KR20090057553A - 테스트 캐리어 및 이를 갖는 테스트 장치 - Google Patents

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KR20090057553A
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박종필
한종원
신운찬
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삼성전자주식회사
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Abstract

테스트 캐리어는 캐리어 몸체, 제 1 지지 부재 및 제 2 지지 부재를 포함한다. 캐리어 몸체는 피검체를 수용하는 개구부를 갖는다. 제 1 지지 부재는 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 피검체의 제 1 면을 선택적으로 지지한다. 제 2 지지부재는 상기 제 1 지지부재에 대해서 독립적으로 동작하도록 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 1 면과 반대측인 상기 피검체의 제 2 면을 선택적으로 지지한다. 따라서, 제 1 지지 부재와 제 2 지지 부재가 프로브와 간섭을 일으키지 않으면서 반도체 패키지를 견고하게 지지할 수가 있게 된다.

Description

테스트 캐리어 및 이를 갖는 테스트 장치{TEST CARRIER AND APPARATUS FOR TESTING AN OBJECT INCLUDING THE SAME}
본 발명은 테스트 캐리어 및 이를 갖는 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 패키지의 전기적 특성을 검사하기 위해 반도체 패키지를 지지하는 테스트 캐리어, 및 이러한 테스트 캐리어를 갖는 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 기판에 여러 가지 반도체 공정들을 수행하여 복수개의 반도체 칩들을 형성한다. 그런 다음, 각 반도체 칩들을 인쇄회로기판에 실장하기 위해서, 반도체 기판에 대해서 패키징 공정을 수행하여 반도체 패키지를 형성한다.
반도체 패키지는 반도체 칩, 반도체 칩에 부착된 회로 기판, 회로 기판과 반도체 칩을 전기적으로 연결시키는 연결 부재, 및 회로 기판에 실장된 복수개의 외부 접속 단자들을 포함한다.
반도체 패키지의 외부 접속 단자들을 인쇄회로기판에 실장하기 전에, 반도체 패키지의 전기적 특성을 검사하는 테스트 공정이 수행된다. 이러한 테스트 공정에 테스트 장치가 사용된다.
테스트 장치는 반도체 패키지를 지지하는 테스트 캐리어, 반도체 패키지의 전기적 특성 검사를 위한 테스트 전류를 발생시키는 테스터 헤드, 및 테스트 헤드에 구비되어 반도체 패키지의 외부 접속 단자들과 접촉하는 복수개의 프로브들을 포함한다. 테스트 전류는 프로브들과 외부 접속 단자들을 통해서 반도체 패키지로 전달된다.
종래의 테스트 캐리어는 반도체 패키지의 가장자리를 지지하는 지지 단부를 갖는다. 그러나, 반도체 패키지가 고집적화되어 감에 따라, 반도체 패키지의 외곽으로부터 최외곽 외부 접속 단자 간의 거리가 매우 짧아지고 있는 추세이다. 이로 인하여, 지지 단부가 최외곽 외부 접속 단자와 간섭을 일으키는 경우가 자주 발생되었다. 결과적으로, 종래의 테스트 캐리어는 고집적화된 반도체 패키지를 지지할 수가 없게 되었다.
한편, 상부와 하부 랫치(latch)들을 이용해서 반도체 패키지의 상부면과 하부면을 지지하는 테스트 캐리어가 제안되었다. 그러나, 종래의 랫치들은 하나의 힌지축을 매개로 테스트 캐리어에 회전 가능하게 연결되어 있다. 따라서, 상부 랫치가 반도체 패키지의 상부면을 지지할 때, 하부 랫치는 반도체 패키지의 하부면을 지지할 수 없었다. 반대로, 하부 랫치가 반도체 패키지의 하부면을 지지할 때, 상부 랫치는 반도체 패키지의 상부면을 지지할 수 없었다. 결과적으로, 랫치를 갖는 종래의 테스트 캐리어도 반도체 패키지를 효과적으로 지지할 수가 없었다. 또한, 랫치가 프로브와 간섭을 일으킬 소지도 높다.
