JP2011200055A - 振動波モータ - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 4
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 10
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 9
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 6
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
- H02N2/006—Elastic elements, e.g. springs
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/009—Thermal details, e.g. cooling means
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
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Abstract
【解決手段】振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記振動体に形成された接触部と接触する移動体を駆動する振動波モータであって、
前記振動波モータで発生した熱を外部に放熱するための可撓性を有する熱伝導部材を備え、
前記熱伝導部材は、前記振動波モータで発生した熱を、前記振動子を支持する振動子支持部材を介して熱伝導する熱伝導経路または前記移動体を介して熱伝導する熱伝導経路、と並列に配設されている。
【選択図】 図1
Description
小型化、大出力化をするうえで、振動波モータの発熱および温度上昇に対する対策は重要である。
すなわち、振動波モータに投入される入力エネルギのうち、出力エネルギにならない損失エネルギ分は、熱エネルギに変換される。
そのため、振動波モータが小型化され、大出力化していくと、体積あたりの損失エネルギ発生量、表面積あたりの損失エネルギ発生量が大きくなり、温度上昇を生じさせる。
このような温度上昇により、振動波モータの構成部材の機能を劣化させ、振動波モータの性能へ影響を及ぼすことから、その対策は重要な問題となる。
この振動波モータは、図4に示されるように、金属性の円環形状に形成された弾性体103の片面には、圧電素子104が接着され、圧電素子104に形成された駆動用の2つの圧電素子群に夫々位相の異なる交流電圧を印加するように構成されている。
そして、この交流電圧の印加により、弾性体103上に2つの定在波が励振され、これらの定在波の合成によって屈曲振動である進行性振動波が形成される。一方、弾性体の他面側には耐摩擦材107の接着された円環状の移動体本環部106(移動体本環部106と耐摩擦材107により移動体108を構成)が、加圧ばね110を介して加圧接触する。
そして、弾性体103に形成される進行性振動波による摩擦駆動によって、移動体108が回転すると共に、出力シャフト111が回転するように構成されている。
これらの熱は、台座102に接する振動子105の内径部から、熱伝導部材116を経て台座102からカバー101へ伝導され、ファン117によってすみやかに放散されるように構成されている。
しかしながら、上記構成では、放熱のための部材として、例えばファンが別途に必要であり、部品個数が増し、小型化が難しくなるという課題を有している。
また、熱伝導部材116は振動子105の振動を阻害し、性能を低下させるという課題を有している。
あるいは、移動体108側から吸振部であるゴムリング109や加圧手段である加圧ばね110と出力シャフト111を介しての熱伝導による放熱がなされることになる。
しかし、振動子支持部材である弾性体薄肉部103−bは振動子105の振動を阻害しないようにするために薄肉状になっており、断面積が小さく熱伝導を妨げる形状となっている。
また、吸振部であるゴムリング109は材料としての熱伝導率が低く、加圧ばね110は加圧力設定の精度を確保するためにばね定数を小さくする目的で薄肉状の形状となっているので、これらも熱伝導を妨げる要因となる。
さらに、振動波モータを構成する各部材は、ネジ止め等によって締結されており、異なる部材間の熱伝導は接触界面を介していて、その接触熱抵抗が熱伝導を妨げている。
従来のものにおいては、以上のように、十分な放熱がなされず、振動波モータの温度が上昇することにより、振動波モータの構成部材の機能を劣化させ、モータ性能を低下させるという課題を有していた。
前記振動波モータで発生した熱を外部に放熱するための可撓性を有する熱伝導部材を備え、
前記熱伝導部材は、前記振動波モータで発生した熱を、前記振動子を支持する振動子支持部材を介して熱伝導する熱伝導経路または前記移動体を介して熱伝導する熱伝導経路、と並列に配設されていることを特徴とする。
[第1の実施形態]
本発明の第1の実施形態における振動波モータの構成例について、図1を用いて説明する。
図1において、1は電気−機械エネルギ変換素子による圧電素子、2は金属からなる弾性体(振動体)で、一方の面に圧電素子が接着されていて、圧電素子1および弾性体2により振動子3を構成している。
