JP4045855B2 - リニアモータ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
リニアモータは直線的な運動をする電動機であり、平板状の固定子に対して設けた可動子を、固定子内のコイルに沿う方向に磁気力により動かすものである。リニアモータの中には、磁気浮上をともない、可動子がガイド等に拘束されることなく動くものもあるが、一般的には、スライドガイド等のガイドに拘束され、そのガイドに沿って動くものが多い。
【0003】
スライドガイドは、複数の溝を有するレールと、複数のボール(転動体)をレールの溝に対応する位置に配設したブロックから構成され、レールの溝内をボールが転がり運動をすることで、ブロックがレール上を直線運動するものである。リニアモータにおいて、スライドガイドを用いて可動子を支持することで、直線運動が必要な装置等に簡単に適用することができる。
【0004】
通常、スライドガイドのレールは、ボルトにて堅固に固定側のフレームに固定されており、スライドガイドのブロックも、ボルトにて堅固に可動側の台座に固定されており、固定側のフレーム及び可動側の台座は可動子の重量と加速度に見合った剛性を確保する必要がある。特に、スライドガイドのレールの溝の内面、ボール及びブロックのボール保持面に可動子側の荷重負荷が集中するため、スライドガイドの運動方向に対して垂直にかかるラジアル荷重を考慮して、スライドガイドの選択及び配置を行う。
【0005】
図5は、従来の全閉型リニアモータの断面図である。
全閉型リニアモータの内部構造がわかるように、可動子の走行方向に垂直な側面を示した。
【0006】
図5に示すように、全閉型リニアモータは、平板状のフレーム31と、フレーム31に固定され、リニアモータ全体を覆うコの字の断面形状のカバー32と、固定側となるフレーム31及びカバー32の内面に、互いに対向するように配設された固定子33と、上下の固定子33に対して設けられ、固定子33の間を移動する可動子34と、可動子34の側部の下面とフレーム31の内面上の間に配設された2条のスライドガイド37とを有している。
【0007】
固定子33には磁界を作るためのコイル38が、長手方向に一定間隔に複数配設されており、各コイル38には電源供給部39から電圧が供給されている。又、可動子34の上下両表面には、永久磁石40が長手方向に一定間隔に複数配設されている。
【0008】
スライドガイド37は、可動子34の側部の下面側に配設され、可動子34を支持するブロック36と、ブロック36を走行可能に案内し、フレーム31の内面上に固定されるレール35と有している。
【0009】
全閉型リニアモータは、各コイル38により固定子33側に形成される磁界と、可動子34の永久磁石40の磁界の相互作用により、可動子34がスライドガイド37の走行方向に移動可能である。特に、全閉型リニアモータは可動子34の上下に固定子33を配置するため、可動子34に作用する固定子33側の磁場を上下両面から作用させることができるので、可動子34に強い推力を与えることが可能である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
通常、リニアモータの内部では、鉄損、銅損、摺動による機械損等の損失により発熱し、各構成部品が温度上昇をする。特に、上記全閉型のリニアモータでは、内部の冷却が容易ではないため、発熱にともなう問題が発生するおそれがある。
【0011】
具体的には、外気側に接するフレーム31及びカバー32に配設される固定子33と、それらの内部に配設される可動子34では、冷却能力に差が生じるため、温度上昇にも差が生じる。その温度上昇の差は、熱膨張量の差、即ち、スライドガイド37のレール35が固定されるフレーム31側の熱膨張とスライドガイド37のブロック36が固定される可動子34側の熱膨張20との差となり、スライドガイド37に強大な力が作用する。特に、図5に示すようなスライドガイド37の配置を用いる場合、可動子34の熱膨張20により、スライドガイド37の運動方向に対して水平方向に力が働くため、この状態で使用すれば、スライドガイド37の異常な温度上昇や、早期剥離、焼損を招くこととなる。
【0012】
現在市場に出回っているスライドガイドは、基本的にスライドする走行方向のみの1自由度しかなく、上記熱膨張差を吸収できるタイプがない。そのため、スライドガイド自体で熱膨張差を吸収することは難しい。スライドガイドの内部の隙間(ガタ)にて、熱膨張差を吸収することも考えられるが、スライドガイドの内部の隙間は熱膨張差に比べて一桁小さいため、内部の隙間のみで熱膨張差を吸収するには、リニアモータの構成部品の温度上昇を極端に抑える必要があり、冷却機構が必要となり、リニアモータ全体の体格が大きくなってしまう。又、スライドガイドの内部の隙間を大きくすることで、熱膨張差を吸収することも考えられるが、スライドガイドの内部の隙間は可動子の振動、ひっかかりの原因となるため、いたずらに大きくできない。特に、可動子を高速で動かす場合は、隙間がわずかに負の状態(予圧状態)が寿命、振動の点で最も良い。
