JP2006288188A - 直動案内装置 - Google Patents

Abstract

【課題】真空中に配され、作業テーブルとともに移動する駆動モータなどの発熱源を有する直動案内装置で、発熱源で発生する熱を真空槽の所定位置まで金属ベルトを介して熱伝導によって搬送して放熱することにより、発熱源近傍の温度上昇を効率よく防止し、直動案内装置の機能を損なうことなく、低コストで計測や加工などの精度を高く維持することにある。
【解決手段】真空槽内に、駆動モータによって作業テーブルを所定の方向に移動させる案内機構を設けた直動案内装置において、直動案内装置の運転時に、作業テーブルに前記駆動モータなどの発熱部を有し、発熱部で発生した熱を前記真空槽外に除去するための放熱部を備え、かつ発熱部と放熱部とを伝熱手段で連結し、該伝熱手段を介して発熱部で発した熱を放熱部まで熱伝導するようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、超音波モータなどによって作業テーブルを直線方向もしくは回転方向に移動自在に設けられ、対象物（ワーク）の位置決めを行う直動案内装置に関し、特に半導体製品の高精度化の要請に応じて、真空槽内で使用される直動案内装置の冷却に関する。

近年、半導体製造装置・検査装置などを中心に、対象物を直線もしくは回転移動させて位置決めを行うための直動案内装置が、真空雰囲気中で使用されることが多くなってきている。この種の直動案内装置では、ワークを載せる作業テーブルの駆動源として超音波モータなどが使用される。

図１４は、超音波モータを用いた従来の直動案内装置を示す正面図であり、図１５は、上記直動案内装置を図１４中の矢印XV方向から見た上面図である。図１４，１５において、直動案内装置１０１は、ワークを載せる作業テーブル１０２と、該作業テーブル１０２の支持ベースであるベース１０３と、作業テーブル１０２の下面両端部に取り付けられたスライダ１０４と、ベース１０３の上面両端部に取り付けられたレール１０５と、作業テーブル１０２の下面に取り付けられた超音波モータ１０６と、ベース１０３の上面に取り付けられたモータ用走行テーブル１０７とを備えている。このような構成からなる直動案内装置１０１は、多数の転動体１１３（図１８参照）を介したスライダ１０４とレール１０５との係合によって、作業テーブル１０２を同図矢印Ｚ−Ｚ´方向に移動自在にしている。すなわち、転動体１１３を介していることにより、スライダ１０４とレール１０５との相対移動に伴う摩擦が低減され、小さな駆動力で作業テーブル１０２を移動可能である。

図１６は、超音波モータ１０６の内部構造を示す正面図であり、図１７は、図１６中の超音波モータ１０６を矢印XVII方向から見た上面図である。図１６および図１７において、超音波モータ１０６は、モータケース１０８内に収納された圧電素子１０９および振動体１１０と、モータ用走行テーブル１０７の側面に取り付けられたモータ用走行プレート１１１の表面上を摺動する振動体１１０の一部である接触子１１２とを備え、圧電素子１０９を超音波振動の領域で振動させることによって振動体１１０を共振させ、その共振により拡大された運動を接触子１１２の先端に伝達することにより駆動するようになっている。このような超音波モータ１０６は、駆動原理上、磁束が生じないため、磁束の発生を嫌う環境下での使用に好適である一方、駆動に伴う発熱が大きい。

このような構成からなる直動案内装置１０１では、直動案内装置１０１が真空中に設置されると、空気の対流による空気への熱拡散がないため、超音波モータ１０６で発生した熱が、図１８に示すように、作業テーブル１０２からスライダ１０４、複数の転動体１１３、およびレール１０５を介して、ベース１０３から外部へ放熱する。

特開２００４−２４８３９７号公報 特開２００４−３５７３９３号公報

しかしながら、作業テーブル１０２からベース１０３への熱伝導による伝熱経路（図１８中の矢印）には、スライダ１０４とレール１０５との間に介設された転動体１１３によって、非常に小さな接触面が存在するため、熱伝導により放出される量は非常に限られたものであり、作業テーブル１０２やその駆動源などに大きな温度上昇が生じてしまう。その結果、直動案内装置１０１は、部品の熱変形によって計測精度や位置決め精度が悪化したり、摺動面などに塗布される潤滑剤の劣化や、潤滑剤からの脱ガスが促進されて真空環境が汚染されるという問題があった。

