KR20090099457A - 부상 반송 장치와 부상 반송 방법 - Google Patents

Abstract

(구성) 부상 유닛을 물품의 반송로에 걸쳐 복수 설치하여 물품을 부상시킨다. 또한, 물품에 어셈블링된 도전층에 코일로부터 자계를 가함으로써 물품에 추진력을 가해서 반송로에 걸쳐 반송한다.

(효과) 비접촉으로 물품을 부상시켜서 반송할 수 있고, 또한 물품의 방향 또는 좌우 방향의 위치를 용이하게 제어할 수 있다.

부상 반송 장치

Description

부상 반송 장치와 부상 반송 방법{LEVITATION TRANSPORTATION APPARATUS AND LEVITATION TRANSPORTATION METHOD}

본 발명은 에어 또는 초음파 등을 사용한 부상 반송에 관한 것이다.

액정용이나 플라즈마 패널용 등의 유리 기판은 부상 반송하는 것이 바람직하다. 부상 반송에 의해 기판의 오염을 피할 수 있고, 또한 보다 고속 및 저진동으로 반송할 수 있다. 여기에서, 관련된 선행 기술을 설명하면 특허 문헌 1: 일본 특허 공개 2006-222209는 유리 기판 또는 반도체 웨이퍼 등을 에어에 의해 부상 반송하는 것을 개시하고 있다. 또한, 특허 문헌 2: 일본 특허 공고 평3-69812는 초음파에 의해 물품의 부상과 반송을 행하는 것을 개시하고 있다. 그러나, 발명자들의 경험에 의하면 에어의 블로잉에 의해 부상과 반송의 쌍방을 행하면 유리 기판 등의 물품의 자세 또는 위치를 정확하게 제어하는 것이 어렵다. 예를 들면, 기판이 회전하거나 또는 좌우로 위치가 시프트된 경우에 블로잉되는 에어를 제어해어 자세 및 위치를 회복하는 것은 어렵다. 또한, 초음파 부상과 초음파 반송의 조합에서는 초음파에 의한 추진력에 한계가 있기 때문에 물품을 고속으로 반송하는 것이 어렵다. 여기에서, 부상된 기판을 롤러 또는 그리퍼(gripper) 등에 의해 기계적으로 반송하 면 롤러 등과의 접촉에 의한 오염이 문제가 된다. 또한, 롤러에서는 물품이 롤러로부터 롤러로 갈아탈 때에 물품에 진동이 발생한다. 그리퍼에서는 그리퍼의 리턴 운동이 필요하기 때문에 반송 효율이 저하된다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 2006-222209

[특허 문헌 2] 일본 특허 공고 평3-69812

본 발명의 과제는 물품의 위치 및 방향을 컨트롤하면서 비접촉으로 물품을 부상 및 반송할 수 있도록 하는 것에 있다.

본 발명은 물품을 부상시키면서 비접촉으로 반송하는 장치에 있어서,

물품을 부상시키는 부상 유닛을 물품의 반송로에 걸쳐 복수 설치함과 아울러,

물품에 어셈블링(assembling)된 도전층에 자계를 가함으로써 물품에 추진력을 가하는 코일을 상기 반송로에 걸쳐 복수 설치한 것을 특징으로 한다.

바람직하게는 물품의 상하 한쪽에 상기 코일을, 다른 쪽에 자성체를 물품을 사이에 두고 대향하도록 설치한다.

또한, 바람직하게는 상기 코일을 물품의 좌우 양측에 대향해서 설치한다.

바람직하게는 물품이 유리 기판이며, 상기 도전층이 유리 기판 상의 인듐 주석 산화막(ITO막)이다.

또한, 바람직하게는 물품이 유리 기판이며, 상기 도전층이 유리 기판에 어셈블링된 비자성의 금속층이다.

보다 바람직하게는 상기 금속층이 유리 기판의 적어도 한 변에 걸쳐 설치된 비자성의 금속 프레임이다.

바람직하게는 상기 부상 유닛은 공기의 압력에 의해 유리 기판을 부상시킨다. 예를 들면, 유리 기판에 대하여 압축 공기를 분사하고, 그 압력으로 유리 기판을 부상시킨다.

