック120、可動子140、から構成される移動ユニット100を備える。また、基台210には、固定子220が設けられる。
また、基台210には、移動ユニット100の移動を案内するためのレール230(案内ガイド)が固定され、移動ユニット100に備えられる移動ブロック120がレール230に取り付けられる。
移動ブロック120は、一般的にボールやローラなどの転動体を介して、ある程度の予圧がかけられた状態でレール230に対して取り付けられる。
なお、転動体を介して移動ブロック120へ予圧をかける行為は、移動ブロック120とレール230の間でガタを生じさせないために行われるものである。
さらに移動ユニット100には、図10に示すように可動子140とテーブル110との間にヒートシンク130が設けられ、ヒートシンク130上には複数の放熱フィン150が形成される。
この放熱フィン150は、可動子140に通電して移動ユニット100を移動させる際に、可動子140から生じる熱をテーブル110へ伝達させないために設けられるものである。
すなわち、可動子140を通電した際に可動子140で生じた熱がテーブル110へ伝達すると、テーブル110が熱膨張を起こして変形してしまう。そして、テーブル110が変形すると、テーブル110が湾曲して移動ブロック120とレール230との取り付け状態が不安定になってしまう。
その結果、移動ブロック120とレール230の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、また、駆動案内装置の寿命が短くなるといった問題を生じる。
これに対し、従来例に係る駆動案内装置においては、可動子140で生じる熱をテーブル110へ伝達させない為に、テーブル110と可動子140の間に断熱材400を設けている。
さらに、可動子140とテーブル110との間に放熱フィン150を設け、放熱フィン150によって、可動子140において生じた熱を放熱している。
特開2004−88981号公報
しかしながら、例えば移動ユニット100の推力を上げるために、より大きな磁界を発生させる可動子140を用いると、可動子140で生じる熱量が増加してしまい、従来の構成では、それらの熱を十分に断熱または放熱しきれない。
上記で説明したように、テーブル110に熱が伝達して熱膨張すると、移動ブロック120とレール230の取り付け状態が不安定になり、移動ブロック120とレール230の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、駆動案内装置の寿命が短くなる。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、リニアモータを駆動源として用いる駆動案内装置において、可動子で生じた熱を効果的に放熱することが可能な駆動案内装置を提供することを目的とする。また、コンパクトな構成としながらも推力の大きい駆動案内装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明にあっては、リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、前記移動ユニットは、通電によって磁界を発生する可動子と、前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、を有し、前記可動子と前記テーブルとの間に、前記可動子で生じた熱を放熱する放熱構造を備える駆動案内装置において、前記放熱構造において放熱しきれない熱を前記テーブルへ伝える伝熱経路が設けられるとともに、前記テーブルは、熱膨張係数の低い材料から構成されることを特徴とする。
この構成によると、可動子とテーブルとの間に設けられた放熱構造において放熱しきれない熱は伝熱経路を介してテーブルに伝わる。そして、テーブルに伝わった熱がテーブルにおいて放熱されるため、放熱量を増大させることができる。
また、テーブルに熱が伝わってしまうものの、テーブルには熱膨張係数の低い材料が用いられるので、テーブルに熱が伝わることで生じるテーブルの熱膨張を低減させることが可能になる。
また、前記放熱構造は、前記テーブルと前記可動子の間に設けられる複数のフィンを有するヒートシンクによって構成されるとよい。
この構成によると、ヒートシンクに設けられた複数のフィンによって、可動子で生じた熱を放熱することが可能になる。
また、前記ヒートシンクは、前記テーブルの下面に固定されており、これが固定されている部分を通るように前記伝熱経路が形成されている構成であるとよい。
また、前記テーブルは、熱膨張係数が10.0×(10−6/K)以下の材料であると好適である。
この構成によると、可動子で生じた熱をテーブルに伝熱したことによって生じるテーブルの熱膨張を低減させることが可能になる。
また、前記テーブルには、黒色表面処理が施されていることも好適である。
この構成によると、テーブルの表面からの熱放射により、効果的に放熱をすることが可能になる。
また、前記ヒートシンクには、幅方向の両端と中央部の3箇所に壁部がそれぞれ形成され、各壁部の上面が前記テーブルの下面に固定されるとともに、各壁部間に、前記壁部よりも高さの低いフィンが、前記壁部と平行に複数設けられるように構成されることも好適である。
以上説明したように、本発明によれば、可動子とテーブルとの間に設けられた放熱構造において放熱しきれない熱を、伝熱経路を介してテーブルへ伝熱させることで、テーブルから効率的に放熱を行うことが可能である。よって、可動子で生じた熱を効果的に放熱することが可能な駆動案内装置を提供することが可能になる。
本実施の形態に係る駆動案内装置の斜視図 本実施の形態に係る駆動案内装置の正面図 本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図 本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図 本実施の形態における移動ブロックの概略構成図 本実施の形態における放熱フィンの正面図 本実施の形態における放熱フィンの斜視図 すべり案内の案内機構を備える駆動案内装置の概略構成図 本実施の形態におけるテーブルの斜視図 従来例に係る駆動案内装置の概略構成図
符号の説明
100 移動ユニット
110 テーブル
111 孔部
120 移動ブロック
121 負荷転走溝
122 間座
125 シール部材
126 シール部材
130 ヒートシンク
140 可動子
150 放熱フィン
151 第1の放熱フィン
152 第2の放熱フィン
210 基台
220 固定子
400 断熱材
以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施の形態に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
