KR20090125136A

KR20090125136A - 제2차 고조파 광 발생 장치 및 그의 제조 방법

Info

Publication number: KR20090125136A
Application number: KR1020097020029A
Authority: KR
Inventors: 유끼히로 오제끼; 후미오 나가이
Original assignee: 코니카 미놀타 옵토 인코포레이티드
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2008-02-13
Publication date: 2009-12-03
Also published as: US20100134874A1; EP2131235A1; EP2131235A4; JPWO2008126467A1; WO2008126467A1; CN101652711A

Abstract

본 발명은 광원 장치에 대한 광도파로의 위치 결정 및 고정을 쉽게 하고, 장치 구성을 소형, 간소화할 수 있는 제2차 고조파 광 발생 장치를 제공한다. 이 제2차 고조파 광 발생 장치는 개구를 가진 하우징과, 하우징에 고정된 광원 장치와, 광원 장치로부터 출사되는 광을 전파시켜 제2차 고조파 광으로 변환하는 광도파로가 형성된 비선형 광학 결정 칩을 중심 구멍에 수납하고, 개구에 대하여 헐겁게 끼워지는 외형을 가진 슬리브와, 하우징 내에 배치되고, 광원 장치로부터 출사되는 광을 광도파로에 결합시키는 결합 광학계를 구비하고, 슬리브가 개구에 삽입되어 위치 조정이 행하여진 후, 하우징에 대하여 고정된다.

하우징, 개구, 광원 장치, 슬리브, 제2차 고조파 광 발생 장치, 결합 광학계, 광도파로

Description

제2차 고조파 광 발생 장치 및 그의 제조 방법 {SECOND HARMONIC WAVE GENERATING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 제2차 고조파 광 발생 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.

예를 들면 하기 특허 문헌 1(단락 0003, 도 8)에 기재된 바와 같이, 제2차 고조파 광 발생 장치는 광원으로부터의 광을 비선형 광학 결정에 통과시킴으로써 제2차 고조파를 발생시킨다.

도 3의 (a)에 제2차 고조파 광 발생 장치의 기본 구성예를 도시한다.

도 3의 (a)에 도시한 바와 같이, 제2차 고조파 광 발생 장치는 반도체 레이저 등의 광원 장치(1)와, 비선형이고 큰 유전율을 갖는 비선형 광학 결정 칩(2)과, 광원 장치(1)로부터의 광(P1)을 비선형 광학 결정 칩(2)의 광도파로에 결합시키는 결합 광학계(3)를 갖고, 이들 요소가 하우징(4)에 수납되어 이루어진다. 하우징(4)의 외측에는 전극 단자(5)가 설치된다.

파장 λ1의 광(P1)이 비선형 광학 결정 칩(2)의 광도파로를 통과할 때, 유전 분극의 진동의 약간의 비선형 응답에 의해 입력 파장 λ1의 정수배의 고조파가 발생한다. 그 중 제2차 고조파 광(P2)(λ2=(λ1)/2)이 비교적 강한 값으로 얻어진다.

도 3의 (b)에 비선형 광학 결정 칩(2)의 단면도를 도시한다. 비선형 광학 결정 칩(2)의 광도파로(2a)의 폭은 싱글 모드 파이버의 1/2에서 1/3로 되어 매우 작다. 또한, 고효율의 광 결합을 위해, 광도파로(2a)의 입력 단부에 있어서 싱글 모드 파이버의 코어에 비교하여 그 면적의 25% 내지 10% 정도의 부분에 기본파 광(P1)을 집광하는 것이 필요하게 된다.

한편, 조립 공정에 있어서 광원 장치(1)와 비선형 광학 결정 칩(2)을 고효율의 광 결합이 얻어지는 상대적 위치에 고정하는 것은 어렵다.

그 때문에, 광원 장치(1)와 비선형 광학 결정 칩(2) 사이에 결합 광학계(3)를 배치하고, 조립 공정 후, 이 결합 광학계(3)에 의해 광로를 조정하여 기본파 광(P1)을 광도파로(2a)에 결합시킨다.