본 발명은 반도체 패키지를 효과적으로 지지할 수 있는 테스트 캐리어를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기된 테스트 캐리어를 갖는 테스트 장치를 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 테스트 캐리어는 캐리어 몸체, 제 1 지지 부재 및 제 2 지지 부재를 포함한다. 캐리어 몸체는 피검체를 수용하는 개구부를 갖는다. 제 1 지지 부재는 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 피검체의 제 1 면을 선택적으로 지지한다. 제 2 지지부재는 상기 제 1 지지부재에 대해서 독립적으로 동작하도록 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 1 면과 반대측인 상기 피검체의 제 2 면을 선택적으로 지지한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제 1 지지부재는 상기 피검체의 제 1 면 양측을 지지하는 한 쌍의 제 1 랫치(latch)들을 포함할 수 있다. 상기 제 2 지지부재는 상기 피검체의 제 2 면 양측을 지지하는 한 쌍의 제 2 랫치들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 랫치들은 대향하도록 배치되고, 상기 제 2 래칫들은 대향하도록 배치될 수 있다. 상기 제 1 랫치들과 상기 제 2 랫치들은 제 1 방향 상에 위치한 상기 피검체의 제 1 가장자리 중앙부들을 지지할 수 있다. 또는, 상기 제 1 랫치들은 제 1 방향 상에 위치한 상기 피검체의 제 1 가장자리 중앙부들을 지지하고, 상기 제 2 랫치들을 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향 상에 위치한 상기 피검체의 제 2 가장자리 중앙부들을 지지할 수 있다. 다른 방안으로서, 상기 제 1 랫치들과 상기 제 2 랫치들은 상기 피검체의 모서리들을 지지할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 테스트 캐리어는 상기 제 1 지지부재를 회전시키기 위한 제 1 구동 유닛, 및 상기 제 1 지지부재에 대해서 상기 제 2 지지부재를 독립적으로 회전시키기 위한 제 2 구동 유닛을 더 포함할 수 있다. 상기 제 1 구동 유닛은 상기 제 1 지지부재를 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결시키는 제 1 힌지축, 상기 제 1 힌지축에 연결되어 상기 제 1 회전축을 회전시키기 위한 제 1 레버, 및 상기 제 1 힌지축에 권취되어 상기 제 1 힌지축을 상기 피검체의 제 1 면 방향으로 탄력 지지하는 제 1 스프링을 포함할 수 있다. 상기 제 2 구동 유닛은 상기 제 2 지지부재를 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결시키는 제 2 힌지축, 상기 제 2 힌지축에 연결되어 상기 제 2 회전축을 회전시키기 위한 제 2 레버, 및 상기 제 2 힌지축에 권취되어 상기 제 2 힌지축을 상기 피검체의 제 2 면 방향으로 탄력 지지하는 제 2 스프링을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 테스트 캐리어는 캐리어 몸체, 한 쌍의 제 1 랫치들, 한 쌍의 제 2 랫치들, 제 1 구동 유닛 및 제 2 구동 유닛을 포함한다. 캐리어 몸체는 제 1 면과, 상기 제 1 면과 반대측이면서 외부 접속 단자들이 배열된 제 2 면을 갖는 반도체 패키지를 수용하는 개구부를 갖는다. 제 1 랫치들은 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 1 면을 선택적으로 지지한다. 제 2 랫치들은 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 2 면을 선택적으로 지지한다. 제 1 구동 유닛은 상기 제 1 랫치들을 회전시킨다. 제 2 구동 유닛은 상 기 제 1 랫치들에 대해서 상기 제 2 랫치들을 독립적으로 회전시킨다.