以下、図1〜図9を参照して、本発明の実施の形態に係る駆動案内装置について説明する。
[移動ユニットと基台の構成]
図1、図2に、本実施の形態に係る駆動案内装置の概略構成を示す。図1は、本実施の形態に係る駆動案内装置の概略構成の斜視図である。また、図2は本実施の形態に係る駆動案内装置の断面における概略構成図である。
図1、2に示すように、本実施の形態に係る駆動案内装置は、移動ユニット100と、移動ユニット100の移動方向を案内する案内ガイドとしてのレール230が固定される基台210と、を備える。
そして、移動ユニット100には、通電されることで磁界を生じる可動子140と、テーブル110と、移動ブロック120と、が備えられる。
可動子140は、不図示の電磁子コアと電磁子コイルを有する。また、可動子140とテーブル110との間には、複数の放熱フィン150が設けられたヒートシンク130が備えられる。なお、放熱フィン付きのヒートシンク130の構成については後に説明する。
また、可動子140は、ヒートシンク130の下面に設けられ、ヒートシンク130の上面には、複数の放熱フィン150が設けられる。さらにヒートシンク130には、その両端と中央部の3箇所に壁部170(伝熱経路)が設けられ、それぞれの壁部170の上面がテーブル110の下面にボルト等によって固定される。
そして、この固定部がテーブル110とヒートシンク130の伝熱経路を形成する。また、テーブル110の幅方向の両端には、それぞれ移動ブロック120が設けられる。
一方、基台210には、移動ブロック120の移動を案内する案内ガイドとして、一対のレール230が互いに平行に固定される。また、基台210には、可動子140と対向する部分に磁石等を有する固定子220が設けられる。なお、固定子220と可動子140との間には隙間が設けられる。
そして、移動ブロック120がレール230に取り付けられることで、移動ユニット100はレール230に沿って移動自在に構成される。なお、移動ブロック120とレール230の取り付け部分の構成等に関しては、後に説明する。
このように構成される駆動案内装置において、不図示の電源から可動子140が通電されると、可動子140が磁界を生じる。そして、固定子220が形成する磁界との磁気相互作用によって、可動子140が設けられる移動ユニット100がレール230に沿って移動する。
すなわち、本実施の形態における駆動案内装置においては、可動子140と固定子220とによって構成されるリニアモータによって、移動ユニット100が基台210に対して移動する構成である。
[移動ブロックとレールの取り付け部分の構成]
本実施の形態においては、移動ブロック120とレール230との間に、転動体(ボール、ローラ等)を介在させることで、移動ブロック120がレール230に案内されて移動することが可能である。以下、図3〜図5を参照して、移動ブロック120と、レール230の取り付け部分について説明する。ここでは、転動体の一例としてボールを用いる。
図4に示すように、レール230には、その長手方向に沿って転動体転走面としてのボール転走溝231が左右側面に2条ずつ形成される。一方、移動ブロック120には、ボール転走溝231に対向する負荷転動体転走路をなす負荷転走溝121を含む、無限循環路が形成される。
そして無限循環路には、レール230に対する移動ブロック120の相対移動に伴って、ボール転走溝231と負荷転走溝121との間で転動して循環する複数のボール232が配列、収容されている。
また、図3に示すように、移動ブロック120は、負荷転走溝121及び、これに平行なボール戻し路を備える移動ブロック本体120aと、この移動ブロック本体120aの両端にそれぞれ結合される一対のエンドキャップ120bと、を備える。なお、エンドキャップ120bは、負荷転走溝121とボール戻し路を連結するものである。
上記移動ブロック120に形成された負荷転走溝121は、レール230に形成された各ボール転走溝231に対向して形成されており、これら負荷転走溝121とボール転走溝231との間には複数のボール232が挟み込まれている。
そして、これら複数のボール232は、移動ブロック120の移動に伴い、エンドキャップ120bに形成された方向転換路を介してボール戻し路へと送り込まれ、再び負荷転走溝121に導かれ、無限循環路を循環する。
図5に示すように、複数のボール232は、保持部材235によって回転自在に保持される。この保持部材235は、ボール232と交互に配置された間座122と、間座122を接続する薄板状の可撓性を有するベルト234とで構成される。
また、図4に示すように、レール230の上面と移動ブロック120との間、並びにレール230の側面と移動ブロック120との間には、シール部材125、126が配設される。
シール部材125、126は、ボール転走溝231と負荷転走溝121との間に充填される潤滑剤の外部への漏れ、または外部からの塵埃の侵入を防ぐために設けられる。
ところで上記では、レール230と移動ブロック120がボールなどの転動体(ボール又はローラ)を介して移動する構成について説明したが、本実施の形態における駆動案内装置の構成はこれに限らず、両者が互いにすべる構成を採用してもよい。
図8に、すべり方式の駆動案内装置を示す。
図8に示すように、すべり方式の駆動案内装置は、断面矩形状のレール230と、レール230に跨架状態にして相対運動自在に組み付けられ、上面にテーブル110が装着される移動ブロック120を有する。
レール230と移動ブロック120の間には転動体は設けられず、両者が直接当接して移動する。
[放熱フィンの構成]
図1、図2に示す本実施の形態に係る駆動案内装置における放熱フィン150の取り付け部分を拡大して、図6、図7に示す。
図6、図7に示すように、上記のように構成される駆動案内装置においては、可動子140が通電されて発熱した場合に、生じた熱を放熱するための放熱フィン150を設けた。
具体的には、ヒートシンク130の上面に、放熱フィン150を複数設けた。また、本実施の形態においては、放熱フィン150が高さの異なる第1の放熱フィン151と第2の放熱フィン152を含むものとした。
さらに第1の放熱フィン(高いほうのフィン)151と第2の放熱フィン(低いほうのフィン)152を交互に設けた。また、放熱フィン150は、移動ユニット100の移動方向と平行になるように並べた。
また、第1の放熱フィン151は、その表面積が大きくなるように高さをできる限り大きくした。一方で、寸法公差等を考慮して、その上面がテーブル110の下面に当接しない高さに設定した。
次に放熱のメカニズムについて説明する。まず、リニアモータの駆動と共に可動子140で発生した熱は、上記で説明した放熱フィン付きヒートシンク130に伝わる。なお、放熱フィン付きヒートシンク130には、例えば内部にヒートパイプが配設された既知の構成のものを用いた。