しかも、直動案内装置１０１の発熱部であるモータ１０６は、作業テーブル１０２とともに移動するため、予めモータ１０６などの固定位置を想定し、発熱部から外部に意図的に放熱するための冷却手段を直動案内装置１０１に講じることも困難であった。

そこで、モータなどで発生する熱を小さく抑えるため、モータ駆動時のデューティ比（稼動サイクル）を抑制したり、例えば特許文献１に示すように、モータの圧電素子表面に、黒色塗装を施して、輻射率を大きくして外部に放熱することが提案される。

ところが、デューティ比を抑制するのは装置本来の機能を犠牲にすることであって本質的な解決策ではなく、また輻射による放熱量も、モータなどで発生する熱量に比べて微量であるため、モータなどの発熱部周辺の温度上昇を防止するには不十分であった。

そこで、例えば特許文献２に示すように、超音波モータなどの圧電アクチュエータの接触子（フィンガ）が接触する作業テーブル側の表面にセラミックなどの硬質層をコーティングし、表面の熱伝導率を高め、樹脂やゲルなどの伝熱媒介を介して外部に熱を除去するものが提案される。

この場合、圧電アクチュエータなどの発熱部から樹脂などの伝熱媒介への熱伝導率を高める手段を開示したものである。よって、真空中で移動する作業テーブル１０２などの発熱部から発生した熱を積極的に除去する手段を提案するものではない。

また、このような直動案内装置１０１の駆動モータとして適用される超音波モータ１０６は、圧電素子１０９で生じる熱の放熱が十分でなく、圧電素子１０９の温度が急激に上昇すると破損する虞があった。特に、上述した直動案内装置１０１のように、真空中に配される場合には、大気中への熱放出を行うことができないため、温度上昇が激しく、運転速度や連続運転時間などが著しく制限されされてしまうという問題があった。

なお、程度の差はあれ、電磁モータ等を使用した場合にも、モータからの発熱はあるので、例えば、電磁モータを作業テーブル１０２上に配設する必要のある場合などでも、上述した超音波モータを用いた場合と同様の問題が生じる。さらに、例えば、作業テーブル１０２上に載置される対象物が露光光の照射を受ける等により外部から加熱されることによって、高温となり、発熱する場合にも、同様の問題が生じる。

そこで、本発明の目的は、真空中に配され、作業テーブルとともに移動する駆動モータなどの発熱源を有する直動案内装置で、発熱源で発生する熱を真空槽の所定位置まで金属ベルトを介して熱伝導によって搬送して放熱することにより、発熱源近傍の温度上昇を効率よく防止し、直動案内装置の機能を損なうことなく、計測や加工などの精度を高く維持することにある。

本発明の上記目的は、真空槽内に、駆動モータによって作業テーブルを所定の方向に移動させる案内機構を設けた直動案内装置において、前記直動案内装置の運転時に、前記作業テーブルに前記駆動モータなどの発熱部を有し、前記発熱部で発生した熱を前記真空槽外に除去するための放熱部を備え、かつ前記発熱部と前記放熱部とを伝熱手段で連結し、該伝熱手段を介して前記発熱部で発した熱を前記放熱部まで熱伝導するようにしたことにより、達成される。

また、上記目的は、前記伝熱手段を、一端が前記発熱部に熱交換可能に連結するとともに、他端が前記放熱部に熱交換可能に連結することにより、効果的に達成される。

また、上記目的は、前記伝熱手段に、前記発熱部との連結部と、前記放熱部との連結部の少なくとも一つに冷却手段を設け、前記伝熱手段の熱伝導量を促進するようにしたことにより、効果的に達成される。