본 발명의 또 다른 견지에 따른 테스트 장치는 테스터 헤드, 테스트 캐리어 및 프로브를 포함한다. 테스터 헤드는 피검체의 전기적 특성을 테스트하기 위한 테스트 전류를 발생시킨다. 테스트 캐리어는 상기 피검체를 수용하는 개구부를 갖는 캐리어 몸체, 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어 상기 피검체의 제 1 면을 선택적으로 지지하는 제 1 지지부재, 및 상기 제 1 지지부재에 대해서 독립적으로 동작하도록 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어 상기 제 1 면과 반대측인 상기 피검체의 제 2 면을 선택적으로 지지하는 제 2 지지부재를 포함한다. 프로브는 상기 피검체와 접촉하여 상기 테스트 전류를 상기 피검체로 전달한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 테스트 캐리어는 상기 피검체의 제 1 면이 상부를 향하도록 상기 테스터 헤드의 하부에 배치되어 상기 제 2 지지부재에 의해서만 지지되고, 상기 제 1 지지부재는 상기 프로브와 간섭하지 않도록 상기 캐리어 몸체 방향으로 회전되어 있을 수 있다. 또한, 상기 테스터 헤드는 상기 캐리어 몸체 방향으로 회전된 상기 제 1 지지부재를 수용하는 수용홈을 가질 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 제 1 랫치들과 제 2 랫치들이 독립적으로 작동하여, 반도체 패키지의 제 1 면과 제 2 면을 선택적으로 지지하게 된다. 따라서, 반도체 패키지의 제 1 면과 제 2 면을 제 1 랫치들과 제 2 랫치들이 동시에 지지할 수가 있게 된다. 따라서, 제 1 랫치들과 제 2 랫치들은 프로브와 간섭을 일으키지 않으면서 반도체 패키지를 견고하게 지지할 수가 있게 된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또 는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
테스트 캐리어
실시예 1
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 테스트 캐리어를 나타낸 상부 사시도이고, 도 2는 도 1의 테스트 캐리어를 나타낸 하부 사시도이며, 도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 테스트 캐리어의 제 1 랫치들과 제 2 랫치들의 지지 동작들을 나타낸 단면도들이고, 도 5는 도 1에 도시된 테스트 캐리어의 제 1 구동 유닛을 나타낸 사시도이며, 도 6은 도 1에 도시된 테스트 캐리어의 제 2 구동 유닛을 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 3의 제 1 랫치들의 위치를 나타낸 평면도이며, 도 8은 도 3의 제 2 랫치들의 위치를 나타낸 저면도이다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 테스트 캐리어(100)는 캐리어 몸체(110), 제 1 지지 부재(120) 및 제 2 지지 부재(130)를 포함한다.
캐리어 몸체(110)는 대략 직육면체 형상을 갖는다. 캐리어 몸체(110)는 피검체를 수용하는 개구부(112)를 갖는다. 개구부(112)는 캐리어 몸체(110)의 중앙부에 관통 형성된다. 본 실시예에서, 피검체의 예로서는 반도체 패키지(P)를 들 수 있다. 반도체 패키지(P)는 제 1 면과, 제 1 면과 반대측인 제 2 면을 갖는다. 외부 접속 단자인 솔더 볼(S)들이 반도체 패키지(P)의 제 2 면 상에 실장된다.
제 1 지지 부재(120)는 캐리어 몸체(110)에 회전 가능하게 연결된다. 제 1 지지 부재(120)는 캐리어 몸체(110)에 각각 회전 가능하게 연결된 한 쌍의 제 1 랫치(122, 124)들을 포함한다. 제 1 랫치(122, 124)들은 반도체 패키지(P)의 제 1 면을 선택적으로 지지한다.
본 실시예에서, 제 1 랫치(122, 124)들은 대향하도록 배치된다. 특히, 제 1 랫치(122, 124)들은 제 1 방향을 따라 배치되어, 제 1 방향 상에 위치한 반도체 패키지(P)의 제 1 면 상에 있는 제 1 가장자리 중앙부들을 선택적으로 지지한다.
제 1 구동 유닛(140)이 제 1 랫치(122, 124)들을 동시에 같은 방향으로 회전시킨다. 제 1 구동 유닛(140)은 제 1 랫치(122, 124)들을 캐리어 몸체(110)에 회전 가능하게 연결시키는 제 1 힌지축(142), 제 1 힌지축(142)에 연결되고 캐리어 몸체(110)로부터 돌출된 제 1 레버(144), 및 제 1 힌지축(142)에 권취되어 제 1 랫치(122, 124)들을 반도체 패키지(P)의 제 1 면 방향으로 탄력 지지하는 스프링(146)을 포함한다.