결합 광학계(3)는 SIDM 등의 액츄에이터에 의해 3축 내지 1축 방향으로 이동 가능하게 된 하나 또는 복수의 렌즈(3a, 3b)를 갖는다. 액츄에이터를 외부로부터 제어하여 렌즈의 위치를 조정함으로써 광도파로(2a)에 입사하는 기본파 광(P1)의 초점 위치를 조정하고, 기본파 광(P1)을 광도파로(2a)에 양호하게 결합시킨다.

그러나, 특허 문헌 1에도 기재된 바와 같이, 광원 장치(1)와 비선형 광학 결정 칩(2)의 위치 결정을 고정밀도로 행하는 것은 여전히 중요한 과제이다.

특허 문헌 1에는, 비선형 광학 결정에 의한 광도파로가 구성된 광도파로형 파장 변환 디바이스(SHG 소자)를 콜릿에 흡착시키고, 자외선 경화성의 접착제를 통하여 서브 마운트 상에 배치하고, 상기 콜릿을 이동시켜 위치 결정을 행하고, 접착제에 자외선을 조사하여 고정하는 방법이 기재되어 있다. 특허 문헌 1에 기재된 발명에 있어서는, 위치 결정시에 콜릿의 유지력을 접착제로부터 받는 마찰력 이상으로 함으로써, 콜릿과 디바이스의 위치 어긋남을 방지하였다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2004-12992호 공보

그러나, 종래 기술에서는 아직 위치 결정 및 고정이 어려워 생산성이 양호하지 않다. 장치가 대형화하면 서브 마운트의 휨 등의 기계적 변형에 의해 편심할 우려가 높아진다.

따라서, 위치 결정 및 고정을 더욱 쉽게 하여 생산성을 높이고, 장치 구성을 소형, 간소화하는 것이 요구된다.

본 발명은 이상의 종래 기술에 있어서의 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 제2차 고조파 광 발생 장치에 대하여, 광원 장치에 대한 광도파로의 위치 결정 및 고정을 쉽게 하고, 생산 설비 구성을 소형, 간소화하며, 나아가 조립 정밀도, 신뢰성, 저비용성, 생산성을 향상시키는 것을 과제로 한다.

<과제를 해결하기 위한 수단>

이상의 과제를 해결하기 위한 청구 범위 제1항에 기재된 발명은, 개구를 가진 하우징과,

상기 하우징에 고정된 광원 장치와,

상기 광원 장치로부터 출사되는 광을 전파시켜 제2차 고조파 광으로 변환하는 광도파로가 형성된 비선형 광학 결정 칩을 중심 구멍에 수납하고, 상기 개구에 대하여 헐겁게 끼워지는 외형을 가진 슬리브와, 상기 하우징 내에 배치되고, 상기 광원 장치로부터 출사되는 광을 상기 광도파로에 결합시키는 결합 광학계를 구비하고,

상기 슬리브가 상기 개구에 삽입되어 상기 하우징에 대하여 고정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 제2차 고조파 광 발생 장치이다.

청구 범위 제2항에 기재된 발명은, 상기 슬리브가 접착 또는 용착에 의해 상기 하우징에 대하여 고정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 청구 범위 제1항에 기재된 제2차 고조파 광 발생 장치이다.

청구 범위 제3항에 기재된 발명은, 상기 결합 광학계가 상기 광도파로의 축 방향에 대하여 직교하는 2축 방향으로 상점(像点)을 조정 가능한 가동 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 청구 범위 제1항에 기재된 제2차 고조파 광 발생 장치이다.

청구 범위 제4항에 기재된 발명은, 상기 광원 장치가 CD 광원용 LD 패키지 등에서 이용되는 TO 패키지로 패키지화되고, 상기 TO 패키지의 광 출력 단부가 상기 하우징 내에 배치되고, 상기 TO 패키지 상에 상기 결합 광학계가 탑재되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 청구 범위 제1항에 기재된 제2차 고조파 광 발생 장치이다.