また、上記目的は、前記冷却手段をペルチェ素子にすることにより、効果的に達成される。

また、上記目的は、前記伝熱手段が、熱伝導性に優れた帯状の薄板をＵ字状に折り曲げて形成された少なくとも１枚の金属ベルトであることにより、効果的に達成される。

また、上記目的は、前記伝熱手段が、複数の金属素線を編みこんで形成された編組ケーブルであることにより、効果的に達成される。

また、上記目的は、前記金属素線が、銅製であることにより、効果的に達成される。

また、上記目的は、前記伝熱手段が、黒鉛をシート状に加工したグラファイトシートであることにより、効果的に達成される。

また、上記目的は、前記冷却手段が、前記発熱部に配された温度センサによる検出値に基づいて、温度調整を行うことにより、効果的に達成される。

さらに、上記目的は、前記駆動モータは、超音波モータであることにより、効果的に達成される。

以上のように、本発明の直動案内装置によると、真空中に配された作業テーブルの駆動源であるモータ等での発熱は、発熱部と放熱部とを熱伝導性の優れた金属ベルトなどの伝熱手段で連結することにより、伝熱手段を介して真空槽の外部に放熱することができる。これにより、低コストで発熱部の近傍における温度上昇を効率よく解消することができ、長期間に亘って装置を使用しても、計測精度や加工精度などを高く維持することができる。なお、伝熱手段である金属ベルトは、薄肉の帯状部材をＵ字状に形成してなるため、作業テーブルの軸方向への移動に対する抵抗は小さく、計測精度などに悪影響を与えない。

また、モータの発熱部と伝熱手段の取付部との間に、発熱部の冷却手段としてペルチェ素子を挟み、冷却側を発熱部側に、放熱側を伝熱手段側にすることで、ペルチェ素子によってモータの発熱部の冷却性能を高め、発熱部から伝熱手段への熱伝導を促進する。また、真空槽外への放熱部にも、伝熱手段の冷却手段としてのペルチェ素子を介設する場合、伝熱手段の伝熱特性を大幅に向上することができる。

また、伝熱手段として、複数の金属素線からなる編組ケーブルを用いることにより、十分な断面積とともに十分な可撓性を備えることができる。これにより、作業テーブルの動きを妨げることなく、発熱部から放熱部への大きな熱伝導が可能な伝熱経路を確保でき、発熱部での発熱量が大きい場合でも、十分な放熱量を得ることができる。この結果、直動案内装置の精度低下および寿命低下を防止することができる。さらに、編組ケーブルを構成する金属素線の素材として、熱伝導性が高く、非磁性の特性を有する銅を用いることにより、発熱部から放熱部への熱伝導効率をより向上させることができるとともに、非磁性用途にも対応することができ、直動案内装置の汎用性を向上することができる。

また、伝熱手段として、黒鉛をシート状に加工したグラファイトシートを用いても、十分な断面積と十分な可撓性とを備えることができる。グラファイトシートは、銅やアルミと同等以上の熱伝導性を有するとともに、０．５ｍｍ程度の厚さでも十分な可撓性を有しているため、十分な可撓性を維持しつつ十分な断面積を確保することができる。これにより、作業テーブルの動きを妨げることなく、発熱部から放熱部への大きな熱伝導が可能な伝熱経路を確保することができる。

また、冷却手段としてペルチェ素子を用い、発熱部に配された温度センサによる検出値に基づいてペルチェ素子の電流量を調整をすることによって、作業テーブルおよび該作業テーブルに搭載されたワーク等の温度を常に適切な温度に保つことができる。これにより、温度変化を要因とする精度の低下を避けることができる。

さらに、本発明に係る直動案内装置は、駆動モータとして急激な温度上昇を生じ易い超音波モータを用いる場合でも、モータ内の圧電素子で生じる熱を十分に放熱することができ、圧電素子の温度を低減することができる。これにより、モータの破損を防止できるとともに、運転速度や連続運転時間などの制限を緩和し、モータ性能の向上を図ることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

［第１実施形態］
図１は、真空中に配された直動案内装置１の駆動源で発生する熱を外部に放熱するための概略構成を示す。同図において、直動案内装置１は、作業テーブル２を支持するスライダ３をベース４に載置し、ベース４の上面に形成されたレール５との係合によってスライダ３を同図矢印方向に移動自在にしている。