제 2 지지 부재(130)는 캐리어 몸체(110)에 회전 가능하게 연결된다. 제 2 지지 부재(130)는 캐리어 몸체(110)에 각각 회전 가능하게 연결된 한 쌍의 제 2 랫치(132, 134)들을 포함한다. 제 2 랫치(132, 134)들은 반도체 패키지(P)의 제 2 면을 선택적으로 지지한다. 특히, 제 2 랫치(132, 134)들은 제 1 랫치(122, 124)들과 연동하지 않고 독립적으로 회전한다.
본 실시예에서, 제 2 랫치(132, 134)들은 대향하도록 배치된다. 특히, 제 2 랫치(132, 134)들은 제 1 방향을 따라 배치되어, 제 1 방향 상에 위치한 반도체 패키지(P)의 제 2 면 상에 있는 제 1 가장자리 중앙부들을 선택적으로 지지한다.
제 2 구동 유닛(150)이 제 2 랫치(132, 134)들을 동시에 같은 방향으로 회전시킨다. 제 2 구동 유닛(150)은 제 1 구동 유닛(140)으로부터 독립되어 있으므로, 제 1 랫치(122, 124)들과 제 2 랫치(132, 134)들은 연동하지 않고 독립적으로 회전하게 된다. 제 2 구동 유닛(150)은 제 2 랫치(132, 134)들을 캐리어 몸체(110)에 회전 가능하게 연결시키는 제 2 힌지축(152), 제 2 힌지축(152)에 연결되고 캐리어 몸체(110)로부터 돌출된 제 2 레버(154), 및 제 2 힌지축(152)에 권취되어 제 2 랫치(132, 134)들을 반도체 패키지(P)의 제 2 면 방향으로 탄력 지지하는 스프링(156)을 포함한다.
본 실시예에 따르면, 제 1 지지 부재와 제 2 지지 부재가 독립적으로 회전하게 되므로, 제 1 지지 부재와는 상관없이 캐리어 몸체 방향으로 회전된 제 2 지지 부재는 솔더 볼에 접촉하는 프로브와 간섭을 일으키지 않는다. 반도체 패키지를 테스트하는 동안에는, 제 1 지지 부재가 반도체 패키지를 견고하게 지지하게 된다.
실시예 2
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 1 랫치들의 위치를 나타낸 평면도이고, 도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 랫치들의 위치를 나타낸 저면도이다.
본 실시예에 따른 테스트 캐리어는 제 1 지지 부재의 위치를 제외하고는 실시예 1의 테스트 캐리어와 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함한다. 따라서, 동일한 구성요소들을 동일한 참조부호들을 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.
도 9를 참조하면, 제 1 랫치(122, 124)들은 제 1 방향과 실질적으로 직교하는 제 2 방향을 따라 배치되어, 제 2 방향 상에 위치한 반도체 패키지(P)의 제 1 면 상에 있는 제 2 가장자리 중앙부들을 선택적으로 지지한다.
한편, 도 10을 참조하면, 제 2 랫치(132, 134)들은 제 1 방향을 따라 배치되어, 제 1 방향 상에 위치한 반도체 패키지(P)의 제 2 면 상에 있는 제 1 가장자리 중앙부들을 선택적으로 지지한다.
실시예 3
도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 제 1 랫치들의 위치를 나타낸 평면도이고, 도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 제 2 랫치들의 위치를 나타낸 저면도이다.
본 실시예에 따른 테스트 캐리어는 제 1 지지 부재와 제 2 지지 부재의 위치들을 제외하고는 실시예 1의 테스트 캐리어와 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함한다. 따라서, 동일한 구성요소들을 동일한 참조부호들을 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 제 1 랫치(122, 124)들은 반도체 패키지(P)의 제 1 대각선 방향 상에 위치하여, 제 1 대각선 방향 상에 위치한 반도체 패키지(P) 의 제 1 모서리들을 선택적으로 지지한다.
