KR20090072451A - 핸들러, 테스트트레이 이송방법, 및 반도체 소자 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 테스트트레이에 테스트될 반도체 소자들이 수납될 때 테스트트레이가 위치되는 로딩위치와, 상기 로딩위치의 아래에 위치하고 테스트트레이가 반입되는 제1반입위치와, 상기 제1반입위치의 아래에 위치하고 테스트트레이가 반출되는 제1반출위치 간에 형성되는 제1승강경로를 따라 테스트트레이를 승하강시키는 제1승강부, 및 상기 로딩위치에 위치된 테스트트레이에 대해 로딩공정을 수행하는 로딩픽커를 포함하는 로딩부;상기 로딩부로부터 이송되는 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자들이 하이픽스보드에 접속되어 테스트되는 테스트챔버를 포함하는 챔버부;테스트트레이로부터 테스트된 반도체 소자들이 분리될 때 테스트트레이가 위치되는 언로딩위치와, 상기 언로딩위치의 아래에 위치하고 테스트트레이가 반출되는 제2반출위치와, 상기 제2반출위치의 아래에 위치하고 테스트트레이가 반입되는 제2반입위치 간에 형성되는 제2승강경로를 따라 테스트트레이를 승하강시키는 제2승강부, 및 상기 챔버부로부터 이송되어 상기 언로딩위치에 위치된 테스트트레이에 대해 언로딩공정을 수행하는 언로딩픽커를 포함하고, 상기 로딩부의 옆에 배치되는 언로딩부;상기 제1반출위치 및 상기 제2반입위치 사이에 배치되고, 상기 로딩부로부터 이송되는 테스트트레이를 수평상태에서 수직상태로 회전시키고, 상기 챔버부로부터 이송되는 테스트트레이를 수직상태에서 수평상태로 회전시키는 적어도 하나의 회전 부; 및테스트된 반도체 소자들이 수납된 테스트트레이를 상기 회전부에서 상기 제2반입위치로 이송하고, 로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 제1반출위치에서 상기 회전부로 이송하며, 언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 제2반출위치에서 상기 제1반입위치로 이송하는 이송부를 포함하는 핸들러.
- 제 1 항에 있어서,상기 제2반출위치로부터 반출되어 상기 제1반입위치로 반입되는 언로딩공정이 완료된 테스트트레이의 이송을 안내하는 안내부를 더 포함하되;상기 안내부는 상기 제1반입위치에서 상기 로딩부에 설치되는 제1안내부, 및 상기 제2반출위치에서 상기 언로딩부에 설치되는 제2안내부를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 2 항에 있어서,상기 제1승강부는 테스트트레이를 지지하는 제1지지구; 및 상기 제1지지구를 승강시키는 제1승강유닛을 포함하며;상기 제1안내부는 상기 제1반입위치에서 언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 지지하는 제1레일; 및 상기 제1레일을 상기 제1승강경로의 내측 및 외측 간에 이동시키는 제1구동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 3 항에 있어서,상기 제1구동유닛은 상기 제1지지구의 하강시 상기 제1레일을 상기 제1승강경로 외측으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 3 항에 있어서,상기 제1레일은 상기 제1반입위치에서 상기 로딩부에 회전 가능하게 결합되고,상기 제1구동유닛은 상기 제1레일을 회전시켜서 상기 제1승강경로의 내측 및 외측 간에 이동시키는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 3 항에 있어서, 상기 제1레일은테스트트레이의 측면에 접촉되고, 상기 제1구동유닛에 결합되는 제1프레임; 및테스트트레이의 저면을 지지하고, 테스트트레이에 접촉되어 회전될 수 있도록 상기 제1프레임에 회전가능하게 결합되는 복수개의 제1롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 2 항에 있어서,상기 제1안내부는 상기 제1반입위치에서 상기 로딩부에 결합되고, 상기 제2반출위치로부터 반출되어 상기 제1반입위치로 반입되는 테스트트레이에 접촉되어 서, 상기 테스트트레이를 제1승강경로상에 위치시키는 위치결정구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 2 항에 있어서,상기 제2승강부는 테스트트레이를 지지하는 제2지지구; 및 상기 제2지지구를 승강시키는 제2승강유닛을 포함하며;상기 제2안내부는 상기 제2반출위치에서 언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 