また、作業テーブル２の側面には、図２および図３に示すように、超音波リニアモータ６が取り付けられている。このモータ６は、圧電セラミックを用いたアクチュエータであり、超音波領域の交流電圧を印加することによって、圧電素子に設けられた接触子７の先端がベース４側に固定された走行テーブル８に対して接触しながら高周波の楕円運動を行い、作業テーブル２を摩擦駆動によりレール５の長手方向に沿った方向に移動させることができる。本実施形態に係る直動案内装置１では、駆動に伴って磁束を生じることがない超音波リニアモータ６を駆動モータとして適用しているので、磁束の発生を嫌う環境下での使用に適している。

また、直動案内装置１には、モータ６の周辺で発生する熱を除去するための伝熱手段として、熱導電性に優れた金属ベルト９が配されている。この金属ベルト９は、可撓性に富んだ帯状薄板をＵ字状に折り曲げることによって形成され、一端をモータ６のベルト取付具１０に、他端を図示しない真空槽床面に固定された取付部１１に取り付けられる。ここで、金属ベルト９は、折曲部で緩やかなＲを有するＵ字状を形成するように、複数の薄板を重ねてもよく、作業テーブル２の移動に対して大きな抵抗にならないようになっている。複数重ねる場合は、放熱能力を考慮し、適宜枚数を選定する。

また、モータ６とベルト取付具１０との間には、冷却手段としてのペルチェ素子１２が配され、モータ６の圧電素子などで発生した熱を効率よく吸収して、ベルト取付具１０を介して金属ベルト９に放熱するようになっている。ここで、ペルチェ素子１２は、冷却側をモータ６の発熱側に、放熱側を金属ベルト９側に配したので、モータ６の発熱部で発生する熱を効率よく金属ベルト９に熱伝導させることができる。これにより、金属ベルト９は、モータ６の周辺で発生した熱を熱伝導によって取付部１１まで搬送する。

また、真空槽外への放熱部にも、図４及び図５に示すように、金属ベルト９の冷却手段としてのペルチェ素子１３を介設する場合、金属ベルト９を含む全体の伝熱手段の伝熱特性を大幅に向上することができる。この場合、ペルチェ素子１３は、冷却側を金属ベルト９側に、放熱側を真空槽床面に固定される固定部１４側に配したので、金属ベルト９を熱伝導によって搬送された熱を、取付部１１を介して真空槽の外部に効率よく放熱することができる。

従って、上記第１実施形態では、装置の運転時、モータ６の駆動によって、作業テーブル２を軸方向に移動させる。その際、モータ６の周辺では、圧電素子の接触子７と走行テーブル８との摺動摩擦によって発熱する。この発熱は、図６に示すように、モータ６から金属ベルト９を介して取付部１１に搬送されて外部に放熱される。すなわち、モータ６の周辺では、図６矢印に示すように、発熱部からペルチェ素子１２によって金属ベルト９に熱伝導し、金属ベルト９を通って熱搬送が行われる。そして、取付部１１で、ペルチェ素子１３によって金属ベルト９から熱伝導によって固定部１４を介して真空槽の外部に放熱される。

よって、直動案内装置１が、真空中に配され、モータ６の周辺などの発熱部が作業テーブル２とともに移動しても、帯状薄板の両端連結部に、ペルチェ素子１２、１３を有する金属ベルト９を介して、外部に効率よく放熱することができる。その結果、直動案内装置１の駆動源であるモータ６などの周辺で、各種部材に大きな温度上昇を生じることがなく、簡単な装置で、直動案内装置１の計測精度や加工精度などを高く維持することができる。

本実施形態では、作業テーブル２側の発熱源として超音波モータの場合を示したが、ステッピングモータや他のサーボモータ、或いはその他の熱源の場合にも、本発明を適用できる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について、図７ないし図９を参照にしながら説明する。なお、図７ないし図９において、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。