제 2 랫치(132, 134)들은 반도체 패키지(P)의 제 2 대각선 방향 상에 위치하여, 제 2 대각선 방향 상에 위치한 반도체 패키지(P)의 제 2 모서리들을 선택적으로 지지한다.
테스트 장치
도 13은 도 1의 테스트 캐리어를 갖는 테스트 장치를 나타낸 단면도이다.
도 13을 참조하면, 본 실시예에 따른 테스트 장치(200)는 테스터 헤드(210), 테스트 캐리어(100) 및 프로브(220)들을 포함한다. 여기서, 테스트 캐리어(100)는 실시예 1 내지 3의 테스트 캐리어들 중 어느 하나와 동일하므로, 테스트 캐리어(100)에 대한 반복 설명은 생략한다.
테스트 캐리어(100)는 테스터 헤드(210)의 하부에 배치된다. 따라서, 테스트 캐리어(100)는 반도체 패키지(P)의 솔더 볼(S)들이 테스터 헤드(210)를 향하도록 배치된다. 그러므로, 제 1 랫치(122, 124)들은 아래를 향하는 반도체 패키지(P)의 제 1 면을 지지하게 된다. 반면에, 제 2 랫치(132, 134)들은 위를 향하는 반도체 패키지(P)의 제 2 면을 선택적으로 지지하게 된다.
테스터 헤드(210)는 테스트 캐리어(100)의 상부에 배치된다. 테스터 헤드(210)는 테스트 캐리어(100)의 개구부(112)에 수용된 반도체 패키지(P)의 전기적 특성 검사를 위한 테스트 전류를 발생시킨다. 테스터 헤드(210)는 제 2 랫치(132, 134)들을 수용하는 수용홈(212)을 갖는다.
프로브(220)는 테스터 헤드(210)의 하부면에 배치된다. 프로브(220)는 솔더 볼(S)들과 접촉하여, 테스터 헤드(210)로부터 발생된 테스트 전류를 솔더 볼(S)로 전달한다.
이하, 테스트 장치(200)를 이용해서 반도체 패키지(P)의 전기적 특성을 테스트하는 동작을 상세히 설명한다.
제 1 구동 유닛(140)의 제 1 레버(144)를 회전시켜서, 제 1 랫치(122, 124)들을 캐리어 몸체(110) 방향으로 회전시킨다. 그러면, 캐리어 몸체(110)의 개구부(112) 상부가 개방된다. 한편, 제 2 랫치(132, 134)들은 제 2 스프링(156)에 의해서 개구부(112)의 하부를 부분적으로 차단하고 있다.
이러한 상태에서, 솔더 볼(S)이 아래를 향하도록 반도체 패키지(P)를 개구부(112) 내로 진입시킨다. 개구부(112)로 진입된 반도체 패키지(P)의 제 2 면, 즉 솔더 볼(S)이 제 2 랫치(132, 134)들에 의해 지지된다. 그런 다음, 제 1 레버(144)를 당기던 외력을 제거하면, 제 1 스프링(146)에 의해서 제 1 랫치(122, 124)들이 반도체 패키지(P)의 제 1 면을 향해 회전한다. 따라서, 반도체 패키지(P)의 제 1 면이 제 1 랫치(122, 124)들에 의해 견고히 지지된다.
반도체 패키지(P)를 지지한 테스트 캐리어(100)를 테스터 헤드(210)의 하부에 배치한다. 여기서, 솔더 볼(S)이 테스터 헤드(210)를 향하도록 테스트 캐리어(100)를 반전시킨다.
이어서, 제 2 레버(154)를 당겨서, 제 2 랫치(132, 134)들을 캐리어 몸체(110) 방향으로 회전시킨다. 그러면, 제 2 랫치(132, 134)들은 테스터 헤드(210)의 수용홈(212) 내로 진입된다. 결과적으로, 솔더 볼(S)들이 제 2 랫치(132, 134) 에 의해 가려지지 않고 전부 노출된다.