【0013】
本発明は上記課題に鑑みなされたもので、熱膨張を吸収する構造を備えたリニアモータを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明に係るリニアモータは、筐体に固定された固定子に対して可動子がスライドガイドにより直線移動される全閉型のリニアモータにおいて、前記スライドガイドを横たえて、前記可動子の幅方向両端に前記スライドガイドのレールを固定する一方、前記レールを案内する前記スライドガイドのブロックを前記筐体に支持すると共に、少なくとも一方の前記ブロックを前記可動子の幅方向に可動としたことを特徴とする。
【0015】
上記課題を解決する本発明に係るリニアモータは、前記筐体に前記ブロックの位置決めをする位置決め手段を設けたことを特徴とする。
【0016】
上記課題を解決する本発明に係るリニアモータは、前記レール同士及び前記ブロック同士を互いに対向するように配設したことを特徴とする。
【0017】
上記課題を解決する本発明に係るリニアモータは、前記スライドガイドにおける前記レールと前記ブロックとの間に予圧を付与する予圧付与手段を設けたことを特徴とする。
【0018】
上記課題を解決する本発明に係るリニアモータは、前記予圧付与手段をバネ又は弾性体としたことを特徴とする。
【0019】
上記課題を解決する本発明に係るリニアモータは、前記筐体に前記ブロックを鉛直方向から支持する支持手段を設けたことを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明に係る実施形態の一例を示す全閉型リニアモータの断面図である。
全閉型リニアモータの内部構造がわかるように、可動子の走行方向に垂直な側面を示した。
【0021】
図1に示すように、全閉型リニアモータは、コの字の断面形状を有するフレーム1と、フレーム1の上部に固定され、リニアモータ全体を上面から覆うカバー2と、フレーム1及びカバー2の内面に、互いに対向するように配設された固定子3と、上下の固定子3に対して設けられ、固定子3間を移動する可動子4と、可動子4の両側端部とフレーム1の内側面上との間に、可動子4の走行方向に沿うように配設されたスライドガイド7a、7bとを有している。上記全閉型リニアモータでは、上記フレーム1と上記カバー2とで筐体を構成しているが、筐体の構成及び形状等は必ずしも上述したものに限定するものではない。
【0022】
固定子3には磁界を作るためのコイル8が、長手方向に一定間隔に複数配設されており、各コイル8には電源供給部9から電圧が供給されている。又、可動子4の上下両表面には、永久磁石10が長手方向に一定間隔に複数配設されている。
【0023】
スライドガイド7a、7bは可動子4の両端部に、互いに対向するように設けられている。一方のスライドガイド7aは、ボルト11によりフレーム1の内側面上に固定されたブロック6と、可動子4の幅方向(走行方向に直行する方向)の側端部に固定されたレール5とを有しており、フレーム1側に固定されたブロック6が、可動子4の側端部に固定されたレール5を走行可能に案内している。
【0024】
他方のスライドガイド7bは、フレーム1の内側面に設けられ、鉛直方向の位置決めをする位置決め手段となる位置決めピン12と、フレーム1及びカバー2内面に設けられ、鉛直方向上下から支持する支持手段となる突設部13a、13bとにより、可動子4の幅方向に可動に支持されたブロック6と、可動子4の幅方向の側端部に固定されたレール5とを有しており、フレーム1側に支持されたブロック6が、可動子4の側端部に固定されたレール5を走行可能に案内している。詳細は後述する図2〜図4において説明するが、支持側(固定側)であるフレーム1の内側面と可動側であるスライドガイド7bのブロック6との間には、予圧を付与する予圧付与手段となるバネ等の弾性材料が設けてある。
【0025】
本発明では、リニアモータが全閉型であるので、スライドガイド7a、7bのラジアル方向の荷重が特に大きくなることを考慮する必要がなく、そのため、スライドガイド7a、7bの設置方向を、図1に示すように、スライドガイド7a、7bを横たえて、対向するように配設することができる。スライドガイド7a、7bを上記設置方向とする場合、可動子4の熱膨張20により可動子4の幅方向に多少の荷重が働いたとしても、レール5からブロック6の方向に力が働くため、スライドガイド7a、7b本来の荷重負荷能力により耐えることができる。