또한, 바람직하게는 상기 부상 유닛은 진동체를 구비하고, 그 진동체의 진동에 의한 방사압에 의해 유리 기판을 부상시킨다. 예를 들면, 진동체를 초음파 진동 시키고, 그 방사압에 의해 유리 기판을 부상시킨다.

또한, 본 발명의 부상 반송 방법에서는 부상 유닛을 물품의 반송로에 걸쳐 복수 설치해서 물품을 부상시키고, 물품에 어셈블링된 도전층에 코일로부터 자계를 가함으로써 물품에 추진력을 가해서 상기 반송로에 걸쳐 반송한다.

또한, 본 명세서에 있어서 부상 반송 방법에 관한 기재는 부상 반송 장치에도 적합하고, 부상 반송 장치에 관한 기재는 부상 반송 방법에도 적합하다.

(발명의 효과)

본 발명에서는 부상 유닛에 의해 물품을 부상시키고, 물품에 어셈블링된 즉, 물품에 일체로 부착된 도전층에 코일로부터 자계를 가해서 추진한다. 부상 유닛과 코일은 반송로에 걸쳐 복수 설치되고, 코일과 도전층의 관계는 지상측의 코일이 1차측이며, 피반송 물품 상의 도전층이 2차측인 리니어 모터이다. 물품은 부상해서 반송되므로 공기 저항을 없애는 것 뿐인 추력을 코일로부터 가하면 좋고, 물품에 어셈블링한 도전층에 의해 고속 반송할 수 있다. 또한, 코일로부터 추력을 가하므로 에어에 비해서 추력의 제어가 용이하며, 물품의 위치 또는 자세를 용이하게 컨트롤할 수 있다. 또한, 물품을 비접촉으로 부상 반송하면 고속 반송시 등에도 물품의 진동을 매우 작게 억제할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 반송 경로의 일부에서 롤러 등을 접촉시켜서 물품을 지지해도 좋다.

여기에서 물품을 사이에 두고 대향하도록 코일과 자성체를 상하에 설치하면 코일로부터의 자속은 도전층을 자성체를 향해서 통과시켜 도전층에 작용하는 추력을 크게 할 수 있다.

또한, 반송로의 좌우에 코일을 대향해서 설치하면 코일에의 전류를 좌우 독립적으로 제어함으로써 물품의 회전이나 좌우에의 위치의 편향을 용이하게 교정할 수 있다.

도전층으로서 액정 디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판에 설치되어 있는 ITO막을 사용하는 것이 바람직하다. ITO막을 사용하면 별도로 도전층을 설치하지 않고, 유리 기판을 반송할 수 있다. ITO막은 In95%-Sn5% 정도의 산화물의 막이며, 막 두께는 1㎛약~10㎛ 정도이고, 도전성이 높은 막이다.

또한, Al 또는 Cu 등의 비자성의 금속층을 사용하면 도전성이 높으므로 큰 추력이 얻어지고, 또한 코일로부터 떨어지려고 하므로 원활하게 반송할 수 있다. 특히 비자성의 금속층을 유리 기판의 네 둘레를 둘러싸는 프레임으로 하면 디스플레이의 제조 공정에의 유리 기판의 투입으로부터 가공 완료까지의 동안, 유리 기판을 보강하고, 손상을 방지하는 것에도 사용된다.

공기의 압력을 이용한 부상 유닛, 특히 압축한 공기를 분출시켜서 물품을 부상시키도록 한 부상 유닛을 사용하면 예를 들면, 좌우의 부상 유닛으로부터의 공기의 분출량 등을 제어하여 비접촉으로 물품의 좌우 방향 위치 등을 규제할 수 있다.

또한, 초음파 등의 방사압에 의해 물품을 부상시켜도 좌우의 부상 유닛으로부터의 방사압의 제어 등에 의해 비접촉으로 물품의 좌우 방향 위치 등을 규제할 수 있다.

이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.