그런 다음, 프로브(220)를 하강시켜서, 프로브(220)를 솔더 볼(S)과 접촉시킨다. 여기서, 전술된 바와 같이, 제 2 랫치(132, 134)들은 테스터 헤드(210)의 수용홈(212) 내에 수용되어 있으므로, 프로브(220)가 제 2 랫치(132, 134)들과 간섭되지 않는다.
이러한 상태에서, 테스터 헤드(210)로부터 발생된 테스트 전류를 프로브(220)를 통해서 솔더 볼(S)로 전달하여, 반도체 패키지(P)의 전기적 특성을 테스트한다.
한편, 본 실시예들에서는, 피검체로서 반도체 패키지를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명에 따른 테스트 캐리어와 테스트 장치가 적용될 수 있는 피검체가 반도체 패키지로 국한되지 않는다. 예를 들어서, 패키징 공전 전의 반도체 기판, LCD 기판 등과 같은 다른 전자 부품의 전기적 특성 테스트 공정에도 본 발명에 따른 테스트 캐리어와 테스트 장치가 이용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 제 1 지지 부재와 제 2 지지 부재가 동시에 피검체를 견고하게 지지할 수 있다. 특히, 제 1 지지 부재와 제 2 지지 부재가 독립적으로 회전하게 되므로, 제 1 지지 부재와는 상관없이 캐리어 몸체 방향으로 회전된 제 2 지지 부재는 외부 접속 단자와 접촉하는 프로브와 간섭을 일으키지 않는다. 피검체를 테스트하는 동안에는, 제 1 지지 부재가 피검체를 견고하게 지지하게 된다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 테스트 캐리어를 나타낸 상부 사시도이다.
도 2는 도 1의 테스트 캐리어를 나타낸 하부 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 테스트 캐리어의 제 1 랫치들과 제 2 랫치들의 지지 동작들을 나타낸 단면도들이다.
도 5는 도 1에 도시된 테스트 캐리어의 제 1 구동 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 1에 도시된 테스트 캐리어의 제 2 구동 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 3의 제 1 랫치들의 위치를 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 3의 제 2 랫치들의 위치를 나타낸 저면도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 1 랫치들의 위치를 나타낸 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 랫치들의 위치를 나타낸 저면도이다.
도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 제 1 랫치들의 위치를 나타낸 평면도이다.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 제 2 랫치들의 위치를 나타낸 저면도이다.
도 13은 도 1의 테스트 캐리어를 갖는 테스트 장치를 나타낸 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 캐리어 몸체 112 : 개구부
120 : 제 1 지지 부재 130 : 제 2 지지 부재
140 : 제 1 구동 유닛 150 : 제 2 구동 유닛
210 : 테스터 헤드 220 : 프로브

Claims (16)

  1. 피검체를 수용하는 개구부를 갖는 캐리어 몸체;
    상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 피검체의 제 1 면을 선택적으로 지지하는 제 1 지지부재; 및
    상기 제 1 지지부재에 대해서 독립적으로 동작하도록 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 1 면과 반대측인 상기 피검체의 제 2 면을 선택적으로 지지하는 제 2 지지부재를 포함하는 테스트 캐리어.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 지지부재는 상기 피검체의 제 1 면 양측을 지지하는 한 쌍의 제 1 랫치(latch)들을 포함하고,
    상기 제 2 지지부재는 상기 피검체의 제 2 면 양측을 지지하는 한 쌍의 제 2 랫치들을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 랫치들은 대향하도록 배치되고, 상기 제 2 래칫들은 대향하도록 배치된 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 랫치들과 상기 제 2 랫치들은 제 1 방향 상에 위치한 상기 피검체의 제 1 가장자리 중앙부들을 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 랫치들은 제 1 방향 상에 위치한 상기 피검체의 제 1 가장자리 중앙부들을 지지하고, 상기 제 2 랫치들을 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향 상에 위치한 상기 피검체의 제 2 가장자리 중앙부들을 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 랫치들과 상기 제 2 랫치들은 상기 피검체의 모서리들을 지지하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 지지부재를 회전시키기 위한 제 1 구동 유닛; 및