4は移動体接触ばね部、5はゴム等の弾性を有する振動減衰材料により構成された、移動体の不要振動を減衰する移動体不要振動吸振部、6は移動体本環部である。
これらの移動体接触ばね部4、移動体不要振動吸振部5および移動体本環部6により、移動体7を構成している。
また、8はゴム等の弾性を有する振動減衰材料で構成された、移動体の振動の電播を遮断する振動伝播遮断吸振部である。
9は加圧手段であるさらばね、10はさらばね固定部材、11は出力シャフト、12はベアリング、13はすべり軸受、14は台座、15はカバーである。
移動体接触ばね部4は、振動子3の振動に追従して異音が発生するのを防ぎ、安定した回転を得る機能を有する。
さらばね9は出力シャフト11に嵌合しているさらばね固定部材10に固定され、振動伝播遮断吸振部8を介して移動体7を振動子3に加圧接触させる。
振動伝播遮断吸振部8は、摩擦力によって移動体7およびさらばね9を回転方向に拘束するため、移動体7が回転すると、その回転力は振動伝播遮断吸振部8、さらばね9、さらばね固定部材10を介して出力シャフト11に伝えられる。
また、振動伝播遮断吸振部8は、振動子3の加振による移動体7の微小な振動をさらばね9に伝播するのを防ぐとともに、さらばね9による移動体7への加圧力を均一にする機能を有する。
移動体不要振動吸振部5は、振動子3の加振による移動体接触ばね部4の不要振動を減衰させる機能を有する。
出力シャフト11は、台座14に保持されたベアリング12およびすべり軸受13によって保持され、回転自由となっている。
なお、振動子3は、振動子内径部3−aと台座14のカシメやネジ締結等の手段によって固定される。
また、台座14に固定されるカバー15によってモータ全体が覆われている。
その接合は、熱伝導部材16〜19と熱伝導部材16〜19に接合された部材間での熱伝導が大きくなるように、大きい接合面積による熱伝導部材が配置され、また、接着やろう付け、溶着等の密着する方法により接合されている。
熱伝導部材は、銅の薄板で形成されているが、これに限るものではなく、アルミニウムやグラファイト、カーボンファイバー等の熱伝導率の大きい材料またはこれらを含有するものであればよい。
また、形状は、接合した部材の振動を阻害しない形状であれば薄板状に限るものではなく、ワイヤーのような線状のものを多数設けるのでも良い。
また、振動子3と移動体7の摩擦駆動面では、摩擦熱が発生する。
以上の振動波モータで発生した熱は、振動子支持部材3−cおよび振動子3と台座14の締結接合面20を介して台座14に伝導される他、並行して熱伝導部材16を介しても台座14に伝導される。
一般に振動子を支持する部材は、振動子の振動を疎外しないようにするため、通常薄肉状とする、または細いピン状とするように、振動子支持部材3−cは薄肉状となっており、そのため熱伝導率は大きくない。
また、振動子3と台座14の締結接合面20も熱抵抗となる。
しかし、熱伝導部材16を介しての熱伝導による放熱の寄与により、振動子3および移動体7の温度上昇および温度上昇によるモータ性能の劣化を防ぐことができる。
また、熱伝導部材16は可撓性を有しているため、振動子3の振動を妨げることがなく、この点からもモータ性能を悪化させない。
移動体7の内部での熱伝導は、熱伝導率が小さい移動体不要振動吸振部5があるものの、移動体接触ばね部4と移動体本環部6に接合された熱伝導部材17により、十分な熱伝導がなされる。
熱伝導部材17を設けても、熱伝導部材17に可撓性があることによって移動体接触ばね部4と移動体本環部6の相対位置を制限することにはならないので、移動体不要振動吸振部5の機能を損なわない。
また、振動伝播遮断吸振部8も熱伝導率が小さいが、熱伝導部材18が移動体本環部6とさらばね9に接合されているため、移動体本環部6とさらばね9の熱伝導も十分なされている。
熱伝導部材18を設けても、熱伝導部材18に可撓性があることによって移動体本環部6とさらばね9の相対位置を制限することにならないので、振動伝播遮断吸振部8の機能を損なわない。
さらに、互いに締結されたさらばね9と出力シャフト11での熱伝導においては、接触熱抵抗を有するさらばね固定部材10との締結接合面を介した熱伝導と並行して、さらばね9と出力シャフト11に接合された熱伝導部材19により十分な熱伝導がなされる。
これら熱伝導部材17〜19を介した熱伝導により、振動子3および移動体7の温度上昇および温度上昇によるモータ性能の劣化を防ぐことができる。
また、移動体不要振動吸振部5や振動伝播遮断吸振部8の機能を損なうことがないため、良好なモータ性能を得ることができる。
これにより、モータ性能に影響を与えることなく、放熱を良好にしモータ温度上昇を防いで良好なモータ特性を得ることができる。
また、このような複数の熱伝導部材を、線状もしくは薄板上の形状でかつ可撓性を有する、締結手段とは異なる熱伝導部材で形成することにより、振動子の振動を阻害せずに放熱することが可能となる。
これにより、モータ性能に影響を与えることなく、放熱を良好にしモータ温度上昇を防いで良好なモータ特性を得ることができる。
なお、以上で説明した構成と異なる形式の振動波モータであっても、それらの吸振部、振動子支持部や複数の部材の締結接合部に対して、本発明の適用は可能である。