청구 범위 제5항에 기재된 발명은, 상기 하우징이, 상기 개구와 동심으로 배치되는 원통체를 갖는 것을 특징으로 하는 청구 범위 제1항에 기재된 제2차 고조파 광 발생 장치이다.

청구 범위 제6항에 기재된 발명은, 상기 결합 광학계를 상기 하우징 내에 배치하는 동시에, 상기 광원 장치를 상기 하우징에 고정하고, 상기 슬리브를 상기 개구에 삽입한 후, 상기 슬리브의 상기 하우징에 대한 위치를 조정함으로써 상기 광원 장치에 대한 상기 광도파로의 위치 결정을 행한 후에, 상기 슬리브를 상기 하우징에 대하여 고정하는 것을 특징으로 하는 청구 범위 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 제2차 고조파 광 발생 장치를 제조하는 제조 방법이다.

<발명의 효과>

본 발명에 따르면, 제2차 고조파 광 발생 장치에 있어서, 광도파로가 형성된 비선형 광학 결정 칩을 중심 구멍에 수납한 슬리브를 광원 장치가 고정된 하우징의 개구에 삽입하여 위치 결정 고정하는 방법 및 구성을 채용함으로써, 종래의 통신용 LD 모듈 조립 장치를 이용할 수 있게 되고, 슬리브를 잡아 접착, 용접 등으로 고정할 수 있고, 생산 설비 구성이 소형, 간소화되며, 나아가 본 장치의 조립 정밀도, 신뢰성, 저비용성, 생산성이 향상된다고 하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제2차 고조파 광 발생 장치의 종단면 도.

도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제2차 고조파 광 발생 장치의 사시도.

도 3의 (a)는 종래의 제2차 고조파 광 발생 장치의 기본 구성예를 도시하는 단면도이고, (b)는 비선형 광학 결정 칩의 단면도.

도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 렌즈를 구동하는 구동 장치의 사시 도.

도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 적층형 압전 액츄에이터의 사시도.

도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 구동 전압 펄스를 나타내는 파형도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 광원 장치

2: 비선형 광학 결정 칩

10: TO 패키지

12: 하우징

12c: 개구

13: 결합 광학계

14: 슬리브

P1: 기본파 광

P2: 제2차 고조파 광

BS: 베이스

C: 전극

DH1: 렌즈 홀더

DH2: 렌즈 홀더

DH1a: 연결부

DH1b: 모서리 홈

DH2a: 연결부

DH2b: 모서리 홈

DR: 구동 장치

HD: 지지체

HG: 홈

L1: 제1 렌즈

L2: 제2 렌즈

PE: 압전 세라믹스

PZ: 압전 액츄에이터

S: 개구 조리개

XDS: X축 구동축

XPZ: X축 압전 액츄에이터

YDS: Y축 구동축

YPZ: Y축 압전 액츄에이터

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>

이하에 본 발명의 일 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이하는 본 발명의 일 실시 형태이며 본 발명을 한정하는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제2차 고조파 광 발생 장치의 종단면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제2차 고조파 광 발생 장치의 사시도이다. 도 1 및 도 2에 공통의 X-Y-Z축을 기재하였다. 광축 방향을 Z축으로 한다.

TO 패키지(10)는 단자(10a), 스템(10b), 캡(10c) 등을 갖고 구성되고, 캡(10c) 내에 광원 장치(1)가 봉입되어 있다. 광원 장치(1)로서는 반도체 레이저가 사용된다. 광원 장치(1)의 전극과 단자(10a)가 전기적으로 접속되어 구성되어 있다. 캡(10c) 내에 밀봉제가 충전되어 광원 장치(1)가 밀봉되어 패키징되어 있다. 캡(10c)의 중앙에는 광원 장치(1)로부터의 광의 출사구가 형성되어 있다.