【0026】
更に、本発明では、位置決めピン12及び突設部13a、13bによりスライドガイド7bの支持構造を工夫し、可動子4の熱膨張20の影響を、スライドガイド7bに及ぼさないようにしたことが特徴であり、そのために、ブロック6の少なくとも一方を、可動子4の幅方向に可動に支持する構造として、熱膨張方向にわずかに移動できるようにした。支持構造の剛性を考慮した場合、一方のスライドガイド7aを固定側とし、他方のスライドガイド7bを可動側とするのが好適である。
【0027】
又、ブロック6の少なくとも一方を、可動子4の幅方向に可動に支持する構造としたため、支持側となるフレーム1の内側面と可動側となるスライドガイド7bのブロック6側との間に、予圧付与手段となるバネ等の弾性材料を挟み込むことができ、そのため、ブロック6とレール5に適切な予圧を付与して走行させることができる。
【0028】
更に、可動となったスライドガイド7bの支持構造の剛性を補強するために、鉛直方向上下から支持する支持手段となる突設部13a、13bをフレーム1及びカバー2内面に設け、スライドガイド7bを突設部13a、13bにて挟み込むことで、スライドガイド7bを支える構造とした。スライドガイド7bは、フレーム1の内側面に設けられた位置決めピン12からも支持されており、可動子4の熱膨張20と同じ方向から支持する位置決めピン12と、可動子4の走行方向に鉛直な面にて挟み込む突設部13a、13bにより、高剛性を確保することができる。上記高剛性の構造を有するため、例えば、可動子4の推力が1tonクラス以上のリニアモータにも適用可能となる。
【0029】
本発明では、可動側のスライドガイド7bの支持構造が特徴となる部分であり(図1のA部分)、このA部分の詳細な構造を、図2、図3及び図4(a)にて示す。
【0030】
図2は、図1におけるA部分の拡大図である。
内部構造を詳細に示すため、一部を破断して示した。
【0031】
図2に示すように、スライドガイド7bのブロック6は、フレーム1の内側面部から突設された位置決め手段となる複数の位置決めピン12により、鉛直方向の位置決めが行われ、可動子4の幅方向に可動に支持されている。更に、フレーム1及びカバー2の内面に突設された支持手段となる突設部13a、13bにより、鉛直方向上下から挟み込まれるように支持されている。又、スライドガイド7bのブロック6とフレーム1の内側面部との間には、ブロック6とレール5が常に適切な予圧で接するように、予圧付与手段として適切な付勢力を有するサラバネ14が配設されている。位置決めピン12はサラバネ14を挿通するように設けられている。
【0032】
上記構造では、スライドガイド7bは、フレーム1側に固定されていない。つまり、位置決めピン12により、スライドガイド7bのブロック6の鉛直方向の配設位置が決められているだけであり、可動子4の幅方向の熱膨張20を吸収するために、可動子4の幅方向に可動に支持する構造である。
【0033】
又、可動子4側にスライドガイド7bのレール5を固定し、フレーム1側にスライドガイド7bのブロック6を支持する構造としたため、予圧付与手段となるサラバネ14の取付構造を、ブロック6の部分のみに設ける単純な構造とすることができる。ブロック6とレール5の設置構造を逆にし、可動子4側にスライドガイド7bのブロック6を固定し、フレーム1側にスライドガイド7bのレール5を支持する構造とした場合、レール5の長手方向に沿って、多数或いは長手方向全てに予圧付与手段を設ける必要が有り、予圧付与手段を設ける構造が複雑となる。
【0034】
フレーム1の内側面に設けられた位置決めピン12は、スライドガイド7bの位置決めの機能だけではなく、支持構造の剛性保持の機能も有しているが、更に、スライドガイド7bの支持構造の剛性を補強するために、スライドガイド7bを鉛直方向上下の突設部13a、13bにて挟み込むように支持している。この突設部13a、13bとスライドガイド7bのブロック6との間、つまり、図2のB、C部分は、スライドガイド7bを支持し、かつ、可動できるようになっている。
【0035】
上記構造により、スライドガイド7bを位置決めピン14により可動に支持することで、可動子4の熱膨張20による影響を吸収することができ、又、サラバネ14にてブロック6とレール5が適切な予圧にて接するようにすることができ、更にブロック6を挟み込むように設けた突設部13a、13bにより、支持構造の剛性を補強することができる。
【0036】
図3は本発明に係る実施形態の他の一例を示す全閉型リニアモータの断面図であり、図1のA部分に相当する部分の拡大図である。
【0037】