本発明の第2の実施形態における振動波モータの構成例について、図2を用いて説明する。
本実施形態の振動波モータは、第1の実施形態における振動波モータとは異なる吸振部を有する振動波モータへ適用したものである。
すなわち、本実施形態の振動波モータでは、振動子と該振動子以外の振動波モータを構成する部材との間に該振動子の不要振動を減衰する吸振部が設けられている。
なお、図2において、図1と同様の符号を記した部材は第1の実施形態と同様の部材であり、詳細な説明は省略し、第1の実施形態と異なる部分のみを説明する。
振動子3を構成する圧電素子1と台座14の間には、振動子の不要振動を減衰する振動子不要振動吸振部21が設けられている。
これにより、鳴きの原因となる、駆動振動とは異なる振動子の不要振動を減衰させる機能を有する。
22は振動子3と台座14に接合された第1の実施形態と同様の熱伝導部材であって、振動子3の駆動振動および振動子不要振動吸振部21の機能に影響を与えることなく振動子3の熱を台座14へ伝導し、放熱する。
本発明の第3の実施形態における振動波モータの構成例について、図3を用いて説明する。
本実施形態では、第1の実施形態と同様の熱伝導部材による熱伝導経路が、加圧部材を介した熱伝導経路と並列に構成されている。
振動波モータを構成する部材においては、ゴム等による吸振部のほかに振動子と移動体を摩擦接触させるための加圧ばね等の加圧部材も、熱伝導を妨げる要素となる。
その理由は、つぎのとおりである。すなわち、加圧力を精度よく設定し、さらに摩擦駆動面の摩耗が進んでも加圧力が変化することによる性能変化がないようにするために、加圧ばねのばね定数はある程度小さくする必要がある。
その結果、板ばねであれば板厚をなるべく薄くし、コイルばねであれば線径を小さくすることになり、加圧部材の熱伝導経路の断面積が小さくなることから、これらの加圧ばね等の加圧部材は、熱伝導を妨げる要素となる。
図3において、23は移動体接触ばね部4’と出力シャフト11に接合された、第1の実施形態と同様の熱伝導部材である。振動子外径部3−bで発生する熱および振動子3と移動体7の摩擦駆動面で発生する熱を、移動体接触ばね部4’を介して出力シャフト11に伝導する。
移動体接触ばね部4’は、熱伝導部材の熱伝導経路を短くするために第1の実施形態における移動体接触ばね部4よりも内径を小さくし、より熱伝導が大きくなるようにしている。
熱伝導部材23がない場合には、熱伝導率の小さい移動体不要振動吸振部5、振動伝播遮断吸振部8および加圧部材であるさらばね9を介しての熱伝導となる。そのため、モータの温度上昇および温度上昇によるモータ性能の低下が生じるが、熱伝導部材23を介した熱伝導での放熱により、モータの温度上昇および温度上昇によるモータ性能の低下を防ぐことができる。
熱伝導部材23は可撓性を有するため、さらばね9に対して変形させる等の影響を与えない。
これによって、加圧部材の機能を阻害せずに、すなわちモータ性能に影響を与えることなく、放熱を良好にしモータ温度上昇を防いで良好なモータ特性を得ることができる。
なお、本実施形態において加圧部材はさらばねで構成されているが、このような構成に限られるものではなく、コイルばねや他の形状の板ばね等であってもよい。
2:弾性体
3:振動子
3−a:振動子内径部
3−b:振動子外径部
3−c 振動子支持部材
4:移動体接触ばね部
5:移動体不要振動吸振部
6:移動体本環部
7:移動体
8:振動伝播遮断吸振部
9:さらばね
10:さらばね固定部材
11:出力シャフト
12:ベアリング
13:すべり軸受
14:台座
15:カバー
16、17、18、19:熱伝導部材
20:締結接合面
Claims (7)
- 振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記振動体に形成された接触部と接触する移動体を駆動する振動波モータであって、
前記振動波モータで発生した熱を外部に放熱するための可撓性を有する熱伝導部材を備え、
前記熱伝導部材は、前記振動波モータで発生した熱を、前記振動子を支持する振動子支持部材を介して熱伝導する熱伝導経路または前記移動体を介して熱伝導する熱伝導経路、と並列に配設されていることを特徴とする振動波モータ。 - 前記移動体は、該移動体の振動の電播を遮断する吸振部を介して加圧部材によって加圧されており、
前記移動体と前記加圧部材とが、前記熱伝導部材によって接合されていることを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。 - 前記移動体は、移動体本環部と、移動体接触ばね部と、これらの間に設けられた移動体の不要振動を減衰する吸振部と、を備え、
前記移動体本環部と前記移動体接触ばね部とが、前記熱伝導部材によって接合されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動波モータ。 - 前記振動子は、該振動子と該振動子以外の振動波モータを構成する部材との間に該振動子の不要振動を減衰する吸振部を備え、
前記振動子と前記振動子以外の振動波モータを構成する部材とが、前記熱伝導部材によって接合されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動波モータ。 - 前記熱伝導部材が、線状の形状を有していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動波モータ。