하우징(12)은 원통부(12a)와, 원통부(12a)의 일 단부를 덮는 상단부(12b)를 갖는다. 단, 상단부(12b)의 중앙에는 슬리브(14)를 삽입하기 위한 개구(12c)가 형성되어 있다. 개구(12c)와 원통부(12a)가 동심으로 배치된다.

슬리브(14)의 중심 구멍에는 광원 장치(1)로부터 출사되는 광(P1)을 전파시켜 제2차 고조파 광(P2)으로 변환하는 광도파로가 형성된 비선형 광학 결정 칩(2)이 수납되고, 접착 등에 의해 고정되어 있다.

개구(12c) 및 슬리브(14)의 Z축에 수직인 단면의 형상은 원형이다. 개구(12c)의 내경보다, 슬리브(14)의 외경이 약간 작게 되고, 슬리브(14)는 개구(12c)에 대하여 헐겁게 끼우는 것이 가능하다. 다시 말해, 하우징(12)과 슬리브(14)의 상대적 위치를 조정 가능하게 하기 위하여 개구(12c)와 슬리브(14) 사이에 여유분이 형성되어 있다.

슬리브(14)의 형상으로서는, 도 2에 도시한 바와 같이 원통 외에, 직방체의 외형을 이룬 것이어도 된다. 슬리브(14)로서는, 그 단면 형상은 불문하고, 중심 부분에 길이 방향으로 관통하는 구멍을 가진 통 형상체가 적용된다. 비선형 광학 결정 칩(2)은 깨지기 쉽기 때문에, 슬립(14)은 그의 보호 부재로 될 만큼의 재질이 필요하다. 슬리브(14)의 재질에는 스테인리스강 등의 금속을 사용하고, 슬리브(14)의 중심 구멍을 비선형 광학 결정 칩(2)의 외형에 맞추어 고정밀도로 가공하는 것이 바람직하다.

결합 광학계(13)는 렌즈(13a)와, 렌즈(13b)와, 이들 렌즈(13a, 13b)를 미소하게 이동시키는 SIDM(Smooth Impact Drive Mechanism; 등록 상표, 도시하지 않음) 유닛을 구비하여 구성되고, SIDM 유닛의 단자(13c, 13d)가 연장되어 있다. TO 패키지(10)의 광 출력 단부가 하우징(12) 내에 배치되고, 결합 광학계(13)가 TO 패키지의 광 출력 단부에 탑재된다. 즉, 각 SIDM 유닛의 가동부에 렌즈(13a, 13b)가 고정되고, SIDM 유닛의 고정부는 TO 패키지(10)의 광 출력 단부에 탑재, 고정된다. 단, SIDM 유닛이나 고정용의 부재는 광로를 가로막지 않도록 배치된다.

예를 들면, SIDM 유닛에 의한 렌즈(13a)의 가동 방향은 X축 방향으로 되고, 다른 SIDM 유닛에 의한 렌즈(13b)의 가동 방향은 Y축 방향으로 된다.

렌즈(13a) 및 렌즈(13b)에 대체되는 단일 렌즈를 사용하고, 그 단일 렌즈를 X축 및 Y축 방향의 각각으로 가동하도록 하여도 된다.

임의로 Z축 방향으로도 가동하도록 구성하여도 되고, 렌즈를 3매 이상 설치하여도 된다.

즉, 렌즈를 1매 또는 2매 이상 갖고, 적어도 X축, Y축을 가동 방향으로 한 가동 렌즈 유닛을 구성하고, 결합 광학계(13)가 광도파로의 축 방향 Z에 대하여 직교하는 2축 방향 X, Y에 상점을 조정 가능한 가동 렌즈를 포함하도록 한다.

다음에, 조립에 대하여 설명한다.

TO 패키지(10)에 결합 광학계(13)를 부설하여 고정한다. 여기에 하우징(12)을 씌우고, 결합 광학계(13)를 하우징(12) 내에 배치하고, 하우징(12)과 TO 패키지(10)를 고정한다. 결과적으로, 광원 장치(1)가 하우징(12)에 고정된다.