そして、ヒートシンク130に伝わった熱は、ヒートシンク130上に備えられる放熱フィン150から放熱される。図6、図7に示すように、本実施の形態においては、第1のフィン(高いほうのフィン)の間に第2のフィン(低いほうのフィン)を設けた。
一般的に放熱フィンの放熱効率を上げるための手法としては、放熱フィンの表面積を増やすことが考えられる。特に複数の放熱フィンがそれぞれ平行に配列されるような場合では、放熱フィン全体の総表面積を増やすことで、放熱効率を上げることが可能となる。
具体的には、1枚1枚の放熱フィンを大きくして表面積を増やす、または並べられる放熱フィンの間隔を狭めて、単位長さあたりの放熱フィンの数を増やす、などが考えられる。しかしそうすると、放熱フィンの間のスペースで空気が対流しにくくなってしまう。
そこで本実施の形態においては、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間に、これらよりも高さの低い第2の放熱フィン152を設けた。
この構成によると、まず、高さの高い第1の放熱フィン151によって放熱面の面積を確保することが出来る。さらに、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間に第2の放熱フィン152を設置することで、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間で空気が対流する空間を確保することができる。
その結果、放熱フィン同士の間隔を狭めて単位長さ辺りの放熱フィンの数を増やしつつ、放熱フィン間で空気が対流できるスペースを確保することができ、放熱効率を上げることが可能になる。
また、放熱フィン付きヒートシンク130は、テーブル110の下面に対してヒートシンク130に設けられる壁部170(伝熱経路)の上面が固定される。図6に示すように、本実施の形態においては、壁部170を、テーブル110の両端と中央部の3箇所設ける構成である。
この構成によれば、それぞれの壁部170を伝熱経路として、ヒートシンク130からテーブル110へ熱が伝わることが可能である。
また、第1の放熱フィン151、及び第2の放熱フィン152ともに、その高さを壁部170の上面よりも低くすることで、第1の放熱フィン151、及び第2の放熱フィン152ともに、上面がテーブル110の下面に当接しない構成とした。
[テーブルの構成]
また、図9に示すように、本実施の形態においては、放熱フィン150の放熱効率をさらに向上させるために、テーブル110の放熱フィン150と対向する部分に孔部111を形成した。
この構成によると、テーブル110の放熱フィン150と対向する部分に孔部111を形成することで、放熱フィン150から放熱される熱が、孔部111を通じてテーブル110の外側へ逃げやすくなる。
その結果、放熱フィン150からの放熱量が増加する。また、テーブル110に孔部111を形成するのでテーブル110を軽量化することも可能になる。
また、孔部111の形状を長孔とすることで、テーブル110の幅方向の熱分布の偏りを抑制できる。
ここで、駆動案内装置において移動ユニットの推力を高めるためには、磁界を大きくしなければならず、そのためにはコイルの数を増やしたり、コイルを大きくする必要がある。
そのため、高さ寸法、長さ寸法、幅寸法のうち少なくともいずれかを大きくしなければならない。しかしながら、高さ寸法を高くすると、移動ユニット100の高さが高くなってしまう。
また、長さ寸法を長くすると、移動ユニット100の移動方向の長さが増えるために、その分移動ユニット100の移動範囲が狭まってしまう。
このように、高さ寸法と長さ寸法に制限がある場合は、移動ユニット100の推力を高めるためには、テーブル110の幅寸法を大きくせざるを得ない。
その結果、可動子140、及びテーブル110の幅方向の寸法が大きくなる。そして、可動子140、及びテーブル110の幅方向の寸法が大きくなると、可動子140及び固定子220の磁気吸引力等により、テーブル110の移動ブロック120を支点とする下方への撓み量が増大する。
特に、テーブル110に長孔111を設ける場合、長孔の形状をテーブル110の移動方向に長い形状とする場合は、テーブル110の撓み量は大きくなってしまう。
しかし、本実施の形態のように長孔の形状をテーブル110の移動方向に直交する方向に長い形状とすることで、長孔の形状をテーブル110の移動方向に長い形状とする場合よりも、テーブル110の撓み量を低減させることが可能になる。
また、本実施の形態においては、テーブル110に伝わった熱をより効果的に放熱するために、テーブル110の表面に黒色表面処理を施す構成とした。
さらに、本実施の形態においては、テーブル110に熱が伝わった場合でもテーブル110の熱膨張量を抑えるために、テーブル110には、従来のアルミニウム合金(熱膨張係数1.9×10−5/K〜2.3×10−5/K)や鉄(熱膨張係数1.1×10−5/K〜1.2×10−5/K)に対して、株式会社榎本鋳工所製ノビナイト(登録商標)CD−5(熱膨張係数2.5×10−6/K〜3.5×10−6/K)を用いた。
この構成によれば、放熱フィン150で放熱しきれなかった熱がテーブル110に伝わる場合に、テーブル110の熱膨張量を低減させることができる。すなわち、放熱フィン150で放熱しきれない熱をテーブル110で放熱しつつ、テーブル110の熱膨張を抑えることができる。
なお、従来のように可動子140とテーブル110の間に断熱材を挟むと、一般的に断熱材の剛性は低いので、装置本体の強度が不足してしまう。しかし、本実施の形態においては、可動子140とテーブル110の間に断熱材を設ける構成ではないので、装置本体の強度を向上させることが可能になる。
(その他の実施の形態)
上記では第1の放熱フィン151と第2の放熱フィン152を交互に配列したが、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151との間に第2の放熱フィン152を複数設ける構成であってもよい。具体的には、第1の放熱フィン151と第1の放熱フィン151の間に第2の放熱フィン152を2枚設ける構成などが挙げられる。
また、上記では放熱フィン150は、高さの異なる2種類の放熱フィン(第1の放熱フィン151と第2の放熱フィン152)を含む構成とした。しかし、第1の放熱フィン151、第2の放熱フィン152の他に、第1、第2の放熱フィンと高さが異なる放熱フィンを有する構成であってもよい。また、ヒートシンク130の熱をより効果的に放熱するために、ヒートシンク130の表面に黒色表面処理を施す構成としてもよい。