本実施例でのスライドガイド7bの基本的な支持構造は、図2で示したものと同等でよい。しかしながら、スライドガイド7bのブロック6とフレーム1の内側面部との間には、サラバネ14の替わりにゴム等の平板状の弾性体15を設けたことが特徴である。
【0038】
平板状の弾性体15を用いることにより、サラバネ14を用いる場合と比較してフレーム1、弾性体15、ブロック6の接触面積を増やして、荷重負荷の集中を分散させることができ、支持構造の剛性を高くすることができるとともに、スライドレール7bに付与する予圧を大きくすることができる。
【0039】
上記構造においても、スライドガイド7bを位置決めピン14により可動に支持することで、可動子4の熱膨張20による影響を吸収することができ、又、弾性体15にてブロック6とレール5が適切な予圧にて接するようにすることができ、更にブロック6を挟み込むように設けた突設部13a、13bにより、支持構造の剛性を補強することができる。
【0040】
図4は本発明に係る実施形態の更なる他の一例を示す全閉型リニアモータの図であり、(a)は図1のA部分に相当する部分の断面図、(b)はその上面の断面図である。
【0041】
本実施例でのスライドガイド7bの支持構造は、図2、図3で示したものと異なり、支持側となるフレーム1の内側面に突設部13cを設け、その突設部13cにレール5の長手方向に沿う板バネ16を設けてボルト18にて固定し、その板バネ16自体にスライドガイド7bのブロック6をボルト17で固定した。図4(b)においては、板バネ16の長手方向の一方の端部のスライドガイド7bの支持構造を図示したが、他方の端部のスライドガイド7bにおいても同様の支持構造である。
【0042】
上記構造では、板バネ16が、スライドガイド7bのブロック6を、可動子4の幅方向に可動に支持し、鉛直方向の位置決めをする位置決め手段となり、又、板バネ16の付勢力によりスライドガイド7bに適切な予圧を付与する予圧付与手段となり、更に、突設部13a、13bと共に、スライドガイド7bの支持構造の剛性を確保する機能を有する。
【0043】
上記構造においては、スライドガイド7bを板バネ16により可動に支持することで、可動子4の熱膨張20による影響を吸収することができ、又、同じく板バネ16にてブロック6とレール5が適切な予圧にて接するようにすることができ、更にブロック6を挟み込むように設けた突設部13a、13bにより、支持構造の剛性を補強することができる。
【0044】
なお、本発明では実施例として全閉型リニアモータを用いたが、本発明は全閉型リニアモータに限定するものでなく、他のリニアモータにも適用可能である。又、スライドガイド7a、7bの支持構造、支持方向及び予圧付与手段については、本発明の範囲において適宜に変更可能である。
【0045】
【発明の効果】
請求項1に係る発明によれば、筐体に固定された固定子に対して可動子がスライドガイドにより直線移動される全閉型のリニアモータにおいて、前記スライドガイドを横たえて、前記可動子の幅方向両端に前記スライドガイドのレールを固定する一方、前記レールを案内する前記スライドガイドのブロックを前記筐体に支持すると共に、少なくとも一方の前記ブロックを前記可動子の幅方向に可動とし、前記可動子の幅方向の熱膨張の影響を少なくとも一方の前記ブロックが移動することにより吸収するようにしたので、可動子の熱膨張の影響を受けることなくスライドガイドが走行可能となり、リニアモータの運転温度を、スライドガイドの許容温度、コイルの巻線の許容温度まで高くとることができる。又、高温まで運転可能となるため、冷却構造の簡素化、リニアモータの体格の小型化ができる。
【0046】
請求項2に係る発明によれば、前記筐体に前記ブロックの位置決めをする位置決め手段を設けたので、スライドガイドを可動に支持し、その位置決めをすることができる。
【0047】
請求項3に係る発明によれば、前記レール同士及び前記ブロック同士を互いに対向するように配設し、可動子の幅方向の熱膨張による力をレールからブロック方向へ受け止める構成としたので、可動子の熱膨張により可動子の幅方向に多少の荷重が働いたとしても、スライドガイド本来の荷重負荷能力により、その荷重に耐えることができる。
【0048】
請求項4乃至請求項5に係る発明によれば、前記スライドガイドにおける前記レールと前記ブロックとの間に予圧を付与する予圧付与手段を設け、スライドガイドを予圧付与手段を介して支持する構成としたので、対向配置するスライドガイドの取付面の平行度を予圧付与手段により補正することができ、平行度の加工精度を落とすことができる。そのため、リニアモータを安価に作製することができる。更に、予圧付与手段となるバネ又は弾性体によりスライドガイドに予圧を作用させることができるため、可動子の移動がなめらかになり、高速移動が可能、即ち、許容速度が高くなり仕事量が増加する。
【0049】