- 前記熱伝導部材が、薄板状の形状を有していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動波モータ。
- 前記熱伝導部材が、金属、グラファイト、カーボンファイバーの少なくとも一つを含有する材料によって形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動波モータ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010065635A JP5769380B2 (ja) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 振動波モータ |
CN201110065848.9A CN102201756B (zh) | 2010-03-23 | 2011-03-18 | 振动波马达 |
US13/051,997 US8487512B2 (en) | 2010-03-23 | 2011-03-18 | Oscillatory wave motor |
US13/923,109 US8912706B2 (en) | 2010-03-23 | 2013-06-20 | Oscillatory wave motor capable of decreasing degradation of performance |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010065635A JP5769380B2 (ja) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 振動波モータ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011200055A true JP2011200055A (ja) | 2011-10-06 |
JP2011200055A5 JP2011200055A5 (ja) | 2013-05-09 |
JP5769380B2 JP5769380B2 (ja) | 2015-08-26 |
Family
ID=44655559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010065635A Expired - Fee Related JP5769380B2 (ja) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | 振動波モータ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8487512B2 (ja) |
JP (1) | JP5769380B2 (ja) |
CN (1) | CN102201756B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110101766A (ko) * | 2010-03-09 | 2011-09-16 | 삼성전자주식회사 | 압전 모터 |
JP2012210024A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Nikon Corp | 振動体、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動体の接合方法 |
JP6305077B2 (ja) * | 2013-12-16 | 2018-04-04 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP6503940B2 (ja) * | 2015-07-08 | 2019-04-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及び圧電駆動装置の駆動方法 |
JP7005177B2 (ja) * | 2017-06-02 | 2022-02-10 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び移動体 |
JP7071066B2 (ja) | 2017-06-02 | 2022-05-18 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び移動体 |
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CN102201756B (zh) | 2014-02-19 |
CN102201756A (zh) | 2011-09-28 |
US8912706B2 (en) | 2014-12-16 |
US20130278113A1 (en) | 2013-10-24 |
US8487512B2 (en) | 2013-07-16 |
US20110234041A1 (en) | 2011-09-29 |
JP5769380B2 (ja) | 2015-08-26 |
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