(실시예)

도 1~도 11에 실시예와 그 변형을 나타낸다. 도면에 있어서 2는 부상 반송 장치이며, 반송로(3)의 좌우에 대향하도록 리니어 모터 유닛(4, 5)을 설치한다. 리니어 모터 유닛(4, 5)은 도시하지 않은 코일과 철심을 설치하고, 3상 교류 전류 등에 의해 이동 자계를 발생시키는 리니어 모터의 1차측 유닛이다. 리니어 모터 유닛(4, 5)은 반송 대상의 유리 기판(16)의 반송 방향 사이즈보다 예를 들면, 짧은 피치로 반송로(3)에 걸쳐 복수 배치한다. 또한, 본 명세서에서 반송로의 좌우는 수평면 내에서 반송로에 직각인 방향을 말하고, 반송로(3)는 실질적으로 수평이다. 리니어 모터 유닛(4, 5)의 배열 피치나 리니어 모터 유닛(4, 5)의 열의 수는 적당하게 정하면 좋고, 극단적인 경우, 리니어 모터 유닛(4, 5)을 각각 리니어 모터의 연속된 1차측 코일로 해도 좋다. 또는 반대로 리니어 모터 유닛(4, 5)을 유리 기판(16)의 반송 방향 사이즈보다 긴 피치로 배치해도 좋다. 또한, 유리 기판(16)의 자세를 도시하지 않은 접촉 롤러에 의해 제어하거나 또는 후술의 부상 유닛(6)으로부터의 공기압 또는 초음파의 방사압에 의해 제어하는 경우, 리니어 모터 유닛을 유리 기판(16)의 바닥면의 폭 방향 중앙부에 1열로 배치해도 좋다.

반송로(3)에 걸쳐 부상 유닛(6)을 복수 배치하고, 부상 유닛(6)은 예를 들면, 압축 공기를 상향으로 분사해서 피반송 물품을 부상시키는 에어 부상 유닛 또 는 초음파를 물품의 바닥면을 향해서 방사하고, 그 방사압에 의해 부상시키는 초음파 부상 유닛 등으로 한다. 물품의 도전층이 비자성인 경우, 도전층과의 사이의 반발력에 의해 물품을 부상시키는 전자석을 부상 유닛(6)에 이용해도 좋고, 그 경우, 전자석으로부터의 자계를 이동 자계로 하면 부상용 전자석을 리니어 모터 유닛(4, 5)에 겸용할 수 있다. 실시예에서는 반송로(3)에 걸쳐 부상 유닛(6)을 간극 없이 배치했지만 이들 사이에 간극을 형성해도 좋다.

반송로(3) 상의 유리 기판(16)을 카메라(8)에 의해 촬상하고, 반송 방향 위치와 좌우 방향 위치{반송로(3)의 좌우 방향에 걸친 위치) 및 자세(유리 기판의 중심으로부터의 회전각)를 컨트롤러(10)에 설치한 도시하지 않은 화상 인식 유닛 등에 의해 구한다. 카메라(8) 대신에 투광부와 수광부를 구비한 광학식 위치 센서를 반송로(3)에 걸쳐 복수개 설치하여 유리 기판(16)의 단부 위치를 검출해도 좋다. 또한, 근접 센서 등으로도 유리 기판(16)의 단부를 검출할 수 있고, 유리 기판(16)의 위치와 자세의 검출 방법 자체는 임의이다. 컨트롤러(10)는 유리 기판(16)의 위치 및 자세에 따라 리니어 모터 구동부(12)를 제어하여 유리 기판(16)에 반송 방향에 걸친 추력을 가한다. 이것과 동시에 반송로(3)의 좌우에 걸친 위치의 시프트 및 유리 기판(16)의 자세를 교정한다. 컨트롤러(10)는 또한, 부상 구동부(14)를 제어하고, 유리 기판(16)의 바닥면 부근에 있는 부상 유닛(6)을 동작시켜 유리 기판(16)을 부상시킨다. 부상량은 예를 들면, 0.1~10㎜ 정도의 오더이며, 반송 속도는 예를 들면, 최대로 400m/min 정도이다.