다음에, 슬리브(14)를 개구(12c)에 삽입한다.

그 후, 슬리브(14)의 하우징(12)으로부터 나와 있는 부분을 센터링(調芯) 기구에 유지시키고, 이 센터링 기구에 의해, 슬리브(14)의 하우징(12)에 대한 위치를 조정한다. 이것은 광원 장치(1)에 대한 비선형 광학 결정 칩(2)의 광도파로의 위치 결정을 행하기 위한 조정이다. 조정 방향은 Z축 방향, X축 주변의 각도 및 Y축 주변의 각도이다.

슬리브(14)의 위치 조정이 완료되면, 슬리브(14)를 하우징(12)에 대하여 고정한다. 고정은 슬리브(14)와 하우징(12)의 접합부(A)를 접착 또는 용착함으로써 행한다.

이상에 의해, 본 장치의 조립이 완성된다. X축 방향 및 Y축 방향에 대하여 센터링은, 결합 광학계(13)에 의해 기본파 광(P1)의 상점의 위치를 조정함으로써 행한다. 슬리브(14)의 조정 및 결합 광학계(13)에 의한 조정에 의해, 기본파 광(P1)을 고효율로 비선형 광학 결정 칩(2)의 광도파로에 결합시킨다.

본 장치를 실장(實裝) 기판에 실장할 때에는, 단자(10a)에 추가하여 단자(13c, 13d)도 기판에 접속하고, 결합 광학계(13)를 제어할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 실장 후, 경시(經時) 변화나 온도 변화에 의해 생기는 센터링 어긋남을 결합 광학계(13)를 제어하여 보정한다.

다음에, 제1 렌즈(13a)와, 제2 렌즈(13b)와, 이들 렌즈(13a, 13b)를 미소하게 이동시키는 액츄에이터인 SIDM(Smooth Impact Drive Mechanism) 유닛의 구성예에 대하여 설명한다. 도 4는 렌즈를 구동하는 구동 장치(DR)의 사시도이다. 제2 렌즈(L2)와 개구 조리개(S)는 렌즈 홀더(DH2)에 의해 유지되어 있고, 일체적으로 이동하도록 되어 있다. 가동 부재로 되는 렌즈 홀더(DH2)는 구동력을 받는 연결부(DH2a)를 갖고 있다.

연결부(DH2a)의 단부에는 사각기둥 형상의 X축 구동축(XDS)과 대응하는 형상을 갖고 또한 그것에 접하는 모서리 홈(DH2b)이 형성되고, 또한 모서리 홈(DH2b)과의 사이에 X축 구동축(XDS)을 사이에 두도록 하여 판 스프링(XSG)이 설치되어 있다. 연결부(DH2a)와 판 스프링(XSG) 사이에서 협지된 구동 부재인 X축 구동축(XDS)은, 제2 렌즈(L2)의 광축에 직교하는 방향(X축 방향)으로 연장되어 있고, 판 스프링(XSG)의 부세력(付勢力)으로 적절하게 압박되어 있다. X축 구동축(XDS)의 일 단부는 자유 단부이며, 그의 타단부는 전기 기계 변환 소자인 X축 압전 액츄에이터(XPZ)에 연결되어 있다. X축 압전 액츄에이터(XPZ)는 베이스(BS)에 세워 설치된 측벽(SW)에 설치되어 있다.

한편, 제1 렌즈(L1)는 렌즈 홀더(DH1)에 의해 유지되어 있고, 일체적으로 이동하도록 되어 있다. 가동 부재로 되는 렌즈 홀더(DH1)는 구동력을 받는 연결부(DH1a)를 갖고 있다.