請求項6に係る発明によれば、前記筐体に前記ブロックを鉛直方向から支持する支持手段を設けたので、可動子の熱膨張の影響を吸収するスライドガイドの支持構造において、その支持構造の剛性を補強することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る実施形態の一例を示す全閉型リニアモータの断面図である。
【図2】図1におけるA部分の拡大図である。
【図3】本発明に係る実施形態の他の一例を示す全閉型リニアモータの断面図であり、図1のA部分に相当する部分の拡大図である。
【図4】本発明に係る実施形態の更なる他の一例を示す全閉型リニアモータの図であり、(a)は図1のA部分に相当する部分の断面図、(b)はその上面の断面図である。
【図5】従来の全閉型リニアモータの断面図である。
【符号の説明】
1 フレーム
2 カバー
3 固定子
4 可動子
5 レール
6 ブロック
7a スライドガイド(固定側)
7b スライドガイド(可動側)
8 コイル
10 マグネット
12 位置決めピン
13a 突設部
13b 突設部
14 サラバネ
15 弾性体
16 板バネ
20 熱膨張

Claims (6)

  1. 筐体に固定された固定子に対して可動子がスライドガイドにより直線移動される全閉型のリニアモータにおいて、
    前記スライドガイドを横たえて、前記可動子の幅方向両端に前記スライドガイドのレールを固定する一方、前記レールを案内する前記スライドガイドのブロックを前記筐体に支持すると共に、少なくとも一方の前記ブロックを前記可動子の幅方向に可動としたことを特徴とするリニアモータ。
  2. 請求項1記載のリニアモータにおいて、
    前記筐体に前記ブロックの位置決めをする位置決め手段を設けたことを特徴とするリニアモータ。
  3. 請求項1又は請求項2記載のリニアモータにおいて、
    前記レール同士及び前記ブロック同士を互いに対向するように配設したことを特徴とするリニアモータ。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のリニアモータにおいて、
    前記スライドガイドにおける前記レールと前記ブロックとの間に予圧を付与する予圧付与手段を設けたことを特徴とするリニアモータ。
  5. 請求項4記載のリニアモータにおいて、
    前記予圧付与手段をバネ又は弾性体としたことを特徴とするリニアモータ。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のリニアモータにおいて、
    前記筐体に前記ブロックを鉛直方向から支持する支持手段を設けたことを特徴とするリニアモータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109149843A (zh) * 2018-09-25 2019-01-04 哈尔滨工业大学 一种槽楔通气的气浮转子无轴承电机

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006197722A (ja) * 2005-01-13 2006-07-27 Toyo Mach & Metal Co Ltd 直線駆動装置
JP2007037279A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Yaskawa Electric Corp リニアアクチュエータ
FR2900286A1 (fr) * 2006-04-20 2007-10-26 Sidel Participations Agencement pour le montage d'un support d'un moteur electrique lineaire
JP5633038B2 (ja) * 2008-10-24 2014-12-03 中村 憲司 シート類包装体ヒートシール装置
JP5682018B2 (ja) * 2014-05-16 2015-03-11 中村 憲司 蓋付き包装体製造装置
CN113557205B (zh) * 2019-03-20 2023-03-28 雅马哈发动机株式会社 线性输送机
JP2024024245A (ja) * 2022-08-09 2024-02-22 株式会社鷺宮製作所 リニアモータアクチュエータ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109149843A (zh) * 2018-09-25 2019-01-04 哈尔滨工业大学 一种槽楔通气的气浮转子无轴承电机

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