유리 기판(16)은 반송 물품의 예이며, 그 밖에 실리콘 웨이퍼 또는 레티클, 마스크 등을 반송해도 좋다. 유리 기판(16)은 액정 디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 기판이며, 사이즈는 한 변이 1~수m 정도이고, 두께는 수백㎛~㎜ 오더이다. 도면의 스크라이브 예정선(17)은 가공 완료 후에 스크라이브를 행할 예정 위치를 나타내고, 도 1의 단계에서 선이 새겨져 있는 것은 아니다. 또한, 유리 기판(16)의 바닥면 또는 상면은 ITO막으로 거의 전면이 덮여 있다. 18은 ID 마크이며, 비자성의 금속판 또는 금속막으로 이루어지고, 금속판을 부착하거나 또는 기판(16)을 금속판에 의해 클립해서 부착한다. ID 마크(18)가 금속막인 경우, 인쇄 또는 증착, 스퍼터링 등에 의해 성막한다.

도 2에 유리 기판(16)의 단면을 나타낸다. 20은 유리부이며, 예를 들면, 그 상부 또는 바닥의 거의 전면에 ITO막(22)이 형성되어 있다. ITO막(22)은 기판(16)의 어스로서 작용하고, 그 상부에 박막 트랜지스터 등을 설치한다. 그리고 기판(16) 내를 리니어 모터 유닛(4, 5)으로부터의 자속이 관통하면 ID 마크(18) 및 ITO막(22)에는 와전류가 발생하고, 이들 와전류에 의해 플레밍 왼손의 법칙에 의해 기판(16)에 추력을 가할 수 있다. 즉, 금속의 ID 마크(18)는 리니어 모터 유닛(4, 5)에 대한 리액션 플레이트로서 사용할 수 있고, ITO막(22)에서는 도전성이 낮기 때문에 추력이 부족한 경우에 ID 마크(18)를 설치하여 추력을 증가시킨다.

도 3, 도 4는 Al층(34)을 설치한 유리 기판(30)을 나타내고, ID 마크(18)는 설치해도 설치하지 않아도 좋다. 다른 점에서는 도 2의 기판(16)과 동일하다. ITO막(22)에서는 도전성이 부족하기 때문에 추력이 불충분한 경우 또는 ITO막(22)에서 발생하는 와전류에 의한 발열을 충분히 방열할 수 없는 경우, 유리부(20)로부터 봐 서 ITO막(22)과는 반대측에 Al층(34)을 설치한다. Al층(34)은 알루미늄의 막 또는 포일, 판 등이며, 가공의 개시로부터 종료까지 유리부(20)와 일체이다. 이 동안에 유리 기판(30)은 다수회의 반송과 가공을 받는다. Al층(34)은 도 4에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 기판(30)의 진행 방향 양 사이드에 설치하지만 기판(30)의 전면에 설치해도 좋다. 또한, 여기에서 막은 예를 들면, 두께 100㎛ 이하인 것을 의미하고, 판은 예를 들면, 두께 0.3㎜ 이상인 것을 의미한다. 그리고, 막이나 판 및 이들의 중간 두께인 것을 전체적으로 층이라고 부른다. 또한, Al층 대신에 Cu층 또는 Al 합금, Cu 합금의 층을 설치해도 좋다.

도 4를 참조하여 유리 기판(30)을 예로 들어 리니어 모터 유닛(4, 5)으로부터의 추력을 설명한다. 각 리니어 모터 유닛(4, 5)으로부터 도 4에 Fx로 나타내는 추력이 가해진다. 리니어 모터 유닛(4, 5)의 배열 피치를 유리 기판(30)의 반송 방향의 길이보다 짧게 하면 상시 적어도 좌우 각 1개소의 리니어 모터 유닛(4, 5)으로부터의 추력을 받는다. 여기에서, 좌우의 유닛(4, 5)을 독립적으로 제어하면 유리 기판(30)의 사행을 교정하면서 고속으로 반송할 수 있다. 또한, 유리 기판(30)의 좌우 방향 위치를 규제하기 위해서 접촉식 가이드 롤러 등을 설치하거나 또는 도 4의 Fy 방향으로 추력을 부여하는 리니어 모터 유닛을 설치해도 좋다. 리니어 모터 유닛(4, 5)으로부터의 추력의 사용법은 도 1, 도 2의 유리 기판(16)에서도 동일하다. 또한, 리니어 모터 유닛(4, 5)의 배열 피치를 짧게 하면 유리 기판(30)의보다 정밀한 속도 제어가 가능하게 되고, 또한 보다 큰 추력을 가할 수 있다. 반대로 리니어 모터 유닛(4, 5)의 배열 피치를 유리 기판(30)의 길이보다 길게 해도 좋 다.