Claims (6)

  1. リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、
    前記移動ユニットは、
    通電によって磁界を発生する可動子と、
    前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、
    を有し、
    前記可動子と前記テーブルとの間に、前記可動子で生じた熱を放熱する放熱構造を備える駆動案内装置において、
    前記放熱構造において放熱しきれない熱を前記テーブルへ伝える伝熱経路が設けられるとともに、
    前記テーブルは、
    熱膨張係数の低い材料から構成されることを特徴とする駆動案内装置。
  2. 前記放熱構造は、
    前記テーブルと前記可動子の間に設けられる複数のフィンを有するヒートシンクによって構成されることを特徴とする請求項1に記載の駆動案内装置。
  3. 前記ヒートシンクは、
    前記テーブルの下面に固定されており、
    これが固定されている部分を通るように前記伝熱経路が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の駆動案内装置。
  4. 前記テーブルの熱膨張係数は、
    10.0×(10−6/K)以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の駆動案内装置。
  5. 前記テーブルには、
    黒色表面処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の駆動案内装置。
  6. 前記ヒートシンクには、
    幅方向の両端と中央部の3箇所にそれぞれ壁部が形成され、
    各壁部の上面が前記テーブルの下面に固定されるとともに、
    各壁部間に、
    前記壁部よりも高さの低いフィンが、前記壁部と平行に複数設けられることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の駆動案内装置。
JP2009509134A 2007-03-30 2008-03-26 駆動案内装置 Active JP5468897B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009509134A JP5468897B2 (ja) 2007-03-30 2008-03-26 駆動案内装置