지지하는 제2레일; 및 상기 제2레일을 상기 제2승강경로의 내측 및 외측 간에 이동시키는 제2구동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 8 항에 있어서,상기 제2구동유닛은 상기 제2지지구의 상승시 상기 제2레일을 상기 제2승강경로의 외측으로 이동시키고, 상기 제2지지구의 하강시 상기 제2레일을 상기 제2승강경로의 내측으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 8 항에 있어서,상기 제2레일은 상기 제2반출위치에서 상기 언로딩부에 회전 가능하게 결합되고,상기 제2구동유닛은 상기 제2레일을 회전시켜서 상기 제2승강경로의 내측 및 외측 간에 이동시키는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 제 8 항에 있어서, 상기 제2레일은테스트트레이의 측면에 접촉되고, 상기 제2구동유닛에 결합되는 제2프레임; 및테스트트레이의 저면을 지지하고, 테스트트레이에 접촉되어 회전될 수 있도록 상기 제2프레임에 회전가능하게 결합되는 복수개의 제2롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러.
- 테스트트레이에 테스트될 반도체 소자들이 수납될 때 테스트트레이가 위치되는 로딩위치에 위치된 테스트트레이에 대해 로딩공정을 수행하는 단계;로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 로딩위치에서 상기 로딩위치의 아래에 위치하는 제1반출위치로 하강시킨 후에, 상기 회전부로 이송하는 단계;상기 회전부에 위치되고 로딩공정이 완료된 테스트트레이를 수평상태에서 수직상태로 회전시킨 후에, 상기 회전부에서 챔버부로 이송하는 단계;상기 챔버부에서 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하고, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자들을 하이픽스보드에 접속시켜 테스트되도록 하며, 테스트된 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 단계;테스트된 반도체 소자들이 수납된 테스트트레이를 상기 챔버부에서 상기 회전부로 이송한 후에, 수직상태에서 수평상태로 회전시키는 단계;상기 회전부에 위치되고 테스트된 반도체 소자들이 수납된 테스트트레이를, 테스트트레이로부터 테스트된 반도체 소자들이 분리될 때 테스트트레이가 위치되는 언로딩위치의 아래에 위치하는 제2반입위치로 이송한 후에, 언로딩위치로 상승시키는 단계;상기 언로딩위치에 위치된 테스트트레이에 대해 언로딩공정을 수행하는 단계; 및언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서, 상기 언로딩위치와 상기 제2반입위치 사이에 위치하는 제2반출위치 및 상기 로딩위치와 제1반출위치 사이에 위치하는 제1반입위치를 경유하여, 상기 로딩위치로 이송하는 단계를 포함하는 테스트트레이 이송방법.
- 제 12 항에 있어서, 상기 언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서 제2반출위치 및 제1반입위치를 경유하여 상기 로딩위치로 이송하는 단계는,상기 제2반출위치로부터 반출되어 상기 제1반입위치로 반입되는 테스트트레이의 이송을 상기 제2반출위치에서 안내하는 제2레일을, 상기 언로딩위치와, 상기 제2반출위치와, 상기 제2반입위치 간에 형성되는 제2승강경로의 내측으로 이동시키는 단계;상기 제2승강경로를 따라 승하강되고 테스트트레이를 지지하는 제2지지구를 상기 언로딩위치에서 상기 제2반출위치를 지나 상기 제2반입위치로 하강시켜서, 언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서 상기 제2반출위치로 하강 시키는 단계;상기 제2반출위치로부터 반출되어 상기 제1반입위치로 반입되는 테스트트레이의 이송을 상기 제1반입위치에서 안내하는 제1레일을, 상기 로딩위치와, 상기 제1반입위치와, 상기 제1반출위치 간에 형성되는 제1승강경로의 내측으로 이동시키는 단계;상기 제2반출위치에 위치된 테스트트레이를 상기 제2반출위치에서 상기 제1반입위치로 이송하는 단계; 및상기 제1승강경로를 따라 승하강되고 테스트트레이를 지지하는 제1지지구를 상기 제1반출위치에서 상기 제1반입위치를 지나 상기 로딩위치로 상승시켜서, 상기 제1반입위치에 위치된 테스트트레이를 상기 제1반입위치에서 상기 로딩위치로 상승시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트트레이 이송방법.