Al층(34)은 예를 들면, 박막인 경우, 진공 증착 또는 스퍼터링 등에 의해 설치하고, 후막인 경우, Al 입자를 분산시킨 잉크를 잉크젯 프린터 또는 분무기, 인쇄기 등에 의해 도포하고, 건조 후에 유리 기판의 내열 온도 이하에서 열처리함으로써 설치한다. 후막 또는 박막의 Al층은 유리 기판을 스크라이브할 때에 불필요부로서 컷팅하거나 또는 산 세정 등에 의해 제거하거나 또한, 기판의 주위의 어스로서 남겨도 좋다.

도 5, 도 6에 추진 기구의 변형예를 나타낸다. 40은 새로운 유리 기판이며, ITO막보다 큰 추력이 얻어지도록 진행 방향 양 사이드에 막상 또는 판상의 Al편(41, 42)을 설치하고, 이들을 접속하도록 Al편(43, 44)을 설치하고 있다. Al편(41~44)은 Cu 또는 Cu 합금, Al 합금 등이라도 좋다. 45~49는 전자석이며, 예를 들면, Al편(43, 44)을 설치한 피치와 동일한 피치로 설치하고, 50~53은 철심이며, 전자석(45~49)과 동일한 피치로 설치함과 아울러, 그 선단 개구부가 Al편(41~44)에 의해 구성되는 폐쇄 루프의 내측에 배치되도록 한다. 전자석(45~49)과 유리 기판(40)을 사이에 두고 대향하도록 새로운 전자석(58) 등 또는 자성체판 등을 설치해도 좋고, 이들을 설치하지 않아도 좋다. 위상이 반대인 교류 전원(54, 55)을 설치하고, 각각 철심(50~53)의 코일(56)에 통전함으로써 철심(50, 51)의 선단 개구부 사이에 발생하는 자계가 변화된다. 철심(50)에 의한 자계의 변화가 Al편(41~44)으로 이루어지는 폐쇄 루프를 관통해서 발생함으로써 동 폐쇄 루프에 유도 전류가 흐른다. 철심(51)에 의한 자계의 변화는 이것과는 역위상에서 발생하기 때문에 Al 편(41~44)으로 이루어지는 폐쇄 루프에는 마찬가지로 역위상의 전류가 흐른다. 또한, Al편(41~44)을 설치하는 대신에 기판(40)의 전면을 Al로 피복해도 좋고, 또한 Al 대신에 Cu 또는 Al 합금, Cu 합금 등의 다른 비자성 금속을 사용해도 좋다. 위상이 반대인 교류 전원(54, 55)을 설치하는 대신에 코일(56)의 권취 방법을 코일마다 반대로 해도 좋다. 또한, 전자석(45~49)은 좌우 2열로 배치해도 좋다.

전원(54, 55)은 위상이 반대이므로 어느 순간에 기판(40)에는 도 5의 화살표와 같이 진행 방향 전방과 후방에서 역방향으로 전류가 흐른다. 여기에서, Al편(43, 44)과 전자석(45~47)이 겹쳐진 타이밍에서 전자석(45, 47)에 수직 상향의 자계가 발생하고, 전자석(46)에 수직 하향의 자계가 발생하도록 통전하면 Al편(41~44)을 흐르는 전류와 전자석(45~47)으로부터의 자계의 상호 작용에 의해 플레밍 왼손의 법칙에 의해 기판(40)에 추력을 발생시킬 수 있다. 동일한 처리를 철심(52, 53) 및 전자석(48, 49)에서도 반복함으로써 기판(40)을 이동시킨다. 도 5의 예에서는 철심(50~53)과 코일(56)로 이루어지는 전자석과, 전자석(45~49)의 통전 제어에 의해 자계의 변화를 동기시킴으로써 이동 자계를 사용한 리니어 모터 유닛없이 기판(40)을 이동시킨다. 또한, 중간의 Al편(44)은 상기 실시예에서는 1개로 했지만 복수개로 해도 좋다. 그 경우에는 전자석 및 철심, 코일을 적당히 늘림으로써 보다 원활한 반송이 가능하게 된다. 또는 Al편(44)은 없어도 좋다. 그 경우, 교류 전원(54, 55)의 위상을 동일하게 하고, 전자석의 자계는 예를 들면, 도 5의 위치에 기판이 있을 때에는 전자석(45, 47)에서 역방향의 자계를 발생시키도록 하면 기판에 추력을 발생시킬 수 있다.