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007094551 2007-03-30
JP2007094551 2007-03-30
PCT/JP2008/055676 WO2008123287A1 (ja) 2007-03-30 2008-03-26 駆動案内装置
JP2009509134A JP5468897B2 (ja) 2007-03-30 2008-03-26 駆動案内装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2008123287A1 true JPWO2008123287A1 (ja) 2010-07-15
JP5468897B2 JP5468897B2 (ja) 2014-04-09

Family

ID=39830775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009509134A Active JP5468897B2 (ja) 2007-03-30 2008-03-26 駆動案内装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9088201B2 (ja)
JP (1) JP5468897B2 (ja)
KR (1) KR101412898B1 (ja)
CN (1) CN101652916B (ja)
DE (1) DE112008000715B4 (ja)
TW (1) TWI439018B (ja)
WO (1) WO2008123287A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8922068B2 (en) * 2011-07-11 2014-12-30 Baldor Electric Company Linear drive motor with improved bearing system
MX2015015425A (es) * 2013-05-07 2016-03-15 Magnadrive Corp Aparatos, sistemas y metodos para reducir ruido generado mediante acoplamientos y accionamientos rotatorios.
EP3331801A1 (en) * 2015-08-07 2018-06-13 Otis Elevator Company Elevator linear propulsion system with cooling device
JP6917848B2 (ja) * 2017-09-26 2021-08-11 株式会社Screenホールディングス ステージ駆動装置および描画装置
CN107591982A (zh) * 2017-11-02 2018-01-16 哈尔滨泰富电机有限公司 三相u型直线异步电动机