    상기 제 1 지지부재에 대해서 상기 제 2 지지부재를 독립적으로 회전시키기 위한 제 2 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 구동 유닛은
    상기 제 1 지지부재를 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결시키는 제 1 힌지축;
    상기 제 1 힌지축에 연결되어, 상기 제 1 회전축을 회전시키기 위한 제 1 레버; 및
    상기 제 1 힌지축에 권취되어, 상기 제 1 힌지축을 상기 피검체의 제 1 면 방향으로 탄력 지지하는 제 1 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 제 2 구동 유닛은
    상기 제 2 지지부재를 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결시키는 제 2 힌지축;
    상기 제 2 힌지축에 연결되어, 상기 제 2 회전축을 회전시키기 위한 제 2 레버; 및
    상기 제 2 힌지축에 권취되어, 상기 제 2 힌지축을 상기 피검체의 제 2 면 방향으로 탄력 지지하는 제 2 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 피검체는 외부 접속 단자들을 갖는 반도체 패키지를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  11. 제 1 면과, 상기 제 1 면과 반대측이면서 외부 접속 단자들이 배열된 제 2 면을 갖는 반도체 패키지를 수용하는 개구부를 갖는 캐리어 몸체;
    상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 1 면을 선택적으로 지지하는 한 쌍의 제 1 랫치들;
    상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 2 면을 선택적으로 지 지하는 한 쌍의 제 2 랫치들;
    상기 제 1 랫치들을 회전시키기 위한 제 1 구동 유닛; 및
    상기 제 1 랫치들에 대해서 상기 제 2 랫치들을 독립적으로 회전시키기 위한 제 2 구동 유닛을 포함하는 테스트 캐리어.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 제 1 구동 유닛은
    상기 제 1 랫치들을 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결시키는 제 1 힌지축;
    상기 제 1 힌지축에 연결되어, 상기 제 1 회전축을 회전시키기 위한 제 1 레버; 및
    상기 제 1 힌지축에 권취되어, 상기 제 1 힌지축을 상기 피검체의 제 1 면 방향으로 탄력 지지하는 제 1 스프링을 포함하고,
    상기 제 2 구동 유닛은
    상기 제 2 랫치들을 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결시키는 제 2 힌지축;
    상기 제 2 힌지축에 연결되어, 상기 제 2 회전축을 회전시키기 위한 제 2 레버; 및
    상기 제 2 힌지축에 권취되어, 상기 제 2 힌지축을 상기 피검체의 제 2 면 방향으로 탄력 지지하는 제 2 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 캐리어.
  13. 피검체의 전기적 특성을 테스트하기 위한 테스트 전류를 발생시키는 테스터 헤드;
    상기 피검체를 지지하는 테스트 캐리어; 및
    상기 피검체와 접촉하여, 상기 테스트 전류를 상기 피검체로 전달하는 프로브를 포함하고,
    상기 테스트 캐리어는
    상기 피검체를 수용하는 개구부를 갖는 캐리어 몸체;
    상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 피검체의 제 1 면을 선택적으로 지지하는 제 1 지지부재; 및
    상기 제 1 지지부재에 대해서 독립적으로 동작하도록 상기 캐리어 몸체에 회전 가능하게 연결되어, 상기 제 1 면과 반대측인 상기 피검체의 제 2 면을 선택적으로 지지하는 제 2 지지부재를 포함하는 테스트 장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 테스트 캐리어는 상기 피검체의 제 1 면이 상부를 향하도록 상기 테스터 헤드의 하부에 배치되어 상기 제 2 지지부재에 의해서만 지지되고, 상기 제 1 지지부재는 상기 프로브와 간섭하지 않도록 상기 캐리어 몸체 방향으로 회전되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 테스터 헤드는 상기 캐리어 몸체 방향으로 회전된 상기 제 1 지지부재를 수용하는 수용홈을 갖는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  16. 제 13 항에 있어서, 상기 피검체는 상기 프로브가 접촉하는 외부 접속 단자들을 갖는 반도체 패키지를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
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