연결부(DH1a)의 단부에는 사각기둥 형상의 Y축 구동축(YDS)과 대응하는 형상을 갖고 또한 그것에 접하는 모서리 홈(DH1b)이 형성되고, 또한 모서리 홈(DH1b)과 의 사이에 Y축 구동축(YDS)을 사이에 두도록 하여 판 스프링(YSG)이 설치되어 있다. 연결부(DH1a)와 판 스프링(YSG) 사이에서 협지된 구동 부재인 Y축 구동축(YDS)은, X축 방향 및 제1 렌즈(L1)의 광축에 직교하는 방향(Y축 방향)으로 연장되어 있고, 판 스프링(YSG)의 부세력으로 적절하게 압박되어 있다. Y축 구동축(YDS)의 일 단부는 자유 단부이며, 그의 타단부는 전기 기계 변환 소자인 Y축 압전 액츄에이터(YPZ)에 연결되어 있다. Y축 압전 액츄에이터(YPZ)는 베이스(BS)의 상면에 설치되어 있다.

압전 액츄에이터(XPZ, YPZ)는 PZT(지르콘ㆍ티탄산 납) 등으로 형성된 압전 세라믹스를 적층하여 이루어진다. 압전 세라믹스는 그의 결정 격자 내의 양전하의 무게 중심과 음전하의 무게 중심이 일치하지 않고, 그 자체가 분극되어 있어, 그 분극 방향으로 전압을 인가하면 늘어나는 성질을 갖고 있다. 그러나, 압전 세라믹스의 이 방향으로의 왜곡은 미소하여, 이 왜곡량에 의해 피구동 부재를 구동하는 것은 곤란하므로, 도 5에 도시한 바와 같이, 복수의 압전 세라믹스(PE)를 겹쳐 쌓고 그 사이에 전극(C)을 병렬 접속한 구조의 적층형 압전 액츄에이터가 실용 가능한 것으로서 제공되어 있다. 본 실시 형태에서는, 이 적층형 압전 액츄에이터(PZ)를 구동원으로서 이용하고 있다.

다음에, 이 렌즈(L1, L2)의 구동 방법에 대하여 설명한다. 일반적으로, 적층형 압전 액츄에이터는 전압 인가시의 변위량은 작지만, 발생력은 크고 그의 응답성도 예리하다. 따라서, 압전 액츄에이터(XPZ)에 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이 상승이 예리하고 하강이 느린 대략 톱니바퀴 형상 파형의 펄스 전압을 인가하면, 압전 액츄에이터(XPZ)는 펄스의 상승시에 급격하게 늘어나고, 하강시에 그보다도 천천히 줄어든다. 따라서, 압전 액츄에이터(XPZ)의 신장시에는, 그 충격력으로 X축 구동축(XDS)이 도 4의 전방측으로 압출되지만, 렌즈(L2) 및 개구 조리개(S)를 유지한 렌즈 홀더(DH2)의 연결부(DH2a)와 판 스프링(XSG)은, 그 관성에 의해 X축 구동축(XDS)과 함께 이동하지 않고, X축 구동축(XDS)과의 사이에서 미끄러짐을 일으켜 그 위치에 머문다(조금 이동하는 경우도 있음). 한편, 펄스의 하강시에는 상승시에 비하여 X축 구동축(XDS)이 천천히 되돌아오므로, 연결부(DH2a)와 판 스프링(XSG)이 X축 구동축(XDS)에 대하여 미끄러지지 않고, X축 구동축(XDS)과 일체적으로 도 4의 깊이측으로 이동한다. 즉, 주파수가 수백 내지 수만 헤르츠로 설정된 펄스를 인가함으로써, 렌즈(L2) 및 개구 조리개(S)를 유지한 렌즈 홀더(DH2)를 X축 방향으로 원하는 속도로 연속적으로 이동시킬 수 있다.