図７は、本発明の第２実施形態に係る直動案内装置１Ａの概略構成を示す正面図であり、図８は、図７中の矢印VIII方向から見た直動案内装置１Ａの上面図であり、かつ、図９は、図８中のIX−IX線に沿った直動案内装置１Ａの断面矢視図である。

第１実施形態の直動案内装置１では、超音波モータ６が作業テーブル２の側面に取り付けられていたが、本実施形態の直動案内装置１Ａでは、超音波モータ６は、ベース４両端のレール５，５の内側に形成された内部スペースに配され、作業テーブル２の下面に取り付けられている。一方、走行プレート８ａは、ベース４上に固定されたモータ用走行テーブル８の側面に取り付けられており、超音波モータ６の接触子７と接触するようにベース４の内部スペースに配されている。

本実施形態に係る直動案内装置１Ａは、発熱部であるモータ６の周辺で発生する熱を除去するための伝熱手段として、複数の銅製素線を編みこんで形成された編組ケーブル９Ａを備えている。この編組ケーブル９Ａは、図９に示すように、一端が発熱部であるモータ６に熱交換可能に連結されるとともに、他端が放熱部であるベース４の上面に連結され、折曲部では緩やかなＲを有している。銅線素線からなる編組ケーブル９Ａは、十分な柔軟性を備えたまま、ケーブルの断面積を適宜変更することができるため、作業テーブル２の動作の妨げになることなく、十分な熱伝導性を確保することができる。

また、モータ６と該モータ６に熱交換可能に連結される編組ケーブル９Ａの一端との間には、冷却手段としてのペルチェ素子１５が配され、超音波モータ６の圧電素子などで発生した熱を効率よく吸収し、ベース４に放熱するようになっている。ここで、ペルチェ素子１５は、冷却側を発熱部であるモータ６側に、放熱側を伝熱手段である編組ケーブル９Ａ側に配しているので、モータ６で発生する熱を効率よく編組ケーブル９Ａに熱伝導させることができる。

また、本実施形態に係る直動案内装置１Ａは、発熱部であるモータ６の側面に温度センサ１６を備え、該温度センサ１６による検出値に基づいて、冷却手段であるペルチェ素子１５の電流量を調整し、ペルチェ素子１５の冷却機能を適宜調整できるようになっている。

以上のように、本発明に係る直動案内装置１Ａでは、伝熱手段として編組ケーブル９Ａを備えるとともに、該編組ケーブル９Ａの一端と発熱部であるモータ６との間にペルチェ素子１５を介設し、モータ６で発生する熱を放熱部であるベース４に効率よく熱伝導させるようになっている。これにより、第１実施形態と同様の作用効果を得られることはもとより、十分な柔軟性を有しながら断面積を大きくできる編組ケーブル９Ａを用いることによって、作業テーブル２の動きを妨げることなく、モータ６からベース４への大きな熱伝導が可能な伝熱経路を確保することができる。

また、編組ケーブル９Ａを構成する素線が、熱伝導性が高く、非磁性の特性を有する銅製であることにより、モータ６からベース４への熱伝導効率をより向上させることができるとともに、非磁性用途にも対応することができ、直動案内装置１Ａの汎用性を向上することができる。

さらに、発熱部であるモータ６の側面に温度センサ１６を備え、該温度センサ１６による検出値に基づいてペルチェ素子１５の電流量を調整をすることによって、モータ６、作業テーブル２、および該作業テーブル２に搭載されたワーク等の温度を常に適切な温度に保つことができる。これにより、温度変化を要因とする精度の低下を避けることができるとともに、モータ６のモータ性能を向上させることができる。

なお、本実施形態では、伝熱手段として１組の編組ケーブル９Ａを適用しているが、必要に応じて、さらにケーブルの数を増やしてもよい。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について、図１０および図１１を参照にしながら説明する。なお、本実施形態に係る直動案内装置１Ｂは、伝熱手段が異なる以外は第２実施形態の直動案内装置１Ａと同じ構造であるため、その正面図は省略し、かつ、図１０および図１１において、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。