도 7의 유리 기판(60)은 유리부(20)의 바닥면 전체에 Al 포일(61)을 설치한 것이며, 그 일부를 확대해서 나타낸다. 62은 Al 포일(61)과 유리부(20)를 일체로 유지하기 위한 커넥션층이다. 커넥션층(62)은 예를 들면, 접착제 또는 점착제, 폴리염화비닐리덴막 등과 같이 점착성이 풍부한 막으로 한다. 또는 또한, 유리부(20)의 청정한 바닥면을 커넥션층(62) 또는 Al 포일(61)과 직접 접촉시키면 메카노케미컬(mechanochemical)한 접착력이 발생되므로 메카노케미컬하게 Al 포일(61)을 유리부(20)에 부착해도 좋다. 도 7에서는 Al 포일(61)은 유리 기판(60)의 바닥면 전체를 덮지만 도 4와 마찬가지로 바닥면의 네 둘레에만 설치해도 좋다. 다른 점에서는 도 7의 유리 기판(60)은 도 3, 도 4의 유리 기판(30)과 동일하다. 유리 기판(60)을 Al 포일(61)과 리니어 모터 유닛 및 부상 유닛을 이용하여 반송한다.

도 8~도10은 유리 기판(16)의 네 둘레에 Al 프레임(63)을 설치한 예를 나타낸다. Al 프레임(63)은 두께가 0.3~5㎜ 정도이며, 외형은 유리 기판(16)보다 약간 크고, Al 프레임(63)의 중앙에는 큰 개구(65)가 설치되어 있다. Al 프레임(63)의 외주는 기판(16)의 외주보다 외측에 있어 기판(16)을 다른 물품과의 충돌로부터 보호한다. Al 프레임(63)의 네 둘레의 폭은 10~100㎜ 정도이며, 큰 개구(65)를 설치해서 경량화한다. Al 프레임(63)은 예를 들면, 클립(64)에 의해 유리 기판(16)에 부착하고, Al 프레임(63)의 네 모서리에 형성한 돌기(66)를 클립(64)에 감합시킴으로써 기판(16)의 투입으로부터 가공 완료까지 Al 프레임(63)과 기판(16)을 일체로 한다. 그리고, Al 프레임(63)에 흐르는 와전류를 이용하여 리니어 모터 유닛과 부상 유닛에 의해 반송한다.

도 11에 실시예에서의 기판의 반송을 나타낸다. 리니어 모터 유닛(4, 5)에서는 코일(70)과 대향해서 철판 등의 자성체판(71)을 설치하고, 이들은 기판(16)을 상하로부터 끼우도록 배치되어 있다. 그리고, 코일(70)과 자성체판(71)을 흐르는 자속은 ITO막(22) 또는 Al층(34) 등을 흐르고, 이 와전류에 의해 추력이 가해진다. 추력은 공기의 저항을 없애는 정도의 것이면 좋고, ITO막(22)으로도 필요한 추력을 발생시킬 수 있다. 그리고, 부상 유닛(6)으로부터의 에어의 분사 또는 초음파의 방사압, 자계 등에 의해 기판(16)을 부상시킨다. 리니어 모터 유닛(4, 5)을 독립적으로 제어함으로써 기판(16)의 위치와 자세를 제어한다. 자성체판(71)을 설치하는 대신에 기판의 상하에 코일(70)을 설치하면 비용 또는 스페이스의 점에서 불리하지만 강한 추력이 얻어진다. 또한, 자성체판(71)을 설치하지 않으면 코일(70)로부터의 자속이 기판의 외부로 누설되어 비효율적이며, 또한 전자 노이즈의 원인이 되지만 유리 기판 상에 차폐물이 없어지므로 유지 보수가 용이하며, 또한 필요한 경우에는 유리 기판의 이송도 용이하다. 코일(70)이나 자성체판(71)을 유리 기판의 상부에 설치하는지의 여부는 필요한 추진력이나 설치 장소 등에 따라 선택한다.