- 테스트될 반도체 소자들을 준비하는 단계;상기 준비된 테스트될 반도체 소자들을, 테스트트레이에 테스트될 반도체 소자들이 수납될 때 테스트트레이가 위치되는 로딩위치에 위치된 테스트트레이에 수납시키는 로딩공정을 수행하는 단계;로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 로딩위치에서 상기 로딩위치의 아래에 위치하는 제1반출위치로 하강시킨 후에, 상기 회전부로 이송하는 단계;상기 회전부에 위치되고 로딩공정이 완료된 테스트트레이를 수평상태에서 수직상태로 회전시킨 후에, 상기 회전부에서 챔버부로 이송하는 단계;상기 챔버부에서 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하고, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자들을 하이픽스보드에 접속시켜 테스트되도록 하며, 테스트된 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 단계;테스트된 반도체 소자들이 수납된 테스트트레이를 상기 챔버부에서 상기 회전부로 이송한 후에, 수직상태에서 수평상태로 회전시키는 단계;상기 회전부에 위치되고 테스트된 반도체 소자들이 수납된 테스트트레이를, 테스트트레이로부터 테스트된 반도체 소자들이 분리될 때 테스트트레이가 위치되는 언로딩위치의 아래에 위치하는 제2반입위치로 이송한 후에, 언로딩위치로 상승시키는 단계;상기 언로딩위치에 위치된 테스트트레이에 대해 언로딩공정을 수행하는 단계; 및언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서, 상기 언로딩위치와 상기 제2반입위치 사이에 위치하는 제2반출위치 및 상기 로딩위치와 제1반출위치 사이에 위치하는 제1반입위치를 경유하여, 상기 로딩위치로 이송하는 단계를 포함하는 반도체 소자 제조방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서 제2반출위치 및 제1반입위치를 경유하여 상기 로딩위치로 이송하는 단계는,상기 제2반출위치로부터 반출되어 상기 제1반입위치로 반입되는 테스트트레 이의 이송을 상기 제2반출위치에서 안내하는 제2레일을, 상기 언로딩위치와, 상기 제2반출위치와, 상기 제2반입위치 간에 형성되는 제2승강경로의 내측으로 이동시키는 단계;상기 제2승강경로를 따라 승하강되고 테스트트레이를 지지하는 제2지지구를 상기 언로딩위치에서 상기 제2반출위치를 지나 상기 제2반입위치로 하강시켜서, 언로딩공정이 완료된 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서 상기 제2반출위치로 하강시키는 단계;상기 제2반출위치로부터 반출되어 상기 제1반입위치로 반입되는 테스트트레이의 이송을 상기 제1반입위치에서 안내하는 제1레일을, 상기 로딩위치와, 상기 제1반입위치와, 상기 제1반출위치 간에 형성되는 제1승강경로의 내측으로 이동시키는 단계;상기 제2반출위치에 위치된 테스트트레이를 상기 제2반출위치에서 상기 제1반입위치로 이송하는 단계; 및상기 제1승강경로를 따라 승하강되고 테스트트레이를 지지하는 제1지지구를 상기 제1반출위치에서 상기 제1반입위치를 지나 상기 로딩위치로 상승시켜서, 상기 제1반입위치에 위치된 테스트트레이를 상기 제1반입위치에서 상기 로딩위치로 상승시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조방법.
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