図１０は、本発明の第３実施形態に係る直動案内装置１Ｂの概略構成を示す上面図であり、かつ、図１１は、図１２中のXI−XI線に沿った直動案内装置１Ｂの断面矢視図である。

本実施形態に係る直動案内装置１Ｂは、発熱部であるモータ６の周辺で発生する熱を除去するための伝熱手段として、黒鉛をシート状に加工したグラファイトシート９Ｂを備えている。このグラファイトシート９Ｂは、図１１に示すように、一端が発熱部であるモータ６に熱交換可能に連結されるとともに、他端が放熱部であるベース４の上面に連結され、折曲部では緩やかなＲを有している。シート状の黒鉛からなるグラファイトシート９Ｂは、０．５ｍｍ程度の厚さでも十分な柔軟性を有するため、十分な柔軟性を維持しつつ、モータ６からベース４への伝熱作用に十分な断面積を確保することができる。これにより、第１実施形態と同様の作用効果を得られることはもとより、作業テーブル２の動きを妨げることなく、モータ６からベース４への大きな熱伝導が可能な伝熱経路を確保することができる。

また、本実施形態に係る直動案内装置１Ｂは、第２実施形態と同様、発熱部であるモータ６と該モータ６に熱交換可能に連結されるグラファイトシート９Ｂの一端との間に、モータ６の側面に配された温度センサの検出値に基づいて電流量を調整されるペルチェ素子１５を備え、該ペルチェ素子１５は、冷却側をモータ６側に、放熱側を伝熱手段であるグラファイトシート９Ｂ側に配している。これにより、本実施形態に係る直動案内装置１Ｂは、第２実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

なお、本実施形態では、伝熱手段として１組のグラファイトシート９Ｂを適用しているが、必要に応じて、さらにグラファイトシート９Ｂのシート数を増やしてもよい。

［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態について、図１２および図１３を参照にしながら説明する。なお、本実施形態に係る直動案内装置は、伝熱手段が異なる以外は第２実施形態の直動案内装置１Ａと同じ構造であるため、その正面図は省略し、かつ、図１２および図１３において、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。

図１２は、本発明の第４実施形態に係る直動案内装置１Ｃの概略構成を示す上面図であり、かつ、図１３は、図１２中のXIII−XIII線に沿った直動案内装置１Ｃの断面矢視図である。
本実施形態に係る直動案内装置１Ｃは、発熱部であるモータ６の周辺で発生する熱を除去するための伝熱手段として、第２実施形態で説明した銅製素線からなる編組ケーブル９Ａを作業テーブル２の移動方向両端に備え、それ以外の点については、上述した第２実施形態に係る直動案内装置１Ｂと同様の構成である。この２組の編組ケーブル９Ａ，９Ａは、ともに一端が発熱部であるモータ６に熱交換可能に連結されるとともに、他端が放熱部であるベース４の上面に連結され、折曲部では緩やかなＲを有している。

以上のように、本実施形態に係る直動案内装置１Ｃでは、伝熱手段として、編組ケーブル９Ａを２組備えたことにより、熱伝導能力を２倍とし、放熱能力を強化している。この結果、上述した第１ないし第３実施形態と同様の作用効果を得られることはもとより、作業テーブル２での発熱がより大きくなった場合にも対応することができ、モータ６の運転速度や連続運転時間などの制限を緩和することができる。

また、本実施形態に係る直動案内装置１Ｃでは、伝熱手段である２組の編組ケーブル９Ａ，９Ａを作業テーブル２の移動方向両端に振り分け配置することにより、伝熱手段による熱伝導長さは、左右のケーブル９Ａ，９Ａの平均では常に一定となる。したがって、伝熱手段の熱伝導能力を、作業テーブル２の位置に拘らず、常に一定とすることができる。

なお、本実施形態では、伝熱手段として２組の編組ケーブル９Ａを適用しているが、必要に応じて、さらにケーブルの数を増やしてもよい。

また、本実施形態では、発熱部である駆動モータとして超音波リニアモータ６が用いられているが、これに限定されず、例えば発熱部が、作業テーブル２上に設けられた電磁モータ、その他の発熱体、あるいは外部から加熱されることにより高温となるその他のもの（作業テーブル２自体の一部を含む）である場合にも、本発明を適用することができる。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