실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.

(1) 유리 기판을 비접촉이며 고속으로 반송할 수 있다.

(2) 반송 과정에서의 유리 기판의 위치 및 자세를 교정할 수 있다.

(3) 유리 기판에 원래 구비되어 있는 ITO막을 사용하면 별도로 금속층을 설치할 필요가 없다.

(4) Al막 또는 Cu막, Al 또는 Cu의 포일 등은 간단하게 유리 기판의 바닥면 에 부착할 수 있다.

(5) Al 프레임은 유리 기판의 보호에도 사용할 수 있다.

(6) 유리 기판의 위치를 검출함으로써 기판과 대향하는 리니어 모터 유닛 또는 부상 유닛만을 동작시킬 수 있다.

여기에서는 ITO막(22)을 나타냈지만 ZnO막 또는 폴리에틸렌디옥시티오펜(PEDOT) 등의 다른 도전막이라도 좋다.

도 1은 실시예의 부상 반송 장치의 주요부 평면도이다.

도 2는 도 1의 유리 기판의 모식적인 단면도이다.

도 3은 다른 유리 기판의 모식적인 단면도이다.

도 4는 도 3의 유리 기판의 저면도이다.

도 5는 추진 기구의 변형예를 나타내는 평면도이다.

도 6은 도 5의 추진 기구의 정면도이다.

도 7은 또 다른 유리 기판의 저면도이다.

도 8은 Al 프레임을 부착한 유리 기판의 평면도이다.

도 9는 도 8의 V-V 방향 단면도이다.

도 10은 도 8의 주요부 확대 평면도이다.

도 11은 실시예의 부상 반송 장치의 주요부 측면도이다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

2: 부상 반송 장치 3: 반송로

4, 5: 리니어 모터 유닛 6: 부상 유닛

8: 카메라 10: 컨트롤러

12: 리니어 모터 구동부 14: 부상 구동부

16: 유리 기판 17: 스크라이브 예정선

18: ID 마크 20: 유리부

22: ITO막 30, 60: 유리 기판

34: Al층 40: 기판

41~44: Al편 45~49: 전자석

50~53: 철심 54, 55: 교류 전원

56: 코일 58: 전자석

61: Al 포일 62: 커넥션층

63: Al 프레임 64: 클립

65: 개구 66: 돌기

70: 코일 71: 자성체판

Claims (9)

1. 물품을 부상시키면서 비접촉으로 반송하는 장치에 있어서:

   상기 물품을 부상시키는 부상 유닛을 상기 물품의 반송로에 걸쳐 복수 설치함과 아울러,

   상기 물품에 어셈블링된 도전층에 자계를 가함으로써 상기 물품에 추진력을 가하는 코일을 상기 반송로에 걸쳐 복수 설치한 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 물품의 상하 한쪽에 상기 코일을, 다른 쪽에 자성체를 상기 물품을 사이에 두고 대향하도록 설치한 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 코일을 상기 물품의 좌우 양측에 대향해서 설치한 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 물품은 유리 기판이며, 상기 도전층은 유리 기판 상의 인듐 주석 산화막인 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 물품은 유리 기판이며, 상기 도전층은 유리 기판에 어셈블링된 비자성의 금속층인 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 금속층은 상기 유리 기판의 적어도 한 변에 걸쳐 설치한 비자성의 금속 프레임인 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 부상 유닛은 공기의 압력에 의해 유리 기판을 부상시키는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 부상 유닛은 진동체를 구비하고, 상기 진동체의 진동에 의한 방사압에 의해 유리 기판을 부상시키는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
9. 부상 유닛을 물품의 반송로에 걸쳐 복수 설치해서 상기 물품을 부상시키고, 상기 물품에 어셈블링된 도전층에 코일로부터 자계를 가함으로써 상기 물품에 추진력을 가해서 상기 반송로에 걸쳐 반송하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 방법.

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