마찬가지로, 압전 액츄에이터(YPZ)에 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이 상승이 예리하고 하강이 느린 대략 톱니바퀴 형상 파형의 펄스 전압을 인가하면, 압전 액츄에이터(YPZ)는 펄스의 상승시에 급격하게 늘어나고, 하강시에 그보다도 천천히 줄어든다. 따라서, 압전 액츄에이터(YPZ)의 신장시에는 그 충격력으로 Y축 구동축(YDS)이 도 4의 상측으로 압출되지만, 렌즈(L1)를 유지한 렌즈 홀더(DH1)의 연결부(DH1a)와 판 스프링(YSG)은 그 관성에 의해, Y축 구동축(YDS)과 함께 이동하지 않고, Y축 구동축(YDS)과의 사이에서 미끄러짐을 일으켜 그 위치에 머문다(조금 이동하는 경우도 있음). 한편, 펄스의 하강시에는 상승시에 비하여 Y축 구동축(YDS)이 천천히 되돌아오므로, 연결부(DH1a)와 판 스프링(YSG)이 Y축 구동축(YDS)에 대 하여 미끄러지지 않고, Y축 구동축(YDS)과 일체적으로 도 4의 하측으로 이동한다. 즉, 주파수가 수백 내지 수만 헤르츠로 설정된 펄스를 인가함으로써, 렌즈(L1)를 유지한 렌즈 홀더(DH1)를, Y축 방향으로 원하는 속도로 연속적으로 이동시킬 수 있다.

즉, 소정의 펄스 입력을 인가함으로써, 렌즈(L2) 및 개구 조리개(S)를 X축 방향으로, 렌즈(L1)를 Y축 방향으로 원하는 속도로 연속적으로 이동시킬 수 있는 것이다. 한편, 이상으로부터 명확하지만, 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이 전압의 상승이 느리고, 하강이 예리한 펄스를 인가하면, 렌즈 홀더(DH1, DH2)를 반대 방향으로 이동시킬 수 있다. 본 실시 형태에서는, X축 구동축(XDS) 및 Y축 구동축(YDS)을 사각기둥 형상(회전 방지 기구)으로 하고 있으므로, 렌즈 홀더(DH1, DH2)의 회전 방지 기능이 발휘되어, 렌즈(L2, L1)의 틸트(tilt)가 억제되므로, 별개로 가이드 축을 설치할 필요는 없다.

Claims

개구를 가진 하우징과,

상기 하우징에 고정된 광원 장치와,

상기 광원 장치로부터 출사되는 광을 전파시켜 제2차 고조파 광으로 변환하는 광도파로가 형성된 비선형 광학 결정 칩을 중심 구멍에 수납하고, 상기 개구에 대하여 헐겁게 끼워지는 외형을 가진 슬리브와,

상기 하우징 내에 배치되고, 상기 광원 장치로부터 출사되는 광을 상기 광도파로에 결합시키는 결합 광학계를 구비하고,

상기 슬리브가 상기 개구에 삽입되어 상기 하우징에 대하여 고정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 제2차 고조파 광 발생 장치.
제1항에 있어서, 상기 슬리브가 접착 또는 용착에 의해 상기 하우징에 대하여 고정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 제2차 고조파 광 발생 장치.
제1항에 있어서, 상기 결합 광학계가 상기 광도파로의 축 방향에 대하여 직교하는 2축 방향으로 상점(像点)을 조정 가능한 가동 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 제2차 고조파 광 발생 장치.
제1항에 있어서, 상기 광원 장치가 TO 패키지화되고, 상기 TO 패키지의 광 출력 단부가 상기 하우징 내에 배치되고, 상기 TO 패키지 상에 상기 결합 광학계가 탑재되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 제2차 고조파 광 발생 장치.
제1항에 있어서, 상기 하우징이, 상기 개구와 동심으로 배치되는 원통체를 갖는 것을 특징으로 하는 제2차 고조파 광 발생 장치.
상기 결합 광학계를 상기 하우징 내에 배치하는 동시에, 상기 광원 장치를 상기 하우징에 고정하고, 상기 슬리브를 상기 개구에 삽입한 후, 상기 슬리브의 상기 하우징에 대한 위치를 조정함으로써 상기 광원 장치에 대한 상기 광도파로의 위치 결정을 행한 후에, 상기 슬리브를 상기 하우징에 대하여 고정하는 것을 특징으로 하는, 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 제2차 고조파 광 발생 장치의 제조 방법.