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2117667U (zh) * 1992-03-19 1992-09-30 赵世昌 自调气隙直线电机推车机
JP2686893B2 (ja) * 1993-03-04 1997-12-08 株式会社日本マイクロニクス 半導体チップソケット
US5864187A (en) * 1997-03-27 1999-01-26 Ford Global Technologies, Inc. Fully enclosed linear motor armature
JP2000286469A (ja) * 1999-03-30 2000-10-13 Nissan Motor Co Ltd 熱電発電装置
JP2001112210A (ja) * 1999-10-08 2001-04-20 Toyota Motor Corp 車両用電動機
JP2001169529A (ja) 1999-12-06 2001-06-22 Shinko Electric Co Ltd 移動体および移動体システム
JP4542305B2 (ja) 2001-09-28 2010-09-15 Thk株式会社 駆動案内装置
JP3942971B2 (ja) 2002-07-08 2007-07-11 株式会社ソディック 移動体駆動装置
JP3856134B2 (ja) * 2003-03-20 2006-12-13 株式会社安川電機 リニアスライダ
JP4259978B2 (ja) * 2003-03-25 2009-04-30 Thk株式会社 リニアモータアクチュエータ
JP2004320879A (ja) * 2003-04-15 2004-11-11 Mitsuba Corp 減速機構付きモータ
US7026731B2 (en) * 2003-06-20 2006-04-11 Parker Hannifin Corp. Linear motor glide assembly
JP4590846B2 (ja) 2003-09-01 2010-12-01 株式会社ニコン 磁気浮上式ステージ装置及び露光装置
JP4672315B2 (ja) * 2004-09-06 2011-04-20 東芝機械株式会社 リニアモータおよびリニア移動ステージ装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20100060087A1 (en) 2010-03-11
CN101652916B (zh) 2012-11-14
KR101412898B1 (ko) 2014-06-26
DE112008000715B4 (de) 2023-12-07
KR20100016026A (ko) 2010-02-12
CN101652916A (zh) 2010-02-17
TWI439018B (zh) 2014-05-21
DE112008000715T5 (de) 2010-05-06
TW200847588A (en) 2008-12-01
JP5468897B2 (ja) 2014-04-09
US9088201B2 (en) 2015-07-21
WO2008123287A1 (ja) 2008-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5468897B2 (ja) 駆動案内装置
JP4259978B2 (ja) リニアモータアクチュエータ
US7586219B2 (en) Drive guide apparatus
KR101189295B1 (ko) 리니어 모터 액추에이터
JP2014042423A (ja) リニアモータ
JP4542305B2 (ja) 駆動案内装置
JP2008067463A (ja) リニアモータ式テーブル装置
JP5135984B2 (ja) リニアモータ
JP5296997B2 (ja) 駆動案内装置
JP6740088B2 (ja) リニアモータ
JP4045855B2 (ja) リニアモータ
JP5901743B2 (ja) リニアモータ装置
JPWO2009145112A1 (ja) リニアモータ
JP2006283892A (ja) テーブル装置
JP4469592B2 (ja) リニアモータ
JP2006288188A (ja) 直動案内装置
JP4811550B2 (ja) リニアモータ電機子およびリニアモータ
JP2005253194A (ja) 固定子、可動テーブル、およびこれらを有するムービングマグネット型リニアモータ
WO2024009462A1 (ja) リニア搬送装置
JP2004112955A (ja) リニアスライダ
KR101061005B1 (ko) 방열 방진형 전자석
KR100518436B1 (ko) 리니어모터 어셈블리
JP2020178529A (ja) リニアモータおよび物品の製造方法
JP2013106497A (ja) 直動装置
JP2013002562A (ja) 運動案内装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121106

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130107

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130521

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130821

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20130829

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20130920

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140130

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5468897

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250