本発明の第１実施形態に係る直動案内装置の概略構成を示す斜視図である。 上記直動案内装置の駆動源である超音波モータが作業テーブルに取り付けられる状態を説明する図である。 図２における超音波モータ周辺を正面からみた図である。 真空槽外への放熱部における金属ベルトの取付部を説明する図である。 図４のV−V線における断面図である。 直動案内装置の発熱部から金属ベルトを介して真空槽外への放熱部に熱を搬送する状態を説明する図である。 本発明の第２実施形態に係る直動案内装置の概略構成を示す正面図である。 図７中の矢印VIII方向から見た上記直動案内装置を示す上面図である。 図８中のIX−IX線に沿った上記直動案内装置の断面矢視図である。 本発明の第３実施形態に係る直動案内装置の概略構成を示す上面図である。 図１０中のXI−XI線に沿った上記直動案内装置の断面矢視図である。 本発明の第４実施形態に係る直動案内装置の概略構成を示す上面図である。 図１２中のXIII−XIII線に沿った上記直動案内装置の断面矢視図である。 超音波モータを用いた従来の直動案内装置を示す正面図である。 図１４中の矢印XV方向から見た上記直動案内装置を示す上面図である。 図１６は、上記超音波モータの内部構造を示す正面図である。 図１６中の矢印XVII方向から見た上記超音波モータを示す上面図である。 従来の直動案内装置の熱伝導経路について説明するための要部断面図である。

符号の説明

１ 直動案内装置
１Ａ 直動案内装置
１Ｂ 直動案内装置
１Ｃ 直動案内装置
２ 作業テーブル
３ スライダ
４ ベース
６ モータ（超音波モータ）
７ 接触子
８ 走行テーブル
９ 金属ベルト（伝熱手段）
９Ａ 編組ケーブル（伝熱手段）
９Ｂ グラファイトシート（伝熱手段）
１０ ベルト取付具
１１ 取付部
１２ ペルチェ素子
１３ ペルチェ素子
１５ ペルチェ素子
１６ 温度センサ

Claims (10)

1. 真空槽内に、駆動モータによって作業テーブルを所定の方向に移動させる案内機構を設けた直動案内装置であって、
   前記直動案内装置の運転時に、前記作業テーブルに前記駆動モータなどの発熱部を有し、前記発熱部で発生した熱を前記真空槽外に除去するための放熱部を備え、かつ
   前記発熱部と前記放熱部とを伝熱手段で連結し、該伝熱手段を介して前記発熱部で発した熱を前記放熱部まで熱伝導するようにしたことを特徴とする直動案内装置。
2. 前記伝熱手段は、一端が前記発熱部に熱交換可能に連結されるとともに、他端が前記放熱部に熱交換可能に連結される請求項１に記載の直動案内装置。
3. 前記伝熱手段は、前記発熱部との連結部と、前記放熱部との連結部の少なくとも一つに冷却手段が設けられ、前記伝熱手段の熱伝導量を促進するようにした請求項１又は２に記載の直動案内装置。
4. 前記冷却手段は、ペルチェ素子である請求項３に記載の直動案内装置。
5. 前記伝熱手段は、熱伝導性に優れた帯状の薄板をＵ字状に折り曲げて形成された少なくとも１枚の金属ベルトである請求項１乃至４の何れかに記載の直動案内装置。
6. 前記伝熱手段は、複数の金属素線を編みこんで形成された編組ケーブルである請求項１乃至４の何れかに記載の直動案内装置。
7. 前記金属素線は、銅製である請求項６に記載の直動案内装置。
8. 前記伝熱手段は、黒鉛をシート状に加工したグラファイトシートである請求項１乃至４の何れかに記載の直動案内装置。
9. 前記冷却手段は、前記発熱部に配された温度センサによる検出値に基づいて、温度調整を行う請求項３乃至８の何れかに記載の直動案内装置。
10. 前記駆動モータは、超音波モータである請求項１乃至９の何れかに記載の直動案内装置。

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